WO2019107558A1 - トランスデューサ及びその製造方法 - Google Patents

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WO2019107558A1
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layer
electrode sheet
fusion
dielectric layer
transducer
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長谷川 浩一
新也 田原
克彦 中野
将樹 那須
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住友理工株式会社
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Definitions

  • the present invention relates to a transducer and a method of manufacturing the same.
  • Patent Document 1 discloses a configuration in which a lead wire is connected to a free end of a wire mesh-shaped external electrode in a multilayer piezoelectric actuator by soldering or welding.
  • a lead wire is electrically connected to an end portion of the external electrode in the laminated piezoelectric element by a conductive bonding material such as solder or conductive resin, and a connection between the end portion of the external electrode and the lead wire.
  • Patent Document 3 discloses a piezoelectric element in which a porous sheet-like electrode is embedded in a polymer piezoelectric material.
  • the piezoelectric element is manufactured by treating the surface of a polymer piezoelectric film or sheet with an organic solvent such as acetone, and then laminating and pressing a porous sheet electrode on the treated surface.
  • the lead wire is not connected to the electrode sheet for functioning the transducer, but is connected to the external electrode extended to the outside. If the lead wire can be brought into direct contact with the electrode sheet instead of the external electrode, the cost of the transducer can be reduced.
  • the electrode sheet is deformed along with the deformation of the entire transducer, even in such a case, it is necessary to maintain a state in which the lead wire and the electrode sheet are electrically connected.
  • the electrode sheet has a shape having a through hole, it is not sufficient to join the lead wire and the electrode sheet by soldering or welding alone, so a more reliable joining method may be applied. , Is one of the challenges.
  • the electrode sheet is formed, for example, by plating a conductive material such as copper or nickel on the surface of a resin fiber such as polyethylene. In such an electrode sheet, since the melting temperature of the resin is particularly low, it is necessary to make the heating temperature by soldering or welding below the melting temperature.
  • lead-free solder is used due to recent environmental problems, but the melting temperature of lead-free solder is high. Since the range of the heating temperature which satisfies both conditions is narrow, it is not easy to improve the electrical connection between the electrode sheet and the lead wire. Therefore, securing an electrical connection between the electrode sheet and the lead wire by a method different from soldering and welding is one of the problems.
  • VOCs volatile organic compounds
  • a transducer using electrostatic capacitance between electrodes has attracted attention.
  • the capacitive transducer has different capacitance depending on the dielectric material. If the surface of the polymer dielectric is treated with an organic solvent and the electrode is pressure-bonded, the component of the organic solvent remains on the pressure-bonded portion. The component of the remaining organic solvent may affect the capacitance. As a result, there is a possibility that the designed capacitance can not be obtained due to the influence of the remaining organic solvent component.
  • electrostatic transducers are required to have elasticity as well as flexibility in order to allow attachment to various sites.
  • the flexibility and elasticity of the transducer are very high. It is an important factor. Without flexibility and elasticity, the transducer can not be neatly attached to a free-form surface mounting object.
  • the lead wire and the conductive bonding material connecting the lead wire project in the surface normal direction of the electrostatic sheet. Therefore, in the area
  • the present invention provides a transducer that can be manufactured without using a volatile adhesive and an organic solvent, and that can ensure electrical connection between an electrode sheet and a lead wire by a method different from soldering and welding, and a method for manufacturing the same.
  • a transducer that can be manufactured without using a volatile adhesive and an organic solvent, and that can ensure electrical connection between an electrode sheet and a lead wire by a method different from soldering and welding, and a method for manufacturing the same.
  • One of the transducers according to the present invention includes a sheet main body forming an electrostatic transducer, a first lead wire disposed on the first surface side of the sheet main body, and the first lead wire as the sheet. And a first clamp fixed to the main body.
  • the sheet main body portion includes a dielectric layer and a plurality of first through holes, and is disposed on the first surface side of the dielectric layer, and at least a portion is exposed from the first surface of the dielectric layer And a fusion material, and disposed as at least a portion of the dielectric layer on the first surface side of the dielectric layer or the first layer of the dielectric layer
  • a first main fusion layer is joined to the surface as a separate member and joins the dielectric layer and the first electrode sheet by fusion of the fusion material.
  • the first lead includes a first conductive portion disposed in contact with the exposed surface of the first electrode sheet.
  • the first clamp penetrates the sheet main body portion in the thickness direction, has the first surface side of the sheet main body portion as a base end, and has a plurality of first leg portions having the second surface side of the sheet main body portion as a tip And a first connection portion connecting the base ends of the plurality of first leg portions and disposed across the first conductive portion of the first lead wire, the first connection portion and the first connection portion
  • the first connection portion in which the first conductive portion of the first lead wire is interposed between the first electrode sheet and the exposed surface of the first electrode sheet, and the tip of each of the plurality of first leg portions are bent and formed.
  • a plurality of first return portions engaged with the second surface of the sheet main body.
  • the dielectric layer and the first electrode sheet are joined by the fusion of the fusion material. Since the fusion material is not a volatile adhesive and an organic solvent, the transducer can be manufactured without using a volatile adhesive and an organic solvent. Therefore, in the manufacture of the transducer, the emission of VOC can be suppressed.
  • the first main fusion layer includes the case where a fusion material different from the dielectric layer is used, when a part of the material of the dielectric layer is formed as the fusion material.
  • FIG. 5 is a cross-sectional view taken along the line V-V of FIG. 4;
  • the transducer 1 of a 1st example it is a typical top view of the terminal part of a 1st example.
  • VII-VII sectional drawing of FIG. In the transducer 1 of a 1st example, it is a typical top view of the terminal area of a 2nd example.
  • FIG. 11 is a cross-sectional view taken along line XI-XI of FIG. It is a figure which shows the state of the laminated body formation process in the manufacturing method of the electrostatic sheet in the transducer 1 of a 1st example. It is a figure which shows the state of the pressure heating process in the manufacturing method of the electrostatic sheet in the transducer 1 of a 1st example. It is a figure which shows the state of the lead wire arrangement
  • FIG. 1 It is a figure which shows the state of the clamp fixing process in the manufacturing method of the electrostatic sheet in the transducer 1 of a 1st example. It is a perspective view which shows the electrostatic sheet which comprises the transducer 100 of a 2nd example. It is a top view of an electrostatic sheet which constitutes transducer 100 of the 2nd example. It is a XVIII-XVIII sectional view of FIG. It is a figure which shows the state of the clamp fixing process in the manufacturing method of the electrostatic sheet in the transducer 100 of a 2nd example. It is sectional drawing of the electrostatic sheet which comprises the transducer 200 of a 3rd example. It is a perspective view of the electrostatic sheet which comprises the transducer 300 of a 4th example.
  • FIG. 21 is a schematic plan view of a terminal portion in an electrostatic sheet constituting a transducer 300 of a fourth example.
  • FIG. 23 is a cross-sectional view taken along the line XXIII-XXIII of FIG.
  • FIG. 21 is a schematic plan view of a terminal portion in an electrostatic sheet constituting the transducer 400 of the fifth example.
  • FIG. 25 is a cross-sectional view taken along the line XXV-XXV of FIG. 24; It is sectional drawing of a terminal part in the electrostatic sheet which comprises the transducer 500 of a 4th example. It is a flowchart which shows the manufacturing method of the electrostatic sheet which comprises the transducer 500 of a 4th example.
  • the first example transducer 1 will be described with reference to FIG.
  • the transducer 1 is electrostatic. That is, the transducer 1 can function as an actuator that generates vibration, sound, and the like by using a change in capacitance between the electrodes. Further, the transducer 1 is a sensor (external force detection sensor) that detects a pressing force from the outside, etc., using a change in capacitance between the electrodes, and a sensor (contact that detects contact or approach of a conductor having a potential). Function as an approach sensor).
  • the transducer 1 When the transducer 1 functions as an actuator, a voltage is applied to the electrodes, whereby the dielectric is deformed in accordance with the potential between the electrodes, and vibration is generated as the dielectric is deformed.
  • the transducer 1 functions as an external force detection sensor, the capacitance between the electrodes is changed by the deformation of the dielectric due to the input of external pressing force, vibration, sound, etc. By detecting a voltage corresponding to the capacitance, a pressing force from the outside is detected.
  • the transducer 1 functions as a contact proximity sensor, the capacitance between the electrodes changes due to contact or proximity of the conductor having a potential, and a voltage corresponding to the changed capacitance between the electrodes is detected. By doing this, contact or approach of the conductor is detected.
