WO2022014509A1 - 真空圧供給システム - Google Patents

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WO2022014509A1
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vacuum pressure
pressure supply
supply system
holding force
notification
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Inventor
中村牧人
室田真弘
Original Assignee
ファナック株式会社
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    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25B—TOOLS OR BENCH DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, FOR FASTENING, CONNECTING, DISENGAGING OR HOLDING
    • B25B11/00—Work holders not covered by any preceding group in the subclass, e.g. magnetic work holders, vacuum work holders
    • B25B11/005—Vacuum work holders
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/6838—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping with gripping and holding devices using a vacuum; Bernoulli devices
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q3/00—Devices holding, supporting, or positioning work or tools, of a kind normally removable from the machine
    • B23Q3/02—Devices holding, supporting, or positioning work or tools, of a kind normally removable from the machine for mounting on a work-table, tool-slide, or analogous part
    • B23Q3/06—Work-clamping means
    • B23Q3/08—Work-clamping means other than mechanically-actuated
    • B23Q3/088—Work-clamping means other than mechanically-actuated using vacuum means
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00—Programme-control systems
    • G05B19/02—Programme-control systems electric
    • G05B19/04—Programme control other than numerical control, i.e. in sequence controllers or logic controllers
    • G05B19/042—Programme control other than numerical control, i.e. in sequence controllers or logic controllers using digital processors
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D15/00—Control of mechanical force or stress; Control of mechanical pressure
    • G05D15/01—Control of mechanical force or stress; Control of mechanical pressure characterised by the use of electric means

Definitions

  • the present invention relates to a vacuum pressure supply system.
  • an object holding device for example, a vacuum chuck device
  • a vacuum chuck device that holds an object using vacuum pressure
  • a work object is held by using a vacuum chuck device.
  • a plurality of magnitudes of the holding force for holding the object can be set according to the weight or strength of the object to be held.
  • Japanese Patent Application Laid-Open No. 2006-229027 discloses a wafer transfer device having a flow rate adjusting valve for adjusting a vacuum pressure for holding a wafer.
  • a plurality of vacuum pressure supply paths for supplying the vacuum pressure from the vacuum source to a holding portion that holds the object using the vacuum pressure and a holding force for holding the object are mutually present.
  • the connection state between the vacuum source and the plurality of vacuum pressure supply paths is switched in order to change the holding force of the holding portion and the pressure adjusting mechanism that adjusts the pressure in the plurality of vacuum pressure supply paths so as to be different. It is equipped with a switching mechanism.
  • the switching mechanism switches the connection state by selecting one of the vacuum pressure supply paths and connecting the vacuum pressure source to the vacuum source.
  • FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a vacuum pressure supply system according to an embodiment.
  • FIG. 2 is a diagram showing an example of an operation procedure of the vacuum pressure supply system according to the embodiment.
  • FIG. 3 is a diagram showing the configuration of the vacuum pressure supply system according to the first modification.
  • FIG. 4 is a diagram showing an example of an operation procedure of the vacuum pressure supply system according to the first modification.
  • FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a vacuum pressure supply system 10 according to an embodiment.
  • the vacuum pressure supply system 10 includes a vacuum source 12, a switching mechanism 14, a plurality of vacuum pressure supply paths 16, a pressure adjusting mechanism 18, a holding unit 20, an operating unit 30, a notification unit 32, and a control unit 34.
  • An example of the vacuum pressure supply system 10 is a vacuum chuck device.
  • a plurality of vacuum pressure supply paths 16 are connected to the holding portion 20.
  • the plurality of vacuum pressure supply paths 16 are connected to the vacuum source 12 via the switching mechanism 14.
  • the number of vacuum pressure supply paths 16 is set to 5 for convenience.
  • the switching mechanism 14 switches the connection state between the vacuum source 12 and the five vacuum pressure supply paths 16 in order to change the holding force of the holding portion 20.
  • the switching mechanism 14 switches the connection state between the vacuum source 12 and the five vacuum pressure supply paths 16 by, for example, selecting one of the five vacuum pressure supply paths 16 and connecting the switching mechanism 14 to the vacuum source 12. be able to.
  • the vacuum pressure generated by the vacuum source 12 is supplied to any one of the vacuum pressure supply paths 16, and the vacuum pressure supply path 16 to which the vacuum pressure is supplied can be switched.
  • the connection state between the vacuum source 12 and the five vacuum pressure supply paths 16 may be simply referred to as a “connection state”.
  • the pressure adjusting mechanism 18 adjusts the pressure in the vacuum pressure supply path 16 so that the holding portion 20 has a different force for holding the object.
  • the pressure adjusting mechanism 18 adjusts the pressure in the five vacuum pressure supply paths 16 to make them different from each other.
  • the pressure adjusting mechanism 18 sets the respective pressures (differential pressure from the atmospheric pressure) in the five vacuum pressure supply paths 16 at ⁇ 75 kPa (G), ⁇ 60 kPa (G), ⁇ 45 kPa (G), and ⁇ 30 kPa. Adjust to (G) and -15 kPa (G).
  • This differential pressure corresponds to the holding force of the holding portion 20. That is, the smaller the differential pressure (the larger the absolute value of the differential pressure), the stronger the holding force of the holding portion 20. Since there is a correlation between the holding force and the differential pressure, the holding force may be expressed by this differential pressure below.
  • the pressure adjusting mechanism 18 has five throttle valves 22 provided in the five vacuum pressure supply paths 16.
  • the throttle valve 22 does not have to be provided in the vacuum pressure supply path 16.
  • the flow rate of the vacuum pressure supply path 16 pressure in the vacuum pressure supply path 16
  • the holding unit 20 sucks and holds an object using the vacuum pressure supplied from the vacuum source 12 via the vacuum pressure supply path 16.
  • An example of the holding portion 20 is a vacuum chuck mechanism.
  • the switching mechanism 14 can change the holding force of the holding unit 20 by switching the connection state between the vacuum source 12 and the five vacuum pressure supply paths 16. As a result, the holding force can be switched by using a single vacuum source 12. That is, since a plurality of vacuum sources 12 corresponding to a plurality of holding force set values are not required, the installation space can be reduced and the device can be miniaturized.
  • the holding force (suction pressure) of the holding portion 20 begins to change (start of changing the holding force). After that, the holding force of the holding portion 20 reaches the holding force (suction pressure) corresponding to the vacuum pressure supply path 16 after switching (completion of change).
