CN116157230A - 真空压供给系统 - Google Patents
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Abstract
真空压供给系统(10)具备：多个真空压供给路径(16)，其用于向使用真空压来保持物体的保持部(20)供给来自真空源(12)的所述真空压；压力调节机构(18)，其以保持物体的保持力相互不同的方式调节多个所述真空压供给路径内的压力；以及切换机构(14)，其为了变更所述保持部的保持力，切换所述真空源与多个所述真空压供给路径的连接状态，所述切换机构选择一个所述真空压供给路径与所述真空源连接，由此切换所述连接状态。
Description
技术领域
本发明涉及一种真空压供给系统。
背景技术
在各种领域中，使用利用真空压来保持物体的物体保持装置(例如真空卡盘装置)。例如，在机床中，使用真空卡盘装置保持加工对象物。在此，优选能够根据要保持的物体的重量或强度等，设定多个保持物体的保持力的大小。例如，在日本专利特开2006-229027号公报中，公开了具有调整保持晶片的真空压力的流量调整阀的晶片输送装置。
发明内容
然而，通过流量调整阀调节真空压力需要时间。为了缩短该时间，例如可以考虑使用与多个设定值对应的多个真空源(例如真空泵)来切换保持力。但是，如果使用多个真空源，则会导致装置的大型化。
本发明的目的在于提供一种不使用多个真空源就能够进行保持力的切换的真空压供给系统。
一方式的真空压供给系统具备：多个真空压供给路径，其用于向使用真空压来保持物体的保持部供给来自真空源的所述真空压；压力调节机构，其以保持物体的保持力相互不同的方式调节多个所述真空压供给路径内的压力；以及切换机构，其为了变更所述保持部的保持力，切换所述真空源与多个所述真空压供给路径的连接状态。所述切换机构选择一个所述真空压供给路径与所述真空源连接，由此切换所述连接状态。
根据本发明，能够提供一种不使用多个真空源就能够进行保持力的切换的真空压供给系统。
附图说明
图1是表示实施方式的真空压供给系统的构成的图。
图2是表示实施方式的真空压供给系统的动作顺序的一例的图。
图3是表示变形例1的真空压供给系统的构成的图。
图4是表示变形例1的真空压供给系统的动作顺序的一例的图。
具体实施方式
以下，详细说明实施方式的真空压供给系统。
图1是表示实施方式的真空压供给系统10的构成的图。真空压供给系统10具有真空源12、切换机构14、多个真空压供给路径16、压力调节机构18、保持部20、操作部30、通知部32以及控制部34。作为真空压供给系统10的一例，可以举出真空卡盘装置。
真空源12例如是真空泵，产生向保持部20供给的真空压。另外，真空压是指压力比大气压低的压力状态(减压状态)，不需要是完全的真空。
在保持部20上连接有多个真空压供给路径16。多个真空压供给路径16经由切换机构14与真空源12连接。在本实施方式中，为了方便，将真空压供给路径16的数量设为5个。为了变更保持部20的保持力，切换机构14切换真空源12与5个真空压供给路径16的连接状态。切换机构14例如选择5个真空压供给路径16中的某一个与真空源12连接，由此能够切换真空源12与5个真空压供给路径16的连接状态。由此，真空源12产生的真空压被供给到某一个真空压供给路径16，并且能够切换被供给真空压的真空压供给路径16。以下，有时将真空源12与5个真空压供给路径16的连接状态简称为“连接状态”。
如后所述，5个真空压供给路径16的压力相互不同。因此，通过选择5个真空压供给路径16中的一个与真空源12连接，能够变更保持部20保持物体的保持力。即，能够将保持部20的保持力(压力)变更为与所选择的一个真空压供给路径16对应的保持力(压力)。另外，即使5个真空压供给路径16的全部不与真空源12连接，切换机构14也能够切换连接状态。在这种情况下，由于保持部20实质上不与真空源12连接，因此保持部20保持物体的保持力变为零(保持部20的压力与大气压的差压为0kPa)。这样，通过切换机构14切换连接状态，能够变更保持部20的保持力。由切换机构14切换的连接状态是5个真空压供给路径16中的任意一个与真空源12的连接、和全部真空压供给路径16与真空源12的非连接，共计6个模式。
