WO2019151172A1 - 駆動装置、および、流体制御装置 - Google Patents

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健二朗 岡口
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株式会社村田製作所
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    • F04B2203/0402—Voltage

Definitions

  • the present invention relates to a driving device for driving a piezoelectric element.
  • Patent Document 1 describes a driving device for a piezoelectric element.
  • the drive device described in Patent Document 1 includes a drive circuit unit and a current limiting circuit unit.
  • the current limiting circuit unit prevents an overcurrent flowing through the piezoelectric element.
  • an object of the present invention is to realize an efficient drive device while limiting the current to the piezoelectric element.
  • the drive device of the present invention is a drive device that controls the drive of the piezoelectric element.
  • the drive device includes a voltage adjustment circuit, a drive signal generation circuit, a current limiting circuit, and a voltage control circuit.
  • the voltage adjustment circuit outputs driving voltage.
  • the drive signal generation circuit receives the drive voltage output from the voltage adjustment circuit and generates a drive signal to the piezoelectric element using the drive voltage.
  • the current limiting circuit receives a driving current corresponding to the driving voltage output from the driving signal generation circuit, limits the driving current to a predetermined current or less, and generates a current control voltage.
  • the voltage control circuit receives the current limiting voltage output from the current limiting circuit, and outputs a control signal for controlling the driving voltage to the voltage adjustment circuit based on the current control voltage.
  • the drive device of the present invention preferably has the following configuration.
  • the drive device further includes a temperature detection unit.
  • the temperature detector detects the temperature of the piezoelectric element and generates a temperature adjusting voltage.
  • the voltage control circuit outputs a control signal for controlling the drive voltage based on the current control voltage and the temperature adjustment voltage.
  • the temperature increase of the piezoelectric pump is suppressed by controlling the driving voltage and current based on the temperature of the piezoelectric pump.
  • the drive device of the present invention preferably has the following configuration.
  • the voltage adjustment circuit, the drive signal generation circuit, the current limiting circuit, and the voltage control circuit are mounted on the same circuit board.
  • the drive device becomes small and can be manufactured at low cost.
  • the temperature detection unit includes a mounting type temperature sensor element.
  • the temperature sensor element is mounted on the circuit board.
  • the temperature of the piezoelectric pump including the piezoelectric element is indirectly detected.
  • the temperature sensor element is disposed in the vicinity of the current limiting circuit.
  • the drive signal generation circuit may be constituted by a self-excited analog circuit.
  • the drive circuit of the piezoelectric pump is configured without using a digital IC or the like.
  • the voltage control circuit is composed of a resistance element connected to the driving signal generation circuit.
  • the voltage control circuit can be realized with a simple configuration, and unnecessary oscillation of the self-excited drive signal generation circuit is suppressed.
  • the drive device of the present invention may have the following configuration, for example.
  • the voltage control circuit is a digital circuit using the output of the current limiting circuit.
  • the voltage of the drive signal generation circuit is limited by digital processing.
  • the fluid control device of the present invention includes any one of the above-described driving devices and a piezoelectric pump including a piezoelectric element.
  • the driving efficiency for the piezoelectric element can be improved while limiting the current to the piezoelectric element.
  • FIG. 1 is a functional block diagram of a fluid control apparatus 1 including a driving apparatus 10 according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 2A is a graph showing the relationship between the current and resistance to the piezoelectric pump when the current is limited and when the current is not limited, and FIG. 2B is the current-voltage limit. It is a graph which shows the total electric power of the fluid control apparatus 1 in the case where it is the case (this application structure) and the case where a current voltage limitation is not performed (comparative structure).
  • FIG. 3A is a graph showing the output voltage of the drive signal generation circuit when the current / voltage limitation is performed (configuration of the present application) and when the current / voltage limitation is not performed (comparative configuration), and FIG. FIG.
  • FIG. 3C is a graph showing the voltage of the current limiting circuit 13 when current voltage limitation is performed (configuration of the present application) and when current voltage limitation is not performed (comparative configuration).
  • FIG. It is a graph which shows the pump current in the case where it performs (this application structure) and the case where current voltage limitation is not performed (comparative structure).
  • FIG. 4 is a functional block diagram of a fluid control apparatus 1A including a drive apparatus 10A according to the second embodiment of the present invention.
  • FIG. 5A is a graph showing the time change of temperature when current, voltage, and temperature are limited, and when current, voltage, and temperature are not limited.
  • FIG. 5B is a graph that limits current, voltage, and temperature.
  • FIG. 6 is a graph showing the relationship between the efficiency of the piezoelectric pump 20 and the temperature of the piezoelectric pump 20.
  • FIG. 7 is a graph showing the correlation between the surface temperature of the piezoelectric pump 20 and the temperature of the circuit board.
  • FIG. 8 is a functional block diagram of a fluid control device 1B including a drive device 10B according to the third embodiment of the present invention.
  • FIG. 9 is a circuit diagram showing an example of a driving apparatus 10B according to the third embodiment of the present invention.
  • FIG. 10 is a circuit diagram showing an example of a main drive circuit of the drive signal generation circuit 12 in the drive apparatus 10B according to the third embodiment of the present invention.
  • FIG. 11 is a functional block diagram of a fluid control apparatus 1C including a drive apparatus 10C according to the fourth embodiment of the present invention.
  • FIG. 12 is a circuit diagram showing an example of a driving apparatus 10D according to the fifth embodiment of the present invention.
  • FIG. 13 is a circuit diagram showing an example of a driving apparatus 10E according to the sixth embodiment of the present invention.
  • FIG. 1 is a functional block diagram of a fluid control apparatus 1 including a drive apparatus 10 according to the first embodiment of the present invention.
  • the fluid control device 1 includes a drive device 10, a piezoelectric pump 20, and a power supply 30.
  • the fluid control apparatus 1 is employed in application devices such as a milking machine, an NPWT (Negative pressure wound therapy) device, a nasal aspirator, and a sphygmomanometer.
  • the fluid control device 1 can be applied to any device that uses a fluid such as air sucked and discharged by the piezoelectric pump 20.
  • connection of a plurality of functional units is simply referred to as “connection”.
  • the driving device 10 generates a predetermined voltage and a predetermined current drive signal for driving the piezoelectric pump 20 using the voltage from the power supply 30 and outputs the drive signal to the piezoelectric pump 20.
  • the piezoelectric pump 20 includes a piezoelectric element. The piezoelectric element is driven in accordance with a drive signal, thereby realizing fluid suction and discharge operations.
  • the drive device 10 includes a voltage adjustment circuit 11, a drive signal generation circuit 12, a current limiting circuit 13, and a voltage control circuit 14.
  • the voltage adjustment circuit 11 is connected to the power supply 30, the drive signal generation circuit 12, and the voltage control circuit 14.
  • the drive signal generation circuit 12 is connected to the voltage adjustment circuit 11 and the current limiting circuit 13, and is connected to the piezoelectric pump 20.
  • the current limiting circuit 13 is connected to the drive signal generation circuit 12 and the voltage control circuit 14.
  • the voltage control circuit 14 is connected to the current limiting circuit 13 and the voltage adjustment circuit 11.
  • the voltage adjusting circuit 11 is a so-called booster circuit, step-down circuit, or step-up / step-down circuit.
  • the voltage adjustment circuit 11 adjusts the input voltage from the power supply 30 and outputs the adjusted voltage to the drive signal generation circuit 12. This adjusted voltage corresponds to the “driving voltage” of the present invention.
  • the input or output of the voltage adjustment circuit 11 may be direct current or alternating current.
  • the drive signal generation circuit 12 is realized by, for example, a self-excitation type or a separate excitation type analog circuit.
  • the drive signal generation circuit 12 generates a drive signal (control signal) having a drive frequency based on the resonance frequency of the piezoelectric pump 20 with a predetermined voltage and a predetermined current using the adjusted voltage, and outputs the drive signal to the piezoelectric pump 20. .
  • the current limiting circuit 13 is constituted by an analog circuit using a plurality of transistors, for example.
  • the current limiting circuit 13 limits the current of the drive signal generation circuit 12.
  • the current limiting circuit 13 outputs a voltage corresponding to the limited current to the voltage control circuit 14.
  • the current flowing from the drive signal generating circuit 12 to the current limiting circuit 13 corresponds to the “drive current” of the present invention.
  • the voltage control circuit 14 includes, for example, a resistance element connected between the current limiting circuit 13 and a circuit unit that determines the adjustment voltage in the voltage adjustment circuit 11.
  • the voltage control circuit 14 outputs a control voltage for limiting to the voltage adjusting circuit 11 using the output voltage of the current limiting circuit 13.
  • the control voltage for restriction is a voltage for controlling the output voltage of the voltage adjustment circuit 11 so that the adjusted voltage (the output voltage of the voltage adjustment circuit 11) does not reach a predetermined upper limit voltage.
  • the output voltage of the current limiting circuit 13 corresponds to the “current control voltage” of the present invention.
  • the drive signal output from the drive device 10 is a signal with limited current and voltage. Therefore, the drive device 10 can suppress the supply of overcurrent and overvoltage to the piezoelectric pump 20. Thereby, the drive efficiency of the piezoelectric pump 20 is improved. Moreover, damage to the piezoelectric pump 20 is suppressed, and the reliability of the piezoelectric pump 20 and the fluid control device 1 is improved.
  • FIG. 2A is a graph showing the relationship between the current to the piezoelectric pump 20 and the resistance when the current is limited and when the current is not limited.
  • the vertical axis represents the current supplied to the piezoelectric pump 20
  • the horizontal axis represents the impedance of the piezoelectric pump.
  • FIG. 2B is a graph showing the total power of the fluid control device 1 when current voltage limitation is performed (configuration of the present application) and when current voltage limitation is not performed (comparison configuration).
  • the vertical axis represents the total amount of power supplied to the fluid control device
  • the horizontal axis represents the impedance of the piezoelectric pump.
  • FIG. 3A is a graph showing the output voltage of the drive signal generation circuit 12 when the current voltage limit is performed (configuration of the present application) and when the current voltage limit is not performed (comparison configuration).
  • FIG. 3B is a graph showing the voltage of the current limiting circuit when current voltage limitation is performed (configuration of the present application) and when current voltage limitation is not performed (comparative configuration).
