JP3033569B1 - 圧力制御装置 - Google Patents
圧力制御装置Info
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- JP3033569B1 JP3033569B1 JP11004074A JP407499A JP3033569B1 JP 3033569 B1 JP3033569 B1 JP 3033569B1 JP 11004074 A JP11004074 A JP 11004074A JP 407499 A JP407499 A JP 407499A JP 3033569 B1 JP3033569 B1 JP 3033569B1
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Abstract
【要約】
【課題】 圧力制御モード切替時に生じる圧力変動を極
力抑えて、切替を円滑に行うことのできる圧力制御装置
を提供すること。 【解決手段】 圧力制御アクチュエータ１と、その開度
設定手段２とを具え、当手段２の設定に応じて制御対象
の圧力を直接制御する回路と、制御対象の圧力検知セン
サ３で検出した圧力と、圧力設定手段４で設定した制御
目標圧力とに基づいて前記アクチュエータの開度を制御
する手段を具え、当制御手段の出力に応じて制御対象の
圧力を自動制御する回路を有し、前記の直接／又は自動
制御モードの切替を安定して行う切替安定化回路を通し
て、制御モード切替手段である第一のリレー６及び第二
のリレー８によって切り替える圧力制御装置。
力抑えて、切替を円滑に行うことのできる圧力制御装置
を提供すること。 【解決手段】 圧力制御アクチュエータ１と、その開度
設定手段２とを具え、当手段２の設定に応じて制御対象
の圧力を直接制御する回路と、制御対象の圧力検知セン
サ３で検出した圧力と、圧力設定手段４で設定した制御
目標圧力とに基づいて前記アクチュエータの開度を制御
する手段を具え、当制御手段の出力に応じて制御対象の
圧力を自動制御する回路を有し、前記の直接／又は自動
制御モードの切替を安定して行う切替安定化回路を通し
て、制御モード切替手段である第一のリレー６及び第二
のリレー８によって切り替える圧力制御装置。
Description
【０００１】
【発明を適用する技術分野】本発明は、圧力制御装置に
関するものであり、特に、半導体製造装置など緻密な圧
力制御を必要とする装置に好適に適用することのできる
圧力制御装置に関する。
関するものであり、特に、半導体製造装置など緻密な圧
力制御を必要とする装置に好適に適用することのできる
圧力制御装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図３は、半導体製造装置の配管等の圧力
を制御する圧力制御装置の従来の構成を示すブロック図
である。図２に示すように、従来の圧力制御装置には、
配管内にガスを供給するガス供給バルブの開度を開度設
定器を用いて直接制御する直接（手動）制御ループと、
配管内の圧力を検出し、この検出値と目標圧力に基づい
てガス供給バルブの開度を自動的に制御する自動制御ル
ープとが設けられている。直接制御ループは、ガス供給
バルブを駆動する圧力制御アクチュエータ１０１と、ガ
ス供給バルブの開度を決める開度設定器１０２とで構成
され、一方、自動圧力制御ループは、前記圧力制御アク
チュエータ１０１と、配管内の圧力を検知する圧力セン
サ１０３と、制御目標圧力設定する圧力設定器１０４
と、前記圧力センサ１０３の出力と圧力設定器１０４の
出力とにものｔづいて圧力制御アクチュエータ１０１の
動作を自動的に制御する圧力制御回路１０５とで構成さ
れている。これらのループは、リレー１０６で切り替え
ることができ、必要に応じて直接圧力制御モードあるい
は自動圧力制御モードを選択する。
を制御する圧力制御装置の従来の構成を示すブロック図
である。図２に示すように、従来の圧力制御装置には、
配管内にガスを供給するガス供給バルブの開度を開度設
定器を用いて直接制御する直接（手動）制御ループと、
配管内の圧力を検出し、この検出値と目標圧力に基づい
てガス供給バルブの開度を自動的に制御する自動制御ル
ープとが設けられている。直接制御ループは、ガス供給
バルブを駆動する圧力制御アクチュエータ１０１と、ガ
ス供給バルブの開度を決める開度設定器１０２とで構成