压力调节机构18以保持部20保持物体的力不同的方式调节真空压供给路径16内的压力。压力调节机构18调整5个真空压供给路径16内的压力，使它们相互不同。例如，压力调节机构18将5个真空压供给路径16内的各压力(与大气压的差压)调整为-75kPa(G)、-60kPa(G)、-45kPa(G)、-30kPa(G)和-15kPa(G)。该差压对应于保持部20的保持力。即，差压越小(差压的绝对值越大)，保持部20的保持力越强。由于保持力和差压具有相关关系，因此以下有时用该差压来表示保持力。
在此，压力调节机构18具有5个节流阀22，该5个节流阀22设置在5个真空压供给路径16上。通过使用5个节流阀22调节真空压供给路径径16各自的流量，能够使5个真空压供给路径16内的压力相互不同。另外，也可以不在真空压供给路径16上设置节流阀22。例如，通过使真空压供给路径16的内径不同，也可以使真空压供给路径16的流量(真空压供给路径16内的压力)不同。
保持部20使用从真空源12经由真空压供给路径16供给的真空压来吸引并保持物体。作为保持部20的一例，可以举出真空卡盘机构。如上所述，切换机构14通过切换真空源12与5个真空压供给路径16的连接状态，能够变更保持部20的保持力。该结果是，能够使用单一的真空源12来切换保持力。即，由于不需要与多个保持力的设定值对应的多个真空源12，所以能够缩小设置空间，实现装置的小型化。
在此，从真空源12与真空压供给路径16的连接状态的切换到保持部20的保持力的变更结束需要一定程度的时间(例如0.1～1秒)。即，即使连接状态切换，保持部20中的吸引压力(用于物体的吸引的压力)也不会立即切换。由于连接状态的切换，保持部20的保持力(吸引压力)开始变化(保持力的变更开始)。然后，保持部20的保持力达到与切换后的真空压供给路径16对应的保持力(吸引压力)(变更结束)。
操作部30是用于操作者进行用于变更保持部20的保持力的操作的输入装置，例如是开关、键盘或触摸面板。操作者使用操作部30选择保持部20的保持力。操作者可选择的保持力的数量和大小取决于5个真空压供给路径16。在本实施方式中，可选择的保持力的数量为6个。因此，在本实施方式中，操作者从[保持力：-75kPa(G)]、[保持力：-60kPa(G)]、[保持力：-45kPa(G)]、[保持力：-30kPa(G)]、[保持力：-15kPa(G)]以及[保持力：0kPa(G)]中选择一个。
通知部32是声音输出装置(例如扬声器)、图像显示装置(例如液晶显示装置、EL显示装置)或光输出装置(例如LED装置)，由通知控制部38控制。通知部32使用声音、图像或光来通知保持部20的保持力即将变更这一情况(保持力的变更预告)、或者由于连接状态的切换而保持部20的保持力发生了变化这一情况(保持力的变化)等。
控制部34例如由硬件(处理器)和软件(程序)构成，被划分为切换控制部36和通知控制部38。
切换控制部36控制切换机构14，变更保持部20的保持力。切换控制部36根据操作者对操作部30进行的操作来控制切换机构14。在操作者对操作部30进行了操作的情况下，切换控制部36在从操作者的操作开始起经过第1规定时间后控制切换机构14，切换真空源12与5个真空压供给路径16的连接状态。切换控制部36具有表格36a，该表格36a将操作者可选择的多个保持力的每一个与真空源12和5个真空压供给路径16的连接状态相对应地存储。即，该表格36a将操作者可选择的多个保持力的每一个与为了实现多个保持力的每一个而应选择的真空压供给路径16相对应。切换控制部36参照表格36a来控制切换机构14。
在真空源12与5个真空压供给路径16的连接状态切换之前，通知控制部38从通知部32通知保持部20的保持力即将变更这一情况(保持力变更的预告)。如果保持部20的保持力变弱，则保持部20有时难以适当地保持物体。因此，在真空源12与5个真空压供给路径16之间的连接状态切换之前，可以通过通知保持力即将变更这一情况来对操作者进行注意唤起。