  • FIG. 3C is a graph showing the pump current when the current / voltage limitation is performed (configuration of the present application) and when the current / voltage limitation is not performed (comparative configuration).
  • the vertical axis represents the output voltage (voltage after boost: voltage after adjustment) of the voltage adjustment circuit 11
  • the horizontal axis represents the impedance of the piezoelectric pump.
  • the vertical axis represents the voltage of the current limiting circuit 13
  • the horizontal axis represents the impedance of the piezoelectric pump.
  • the vertical axis represents the current supplied to the piezoelectric pump 20, and the horizontal axis represents the impedance of the piezoelectric pump 20.
  • the current supplied to the piezoelectric pump 20 is set to a predetermined upper limit value (100 [mA] in the case of FIG. 2A) as shown in FIG. Can be limited to not reach.
  • This upper limit value is set according to the specifications for driving the piezoelectric pump 20 and the piezoelectric element, and is set by the upper limit of the current value at which the piezoelectric pump 20 and the piezoelectric element continue to operate normally as a pump. Thereby, the overcurrent to the piezoelectric pump 20 is limited.
  • the voltage supplied to the drive signal generation circuit 12 is suppressed as the current increases. This is because, when the current flowing through the drive signal generation circuit 12 exceeds the above-described upper limit value, the overcurrent flows into the current limit circuit 13, and the voltage of the current limit circuit 13 increases as shown in FIG. .
  • the increased voltage is output to the voltage control circuit 14, and the control voltage corresponding to the increased voltage is supplied from the voltage control circuit 14 to the voltage adjustment circuit 11.
  • the voltage adjustment circuit 11 reduces the output voltage (adjusted voltage) in accordance with the control limit voltage. Thereby, the voltage supplied to the drive signal generation circuit 12 is suppressed.
  • FIG. 4 is a functional block diagram of a fluid control apparatus 1A including a drive apparatus 10A according to the second embodiment of the present invention.
  • the driving apparatus 10A according to the second embodiment is different from the driving apparatus 10 according to the first embodiment in that a voltage control circuit 14A and a temperature detection circuit 15 are provided.
  • the other configuration of the driving device 10A is the same as that of the driving device 10, and the description of the same parts is omitted.
  • the fluid control device 1 ⁇ / b> A includes a driving device 10 ⁇ / b> A, a piezoelectric pump 20, and a power supply 30.
  • the fluid control device 1A is different from the fluid control device 1 according to the first embodiment in that the drive device 10A is provided, and the other basic configuration is the same as the fluid control device 1.
  • the drive device 10A includes a voltage adjustment circuit 11, a drive signal generation circuit 12, a current limiting circuit 13, a voltage control circuit 14A, and a temperature detection circuit 15.
  • the temperature detection circuit 15 includes a temperature sensor that directly or indirectly detects the temperature of the piezoelectric pump 20.
  • the temperature detection circuit 15 generates a detection voltage corresponding to the temperature of the piezoelectric pump 20 and outputs the detection voltage to the voltage control circuit 14A.
  • This temperature detection circuit corresponds to the “temperature detection section” of the present invention, and this detection voltage corresponds to the “temperature adjustment voltage” of the present invention.
  • the voltage control circuit 14 ⁇ / b> A gives a control voltage for restriction to the voltage adjustment circuit 11 based on the voltage corresponding to the current restricted by the current restriction circuit 13 and the detection voltage from the temperature detection circuit 15.
  • the output voltage (adjusted voltage) of the voltage adjustment circuit 11 is adjusted so that the temperature of the piezoelectric pump 20 does not reach the upper limit value.
  • FIG. 5 (A) is a graph showing changes in temperature with time when current, voltage, and temperature limits are performed and when they are not performed.
  • FIG. 5B is a graph showing changes over time in the discharge pressure of the piezoelectric pump 20 when the current, voltage, and temperature are limited or not.
  • the horizontal axis is the elapsed time (minutes), and the vertical axis is the temperature.
  • the horizontal axis represents elapsed time (time), and the vertical axis represents pressure (discharge pressure).
  • a thick solid line performs current limitation, voltage limitation, and temperature limitation
  • a thin solid line performs current limitation and voltage limitation to perform temperature limitation. When there is no limit, a broken line indicates a case where current limit, voltage limit, and temperature limit are not performed.
  • the temperature of the piezoelectric pump 20 is unnecessary by performing the current limitation, the voltage limitation, and the temperature limitation as compared with the case where the current limitation, the voltage limitation, and the temperature limitation are not performed.
  • the rise can be suppressed.
  • FIG. 5B by performing the current limitation, the voltage limitation, and the temperature limitation, the discharge of the piezoelectric pump 20 is performed as compared with the case where the current limitation, the voltage limitation, and the temperature limitation are not performed.
  • the start time of pressure drop can be delayed. That is, by performing the current limitation, the voltage limitation, and the temperature limitation, the discharge pressure of the piezoelectric pump 20 can be maintained longer than when the current limitation, the voltage limitation, and the temperature limitation are not performed.
  • the current limitation and voltage limitation are performed, and the piezoelectric pump 20 is not subjected to temperature limitation.
  • An unnecessary increase in temperature can be suppressed, and the discharge pressure of the piezoelectric pump 20 can be maintained longer. That is, the capacity of the piezoelectric pump 20 is reduced when the temperature is high, but a decrease in the capacity of the piezoelectric pump 20 can be suppressed by suppressing an unnecessary increase in temperature.
  • FIG. 6 is a graph showing the relationship between the efficiency of the piezoelectric pump 20 and the temperature of the piezoelectric pump 20.
  • the horizontal axis represents the discharge pressure of the piezoelectric pump 20, and the vertical axis represents the efficiency.
  • the thick solid line indicates the case where the temperature of the piezoelectric pump 20 is 0 ° C.
  • the thin solid line indicates the case where the temperature of the piezoelectric pump 20 is 25 ° C.
  • the broken line indicates that the temperature of the piezoelectric pump 20 is 50 ° C. Show the case.
  • the efficiency of the piezoelectric pump 20 can be improved by limiting the current, voltage, and temperature.
  • the temperature sensor element of the temperature detection circuit 15 is disposed in the vicinity of the current limiting circuit 13. More specifically, the temperature sensor element is preferably arranged at a position closer to the current limiting circuit 13 than other circuits constituting the driving device 10A. Thereby, the temperature detection sensitivity with respect to the current limiting circuit 13 of the temperature sensor element is improved, and the temperature sensor element can measure the temperature of the current limiting circuit 13 more accurately.
  • FIG. 7 is a graph showing the correlation between the surface temperature of the piezoelectric pump 20 and the temperature of the circuit board.
  • the horizontal axis represents the surface temperature of the piezoelectric pump 20, and the vertical axis represents the temperature of the circuit element.
  • the solid line indicates the temperature of the temperature sensor of the temperature detection circuit 15, and the broken line indicates the surface temperature of the transistors constituting the current limiting circuit 13.
  • the temperature sensor is disposed in the vicinity of the transistor constituting the current limiting circuit 13.
  • the temperature of the transistor and the temperature of the piezoelectric pump 20 have a correlation as shown in FIG. Furthermore, as shown in FIG. 7, the temperature of the temperature sensor and the temperature of the piezoelectric pump 20 have the same correlation as in the case of the transistor.
  • the temperature of the piezoelectric pump 20, the temperature of the transistor constituting the current limiting circuit 13, and the temperature of the temperature sensor of the temperature detection circuit 15 have a correlation.
  • the temperature of the piezoelectric pump 20 can be indirectly detected by detecting the temperature of the transistor of the current limiting circuit 13 by the temperature sensor.
  • the temperature of the piezoelectric pump 20 can be indirectly detected by arranging a temperature sensor for the transistor of the current limiting circuit 13 to such an extent that such a correlation is obtained.
  • FIG. 8 is a functional block diagram of a fluid control device 1B including a drive device 10B according to the third embodiment of the present invention.
  • the driving apparatus 10B according to the third embodiment is different from the driving apparatus 10 according to the first embodiment in that a current limiting circuit 13B and a voltage control circuit 14B are provided.
  • the other structure of the drive device 10B is the same as that of the drive device 10, and description of the same part is abbreviate
  • the fluid control device 1B includes a drive device 10B, a piezoelectric pump 20, and a power source 30.
  • the fluid control device 1B is different from the fluid control device 1 according to the first embodiment in that the drive device 10B is provided, and the other basic configuration is the same as that of the fluid control device 1.
  • the driving device 10B includes a voltage adjusting circuit 11, a driving signal generating circuit 12, a current limiting circuit 13B, and a voltage control circuit 14B.
  • the current limiting circuit 13B is connected to the input terminal of the adjusted voltage in the drive signal generating circuit 12.
  • the voltage control circuit 14B is composed of a resistance element, as will be described later.
  • FIG. 9 is a circuit diagram showing an example of a driving apparatus according to the third embodiment of the present invention.
  • FIG. 9 shows a case where a booster circuit is used as the voltage adjustment circuit 11.
  • the drive device 10B includes a voltage adjustment circuit 11, a drive signal generation circuit 12, a current limiting circuit 13B, a voltage control circuit 14B, and a control voltage generation IC 19.
  • the drive signal generation circuit 12 includes a pre-stage circuit 121 and a main drive circuit 122.
  • the voltage adjustment circuit 11 includes a semiconductor element Q1, a diode D1, a capacitor C1, a capacitor C2, a capacitor C3, an inductor L1, a resistance element R1, a resistance element R2, and a resistance element R3.
  • the semiconductor element Q1 is configured by an FET (Field Effect Transistor).
  • the one end of the capacitor C1 is connected to the power supply 30, and the other end of the capacitor C1 is connected to the reference potential.
  • the one end of the inductor L1 is connected to one end of the capacitor C1, and the other end of the inductor L1 is connected to the drain of the semiconductor element Q1.
  • the source of the semiconductor element Q1 is connected to a reference potential (the other end of the capacitor C1).
  • a switch control voltage from the control voltage generation IC 19 is applied to the gate of the semiconductor element Q1.
  • the anode of the diode D1 is connected to the other end of the inductor L1 (the drain of the semiconductor element Q1), and the cathode of the diode D1 is connected to one end of the resistor element R1 and one end of the capacitor C2.
