WO2020110522A1 - 走行車システム - Google Patents

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WO2020110522A1
WO2020110522A1 PCT/JP2019/041503 JP2019041503W WO2020110522A1 WO 2020110522 A1 WO2020110522 A1 WO 2020110522A1 JP 2019041503 W JP2019041503 W JP 2019041503W WO 2020110522 A1 WO2020110522 A1 WO 2020110522A1
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WO
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track
guide surface
traveling
guide
connection
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PCT/JP2019/041503
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English (en)
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玄己 小合
石川　和広
靖久 伊藤
政佳 虎澤
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Murata Machinery Ltd
Original Assignee
Murata Machinery Ltd
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Publication date
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Priority to CN201980078570.3A priority patent/CN113165671B/zh
Priority to KR1020217016113A priority patent/KR102461617B1/ko
Priority to EP19888268.0A priority patent/EP3888994B1/en
Priority to IL283506A priority patent/IL283506B2/en
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    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0297—Wafer cassette

Definitions

  • the present invention relates to a traveling vehicle system.
  • a traveling vehicle system in which a traveling vehicle conveys an article such as a FOUP containing a semiconductor wafer or a reticle Pod containing a reticle is used.
  • a traveling vehicle system a first track extending along a first direction, a second track extending along a second direction different from the first direction, a first track and a second track are provided.
  • a configuration including a direction changing mechanism that integrally rotates a connecting portion is known (see, for example, Patent Document 1).
  • the main body portion may not be displaced in a direction intersecting with the traveling direction when the traveling vehicle travels on the first track and the second track. It has been demanded. Therefore, a configuration in which a guide roller or the like is arranged on the traveling vehicle and the guide roller rolls on a guide surface provided along the track to suppress the displacement of the main body can be considered.
  • a mechanism for separately changing the direction of the guide roller is provided in accordance with the direction change of the traveling wheels. There is a problem that the structure of the traveling vehicle becomes complicated. Further, if the height dimension of the traveling vehicle is increased by disposing the guide rollers, it becomes a factor of reducing the space efficiency in the vicinity of the ceiling of the building or the like in which the traveling vehicle system is installed.
  • An object of the present invention is to provide a traveling vehicle system capable of suppressing the displacement of the main body with a simple configuration while avoiding a complicated configuration of the traveling vehicle.
  • a traveling vehicle system has a first track that extends along a first direction, a second track that extends along a second direction different from the first direction, and a first track.
  • a track having a first track and a track track that are adjacent to the second track in the second direction and that are connected to each other with a gap between each of the first track and the second track.
  • a traveling vehicle system comprising: an overhead traveling vehicle traveling along a track, wherein the track has a first guide surface provided along the first track and a second guide provided along the second track.
  • the overhead traveling vehicle includes a traveling wheel that rolls on a first track, a second track, and a connecting track, a main body portion that is disposed below the track, and an axle of the traveling wheel.
  • a direction changing mechanism that switches between a first state in which the vehicle rolls on the track and a second state in which the traveling wheels roll on the second track, and a connecting portion, which is provided in the connecting portion, and is provided on the first guide surface in the first state. And a guide portion that moves along the second guide surface in the second state.
  • first guide surface may be a side surface of the first track
  • second guide surface may be a side surface of the second track.
  • the guide portion is disposed at a height between the axle of the traveling wheel and the main body portion, and the first guide surface and the second guide surface are disposed at a height between the axle of the traveling wheel and the main body portion. It may be arranged. Further, the guide portion may be a guide roller capable of rolling when it comes into contact with the first guide surface or the second guide surface.
  • connection track has a first connection guide surface provided at the same height and in the same direction as the first guide surface, and a second connection guide surface provided at the same height and in the same direction as the second guide surface, May have.
  • connection track may include a continuous surface that connects the first connection guide surface and the second connection guide surface.
  • the continuous surface may be a curved surface that smoothly connects the first connection guide surface and the second connection guide surface.
  • the main body may have a rectangular shape when viewed in the axial direction of the turning shaft of the connecting portion, and may have traveling wheels, a connecting portion, a direction changing mechanism, and a guide portion at each of the four corner portions.
  • the distance between the two guide portions arranged in the traveling direction of the overhead traveling vehicle may be different from the distance between two adjacent gaps in the first direction or the second direction.
  • the guide portion turns together with the connecting portion, so that the guide portion can be changed according to the direction change of the traveling wheels without separately providing a configuration for changing the direction of the guide portion.
  • the direction of can be switched.
  • the displacement of the main body can be suppressed with a simple structure while avoiding a complicated structure of the traveling vehicle.
  • the side surfaces of the first track and the second track are the first guide surface and the second guide.
  • the guide portion is arranged at a height between the axle of the traveling wheel and the body portion, and the first guide surface and the second guide surface are arranged at a height between the axle of the traveling wheel and the body portion.
  • connection track has a first connection guide surface provided at the same height and in the same direction as the first guide surface, and a second connection guide surface provided at the same height and in the same direction as the second guide surface,
  • the position deviation of the main body portion can be suppressed by the guide portion contacting the first connection guide surface or the second guide surface even in the connection track.
  • the connection track includes the continuous surface that connects the first connection guide surface and the second connection guide surface, when the traveling wheel turns by the direction changing mechanism, the guide portion is moved along the continuous surface. As a result, it is possible to suppress the displacement of the main body when the traveling wheels turn.
  • the continuous surface is a curved surface that smoothly connects the first connection guide surface and the second connection guide surface
  • smooth movement of the guide portion on the continuous surface can be ensured.
  • the main body has a rectangular shape when viewed from the axial direction of the turning axis of the connecting portion and each of the four corners has the traveling wheel, the connecting portion, the direction changing mechanism, and the guide portion
  • the guide portions arranged at the four corners can suppress the displacement of the main body portion around the vertical axis with respect to the track.
  • the two guide portions arranged in the traveling direction of the overhead traveling vehicle form the gap at the same time. Can be prevented from being located at.
  • the direction perpendicular to the XY plane is referred to as the Z direction.
  • the direction indicated by the arrow in the drawing is the + direction
  • the direction opposite to the direction indicated by the arrow is the ⁇ direction.
  • the turning direction around the vertical axis or the Z axis is referred to as the ⁇ Z direction.
  • FIG. 1 is a side view showing an example of a traveling vehicle system SYS according to the present embodiment.
  • FIG. 2 is a perspective view of an overhead traveling vehicle 100 used in the traveling vehicle system SYS shown in FIG.
  • FIG. 3 is a perspective view showing an example of the traveling vehicle system SYS according to the present embodiment.
  • an overhead traveling vehicle 100 moves along a track R of a traveling vehicle system SYS and conveys an article M such as a FOUP containing a semiconductor wafer or a reticle Pod containing a reticle. .. Since the overhead traveling vehicle 100 transports the article M, it may be referred to as an overhead traveling vehicle.
  • the traveling vehicle system SYS is a system for transporting the article M by the overhead traveling vehicle 100 in a clean room of a semiconductor manufacturing factory, for example.
  • a plurality of overhead traveling vehicles 100 may be used, for example.
  • the orbit R is a form of the orbit.
  • the track R is laid on or near the ceiling of a building such as a clean room.
  • the trajectory R is a lattice trajectory having a first trajectory R1, a second trajectory R2, and a connecting trajectory R3 (see FIG. 3).
  • the trajectory R will be referred to as a lattice trajectory R.
  • the first track R1 is provided along the X direction (first direction D1).
  • the second track R2 is provided along the Y direction (second direction D2).
  • the first direction D1 and the second direction D2 are orthogonal to each other, and the plurality of first trajectories R1 and the plurality of second trajectories R2 are orthogonal to each other.
  • the connecting track R3 is arranged at the intersection of the first track R1 and the second track R2.
  • the connecting track R3 is adjacent to the first track R1 in the first direction D1 and is adjacent to the second track R2 in the second direction D2.
  • the connecting track R3 connects the first track R1 and the second track R2.
  • the first orbit R1 and the second orbit R2 are orthogonal to each other, so that a plurality of cells C are adjacent to each other in a plan view.
  • FIG. 3 shows a part of the lattice-shaped orbit R, and the lattice-shaped orbit R has the same configuration in the first direction D1 (X direction) and the second direction D2 (Y direction) from the configuration shown in the drawing. Are continuously formed.
  • the first track R1, the second track R2, and the connecting track R3 are suspended by a suspension member H (see FIG. 3) on a ceiling (not shown).
  • the suspending member H includes a first portion H1 for suspending the first track R1, a second portion H2 for suspending the second track R2, and a third portion H3 for suspending the connecting track R3.
  • the first portion H1 and the second portion H2 are respectively provided at two places sandwiching the third portion H3.
  • the first track R1, the second track R2, and the connecting track R3 each have traveling surfaces R1a, R2a, and R3a on which traveling wheels 21 of the overhead traveling vehicle 100, which will be described later, travel.
  • a gap D is formed between the first track R1 and the connecting track R3, and between the second track R2 and the connecting track R3.
  • the gap D is a part of the overhead traveling vehicle 100 when the overhead traveling vehicle 100 travels on the first track R1 and crosses the second track R2, or when traveling on the second track R2 and crossing the first track R1. Is a portion through which a connecting portion 30 described later is passed. Therefore, the gap D has a width that allows the connecting portion 30 to pass therethrough.
  • the first track R1, the second track R2, and the connecting track R3 are provided along the same or substantially the same horizontal plane.
  • the first track R1, the second track R2, and the connecting track R3 are arranged on the same or substantially the same horizontal plane with the traveling surfaces R1a, R2a, and R3a.
  • the track R has a first guide surface G1 and a second guide surface G2.
  • the first guide surface G1 is provided along the first track R1.
  • the first guide surface G1 is provided on the side surface of the first track R1.
  • the second guide surface G2 is provided along the second track R2.
  • the second track R2 is provided on the side surface of the second guide surface G2.
  • connection track R3 has a first connection guide surface G3a, a second connection guide surface G3b, and a continuous surface G3c.
  • first connection guide surface G3a is provided at the same height (including substantially the same height) and in the same direction (including substantially the same direction) as the first guide surface G1. That is, the first connection guide surface G3a and the first guide surface G1 are included in the same plane.
  • the second connection guide surface G3b is provided at the same height (including substantially the same height) and in the same direction (including substantially the same direction) as the second guide surface G2. That is, the second connection guide surface G3b and the second guide surface G2 are included in the same plane.
  • the continuous surface G3c is formed so that the first connection guide surface G3a and the second connection guide surface G3b are continuous.
  • the continuous surface G3c is a curved surface that smoothly connects the first connection guide surface G3a and the second connection guide surface G3b. The details of the first connection guide surface G3a, the second connection guide surface G3b, and the continuous surface G3c of the connection track R3 will be described later.
  • the overhead traveling vehicle 100 includes a main body portion 10, a traveling portion 20, a connecting portion 30, a guide portion 40, and a control portion 50.
