JPWO2019151172A1 - 駆動装置、および、流体制御装置 - Google Patents
駆動装置、および、流体制御装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2019151172A1 JPWO2019151172A1 JP2019569093A JP2019569093A JPWO2019151172A1 JP WO2019151172 A1 JPWO2019151172 A1 JP WO2019151172A1 JP 2019569093 A JP2019569093 A JP 2019569093A JP 2019569093 A JP2019569093 A JP 2019569093A JP WO2019151172 A1 JPWO2019151172 A1 JP WO2019151172A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- voltage
- circuit
- current
- drive
- drive device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 title claims description 31
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 claims abstract description 49
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 29
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 45
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 23
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 16
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 8
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000009581 negative-pressure wound therapy Methods 0.000 description 2
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 2
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 1
- 210000003097 mucus Anatomy 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B43/00—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
- F04B43/02—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
- F04B43/04—Pumps having electric drive
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B43/00—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
- F04B43/02—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
- F04B43/04—Pumps having electric drive
- F04B43/043—Micropumps
- F04B43/046—Micropumps with piezoelectric drive
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B45/00—Pumps or pumping installations having flexible working members and specially adapted for elastic fluids
- F04B45/04—Pumps or pumping installations having flexible working members and specially adapted for elastic fluids having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
- F04B45/047—Pumps having electric drive
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B49/00—Control, e.g. of pump delivery, or pump pressure of, or safety measures for, machines, pumps, or pumping installations, not otherwise provided for, or of interest apart from, groups F04B1/00 - F04B47/00
- F04B49/06—Control using electricity
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B49/00—Control, e.g. of pump delivery, or pump pressure of, or safety measures for, machines, pumps, or pumping installations, not otherwise provided for, or of interest apart from, groups F04B1/00 - F04B47/00
- F04B49/06—Control using electricity
- F04B49/065—Control using electricity and making use of computers
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/802—Circuitry or processes for operating piezoelectric or electrostrictive devices not otherwise provided for, e.g. drive circuits
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B2203/00—Motor parameters
- F04B2203/04—Motor parameters of linear electric motors
- F04B2203/0401—Current
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B2203/00—Motor parameters
- F04B2203/04—Motor parameters of linear electric motors
- F04B2203/0402—Voltage