され、一方、自動圧力制御ループは、前記圧力制御アク
チュエータ１０１と、配管内の圧力を検知する圧力セン
サ１０３と、制御目標圧力設定する圧力設定器１０４
と、前記圧力センサ１０３の出力と圧力設定器１０４の
出力とにものｔづいて圧力制御アクチュエータ１０１の
動作を自動的に制御する圧力制御回路１０５とで構成さ
れている。これらのループは、リレー１０６で切り替え
ることができ、必要に応じて直接圧力制御モードあるい
は自動圧力制御モードを選択する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】図３に示す装置におい
て、リレー１０６が接点ｂに接続されているとき、すな
わち、直接制御モードにあるときは、開度設定器１０２
からの出力（開度設定信号１５１）が圧力制御アクチュ
エータ１０１に直接供給され、アクチュエータ１０１は
この信号１５１に追従して動作する。この間、圧力制御
回路１０５には、圧力センサ１０３の出力（圧力モニタ
信号１５２）と、圧力設定器１０４の出力（制御目標圧
力信号１５３）が常時入力されている。ここで、アクチ
ュエータ１０１の動作の変化に伴って、圧力センサ１０
３の出力が変わるため、圧力制御回路１０５の出力であ
る自動開度制御信号１５４は随時変化する。
て、リレー１０６が接点ｂに接続されているとき、すな
わち、直接制御モードにあるときは、開度設定器１０２
からの出力（開度設定信号１５１）が圧力制御アクチュ
エータ１０１に直接供給され、アクチュエータ１０１は
この信号１５１に追従して動作する。この間、圧力制御
回路１０５には、圧力センサ１０３の出力（圧力モニタ
信号１５２）と、圧力設定器１０４の出力（制御目標圧
力信号１５３）が常時入力されている。ここで、アクチ
ュエータ１０１の動作の変化に伴って、圧力センサ１０
３の出力が変わるため、圧力制御回路１０５の出力であ
る自動開度制御信号１５４は随時変化する。
【０００４】従って、直接制御モードにあるときは、開
度設定器１０２から出力される開度設定信号１５１と、
圧力制御回路１０５から出力される開度制御信号１５４
との間には差が生じることになる。ここで、リレー１０
６の接続を接点ａに切り替えて、自動制御モードにする
と、アクチュエータ１０１の入力が、開度制御信号１５
４と開度設定信号１５１との差分だけ急激に変化し、そ
の結果、アクチュエータ１０１で作動するガス供給バル
ブの開度が大きく変化して配管内に圧力変動が生じる。
このような圧力変動は、特に、半導体製造装置などで緻
密な圧力制御が必要な場合に製品の品質低下を招き、好
ましくない。
度設定器１０２から出力される開度設定信号１５１と、
圧力制御回路１０５から出力される開度制御信号１５４
との間には差が生じることになる。ここで、リレー１０
６の接続を接点ａに切り替えて、自動制御モードにする
と、アクチュエータ１０１の入力が、開度制御信号１５
４と開度設定信号１５１との差分だけ急激に変化し、そ
の結果、アクチュエータ１０１で作動するガス供給バル
ブの開度が大きく変化して配管内に圧力変動が生じる。
このような圧力変動は、特に、半導体製造装置などで緻
密な圧力制御が必要な場合に製品の品質低下を招き、好
ましくない。
【０００５】本発明は、このような制御モード切替時に
生じる圧力変動を極力抑えて、切替を円滑に行えるよう
にした圧力制御装置を提供しようとするものである。
生じる圧力変動を極力抑えて、切替を円滑に行えるよう
にした圧力制御装置を提供しようとするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明の圧力制御装置は、 圧力制御アクチュエー
タと、当該アクチュエータの開度を設定する開度設定手
段とを具え、前記開度設定手段の設定に応じて制御対象
の圧力を直接モードで制御する直接圧力制御回路と、圧
力制御アクチュエータと、制御対象の圧力を検知する圧
力センサと、制御目標圧力を設定する圧力設定手段と、
前記圧力センサで検出した圧力と、前記制御目標圧力と
に基づいて前記アクチュエータの開度を制御する開度制
御手段とを具え、前記開度制御手段の出力に応じて制御
対象の圧力を自動制御する自動圧力制御回路と、前記圧
力制御アクチュエータへの入力を、前記開度設定手段の
出力側と前記開度制御手段の出力側との間で切り替える
第１のリレーと、前記開度制御手段への入力を、前記切