  • the control unit 50 comprehensively controls the operation of each unit of the overhead traveling vehicle 100.
  • the control unit 50 is provided in the main body unit 10, it may be provided outside the main body unit 10.
  • the main body 10 is arranged below the lattice-shaped orbit R ( ⁇ Z side).
  • the main body 10 is formed in, for example, a rectangular shape in a plan view.
  • the main body portion 10 is formed to have a size that fits in one cell C in the lattice-shaped trajectory R in a plan view.
  • the main body 10 includes an upper unit 17 and a transfer device 18.
  • the upper unit 17 is suspended from the traveling unit 20 via the connecting unit 30.
  • the upper unit 17 has, for example, a rectangular shape in a plan view, and has four corner portions 10a on the upper surface 17a.
  • the main body portion 10 has traveling wheels 21, a connecting portion 30, a direction changing mechanism 34, and a guide portion 40 at each of the four corner portions 10a.
  • the traveling wheels 21 arranged at the four corners 10a of the body portion 10 can suspend the body portion 10 stably and allow the body portion 10 to travel stably.
  • the guide portions 40 arranged at the four corners 10a of the main body portion 10 the displacement of the main body portion 10 in the first direction D1 or the second direction D2 with respect to the grid-like trajectory R, and the main body portion with respect to the grid-like trajectory R. It is possible to effectively suppress the displacement of 10 around the vertical axis.
  • the details of the guide unit 40 will be described later.
  • the transfer device 18 is provided below the upper unit 17.
  • the transfer device 18 is rotatable about a rotation axis AX1 in the Z direction (vertical direction).
  • the transfer device 18 includes an article holding unit 13 that holds the article M, an elevating drive unit 14 that elevates and lowers the article holding unit 13 in the vertical direction, and a horizontal ejection mechanism 11 that horizontally slides the elevating drive unit 14. And a turning unit 12 that holds the laterally extending mechanism 11.
  • the article holding unit 13 holds the flange Ma of the article M to suspend and hold the article M.
  • the article holding unit 13 is, for example, a chuck having a claw portion 13a that can move in the horizontal direction, and the article holding unit 13 is moved up below the flange Ma of the article M to raise the article holding unit 13. Hold M.
  • the article holding unit 13 is connected to a hanging member 13b such as a wire or a belt.
  • the elevating and lowering drive unit 14 is, for example, a hoist, and lowers the article holding unit 13 by feeding the hanging member 13b, and raises the article holding unit 13 by winding the hanging member 13b.
  • the elevating/lowering drive unit 14 is controlled by the control unit 50 to lower or raise the article holding unit 13 at a predetermined speed.
  • the lifting drive unit 14 is controlled by the control unit 50 and holds the article holding unit 13 at a target height.
  • the sideways-out mechanism 11 has, for example, a plurality of movable plates that are arranged so as to overlap in the Z direction.
  • the movable plate is relatively movable in the Y direction.
  • An elevating drive unit 14 is attached to the lowermost movable plate.
  • the sideways-out mechanism 11 moves a movable plate by a drive device (not shown), and horizontally raises and lowers the lifting drive unit 14 and the article holding unit 13 attached to the lowermost movable plate in a horizontal direction orthogonal to the traveling direction. It can be done (sliding movement).
  • the rotating unit 12 is provided between the side-out mechanism 11 and the upper unit 17.
  • the rotating unit 12 includes a rotating member 12a and a rotation driving unit 12b.
  • the rotating member 12a is provided so as to be rotatable around a vertical axis.
  • the rotating member 12a supports the laterally extending mechanism 11.
  • the rotation drive unit 12b is, for example, an electric motor or the like, and rotates the rotation member 12a in the direction around the rotation axis AX1.
  • the rotating unit 12 rotates the rotating member 12a by the driving force from the rotating drive unit 12b, and rotates the sideward mechanism 11 (the elevating drive unit 14 and the article holding unit 13) around the rotation axis AX1.
  • a cover W may be provided so as to surround the transfer device 18 and the article M held by the transfer device 18.
  • the cover W has a cylindrical shape with an open lower end, and has a shape in which a portion of the laterally extending mechanism 11 where the movable plate projects is cut out.
  • the cover W has an upper end attached to the rotating member 12a of the rotating portion 12, and rotates about the axis of the rotation axis AX1 as the rotating member 12a rotates.
  • the traveling unit 20 has traveling wheels 21 and auxiliary wheels 22.
  • the traveling wheels 21 are arranged at the four corners 10a of the upper surface 17a of the upper unit 17 (main body 10), respectively.
  • Each of the traveling wheels 21 is attached to an axle 21 a provided on the connecting portion 30.
  • the axles 21a are provided parallel or substantially parallel to each other along the XY plane.
  • Each of the traveling wheels 21 is rotationally driven by the driving force of a traveling drive unit 33 described later.
  • each of the traveling wheels 21 rolls on the traveling surfaces R1a, R2a, and R3a of the first track R1, the second track R2, and the connecting track R3 to drive the overhead traveling vehicle 100.
  • all of the four traveling wheels 21 are not limited to be rotationally driven by the driving force of the traveling drive unit 33, and a configuration may be such that some of the four traveling wheels 21 are rotationally driven.
  • the traveling wheel 21 is provided so as to be able to turn in the ⁇ Z direction around the turning axis AX2.
  • the traveling wheels 21 turn in the ⁇ Z direction by the direction changing mechanism 34 described later, and as a result, the traveling direction of the overhead traveling vehicle 100 can be changed.
  • One auxiliary wheel 22 is arranged at each of the front and rear sides of the traveling wheel 21 in the traveling direction.
  • each of the auxiliary wheels 22 is rotatable about an axis of an axle 22a that is parallel or substantially parallel along the XY plane.
  • the lower end of the auxiliary wheel 22 is set to be higher than the lower end of the traveling wheel 21.
  • the auxiliary wheels 22 do not contact the traveling surfaces R1a, R2a, R3a. Further, when the traveling wheels 21 pass through the gap D, the auxiliary wheels 22 contact the traveling surfaces R1a, R2a, R3a to suppress the traveling wheels 21 from falling. It should be noted that the one traveling wheel 21 is not limited to being provided with the two auxiliary wheels 22, and for example, one traveling wheel 21 may be provided with one auxiliary wheel 22, or the auxiliary wheel 22 may not be provided. Good.
  • the connecting unit 30 connects the upper unit 17 of the main body unit 10 and the traveling unit 20.
  • the connecting portions 30 are provided on the four corner portions 10a of the upper surface 17a of the upper unit 17 (main body portion 10), respectively.
  • the main body portion 10 is suspended from the traveling portion 20 by the connecting portion 30, and is arranged below the lattice-shaped track R.
  • the connecting portion 30 has a supporting member 31 and a connecting member 32.
  • the support member 31 rotatably supports the rotating shaft of the traveling wheel 21 and the rotating shaft of the auxiliary wheel 22.
  • the support member 31 holds the relative position between the traveling wheel 21 and the auxiliary wheel 22.
  • the support member 31 is formed in a plate shape, for example, and has a thickness that allows the gap D to pass therethrough.
  • connection member 32 extends downward from the support member 31 and is connected to the upper surface 17 a of the upper unit 17 to hold the upper unit 17.
  • the connection member 32 is internally provided with a transmission mechanism that transmits a driving force of a traveling drive unit 33 described later to the traveling wheels 21.
  • the transmission mechanism may be configured to use a chain or a belt, or may be configured to use a gear train.
  • the connection member 32 is provided so as to be rotatable in the ⁇ Z direction about the rotation axis AX2. By turning the connecting member 32 around the turning axis AX2, the traveling wheel 21 can be turned in the ⁇ Z direction around the turning axis AX2 via the support member 31.
  • a traveling drive unit 33 and a direction changing mechanism 34 are provided in the connecting unit 30.
  • the traveling drive unit 33 is attached to the connection member 32.
  • the traveling drive unit 33 is a drive source that drives the traveling wheels 21, and for example, an electric motor or the like is used.
  • the four traveling wheels 21 are driven by the traveling drive unit 33 to become driving wheels.
  • the four traveling wheels 21 are controlled by the control unit 50 so as to have the same or substantially the same rotation speed. If any one of the four traveling wheels 21 is not used as a drive wheel, the traveling drive unit 33 is not attached to the connecting member 32 corresponding to the traveling wheel 21 that is not used as a drive wheel.
  • the direction changing mechanism 34 turns the traveling member 21 in the ⁇ Z direction around the turning axis AX2 by turning the connecting member 32 of the connecting portion 30 about the turning axis AX2.
  • the traveling state of the overhead traveling vehicle 100 is changed from the first state in which the traveling direction is the first direction D1 to the second state in which the traveling direction is the second direction D2, or the second traveling direction is set. It is possible to switch from the second state in which the direction D2 is set to the first state in which the traveling direction is set as the first direction D1.
  • the direction changing mechanism 34 includes a drive source 35, a pinion gear 36, and a rack 37.
  • the drive source 35 is attached to a side surface of the traveling drive unit 33, which is separated from the turning axis AX2.
  • As the drive source 35 for example, an electric motor or the like is used.
  • the pinion gear 36 is attached to the lower surface side of the drive source 35, and is rotationally driven in the ⁇ Z direction by the drive force generated by the drive source 35.
  • the pinion gear 36 has a circular shape in plan view and has a plurality of teeth in the circumferential direction of the outer circumference.
  • the rack 37 is fixed to the upper surface 17a of the upper unit 17.
  • the racks 37 are provided on the four corners 10a of the upper surface 17a of the upper unit 17, respectively, and are provided in an arc shape (fan shape) about the turning axis AX2 of the traveling wheel 21.
  • the rack 37 has a plurality of teeth that mesh with the teeth of the pinion gear 36 in the outer circumferential direction.
  • the pinion gear 36 and the rack 37 are arranged with their teeth meshing with each other.
  • the pinion gear 36 moves in the circumferential direction around the turning axis AX2 along the outer periphery of the rack 37.
  • the movement of the pinion gear 36 causes the connecting member 32 to turn, so that the traveling drive unit 33 and the direction changing mechanism 34 turn together with the pinion gear 36 in the circumferential direction about the turning axis AX2.
  • each of the traveling wheel 21 and the auxiliary wheel 22 arranged at the four corners 10a of the upper surface 17a turns in the range of 90 degrees in the ⁇ Z direction about the turning axis AX2.
  • the drive of the direction changing mechanism 34 is controlled by the control unit 50.
  • the control unit 50 may instruct the turning operation of the four traveling wheels 21 to be performed at the same timing, or may be instructed to be performed at different timings.
  • the traveling wheel 21 and the auxiliary wheel 22 the state where the traveling wheel 21 is in contact with one of the first track R1 and the second track R2 is in contact with the other. In other words, the direction of the rotation axis of the traveling wheel 21 shifts from one state of the first direction D1 and the second direction D2 to the other direction. Therefore, the overhead traveling vehicle 100 can be switched between the first state in which the traveling direction is the first direction D1 (X direction) and the second state in which the traveling direction is the second direction D2 (Y direction).