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Reciprocating Pumps (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
- Inverter Devices (AREA)
Abstract
駆動装置(10)は、電圧調整回路(11)、駆動信号生成回路(12)、電流制限回路(13)、および、電圧制御回路(14)を備える。電圧調整回路(11)は、電源電圧を調整して駆動用電圧を出力する。駆動信号生成回路(12)は、駆動用電圧を用いて、圧電ポンプ(20)の圧電素子への駆動信号を生成する。電流制限回路(13)は、駆動用電圧に対応する駆動用電流を所定の電流以下に制限し、電流制御用電圧を発生する。電圧制御回路(14)は、電流制御用電圧に基づいて駆動用電圧を制限する。
Description
本発明は、圧電素子を駆動する駆動装置に関する。
現在、圧電ポンプのように、圧電素子を用いた装置が各種実用化されている。
特許文献1には、圧電素子の駆動装置が記載されている。特許文献1に記載の駆動装置は、駆動回路部と電流制限回路部を備えている。電流制限回路部は、圧電素子に流れる過電流を防止している。
しかしながら、特許文献1に示す駆動装置では、電流の制限時に、制限した電流に応じた電力が電流制限回路部で消費される。このため、駆動装置では、不要な電力消費が発生してしまう。
したがって、本発明の目的は、圧電素子への電流を制限しながら、効率の良い駆動装置を実現することにある。
この発明の駆動装置は、圧電素子の駆動を制御する駆動装置である。駆動装置は、電圧調整回路、駆動信号生成回路、電流制限回路、および、電圧制御回路を備える。
電圧調整回路は、駆動用電圧を出力する。駆動信号生成回路は、電圧調整回路より出力された駆動用電圧が入力され、駆動用電圧を用いて、圧電素子への駆動信号を生成する。電流制限回路は、駆動信号生成回路より出力された駆動用電圧に対応する駆動用電流が入力され、駆動用電流を所定の電流以下に制限し、電流制御用電圧を発生する。電圧制御回路は、電流制限回路より出力された電流制限用電圧が入力され、電流制御用電圧に基づいて電圧調整回路に駆動用電圧を制御する制御信号を出力する。
この構成では、電圧制御回路によって駆動用電圧が制御されることで、電流が制限されても、電力の増加が抑制される。
また、この発明の駆動装置は、次の構成であることが好ましい。駆動装置は、温度検出部をさらに備える。温度検出部は、圧電素子の温度を検出して、温度調整用電圧を発生する。電圧制御回路は、電流制御用電圧と温度調整用電圧とに基づいて、駆動用電圧を制御する制御信号を出力する。
この構成では、圧電ポンプの温度に基づいて駆動用電圧および電流が制御されることによって、圧電ポンプの温度上昇が抑制される。
また、この発明の駆動装置は、次の構成であることが好ましい。電圧調整回路、駆動信号生成回路、電流制限回路、および、電圧制御回路は、同一の回路基板に実装される。
この構成では、駆動装置が小型になり、安価な製造が可能になる。
また、この発明の駆動装置では、温度検出部は、実装型の温度センサ素子を備えていることが好ましい。また、温度センサ素子は、回路基板に実装されている。
この構成では、圧電素子を含む圧電ポンプの温度が、間接的に検出される。
また、この発明の駆動装置では、温度センサ素子は、電流制限回路に近接して配置されることが好ましい。
この構成では、圧電ポンプの温度が正確に検出される。
また、この発明の駆動装置では、例えば、駆動信号生成回路は、自励振型のアナログ回路によって構成されていてもよい。
この構成では、デジタルIC等を用いることなく、圧電ポンプの駆動回路が構成される。
また、この発明の駆動装置では、電圧制御回路は、駆動信号生成回路に接続される抵抗素子からなることが好ましい。
この構成では、電圧制御回路を簡素化な構成で実現でき、且つ、自励振型の駆動信号生成回路の不要な発振が抑制される。
また、この発明の駆動装置では、例えば、次の構成であってもよい。電圧制御回路は、前記電流制限回路の出力を用いたデジタル回路である。
この構成では、デジタル処理によって、駆動信号生成回路の電圧が制限される。
また、この発明の流体制御装置では、上述のいずれかに記載の駆動装置と、圧電素子を備える圧電ポンプと、を備える。
この構成では、効率の良い流体制御装置が実現される。
この発明によれば、圧電素子への電流を制限しながら、圧電素子に対する駆動効率を改善できる。
本発明の第1の実施形態に係る駆動装置について、図を参照して説明する。図1は、本発明の第1の実施形態に係る駆動装置10を含む流体制御装置1の機能ブロック図である。
図1に示すように、流体制御装置1は、駆動装置10、圧電ポンプ20、および、電源30を備える。流体制御装置1は、例えば、搾乳機、NPWT(Negative pressure wound therapy)デバイス、鼻水吸引機、血圧計等のアプリケーション機器に採用されている。流体制御装置1は、これらの機器以外にも、圧電ポンプ20によって吸入、吐出される空気等の流体を利用する機器であれば、適用できる。
駆動装置10と電源30とは電気的に接続されており、駆動装置10と圧電ポンプ20とは電気的に接続されている。電源30は、例えば、電池である。なお、以下の説明では、複数の機能部の「電気的な接続」を、単に「接続」と記載する。
駆動装置10は、電源30からの電圧を用いて、圧電ポンプ20を駆動する所定電圧および所定電流の駆動信号を生成し、圧電ポンプ20に出力する。圧電ポンプ20は、圧電素子を備え、駆動信号に応じて圧電素子が駆動されることによって、流体の吸入、吐出の動作を実現する。
駆動装置10は、電圧調整回路11、駆動信号生成回路12、電流制限回路13、および、電圧制御回路14を備える。
電圧調整回路11は、電源30、駆動信号生成回路12、および、電圧制御回路14に接続されている。駆動信号生成回路12は、電圧調整回路11と電流制限回路13とに接続されており、圧電ポンプ20に接続されている。電流制限回路13は、駆動信号生成回路12と電圧制御回路14とに接続されている。電圧制御回路14は、電流制限回路13と電圧調整回路11とに接続されている。
電圧調整回路11は、所謂、昇圧回路、降圧回路、または、昇降圧回路からなる。電圧調整回路11は、電源30からの入力電圧を調整して、調整後電圧を駆動信号生成回路12に出力する。この調整後電圧が、本発明の「駆動用電圧」に対応する。なお、電圧調整回路11の入力または出力は、直流または交流でもよい。
駆動信号生成回路12は、例えば、自励振型または他励振型のアナログ回路によって実現される。駆動信号生成回路12は、調整後電圧を用いて、所定電圧および所定電流で、圧電ポンプ20の共振周波数に基づいた駆動周波数からなる駆動信号(制御信号)を生成し、圧電ポンプ20に出力する。
電流制限回路13は、例えば複数のトランジスタを用いたアナログ回路によって構成される。電流制限回路13は、駆動信号生成回路12の電流を制限する。電流制限回路13は、制限した電流に応じた電圧を、電圧制御回路14に出力する。なお、この駆動信号生成回路12から電流制限回路13に流れる電流が、本発明の「駆動用電流」に対応する。
電圧制御回路14は、例えば、電流制限回路13と電圧調整回路11における調整用電圧を決定する回路部との間に接続された抵抗素子等からなる。電圧制御回路14は、電流制限回路13の出力電圧を用いて、制限用の制御電圧を電圧調整回路11に出力する。制限用の制御電圧は、調整後電圧(電圧調整回路11の出力電圧)が所定の上限電圧に達しないように電圧調整回路11の出力電圧を制御するための電圧である。なお、この電流制限回路13の出力電圧が、本発明の「電流制御用電圧」に対応する。