  • the transducer 1 includes an electrostatic sheet formed in a sheet shape. However, in the transducer 1, a plurality of electrostatic sheets having the basic configuration shown in FIG. 1 may be laminated.
  • the transducer 1 includes an electrostatic sheet including a sheet body 10, a first connection 20, and a second connection 30.
  • the sheet body 10 constitutes a main part for functioning as the electrostatic type transducer 1.
  • the sheet main body portion 10 includes a transducer portion 10a constituting a range functioning as an actuator or a sensor, and a terminal portion 10b connected to an edge of the transducer portion 10a.
  • the terminal portion 10b includes a first terminal portion 10b1 and a second terminal portion 10b2.
  • the sheet main body 10 includes a dielectric layer 11, a first electrode sheet 12, a first main fusion layer 13, a first main protective layer 14, a second electrode sheet 15, a second main fusion layer 16, and a second main protection.
  • the layer 17 is provided.
  • the transducer 1 may be configured not to include an element related to the second electrode sheet 15. That is, the transducer 1 includes the second electrode sheet 15, the second main fusion layer 16, the second main protective layer 17, the second lead wire 31, the second fusion restriction layer 32, the second clamp 33, and the second connection protection. The layer 34, the second back surface protection layer 36, and the second back surface fusion layer 37 may not be provided.
  • the electrostatic sheet constituting the transducer 1 is configured to include the dielectric layer 11 and the elements related to the first electrode sheet 12. That is, the transducer 1 includes, as the sheet main body 10, the dielectric layer 11, the first electrode sheet 12, the first main fusion layer 13, the first main protective layer 14, and the first connection portion 20.
  • the transducer 1 can also be configured to include a non-deformable conductive member (not shown) corresponding to the second electrode sheet 15.
  • the dielectric layer 11 is formed of an elastically deformable dielectric material.
  • the dielectric layer 11 is formed of a thermoplastic material, in particular a thermoplastic elastomer.
  • the dielectric layer 11 is in the form of a sheet and is formed into a desired outer shape.
  • the dielectric layer 11 has a structure that expands and contracts in the thickness direction and expands and contracts in the surface direction along with the expansion and contraction in the thickness direction.
  • the first electrode sheet 12 and the second electrode sheet 15 have flexibility and stretchability in the plane direction while having conductivity.
  • the first electrode sheet 12 and the second electrode sheet 15 are, for example, conductive cloths.
  • the conductive cloth is a woven or non-woven fabric formed of conductive fibers.
  • the conductive fiber is formed by coating the surface of the flexible fiber with a conductive material.
  • the conductive fiber is formed, for example, by plating copper, nickel or the like on the surface of a resin fiber such as polyethylene.
  • the first electrode sheet 12 has a plurality of first through holes 12 a by being formed of a fabric by fibers, and has flexibility and is stretchable in the surface direction. Similar to the first electrode sheet 12, the second electrode sheet 15 includes a plurality of second through holes 15 a.
  • the first electrode sheet 12 is formed by weaving conductive fibers as warps and wefts. The area surrounded by the warp and the weft is the first through hole 12a. The same applies to the second through holes 15 a in the second electrode sheet 15.
  • the first through holes 12 a are irregularly formed. Further, as the first electrode sheet 12 and the second electrode sheet 15, in addition to the conductive cloth, a punching metal of a thin film having flexibility and stretchability, a metal cloth woven with a metal thread, or the like can be applied. In the case of punching metal, the first through holes 12a and the second through holes 15a are portions punched out by a punch.
  • the first electrode sheet 12 can also apply an elastomer sheet (including a rubber sheet) containing a conductive material and provided with a plurality of through holes.
  • an elastomer is a polymeric material which has elasticity, and is used by the meaning included the elastic body which has rubber-like elastic bodies and rubber-like bodies other than a rubber elastic body.
  • the first electrode sheet 12 and the second electrode sheet 15 are formed to have the same size and the same outer shape as the outer shape of the dielectric layer 11. However, in the terminal portion 10 b, the first electrode sheet 12 and the second electrode sheet 15 are formed in different shapes.
  • the first electrode sheet 12 is disposed on the first surface (upper surface in FIG. 1) side of the dielectric layer 11.
  • the second electrode sheet 15 is disposed on the second surface (lower surface in FIG. 1) side of the dielectric layer 11. Therefore, at least in the transducer section 10a, as shown in FIG. 3, the first electrode sheet 12 and the second electrode sheet 15 are disposed to face each other with the dielectric layer 11 interposed therebetween.
  • the surface facing the second electrode sheet 15 is referred to as a first inner surface 12 b, and the surface opposite to the second electrode sheet 15 is referred to as a first outer surface 12 c.
  • the surface on the side facing the first electrode sheet 12 is referred to as a second inner surface 15b, and the surface on the side opposite to the first electrode sheet 12 is referred to as a second outer surface 15c.
  • the first electrode sheet 12 is disposed on the first surface side (upper side in FIG. 3) of the dielectric layer 11. Also in the first terminal portion 10 b 1, the first electrode sheet 12 is disposed on the first surface side of the dielectric layer 11. However, in the first terminal portion 10 b 1, at least a part of the first electrode sheet 12 is disposed in a state of being exposed from the first surface of the dielectric layer 11. Further, in the second terminal portion 10b2, the first electrode sheet 12 is not disposed.
  • the first electrode sheet 12 is embedded in the first surface side of the material of the dielectric layer 11. That is, the first main fusion bonding layer 13 includes the boundary portion between the main portion of the dielectric layer 11 and the first inner surface 12 b of the first electrode sheet 12, and the main portion of the dielectric layer 11 and the first electrode sheet 12. The boundary portions with the inner circumferential surfaces of the plurality of first through holes 12a are joined.
  • the first main protective layer 14 covers the first outer surface 12 c in a state of being bonded to the first outer surface 12 c of the first electrode sheet 12.
  • a part of the material of the dielectric layer 11 on the first surface side functions as a first main protective layer 14. That is, like the first main fusion layer 13, the first main protective layer 14 is disposed as a part of the first surface side of the material of the dielectric layer 11, and the first outer surface 12c is fused by fusion of the fusion material.
  • the first main protective layer 14 may be disposed as a separate member on the first surface side of the dielectric layer 11, and may cover the first outer surface 12c.
  • the first outer surface 12c of the first electrode sheet 12 may be exposed to the outside.
  • the second electrode sheet 15 is disposed on the second surface side (lower side in FIG. 3) of the dielectric layer 11. Also in the second terminal portion 10 b 2, the second electrode sheet 15 is disposed on the second surface side of the dielectric layer 11. However, in the second terminal portion 10 b 2, at least a part of the second electrode sheet 15 is disposed in a state of being exposed from the second surface of the dielectric layer 11. Moreover, in the first terminal portion 10b1, the second electrode sheet 15 is not disposed.
  • the second electrode sheet 15 is embedded in the second surface side (the lower side of FIG. 3) of the material of the dielectric layer 11 as in the first electrode sheet 12. There is. That is, a part of the dielectric layer 11 on the second surface side functions as a second main fusion layer 16 for bonding the main portion of the dielectric layer 11 and the second electrode sheet 15.
  • the second main fusion layer 16 is disposed as at least a part of the dielectric layer 11 on the second surface side, and the fusion of the fusion material causes the second electrode sheet 15 and the main portion of the dielectric layer 11 Join the
  • the second main fusion layer 16 can be joined to the second surface of the dielectric layer 11 as a separate member, and the second electrode sheet 15 can be joined to the dielectric layer 11 by fusion of the fusion material.
  • the second electrode sheet 15 is embedded on the second surface side of the material of the dielectric layer 11. That is, the second main fusion layer 16 is a boundary portion between the main portion of the dielectric layer 11 and the second inner surface 15 b of the second electrode sheet 15, and the main portion of the dielectric layer 11 and the second electrode sheet 15. The boundary portions with the inner circumferential surfaces of the plurality of second through holes 15a are joined.
  • the second main protective layer 17 covers the second outer surface 15 c in a state of being bonded to the second outer surface 15 c of the second electrode sheet 15.
  • a part of the material of the dielectric layer 11 on the second surface side functions as a second main protective layer 17. That is, like the second main fusion layer 16, the second main protective layer 17 is disposed as a part of the second surface side of the material of the dielectric layer 11, and the second outer surface 15c is formed by fusion of the fusion material. To coat.
  • the second main protective layer 17 may be disposed as a separate member on the second surface side of the dielectric layer 11, and may cover the second outer surface 15c.