  • FIG. 4 is a diagram showing an example of the traveling unit 20 and the connecting unit 30, (A) is a plan view, and (B) is a front view.
  • the support member 31 of the connecting portion 30 is provided with a guide portion housing portion 31a.
  • the guide portion 40 suppresses the positional displacement of the connecting portion 30 with respect to the lattice-shaped trajectory R, and thus suppresses the positional displacement of the main body portion 10 with respect to the lattice-shaped trajectory R.
  • the guide parts 40 are provided on the respective connecting parts 30 arranged at the four corner parts 10a of the upper surface 17a of the main body part 10 (see FIGS. 1 and 2).
  • the guide portion 40 moves along the first guide surface G1 and the first connection guide surface G3a in the first state in which the traveling wheels 21 travel on the first track R1.
  • the guide portion 40 moves along the second guide surface G2 and the second connection guide surface G3b in the second state in which the traveling wheels 21 travel on the second track R2.
  • the guide portion 40 may be in contact with the first guide surface G1 or the second guide surface G2 while the body portion 10 is running, or with respect to the first guide surface G1 or the second guide surface G2. It may be in a state with a gap.
  • the guide part 40 has a guide roller 41 accommodated in the guide part accommodating part 31 a of the support member 31.
  • the guide roller 41 is accommodated in the guide portion accommodating portion 31a, and is arranged such that the end portion on the ⁇ X side projects from the guide portion accommodating portion 31a.
  • the guide roller 41 is supported by a roller shaft 41a so as to be rotatable around the Z axis.
  • the roller shaft 41a is fixed inside the guide housing 31a and is arranged in parallel with the Z direction.
  • the roller shaft 41a may be supported by an elastic member, for example.
  • the guide roller 41 is movably and rotatably supported in the X direction, and the impact of the guide roller 41 hitting the first guide surface G1 or the like can be absorbed by the elastic member.
  • the guide roller 41 is a driven roller that does not have a drive source that rotates the guide roller 41.
  • a drive unit for rotating the guide roller 41 in accordance with the traveling direction of the main body unit 10 may be provided.
  • the guide roller 41 is arranged at a height between the axle 21 a of the traveling wheel 21 and the main body 10.
  • the first guide surface G1 and the second guide surface G2 are arranged at a height between the axle 21a of the traveling wheel 21 and the main body 10.
  • the guide roller 41 is arranged in the connecting portion 30 at a position corresponding to the height of the first guide surface G1 and the second guide surface G2.
  • the guide portion 40 changes the direction of the traveling wheel 21 by the direction changing mechanism 34, that is, the connecting portion 30 by the direction changing mechanism 34.
  • the traveling wheels 21 are turned and the vehicle is turned about the turning axis AX2. Therefore, in the first state in which the traveling wheel 21 travels on the first track R1, the guide roller 41 is in a state of facing the first guide surface G1 and the first connection guide surface G3a, and the traveling wheel 21 is in the second track. In the second state of traveling on R2, the guide roller 41 is in a state of facing the second guide surface G2 and the second connection guide surface G3b.
  • the guide roller 41 is rotated by using the direction changing mechanism 34 for switching the traveling state of the traveling wheel 21, it is not necessary to provide another mechanism for rotating the guide roller 41, and the main body 10 It prevents the configuration from becoming complicated.
  • FIG. 5 is a plan view showing an example of the positional relationship between the guide roller 41 and the first track R1, the second track R2, the connecting track R3.
  • FIG. 6 is a plan view showing an example of the guide portion 40 (guide roller 41) when the traveling wheels 21 are turned.
  • a portion of the support member 31 projecting from the guide portion accommodating portion 31a is a side surface of the first track R1, a first guide surface G1 and a side surface of the second track R2. It is possible to contact the second guide surface G2, the first connection guide surface G3a, which is the side surface of the connection track R3, the second connection guide surface G3b, and the continuous surface G3c. 5 and 6, the guide portion accommodating portion 31a of the support member 31 is omitted.
  • the guide roller 41 when the main body portion 10 travels in the first direction D1 (when the traveling wheels 21 are in the first state of rolling on the first track R1), the guide roller 41 has the first guide surface. It moves along G1 or the first connection guide surface G3a. In this first state, the guide roller 41 can contact the first guide surface G1 and the first connection guide surface G3a at the portion protruding from the guide portion housing portion 31a. Since the guide roller 41 can rotate when it comes into contact with the first guide surface G1 and the first connection guide surface G3a, the frictional resistance at the time of contact during traveling of the main body 10 is reduced, and the generation of particles is reduced. While restraining, the burden on the traveling drive unit 33 is restrained from increasing.
  • the guide roller 41 hits the first guide surface G1 or the first connection guide surface G3a to move the main body 10 in the second direction D2.
  • the positional deviation of is regulated. That is, the main body portion 10 has a pair of guide rollers 41 in the second direction D2, and the guide rollers 41 contact the first guide surface G1 or the first connection guide surface G3a facing each other. Positional shifts in the +Y direction and the ⁇ Y direction are suppressed. Therefore, the displacement of the main body 10 in the second direction D2 is regulated not only while the main body 10 is traveling in the first direction D1 but also when the main body 10 is stopped on any of the lattice-shaped tracks R.
  • the direction changing mechanism 34 turns the traveling wheels 21.
  • the guide roller 41 also turns around the turning axis AX2 by turning the connecting portion 30 by the direction changing mechanism 34.
  • the guide roller 41 moves from the first connection guide surface G3a to the second connection guide surface G3b via the continuous surface G3c.
  • the guide roller 41 can be smoothly moved while rotating.
  • the continuous surface G3c is formed in an arc shape in a plan view, the guide roller 41 can be moved more smoothly.
  • the form of the continuous surface G3c is not limited to the illustrated form, and may be, for example, a curved surface other than an arcuate shape in plan view, or a plurality of flat surfaces may be connected to form a corner portion, which is not smooth. There may be no form.
  • the continuous surface G3c may not be formed. That is, the first connection guide surface G3a and the second connection guide surface G3b may be separated from each other, such as in a separated form. In this case, when the guide roller 41 moves from the first connection guide surface G3a to the second connection guide surface G3b, or when it moves from the second connection guide surface G3b to the first connection guide surface G3a, the guide rollers 41 and Are temporarily out of contact.
  • the main body portion 10 can travel the main body portion 10 along the second direction D2 (running wheel). 21 is in a second state in which it rolls on the second track R2).
  • the guide roller 41 can contact the second guide surface G2 and the second connection guide surface G3b at the portion protruding from the guide portion housing portion 31a. Since the guide roller 41 can rotate when it comes into contact with the second guide surface G2 and the second connection guide surface G3b as in the above, the frictional resistance at the time of contact while the main body 10 is running is reduced. The load on the traveling drive unit 33 is suppressed from increasing.
  • the guide roller 41 hits the second guide surface G2 or the second connection guide surface G3b to move the main body unit 10 in the first direction D1.
  • the positional deviation of is regulated. That is, the main body 10 has a pair of guide rollers 41 in the first direction D1, and the guide rollers 41 contact the second guide surface G2 or the second connection guide surface G3b that face each other. Positional shifts in the +X direction and the ⁇ X direction are suppressed. Therefore, the displacement in the first direction D1 is regulated not only when the main body portion 10 travels in the second direction D2 but also when the main body portion 10 is stopped on any of the lattice-shaped tracks R.
  • FIG. 7 is a side view showing an example of the positional relationship between the track R and the guide roller 41.
  • the distance L1 between the two guide rollers 41 lined up in the running direction among the four guide rollers 41 is different from the distance L2 between the adjacent gaps D in the first direction D1 or the second direction D2. Is set. With this configuration, it is possible to prevent the two guide rollers 41 aligned in the traveling direction from being positioned in the gap D at the same time.
  • the interval L1 between the guide rollers 41 is larger than the interval L2 between the gaps D, but the invention is not limited to this form, and the interval L1 between the guide rollers 41 is the interval L2 between the gaps D. May be smaller than.
  • FIG. 8 to 11 are diagrams showing an operation of changing the traveling direction of the overhead traveling vehicle 100 from the first direction D1 to the second direction D2.
  • the main body 10 traveling in the first direction D1 in the first direction D1 (+X direction or ⁇ X direction) has one cell C (see FIG. 3) of the lattice-shaped track R. (Refer to FIG. 4) (the position where the four corner portions 10a approach the connection track R3). That is, the control unit 50 (see FIG. 1) stops the driving of the traveling drive unit 33 at the above position. At this time, all the four traveling wheels 21 are in contact with the connecting track R3. Further, the four guide rollers 41 are arranged at positions along the first connection guide surface G3a of the connection track R3.
  • the control unit 50 drives the direction changing mechanism 34 to turn the coupling unit 30 and turns the traveling wheels 21 and the auxiliary wheels 22 arranged at the four corners 10a. It is swung in the ⁇ Z direction about the axis AX2. At this time, the diagonally running wheels 21 and the like turn in the same direction. For example, among the four traveling wheels 21, the upper left traveling wheel 21 and the like and the lower right traveling wheel 21 and the like turn clockwise in the figure. On the other hand, the traveling wheel 21 on the upper right and the traveling wheel 21 on the lower left in the figure turn counterclockwise. Note that such a turning operation may be performed at the same timing. For example, the upper left and lower right running wheels 21 and the like in the figure are first turned at the same time, and then the upper right and lower left running wheels are shown in the figure. You may turn at different timings, such as turning 21 and the like at the same time.
  • the four guide rollers 41 are turned around the turning axis AX2 integrally with the connecting portion 30 and move along the continuous surface G3c. Therefore, the guide roller 41 turns at the same time as the running wheels 21 and the auxiliary wheels 22 turn, and the direction is switched. Since the guide roller 41 moves along the continuous surface G3c, the smooth movement of the guide roller 41 is ensured. It does not hinder the turning operation of the traveling wheels 21 and the like. Further, since the common direction changing mechanism 34 performs the turning of the traveling wheels 21 and the like and the turning of the guide roller 41, it is not necessary to separately provide a configuration for changing the direction of the guide roller 41, and the configuration of the main body unit 10 is not required. Avoids getting complicated.
  • FIG. 10 is a diagram showing the guide roller 41 when the traveling wheels 21 are turning.
  • the four guide rollers 41 provided in the connecting portion 30 change their directions in synchronization.
  • each of the guide rollers 41 faces the connecting track R3 (continuous surface G3c), so that positional deviation is prevented.
  • the guide roller 41 moves along the continuous surface G3c during the turning operation of the traveling wheels 21, it is possible to reliably prevent the displacement of the main body portion 10 during the turning operation of the traveling wheels 21.
  • the control unit 50 stops the driving of the direction changing mechanism 34 after the traveling wheels 21 and the like each turn 90° in the ⁇ Z direction.
