WO2020184569A1 - 回路基板及び回路基板の製造方法 - Google Patents

回路基板及び回路基板の製造方法 Download PDF

Info

Publication number
WO2020184569A1
WO2020184569A1 PCT/JP2020/010342 JP2020010342W WO2020184569A1 WO 2020184569 A1 WO2020184569 A1 WO 2020184569A1 JP 2020010342 W JP2020010342 W JP 2020010342W WO 2020184569 A1 WO2020184569 A1 WO 2020184569A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
polyaniline
circuit board
board according
group
layer
Prior art date
Application number
PCT/JP2020/010342
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
文起 深津
聡 蜂屋
Original Assignee
出光興産株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 出光興産株式会社 filed Critical 出光興産株式会社
Priority to US17/438,251 priority Critical patent/US20220192033A1/en
Priority to JP2021505087A priority patent/JPWO2020184569A1/ja
Priority to CN202080020093.8A priority patent/CN113557321A/zh
Publication of WO2020184569A1 publication Critical patent/WO2020184569A1/ja

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C18/00Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
    • C23C18/16Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating
    • C23C18/18Pretreatment of the material to be coated
    • C23C18/20Pretreatment of the material to be coated of organic surfaces, e.g. resins
    • C23C18/2006Pretreatment of the material to be coated of organic surfaces, e.g. resins by other methods than those of C23C18/22 - C23C18/30
    • C23C18/2046Pretreatment of the material to be coated of organic surfaces, e.g. resins by other methods than those of C23C18/22 - C23C18/30 by chemical pretreatment
    • C23C18/2073Multistep pretreatment
    • C23C18/208Multistep pretreatment with use of metal first
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08JWORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
    • C08J7/00Chemical treatment or coating of shaped articles made of macromolecular substances
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C18/00Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
    • C23C18/16Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating
    • C23C18/18Pretreatment of the material to be coated
    • C23C18/20Pretreatment of the material to be coated of organic surfaces, e.g. resins
    • C23C18/2006Pretreatment of the material to be coated of organic surfaces, e.g. resins by other methods than those of C23C18/22 - C23C18/30
    • C23C18/2026Pretreatment of the material to be coated of organic surfaces, e.g. resins by other methods than those of C23C18/22 - C23C18/30 by radiant energy
    • C23C18/204Radiation, e.g. UV, laser
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C18/00Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
    • C23C18/16Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating
    • C23C18/18Pretreatment of the material to be coated
    • C23C18/20Pretreatment of the material to be coated of organic surfaces, e.g. resins
    • C23C18/28Sensitising or activating
    • C23C18/30Activating or accelerating or sensitising with palladium or other noble metal
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C18/00Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
    • C23C18/16Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating
    • C23C18/31Coating with metals
    • C23C18/38Coating with copper
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C18/00Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
    • C23C18/16Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating
    • C23C18/31Coating with metals
    • C23C18/38Coating with copper
    • C23C18/40Coating with copper using reducing agents
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/02Details
    • H05K1/0213Electrical arrangements not otherwise provided for
    • H05K1/0237High frequency adaptations
    • H05K1/0242Structural details of individual signal conductors, e.g. related to the skin effect
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/02Details
    • H05K1/03Use of materials for the substrate
    • H05K1/0313Organic insulating material
    • H05K1/0353Organic insulating material consisting of two or more materials, e.g. two or more polymers, polymer + filler, + reinforcement
    • H05K1/036Multilayers with layers of different types
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/38Improvement of the adhesion between the insulating substrate and the metal
    • H05K3/386Improvement of the adhesion between the insulating substrate and the metal by the use of an organic polymeric bonding layer, e.g. adhesive
    • H05K3/387Improvement of the adhesion between the insulating substrate and the metal by the use of an organic polymeric bonding layer, e.g. adhesive for electroless plating
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/02Details
    • H05K1/09Use of materials for the conductive, e.g. metallic pattern
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/01Dielectrics
    • H05K2201/0137Materials
    • H05K2201/0141Liquid crystal polymer [LCP]
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/01Dielectrics
    • H05K2201/0137Materials
    • H05K2201/015Fluoropolymer, e.g. polytetrafluoroethylene [PTFE]
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/01Dielectrics
    • H05K2201/0137Materials
    • H05K2201/0154Polyimide
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/01Dielectrics
    • H05K2201/0137Materials
    • H05K2201/0158Polyalkene or polyolefin, e.g. polyethylene [PE], polypropylene [PP]
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/01Dielectrics
    • H05K2201/0183Dielectric layers
    • H05K2201/0195Dielectric or adhesive layers comprising a plurality of layers, e.g. in a multilayer structure
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/03Conductive materials
    • H05K2201/032Materials
    • H05K2201/0329Intrinsically conductive polymer [ICP]; Semiconductive polymer
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2203/00Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
    • H05K2203/07Treatments involving liquids, e.g. plating, rinsing
    • H05K2203/0703Plating
    • H05K2203/0716Metallic plating catalysts, e.g. for direct electroplating of through holes; Sensitising or activating metallic plating catalysts
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2203/00Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
    • H05K2203/07Treatments involving liquids, e.g. plating, rinsing
    • H05K2203/0703Plating
    • H05K2203/072Electroless plating, e.g. finish plating or initial plating
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/02Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding
    • H05K3/022Processes for manufacturing precursors of printed circuits, i.e. copper-clad substrates

Abstract

誘電正接が0.015以下である樹脂基材1と、置換又は無置換のポリアニリンを含むポリアニリン層2と、金属層3と、をこの順に積層して含み、前記金属層3における前記ポリアニリン層2側の面の表面粗さRzJISが0.5μm以下である、回路基板。