  • the other end of the resistance element R1 is connected to one end of the resistance element R2 and serves as an output terminal of the voltage adjustment circuit 11.
  • the other end of the resistor element R2 is connected to one end of the resistor element R3, and the other end of the resistor element R3 is connected to a reference potential.
  • the other end of the capacitor C2 is connected to the other end of the resistance element R2. This connection point is connected to a terminal for boost feedback (application terminal for boost feedback voltage VFB) of the control voltage generation IC 19.
  • One end of the capacitor C3 is connected to the output terminal of the voltage adjustment circuit 11 (the other end of the resistance element R1), and the other end is connected to the reference potential.
  • a boost chopper circuit is realized by such a circuit configuration.
  • a resistance element R91 is connected to the power supply 30, and the other end of the resistance element R91 is connected to the VDD terminal of the control voltage generation IC 19. As a result, power is supplied to the control voltage generation IC 19.
  • One end of a capacitor C91 is connected to the other end of the resistor element R91, and the other end of the capacitor C91 is connected to a reference potential.
  • the circuit including the resistor element R91 and the capacitor C91 is a low-pass filter for noise removal, and can be omitted.
  • the Vs terminal of the control voltage generation IC 19 is connected to the power supply 30.
  • a switch element SW1 is connected between the power supply 30 and the other end of the resistance element R1.
  • the switch element SW1 When the switch element SW1 is open, the voltage adjustment circuit 11 operates. When the switch element SW1 is short-circuited, the voltage adjustment circuit 11 does not operate.
  • the switch element SW1 can be omitted if the voltage of the power supply 30 is lower than the desired voltage for driving the piezoelectric pump 20 and the circuit configuration requires boosting.
  • the current limiting circuit 13B includes a semiconductor element Q2, a semiconductor element Q3, a capacitor C4, a resistance element R4, and a resistance element R5.
  • the semiconductor element Q2 is a transistor and the semiconductor element Q3 is an FET. However, these may be transistors or FETs.
  • the one end of the resistance element R4 corresponds to the input end and the output end of the current limiting circuit 13B, and is connected to the output terminal of the voltage adjustment circuit 11, that is, the other end of the resistance element R1. In addition, one end of the resistance element R4 is connected to the input end of the drive signal generation circuit 12.
  • the base of the semiconductor element Q2 is connected to the other end of the resistance element R4.
  • the emitter of the semiconductor element Q2 is connected to the gate of the semiconductor element Q3, and the collector is connected to the reference potential via the capacitor C4.
  • the drain of the semiconductor element Q3 is connected to the gate of the semiconductor element Q2.
  • the source of the semiconductor element Q3 is connected to the reference potential.
  • the emitter of the semiconductor element Q2 and the gate of the semiconductor element Q3 are connected to the reference potential via the resistance element R5.
  • the voltage control circuit 14B includes a resistance element R10. One end of the resistor element R10 is connected to the collector of the semiconductor element Q2 of the current limiting circuit 13B. The other end of the resistance element R10 is connected to a connection point between the resistance element R2 and the resistance element R3 in the voltage adjustment circuit 11.
  • the voltage at one end of the resistance element R10 of the voltage control circuit 14B increases, and the potential at the other end (control limit voltage) also increases.
  • the output voltage (voltage after boosting) of the voltage adjusting circuit 11 is Vc
  • the boosting feedback voltage VFB the voltage at one end of the resistance element R10 of the voltage control circuit 14B
  • the resistance of the resistance element R2 When the value is R2, the resistance value of the resistance element R3 is R3, and the resistance value of the resistance element R10 is R10, Vc is expressed by the following equation.
  • the output voltage (voltage after boosting) of the voltage adjustment circuit 11 decreases according to the voltage increased by performing current limiting.
  • the input voltage of the drive signal generation circuit 12 can be suppressed, and the current limitation and voltage limitation to the piezoelectric pump 20 as described above can be realized.
  • the drive signal generation circuit 12 is realized by the circuits shown in FIGS. 9 and 10 as an example.
  • FIG. 10 is a circuit diagram showing an example of the main drive circuit of the drive signal generation circuit in the drive apparatus according to the third embodiment of the present invention.
  • the drive signal generation circuit 12 includes the pre-stage circuit 121 and the main drive circuit 122.
  • the pre-stage circuit 121 includes a capacitor C21, a capacitor C22, a resistance element R21, and a resistance element R22.
  • Resistance element R21 and resistance element R22 are connected in series. Specifically, the other end of the resistance element R21 and one end of the resistance element R22 are connected.
  • One end of the resistor element R21 is an input terminal on the Hi side of the pre-stage circuit 121, and is connected to one end of the resistor element R4 of the current limiting circuit 13B.
  • the other end of the resistance element R22 is connected to one end of the resistance element R10 of the voltage control circuit 14B.
  • the capacitor C21 is connected in parallel to the resistor element R21, and the capacitor C22 is connected in parallel to the resistor element R22.
  • connection point (point of intermediate potential Vm) between resistance element R21 and resistance element R22 and the other end side (point of potential Vg) of resistance element R22 are connected to main drive circuit 122.
  • the main drive circuit 122 includes an operational amplifier U31, an operational amplifier U32, an operational amplifier U41, an operational amplifier U42, a full bridge circuit 220, a capacitor C31, a capacitor C32, a capacitor C33, a capacitor C34, a capacitor C35, a capacitor C36, and a resistance element.
  • R31, resistance element R32, resistance element R33, resistance element R34, resistance element R35, resistance element R36, resistance element R37, and resistance element R40 are provided.
  • the resistance element R31 and the capacitor C31 are connected in parallel.
  • the resistor element R32 and the capacitor C32 are connected in parallel.
  • the resistor element R33 and the capacitor C33 are connected in parallel.
  • the resistor element R34 and the capacitor C34 are connected in parallel.
  • the inverting input terminal of the operational amplifier U31 is connected to one end of a parallel circuit of a resistor element R31 and a capacitor C31.
  • the other end of the parallel circuit of the resistor element R31 and the capacitor C31 is connected to one end of a resistor element R40 for current detection of the piezoelectric pump 20.
  • the non-inverting input terminal of the operational amplifier U31 is connected to one end of a parallel circuit of a resistor element R33 and a capacitor C33.
  • the other end of the parallel circuit of the resistor element R33 and the capacitor C33 is connected to the other end of the resistor element R40 for current detection of the piezoelectric pump 20.
  • the non-inverting input terminal of the operational amplifier U31 is connected to a point of the intermediate potential Vm of the pre-stage circuit 121 through a parallel circuit of a resistor element R34 and a capacitor C34.
  • a parallel circuit of a resistance element R32 and a capacitor C32 is connected between the output terminal and the inverting input terminal of the operational amplifier U31.
  • the output terminal of the operational amplifier U31 is connected to the inverting input terminal of the operational amplifier U32 via the resistor element R35 and the capacitor C36.
  • a connection point between the resistor element R35 and the capacitor C36 is connected to a point of the potential Vg through the resistor element R36.
  • the connection point between the resistor element R35 and the capacitor C36 is connected to one end of the capacitor C35, and the other end of the capacitor C35 is connected to one end of the resistor element R37.
  • the other end of the resistor element R37 is connected to the inverting input terminal side of the operational amplifier U32 in the capacitor C36.
  • the non-inverting input terminal of the operational amplifier U32 is connected to the point of the intermediate potential Vm.
  • the output terminal of the operational amplifier U32 is connected to the non-inverting input terminal of the operational amplifier U41 and the inverting input terminal of the operational amplifier U42, and is connected to one end of the resistance element R37.
  • the inverting input terminal of the operational amplifier U41 and the non-inverting input terminal of the operational amplifier U42 are connected to a point of the intermediate potential Vm.
  • the output terminal of the operational amplifier U41 and the output terminal of the operational amplifier U42 are connected to the full bridge circuit 220.
  • the full bridge circuit 220 has a circuit configuration using four known semiconductor elements.
  • the first input terminal of the full bridge circuit 220 is connected to the output terminal of the operational amplifier U41, and the second input terminal is connected to the output terminal of the operational amplifier U42.
  • a series circuit of the piezoelectric pump 20 and the resistance element R40 is connected.
  • the resonance frequency of the drive signal generated by the drive signal generation circuit 12 is a frequency corresponding to the circuit constant of each circuit element constituting the piezoelectric pump 20 and the drive signal generation circuit 12. That is, the piezoelectric pump 20 can be driven at a desired drive frequency by appropriately setting circuit constants of the circuit elements constituting the drive signal generation circuit 12.
  • the driving device 10B can be realized by an analog circuit.
  • FIG. 11 is a functional block diagram of a fluid control apparatus 1C including a drive apparatus 10C according to the fourth embodiment of the present invention.
  • the drive device 10C according to the fourth embodiment is different from the drive device 10A according to the second embodiment in terms of a voltage control circuit 14C, an A / D converter 161, an A / D converter 162, And it differs in the point provided with the D / A converter 17.
  • the other configuration of the driving device 10C is the same as that of the driving device 10A, and the description of the same parts is omitted.
  • the voltage control circuit 14C is realized by a digital IC such as an MCU (Micro Control Unit).
  • MCU Micro Control Unit
  • the A / D converter 161 and the A / D converter 162 are circuits that convert analog signals into digital signals, and the D / A converter 17 is a circuit that converts digital signals into analog signals.
  • the current limiting circuit 13 outputs a voltage corresponding to the limited current to the voltage control circuit 14C via the A / D converter 161.
  • the temperature detection circuit 15 outputs a detection voltage corresponding to the temperature of the piezoelectric pump 20 to the voltage control circuit 14C via the A / D converter 162.
  • the voltage control circuit 14 ⁇ / b> C generates a control voltage for limiting the voltage adjusting circuit 11 based on the voltage corresponding to the limited current from the current limiting circuit 13 and the detected voltage from the temperature detecting circuit 15.
  • the voltage control circuit 14 ⁇ / b> C outputs the limiting control voltage to the voltage adjustment circuit 11 via the D / A converter 17.
  • the output voltage (adjusted voltage) from the voltage adjustment circuit 11 is limited.
  • the voltage control circuit 14C is configured by a digital circuit, the current limitation, the voltage limitation, and the temperature limitation to the piezoelectric pump 20 can be realized in the same manner as the driving device 10A described above.