このような構成によって、駆動装置10から出力される駆動信号は、電流および電圧が制限された信号となる。したがって、駆動装置10は、圧電ポンプ20への過電流および過電圧の供給を抑制できる。これにより、圧電ポンプ20の駆動効率は向上する。また、圧電ポンプ20の破損が抑制され、圧電ポンプ20および流体制御装置1の信頼性は向上する。
図2(A)は、電流制限を行った場合と電流制限を行わない場合での圧電ポンプ20への電流と抵抗との関係を示すグラフである。図2(A)において、縦軸は、圧電ポンプ20に供給される電流を表し、横軸は圧電ポンプのインピーダンスを表す。図2(B)は、電流電圧制限を行った場合(本願構成)と電流電圧制限を行わない場合(比較構成)での流体制御装置1の総電力を示すグラフである。図2(B)において、縦軸は、流体制御装置に供給される総電力量を表し、横軸は圧電ポンプのインピーダンスを表す。
図3(A)は、電流電圧制限を行った場合(本願構成)と電流電圧制限を行わない場合(比較構成)での駆動信号生成回路12の出力電圧を示すグラフである。図3(B)は、電流電圧制限を行った場合(本願構成)と電流電圧制限を行わない場合(比較構成)での電流制限回路の電圧を示すグラフである。図3(C)は、電流電圧制限を行った場合(本願構成)と電流電圧制限を行わない場合(比較構成)でのポンプ電流を示すグラフである。図3(A)において、縦軸は、電圧調整回路11の出力電圧(昇圧後電圧:調整後電圧)を表し、横軸は圧電ポンプのインピーダンスを表す。図3(B)において、縦軸は、電流制限回路13の電圧を表し、横軸は圧電ポンプのインピーダンスを表す。図3(C)において、縦軸は、圧電ポンプ20に供給される電流を表し、横軸は圧電ポンプ20のインピーダンスを表す。
駆動装置10に電流制限回路13を備えることによって、図2(A)に示すように、圧電ポンプ20に供給される電流を、所定の上限値(図2(A)の場合100[mA])に達しないように制限できる。この上限値は、圧電ポンプ20および圧電素子の駆動の仕様に応じて設定されており、圧電ポンプ20および圧電素子が、ポンプとして正常に動作し続ける電流値の上限によって設定されている。これにより、圧電ポンプ20への過電流が制限される。
さらに、駆動装置10に電圧制御回路14を備えることによって、図3(A)に示すように、電流の増加に伴って、駆動信号生成回路12に供給される電圧が抑制される。これは、駆動信号生成回路12に流れる電流が上述の上限値を超えると、過電流分が電流制限回路13に流れ、図3(B)に示すように、電流制限回路13の電圧が上昇する。この上昇分の電圧は、電圧制御回路14に出力され、電圧制御回路14からは、上昇分の電圧に応じた制御用の制限電圧が電圧調整回路11に供給される。電圧調整回路11は、この制御用の制限電圧に応じて、出力電圧(調整後電圧)を低下させる。これにより、駆動信号生成回路12に供給される電圧が抑制される。
この結果、圧電ポンプ20に供給される電流と電圧が上限値で制限されることによって、図2(B)に示すように、流体制御装置1の総電力を抑制できる。
一方で、図3(C)に示すように、圧電ポンプ20に供給される電流は、維持されるため、圧電ポンプ20の出力は維持される。
次に、第2の実施形態に係る駆動装置について、図を参照して説明する。図4は、本発明の第2の実施形態に係る駆動装置10Aを含む流体制御装置1Aの機能ブロック図である。
図4に示すように、第2の実施形態に係る駆動装置10Aは、第1の実施形態に係る駆動装置10に対して、電圧制御回路14A、および、温度検出回路15を備える点において異なる。駆動装置10Aの他の構成は、駆動装置10と同様であり、同様の箇所の説明は省略する。
図4に示すように、流体制御装置1Aは、駆動装置10A、圧電ポンプ20、および、電源30を備える。流体制御装置1Aは、駆動装置10Aを備える点で第1の実施形態に係る流体制御装置1と異なり、他の基本的な構成は、流体制御装置1と同様である。
駆動装置10Aは、電圧調整回路11、駆動信号生成回路12、電流制限回路13、電圧制御回路14A、および、温度検出回路15を備える。
温度検出回路15は、圧電ポンプ20の温度を直接または間接的に検出する温度センサを含む。温度検出回路15は、圧電ポンプ20の温度に応じた検出電圧を生成して、電圧制御回路14Aに出力する。この温度検出回路が、本発明の「温度検出部」に対応し、この検出電圧が、本発明の「温度調整用電圧」に対応する。
電圧制御回路14Aは、電流制限回路13によって制限された電流に応じた電圧と温度検出回路15からの検出電圧とに基づいて、電圧調整回路11への制限用の制御電圧を与える。
このような構成とすることによって、圧電ポンプ20の温度が上限値に達しないように、電圧調整回路11の出力電圧(調整後電圧)が調整される。
図5(A)は、電流、電圧、温度制限を行った場合、および、行わなかった場合の温度の時間変化を示すグラフである。図5(B)は、電流、電圧、温度制限を行った場合、および、行わなかった場合の圧電ポンプ20の吐出圧力の時間変化を示すグラフである。
図5(A)において、横軸は経過時間(分)であり、縦軸は温度である。図5(B)において、横軸は経過時間(時間)であり、縦軸は圧力(吐出圧力)である。図5(A)、図5(B)において、太実線は、電流制限、電圧制限、および、温度制限を行った場合、細実線は、電流制限、および、電圧制限を行い、温度制限を行わなかった場合、破線は、電流制限、電圧制限、および、温度制限を行わなかった場合を示す。
図5(A)に示すように、電流制限、電圧制限、および、温度制限を行うことによって、電流制限、電圧制限、および、温度制限を行わない場合よりも、圧電ポンプ20の温度の不要な上昇を抑制できる。これによって、図5(B)に示すように、電流制限、電圧制限、および、温度制限を行うことによって、電流制限、電圧制限、および、温度制限を行わない場合よりも、圧電ポンプ20の吐出圧力の低下の開始時間を遅くできる。すなわち、電流制限、電圧制限、および、温度制限を行うことによって、電流制限、電圧制限、および、温度制限を行わない場合よりも、圧電ポンプ20の吐出圧力をより長く維持できる。
また、図5(A)に示すように、電流制限、電圧制限、および、温度制限を行うことによって、電流制限、および、電圧制限を行い、温度制限を行わない場合よりも、圧電ポンプ20の温度の不要な上昇を抑制でき、圧電ポンプ20の吐出圧力をより長く維持できる。すなわち、圧電ポンプ20は、高温になると能力が低下してしまうが、温度の不要な上昇を抑制することによって、圧電ポンプ20の能力低下を抑制できる。
なお、図5(A)に示すように、電流制限、および、電圧制限を行い、温度制限を行わない場合であっても、電流制限、電圧制限、および、温度制限を行わない場合よりも、圧電ポンプ20の温度の不要な上昇を抑制でき、圧電ポンプ20の吐出圧力をより長く維持できる。
また、電流制限、電圧制限、および、温度制限を行うことによって、圧電ポンプ20の効率を向上できる。図6は、圧電ポンプ20の効率と圧電ポンプ20の温度との関係を示すグラフである。図6において、横軸は圧電ポンプ20の吐出圧力を表し、縦軸は効率を表す。図6において、太実線は、圧電ポンプ20の温度が0℃の場合を示し、細実線は、圧電ポンプ20の温度が25℃の場合を示し、破線は、圧電ポンプ20の温度が50℃の場合を示す。