  • the operation unit 30 is an input device for the operator to perform an operation for changing the holding force of the holding unit 20, and is, for example, a switch, a keyboard, or a touch panel.
  • the operator uses the operation unit 30 to select the holding force of the holding unit 20.
  • the number and magnitude of holding forces that this operator can select depends on the five vacuum pressure supply paths 16. In this embodiment, the number of selectable holding forces is six. Therefore, in the present embodiment, the operator has [holding force: ⁇ 75 kPa (G)], [holding force: ⁇ 60 kPa (G)], [holding force: ⁇ 45 kPa (G)], and [holding force: ⁇ 30 kPa]. (G)], [Holding power: -15 kPa (G)], and [Holding power: 0 kPa (G)] are selected.
  • the table 36a correlates each of the plurality of holding forces that can be selected by the operator with the vacuum pressure supply path 16 that should be selected in order to realize each of the plurality of holding forces.
  • the switching control unit 36 controls the switching mechanism 14 with reference to the table 36a.
  • the notification control unit 38 notifies the notification unit 32 that the holding force of the holding unit 20 will be changed before the connection state between the vacuum source 12 and the five vacuum pressure supply paths 16 is switched (holding force change). Notice). If the holding force of the holding portion 20 is weakened, it may be difficult for the holding portion 20 to properly hold the object. Therefore, the operator can be alerted by notifying that the holding force will be changed before the connection state between the vacuum source 12 and the five vacuum pressure supply paths 16 is switched.
  • the notification control unit 38 notifies the notification unit 32 that the holding force of the holding unit 20 has changed due to the switching of the connection state (notification of the holding force change). By receiving the notification of the change in the holding force, the operator can grasp that the holding force has changed.
  • the change in the holding force of the holding portion 20 means that the holding force is being changed or that the change in the holding force is completed.
  • the notification control unit 38 may classify this notification sound into a first notification sound and a second notification sound and output the notification sound from the notification unit 32. That is, the notification control unit 38 outputs a first notification sound notifying that the holding force is being changed after the first predetermined time has elapsed from the operation by the operator. After that, the notification control unit 38 outputs a second notification sound notifying that the change to the holding force selected (designated) by the operator is completed. Thereby, the operator can grasp the change state of the holding force in more detail by the first notification sound and the second notification sound.
  • the notification control unit 38 outputs the notification sound and the notification sound in different modes from the notification unit 32. Further, the notification control unit 38 outputs the first notification sound and the second notification sound in different modes.
  • This aspect of sound means any of loudness (volume), pitch (pitch), sound pattern, sound spacing, or a combination thereof. For example, an intermittent sound (for example, “pip-pip, pip-pip, pip-pip, ##) Can be used for the warning sound, and a continuous sound (for example, "pip”) can be used for the notification sound. Further, by making the volume or pitch of the notification sound "pee" different in the middle, the notification sound can be divided into a first notification sound (changing) and a second notification sound (change completed).
  • the notification control unit 38 performs volume processing for increasing the volume of the warning sound with the passage of time, pitch processing for increasing the pitch of the warning sound with the passage of time, and interval processing for shortening the notification interval of the warning sound with the passage of time. Of these, at least one may be performed. As a result, the operator can recognize that the timing of switching the connection state (start of change in holding force) is approaching.
  • the notification control unit 38 can determine that the change in the holding force has been completed as follows. That is, when the first predetermined time has elapsed from the operation by the operator and then the second predetermined time has elapsed, the notification control unit 38 determines that the change of the holding force has been completed.
  • the second predetermined time corresponds to the time required from the switching of the connection state to the completion of the change of the holding force. Generally, once the size of the vacuum pressure supply system 10 is determined, the required time is also determined. That is, the second predetermined time can be a constant value.
  • FIG. 2 is a diagram showing an example of an operation procedure of the vacuum pressure supply system 10 according to the embodiment.
  • the notification control unit 38 announces that the holding force of the holding unit 20 will be changed.
  • the warning sound is output from the notification unit 32 (here, the speaker) (step S2).
  • the switching control unit 36 controls the switching mechanism 14 to switch the connection state between the vacuum source 12 and the five vacuum pressure supply paths 16 (step). S4).
  • the notification control unit 38 stays in step S3 until the first predetermined time elapses. The passage of this time can be measured, for example, by starting timekeeping by a timer when the operator operates. If the notification control unit 38 determines NO in step S3, the notification control unit 38 may return to step S2. As a result, the warning sound is continuously notified until the first predetermined time elapses.
  • the notification control unit 38 outputs a first notification sound from the notification unit 32 to notify that the holding force of the holding unit 20 is being changed after the first predetermined time has elapsed from the operation by the operator. (Step S5). It is preferable that the first notification sound is output from the notification unit 32 at the time of switching the vacuum pressure supply path 16 or immediately after that. Further, after the first predetermined time has elapsed and the second predetermined time has elapsed (YES in step S6), the notification control unit 38 notifies that the change of the holding force of the holding unit 20 is completed. The notification sound of 2 is output from the notification unit 32 (step S7).
  • the notification control unit 38 determines NO in step S6, the notification control unit 38 may return to step S5. As a result, the first notification sound is continuously notified until the second predetermined time elapses.
  • the switching mechanism 14 by switching the connection state between the vacuum source 12 and the plurality of vacuum pressure supply paths 16, the switching mechanism 14 does not use a plurality of vacuum sources, and the holding force of the holding unit 20 is held. Can be changed. Further, the notification control unit 38 outputs a warning sound before this switching, and the notification control unit 38 outputs a first notification sound and a second notification sound during the change of the holding force due to the switching and after the change is completed. Let me. This allows the operator to grasp the change status of the holding force.
  • the notification control unit 38 determines the completion of the change of the holding force based on the lapse of the second predetermined time, but may determine the completion of the change of the holding force by another method. ..
  • FIG. 3 is a diagram showing the configuration of the vacuum pressure supply system 10 according to the modified example 1.
  • the vacuum pressure supply system 10 includes a pressure detection unit 40.
  • the pressure detecting unit 40 is provided in the holding unit 20 and detects the suction pressure of the holding unit 20.
  • the notification control unit 38 determines whether or not the change of the holding force is completed based on the detection signal from the pressure detection unit 40. As described above, the suction pressure of the holding portion 20 indicated by the detection signal corresponds to the holding force and changes with the holding force. It is possible to determine the completion of the change of the holding force based on whether or not the detected suction pressure (holding force) reaches the selected suction pressure (holding force).
