WO2022255062A1 - 走行車システム、単位ユニット、及び格子状軌道 - Google Patents

走行車システム、単位ユニット、及び格子状軌道 Download PDF

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tracks
unit
track
traveling
grid
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政佳 虎澤
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    • B65G2201/0297—Wafer cassette

Definitions

  • the present invention relates to traveling vehicle systems, unit units, and grid-like tracks.
  • a traveling vehicle system in which a traveling vehicle travels on tracks suspended from the ceiling or the like.
  • Patent Document 1 a plurality of first tracks extending along a first direction, a plurality of second tracks extending along a second direction different from the first direction, and the first track and the second track
  • Patent Document 1 a traveling vehicle system is disclosed that includes a connecting track corresponding to an intersection with a .
  • each track on which the traveling vehicle runs is separate, so there is a possibility that the installation accuracy of each track will be low when suspending it from the ceiling, and complicated work to adjust the installation position may occur.
  • the prior art has a problem that it is not easy to install a suspended track.
  • the present invention provides a traveling vehicle system, a unit unit, and a grid-like track that facilitate installation of a suspended track.
  • a traveling vehicle system is a traveling vehicle system that includes a suspended grid-shaped track and a traveling vehicle that travels on the grid-shaped track, wherein the grid-shaped track is one square of the grid.
  • the unit unit includes two first tracks extending parallel to the first direction and two second tracks extending parallel to the second direction different from the first direction and the intersection of the extension lines of the two first trajectories in the first direction and the extension lines of the two second trajectories in the second direction.
  • a unit includes two first tracks extending parallel to a first direction, two second tracks extending parallel to a second direction different from the first direction, Corresponding to the intersection of the extension lines of the two first tracks in the first direction and the extension lines of the two second tracks in the second direction, Four intersecting tracks spaced apart from each of the second tracks of the book, and connecting each of the four intersecting tracks with each of the two first tracks and each of the two second tracks. a connector;
  • a grid-shaped track is a suspended-type grid-shaped track on which a traveling vehicle travels, and includes two first tracks extending parallel to a first direction and a track different from the first direction.
  • Two second tracks extending parallel to the second direction, extension lines of the two first tracks in the first direction, and extension lines of the two second tracks in the second direction 4 intersecting tracks corresponding to the intersections of and spaced apart from each of the two first tracks and each of the two second tracks, and each of the four intersecting tracks are divided into two
  • a unit unit having a connecting portion connecting each of the first tracks and each of the two second tracks is provided as one square of the lattice, and is formed by connecting a plurality of unit units and connected two Two crossing tracks out of four crossing tracks are continuous between unit units.
  • the grid-like track is formed by connecting a plurality of unit units with the unit unit as one square of the grid of the grid-like track. Therefore, compared to the case where each track is suspended from the ceiling or the like, it is easy to make the shape of the lattice uniform, so that the suspended track can be easily installed without adjusting the installation position.
  • one of the two second tracks abuts between the two unit units that are connected in the first direction, and the grid-like track is in contact with the second track in the second direction.
  • One of the two first tracks may abut between the two unit units connected to each other.
  • the unit units since the unit units are in contact with each other on the track (not by points but by lines or surfaces), the positional relationship between the adjacent unit units can be easily determined, and the influence on vibration when the traveling vehicle is traveling can be reduced. can be done.
  • the unit may be connectable with other unit at a position above or below each of the four intersecting tracks.
  • the traveling vehicle includes traveling wheels and guide wheels
  • the unit unit includes two first tracks, each of two second tracks, and four intersections.
  • Each side surface of the track is provided with a guide surface for guiding the guide wheel, and the guide surface of each of the four intersecting tracks does not come into contact with the guide wheel when the guide wheel turns as the traveling vehicle changes its traveling direction. It may be in shape. According to this aspect, it is possible to soften the impact caused by the guide wheel being drawn in when the guide wheel turns, and to suppress the displacement of the traveling vehicle due to the impact.
  • FIG. 1 is a side view showing an example of a traveling vehicle included in a traveling vehicle system according to an embodiment;
  • FIG. 1 is a perspective view showing an example of a traveling vehicle included in a traveling vehicle system according to an embodiment;
  • FIG. It is a perspective view showing an example of a grid-like track according to the embodiment.
  • It is a perspective view showing an example of a grid-like track according to the embodiment.
  • It is a perspective view showing an example of a unit according to the embodiment.
  • It is a figure explaining the example of the connection member which concerns on embodiment.
  • It is a figure explaining the example of the connection member which concerns on embodiment.
  • It is a figure explaining the example of the connection member which concerns on embodiment.
  • It is a figure explaining the example of the connection member which concerns on embodiment.
  • It is a figure explaining the example of the connection member which concerns on embodiment.
  • It is a figure explaining the example of the connection member which
  • FIG. 5 is a diagram showing an example of an operation of changing the traveling direction of the traveling vehicle from the first direction to the second direction according to the embodiment;
  • FIG. 5 is a diagram showing an example of an operation of changing the traveling direction of the traveling vehicle from the first direction to the second direction according to the embodiment;
  • FIG. 5 is a diagram showing an example of an operation of changing the traveling direction of the traveling vehicle from the first direction to the second direction according to the embodiment;
  • FIG. 5 is a diagram showing an example of an operation of changing the traveling direction of the traveling vehicle from the first direction to the second direction according to the embodiment; It is a figure which shows the other example of the non-contact surface which concerns on embodiment. It is a figure which shows the structural example of the unit unit which concerns on embodiment.
  • the scale may be changed as appropriate, such as by enlarging, reducing, or emphasizing a portion.
  • the directions in the drawings may be described using an XYZ orthogonal coordinate system.
  • the horizontal direction is the X direction and the Y direction
  • the vertical direction is the Z direction.
  • the direction indicated by the arrow in the drawing is the + direction
  • the direction opposite to the direction indicated by the arrow is the ⁇ direction.
  • the turning direction around the vertical axis or around the Z axis is sometimes referred to as the ⁇ Z direction.
  • FIG. 1 is a side view showing an example of a traveling vehicle included in the traveling vehicle system according to the embodiment.
  • FIG. 2 is a perspective view showing an example of a traveling vehicle included in the traveling vehicle system according to the embodiment.
  • 3 and 4 are perspective views showing examples of grid-like tracks according to the embodiment.
  • FIG. 5 is a perspective view showing an example of a unit according to the embodiment;
  • FIG. 3 in order to make the explanation easier to understand, it is divided into an upper side including a suspension member for suspending the grid-shaped track, a connection part for connecting the grid-shaped track, etc., and a lower side including the grid-shaped track. , the portion where the upper side and the lower side overlap is indicated by a dashed line.
  • the traveling vehicle 100 travels along the track R of the traveling vehicle system SYS and transports an article M such as a FOUP (Front Opening Unified Pod) containing a semiconductor wafer or a reticle pod containing a reticle.
  • FOUP Front Opening Unified
  • the traveling vehicle system SYS is, for example, a system that transports articles M by traveling vehicles 100 in a clean room such as a semiconductor manufacturing factory.
  • a plurality of traveling vehicles 100 may be used in the traveling vehicle system SYS.
  • Trajectory R is a form of trajectory.
  • the track R is, for example, a suspended grid-like track laid on or near the ceiling of a building such as a clean room (see FIGS. 3 and 4).
  • the trajectory R may be referred to as a grid-like trajectory R hereinafter.
  • the lattice-like track R has a unit unit U corresponding to one square of the lattice (see FIG. 5).
  • the unit unit U includes two first tracks R1 extending parallel to the first direction D1 and two second tracks R2 extending parallel to the second direction D2 different from the first direction D1. have. Further, the unit unit U corresponds to the intersection of the extension lines of the two first tracks R1 in the first direction D1 and the extension lines of the two second tracks R2 in the second direction D2.
  • the unit unit U has connecting portions C that connect each of the four intersecting tracks R3 to each of the two first tracks R1 and each of the two second tracks R2.
  • This "connection” means connecting tracks within the unit unit U, and the "connection” is completed when the unit unit U is completed.
  • the grid-like track R is formed by connecting a plurality of unit units U, and between two connected unit units U, two of the four cross tracks R3 are continuous. This "connection” means connecting completed unit units U to each other. Also, this "continuous” means that the tracks are in a positional relationship that allows the traveling vehicle 100 to pass through.
  • the first direction D1 and the second direction D2 are orthogonal. That is, the first trajectory R1 (the extension of the first trajectory R1 in the first direction D1) and the second trajectory R2 (the extension of the second trajectory R2 in the second direction D2) are in an orthogonal positional relationship. do. 3 and 4, a part of the grid-like track R is shown.
  • the grid-like track R may be formed by continuing the same configuration from the illustrated configuration in the first direction D1 (X direction) and the second direction D2 (Y direction).
  • one second track R2 out of the two second tracks R2 abuts between two unit units U connected in the first direction D1.
  • one first track R1 out of the two first tracks R1 abuts between the two unit units U connected in the second direction D2.
  • the unit unit U can be connected to other unit units U at positions above or below each of the four intersecting tracks R3.
  • a connecting member CP is used to connect the plurality of unit units U. As shown in FIG. A plurality of unit units U and connecting members CP that connect the plurality of unit units U are hung by hanging members H from a ceiling or the like (not shown).
  • the first track R1, the second track R2, and the intersecting track R3 respectively have running surfaces R1a, R2a, and R3a on which the running wheels 21 (running wheels) of the running vehicle 100 run.
  • a gap D is formed between the first track R1 and the intersecting track R3 and between the second track R2 and the intersecting track R3.
  • the gap D is a part of the traveling vehicle 100 ( For example, it is a portion through which a connecting portion 30, which will be described later, passes. Therefore, the gap D is set to a width that allows the connecting portion 30 to pass therethrough.
  • the first track R1, the second track R2, and the intersecting track R3 are provided along the same or substantially the same horizontal plane. As a result, the running surfaces R1a, R2a, and R3a are arranged on the same or substantially the same horizontal plane.
  • the grid-like track R has a first guide surface G1 and a second guide surface G2.
  • the first guide surface G1 is provided in the unit unit U along each of the two first tracks R1. Specifically, the first guide surface G1 is provided on each side surface of the two first tracks R1 in the unit unit U, and guides guide rollers 41 (guide wheels) described later.
  • the second guide surface G2 is provided in the unit unit U along each of the two second tracks R2. Specifically, the second guide surface G2 is provided on each side surface of the two second tracks R2 in the unit unit U, and guides guide rollers 41, which will be described later.
  • the intersecting track R3 has a first connection guide surface G3a, a second connection guide surface G3b, and a non-contact surface G3c.
  • the first connection guide surface G3a is provided at the same or substantially the same height and in the same or substantially the same direction as the first guide surface G1, and guides a guide roller 41, which will be described later. That is, the first connection guide surface G3a and the first guide surface G1 are included in the same plane.
  • the second connection guide surface G3b is provided at the same or substantially the same height and in the same or substantially the same direction as the second guide surface G2, and guides the guide roller 41, which will be described later. That is, the second connection guide surface G3b and the second guide surface G2 are included in the same plane.
  • the non-contact surface G3c is formed so as to connect the first connection guide surface G3a and the second connection guide surface G3b.
  • the non-contact surface G3c has a shape that does not contact the guide roller 41 when the guide roller 41 turns as the traveling vehicle 100 changes its traveling direction.
  • the non-contact surface G3c does not contact the guide roller 41 because it is chamfered. Details of the first connection guide surface G3a, the second connection guide surface G3b, and the non-contact surface G3c of the intersecting track R3 will be described later.
  • the traveling vehicle 100 has a main body portion 10, a traveling portion 20, a connecting portion 30, a guide portion 40, and a control portion 50.
  • the control unit 50 comprehensively controls the operation of each unit of the traveling vehicle 100 .
  • the control unit 50 is provided in the main unit 10 as an example, it may be provided outside the main unit 10 .
  • the body portion 10 is arranged below the grid-like track R (on the ⁇ Z side).
  • the main body 10 is formed in a rectangular shape, for example, in a plan view.
  • the body portion 10 is formed to have a size that can be accommodated in a unit unit U corresponding to one grid of the grid in the grid-like track R in plan view.
  • the body portion 10 includes an upper unit 17 and a transfer device 18 .
  • the upper unit 17 is suspended from the traveling section 20 via the connecting section 30 .
  • the upper unit 17 has, for example, a rectangular shape in plan view, and has four corner portions 10a on an upper surface 17a.
  • the body part 10 has running wheels 21, connecting parts 30, direction changing mechanisms 34, and guide parts 40 at each of the four corner parts 10a.
  • the main body 10 can be stably suspended by the running wheels 21 arranged at the four corners 10a of the main body 10, and the main body 10 can be stably run.
  • the guide portions 40 arranged at the four corner portions 10a of the main body portion 10 allow the main body portion 10 to be displaced in the first direction D1 or the second direction D2 with respect to the grid-shaped track R, and the main body portion with respect to the grid-shaped track R. It is possible to effectively suppress misalignment around the vertical axis of 10 . Details of the guide portion 40 will be described later.
  • the transfer device 18 is provided below the upper unit 17 .
  • the transfer device 18 is rotatable around a rotation axis AX1 in the Z direction (vertical direction).
  • the transfer device 18 includes an article holding section 13 that holds an article M, an elevation driving section 14 that vertically moves the article holding section 13 up and down, a lateral ejection mechanism 11 that slides the elevation driving section 14 in the horizontal direction, and a rotating portion 12 that holds the lateral extension mechanism 11 .
  • the article holding portion 13 holds the article M by hanging it by gripping the flange portion Ma of the article M.
  • the article holding portion 13 is, for example, a chuck having a horizontally movable claw portion 13a. Hold M.
  • the article holding portion 13 is connected to a hanging member 13b such as a wire or belt.
  • the elevation driving unit 14 is, for example, a hoist, and lowers the article holding unit 13 by drawing out the hanging member 13b, and raises the article holding unit 13 by winding the hanging member 13b.
  • the elevation driving section 14 is controlled by the control section 50 to lower or raise the article holding section 13 at a predetermined speed. Also, the elevation driving section 14 is controlled by the control section 50 to hold the article holding section 13 at the target height.
  • the lateral pushing mechanism 11 has, for example, a plurality of movable plates stacked in the Z direction.
  • the movable plate is relatively movable in the Y direction.
  • a lifting drive unit 14 is attached to the lowermost movable plate.
  • the lateral ejecting mechanism 11 moves the movable plate by a driving device (not shown), and moves the lifting drive unit 14 and the article holding unit 13 attached to the lowermost movable plate horizontally, for example, in the horizontal direction orthogonal to the traveling direction. It can be made to come out (slide and move).
  • the rotating part 12 is provided between the lateral extension mechanism 11 and the upper unit 17 .
  • the rotating portion 12 has a rotating member 12a and a rotating driving portion 12b.
  • the rotating member 12a is provided so as to be rotatable about a vertical axis.
  • the rotating member 12 a supports the lateral extension mechanism 11 .
  • the rotation drive unit 12b uses, for example, an electric motor, and rotates the rotation member 12a around the rotation axis AX1.
  • the rotating portion 12 rotates the rotating member 12a by the driving force from the rotating driving portion 12b, and rotates the lateral ejection mechanism 11 (elevating driving portion 14 and article holding portion 13) in the direction around the rotation axis AX1.
  • a cover W may be provided so as to surround the transfer device 18 and the article M held by the transfer device 18 .
  • the cover W has a cylindrical shape with an open lower end, and has a shape in which a portion from which the movable plate of the lateral pushing mechanism 11 protrudes is cut away.
  • the upper end of the cover W is attached to the rotating member 12a of the rotating portion 12, and rotates around the rotation axis AX1 as the rotating member 12a rotates.
  • the running unit 20 has running wheels 21 and auxiliary wheels 22 .
  • the traveling wheels 21 are arranged at four corner portions 10a of the upper surface 17a of the upper unit 17 (body portion 10). Each of the traveling wheels 21 is attached to an axle 21 a provided in the connecting portion 30 .
  • the axles 21a are provided parallel or substantially parallel along the XY plane.
  • Each of the traveling wheels 21 is rotationally driven by a driving force of a traveling drive section 33, which will be described later.
  • Each of the traveling wheels 21 rolls on the traveling surfaces R1a, R2a, and R3a of the first track R1, the second track R2, and the intersecting track R3 in the grid-like track R to cause the traveling vehicle 100 to travel. It should be noted that not all of the four running wheels 21 are rotationally driven by the driving force of the running drive unit 33, and some of the four running wheels 21 may be rotationally driven.
  • the running wheels 21 are provided so as to be able to turn in the ⁇ Z direction around the turning axis AX2.
  • the traveling wheels 21 are turned in the ⁇ Z direction by a direction changing mechanism 34, which will be described later, and as a result, the traveling direction of the traveling vehicle 100 can be changed.
  • the auxiliary wheels 22 are arranged one by one on the front and rear sides of the running wheels 21 in the running direction.
  • Each of the auxiliary wheels 22 is rotatable around an axle 22a that is parallel or substantially parallel along the XY plane, similarly to the traveling wheels 21 .
  • the lower ends of the auxiliary wheels 22 are set higher than the lower ends of the running wheels 21 .
  • the auxiliary wheels 22 do not contact the running surfaces R1a, R2a and R3a. Further, when the running wheels 21 pass through the gap D, the auxiliary wheels 22 contact the running surfaces R1a, R2a, and R3a to prevent the running wheels 21 from falling.
  • one auxiliary wheel 22 may be provided for one traveling wheel 21, or the auxiliary wheel 22 may not be provided. good too.
  • the connecting portion 30 connects the upper unit 17 of the main body portion 10 and the traveling portion 20 .
  • the connecting portions 30 are provided at four corner portions 10a of the upper surface 17a of the upper unit 17 (main body portion 10).
  • the connecting portion 30 suspends the body portion 10 from the running portion 20 and is arranged below the grid-like track R.
  • the connecting portion 30 has a support member 31 and a connection member 32 .
  • the support member 31 rotatably supports the rotating shaft of the traveling wheels 21 and the rotating shaft of the auxiliary wheels 22 .
  • the support member 31 holds the relative positions of the traveling wheels 21 and the auxiliary wheels 22 .
  • the support member 31 is formed in a plate shape, for example, and is formed to have a thickness that allows it to pass through the gap D. As shown in FIG.
  • connection member 32 extends downward from the support member 31 and is connected to the upper surface 17a of the upper unit 17 to hold the upper unit 17.
  • the connection member 32 includes therein a transmission mechanism for transmitting the driving force of the travel drive unit 33 to be described later to the travel wheels 21 .
  • This transmission mechanism may be configured using a chain or belt, or may be configured using a gear train.
  • the connection member 32 is provided so as to be rotatable in the ⁇ Z direction around the rotation axis AX2. By turning the connecting member 32 around the turning axis AX2, the running wheels 21 can be turned in the ⁇ Z direction around the turning axis AX2 via the supporting member 31.
  • a travel drive unit 33 and a direction change mechanism 34 are provided in the connection unit 30 .
  • the travel drive unit 33 is attached to the connection member 32 .
  • the travel drive unit 33 is a drive source that drives the travel wheels 21, and uses, for example, an electric motor.
  • the four running wheels 21 are driven by the running drive unit 33 and serve as driving wheels.
  • the four running wheels 21 are controlled by the controller 50 so as to have the same or substantially the same number of revolutions. Note that when one of the four running wheels 21 is not used as a driving wheel, the traveling drive unit 33 is not attached to the connecting member 32 corresponding to the running wheel 21 that is not used as a driving wheel.
  • the direction changing mechanism 34 turns the connecting member 32 of the connecting portion 30 around the turning axis AX2, thereby turning the running wheels 21 in the ⁇ Z direction around the turning axis AX2.
  • the traveling wheels 21 in the ⁇ Z direction By turning the traveling wheels 21 in the ⁇ Z direction, the first state in which the traveling direction of the traveling vehicle 100 is the first direction D1 is changed to the second state in which the traveling direction is the second direction D2, or the traveling direction is changed to the second state. It is possible to switch from the second state in which the direction of travel is D2 to the first state in which the direction of travel is in the first direction D1.
  • the direction change mechanism 34 has a drive source 35 , a pinion gear 36 and a rack 37 .
  • the drive source 35 is attached to a side surface of the traveling drive unit 33 away from the turning axis AX2.
  • an electric motor or the like is used as the drive source 35 .
  • the pinion gear 36 is attached to the lower surface side of the drive source 35 and is rotationally driven in the ⁇ Z direction by the drive force generated by the drive source 35 .
  • the pinion gear 36 has a circular shape in plan view, and has a plurality of teeth in the circumferential direction of the outer periphery.
  • the rack 37 is fixed to the upper surface 17 a of the upper unit 17 .
  • the racks 37 are provided at four corner portions 10a of the upper surface 17a of the upper unit 17, respectively, and are provided in an arc shape (fan shape) around the turning axis AX2 of the traveling wheel 21. As shown in FIG.
  • the rack 37 has a plurality of teeth meshing with the teeth of the pinion gear 36 in the circumferential direction of the outer periphery.
  • the pinion gear 36 and the rack 37 are arranged with their teeth meshing with each other. As the pinion gear 36 rotates in the ⁇ Z direction, the pinion gear 36 moves in the circumferential direction about the turning axis AX2 along the outer periphery of the rack 37 . This movement of the pinion gear 36 causes the connecting member 32 to turn, and the travel driving portion 33 and the direction changing mechanism 34 to turn together with the pinion gear 36 in the circumferential direction around the turning axis AX2.
  • the running wheels 21 and the auxiliary wheels 22 arranged at the four corners 10a of the upper surface 17a each turn in the ⁇ Z direction within a range of 90 degrees around the turning axis AX2.
  • Driving of the direction change mechanism 34 is controlled by the control unit 50 .
  • the control unit 50 may instruct the four traveling wheels 21 to perform the turning motion at the same timing, or may instruct them to perform the turning motion at different timings.
  • the running wheels 21 and the auxiliary wheels 22 shift from contacting one of the first track R1 and second track R2 to contacting the other. In other words, the state in which the direction of the rotating shaft of the traveling wheel 21 is one of the first direction D1 and the second direction D2 is changed to the other state. Therefore, it is possible to switch between a first state in which the traveling direction of the traveling vehicle 100 is the first direction D1 (X direction) and a second state in which the traveling direction is the second direction D2 (Y direction).
  • FIG. 6 is a side view of a connecting member CP that connects a plurality of unit units U (lattice-like tracks R).
  • the connecting member CP1 is provided above the connecting portion C so as to be able to connect a plurality of unit units U.
  • one connecting member CP1 can connect four unit units U by connecting four connecting portions C.
  • FIG. 6 is a side view of a connecting member CP that connects a plurality of unit units U (lattice-like tracks R).
  • the connecting member CP1 is provided above the connecting portion C so as to be able to connect a plurality of unit units U.
  • one connecting member CP1 can connect four unit units U by connecting four connecting portions C.
  • the connecting member CP2 is provided below the intersecting track R3 so as to be able to connect the plurality of unit units U. As shown in FIG. Specifically, one connecting member CP2 can connect four unit units U by connecting four intersecting tracks R3 of different unit units U, respectively. A suspending member H penetrates through the central portion of the connecting member CP. As a result, the grid-like track R is suspended from the ceiling or the like.
  • FIG. 7 is a plan view of the connecting member CP1.
  • FIG. 8 is a plan view of the connecting member CP2.
  • the connecting portion C of the unit unit U is indicated by a dashed line.
  • the connecting member CP1 has a hanging member hole Hh1 through which the hanging member H is passed, a pin hole Pha1 through which a pin is passed through the connecting portion C, the connecting member CP1 and the connecting portion C. are fixed with members such as bolts Bha1 and Bhb1 for bolts.
  • Four holes Pha1, Bha1, and Bhb1 are arranged in one connecting member CP1.
  • the four connecting members CP1 shown in FIG. 7 have the same configuration.
  • the connecting member CP2 has a hanging member hole Hh2 through which the hanging member H is passed, a pin hole Pha2 through which the pin is passed through the intersecting track R3, the connecting member CP2 and the intersecting track R3 ( Further, it has a bolt hole Bha2 for fixing the connecting portion C) with a member such as a bolt.
  • Four holes Pha2 and four holes Bha2 are arranged in one connecting member CP2.
  • the four connecting members CP2 shown in FIG. 8 have the same configuration. Note that the shape and the like of the connecting member CP2 are examples, and do not have to be formed as illustrated.
  • FIG. 9 is a side view showing an example of inserting a pin through the connecting member CP.
  • a pin P1 that passes through the connection portion C via the connection member CP1 is fitted in a blind hole Ha1 (a hole that does not penetrate through) formed in the connection portion C.
  • a pin P2 which is passed through the track R (intersecting track R3) via the connecting member CP2 is fitted in a blind hole Ha2 formed in the track R.
  • the unit unit U When the pins P1 and P2 are arranged at different positions in the vertical direction (Z direction) in the connecting member CP1 and the connecting member CP2, the unit unit U does not rotate around the pins P1 and P2, and the connecting member CP1 , CP2 is the center of rotation. Also, unlike FIG. 9, for example, the pins P1 and P2 may be arranged at the same position in the vertical direction (Z direction) in the connecting member CP1 and the connecting member CP2. When the pins P1 and P2 are arranged at the same position in the vertical direction, the unit unit U can rotate around the pins P1 and P2. Thus, the positions of the pins P1 and P2 may be any positions.
  • FIGS. 10A and 10B are diagrams showing examples of the running portion and the connecting portion according to the embodiment.
  • 10A is a plan view
  • FIG. 10B is a front view.
  • the support member 31 of the connecting portion 30 is provided with a guide portion accommodation portion 31a.
  • the guide portion 40 suppresses positional deviation of the connecting portion 30 with respect to the grid-like track R, and thus suppresses positional deviation of the main body portion 10 with respect to the grid-like track R.
  • the guide portions 40 are provided on the respective connecting portions 30 arranged at the four corner portions 10a of the upper surface 17a of the body portion 10 (see FIGS. 1 and 2).
  • the guide portion 40 moves along the first guide surface G1 and the first connection guide surface G3a in the first state in which the traveling wheels 21 travel on the first track R1.
  • the guide portion 40 moves along the second guide surface G2 and the second connection guide surface G3b in the second state in which the traveling wheels 21 travel on the second track R2.
  • the guide portion 40 may be in contact with the first guide surface G1 or the second guide surface G2, or may be in contact with the first guide surface G1 or the second guide surface G2. may be in a state in which a gap is provided with respect to
  • the guide portion 40 has a guide roller 41 housed in the guide portion housing portion 31 a of the support member 31 .
  • the guide roller 41 is accommodated in the guide portion accommodating portion 31a, and is arranged in a state in which the end on the -X side protrudes from the guide portion accommodating portion 31a.
  • the guide roller 41 is rotatably supported around the Z-axis by a roller shaft 41a.
  • the roller shaft 41a is fixed inside the guide housing portion 31a and arranged parallel to the Z direction.
  • the roller shaft 41a may be configured to be supported by an elastic member, for example.
  • the guide roller 41 is supported movably and rotatably in the X direction, and the impact of the guide roller 41 hitting the first guide surface G1 or the like can be absorbed by the elastic member.
  • the guide roller 41 is a driven roller that does not have a drive source for rotating the guide roller 41 .
  • a drive unit may be provided that rotates the guide roller 41 in accordance with the running direction of the main body 10 .
  • the guide roller 41 is arranged at a height between the axle 21 a of the traveling wheel 21 and the main body 10 .
  • the first guide surface G ⁇ b>1 and the second guide surface G ⁇ b>2 are arranged at a height between the axle 21 a of the traveling wheel 21 and the main body 10 .
  • the guide roller 41 is arranged at a position corresponding to the height of the first guide surface G1 and the second guide surface G2 in the connecting portion 30 .
  • the guide portion 40 rotates the connection portion 30 when the direction change mechanism 34 changes the direction of the running wheels 21 , that is, the direction change mechanism 34 turns the connection portion 30 .
  • the guide rollers 41 face the first guide surface G1 and the first connection guide surface G3a.
  • the guide rollers 41 face the second guide surface G2 and the second connection guide surface G3b.
  • FIG. 11 is a plan view showing an example of the positional relationship between the first track, the second track, the intersecting track, and the guide rollers according to the embodiment.
  • FIG. 12 is a plan view showing an example of a guide portion (guide roller) when turning the traveling wheels according to the embodiment.
  • the description of the guide housing portion 31a of the support member 31 is omitted.
  • the guide roller 41 has a portion protruding from the guide portion accommodating portion 31a of the support member 31, and has a first guide surface G1 which is a side surface of the first track R1 and a side surface of the second track R2.
  • the guide roller 41 does not contact the chamfered non-contact surface G3c of the intersecting track R3.
  • the non-contact surface G3c may have any shape as long as the guide roller 41 does not come into contact when the guide roller 41 moves from the first connection guide surface G3a to the second connection guide surface G3b. is applied.
  • the non-contact surface G3c is chamfered in two steps, and the connection between the chamfers is smooth.
  • the guide rollers 41 move along the first guide surface. It moves along G1 or the first connection guide surface G3a. In this first state, the guide roller 41 can contact the first guide surface G1 and the first connection guide surface G3a at the portion protruding from the guide portion accommodating portion 31a. Since the guide roller 41 is rotatable when in contact with the first guide surface G1 and the first connection guide surface G3a, the frictional resistance at the time of contact is reduced while the main body 10 is running, and particles are not generated. While suppressing this, it is possible to suppress an increase in the load on the traveling drive unit 33 .
  • the guide roller 41 hits the first guide surface G1 or the first connection guide surface G3a, thereby moving the body portion 10 in the second direction D2.
  • the body portion 10 has a pair of guide rollers 41 in the second direction D2, and the guide rollers 41 abut against the first guide surface G1 or the first connection guide surface G3a facing each other.
  • a positional deviation in the direction and the -Y direction is suppressed. Therefore, positional deviation in the second direction D2 can be restricted not only when the main body 10 is traveling in the first direction D1, but also when the main body 10 is stopped on one of the grid-like tracks R.
  • the direction changing mechanism 34 moves the main body 10 along the second direction D2 from the state where the main body 10 is running in the first direction D1 (when the running wheels 21 move in the second direction D2). In the second state of rolling on the track R2), the running wheels 21 are turned. At this time, the guide roller 41 turns around the turning axis AX2 as the connecting portion 30 turns by the direction changing mechanism 34 . Specifically, the guide roller 41 moves from the first connection guide surface G3a to the second connection guide surface G3b. At this time, the guide roller 41 moves from the first connection guide surface G3a to the second connection guide surface G3b without contacting the chamfered non-contact surface G3c, for example.
  • the guide roller 41 can contact the second guide surface G2 and the second connection guide surface G3b at the portion protruding from the guide portion accommodating portion 31a.
  • the guide roller 41 since the guide roller 41 is rotatable when in contact with the second guide surface G2 and the second connection guide surface G3b, the frictional resistance at the time of contact is reduced while the body portion 10 is traveling, and the travel drive portion 33 It is possible to suppress the increase in the burden of
  • the guide roller 41 hits the second guide surface G2 or the second connection guide surface G3b, thereby moving the body portion 10 in the first direction D1.
  • the body portion 10 has a pair of guide rollers 41 in the first direction D1, and the guide rollers 41 contact the second guide surface G2 or the second connection guide surface G3b facing each other.
  • a positional deviation in the direction and the -X direction is suppressed. Therefore, it is possible to suppress displacement in the first direction D1 not only when the main body 10 is traveling in the second direction D2 but also when the main body 10 is stopped on one of the grid-like tracks R.
  • FIG. 13 is a side view showing an example of the positional relationship between the grid-like track and guide rollers according to the embodiment.
  • the interval L1 between two of the four guide rollers 41 arranged in the running direction is different from the interval L2 between adjacent gaps D in the first direction D1 or the second direction D2. set. This configuration can prevent two guide rollers 41 aligned in the running direction from being positioned in the gap D at the same time.
  • the example shown in FIG. 13 shows the case where the interval L1 between the guide rollers 41 is larger than the interval L2 of the gap D
  • the present invention is not limited to this embodiment, and the interval L1 between the guide rollers 41 is larger than the interval L2 of the gap D. It can be small.
  • 14 to 17 are diagrams showing examples of operations for changing the traveling direction of the traveling vehicle from the first direction to the second direction according to the embodiment.
  • the body portion 10 of the traveling vehicle 100 traveling on the first track R1 in the first direction D1 (+X direction or -X direction) reaches a position where one unit U of the grid-like track R is reached.
  • all the four running wheels 21 are in contact with the intersecting track R3.
  • the four guide rollers 41 are arranged at positions along the first connection guide surface G3a of the intersecting track R3.
  • the control unit 50 drives the direction changing mechanism 34 to turn the connecting portion 30, and the running wheels 21 and the auxiliary wheels 22 arranged at the four corner portions 10a are respectively aligned with the turning axis AX2. is rotated in the ⁇ Z direction.
  • the traveling wheels 21 and the like positioned diagonally turn in the same direction.
  • the traveling wheel 21 and the like on the upper right in the figure and the traveling wheel 21 and the like on the lower left in the figure turn counterclockwise.
  • such turning motions may be performed at the same timing or at different timings.
  • the upper left and lower right traveling wheels 21 and the like in the drawing may be turned simultaneously first, and then the upper right and lower left traveling wheels 21 and the like in the drawing may be turned simultaneously.
  • the four guide rollers 41 turn around the turning axis AX2 integrally with the connecting portion 30 and move without coming into contact with the non-contact surface G3c. Further, since the turning of the traveling wheels 21 and the like and the turning of the guide rollers 41 are performed by the common direction changing mechanism 34, there is no need to separately provide a configuration for changing the direction of the guide rollers 41. Avoid complicating the configuration.
  • FIG. 16 is a diagram showing an example of guide rollers during turning according to the embodiment.
  • the four guide rollers 41 provided in the connecting portion 30 change their directions in synchronization.
  • the main body 10 is configured so that each of the guide rollers 41 does not come into contact with the intersecting track R3 (non-contact surface G3c) when the traveling wheels 21 turn (during steering). The impact during turning can be reduced as compared with the case of providing a guiding shape for contact.
  • the main body 10 since the guide roller 41 does not contact the intersecting track R3 (non-contact surface G3c) during turning, the main body 10 has a guiding shape that causes the guide roller 41 to contact the intersecting track R3 (non-contact surface G3c). As compared with the case of providing the , it is possible to soften the impact caused by the lure, and to suppress the occurrence of the positional deviation caused by the impact.
  • the control unit 50 stops driving the direction change mechanism 34 after each running wheel 21 and the like turns 90 degrees in the ⁇ Z direction.
  • the traveling vehicle 100 can travel in the second direction D2 (+Y direction or -Y direction).
  • the four guide rollers 41 are arranged at positions along the second connection guide surface G3b of the intersecting track R3. Further, the body portion 10 does not turn even when the traveling wheels 21 and the like turn. Therefore, the orientation of the main body 10 is not changed regardless of whether the traveling vehicle 100 travels in the first direction D1 or travels in the second direction D2.
  • FIG. 18 is a diagram showing another example of the non-contact surface according to the embodiment.
  • the non-contact surface G3c of the intersecting track R3 may be chamfered in one step different from the two-step chamfering described above.
  • the two-stage chamfering described above is indicated by broken lines.
  • the one-step chamfered non-contact surface G3c does not contact the guide roller 41 during turning, as in the above-described embodiment.
  • the non-contact surface G3c of the intersecting track R3 may be entirely curved. At this time, the non-contact surface G3c does not contact the guide roller 41 during turning, as in the above-described embodiment.
  • FIG. 18A the non-contact surface G3c of the intersecting track R3 may be chamfered in one step different from the two-step chamfering described above.
  • the two-stage chamfering described above is indicated by broken lines.
  • the one-step chamfered non-contact surface G3c does not contact the guide roller 41 during
  • the continuous surface that abuts against the guide roller 41 during turning is represented by a dashed line.
  • the shape of the non-contact surface G3c may be any shape as long as it does not contact the guide roller 41 when the guide roller 41 turns. Since the sagging is suppressed, it is preferably formed with a chamfer or a curved surface that can suppress the sagging of the running wheels 21 .
  • FIG. 19 is a diagram showing a configuration example of a unit according to the embodiment.
  • the unitary unit U (the upper part of the unitary unit U, the connecting portion C) is composed of several members. Each member is directly connected by a bolt or the like.
  • the unit unit U (the upper part of the unit unit U, the connection part C) includes a member including one first track R1 and one intersecting track R3, the other first track R1 and one It may be configured by a combination of a member including the intersecting tracks R3, a member including one second track R2 and one intersecting track R3, and a member including the other second track R2 and one intersecting track R3.
  • FIG. 19 is a diagram showing a configuration example of a unit according to the embodiment.
  • the unitary unit U (the upper part of the unitary unit U, the connecting portion C) is composed of several members. Each member is directly connected by a bolt or the like.
  • the unit unit U (the upper part of the unit unit U, the connection part C) includes a member including one
  • the unit unit U (the upper part of the unit unit U, the connection part C) includes a member including the first track R1 on one side, a member including the first track R1 on the other side, and a second track on the other side. It may be configured by a combination of four members including a member including R2, a member including the other second track R2, and one cross track R3.
  • the unit unit U (the upper part of the unit unit U, the connection part C) includes a member including the first track R1 on one side, a member including the first track R1 on the other side, and a second track on the other side. It may be configured by a combination of a member including R2 and two intersecting tracks R3 and a member including the other second track R2 and two intersecting tracks R3.
  • 19A to 19C are examples, and the unit unit U may be composed of any number of members.
  • the grid-shaped track R is formed by connecting a plurality of unit units U with the unit unit U as one square of the grid of the grid-shaped track R. It is easy to make the shape of the lattice uniform, and it is easy to install the suspended track without requiring adjustment of the installation position from the ceiling or the like.
  • the first tracks R1 and the second tracks R2 are in contact with each other. The positional relationship between the units U can be easily determined, and the influence of vibration when the traveling vehicle 100 travels on the grid-like track R can be reduced.
  • each of the guide surfaces of the four intersecting tracks R3 includes a non-contact surface G3c that does not come into contact with the guide roller 41 during turning, the impact caused by the guide roller 41 being drawn in during turning of the guide roller 41 is reduced. can be relieved, and displacement of the traveling vehicle 100 due to the impact can be suppressed.
  • the technical scope of the present invention is not limited to the above-described embodiments. It is obvious to those skilled in the art that various modifications or improvements can be made to the above-described embodiments. Moreover, the form which added such a change or improvement is also included in the technical scope of this invention. One or more of the requirements described in the embodiments and the like described above may be omitted. Also, the requirements described in the above-described embodiments and the like can be combined as appropriate. In addition, as long as it is permitted by laws and regulations, the disclosure of all the documents cited in the above-described embodiments and the like is used as part of the description of the text. For example, the shape of the grid-like track R may be a rectangle or a parallelogram instead of a square (not just a square). Also, the guide roller 41 may not be included.

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Abstract

【課題】吊り下げられる軌道の設置が容易であること。 【解決手段】格子状軌道Ｒは、格子の１つのマス目に対応する単位ユニットＵを備える。単位ユニットＵは、第１方向Ｄ１に平行に延在する２本の第１軌道Ｒ１と、第１方向Ｄ１とは異なる第２方向Ｄ２に平行に延在する２本の第２軌道Ｒ２と、２本の第１軌道Ｒ１のそれぞれの第１方向Ｄ１への延長線と２本の第２軌道Ｒ２のそれぞれの第２方向Ｄ２への延長線との交差点に対応し、第１軌道Ｒ１及び第２軌道Ｒ２と間隔を隔てて設けられた４個の交差軌道Ｒ３と、４個の交差軌道Ｒ３のそれぞれを第１軌道Ｒ１及び第２軌道Ｒ２と接続する接続部Ｃとを有する。格子状軌道Ｒは、複数の単位ユニットＵの連結によって形成され、連結された２個の単位ユニットＵ間で４個の交差軌道Ｒ３のうち２個の交差軌道Ｒ３が連続している。

Description

走行車システム、単位ユニット、及び格子状軌道
　本発明は、走行車システム、単位ユニット、及び格子状軌道に関する。
　従来、天井等から吊り下げられた軌道を走行車が走行する走行車システムが知られている。特許文献１では、第１方向に沿って延在する複数の第１軌道と、第１方向とは異なる第２方向に沿って延在する複数の第２軌道と、第１軌道と第２軌道との交差点に対応する接続軌道とを備える走行車システムが開示されている。
国際公開第２０２０／１１０５２２号
　従来技術では、走行車が走行する各軌道が別体であるため、天井から吊り下げる際に、各軌道の据付精度が低くなる可能性があり、据付位置を調整する煩雑な作業が発生する場合がある。この結果、従来技術では、吊り下げられる軌道の設置が容易ではないという課題がある。
　本発明は、吊り下げられる軌道の設置が容易である走行車システム、単位ユニット、及び格子状軌道を提供する。
　本発明の態様に係る走行車システムは、吊り下げ式の格子状軌道と、格子状軌道を走行する走行車と、を備える走行車システムであって、格子状軌道は、格子の１つのマス目に対応する単位ユニットを備え、単位ユニットは、第１方向に平行に延在する２本の第１軌道と、第１方向とは異なる第２方向に平行に延在する２本の第２軌道と、２本の第１軌道のそれぞれの第１方向への延長線と２本の第２軌道のそれぞれの第２方向への延長線との交差点に対応し、２本の第１軌道のそれぞれ及び２本の第２軌道のそれぞれと間隔を隔てて設けられた４個の交差軌道と、４個の交差軌道のそれぞれを２本の第１軌道のそれぞれ及び２本の第２軌道のそれぞれと接続する接続部と、を有し、格子状軌道は、複数の単位ユニットの連結によって形成され、連結された２個の単位ユニット間で４個の交差軌道のうち２個の交差軌道が連続している。
　本発明の態様に係る単位ユニットは、第１方向に平行に延在する２本の第１軌道と、第１方向とは異なる第２方向に平行に延在する２本の第２軌道と、２本の第１軌道のそれぞれの第１方向への延長線と２本の第２軌道のそれぞれの第２方向への延長線との交差点に対応し、２本の第１軌道のそれぞれ及び２本の第２軌道のそれぞれと間隔を隔てて設けられた４個の交差軌道と、４個の交差軌道のそれぞれを２本の第１軌道のそれぞれ及び２本の第２軌道のそれぞれと接続する接続部と、を有する。
　本発明の態様に係る格子状軌道は、走行車が走行する吊り下げ式の格子状軌道であって、第１方向に平行に延在する２本の第１軌道と、第１方向とは異なる第２方向に平行に延在する２本の第２軌道と、２本の第１軌道のそれぞれの第１方向への延長線と２本の第２軌道のそれぞれの第２方向への延長線との交差点に対応し、２本の第１軌道のそれぞれ及び２本の第２軌道のそれぞれと間隔を隔てて設けられた４個の交差軌道と、４個の交差軌道のそれぞれを２本の第１軌道のそれぞれ及び２本の第２軌道のそれぞれと接続する接続部と、を有する単位ユニットを、格子の１つのマス目として備え、複数の単位ユニットの連結によって形成され、連結された２個の単位ユニット間で４個の交差軌道のうち２個の交差軌道が連続している。
　本発明の態様に係る走行車システム、単位ユニット、及び格子状軌道によれば、単位ユニットを格子状軌道の格子の１つのマス目として、複数の単位ユニットの連結により格子状軌道が形成されるので、天井等から軌道ごとに吊り下げる場合と比較して、格子の形状を均一にしやすいため、据付位置の調整を要することなく、吊り下げられる軌道の設置が容易である。
　また、上記態様の走行車システムにおいて、格子状軌道が、第１方向に連結された２個の単位ユニット間で２本の第２軌道のうち１本の第２軌道が当接し、第２方向に連結された２個の単位ユニット間で２本の第１軌道のうち１本の第１軌道が当接してもよい。この態様によれば、単位ユニットが軌道で（点ではなく線又は面で）接するため、隣接する単位ユニット間の位置関係が定まりやすく、走行車が走行するときの振動への影響を少なくすることができる。また、上記態様の走行車システムにおいて、単位ユニットが、４個の交差軌道のそれぞれの上方又は下方の位置で他の単位ユニットと連結可能であってもよい。この態様によれば、第１軌道や第２軌道の上方又は下方等で連結する場合と比較して、より多くの単位ユニットをより少ない部材数で連結できるので、単位ユニット間の位置精度が高く、連結にかかる手間を削減でき、連結を容易に行うことができる。また、上記態様の走行車システムにおいて、走行車が、走行輪とガイド輪とを備え、単位ユニットが、２本の第１軌道のそれぞれ、２本の第２軌道のそれぞれ、及び４個の交差軌道のそれぞれの側面に、ガイド輪を案内するガイド面を備え、４個の交差軌道のそれぞれのガイド面が、走行車による走行方向の転換に伴うガイド輪の旋回時に、ガイド輪に当接しない形状であってもよい。この態様によれば、ガイド輪の旋回時においてガイド輪が誘い込まれることによる衝撃を和らげることができ、衝撃による走行車の位置ずれを抑制することができる。
実施形態に係る走行車システムが備える走行車の例を示す側面図である。 実施形態に係る走行車システムが備える走行車の例を示す斜視図である。 実施形態に係る格子状軌道の例を示す斜視図である。 実施形態に係る格子状軌道の例を示す斜視図である。 実施形態に係る単位ユニットの例を示す斜視図である。 実施形態に係る連結部材の例を説明する図である。 実施形態に係る連結部材の例を説明する図である。 実施形態に係る連結部材の例を説明する図である。 実施形態に係る連結部材の例を説明する図である。 実施形態に係る走行部及び連結部の例を示す図である。 実施形態に係る第１軌道、第２軌道、及び交差軌道と、ガイドローラとの位置関係の例を示す平面図である。 実施形態に係る走行車輪を旋回させたときのガイド部（ガイドローラ）の例を示す平面図である。 実施形態に係る格子状軌道とガイドローラとの位置関係の例を示す側面図である。 実施形態に係る走行車の走行方向を第１方向から第２方向に変更する動作の例を示す図である。 実施形態に係る走行車の走行方向を第１方向から第２方向に変更する動作の例を示す図である。 実施形態に係る走行車の走行方向を第１方向から第２方向に変更する動作の例を示す図である。 実施形態に係る走行車の走行方向を第１方向から第２方向に変更する動作の例を示す図である。 実施形態に係る非当接面の他の例を示す図である。 実施形態に係る単位ユニットの構成例を示す図である。
　以下、実施形態について図面を参照して説明する。本発明は、以下で説明する形態に限定されない。図面では、実施形態を説明するために、一部分を拡大、縮小、又は強調して記載する等、縮尺を適宜変更して表現される場合がある。また、図面では、ＸＹＺ直交座標系を用いて図中の方向が説明される場合がある。ＸＹＺ直交座標系においては、水平方向をＸ方向、Ｙ方向とし、鉛直方向をＺ方向とする。Ｘ方向、Ｙ方向、及びＺ方向のそれぞれは、図中の矢印の指す方向が＋方向であり、矢印の指す方向とは反対の方向が－方向であるとして説明する。また、垂直軸まわり又はＺ軸まわりの旋回方向をθＺ方向と表記する場合がある。
　図１は、実施形態に係る走行車システムが備える走行車の例を示す側面図である。図２は、実施形態に係る走行車システムが備える走行車の例を示す斜視図である。図３及び図４は、実施形態に係る格子状軌道の例を示す斜視図である。図５は、実施形態に係る単位ユニットの例を示す斜視図である。なお、図３では、説明を分かりやすくするために、格子状軌道を吊り下げる吊り下げ部材や、格子状軌道を接続する接続部等を含む上部側と、格子状軌道を含む下部側とに分けて、上部側と下部側とが重なる箇所を破線で示している。走行車１００は、走行車システムＳＹＳの軌道Ｒに沿って走行し、半導体ウエハを収容するＦＯＵＰ（Front　Opening　Unified　Pod）、又はレチクルを収容するレチクルポッド等の物品Ｍを搬送する。
　走行車システムＳＹＳは、例えば、半導体製造工場等のクリーンルームにおいて、物品Ｍを走行車１００により搬送するシステムである。走行車システムＳＹＳにおいて、走行車１００は、複数台用いられてもよい。複数台の走行車１００によって物品Ｍを搬送することにより、高密度な搬送を可能とし、物品Ｍの搬送効率を向上させることが可能である。
　軌道Ｒは、軌道の一形態である。軌道Ｒは、例えば、クリーンルーム等の建屋の天井又は天井付近に敷設される吊り下げ式の格子状軌道である（図３及び図４参照）。以下、軌道Ｒを格子状軌道Ｒと呼ぶ場合がある。格子状軌道Ｒは、格子の１つのマス目に対応する単位ユニットＵを備える（図５参照）。単位ユニットＵは、第１方向Ｄ１に平行に延在する２本の第１軌道Ｒ１と、第１方向Ｄ１とは異なる第２方向Ｄ２に平行に延在する２本の第２軌道Ｒ２とを有する。また、単位ユニットＵは、２本の第１軌道Ｒ１のそれぞれの第１方向Ｄ１への延長線と２本の第２軌道Ｒ２のそれぞれの第２方向Ｄ２への延長線との交差点に対応し、２本の第１軌道Ｒ１のそれぞれ及び２本の第２軌道Ｒ２のそれぞれと間隔を隔てて設けられた４個の交差軌道Ｒ３を有する。また、単位ユニットＵは、４個の交差軌道Ｒ３のそれぞれを２本の第１軌道Ｒ１のそれぞれ及び２本の第２軌道Ｒ２のそれぞれと接続する接続部Ｃを有する。この「接続」は、単位ユニットＵ内で軌道同士を繋ぐことを意味し、単位ユニットＵが完成した段階で「接続」は完了している。格子状軌道Ｒは、複数の単位ユニットＵの連結によって形成され、連結された２個の単位ユニットＵ間で、４個の交差軌道Ｒ３のうち２個の交差軌道Ｒ３が連続している。この「連結」は、完成している単位ユニットＵ同士を繋ぐことを意味する。また、この「連続」は、走行車１００が通過できるような位置関係に軌道同士が存在することを意味する。本実施形態では、第１方向Ｄ１と第２方向Ｄ２とが直交する。つまり、第１軌道Ｒ１（第１軌道Ｒ１の第１方向Ｄ１への延長線）と第２軌道Ｒ２（第２軌道Ｒ２の第２方向Ｄ２への延長線）とは、直交する位置関係に存在する。なお、図３及び図４では、格子状軌道Ｒの一部が示されている。格子状軌道Ｒは、図示された構成から第１方向Ｄ１（Ｘ方向）及び第２方向Ｄ２（Ｙ方向）に同様の構成が連続して形成されてもよい。
　格子状軌道Ｒは、第１方向Ｄ１に連結された２個の単位ユニットＵ間で、２本の第２軌道Ｒ２のうち１本の第２軌道Ｒ２が当接する。また、格子状軌道Ｒは、第２方向Ｄ２に連結された２個の単位ユニットＵ間で、２本の第１軌道Ｒ１のうち１本の第１軌道Ｒ１が当接する。単位ユニットＵは、４個の交差軌道Ｒ３のそれぞれの上方又は下方の位置で、他の単位ユニットＵと連結可能である。複数の単位ユニットＵの連結では、連結部材ＣＰが用いられる。複数の単位ユニットＵと、複数の単位ユニットＵを連結する連結部材ＣＰとは、吊り下げ部材Ｈによって不図示の天井等に吊り下げられる。
　第１軌道Ｒ１、第２軌道Ｒ２、及び交差軌道Ｒ３は、それぞれ、走行車１００の走行車輪２１（走行輪）が走行する走行面Ｒ１ａ、Ｒ２ａ、Ｒ３ａを有する。第１軌道Ｒ１と交差軌道Ｒ３との間、第２軌道Ｒ２と交差軌道Ｒ３との間には、それぞれ、間隙Ｄが形成される。間隙Ｄは、走行車１００が第１軌道Ｒ１を走行して第２軌道Ｒ２を横切る際、又は、第２軌道Ｒ２を走行して第１軌道Ｒ１を横切る際に、走行車１００の一部（例えば、後述する連結部３０）が通過する部分である。このため、間隙Ｄは、連結部３０が通過可能な幅に設定される。第１軌道Ｒ１、第２軌道Ｒ２、及び交差軌道Ｒ３は、同一又はほぼ同一の水平面に沿って設けられる。これにより、走行面Ｒ１ａ、Ｒ２ａ、Ｒ３ａは、同一又はほぼ同一の水平面上に配置される。
　格子状軌道Ｒは、第１ガイド面Ｇ１と、第２ガイド面Ｇ２とを有する。第１ガイド面Ｇ１は、単位ユニットＵにおいて、２本の第１軌道Ｒ１のそれぞれに沿って設けられる。具体的には、第１ガイド面Ｇ１は、単位ユニットＵにおいて、２本の第１軌道Ｒ１のそれぞれの側面に設けられ、後述するガイドローラ４１（ガイド輪）を案内する。第２ガイド面Ｇ２は、単位ユニットＵにおいて、２本の第２軌道Ｒ２のそれぞれに沿って設けられる。具体的には、第２ガイド面Ｇ２は、単位ユニットＵにおいて、２本の第２軌道Ｒ２のそれぞれの側面に設けられ、後述するガイドローラ４１を案内する。
　交差軌道Ｒ３は、第１接続ガイド面Ｇ３ａと、第２接続ガイド面Ｇ３ｂと、非当接面Ｇ３ｃとを有する。具体的には、第１接続ガイド面Ｇ３ａは、第１ガイド面Ｇ１と同一又はほぼ同一の高さ、且つ、同一又はほぼ同一の方向に設けられ、後述するガイドローラ４１を案内する。すなわち、第１接続ガイド面Ｇ３ａと第１ガイド面Ｇ１とは、同一の平面に含まれる。同様に、第２接続ガイド面Ｇ３ｂは、第２ガイド面Ｇ２と同一又はほぼ同一の高さ、且つ、同一又はほぼ同一の方向に設けられ、後述するガイドローラ４１を案内する。すなわち、第２接続ガイド面Ｇ３ｂと第２ガイド面Ｇ２とは、同一の平面に含まれる。非当接面Ｇ３ｃは、第１接続ガイド面Ｇ３ａと第２接続ガイド面Ｇ３ｂとを連続するように形成される。非当接面Ｇ３ｃは、後述するように、走行車１００による走行方向の転換に伴うガイドローラ４１の旋回時に、ガイドローラ４１に当接しない形状である。例えば、非当接面Ｇ３ｃは、面取りが施されていることで、ガイドローラ４１に当接しない。なお、交差軌道Ｒ３の第１接続ガイド面Ｇ３ａ、第２接続ガイド面Ｇ３ｂ、及び非当接面Ｇ３ｃの詳細については後述する。
　図１及び図２に示すように、走行車１００は、本体部１０と、走行部２０と、連結部３０と、ガイド部４０と、制御部５０とを有する。制御部５０は、走行車１００の各部の動作を統括的に制御する。制御部５０は、本体部１０に設けられる場合を例に挙げるが、本体部１０の外部に設けられてもよい。本体部１０は、格子状軌道Ｒの下方（－Ｚ側）に配置される。本体部１０は、平面視で、例えば矩形状に形成される。本体部１０は、平面視で格子状軌道Ｒにおける格子の１つのマス目に対応する単位ユニットＵに収まる寸法に形成される。このため、走行車システムＳＹＳでは、所定の単位ユニットＵを走行している走行車１００と、所定の単位ユニットＵに隣接する単位ユニットＵを走行している他の走行車１００とがすれ違うスペースを確保できる。本体部１０は、上部ユニット１７と、移載装置１８とを備える。上部ユニット１７は、連結部３０を介して走行部２０から吊り下げられる。上部ユニット１７は、例えば平面視で矩形状であり、上面１７ａに４つのコーナー部１０ａを有する。
　本体部１０は、４つのコーナー部１０ａのそれぞれに走行車輪２１、連結部３０、方向転換機構３４、及びガイド部４０を有する。この構成において、本体部１０の４つのコーナー部１０ａに配置された走行車輪２１により、本体部１０を安定して吊り下げることができ、且つ、本体部１０を安定して走行させることができる。また、本体部１０の４つのコーナー部１０ａに配置されたガイド部４０により、格子状軌道Ｒに対する本体部１０の第１方向Ｄ１又は第２方向Ｄ２の位置ずれ、及び格子状軌道Ｒに対する本体部１０の垂直軸まわりの位置ずれを効果的に抑制することが可能である。なお、ガイド部４０の詳細については後述する。
　移載装置１８は、上部ユニット１７の下方に設けられる。移載装置１８は、Ｚ方向（鉛直方向）の回転軸ＡＸ１まわりに回動可能である。移載装置１８は、物品Ｍを保持する物品保持部１３と、物品保持部１３を鉛直方向に昇降させる昇降駆動部１４と、昇降駆動部１４を水平方向にスライド移動させる横出し機構１１と、横出し機構１１を保持する回動部１２とを有する。物品保持部１３は、物品Ｍのフランジ部Ｍａを把持することにより、物品Ｍを吊り下げて保持する。物品保持部１３は、例えば、水平方向に移動可能な爪部１３ａを有するチャックであり、爪部１３ａを物品Ｍのフランジ部Ｍａの下方に進入させ、物品保持部１３を上昇させることで、物品Ｍを保持する。物品保持部１３は、ワイヤ又はベルト等の吊り下げ部材１３ｂに接続される。
　昇降駆動部１４は、例えばホイストであり、吊り下げ部材１３ｂを繰り出すことにより物品保持部１３を下降させ、吊り下げ部材１３ｂを巻き取ることにより物品保持部１３を上昇させる。昇降駆動部１４は、制御部５０に制御され、所定の速度で物品保持部１３を下降又は上昇させる。また、昇降駆動部１４は、制御部５０に制御され、物品保持部１３を目標の高さに保持する。
　横出し機構１１は、例えばＺ方向に重ねて配置された複数の可動板を有する。可動板は、Ｙ方向に相対的に移動可能である。最下層の可動板には、昇降駆動部１４が取り付けられる。横出し機構１１は、不図示の駆動装置により可動板を移動させ、最下層の可動板に取り付けられた昇降駆動部１４及び物品保持部１３を、例えば走行方向に対して直交する水平方向に横出しさせる（スライド移動させる）ことができる。
　回動部１２は、横出し機構１１と上部ユニット１７との間に設けられる。回動部１２は、回動部材１２ａと、回動駆動部１２ｂとを有する。回動部材１２ａは、鉛直方向の軸まわり方向に回動可能に設けられる。回動部材１２ａは、横出し機構１１を支持する。回動駆動部１２ｂは、例えば電動モータ等が用いられ、回動部材１２ａを回転軸ＡＸ１の軸まわり方向に回動させる。回動部１２は、回動駆動部１２ｂからの駆動力によって回動部材１２ａを回動させ、横出し機構１１（昇降駆動部１４及び物品保持部１３）を回転軸ＡＸ１の軸まわり方向に回転させることができる。
　また、図１及び図２に示すように、移載装置１８及び移載装置１８に保持される物品Ｍを囲むようにカバーＷが設けられてもよい。カバーＷは、下端を開放した筒状であって、且つ、横出し機構１１の可動板が突出する部分を切り欠いた形状を有する。カバーＷは、上端が回動部１２の回動部材１２ａに取り付けられており、回動部材１２ａの回動に伴って回転軸ＡＸ１の軸まわりに回動する。
　走行部２０は、走行車輪２１と、補助車輪２２とを有する。走行車輪２１は、上部ユニット１７（本体部１０）の上面１７ａの４つのコーナー部１０ａにそれぞれ配置される。走行車輪２１のそれぞれは、連結部３０に設けられた車軸２１ａに取り付けられる。車軸２１ａは、ＸＹ平面に沿って平行又はほぼ平行に設けられる。走行車輪２１のそれぞれは、後述する走行駆動部３３の駆動力により回転駆動する。走行車輪２１のそれぞれは、格子状軌道Ｒにおいて、第１軌道Ｒ１、第２軌道Ｒ２、及び交差軌道Ｒ３の走行面Ｒ１ａ、Ｒ２ａ、Ｒ３ａを転動し、走行車１００を走行させる。なお、４つの走行車輪２１の全てが走行駆動部３３の駆動力により回転駆動することに限定されず、４つの走行車輪２１のうち一部について回転駆動させる構成であってもよい。
　走行車輪２１は、旋回軸ＡＸ２を中心としてθＺ方向に旋回可能に設けられる。走行車輪２１は、後述する方向転換機構３４によってθＺ方向に旋回し、その結果、走行車１００の走行方向を変更させることができる。補助車輪２２は、走行車輪２１の走行方向の前後にそれぞれ１つずつ配置される。補助車輪２２のそれぞれは、走行車輪２１と同様に、ＸＹ平面に沿って平行又はほぼ平行な車軸２２ａの軸まわりに回転可能である。補助車輪２２の下端は、走行車輪２１の下端より高くなるように設定される。従って、走行車輪２１が走行面Ｒ１ａ、Ｒ２ａ、Ｒ３ａを走行しているときは、補助車輪２２は、走行面Ｒ１ａ、Ｒ２ａ、Ｒ３ａに接触しない。また、走行車輪２１が間隙Ｄを通過する際には、補助車輪２２が走行面Ｒ１ａ、Ｒ２ａ、Ｒ３ａに接触して、走行車輪２１の落ち込みを抑制する。なお、１つの走行車輪２１に２つの補助車輪２２を設けることに限定されず、例えば、１つの走行車輪２１に１つの補助車輪２２が設けられてもよいし、補助車輪２２が設けられなくてもよい。
　連結部３０は、本体部１０の上部ユニット１７と走行部２０とを連結する。連結部３０は、上部ユニット１７（本体部１０）の上面１７ａの４つのコーナー部１０ａにそれぞれ設けられる。この連結部３０によって本体部１０は、走行部２０から吊り下げられた状態となり、格子状軌道Ｒより下方に配置される。連結部３０は、支持部材３１と、接続部材３２とを有する。支持部材３１は、走行車輪２１の回転軸及び補助車輪２２の回転軸を回転可能に支持する。支持部材３１により、走行車輪２１と補助車輪２２との相対位置を保持する。支持部材３１は、例えば板状に形成され、間隙Ｄを通過可能な厚さに形成される。
　接続部材３２は、支持部材３１から下方に延びて上部ユニット１７の上面１７ａに連結され、上部ユニット１７を保持する。接続部材３２は、後述する走行駆動部３３の駆動力を走行車輪２１に伝達する伝達機構を内部に備える。この伝達機構は、チェーン又はベルトが用いられる構成であってもよいし、歯車列が用いられる構成であってもよい。接続部材３２は、旋回軸ＡＸ２を中心としてθＺ方向に旋回可能に設けられる。この接続部材３２が旋回軸ＡＸ２を中心として旋回することで、支持部材３１を介して走行車輪２１を旋回軸ＡＸ２まわりのθＺ方向に旋回させることができる。
　連結部３０には、走行駆動部３３と、方向転換機構３４とが設けられる。走行駆動部３３は、接続部材３２に装着される。走行駆動部３３は、走行車輪２１を駆動する駆動源であり、例えば電気モータ等が用いられる。４つの走行車輪２１は、それぞれ走行駆動部３３によって駆動されて駆動輪となる。４つの走行車輪２１は、同一又はほぼ同一の回転数となるように制御部５０によって制御される。なお、４つの走行車輪２１のうちいずれかを駆動輪として用いない場合は、駆動輪として用いない走行車輪２１に対応する接続部材３２に走行駆動部３３は装着されない。
　方向転換機構３４は、連結部３０の接続部材３２を、旋回軸ＡＸ２を中心として旋回させることにより、走行車輪２１を旋回軸ＡＸ２まわりのθＺ方向に旋回させる。走行車輪２１をθＺ方向に旋回させることにより、走行車１００の走行方向を第１方向Ｄ１とする第１状態から走行方向を第２方向Ｄ２とする第２状態に、又は、走行方向を第２方向Ｄ２とする第２状態から走行方向を第１方向Ｄ１とする第１状態に切り替えることが可能である。
　方向転換機構３４は、駆動源３５と、ピニオンギア３６と、ラック３７とを有する。駆動源３５は、走行駆動部３３において旋回軸ＡＸ２から離れた側面に取り付けられる。駆動源３５は、例えば電気モータ等が用いられる。ピニオンギア３６は、駆動源３５の下面側に取り付けられ、駆動源３５で発生した駆動力によりθＺ方向に回転駆動する。ピニオンギア３６は、平面視で円形状であり、外周の周方向に複数の歯を有する。ラック３７は、上部ユニット１７の上面１７ａに固定される。ラック３７は、上部ユニット１７の上面１７ａの４つのコーナー部１０ａにそれぞれ設けられ、走行車輪２１の旋回軸ＡＸ２を中心とした円弧状（扇形状）に設けられる。ラック３７は、外周の周方向に、ピニオンギア３６の歯と噛み合う複数の歯を有する。
　ピニオンギア３６及びラック３７は、互いの歯が噛み合った状態で配置される。ピニオンギア３６がθＺ方向に回転することにより、ラック３７の外周に沿うようにピニオンギア３６が旋回軸ＡＸ２を中心とする円周方向に移動する。このピニオンギア３６の移動より、接続部材３２が旋回し、走行駆動部３３及び方向転換機構３４がピニオンギア３６とともに旋回軸ＡＸ２を中心とする円周方向に旋回する。
　方向転換機構３４の旋回により、上面１７ａの４つのコーナー部１０ａに配置された走行車輪２１及び補助車輪２２のそれぞれが旋回軸ＡＸ２を中心としてθＺ方向に９０度の範囲で旋回する。方向転換機構３４の駆動は、制御部５０によって制御される。制御部５０は、４つの走行車輪２１の旋回動作を同一のタイミングで行うように指示してもよいし、異なるタイミングで行うように指示してもよい。走行車輪２１及び補助車輪２２を旋回させることにより、走行車輪２１が第１軌道Ｒ１及び第２軌道Ｒ２の一方に接触した状態から他方に接触した状態に移行する。換言すれば、走行車輪２１の回転軸の方向が第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２の一方とされた状態から他方とされる状態に移行する。このため、走行車１００の走行方向を第１方向Ｄ１（Ｘ方向）とする第１状態と、走行方向を第２方向Ｄ２（Ｙ方向）とする第２状態とで切り替えることができる。
　図６～図９は、実施形態に係る連結部材の例を説明する図である。なお、実施形態では、上側（＋Ｚ側）に配置される連結部材ＣＰを連結部材ＣＰ１とし、下側（－Ｚ側）に配置される連結部材ＣＰを連結部材ＣＰ２として説明するが、特に区別しない場合は連結部材ＣＰと呼ぶ。図６は、複数の単位ユニットＵ（格子状軌道Ｒ）を連結する連結部材ＣＰを側面から見た図である。図６に示すように、連結部材ＣＰ１は、接続部Ｃの上部に、複数の単位ユニットＵを連結可能に設けられる。具体的には、１つの連結部材ＣＰ１は、４つの接続部Ｃを連結することで、４つの単位ユニットＵを連結可能である。また、連結部材ＣＰ２は、交差軌道Ｒ３の下部に、複数の単位ユニットＵを連結可能に設けられる。具体的には、１つの連結部材ＣＰ２は、それぞれ異なる単位ユニットＵの交差軌道Ｒ３の４つを連結することで、４つの単位ユニットＵを連結可能である。なお、連結部材ＣＰの中央部には、吊り下げ部材Ｈが貫通する。これらにより、格子状軌道Ｒは、天井等から吊り下げられた状態になる。
　図７は、連結部材ＣＰ１の平面図である。図８は、連結部材ＣＰ２の平面図である。なお、図７及び図８では、単位ユニットＵの接続部Ｃを破線で示している。図７に示すように、連結部材ＣＰ１には、吊り下げ部材Ｈを通す吊り下げ部材用の孔Ｈｈ１と、接続部Ｃにピンを通すピン用の孔Ｐｈａ１と、連結部材ＣＰ１と接続部Ｃとをボルト等の部材で固定するボルト用の孔Ｂｈａ１、Ｂｈｂ１とを有する。孔Ｐｈａ１、孔Ｂｈａ１、及び孔Ｂｈｂ１は、１つの連結部材ＣＰ１において４つ配置される。また、図７に示す４つの連結部材ＣＰ１は、それぞれ同様の構成である。なお、連結部材ＣＰ１の形状等は一例であり、図示のとおりに形成されなくてもよい。図８に示すように、連結部材ＣＰ２には、吊り下げ部材Ｈを通す吊り下げ部材用の孔Ｈｈ２と、交差軌道Ｒ３にピンを通すピン用の孔Ｐｈａ２と、連結部材ＣＰ２と交差軌道Ｒ３（さらには接続部Ｃ）とをボルト等の部材で固定するボルト用の孔Ｂｈａ２とを有する。孔Ｐｈａ２と孔Ｂｈａ２とは、１つの連結部材ＣＰ２において４つ配置される。また、図８に示す４つの連結部材ＣＰ２は、それぞれ同様の構成である。なお、連結部材ＣＰ２の形状等は一例であり、図示のとおりに形成されなくてもよい。
　図９は、連結部材ＣＰにピンを通す例を示す側面図である。図９に示すように、連結部材ＣＰ１を介して接続部Ｃに通すピンＰ１は、接続部Ｃに形成された止まり孔Ｈａ１（突き抜けていない孔）と嵌合する。また、連結部材ＣＰ２を介して軌道Ｒ（交差軌道Ｒ３）に通すピンＰ２は、軌道Ｒに形成された止まり孔Ｈａ２と嵌合する。連結部材ＣＰ１と連結部材ＣＰ２とで、上下方向（Ｚ方向）において異なる位置にピンＰ１、Ｐ２を配置する場合、単位ユニットＵは、ピンＰ１、Ｐ２を中心に回転することはなく、連結部材ＣＰ１、ＣＰ２の中心が回転中心となる。また、図９とは異なり、例えば連結部材ＣＰ１と連結部材ＣＰ２とで、上下方向（Ｚ方向）において同位置にピンＰ１、Ｐ２を配置してもよい。上下方向において同位置にピンＰ１、Ｐ２を配置する場合、単位ユニットＵは、ピンＰ１、Ｐ２を中心に回転可能である。このように、ピンＰ１、Ｐ２の位置は、いずれの位置であってもよい。
　図１０は、実施形態に係る走行部及び連結部の例を示す図である。図１０Ａは平面図であり、図１０Ｂは正面図である。図１０に示すように、連結部３０の支持部材３１には、ガイド部収容部３１ａが設けられる。ガイド部４０は、格子状軌道Ｒに対する連結部３０の位置ずれを抑制し、ひいては格子状軌道Ｒに対する本体部１０の位置ずれを抑制する。ガイド部４０は、本体部１０の上面１７ａの４つのコーナー部１０ａに配置されるそれぞれの連結部３０に設けられる（図１及び図２参照）。ガイド部４０は、走行車輪２１が第１軌道Ｒ１を走行する第１状態においては、第１ガイド面Ｇ１及び第１接続ガイド面Ｇ３ａに沿って移動する。ガイド部４０は、走行車輪２１が第２軌道Ｒ２を走行する第２状態においては、第２ガイド面Ｇ２及び第２接続ガイド面Ｇ３ｂに沿って移動する。本体部１０が走行中である状況において、ガイド部４０は、第１ガイド面Ｇ１又は第２ガイド面Ｇ２に当接した状態であってもよいし、第１ガイド面Ｇ１又は第２ガイド面Ｇ２に対して間隙を空けた状態であってもよい。
　ガイド部４０は、支持部材３１のガイド部収容部３１ａに収容されるガイドローラ４１を有する。ガイドローラ４１は、ガイド部収容部３１ａに収容され、－Ｘ側の端部がガイド部収容部３１ａから突出した状態で配置される。ガイドローラ４１は、ローラ軸４１ａによりＺ軸まわりに回転可能に支持される。ローラ軸４１ａは、ガイド部収容部３１ａの内部に固定され、Ｚ方向に平行に配置される。
　なお、ローラ軸４１ａは、例えば弾性部材により支持される構成でもよい。この構成により、ガイドローラ４１は、Ｘ方向に移動可能且つ回転可能に支持され、ガイドローラ４１が第１ガイド面Ｇ１等に当たった衝撃を弾性部材により吸収することができる。また、ガイドローラ４１は、ガイドローラ４１を回転させる駆動源を有しない従動ローラである。但し、ガイドローラ４１を本体部１０の走行方向に合わせて回転駆動させる駆動部を備えてもよい。
　ガイドローラ４１は、走行車輪２１の車軸２１ａと、本体部１０との間の高さの位置に配置される。なお、第１ガイド面Ｇ１及び第２ガイド面Ｇ２は、走行車輪２１の車軸２１ａと、本体部１０との間の高さの位置に配置される。ガイドローラ４１は、連結部３０において、第１ガイド面Ｇ１及び第２ガイド面Ｇ２の高さに対応した位置に配置される。ガイドローラ４１が、走行車輪２１の車軸２１ａと、本体部１０との間の高さの位置に配置されることにより、連結部３０又は走行部２０における上下方向の寸法が高くなることが抑制され、建屋等の天井近傍におけるスペース効率の低下が防止される。
　ローラ軸４１ａが連結部３０に設けられることから、ガイド部４０（ガイドローラ４１）は、方向転換機構３４により走行車輪２１の向きを変更する際、すなわち、方向転換機構３４により連結部３０を旋回させる際、走行車輪２１の旋回とともに旋回軸ＡＸ２まわりに旋回する。従って、走行車輪２１が第１軌道Ｒ１を走行する第１状態では、ガイドローラ４１は、第１ガイド面Ｇ１及び第１接続ガイド面Ｇ３ａに対向した状態となる。また、走行車輪２１が第２軌道Ｒ２を走行する第２状態では、ガイドローラ４１は、第２ガイド面Ｇ２及び第２接続ガイド面Ｇ３ｂに対向した状態となる。このように、走行車輪２１の走行状態を切り換えるための方向転換機構３４を用いて、ガイドローラ４１を旋回させるため、ガイドローラ４１を旋回させるための別の機構を設ける必要がなく、本体部１０の構成が複雑になるのを防止できる。
　図１１は、実施形態に係る第１軌道、第２軌道、及び交差軌道と、ガイドローラとの位置関係の例を示す平面図である。図１２は、実施形態に係る走行車輪を旋回させたときのガイド部（ガイドローラ）の例を示す平面図である。図１１及び図１２では、支持部材３１のガイド部収容部３１ａの記載を省略する。図１１及び図１２に示すように、ガイドローラ４１は、支持部材３１のガイド部収容部３１ａから突出した部分が、第１軌道Ｒ１の側面である第１ガイド面Ｇ１、第２軌道Ｒ２の側面である第２ガイド面Ｇ２、及び、交差軌道Ｒ３の側面である第１接続ガイド面Ｇ３ａと第２接続ガイド面Ｇ３ｂとに接触可能である。ここで、ガイドローラ４１は、交差軌道Ｒ３において例えば面取りが施された非当接面Ｇ３ｃには当接しない。非当接面Ｇ３ｃは、第１接続ガイド面Ｇ３ａから第２接続ガイド面Ｇ３ｂにガイドローラ４１が移動する際に、ガイドローラ４１が当接しない形状であればよく、例えば当接しない程度の面取りが施されている。例えば、図１１及び図１２において、非当接面Ｇ３ｃは、二段の面取りで、各面取りの接続が滑らかな形状である場合を例に挙げる。
　図１１に示すように、本体部１０が第１方向Ｄ１に走行する場合（走行車輪２１が第１軌道Ｒ１上を転動する第１状態である場合）、ガイドローラ４１は、第１ガイド面Ｇ１又は第１接続ガイド面Ｇ３ａに沿って移動する。この第１状態において、ガイドローラ４１は、ガイド部収容部３１ａから突出した部分が第１ガイド面Ｇ１及び第１接続ガイド面Ｇ３ａに接触可能である。なお、ガイドローラ４１は、第１ガイド面Ｇ１及び第１接続ガイド面Ｇ３ａに接触した際に回転可能であるため、本体部１０の走行中において接触時の摩擦抵抗が軽減され、パーティクルの発生を抑制しつつ、走行駆動部３３の負担が増加することを抑制できる。
　なお、図１１に示す状態で本体部１０が第２方向Ｄ２に移動した場合、ガイドローラ４１が第１ガイド面Ｇ１又は第１接続ガイド面Ｇ３ａに当たることにより、本体部１０の第２方向Ｄ２への位置ずれが規制される。すなわち、本体部１０には、第２方向Ｄ２に一対のガイドローラ４１があり、相対向する第１ガイド面Ｇ１又は第１接続ガイド面Ｇ３ａにガイドローラ４１が当接するため、本体部１０の＋Ｙ方向及び－Ｙ方向への位置ずれが抑制される。従って、本体部１０の第１方向Ｄ１の走行中はもちろん、本体部１０が格子状軌道Ｒのいずれかに停止しているときも、第２方向Ｄ２への位置ずれを規制できる。
　図１２に示すように、方向転換機構３４は、本体部１０が第１方向Ｄ１に走行している状態から、本体部１０を第２方向Ｄ２に沿って走行させる場合（走行車輪２１が第２軌道Ｒ２上を転動する第２状態とする場合）、走行車輪２１を旋回させる。このとき、ガイドローラ４１は、方向転換機構３４により連結部３０が旋回することにより、旋回軸ＡＸ２まわりに旋回する。具体的には、ガイドローラ４１は、第１接続ガイド面Ｇ３ａから第２接続ガイド面Ｇ３ｂに移動する。このとき、ガイドローラ４１は、例えば面取りが施された非当接面Ｇ３ｃに当接することなく、第１接続ガイド面Ｇ３ａから第２接続ガイド面Ｇ３ｂに移動する。
　図１２に示すように、ガイドローラ４１が第２接続ガイド面Ｇ３ｂに沿った状態に移動することにより、本体部１０は、本体部１０を第２方向Ｄ２に沿って走行可能な状態（走行車輪２１が第２軌道Ｒ２上を転動する第２状態）となる。この第２状態において、ガイドローラ４１は、ガイド部収容部３１ａから突出した部分が第２ガイド面Ｇ２及び第２接続ガイド面Ｇ３ｂに接触可能である。なお、ガイドローラ４１は、第２ガイド面Ｇ２及び第２接続ガイド面Ｇ３ｂに接触した際に回転可能であるため、本体部１０の走行中において接触時の摩擦抵抗が軽減され、走行駆動部３３の負担が増加することを抑制できる。
　なお、図１２に示す状態で本体部１０が第１方向Ｄ１に移動した場合、ガイドローラ４１が第２ガイド面Ｇ２又は第２接続ガイド面Ｇ３ｂに当たることにより、本体部１０の第１方向Ｄ１への位置ずれが規制される。すなわち、本体部１０には、第１方向Ｄ１に一対のガイドローラ４１があり、相対向する第２ガイド面Ｇ２又は第２接続ガイド面Ｇ３ｂにガイドローラ４１が当接するため、本体部１０の＋Ｘ方向及び－Ｘ方向への位置ずれが抑制される。従って、本体部１０の第２方向Ｄ２の走行中はもちろん、本体部１０が格子状軌道Ｒのいずれかに停止しているときも、第１方向Ｄ１への位置ずれを抑制できる。
　図１３は、実施形態に係る格子状軌道とガイドローラとの位置関係の例を示す側面図である。図１３に示すように、４つのガイドローラ４１のうち走行方向に並ぶ２つのガイドローラ４１の間隔Ｌ１は、第１方向Ｄ１又は第２方向Ｄ２において隣り合う間隙Ｄの間隔Ｌ２とは異なるように設定される。この構成により、走行方向に並ぶ２つのガイドローラ４１が同時に間隙Ｄに位置する状態を防止できる。図１３に示す例では、ガイドローラ４１の間隔Ｌ１が間隙Ｄの間隔Ｌ２よりも大きい場合を示しているが、この形態に限定されず、ガイドローラ４１の間隔Ｌ１が間隙Ｄの間隔Ｌ２よりも小さくてもよい。
　次に、実施形態に係る走行車システムＳＹＳにおいて、走行車１００が走行方向を変更する場合を説明する。図１４～図１７は、実施形態に係る走行車の走行方向を第１方向から第２方向に変更する動作の例を示す図である。図１４に示すように、第１軌道Ｒ１を第１方向Ｄ１（＋Ｘ方向又は－Ｘ方向）へ走行する走行車１００の本体部１０が、格子状軌道Ｒの１つの単位ユニットＵに達した位置（４つのコーナー部１０ａが交差軌道Ｒ３に差し掛かった位置）で走行車１００は停止する。すなわち、制御部５０は、上記の位置で走行駆動部３３の駆動を停止させる。このとき、４つの走行車輪２１は、いずれも交差軌道Ｒ３に接触した状態である。また、４つのガイドローラ４１は、それぞれ交差軌道Ｒ３の第１接続ガイド面Ｇ３ａに沿った位置に配置される。
　図１５に示すように、制御部５０は、方向転換機構３４を駆動して連結部３０を旋回させ、４つのコーナー部１０ａに配置された走行車輪２１及び補助車輪２２のそれぞれを、旋回軸ＡＸ２を中心としてθＺ方向に旋回させる。このとき、対角に位置する走行車輪２１等は同一方向に旋回する。例えば、４つの走行車輪２１のうち、図中左上の走行車輪２１等と、図中右下の走行車輪２１等は時計まわりに旋回する。一方、図中右上の走行車輪２１等と、図中左下の走行車輪２１等は反時計まわりに旋回する。なお、このような旋回動作は、同一のタイミングで行われてもよいし異なるタイミングで行われてもよい。例えば、図中左上及び右下の走行車輪２１等を先に同時に旋回させ、その後、図中右上及び左下の走行車輪２１等を同時に旋回させてもよい。
　走行車輪２１及び補助車輪２２の旋回時において、４つのガイドローラ４１は、連結部３０と一体となってそれぞれ旋回軸ＡＸ２まわりに旋回し、非当接面Ｇ３ｃに当接することなく移動する。また、走行車輪２１等の旋回とガイドローラ４１の旋回とを、共通の方向転換機構３４により行うため、ガイドローラ４１の方向を転換するための構成を別途設けなくてもよく、本体部１０の構成が複雑になるのを回避している。
　図１６は、実施形態に係る旋回時におけるガイドローラの例を示す図である。図１６に示すように、４つの走行車輪２１の旋回動作を同一のタイミングで行うことにより、連結部３０に設けられる４つのガイドローラ４１は、同期してその向きを変える。この結果、本体部１０は、走行車輪２１の旋回動作時（ステアリング時）において、ガイドローラ４１のそれぞれが交差軌道Ｒ３（非当接面Ｇ３ｃ）に当接しないように構成されることで、当接させる誘い込み形状を設ける場合と比較して、旋回時の衝撃を和らげることができる。換言すると、本体部１０は、旋回時にガイドローラ４１が交差軌道Ｒ３（非当接面Ｇ３ｃ）に当接しないため、ガイドローラ４１を交差軌道Ｒ３（非当接面Ｇ３ｃ）に当接させる誘い込み形状を設ける場合と比較して、誘い込みに起因する衝撃を和らげ、衝撃に起因する位置ずれの発生を抑制することができる。
　図１７に示すように、制御部５０は、各走行車輪２１等がそれぞれθＺ方向に９０度旋回した後、方向転換機構３４の駆動を停止させる。この状態で走行駆動部３３を駆動することにより、走行車１００は、第２方向Ｄ２（＋Ｙ方向又は－Ｙ方向）に走行可能となる。なお、４つのガイドローラ４１は、それぞれ交差軌道Ｒ３の第２接続ガイド面Ｇ３ｂに沿った位置に配置される。また、本体部１０は、走行車輪２１等が旋回した場合でも旋回しない。従って、走行車１００が第１方向Ｄ１に走行する場合、又は、第２方向Ｄ２に走行する場合のいずれであっても、本体部１０の向きは変更されない。
　図１８は、実施形態に係る非当接面の他の例を示す図である。図１８Ａに示すように、交差軌道Ｒ３の非当接面Ｇ３ｃは、上述した二段の面取りとは異なる一段の面取りが施されてもよい。図１８Ａでは、上述した二段の面取りを破線で表している。一段の面取りが施された非当接面Ｇ３ｃは、上述した実施形態と同様に、旋回時にガイドローラ４１に当接しない。図１８Ｂに示すように、交差軌道Ｒ３の非当接面Ｇ３ｃは、その全体が曲面で形成されてもよい。このとき、非当接面Ｇ３ｃは、上述した実施形態と同様に、旋回時にガイドローラ４１に当接しない。図１８Ｂでは、旋回時にガイドローラ４１に当接する連続面を破線で表している。非当接面Ｇ３ｃの形状は、ガイドローラ４１の旋回時に、ガイドローラ４１に当接しない形状であればよいが、補助車輪２２が走行面Ｒ１ａ、Ｒ２ａ、Ｒ３ａに接触して、走行車輪２１の落ち込みを抑制しているため、好ましくは、走行車輪２１の落ち込みを抑制できる程度の面取りや曲面で形成される。
　図１９は、実施形態に係る単位ユニットの構成例を示す図である。図１９Ａ～図１９Ｃに示すように、単位ユニットＵ（単位ユニットＵの上部、接続部Ｃ）は、いくつかの部材により構成される。各部材同士は、ボルト等により直接連結される。例えば、図１９Ａに示すように、単位ユニットＵ（単位ユニットＵの上部、接続部Ｃ）は、一方の第１軌道Ｒ１及び１つの交差軌道Ｒ３を含む部材、他方の第１軌道Ｒ１及び１つの交差軌道Ｒ３を含む部材、一方の第２軌道Ｒ２及び１つの交差軌道Ｒ３を含む部材、他方の第２軌道Ｒ２及び１つの交差軌道Ｒ３を含む部材の組み合わせで構成されてもよい。例えば、図１９Ｂに示すように、単位ユニットＵ（単位ユニットＵの上部、接続部Ｃ）は、一方の第１軌道Ｒ１を含む部材、他方の第１軌道Ｒ１を含む部材、一方の第２軌道Ｒ２を含む部材、他方の第２軌道Ｒ２を含む部材、１つの交差軌道Ｒ３を含む４つの部材の組み合わせで構成されてもよい。例えば、図１９Ｃに示すように、単位ユニットＵ（単位ユニットＵの上部、接続部Ｃ）は、一方の第１軌道Ｒ１を含む部材、他方の第１軌道Ｒ１を含む部材、一方の第２軌道Ｒ２及び２つの交差軌道Ｒ３を含む部材、他方の第２軌道Ｒ２及び２つの交差軌道Ｒ３を含む部材の組み合わせで構成されてもよい。図１９Ａ～図１９Ｃは一例であり、いくつの部材で単位ユニットＵを構成してもよい。
　このように、実施形態に係る走行車システムＳＹＳによれば、単位ユニットＵを格子状軌道Ｒの格子の１つのマス目として、複数の単位ユニットＵの連結により格子状軌道Ｒが形成されるので、格子の形状を均一にしやすく、天井等からの据付位置の調整を要することなく、吊り下げられる軌道の設置が容易である。また、隣接する２個の単位ユニットＵ間で、第１軌道Ｒ１同士、第２軌道Ｒ２同士が当接するので、単位ユニットＵが軌道で（点ではなく線又は面で）接するため、隣接する単位ユニットＵ間の位置関係が定まりやすく、走行車１００が格子状軌道Ｒを走行するときの振動への影響を少なくすることができる。また、４個の交差軌道Ｒ３のそれぞれの上方又は下方の位置で、他の単位ユニットＵと連結する連結部材ＣＰを有するので、より多くの単位ユニットＵ（４つの単位ユニットＵ）をより少ない数の連結部材ＣＰで連結することで、単位ユニットＵ間の位置精度が高く、連結にかかる手間を削減でき、連結を容易に行うことができる。また、４個の交差軌道Ｒ３のそれぞれのガイド面において、旋回時にガイドローラ４１に当接しない非当接面Ｇ３ｃを含むので、ガイドローラ４１の旋回時においてガイドローラ４１が誘い込まれることによる衝撃を和らげることができ、衝撃による走行車１００の位置ずれを抑制することができる。
　以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明の技術的範囲は、上述した実施形態に限定されない。上述した実施形態に、多様な変更又は改良を加えることが可能であることは当業者において明らかである。また、そのような変更又は改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれる。上述した実施形態等で説明した要件の１つ以上は、省略されることがある。また、上述した実施形態等で説明した要件は、適宜組み合わせることができる。また、法令で許容される限りにおいて、上述した実施形態等で引用した全ての文献の開示を援用して本文の記載の一部とする。例えば、格子状軌道Ｒの形状は、正方形ではなく（正方形だけではなく）、長方形や平行四辺形であってもよい。また、ガイドローラ４１は含まれなくてもよい。
　なお、本発明の技術範囲は、上述の実施形態などで説明した態様に限定されない。上述の実施形態などで説明した要件の１つ以上は、省略されることがある。また、上述の実施形態などで説明した要件は、適宜組み合わせることができる。また、法令で許容される限りにおいて、日本特許出願である特願２０２１－０９３８３３、及び上述の実施形態などで引用した全ての文献の開示を援用して本文の記載の一部とする。
Ｃ・・・接続部
ＣＰ・・・連結部材
Ｄ・・・間隙
Ｄ１・・・第１方向
Ｄ２・・・第２方向
Ｇ１・・・第１ガイド面
Ｇ２・・・第２ガイド面
Ｇ３ａ・・・第１接続ガイド面
Ｇ３ｂ・・・第２接続ガイド面
Ｇ３ｃ・・・非当接面
Ｒ・・・格子状軌道
Ｒ１・・・第１軌道
Ｒ２・・・第２軌道
Ｒ３・・・交差軌道
ＳＹＳ・・・走行車システム
Ｕ・・・単位ユニット
２１・・・走行車輪（走行輪）
４１・・・ガイドローラ（ガイド輪）
１００・・・走行車

Claims (6)

  1. 　吊り下げ式の格子状軌道と、前記格子状軌道を走行する走行車と、を備える走行車システムであって、
    　前記格子状軌道は、格子の１つのマス目に対応する単位ユニットを備え、
    　前記単位ユニットは、
    　第１方向に平行に延在する２本の第１軌道と、前記第１方向とは異なる第２方向に平行に延在する２本の第２軌道と、前記２本の第１軌道のそれぞれの前記第１方向への延長線と前記２本の第２軌道のそれぞれの前記第２方向への延長線との交差点に対応し、前記２本の第１軌道のそれぞれ及び前記２本の第２軌道のそれぞれと間隔を隔てて設けられた４個の交差軌道と、前記４個の交差軌道のそれぞれを前記２本の第１軌道のそれぞれ及び前記２本の第２軌道のそれぞれと接続する接続部と、を有し、
    　前記格子状軌道は、複数の前記単位ユニットの連結によって形成され、連結された２個の前記単位ユニット間で前記４個の交差軌道のうち２個の交差軌道が連続している、走行車システム。
  2. 　前記格子状軌道は、
    　前記第１方向に連結された２個の前記単位ユニット間で前記２本の第２軌道のうち１本の第２軌道が当接し、
    　前記第２方向に連結された２個の前記単位ユニット間で前記２本の第１軌道のうち１本の第１軌道が当接する、請求項１に記載の走行車システム。
  3. 　前記単位ユニットは、前記４個の交差軌道のそれぞれの上方又は下方の位置で他の単位ユニットと連結可能である、請求項１又は請求項２に記載の走行車システム。
  4. 　前記走行車は、走行輪とガイド輪とを備え、
    　前記単位ユニットは、前記２本の第１軌道のそれぞれ、前記２本の第２軌道のそれぞれ、及び前記４個の交差軌道のそれぞれの側面に、前記ガイド輪を案内するガイド面を備え、
    　前記４個の交差軌道のそれぞれの前記ガイド面は、前記走行車による走行方向の転換に伴う前記ガイド輪の旋回時に、前記ガイド輪に当接しない形状である、請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の走行車システム。
  5. 　第１方向に平行に延在する２本の第１軌道と、
    　前記第１方向とは異なる第２方向に平行に延在する２本の第２軌道と、
    　前記２本の第１軌道のそれぞれの前記第１方向への延長線と前記２本の第２軌道のそれぞれの前記第２方向への延長線との交差点に対応し、前記２本の第１軌道のそれぞれ及び前記２本の第２軌道のそれぞれと間隔を隔てて設けられた４個の交差軌道と、
    　前記４個の交差軌道のそれぞれを前記２本の第１軌道のそれぞれ及び前記２本の第２軌道のそれぞれと接続する接続部と、
    　を有する単位ユニット。
  6. 　走行車が走行する吊り下げ式の格子状軌道であって、
    　第１方向に平行に延在する２本の第１軌道と、前記第１方向とは異なる第２方向に平行に延在する２本の第２軌道と、前記２本の第１軌道のそれぞれの前記第１方向への延長線と前記２本の第２軌道のそれぞれの前記第２方向への延長線との交差点に対応し、前記２本の第１軌道のそれぞれ及び前記２本の第２軌道のそれぞれと間隔を隔てて設けられた４個の交差軌道と、前記４個の交差軌道のそれぞれを前記２本の第１軌道のそれぞれ及び前記２本の第２軌道のそれぞれと接続する接続部と、を有する単位ユニットを、格子の１つのマス目として備え、
    　複数の前記単位ユニットの連結によって形成され、連結された２個の前記単位ユニット間で前記４個の交差軌道のうち２個の交差軌道が連続している、格子状軌道。
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Citations (5)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012040961A (ja) * 2010-08-19 2012-03-01 Daifuku Co Ltd 物品搬送設備
JP2019081639A (ja) * 2017-10-31 2019-05-30 村田機械株式会社 搬送システム
WO2020110522A1 (ja) 2018-11-28 2020-06-04 村田機械株式会社 走行車システム
JP2021011322A (ja) * 2019-07-03 2021-02-04 村田機械株式会社 搬送システム
JP2021093833A (ja) 2019-12-10 2021-06-17 日立Astemo株式会社 電子制御装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012040961A (ja) * 2010-08-19 2012-03-01 Daifuku Co Ltd 物品搬送設備
JP2019081639A (ja) * 2017-10-31 2019-05-30 村田機械株式会社 搬送システム
WO2020110522A1 (ja) 2018-11-28 2020-06-04 村田機械株式会社 走行車システム
JP2021011322A (ja) * 2019-07-03 2021-02-04 村田機械株式会社 搬送システム
JP2021093833A (ja) 2019-12-10 2021-06-17 日立Astemo株式会社 電子制御装置

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