替安定化回路の出力側と、前記圧力設定手段の出力側と
の間で切り替える第２のリレーとを具え、制御対象の圧
力制御モードを前記直接制御モードと前記自動制御モー
ド間で切り替える制御モード切替手段と、前記開度制御
手段の出力と、前記圧力制御アクチュエータの入力を取
り入れて前記開度制御手段の出力を前記圧力制御アクチ
ュエータの入力と等しくする圧力設定ダミー信号を生成
する切替安定化回路とを具え、直接制御モードにおいて
は、前記第１のリレーを前記開度設定手段の出力側に接
続するとともに、前記第２のリレーを切替安定化回路の
出力側へ接続して前記圧力設定手段の出力に代えてこの
圧力設定ダミー信号を前記開度制御手段に入力し、自動
制御モードにおいては前記第１のリレーを前記開度制御
手段の出力側に接続するとともに、前記第２のリレーを
前記圧力設定手段側に接続して制御目標圧力を前記開度
制御手段に入力するように構成したことを特徴とする。
に、本発明の圧力制御装置は、 圧力制御アクチュエー
タと、当該アクチュエータの開度を設定する開度設定手
段とを具え、前記開度設定手段の設定に応じて制御対象
の圧力を直接モードで制御する直接圧力制御回路と、圧
力制御アクチュエータと、制御対象の圧力を検知する圧
力センサと、制御目標圧力を設定する圧力設定手段と、
前記圧力センサで検出した圧力と、前記制御目標圧力と
に基づいて前記アクチュエータの開度を制御する開度制
御手段とを具え、前記開度制御手段の出力に応じて制御
対象の圧力を自動制御する自動圧力制御回路と、前記圧
力制御アクチュエータへの入力を、前記開度設定手段の
出力側と前記開度制御手段の出力側との間で切り替える
第１のリレーと、前記開度制御手段への入力を、前記切
替安定化回路の出力側と、前記圧力設定手段の出力側と
の間で切り替える第２のリレーとを具え、制御対象の圧
力制御モードを前記直接制御モードと前記自動制御モー
ド間で切り替える制御モード切替手段と、前記開度制御
手段の出力と、前記圧力制御アクチュエータの入力を取
り入れて前記開度制御手段の出力を前記圧力制御アクチ
ュエータの入力と等しくする圧力設定ダミー信号を生成
する切替安定化回路とを具え、直接制御モードにおいて
は、前記第１のリレーを前記開度設定手段の出力側に接
続するとともに、前記第２のリレーを切替安定化回路の
出力側へ接続して前記圧力設定手段の出力に代えてこの
圧力設定ダミー信号を前記開度制御手段に入力し、自動
制御モードにおいては前記第１のリレーを前記開度制御
手段の出力側に接続するとともに、前記第２のリレーを
前記圧力設定手段側に接続して制御目標圧力を前記開度
制御手段に入力するように構成したことを特徴とする。
【０００７】このように、本発明の圧力制御装置は切替
安定化回路を設けて、開度制御手段の出力と圧力制御ア
クチュエータへの入力をこの切替安定化回路に取り入れ
て開度制御手段の出力を圧力制御アクチュエータの入力
と等しくする圧力設定ダミー信号を生成すると共に、直
接制御モードにおいては、圧力設定手段の出力に代えて
この圧力設定ダミー信号を開度制御手段に入力して、開
度設定手段の制御目標を圧力制御アクチュエータへの実
際の入力に追従させるようにしている。
安定化回路を設けて、開度制御手段の出力と圧力制御ア
クチュエータへの入力をこの切替安定化回路に取り入れ
て開度制御手段の出力を圧力制御アクチュエータの入力
と等しくする圧力設定ダミー信号を生成すると共に、直
接制御モードにおいては、圧力設定手段の出力に代えて
この圧力設定ダミー信号を開度制御手段に入力して、開
度設定手段の制御目標を圧力制御アクチュエータへの実
際の入力に追従させるようにしている。
【０００８】更に、本発明の装置では、制御モード切替
手段を、圧力制御アクチュエータへの入力を開度設定手
段の出力側と開度制御手段の出力側との間で切り替える
第１のリレーと、開度制御手段への入力を、切替安定化
回路の出力側と、圧力設定手段の出力側との間で切り替
える第２のリレーとで構成し、直接制御モードにおいて
は、アクチュエータへの入力を開度設定手段の出力側へ
（第１のリレー）、開度制御手段への入力を切替安定化
回路側へ（第２のリレー）接続し、自動制御モードにお
いては、アクチュエータへの入力を開度制御手段の出力
側へ（第１のリレー）、開度制御手段の入力を圧力設定
手段側へ（第２のリレー）接続するようにしている。す