通知控制部38从通知部32通知由于连接状态的切换而保持部20的保持力发生了变化这一情况(保持力变化的通知)。操作者通过接收保持力变化的通知，能够掌握保持力发生了变化这一情况。另外，保持部20的保持力发生了变化是指保持力为变更中，或者保持力的变更结束。
如下所述，通知控制部38能够进行保持部20的保持力的变更的预告和变化的通知。在这种情况下，通知部32例如是扬声器。即，从操作者的操作开始到经过第1规定时间为止(切换控制部36切换连接状态为止)，通知控制部38从通知部32输出预告保持部20的保持力即将变更这一情况的预告音。在经过该第1规定时间后，通知控制部38从通知部32输出通知保持部20的保持力发生了变化这一情况的通知音。由此，操作者能够通过预告音以及通知音来掌握保持力的变更的进行状况。
通知控制部38也可以将该通知音划分为第1通知音和第2通知音，并从通知部32输出。即，在从操作者的操作开始起经过第1规定时间时，通知控制部38输出通知保持力为变更中这一情况的第1通知音。然后，通知控制部38输出通知由操作者选择(指定)的保持力的变更结束这一情况的第2通知音。由此，操作者能够通过第1通知音和第2通知音更详细地掌握保持力的变化状况。
在这种情况下，通知控制部38使预告音和通知音的形式不同，并从通知部32输出。另外，通知控制部38使第1通知音和第2通知音的形式不同地输出。该声音的状态是指声音的大小(音量)、声音的高度(音程)、声音的模式、声音的间隔中的某一个或它们的组合。例如，对预告音使用断断续续的声音(作为一例，可以举出“哔哔哔、哔哔哔、哔哔哔…”)，对通知音使用连续的声音(作为一例，可以举出“哔—”)。进而，通过使该通知音“哔—”的音量或音程在中途不同，能够将通知音划分为第1通知音(变更中)和第2通知音(变更结束)。
通知控制部38也可以进行随着时间的经过而增大预告音的音量的音量处理、随着时间的经过而提高预告音的音程的音程处理、以及随着时间的经过而缩短预告音的通知间隔的间隔处理中的至少一个。由此，操作者能够识别连接状态的切换(保持力的变化开始)的时刻接近这一情况。
如下所述，通知控制部38能够判断为保持力的变更结束。即，如果从操作者的操作开始起经过第1规定时间后，又经过第2规定时间，则通知控制部38判断为保持力的变更结束。第2规定时间对应于从连接状态的切换到保持力的变更结束所需的时间。通常，如果真空压供给系统10的尺寸等已确定，则该所需时间也大致确定。即，第2规定时间可以是恒定值。但是，根据变更前的保持力(真空压供给路径16的压力)与变更后的(所选择的)保持力(真空压供给路径16的压力)之差，到变更结束为止的所需的时间也变化。因此，通知控制部38也可以使用表格(未图示)，根据所选择的保持力(真空压供给路径16)来切换第2规定时间的长度。该表格例如表示变更前的保持力(真空压供给路径16)、变更后的保持力(真空压供给路径16)和第2规定时间的对应关系。另外，该表格也可以包含在表格36a中。
图2是表示实施方式的真空压供给系统10的动作顺序的一例的图。当操作者对操作部30进行用于变更保持部20的保持力的操作时(在步骤S1中为“是”)，通知控制部38从通知部32(在此为扬声器)输出预告保持部20的保持力被变更这一情况的预告音(步骤S2)。
从操作者的操作开始起经过第1规定时间后(在步骤S3中为“是”)，切换控制部36控制切换机构14，切换真空源12与5个真空压供给路径16的连接状态(步骤S4)。另一方面，在从操作者的操作开始起未经过第1规定时间的情况下(步骤S3为“否”)，通知控制部38停留在步骤S3，直到经过第1规定时间。该时间的经过例如可以通过在操作者的操作时开始计时器的计时来计测。另外，通知控制部38在步骤S3中判断为“否”的情况下，通知控制部38也可以返回到步骤S2。由此，持续地通知预告音，直到经过第1规定时间。