図6に示すように、圧電ポンプ20がどのような吐出圧力であっても、圧電ポンプ20の温度が低いことによって、効率が高くなる。したがって、電流制限、電圧制限、および、温度制限を行うことによって、圧電ポンプ20の効率を向上できる。
なお、圧電ポンプ20の温度を直接検出することは容易ではないが、各機能ブロックを構成する回路素子を実装型部品等で実現して回路基板に実装し、電流制限回路13の温度を測定することによって、圧電ポンプ20の温度を間接的に検出することができる。この際、温度検出回路15の温度センサ素子は、電流制限回路13に近接して配置されていることが好ましい。より具体的には、温度センサ素子は、駆動装置10Aを構成する他の回路よりも、電流制限回路13に近い位置に配置されていることが好ましい。これにより、温度センサ素子の電流制限回路13に対する温度検出感度が向上し、温度センサ素子は、電流制限回路13の温度をより正確に測定できる。
図7は、圧電ポンプ20の表面温度を回路基板の温度との相関関係を示すグラフである。図7において、横軸は圧電ポンプ20の表面温度を表し、縦軸は回路素子の温度を表す。図7において、実線は温度検出回路15の温度センサの温度を示し、破線は電流制限回路13を構成するトランジスタの表面温度を示す。温度センサは、電流制限回路13を構成するトランジスタの近傍に配置されている。
電流制限回路13を用いた構成では、図7に示すように、トランジスタの温度と圧電ポンプ20の温度とは相関関係を有する。さらに、図7に示すように、温度センサの温度と圧電ポンプ20の温度とは、トランジスタの場合と同様の相関関係を有する。
したがって、圧電ポンプ20の温度と、電流制限回路13を構成するトランジスタの温度と、温度検出回路15の温度センサの温度とは、相関関係を有する。これにより、温度センサによって電流制限回路13のトランジスタの温度を検出することによって、圧電ポンプ20の温度を間接的に検出できる。言い換えれば、このような相関関係が得られる程度に、電流制限回路13のトランジスタに対して、温度センサを配置することによって、圧電ポンプ20の温度を間接的に検出できる。
次に、本発明の第3の実施形態に係る駆動装置について、図を参照して説明する。図8は、本発明の第3の実施形態に係る駆動装置10Bを含む流体制御装置1Bの機能ブロック図である。
図8に示すように、第3の実施形態に係る駆動装置10Bは、第1の実施形態に係る駆動装置10に対して、電流制限回路13B、および、電圧制御回路14Bを備える点において異なる。駆動装置10Bの他の構成は、駆動装置10と同様であり、同様の箇所の説明は省略する。
図8に示すように、流体制御装置1Bは、駆動装置10B、圧電ポンプ20、および、電源30を備える。流体制御装置1Bは、駆動装置10Bを備える点で第1の実施形態に係る流体制御装置1と異なり、他の基本的な構成は、流体制御装置1と同様である。
駆動装置10Bは、電圧調整回路11、駆動信号生成回路12、電流制限回路13B、および、電圧制御回路14Bを備える。
電流制限回路13Bは、駆動信号生成回路12における調整後電圧の入力端に接続されている。電圧制御回路14Bは、後述するように、抵抗素子からなる。
このような駆動装置10Bは、例えば、図9、図10に示すアナログ回路によって実現される。図9は、本発明の第3の実施形態に係る駆動装置の一例を示す回路図である。なお、図9では、電圧調整回路11として昇圧回路を用いる場合を示している。
図9に示すように、駆動装置10Bは、電圧調整回路11、駆動信号生成回路12、電流制限回路13B、電圧制御回路14B、および、制御電圧発生IC19を備える。駆動信号生成回路12は、前段回路121とメイン駆動回路122とを備える。
電圧調整回路11は、半導体素子Q1、ダイオードD1、キャパシタC1、キャパシタC2、キャパシタC3、インダクタL1、抵抗素子R1、抵抗素子R2、および、抵抗素子R3を備える。半導体素子Q1は、FET(電界効果トランジスタ)によって構成されている。
キャパシタC1の一方端は、電源30に接続され、キャパシタC1の他方端は、基準電位との間に接続されている。
インダクタL1の一方端は、キャパシタC1の一方端に接続され、インダクタL1の他方端は、半導体素子Q1のドレインに接続されている。半導体素子Q1のソースは、基準電位(キャパシタC1の他方端)に接続されている。半導体素子Q1のゲートには、制御電圧発生IC19からのスイッチ制御電圧が印加される。
ダイオードD1のアノードは、インダクタL1の他方端(半導体素子Q1のドレイン)に接続されており、ダイオードD1のカソードは、抵抗素子R1の一方端およびキャパシタC2の一方端に接続されている。
抵抗素子R1の他方端は、抵抗素子R2の一方端に接続されるとともに、電圧調整回路11の出力端子となる。抵抗素子R2の他方端は、抵抗素子R3の一方端に接続され、抵抗素子R3の他方端は、基準電位に接続されている。また、キャパシタC2の他方端は、抵抗素子R2の他方端に接続されている。この接続点は、制御電圧発生IC19の昇圧フィードバック用の端子(昇圧用のフィードバック電圧VFBの印加端子)に接続されている。
キャパシタC3の一方端は、電圧調整回路11の出力端子(抵抗素子R1の他方端)に接続されており、他方端は、基準電位に接続されている。
このような回路構成によって、昇圧チョッパー回路が実現される。
なお、電源30には、抵抗素子R91の一方端が接続され、抵抗素子R91の他方端は、制御電圧発生IC19のVDD端子に接続されている。これにより、制御電圧発生IC19に電源供給される。抵抗素子R91の他方端には、キャパシタC91の一方端が接続され、キャパシタC91の他方端は、基準電位に接続されている。なお、これら抵抗素子R91とキャパシタC91からなる回路は、ノイズ除去用のローパスフィルタであり、省略が可能である。また、制御電圧発生IC19のVs端子は、電源30に接続されている。
なお、電源30と抵抗素子R1の他方端との間には、スイッチ素子SW1が接続されている。スイッチ素子SW1が開放の場合、電圧調整回路11が動作し、スイッチ素子SW1が短絡の場合、電圧調整回路11は動作しない。このスイッチ素子SW1は、電源30の電圧が、圧電ポンプ20を駆動する所望の電圧よりも低く、昇圧を必要とする回路構成であれば、省略することが可能である。
電流制限回路13Bは、半導体素子Q2、半導体素子Q3、キャパシタC4、抵抗素子R4、および、抵抗素子R5を備える。半導体素子Q2は、トランジスタであり、半導体素子Q3は、FETであるが、これらは、トランジスタであっても、FETであってもよい。
抵抗素子R4の一方端は、電流制限回路13Bの入力端および出力端に対応し、電圧調整回路11の出力端子、すなわち、抵抗素子R1の他方端に接続されている。また、抵抗素子R4の一方端は、駆動信号生成回路12の入力端に接続されている。
半導体素子Q2のベースは、抵抗素子R4の他方端に接続されている。半導体素子Q2のエミッタは、半導体素子Q3のゲートに接続されており、コレクタは、キャパシタC4を介して、基準電位に接続されている。
半導体素子Q3のドレインは、半導体素子Q2のゲートに接続されている。半導体素子Q3のソースは、基準電位に接続されている。
半導体素子Q2のエミッタと、半導体素子Q3のゲートは、抵抗素子R5を介して、基準電位に接続されている。
このような構成によって、抵抗素子R4の一方端側の入力端と出力端との間を流れる電流を制限する電流制限回路が実現される。