  • the second outer surface 15 c of the second electrode sheet 15 may be exposed to the outside.
  • the first main fusion layer 13 and the second main fusion layer 16 are formed by applying heat to the material of the dielectric layer 11 formed of a thermoplastic elastomer. Therefore, the first main fusion layer 13 and the second main fusion layer 16 are composed of the same material components as the dielectric layer 11. That is, the first main fusion layer 13 and the second main fusion layer 16 are formed without substantially changing the material component of the dielectric layer 11. This means that the first main fusion layer 13 and the second main fusion layer 16 do not contain a component such as a volatile adhesive or an organic solvent.
  • the dielectric layer 11 and the first electrode sheet 12 are joined by the fusion of the fusion material. Since the fusion material is not a volatile adhesive and an organic solvent, the sheet main body 10 can be manufactured without using a volatile adhesive and an organic solvent. Therefore, in the production of the sheet main body 10, the emission of VOC can be suppressed. The same applies to bonding of the dielectric layer 11 and the second electrode sheet 15.
  • the first lead wire 21 includes a first lead wire main body 21a which covers the conducting wire with an insulating material, and a first conducting portion 21b which is disposed on the tip end side and which exposes the conducting wire.
  • the first lead wire main body 21 a of the first lead wire 21 is disposed on the side (first outer surface 12 c) of the first electrode sheet 12 opposite to the dielectric layer 11.
  • the first conducting portion 21 b of the first lead wire 21 is formed by a stranded wire. That is, the first conduction portion 21b is not a single wire but a bundle of a plurality of thin lines.
  • the first conductive portion 21 b of the first lead wire 21 is disposed on the first surface side of the first terminal portion 10 b 1 of the sheet main body portion 10, specifically, on the first surface side of the dielectric layer 11. More specifically, the first conductive portion 21 b is disposed in contact with the exposed surface of the first electrode sheet 12.
  • the first conducting portion 21b may be disposed on the first outer surface 12c side of the first electrode sheet 12, as shown in FIG. Further, although not shown, the first conducting portion 21b may be arranged in a manner of being entangled with the first electrode sheet 12. In any case, the first conduction portion 21 b is electrically connected to the first electrode sheet 12.
  • the first fusion prevention layer 22 is formed in a sheet shape, and is formed of a material capable of regulating the passage of the fusion material constituting the first main fusion layer 13.
  • the first fusion prevention layer 22 is formed of a material having a softening point higher than that of the fusion material constituting the first main fusion layer 13.
  • a material having no softening point corresponds to a material having an infinite softening point.
  • the first fusion prevention layer 22 is formed of a resin sheet, heat-resistant paper, or the like.
  • the first fusion prevention layer 22 is partially disposed between the first electrode sheet 12 and the first main fusion layer 13. Specifically, the first fusion prevention layer 22 is disposed in the area where the first lead wire 21 is disposed. Therefore, the first fusion prevention layer 22 regulates the fusion of the first main fusion layer 13 to the first electrode sheet 12 in the region where the first lead wire 21 is disposed. That is, the central portion of the first fusion prevention layer 22 is in a state in which the first main fusion layer 13 does not exist. Accordingly, at the central portion, the first fusion prevention layer 22 exposes at least a part of the first electrode sheet 12 to the outside of the first main fusion layer 13.
  • the central portion of the outer surface of the first fusion prevention layer 22 is not bonded to the first main fusion layer 13 and is disposed in a non-bonded state on the first electrode sheet 12.
  • the inner surface of the first fusion prevention layer 22 is bonded to the first main fusion layer 13.
  • the outer edge portion of the outer surface of the first fusion inhibiting layer 22 is bonded to the first main adhesive layer 13. That is, the outer edge portion of the first fusion prevention layer 22 is embedded in the first main fusion layer 13. Therefore, the first fusion prevention layer 22 is positioned by the first main fusion layer 13.
  • the first connection portion 20 can expose the first electrode sheet 12 to the outside over a sufficiently wide range by having the first fusion prevention layer 22.
  • the first connection portion 20 can be configured not to have the first fusion prevention layer 22. Even in this case, it is possible to expose the first electrode sheet 12 to the outside. Then, the first conductive portion 21 b is electrically connected to a portion of the first electrode sheet 12 exposed to the outside.
  • the first clamp 23 electrically connects the first conductive portion 21 b and the first electrode sheet 12 by bringing the first conductive portion 21 b of the first lead wire 21 into direct contact with the first electrode sheet 12.
  • the first clamp 23 electrically connects the first conductive portion 21 b and the first electrode sheet 12 by bringing the first conductive portion 21 b of the first lead wire 21 into direct contact with the first electrode sheet 12.
  • the first clamp 23 is formed of a conductive material such as metal. Then, the first clamp 23 directly contacts the first conductive portion 21 b and directly contacts the first electrode sheet 12. Therefore, the first conductive portion 21 b and the first electrode sheet 12 are also electrically connected through the first clamp 23.
  • the first connection protective layer 24 is formed in a sheet shape, for example, of a thermoplastic material capable of functioning as a fusion material, in particular, a thermoplastic elastomer. Besides the thermoplastic material, the first connection protective layer 24 can also apply a resin insulating sheet having an adhesive layer or an adhesive layer. As shown in FIG. 2, the first connection protective layer 24 is formed in a shape corresponding to the area of the first lead wire 21 located on the first electrode sheet 12 and the area where the first clamp 23 is present. ing. The first connection protective layer 24 is disposed on the surface of the first electrode sheet 12 opposite to the dielectric layer 11 (the first outer surface 12c of the first electrode sheet 12), as shown in FIGS. 4 and 5. The first conducting portion 21b of the lead wire 21 and the first clamp 23 are protected. In particular, the first connection protective layer 24 covers a portion of the first electrode sheet 12 not protected by the first main protective layer 14.
  • the first connection protection layer 24 is joined by, for example, a first connection fusion layer 25 formed of a fusion material.
  • the first connection protection layer 24 is an insulating sheet made of a resin having an adhesive layer or an adhesive layer, the first connection fusion layer 25 does not exist.
  • the first connection protection layer 24 is exposed by the first connection fusion layer 25 among the first lead wire 21 and the first outer surface 12 c of the first electrode sheet 12. And the first clamp 23.
  • the first connection fusion bonding layer 25 joins the boundary between the first connection protection layer 24 and the first lead wire 21. Furthermore, the first connection fusion bonding layer 25 joins the boundary between the first connection protection layer 24 and the first electrode sheet 12. In detail, the first connection fusion bonding layer 25 bonds the boundary portion including the first outer surface 12 c of the first electrode sheet 12 and the inner peripheral surface of the first through hole 12 a.
  • first connection protective layer 24 is also bonded to the first main protective layer 14 by the first connection fusion layer 25. Therefore, the first connection protection layer 24 is integral with the sheet main body 10. Furthermore, a part of the first connection protection layer 24 is also bonded to the first fusion prevention layer 22 by the first connection fusion layer 25 via the first through holes 12 a of the first electrode sheet 12. .
  • the first connection fusion bonding layer 25 is formed by applying heat to the material of the first connection protection layer 24 formed of a thermoplastic elastomer. Therefore, the first connection fusion bonding layer 25 is made of the same material component as the first connection protection layer 24. That is, the first connection fusion bonding layer 25 is formed without substantially changing the material component of the first connection protection layer 24. This means that the first connection fusion bonding layer 25 does not contain a component such as a volatile adhesive or an organic solvent.
  • the first back surface protective layer 26 is joined to the second surface of the first terminal portion 10b1 by, for example, a first back surface fusion layer 27 formed of a fusion material.
  • a first back surface fusion layer 27 formed of a fusion material.
  • the first back surface protective layer 26 is a resin insulating sheet having an adhesive layer or an adhesive layer, the first back surface fusion layer 27 does not exist.
  • a portion of the first back surface protection layer 26 functions as the first back surface fusion layer 27.
  • the first back surface fusion layer 27 is disposed as a part of the first back surface protective layer 26, and joins the second surface of the first terminal portion 10b1 and the first back surface protective layer 26.
  • the first back surface fusion layer 27 can be joined to the first back surface protective layer 26 as a separate member, and the second surface of the first terminal portion 10b1 and the first back surface protective layer 26 can be joined.
