JP2011163451A - 真空度切替方法 - Google Patents

Abstract

【課題】真空度付与装置において高い真空度から低い真空度への切替を速やかに行うことを可能とする真空度切替方法を提供する。
【解決手段】ワークＷを吸着または離脱させる吸引チャック７に接続されている流路部分８を高い真空度の第１の負圧にある状態から相対的に低い真空度に低圧化するに際し、第２の負圧制御装置４に流路部分８を接続した直後に、オン・オフをわずかな期間オフ状態として、流路部分８に外気を導入し、次に、オン・オフバルブ６をオン状態として、第２の負圧制御装置４から吸引チャック７に至る流路部分の低圧化を果し、しかる後、オン・オフバルブ６をオフ状態としてワークＷを離脱させる、真空度切替方法。
【選択図】図３

Description

本発明は、真空度付与装置における真空度切替方法に関する。

従来、電子部品チップなどの様々なワークを搬送するのに、真空度付与装置による真空吸引を利用した吸脱着装置が広く用いられている。

例えば、下記の特許文献１には、図４に示す吸脱着装置が開示されている。

図４は、特許文献１に記載のワーク吸脱着装置を示す概略構成図である。

ワーク吸脱着装置１０１は、真空源１０２を有する。真空源１０２に、操作用電磁弁１０３が接続されている。より具体例には、操作用電磁弁１０３は、第１の流路１０４と、第２の流路１０５とを有する。

操作用電磁弁１０３は、図４の横方向に移動されるように構成されている。図４では、第１の流路１０４が、通気管１０６により真空源１０２に接続されている。また、真空源１０２と、操作用電磁弁１０３とは、通気管１０７によっても接続されている。通気管１０７中には、負圧調整弁１０８が設けられている。負圧調整弁１０８により、通気管１０７の操作用電磁弁１０３側における負圧は、通気管１０６の負圧よりも真空度が低くされている。

また、通気管１０９により、操作用電磁弁１０３が、パッド制御弁１１０に接続されている。パッド制御弁１１０が、吸着パッド１１１に接続されている。パッド制御弁１１０は、通気管１０９と、吸着パッド１１１を接続した状態、すなわち吸着パッド１１１に負圧を与えてワーク１１２を吸着する状態と、外気に連通され、ワーク１１２を吸着パッド１１１から離脱される状態との間で切り替えられるように構成されている。

操作用電磁弁１０３は、図４に示す状態では、通気管１０６と通気管１０９とを接続し、高い真空度を通気管１０９に与えている。それによって、上記パッド制御弁１１０が吸着パッド１１１に負圧を与える状態とされており、ワーク１１２が吸着パッド１１１により吸着されている。

ワーク１１２を離脱させる場合には、図４に示す状態から操作用電磁弁１０３を切り替える。その結果、通気管１０７と通気管１０９とが第２の流路１０５により連通される。この場合には、通気管１０９内の圧力は、相対的に低い真空度となる。この状態において、パッド制御弁１１０を外気に連通させ、ワーク１１２をワーク吸着パッド１１１から離脱させる。

従来は、第２の流路１０５のポートを大気に連通させ、通気管１０９内を大気圧とし、ワーク１１２を脱離させていた。しかしながら、第２の流路１０５から導入される外気の導入速度が比較的低いので、通気管１０９が長い場合には、ワーク１１２を速やかに離脱させることができなかった。これに対して、特許文献１に記載のワーク吸脱着装置１０１では、ワーク吸着パッド１１１に該部分に設けられたパッド制御弁１１０を外気と連通させることにより、ワーク１１２を速やかに脱離させることが可能とされている。

特開平２−２５０７８７号公報

ワーク吸脱着装置１０１は、ワーク１１２を吸着している高真空状態の流路を低真空度に切り替えるのに、上記操作用電磁弁１０３と、負圧調整弁１０８とを用いている。さらにワーク１１２を速やかに離脱させるために、通気管路１０９を低真空度とした後に、パッド制御弁１１０を外気と連通させている。なお、負圧調整弁１０８を設け、通気管１０９からワーク吸着パッド１１１に至る流路部分を予め低真空度に切り替える操作が必要であるのは以下の理由による。

すなわち、パッド制御弁１１０を外気と連通させたとしても、パッド制御弁１１０に設けられる外気導入口が比較的小さく、真空源１０２からの吸引力により、ワーク吸着パッド１１１における負圧を速やかになくすことができないからである。