  • the notification control unit 38 determines that the change of the holding force is completed, the notification control unit 38 outputs a second notification sound notifying that the change of the holding force is completed from the notification unit 32.
  • FIG. 4 is a diagram showing an example of the operation procedure of the vacuum pressure supply system 10 according to the modified example 1.
  • steps S1 to S5 are the same as steps S1 to S5 of the embodiment, steps S5 and subsequent steps will be described.
  • the notification control unit 38 After the notification control unit 38 outputs the first notification sound from the notification unit 32 (step S5), the notification control unit 38 determines whether or not the change of the holding force is completed (step S16). When the notification control unit 38 determines that the change of the holding force is completed (YES in step S16), the notification control unit 38 outputs the second notification sound from the notification unit 32 (step S7).
  • step S16 the notification control unit 38 determines that the change in the holding force has not been completed (NO in step S16)
  • the notification control unit 38 goes to step S16 until it determines that the change in the holding force has been completed. stay. Thereby, the operator can grasp the change state of the holding force by the first notification sound and the second notification sound. If the notification control unit 38 determines NO in step S16, the notification control unit 38 may return to step S5. As a result, the first notification sound is continuously notified until the change of the holding force is completed.
  • the notification control unit 38 notifies the notification unit 32 that the holding force is changed before the connection state is switched.
  • the notification may be performed only when the holding force of the holding unit 20 decreases due to the switching of the connection state, and the notification may not be performed when the holding force increases.
  • the operator can be alerted only when the holding force is reduced (for example, only when the holding force becomes zero).
  • the notification control unit 38 may not output all of the warning sound, the first notification sound, and the second notification sound. However, even when the holding power increases due to the switching of the connection state, the notification control unit 38 has at least one of the warning sound, the first notification sound, and the second notification sound (for example, the holding power). Only the second notification sound indicating the completion of the change) may be output.
  • the switching control unit 36 controls the switching mechanism 14 immediately after the operation by the operator without waiting for the lapse of the first predetermined time from the operation by the operator.
  • the holding force of the holding portion 20 may be changed.
  • the operation of the vacuum pressure supply system 10 becomes quick. In this case, the warning sound is not notified.
  • step S3 is excluded in the operation procedure shown in FIGS. 2 and 4. That is, the notification control unit 38 outputs a warning sound before this switching (step S4) (step S2).
  • the switching control unit 36 switches the connection state between the vacuum source 12 and the plurality of vacuum pressure supply paths 16 after the lapse of the first predetermined time from the start of the output of the warning sound (YES in step S3) (step S4).
  • the notification control unit 38 After the lapse of the first predetermined time from the start of the output of the warning sound (when the vacuum pressure supply path 16 is switched or immediately after that), the notification control unit 38 outputs the first notification sound from the notification unit 32 (step S5). .. After that, in the case of the embodiment (FIG. 2), after the first predetermined time has elapsed and the second predetermined time has elapsed (YES in step S6), the notification control unit 38 outputs the second notification sound. (Step S7). In the case of the modification 1 (FIG. 4), the notification control unit 38 outputs a second notification sound when it is determined that the change of the holding force is completed regardless of the passage of time (YES in step S16). (Step S7). In this way, starting from the start of output of the warning sound, the notification control unit 38 switches the connection state, and the notification control unit 38 outputs the first notification sound (and the second notification sound).
  • the switching control unit 36 sets the holding force of the holding unit 20 to zero by not connecting any of the plurality of vacuum pressure supply paths 16 to the vacuum source 12, but the switching control unit 36 has selected.
  • the holding force may be set to zero by connecting the vacuum pressure supply path 16 to the vacuum source 12. That is, the throttle valve 22 of the specific vacuum pressure supply path 16 is closed, and the switching control unit 36 connects the vacuum pressure supply path 16 to the vacuum source 12. By doing so, the holding force can be set to zero without disconnecting all of the plurality of vacuum pressure supply paths 16.
  • the vacuum pressure supply system (10) has a plurality of vacuum pressures for supplying the vacuum pressure from the vacuum source (12) to the holding portion (20) that holds the object using the vacuum pressure.
  • the pressure adjusting mechanism (18) that adjusts the pressure in the plurality of vacuum pressure supply paths so that the holding force for holding the object is different from each other, and the holding force of the holding portion.
  • a switching mechanism (14) for switching a connection state between the vacuum source and the plurality of vacuum pressure supply paths. The switching mechanism switches the connection state by selecting one of the vacuum pressure supply paths and connecting the vacuum pressure source to the vacuum source.
  • the holding force of the holding portion can be changed by switching the connection state between the vacuum source and the plurality of vacuum pressure supply paths. That is, the holding force can be changed without using a plurality of vacuum sources.
  • the switching mechanism switches the connection state so that the plurality of vacuum pressure supply paths are not connected to the vacuum source.
  • the holding force of the holding portion can be reduced to zero by preventing the plurality of vacuum pressure supply paths from being connected to the vacuum source.
  • the vacuum pressure supply system has a switching control unit (36) that controls the switching mechanism to switch the connection state in order to change the holding force of the holding unit, and before the connection state is switched.
  • a notification control unit (38) for notifying the notification that the holding force is changed from the notification unit (32) is provided. As a result, the operator can be alerted by notifying in advance that the holding force will be changed.
  • the notification control unit notifies the notification unit that the holding force has changed due to the switching of the connection state. As a result, the operator can grasp that the holding force has changed by receiving the notification of the holding force change.
  • the notification control unit notifies the notification unit that the holding force is changed only when the holding force is reduced by switching the connection state. As a result, the operator can be alerted only when the holding force is reduced.
  • the operator includes an operation unit (30) for performing an operation for changing the holding force, and the switching control unit controls the switching mechanism according to an operation performed by the operator. This makes it possible to change the holding force of the holding portion by the operation of the operator.
  • the notification unit is a speaker
  • the switching control unit switches the connection state after a first predetermined time has elapsed from the operation by the operator
  • the notification control unit switches the connection state after the first predetermined time has elapsed from the operation by the operator.
  • the notification sound for notifying that the holding force is changed is output from the notification unit
  • the notification sound for notifying that the holding force has changed is output after the lapse of the first predetermined time. Output from the notification unit.
  • the notification control unit outputs the warning sound and the notification sound in different modes. This makes it easier for the operator to distinguish between the warning sound and the notification sound, and it becomes possible to more reliably grasp the progress of the holding force change.