電圧制御回路14Bは、抵抗素子R10からなる。抵抗素子R10の一方端は、電流制限回路13Bの半導体素子Q2のコレクタに接続されている。抵抗素子R10の他方端は、電圧調整回路11における抵抗素子R2と抵抗素子R3の接続点に接続されている。
このような回路構成とすることによって、駆動信号生成回路12の入力電流が増加すると、電流制限回路13Bによって、当該入力電流が制限される。これに伴い、電流制限回路13Bの半導体素子Q2のエミッタ電圧が上昇する。
このエミッタ電圧の上昇に伴い、電圧制御回路14Bの抵抗素子R10の一方端側の電圧が上昇し、他方端側の電位(制御用の制限電圧)も上昇する。
ここで、電圧調整回路11の出力電圧(昇圧後電圧)をVcとし、昇圧用のフィードバック電圧VFBとし、電圧制御回路14Bの抵抗素子R10の一方端側の電圧をVgとし、抵抗素子R2の抵抗値をR2、抵抗素子R3の抵抗値をR3、抵抗素子R10の抵抗値をR10とすると、Vcは、以下の式で表される。
(式1)
Vc=(R2/R10)×(VFB−Vg)+((R2/R3)+1)×VFB
(式1)から、Vgが上昇すると、Vcが低下することが分かる。
Vc=(R2/R10)×(VFB−Vg)+((R2/R3)+1)×VFB
(式1)から、Vgが上昇すると、Vcが低下することが分かる。
すなわち、電流制限を行って上昇した電圧分に応じて、電圧調整回路11の出力電圧(昇圧後電圧)が低下する。これにより、駆動信号生成回路12の入力電圧を抑制でき、上述のような、圧電ポンプ20への電流制限および電圧制限を実現できる。
なお、駆動信号生成回路12は、一例として、図9、図10に示す回路によって実現される。図10は、本発明の第3の実施形態に係る駆動装置における駆動信号生成回路のメイン駆動回路の一例を示す回路図である。
上述のように、駆動信号生成回路12は、前段回路121とメイン駆動回路122とを備える。
図9に示すように、前段回路121は、キャパシタC21、キャパシタC22、抵抗素子R21、および、抵抗素子R22を備える。
抵抗素子R21と抵抗素子R22とは、直列接続されている。具体的には、抵抗素子R21の他方端と抵抗素子R22の一方端とは接続されている。抵抗素子R21の一方端は、前段回路121のHi側の入力端であり、電流制限回路13Bの抵抗素子R4の一方端に接続されている。抵抗素子R22の他方端は、電圧制御回路14Bの抵抗素子R10の一方端に接続されている。
キャパシタC21は、抵抗素子R21に並列接続されており、キャパシタC22は、抵抗素子R22に並列接続されている。
抵抗素子R21と抵抗素子R22との接続点(中間電位Vmの点)、および、抵抗素子R22の他方端側(電位Vgの点)は、メイン駆動回路122に接続されている。
図10に示すように、メイン駆動回路122は、オペアンプU31、オペアンプU32、オペアンプU41、オペアンプU42、フルブリッジ回路220、キャパシタC31、キャパシタC32、キャパシタC33、キャパシタC34、キャパシタC35、キャパシタC36、抵抗素子R31、抵抗素子R32、抵抗素子R33、抵抗素子R34、抵抗素子R35、抵抗素子R36、抵抗素子R37、および、抵抗素子R40を備える。
抵抗素子R31とキャパシタC31とは、並列接続されている。抵抗素子R32とキャパシタC32とは、並列接続されている。抵抗素子R33とキャパシタC33とは、並列接続されている。抵抗素子R34とキャパシタC34とは、並列接続されている。
オペアンプU31の反転入力端子は、抵抗素子R31とキャパシタC31との並列回路の一方端が接続されている。抵抗素子R31とキャパシタC31との並列回路の他方端は、圧電ポンプ20の電流検出用の抵抗素子R40の一方端に接続されている。
オペアンプU31の非反転入力端子は、抵抗素子R33とキャパシタC33との並列回路の一方端が接続されている。抵抗素子R33とキャパシタC33との並列回路の他方端は、圧電ポンプ20の電流検出用の抵抗素子R40の他方端に接続されている。また、オペアンプU31の非反転入力端子は、抵抗素子R34とキャパシタC34との並列回路を介して、前段回路121の中間電位Vmの点に接続されている。
オペアンプU31の出力端子と反転入力端子との間には、抵抗素子R32とキャパシタC32との並列回路が接続されている。
オペアンプU31の出力端子は、抵抗素子R35およびキャパシタC36を介して、オペアンプU32の反転入力端子に接続されている。抵抗素子R35とキャパシタC36との接続点は、抵抗素子R36を介して、電位Vgの点に接続されている。また、抵抗素子R35とキャパシタC36との接続点は、キャパシタC35の一方端に接続され、キャパシタC35の他方端は、抵抗素子R37の一方端に接続されている。抵抗素子R37の他方端は、キャパシタC36におけるオペアンプU32の反転入力端子側に接続されている。
オペアンプU32の非反転入力端子は、中間電位Vmの点に接続されている。オペアンプU32の出力端子は、オペアンプU41の非反転入力端子およびオペアンプU42の反転入力端子に接続されるとともに、抵抗素子R37の一方端に接続されている。
オペアンプU41の反転入力端子およびオペアンプU42の非反転入力端子は、中間電位Vmの点に接続されている。オペアンプU41の出力端子、および、オペアンプU42の出力端子は、フルブリッジ回路220に接続されている。
フルブリッジ回路220は、既知の4個の半導体素子を用いた回路構成からなる。フルブリッジ回路220の第1入力端子は、オペアンプU41の出力端子に接続され、第2入力端子は、オペアンプU42の出力端子に接続されている。フルブリッジ回路220の第1出力端子と第2出力端子との間には、圧電ポンプ20と抵抗素子R40の直列回路が接続されている。
この構成によって、自励振型の駆動信号生成回路12が実現される。この際、駆動信号生成回路12で生成される駆動信号の共振周波数は、圧電ポンプ20および駆動信号生成回路12を構成する各回路素子の回路定数に応じた周波数となる。すなわち、駆動信号生成回路12を構成する各回路素子の回路定数を適宜設定することによって、所望の駆動周波数で圧電ポンプ20を駆動させることができる。
このように、図9、図10に示す回路構成を用いることによって、アナログ回路によって駆動装置10Bを実現することができる。
さらに、図9に示す構成では、電圧制御回路14Bを抵抗素子R10で構成することによって、電圧調整回路11と駆動信号生成回路12とを含む回路の不所望な発振を抑制できる。これにより、駆動信号生成回路12の共振周波数の不所望なズレを抑制できる。
また、図9に示す構成では、電流制限回路13BにキャパシタC4を備えることによって、駆動信号の周波数成分からなるノイズが半導体素子Q2のコレクタ電圧に重畳しても、このノイズによる不要な発振を抑制できる。
次に、本発明の第4の実施形態に係る駆動装置について、図を参照して説明する。図11は、本発明の第4の実施形態に係る駆動装置10Cを含む流体制御装置1Cの機能ブロック図である。
図11に示すように、第4の実施形態に係る駆動装置10Cは、第2の実施形態に係る駆動装置10Aに対して、電圧制御回路14C、A/Dコンバータ161、A/Dコンバータ162、および、D/Aコンバータ17を備える点において異なる。駆動装置10Cの他の構成は、駆動装置10Aと同様であり、同様の箇所の説明は省略する。
電圧制御回路14Cは、MCU(Micro Control Unit)等のデジタルICによって実現されている。
A/Dコンバータ161、および、A/Dコンバータ162は、アナログ信号をデジタル信号に変換する回路であり、D/Aコンバータ17は、デジタル信号をアナログ信号に変換する回路である。