通知控制部38在从操作者的操作开始起经过第1规定时间后，通知控制部38从通知部32输出通知保持部20的保持力为变更中这一情况的第1通知音(步骤S5)。该第1通知音优选在真空压供给路径16的切换时或切换后立即从通知部32输出。进而，在经过第1规定时间后，又经过第2规定时间后(步骤S6中为“是”)，通知控制部38从通知部32输出通知保持部20的保持力的变更结束这一情况的第2通知音(步骤S7)。另一方面，在切换真空源12与5个真空压供给路径16的连接状态后未经过第2规定时间的情况下(步骤S6中为“否”)，通知控制部38停留在步骤S6，直到经过第2规定时间。由此，操作者可以通过第1通知音和第2通知音来掌握保持力的变化状况。另外，通知控制部38在步骤S6中判断为“否”的情况下，通知控制部38也可以返回到步骤S5。由此，持续地通知第1通知音直到经过第2规定时间。
如上所述，在本实施方式中，通过切换真空源12与多个真空压供给路径16的连接状态，切换机构14能够不使用多个真空源就能变更保持部20的保持力。另外，在该切换之前，通知控制部38输出预告音，在由于切换引起的保持力的变更中以及变更结束后，通知控制部38输出第1通知音以及第2通知音。由此，操作者能够掌握保持力的变化状况。
(变形例1)
在实施方式中，通知控制部38根据第2规定时间的经过来判断保持力的变更的结束，但也可以通过其他方法来判断保持力的变更的结束。
图3是表示变形例1的真空压供给系统10的构成的图。对于与上述实施方式相同的构成要素赋予相同的符号，仅说明不同的部分。该真空压供给系统10具备压力检测部40。压力检测部40设置在保持部20上，检测保持部20的吸引压力。通知控制部38根据来自压力检测部40的检测信号，判断保持力的变更是否结束。如上所述，检测信号所表示的保持部20的吸引压力与保持力对应，与保持力一起变化。可以根据检测到的吸引压力(保持力)是否达到了所选择的吸引压力(保持力)来判断保持力的变更结束。通知控制部38在判断为保持力的变更结束的情况下，通知控制部38从通知部32输出通知保持力的变更结束这一情况的第2通知音。
图4是表示变形例1的真空压供给系统10的动作顺序的一例的图。在此，步骤S1～S5与实施方式的步骤S1～S5相同，因此对步骤S5以后的步骤进行说明。通知控制部38从通知部32输出了第1通知音(步骤S5)后，通知控制部38判断保持力的变更是否结束(步骤S16)。通知控制部38在判断为保持力的变更结束的情况下(步骤S16中为“是”)，通知控制部38从通知部32输出第2通知音(步骤S7)。另一方面，通知控制部38在判断为保持力的变更未结束的情况下(步骤S16中为“否”)，通知控制部38停留在步骤S16，直到判断为保持力的变更结束。由此，操作者可以通过第1通知音和第2通知音来掌握保持力的变化状态。另外，通知控制部38在步骤S16中判断为“否”的情况下，通知控制部38也可以返回到步骤S5。由此，持续地通知第1通知音，直到保持力的变更结束。
除了以上的点以外，变形例1与实施方式相同，因此省略详细的说明。
(变形例2)
在实施方式中，通知控制部38在连接状态切换之前，从通知部32通知保持力被变更这一情况。在此，也可以仅在由于连接状态切换而保持部20的保持力降低的情况下进行通知，在保持力增加的情况下不进行通知。由此，仅在保持力降低的情况下(作为一例，仅在保持力为零的情况下)，能够对操作者进行注意唤起。
在此，在由于连接状态切换而保持力增加的情况下，通知控制部38也可以不输出预告音、第1通知音以及第2通知音的全部。但是，即使在由于连接状态切换而保持力增加的情况下，通知控制部38也可以输出预告音、第1通知音以及第2通知音中的至少一个(例如，仅表示保持力的变更结束的第2通知音)。
另外，在由于连接状态切换而保持力增加的情况下，切换控制部36也可以不等待从操作者的操作开始起经过第1规定时间，而在操作者的操作之后立即控制切换机构14，变更保持部20的保持力。由此，真空压供给系统10的动作变得迅速。在该情况下，不通知预告音。
除了以上的点以外，变形例2与实施方式相同，因此省略详细的说明。
(变形例3)
在实施方式中，切换控制部36根据操作员的操作切换保持力，但切换控制部36也可以不依赖于操作员的操作，而是根据程序来控制切换机构14，变更保持力。在这种情况下，在图2和图4所示的动作步骤中，除去步骤S1。即，通知控制部38在该切换(步骤S4)之前输出预告音(步骤S2)。切换控制部36在从预告音的输出开始起经过第1规定时间后(步骤S3中为“是”)，切换真空源12与多个真空压供给路径16的连接状态(步骤S4)。