  • the notification control unit When the first predetermined time has elapsed from the operation by the operator, the notification control unit outputs a first notification sound notifying that the holding force is being changed, and then the holding force is changed. A second notification sound is output to notify the completion. Thereby, the operator can grasp the change state of the holding force in more detail by the first notification sound and the second notification sound.
  • the notification control unit outputs the first notification sound and the second notification sound in different modes. This makes it easier for the operator to distinguish between the first notification sound and the second notification sound, and it becomes possible to more reliably grasp the transition of the change completion while the holding force is being changed.
  • the vacuum pressure supply system includes a pressure detecting unit (40) that detects the suction pressure of the holding unit, and the notification control unit changes the holding force based on the detection signal of the pressure detecting unit. Determine if it is complete. Thereby, by detecting the suction pressure of the holding portion, it is possible to more reliably determine whether or not the change of the holding force is completed.
  • the pressure adjusting mechanism has a plurality of throttle valves (22) provided in the plurality of vacuum pressure supply paths. This makes it possible to use a plurality of throttle valves to adjust the pressure in the plurality of vacuum pressure supply paths so that the holding forces for holding the object are different from each other.

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Abstract

真空圧供給システム（１０）は、真空圧を用いて物体を保持する保持部（２０）に真空源（１２）からの前記真空圧を供給するための複数の真空圧供給路（１６）と、物体を保持する保持力が互いに異なるように複数の前記真空圧供給路内の圧力を調節する圧力調節機構（１８）と、前記保持部の保持力を変更するために、前記真空源と複数の前記真空圧供給路の接続状態を切り替える切替機構（１４）と、を備える。前記切替機構は、前記真空圧供給路を１つ選択して前記真空源と接続することで、前記接続状態を切り替える。

Description

真空圧供給システム
　本発明は、真空圧供給システムに関する。
　種々の分野において、真空圧を用いて物体を保持する物体保持装置（例えば、真空チャック装置）が用いられる。例えば、工作機械において、真空チャック装置を用いて加工対象物が保持される。ここで、保持する物体の重量または強度等に対応して、物体を保持する保持力の大きさを複数設定できることが好ましい。例えば、特開２００６－２２９０２７号公報には、ウェハを保持する真空圧力を調整する流量調整弁を有するウェハ搬送装置が開示されている。
　しかしながら、流量調整弁によって真空圧力を調節するには時間を要する。この時間を短縮するには、例えば、複数の設定値に対応する複数の真空源（例えば、真空ポンプ）を用いて保持力を切り替えることが考えられる。しかし、複数の真空源を用いると装置の大型化を招くことになる。
　本発明は、複数の真空源を用いることなく保持力の切り替えが可能な真空圧供給システムを提供することを目的とする。
　一態様に係る真空圧供給システムは、真空圧を用いて物体を保持する保持部に真空源からの前記真空圧を供給するための複数の真空圧供給路と、物体を保持する保持力が互いに異なるように複数の前記真空圧供給路内の圧力を調節する圧力調節機構と、前記保持部の保持力を変更するために、前記真空源と複数の前記真空圧供給路との接続状態を切り替える切替機構と、を備える。前記切替機構は、前記真空圧供給路を１つ選択して前記真空源と接続することで、前記接続状態を切り替える。
　本発明によれば、複数の真空源を用いることなく保持力の切り替えが可能な真空圧供給システムを提供することができる。
図１は、実施形態に係る真空圧供給システムの構成を表す図である。 図２は、実施形態に係る真空圧供給システムの動作手順の一例を表す図である。 図３は、変形例１に係る真空圧供給システムの構成を表す図である。 図４は、変形例１に係る真空圧供給システムの動作手順の一例を表す図である。
　以下、実施形態に係る真空圧供給システムについて、詳細に説明する。
　図１は、実施形態に係る真空圧供給システム１０の構成を表す図である。真空圧供給システム１０は、真空源１２、切替機構１４、複数の真空圧供給路１６、圧力調節機構１８、保持部２０、操作部３０、報知部３２、および制御部３４を有する。真空圧供給システム１０の一例として、真空チャック装置が挙げられる。