電流制限回路13は、制限した電流に応じた電圧を、A/Dコンバータ161を介して電圧制御回路14Cに出力する。温度検出回路15は、圧電ポンプ20の温度に応じた検出電圧を、A/Dコンバータ162を介して電圧制御回路14Cに出力する。
電圧制御回路14Cは、電流制限回路13からの制限した電流に応じた電圧と温度検出回路15からの検出電圧とに基づいて、電圧調整回路11への制限用の制御電圧を生成する。電圧制御回路14Cは、制限用の制御電圧を、D/Aコンバータ17を介して電圧調整回路11に出力する。
これにより、電圧調整回路11からの出力電圧(調整後電圧)は制限される。
このように、電圧制御回路14Cをデジタル回路で構成しても、上述の駆動装置10Aと同様に、圧電ポンプ20への電流制限、電圧制限、および、温度制限を実現できる。
なお、この構成において、温度検出回路15およびA/Dコンバータ162を省略することもできる。この場合、第1の実施形態に係る駆動装置10の電圧制御回路14をデジタル回路からなる電圧制御回路14Cに置き換えた構成となる。
次に、本発明の第5の実施形態に係る駆動装置について、図を参照して説明する。図12は、本発明の第5の実施形態に係る駆動装置10Dの一例を示す回路図である。
駆動装置10Dは、例えば、図12、図10に示すアナログ回路によって実現される。
図12に示すように、駆動装置10Dは、図9に示した駆動装置10Bに対して、温度検出回路15Dの回路構成を追加したものである。図12の電流制限回路13Dは、図9の電流制限回路13Bと同様であり、図12の電圧制御回路14Dは、図9の電圧制御回路14Bと同様である。駆動装置10Dの他の回路構成は、駆動装置10Bと同様であり、同様の箇所の説明は省略する。
温度検出回路15Dは、温度センサIC151、オペアンプU51、キャパシタC51、抵抗素子R51、抵抗素子R52、および、抵抗素子R53を備える。
オペアンプU51の非反転入力端子は、温度センサIC151に接続されている。オペアンプU51の反転入力端子は、抵抗素子R51を介して基準電位に接続されている。オペアンプU51の出力端子は、抵抗素子R52とキャパシタC51の並列回路を介して、オペアンプU51の反転入力端子に接続されている。オペアンプU51の出力端子は、抵抗素子R53を介して、電圧調整回路11における抵抗素子R2と抵抗素子R3の接続点に接続されている。
このような構成とすることによって、温度センサIC151から出力される圧電ポンプ20の温度に応じた検出電圧を含む信号が平滑化され、電圧調整回路11における抵抗素子R2と抵抗素子R3の接続点に印加される。
この場合、電圧調整回路11の出力電圧(昇圧後電圧)Vcは、以下の(式2)に基づいて制限(調整)される。以下の(式2)において、Vtは、温度検出回路15Dの出力電圧(検出電圧)であり、R53は、抵抗素子R53の抵抗値である。
(式2)
Vc=(R2/R10)×(VFB−Vg)+(R2/R53)×(VFB−Vt)+((R2/R3)+1)×VFB
このような構成であっても、上述の実施形態と同様に、圧電ポンプ20への電流制限、電圧制限、および、温度制限が実現でき、上述の実施形態と同様の作用効果を得られる。
Vc=(R2/R10)×(VFB−Vg)+(R2/R53)×(VFB−Vt)+((R2/R3)+1)×VFB
このような構成であっても、上述の実施形態と同様に、圧電ポンプ20への電流制限、電圧制限、および、温度制限が実現でき、上述の実施形態と同様の作用効果を得られる。
また、この構成では、温度センサIC151の検出電圧が平滑化されるので、検出電圧に含まれるノイズが抑制され、より安定した温度制限が実現できる。
次に、本発明の第6の実施形態に係る駆動装置について、図を参照して説明する。図13は、本発明の第6の実施形態に係る駆動装置10Eの一例を示す回路図である。
駆動装置10Eは、例えば、図13、図10に示すアナログ回路によって実現される。
図13に示すように、駆動装置10Eは、図12に示した駆動装置10Dに対して、外部入力端子16を追加したものである。図13の電流制限回路13Eは、図12の電流制限回路13Dと同様であり、図13の電圧制御回路14Eは、図12の電圧制御回路14Dと同様である。駆動装置10Eの他の回路構成は、駆動装置10Dと同様であり、同様の箇所の説明は省略する。
外部入力端子16は、抵抗素子R61を介して、電圧調整回路11における抵抗素子R2と抵抗素子R3の接続点に接続されている。外部入力端子16から入力される外部制御電圧Vuは、抵抗素子R61を介して、電圧調整回路11における抵抗素子R2と抵抗素子R3の接続点に印加されている。
この場合、電圧調整回路11の出力電圧(昇圧後電圧)Vcは、以下の(式3)に基づいて制限(調整)される。以下の(式3)において、Vuは、外部制御電圧であり、R60は、抵抗素子R61の抵抗値である。
(式3)
Vc=(R2/R10)×(VFB−Vg)+(R2/R53)×(VFB−Vt)+(R2/R60)×(VFB−Vu)+((R2/R3)+1)×VFB
このような構成であっても、上述の実施形態と同様に、圧電ポンプ20への電流制限、電圧制限、および、温度制限が実現でき、上述の実施形態と同様の作用効果を得られる。
Vc=(R2/R10)×(VFB−Vg)+(R2/R53)×(VFB−Vt)+(R2/R60)×(VFB−Vu)+((R2/R3)+1)×VFB
このような構成であっても、上述の実施形態と同様に、圧電ポンプ20への電流制限、電圧制限、および、温度制限が実現でき、上述の実施形態と同様の作用効果を得られる。
また、この構成では、外部制御電圧Vuによって、昇圧後電圧を適宜調整できる。
なお、上述の電圧調整回路は、昇圧チョッパー回路に限るものでなく、同期整流方式、チャージポンプ方式、リニアレギュレータ方式等の昇圧回路、各種の降圧回路、または、各種の昇降圧回路を用いてもよい。
また、上述の説明では、駆動装置を構成する各機能ブロックの回路素子を回路基板に実装する態様を記載したが、電圧調整回路、駆動信号生成回路、電流制限回路、および、電圧制御回路は、同一の回路基板に実装されることが好ましい。これにより、駆動装置を小型化でき、安価に製造できる。
1、1A、1B、1C:流体制御装置
10、10A、10B、10C、10D、10E:駆動装置
11:電圧調整回路
12:駆動信号生成回路
13、13B、13D、13E:電流制限回路
14、14A、14B、14C、14D、14E:電圧制御回路
15、15D:温度検出回路
16:外部入力端子
17:D/Aコンバータ
19:制御電圧発生IC
20:圧電ポンプ
30:電源
121:前段回路
122:メイン駆動回路
151:温度センサIC
161、162:A/Dコンバータ
220:フルブリッジ回路
C1、C2、C21、C22、C3、C31、C32、C33、C34、C35、C36、C4、C51、C91:キャパシタ
D1:ダイオード
L1:インダクタ
Q1、Q2、Q3:半導体素子
R1、R10、R2、R21、R22、R3、R31、R32、R33、R34、R35、R36、R37、R4、R40、R5、R51、R52、R53、R60、R61、R91:抵抗素子
SW1:スイッチ素子
U31、U32、U41、U42、U51:オペアンプ
SW1:スイッチ素子
10、10A、10B、10C、10D、10E:駆動装置
11:電圧調整回路
12:駆動信号生成回路
13、13B、13D、13E:電流制限回路
14、14A、14B、14C、14D、14E:電圧制御回路
15、15D:温度検出回路