ワーク吸脱着装置１０１では、上記構成により、ワークの吸脱着が速やかに行われる。しかしながら、通気管１０９内をワーク吸着状態である高真空状態から低真空状態に切り替え、さらにパッド制御弁１１０を外気に連通させる工程に、依然としてかなりの時間を必要としていた。

本発明の目的は、上述した従来技術の欠点を解消し、高真空状態から低真空度に流路を切り替えた後に、例えば吸引チャックのような吸引部材における真空度を低真空度に速やかに移行させることを可能とする真空度切替方法を提供することにある。

本発明に係る真空度切替方法は、以下のワーク吸脱着装置を用いて行われる。すなわち、ワーク吸脱着装置は、真空源と、前記真空源に接続されており、相対的に高真空の第１の負圧を与える第１の負圧制御装置と、前記真空源に接続されており、前記第１の負圧制御装置よりも低真空の第２の負圧を与え、かつ外気導入口を有する第２の負圧制御装置と、前記第１の負圧制御装置または前記第２の負圧制御装置に接続される第１及び第２のポートと、第３のポートとを有し、前記第１のポートと前記第３のポートとを接続している第１の接続状態と、前記第２のポートと前記第３のポートとを接続している第２の接続状態との間で切り替えられる流路切替バルブと、吸引部材と、前記流路切替バルブの前記第３のポートに接続されているオンポートと、外気導入口であるオフポートと、前記吸引部材に接続されている第４のポートとを有し、前記オンポートと前記第４のポートとが接続されているオン状態と、前記オフポートと前記第４のポートとが接続されるオフ状態との間で切り替えられるオン・オフバルブと、前記第４のポートと前記吸引部材とを接続している流路を構成する流路構成部材とを備える。

本発明の真空度切替方法は、前記流路切替バルブを前記第１の接続状態とし、前記オン・オフバルブをオン状態として、前記第１の負圧を前記吸引部材に与える工程と、前記流路切替バルブを第２の接続状態にして、前記吸引部材を前記第２の負圧制御装置に接続して前記第２の負圧制御装置から前記吸引部材までの流路部分の負圧の絶対値を低くする低圧化工程と、前記低圧化工程の後に、前記オン・オフバルブをオン状態として前記オフポートから前記吸引部材までの流路部分を外気圧以上にする工程とを有する真空度切替方法において、前記低圧化工程において、前記吸引部材を前記第２の負圧制御装置に接続した後に、前記オン・オフバルブをオフ状態として、前記オフポートと前記吸引部材とを結ぶ流路に前記オフポートから外気を導入した後に、前記オン・オフバルブをオン状態とし、前記オンポートを前記切替バルブの第３のポートを介して前記第２の負圧制御装置に再度接続することを特徴とする。

なお、本明細書において、上記低圧化とは、高い真空度から低い真空度に圧力を変化させることをいうものとする。言い換えれば、負圧の絶対値が大きい状態から負圧の絶対値が小さい状態に圧力を変化させることを、低圧化という。

本発明に係る真空度切替方法のある特定の局面では、前記第１の負圧と前記第２の負圧との差が、前記第２の負圧と外気圧との差よりも大きい。

本発明に係る真空度切替方法のさらに他の特定の局面では、前記低圧化工程において、前記オン・オフバルブをオフ状態として、前記オン・オフバルブと前記吸引部材との間の流路部分を低圧化するに際し、前記オン・オフバルブのオフポートから外気を導入し、該流路部分内の圧力を前記第１の負圧よりも低真空の負圧とする。

本発明に係る真空度切替方法のさらに別の特定の局面では、前記低圧化工程において、前記オン・オフバルブをオフ状態として、前記オン・オフバルブを前記吸引部材との間の流路を低圧化するに際し、該流路部分の圧力を前記第２の真空度または該第２の真空度よりも高真空の負圧とする。

本発明に係る真空度切替方法では、オン・オフバルブをオフ状態としてオン・オフバルブと吸引部材との間の流路部分を低圧化した後に、オン・オフバルブのオンポートを第２の負圧制御装置に接続するオン状態とする工程がさらに備えられているので、第２の負圧制御装置から吸引部材までの流路部分を速やかに低真空度状態とすることができる。従って、オン・オフバルブを再度オフ状態とすることにより、ワークを速やかに離脱させることができる。