　真空源１２は、例えば、真空ポンプであり、保持部２０に供給する真空圧を発生する。なお、真空圧は、大気圧より圧力が低い圧力状態（減圧状態）を意味し、完全な真空である必要はない。
　保持部２０には複数の真空圧供給路１６が接続される。複数の真空圧供給路１６は、切替機構１４を介して真空源１２に接続されている。本実施の形態では、便宜上、真空圧供給路１６の数を５つとする。切替機構１４は、保持部２０の保持力を変更するために、真空源１２と５つの真空圧供給路１６との接続状態を切り替える。切替機構１４は、例えば、５つの真空圧供給路１６のうちいずれか１つを選択して真空源１２と接続することで、真空源１２と５つの真空圧供給路１６との接続状態を切り替えることができる。これにより、真空源１２が発生した真空圧はいずれか１つの真空圧供給路１６に供給されるとともに、真空圧が供給される真空圧供給路１６を切り替えることができる。以下、真空源１２と５つの真空圧供給路１６との接続状態を単に「接続状態」と呼ぶ場合がある。
　後述のように、５つの真空圧供給路１６の圧力は互いに異なる。このため、５つの真空圧供給路１６のうち１つを選択して真空源１２と接続することで、保持部２０が物体を保持する保持力を変更できる。つまり、保持部２０の保持力（圧力）を選択した１つの真空圧供給路１６に対応する保持力（圧力）に変更できる。また、切替機構１４は、５つの真空圧供給路１６の全てを真空源１２と接続しないことでも、接続状態を切り替えることができる。この場合、保持部２０が真空源１２に実質的に接続されなくなるため、保持部２０が物体を保持する保持力がゼロになる（保持部２０の圧力と大気圧との差圧が０ｋＰａ）。このように、切替機構１４が接続状態を切り替えることによって、保持部２０の保持力を変更することができる。切替機構１４によって切り替えられる接続状態は、５つの真空圧供給路１６のいずれか１つと真空源１２との接続と、全ての真空圧供給路１６と真空源１２との非接続とで計６パターンある。
　圧力調節機構１８は、保持部２０が物体を保持する力が異なるように、真空圧供給路１６内の圧力を調節する。圧力調節機構１８は、５つの真空圧供給路１６内の圧力を調整して、互いに異ならせる。例えば、圧力調節機構１８は、５つの真空圧供給路１６内のそれぞれの圧力（大気圧との差圧）を、－７５ｋＰａ（Ｇ）、－６０ｋＰａ（Ｇ）、－４５ｋＰａ（Ｇ）、－３０ｋＰａ（Ｇ）、および、－１５ｋＰａ（Ｇ）に調整する。この差圧は、保持部２０の保持力に対応する。すなわち、差圧が小さくなるほど（差圧の絶対値が大きくなるほど）、保持部２０の保持力は強くなる。保持力と差圧は相関関係があるので、以下、保持力をこの差圧で表す場合がある。
　ここでは、圧力調節機構１８は、５つの真空圧供給路１６に設けられた５つの絞り弁２２を有する。５つの絞り弁２２を用いて、真空圧供給路１６それぞれの流量を調節することで、５つの真空圧供給路１６内の圧力を互いに異ならせることができる。なお、絞り弁２２を真空圧供給路１６に設けなくてもよい。例えば、真空圧供給路１６の内径を異ならせることによって、真空圧供給路１６の流量（真空圧供給路１６内の圧力）を異ならせてもよい。
　保持部２０は、真空源１２から真空圧供給路１６を介して供給された真空圧を使用して物体を吸引し保持する。保持部２０の一例として、真空チャック機構が挙げられる。既述のように、切替機構１４は、真空源１２と５つの真空圧供給路１６との接続状態を切り替えることで、保持部２０の保持力を変更することができる。この結果、単一の真空源１２を用いて、保持力を切り替えることが可能となる。すなわち、複数の保持力の設定値に対応する複数の真空源１２を必要としないので、設置スペースを縮小させ、装置の小型化を図ることができる。
　ここで、真空源１２と真空圧供給路１６との接続状態の切り替えから、保持部２０の保持力の変更が完了するまでにはある程度の時間（例えば、０．１～１秒）を要する。すなわち、接続状態が切り替わっても、保持部２０での吸引圧力（物体の吸引に用いられる圧力）は直ぐには切り替わらない。接続状態の切り替えによって、保持部２０の保持力（吸引圧力）が変わり始める（保持力の変更の開始）。その後、保持部２０の保持力が切り替えた後の真空圧供給路１６に対応する保持力（吸引圧力）に到達する（変更の完了）。
　操作部３０は、オペレータが保持部２０の保持力を変更するための操作を行うための入力装置であり、例えば、スイッチ、キーボード、またはタッチパネルである。オペレータは、操作部３０を用いて、保持部２０の保持力を選択する。このオペレータが選択可能な保持力の数およびその大きさは、５つの真空圧供給路１６に応じて決まる。本実施形態では、選択可能な保持力の数は６つとなる。したがって、本実施の形態では、オペレータは、［保持力：－７５ｋＰａ（Ｇ）］、［保持力：－６０ｋＰａ（Ｇ）］、［保持力：－４５ｋＰａ（Ｇ）］、［保持力：－３０ｋＰａ（Ｇ）］、［保持力：－１５ｋＰａ（Ｇ）］、および、［保持力：０ｋＰａ（Ｇ）］の中から１つを選択する。
　報知部３２は、音出力装置（例えば、スピーカ）、画像表示装置（例えば、液晶表示装置、ＥＬ表示装置）、または光出力装置（例えば、ＬＥＤ装置）であり、報知制御部３８によって制御される。報知部３２は、音、画像、または光を用いて、保持部２０の保持力がこれから変更されること（保持力の変更予告）、または接続状態の切り替えにより保持部２０の保持力が変化したこと（保持力の変化）等を報知する。
　制御部３４は、例えば、ハードウェア（プロセッサ）およびソフトウェア（プログラム）から構成され、切替制御部３６と報知制御部３８とに区分される。
　切替制御部３６は、切替機構１４を制御して、保持部２０の保持力を変更させる。切替制御部３６は、オペレータが操作部３０に対して行った操作に従って切替機構１４を制御する。オペレータが操作部３０に対して操作を行った場合、切替制御部３６は、オペレータによる操作から第１所定時間経過後に切替機構１４を制御して、真空源１２と５つの真空圧供給路１６との接続状態を切り替える。切替制御部３６は、オペレータが選択可能な複数の保持力の各々と、真空源１２と５つの真空圧供給路１６との接続状態とを対応付けて記憶したテーブル３６ａを有する。つまり、このテーブル３６ａは、オペレータが選択可能な複数の保持力の各々と、複数の保持力の各々を実現するために選択されるべき真空圧供給路１６とを対応付けたものである。切替制御部３６は、テーブル３６ａを参照して切替機構１４を制御する。
　報知制御部３８は、真空源１２と５つの真空圧供給路１６との接続状態が切り替わる前に、保持部２０の保持力がこれから変更されることを報知部３２から報知させる（保持力変更の予告）。保持部２０の保持力が弱くなると、保持部２０は、適切に物体を保持することが困難となる場合がある。このため、真空源１２と５つの真空圧供給路１６との接続状態が切り替わる前に、保持力がこれから変更されることを報知することで、オペレータに注意喚起を行うことができる。