なわち、これらのリレーの切替によって、開度制御手段
への入力の切替を行って、直接制御モードから自動制御
モードへの切替を円滑に行うようにしている。
手段を、圧力制御アクチュエータへの入力を開度設定手
段の出力側と開度制御手段の出力側との間で切り替える
第１のリレーと、開度制御手段への入力を、切替安定化
回路の出力側と、圧力設定手段の出力側との間で切り替
える第２のリレーとで構成し、直接制御モードにおいて
は、アクチュエータへの入力を開度設定手段の出力側へ
（第１のリレー）、開度制御手段への入力を切替安定化
回路側へ（第２のリレー）接続し、自動制御モードにお
いては、アクチュエータへの入力を開度制御手段の出力
側へ（第１のリレー）、開度制御手段の入力を圧力設定
手段側へ（第２のリレー）接続するようにしている。す
なわち、これらのリレーの切替によって、開度制御手段
への入力の切替を行って、直接制御モードから自動制御
モードへの切替を円滑に行うようにしている。
【０００９】
【００１０】
【００１１】
【００１２】
【００１３】なお、本発明の圧力制御装置では、制御対
象は絶対圧でも、差圧でもよい。更に、自動圧力制御回
路を複数設けて、複数の制御対象を切替制御するように
構成しても良い。この場合、絶対圧の制御と、差圧の制
御を混在させてもよいことは言うまでもない。
象は絶対圧でも、差圧でもよい。更に、自動圧力制御回
路を複数設けて、複数の制御対象を切替制御するように
構成しても良い。この場合、絶対圧の制御と、差圧の制
御を混在させてもよいことは言うまでもない。
【００１４】
【発明の実施の形態】図１は、本発明に係る圧力制御装
置の第１の実施形態の構成を示すブロック図である。本
発明の装置は、例えば、半導体製造装置の加圧装置など
の圧力調整に好適に適用することができる。本装置で
は、制御対象に設けられたガス供給バルブの開度を調整
する圧力制御アクチュエータ１と、当該アクチュエータ
１に信号を送ってガス供給バルブの開度を決定する開度
設定器２とで直接制御ループを形成し、一方、制御対象
の圧力を検出する圧力センサ３と、目標圧力を設定する
圧力設定器４と、この圧力センサ３と圧力設定器４の出
力に基づいてアクチュエータ１の動作を自動制御する圧
力制御回路５とで自動制御ループを構成している。直接
制御ループと自動制御ループの切替は圧力制御アクチュ
エータ１の入力と、開度設定器２の出力及び圧力制御回
路５の出力間に設けた第１のリレー６を切り替えること
によって行う。
置の第１の実施形態の構成を示すブロック図である。本
発明の装置は、例えば、半導体製造装置の加圧装置など
の圧力調整に好適に適用することができる。本装置で
は、制御対象に設けられたガス供給バルブの開度を調整
する圧力制御アクチュエータ１と、当該アクチュエータ
１に信号を送ってガス供給バルブの開度を決定する開度
設定器２とで直接制御ループを形成し、一方、制御対象
の圧力を検出する圧力センサ３と、目標圧力を設定する
圧力設定器４と、この圧力センサ３と圧力設定器４の出
力に基づいてアクチュエータ１の動作を自動制御する圧
力制御回路５とで自動制御ループを構成している。直接
制御ループと自動制御ループの切替は圧力制御アクチュ
エータ１の入力と、開度設定器２の出力及び圧力制御回
路５の出力間に設けた第１のリレー６を切り替えること
によって行う。
【００１５】本発明の装置は、更に、制御モードを自動
制御／直接（手動）制御に切り替える際のアクチュエー
タ１の挙動の安定を図る切替安定化回路７を具えてい
る。切替安定化回路７には、圧力制御アクチュエータ１
への入力信号の一部が開度制御モニタ信号５５として、
また、圧力制御回路５の出力（開度制御信号５４）の一
部が開度制御モニタ信号５６として入力されている。回
路７は、これらのモニタ信号を演算して、圧力制御回路
５の出力を圧力制御アクチュエータ１への入力と同じ値
にするような圧力設定ダミー信号５７を算出する。
制御／直接（手動）制御に切り替える際のアクチュエー
タ１の挙動の安定を図る切替安定化回路７を具えてい
る。切替安定化回路７には、圧力制御アクチュエータ１
への入力信号の一部が開度制御モニタ信号５５として、
また、圧力制御回路５の出力（開度制御信号５４）の一
部が開度制御モニタ信号５６として入力されている。回
路７は、これらのモニタ信号を演算して、圧力制御回路
５の出力を圧力制御アクチュエータ１への入力と同じ値