よって、本発明によれば、電子部品などのワークの吸脱着動作速度を高めることができ、工程の短縮を図ることが可能となる。

本発明の真空度切替方法に用いられるワーク吸脱着装置の概略構成図である。 （ａ）〜（ｄ）は、本発明の一実施形態の真空度切替方法を説明するための各概略構成図である。 （ａ）〜（ｄ）は、本発明の一実施形態の真空度切替方法の各工程を説明するための概略構成図である。 従来のワーク吸脱着装置の一例を説明するための概略構成図である。 （ａ）〜（ｄ）は、従来のワーク吸脱着装置における真空度切替方法を説明するための概略構成図である。 （ａ）〜（ｃ）は、従来のワーク吸脱着装置における真空度切替方法を説明するための概略構成図である。

以下、図面を参照しつつ、本発明の具体例な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。

以下の実施形態では、電子部品などのワークを吸脱着する装置に適用した例を説明することとする。もっとも、本発明は、ワークの吸脱着に限らず、様々な吸引部材に真空度を付与する真空度付与装置における真空度切替方法に一般的に適用することができるものである。従って、真空度が与えられる吸引部材は、以下の実施形態の吸引チャックに限定されるものではない。

図１は、本発明の一実施形態で用いられるワーク吸脱着装置の概略構成図である。ワーク吸脱着装置１は、真空源２を有する。真空源２としては、真空ポンプなどの公知の減圧装置を用いることができる。

真空源２に、第１の負圧制御装置３及び第２の負圧制御装置４が接続されている。第１の負圧制御装置３は、第１の負圧制御装置３よりも後段の流路部分の真空度を相対的に高い真空度である第１の負圧に設定する。本実施例では、第１の負圧として−５０ｋＰａの真空度を後段の流路部分に与える。

他方、第２の負圧制御装置４は、第１の負圧制御装置３よりも低い真空度である第２の負圧を実現する。本実施形態では、第２の負圧制御装置４は、−１０ｋＰａの真空度を第２の負圧制御装置４よりも後段の流路部分に与える。

第１，第２の負圧制御装置３，４は、周知の圧力制御弁等によって構成することができる。この場合、第２の負圧制御装置４には、負圧を調整するために外気を導入するための外気導入口が設けられている。

第１，第２の負圧制御装置３，４の後段には、切替バルブ５が接続されている。切替バルブ５は、第１のポート５ａ、第２のポート５ｂ及び第３のポート５ｃを有する。第１のポート５ａ及び第２のポート５ｂが、それぞれ、第１，第２の負圧制御装置３，４に接続されている。第３のポート５ｃは、次段のオン・オフバルブ６の後述のオンポート６ａに接続されている。

切替バルブ５は、吸引流路を切り替えるために設けられている。図１では、第１のポート５ａと第３のポート５ｃとが接続されている状態が略図的に示されている。この接続状態を第１の接続状態とする。

切替バルブ５では、切替により、第２のポート５ｂと、第３のポート５ｃとが接続されている第２の接続状態とすることができる。

このような切替バルブは、特許文献１に記載の電磁弁等を用いた周知の流路切替装置により構成することができる。

切替バルブ５の後段には、前述したオン・オフバルブが配置されている。オン・オフバルブは、オンポート６ａと、オフポートと６ｂと、第４のポート６ｃとを有する。オン・オフバルブ６のオンポート６ａが、切替バルブ５の第３のポート５ｃに接続されている。オフポート６ｂは、外気に連通されている。

オン・オフバルブ６は、切替バルブ５と同様に、流路を切り替えるように動作される。すなわち、図１では、実線で示すように、オンポート６ａと第４のポート６ｃとが接続されている状態とされている。この状態をオン状態とする。また、オン・オフバルブにおいては、流路を切り替えることにより、図１の破線で示す接続状態とすることができる。この接続状態では、オフポート６ｂと、第４のポート６ｃとが接続される。この接続状態をオフ状態とする。

オン・オフバルブ６は、切替バルブ５と同様に、電磁弁を用いた周知の流路切替装置により構成することができる。

オン・オフバルブ６は、特許文献１に記載のパッド制御弁１１０と同様に、吸引チャック７の近傍に設けられることが望ましい。吸引チャック７は、周知の吸着パッド等により構成される。吸引チャック７は、第４のポート６ｃに接続されている。第４のポート６ｃから負圧が与えられると、吸引チャック７は、ワークを吸着し、保持する。第４のポート６ｃが常圧にされると、あるいは加圧されると、吸引チャック７は、ワークを離脱させる。

ワーク吸脱着装置１では、上記のように、吸引チャック７に負圧を与えてワークを吸着保持し、吸引チャック７に外気圧を与え、あるいは加圧することにより、ワークを離脱させることができる。この場合、ワークを吸着保持する状態では、吸引チャック７に第１の負圧制御装置３から与えられる高真空度の負圧が与えられる。他方、ワークを離脱させる場合には、吸引チャック７に外気圧または外気圧よりも高い圧力を与えねばならない。この真空度切替方法が本発明の実施形態であり、図２（ａ）〜（ｄ）及び図３（ａ）〜（ｄ）を参照して、詳述する。

本実施形態の真空度切替方法の説明に先立ち、ワーク吸脱着装置を用いた従来の真空度切替方法の問題点を図５（ａ）〜（ｄ）及び図６（ａ）〜（ｃ）を参照して明らかにする。

ここでは、説明のために、ワーク吸脱着装置１を用いて従来の真空度切替方法の問題点を説明することとする。

図５（ａ）に示すように、初期状態では、切替バルブ５を第１の接続状態とし、オン・オフバルブ６をオフ状態とする。この状態では、第１の負圧制御装置３からオン・オフバルブ６のオンポートに至る部分が上記第１の負圧に維持される。

次に、図５（ｂ）に示すように、オン・オフバルブ６をオン状態とする。その結果、オンポート６ａが第４のポート６ｃに接続され、吸引チャック７に第１の負圧が与えられる。その結果、図５（ｂ）の一点鎖線Ａで囲む流路部分が第１の負圧に維持される。すなわち、第１の負圧制御装置３から、吸引チャック７に至る流路部分が第１の負圧に維持される。以下、第１の負圧で維持される流路部分を一点鎖線Ａで囲んで示すこととする。従って、図５（ｃ）に示すように、ワークＷが吸引チャック７に吸着され、保持される。

次に、ワークＷの離脱工程を示す。まず、図５（ｄ）に示すように、切替バルブ５を第２の接続状態とする。その結果、第２のポート５ｂと、第３のポート５ｃとが接続される。第２の負圧制御装置４では、前述したように、空気導入口から空気を導入することにより、第２の負圧である−１０ｋＰａを後段の流路部分に与える。従って、図５（ｄ）の一点鎖線Ａ１で示す部分が、前述した第１の負圧とされているが、数秒すると、第２の負圧制御装置４から吸引チャック７に至る流路部分が第２の負圧に維持されことになる。この第２の負圧に維持される部分を、図６（ａ）において破線Ｂで示す。破線Ｂで囲まれている部分が、第２の負圧に維持されている部分である。このようにして、オン・オフバルブ６と吸引チャック７との間の流路部分を第２の負圧状態にし、低圧化を図る。

上記低圧化を図った後に、図６（ｂ）に示すように、オン・オフバルブ６をオフ状態とする。その結果、オフポート６ｂと、第４のポート６ｃが接続され、オフポート６ｂから矢印Ｙで示すように外気が流入する。そのため、図６（ｃ）に示すように、吸引チャック７に外気圧が与えられ、ワークＷを離脱させることができる。

図５及び図６は、特許文献１に記載の真空度切替方法を模式的に示した図である。上記説明から明らかなように、ワークＷを吸着保持するに際しては、吸引チャック７に第１の負圧を与えねばならない。他方、ワークＷを離脱させる場合には、吸引チャック７に外気圧を与えねばならない。

図５（ｃ）に示した吸着保持状態から、オン・オフバルブ６をオフ状態にすれば、オフポート６ｂから外気を導入し、吸引チャック７に外気圧を与えることができるとも考えられる。

しかしながら、オフポート６ｂの開口径は小さく、吸引チャック７を常圧に戻すのに長時間を要する。オフポート６ｂの開口径を大きくすれば、この時間を短縮することができるが、吸引チャック７の近くにそのような大きな開口径及び外気導入路を有するオン・オフバルブを設けることはできない。従って、上記のように、図５（ｄ）及び図６（ａ）に示した低圧化工程を実施し、先ず、オン・オフバルブ６と吸引チャック７との間の流路部分を第２の負圧状態としている。しかる後、第２の負圧状態から、オン・オフバルブをオフ状態として、吸引チャック７に常圧を与えている。