在从预告音的输出开始起经过第1规定时间后(真空压供给路径16的切换时或切换之后)，通知控制部38从通知部32输出第1通知音(步骤S5)。然后，在实施方式(图2)的情况下，在经过第1规定时间后，又经过第2规定时间后(步骤S6中为“是”)，通知控制部38输出第2通知音(步骤S7)。另外，在变形例1(图4)的情况下，通知控制部38不依赖于时间的经过，而是在判断为保持力的变更结束的情况下(步骤S16中为“是”)，输出第2通知音(步骤S7)。这样，以预告音的输出开始为起点，通知控制部38切换连接状态，通知控制部38输出第1通知音(以及第2通知音)。
除了以上的点以外，变形例3与实施方式相同，因此省略详细的说明。
(变形例4)
在实施方式中，切换控制部36通过多个真空压供给路径16都不与真空源12连接来使保持部20的保持力为零，但切换控制部36也可以通过将所选择的真空压供给路径16与真空源12连接来使保持力为零。即，预先关闭特定的真空压供给路径16的节流阀22，切换控制部36将该真空压供给路径16与真空源12连接。这样，不必将多个真空压供给路径16全部设为非连接，就能够使保持力为零。
除了以上的点以外，变形例4与实施方式相同，因此省略详细的说明。
以上的实施方式和变形例1～4可以适当地组合。即，变形例1～4的构成的全部或一部分能够适用于实施方式。
[根据实施方式得到的发明]
以下记载能够根据上述各实施方式及变形例1～4掌握的发明。
〔1〕本发明的真空压供给系统(10)具备：多个真空压供给路径(16)，其用于向使用真空压来保持物体的保持部(20)供给来自真空源(12)的所述真空压；压力调节机构(18)，其以保持物体的保持力相互不同的方式调节多个所述真空压供给路径内的压力；以及切换机构(14)，其为了变更所述保持部的保持力，切换所述真空源与多个所述真空压供给路径的连接状态。所述切换机构选择一个所述真空压供给路径与所述真空源连接，由此切换所述连接状态。由此，通过切换真空源与多个真空压供给路径的连接状态，能够变更保持部的保持力。即，即使不使用多个真空源也能够进行保持力的变更。
〔2〕所述切换机构以多个所述真空压供给路径不与所述真空源连接的方式切换所述连接状态。由此，通过多个真空压供给路径不与真空源连接，能够使保持部的保持力为零。
〔3〕真空压供给系统具备：切换控制部(36)，其为了变更所述保持部的保持力，控制所述切换机构，切换所述连接状态；以及通知控制部(38)，其在所述连接状态切换之前，从通知部(32)通知所述保持力被变更这一情况。由此，通过事先通知保持力被变更这一情况，能够对操作者进行注意唤起。
〔4〕所述通知控制部从所述通知部通知由于所述连接状态的切换而所述保持力发生了变化这一情况。由此，操作者通过接收保持力变化的通知，能够掌握保持力发生了变化这一情况。
〔5〕所述通知控制部仅在由于所述连接状态切换而所述保持力降低的情况下，从所述通知部通知所述保持力被变更这一情况。由此，能够仅在保持力降低的情况下，对操作者进行注意唤起。
〔6〕具备操作者进行用于变更所述保持力的操作的操作部(30)，所述切换控制部根据操作者进行的操作来控制所述切换机构。由此，能够通过操作者的操作来变更保持部的保持力。
〔7〕所述通知部是扬声器，所述切换控制部在从操作者的操作开始起经过第1规定时间后切换所述连接状态，所述通知控制部从所述通知部输出预告所述保持力被变更这一情况的预告音，直到从操作者的操作开始起经过所述第1规定时间，在经过所述第1规定时间后，从所述通知部输出通知所述保持力发生了变化这一情况的通知音。由此，操作者能够通过预告音、通知音来掌握保持部的保持力的变化状况。
〔8〕所述通知控制部使所述预告音和所述通知音的形式不同并输出。由此，操作者容易识别预告音和通知音，能够更可靠地掌握保持力变更的进行状况。
〔9〕当从操作者的操作开始起经过了第1规定时间时，所述通知控制部输出通知所述保持力为变更中这一情况的第1通知音，之后输出通知所述保持力的变更结束这一情况的第2通知音。由此，操作者能够通过第1通知音和第2通知音更详细地掌握保持力的变化状况。