　報知制御部３８は、接続状態の切り替えにより保持部２０の保持力が変化したことを報知部３２から報知させる（保持力変化の通知）。オペレータは保持力変化の通知を受けることで、保持力が変化したことを把握することができる。なお、保持部２０の保持力が変化したこととは、保持力が変更中であること、または保持力の変更が完了したことを意味する。
　報知制御部３８は、次のように、保持部２０の保持力の変更の予告および変化の通知を行うことができる。この場合、報知部３２は、例えば、スピーカである。すなわち、オペレータによる操作から第１所定時間が経過するまでに（切替制御部３６が接続状態を切り替えるまでに）、報知制御部３８は、保持部２０の保持力がこれから変更されることを予告する予告音を報知部３２から出力させる。この第１所定時間の経過後に、報知制御部３８は、保持部２０の保持力が変化したことを通知する通知音を報知部３２から出力させる。これにより、オペレータは、予告音、および通知音によって、保持力の変更の進行状況を把握することができる。
　報知制御部３８は、この通知音を第１の通知音および第２の通知音に区分して、報知部３２から出力させてもよい。すなわち、報知制御部３８は、オペレータによる操作から第１所定時間が経過すると、保持力が変更中であることを知らせる第１の通知音を出力させる。その後、報知制御部３８は、オペレータによって選択（指定）された保持力への変更が完了したことを知らせる第２の通知音を出力させる。これにより、オペレータは、第１の通知音および第２の通知音によって、より詳細に保持力の変化状況を把握することができる。
　この場合、報知制御部３８は、予告音と通知音の態様を異ならせて報知部３２から出力させる。また、報知制御部３８は、第１の通知音および第２の通知音の態様を異ならせて出力させる。この音の態様は、音の大きさ（音量）、音の高さ（音程）、音のパターン、音の間隔のいずれか、またはこれらの組み合わせを意味する。例えば、予告音に断続的な音（一例として、「ピピピ、ピピピ、ピピピ、…」）を用い、通知音に連続的な音（一例として、「ピー」）を用いることができる。さらに、この通知音「ピー」の音量または音程を途中で異ならせることで、通知音を第１の通知音（変更中）および第２の通知音（変更の完了）に区分することができる。
　報知制御部３８は、時間の経過とともに予告音の音量を大きくする音量処理、時間の経過とともに予告音の音程を高くする音程処理、および、時間の経過とともに予告音の報知間隔を短くする間隔処理のうち、少なくともいずれかを行ってもよい。これにより、オペレータは接続状態の切り替え（保持力の変化の開始）のタイミングが近づいていることを認識することができる。
　報知制御部３８は、次のようにして、保持力の変更が完了したと判断することができる。すなわち、オペレータによる操作から第１所定時間が経過してから、さらに第２所定時間が経過すると、報知制御部３８は、保持力の変更が完了したと判断する。第２所定時間は、接続状態の切り替えから保持力の変更が完了するまでの所要時間に対応する。一般に、真空圧供給システム１０のサイズ等が決まれば、この所要時間も概ね決まってくる。すなわち、第２所定時間は一定値とすることができる。但し、変更前の保持力（真空圧供給路１６の圧力）と変更後の（選択された）保持力（真空圧供給路１６の圧力）との差に応じて、変更完了までの所要時間も変化する。このため、報知制御部３８は、テーブル（図示せず）を用いて、選択された保持力（真空圧供給路１６）に応じて、第２所定時間の長さを切り替えてもよい。このテーブルは、例えば、変更前の保持力（真空圧供給路１６）と、変更後の保持力（真空圧供給路１６）と、第２所定時間と、の対応関係を表す。なお、このテーブルは、テーブル３６ａに含まれてもよい。
　図２は、実施形態に係る真空圧供給システム１０の動作手順の一例を表す図である。オペレータが、操作部３０に対して保持部２０の保持力を変更するための操作を行うと（ステップＳ１でＹＥＳ）、報知制御部３８は、保持部２０の保持力が変更されることを予告する予告音を報知部３２（ここでは、スピーカ）から出力させる（ステップＳ２）。
　オペレータによる操作から第１所定時間の経過後に（ステップＳ３でＹＥＳ）、切替制御部３６は切替機構１４を制御して、真空源１２と５つの真空圧供給路１６との接続状態を切り替える（ステップＳ４）。一方で、オペレータによる操作から第１所定時間が経過していない場合は（ステップＳ３でＮＯ）、報知制御部３８は、第１所定時間が経過するまでステップＳ３に留まる。この時間の経過は、例えば、オペレータの操作時にタイマによる計時を開始することで、計測できる。なお、報知制御部３８は、ステップＳ３でＮＯと判断した場合は、報知制御部３８は、ステップＳ２に戻ってもよい。これにより、第１所定時間が経過するまで予告音が継続的に報知される。
　報知制御部３８は、オペレータによる操作から第１所定時間の経過後に、報知制御部３８は、保持部２０の保持力が変更中であることを通知する第１の通知音を報知部３２から出力させる（ステップＳ５）。この第１の通知音は、真空圧供給路１６の切り替え時またはその直後に、報知部３２から出力されることが好ましい。さらに、第１所定時間が経過してから、さらに第２所定時間が経過した後に（ステップＳ６でＹＥＳ）、報知制御部３８は、保持部２０の保持力の変更が完了したことを通知する第２の通知音を報知部３２から出力させる（ステップＳ７）。一方、真空源１２と５つの真空圧供給路１６との接続状態を切り替えてから第２所定時間が経過していない場合は（ステップＳ６でＮＯ）、報知制御部３８は、第２所定時間が経過するまでステップＳ６に留まる。これにより、オペレータは、第１の通知音および第２の通知音によって、保持力の変化状況を把握することができる。なお、報知制御部３８は、ステップＳ６でＮＯと判断した場合は、報知制御部３８は、ステップＳ５に戻ってもよい。これにより、第２所定時間経過するまで第１の通知音が継続的に報知される。
　以上のように、本実施形態では、真空源１２と複数の真空圧供給路１６との接続状態を切り替えることで、切替機構１４は、複数の真空源を用いることなく、保持部２０の保持力を変更することができる。また、この切り替えの前に報知制御部３８は、予告音を出力させ、切り替えによる保持力の変更中および変更の完了後に報知制御部３８は、第１の通知音および第２の通知音を出力させる。これにより、オペレータが保持力の変化状況を把握することができる。
（変形例１）
　実施形態では、報知制御部３８は、第２所定時間の経過に基づいて、保持力の変更の完了を判断していたが、別の手法により、保持力の変更の完了を判断してもよい。
　図３は、変形例１に係る真空圧供給システム１０の構成を表す図である。上記実施の形態と同一の構成要素については同一の符号を付し、異なる部分だけを説明する。この真空圧供給システム１０は、圧力検知部４０を備える。圧力検知部４０は、保持部２０に設けられ、保持部２０の吸引圧力を検知する。報知制御部３８は、圧力検知部４０からの検出信号に基づいて、保持力の変更が完了したか否かを判断する。既述のように、検出信号が示す保持部２０の吸引圧力は、保持力に対応し、保持力と共に変化する。検知された吸引圧力（保持力）が選択した吸引圧力（保持力）に到達したか否かに基づいて、保持力の変更完了を判断できる。報知制御部３８は、保持力の変更が完了したと判断した場合、報知制御部３８は、保持力の変更が完了したことを知らせる第２の通知音を報知部３２から出力させる。