にするような圧力設定ダミー信号５７を算出する。
【００１６】圧力設定装置が自動制御モードで動作する
場合は、第１のリレー６と第２のリレー８を共に、接点
ａ側に接続する。第２のリレー８が接点ａ側に接続され
るので、圧力制御回路５には圧力センサ３の出力（圧力
モニタ信号５２）と、圧力設定器４の出力（制御目標圧
力設定信号５３）とが入力され、図３に示す従来の装置
と同様に、制御回路５がこれらの信号５２、５３を演算
して開度制御信号５４を算出する。圧力制御回路５で
は、制御対象の圧力が圧力設定器４で設定された目標圧
力になるように、開度制御信号５４の演算を行い、圧力
アクチュエータ１を自動制御する。
場合は、第１のリレー６と第２のリレー８を共に、接点
ａ側に接続する。第２のリレー８が接点ａ側に接続され
るので、圧力制御回路５には圧力センサ３の出力（圧力
モニタ信号５２）と、圧力設定器４の出力（制御目標圧
力設定信号５３）とが入力され、図３に示す従来の装置
と同様に、制御回路５がこれらの信号５２、５３を演算
して開度制御信号５４を算出する。圧力制御回路５で
は、制御対象の圧力が圧力設定器４で設定された目標圧
力になるように、開度制御信号５４の演算を行い、圧力
アクチュエータ１を自動制御する。
【００１７】一方、圧力設定装置が直接（手動）制御モ
ードで動作する場合は、第１のリレー６を接点ｂに接続
する。すなわち、直接制御ループが形成され、アクチュ
エータ１の動作は開度設定器２の設定（直接開度設定信
号５１）に基づいて固定される。本発明の装置では、こ
こで、第２のリレー８を同時に接点ｂ側に切り替えて、
切替安定化回路７の出力を圧力設定器４の出力（制御目
標設定信号５３）に代えて圧力制御回路５に入力させ
る。上述したとおり、切替安定化回路７では、開度制御
モニタ信号５５と開度制御モニタ信号５６とを演算し
て、圧力制御回路５の出力を、直接制御モード下におけ
る圧力制御アクチュエータ１への入力（開度設定信号５
１）と等しくするような圧力設定ダミー信号５７を出力
している。このように構成することにより、直接制御モ
ードにあるときには、圧力制御アクチュエータ１への入
力と等しい信号が圧力制御回路５から常に出力され続け
ることになる。
ードで動作する場合は、第１のリレー６を接点ｂに接続
する。すなわち、直接制御ループが形成され、アクチュ
エータ１の動作は開度設定器２の設定（直接開度設定信
号５１）に基づいて固定される。本発明の装置では、こ
こで、第２のリレー８を同時に接点ｂ側に切り替えて、
切替安定化回路７の出力を圧力設定器４の出力（制御目
標設定信号５３）に代えて圧力制御回路５に入力させ
る。上述したとおり、切替安定化回路７では、開度制御
モニタ信号５５と開度制御モニタ信号５６とを演算し
て、圧力制御回路５の出力を、直接制御モード下におけ
る圧力制御アクチュエータ１への入力（開度設定信号５
１）と等しくするような圧力設定ダミー信号５７を出力
している。このように構成することにより、直接制御モ
ードにあるときには、圧力制御アクチュエータ１への入
力と等しい信号が圧力制御回路５から常に出力され続け
ることになる。
【００１８】手動圧力制御モードから自動圧力制御モー
ドへの切り替えると、本発明の装置は以下のとおり動作
する。まず、切替の準備として、圧力設定器４から先に
調整した圧力を目標値とする制御目標圧力設定信号５３
を出力するようにする。切替は、第１のリレー６と第２
のリレー８を同時に接点ｂから接点ａに移動させて行
う。
ドへの切り替えると、本発明の装置は以下のとおり動作
する。まず、切替の準備として、圧力設定器４から先に
調整した圧力を目標値とする制御目標圧力設定信号５３
を出力するようにする。切替は、第１のリレー６と第２
のリレー８を同時に接点ｂから接点ａに移動させて行
う。
【００１９】上述したとおり、直接（手動）圧力制御モ
ードにあるときに、切替安定化回路７によって、圧力制
御回路５の出力（開度制御信号５４）はアクチュエータ
１への入力と等しくなるように制御されているため、圧
力制御アクチュエータ１への入力信号（開度設定信号５
１→開度設定信号５４へ）は切替に際してほとんど変化
することがない。従ってアクチュエータ１の動作をほと
んど変動させることなく、自動圧力制御モードへの切替
をスムーズに完了させることができる。
ードにあるときに、切替安定化回路７によって、圧力制
御回路５の出力（開度制御信号５４）はアクチュエータ