16:外部入力端子
17:D/Aコンバータ
19:制御電圧発生IC
20:圧電ポンプ
30:電源
121:前段回路
122:メイン駆動回路
151:温度センサIC
161、162:A/Dコンバータ
220:フルブリッジ回路
C1、C2、C21、C22、C3、C31、C32、C33、C34、C35、C36、C4、C51、C91:キャパシタ
D1:ダイオード
L1:インダクタ
Q1、Q2、Q3:半導体素子
R1、R10、R2、R21、R22、R3、R31、R32、R33、R34、R35、R36、R37、R4、R40、R5、R51、R52、R53、R60、R61、R91:抵抗素子
SW1:スイッチ素子
U31、U32、U41、U42、U51:オペアンプ
SW1:スイッチ素子
Claims (9)
- 圧電素子の駆動を制御する駆動装置であって、
駆動用電圧を出力する電圧調整回路と、
前記電圧調整回路より出力された前記駆動用電圧が入力され、前記駆動用電圧を用いて、前記圧電素子への駆動信号を生成する駆動信号生成回路と、
前記駆動信号生成回路より出力された前記駆動用電圧に対応する駆動用電流が入力され、前記駆動用電流を所定の電流以下に制限し、電流制御用電圧を発生する電流制限回路と、
前記電流制限回路より出力された前記電流制御用電圧が入力され、前記電流制御用電圧に基づいて前記電圧調整回路に前記駆動用電圧を制御する制御信号を出力する電圧制御回路と、
を備えた駆動装置。 - 前記圧電素子の温度を検出して、温度調整用電圧を発生する温度検出部を備え、
前記電圧制御回路は、
前記電流制御用電圧と前記温度調整用電圧とに基づいて、前記駆動用電圧を制御する前記制御信号を出力する、
請求項1に記載の駆動装置。 - 前記電圧調整回路、前記駆動信号生成回路、前記電流制限回路、および、前記電圧制御回路は、同一の回路基板に実装される、
請求項1または請求項2に記載の駆動装置。 - 温度検出部は、実装型の温度センサ素子を備え、
前記温度センサ素子は、前記回路基板に実装されている、
請求項3に記載の駆動装置。 - 前記温度センサ素子は、前記電流制限回路に近接して配置される、
請求項4に記載の駆動装置。 - 前記駆動信号生成回路は、自励振型のアナログ回路によって構成されている、
請求項1乃至請求項5のいずれかに記載の駆動装置。 - 前記電圧制御回路は、前記駆動信号生成回路に接続される抵抗素子からなる、
請求項6に記載の駆動装置。 - 前記電圧制御回路は、前記電流制限回路の出力を用いたデジタル回路である、
請求項1乃至請求項5のいずれかに記載の駆動装置。 - 請求項1乃至請求項8のいずれかに記載の駆動装置と、
前記圧電素子を備える圧電ポンプと、
を備えた流体制御装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018013462 | 2018-01-30 | ||
JP2018013462 | 2018-01-30 | ||
PCT/JP2019/002664 WO2019151172A1 (ja) | 2018-01-30 | 2019-01-28 | 駆動装置、および、流体制御装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2019151172A1 true JPWO2019151172A1 (ja) | 2020-12-10 |
JP6908137B2 JP6908137B2 (ja) | 2021-07-21 |
Family
ID=67478193
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019569093A Active JP6908137B2 (ja) | 2018-01-30 | 2019-01-28 | 駆動装置、および、流体制御装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11280329B2 (ja) |
EP (1) | EP3694100B1 (ja) |
JP (1) | JP6908137B2 (ja) |
CN (1) | CN111512536A (ja) |
WO (1) | WO2019151172A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7244347B2 (ja) * | 2019-05-13 | 2023-03-22 | エイブリック株式会社 | 伝送回路 |
TWI720876B (zh) * | 2020-04-24 | 2021-03-01 | 研能科技股份有限公司 | 驅動壓電式泵浦的驅動電路系統 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005210769A (ja) * | 2004-01-20 | 2005-08-04 | Mitsuba Corp | 圧電アクチュエータ駆動装置 |
JP2007129804A (ja) * | 2005-11-01 | 2007-05-24 | Seiko Epson Corp | 圧電アクチュエータの位置制御駆動方法、圧電アクチュエータの位置制御駆動装置、および電子機器 |
JP2017131098A (ja) * | 2015-12-31 | 2017-07-27 | 研能科技股▲ふん▼有限公司 | 圧電駆動ポンプに適用する駆動回路 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4973876A (en) * | 1989-09-20 | 1990-11-27 | Branson Ultrasonics Corporation | Ultrasonic power supply |
DE19825210C2 (de) * | 1998-04-23 | 2003-09-25 | Gsg Elektronik Gmbh | Schaltungsanordnung zur dynamischen Ansteuerung von keramischen Festkörperaktoren |
US6819027B2 (en) * | 2002-03-04 | 2004-11-16 | Cepheid | Method and apparatus for controlling ultrasonic transducer |
JP2004056914A (ja) | 2002-07-19 | 2004-02-19 | Minolta Co Ltd | 駆動装置、その駆動装置を備えるレンズユニット及び撮影装置 |
JP5150098B2 (ja) * | 2004-02-23 | 2013-02-20 | 日本電気株式会社 | 圧電ポンプ用駆動回路およびこれを用いた冷却システム |
EP1737114B1 (en) * | 2004-03-10 | 2011-06-08 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric actuator drive device, electronic device, and drive method thereof |
US7287965B2 (en) * | 2004-04-02 | 2007-10-30 | Adaptiv Energy Llc | Piezoelectric devices and methods and circuits for driving same |