　図４は、変形例１に係る真空圧供給システム１０の動作手順の一例を表す図である。ここで、ステップＳ１～Ｓ５は実施形態のステップＳ１～Ｓ５と同様なので、ステップＳ５以降を説明する。報知制御部３８は、第１の通知音を報知部３２から出力させた（ステップＳ５）後、報知制御部３８は、保持力の変更が完了したか否かを判断する（ステップＳ１６）。報知制御部３８は、保持力の変更が完了したと判断した場合（ステップＳ１６でＹＥＳ）、報知制御部３８は、第２の通知音を報知部３２から出力させる（ステップＳ７）。一方、報知制御部３８は、保持力の変更が完了していないと判断した場合は（ステップＳ１６でＮＯ）、保持力の変更が完了したと判断するまで、報知制御部３８は、ステップＳ１６に留まる。これにより、オペレータは、第１の通知音および第２の通知音によって、保持力の変化状況を把握することができる。なお、報知制御部３８は、ステップＳ１６でＮＯと判断した場合は、報知制御部３８は、ステップＳ５に戻ってもよい。これにより、保持力の変更が完了するまで第１の通知音が継続的に報知される。
　以上の点を除き、変形例１は、実施形態と同様なので、詳細な説明を省略する。
（変形例２）
　実施形態において、報知制御部３８は、接続状態が切り替わる前に、保持力が変更されることを報知部３２から報知させている。ここで、接続状態が切り替わることで保持部２０の保持力が低下する場合にのみ、報知を行い、保持力が増加する場合には報知を行わないこととしてもよい。これにより、保持力が低下する場合にのみ（一例として、保持力がゼロとなる場合にのみ）、オペレータに注意喚起を行うことができる。
　ここで、接続状態が切り替わることで保持力が増加する場合、報知制御部３８は、予告音、第１の通知音、および第２の通知音の全てを出力させないことも可能である。しかし、接続状態が切り替わることで保持力が増加する場合であっても、報知制御部３８は、予告音、第１の通知音、および第２の通知音の少なくとも１つ（例えば、保持力の変更完了を表す第２の通知音のみ）を出力させてもよい。
　また、接続状態が切り替わることで保持力が増加する場合、切替制御部３６は、オペレータによる操作からの第１所定時間の経過を待たず、オペレータによる操作の直後に切替機構１４を制御して、保持部２０の保持力を変更させてもよい。これにより、真空圧供給システム１０の動作が迅速となる。この場合は、予告音は通知されない。
　以上の点を除き、変形例２は、実施形態と同様なので、詳細な説明を省略する。
（変形例３）
　実施形態では、切替制御部３６は、オペレータの操作に基づいて、保持力を切り替えていたが、切替制御部３６は、オペレータの操作によらず、プログラムに基づいて、切替機構１４を制御し、保持力を変更してもよい。この場合、図２および図４に示す動作手順において、ステップＳ１が除かれる。すなわち、報知制御部３８は、この切り替え（ステップＳ４）の前に予告音を出力させる（ステップＳ２）。切替制御部３６は、予告音の出力開始から第１所定時間の経過後に（ステップＳ３でＹＥＳ）、真空源１２と複数の真空圧供給路１６との接続状態を切り替える（ステップＳ４）。
　予告音の出力開始から第１所定時間の経過後（真空圧供給路１６の切り替え時またはその直後）に、報知制御部３８は、第１の通知音を報知部３２から出力させる（ステップＳ５）。その後、実施形態（図２）の場合、第１所定時間が経過してから、さらに第２所定時間が経過した後に（ステップＳ６でＹＥＳ）、報知制御部３８は、第２の通知音を出力させる（ステップＳ７）。なお、変形例１（図４）の場合、報知制御部３８は、時間の経過に依らず、保持力の変更が完了したと判断した場合（ステップＳ１６でＹＥＳ）、第２の通知音を出力させる（ステップＳ７）。このように、予告音の出力開始を起点として、報知制御部３８は接続状態を切り替え、報知制御部３８は、第１の通知音（および第２の通知音）を出力させる。
　以上の点を除き、変形例３は、実施形態と同様なので、詳細な説明を省略する。
（変形例４）
　実施形態では、切替制御部３６は、複数の真空圧供給路１６のいずれも、真空源１２に接続しないことによって、保持部２０の保持力をゼロとしていたが、切替制御部３６は、選択した真空圧供給路１６を真空源１２に接続することによって、保持力をゼロとしてもよい。すなわち、特定の真空圧供給路１６の絞り弁２２を閉じておき、切替制御部３６は、この真空圧供給路１６を真空源１２に接続する。このようにすることで、複数の真空圧供給路１６全てを非接続とすることなく、保持力をゼロとすることができる。
　以上の点を除き、変形例４は、実施形態と同様なので、詳細な説明を省略する。
　以上の実施形態および変形例１～４は、適宜に組み合わせることができる。すなわち、変形例１～４の構成の全てまたは一部を実施形態に適用できる。
　〔実施形態から得られる発明〕
　上記各実施形態および変形例１～４から把握しうる発明について、以下に記載する。
〔１〕本発明に係る真空圧供給システム（１０）は、真空圧を用いて物体を保持する保持部（２０）に真空源（１２）からの前記真空圧を供給するための複数の真空圧供給路（１６）と、物体を保持する保持力が互いに異なるように複数の前記真空圧供給路内の圧力を調節する圧力調節機構（１８）と、前記保持部の保持力を変更するために、前記真空源と複数の前記真空圧供給路との接続状態を切り替える切替機構（１４）と、を備える。前記切替機構は、前記真空圧供給路を１つ選択して前記真空源と接続することで、前記接続状態を切り替える。これにより、真空源と複数の真空圧供給路との接続状態を切り替えることで、保持部の保持力を変更できる。すなわち、複数の真空源を用いなくても保持力の変更が可能となる。
〔２〕前記切替機構は、複数の前記真空圧供給路が前記真空源と接続しないように、前記接続状態を切り替える。これにより、複数の真空圧供給路が真空源と接続しないことで、保持部の保持力をゼロにすることができる。
〔３〕真空圧供給システムは、前記保持部の保持力を変更するために、前記切替機構を制御して、前記接続状態を切り替える切替制御部（３６）と、前記接続状態が切り替わる前に、前記保持力が変更されることを報知部（３２）から報知させる報知制御部（３８）と、を備える。これにより、保持力が変更されることを事前に報知することで、オペレータに注意喚起を行うことができる。
〔４〕前記報知制御部は、前記接続状態の切り替えにより前記保持力が変化したことを前記報知部から報知させる。これにより、オペレータは保持力変化の通知を受けることで、保持力が変化したことを把握することができる。