  • the first back surface fusion layer 27 is formed by applying heat to the material of the first back surface protective layer 26 formed of a thermoplastic elastomer. Therefore, the first back surface fusion layer 27 is made of the same material component as the first back surface protective layer 26. That is, the first back surface fusion layer 27 is formed without substantially changing the material component of the first back surface protective layer 26. This means that the first back surface fusion layer 27 does not contain a component such as a volatile adhesive or an organic solvent.
  • the configuration of the second connection unit 30 will be described.
  • the second connection portion 30 has substantially the same configuration as the first connection portion 20. That is, the second connection portion 30 corresponds to a configuration in which the first connection portion 20 shown in FIGS. 3 and 4 is vertically inverted.
  • the second lead wire 31 includes a second lead wire main body 31a for covering the conducting wire with an insulating material, and a second conducting portion 31b disposed on the tip side and exposing the conducting wire.
  • the second lead wire main body 31 a of the second lead wire 31 is disposed on the side (second outer surface 15 c) of the second electrode sheet 15 opposite to the dielectric layer 11.
  • the second conduction portion 31 b of the second lead wire 31 is disposed on the second surface side of the dielectric layer 11.
  • the second conductive portion 31 b may be disposed on the second outer surface 15 c side of the second electrode sheet 15, or may be disposed so as to be entangled with the second electrode sheet 15.
  • the second conductive portion 31 b is electrically connected to the second electrode sheet 15.
  • the first clamp 23 includes a plurality of first legs 23a, a first connecting portion 23b, and a plurality of first return portions 23c.
  • first legs 23a a first connecting portion 23b
  • first return portions 23c a plurality of first return portions 23c.
  • the two first legs 23a are formed in a straight line, and penetrate the first terminal 10b1 of the sheet main body 10 in the thickness direction of the first terminal 10b1.
  • the two first legs 23 a are located on both sides of the first conduction portion 21 b of the first lead wire 21.
  • the base end of the first leg 23 a is on the first surface side of the sheet body 10
  • the tip of the first leg 23 a is on the second surface of the sheet body 10.
  • the middle of the first leg portion 23 a is in contact with the inner peripheral surface of the first through hole 12 a of the first electrode sheet 12.
  • the cross-sectional shape of the first leg 23a is formed larger than the first through hole 12a. That is, even if the first leg portion 23a is penetrated to any part of the first terminal portion 10b1, the first leg portion 23a is in contact with the first electrode sheet 12.
  • the first clamp 23 is formed of a conductive metal material. Therefore, the first leg portion 23 a is electrically connected to the first electrode sheet 12 by contacting the first electrode sheet 12.
  • the plurality of first return portions 23c are formed by bending from the respective tips of the plurality of first legs 23a.
  • the first return portion 23 c is locked to the second surface of the first terminal portion 10 b 1 of the sheet main body portion 10. That is, the first clamp 23 is fixed to the first terminal portion 10b1 by locking the first return portion 23c to the first terminal portion 10b1.
  • the first clamp 23 is performed as follows when fixed to the first terminal portion 10b1.
  • the tip of the U-shaped material of the first clamp 23 is inserted from the first surface side of the first terminal portion 10b1, and the first connecting portion 23b is pressed against the first conducting portion 21b. Thereafter, the tip of the U-shaped material of the first clamp 23 is bent to form a first return portion 23c. That is, the first conduction portion 21 b contacts the exposed surface of the first electrode sheet 12 by the first connecting portion 23 b.
  • the dielectric layer 11 of the sheet main body 10 is formed of an elastic body. Therefore, the first clamp 23 is fixed to the first terminal portion 10b1 in a state where the dielectric layer 11 of the first terminal portion 10b1 is compressed. Therefore, the first conductive portion 21 b contacts the exposed surface of the first electrode sheet 12 and the first connecting portion 23 b in a state of being always pressed by the reaction force of the dielectric layer 11.
  • the first conducting portion 21 b is formed by a stranded wire. Then, the first conductive portion 21b is pressed against the first connection portion 23b and the exposed surface of the first electrode sheet 12, so that the stranded wire originally arranged in a cylindrical shape is spread in a planar shape. Therefore, the first conductive portion 21b which spreads in a plane contacts the first electrode sheet 12 and contacts the first connecting portion 23b in a wide range. Thereby, the contact between the first conductive portion 21b and the first electrode sheet 12 can be made reliable, and the contact between the first conductive portion 21b and the first connecting portion 23b can be made reliable.
  • the first electrode sheet 12 and the first conducting portion 21b are electrically connected by direct contact as described above. Furthermore, since the first leg portion 23a is in direct contact with the first through hole 12a of the first electrode sheet 12, the first electrode sheet 12 and the first conduction portion 21b are the first leg portion 23a and the first connection. It will be in the state electrically connected via the part 23b.
  • the configuration of the second clamp 33 will be described.
  • the second clamp 33 has substantially the same configuration as the first clamp 23. That is, the second clamp 33 corresponds to a configuration in which the first clamp 23 shown in FIGS. 3 and 4 is vertically inverted.
  • the second clamp 33 includes a plurality of second legs 33a, a second connecting portion 33b, and a plurality of second return portions 33c.
  • the second leg 33a, the second connecting portion 33b, and the second return portion 33c are configured in substantially the same manner as the first leg 23a, the first connecting portion 23b, and the first return portion 23c, respectively. Therefore, these detailed descriptions are omitted.
  • the sheet main body portion 10 is configured by the dielectric layer 11, the first electrode sheet 12, and the second electrode sheet 15 in order to schematically illustrate.
  • the first connection portion 20 and the second connection portion 30 the first fusion control layer 22, the first connection fusion layer 25, the first back surface fusion layer 27, the second fusion control layer 32, the second The connection fusion layer 35 and the second back surface fusion layer 37 are not shown.
  • the terminal portion 10b includes the first terminal portion 10b1 and the second terminal portion 10b2.
  • the first electrode sheet 12 is disposed in the first terminal portion 10b1 and not disposed in the second terminal portion 10b2.
  • the second electrode sheet 15 is disposed in the second terminal portion 10b2 and not disposed in the first terminal portion 10b1.
  • the first conducting portion 21 b of the first lead wire 21 is in contact with the first electrode sheet 12.
  • the first conducting portion 21 b is fixed to the first terminal portion 10 b 1 by the first clamp 23.
  • the first connection protection layer 24 covers the first conducting portion 21 b and the first connecting portion 23 b of the first clamp 23.
  • the first back surface protection layer 26 covers the first return portion 23 c of the first clamp 23.
  • the second conduction portion 31 b of the second lead wire 31 is in contact with the second electrode sheet 15.
  • the second conductive portion 31 b is fixed to the second terminal portion 10 b 2 by the second clamp 33.
  • the second connection protection layer 34 covers the second conduction portion 31 b and the second connection portion 33 b of the second clamp 33.
  • the second back surface protection layer 36 covers the second return portion 33 c of the second clamp 33.
  • the first connection portion 20 and the second connection portion 30 are disposed offset in the surface direction of the sheet main body portion 10.
  • the second electrode sheet 15 is not disposed in the first terminal portion 10b1. That is, the second electrode sheet 15 is not disposed in the area where the first clamp 23 exists. Therefore, even if the first leg 23a of the first clamp 23 penetrates the first terminal portion 10b1, the first leg 23a does not contact the second electrode sheet 15. In other words, the first clamp 23 is not in a state of being electrically connected to the second electrode sheet 15.
  • the first electrode sheet 12 is not disposed in the second terminal portion 10b2. That is, the first electrode sheet 12 is not disposed in the area where the second clamp 33 exists. Therefore, even if the second leg 33a of the second clamp 33 penetrates the second terminal portion 10b2, the second leg 33a does not contact the first electrode sheet 12. In other words, the second clamp 33 is not in a state of being electrically connected to the first electrode sheet 12.
  • the first clamp 23 fixes the first conductive portion 21 b of the first lead wire 21 to the first terminal portion 10 b 1 of the sheet main body portion 10. That is, the first conductive portion 21 b is fixed to the first terminal portion 10 b 1 of the sheet main body portion 10 without applying solder or welding.
  • the thickness of the first connecting portion 23 b of the first clamp 23 can be reduced as compared to soldering or welding. Therefore, the thickness can be reduced at a portion where the first conducting portion 21 b of the first lead wire 21 is connected to the first electrode sheet 12.
  • the second clamp 33 the thickness can be reduced at a portion where the second conductive portion 31b of the second lead wire 31 is connected to the second electrode sheet 15.
  • the terminal portion 10b of the second example in the transducer 1 of the first example will be described with reference to FIGS. 8 and 9.