１への入力と等しくなるように制御されているため、圧
力制御アクチュエータ１への入力信号（開度設定信号５
１→開度設定信号５４へ）は切替に際してほとんど変化
することがない。従ってアクチュエータ１の動作をほと
んど変動させることなく、自動圧力制御モードへの切替
をスムーズに完了させることができる。
【００２０】ここで、手動圧力制御モードにある場合の
圧力センサ１のセンサ値と、圧力設定器１１で設定する
目標圧力値とは微少な差がある。切替安定回路７がなけ
れば、圧力制御回路５の出力（開度制御信号５４）が、
この差を補正するように調節され、回路５の時定数によ
って開度制御信号５４が増大、あるいは減少するため、
切替時の圧力制御アクチュエータ１への入力と開度制御
信号５４との差がどんどん大きくなってしまう。本発明
では、切替安定化回路７を設けて、その出力（圧力設定
ダミー信号５７）すなわち制御回路５へ入力する制御目
標を暫時修正するようにしているので、圧力制御回路５
の出力である開度制御信号５４と、直接（手動）圧力制
御モードにあるときの圧力制御アクチュエータ１への入
力（開度設定信号５１）との間の差がなくなり、切替を
スムーズに行うことができる。
圧力センサ１のセンサ値と、圧力設定器１１で設定する
目標圧力値とは微少な差がある。切替安定回路７がなけ
れば、圧力制御回路５の出力（開度制御信号５４）が、
この差を補正するように調節され、回路５の時定数によ
って開度制御信号５４が増大、あるいは減少するため、
切替時の圧力制御アクチュエータ１への入力と開度制御
信号５４との差がどんどん大きくなってしまう。本発明
では、切替安定化回路７を設けて、その出力（圧力設定
ダミー信号５７）すなわち制御回路５へ入力する制御目
標を暫時修正するようにしているので、圧力制御回路５
の出力である開度制御信号５４と、直接（手動）圧力制
御モードにあるときの圧力制御アクチュエータ１への入
力（開度設定信号５１）との間の差がなくなり、切替を
スムーズに行うことができる。
【００２１】尚、切替安定化回路７を設けた結果とし
て、制御目標圧力設定信号５３と圧力設定ダミー信号５
７との間に微少な差異が生じることもあるが、この差異
は、圧力制御アクチュエータ１への入力（直接開度設定
信号５１／自動開度設定信号５４）自体が圧力制御回路
５内の時定数によって直接的に変化する場合に比べて、
極めて少ない圧力変動で抑制することができ、十分に無
視することができる。
て、制御目標圧力設定信号５３と圧力設定ダミー信号５
７との間に微少な差異が生じることもあるが、この差異
は、圧力制御アクチュエータ１への入力（直接開度設定
信号５１／自動開度設定信号５４）自体が圧力制御回路
５内の時定数によって直接的に変化する場合に比べて、
極めて少ない圧力変動で抑制することができ、十分に無
視することができる。
【００２２】なお、本発明の装置は、絶対圧を制御する
場合のみならず、差圧を制御する場合にも好適に利用す
ることができる。
場合のみならず、差圧を制御する場合にも好適に利用す
ることができる。
【００２３】図２は、本発明の装置の第２の実施形態の
構成を示すブロック図である。図２に示すとおり、第２
実施形態では、自動制御ループを２つ設けて、一方で絶
対圧を他方で差圧を制御できるように構成されている。
直接（手動）制御ループと、自動制御ループの切替を行
う第１のリレー６’は、第１の自動制御ループ（絶対
圧）と第２の自動制御ループ（差圧）と、直接制御ルー
プの３ループ間で切り替えを行えるように構成されてい
る。
構成を示すブロック図である。図２に示すとおり、第２
実施形態では、自動制御ループを２つ設けて、一方で絶
対圧を他方で差圧を制御できるように構成されている。
直接（手動）制御ループと、自動制御ループの切替を行
う第１のリレー６’は、第１の自動制御ループ（絶対
圧）と第２の自動制御ループ（差圧）と、直接制御ルー
プの３ループ間で切り替えを行えるように構成されてい
る。
【００２４】各自動制御ループにそれぞれ切替安定化回
路７ａ、７ｂが設けられており、第１実施形態と同様
に、差圧制御回路５ａ（絶対圧制御回路５ｂ）の入力側
と、切替安定化回路７ａ（７ｂ）の出力側と、差圧設定
器４ａ（絶対圧設定器４ｂ）の出力側との間に第２のリ
レー８ａ（８ｂ）を設けて、差圧制御回路５ａ（絶対圧
制御回路５ｂ）への入力を切替安定化回路の出力側と圧
力設定器の出力側との間で切り替えられるようにしてい
る。第１のリレー６’の切替と同時に、差圧制御回路５
ａ（絶対圧制御回路５ｂ）への入力を圧力設定器側から
切替安定化回路側へ切り替えることによって、切替時の
圧力変動を抑えることができる。
路７ａ、７ｂが設けられており、第１実施形態と同様
に、差圧制御回路５ａ（絶対圧制御回路５ｂ）の入力側
と、切替安定化回路７ａ（７ｂ）の出力側と、差圧設定
器４ａ（絶対圧設定器４ｂ）の出力側との間に第２のリ
レー８ａ（８ｂ）を設けて、差圧制御回路５ａ（絶対圧
制御回路５ｂ）への入力を切替安定化回路の出力側と圧
力設定器の出力側との間で切り替えられるようにしてい
る。第１のリレー６’の切替と同時に、差圧制御回路５
ａ（絶対圧制御回路５ｂ）への入力を圧力設定器側から
切替安定化回路側へ切り替えることによって、切替時の
圧力変動を抑えることができる。
【００２５】なお、第１のリレー６’以外の構成は、第
１実施例と同様であるのでその説明はここでは省略す
る。
１実施例と同様であるのでその説明はここでは省略す
る。
【００２６】
【発明の効果】上述したとおり、本発明の構成によれ
ば、直接（手動）圧力制御モードから自動圧力制御モー
ドに移行する際の圧力変動を防ぐことができる。従っ
て、例えば半導体製造装置の加圧制御などに本発明の装
置を適用することによって、圧力変動による品質の劣化
を防止することができる。
ば、直接（手動）圧力制御モードから自動圧力制御モー
ドに移行する際の圧力変動を防ぐことができる。従っ
て、例えば半導体製造装置の加圧制御などに本発明の装
置を適用することによって、圧力変動による品質の劣化
を防止することができる。
【図１】本発明にかかる圧力制御装置の第１実施形態の
構成を示すブロック図である。
構成を示すブロック図である。
【図２】本発明にかかる圧力制御装置の第２実施形態の
構成を示すブロック図である。
構成を示すブロック図である。
【図３】従来の圧力制御装置の構成を示すブロック図で
ある。
ある。
１、１’ 圧力制御アクチュエータ ２、２’ 開度設定器 ３ 圧力センサ ４ 圧力設定器 ５ 圧力制御回路 ６、６’ 第１のリレー ７ 切替安定化回路 ８ 第２のリレー
Claims (6)
- 【請求項１】 圧力制御アクチュエータと、当該アクチ
ュエータの開度を設定する開度設定手段とを具え、前記
開度設定手段の設定に応じて制御対象の圧力を直接モー
ドで制御する直接圧力制御回路と、 圧力制御アクチュエータと、制御対象の圧力を検知する
圧力センサと、制御目標圧力を設定する圧力設定手段
と、前記圧力センサで検出した圧力と、前記制御目標圧
力とに基づいて前記アクチュエータの開度を制御する開
度制御手段とを具え、前記開度制御手段の出力に応じて
制御対象の圧力を自動制御する自動圧力制御回路と、 前記圧力制御アクチュエータへの入力を、前記開度設定
手段の出力側と前記開度制御手段の出力側との間で切り
替える第１のリレーと、前記開度制御手段への入力を、
前記切替安定化回路の出力側と、前記圧力設定手段の出
力側との間で切り替える第２のリレーとを具え、制御対
象の圧力制御モードを前記直接制御モードと前記自動制
御モード間で切り替える制御モード切替手段と、 前記開度制御手段の出力と、前記圧力制御アクチュエー
タの入力を取り入れて前記開度制御手段の出力を前記圧
力制御アクチュエータの入力と等しくする圧力設定ダミ
ー信号を生成する切替安定化回路とを具え、 直接制御モードにおいては、前記第１のリレーを前記開
度設定手段の出力側に接続するとともに、前記第２のリ
レーを切替安定化回路の出力側へ接続して前記圧力設定
手段の出力に代えてこの圧力設定ダミー信号を前記開度
制御手段に入力し、自動制御モードにおいては前記第１
のリレーを前記開度制御手段の出力側に接続するととも
に、前記第２のリレーを前記圧力設定手段側に接続して
制御目標圧力を前記開度制御手段に入力するように構成
したことを特徴とする圧力制御装置。 - 【請求項２】 請求項１に記載の圧力制御装置におい
て、前記第１及び第２のリレーの切替を同時に行うこと
を特徴とする圧力制御装置。 - 【請求項３】 請求項１または２に記載の圧力制御装置
において、制御対象が絶対圧であることを特徴とする圧
力制御装置。 - 【請求項４】 請求項１ないし３のいずれかに記載の圧
力制御装置において、制御対象が差圧であることを特徴
とする圧力制御装置。 - 【請求項５】 圧力制御アクチュエータと、当該アクチ
ュエータの開度を設定する開度設定手段とを具え、前記
開度設定手段の設定に応じて制御対象の圧力を直接制御
モードで制御する直接圧力制御回路と、 各々が、圧力制御アクチュエータと、制御対象の圧力を
検知する圧力センサと、制御対象の制御目標圧力を設定
する圧力設定手段と、前記圧力センサで検出した圧力
と、前記制御目標圧力とに基づいて前記アクチュエータ
の開度を制御する開度制御手段とを具え、前記開度制御
手段の出力に応じて制御対象の圧力を自動制御モードで
制御する複数の自動圧力制御回路と、 前記圧力制御アクチュエータへの入力を、前記開度設定
手段の出力側と前記開度制御手段の出力側との間で切り
替える第１のリレーと、前記複数の自動圧力制御回路の
各々において、前記開度制御手段への入力を、前記切替
安定化回路の出力側と、前記圧力設定手段の出力側との
間で切り替える第２のリレーとを具え制御対象の制御モ
ードを直接制御モードと、自動制御モードとの間で切り
替える制御モード切替手段と、 前記自動圧力制御回路の各々が、前記開度制御手段の出
力と、前記圧力制御アクチュエータの入力を取り入れて
前記開度制御手段の出力を前記圧力制御アクチュエータ
の入力と等しくする圧力設定ダミー信号を生成する切替
安定化回路を具え、 直接制御モードにおいては、前記第１のリレーが前記開
度設定手段の出力側に接続するとともに、前記複数の自
動圧力制御回路の各々において第２のリレーを切替安定
化回路の出力側へ接続して前記圧力設定手段の出力に代
えて前記圧力設定ダミー信号を前記開度制御手段に入力
し、自動制御モードにおいては前記第１のリレーを前記
開度制御手段の出力側に接続するとともに、前記複数の
自動圧力制御回路の各々において前記第２のリレーを前
記圧力設定手段側に接続して制御目標圧力を前記開度制
御手段に入力するように構成したことを特徴とする圧力
制御装置。 - 【請求項６】 請求項５に記載の圧力制御装置におい
て、前記第１及び第２のリレーの切替を同時に行うこと
を特徴とする圧力制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11004074A JP3033569B1 (ja) | 1999-01-11 | 1999-01-11 | 圧力制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11004074A JP3033569B1 (ja) | 1999-01-11 | 1999-01-11 | 圧力制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP3033569B1 true JP3033569B1 (ja) | 2000-04-17 |
| JP2000207032A JP2000207032A (ja) | 2000-07-28 |
Family
ID=11574670
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11004074A Expired - Fee Related JP3033569B1 (ja) | 1999-01-11 | 1999-01-11 | 圧力制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3033569B1 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007011984A (ja) * | 2005-07-04 | 2007-01-18 | Advanced Energy Japan Kk | 排気装置の圧力制御システム |
| CN102789245B (zh) * | 2011-05-18 | 2015-02-18 | 台湾矽微电子股份有限公司 | 自动控制充气法 |
-
1999
- 1999-01-11 JP JP11004074A patent/JP3033569B1/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2000207032A (ja) | 2000-07-28 |
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