Description

回路基板及び回路基板の製造方法
 本発明は、回路基板及び回路基板の製造方法に関する。
 昨今、例えば車載レーダーや次世代携帯電話等を含む多岐にわたる分野において高周波電気信号の利用が活発になっており、高周波電気信号の伝送に適した回路基板が求められている。
 従来の回路基板としては、例えば特許文献1に開示されるように、基材と金属層(銅箔等)とを接着剤により貼り合わせたもの等が用いられている。
特開平5-226831号公報
 従来のように基材と金属層とを接着剤により貼り合わせて回路基板を形成する場合、通常、エッチング処理等により金属表面を粗して凹凸を付与し(例えば表面粗さRzJIS1μm以上)、アンカー効果によって密着性を確保する手法が採られる。高周波電気信号用の回路基板には誘電正接の低い樹脂基板が適しているが、低誘電正接の樹脂基板は接着剤との密着性が低いため、金属表面の粗面化によりアンカー効果を強める必要性はより大きくなる。
 一方、電気信号は周波数が高ければ高いほど電流が導体表面に集中するようになるため(表皮効果)、粗面化された金属においては高周波電気信号の伝送距離が長くなり、伝送損失や遅延が大きくなる。よって、高周波電気信号用の回路基板では金属表面が平滑であることが望まれるが、密着性との兼ね合いから、平滑性を高めることは困難であった。
 本発明の目的は、高周波電気信号の伝送に適した回路基板、及び当該回路基板の製造方法を提供することである。
 本発明者らが鋭意検討した結果、誘電正接の低い樹脂基板であっても、ポリアニリンを用いた無電解めっき技術により極めて平滑な金属層を形成でき、得られた積層体(回路基板)は密着性に優れることを見出し、本発明を完成した。
 本発明によれば、以下の回路基板等が提供される。
1.誘電正接が0.015以下である樹脂基材と、
 置換又は無置換のポリアニリンを含むポリアニリン層と、
 金属層と、をこの順に積層して含み、
 前記金属層における前記ポリアニリン層側の面の表面粗さRzJISが0.5μm以下である、
 回路基板。
2.前記金属層における前記ポリアニリン層側の面の表面粗さRzJISが0.25μm以下である、前記1に記載の回路基板。
3.前記ポリアニリン層の厚さが5μm以下である、前記1又は2に記載の回路基板。
4.前記樹脂基材が、シンジオタクチックポリスチレン、ポリイミド、液晶ポリマー、ポリテトラフルオロエチレン、及びポリオレフィンからなる群から選択される1種以上を含む、前記1~3のいずれかに記載の回路基板。
5.前記樹脂基材がシンジオタクチックポリスチレンを含む、前記1~4のいずれかに記載の回路基板。
6.前記金属層が、Cu、Ni、Au、Pd、Ag、Sn、Co及びPtからなる群から選択される1以上の金属を含む、前記1~5のいずれかに記載の回路基板。
7.前記金属層がCuを含む、前記1~6のいずれかに記載の回路基板。
8.前記ポリアニリン層が、置換又は無置換のポリアニリンを、ドーパントによってドープされたポリアニリン複合体として含む、前記1~7のいずれかに記載の回路基板。
9.前記ドーパントが下記式(III)で表されるスルホコハク酸誘導体から生じる有機酸イオンである、前記8に記載の回路基板。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000002
(式(III)中、Mは、水素原子、有機遊離基又は無機遊離基である。m’は、Mの価数である。R13及びR14は、それぞれ独立に炭化水素基又は-(R15O)-R16基である。R15は、それぞれ独立に炭化水素基又はシリレン基であり、R16は水素原子、炭化水素基又はR17 Si-基であり、rは1以上の整数である。R17は、それぞれ独立に炭化水素基である。)
10.前記ドーパントがジ-2-エチルヘキシルスルホコハク酸ナトリウムである、前記8又は9に記載の回路基板。
11.周波数1GHz以上の高周波電気信号を伝送する用途に用いられる、前記1~10のいずれかに記載の回路基板。
12.前記1~11のいずれかに記載の回路基板の製造方法であって、
 前記樹脂基材の表面に、活性エネルギー線照射処理、コロナ処理、及びフレーム処理からなる群から選ばれる1以上の処理を施す工程と、
 前記処理が施された前記樹脂基材の面に、前記ポリアニリン層を形成する工程と、
 前記ポリアニリン層上に無電解めっき触媒を担持する工程と、
 前記無電解めっき触媒が担持された前記ポリアニリン層上に、無電解めっきを施すことによって金属層を形成する工程と、を含む、
 回路基板の製造方法。
13.前記樹脂基材の表面に、活性エネルギー線照射処理を施す、前記12に記載の回路基板の製造方法。
14.前記活性エネルギー線が紫外線である、前記13に記載の回路基板の製造方法。
15.前記紫外線の光源が高圧水銀ランプ又はメタルハライドランプである、前記14に記載の回路基板の製造方法。
16.前記ポリアニリン層を、置換又は無置換のポリアニリンを含む組成物を用いた塗布法によって形成する、前記12~15のいずれかに記載の回路基板の製造方法。
17.前記組成物が、置換又は無置換のポリアニリンを、ドーパントによってドープされたポリアニリン複合体として含む、前記16に記載の回路基板の製造方法。
18.前記組成物中の前記ポリアニリン複合体の濃度が15質量%以下である、前記17に記載の回路基板の製造方法。
19.前記無電解めっき触媒がPdである、前記12~18のいずれかに記載の回路基板の製造方法。
 本発明によれば、高周波電気信号の伝送に適した回路基板、及び当該回路基板の製造方法が提供できる。
本発明の一実施形態に係る回路基板の層構成を示す概略図である。
 以下、本発明の一実施形態に係る回路基板等について説明する。
 尚、本明細書において、「x~y」は「x以上、y以下」の数値範囲を表すものとする。
 また、「(X)成分」という場合、例えば市販の試薬を用いる場合であっても、当該試薬中の(X)成分に該当する化合物のみを指すものとし、当該試薬中の他の成分(溶剤等)は含まない。
 さらに、好ましいとされている規定は任意に採用することができる。即ち、好ましいとされている一の規定を、好ましいとされている他の一又は複数の規定と組み合わせて採用することができる。好ましいもの同士の組み合わせはより好ましいと言える。
[回路基板]
 図1は、本発明の一実施形態に係る回路基板の層構成を示す概略図である。
 本発明の一実施形態に係る回路基板は、誘電正接が0.015以下である樹脂基材1と、置換又は無置換のポリアニリンを含むポリアニリン層2と、金属層3とをこの順に積層して含み、金属層3におけるポリアニリン層2側の表面の表面粗さRzJISが0.5μm以下である。
 以下、本発明の一実施形態に係る回路基板を構成する各層について説明する。
[樹脂基材]
 一実施形態において、樹脂基材は、誘電正接が0.015以下である。
 樹脂基材に用いる樹脂は格別限定されず、例えば、シンジオタクチックポリスチレン、液晶ポリマー、ポリテトラフルオロエチレン、ポリオレフィン(例えばポリエチレン又はポリプロピレンであり変性ポリオレフィンを含む)、ポリフェニレンスルフィド、ポリアミド等からなる群から選択される1種以上を含むことができる。
 一実施形態において、樹脂基材の誘電正接は低い方が望ましく、0.015以下であり、好ましくは0.01以下、より好ましくは0.005以下である。樹脂基材の誘電正接が高いと、高周波回路において減衰が大きくなる傾向がある。
 誘電正接は、測定装置(キーサイト・テクノロジー社製ネットワークアナライザー「E8361A」)を用いて、測定周波数10GHz、温度25℃において、空洞共振器法(JIS R1641:2007)により測定される値である。
[ポリアニリン層]
(ポリアニリン)
 一実施形態において、ポリアニリン層は、置換又は無置換のポリアニリンを含む。
 置換又は無置換のポリアニリンは、単独(後述する「ポリアニリン複合体」を形成していない状態)で用いてもよいが、置換又は無置換のポリアニリンがドーパントによってドープされているポリアニリン複合体として、ポリアニリン層に含まれることが好ましい。
 ポリアニリンの重量平均分子量(以下、分子量という)は、好ましくは20,000以上である。分子量は、好ましくは20,000~500,000であり、より好ましくは20,000~300,000であり、さらに好ましくは20,000~200,000である。重量平均分子量はポリアニリン複合体の分子量ではなく、ポリアニリンの分子量である。
 分子量分布は、好ましくは1.5以上10.0以下である。導電率の観点からは分子量分布は小さい方が好ましいが、溶剤への溶解性の観点では、分子量分布が広い方が好ましい場合もある。
 分子量と分子量分布は、ゲルパーミェションクロマトグラフィ(GPC)によりポリスチレン換算で測定する。
 置換ポリアニリンの置換基としては、例えばメチル基、エチル基、ヘキシル基、オクチル基等の直鎖又は分岐の炭化水素基;メトキシ基、エトキシ基等のアルコキシ基;フェノキシ基等のアリールオキシ基;トリフルオロメチル基(-CF基)等のハロゲン化炭化水素等が挙げられる。
 ポリアニリンは、汎用性及び経済性の観点から無置換のポリアニリンが好ましい。
 置換又は無置換のポリアニリンは、好ましくは塩素原子を含まない酸の存在下で重合して得られるポリアニリンである。塩素原子を含まない酸とは、例えば1族~16族及び18族に属する原子からなる酸である。具体的には、リン酸が挙げられる。塩素原子を含まない酸の存在下で重合して得られるポリアニリンとして、リン酸の存在下で重合して得られるポリアニリンが挙げられる。
 塩素原子を含まない酸の存在下で得られたポリアニリンは、ポリアニリン複合体の塩素含有量をより低くすることができる。
 ポリアニリン複合体のドーパントとしては、例えばブレンステッド酸又はブレンステッド酸の塩から生じるブレンステッド酸イオンが挙げられ、好ましくは有機酸又は有機酸の塩から生じる有機酸イオンであり、さらに好ましくは下記式(I)で示される化合物(プロトン供与体)から生じる有機酸イオンである。
 本発明において、ドーパントが特定の酸であると表現する場合、及びドーパントが特定の塩であると表現する場合があるが、いずれも特定の酸又は特定の塩から生じる特定の酸イオンが、上述したπ共役ポリマーにドープするものとする。
M(XARn)m   (I)
 式(I)のMは、水素原子、有機遊離基又は無機遊離基である。
 有機遊離基としては、例えば、ピリジニウム基、イミダゾリウム基、アニリニウム基等が挙げられる。無機遊離基としては、例えば、リチウム、ナトリウム、カリウム、セシウム、アンモニウム、カルシウム、マグネシウム、鉄等が挙げられる。
 式(I)のXは、アニオン基であり、例えば-SO 基、-PO 2-基、-PO(OH)基、-OPO 2-基、-OPO(OH)基、-COO基等が挙げられ、好ましくは-SO 基である。
 式(I)のAは、置換又は無置換の炭化水素基(炭素数は例えば1~20)である。
 炭化水素基は、鎖状もしくは環状の飽和脂肪族炭化水素基、鎖状もしくは環状の不飽和脂肪族炭化水素基、又は芳香族炭化水素基である。
 鎖状の飽和脂肪族炭化水素基としては、直鎖もしくは分岐状のアルキル基(炭素数は例えば1~20)が挙げられる。環状の飽和脂肪族炭化水素基としては、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基等のシクロアルキル基(炭素数は例えば3~20)が挙げられる。環状の飽和脂肪族炭化水素基は、複数の環状の飽和脂肪族炭化水素基が縮合していてもよい。例えば、ノルボルニル基、アダマンチル基、縮合したアダマンチル基等が挙げられる。鎖状の不飽和脂肪族炭化水素(炭素数は例えば2~20)としては、直鎖又は分岐状のアルケニル基が挙げられる。環状の不飽和脂肪族炭化水素基(炭素数は例えば3~20)としては、環状アルケニル基が挙げられる。芳香族炭化水素基(炭素数は例えば6~20)としては、フェニル基、ナフチル基、アントラセニル基等が挙げられる。
 Aが置換の炭化水素基である場合の置換基は、アルキル基(炭素数は例えば1~20)、シクロアルキル基(炭素数は例えば3~20)、ビニル基、アリル基、アリール基(炭素数は例えば6~20)、アルコキシ基(炭素数は例えば1~20)、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、アミノ基、イミノ基、ニトロ基、シリル基又はエステル結合含有基である。
 式(I)のRは、Aと結合しており、-H、-R、-OR、-COR、-COOR、-(C=O)-(COR)、又は-(C=O)-(COOR)で表わされる置換基あり、Rは、置換基を含んでもよい炭化水素基、シリル基、アルキルシリル基、-(RO)x-R基、又は-(OSiR )x-OR基である。Rはアルキレン基、Rは炭化水素基であり、xは1以上の整数である。xが2以上の場合、複数のRはそれぞれ同一でも異なってもよく、複数のRはそれぞれ同一でも異なってもよい。
 Rの炭化水素基(炭素数は例えば1~20)としては、メチル基、エチル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ドデシル基、ペンタデシル基、エイコサニル基等が挙げられる。炭化水素基は直鎖状であってもよく、また、分岐状であってもよい。
 炭化水素基の置換基は、アルキル基(炭素数は例えば1~20)、シクロアルキル基(炭素数は例えば3~20)、ビニル基、アリル基、アリール基(炭素数は例えば6~20)、アルコキシ基(炭素数は例えば1~20)、ハロゲン基、ヒドロキシ基、アミノ基、イミノ基、ニトロ基又はエステル結合含有基である。Rの炭化水素基もRと同様である。
 Rのアルキレン基(炭素数は例えば1~20)としては、例えばメチレン基、エチレン基、プロピレン基等が挙げられる。
 式(I)のnは1以上の整数である。nが2以上の場合、複数のRはそれぞれ同一でも異なってもよい。
 式(I)のmは、Mの価数/Xの価数である。
 式(I)で示される化合物としては、ジアルキルベンゼンスルフォン酸、ジアルキルナフタレンスルフォン酸、又はエステル結合を2以上含有する化合物が好ましい。
 エステル結合を2以上含有する化合物は、スルホフタール酸エステル、又は下記式(II)で表される化合物がより好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000003
 式(II)中、M及びXは、式(I)と同様である。Xは、-SO 基が好ましい。
 R、R及びRは、それぞれ独立に水素原子、炭化水素基又はR Si-基である。3つのRはそれぞれ独立に炭化水素基である。
 R、R及びRが炭化水素基である場合の炭化水素基としては、炭素数1~24の直鎖もしくは分岐状のアルキル基、芳香環を含むアリール基(炭素数は例えば6~20)、アルキルアリール基(炭素数は例えば7~20)等が挙げられる。
 Rの炭化水素基としては、R、R及びRの場合と同様である。
 式(II)のR及びRは、それぞれ独立に、炭化水素基又は-(R10O)-R11基である。R10は炭化水素基又はシリレン基であり、R11は水素原子、炭化水素基又はR12 Si-であり、qは1以上の整数である。3つのR12は、それぞれ独立に炭化水素基である。
 R及びRが炭化水素基である場合の炭化水素基としては、炭素数1~24、好ましくは炭素数4以上の直鎖もしくは分岐状のアルキル基、芳香環を含むアリール基(炭素数は例えば6~20)、アルキルアリール基(炭素数は例えば7~20)等が挙げられ、具体例としては、例えば、いずれも直鎖又は分岐状の、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、オクチル基、デシル基等が挙げられる。
 R及びRにおける、R10が炭化水素基である場合の炭化水素基としては、例えば炭素数1~24の直鎖もしくは分岐状のアルキレン基、芳香環を含むアリーレン基(炭素数は例えば6~20)、アルキルアリーレン基(炭素数は例えば7~20)、又はアリールアルキレン基(炭素数は例えば7~20)である。また、R及びRにおける、R11及びR12が炭化水素基である場合の炭化水素基としては、R、R及びRの場合と同様であり、qは、1~10であることが好ましい。
 R及びRが-(R10O)-R11基である場合の式(II)で表わされる化合物の具体例としては、下記式で表わされる2つの化合物である。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000004
(式中、Xは式(I)と同様である。)
 上記式(II)で表わされる化合物は、下記式(III)で示されるスルホコハク酸誘導体であることがさらに好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000005
 式(III)中、Mは、式(I)と同様である。m’は、Mの価数である。
 R13及びR14は、それぞれ独立に、炭化水素基又は-(R15O)-R16基である。R15は炭化水素基又はシリレン基であり、R16は水素原子、炭化水素基又はR17 Si-基であり、rは1以上の整数である。3つのR17はそれぞれ独立に炭化水素基である。rが2以上の場合、複数のR15はそれぞれ同一でも異なってもよい。
 R13及びR14が炭化水素基である場合の炭化水素基としては、R及びRと同様である。
 R13及びR14において、R15が炭化水素基である場合の炭化水素基としては、上記R10と同様である。また、R13及びR14において、R16及びR17が炭化水素基である場合の炭化水素基としては、上記R、R及びRと同様である。
 rは、1~10であることが好ましい。
 R13及びR14が-(R15O)-R16基である場合の具体例としては、R及びRにおける-(R10O)-R11と同様である。
 R13及びR14の炭化水素基としては、R及びRと同様であり、ブチル基、ヘキシル基、2-エチルヘキシル基、デシル基が好ましい。
 式(I)で示される化合物としては、ジ-2-エチルヘキシルスルホコハク酸、ジ-2-エチルヘキシルスルホコハク酸ナトリウム(エーロゾルOT)が好ましい。
 ポリアニリン複合体のドーパントが置換又は無置換のポリアニリンにドープしていることは、紫外・可視・近赤外分光法やX線光電子分光法によって確認することができ、当該ドーパントは、ポリアニリンにキャリアを発生させるに十分な酸性を有していれば、特に化学構造上の制限なく使用できる。
 ポリアニリンに対するドーパントのドープ率は、好ましくは0.35以上0.65以下であり、より好ましくは0.42以上0.60以下であり、さらに好ましくは0.43以上0.57以下であり、特に好ましくは0.44以上0.55以下である。
 ドープ率は(ポリアニリンにドープしているドーパントのモル数)/(ポリアニリンのモノマーユニットのモル数)で定義される。例えば無置換ポリアニリンとドーパントを含むポリアニリン複合体のドープ率が0.5であることは、ポリアニリンのモノマーユニット分子2個に対し、ドーパントが1個ドープしていることを意味する。
 ドープ率は、ポリアニリン複合体中のドーパントとポリアニリンのモノマーユニットのモル数が測定できれば算出可能である。例えば、ドーパントが有機スルホン酸の場合、ドーパント由来の硫黄原子のモル数と、ポリアニリンのモノマーユニット由来の窒素原子のモル数を、有機元素分析法により定量し、これらの値の比を取ることでドープ率を算出できる。但し、ドープ率の算出方法は、当該手段に限定されない。
 ポリアニリン複合体は、さらにリンを含んでも含まなくてもよい。
 ポリアニリン複合体がリンを含む場合、リンの含有量は例えば10質量ppm以上5000質量ppm以下である。
 上記リンの含有量は、ICP発光分光分析法で測定することができる。
 また、ポリアニリン複合体は、不純物として第12族元素(例えば亜鉛)を含まないことが好ましい。
 ポリアニリン複合体は、周知の製造方法で製造することができる。例えば、プロトン供与体、リン酸、及びプロトン供与体とは異なる乳化剤を含み、2つの液相を有する溶液中で、置換又は無置換のアニリンを化学酸化重合することにより製造できる。また、置換又は無置換のアニリン、プロトン供与体、リン酸、及びプロトン供与体とは異なる乳化剤を含み、2つの液相を有する溶液中に、酸化重合剤を加えることにより製造できる。
 ここで「2つの液相を有する溶液」とは、溶液中に相溶しない2つの液相が存在する状態を意味する。例えば、溶液中に「高極性溶媒の相」と「低極性溶媒の相」が存在する状態、を意味する。
 また、「2つの液相を有する溶液」は、片方の液相が連続相であり、他方の液相が分散相である状態も含む。例えば「高極性溶媒の相」が連続相であり「低極性溶媒の相」が分散相である状態、及び「低極性溶媒の相」が連続相であり「高極性溶媒の相」が分散相である状態が含まれる。
 上記ポリアニリン複合体の製造方法に用いる高極性溶媒としては、水が好ましく、低極性溶媒としては、例えばトルエン、キシレン等の芳香族炭化水素が好ましい。
 上記プロトン供与体は、好ましくは上記式(I)で表される化合物である。
 上記乳化剤は、親水性部分がイオン性であるイオン性乳化剤、及び親水性部分が非イオン性である非イオン性乳化剤のどちらでも使用でき、また、1種又は2種以上の乳化剤を混合して使用してもよい。
 化学酸化重合に用いる酸化剤としては、過硫酸ナトリウム、過硫酸カリウム、過硫酸アンモニウム、過酸化水素等の過酸化物;二クロム酸アンモニウム、過塩素酸アンモニウム、硫酸カリウム鉄(III)、三塩化鉄(III)、二酸化マンガン、ヨウ素酸、過マンガン酸カリウム又はパラトルエンスルホン酸鉄等が使用でき、好ましくは過硫酸アンモニウム等の過硫酸塩である。
 これらは単独で使用してもよいし2種以上を併用してもよい。
(バインダー)
 ポリアニリン層は、置換又は無置換のポリアニリン及びポリアニリン複合体から選ばれる1種以上に加えて、バインダーを含むことができる。
 バインダーとして、例えば、アクリル系、ウレタン系、エポキシ系、ポリアミド系、ビニル系、ポリビニルアセタール系、ポリエステル系、ポリエステルポリオール系、ポリエーテルポリオール系及びポリカーボネート系からなる群から選ばれる1種以上を含むことができる。また、構造中にカルボキシ基やスルホキシ基等の酸性基を有するポリマー(例えばカルボキシル基を有するウレタンやカルボキシル基を有するポリエステル)が好ましい。
 また、ポリアニリン層は、末端にアクリレート又はメタクリレート等の反応性官能基を有するモノマー、オリゴマー又はポリマーを紫外線や電子線等で硬化させたバインダーを含むことも可能である。
(他の成分)
 ポリアニリン層は、ポリアニリン及びポリアニリン複合体、並びにバインダー以外の他の成分を、本発明の効果を損なわない範囲で含むことができる。他の成分として、例えば、無機材料、硬化剤、可塑剤、有機導電材料等の添加剤等が挙げられる。
 無機材料は、例えば、強度、表面硬度、寸法安定性その他の機械的物性の向上、又は導電性等の電気特性を向上する目的で添加される。無機材料の具体例としては、例えば、シリカ(二酸化ケイ素)、チタニア(二酸化チタン)、アルミナ(酸化アルミニウム)、Sn含有In(ITO)、Zn含有In、Inの共置換化合物(4価元素及び2価元素が3価のInに置換した酸化物)、Sb含有SnO(ATO)、ZnO、Al含有ZnO(AZO)、Ga含有ZnO(GZO)等が挙げられる。
 硬化剤は、例えば、強度、表面硬度、寸法安定性その他の機械的物性の向上等の目的で添加される。硬化剤の具体例としては、例えば、フェノール樹脂等の熱硬化剤、アクリレート系モノマーと光重合性開始剤による光硬化剤が挙げられる。
 可塑剤は、例えば、引張強度や曲げ強度等の機械的特性の向上等の目的で添加される。可塑剤の具体例としては、例えば、フタル酸エステル類やリン酸エステル類が挙げられる。
 有機導電材料としては、カーボンブラック、カーボンナノチューブのような炭素材料等が挙げられる。
 ポリアニリン層の膜厚は格別限定されない。一実施形態において、ポリアニリン層の膜厚は、例えば、0.1μm以上、0.5μm以上、又は1μm以上であってもよい。また、ポリアニリン層の膜厚は、例えば、3μm以下、2μm以下、1μm以下、又は0.5μm以下であってもよい。
 ポリアニリン層を薄く形成することによって、回路基板の厚さを薄くすることができる。これにより、回路基板をよりコンパクトにできるため機械装置中に搭載容易になる。また、ポリアニリン層を薄く形成することによって、ポリアニリン層の表面を平滑化でき、これにより金属層におけるポリアニリン層側の面の表面粗さRzJISを好適に0.5μm以下にすることができる。
 一実施形態において、ポリアニリン層の、例えば、70質量%以上、80質量%以上、90質量%以上、98質量%以上、99質量%以上、99.5質量%以上、99.9質量%以上又は100質量%が、
 置換又は無置換のポリアニリン及びポリアニリン複合体から選ばれる1種以上、
 置換又は無置換のポリアニリン及びポリアニリン複合体から選ばれる1種以上及びバインダー、又は
 置換又は無置換のポリアニリン及びポリアニリン複合体から選ばれる1種以上、バインダー及び上述した他の成分から任意に選択される1種以上の成分であってもよい。
 本発明の一態様に係る樹脂組成物は、
 本質的に置換又は無置換のポリアニリン及びポリアニリン複合体から選ばれる1種以上、
 本質的に置換又は無置換のポリアニリン及びポリアニリン複合体から選ばれる1種以上及びバインダー、又は
 本質的に置換又は無置換のポリアニリン及びポリアニリン複合体から選ばれる1種以上、バインダー及び上述した他の成分から任意に選択される1種以上の成分からなってもよい。
 この場合、不可避不純物を含んでもよい。
 一実施形態において、ポリアニリン層における置換又は無置換のポリアニリンの含有量は、5質量%以上、10質量%以上、15質量%以上、20質量%以上、又は25質量%以上であってもよい。ポリアニリン層における置換又は無置換のポリアニリンの含有量が5質量%以上であることにより、無電解めっきの析出性が良好になる。上限は格別限定されず、例えば、100質量%以下、90質量%以下、80質量%、70質量%以下、又は65質量%以下等であり得る。ポリアニリン層における置換又は無置換のポリアニリンの含有量が100質量%に満たない場合、例えば、90質量%以下、80質量%、70質量%以下、さらには65質量%以下等のように少ない場合は、バインダー等によってポリアニリン層の密着性や塗膜強度を向上できる。ここでいう置換又は無置換のポリアニリンの含有量は、ポリアニリン複合体を形成している置換又は無置換のポリアニリンと、ポリアニリン複合体を形成していない置換又は無置換のポリアニリンとの合計の含有量である。
[金属層]
 金属層は金属を含む層である。
 金属は格別限定されず、例えば、Cu、Ni、Au、Pd、Ag、Sn、Co及びPtからなる群から選択される1以上の金属を含むことができる。一実施形態において金属層はCuを含む。
 金属層は、単層体、及び金属組成の異なる2層以上の積層体のいずれであってもよい。
 一実施形態において、金属層におけるポリアニリン層側の表面の表面粗さRzJISは、0.5μm以下、0.45μm以下、0.40μm以下、0.35μm以下、0.3μm以下、0.25μm以下、0.2μm以下、0.15μm以下、0.1μm以下、0.08μm以下、0.05μm以下、又は0.02μm以下であってもよい。かかる表面粗さRzJISが小さいことによって、高周波電気信号の伝送損失をさらに防止することができる。かかる表面粗さRzJISの下限は格別限定されず、例えば、0.005μm以上、0.007μm以上、又は0.01μm以上であってもよい。
 表面粗さRzJISは、JIS B 0601(2001)に準拠して測定される十点平均粗さである。
 また、金属層をポリアニリン層上に無電解めっきによって形成する場合は、無電解めっきに供される前のポリアニリン層の表面(後に金属層が形成される面)について測定した表面粗さRzJISを、金属層におけるポリアニリン層側の表面の表面粗さRzJISとする。
 金属層の膜厚は格別限定されない。一実施形態において、金属層の膜厚は、例えば、0.1μm以上、0.3μm以上、0.5μm以上、0.8μm以上、1μm以上、5μm以上、10μm以上、18μm以上、又は30μm以上であってもよい。また、金属層の膜厚は、例えば、500μm以下、又は300μm以下、200μm以下、150μm以下、100μm以下、又は50μm以下であってもよい。
[用途]
 一実施形態において、回路基板の金属層は、電気信号を伝送する用途に用いられる。一実施形態に係る回路基板によれば、電気信号の周波数によらず、伝送損失を防止できる。
 また、一実施形態において、金属層は、周波数1GHz以上の高周波電気信号を伝送する用途に用いられる。高周波電気信号は、例えば、周波数が、3GHz以上、4GHz以上、5GHz以上、7GHz以上、10GHz以上、15GHz以上、20GHz以上、25GHz以上、30GHz以上、50GHz以上、80GHz以上、100GHz以上、又は110GHz以上であってもよい。かかる周波数の上限は格別限定されず、例えば、200GHz以下であってもよい。一実施形態に係る回路基板によれば、このような高周波電気信号を伝送する際においても、伝送損失を防止できる。
 回路基板の形態は格別限定されず、例えば、プリント配線板(PWB;printed wiring board)、プリント回路板(PCB;printed circuit board)、又はフレキシブルプリント回路板(FPC;flexible printed circuits)等であってもよい。
[回路基板の製造方法]
 本発明の一実施形態に係る回路基板の製造方法は、以上に説明した回路基板を製造するために用いることができる。
 一実施形態において、回路基板の製造方法は、
(A)樹脂基材の表面に、活性エネルギー線照射処理、コロナ処理、及びフレーム処理からなる群から選ばれる1以上の処理を施す工程と、
(B)前記処理が施された樹脂基材の表面にポリアニリン層を形成する工程と、
(C)ポリアニリン層上に無電解めっき触媒を担持する工程と、
(D)無電解めっき触媒が担持されたポリアニリン層上に、無電解めっきを施すことによって金属層を形成する工程と、を含む。
[工程(A)]
 工程(A)では、基材の表面に、活性エネルギー線照射処理、コロナ処理、及びフレーム処理からなる群から選ばれる1以上の処理を施す。
 本明細書において、「活性エネルギー線」は、基材の表面を改質する活性を有するものであり、そのような改質によって基材とポリアニリン層との密着性を向上できるものを用いることができる。密着性の向上を評価する方法には、実施例に記載の「めっき前の密着性」の評価方法を用いる。そのような活性エネルギー線として、例えば、紫外線、電子線、X線等が挙げられ、これらの中でも紫外線が好ましい。紫外線は格別限定されず、例えば、高圧水銀ランプ又はメタルハライドランプを光源とする紫外線を用いることができる。
[工程(B)]
 工程(B)では、活性エネルギー線照射処理、コロナ処理、及びフレーム処理からなる群から選ばれる1以上の処理が施された基材の表面にポリアニリン層を形成する。ポリアニリン層の形成方法は格別限定されず、例えば塗布法等を用いることができる。塗布法は格別限定されず、塗液を付与することによってポリアニリン層を形成するものであればよく、種々のコート法や印刷法等を適用でき、例えば、バーコート、スピンコート、ナイフコート、ブレードコート、スクイズコート、リバースロールコート、グラビアロールコート、カーテンコート、スプレーコート、ダイコート、ディッピング、コンマコート、ディスペンサー、パッド印刷、グラビア印刷、フレキソ印刷、インクジェット印刷からなる群から選択することができる。一実施形態において、塗布法として、バーコート法を用いると、ポリアニリン層の表面をより平滑化できる。
 一実施形態において、塗布法に用いる塗液は、置換又は無置換のポリアニリンと、溶媒とを含むことができる。この場合、溶媒を乾燥して除去することによって、ポリアニリン層が形成される。
 溶媒は格別限定されず、例えば、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール、2-メトキシエタノール、2-エトキシエタノール、ジアセトンアルコール、3-メトキシ-1-ブタノール、3-メトキシ-3-メチル-1-ブタノール、エチルカルビトール、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、イソホロン、ソルベントナフサ、テトラヒドロフラン、ジエチルエーテル、酢酸n-ブチル、n-ブタノール、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、γ-ブチロラクトン、テトラリン、2-ブトキシ-2-エトキシエタノール、ジプロピレングリコールモノプロピルエーテル、1,3-ジメチルイミダゾリジノン、N-メチルピロリドン等が挙げられる。これらは1種を単独で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。
 また、上記溶媒に代えて、紫外線や電子線等で硬化可能なモノマー、オリゴマー又はポリマーを添加して粘度等液性を調整した無溶媒系として用いることも可能である。これらのモノマー、オリゴマー又はポリマーの硬化物は、ポリアニリン層中にバインダーとして含まれ得る。
 また、塗液は、ポリアニリン層に含むことができる成分として説明した成分を含むことができる。
 一態様において、塗液(組成物)は、置換又は無置換のポリアニリンを、上述した、ドーパントによってドープされたポリアニリン複合体として含む。組成物中のポリアニリン複合体の濃度は、例えば、50質量%以下、40質量%以下、30質量%以下、20質量%以下、又は15質量%以下であり得る。組成物中のポリアニリン複合体の濃度が、上記のような低濃度であることによって、組成物のチクソトロピー性が低下し、塗工されるポリアニリン層の平滑性が向上し、金属層におけるポリアニリン層側の面の表面粗さRzJISを好適に0.5μm以下にすることができる。組成物中のポリアニリン複合体の濃度は、さらに、13質量%以下、10質量%以下、8質量%以下、又は5質量%以下であってもよい。組成物中のポリアニリン複合体の濃度の下限は格別限定されず、例えば、1質量%以上とすることができる。
 ポリアニリン層を形成した後、金属層を形成する前に脱脂工程を行うことができる。脱脂工程は、界面活性剤や、アルコール等の溶剤で無電解めっき下地膜表面を脱脂洗浄して濡れ性を改善する。界面活性剤は、アニオン性、カチオン性又は非イオン性のものを適宜使用できる。カチオン性界面活性剤を用いる場合は、例えばイオン交換水等で1~3質量%に希釈して用いることができる。なお、希釈率は脱脂洗浄に用いる界面活性剤や溶剤等の種類によって適宜調整することができる。
[工程(C)]
 工程(C)では、ポリアニリン層上に無電解めっき触媒を担持する。工程(C)は、ポリアニリン層を形成後、好ましくは脱脂工程後に行うことができる。
 無電解めっき触媒として、例えば、Pd金属(触媒金属)等が挙げられる。ポリアニリン層上に無電解めっき触媒を担持させるために、ポリアニリン層を、無電解めっき触媒を含む溶液と接触させることができる。
 無電解めっき触媒としてPdを用いる場合、Pd化合物溶液を接触させると、ポリアニリン、好ましくはポリアニリン複合体は、Pdイオンを吸着し、その還元作用により、PdイオンがPd金属に還元される。還元されたPd、即ち金属状態のPdは、無電解めっきにおける触媒作用を発現する。単位面積当たりのPd付着量(Pdイオン及びPd金属を含む)は、例えば、1.7μg/cm以上又は、2.5μg/cm以上であってもよい。
 Pd化合物としては、例えば塩化パラジウム等が挙げられる。Pd化合物溶液に用いられる溶媒としては、例えば塩酸等を用いることができる。Pd化合物溶液の具体例として、例えば、0.02%塩化パラジウム-0.01%塩酸水溶液(pH3)等が挙げられる。
 ポリアニリン層とPd化合物溶液との接触温度は格別限定されず適宜設定可能であり、例えば、20~50℃、又は30~40℃であり、接触時間も格別限定されず適宜設定可能であり、例えば、0.1~20分、又は1~10分であり得る。
[工程(D)]
 工程(D)では、無電解めっき触媒が担持されたポリアニリン層上に、無電解めっきを施すことによって金属層を形成する。無電解めっき触媒が担持されたポリアニリン層を無電解めっき液に接触させることによって、ポリアニリン層上に、無電解めっき被膜として金属層が形成される。
 無電解めっき液に含まれる金属種(めっき金属)は格別限定されず、例えば、Cu、Ni、Au、Pd、Ag、Sn、Co及びPtからなる群から選択される1以上の金属を含むことができる。一実施形態において、無電解めっき液はCuを含む。また、無電解めっき液は、これらの他にリン、ホウ素、鉄等の元素を含んでもよい。
 ポリアニリン層と無電解めっき液との接触温度は、めっき浴の種類や、所望される金属層の厚さ等を考慮して適宜設定可能であり、例えば低温浴であれば20~50℃程度、高温では50~90℃である。
 また、ポリアニリン層と無電解めっき液との接触時間も、めっき浴の種類や、所望される金属層の厚さ等を考慮して適宜設定可能であり、例えば1~120分である。
 金属層は、上記のようにして形成される無電解めっき被膜のみによって構成されてもよく、又は無電解めっき被膜を設けた後で電解めっきによりさらに同種又は異なる金属膜を設けたものであってもよい。
製造例1
[ポリアニリン複合体の製造]
 「エーロゾルOT」(ジ-2-エチルヘキシルスルホコハク酸ナトリウム)(AOT)37.8g及びポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル構造を有する非イオン乳化剤である「ソルボンT-20」(東邦化学工業株式会社製)1.47gをトルエン600mLに溶解した溶液を、窒素気流下においた6Lのセパラブルフラスコに入れ、さらにこの溶液に、22.2gのアニリンを加えた。その後、1Mリン酸1800mLを溶液に添加し、トルエンと水の2つの液相を有する溶液の温度を5℃に冷却した。
 溶液内温が5℃に到達した時点で、毎分390回転で撹拌を行った。65.7gの過硫酸アンモニウムを1Mリン酸600mLに溶解した溶液を、滴下ロートを用いて2時間かけて滴下した。滴下開始から18時間、溶液内温を5℃に保ったまま反応を実施した。その後、反応温度を40℃まで上昇させ、1時間反応を継続した。その後、静置し、トルエン相を分離した。得られたトルエン相にトルエンを1500mL添加し、1Mリン酸500mLで1回、イオン交換水500mLで3回洗浄し、トルエン相を静置分離し、濃度調整のための濃縮を行い、ポリアニリン複合体トルエン溶液900gを得た。このポリアニリン複合体トルエン溶液のポリアニリン複合体濃度は5.7質量%であった。
 得られたポリアニリン複合体トルエン溶液を、60℃の湯浴で減圧乾燥し、乾固しポリアニリン複合体(粉末)を51.3g得た。
 このポリアニリン複合体中のポリアニリン分子の重量平均分子量は72,000g/molであり、分子量分布は2.0であった。
実施例1
[塗液1の調製]
 プロピレングリコールモノブチルエーテル27g、アノン53g及びトルエン9gを混合して混合溶媒とした。当該混合溶媒へポリエステル樹脂(東洋紡株式会社製「バイロンGK810」)1.2g、ポリエステルウレタン樹脂(東洋紡株式会社製「バイロンUR1350」)6g、硬化剤(十条ケミカル株式会社製「JA-980」)1gを溶解させた後、製造例1で得られたポリアニリン複合体2.7gを溶解させ、樹脂改質剤(四国化成工業株式会社製「VD-3」)を分散させて塗液1を得た。塗液1中の全固形分に占めるポリアニリン複合体の濃度は39%であった。
[回路基板の製造及び評価]
(活性エネルギー線照射工程)
 基材であるSPS樹脂成型シート(出光興産株式会社製「ザレック」(登録商標)、誘電正接0.005(10GHz))の表面に、紫外線照射装置(ジーエス・ユアサコーポレーション社製「コンベヤーUV照射装置」、光源:メタルハライドランプ)を用いて、活性エネルギー線である紫外線を1000mJ/cmの条件で照射した。
(ポリアニリン層の形成(印刷・塗布工程))
 SPS樹脂フィルムにおける紫外線照射された面に、塗液1を、バーコーター(No.16)を用いて塗布した。塗膜を150℃で30分間乾燥して硬化させ、ポリアニリン層(無電解めっき下地膜)とした。ここで、塗液1の塗布量は、触針式膜厚計で測定されるポリアニリン層の膜厚が1μmになるように調整した。ポリアニリン層を形成したSPS樹脂成型シートを50mm×100mmに切断して試験片とした。
(表面粗さRzJISの測定)
 得られた試験片におけるポリアニリン層の表面(ポリアニリン層における基材と反対側の面)の表面粗さRzJISを、JIS B 0601:2001に準拠して測定した。当該測定値を、ポリアニリン層上に形成される金属層の表面粗さRzJISとして表1に示す。
(めっき前の密着性評価)
 得られた試験片(密着性評価用のもの)について、JIS K5600-5-6(1999)に準拠して密着性試験を行った。JIS K5600-5-6に規定される下記基準に沿って評価を行い、分類0及び1を「〇」(合格)とし、分類2~5を「×」(不合格)とした。結果を表1に示す。
0:カットの縁が完全に滑らかで、どの格子の目にもはがれがない。
1:カットの交差点における塗膜の小さなはがれ。クロスカット部分で影響を受けるのは、明確に5%を上回ることはない。
2:塗膜がカットの縁に沿って、及び/又は交差点においてはがれている。クロスカット部分で影響を受けるのは明確に5%を超えるが15%を上回ることはない。
3:塗膜がカットの縁に沿って、部分的又は全面的に大はがれを生じており、及び/又は目のいろいろな部分が、部分的又は全面的にはがれている。クロスカット部分で影響を受けるのは、明確に15%を超えるが35%を上回ることはない。
4:塗膜がカットの縁に沿って、部分的又は全面的に大はがれを生じており、及び/又は数か所の目が部分的又は全面的にはがれている。クロスカット部分で影響を受けるのは、明確に35%を上回ることはない。
5:分類4でも分類できないはがれ程度のいずれか。
(脱脂工程)
 上記試験片を、界面活性剤(奥野製薬工業株式会社製「エースクリーン」)の2.5質量%水溶液中へ55℃で5分間浸漬した。その後、試験片の表面を流水で洗浄後、10質量%亜硫酸水素ナトリウム水溶液に60℃で5分間浸漬した。さらに試験片の表面を流水で洗浄し脱脂処理を行った。
(触媒担持工程)
 脱脂処理後の試験片全体を、触媒化処理剤アクチベーター(塩酸酸性Pd化合物水溶液、奥野製薬工業株式会社製)の20倍希釈液中に30℃で5分間浸漬し、ポリアニリン層に金属Pd(無電解めっき触媒)を担持させる処理を行った。
(金属層形成工程)
 触媒担持処理後の試験片について、無電解銅めっき液(上村工業株式会社製「スルカップELC-SP」)を用いて、60℃で60分間めっき処理を行って無電解銅めっき層(銅を含む金属層)を形成した後、流水洗浄及び温風乾燥(80℃)を行い、回路基板を得た。
(めっき後の密着性評価)
 得られた回路基板について、(めっき前の密着性評価)と同じ方法で密着性試験を行い、基準で評価した。なお、本評価は(めっき前の密着性評価)が「○」であったものについてのみ行った。結果を表1に示す。
実施例2
 実施例1において、基材としてSPS樹脂フィルムに代えてポリイミドフィルム(東レ・デュポン株式会社製「カプトンEN」、誘電正接0.0126(10GHz))を用いた以外は、実施例1と同じ方法で回路基板を製造し、評価した。結果を表1に示す。
実施例3
 実施例1において、基材としてSPS樹脂フィルムに代えて液晶ポリマーフィルム(誘電正接0.015以下(10GHz))を用いた以外は、実施例1と同じ方法で回路基板を製造し、評価した。結果を表1に示す。
比較例1
 3-メチル-3メトキシブタノール35g、ブチルカルビトール5g、及び石油ナフサ10gを混合して混合溶媒とした。当該混合溶媒へウレタン樹脂(大日精化工業株式会社製「MAU1008」)30g、ウレタン樹脂(DIC株式会社製「ASPU-360」)6g、エポキシ樹脂(DIC株式会社製「HP-4710」)0.3g、及びポリビニルアセタール樹脂(積水樹脂株式会社製「KS-10」)0.3gを溶解させ、製造例1で得られたポリアニリン複合体13.3gを溶解させ塗液2を得た。塗液2中の全固形分中に占めるポリアニリン複合体濃度は50質量%である。
 実施例1の(ポリアニリン層の形成(印刷・塗布工程))において、塗液1の代わりに塗液2を用い、スクリーン印刷にて厚さ6μmのポリアニリン層を形成した以外は、実施例1と同じ方法で回路基板を製造し、評価した。結果を表1に示す。
比較例2
 実施例1の(活性エネルギー線照射工程)を行わなかった以外は、実施例1と同じ方法で回路基板の製造を試みたが、めっき前の密着性が「×」であり、また、(金属層形成工程)においてポリアニリン層が剥離してしまい、回路基板を形成できなかった。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000006
実施例4
(銅張積層フィルムの作製)
 両面に紫外線照射処理が施されたSPS樹脂フィルム(厚さ50μm、誘電正接0.0004)の一方の面に、塗液1を、バーコーター(No.8)を用いて塗布(バーコート)し、150℃で10分乾燥した。次いで、SPS樹脂フィルムの他方の面に、塗液1を、バーコーター(No.8)を用いて塗布(バーコート)し、150℃で15分間乾燥した。このようにして両面に形成されたポリアニリン層(無電解めっき下地膜)の乾燥後の膜厚はそれぞれ約0.8μmであった。膜厚は、実施例1と同様の触針式膜厚計で測定される値である。
 得られた試験片の両面に、実施例1と同じ方法で、脱脂工程、触媒担持工程及び金属層形成工程(無電解めっき工程)を施し、1μm厚の無電解銅めっき層(銅を含む金属層)を形成させた。次いで、硫酸銅浴を用い、電流密度2A/dmの条件で電解めっきにより金属層(銅層)の膜厚(銅厚)を12μmまで増加させ、両面銅張フィルムを得た。
(マイクロストリップ線路の作製)
 得られた両面銅張フィルムに、以下に説明する手順で、マイクロストリップ線路とグランド(GND)端子とを形成した。
 まず、得られた両面銅張フィルムに、穴あけ加工とスルーホールめっきによって、該両面銅張フィルムの表裏の銅層を導通するGND端子を形成した。GND端子は、マイクロストリップ線路(幅140μm、長さ100mm;GND端子を形成する段階ではマイクロストリップ線路は未形成であるが、GND端子の形成位置について、マイクロストリップ線路の形成位置を基準に説明する。)の長手方向の一端側及び他端側のそれぞれにおいて、該マイクロストリップ線路の幅方向の両側に配置されるように、計4つ形成した。上記のスルーホールめっきに伴い、両面銅張フィルムの各面の最終的な銅厚は18μmになった。
 次に、両面銅張フィルムの一方の面(表面)の銅層をエッチングして、上述したマイクロストリップ線路を形成した。一方、両面銅張フィルムの他方の面(裏面)の銅層はエッチングせず、該銅層の全面をグランド(GND)とした。このようにして、伝送損失測定用基板を得た。
 銅層(金属層)におけるSPS樹脂フィルム(基材フィルム)側(ポリアニリン層側に相当)の表面粗さRzJISは0.4μmであった。表面粗さRzJISは、実施例1と同じ方法により、ポリアニリン層の表面(ポリアニリン層における基材と反対側の面)の表面粗さRzJISとして測定された値である。
(伝送損失測定)
 得られた伝送損失測定用基板のマイクロストリップ線路について、ネットワークアナライザー「N5247」(キーサイト・テクノロジー社)を用いて、10MHz-110GHzのSパラメータから伝送損失を測定した。結果を表2に示す。
比較例3
 両面に紫外線照射処理が施されたSPS樹脂フィルム(厚さ50μm、誘電正接0.0004)の両面に、市販の銅箔(JX金属株式会社、銅厚12μm、RzJIS=4.0μm)を220℃加熱下で真空プレス装置により溶融圧着して、両面銅張フィルムを得た。実施例4と同様に、穴あけ加工とスルーホールめっきによりGND端子を形成し、また、一方の面の銅箔をエッチングしてマイクロストリップ線路を形成して、伝送損失測定用基板を得た。得られた伝送損失測定用基板について、実施例4と同様に伝送損失を測定した結果を表2に示す。
比較例4
 市販の高周波向け両面銅張フレキシブル基板(基材:液晶ポリマー50μm厚、銅厚12μm、RzJIS=1.0μm、10GHzにおける比誘電率2.9、誘電正接0.002)を用意し、実施例4と同様に、穴あけ加工とスルーホールめっきによりGND端子を形成し、また、一方の面の銅箔をエッチングしてマイクロストリップ線路を形成して、伝送損失測定用基板を得た。得られた伝送損失測定用基板について、実施例4と同様に伝送損失を測定した結果を表2に示す。
比較例5
 市販の高周波向け両面銅張フレキシブル基板(基材:ポリイミド50μm厚、銅厚12μm、RzJIS=1.0μm、10GHzにおける比誘電率3.2、誘電正接0.02)を用意し、実施例4と同様に、穴あけ加工とスルーホールめっきによりGND端子を形成し、また、一方の面の銅箔をエッチングしてマイクロストリップ線路を形成して、伝送損失測定用基板を得た。得られた伝送損失測定用基板について、実施例4と同様に伝送損失を測定した結果を表2に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000007
(電力減衰)
 伝送損失と電力減衰の間には下記の関係がある。
-6dB:電力として約1/4に減衰
-10dB:電力として約1/10に減衰
-20dB:電力として約1/100に減衰
 実施例4で得られた回路基板を用いれば、ミリ波以上の高周波の伝送損失を顕著に低減できることが分かる。
 本発明の回路基板は、車載レーダーや次世代携帯電話等の回路基板として利用できる。
 上記に本発明の実施形態及び/又は実施例を幾つか詳細に説明したが、当業者は、本発明の新規な教示及び効果から実質的に離れることなく、これら例示である実施形態及び/又は実施例に多くの変更を加えることが容易である。従って、これらの多くの変更は本発明の範囲に含まれる。
 この明細書に記載の文献、及び本願のパリ条約による優先権の基礎となる出願の内容を全て援用する。

Claims (19)

  1.  誘電正接が0.015以下である樹脂基材と、
     置換又は無置換のポリアニリンを含むポリアニリン層と、
     金属層と、をこの順に積層して含み、
     前記金属層における前記ポリアニリン層側の面の表面粗さRzJISが0.5μm以下である、
     回路基板。
  2.  前記金属層における前記ポリアニリン層側の面の表面粗さRzJISが0.25μm以下である、請求項1に記載の回路基板。
  3.  前記ポリアニリン層の厚さが5μm以下である、請求項1又は2に記載の回路基板。
  4.  前記樹脂基材が、シンジオタクチックポリスチレン、ポリイミド、液晶ポリマー、ポリテトラフルオロエチレン、及びポリオレフィンからなる群から選択される1種以上を含む、請求項1~3のいずれかに記載の回路基板。
  5.  前記樹脂基材がシンジオタクチックポリスチレンを含む、請求項1~4のいずれかに記載の回路基板。
  6.  前記金属層が、Cu、Ni、Au、Pd、Ag、Sn、Co及びPtからなる群から選択される1以上の金属を含む、請求項1~5のいずれかに記載の回路基板。
  7.  前記金属層がCuを含む、請求項1~6のいずれかに記載の回路基板。
  8.  前記ポリアニリン層が、置換又は無置換のポリアニリンを、ドーパントによってドープされたポリアニリン複合体として含む、請求項1~7のいずれかに記載の回路基板。
  9.  前記ドーパントが下記式(III)で表されるスルホコハク酸誘導体から生じる有機酸イオンである、請求項8に記載の回路基板。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000001
    (式(III)中、Mは、水素原子、有機遊離基又は無機遊離基である。m’は、Mの価数である。R13及びR14は、それぞれ独立に炭化水素基又は-(R15O)-R16基である。R15は、それぞれ独立に炭化水素基又はシリレン基であり、R16は水素原子、炭化水素基又はR17 Si-基であり、rは1以上の整数である。R17は、それぞれ独立に炭化水素基である。)
  10.  前記ドーパントがジ-2-エチルヘキシルスルホコハク酸ナトリウムである、請求項8又は9に記載の回路基板。
  11.  周波数1GHz以上の高周波電気信号を伝送する用途に用いられる、請求項1~10のいずれかに記載の回路基板。
  12.  請求項1~11のいずれかに記載の回路基板の製造方法であって、
     前記樹脂基材の表面に、活性エネルギー線照射処理、コロナ処理、及びフレーム処理からなる群から選ばれる1以上の処理を施す工程と、
     前記処理が施された前記樹脂基材の面に、前記ポリアニリン層を形成する工程と、
     前記ポリアニリン層上に無電解めっき触媒を担持する工程と、
     前記無電解めっき触媒が担持された前記ポリアニリン層上に、無電解めっきを施すことによって金属層を形成する工程と、を含む、
     回路基板の製造方法。
  13.  前記樹脂基材の表面に、活性エネルギー線照射処理を施す、請求項12に記載の回路基板の製造方法。
  14.  前記活性エネルギー線が紫外線である、請求項13に記載の回路基板の製造方法。
  15.  前記紫外線の光源が高圧水銀ランプ又はメタルハライドランプである、請求項14に記載の回路基板の製造方法。
  16.  前記ポリアニリン層を、置換又は無置換のポリアニリンを含む組成物を用いた塗布法によって形成する、請求項12~15のいずれかに記載の回路基板の製造方法。
  17.  前記組成物が、置換又は無置換のポリアニリンを、ドーパントによってドープされたポリアニリン複合体として含む、請求項16に記載の回路基板の製造方法。
  18.  前記組成物中の前記ポリアニリン複合体の濃度が15質量%以下である、請求項17に記載の回路基板の製造方法。
  19.  前記無電解めっき触媒がPdである、請求項12~18のいずれかに記載の回路基板の製造方法。
PCT/JP2020/010342 2019-03-12 2020-03-10 回路基板及び回路基板の製造方法 WO2020184569A1 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US17/438,251 US20220192033A1 (en) 2019-03-12 2020-03-10 Circuit board and method for producing circuit board
JP2021505087A JPWO2020184569A1 (ja) 2019-03-12 2020-03-10
CN202080020093.8A CN113557321A (zh) 2019-03-12 2020-03-10 电路基板及电路基板的制造方法

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019045128 2019-03-12
JP2019-045128 2019-03-12

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2020184569A1 true WO2020184569A1 (ja) 2020-09-17

Family

ID=72427945

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2020/010342 WO2020184569A1 (ja) 2019-03-12 2020-03-10 回路基板及び回路基板の製造方法

Country Status (4)

Country Link
US (1) US20220192033A1 (ja)
JP (1) JPWO2020184569A1 (ja)
CN (1) CN113557321A (ja)
WO (1) WO2020184569A1 (ja)

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0374437A (ja) * 1989-08-14 1991-03-29 Idemitsu Kosan Co Ltd 易滑性フィルム
JP2006286964A (ja) * 2005-03-31 2006-10-19 Fuji Photo Film Co Ltd グラフトパターン材料、導電性パターン材料およびその製造方法
JP2008081838A (ja) * 2006-08-28 2008-04-10 Daicel Polymer Ltd めっき樹脂成形体
JP2009185150A (ja) * 2008-02-05 2009-08-20 Idemitsu Kosan Co Ltd 伝熱性樹脂組成物及びその樹脂成形体
JP2009293085A (ja) * 2008-06-05 2009-12-17 Achilles Corp ポリオレフィン系樹脂又はポリアセタール系樹脂を基材とするめっき物
JP2013127106A (ja) * 2011-12-19 2013-06-27 Idemitsu Kosan Co Ltd めっき積層体の製造方法
WO2014192287A1 (ja) * 2013-05-28 2014-12-04 出光興産株式会社 無電解めっき下地膜形成用組成物
WO2017077912A1 (ja) * 2015-11-02 2017-05-11 東洋紡株式会社 低誘電難燃性接着剤組成物

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2374612A4 (en) * 2008-12-26 2017-11-15 FUJIFILM Corporation Surface metal film material, process for producing surface metal film material, process for producing metal pattern material, and metal pattern material

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0374437A (ja) * 1989-08-14 1991-03-29 Idemitsu Kosan Co Ltd 易滑性フィルム
JP2006286964A (ja) * 2005-03-31 2006-10-19 Fuji Photo Film Co Ltd グラフトパターン材料、導電性パターン材料およびその製造方法
JP2008081838A (ja) * 2006-08-28 2008-04-10 Daicel Polymer Ltd めっき樹脂成形体
JP2009185150A (ja) * 2008-02-05 2009-08-20 Idemitsu Kosan Co Ltd 伝熱性樹脂組成物及びその樹脂成形体
JP2009293085A (ja) * 2008-06-05 2009-12-17 Achilles Corp ポリオレフィン系樹脂又はポリアセタール系樹脂を基材とするめっき物
JP2013127106A (ja) * 2011-12-19 2013-06-27 Idemitsu Kosan Co Ltd めっき積層体の製造方法
WO2014192287A1 (ja) * 2013-05-28 2014-12-04 出光興産株式会社 無電解めっき下地膜形成用組成物
WO2017077912A1 (ja) * 2015-11-02 2017-05-11 東洋紡株式会社 低誘電難燃性接着剤組成物

Also Published As

Publication number Publication date
US20220192033A1 (en) 2022-06-16
JPWO2020184569A1 (ja) 2020-09-17
CN113557321A (zh) 2021-10-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5463117B2 (ja) 低損失配線板,多層配線板、それに用いる銅箔及び積層板
KR101605449B1 (ko) 접착제층 부착 동박, 동박 적층판 및 프린트 배선판
CN204168593U (zh) 电磁波屏蔽薄膜、使用其的印刷电路板、及压延铜箔
JP5079396B2 (ja) 導電性物質吸着性樹脂フイルム、導電性物質吸着性樹脂フイルムの製造方法、それを用いた金属層付き樹脂フイルム、及び、金属層付き樹脂フイルムの製造方法
KR100339001B1 (ko) 증착처리층과점착촉진층을가진금속체
JP7166334B2 (ja) 銅張積層板
KR102035404B1 (ko) 피도금층 형성용 조성물, 피도금층 전구체층 부착 필름, 패턴 형상 피도금층 부착 필름, 도전성 필름, 터치 패널
CN101103138A (zh) 金属膜和金属膜的形成方法
KR20140027920A (ko) 피도금층 형성용 조성물, 금속막을 갖는 적층체의 제조 방법
WO2006059750A1 (ja) 硬化性樹脂組成物
JP7065463B2 (ja) 金属張積層板、樹脂付き金属箔、及び配線板
US11419210B2 (en) Resin composition, metal foil provided with resin layer, metal clad laminate, and printed wiring board
JP2010185128A (ja) めっき用感光性樹脂組成物、積層体、それを用いた表面金属膜材料の作製方法、表面金属膜材料、金属パターン材料の作製方法、金属パターン材料、及び配線基板
CN104025722A (zh) 贴附用铜箔
JP2019172803A (ja) 樹脂組成物、樹脂付銅箔、プリント配線板、及び樹脂付銅箔の処理方法
JP2004140268A (ja) 高周波用多層プリント配線板の製造方法
WO2020184569A1 (ja) 回路基板及び回路基板の製造方法
JP2007051226A (ja) 低誘電率樹脂組成物
CN108136736A (zh) 层叠体的制造方法和带树脂层的金属箔
KR101411978B1 (ko) 금속화 고분자필름에 착색층이 형성된 전자파 차폐용 접착테이프의 제조방법 및 그에 의한 접착테이프
JP2011108848A (ja) 絶縁性機能膜付き金属箔、フレキシブル金属張り積層板、電子部品実装モジュールおよびその製造方法
US20220186377A1 (en) Electroless plating undercoat film
JP2007051225A (ja) 高誘電率樹脂組成物
JP2012180561A (ja) 金属膜を有する積層体およびその製造方法、並びに、パターン状金属膜を有する積層体およびその製造方法
JP6994660B2 (ja) 金属張積層板及びプリント配線板

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 20769218

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2021505087

Country of ref document: JP

Kind code of ref document: A

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 20769218

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1