しかしながら、上記真空度切替方法では、図５（ａ）の状態から、図６（ａ）に示すように、吸引チャック７に第２の負圧を与える低圧化工程に２秒〜５秒といった比較的長い時間を必要としていた。

すなわち、第１の負圧制御装置３及び第２の負圧制御装置４では、外気導入口が設けられており、外気導入口から外気の導入速度がそれぞれ特定の値とされることにより、第１及び第２の負圧を発生させる。もっとも、このような負圧の値を制御するために設けられているものであるため、外気導入口の径は比較的小さい。従って、上記図５（ｄ）に示した低圧化工程においては、かなりの時間を必要とする。よって、第２の負圧制御装置４から離れた流路部分８内の圧力や吸引チャック７への圧力を低めるには、比較的長い状態を必要とする。

本実施形態は、このような低圧化工程の時間を短縮することを特徴とする。これを、以下において説明する。

本実施形態の真空度切替方法では、先ず、図２（ａ）に示す初期状態では、従来法と同様に、切替バルブ５を第１の接続状態とし、オン・オフバルブ６をオフ状態とする。そのため、第１の負圧制御装置３に、オン・オフバルブ６のオンポート６ａが接続され、破線Ａで示す流路部分が第１の負圧に維持される。

次に、図２（ｂ）に示すように、オン・オフバルブ６をオン状態とする。その結果、オン・オフバルブ６から吸引チャック７に至る流路部分を第１の負圧に維持される。すなわち、−５０ｋＰａの減圧下に維持される。従って、図２（ｃ）に示すように、吸引チャック７により、ワークＷを吸着し、保持することができる。

次に、ワークＷを離脱させるために、先ず、低圧化工程を実施する。本実施形態においても、図５（ｄ）と同様に、図２（ｄ）において、切替バルブを第２の接続状態とする。その結果、第２の負圧制御装置４から外気が流入し、切替バルブ５側に至る。しかしながら、吸引チャック７までを第２の負圧にするには、前述したように、２秒〜５秒といった長い時間を要する。

そこで、本実施形態では、図３（ａ）に示すように、切替バルブ５を第２の接続状態とした直後に、オン・オフバルブ６をわずかな期間オフ状態とする。このオン・オフバルブ６をオフ状態とするタイミングは、上記切替バルブ５を第２の接続状態とすると同時であってもよく、あるいはその直後であればよい。この直後とは、０．５秒以内の期間であればよい。もっとも、この０．５秒の数値は、用意するワーク吸脱着装置の寸法や第１及び第２の負圧によって異なる。

図３（ａ）に示すように、オン・オフバルブ６がオフ状態とされると、オフポート６ｂから外気が流入する。そのため、オフポート６ｂから吸引チャック７に至る流路部分に外気が導入することとなる。従って、第２の負圧制御装置４から、オン・オフバルブ６までの流路部分が低圧化されていく工程において、オン・オフバルブ６から吸引チャック７に至る流路部分も同時に低圧化されていく。よって、オン・オフバルブ６をわずかの間オフ状態とするだけで、第２の負圧制御装置４から離れた流路部分８すなわち、オン・オフバルブ６と吸引チャック７との間の流路部分８を速やかに低圧化することができる。また、オン・オフバルブ６は、前述したように、吸引チャック７の近くに設けられているため、上記流路部分８の長さが比較的短いため、それによっても、上記流路部分８の低圧化はわずかな期間で完了させることができる。このオン・オフバルブをオフ状態とする時間はわずかの期間でよく、本実施形態では、０．１秒以下である。

その結果、第２の負圧制御装置４から吸引チャック７に至る流路部分が速やかに低圧化される。

上記のように、本実施形態では、吸引チャック７に接続されている流路部分８の低圧化を０．５秒以内の非常に短い時間で終了することができる。しかる後、図３（ｂ）に示すように、オン・オフバルブ６を再度オン状態とする。このようにして、第２の負圧制御装置４から吸引チャック７に至る流路部分を速やかに低圧化することができる。

次に、図３（ｃ）に示すように、オン・オフバルブ６をオフ状態とし、オフポート６ｂから外気を導入する。その結果、流路部分８内の圧力が速やかに外気圧となる。よって、図３（ｄ）に示すように、ワークＷを吸引チャック７から離脱させることができる。

上記のように、本実施形態の真空度切替方法では、低圧化工程の時間を従来の真空度切替方法に比べて著しく短縮することが可能となる。よって、ワークＷの吸脱着動作の高速化を図ることが可能となる。

なお、上記オン・オフバルブ６のオフポート６ｂは外気に連通されている。従って、オフポート６ｂを流路部分８に接続すれば、流路部分８及び吸引チャック７を外気圧にすることができる。しかしながら、このオフポート６ｂの開口径は小さく、外気導入速度はそれほど速くはない。従って、上記のような低圧化工程を先ず実施する必要がある。すなわち、第２の負圧とした後に、オフポート６ｂを吸引チャック７に接続することにより、ワークＷを速やかに離脱させることができる。

なお、上記ワークＷとしては、例えば、電子部品チップなどを挙げることができるが、本発明により吸脱着されるワークＷは、特に限定されるものではない。

１…ワーク吸脱着装置
２…真空源
３…第１の負圧制御装置
４…第２の負圧制御装置
５…切替バルブ
５ａ…第１のポート
５ｂ…第２のポート
５ｃ…第３のポート
６…オン・オフバルブ
６ａ…オンポート
６ｂ…オフポート
６ｃ…第４のポート
７…吸引チャック
８…流路部分

Claims (4)

1. 真空源と、
   前記真空源に接続されており、相対的に高真空の第１の負圧を与える第１の負圧制御装置と、
   前記真空源に接続されており、前記第１の負圧制御装置よりも低真空の第２の負圧を与え、かつ外気導入口を有する第２の負圧制御装置と、
   前記第１の負圧制御装置または前記第２の負圧制御装置に接続される第１及び第２のポートと、第３のポートとを有し、前記第１のポートと前記第３のポートとを接続している第１の接続状態と、前記第２のポートと前記第３のポートとを接続している第２の接続状態との間で切り替えられる流路切替バルブと、
   吸引部材と、
   前記流路切替バルブの前記第３のポートに接続されているオンポートと、外気導入口であるオフポートと、前記吸引部材に接続されている第４のポートとを有し、前記オンポートと前記第４のポートとが接続されているオン状態と、前記オフポートと前記第４のポートとが接続されるオフ状態との間で切り替えられるオン・オフバルブと、
   前記第４のポートと前記吸引部材とを接続している流路を構成する流路構成部材とを備える真空度付与装置を用い、
   前記流路切替バルブを前記第１の接続状態とし、前記オン・オフバルブをオン状態として、前記第１の負圧を前記吸引部材に与える工程と、
   前記流路切替バルブを第２の接続状態にして、前記吸引部材を前記第２の負圧制御装置に接続して前記第２の負圧制御装置から前記吸引部材までの流路部分の負圧の絶対値を低くする低圧化工程と、
   前記低圧化工程の後に、前記オン・オフバルブをオン状態として前記オフポートから前記吸引部材までの流路部分を外気圧以上にする工程とを有するワーク吸脱着装置の真空度切替方法において、
   前記低圧化工程において、前記吸引部材を前記第２の負圧制御装置に接続した後に、前記オン・オフバルブをオフ状態として、前記オフポートと前記吸引部材とを結ぶ流路に前記オフポートから外気を導入した後に、前記オン・オフバルブをオン状態とし、前記オンポートを前記切替バルブの第３のポートを介して前記第２の負圧制御装置に再度接続することを特徴とする真空度切替方法。
2. 前記第１の負圧と前記第２の負圧との差が、前記第２の負圧と外気圧との差よりも大きい、請求項１に記載の真空度切替方法。
3. 前記低圧化工程において、前記オン・オフバルブをオフ状態として、前記オン・オフバルブと前記吸引部材との間の流路部分を低圧化するに際し、前記オン・オフバルブのオフポートから外気を導入し、該流路部分内の圧力を前記第１の負圧よりも低真空の負圧とする、請求項１または２に記載の真空度切替方法。
4. 前記低圧化工程において、前記オン・オフバルブをオフ状態として、前記オン・オフバルブを前記吸引部材との間の流路を低圧化するに際し、該流路部分の圧力を前記第２の真空度または該第２の真空度よりも高真空の負圧とする、請求項３に記載の真空度切替方法。

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