〔５〕前記報知制御部は、前記接続状態が切り替わることで前記保持力が低下する場合のみ、前記保持力が変更されることを前記報知部から報知させる。これにより、保持力が低下する場合にのみ、オペレータに注意喚起を行うことができる。
〔６〕オペレータが前記保持力を変更するための操作を行う操作部（３０）を備え、前記切替制御部は、オペレータが行った操作に従って前記切替機構を制御する。これにより、オペレータの操作により、保持部の保持力を変更することが可能となる。
〔７〕前記報知部は、スピーカであり、前記切替制御部は、オペレータによる操作から第１所定時間の経過後に前記接続状態を切り替え、前記報知制御部は、オペレータによる操作から前記第１所定時間が経過するまでに、前記保持力が変更されることを予告する予告音を前記報知部から出力させ、前記第１所定時間の経過後に、前記保持力が変化したことを通知する通知音を前記報知部から出力させる。これにより、オペレータは、予告音、通知音によって、保持部の保持力の変化状況を把握することができる。
〔８〕前記報知制御部は、前記予告音と前記通知音の態様を異ならせて出力させる。これにより、オペレータによる予告音と通知音の識別が容易となり、保持力変更の進行状況をより確実に把握可能となる。
〔９〕前記報知制御部は、オペレータによる操作から前記第１所定時間が経過すると、前記保持力が変更中であることを知らせる第１の通知音を出力させ、その後、前記保持力の変更が完了したことを知らせる第２の通知音を出力させる。これにより、オペレータは、第１の通知音および第２の通知音によって、より詳細に保持力の変化状況を把握することができる。
〔１０〕前記報知制御部は、前記第１の通知音と前記第２の通知音の態様を異ならせて出力させる。これにより、オペレータによる第１の通知音と第２の通知音の識別が容易となり、保持力の変更中、変更完了の推移をより確実に把握可能となる。
〔１１〕前記報知制御部は、オペレータによる操作から前記第１所定時間が経過してから、さらに第２所定時間が経過すると、前記保持力の変更が完了したと判断する。これにより、保持部の吸引圧力を検知しなくても、保持力の変更が完了したと判断できる。
〔１２〕真空圧供給システムは、前記保持部の吸引圧力を検知する圧力検知部（４０）を備え、前記報知制御部は、前記圧力検知部の検出信号に基づいて、前記保持力の変更が完了したか否かを判断する。これにより、保持部の吸引圧力を検知することで、保持力の変更が完了したか否かをより確実に判断できる。
〔１３〕前記圧力調節機構は、複数の前記真空圧供給路に設けられた複数の絞り弁（２２）を有する。これにより、複数の絞り弁を用いて、物体を保持する保持力が互いに異なるように複数の真空圧供給路内の圧力を調節することが可能となる。

Claims (13)

  1. 　真空圧を用いて物体を保持する保持部（２０）に真空源（１２）からの前記真空圧を供給するための複数の真空圧供給路（１６）と、
    　物体を保持する保持力が互いに異なるように複数の前記真空圧供給路内の圧力を調節する圧力調節機構（１８）と、
    　前記保持部の保持力を変更するために、前記真空源と複数の前記真空圧供給路との接続状態を切り替える切替機構（１４）と、
    　を備え、
    　前記切替機構は、前記真空圧供給路を１つ選択して前記真空源と接続することで、前記接続状態を切り替える、真空圧供給システム（１０）。
  2. 　請求項１に記載の真空圧供給システムであって、
    　前記切替機構は、複数の前記真空圧供給路が前記真空源と接続しないように、前記接続状態を切り替える、真空圧供給システム。
  3. 　請求項１または２に記載の真空圧供給システムであって、
    　前記保持部の保持力を変更するために、前記切替機構を制御して、前記接続状態を切り替える切替制御部（３６）と、
    　前記接続状態が切り替わる前に、前記保持力が変更されることを報知部（３２）から報知させる報知制御部（３８）と、
    　を備える、真空圧供給システム。
  4. 　請求項３に記載の真空圧供給システムであって、
    　前記報知制御部は、前記接続状態の切り替えにより前記保持力が変化したことを前記報知部から報知させる、真空圧供給システム。
  5. 　請求項３または４に記載の真空圧供給システムであって、
    　前記報知制御部は、前記接続状態が切り替わることで前記保持力が低下する場合のみ、前記保持力が変更されることを前記報知部から報知させる、真空圧供給システム。
  6. 　請求項３～５のいずれか１項に記載の真空圧供給システムであって、
    　オペレータが前記保持力を変更するための操作を行う操作部（３０）を備え、
    　前記切替制御部は、オペレータが行った操作に従って前記切替機構を制御する、真空圧供給システム。
  7. 　請求項６に記載の真空圧供給システムであって、
    　前記報知部は、スピーカであり、
    　前記切替制御部は、オペレータによる操作から第１所定時間の経過後に前記接続状態を切り替え、
    　前記報知制御部は、オペレータによる操作から前記第１所定時間が経過するまでに、前記保持力が変更されることを予告する予告音を前記報知部から出力させ、前記第１所定時間の経過後に、前記保持力が変化したことを通知する通知音を前記報知部から出力させる、真空圧供給システム。
  8. 　請求項７に記載の真空圧供給システムであって、
    　前記報知制御部は、前記予告音と前記通知音の態様を異ならせて出力させる、真空圧供給システム。
  9. 　請求項７または８に記載の真空圧供給システムであって、
    　前記報知制御部は、オペレータによる操作から前記第１所定時間が経過すると、前記保持力が変更中であることを知らせる第１の通知音を出力させ、その後、前記保持力の変更が完了したことを知らせる第２の通知音を出力させる、真空圧供給システム。
  10. 　請求項９に記載の真空圧供給システムであって、
    　前記報知制御部は、前記第１の通知音と前記第２の通知音の態様を異ならせて出力させる、真空圧供給システム。
  11. 　請求項９または１０に記載の真空圧供給システムであって、
    　前記報知制御部は、オペレータによる操作から前記第１所定時間が経過してから、さらに第２所定時間が経過すると、前記保持力の変更が完了したと判断する、真空圧供給システム。
  12. 　請求項９または１０に記載の真空圧供給システムであって、
    　前記保持部の吸引圧力を検知する圧力検知部（４０）を備え、
    　前記報知制御部は、前記圧力検知部の検出信号に基づいて、前記保持力の変更が完了したか否かを判断する、真空圧供給システム。
  13. 　請求項１～１２のいずれか１項に記載の真空圧供給システムであって、
    　前記圧力調節機構は、複数の前記真空圧供給路に設けられた複数の絞り弁（２２）を有する、真空圧供給システム。
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