  • the temperature detection circuit 15 and the A / D converter 162 can be omitted.
  • the voltage control circuit 14 of the driving apparatus 10 according to the first embodiment is replaced with a voltage control circuit 14C formed of a digital circuit.
  • FIG. 12 is a circuit diagram showing an example of a driving apparatus 10D according to the fifth embodiment of the present invention.
  • the driving device 10D is realized by, for example, an analog circuit shown in FIGS.
  • the driving device 10D is obtained by adding a circuit configuration of a temperature detection circuit 15D to the driving device 10B shown in FIG.
  • the current limiting circuit 13D in FIG. 12 is the same as the current limiting circuit 13B in FIG. 9, and the voltage control circuit 14D in FIG. 12 is the same as the voltage control circuit 14B in FIG.
  • the other circuit configuration of the driving device 10D is the same as that of the driving device 10B, and the description of the same parts is omitted.
  • the temperature detection circuit 15D includes a temperature sensor IC 151, an operational amplifier U51, a capacitor C51, a resistance element R51, a resistance element R52, and a resistance element R53.
  • the non-inverting input terminal of the operational amplifier U51 is connected to the temperature sensor IC 151.
  • the inverting input terminal of the operational amplifier U51 is connected to the reference potential via the resistance element R51.
  • the output terminal of the operational amplifier U51 is connected to the inverting input terminal of the operational amplifier U51 through a parallel circuit of a resistor element R52 and a capacitor C51.
  • the output terminal of the operational amplifier U51 is connected to a connection point between the resistance element R2 and the resistance element R3 in the voltage adjustment circuit 11 via the resistance element R53.
  • a signal including a detection voltage corresponding to the temperature of the piezoelectric pump 20 output from the temperature sensor IC 151 is smoothed, and is connected to a connection point between the resistance element R2 and the resistance element R3 in the voltage adjustment circuit 11. Applied.
  • the output voltage (voltage after boost) Vc of the voltage adjustment circuit 11 is limited (adjusted) based on the following (Equation 2).
  • Vt is the output voltage (detection voltage) of the temperature detection circuit 15D
  • R53 is the resistance value of the resistance element R53.
  • FIG. 13 is a circuit diagram showing an example of a driving apparatus 10E according to the sixth embodiment of the present invention.
  • the driving device 10E is realized by, for example, analog circuits shown in FIGS.
  • the driving device 10E is obtained by adding an external input terminal 16 to the driving device 10D shown in FIG.
  • the current limiting circuit 13E in FIG. 13 is the same as the current limiting circuit 13D in FIG. 12, and the voltage control circuit 14E in FIG. 13 is the same as the voltage control circuit 14D in FIG.
  • the other circuit configuration of the driving device 10E is the same as that of the driving device 10D, and description of the same parts is omitted.
  • the external input terminal 16 is connected to a connection point between the resistance element R2 and the resistance element R3 in the voltage adjustment circuit 11 via the resistance element R61.
  • the external control voltage Vu input from the external input terminal 16 is applied to the connection point between the resistance element R2 and the resistance element R3 in the voltage adjustment circuit 11 via the resistance element R61.
  • the output voltage (voltage after boost) Vc of the voltage adjustment circuit 11 is limited (adjusted) based on the following (Equation 3).
  • Vu is an external control voltage
  • R60 is a resistance value of the resistance element R61.
  • the boosted voltage can be adjusted as appropriate by the external control voltage Vu.
  • the above-described voltage adjustment circuit is not limited to the step-up chopper circuit, and may use a step-up circuit such as a synchronous rectification method, a charge pump method, or a linear regulator method, various step-down circuits, or various step-up / step-down circuits. Good.
  • the mode in which the circuit elements of the respective functional blocks constituting the driving device are mounted on the circuit board is preferable to mount on the same circuit board. Thereby, a drive device can be reduced in size and can be manufactured cheaply.

Abstract

駆動装置（１０）は、電圧調整回路（１１）、駆動信号生成回路（１２）、電流制限回路（１３）、および、電圧制御回路（１４）を備える。電圧調整回路（１１）は、電源電圧を調整して駆動用電圧を出力する。駆動信号生成回路（１２）は、駆動用電圧を用いて、圧電ポンプ（２０）の圧電素子への駆動信号を生成する。電流制限回路（１３）は、駆動用電圧に対応する駆動用電流を所定の電流以下に制限し、電流制御用電圧を発生する。電圧制御回路（１４）は、電流制御用電圧に基づいて駆動用電圧を制限する。

Description

駆動装置、および、流体制御装置
　本発明は、圧電素子を駆動する駆動装置に関する。
　現在、圧電ポンプのように、圧電素子を用いた装置が各種実用化されている。
　特許文献１には、圧電素子の駆動装置が記載されている。特許文献１に記載の駆動装置は、駆動回路部と電流制限回路部を備えている。電流制限回路部は、圧電素子に流れる過電流を防止している。
特開２００４－５６９１４号公報
　しかしながら、特許文献１に示す駆動装置では、電流の制限時に、制限した電流に応じた電力が電流制限回路部で消費される。このため、駆動装置では、不要な電力消費が発生してしまう。
　したがって、本発明の目的は、圧電素子への電流を制限しながら、効率の良い駆動装置を実現することにある。
　この発明の駆動装置は、圧電素子の駆動を制御する駆動装置である。駆動装置は、電圧調整回路、駆動信号生成回路、電流制限回路、および、電圧制御回路を備える。
　電圧調整回路は、駆動用電圧を出力する。駆動信号生成回路は、電圧調整回路より出力された駆動用電圧が入力され、駆動用電圧を用いて、圧電素子への駆動信号を生成する。電流制限回路は、駆動信号生成回路より出力された駆動用電圧に対応する駆動用電流が入力され、駆動用電流を所定の電流以下に制限し、電流制御用電圧を発生する。電圧制御回路は、電流制限回路より出力された電流制限用電圧が入力され、電流制御用電圧に基づいて電圧調整回路に駆動用電圧を制御する制御信号を出力する。
　この構成では、電圧制御回路によって駆動用電圧が制御されることで、電流が制限されても、電力の増加が抑制される。
　また、この発明の駆動装置は、次の構成であることが好ましい。駆動装置は、温度検出部をさらに備える。温度検出部は、圧電素子の温度を検出して、温度調整用電圧を発生する。電圧制御回路は、電流制御用電圧と温度調整用電圧とに基づいて、駆動用電圧を制御する制御信号を出力する。
　この構成では、圧電ポンプの温度に基づいて駆動用電圧および電流が制御されることによって、圧電ポンプの温度上昇が抑制される。
　また、この発明の駆動装置は、次の構成であることが好ましい。電圧調整回路、駆動信号生成回路、電流制限回路、および、電圧制御回路は、同一の回路基板に実装される。
　この構成では、駆動装置が小型になり、安価な製造が可能になる。
　また、この発明の駆動装置では、温度検出部は、実装型の温度センサ素子を備えていることが好ましい。また、温度センサ素子は、回路基板に実装されている。
　この構成では、圧電素子を含む圧電ポンプの温度が、間接的に検出される。
　また、この発明の駆動装置では、温度センサ素子は、電流制限回路に近接して配置されることが好ましい。
　この構成では、圧電ポンプの温度が正確に検出される。
　また、この発明の駆動装置では、例えば、駆動信号生成回路は、自励振型のアナログ回路によって構成されていてもよい。
　この構成では、デジタルＩＣ等を用いることなく、圧電ポンプの駆動回路が構成される。
　また、この発明の駆動装置では、電圧制御回路は、駆動信号生成回路に接続される抵抗素子からなることが好ましい。
　この構成では、電圧制御回路を簡素化な構成で実現でき、且つ、自励振型の駆動信号生成回路の不要な発振が抑制される。
　また、この発明の駆動装置では、例えば、次の構成であってもよい。電圧制御回路は、前記電流制限回路の出力を用いたデジタル回路である。
　この構成では、デジタル処理によって、駆動信号生成回路の電圧が制限される。
　また、この発明の流体制御装置では、上述のいずれかに記載の駆動装置と、圧電素子を備える圧電ポンプと、を備える。
　この構成では、効率の良い流体制御装置が実現される。
　この発明によれば、圧電素子への電流を制限しながら、圧電素子に対する駆動効率を改善できる。
図１は本発明の第１の実施形態に係る駆動装置１０を含む流体制御装置１の機能ブロック図である。 図２（Ａ）は、電流制限を行った場合と電流制限を行わない場合での圧電ポンプへの電流と抵抗との関係を示すグラフであり、図２（Ｂ）は、電流電圧制限を行った場合（本願構成）と電流電圧制限を行わない場合（比較構成）での流体制御装置１の総電力を示すグラフである。 図３（Ａ）は、電流電圧制限を行った場合（本願構成）と電流電圧制限を行わない場合（比較構成）での駆動信号生成回路の出力電圧を示すグラフであり、図３（Ｂ）は、電流電圧制限を行った場合（本願構成）と電流電圧制限を行わない場合（比較構成）での電流制限回路１３の電圧を示すグラフであり、図３（Ｃ）は、電流電圧制限を行った場合（本願構成）と電流電圧制限を行わない場合（比較構成）でのポンプ電流を示すグラフである。 図４は本発明の第２の実施形態に係る駆動装置１０Ａを含む流体制御装置１Ａの機能ブロック図である。 図５（Ａ）は、電流、電圧、温度制限を行った場合、および、行わなかった場合の温度の時間変化を示すグラフであり、図５（Ｂ）は、電流、電圧、温度制限を行った場合、および、行わなかった場合の圧電ポンプ２０の吐出圧力の時間変化を示すグラフである。 図６は圧電ポンプ２０の効率と圧電ポンプ２０の温度との関係を示すグラフである。 図７は圧電ポンプ２０の表面温度を回路基板の温度との相関関係を示すグラフである。 図８は本発明の第３の実施形態に係る駆動装置１０Ｂを含む流体制御装置１Ｂの機能ブロック図である。 図９は本発明の第３の実施形態に係る駆動装置１０Ｂの一例を示す回路図である。 図１０は本発明の第３の実施形態に係る駆動装置１０Ｂにおける駆動信号生成回路１２のメイン駆動回路の一例を示す回路図である。 図１１は本発明の第４の実施形態に係る駆動装置１０Ｃを含む流体制御装置１Ｃの機能ブロック図である。 図１２は本発明の第５の実施形態に係る駆動装置１０Ｄの一例を示す回路図である。 図１３は本発明の第６の実施形態に係る駆動装置１０Ｅの一例を示す回路図である。
　本発明の第１の実施形態に係る駆動装置について、図を参照して説明する。図１は、本発明の第１の実施形態に係る駆動装置１０を含む流体制御装置１の機能ブロック図である。
　図１に示すように、流体制御装置１は、駆動装置１０、圧電ポンプ２０、および、電源３０を備える。流体制御装置１は、例えば、搾乳機、ＮＰＷＴ（Ｎｅｇａｔｉｖｅ　ｐｒｅｓｓｕｒｅ　ｗｏｕｎｄ　ｔｈｅｒａｐｙ）デバイス、鼻水吸引機、血圧計等のアプリケーション機器に採用されている。流体制御装置１は、これらの機器以外にも、圧電ポンプ２０によって吸入、吐出される空気等の流体を利用する機器であれば、適用できる。
　駆動装置１０と電源３０とは電気的に接続されており、駆動装置１０と圧電ポンプ２０とは電気的に接続されている。電源３０は、例えば、電池である。なお、以下の説明では、複数の機能部の「電気的な接続」を、単に「接続」と記載する。
　駆動装置１０は、電源３０からの電圧を用いて、圧電ポンプ２０を駆動する所定電圧および所定電流の駆動信号を生成し、圧電ポンプ２０に出力する。圧電ポンプ２０は、圧電素子を備え、駆動信号に応じて圧電素子が駆動されることによって、流体の吸入、吐出の動作を実現する。
　駆動装置１０は、電圧調整回路１１、駆動信号生成回路１２、電流制限回路１３、および、電圧制御回路１４を備える。
　電圧調整回路１１は、電源３０、駆動信号生成回路１２、および、電圧制御回路１４に接続されている。駆動信号生成回路１２は、電圧調整回路１１と電流制限回路１３とに接続されており、圧電ポンプ２０に接続されている。電流制限回路１３は、駆動信号生成回路１２と電圧制御回路１４とに接続されている。電圧制御回路１４は、電流制限回路１３と電圧調整回路１１とに接続されている。
　電圧調整回路１１は、所謂、昇圧回路、降圧回路、または、昇降圧回路からなる。電圧調整回路１１は、電源３０からの入力電圧を調整して、調整後電圧を駆動信号生成回路１２に出力する。この調整後電圧が、本発明の「駆動用電圧」に対応する。なお、電圧調整回路１１の入力または出力は、直流または交流でもよい。
　駆動信号生成回路１２は、例えば、自励振型または他励振型のアナログ回路によって実現される。駆動信号生成回路１２は、調整後電圧を用いて、所定電圧および所定電流で、圧電ポンプ２０の共振周波数に基づいた駆動周波数からなる駆動信号（制御信号）を生成し、圧電ポンプ２０に出力する。
　電流制限回路１３は、例えば複数のトランジスタを用いたアナログ回路によって構成される。電流制限回路１３は、駆動信号生成回路１２の電流を制限する。電流制限回路１３は、制限した電流に応じた電圧を、電圧制御回路１４に出力する。なお、この駆動信号生成回路１２から電流制限回路１３に流れる電流が、本発明の「駆動用電流」に対応する。
　電圧制御回路１４は、例えば、電流制限回路１３と電圧調整回路１１における調整用電圧を決定する回路部との間に接続された抵抗素子等からなる。電圧制御回路１４は、電流制限回路１３の出力電圧を用いて、制限用の制御電圧を電圧調整回路１１に出力する。制限用の制御電圧は、調整後電圧（電圧調整回路１１の出力電圧）が所定の上限電圧に達しないように電圧調整回路１１の出力電圧を制御するための電圧である。なお、この電流制限回路１３の出力電圧が、本発明の「電流制御用電圧」に対応する。
　このような構成によって、駆動装置１０から出力される駆動信号は、電流および電圧が制限された信号となる。したがって、駆動装置１０は、圧電ポンプ２０への過電流および過電圧の供給を抑制できる。これにより、圧電ポンプ２０の駆動効率は向上する。また、圧電ポンプ２０の破損が抑制され、圧電ポンプ２０および流体制御装置１の信頼性は向上する。
　図２（Ａ）は、電流制限を行った場合と電流制限を行わない場合での圧電ポンプ２０への電流と抵抗との関係を示すグラフである。図２（Ａ）において、縦軸は、圧電ポンプ２０に供給される電流を表し、横軸は圧電ポンプのインピーダンスを表す。図２（Ｂ）は、電流電圧制限を行った場合（本願構成）と電流電圧制限を行わない場合（比較構成）での流体制御装置１の総電力を示すグラフである。図２（Ｂ）において、縦軸は、流体制御装置に供給される総電力量を表し、横軸は圧電ポンプのインピーダンスを表す。
　図３（Ａ）は、電流電圧制限を行った場合（本願構成）と電流電圧制限を行わない場合（比較構成）での駆動信号生成回路１２の出力電圧を示すグラフである。図３（Ｂ）は、電流電圧制限を行った場合（本願構成）と電流電圧制限を行わない場合（比較構成）での電流制限回路の電圧を示すグラフである。図３（Ｃ）は、電流電圧制限を行った場合（本願構成）と電流電圧制限を行わない場合（比較構成）でのポンプ電流を示すグラフである。図３（Ａ）において、縦軸は、電圧調整回路１１の出力電圧（昇圧後電圧：調整後電圧）を表し、横軸は圧電ポンプのインピーダンスを表す。図３（Ｂ）において、縦軸は、電流制限回路１３の電圧を表し、横軸は圧電ポンプのインピーダンスを表す。図３（Ｃ）において、縦軸は、圧電ポンプ２０に供給される電流を表し、横軸は圧電ポンプ２０のインピーダンスを表す。
　駆動装置１０に電流制限回路１３を備えることによって、図２（Ａ）に示すように、圧電ポンプ２０に供給される電流を、所定の上限値（図２（Ａ）の場合１００［ｍＡ］）に達しないように制限できる。この上限値は、圧電ポンプ２０および圧電素子の駆動の仕様に応じて設定されており、圧電ポンプ２０および圧電素子が、ポンプとして正常に動作し続ける電流値の上限によって設定されている。これにより、圧電ポンプ２０への過電流が制限される。
　さらに、駆動装置１０に電圧制御回路１４を備えることによって、図３（Ａ）に示すように、電流の増加に伴って、駆動信号生成回路１２に供給される電圧が抑制される。これは、駆動信号生成回路１２に流れる電流が上述の上限値を超えると、過電流分が電流制限回路１３に流れ、図３（Ｂ）に示すように、電流制限回路１３の電圧が上昇する。この上昇分の電圧は、電圧制御回路１４に出力され、電圧制御回路１４からは、上昇分の電圧に応じた制御用の制限電圧が電圧調整回路１１に供給される。電圧調整回路１１は、この制御用の制限電圧に応じて、出力電圧（調整後電圧）を低下させる。これにより、駆動信号生成回路１２に供給される電圧が抑制される。
　この結果、圧電ポンプ２０に供給される電流と電圧が上限値で制限されることによって、図２（Ｂ）に示すように、流体制御装置１の総電力を抑制できる。
　一方で、図３（Ｃ）に示すように、圧電ポンプ２０に供給される電流は、維持されるため、圧電ポンプ２０の出力は維持される。
　次に、第２の実施形態に係る駆動装置について、図を参照して説明する。図４は、本発明の第２の実施形態に係る駆動装置１０Ａを含む流体制御装置１Ａの機能ブロック図である。
　図４に示すように、第２の実施形態に係る駆動装置１０Ａは、第１の実施形態に係る駆動装置１０に対して、電圧制御回路１４Ａ、および、温度検出回路１５を備える点において異なる。駆動装置１０Ａの他の構成は、駆動装置１０と同様であり、同様の箇所の説明は省略する。
　図４に示すように、流体制御装置１Ａは、駆動装置１０Ａ、圧電ポンプ２０、および、電源３０を備える。流体制御装置１Ａは、駆動装置１０Ａを備える点で第１の実施形態に係る流体制御装置１と異なり、他の基本的な構成は、流体制御装置１と同様である。
　駆動装置１０Ａは、電圧調整回路１１、駆動信号生成回路１２、電流制限回路１３、電圧制御回路１４Ａ、および、温度検出回路１５を備える。
　温度検出回路１５は、圧電ポンプ２０の温度を直接または間接的に検出する温度センサを含む。温度検出回路１５は、圧電ポンプ２０の温度に応じた検出電圧を生成して、電圧制御回路１４Ａに出力する。この温度検出回路が、本発明の「温度検出部」に対応し、この検出電圧が、本発明の「温度調整用電圧」に対応する。
　電圧制御回路１４Ａは、電流制限回路１３によって制限された電流に応じた電圧と温度検出回路１５からの検出電圧とに基づいて、電圧調整回路１１への制限用の制御電圧を与える。
　このような構成とすることによって、圧電ポンプ２０の温度が上限値に達しないように、電圧調整回路１１の出力電圧（調整後電圧）が調整される。
　図５（Ａ）は、電流、電圧、温度制限を行った場合、および、行わなかった場合の温度の時間変化を示すグラフである。図５（Ｂ）は、電流、電圧、温度制限を行った場合、および、行わなかった場合の圧電ポンプ２０の吐出圧力の時間変化を示すグラフである。
　図５（Ａ）において、横軸は経過時間（分）であり、縦軸は温度である。図５（Ｂ）において、横軸は経過時間（時間）であり、縦軸は圧力（吐出圧力）である。図５（Ａ）、図５（Ｂ）において、太実線は、電流制限、電圧制限、および、温度制限を行った場合、細実線は、電流制限、および、電圧制限を行い、温度制限を行わなかった場合、破線は、電流制限、電圧制限、および、温度制限を行わなかった場合を示す。
　図５（Ａ）に示すように、電流制限、電圧制限、および、温度制限を行うことによって、電流制限、電圧制限、および、温度制限を行わない場合よりも、圧電ポンプ２０の温度の不要な上昇を抑制できる。これによって、図５（Ｂ）に示すように、電流制限、電圧制限、および、温度制限を行うことによって、電流制限、電圧制限、および、温度制限を行わない場合よりも、圧電ポンプ２０の吐出圧力の低下の開始時間を遅くできる。すなわち、電流制限、電圧制限、および、温度制限を行うことによって、電流制限、電圧制限、および、温度制限を行わない場合よりも、圧電ポンプ２０の吐出圧力をより長く維持できる。
　また、図５（Ａ）に示すように、電流制限、電圧制限、および、温度制限を行うことによって、電流制限、および、電圧制限を行い、温度制限を行わない場合よりも、圧電ポンプ２０の温度の不要な上昇を抑制でき、圧電ポンプ２０の吐出圧力をより長く維持できる。すなわち、圧電ポンプ２０は、高温になると能力が低下してしまうが、温度の不要な上昇を抑制することによって、圧電ポンプ２０の能力低下を抑制できる。
　なお、図５（Ａ）に示すように、電流制限、および、電圧制限を行い、温度制限を行わない場合であっても、電流制限、電圧制限、および、温度制限を行わない場合よりも、圧電ポンプ２０の温度の不要な上昇を抑制でき、圧電ポンプ２０の吐出圧力をより長く維持できる。
　また、電流制限、電圧制限、および、温度制限を行うことによって、圧電ポンプ２０の効率を向上できる。図６は、圧電ポンプ２０の効率と圧電ポンプ２０の温度との関係を示すグラフである。図６において、横軸は圧電ポンプ２０の吐出圧力を表し、縦軸は効率を表す。図６において、太実線は、圧電ポンプ２０の温度が０℃の場合を示し、細実線は、圧電ポンプ２０の温度が２５℃の場合を示し、破線は、圧電ポンプ２０の温度が５０℃の場合を示す。
　図６に示すように、圧電ポンプ２０がどのような吐出圧力であっても、圧電ポンプ２０の温度が低いことによって、効率が高くなる。したがって、電流制限、電圧制限、および、温度制限を行うことによって、圧電ポンプ２０の効率を向上できる。
　なお、圧電ポンプ２０の温度を直接検出することは容易ではないが、各機能ブロックを構成する回路素子を実装型部品等で実現して回路基板に実装し、電流制限回路１３の温度を測定することによって、圧電ポンプ２０の温度を間接的に検出することができる。この際、温度検出回路１５の温度センサ素子は、電流制限回路１３に近接して配置されていることが好ましい。より具体的には、温度センサ素子は、駆動装置１０Ａを構成する他の回路よりも、電流制限回路１３に近い位置に配置されていることが好ましい。これにより、温度センサ素子の電流制限回路１３に対する温度検出感度が向上し、温度センサ素子は、電流制限回路１３の温度をより正確に測定できる。
　図７は、圧電ポンプ２０の表面温度を回路基板の温度との相関関係を示すグラフである。図７において、横軸は圧電ポンプ２０の表面温度を表し、縦軸は回路素子の温度を表す。図７において、実線は温度検出回路１５の温度センサの温度を示し、破線は電流制限回路１３を構成するトランジスタの表面温度を示す。温度センサは、電流制限回路１３を構成するトランジスタの近傍に配置されている。
　電流制限回路１３を用いた構成では、図７に示すように、トランジスタの温度と圧電ポンプ２０の温度とは相関関係を有する。さらに、図７に示すように、温度センサの温度と圧電ポンプ２０の温度とは、トランジスタの場合と同様の相関関係を有する。
　したがって、圧電ポンプ２０の温度と、電流制限回路１３を構成するトランジスタの温度と、温度検出回路１５の温度センサの温度とは、相関関係を有する。これにより、温度センサによって電流制限回路１３のトランジスタの温度を検出することによって、圧電ポンプ２０の温度を間接的に検出できる。言い換えれば、このような相関関係が得られる程度に、電流制限回路１３のトランジスタに対して、温度センサを配置することによって、圧電ポンプ２０の温度を間接的に検出できる。
　次に、本発明の第３の実施形態に係る駆動装置について、図を参照して説明する。図８は、本発明の第３の実施形態に係る駆動装置１０Ｂを含む流体制御装置１Ｂの機能ブロック図である。
　図８に示すように、第３の実施形態に係る駆動装置１０Ｂは、第１の実施形態に係る駆動装置１０に対して、電流制限回路１３Ｂ、および、電圧制御回路１４Ｂを備える点において異なる。駆動装置１０Ｂの他の構成は、駆動装置１０と同様であり、同様の箇所の説明は省略する。
　図８に示すように、流体制御装置１Ｂは、駆動装置１０Ｂ、圧電ポンプ２０、および、電源３０を備える。流体制御装置１Ｂは、駆動装置１０Ｂを備える点で第１の実施形態に係る流体制御装置１と異なり、他の基本的な構成は、流体制御装置１と同様である。
　駆動装置１０Ｂは、電圧調整回路１１、駆動信号生成回路１２、電流制限回路１３Ｂ、および、電圧制御回路１４Ｂを備える。
　電流制限回路１３Ｂは、駆動信号生成回路１２における調整後電圧の入力端に接続されている。電圧制御回路１４Ｂは、後述するように、抵抗素子からなる。
　このような駆動装置１０Ｂは、例えば、図９、図１０に示すアナログ回路によって実現される。図９は、本発明の第３の実施形態に係る駆動装置の一例を示す回路図である。なお、図９では、電圧調整回路１１として昇圧回路を用いる場合を示している。
　図９に示すように、駆動装置１０Ｂは、電圧調整回路１１、駆動信号生成回路１２、電流制限回路１３Ｂ、電圧制御回路１４Ｂ、および、制御電圧発生ＩＣ１９を備える。駆動信号生成回路１２は、前段回路１２１とメイン駆動回路１２２とを備える。
　電圧調整回路１１は、半導体素子Ｑ１、ダイオードＤ１、キャパシタＣ１、キャパシタＣ２、キャパシタＣ３、インダクタＬ１、抵抗素子Ｒ１、抵抗素子Ｒ２、および、抵抗素子Ｒ３を備える。半導体素子Ｑ１は、ＦＥＴ（電界効果トランジスタ）によって構成されている。
　キャパシタＣ１の一方端は、電源３０に接続され、キャパシタＣ１の他方端は、基準電位との間に接続されている。
　インダクタＬ１の一方端は、キャパシタＣ１の一方端に接続され、インダクタＬ１の他方端は、半導体素子Ｑ１のドレインに接続されている。半導体素子Ｑ１のソースは、基準電位（キャパシタＣ１の他方端）に接続されている。半導体素子Ｑ１のゲートには、制御電圧発生ＩＣ１９からのスイッチ制御電圧が印加される。
　ダイオードＤ１のアノードは、インダクタＬ１の他方端（半導体素子Ｑ１のドレイン）に接続されており、ダイオードＤ１のカソードは、抵抗素子Ｒ１の一方端およびキャパシタＣ２の一方端に接続されている。
　抵抗素子Ｒ１の他方端は、抵抗素子Ｒ２の一方端に接続されるとともに、電圧調整回路１１の出力端子となる。抵抗素子Ｒ２の他方端は、抵抗素子Ｒ３の一方端に接続され、抵抗素子Ｒ３の他方端は、基準電位に接続されている。また、キャパシタＣ２の他方端は、抵抗素子Ｒ２の他方端に接続されている。この接続点は、制御電圧発生ＩＣ１９の昇圧フィードバック用の端子（昇圧用のフィードバック電圧ＶＦＢの印加端子）に接続されている。
　キャパシタＣ３の一方端は、電圧調整回路１１の出力端子（抵抗素子Ｒ１の他方端）に接続されており、他方端は、基準電位に接続されている。
　このような回路構成によって、昇圧チョッパー回路が実現される。
　なお、電源３０には、抵抗素子Ｒ９１の一方端が接続され、抵抗素子Ｒ９１の他方端は、制御電圧発生ＩＣ１９のＶＤＤ端子に接続されている。これにより、制御電圧発生ＩＣ１９に電源供給される。抵抗素子Ｒ９１の他方端には、キャパシタＣ９１の一方端が接続され、キャパシタＣ９１の他方端は、基準電位に接続されている。なお、これら抵抗素子Ｒ９１とキャパシタＣ９１からなる回路は、ノイズ除去用のローパスフィルタであり、省略が可能である。また、制御電圧発生ＩＣ１９のＶｓ端子は、電源３０に接続されている。
　なお、電源３０と抵抗素子Ｒ１の他方端との間には、スイッチ素子ＳＷ１が接続されている。スイッチ素子ＳＷ１が開放の場合、電圧調整回路１１が動作し、スイッチ素子ＳＷ１が短絡の場合、電圧調整回路１１は動作しない。このスイッチ素子ＳＷ１は、電源３０の電圧が、圧電ポンプ２０を駆動する所望の電圧よりも低く、昇圧を必要とする回路構成であれば、省略することが可能である。
　電流制限回路１３Ｂは、半導体素子Ｑ２、半導体素子Ｑ３、キャパシタＣ４、抵抗素子Ｒ４、および、抵抗素子Ｒ５を備える。半導体素子Ｑ２は、トランジスタであり、半導体素子Ｑ３は、ＦＥＴであるが、これらは、トランジスタであっても、ＦＥＴであってもよい。
　抵抗素子Ｒ４の一方端は、電流制限回路１３Ｂの入力端および出力端に対応し、電圧調整回路１１の出力端子、すなわち、抵抗素子Ｒ１の他方端に接続されている。また、抵抗素子Ｒ４の一方端は、駆動信号生成回路１２の入力端に接続されている。
　半導体素子Ｑ２のベースは、抵抗素子Ｒ４の他方端に接続されている。半導体素子Ｑ２のエミッタは、半導体素子Ｑ３のゲートに接続されており、コレクタは、キャパシタＣ４を介して、基準電位に接続されている。
　半導体素子Ｑ３のドレインは、半導体素子Ｑ２のゲートに接続されている。半導体素子Ｑ３のソースは、基準電位に接続されている。
　半導体素子Ｑ２のエミッタと、半導体素子Ｑ３のゲートは、抵抗素子Ｒ５を介して、基準電位に接続されている。
　このような構成によって、抵抗素子Ｒ４の一方端側の入力端と出力端との間を流れる電流を制限する電流制限回路が実現される。
　電圧制御回路１４Ｂは、抵抗素子Ｒ１０からなる。抵抗素子Ｒ１０の一方端は、電流制限回路１３Ｂの半導体素子Ｑ２のコレクタに接続されている。抵抗素子Ｒ１０の他方端は、電圧調整回路１１における抵抗素子Ｒ２と抵抗素子Ｒ３の接続点に接続されている。
　このような回路構成とすることによって、駆動信号生成回路１２の入力電流が増加すると、電流制限回路１３Ｂによって、当該入力電流が制限される。これに伴い、電流制限回路１３Ｂの半導体素子Ｑ２のエミッタ電圧が上昇する。
　このエミッタ電圧の上昇に伴い、電圧制御回路１４Ｂの抵抗素子Ｒ１０の一方端側の電圧が上昇し、他方端側の電位（制御用の制限電圧）も上昇する。
　ここで、電圧調整回路１１の出力電圧（昇圧後電圧）をＶｃとし、昇圧用のフィードバック電圧ＶＦＢとし、電圧制御回路１４Ｂの抵抗素子Ｒ１０の一方端側の電圧をＶｇとし、抵抗素子Ｒ２の抵抗値をＲ２、抵抗素子Ｒ３の抵抗値をＲ３、抵抗素子Ｒ１０の抵抗値をＲ１０とすると、Ｖｃは、以下の式で表される。
　（式１）　
　Ｖｃ＝（Ｒ２／Ｒ１０）×（ＶＦＢ－Ｖｇ）＋（（Ｒ２／Ｒ３）＋１）×ＶＦＢ
　（式１）から、Ｖｇが上昇すると、Ｖｃが低下することが分かる。
　すなわち、電流制限を行って上昇した電圧分に応じて、電圧調整回路１１の出力電圧（昇圧後電圧）が低下する。これにより、駆動信号生成回路１２の入力電圧を抑制でき、上述のような、圧電ポンプ２０への電流制限および電圧制限を実現できる。
　なお、駆動信号生成回路１２は、一例として、図９、図１０に示す回路によって実現される。図１０は、本発明の第３の実施形態に係る駆動装置における駆動信号生成回路のメイン駆動回路の一例を示す回路図である。
　上述のように、駆動信号生成回路１２は、前段回路１２１とメイン駆動回路１２２とを備える。
　図９に示すように、前段回路１２１は、キャパシタＣ２１、キャパシタＣ２２、抵抗素子Ｒ２１、および、抵抗素子Ｒ２２を備える。
　抵抗素子Ｒ２１と抵抗素子Ｒ２２とは、直列接続されている。具体的には、抵抗素子Ｒ２１の他方端と抵抗素子Ｒ２２の一方端とは接続されている。抵抗素子Ｒ２１の一方端は、前段回路１２１のＨｉ側の入力端であり、電流制限回路１３Ｂの抵抗素子Ｒ４の一方端に接続されている。抵抗素子Ｒ２２の他方端は、電圧制御回路１４Ｂの抵抗素子Ｒ１０の一方端に接続されている。
　キャパシタＣ２１は、抵抗素子Ｒ２１に並列接続されており、キャパシタＣ２２は、抵抗素子Ｒ２２に並列接続されている。
　抵抗素子Ｒ２１と抵抗素子Ｒ２２との接続点（中間電位Ｖｍの点）、および、抵抗素子Ｒ２２の他方端側（電位Ｖｇの点）は、メイン駆動回路１２２に接続されている。
　図１０に示すように、メイン駆動回路１２２は、オペアンプＵ３１、オペアンプＵ３２、オペアンプＵ４１、オペアンプＵ４２、フルブリッジ回路２２０、キャパシタＣ３１、キャパシタＣ３２、キャパシタＣ３３、キャパシタＣ３４、キャパシタＣ３５、キャパシタＣ３６、抵抗素子Ｒ３１、抵抗素子Ｒ３２、抵抗素子Ｒ３３、抵抗素子Ｒ３４、抵抗素子Ｒ３５、抵抗素子Ｒ３６、抵抗素子Ｒ３７、および、抵抗素子Ｒ４０を備える。
　抵抗素子Ｒ３１とキャパシタＣ３１とは、並列接続されている。抵抗素子Ｒ３２とキャパシタＣ３２とは、並列接続されている。抵抗素子Ｒ３３とキャパシタＣ３３とは、並列接続されている。抵抗素子Ｒ３４とキャパシタＣ３４とは、並列接続されている。
　オペアンプＵ３１の反転入力端子は、抵抗素子Ｒ３１とキャパシタＣ３１との並列回路の一方端が接続されている。抵抗素子Ｒ３１とキャパシタＣ３１との並列回路の他方端は、圧電ポンプ２０の電流検出用の抵抗素子Ｒ４０の一方端に接続されている。
　オペアンプＵ３１の非反転入力端子は、抵抗素子Ｒ３３とキャパシタＣ３３との並列回路の一方端が接続されている。抵抗素子Ｒ３３とキャパシタＣ３３との並列回路の他方端は、圧電ポンプ２０の電流検出用の抵抗素子Ｒ４０の他方端に接続されている。また、オペアンプＵ３１の非反転入力端子は、抵抗素子Ｒ３４とキャパシタＣ３４との並列回路を介して、前段回路１２１の中間電位Ｖｍの点に接続されている。
　オペアンプＵ３１の出力端子と反転入力端子との間には、抵抗素子Ｒ３２とキャパシタＣ３２との並列回路が接続されている。
　オペアンプＵ３１の出力端子は、抵抗素子Ｒ３５およびキャパシタＣ３６を介して、オペアンプＵ３２の反転入力端子に接続されている。抵抗素子Ｒ３５とキャパシタＣ３６との接続点は、抵抗素子Ｒ３６を介して、電位Ｖｇの点に接続されている。また、抵抗素子Ｒ３５とキャパシタＣ３６との接続点は、キャパシタＣ３５の一方端に接続され、キャパシタＣ３５の他方端は、抵抗素子Ｒ３７の一方端に接続されている。抵抗素子Ｒ３７の他方端は、キャパシタＣ３６におけるオペアンプＵ３２の反転入力端子側に接続されている。
　オペアンプＵ３２の非反転入力端子は、中間電位Ｖｍの点に接続されている。オペアンプＵ３２の出力端子は、オペアンプＵ４１の非反転入力端子およびオペアンプＵ４２の反転入力端子に接続されるとともに、抵抗素子Ｒ３７の一方端に接続されている。
　オペアンプＵ４１の反転入力端子およびオペアンプＵ４２の非反転入力端子は、中間電位Ｖｍの点に接続されている。オペアンプＵ４１の出力端子、および、オペアンプＵ４２の出力端子は、フルブリッジ回路２２０に接続されている。
　フルブリッジ回路２２０は、既知の４個の半導体素子を用いた回路構成からなる。フルブリッジ回路２２０の第１入力端子は、オペアンプＵ４１の出力端子に接続され、第２入力端子は、オペアンプＵ４２の出力端子に接続されている。フルブリッジ回路２２０の第１出力端子と第２出力端子との間には、圧電ポンプ２０と抵抗素子Ｒ４０の直列回路が接続されている。
　この構成によって、自励振型の駆動信号生成回路１２が実現される。この際、駆動信号生成回路１２で生成される駆動信号の共振周波数は、圧電ポンプ２０および駆動信号生成回路１２を構成する各回路素子の回路定数に応じた周波数となる。すなわち、駆動信号生成回路１２を構成する各回路素子の回路定数を適宜設定することによって、所望の駆動周波数で圧電ポンプ２０を駆動させることができる。
　このように、図９、図１０に示す回路構成を用いることによって、アナログ回路によって駆動装置１０Ｂを実現することができる。
　さらに、図９に示す構成では、電圧制御回路１４Ｂを抵抗素子Ｒ１０で構成することによって、電圧調整回路１１と駆動信号生成回路１２とを含む回路の不所望な発振を抑制できる。これにより、駆動信号生成回路１２の共振周波数の不所望なズレを抑制できる。
　また、図９に示す構成では、電流制限回路１３ＢにキャパシタＣ４を備えることによって、駆動信号の周波数成分からなるノイズが半導体素子Ｑ２のコレクタ電圧に重畳しても、このノイズによる不要な発振を抑制できる。
　次に、本発明の第４の実施形態に係る駆動装置について、図を参照して説明する。図１１は、本発明の第４の実施形態に係る駆動装置１０Ｃを含む流体制御装置１Ｃの機能ブロック図である。
　図１１に示すように、第４の実施形態に係る駆動装置１０Ｃは、第２の実施形態に係る駆動装置１０Ａに対して、電圧制御回路１４Ｃ、Ａ／Ｄコンバータ１６１、Ａ／Ｄコンバータ１６２、および、Ｄ／Ａコンバータ１７を備える点において異なる。駆動装置１０Ｃの他の構成は、駆動装置１０Ａと同様であり、同様の箇所の説明は省略する。
　電圧制御回路１４Ｃは、ＭＣＵ（Ｍｉｃｒｏ　Ｃｏｎｔｒｏｌ　Ｕｎｉｔ）等のデジタルＩＣによって実現されている。
　Ａ／Ｄコンバータ１６１、および、Ａ／Ｄコンバータ１６２は、アナログ信号をデジタル信号に変換する回路であり、Ｄ／Ａコンバータ１７は、デジタル信号をアナログ信号に変換する回路である。
　電流制限回路１３は、制限した電流に応じた電圧を、Ａ／Ｄコンバータ１６１を介して電圧制御回路１４Ｃに出力する。温度検出回路１５は、圧電ポンプ２０の温度に応じた検出電圧を、Ａ／Ｄコンバータ１６２を介して電圧制御回路１４Ｃに出力する。
　電圧制御回路１４Ｃは、電流制限回路１３からの制限した電流に応じた電圧と温度検出回路１５からの検出電圧とに基づいて、電圧調整回路１１への制限用の制御電圧を生成する。電圧制御回路１４Ｃは、制限用の制御電圧を、Ｄ／Ａコンバータ１７を介して電圧調整回路１１に出力する。
　これにより、電圧調整回路１１からの出力電圧（調整後電圧）は制限される。
　このように、電圧制御回路１４Ｃをデジタル回路で構成しても、上述の駆動装置１０Ａと同様に、圧電ポンプ２０への電流制限、電圧制限、および、温度制限を実現できる。
　なお、この構成において、温度検出回路１５およびＡ／Ｄコンバータ１６２を省略することもできる。この場合、第１の実施形態に係る駆動装置１０の電圧制御回路１４をデジタル回路からなる電圧制御回路１４Ｃに置き換えた構成となる。
　次に、本発明の第５の実施形態に係る駆動装置について、図を参照して説明する。図１２は、本発明の第５の実施形態に係る駆動装置１０Ｄの一例を示す回路図である。
　駆動装置１０Ｄは、例えば、図１２、図１０に示すアナログ回路によって実現される。
　図１２に示すように、駆動装置１０Ｄは、図９に示した駆動装置１０Ｂに対して、温度検出回路１５Ｄの回路構成を追加したものである。図１２の電流制限回路１３Ｄは、図９の電流制限回路１３Ｂと同様であり、図１２の電圧制御回路１４Ｄは、図９の電圧制御回路１４Ｂと同様である。駆動装置１０Ｄの他の回路構成は、駆動装置１０Ｂと同様であり、同様の箇所の説明は省略する。
　温度検出回路１５Ｄは、温度センサＩＣ１５１、オペアンプＵ５１、キャパシタＣ５１、抵抗素子Ｒ５１、抵抗素子Ｒ５２、および、抵抗素子Ｒ５３を備える。
　オペアンプＵ５１の非反転入力端子は、温度センサＩＣ１５１に接続されている。オペアンプＵ５１の反転入力端子は、抵抗素子Ｒ５１を介して基準電位に接続されている。オペアンプＵ５１の出力端子は、抵抗素子Ｒ５２とキャパシタＣ５１の並列回路を介して、オペアンプＵ５１の反転入力端子に接続されている。オペアンプＵ５１の出力端子は、抵抗素子Ｒ５３を介して、電圧調整回路１１における抵抗素子Ｒ２と抵抗素子Ｒ３の接続点に接続されている。
　このような構成とすることによって、温度センサＩＣ１５１から出力される圧電ポンプ２０の温度に応じた検出電圧を含む信号が平滑化され、電圧調整回路１１における抵抗素子Ｒ２と抵抗素子Ｒ３の接続点に印加される。
　この場合、電圧調整回路１１の出力電圧（昇圧後電圧）Ｖｃは、以下の（式２）に基づいて制限（調整）される。以下の（式２）において、Ｖｔは、温度検出回路１５Ｄの出力電圧（検出電圧）であり、Ｒ５３は、抵抗素子Ｒ５３の抵抗値である。
　（式２）　
　Ｖｃ＝（Ｒ２／Ｒ１０）×（ＶＦＢ－Ｖｇ）＋（Ｒ２／Ｒ５３）×（ＶＦＢ－Ｖｔ）＋（（Ｒ２／Ｒ３）＋１）×ＶＦＢ
　このような構成であっても、上述の実施形態と同様に、圧電ポンプ２０への電流制限、電圧制限、および、温度制限が実現でき、上述の実施形態と同様の作用効果を得られる。
　また、この構成では、温度センサＩＣ１５１の検出電圧が平滑化されるので、検出電圧に含まれるノイズが抑制され、より安定した温度制限が実現できる。
　次に、本発明の第６の実施形態に係る駆動装置について、図を参照して説明する。図１３は、本発明の第６の実施形態に係る駆動装置１０Ｅの一例を示す回路図である。
　駆動装置１０Ｅは、例えば、図１３、図１０に示すアナログ回路によって実現される。
　図１３に示すように、駆動装置１０Ｅは、図１２に示した駆動装置１０Ｄに対して、外部入力端子１６を追加したものである。図１３の電流制限回路１３Ｅは、図１２の電流制限回路１３Ｄと同様であり、図１３の電圧制御回路１４Ｅは、図１２の電圧制御回路１４Ｄと同様である。駆動装置１０Ｅの他の回路構成は、駆動装置１０Ｄと同様であり、同様の箇所の説明は省略する。
　外部入力端子１６は、抵抗素子Ｒ６１を介して、電圧調整回路１１における抵抗素子Ｒ２と抵抗素子Ｒ３の接続点に接続されている。外部入力端子１６から入力される外部制御電圧Ｖｕは、抵抗素子Ｒ６１を介して、電圧調整回路１１における抵抗素子Ｒ２と抵抗素子Ｒ３の接続点に印加されている。
　この場合、電圧調整回路１１の出力電圧（昇圧後電圧）Ｖｃは、以下の（式３）に基づいて制限（調整）される。以下の（式３）において、Ｖｕは、外部制御電圧であり、Ｒ６０は、抵抗素子Ｒ６１の抵抗値である。
　（式３）　
　Ｖｃ＝（Ｒ２／Ｒ１０）×（ＶＦＢ－Ｖｇ）＋（Ｒ２／Ｒ５３）×（ＶＦＢ－Ｖｔ）＋（Ｒ２／Ｒ６０）×（ＶＦＢ－Ｖｕ）＋（（Ｒ２／Ｒ３）＋１）×ＶＦＢ
　このような構成であっても、上述の実施形態と同様に、圧電ポンプ２０への電流制限、電圧制限、および、温度制限が実現でき、上述の実施形態と同様の作用効果を得られる。
　また、この構成では、外部制御電圧Ｖｕによって、昇圧後電圧を適宜調整できる。
　なお、上述の電圧調整回路は、昇圧チョッパー回路に限るものでなく、同期整流方式、チャージポンプ方式、リニアレギュレータ方式等の昇圧回路、各種の降圧回路、または、各種の昇降圧回路を用いてもよい。
　また、上述の説明では、駆動装置を構成する各機能ブロックの回路素子を回路基板に実装する態様を記載したが、電圧調整回路、駆動信号生成回路、電流制限回路、および、電圧制御回路は、同一の回路基板に実装されることが好ましい。これにより、駆動装置を小型化でき、安価に製造できる。
１、１Ａ、１Ｂ、１Ｃ：流体制御装置
１０、１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ、１０Ｄ、１０Ｅ：駆動装置
１１：電圧調整回路
１２：駆動信号生成回路
１３、１３Ｂ、１３Ｄ、１３Ｅ：電流制限回路
１４、１４Ａ、１４Ｂ、１４Ｃ、１４Ｄ、１４Ｅ：電圧制御回路
１５、１５Ｄ：温度検出回路
１６：外部入力端子
１７：Ｄ／Ａコンバータ
１９：制御電圧発生ＩＣ
２０：圧電ポンプ
３０：電源
１２１：前段回路
１２２：メイン駆動回路
１５１：温度センサＩＣ
１６１、１６２：Ａ／Ｄコンバータ
２２０：フルブリッジ回路
Ｃ１、Ｃ２、Ｃ２１、Ｃ２２、Ｃ３、Ｃ３１、Ｃ３２、Ｃ３３、Ｃ３４、Ｃ３５、Ｃ３６、Ｃ４、Ｃ５１、Ｃ９１：キャパシタ
Ｄ１：ダイオード
Ｌ１：インダクタ
Ｑ１、Ｑ２、Ｑ３：半導体素子
Ｒ１、Ｒ１０、Ｒ２、Ｒ２１、Ｒ２２、Ｒ３、Ｒ３１、Ｒ３２、Ｒ３３、Ｒ３４、Ｒ３５、Ｒ３６、Ｒ３７、Ｒ４、Ｒ４０、Ｒ５、Ｒ５１、Ｒ５２、Ｒ５３、Ｒ６０、Ｒ６１、Ｒ９１：抵抗素子
ＳＷ１：スイッチ素子
Ｕ３１、Ｕ３２、Ｕ４１、Ｕ４２、Ｕ５１：オペアンプ
ＳＷ１：スイッチ素子

Claims (9)

  1. 　圧電素子の駆動を制御する駆動装置であって、
    　駆動用電圧を出力する電圧調整回路と、
    　前記電圧調整回路より出力された前記駆動用電圧が入力され、前記駆動用電圧を用いて、前記圧電素子への駆動信号を生成する駆動信号生成回路と、
    　前記駆動信号生成回路より出力された前記駆動用電圧に対応する駆動用電流が入力され、前記駆動用電流を所定の電流以下に制限し、電流制御用電圧を発生する電流制限回路と、
    　前記電流制限回路より出力された前記電流制御用電圧が入力され、前記電流制御用電圧に基づいて前記電圧調整回路に前記駆動用電圧を制御する制御信号を出力する電圧制御回路と、
    　を備えた駆動装置。
  2. 　前記圧電素子の温度を検出して、温度調整用電圧を発生する温度検出部を備え、
    　前記電圧制御回路は、
    　前記電流制御用電圧と前記温度調整用電圧とに基づいて、前記駆動用電圧を制御する前記制御信号を出力する、
    　請求項１に記載の駆動装置。
  3. 　前記電圧調整回路、前記駆動信号生成回路、前記電流制限回路、および、前記電圧制御回路は、同一の回路基板に実装される、
    　請求項１または請求項２に記載の駆動装置。
  4. 　温度検出部は、実装型の温度センサ素子を備え、
    　前記温度センサ素子は、前記回路基板に実装されている、
    　請求項３に記載の駆動装置。
  5. 　前記温度センサ素子は、前記電流制限回路に近接して配置される、
    　請求項４に記載の駆動装置。
  6. 　前記駆動信号生成回路は、自励振型のアナログ回路によって構成されている、
    　請求項１乃至請求項５のいずれかに記載の駆動装置。
  7. 　前記電圧制御回路は、前記駆動信号生成回路に接続される抵抗素子からなる、
    　請求項６に記載の駆動装置。
  8. 　前記電圧制御回路は、前記電流制限回路の出力を用いたデジタル回路である、
    　請求項１乃至請求項５のいずれかに記載の駆動装置。
  9. 　請求項１乃至請求項８のいずれかに記載の駆動装置と、
    　前記圧電素子を備える圧電ポンプと、
    　を備えた流体制御装置。
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