  • the traveling drive unit 33 By driving the traveling drive unit 33 in this state, the overhead traveling vehicle 100 can travel in the second direction D2 (+Y direction or ⁇ Y direction).
  • the four guide rollers 41 are arranged at positions along the second connection guide surface G3b of the connection track R3. Further, even when the traveling wheels 21 and the like turn, the main body portion 10 does not turn. Therefore, the orientation of the main body unit 10 is not changed whether the overhead traveling vehicle 100 travels in the first direction D1 or the second direction D2.
  • the guide roller 41 of the guide portion 40 rotates integrally with the connecting portion 30, so that a configuration for changing the direction of the guide roller 41 is separately provided. Even if it does not exist, the direction of the guide roller 41 can be switched according to the direction change of the traveling wheel 21. As a result, the position shift of the main body unit 10 can be suppressed with a simple configuration while avoiding a complicated configuration of the overhead traveling vehicle 100.
  • FIG. 8 to FIG. 11 show the case where the overhead traveling vehicle 100 changes the traveling direction from the first direction D1 to the second direction D2, the overhead traveling vehicle 100 changes from the second direction D2 to the first direction D1. The same applies when changing the traveling direction.
  • first guide surface G1 and the second guide surface G2 have been described by taking the configuration in which the side surface of the first track R1 and the side surface of the second track R2 are respectively taken as an example. Not limited.
  • FIG. 12 is a diagram showing another example of the track R, the traveling unit 20, and the connecting unit 30.
  • guide plates Rp are attached to the side surfaces of the first track R1 and the second track R2 of the track R, and the surface of the guide plate Rp is set to the first guide surface G1 or the second guide surface G2. May be.
  • the guide plate Rp is arranged so as to extend downward ( ⁇ Z side) from the side surfaces of the first track R1 and the second track R2. Therefore, the first guide surface G1 and the second guide surface G2 can be set below the first track R1 and the second track R2.
  • a guide plate (not shown) extending downward from the side surface of the track is attached, and a first connection guide surface G3a, a second connection guide surface G3b, and a continuous surface G3c are formed.
  • the guide roller 41 extends along a first guide surface G1 and a second guide surface G2 (including a first connection guide surface G3a, a second connection guide surface G3b, and a continuous surface G3c (not shown)).
  • the position in the height direction is determined. Therefore, the guide roller 41 is arranged below the first track R1 and the second track R2.
  • the first guide surface G1 and the like are not limited to being arranged below the first track R1 and the like.
  • the guide plate Rp may be arranged above the first track R1 and the like. In this case, the guide plate Rp may be held on the first track R1 or the like via a support member or the like.
  • the present invention is not limited to the above description, and various modifications can be made without departing from the scope of the present invention.
  • the configuration in which the guide portion 40 is arranged on each of the four connecting portions 30 has been described as an example, but the configuration is not limited to this configuration.
  • the guide portion 40 may be arranged in any one of the four connecting portions 30 to three.
  • the guide portion 41 is described as an example in which the guide roller 41 that rotates around the axis of the roller shaft 41a is provided, but the present invention is not limited to this configuration.
  • the guide portion 40 may have a non-rotating form such as a protrusion formed on the support member 31 of the connecting portion 30.
  • the projecting portion may have a projecting portion formed in a spherical shape or a curved surface shape, and may have a shape that reduces the contact resistance with the first guide surface G1 and the like.
  • the guide portion 40 is arranged with a predetermined gap with respect to each of the first guide surface G1, the second guide surface G2, the first connection guide surface G3a, the second connection guide surface G3b, and the continuous surface G3c.
  • the configuration may be different.
  • the lattice-shaped orbit R in which the first orbit R1 (first direction D1) and the second orbit R2 (second direction D2) are orthogonal to each other is described as an example, but this configuration is used.
  • the trajectory R may have a form in which the first trajectory R1 and the second trajectory R2 are not orthogonal to each other.