US8659921B2 (en) * | 2009-08-28 | 2014-02-25 | General Electric Company | Power supply with a piezoelectric transformer and method for power conversion |
US8258886B2 (en) * | 2010-03-30 | 2012-09-04 | Tyco Healthcare Group Lp | System and method for improved start-up of self-oscillating electro-mechanical surgical devices |
CN102455728B (zh) * | 2010-10-25 | 2014-06-04 | 三星半导体(中国)研究开发有限公司 | 电流控制电路 |
CN107847973B (zh) * | 2015-05-11 | 2021-03-09 | 史赛克公司 | 用于驱动具有线性放大器的超声波机头的系统和方法 |
CN107408620B (zh) * | 2015-10-30 | 2019-08-23 | 株式会社村田制作所 | 压电元件驱动电路以及流体控制装置 |
-
2019
- 2019-01-28 CN CN201980006708.9A patent/CN111512536A/zh not_active Withdrawn
- 2019-01-28 JP JP2019569093A patent/JP6908137B2/ja active Active
- 2019-01-28 EP EP19747877.9A patent/EP3694100B1/en active Active
- 2019-01-28 WO PCT/JP2019/002664 patent/WO2019151172A1/ja unknown
-
2020
- 2020-07-28 US US16/940,793 patent/US11280329B2/en active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005210769A (ja) * | 2004-01-20 | 2005-08-04 | Mitsuba Corp | 圧電アクチュエータ駆動装置 |
JP2007129804A (ja) * | 2005-11-01 | 2007-05-24 | Seiko Epson Corp | 圧電アクチュエータの位置制御駆動方法、圧電アクチュエータの位置制御駆動装置、および電子機器 |
JP2017131098A (ja) * | 2015-12-31 | 2017-07-27 | 研能科技股▲ふん▼有限公司 | 圧電駆動ポンプに適用する駆動回路 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6908137B2 (ja) | 2021-07-21 |
EP3694100A1 (en) | 2020-08-12 |
CN111512536A (zh) | 2020-08-07 |
US20200355178A1 (en) | 2020-11-12 |
EP3694100A4 (en) | 2021-06-16 |
WO2019151172A1 (ja) | 2019-08-08 |
EP3694100B1 (en) | 2024-03-06 |
US11280329B2 (en) | 2022-03-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI663497B (zh) | 穩壓器以及積體電路 | |
US7492132B2 (en) | Switching regulator | |
TWI661669B (zh) | 多級放大器 | |
US9564795B2 (en) | Ripple filter circuit and ripple filter method | |
US8686704B2 (en) | Current sense circuit and switching regulator using the same | |
KR20060080892A (ko) | 전압 공급 회로 및 마이크로폰 유닛 | |
TW201505342A (zh) | 電流式降壓轉換器及使用其之電子系統 | |
US8294299B2 (en) | Control device for DC-DC converter and related DC-DC converter | |
JP6908137B2 (ja) | 駆動装置、および、流体制御装置 | |
US8587281B2 (en) | Operation controller, DC-DC converter controller, and DC-DC converter | |
JP2005128595A (ja) | 定電圧電源装置 | |
GB2490930A (en) | A switching amplifier arrangement providing both signal drive and a high bias voltage for an electrostatic loudspeaker | |
US8624633B2 (en) | Oscillator circuit | |
US20180054117A1 (en) | Control circuit of switching power-supply device and switching power-supply device | |
JP2009189119A (ja) | 直流電源装置、led駆動用電源装置および電源駆動用半導体集積回路 | |
JP2008224292A (ja) | 静電容量変化検出回路 | |
JP2012039823A (ja) | スイッチングレギュレータの制御回路およびそれを利用したスイッチングレギュレータ、電子機器 | |
US8395437B2 (en) | Charge pump circuit and semiconductor integrated circuit | |
JP4720209B2 (ja) | 基準電圧発生回路及び駆動回路 | |
JPWO2018135553A1 (ja) | 流体制御装置および血圧計 | |
JP3604930B2 (ja) | 電力増幅装置 | |
US20130106384A1 (en) | Voltage converting circuit | |
JP5781870B2 (ja) | オーディオ信号処理回路および電子機器 | |
TWI513161B (zh) | 雙路徑誤差放大電路及直流轉直流穩壓裝置 | |
JP6938254B2 (ja) | 半導体装置、電池監視システム、昇圧回路の制御方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200513 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210601 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210614 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6908137 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |