WO2020241355A1

WO2020241355A1 - アクチュエータ

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Publication number: WO2020241355A1
Application number: PCT/JP2020/019645
Authority: WO
Inventors: 章吾笠原; 正明安藤; 慎司羽多野; 将生土橋
Original assignee: 日本電産サンキョー株式会社
Priority date: 2019-05-30
Filing date: 2020-05-18
Publication date: 2020-12-03
Also published as: CN113853734B; CN113853734A; US20220224213A1; JP2020195247A; JP7463062B2

Abstract

可動体と固定体とを接続体によって接続したアクチュエータにおいて、振動方向以外の方向への可動体の動きを抑制する。アクチュエータ１は、可動体３と固定体２とを接続するダンパー部材１０が、可動体３のシャフト３１のＬ１側の端部と、固定体２の第１ホルダ４の開口部４１との間、および、可動体３のシャフト３１のＬ２側の端部と、第２ホルダ５の開口部５１との間の２箇所に配置される。各ダンパー部材１０は、可動体３と固定体２との径方向の隙間において全周にわたって連続して配置される接続体であるゲル状ダンパー部材１４を備える。ゲル状ダンパー部材１４は、内周部１４１が円筒状の第１部材１１を介してシャフト３１に固定され、外周部１４２が円筒状の第２部材１２を介して固定体２に固定される。

Description

アクチュエータ

　本発明は、可動体を固定体に対して相対移動させるアクチュエータに関する。

　アクチュエータとして、固定体および可動体と、固定体に対して可動体を振動させる磁気駆動機構を備えるとともに、可動体と固定体とを接続体によって接続したものがある。
特許文献１のアクチュエータは、可動体と固定体（支持体）とが可動体の振動方向と直交する方向で対向する箇所に接続体が配置される。特許文献１の接続体は、ゲル状ダンパー部材である。固定体（支持体）に対して可動体が振動するとき、ゲル状ダンパー部材は、せん断方向に変形する。

特開２０１９－１３０８６号公報

　特許文献１では、可動体に設けられたヨークと、固定体（支持体）に設けられたカバー部材とが対向する箇所に接続体（ゲル状ダンパー部材）が配置される。ゲル状ダンパー部材は、厚さ方向の一方の面がヨークに接着され、他方の面がカバー部材に接着されているが、ゲル状ダンパー部材の外周側には全周に隙間が設けられている。そのため、磁気駆動機構によって可動体を振動させる場合に、振動方向と直交する方向にも可動体が動くことができるため、意図しない方向へ可動体が動いてしまうという問題がある。

　以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、可動体と固定体とを接続体によって接続したアクチュエータにおいて、振動方向以外の方向への可動体の動きを抑制することにある。

　上記課題を解決するために、本発明に係るアクチュエータは、磁石およびコイルの一方を備えた可動体と、前記磁石およびコイルの他方を備えた固定体と、前記固定体と前記可動体とを接続する接続体と、を有し、前記磁石およびコイルは、前記可動体を前記固定体に対して振動させる磁気駆動機構を構成しており、前記可動体および前記固定体の一方は、前記可動体および前記固定体の他方の内周側に配置される内周側部分を備え、前記可動体および固定体の他方は、前記内周側部分の外周側を囲む外周側部分を備え、前記接続体は、前記内周側部分の全周を連続して囲んでおり、前記接続体の内周部が前記内周側部分に接続され、前記接続体の外周部が前記外周側部分に接続されることを特徴とする。

　本発明によれば、可動体と固定体とを接続する接続体が可動体および固定体の一方に設けられた内周側部分を全周で連続して囲んでおり、接続体の内周部が可動体および固定体の一方に接続され、接続体の外周部が可動体および固定体の他方に接続される。このように、接続体を可動体と固定体の間の全周に連続して配置することにより、可動体を磁気駆動機構によって振動させる場合には、接続体がせん断方向に変形し、可動体を振動方向以外の方向に移動させる場合には、接続体が潰れる方向に変形する。これにより、可動体を振動させる場合よりも、振動方向以外の方向に移動させる場合の方が接続体のバネ定数を大きくすることができるので、可動体が振動方向とは異なる方向に移動することを抑制できる。よって、可動体が意図しない方向へ動くことを抑制でき、可動体と固定体との衝突を抑制できる。

　本発明において、前記固定体は、前記可動体の外周側を囲んでおり、前記接続体の前記内周部が、前記可動体に設けられた前記内周側部分に接続され、前記接続体の前記外周部が、前記固定体に設けられた前記外周側部分に接続される。このようにすると、固定内の内周側に可動体を配置して、可動体の振動を固定体を介して外部に出力する触覚デバイスを構成する場合に、可動体が振動方向とは異なる方向に振動することを抑制でき、可動体と固定体との衝突を抑制できる。

　本発明において、前記接続体は、前記可動体の振動方向の一端側および他端側で前記可動体と前記固定体を接続していることが好ましい。このようにすると、可動体の振動方向の両端が接続体によって支持される。従って、可動体を安定して支持でき、可動体が意図しない方向へ動くことを抑制できる。

　本発明において、前記接続体は、ゲル状ダンパー部材からなることが好ましい。接続体としてシリコーンゲルなどのゲル状ダンパー部材を用いることにより、接続体が潰れる方向に変形する場合のバネ定数は、接続体がせん断方向に変形する場合のバネ定数の３倍程度になる。従って、ゲル状ダンパー部材を可動体と固定体の間の全周に配置することにより、可動体が振動方向とは異なる方向に移動することを抑制できる。

　本発明において、前記接続体は円筒形状であることが好ましい。このようにすると、接続体が全周で均等に配置される。従って、接続体のバネ定数を全周で均等にすることができる。従って、可動体が特定の方向へ動きやすくなることがないので、可動体を安定して支持できる。

　本発明において、前記接続体は、前記内周部の高さが前記外周部の高さより大きいことが好ましい。このようにすると、内周部の固定面積と、外周部の固定面積との面積差を少なくできるため、内周部への応力集中を低減させることができる。接続体への応力集中を低減させることにより、可動体を振動させる際の振幅の許容範囲を大きくすることができる。従って、大きな振幅で可動体を振動させることができる。また、接続体の耐久性を向上させることができる。

　本発明において、前記内周部は、全周で前記内周側部分と接続され、前記外周部は、周方向の一部が前記外周側部分と接続されることが好ましい。このようにすると、内周部の固定面積と、外周部の固定面積との面積差を少なくできるため、内周部への応力集中を低減させることができる。接続体への応力集中を低減させることにより、可動体を振動させる際の振幅の許容範囲を大きくすることができる。従って、大きな振幅で可動体を振動させることができる。また、接続体の耐久性を向上させることができる。

　本発明において、前記接続体は、円筒状の第１部材と、前記第１部材の外周側に配置される円筒状の第２部材との間に配置されて前記第１部材と前記第２部材とを接続しており、前記内周部は、前記第１部材を介して、全周で前記内周側部分と接続され、前記外周部は、前記第２部材を介して、全周または周方向の一部が前記外周側部分と接続されることが好ましい。このように、内周側の枠材（第１部材）と外周側の枠材（第２部材）との間にゲル状ダンパー部材を直接成形した部品を製造しておけば、アクチュエータを組み立てる際に、第１部材および第２部材を介して、可動体および固定体とゲル状ダンパー部材とを接続できる。従って、アクチュエータを組み立てる際に、ゲル状ダンパー部材の貼り付け作業やそのための作業空間も必要としない。よって、アクチュエータの製造を効率的に行うことができる。

　本発明において、前記可動体は、前記接続体の内周側に配置される内側環状部材を備え、前記内側環状部材は、前記可動体の質量を調節するための錘であり、前記接続体が固定される前記内周側部分は、前記内側環状部材に設けられていることが好ましい。可動体と固定体とを接続体によって接続したリニアアクチュエータにおいては、以下の式（１）に示すように、可動体の共振周波数ｆ０は、可動体の質量ｍと接続体のバネ定数ｋを含む式で規定される。
　　　共振周波数ｆ０＝（１／２π）×√（ｋ／ｍ）・・・（１）
　　　ｋ：接続体のバネ定数、ｍ：可動体の質量

　従って、可動体に錘を設けることにより、可動体の質量ｍを調節して、可動体の共振周波数ｆ０を適正な周波数にすることができる。例えば、アクチュエータを触覚デバイスとして用いる場合には、共振周波数ｆ０と、ユーザが求める触覚を与える周波数とを一致させることができる。また、接続体が接続される内側環状部材を錘として用いることにより、可動体の質量ｍを調節する際に、内側環状部材の外径を変更することによって接続体の径方向の厚さを同時に変更して、接続体のバネ定数ｋを変更することができる。従って、１つの部材（内側環状部材）の形状変更のみで、可動体の共振周波数ｆ０を決定する２つの値（ｋ、ｍ）を同時に調節することができる。また、接続体の径方向の厚さを薄くする場合には、可動体に対する接続体の内周部の固定面積と、固定体に対する接続体の外周部の固定面積との面積差も少なくすることができるため、同時に内周部への応力集中を低減させることができる。

　本発明において、前記固定体は、前記コイルが巻かれるコイル固定部を備えたホルダ部材と、前記ホルダ部材に固定される外側環状部材と、を備え、前記接続体が固定される前記外周側部分は、前記外側環状部材に設けられていることが好ましい。このようにすると、固定体にコイルを配置する場合には、接続体を接続するための外側環状部材と、コイル固定部を備えたボルダ部材とを別体にすることによって、コイルが巻かれる部材に直接、接続体を接続する作業を行う必要がない。従って、アクチュエータの組立作業を効率的に行うことができる。

本発明の実施形態１に係るアクチュエータの断面図である。図１のアクチュエータの分解断面斜視図である。ダンパー部材の製造方法の説明図である。本発明の実施形態２に係るアクチュエータの断面図である。図４のアクチュエータをＬ１側から見た分解斜視図である。図４のアクチュエータをＬ２側から見た分解斜視図である。本発明の実施形態３に係るアクチュエータの断面図である。図７のアクチュエータをＬ１側から見た分解斜視図である。図７のアクチュエータをＬ２側から見た分解斜視図である。変形例１のゲル状ダンパー部材の斜視図および側面図である。変形例２、３のゲル状ダンパー部材の説明図である。

　以下に、図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。なお、以下の説明において、軸線Ｌとは可動体の中心軸線である。また、軸線Ｌが延在する方向（軸線Ｌ方向）の一方側をＬ１とし、軸線Ｌ方向の他方側をＬ２とする。本発明を適用したアクチュエータは、可動体が固定体に対して軸線Ｌ方向に振動する。可動体と固定体は、その一方の少なくとも一部が他方の内周側に配置される。可動体と固定体は、可動体と固定体との径方向の隙間において全周に連続して配置される接続体によって接続される。

　以下に説明する実施形態１－３では、固定体が可動体の外周側を囲んでおり、接続体の内周部が可動体に接続され、接続体の外周部が固定体に接続される形態を例にとって説明するが、本発明は、可動体と固定体の配置を入れ換えて、可動体が固定体の外周側を囲む構成に対しても適用可能である。また、実施形態１－３では、可動体は、軸線Ｌ方向の一方側（Ｌ１側）および他方側（Ｌ２側）の２箇所において、接続体によって固定体と接続されるが、本発明では、接続体が１箇所もしくは３箇所以上に配置される形態を採用してもよい。さらに、実施形態１－３では、可動体を固定体に対して振動させる磁気駆動機構は、可動体に配置される磁石と、固定体に配置されるコイルを備えているが、本発明は、磁石とコイルの配置を逆にした構成を採用することも可能である。

　本発明において、接続体は、可動体と固定体の径方向の隙間において全周に連続して配置されるゲル状ダンパー部材である。そのため、可動体が軸線Ｌ方向に振動するとき、ゲル状ダンパー部材はせん断方向に変形し、可動体が振動方向（軸線Ｌ方向）とは異なる方向（すなわち、径方向）に移動するとき、ゲル状ダンパー部材は潰れる方向に変形する。
従って、可動体が振動方向（軸線Ｌ方向）とは異なる方向に移動しようとするとき、ゲル状ダンパー部材のバネ定数は可動体が軸線Ｌ方向に振動するときのバネ定数の３倍程度になるので、可動体が振動方向（軸線Ｌ方向）とは異なる方向に移動しにくい。

［実施形態１］
（全体構成）
　図１は、本発明の実施形態１に係るアクチュエータ１の断面図である。図２は、図１のアクチュエータ１の分解断面斜視図である。図１、図２に示すように、アクチュエータ１は、固定体２および可動体３と、固定体２と可動体３とを接続するダンパー部材１０と、固定体２に対して可動体３を軸線Ｌ方向に相対移動させる磁気駆動機構６を備える。磁気駆動機構６は、磁石６１およびコイル６２を備える。磁石６１は、可動体３に配置され、コイル６２は、固定体２に配置される。可動体３は、Ｌ１側の端部およびＬ２側の端部の各位置において、ダンパー部材１０を介して固定体２と接続される。従って、ダンパー部材１０は、軸線Ｌ方向に離間した２箇所に配置される

（固定体）
　固定体２は、ケース２０と、ケース２０に保持される第１ホルダ４および第２ホルダ５を備える。ケース２０は、軸線Ｌ方向に延びる筒状ケース２１と、筒状ケース２１のＬ１側の端部に固定される第１端板２２と、筒状ケース２１のＬ２側の端部に固定される第２端板２３を備える。第１ホルダ４および第２ホルダ５は、筒状ケース２１の内側に配置される。第１ホルダ４には、コイル６２が固定されるとともに、ダンパー部材１０が接続される。第２ホルダ５には、ダンパー部材１０が接続される。本形態では、第１ホルダ４および第２ホルダ５は樹脂製であり、ケース２０は金属製である。

　第１ホルダ４は、中央に円形の開口部４１が設けられた環状部４２と、環状部４２の内周部分からＬ２側へ突出する円筒状のコイル固定部４３を備える。コイル６２は、コイル固定部４３の外周側に巻かれている。開口部４１には、ダンパー部材１０が配置される。
環状部４２の外周面は円筒面であり、筒状ケース２１に内接する。図２に示すように、環状部４２には、径方向に延びるリブ４２１が形成されている。また、周方向で隣り合うリブ４２１の間に肉抜き部４２２が形成されている。環状部４２には、コイル線が接続される基板６３が固定される。基板６３は、環状部４２の外周面に設けられた凹部４４に配置される。

　第２ホルダ５は、中央に円形の開口部５１が設けられた環状部５２と、環状部５２の外周縁からＬ１側へ突出する円筒部５３と、円筒部５３の周方向の一部からＬ１側へ突出する突出部５４を備える。突出部５４の先端は、第１ホルダ４の凹部４４に配置される。開口部５１の内側には、ダンパー部材１０が配置される。環状部５２および円筒部５３の外周面は円筒面であり、筒状ケース２１に内接する。

（可動体）
　可動体３は、固定体２の径方向の中心において軸線Ｌ方向に延びるシャフト３１と、シャフト３１の軸線Ｌ方向の略中央に固定される磁石６１と、磁石６１にＬ１側で重なる第１ヨーク３２と、磁石６１にＬ２側で重なる第２ヨーク３３と、第１ヨーク３２にＬ１側で重なる内側環状部材３６と、第２ヨーク３３にＬ２側で重なる金属製の内側環状部材３７を備える。内側環状部材３６、３７は、シャフト３１が嵌まる軸孔を備えている。内側環状部材３６、３７は同一形状であり、軸線Ｌ方向で逆向きに配置される。内側環状部材３６、３７は、可動体３の質量を調節するための錘である。

　可動体３と固定体２とを接続体（ゲル状ダンパー部材１４）によって接続したアクチュエータ１においては、以下の式（１）に示すように、可動体３の共振周波数ｆ０は、可動体３の質量ｍと接続体（ゲル状ダンパー部材１４）のバネ定数ｋを含む式で規定される。
　　　共振周波数ｆ０＝（１／２π）×√（ｋ／ｍ）・・・（１）
　　　ｋ：接続体（ゲル状ダンパー部材１４）のバネ定数、ｍ：可動体３の質量

　磁石６１は円筒状であり、軸線Ｌ方向においてＮ極とＳ極とに分極するように着磁されている。シャフト３１は、固定体２の径方向の中心において軸線Ｌ方向に延びている。磁石６１の外周側には、第１ホルダ４に設けられたコイル固定部４３が磁石６１と同軸に配置される。従って、磁石６１とコイル６２は同軸に配置される。

　第１ヨーク３２は、外径寸法が磁石６１の外径寸法よりわずかに大きい磁性板である。
第１ヨーク３２の外周面は、磁石６１の外周面より径方向外側に張り出している。第１ヨーク３２は、磁石６１のＬ１側の面に接着等の方法で固定されている。第２ヨーク３３は、２枚の磁性板（第１磁性板３４、第２磁性板３５）によって構成される。第１磁性板３４は、磁石６１のＬ２側に配置される端板部３４１と、端板部３４１の外縁からＬ１側に延在する円筒状の側板部３４２とを備えている。側板部３４２は、コイル固定部４３の外周側に配置される。第２磁性板３５は、第１磁性板３４の端板部３４１よりわずかに小さな円板状である。第２磁性板３５は、第１磁性板３４の端板部３４１にＬ１側で積層され、端板部３４１に溶接されている。第２ヨーク３３は、第２磁性板３５が磁石６１のＬ２側の面に接着等の方法で固定されている。

（ダンパー部材）
　ダンパー部材１０は、シャフト３１と第１ホルダ４との間、および、シャフト３１と第２ホルダ５との間の２箇所に配置される。以下、シャフト３１と第１ホルダ４とを接続するダンパー部材１０を第１ダンパー部材１０Ａとし、シャフト３１と第２ホルダ５とを接続するダンパー部材１０を第２ダンパー部材１０Ｂとして説明する。第１ダンパー部材１０Ａと第２ダンパー部材１０Ｂは同一の構成であり、軸線Ｌ方向で逆向きに配置される。

　ダンパー部材１０（第１ダンパー部材１０Ａ、第２ダンパー部材１０Ｂ）は、円筒状の第１部材１１と、第１部材１１の外周側に配置される第２部材１２と、第１部材１１と第２部材１２の間に配置される接続体であるゲル状ダンパー部材１４を備える。第１部材１１および第２部材１２は円筒状であり、同軸に配置される。ゲル状ダンパー部材１４は、径方向の厚さが一定の円筒状部材であり、軸線Ｌ方向の寸法（高さ）も一定である。ゲル状ダンパー部材１４は、シリコーンゲルからなる。例えば、ゲル状ダンパー部材１４として、針入度が９０度から１１０度のシリコーンゲルを用いることができる。

　ゲル状ダンパー部材１４の内周部１４１は、第１部材１１に接続され、ゲル状ダンパー部材１４の外周部１４２は、第２部材１２に接続されている。ゲル状ダンパー部材１４は、第１部材１１と第２部材１２の間にゲル材料を充填して熱硬化させることにより成形される。ゲル材料は、熱硬化する際に、第１部材１１の外周面および第２部材１２の内周面に塗布されたプライマー１３（図３参照）と接する部分が反応して、プライマー１３が塗布された面に固定される。従って、ゲル状ダンパー部材１４は、硬化後に接着剤を用いて第１部材１１および第２部材１２に固定する必要がなく、プライマー１３と反応したゲル状ダンパー部材１４自身の接着力によって、内周部１４１が第１部材１１に接続されると共に、外周部１４２が第２部材１２に接続される。

（ダンパー部材の取付構造）
　シャフト３１と第１ホルダ４とを接続する第１ダンパー部材１０Ａは、第１ホルダ４の開口部４１に配置される。第１ダンパー部材１０Ａの第２部材１２は、接着などによって開口部４１の内面に固定される。また、第１ダンパー部材１０Ａの第１部材１１は、第１部材１１の中心部分を貫通する軸孔１９に配置されるボルト３１０によって、シャフト３１のＬ１側の端部に固定される。これにより、第１ホルダ４とシャフト３１が第１ダンパー部材１０Ａによって接続される。第１部材１１は、内側環状部材３６にＬ１側から当接する。

　シャフト３１と第２ホルダ５とを接続する第２ダンパー部材１０Ｂは、第２ホルダ５の開口部５１に配置される。第２ダンパー部材１０Ｂの第２部材１２は、接着などによって開口部５１の内面に固定される。また、第２ダンパー部材１０Ｂの第１部材１１は、軸孔１９に配置されるボルト３１０によってシャフト３１のＬ２側の端部に固定される。これにより、第２ホルダ５とシャフト３１が第２ダンパー部材１０Ｂによって接続される。第１部材１１は、内側環状部材３７にＬ２側から当接する。

（アクチュエータの動作）
　アクチュエータ１は、コイル６２に通電することにより、磁気駆動機構６が、可動体３を軸線Ｌ方向に駆動する駆動力を発生させる。コイル６２への通電を切ると、可動体３は、ゲル状ダンパー部材１４の復帰力によって原点位置へ戻る。従って、コイル６２への通電を断続的に行うことにより、可動体３は、軸線Ｌ方向で振動する。

　第１ダンパー部材１０Ａは、シャフト３１と第１ホルダ４との間において、シャフト３１のＬ１側の端部を全周で囲むゲル状ダンパー部材１４を備えている。また、第２ダンパー部材１０Ｂは、シャフト３１と第２ホルダ５との間において、シャフト３１のＬ２側の端部を全周で囲むゲル状ダンパー部材１４を備えている。第１ダンパー部材１０Ａおよび第２ダンパー部材１０Ｂにおいて、ゲル状ダンパー部材１４は、第１部材１１と第２部材１２の間に隙間なく充填されており、全周に連続して配置される。可動体３が固定体２に対して軸線Ｌ方向に振動する際、ゲル状ダンパー部材１４の内周部１４１に固定された第１部材１１とゲル状ダンパー部材１４の外周部１４２に固定された第２部材１２は、軸線Ｌ方向に相対移動する。従って、ゲル状ダンパー部材１４は、可動体３の振動に追従してせん断方向に変形する。

（ダンパー部材の製造方法）
　図３は、ダンパー部材１０の製造方法の説明図である。ダンパー部材１０の製造に用いる製造用治具９０は、円形凹部９１と、円形凹部９１の底面中央から突出するピン９２を備える。ダンパー部材１０の製造方法は、製造用治具９０に対して第１部材１１および第２部材１２を組み付ける第１ステップと、第１部材１１と第２部材１２の隙間Ｓにゲル材料１４０を充填する第２ステップと、ゲル材料１４０を加熱硬化させる第３ステップと、製造用治具９０からダンパー部材１０を取り外す第４ステップと、を含む。

　第１ステップでは、製造用治具９０に対して第１部材１１および第２部材１２を当接させて位置決めすることによって、第１部材１１と第２部材１２の間に径方向の隙間Ｓを形成する。図３に示すように、第１ステップでは、円形凹部９１の中央から突出するピン９２を第１部材１１の軸孔１９に挿入し、第１部材１１を円形凹部９１の底面にＬ１側から当接させる。また、円形凹部９１の内周面に第２部材１２を内接させるとともに、第２部材１２を円形凹部９１の底面の外周領域に当接させる。これにより、第１部材１１と第２部材１２が軸線Ｌ方向および径方向に位置決めされ、第１部材１１と第２部材１２の間には、環状の隙間Ｓが形成される。環状の隙間Ｓは全周にわたって形成され、径方向の幅が全周で一定である。

　第２ステップでは、第１部材１１と第２部材１２との間に形成された径方向の隙間Ｓに硬化前のゲル材料１４０を充填する。図３に示すように、第２ステップでは、ディスペンサー９３から一定量のゲル材料１４０を隙間Ｓへ吐出する。ここで、隙間Ｓに硬化前のゲル材料１４０を充填する前に、ゲル材料１４０と接する面である第１部材１１の外周面および第２部材１２の内周面に、プライマー１３を塗布しておく。なお、プライマー１３を塗布する作業は、製造用治具９０に対して第１部材１１および第２部材１２を組み付ける前に行ってもよいし、組み付けた後に行ってもよい。

　第３ステップでは、ゲル材料１４０を製造用治具９０ごと加熱し、規定の温度で規定の時間維持することにより、ゲル材料１４０を硬化させる。これにより、隙間Ｓにはゲル状ダンパー部材１４が形成される。ゲル材料１４０は、加熱硬化する際に、プライマー１３に接する部分がプライマー１３と反応して、第１部材１１の外周面および第２部材１２の内周面に固定される。従って、硬化後のゲル状ダンパー部材１４は、接着剤を用いることなく、ゲル状ダンパー部材１４自体の接着力によって、ゲル状ダンパー部材１４の内周部１４１が第１部材１１に固定されると共に、ゲル状ダンパー部材１４の外周部１４２が第２部材１２に固定される。

　第４ステップでは、完成したダンパー部材１０を製造用治具９０から取り外す。例えば、製造用治具９０の第１部材１１が当接する面および第２部材１２が当接する面に突き出しピンを配置するための貫通孔を設けておき、突き出しピンを用いてダンパー部材１０を製造用治具９０から取り外す。これにより、第１部材１１と第２部材１２がゲル状ダンパー部材１４によって接続されたダンパー部材１０が得られる。

（実施形態１の主な効果）
　以上のように、実施形態１のアクチュエータ１では、可動体３と固定体２とを接続するダンパー部材１０が、可動体３に設けられた内周側部分であるシャフト３１のＬ１側の端部と、固定体２に設けられた外周側部分である第１ホルダ４の開口部４１との間、および、可動体３に設けられた内周側部分であるシャフト３１のＬ２側の端部と、第２ホルダ５の開口部５１との間の２箇所に配置される。各ダンパー部材１０は、可動体３と固定体２との径方向の隙間において全周にわたって連続して配置された接続体であるゲル状ダンパー部材１４を備えており、ゲル状ダンパー部材１４は、内周部１４１が第１部材１１を介してシャフト３１に固定され、外周部１４２が第２部材１２を介して固定体２に固定される。

　このような構成では、可動体３を磁気駆動機構６によって軸線Ｌ方向に振動させる場合には、ゲル状ダンパー部材１４がせん断方向に変形し、可動体３が径方向に移動する場合には、ゲル状ダンパー部材１４が潰れる方向に変形する。ゲル状ダンパー部材１４が潰れる方向に変形する場合のバネ定数は、ゲル状ダンパー部材１４がせん断方向に変形する場合のバネ定数の３倍程度になるため、実施形態１のダンパー部材１０を使用することによって、可動体３が振動方向（軸線Ｌ方向）とは異なる方向に移動することを抑制できる。
よって、可動体３が意図しない方向へ動くことを抑制でき、可動体３と固定体２との衝突を抑制できる。

　実施形態１のアクチュエータ１では、ダンパー部材１０は、可動体３の振動方向（軸線Ｌ方向）の一端側（Ｌ１側）および他端側（Ｌ２側）に配置され、可動体３の一端側（Ｌ１側）および他端側（Ｌ２側）の各位置において、可動体３と固定体２とがゲル状ダンパー部材１４によって接続される。このように、可動体３の振動方向の両端をゲル状ダンパー部材１４によって支持することにより、可動体３を安定して支持できる。また、可動体３が意図しない方向へ動くことを抑制できる。

　実施形態１では、ゲル状ダンパー部材１４が円筒形状であるため、ゲル状ダンパー部材１４が潰れる方向に変形する際のバネ定数が周方向で均等になっている。従って、可動体３が振動方向と異なる方向へ移動することを抑制できる。また、ゲル状ダンパー部材１４の径方向の厚さが全周で一定であるため、ゲル状ダンパー部材１４のバネ定数が全周で一定になっている。従って、可動体３が特定の方向へ動きやすくなることがないため、可動体３を安定して支持できる。

　実施形態１のアクチュエータ１は、可動体３を固定体２に対して振動させる磁気駆動機構６を備えており、磁石６１はシャフト３１の外周面に固定され、コイル６２は、磁石６１の外周側を囲むように配置された環状のコイル固定部４３に巻かれている。また、可動体３は、第１ヨーク３２および第２ヨーク３３を備えており、第２ヨーク３３は、コイル固定部４３の外周側に配置される側板部３４２を備えている。このような構成により、単純な構造で大きな駆動力を得ることができるので、アクチュエータ１の出力を大きくすることができる。

　実施形態１では、ダンパー部材１０は、筒状の第１部材１１と、第１部材１１の外周側に配置される筒状の第２部材１２を備えており、第１部材１１と第２部材１２とが接続体であるゲル状ダンパー部材１４によって接続されている。このように、２つの枠材の間にゲル状ダンパー部材１４を成形して部品化した場合には、アクチュエータ１を組み立てる際に、ゲル状ダンパー部材１４の接着作業を行う必要がなく、そのための作業空間を確保する必要もない。従って、アクチュエータ１の製造を効率的に行うことができる。

　実施形態１では、ダンパー部材１０を製造する際、プライマー１３を塗布した第１部材１１の外周面と第２部材１２の内周面との間にゲル材料１４０を充填して熱硬化させることにより、プライマー１３とゲル材料とを反応させて、ゲル状ダンパー部材１４自体の接着力によって、第１部材１１および第２部材１２とゲル状ダンパー部材１４とを接続する。従って、ダンパー部材１０の製造工程においても、ゲル状ダンパー部材１４の接着作業を行う必要がなく、ゲル状ダンパー部材１４単体を取り扱う必要もない。また、ゲル材料１４０を硬化させる工程は、可動体３および固定体２の主要部分に対して行う必要がない。従って、アクチュエータ１の製造を効率的に行うことができる。

［実施形態２］
（全体構成）
　図４は、本発明の実施形態２に係るアクチュエータ１Ａの断面図である。図５は、図４のアクチュエータ１ＡをＬ１側から見た分解斜視図である。図５は、図４のアクチュエータ１ＡをＬ２側から見た分解斜視図である。以下、実施形態１と共通の構成は同一の符号を用いて説明を省略する。図４～図６に示すように、アクチュエータ１Ａは、固定体２Ａおよび可動体３Ａと、固定体２Ａと可動体３Ａとを接続する接続体であるゲル状ダンパー部材１４と、固定体２Ａに対して可動体３Ａを軸線Ｌ方向に相対移動させる磁気駆動機構６を備える。磁気駆動機構６は、実施形態１と同様に、可動体３Ａに配置される磁石６１と、固定体２Ａに配置されるコイル６２を備える。

　実施形態２のアクチュエータ１Ａは、ゲル状ダンパー部材１４が予め枠材（実施形態１の第１部材１１、第２部材１２）の間に成形されてダンパー部材１０として部品化されておらず、可動体３Ａ側の部品（後述する内側環状部材３６Ａ、３７Ａ）と固定体２Ａ側の部品（外側環状部材４０、５０）との間に成形される。ゲル状ダンパー部材１４は、可動体３ＡのＬ１側の端部およびＬ２側の端部の各位置において、固定体２Ａと可動体３Ａとの径方向の隙間に配置される。以下、可動体３ＡのＬ１側の端部に配置されるゲル状ダンパー部材１４を第１ゲル状ダンパー部材１４Ａとし、可動体３ＡのＬ２側の端部に配置されるゲル状ダンパー部材１４を第２ゲル状ダンパー部材１４Ｂとする。

（固定体）
　固定体２は、樹脂製のケース２０Ａと、ケース２０Ａに保持されるホルダ４Ａ（ホルダ部材）と、外側環状部材４０、５０を備える。外側環状部材４０、５０は同一形状であり、軸線Ｌ方向で逆向きに配置される。実施形態２のケース２０Ａは、筒状ケース２１Ａと、筒状ケース２１ＡのＬ１側の端部に固定される第１蓋部材２２Ａと、筒状ケース２１ＡのＬ２側の端部に固定される第２蓋部材２３Ａを備える。筒状ケース２１Ａには、コイル線が接続される基板６３Ａが固定される。基板６３Ａは、筒状ケース２１Ａの外周面に設けられた凹部２４に配置される。

　ホルダ４Ａは、第１蓋部材２２ＡのＬ２側に固定される環状部４２Ａと、環状部４２ＡからＬ２側へ突出するコイル固定部４３Ａを備える。環状部４２Ａの内周部分には、Ｌ２側へ凹む環状凹部４１Ａが設けられており、環状凹部４１Ａに外側環状部材４０が固定される。外側環状部材４０は、第１ゲル状ダンパー部材１４Ａの外周部１４２に固定される。

　図６に示すように、筒状ケース２１Ａは、第２蓋部材２３ＡのＬ１側の位置から内周側へ突出するケース側環状部２５を備えている。第２蓋部材２３Ａは、ケース側環状部２５にＬ２側から固定される。また、ケース側環状部２５は円形の開口部５１Ａを備えており、開口部５１Ａに外側環状部材５０が固定される。外側環状部材５０は、第２ゲル状ダンパー部材１４Ｂの外周部１４２に固定される。

（可動体）
　可動体３Ａは、固定体２Ａの径方向の中心において軸線Ｌ方向に延びるシャフト３１Ａと、シャフト３１Ａの軸線Ｌ方向の略中央に固定される磁石６１と、磁石６１にＬ１側で重なる第１ヨーク３２Ａと、磁石６１にＬ２側で重なる第２ヨーク３３Ａと、第１ヨーク３２ＡにＬ１側で重なる内側環状部材３６Ａと、第２ヨーク３３ＡにＬ２側で重なる金属製の内側環状部材３７Ａを備える。内側環状部材３６Ａ、３７Ａは、シャフト３１Ａが嵌まる軸孔を備えている。内側環状部材３６Ａ、３７Ａは同一形状であり、軸線Ｌ方向で逆向きに配置される。実施形態１と同様に、内側環状部材３６Ａ、３７Ａは、可動体３Ａの質量を調節するための錘である。

　実施形態２では、第２ヨーク３３Ａの第１磁性板３４Ａは、磁石６１のＬ２側の面に接着等の方法で固定される端板部３４１Ａと、端板部３４１Ａの外縁からＬ１側に延在する円筒状の側板部３４２Ａとを備えている。第２ヨーク３３Ａの第２磁性板３５Ａは、端板部３４１ＡにＬ２側から当接する。

（ゲル状ダンパー部材）
　実施形態２では、ゲル状ダンパー部材１４として、シャフト３１ＡのＬ１側の端部に取り付けられた内側環状部材３６Ａと外側環状部材４０との間に配置される第１ゲル状ダンパー部材１４Ａ、および、シャフト３１ＡのＬ２側の端部に取り付けられた内側環状部材３７Ａと外側環状部材５０との間に配置される第２ゲル状ダンパー部材１４Ｂを備えている。ゲル状ダンパー部材１４は、径方向の厚さが一定の円筒状部材であり、軸線Ｌ方向の寸法（高さ）も一定である。ゲル状ダンパー部材１４は、シリコーンゲルからなる。例えば、ゲル状ダンパー部材１４として、針入度が９０度から１１０度のシリコーンゲルを用いることができる。

　第１ゲル状ダンパー部材１４Ａは、内周部１４１が内側環状部材３６Ａに接続され、外周部１４２が外側環状部材４０に接続されている。また、第２ゲル状ダンパー部材１４Ｂは、内周部１４１が内側環状部材３７Ａに接続され、外周部１４２が外側環状部材５０に接続されている。第１ゲル状ダンパー部材１４Ａおよび第２ゲル状ダンパー部材１４Ｂをその内周側および外周側に配置される部材と接続するにあたっては、実施形態１において第１部材１１と第２部材１２の間にゲル状ダンパー部材１４を成形したのと同様の方法で行う。

　たとえば、治具に対して内側環状部材３６Ａおよび外側環状部材４０を組み付けて、内側環状部材３６Ａと外側環状部材４０との間に所定の隙間を形成し、この隙間にゲル材料を充填して熱硬化させる。また、ゲル材料を充填する前に、内側環状部材３６Ａの外周面および外側環状部材４０の内周面にプライマー１３を塗布する。これにより、加熱硬化する際にプライマー１３と接する部分が反応して、第１ゲル状ダンパー部材１４Ａ自体の接着力によって、第１ゲル状ダンパー部材１４Ａの内周部１４１が内側環状部材３６Ａに固定されると共に、第１ゲル状ダンパー部材１４Ａの外周部１４２が外側環状部材４０に固定される。第２ゲル状ダンパー部材１４Ｂについても、内側環状部材３７Ａと外側環状部材５０の間に同様の方法で成形する。

　実施形態２のアクチュエータ１Ａは、実施形態１と同様に、コイル６２に通電することにより、磁気駆動機構６が、可動体３Ａを軸線Ｌ方向に駆動する駆動力を発生させて、可動体３Ａを軸線Ｌ方向で振動させる。ゲル状ダンパー部材１４は、内側環状部材３６Ａと外側環状部材４０の間、および、内側環状部材３７Ａと外側環状部材５０の間に隙間なく充填されており、全周に連続して配置される。可動体３Ａが固定体２Ａに対して軸線Ｌ方向に振動する際、ゲル状ダンパー部材１４は、可動体３Ａの振動に追従してせん断方向に変形する。

（実施形態２の主な効果）
　以上のように、実施形態２のアクチュエータ１Ａでは、可動体３Ａと固定体２Ａとを接続する接続体であるゲル状ダンパー部材１４が、可動体３に設けられた内周側部分である内側環状部材３６Ａと、固定体２Ａに設けられた外周側部分である外側環状部材４０との間、および、可動体３Ａに設けられた内周側部分である内側環状部材３７Ａと、固定体２Ａに設けられた外周側部分である外側環状部材５０との間の２箇所に配置される。各ゲル状ダンパー部材１４は、可動体３Ａと固定体２Ａとの径方向の隙間において全周にわたって連続して配置されており、各ゲル状ダンパー部材１４の内周部１４１が可動体３Ａと接続され、各ゲル状ダンパー部材１４の外周部１４２が固定体２Ａと接続されている。従って、可動体３Ａが振動方向（軸線Ｌ方向）とは異なる方向に移動することを抑制できる。
よって、可動体３Ａが意図しない方向へ動くことを抑制でき、可動体３Ａと固定体２Ａとの衝突を抑制できる。

　実施形態２は、ゲル状ダンパー部材１４が可動体３Ａの軸線Ｌ方向の両端に配置される点、および、ゲル状ダンパー部材１４が円筒形状である点も実施形態１と同様である。従って、この点において、実施形態１と同様の作用効果を得ることができる。

　実施形態２では、可動体３Ａの質量を調節するための錘（内側環状部材３６Ａ、３７Ａ）を、ゲル状ダンパー部材１４の内周部１４１が接続される枠材として使用する。このように、枠材を錘として兼用することにより、部品点数を削減できる。また、ゲル状ダンパー部材１４の成形を行う際、可動体３Ａ側の部材としては内側環状部材３６Ａ、３７Ａを使用すればよく、可動体３Ａの主要部分に対してゲル状ダンパー部材１４を成形する必要がない。従って、アクチュエータ１の製造を効率的に行うことができる。

　実施形態２では、コイル固定部４３Ａを備えたホルダ４Ａ（ホルダ部材）と、ゲル状ダンパー部材１４を成形する際に枠材として用いる外側環状部材４０、５０とを別部品にしており、ホルダ４Ａ（ホルダ部材）に外側環状部材４０が固定される。従って、ゲル状ダンパー部材１４の成形を行う際、固定体２Ａ側の部品としては外側環状部材４０、５０を使用すれば良く、コイル６２が巻かれる部品に対してゲル状ダンパー部材１４を成形する必要がない。従って、アクチュエータ１の製造を効率的に行うことができる。

　実施形態２では、ゲル状ダンパー部材１４を製造する際、プライマー１３を塗布した可動体３Ａ側の部品と固定体２Ａ側の部品との間にゲル材料１４０を充填して熱硬化させることにより、プライマー１３とゲル材料とを反応させて、ゲル状ダンパー部材１４自体の接着力によって、可動体３Ａ側の部品と固定体２Ａ側の部品とを接続する。従って、アクチュエータ１の製造工程において、ゲル状ダンパー部材１４の接着作業を行う必要がなく、そのための作業空間を確保する必要もない。従って、アクチュエータ１の製造を効率的に行うことができる。

［実施形態３］
（全体構成）
　図７は、本発明の実施形態３に係るアクチュエータ１Ｂの断面図である。図８は、図７のアクチュエータ１ＢをＬ１側から見た分解斜視図である。図９は、図７のアクチュエータ１ＢをＬ２側から見た分解斜視図である。以下、実施形態１、２と共通の構成は同一の符号を用いて説明を省略する。図７～図９に示すように、アクチュエータ１Ｂは、固定体２Ｂおよび可動体３Ｂと、固定体２Ｂと可動体３Ｂとを接続する接続体であるゲル状ダンパー部材１４と、固定体２Ｂに対して可動体３Ｂを軸線Ｌ方向に相対移動させる磁気駆動機構６を備える。磁気駆動機構６は、実施形態１、２と同様に、可動体３Ｂに配置される磁石６１と、固定体２Ｂに配置されるコイル６２を備える。

　実施形態３のアクチュエータ１Ｂは、実施形態２と同様に、ゲル状ダンパー部材１４が可動体３Ｂ側の部品（後述する内側環状部材３６Ｂ、３７Ｂ）と固定体２Ｂ側の部品（第１ホルダ４Ｂ、第２ホルダ５Ｂ）との間に成形される。ゲル状ダンパー部材１４は、可動体３ＢのＬ１側の端部およびＬ２側の端部の各位置において、固定体２Ｂと可動体３Ｂとの径方向の隙間に配置される。以下、可動体３ＢのＬ１側の端部に配置されるゲル状ダンパー部材１４を第１ゲル状ダンパー部材１４Ａとし、可動体３ＢのＬ２側の端部に配置されるゲル状ダンパー部材１４を第２ゲル状ダンパー部材１４Ｂとする。

（固定体）
　固定体２は、金属製のケース２０Ｂと、ケース２０Ｂに保持される第１ホルダ４Ｂおよび第２ホルダ５Ｂと、コイルホルダ７０を備える。実施形態３のケース２０Ｂは、筒状ケース２１Ｂと、筒状ケース２１ＢのＬ１側の端部に固定される第１端板２２Ｂと、筒状ケース２１ＢのＬ２側の端部に固定される第２端板２３Ｂを備える。筒状ケース２１Ｂには、コイル線が接続される基板６３Ｂが固定される。基板６３Ｂは、筒状ケース２１Ｂの外周面から突出する固定部品２６に固定される。

　第１ホルダ４Ｂ（外側環状部材）は、筒状ケース２１ＢのＬ１側の端部の内側に固定される環状部４２Ｂと、環状部４２の内周側に配置される枠部分４５と、環状部４２Ｂと枠部分４５とを接続する接続部４６を備えている。後述するように、枠部分４５には、ゲル状ダンパー部材１４の外周部１４２が固定される。コイルホルダ７０（ホルダ部材）は、第１ホルダ４ＢにＬ１側から固定されるホルダ固定部７１と、ホルダ固定部７１からＬ２側へ突出するコイル固定部７２を備える。図８、図９に示すように、ホルダ固定部７１は、周方向に離間した３個所からＬ１側へ突出するフック７３を備えている。フック７３は、第１ホルダ４Ｂの外周面に設けられた凹部４７に配置され、フック７３の先端は、筒状ケース２１Ｂの縁に係止される。

　第２ホルダ５Ｂは、筒状ケース２１ＢのＬ２側の端部の内側に固定される円筒部５５と、円筒部５５の内周側に配置される枠部分５６と、円筒部５５と枠部分５６とを接続する接続部５７を備えている。後述するように、枠部分５６には、ゲル状ダンパー部材１４の外周部１４２が固定される。

（可動体）
　可動体３Ｂは、固定体２Ｂの径方向の中心において軸線Ｌ方向に延びるシャフト３１Ｂと、シャフト３１Ｂの軸線Ｌ方向の略中央に固定される磁石６１と、磁石６１にＬ１側で重なる第１ヨーク３２Ｂと、磁石６１にＬ２側で重なる第２ヨーク３３Ｂと、第１ヨーク３２ＢにＬ１側で重なる内側環状部材３６Ｂと、第２ヨーク３３ＢにＬ２側で重なる金属製の内側環状部材３７Ｂを備える。内側環状部材３６Ｂ、３７Ｂは、シャフト３１Ｂが嵌まる軸孔を備えている。内側環状部材３６Ｂ、３７Ｂは同一形状であり、軸線Ｌ方向で逆向きに配置される。実施形態１、２と同様に、内側環状部材３６Ｂ、３７Ｂは、可動体３Ｂの質量を調節するための錘である。

　実施形態３では、第２ヨーク３３Ｂの第１磁性板３４Ｂは、磁石６１のＬ２側の面に接着等の方法で固定される端板部３４１Ｂと、端板部３４１Ｂの外縁からＬ１側に延在する円筒状の側板部３４２Ｂとを備えている。第２ヨーク３３Ｂの第２磁性板３５Ｂは、端板部３４１ＢにＬ２側から当接する。

（ゲル状ダンパー部材）
　実施形態３では、ゲル状ダンパー部材１４として、シャフト３１ＢのＬ１側の端部に取り付けられた内側環状部材３６Ｂと第１ホルダ４Ｂの枠部分４５との間に配置される第１ゲル状ダンパー部材１４Ａ、および、シャフト３１ＢのＬ２側の端部に取り付けられた内側環状部材３７Ｂと第２ホルダ５Ｂの枠部分５６との間に配置される第２ゲル状ダンパー部材１４Ｂを備えている。ゲル状ダンパー部材１４は、径方向の厚さが一定の円筒状部材であり、軸線Ｌ方向の寸法（高さ）も一定である。ゲル状ダンパー部材１４は、シリコーンゲルからなる。例えば、ゲル状ダンパー部材１４として、針入度が９０度から１１０度のシリコーンゲルを用いることができる。

　第１ゲル状ダンパー部材１４Ａは、内周部１４１が内側環状部材３６Ｂに接続され、外周部１４２が第１ホルダ４Ｂの枠部分４５に接続されている。また、第２ゲル状ダンパー部材１４Ｂは、内周部１４１が内側環状部材３７Ｂに接続され、外周部１４２が第２ホルダ５Ｂの枠部分５６に接続されている。第１ゲル状ダンパー部材１４Ａおよび第２ゲル状ダンパー部材１４Ｂをその内周側および外周側に配置される部材と接続するにあたっては、実施形態１において第１部材１１と第２部材１２の間にゲル状ダンパー部材１４を成形したのと同様の方法で行う。

　たとえば、治具に対して内側環状部材３６Ｂおよび第１ホルダ４Ｂを組み付けて、内側環状部材３６Ｂと第１ホルダ４Ｂの枠部分４５との間に所定の隙間を形成し、この隙間にゲル材料を充填して熱硬化させる。また、ゲル材料を充填する前に、内側環状部材３６Ｂの外周面および枠部分４５の内周面にプライマー１３を塗布する。これにより、加熱硬化する際にプライマー１３と接する部分が反応して、第１ゲル状ダンパー部材１４Ａ自体の接着力によって、第１ゲル状ダンパー部材１４Ａの内周部１４１が内側環状部材３６Ｂに固定されると共に、第１ゲル状ダンパー部材１４Ａの外周部１４２が枠部分４５に固定される。第２ゲル状ダンパー部材１４Ｂについても、内側環状部材３７Ｂと第２ホルダ５の枠部分５６の間に同様の方法で成形する。

　実施形態３のアクチュエータ１Ｂは、実施形態１と同様に、コイル６２に通電することにより、磁気駆動機構６が、可動体３Ｂを軸線Ｌ方向に駆動する駆動力を発生させて、可動体３Ｂを軸線Ｌ方向で振動させる。ゲル状ダンパー部材１４は、内側環状部材３６Ｂと枠部分４５の間、および、内側環状部材３７Ｂと枠部分５６の間に隙間なく充填されており、全周に連続して配置される。可動体３Ｂが固定体２Ｂに対して軸線Ｌ方向に振動する際、ゲル状ダンパー部材１４は、可動体３Ｂの振動に追従してせん断方向に変形する。

（実施形態３の主な効果）
　以上のように、実施形態３のアクチュエータ１Ｂでは、可動体３Ｂと固定体２Ｂとを接続する接続体であるゲル状ダンパー部材１４が、可動体３に設けられた内周側部分である内側環状部材３６Ｂと、固定体２Ｂに設けられた外周側部分である枠部分４５との間、および、可動体３Ｂに設けられた内周側部分である内側環状部材３７Ｂと、固定体２Ｂに設けられた外周側部分である枠部分５６との間の２箇所に配置される。各ゲル状ダンパー部材１４は、可動体３Ｂと固定体２Ｂとの径方向の隙間において全周にわたって連続して配置されており、各ゲル状ダンパー部材１４の内周部１４１が可動体３Ｂと接続され、各ゲル状ダンパー部材１４の外周部１４２が固定体２Ｂと接続されている。従って、可動体３Ｂが振動方向（軸線Ｌ方向）とは異なる方向に移動することを抑制できる。よって、可動体３Ｂが意図しない方向へ動くことを抑制でき、可動体３Ｂと固定体２Ｂとの衝突を抑制できる。

　実施形態３は、ゲル状ダンパー部材１４が可動体３Ｂの軸線Ｌ方向の両端に配置される点、および、ゲル状ダンパー部材１４が円筒形状である点も実施形態１、２と同様である。従って、この点において、実施形態１と同様の作用効果を得ることができる。

　実施形態３では、可動体３Ｂの質量を調節するための錘（内側環状部材３６Ｂ、３７Ｂ）を、ゲル状ダンパー部材１４の内周部１４１が接続される枠材として使用する点、および、コイル固定部７２を備えたコイルホルダ７０（ホルダ部材）と、ゲル状ダンパー部材１４を成形する際に枠材として用いる枠部分４５を備えた第１ホルダ４Ｂ（外周側部材）とを別部品にしている点が実施形態２と同様である。また、ゲル状ダンパー部材１４を製造する際、プライマー１３を塗布した可動体３Ｂ側の部品と固定体２Ｂ側の部品との間にゲル材料１４０を充填して熱硬化させることにより、プライマー１３とゲル材料１４０とを反応させて、ゲル状ダンパー部材１４自体の接着力によって、可動体３Ｂ側の部品と固定体２Ｂ側の部品とを接続する点についても、実施形態２と同様である。従って、これらの点において、実施形態２と同様の作用効果を得ることができる。

（変形例１）
　上記各形態のゲル状ダンパー部材１４の形態として、以下の変形例の形態を採用することができる。図１０（ａ）は、変形例１のゲル状ダンパー部材１４Ｃの斜視図であり、図１０（ｂ）は、変形例１のゲル状ダンパー部材１４Ｃの側面図である。図１０（ａ）、（ｂ）には、ゲル状ダンパー部材１４Ｃと共に、ゲル状ダンパー部材１４Ｃの内周部１４１Ｃが固定される内側枠材１５、および、ゲル状ダンパー部材１４Ｃの外周部１４２Ｃが固定される外側枠材１６を図示している。内側枠材１５および外側枠材１６の一方は可動体に固定され、内側枠材１５および外側枠材１６の他方は固定体に固定される。内側枠材１５および外側枠材１６は円筒状である。内側枠材１５の軸線Ｌ方向の高さＨ１は、外側枠材１６の軸線Ｌ方向の高さＨ２よりも小さい。

　変形例１のゲル状ダンパー部材１４Ｃは、内周部１４１Ｃの高さが内側枠材１５と同じであり、外周部１４２Ｃの高さが外側枠材１６と同じである。従って、ゲル状ダンパー部材１４Ｃは、内周部１４１Ｃの軸線Ｌ方向の高さが外周部１４２Ｃの軸線Ｌ方向の高さより大きい。これにより、内側枠材１５に対するゲル状ダンパー部材１４の固定面積と、外側枠材１６に対するゲル状ダンパー部材１４の固定面積との面積差を、内周部１４１Ｃと外周部１４２Ｃの軸線Ｌ方向の高さが等しい場合よりも少なくできるため、内周部１４１Ｃへの応力集中を低減させることができる。このように、ゲル状ダンパー部材１４Ｃへの応力集中を低減させることにより、可動体を振動させる際の振幅の許容範囲を大きくすることができる。従って、大きな振幅で可動体を振動させることができる。また、ゲル状ダンパー部材１４Ｃの耐久性を向上させることができる。

（変形例２）
　図１１（ａ）は、変形例２のゲル状ダンパー部材１４Ｄの斜視図である。変形例２のゲル状ダンパー部材１４Ｄは、上記各形態と同様に、内周部１４１Ｄが環状である。従って、内周部１４１Ｄは、全周が可動体および固定体の一方に接続される。一方、ゲル状ダンパー部材１４Ｄの外周部１４２Ｄは、周方向の一部に内周側へ凹む凹部１４３を備えており、凹部１４３を除く円弧状外周面１４４の部分が、可動体および固定体の他方に接続される。

　変形例２では、外周面に凹部１４３を設けた分、内周部１４１Ｄの固定面積と、外周部１４２Ｄの固定面積との面積差を少なくできるため、内周部１４１Ｄへの応力集中を低減させることができる。このように、ゲル状ダンパー部材１４Ｄへの応力集中を低減させることにより、可動体を振動させる際の振幅の許容範囲を大きくすることができる。従って、大きな振幅で可動体を振動させることができる。また、ゲル状ダンパー部材１４Ｄの耐久性を向上させることができる。

（変形例３）
　図１１（ｂ）は、変形例３のゲル状ダンパー部材１４Ｅの斜視図である。変形例３のゲル状ダンパー部材１４Ｅは、内周部１４１Ｅの軸線Ｌ方向の高さが外周部１４２Ｅの軸線Ｌ方向の高さより大きい。加えて、変形例３のゲル状ダンパー部材１４Ｅは、外周部１４２Ｅに内周側へ凹む凹部１４３と、内周側へ凹んでいない円弧状外周面１４４とが交互に設けられている。従って、変形例３では、内周部１４１Ｅの固定面積と、外周部１４２Ｅの固定面積との面積差を少なくできるため、内周部１４１Ｅへの応力集中を低減させることができる。このように、ゲル状ダンパー部材１４Ｅへの応力集中を低減させることにより、可動体を振動させる際の振幅の許容範囲を大きくすることができる。従って、大きな振幅で可動体を振動させることができる。また、ゲル状ダンパー部材１４Ｅの耐久性を向上させることができる。

１、１Ａ，１Ｂ…アクチュエータ、２、２Ａ、２Ｂ…固定体、３、３Ａ、３Ｂ…可動体、４、４Ｂ…第１ホルダ、４Ａ…ホルダ、５、５Ｂ…第２ホルダ、６…磁気駆動機構、１０…ダンパー部材、１０Ａ…第１ダンパー部材、１０Ｂ…第２ダンパー部材、１１…第１部材、１２…第２部材、１３…プライマー、１４、１４Ｃ、１４Ｄ、１４Ｅ…ゲル状ダンパー部材、１４Ａ…第１ゲル状ダンパー部材、１４Ｂ…第２ゲル状ダンパー部材、１５…内側枠材、１６…外側枠材、１９…軸孔、２０、２０Ａ、２０Ｂ…ケース、２１、２１Ａ、２１Ｂ…筒状ケース、２２Ａ…第１蓋部材、２２、２２Ｂ…第１端板、２３Ａ…第２蓋部材、２３、２３Ｂ…第２端板、２４…凹部、２５…ケース側環状部、２６…固定部品、３１、３１Ａ、３１Ｂ…シャフト、３２、３２Ａ、３２Ｂ…第１ヨーク、３３、３３Ａ、３３Ｂ…第２ヨーク、３４、３４Ａ、３４Ｂ…第１磁性板、３５、３５Ａ、３５Ｂ…第２磁性板、３６、３６Ａ、３６Ｂ…内側環状部材、３７、３７Ａ、３７Ｂ…内側環状部材、４０…外側環状部材、４１…開口部、４１Ａ…環状凹部、４２、４２Ａ、４２Ｂ…環状部、４３、４３Ａ…コイル固定部、４４…凹部、４５…枠部分、４６…接続部、４７…凹部、５０…外側環状部材、５１、５１Ａ…開口部、５２…環状部、５３…円筒部、５４…突出部、５５…円筒部、５６…枠部分、５７…接続部、６１…磁石、６２…コイル、６３、６３Ａ、６３Ｂ…基板、７０…コイルホルダ、７１…ホルダ固定部、７２…コイル固定部、７３…フック、９０…製造用治具、９１…円形凹部、９２…ピン、９３…ディスペンサー、１４０…ゲル材料、１４１、１４１Ｃ、１４１Ｄ、１４１Ｅ…内周部、１４２、１４２Ｃ，１４２Ｄ、１４２Ｅ…外周部、１４３…凹部、１４４…円弧状外周面、３１０…ボルト、３４１、３４１Ａ，３４１Ｂ…端板部、３４２、３４２Ａ、３４２Ｂ…側板部、４２１…リブ、４２２…肉抜き部、Ｌ…軸線、Ｓ…隙間

Claims

　磁石およびコイルの一方を備えた可動体と、
　前記磁石およびコイルの他方を備えた固定体と、
　前記固定体と前記可動体とを接続する接続体と、を有し、
　前記磁石およびコイルは、前記可動体を前記固定体に対して振動させる磁気駆動機構を構成しており、
　前記可動体および前記固定体の一方は、前記可動体および前記固定体の他方の内周側に配置される内周側部分を備え、前記可動体および固定体の他方は、前記内周側部分の外周側を囲む外周側部分を備え、
　前記接続体は、前記内周側部分の全周を連続して囲んでおり、
　前記接続体の内周部が前記内周側部分に接続され、前記接続体の外周部が前記外周側部分に接続されることを特徴とするアクチュエータ。
　前記固定体は、前記可動体の外周側を囲んでおり、
　前記接続体の前記内周部が、前記可動体に設けられた前記内周側部分に接続され、前記接続体の前記外周部が、前記固定体に設けられた前記外周側部分に接続されることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
　前記接続体は、前記可動体の振動方向の一端側および他端側で前記可動体と前記固定体を接続していることを特徴とする請求項１または２に記載のアクチュエータ。
　前記接続体は、ゲル状ダンパー部材からなることを特徴とする請求項１から３の何れか一項に記載のアクチュエータ。
　前記接続体は円筒形状であることを特徴とする請求項１から４の何れか一項に記載のアクチュエータ。
　前記接続体は、前記内周部の高さが前記外周部の高さより大きいことを特徴とする請求項１から５の何れか一項に記載のアクチュエータ。
　前記内周部は、全周で前記内周側部分と接続され、
　前記外周部は、周方向の一部が前記外周側部分と接続されることを特徴とする請求項１から６の何れか一項に記載のアクチュエータ。
　前記接続体は、円筒状の第１部材と、前記第１部材の外周側に配置される円筒状の第２部材との間に配置されて前記第１部材と前記第２部材とを接続しており、
　前記内周部は、前記第１部材を介して、全周で前記内周側部分と接続され、
　前記外周部は、前記第２部材を介して、全周または周方向の一部が前記外周側部分と接続されることを特徴とする請求項１から６の何れか一項に記載のアクチュエータ。
　前記可動体は、
　前記接続体の内周側に配置される内側環状部材を備え、前記内側環状部材は、前記可動体の質量を調節するための錘であり、
　前記接続体が固定される前記内周側部分は、前記内側環状部材に設けられていることを特徴とする請求項１から８の何れか一項に記載のアクチュエータ。
　前記固定体は、前記コイルが巻かれるコイル固定部を備えたホルダ部材と、前記ホルダ部材に固定される外側環状部材と、を備え、
　前記接続体が固定される前記外周側部分は、前記外側環状部材に設けられていることを特徴とする請求項１から９の何れか一項に記載のアクチュエータ。