  • the first trajectory R1 and the second trajectory R2 are not limited to the form of a lattice trajectory R that intersects, and the trajectory R is, for example, the second trajectory R2 in a state of being bent from the end of the first trajectory R1. May be arranged.

Landscapes

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Abstract

【課題】走行車の構成が複雑になるのを回避しつつ、簡単な構成により本体部の位置ずれを抑制することが可能な走行車システムを提供する。 【解決手段】走行車システムＳＹＳは、格子状軌道Ｒと天井走行車１００とを備え、格子状軌道Ｒは、第１軌道Ｒ１、第２軌道Ｒ２、及び接続軌道Ｒ３を有し、天井走行車１００は、走行車輪２１と本体部１０とを連結しかつ第１軌道Ｒ１又は第２軌道Ｒ２と接続軌道Ｒ３との間隙Ｄを通過する連結部３０を旋回させる方向転換機構３４を有し、ガイド部４０は、連結部３０に設けられ、走行車輪２１が第１軌道Ｒ１上を転動する第１状態では第１ガイド面Ｇ１に沿って移動し、走行車輪２１が第２軌道Ｒ２上を転動する第２状態では第２ガイド面Ｇ２に沿って移動する。

Description

走行車システム
　本発明は、走行車システムに関する。
　半導体製造工場等では、例えば、半導体ウエハを収容するＦＯＵＰ、あるいはレチクルを収容するレチクルＰｏｄなどの物品を走行車により搬送する走行車システムが用いられている。このような走行車システムとして、第１方向に沿って延在する第１軌道と、第１方向とは異なる第２方向に沿って延在する第２軌道と、第１軌道と第２軌道とを接続する接続軌道と、を有する軌道と、軌道上を転動する走行車輪と、軌道よりも下方に配置される本体部と、走行車輪と本体部とを連結する連結部と、走行車輪及び連結部を一体的に回動させる方向転換機構と、を備える構成が知られている（例えば、特許文献１参照）。
国際公開第２０１８／０３７７６２号
　特許文献１に記載の走行車システムでは、走行車が第１軌道を走行する際、及び第２軌道を走行する際のいずれにおいても、本体部が走行方向と交差する方向に位置ずれしないことが求められている。従って、走行車に例えばガイドローラ等を配置し、このガイドローラが軌道に沿って設けられたガイド面を転動することにより、本体部の位置ずれを抑制する構成も考えられる。しかしながら、上記のように走行車輪が第１軌道の走行時と第２軌道の走行時とで方向転換する走行車においては、走行車輪の方向転換に合わせてガイドローラを方向転換させる機構を別途設けると走行車における構成が複雑になるといった課題がある。また、ガイドローラを配置することにより走行車の高さ寸法が増加すると、走行車システムが設置された建屋等の天井近傍におけるスペース効率を低下させる要因となる。
　本発明は、走行車の構成が複雑になるのを回避しつつ、簡単な構成により本体部の位置ずれを抑制することが可能な走行車システムを提供することを目的とする。
　本発明の態様に係る走行車システムは、第１方向に沿って延在する第１軌道と、第１方向とは異なる第２方向に沿って延在する第２軌道と、第１軌道に対して第１方向に隣り合うと共に第２軌道に対して第２方向に隣り合い、且つ第１軌道及び第２軌道それぞれとの間に間隙を隔てて配置された接続軌道と、を有する軌道と、軌道に沿って走行する天井走行車と、を備える走行車システムであって、軌道は、第１軌道に沿って設けられた第１ガイド面と、第２軌道に沿って設けられた第２ガイド面と、を有し、天井走行車は、第１軌道上、第２軌道上、及び接続軌道上を転動する走行車輪と、軌道よりも下方に配置される本体部と、走行車輪の車軸と本体部とを連結し、走行車輪が接続軌道上を転動する際に間隙を通過する連結部と、本体部に対して連結部を旋回軸まわりに旋回させることにより、走行車輪が第１軌道上を転動する第１状態と、走行車輪が第２軌道上を転動する第２状態とに切り替える方向転換機構と、連結部に設けられて、第１状態においては第１ガイド面に沿って移動し、第２状態においては第２ガイド面に沿って移動するガイド部と、を有する。
　また、第１ガイド面は、第１軌道の側面であり、第２ガイド面は、第２軌道の側面であってもよい。また、ガイド部は、走行車輪の車軸と、本体部との間の高さに配置され、第１ガイド面及び第２ガイド面は、走行車輪の車軸と、本体部との間の高さに配置されてもよい。また、ガイド部は、第１ガイド面又は第２ガイド面に接触した際に転動可能なガイドローラであってもよい。
　また、接続軌道は、第１ガイド面と同一の高さかつ同一方向に設けられる第１接続ガイド面と、第２ガイド面と同一の高さかつ同一方向に設けられる第２接続ガイド面と、を有してもよい。また、接続軌道は、第１接続ガイド面と第２接続ガイド面とを連続させる連続面を備えてもよい。また、連続面は、第１接続ガイド面と第２接続ガイド面とを滑らかに接続する曲面であってもよい。また、本体部は、連結部の旋回軸の軸方向から見て矩形状であり、４つのコーナー部のそれぞれに走行車輪、連結部、方向転換機構、及びガイド部を有してもよい。また、天井走行車の走行方向に並ぶ２つのガイド部の間隔は、第１方向又は第２方向において隣り合う２つの間隙の間隔と異なってもよい。
　上記した走行車システムによれば、ガイド部が連結部と一体となって旋回するため、ガイド部の方向を転換するための構成を別途設けなくても、走行車輪の方向転換に合わせてガイド部の方向を切り換えることができる。その結果、走行車の構成が複雑になるのを回避しつつ、簡単な構成により本体部の位置ずれを抑制できる。
　また、第１ガイド面が、第１軌道の側面であり、第２ガイド面が、第２軌道の側面である構成では、第１軌道、第２軌道の側面を第１ガイド面、第２ガイド面として用いることで、軌道の一部をガイド部のガイド面として有効に利用することができる。また、ガイド部が、走行車輪の車軸と、本体部との間の高さに配置され、第１ガイド面及び第２ガイド面が、走行車輪の車軸と、本体部との間の高さに配置される構成では、走行車における上下方向の寸法が高くなるのを抑制して、走行車システムが設置される建屋等の天井近傍のスペース効率が低下するのを防止できる。また、ガイド部が、第１ガイド面又は第２ガイド面に接触した際に転動可能なガイドローラである場合、ガイド部が第１ガイド面又は第２ガイド面に接触した際の摩擦抵抗を軽減できる。
　また、接続軌道が、第１ガイド面と同一の高さかつ同一方向に設けられる第１接続ガイド面と、第２ガイド面と同一の高さかつ同一方向に設けられる第２接続ガイド面と、を有する構成では、接続軌道においても第１接続ガイド面又は第２ガイド面にガイド部が接触することで本体部の位置ずれを抑制できる。また、接続軌道が、第１接続ガイド面と第２接続ガイド面とを連続させる連続面を備える構成では、方向転換機構により走行車輪が旋回する際、ガイド部を連続面に沿って移動させることにより、走行車輪の旋回時における本体部の位置ずれを抑制できる。また、連続面が、第１接続ガイド面と第２接続ガイド面とを滑らかに接続する曲面である構成では、連続面におけるガイド部の円滑な移動を確保できる。また、本体部が、連結部の旋回軸の軸方向から見て矩形状であり、４つのコーナー部のそれぞれに走行車輪、連結部、方向転換機構、及びガイド部を有する構成では、本体部の４つのコーナー部に配置されたガイド部により、軌道に対する本体部の垂直軸まわりの位置ずれを抑制できる。また、天井走行車の走行方向に並ぶ２つのガイド部の間隔が、第１方向又は第２方向において隣り合う２つの間隙の間隔と異なる構成では、走行方向に並んだ２つのガイド部が同時に間隙に位置することを防止できる。
本実施形態に係る走行車システムの一例を示す側面図である。 本実施形態に係る走行車システムで用いられる天井走行車の斜視図である。 本実施形態に係る走行車システムの一例を示す斜視図である。 天井走行車の走行部及び連結部を拡大して示し、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は正面図である。 第１軌道、第２軌道、及び接続軌道と、ガイド部との位置関係の一例を示す平面図である。 走行車輪を旋回させた際のガイド部の一例を示す平面図である。 ２つの間隙と２つのガイド部との位置関係を示す側面図である。 天井走行車の走行方向が第１方向である状態を示す図である。 天井走行車の走行方向を第２方向から第１方向に変更する動作を示す図である。 走行車輪の旋回時におけるガイドローラを示す図である。 天井走行車の走行方向が第２方向である状態を示す図である。 ガイド部、第１ガイド面又は第２ガイド面の他の例を示す図である。
　以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。ただし、本発明は以下に説明する形態に限定されない。また、図面においては実施形態を説明するため、一部分を大きく又は強調して記載するなど適宜縮尺を変更して表現している。以下の各図において、ＸＹＺ座標系を用いて図中の方向を説明する。このＸＹＺ座標系においては、水平面に平行な平面をＸＹ平面とする。このＸＹ平面に沿った一方向をＸ方向と表記し、Ｘ方向に直交する方向をＹ方向と表記する。なお、天井走行車１００の走行方向は、以下の図に示された状態から他の方向に変化可能であり、例えば曲線方向に走行する場合もある。また、ＸＹ平面に垂直な方向はＺ方向と表記する。Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向のそれぞれは、図中の矢印の指す方向が＋方向であり、矢印の指す方向と反対の方向が－方向であるとして説明する。また、垂直軸まわり又はＺ軸まわりの旋回方向をθＺ方向と表記する。
　図１は、本実施形態に係る走行車システムＳＹＳの一例を示す側面図である。図２は、図１に示す走行車システムＳＹＳで用いられる天井走行車１００の斜視図である。図３は、本実施形態に係る走行車システムＳＹＳの一例を示す斜視図である。図１から図３に示すように、天井走行車１００は、走行車システムＳＹＳの軌道Ｒに沿って移動し、半導体ウエハを収容するＦＯＵＰ、あるいはレチクルを収容するレチクルＰｏｄ等の物品Ｍを搬送する。天井走行車１００は、物品Ｍを搬送するため、天井搬送車と称する場合がある。
　走行車システムＳＹＳは、例えば半導体製造工場のクリーンルームにおいて、物品Ｍを天井走行車１００により搬送するためのシステムである。走行車システムＳＹＳにおいて、天井走行車１００は、例えば複数台用いられてもよい。複数の天井走行車１００によって物品Ｍを搬送することにより、高密度な搬送が可能となり、物品Ｍの搬送効率を向上させることが可能となる。
　軌道Ｒは、軌道の一形態である。軌道Ｒは、クリーンルーム等の建屋の天井又は天井付近に敷設されている。軌道Ｒは、第１軌道Ｒ１と、第２軌道Ｒ２と、接続軌道Ｒ３と、を有する格子状軌道である（図３参照）。以下、軌道Ｒを格子状軌道Ｒと称する。第１軌道Ｒ１は、Ｘ方向（第１方向Ｄ１）に沿って設けられる。第２軌道Ｒ２は、Ｙ方向（第２方向Ｄ２）に沿って設けられる。本実施形態では、第１方向Ｄ１と第２方向Ｄ２とが直交しており、複数の第１軌道Ｒ１と複数の第２軌道Ｒ２とは、直交している。接続軌道Ｒ３は、第１軌道Ｒ１と第２軌道Ｒ２との交差部分に配置される。接続軌道Ｒ３は、第１軌道Ｒ１に対して第１方向Ｄ１に隣り合うと共に第２軌道Ｒ２に対して第２方向Ｄ２に隣り合っている。接続軌道Ｒ３は、第１軌道Ｒ１と第２軌道Ｒ２とを接続する。格子状軌道Ｒは、第１軌道Ｒ１と第２軌道Ｒ２とが直交することで、平面視で複数のセルＣが隣り合う状態となっている。なお、図３では格子状軌道Ｒの一部について示しており、格子状軌道Ｒは、図示している構成から第１方向Ｄ１（Ｘ方向）及び第２方向Ｄ２（Ｙ方向）に同様の構成が連続して形成されている。
　第１軌道Ｒ１、第２軌道Ｒ２、及び接続軌道Ｒ３は、吊り下げ部材Ｈ（図３参照）によって不図示の天井に吊り下げられている。吊り下げ部材Ｈは、第１軌道Ｒ１を吊り下げるための第１部分Ｈ１と、第２軌道Ｒ２を吊り下げるための第２部分Ｈ２と、接続軌道Ｒ３を吊り下げるための第３部分Ｈ３と、を有する。第１部分Ｈ１及び第２部分Ｈ２は、それぞれ第３部分Ｈ３を挟んだ二か所に設けられている。
　第１軌道Ｒ１、第２軌道Ｒ２、及び接続軌道Ｒ３は、それぞれ、天井走行車１００の後述する走行車輪２１が走行する走行面Ｒ１ａ、Ｒ２ａ、Ｒ３ａを有する。第１軌道Ｒ１と接続軌道Ｒ３との間、第２軌道Ｒ２と接続軌道Ｒ３との間には、それぞれ間隙Ｄが形成される。間隙Ｄは、天井走行車１００が第１軌道Ｒ１を走行して第２軌道Ｒ２を横切る際、あるいは第２軌道Ｒ２を走行して第１軌道Ｒ１を横切る際に、天井走行車１００の一部である後述の連結部３０が通過する部分である。従って、間隙Ｄは、連結部３０が通過可能な幅に設けられている。第１軌道Ｒ１、第２軌道Ｒ２、及び接続軌道Ｒ３は、同一又はほぼ同一の水平面に沿って設けられる。本実施形態において、第１軌道Ｒ１、第２軌道Ｒ２、及び接続軌道Ｒ３は、走行面Ｒ１ａ、Ｒ２ａ、Ｒ３ａが同一又はほぼ同一の水平面上に配置される。
　軌道Ｒは、第１ガイド面Ｇ１と、第２ガイド面Ｇ２とを有する。第１ガイド面Ｇ１は、第１軌道Ｒ１に沿って設けられる。本実施形態において、第１ガイド面Ｇ１は、第１軌道Ｒ１の側面に設けられる。第２ガイド面Ｇ２は、第２軌道Ｒ２に沿って設けられる。本実施形態において、第２軌道Ｒ２は、第２ガイド面Ｇ２の側面に設けられる。
　また、接続軌道Ｒ３は、第１接続ガイド面Ｇ３ａと、第２接続ガイド面Ｇ３ｂと、連続面Ｇ３ｃとを有する。本実施形態において、第１接続ガイド面Ｇ３ａは、第１ガイド面Ｇ１と同一の高さ（ほぼ同一の高さを含む。）かつ同一方向（ほぼ同一方向を含む。）に設けられる。すなわち、第１接続ガイド面Ｇ３ａと第１ガイド面Ｇ１とは、同一の平面に含まれる。第２接続ガイド面Ｇ３ｂは、第２ガイド面Ｇ２と同一の高さ（ほぼ同一の高さを含む。）かつ同一方向（ほぼ同一方向を含む。）に設けられる。すなわち、第２接続ガイド面Ｇ３ｂと第２ガイド面Ｇ２とは、同一の平面に含まれる。連続面Ｇ３ｃは、第１接続ガイド面Ｇ３ａと第２接続ガイド面Ｇ３ｂとを連続するように形成される。連続面Ｇ３ｃは、第１接続ガイド面Ｇ３ａと第２接続ガイド面Ｇ３ｂとを滑らかに接続する曲面である。なお、接続軌道Ｒ３の第１接続ガイド面Ｇ３ａ、第２接続ガイド面Ｇ３ｂ、及び連続面Ｇ３ｃの詳細については後述する。
　図１及び図２に示すように、天井走行車１００は、本体部１０と、走行部２０と、連結部３０と、ガイド部４０と、制御部５０とを有する。制御部５０は、天井走行車１００の各部の動作を統括的に制御する。制御部５０は、本体部１０に設けられるが、本体部１０の外部に設けられてもよい。本体部１０は、格子状軌道Ｒの下方（－Ｚ側）に配置される。本体部１０は、平面視で例えば矩形状に形成される。本体部１０は、平面視で格子状軌道Ｒにおける１つのセルＣに収まる寸法に形成される。このため、隣り合う第１軌道Ｒ１又は第２軌道Ｒ２を走行する他の天井走行車１００とすれ違うスペースが確保される。本体部１０は、上部ユニット１７と、移載装置１８とを備える。上部ユニット１７は、連結部３０を介して走行部２０から吊り下げられる。上部ユニット１７は、例えば平面視で矩形状であり、上面１７ａに４つのコーナー部１０ａを有する。
　本体部１０は、４つのコーナー部１０ａのそれぞれに走行車輪２１、連結部３０、方向転換機構３４、及びガイド部４０を有する。この構成において、本体部１０の４つのコーナー部１０ａに配置された走行車輪２１により、本体部１０を安定して吊り下げることができ、かつ、本体部１０を安定して走行させることができる。また、本体部１０の４つのコーナー部１０ａに配置されたガイド部４０により、格子状軌道Ｒに対する本体部１０の第１方向Ｄ１又は第２方向Ｄ２の位置ずれ、及び格子状軌道Ｒに対する本体部１０の垂直軸まわりの位置ずれを効果的に抑制することが可能となっている。なお、ガイド部４０の詳細については後述する。
　移載装置１８は、上部ユニット１７の下方に設けられる。移載装置１８は、Ｚ方向（鉛直方向）の回転軸ＡＸ１まわりに回転可能である。移載装置１８は、物品Ｍを保持する物品保持部１３と、物品保持部１３を鉛直方向に昇降させる昇降駆動部１４と、昇降駆動部１４を水平方向にスライド移動させる横出し機構１１と、横出し機構１１を保持する回動部１２とを有する。物品保持部１３は、物品Ｍのフランジ部Ｍａを把持することにより、物品Ｍを吊り下げて保持する。物品保持部１３は、例えば、水平方向に移動可能な爪部１３ａを有するチャックであり、爪部１３ａを物品Ｍのフランジ部Ｍａの下方に進入させ、物品保持部１３を上昇させることで、物品Ｍを保持する。物品保持部１３は、ワイヤあるいはベルトなどの吊り下げ部材１３ｂに接続されている。
　昇降駆動部１４は、例えばホイストであり、吊り下げ部材１３ｂを繰り出すことにより物品保持部１３を下降させ、吊り下げ部材１３ｂを巻き取ることにより物品保持部１３を上昇させる。昇降駆動部１４は、制御部５０に制御され、所定の速度で物品保持部１３を下降あるいは上昇させる。また、昇降駆動部１４は、制御部５０に制御され、物品保持部１３を目標の高さに保持する。
　横出し機構１１は、例えばＺ方向に重ねて配置された複数の可動板を有する。可動板は、Ｙ方向に相対的に移動可能である。最下層の可動板には、昇降駆動部１４が取り付けられている。横出し機構１１は、不図示の駆動装置により可動板を移動させ、最下層の可動板に取り付けられた昇降駆動部１４及び物品保持部１３を例えば走行方向に対して直交する水平方向に横出しさせる（スライド移動させる）ことができる。
　回動部１２は、横出し機構１１と上部ユニット１７との間に設けられる。回動部１２は、回動部材１２ａと、回動駆動部１２ｂとを有する。回動部材１２ａは、鉛直方向の軸周り方向に回動可能に設けられる。回動部材１２ａは、横出し機構１１を支持する。回動駆動部１２ｂは、例えば電動モータ等が用いられ、回動部材１２ａを回転軸ＡＸ１の軸周り方向に回動させる。回動部１２は、回動駆動部１２ｂからの駆動力によって回動部材１２ａを回動させ、横出し機構１１（昇降駆動部１４及び物品保持部１３）を回転軸ＡＸ１の軸周り方向に回転させることができる。
　また、図１及び図２に示すように、移載装置１８及び移載装置１８に保持している物品Ｍを囲むようにカバーＷが設けられてもよい。カバーＷは、下端を開放した筒状であって、かつ、横出し機構１１の可動板が突出する部分を切り欠いた形状を有している。カバーＷは、上端が回動部１２の回動部材１２ａに取り付けられており、回動部材１２ａの回動に伴って回転軸ＡＸ１の軸まわりに回動する。
　走行部２０は、走行車輪２１と、補助車輪２２とを有する。走行車輪２１は、上部ユニット１７（本体部１０）の上面１７ａの４つのコーナー部１０ａにそれぞれ配置される。走行車輪２１のそれぞれは、連結部３０に設けられた車軸２１ａに取り付けられている。車軸２１ａは、ＸＹ平面に沿って平行又はほぼ平行に設けられている。走行車輪２１のそれぞれは、後述する走行駆動部３３の駆動力により回転駆動する。走行車輪２１のそれぞれは、軌道Ｒにおいて、第１軌道Ｒ１、第２軌道Ｒ２、及び接続軌道Ｒ３の走行面Ｒ１ａ、Ｒ２ａ、Ｒ３ａを転動し、天井走行車１００を走行させる。なお、４つの走行車輪２１の全てが走行駆動部３３の駆動力により回転駆動することに限定されず、４つの走行車輪２１のうち一部について回転駆動させる構成であってもよい。
　走行車輪２１は、旋回軸ＡＸ２を中心としてθＺ方向に旋回可能に設けられる。走行車輪２１は、後述する方向転換機構３４によってθＺ方向に旋回し、その結果、天井走行車１００の走行方向を変更することができる。補助車輪２２は、走行車輪２１の走行方向の前後にそれぞれ１つずつ配置される。補助車輪２２のそれぞれは、走行車輪２１と同様に、ＸＹ平面に沿って平行又はほぼ平行な車軸２２ａの軸周りに回転可能となっている。補助車輪２２の下端は、走行車輪２１の下端より高くなるように設定されている。従って、走行車輪２１が走行面Ｒ１ａ、Ｒ２ａ、Ｒ３ａを走行しているときは、補助車輪２２は、走行面Ｒ１ａ、Ｒ２ａ、Ｒ３ａに接触しない。また、走行車輪２１が間隙Ｄを通過する際には、補助車輪２２が走行面Ｒ１ａ、Ｒ２ａ、Ｒ３ａに接触して、走行車輪２１の落ち込みを抑制している。なお、１つの走行車輪２１に２つの補助車輪２２を設けることに限定されず、例えば、１つの走行車輪２１に１つの補助車輪２２が設けられてもよいし、補助車輪２２が設けられなくてもよい。
　連結部３０は、本体部１０の上部ユニット１７と走行部２０とを連結する。連結部３０は、上部ユニット１７（本体部１０）の上面１７ａの４つのコーナー部１０ａにそれぞれ設けられる。この連結部３０によって本体部１０は、走行部２０から吊り下げられた状態となり、格子状軌道Ｒより下方に配置される。連結部３０は、支持部材３１と、接続部材３２とを有する。支持部材３１は、走行車輪２１の回転軸及び補助車輪２２の回転軸を回転可能に支持する。支持部材３１により、走行車輪２１と補助車輪２２との相対位置を保持する。支持部材３１は、例えば板状に形成され、間隙Ｄを通過可能な厚さに形成される。
　接続部材３２は、支持部材３１から下方に延びて上部ユニット１７の上面１７ａに連結され、上部ユニット１７を保持する。接続部材３２は、後述する走行駆動部３３の駆動力を走行車輪２１に伝達する伝達機構を内部に備える。この伝達機構は、チェーン又はベルトが用いられる構成であってもよいし、歯車列が用いられる構成であってもよい。接続部材３２は、旋回軸ＡＸ２を中心としてθＺ方向に旋回可能に設けられる。この接続部材３２が旋回軸ＡＸ２を中心として旋回することで、支持部材３１を介して走行車輪２１を旋回軸ＡＸ２まわりのθＺ方向に旋回させることができる。
　連結部３０には、走行駆動部３３と、方向転換機構３４とが設けられる。走行駆動部３３は、接続部材３２に装着される。走行駆動部３３は、走行車輪２１を駆動する駆動源であり、例えば電気モータ等が用いられる。４つの走行車輪２１は、それぞれ走行駆動部３３によって駆動されて駆動輪となる。４つの走行車輪２１は、同一又はほぼ同一の回転数となるように制御部５０によって制御される。なお、４つの走行車輪２１のうちいずれかを駆動輪として用いない場合は、駆動輪として用いない走行車輪２１に対応する接続部材３２に走行駆動部３３は装着されない。
　方向転換機構３４は、連結部３０の接続部材３２を、旋回軸ＡＸ２を中心として旋回させることにより、走行車輪２１を旋回軸ＡＸ２まわりのθＺ方向に旋回させる。走行車輪２１をθＺ方向に旋回させることにより、天井走行車１００の走行方向を第１方向Ｄ１とする第１状態から走行方向を第２方向Ｄ２とする第２状態に、又は走行方向を第２方向Ｄ２とする第２状態から走行方向を第１方向Ｄ１とする第１状態に切り替えることが可能である。
　方向転換機構３４は、駆動源３５と、ピニオンギア３６と、ラック３７とを有する。駆動源３５は、走行駆動部３３において旋回軸ＡＸ２から離れた側面に取り付けられている。駆動源３５は、例えば電気モータ等が用いられる。ピニオンギア３６は、駆動源３５の下面側に取り付けられており、駆動源３５で発生した駆動力によりθＺ方向に回転駆動する。ピニオンギア３６は、平面視で円形状であり、外周の周方向に複数の歯を有する。ラック３７は、上部ユニット１７の上面１７ａに固定される。ラック３７は、上部ユニット１７の上面１７ａの４つのコーナー部１０ａにそれぞれ設けられ、走行車輪２１の旋回軸ＡＸ２を中心とした円弧状（扇形状）に設けられる。ラック３７は、外周の周方向に、ピニオンギア３６の歯と噛み合う複数の歯を有する。
　ピニオンギア３６及びラック３７は、互いの歯が噛み合った状態で配置される。ピニオンギア３６がθＺ方向に回転することにより、ラック３７の外周に沿うようにピニオンギア３６が旋回軸ＡＸ２を中心とする円周方向に移動する。このピニオンギア３６の移動により、接続部材３２が旋回し、走行駆動部３３及び方向転換機構３４がピニオンギア３６とともに旋回軸ＡＸ２を中心とする円周方向に旋回する。
　方向転換機構３４の旋回により、上面１７ａの４つのコーナー部１０ａに配置された走行車輪２１及び補助車輪２２のそれぞれが旋回軸ＡＸ２を中心としてθＺ方向に９０度の範囲で旋回する。方向転換機構３４の駆動は、制御部５０によって制御される。制御部５０は、４つの走行車輪２１の旋回動作を同一のタイミングで行うように指示してもよいし、異なるタイミングで行うように指示してもよい。走行車輪２１及び補助車輪２２を旋回させることにより、走行車輪２１が第１軌道Ｒ１及び第２軌道Ｒ２の一方に接触した状態から他方に接触した状態に移行する。換言すれば、走行車輪２１の回転軸の方向が第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２の一方とされた状態から他方とされる状態に移行する。このため、天井走行車１００の走行方向を第１方向Ｄ１（Ｘ方向）とする第１状態と、走行方向を第２方向Ｄ２（Ｙ方向）とする第２状態とで切り替えることができる。
　図４は、走行部２０及び連結部３０の一例を示す図であり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は正面図である。図４に示すように、連結部３０の支持部材３１には、ガイド部収容部３１ａが設けられている。ガイド部４０は、格子状軌道Ｒに対する連結部３０の位置ずれを抑制し、ひいては格子状軌道Ｒに対する本体部１０の位置ずれを抑制する。ガイド部４０は、本体部１０の上面１７ａの４つのコーナー部１０ａに配置されるそれぞれの連結部３０に設けられる（図１及び図２参照）。ガイド部４０は、走行車輪２１が第１軌道Ｒ１を走行する第１状態においては、第１ガイド面Ｇ１及び第１接続ガイド面Ｇ３ａに沿って移動する。ガイド部４０は、走行車輪２１が第２軌道Ｒ２を走行する第２状態においては、第２ガイド面Ｇ２及び第２接続ガイド面Ｇ３ｂに沿って移動する。本体部１０が走行中において、ガイド部４０は、第１ガイド面Ｇ１又は第２ガイド面Ｇ２に当接した状態であってもよいし、第１ガイド面Ｇ１又は第２ガイド面Ｇ２に対して間隙を空けた状態であってもよい。
　ガイド部４０は、支持部材３１のガイド部収容部３１ａに収容されるガイドローラ４１を有する。ガイドローラ４１は、ガイド部収容部３１ａに収容され、－Ｘ側の端部がガイド部収容部３１ａから突出した状態で配置される。ガイドローラ４１は、ローラ軸４１ａによりＺ軸まわりに回転可能に支持される。ローラ軸４１ａは、ガイド部収容部３１ａの内部に固定され、Ｚ方向に平行に配置される。
　なお、ローラ軸４１ａは、例えば弾性部材により支持される構成であってもよい。この構成により、ガイドローラ４１は、Ｘ方向に移動可能かつ回転可能に支持され、ガイドローラ４１が第１ガイド面Ｇ１等に当たった衝撃を弾性部材により吸収することができる。また、ガイドローラ４１は、ガイドローラ４１を回転させる駆動源を有しない従動ローラである。ただし、ガイドローラ４１を本体部１０の走行方向に合わせて回転駆動させる駆動部を備えてもよい。
　ガイドローラ４１は、走行車輪２１の車軸２１ａと、本体部１０との間の高さに配置される。なお、第１ガイド面Ｇ１及び第２ガイド面Ｇ２は、走行車輪２１の車軸２１ａと、本体部１０との間の高さに配置される。ガイドローラ４１は、連結部３０において、第１ガイド面Ｇ１及び第２ガイド面Ｇ２の高さに対応した位置に配置される。ガイドローラ４１が、走行車輪２１の車軸２１ａと、本体部１０との間の高さに配置されることにより、連結部３０又は走行部２０における上下方向の寸法が高くなるのが抑制され、建屋等の天井近傍におけるスペース効率の低下が防止される。
　ローラ軸４１ａが連結部３０に設けられていることから、ガイド部４０（ガイドローラ４１）は、方向転換機構３４により走行車輪２１の向きを変更する際、すなわち、方向転換機構３４により連結部３０を旋回させる際、走行車輪２１の旋回とともに旋回軸ＡＸ２まわりに旋回する。従って、走行車輪２１が第１軌道Ｒ１を走行する第１状態では、ガイドローラ４１は第１ガイド面Ｇ１及び第１接続ガイド面Ｇ３ａに対向した状態となっており、走行車輪２１が第２軌道Ｒ２を走行する第２状態では、ガイドローラ４１は第２ガイド面Ｇ２及び第２接続ガイド面Ｇ３ｂに対向した状態となっている。このように、走行車輪２１の走行状態を切り換えるための方向転換機構３４を用いてガイドローラ４１を旋回させるため、ガイドローラ４１を旋回させるために別の機構を設ける必要がなく、本体部１０の構成が複雑になるのを防止している。
　図５は、第１軌道Ｒ１、第２軌道Ｒ２、及び接続軌道Ｒ３と、ガイドローラ４１との位置関係の一例を示す平面図である。図６は、走行車輪２１を旋回させた際のガイド部４０（ガイドローラ４１）の一例を示す平面図である。図５及び図６に示すように、ガイドローラ４１は、支持部材３１のガイド部収容部３１ａから突出した部分が、第１軌道Ｒ１の側面である第１ガイド面Ｇ１、第２軌道Ｒ２の側面である第２ガイド面Ｇ２、接続軌道Ｒ３の側面である第１接続ガイド面Ｇ３ａ、第２接続ガイド面Ｇ３ｂ、及び連続面Ｇ３ｃに接触可能となっている。なお、図５及び図６では、支持部材３１のガイド部収容部３１ａの記載を省略している。
　図５に示すように、本体部１０が第１方向Ｄ１に走行する場合（走行車輪２１が第１軌道Ｒ１上を転動する第１状態である場合）、ガイドローラ４１は、第１ガイド面Ｇ１又は第１接続ガイド面Ｇ３ａに沿って移動する。この第１状態において、ガイドローラ４１は、ガイド部収容部３１ａから突出した部分が第１ガイド面Ｇ１及び第１接続ガイド面Ｇ３ａに接触可能である。なお、ガイドローラ４１は、第１ガイド面Ｇ１及び第１接続ガイド面Ｇ３ａに接触した際に回転可能であるため、本体部１０の走行中において接触時の摩擦抵抗が軽減され、パーティクルの発生を抑制しつつ、走行駆動部３３の負担が増加するのを抑制している。
　なお、図５に示す状態で本体部１０が第２方向Ｄ２に移動した場合、ガイドローラ４１が第１ガイド面Ｇ１又は第１接続ガイド面Ｇ３ａに当たることにより、本体部１０の第２方向Ｄ２への位置ずれが規制される。すなわち、本体部１０には、第２方向Ｄ２に１対のガイドローラ４１があり、相対向する第１ガイド面Ｇ１又は第１接続ガイド面Ｇ３ａにガイドローラ４１が当接するため、本体部１０の＋Ｙ方向及び－Ｙ方向への位置ずれが抑制される。従って、本体部１０が第１方向Ｄ１に走行中はもちろん、本体部１０が格子状軌道Ｒのいずれかに停止しているときも第２方向Ｄ２への位置ずれが規制される。
　また、図６に示すように、本体部１０が第１方向Ｄ１に走行している状態から、本体部１０を第２方向Ｄ２に沿って走行させる場合、（走行車輪２１が第２軌道Ｒ２上を転動する第２状態とする場合）、方向転換機構３４により走行車輪２１を旋回させる。その際、方向転換機構３４により連結部３０が旋回することにより、ガイドローラ４１も旋回軸ＡＸ２まわりに旋回する。ガイドローラ４１は、第１接続ガイド面Ｇ３ａから連続面Ｇ３ｃを介して第２接続ガイド面Ｇ３ｂに移動する。
　この場合、連続面Ｇ３ｃは、第１接続ガイド面Ｇ３ａと第２接続ガイド面Ｇ３ｂとを滑らかに接続する曲面であるため、ガイドローラ４１を回転させつつスムーズに移動させることができる。本実施形態では、連続面Ｇ３ｃが平面視で円弧状に形成されているため、ガイドローラ４１の移動をより一層スムーズに行うことができる。なお、連続面Ｇ３ｃの形態は図示の形態に限定されず、例えば、平面視で円弧状以外の曲面であってもよいし、複数の平面が接続されて角部が形成されるなど、滑らかではない形態であってもよい。
　また、連続面Ｇ３ｃは形成されなくてもよい。すなわち、第１接続ガイド面Ｇ３ａと第２接続ガイド面Ｇ３ｂとの間が離間している形態など、両者間が連続していない形態で合ってもよい。この場合、ガイドローラ４１は、第１接続ガイド面Ｇ３ａから第２接続ガイド面Ｇ３ｂに移動する際、又は第２接続ガイド面Ｇ３ｂから第１接続ガイド面Ｇ３ａに移動する際に、これらガイド面とは一時的に非接触な状態となる。
　図６に示すように、ガイドローラ４１が第２接続ガイド面Ｇ３ｂに沿った状態に移動することにより、本体部１０は、本体部１０を第２方向Ｄ２に沿って走行可能な状態（走行車輪２１が第２軌道Ｒ２上を転動する第２状態）となる。この第２状態において、ガイドローラ４１は、ガイド部収容部３１ａから突出した部分が第２ガイド面Ｇ２及び第２接続ガイド面Ｇ３ｂに接触可能である。なお、ガイドローラ４１は、上記と同様に、第２ガイド面Ｇ２及び第２接続ガイド面Ｇ３ｂに接触した際に回転可能であるため、本体部１０の走行中において接触時の摩擦抵抗が軽減され、走行駆動部３３の負担が増加するのを抑制している。
　なお、図６に示す状態で本体部１０が第１方向Ｄ１に移動した場合、ガイドローラ４１が第２ガイド面Ｇ２又は第２接続ガイド面Ｇ３ｂに当たることにより、本体部１０の第１方向Ｄ１への位置ずれが規制される。すなわち、本体部１０には、第１方向Ｄ１に１対のガイドローラ４１があり、相対向する第２ガイド面Ｇ２又は第２接続ガイド面Ｇ３ｂにガイドローラ４１が当接するため、本体部１０の＋Ｘ方向及び－Ｘ方向への位置ずれが抑制される。従って、本体部１０が第２方向Ｄ２に走行中はもちろん、本体部１０が格子状軌道Ｒのいずれかに停止しているときも第１方向Ｄ１への位置ずれが規制される。
　図７は、軌道Ｒとガイドローラ４１との位置関係の一例を示す側面図である。図７に示すように、４つのガイドローラ４１のうち走行方向に並ぶ２つのガイドローラ４１の間隔Ｌ１は、第１方向Ｄ１又は第２方向Ｄ２において隣り合う間隙Ｄの間隔Ｌ２とは異なるように設定される。この構成により、走行方向に並ぶ２つのガイドローラ４１が同時に間隙Ｄに位置することが防止される。なお、図７に示す例では、ガイドローラ４１の間隔Ｌ１が間隙Ｄの間隔Ｌ２よりも大きい場合を示しているが、この形態に限定されず、ガイドローラ４１の間隔Ｌ１が間隙Ｄの間隔Ｌ２よりも小さくてもよい。
　次に、本実施形態に係る走行車システムＳＹＳにおいて、天井走行車１００が走行方向を変更する場合について説明する。図８から図１１は、天井走行車１００の走行方向を第１方向Ｄ１から第２方向Ｄ２に変更する動作を示す図である。天井走行車１００は、図８に示すように、第１軌道Ｒ１を第１方向Ｄ１（＋Ｘ方向又は－Ｘ方向）に走行する本体部１０が、格子状軌道Ｒの１つのセルＣ（図３参照）に達した位置（４つのコーナー部１０ａが接続軌道Ｒ３に差し掛かった位置）で停止する。すなわち、制御部５０（図１参照）は、上記した位置で走行駆動部３３の駆動を停止させる。このとき、４つの走行車輪２１は、いずれも接続軌道Ｒ３に接触した状態である。また、４つのガイドローラ４１は、それぞれ接続軌道Ｒ３の第１接続ガイド面Ｇ３ａに沿った位置に配置される。
　次に、図９に示すように、制御部５０は、方向転換機構３４を駆動して連結部３０を旋回させ、４つのコーナー部１０ａに配置された走行車輪２１及び補助車輪２２のそれぞれを旋回軸ＡＸ２を中心としてθＺ方向に旋回させる。このとき、対角にある走行車輪２１等は同一方向に旋回する。例えば、４つの走行車輪２１のうち、図示で左上の走行車輪２１等と、右下の走行車輪２１等は時計回りに旋回する。一方、図示で右上の走行車輪２１等と、左下の走行車輪２１等は反時計回りに旋回する。なお、このような旋回動作は、同一のタイミングで行われてもよいし、例えば、図示で左上及び右下の走行車輪２１等を先に同時に旋回させ、その後、図示で右上及び左下の走行車輪２１等を同時に旋回させるなど、異なるタイミングで旋回させてもよい。
　走行車輪２１及び補助車輪２２の旋回時において、４つのガイドローラ４１は、連結部３０と一体となってそれぞれ旋回軸ＡＸ２まわりに旋回し、連続面Ｇ３ｃに沿って移動する。従って、ガイドローラ４１は、走行車輪２１及び補助車輪２２の旋回と同時に旋回して方向が切り替わる。ガイドローラ４１は、連続面Ｇ３ｃに沿って移動するため、ガイドローラ４１の円滑な移動が確保されている。走行車輪２１等の旋回動作の支障となることはない。また、走行車輪２１等の旋回とガイドローラ４１の旋回とを共通の方向転換機構３４により行うため、ガイドローラ４１の方向を転換するための構成を別途設けなくてもよく、本体部１０の構成が複雑になるのを回避している。
　図１０は、走行車輪２１の旋回時におけるガイドローラ４１を示す図である。図１０に示すように、４つの走行車輪２１の旋回動作を同一のタイミングで行うことにより、連結部３０に設けられている４つのガイドローラ４１は、同期して向きを変える。その結果、本体部１０は、走行車輪２１の旋回動作時（ステアリング時）において、ガイドローラ４１のそれぞれが接続軌道Ｒ３（連続面Ｇ３ｃ）と対向するので、位置ずれが防止される。また、走行車輪２１の旋回動作時にガイドローラ４１が連続面Ｇ３ｃに沿って移動することにより、走行車輪２１の旋回動作時における本体部１０の位置ずれを確実に防止することができる。
　次に、図１１に示すように、制御部５０は、各走行車輪２１等がそれぞれθＺ方向に９０°旋回した後、方向転換機構３４の駆動を停止させる。この状態で走行駆動部３３を駆動することにより、天井走行車１００は、第２方向Ｄ２（＋Ｙ方向又は－Ｙ方向）に走行可能となる。なお、４つのガイドローラ４１は、それぞれ接続軌道Ｒ３の第２接続ガイド面Ｇ３ｂに沿った位置に配置される。また、走行車輪２１等が旋回した場合でも本体部１０は旋回しない。従って、天井走行車１００が第１方向Ｄ１に走行する場合、又は第２方向Ｄ２に走行する場合のいずれであっても本体部１０の向きは変更されない。
　このように、本実施形態に係る走行車システムＳＹＳによれば、ガイド部４０のガイドローラ４１が連結部３０と一体的に回転するため、ガイドローラ４１の方向を転換するための構成を別途設けなくても、走行車輪２１の方向転換に合わせてガイドローラ４１の方向を切り換えることができる。その結果、天井走行車１００の構成が複雑になるのを回避しつつ、簡単な構成により本体部１０の位置ずれを抑制できる。なお、図８から図１１では、天井走行車１００が第１方向Ｄ１から第２方向Ｄ２に走行方向を変える場合について示しているが、天井走行車１００が第２方向Ｄ２から第１方向Ｄ１に走行方向を変える場合についても同様である。
　また、上記した実施形態では、第１ガイド面Ｇ１及び第２ガイド面Ｇ２が、それぞれ第１軌道Ｒ１の側面及び第２軌道Ｒ２の側面である構成を例に挙げて説明したが、この形態に限定されない。
　図１２は、軌道Ｒ、走行部２０及び連結部３０の他の例を示す図である。図１２に示すように、軌道Ｒのうち第１軌道Ｒ１及び第２軌道Ｒ２の側面にガイド板Ｒｐが装着され、ガイド板Ｒｐの表面が第１ガイド面Ｇ１又は第２ガイド面Ｇ２に設定されてもよい。この場合、ガイド板Ｒｐは、第１軌道Ｒ１及び第２軌道Ｒ２の側面から下方（－Ｚ側）に延びた状態で配置される。従って、第１ガイド面Ｇ１及び第２ガイド面Ｇ２は、第１軌道Ｒ１及び第２軌道Ｒ２より下方に設定することができる。また、接続軌道Ｒ３においても、軌道の側面から下方に延びるガイド板（図示せず）が装着され、第１接続ガイド面Ｇ３ａ、第２接続ガイド面Ｇ３ｂ、及び連続面Ｇ３ｃが形成される。
　図１２に示す構成において、ガイドローラ４１は、第１ガイド面Ｇ１及び第２ガイド面Ｇ２（図示しない第１接続ガイド面Ｇ３ａ、第２接続ガイド面Ｇ３ｂ、及び連続面Ｇ３ｃを含む）に沿って高さ方向の位置が決定されている。従って、ガイドローラ４１は、第１軌道Ｒ１及び第２軌道Ｒ２よりも下方に配置されている。なお、第１ガイド面Ｇ１等が第１軌道Ｒ１等よりも下方に配置されることに限定されない。例えば、ガイド板Ｒｐは、第１軌道Ｒ１等よりも上方に配置されてもよい。この場合、ガイド板Ｒｐは、支持部材等を介して第１軌道Ｒ１等に保持される構成であってもよい。
　以上、実施形態について説明したが、本発明は、上述した説明に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。上記した実施形態では、４つの連結部３０のそれぞれにガイド部４０を配置された構成を例に挙げて説明しているが、この構成に限定されない。例えば、４つの連結部３０のうち１つから３つのいずれかにガイド部４０が配置される構成であってもよい。
　また、上記した実施形態では、ガイド部４０として、ローラ軸４１ａの軸まわりに回転するガイドローラ４１が設けられた構成を例に挙げて説明したが、この形態に限定されない。ガイド部４０は、例えば、連結部３０の支持部材３１に形成された突出部など、回転しない形態であってもよい。この突出部は、突出部分が球状又は曲面状に形成され、第１ガイド面Ｇ１等との接触抵抗を低減するような形状が適用されてもよい。また、ガイド部４０は、第１ガイド面Ｇ１、第２ガイド面Ｇ２、第１接続ガイド面Ｇ３ａ、第２接続ガイド面Ｇ３ｂ、連続面Ｇ３ｃのそれぞれに対して、所定の間隙を設けて配置される構成であってもよい。
　また、上記した実施形態では、第１軌道Ｒ１（第１方向Ｄ１）と第２軌道Ｒ２（第２方向Ｄ２）とが直交する格子状軌道Ｒを例に挙げて説明しているが、この構成に限定されない。例えば、軌道Ｒは、第１軌道Ｒ１と第２軌道Ｒ２とが直交しない形態であってもよい。また、第１軌道Ｒ１と第２軌道Ｒ２とが交差する格子状軌道Ｒである形態に限定されず、軌道Ｒとしては、例えば、第１軌道Ｒ１の端部から折れ曲がった状態で第２軌道Ｒ２が配置される形態であってもよい。
　なお、上述の実施形態などで説明した要件の１つ以上は、省略されることがある。また、上述の実施形態などで説明した要件は、適宜組み合わせることができる。また、法令で許容される限りにおいて、日本特許出願である特願２０１８－２２２５５２、及び、上述の実施形態などで引用した全ての文献の開示を援用して本文の記載の一部とする。
Ｄ・・・間隙
Ｄ１・・・第１方向
Ｄ２・・・第２方向
Ｇ１・・・第１ガイド面
Ｇ２・・・第２ガイド面
Ｇ３ａ・・・第１接続ガイド面
Ｇ３ｂ・・・第２接続ガイド面
Ｇ３ｃ・・・連続面
Ｍ・・・物品
Ｌ１、Ｌ２・・・間隔
Ｒ・・・格子状軌道（軌道）
Ｒ１・・・第１軌道
Ｒ２・・・第２軌道
Ｒ３・・・接続軌道
Ｒｐ・・・ガイド板
ＳＹＳ・・・走行車システム
１０・・・本体部
２０・・・走行部
２１・・・走行車輪
２１ａ，２２ａ・・・車軸
２２・・・補助車輪
３０・・・連結部
４０・・・ガイド部
４１・・・ガイドローラ
４１ａ・・・ローラ軸
５０・・・制御部
１００・・・天井走行車

Claims (9)

  1. 　第１方向に沿って延在する第１軌道と、前記第１方向とは異なる第２方向に沿って延在する第２軌道と、前記第１軌道に対して前記第１方向に隣り合うと共に前記第２軌道に対して前記第２方向に隣り合い、且つ前記第１軌道及び前記第２軌道それぞれとの間に間隙を隔てて配置された接続軌道と、を有する軌道と、
    　前記軌道に沿って走行する天井走行車と、を備える走行車システムであって、
    　前記軌道は、
    　前記第１軌道に沿って設けられた第１ガイド面と、
    　前記第２軌道に沿って設けられた第２ガイド面と、を有し、
    　前記天井走行車は、
    　前記第１軌道上、前記第２軌道上、及び前記接続軌道上を転動する走行車輪と、
    　前記軌道よりも下方に配置される本体部と、
    　前記走行車輪の車軸と前記本体部とを連結し、前記走行車輪が前記接続軌道上を転動する際に前記間隙を通過する連結部と、
    　前記本体部に対して前記連結部を旋回軸まわりに旋回させることにより、前記走行車輪が前記第１軌道上を転動する第１状態と、前記走行車輪が前記第２軌道上を転動する第２状態とを切り替える方向転換機構と、
    　前記連結部に設けられて、前記第１状態においては前記第１ガイド面に沿って移動し、前記第２状態においては前記第２ガイド面に沿って移動するガイド部と、を有する、走行車システム。
  2. 　前記第１ガイド面は、前記第１軌道の側面であり、
    　前記第２ガイド面は、前記第２軌道の側面である、請求項１に記載の走行車システム。
  3. 　前記ガイド部は、前記走行車輪の前記車軸と、前記本体部との間の高さに配置され、
    　前記第１ガイド面及び前記第２ガイド面は、前記走行車輪の前記車軸と、前記本体部との間の高さに配置される、請求項１又は請求項２に記載の走行車システム。
  4. 　前記ガイド部は、前記第１ガイド面又は前記第２ガイド面に接触した際に転動可能なガイドローラである、請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の走行車システム。
  5. 　前記接続軌道は、前記第１ガイド面と同一の高さかつ同一方向に設けられる第１接続ガイド面と、前記第２ガイド面と同一の高さかつ同一方向に設けられる第２接続ガイド面と、を有する、請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の走行車システム。
  6. 　前記接続軌道は、前記第１接続ガイド面と前記第２接続ガイド面とを連続させる連続面を備える、請求項５に記載の走行車システム。
  7. 　前記連続面は、前記第１接続ガイド面と前記第２接続ガイド面とを滑らかに接続する曲面である、請求項６に記載の走行車システム。
  8. 　前記本体部は、前記連結部の前記旋回軸の軸方向から見て矩形状であり、４つのコーナー部のそれぞれに前記走行車輪、前記連結部、前記方向転換機構、及び前記ガイド部を有する、請求項１から請求項７のいずれか一項に記載の走行車システム。
  9. 　前記天井走行車の走行方向に並ぶ２つの前記ガイド部の間隔は、前記第１方向又は前記第２方向において隣り合う２つの前記間隙の間隔と異なる、請求項８に記載の走行車システム。
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