〔10〕所述通知控制部使所述第1通知音和所述第2通知音的形式不同并输出。由此，操作者容易识别第1通知音和第2通知音，能够更可靠地掌握保持力的变更中、变更结束的推移。
〔11〕当从操作者的操作开始起经过第1规定时间后又经过第2规定时间时，所述通知控制部判断为保持力的变更结束。由此，即使不检测保持部的吸引压力，也能够判断为保持力的变更结束。
〔12〕真空压供给系统具备检测所述保持部的吸引压力的压力检测部(40)，所述通知控制部根据所述压力检测部的检测信号，判断所述保持力的变更是否结束。由此，通过检测保持部的吸引压力，能够更可靠地判断保持力的变更是否结束。
〔13〕所述压力调节机构具有设置在多个所述真空压供给路径上的多个节流阀(22)。由此，能够使用多个节流阀，以保持物体的保持力相互不同的方式调节多个真空压供给路径内的压力。
Claims (13)
1.一种真空压供给系统(10)，其特征在于，具备：
多个真空压供给路径(16)，其用于向使用真空压来保持物体的保持部(20)供给来自真空源(12)的所述真空压；
压力调节机构(18)，其以保持物体的保持力相互不同的方式调节多个所述真空压供给路径内的压力；以及
切换机构(14)，其为了变更所述保持部的保持力，切换所述真空源与多个所述真空压供给路径的连接状态，
所述切换机构选择一个所述真空压供给路径与所述真空源连接，由此切换所述连接状态。
2.根据权利要求1所述的真空压供给系统，其特征在于，
所述切换机构以多个所述真空压供给路径不与所述真空源连接的方式切换所述连接状态。
3.根据权利要求1或2所述的真空压供给系统，其特征在于，
具备：切换控制部(36)，其为了变更所述保持部的保持力，控制所述切换机构，切换所述连接状态；以及
通知控制部(38)，其在所述连接状态切换之前，从通知部(32)通知所述保持力被变更这一情况。
4.根据权利要求3所述的真空压供给系统，其特征在于，
所述通知控制部从所述通知部通知由于所述连接状态的切换而所述保持力发生了变化这一情况。
5.根据权利要求3或4所述的真空压供给系统，其特征在于，
所述通知控制部仅在由于所述连接状态切换而所述保持力降低的情况下，从所述通知部通知所述保持力被变更这一情况。
6.根据权利要求3～5中任一项所述的真空压供给系统，其特征在于，
具备操作部(30)，所述操作部(30)由操作者进行用于变更所述保持力的操作，
所述切换控制部根据操作者进行的操作来控制所述切换机构。
7.根据权利要求6所述的真空压供给系统，其特征在于，
所述通知部是扬声器，
所述切换控制部在从操作者的操作开始起经过第1规定时间后切换所述连接状态，
所述通知控制部在从所述通知部输出预告所述保持力被变更这一情况的预告音，直到从操作者的操作开始起经过所述第1规定时间，在经过所述第1规定时间后，从所述通知部输出通知所述保持力发生了变化这一情况的通知音。
8.根据权利要求7所述的真空压供给系统，其特征在于，
所述通知控制部使所述预告音和所述通知音的形式不同并输出。
9.根据权利要求7或8所述的真空压供给系统，其特征在于，
当从操作者的操作开始起经过所述第1规定时间时，所述通知控制部输出通知所述保持力为变更中这一情况的第1通知音，之后输出通知所述保持力的变更结束这一情况的第2通知音。
10.根据权利要求9所述的真空压供给系统，其特征在于，
所述通知控制部使所述第1通知音和所述第2通知音的形式不同并输出。
11.根据权利要求9或10所述的真空压供给系统，其特征在于，
当从操作者的操作开始起经过所述第1规定时间后又经过第2规定时间时，所述通知控制部判断为所述保持力的变更结束。
12.根据权利要求9或10所述的真空压供给系统，其特征在于，
具备检测所述保持部的吸引压力的压力检测部(40)，
所述通知控制部根据所述压力检测部的检测信号，判断所述保持力的变更是否结束。
13.根据权利要求1～12中任一项所述的真空压供给系统，其特征在于，
所述压力调节机构具有多个节流阀(22)，所述多个节流阀(22)设置在多个所述真空压供给路径上。
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