  • the terminal portion 10b of the second example includes a deformation allowing portion 10b3 in addition to the first terminal portion 10b1 and the second terminal portion 10b2.
  • the deformation allowing portion 10b3 is located at the boundary between the first terminal portion 10b1 and the second terminal portion 10b2.
  • the deformation allowing portion 10b3 is formed at the boundary between the first connection portion 20 and the second connection portion 30 in the offset direction.
  • the deformation allowing portion 10b3 allows relative movement of the first terminal portion 10b1 and the second terminal portion 10b2 in the surface normal direction.
  • the distance between the first electrode sheet 12 in the first terminal portion 10b1 and the second electrode sheet 15 in the second terminal portion 10b2 is a deformation allowance portion
  • the first terminal portion 10b1 and the second terminal portion 10b1 are set shorter than the facing distance D (shown in FIG. 9) between the first electrode sheet 12 and the second electrode sheet 15 in the transducer portion 10a corresponding to the state before deformation by 10b3.
  • Terminal portion 10b2 is arranged.
  • the deformation allowing portion 10b3 is a slit cut from the first surface to the second surface of the terminal portion 10b of the sheet main body portion 10. Then, as shown in FIG. 9, the butting surfaces forming the slits are shifted in the thickness direction of the sheet main body 10. That is, compared with the facing distance D between the first electrode sheet 12 and the second electrode sheet 15 in the transducer portion 10a corresponding to the state before deformation by the deformation allowing portion 10b3, the first electrode sheet 12 in the first terminal portion 10b1 The distance in the thickness direction of the sheet main body 10 with the second electrode sheet 15 in the second terminal portion 10b2 is shortened. As a result, the distance in the thickness direction of the sheet main body portion 10 between the first conductive portion 21 b and the second conductive portion 31 b is shortened.
  • the first conductive portion 21b and the second conductive portion 31b are offset in the surface direction, and the terminal portion 10b includes the deformation allowing portion 10b3.
  • the deformation allowing portion 10b3 acts to bring the first conductive portion 21b and the second conductive portion 31b close to each other in the thickness direction of the sheet body portion 10.
  • the portion of the dielectric layer 11 facing the first conductive portion 21 b and the portion of the dielectric layer 11 facing the second conductive portion 31 b are not located on the same plane, and the thickness of the dielectric layer 11 Misaligned in the direction.
  • the range of the thickness direction of the portion including the first conducting portion 21b, the first electrode sheet 12, and the dielectric layer 11 and the second conducting portion 31b, the second electrode sheet 15, and the dielectric layer 11 are included.
  • the range in the thickness direction of the portion overlaps in most part. That is, even when the first lead wire 21 and the second lead wire 31 are disposed on the opposite side of the sheet main body 10, the thickness H of the entire terminal portion 10b is reduced. As a result, the maximum thickness of the entire electrostatic sheet constituting the transducer 1 can be reduced.
  • the first electrode sheet 12 is disposed in the first terminal portion 10b1, and not disposed in the second terminal portion 10b2.
  • the second electrode sheet 15 is not disposed in the first terminal portion 10b1, but is disposed in the second terminal portion 10b2.
  • the thickness H of the whole terminal part 10b becomes smaller by arrange
  • Terminal 10b of Third Example The detailed configuration of the terminal portion 10 b of the third example in the transducer 1 of the first example will be described with reference to FIGS. 10 and 11.
  • the terminal portion 10b of the third example is different from the terminal portion 10b of the second example in the deformation allowing portion 10b3.
  • the deformation allowing portion 10b3 is configured by bending deformation of the dielectric layer 11 formed of an elastomer.
  • the dielectric layer 11 of the first terminal portion 10b1 and the dielectric layer 11 of the second terminal portion 10b2 are continuously connected by the dielectric layer 11 of the deformation allowing portion 10b3.
  • the deformation allowing portion 10b3 is formed in a step-like shape by bending deformation of the dielectric layer 11.
  • the distance between the first electrode sheet 12 at the first terminal portion 10b1 and the second electrode sheet 15 at the second terminal portion 10b2 are set shorter than the facing distance D (shown in FIG. 11) between the first electrode sheet 12 and the second electrode sheet 15 in the transducer portion 10a corresponding to the state before deformation by the portion 10b3.
  • Two-terminal portion 10b2 is arranged. As a result, the distance in the thickness direction of the sheet main body portion 10 between the first conductive portion 21 b and the second conductive portion 31 b is shortened.
  • the thickness H of the entire terminal portion 10b is reduced.
  • the maximum thickness of the entire electrostatic sheet constituting the transducer 1 can be reduced.
  • the deformation allowing portion 10b3 of this example is preferable.
  • the dielectric layer 11 of the first terminal portion 10b1 and the dielectric layer 11 of the second terminal portion 10b2 can be reliably displaced largely, and the shape of the dielectric layer 11 becomes a simple shape.
  • the material 11 a of the dielectric layer 11 constituting the sheet main body 10, the first electrode sheet 12, and the second electrode sheet 15 are prepared.
  • the material 11a of the dielectric layer 11 is formed of the material of the dielectric layer 11, the material of the first main fusion layer 13, and the first main protective layer 14 from the lower surface side of FIG. Make up the material.
  • the material 11a of the dielectric layer 11 constitutes the material of the dielectric layer 11, the material of the second main fusion layer 16, and the material of the second main protective layer 17.
  • the material 11 a of the dielectric layer 11 is the material of the second main protective layer 17, the material of the second main fusion layer 16, the material of the dielectric layer 11, and the first main fusion layer 13. And the material of the first main protective layer 14.
  • the materials of the first lead wire 21, the first fusion prevention layer 22, the first clamp 23, the first connection protection layer 24 and the material of the first back surface protection layer 26 constituting the first connection portion 20 are prepared.
  • the material of the first connection protective layer 24 constitutes the material of the first connection fusion layer 25, the first connection protective layer 24.
  • the material of the first back surface protective layer 26 constitutes the material of the first back surface fusion layer 27, the first back surface protective layer 26.
  • the material of the second lead wire 31, the second fusion prevention layer 32, the second clamp 33, and the second connection protection layer 34 constituting the second connection portion 30 and the material of the second back surface protection layer 36 are prepared.
  • the material of the second connection protection layer 34 constitutes the material of the second connection fusion layer 35, the second connection protection layer 34.
  • the material of the second back surface protection layer 36 constitutes the material of the second back surface fusion layer 37, the second back surface protection layer 36.
  • laminated body forming step: S1 That is, in FIG. 12, the dielectric layer 11, the material of the first main fusion layer 13, the material of the first main protective layer 14, the first fusion regulation layer 22, and the first electrode sheet 12 are in this order. It is stacked.
  • the second terminal portion 10b2 (a) the second electrode sheet 15, (b) the second fusion limiting layer 32, and (c) the material 11a of the dielectric layer 11 are laminated in this order. , A laminate is formed. Further, although not shown, in the transducer unit 10a, the laminated body is formed by laminating in order of (a) the second electrode sheet 15, (b) the material 11a of the dielectric layer 11, and (c) the first electrode sheet 12. It is formed.
  • the entire laminate is heated while being pressurized in the thickness direction (pressure heating step: S2).
  • pressure heating step: S2 the 1st surface side of material 11a of dielectric material layer 11 currently formed of thermoplastic elastomer melts.
  • the first electrode sheet 12 is embedded on the first surface side of the material 11 a of the dielectric layer 11 in the region excluding the region facing the first fusion bonding control layer 22.
  • a part of the material 11 a of the dielectric layer 11 forms the first main fusion layer 13 and bonds the dielectric layer 11 and the first electrode sheet 12. That is, the first main fusion layer 13 bonds the dielectric layer 11 and the first electrode sheet 12 in the area excluding the area facing the first fusion prevention layer 22. Furthermore, in the region excluding the region facing the first fusion limiting layer 22, a portion of the material 11a of the dielectric layer 11 covers the first outer surface 12c side of the first electrode sheet 12 to provide a first main protection. Layer 14 is formed.
  • the material 11 a of the dielectric layer 11 forms the first main fusion layer 13, and the dielectric layer 11 and the inner surface of the first fusion prevention layer 22 Join the
  • the first fusion prevention layer 22 regulates the fusion of the first main fusion layer 13 to the first electrode sheet 12. Therefore, the first main fusion layer 13 is not joined to a part of the first electrode sheet 12 by the first fusion restriction layer 22, and a part of the first electrode sheet 12 is outside the first main fusion layer 13. It is arranged in the state of being exposed.
  • the first main fusion layer 13 is not present at least at the center of the outer surface side of the first fusion prevention layer 22.
  • the first main fusion layer 13 is disposed around the outer edge of the outer side of the first fusion regulating layer 22. That is, the outer edge portion of the first fusion prevention layer 22 is embedded by the first main fusion layer 13.
  • the second electrode sheet 15 is embedded on the second surface side of the material 11 a of the dielectric layer 11 in the region excluding the region facing the second fusion limiting layer 32. That is, the second main fusion layer 16 joins the dielectric layer 11 and the second electrode sheet 15 in the area excluding the area facing the second fusion limiting layer 32. Furthermore, in the region excluding the region facing the second fusion limiting layer 32, a part of the material 11a of the dielectric layer 11 covers the second outer surface 15c side of the second electrode sheet 15, thereby providing a second main protection Layer 17 is formed. Further, the area facing the second fusion preventing layer 32 is the same as the area facing the first fusion preventing layer 22.
  • the first electrode in the configuration in which the first connection portion 20 does not have the first fusion bonding restriction layer 22, in the pressure heating step S2, the first electrode is made weaker than the other portions by making the pressure in the corresponding portion weaker.
  • a part of the sheet 12 can be exposed to the outside of the material 11 a of the dielectric layer 11 (outside of the first main fusion layer 13).
  • the above can also be realized by adjusting the heating temperature in addition to the adjustment of the pressurizing pressure.
  • the second connection portion 30 does not have the second fusion regulating layer 32. That is, it is possible to expose a part of the second electrode sheet 15 to the outside of the material 11 a of the dielectric layer 11 (the outside of the second main fusion layer 16).
  • the first lead wire 21 is disposed on the first outer surface 12c side of the first electrode sheet 12 (lead wire arrangement step: S3).
  • the second lead wire 31 is disposed on the second electrode sheet 15 side (lead wire arrangement step: S3).
  • the entire first conducting portion 21 b of the first lead wire 21 is disposed in contact with the first outer surface 12 c of the first electrode sheet 12.
  • the first conductive portion 21 b of the first lead wire 21 is electrically connected to the first electrode sheet 12.
  • the 1st clamp 23 is attached in the connection area
  • the material of the first connection protection layer 24 is made of the first electrode sheet 12 and the first conductive portion 21 b of the first lead wire 21.
  • the first clamp 23 is disposed to cover (connection protective layer placement step: S5).
  • the material of the second connection protection layer 34 is made of the second electrode sheet 15, the second conductive portion 31b of the second lead wire 31, and the second clamp 33. It arranges so that it may coat (S5).
  • the material of the first back protective layer 26 is disposed in the area where the first return portion 23 c of the first clamp 23 is exposed (rear protective layer disposing step: S 6). Further, the material of the second back surface protection layer 36 is disposed in the region where the second return portion 33c of the second clamp 33 is exposed (S6).
  • the first connection fusion bonding layer 25 formed by melting the material of the first connection protection layer 24 corresponds to the first electrode sheet 12, the first conductive portion 21 b of the first lead wire 21, and the first clamp 23.
  • the first connecting portion 23 b and the first fusion limiting layer 22 are joined.
  • a part of the first connection fusion layer 25 is also bonded to the first main protective layer 14. In this way, the first connection protection layer 24 covers the area facing the first fusion prevention layer 22.
  • the second connection protection layer 34 is formed of the second electrode sheet 15, the second conductive portion 31 b of the second lead wire 31, the second clamp 33, and the second fusion restriction layer 32 by the second connection fusion layer 35. And a portion of the second main protective layer 17 (S7). Furthermore, the first back surface protective layer 26 is bonded to the second surface of the dielectric layer 11 by the first back surface fusion layer 27 (S7). Furthermore, the second back surface protection layer 36 is bonded to the first surface of the dielectric layer 11 by the second back surface fusion layer 37 (S7).
  • the first main fusion layer 13 is not joined to a portion of the first electrode sheet 12 by the first fusion restriction layer 22, and a portion of the first electrode sheet 12 is reliably made the first main fusion layer 13. It is placed outside of the Therefore, it becomes easy and reliable to electrically connect the first conductive portion 21 b of the first lead wire 21 to the first electrode sheet 12. Furthermore, by disposing a part of the first electrode sheet 12 outside the first main fusion layer 13, the first electrode sheet 12 and the first lead wire can be obtained by the first clamp 23 or the first connection protection layer 24. It is possible to fix a state in which the first conductive portion 21 b is electrically connected to the first conductive portion 21 b. The same applies to the second fusion control layer 32.
  • the first connection protective layer 24 is a resin insulating sheet having an adhesive layer or an adhesive layer
  • the first connection protective layer 24 may be attached without heating in the protective layer fusion step S7. Is possible (protective layer sticking step: S7).
  • the second connection protection layer 34 is the insulating sheet. That is, the second connection protection layer 34 can be attached without heating.
  • Transducer 100 of the second example An electrostatic sheet constituting the second example of the transducer 100 will be described with reference to FIGS.
  • the transducer 100 of the second example is substantially common to the sheet body 10 with respect to the transducer 1 of the first example, and the first connecting portion 120 and the second connecting portion 130 are different.
  • the 1st connection part 120 and the 2nd connection part 130 are demonstrated.
  • the same configurations as those of the first connection unit 20 and the second connection unit 30 in the transducer 1 of the first example are given the same reference numerals, I omit it.
  • the first electrode sheet 12 and the second electrode sheet 15 are formed in the same shape.
  • the shapes of the first electrode sheet 12 and the second electrode sheet 15 may be different in the first terminal portion 10b1 and the second terminal portion 10b2.
  • the first connection portion 120 includes at least a first lead wire 21, a first fixing layer 123, and a first connection protection layer 24.
  • the first connection portion 120 includes the first lead wire 21, the first fusion prevention layer 22, the first fixing layer 123, the first connection protection layer 24, and the first connection fusion layer 25. That is, in the first connection portion 120, the first lead wire 21 and the first fusion prevention layer 22 are common to the first connection portion 20 in the transducer 1 of the first example, and the first fixing layer 123 is different. In addition, the first back surface protection layer 26 and the first back surface fusion layer 27 are not provided.
  • the first fixing layer 123 is replaced by the first clamp 23.
  • the first connection portion 120 may be configured not to further include the first fusion prevention layer 22 and the first connection fusion layer 25 as in the transducer 1 of the first example.
  • the second connection portion 130 includes at least a second lead wire 31, a second fixing layer 133, and a second connection protection layer 34.
  • the second connection portion 130 includes the second lead wire 31, the second fusion prevention layer 32, the second fixing layer 133, the second connection protection layer 34, and the second connection fusion layer 35.
  • the second connection portion 130 is different from the second connection portion 30 in the transducer 1 of the first example in that the second lead wire 31 and the second fusion limiting layer 32 are common, and the second fixing layer 133 is different. And the second back surface fusion layer 37 and the second back surface fusion layer 37 are not provided.
  • the second adhesive layer 133 is replaced by the second clamp 33.
  • the second connection portion 130 may be configured not to further include the second fusion restriction layer 32 and the second connection fusion layer 35, as in the transducer 1 of the first example.
  • the first fixed layer 123 electrically connected the first conductive portion 21b of the first lead wire 21 to the first electrode sheet 12 in the area where the first electrode sheet 12 is exposed.
  • the first fixing layer 123 is, for example, a conductive bonding material such as solder or conductive resin. That is, the first conductive portion 21 b of the first lead wire 21 is electrically connected to the first electrode sheet 12 in a wide range and reliably by the first fixed layer 123.
  • the first connection protective layer 24 is a portion of the first lead wire 21, the first outer surface 12 c of the first electrode sheet 12 exposed by the first connection fusion layer 25, and the first fixing layer 123. Bonded to.
  • the first connection protection layer 24 is a resin insulating sheet having an adhesive layer or an adhesive layer, the first lead wire 21 and the first electrode sheet do not have the first connection fusion layer 25. 12 and the first adhesive layer 123.
  • the second fixing layer 133 electrically connected the second conductive portion 31b of the second lead wire 31 to the second electrode sheet 15 in the region facing the second fusion limiting layer 32.
  • the second conductive portion 31 b of the second lead wire 31 is fixed to the second electrode sheet 15.
  • the second adhesive layer 133 is, for example, a conductive bonding material such as solder or conductive resin. That is, the second conductive portion 31 b of the second lead wire 31 is electrically connected to the second electrode sheet 15 in a wide range and reliably by the second fixed layer 133.
  • the second connection protection layer 34 is a portion of the second lead wire 31 and the second outer surface 15 c of the second electrode sheet 15 exposed by the second connection fusion layer 35, and the second fixing layer 133. Bonded to.
  • the second connection protection layer 34 is an insulating sheet made of resin having an adhesive layer or an adhesive layer, the second lead wire 31 and the second electrode sheet do not have the second connection fusion layer 35. And 15 and the second fixing layer 133.
  • the first connection portion 120 and the second connection portion can be configured without the first fusion prevention layer 22 and the second fusion prevention layer 32.
  • connection protective layer 24 is formed of the first electrode sheet 12, the first conductive portion 21 b of the first lead wire 21, and , And the first fixing layer 123 is disposed to cover (connection protective layer arranging step: S15). The same applies to the area where the second electrode sheet 15 is exposed.
  • the first connection protective layer 24 is a resin insulating sheet having an adhesive layer or an adhesive layer
  • the first connection protective layer 24 is attached without heating in the protective layer fusion step S16.
  • protection layer sticking step: S16 protection layer sticking step
  • the second connection protection layer 34 is the insulating sheet. That is, the second connection protection layer 34 can be attached without heating.
  • the electrostatic sheet which comprises the transducer 200 of a 3rd example is demonstrated with reference to FIG.
  • the first conducting portion 21b may be disposed in a manner of being entangled with the first electrode sheet 12.
  • the first conduction portion 21 b is electrically connected to the first electrode sheet 12.
  • the second conductive portion 31 b may also be disposed in a manner entangled with the second electrode sheet 15.
  • the second conduction portion 31 b is electrically connected to the second electrode sheet 15.
  • the first conduction portion 21 b can be disposed so as to be entangled with the first electrode sheet 12 in the transducer 1 of the first example. The same applies to the second conduction portion 31 b.
  • the first conductive portion 21b of the first lead wire 21 is disposed in a manner of being entangled with the first electrode sheet 12. Subsequently, the pressure heating step S2 is performed. Here, the lead wire arrangement step S3 in the second example is not performed.
  • the fixed layer forming step S14, the connection protective layer arranging step S15, and the protective layer fusing step S16 (or the protective layer attaching step S16) in the transducer 100 of the second example are executed.
  • the third example transducer 200 is manufactured.
  • the electrostatic sheet constituting the fourth example transducer 300 will be described with reference to FIGS. 21 to 23.
  • the transducer 300 of the fourth example is configured the same as the transducer 100 of the second example except for the deformation allowing unit 10b3.
  • the terminal portion 10 b includes a first terminal portion 10 b 1, a second terminal portion 10 b 2, and a deformation allowing portion 10 b 3.
  • the deformation allowing portion 10b3 is similar to the terminal portion 10b of the second example of the transducer 1 of the first example.
  • the sheet main body portion 10 is configured by the dielectric layer 11, the first electrode sheet 12, and the second electrode sheet 15 in order to schematically illustrate. Further, also in the first connection portion 120 and the second connection portion 130, the first fusion prevention layer 22, the first connection fusion layer 25, the second fusion restriction layer 32, and the second connection fusion layer 35 are not illustrated. .
  • the first connection portion 120 and the second connection portion 130 may be configured not to have the first fusion prevention layer 22 and the second fusion prevention layer 32.
  • the 1st connection protective layer 24 and the 2nd connection protective layer 34 can also apply the insulating sheet made from resin which has an adhesion layer or an adhesion layer other than a thermoplastic material.
  • the terminal portion 10b includes the first terminal portion 10b1, the second terminal portion 10b2, and the deformation allowing portion 10b3.
  • the first electrode sheet 12 is disposed at the first terminal portion 10b1 and also disposed at the second terminal portion 10b2.
  • the first electrode sheet 12 may be disposed only on the first terminal portion 10b1.
  • the second electrode sheet 15 is disposed only at the second terminal portion 10b2.
  • the second electrode sheet 15 may also be disposed in the first terminal portion 10b1 and also disposed in the second terminal portion 10b2.
  • the first conductive portion 21 b is disposed on the first surface side of the dielectric layer 11, and the second conductive portion 31 b is disposed on the second surface side of the dielectric layer 11. That is, the first conduction portion 21 b and the second conduction portion 31 b are disposed on the surface of the dielectric layer 11 opposite to the front and back in the thickness direction.
  • the terminal portion 10b includes the deformation allowing portion 10b3 at the boundary between the first terminal portion 10b1 and the second terminal portion 10b2. That is, the deformation allowing portion 10b3 is formed at the boundary between the first conducting portion 21b and the second conducting portion 31b in the offset direction. The deformation allowing portion 10b3 allows relative movement of the first terminal portion 10b1 and the second terminal portion 10b2 in the surface normal direction.
  • the distance between the first conductive portion 21b and the second conductive portion 31b is greater than the facing distance D between the first electrode sheet 12 and the second electrode sheet 15 before deformation. It is supposed to be short.
  • the deformation allowing portion 10b3 is a slit cut from the first surface to the second surface of the dielectric layer 11. Then, as shown in FIG. 23, the abutting surfaces forming the slits are shifted in the thickness direction of the dielectric layer 11. That is, compared with the facing distance D between the first electrode sheet 12 and the second electrode sheet 15 in the transducer unit 10a corresponding to the state before deformation by the deformation allowing portion 10b3, the first conductive portion 21b and the second conductive portion 31b The distance in the thickness direction of the dielectric layer 11 is shortened.
  • the range of the thickness direction of the portion including the first conducting portion 21b, the first electrode sheet 12, and the dielectric layer 11 and the second conducting portion 31b, the second electrode sheet 15, and the dielectric layer 11 are included.
  • the range in the thickness direction of the portion overlaps in most part.
  • the first conductive range configured to include the first electrode sheet 12 and the first conductive portion 21b, and the second conductive range configured to include the second electrode sheet 15 and the second conductive portion 31b are dielectrics. Most of them overlap in the thickness direction of the body layer 11.
  • the thickness H of the entire terminal portion 10b is reduced.
  • the maximum thickness of the entire electrostatic sheet constituting the transducer 1 can be reduced.
  • the second electrode sheet 15 is disposed at the central portion of the second terminal portion 10b2, and not disposed at the edge on the slit side of the second terminal portion 10b2.
  • the first electrode sheet 12 is disposed across the first terminal portion 10b1 and the second terminal portion 10b2. Therefore, only the first electrode sheet 12 is disposed around the slits (edges forming the slits), and the second electrode sheet 15 is not disposed. Therefore, when the 1st terminal area 10b1 and the 2nd terminal area 10b2 have shifted in the thickness direction, it is prevented that the 1st electrode sheet 12 and the 2nd electrode sheet 15 contact.
  • the same effect as described above can be obtained even when the first electrode sheet 12 is not disposed around the slits and only the second electrode sheet 15 is disposed. Although not shown, the same effect as described above is obtained even when the first electrode sheet 12 and the second electrode sheet 15 are not disposed around the slit.
  • Transducer 400 of the fifth example The electrostatic sheet which comprises the transducer 400 of a 5th example is demonstrated with reference to FIG.
  • the transducer 400 of the fifth example differs from the transducer 300 of the fourth example in the deformation allowing unit 10b3.
  • the deformation allowing portion 10b3 is configured by bending deformation of the dielectric layer 11 formed of an elastomer.
  • the dielectric layer 11 of the first terminal portion 10b1 and the dielectric layer 11 of the second terminal portion 10b2 are continuously connected by the dielectric layer 11 of the deformation allowing portion 10b3.
  • the deformation allowing portion 10b3 is formed in a step-like shape by bending deformation of the dielectric layer 11.
  • the deformation allowing portion 10b3 is formed in the first electrode sheet 12 in the first terminal portion 10b1 and the second in the second terminal portion 10b2 in the surface normal direction of the sheet body portion 10 (the thickness direction of the dielectric layer 11).
  • the first distance between the first electrode sheet 12 and the second electrode sheet 15 in the transducer portion 10a corresponding to the state before deformation by the deformation allowing portion 10b3 is shorter than the distance D between the first electrode sheet 12 and the second electrode sheet 15
  • the terminal portion 10b1 and the second terminal portion 10b2 can be disposed.
  • the second electrode sheet 15 to be shorter than the facing distance D.
  • the first electrode sheet 12 is disposed in the first terminal portion 10b1, and not disposed in the second terminal portion 10b2.
  • the second electrode sheet 15 is not disposed in the first terminal portion 10b1, but is disposed in the second terminal portion 10b2.
  • the thickness H of the whole terminal part 10b becomes smaller by arrange
  • the deformation allowing portion 10b3 of this example is preferable.
  • the dielectric layer 11 of the first terminal portion 10b1 and the dielectric layer 11 of the second terminal portion 10b2 can be reliably displaced largely, and the shape of the dielectric layer 11 becomes a simple shape.
  • first connection portion 120 and the second connection portion 130 may be configured not to have the first fusion prevention layer 22 and the second fusion prevention layer 32.
  • the 1st connection protective layer 24 and the 2nd connection protective layer 34 can also apply the insulating sheet made from resin which has an adhesion layer or an adhesion layer other than a thermoplastic material.
  • the transducer 500 of the sixth example is configured not to include the first fusion bonding restriction layer 22 and the second fusion bonding restriction layer 32 with respect to the transducer 100 of the second example, as well as to the first connection portion 20 and the second connection.
  • the portion 30 is disposed in the terminal portion 10 b of the sheet main body portion 10 without being offset.
  • the first connection portion 20 and the second connection portion 30 may be arranged to be offset.
  • the material of the dielectric layer 11, the first electrode sheet 12 and the second electrode sheet 15 are disposed at predetermined positions (S21). Specifically, the first electrode sheet 12 is disposed on the first surface side of the material of the dielectric layer 11, and the second electrode sheet 15 is disposed on the second surface side of the material of the dielectric layer 11.
  • the entire laminate is heated while being pressurized in the thickness direction (S22).
  • a part of the material of the dielectric layer 11 formed of the thermoplastic elastomer is melted, and the first electrode sheet 12 is embedded in the first surface side of the material of the dielectric layer 11.
  • a part of the material of the dielectric layer 11 forms the first main fusion layer 13 and bonds the dielectric layer 11 and the first electrode sheet 12.
  • the other part of the dielectric layer 11 formed of a thermoplastic elastomer is melted, and the second electrode sheet 15 is embedded on the second surface side of the material of the dielectric layer 11. In this way, the other part of the material of the dielectric layer 11 forms the second main fusion layer 16, and the dielectric layer 11 and the second electrode sheet 15 are joined.
  • the first lead wire 21 is disposed on the first electrode sheet 12 side
  • the second lead wire 31 is disposed on the second electrode sheet 15 side (S23).
  • the first fixed layer 123 is formed by soldering the connection region between the first conductive portion 21b of the first lead wire 21 and the first electrode sheet 12 (S24).
  • the second fixed layer 133 is formed by soldering the connection region of the second conductive portion 31 b of the second lead wire 31 and the second electrode sheet 15 (S 24).
  • the material of the first connection protection layer 24 is disposed so as to cover the first conductive portion 21 b of the first lead wire 21 and the first fixed layer 123, and the material of the second connection protection layer 34 is It arrange
  • connection protection layers 24 and 34 is pressurized in the thickness direction and heated (S26). Thereby, a part of the material of the first connection protection layer 24 and a part of the dielectric layer 11 formed of a thermoplastic elastomer are melted, and the first connection fusion layer 25 which is the melted part is the dielectric layer 11.
  • the first electrode sheet 12, the first lead wire 21, the first fixing layer 123, and the first connection protection layer 24 are joined.
  • the second connection protection layer 34 formed of a thermoplastic elastomer and a portion of the dielectric layer 11 are melted, and the second connection fusion layer 35 which is the melted portion is the dielectric layer 11, The second electrode sheet 15, the second lead wire 31, the second fixing layer 133, and the second connection protection layer 34 are joined.
  • the first lead wire 21 and the first connection protection layer 24 are disposed on the side (the first outer surface 12 c) opposite to the dielectric layer 11 in the first electrode sheet 12. Therefore, the first lead wire 21 and the first connection protection layer 24 are bonded to the first electrode sheet 12 itself functioning as the transducer 500, not to the electrode drawn out. Therefore, since the external electrode is not required, the manufacturing cost of the transducer 500 can be reduced.
  • part of the dielectric material layer 11 and the 1st connection protection layer 24 joins by melt
  • the fusion material is at least one of a portion of the dielectric layer 11 and a portion of the first connection protection layer 24. That is, both are joined without using the volatilization type adhesive and the organic solvent. Therefore, the emission of VOC can be suppressed.
  • first connection protective layer 24 and the dielectric layer 11 are bonded by a fusion material (a part of which is applied).
  • This configuration can be realized by arranging the first lead wire 21 and the first connection protection layer 24 on the side (the first outer surface 12 c) of the first electrode sheet 12 opposite to the dielectric layer 11.
  • the first electrode sheet 12 and the first lead wire 21 are interposed between the first connection protective layer 24 and the dielectric layer 11.
  • the first connection protection layer 24 and the dielectric layer 11 are in the state of having the first electrode sheet 12 and the first lead wire 21 interposed therebetween. , It becomes possible to join.
  • the boundary between the first electrode sheet 12 and the first connection protective layer 24 is joined by fusion of a fusion material.
  • the fusion material here is a part of the material of the first connection protective layer 24. Also in this case, both are joined without using the volatile adhesive and the organic solvent as described above. Therefore, the emission of VOC can be suppressed.
  • first connection protective layer 24 and the first electrode sheet 12 are joined by the fusion material.
  • the fusion material here is a part of the material of the first connection protective layer 24.
  • the portion of the first electrode sheet 12 to be fused includes the inner peripheral surface of the first through hole 12 a of the first electrode sheet 12.
  • the first conduction portion 21 b of the first lead wire 21 is present. That is, the first conductive portion 21 b of the first lead wire 21 is embedded in the joined first connection protection layer 24 and the first electrode sheet 12. Therefore, the first electrode sheet 12 and the first lead wire 21 are reliably maintained in an electrically connected state.
  • the above demonstrated the 1st electrode sheet 12 side it is the same about the 2nd electrode sheet 15 side.
  • the dielectric material layer 11 and the 1st electrode sheet 12, and the dielectric material layer 11 and the 2nd electrode sheet 15 are fusion materials. It is joined by fusion bonding.
  • the fusion material here is a part of the dielectric layer 11.
  • the fusion-bonded portion with the first electrode sheet 12 includes the first inner surface 12 b of the first electrode sheet 12 and the inner peripheral surface of the first through hole 12 a of the first electrode sheet 12.
  • the fusion-bonded portion with the second electrode sheet 15 includes the second inner surface 15 b of the second electrode sheet 15 and the inner circumferential surface of the second through hole 15 a of the second electrode sheet 15. Also in this case, both are joined without using the volatile adhesive and the solvent as described above. Therefore, the emission of VOC can be suppressed. Then, by using the inner peripheral surface of the first through hole 12a and the inner peripheral surface of the second through hole 15a as a fusion-bonded portion, the two become stronger in bonding.
  • the 1st connection protection layer 24 and the 2nd connection protection layer 34 can apply the insulating sheet made from resin which has an adhesion layer or an adhesion layer.
  • the first connection fusion bonding layer 25 and the second connection fusion bonding layer 35 are not provided.
  • the first connection protection layer 24 and the second connection protection layer 34 can be attached without heating.
  • Transducer 600 of the seventh example The electrostatic sheet which comprises the transducer 600 of a 7th example is demonstrated with reference to FIG. As shown in FIG. 28, the transducer 600 has a structure without the first fixing layer 123 and the second fixing layer 133 in the transducer 600 of the sixth example. That is, the first connection protection layer 24 directly protects the first conduction portion 21 b of the first lead wire 21, and the second connection protection layer 34 directly protects the second conduction portion 31 b of the second lead wire 31. This aspect is applicable when the bonding force by the first connection protection layer 24 and the second connection protection layer 34 is sufficient.
  • the dielectric layer 11 is formed of a non-thermoplastic material and has holes communicating in the stacking direction (thickness direction).
  • the dielectric layer 11 for example, an elastomeric foam material of non-thermoplastic material is used.
  • a non-thermoplastic non-woven fabric of a non-thermoplastic material or the like may be applied to the dielectric layer 11. Since the dielectric layer 11 is a non-thermoplastic material, it does not melt even if heat is applied.
  • the dielectric layer 11 and the first electrode sheet 12 are between the dielectric layer 11 and the first electrode sheet 12 in order to bond the dielectric layer 11 and the first electrode sheet 12.
  • a separate first main adhesive layer 13 is provided.
  • the first main fusion layer 13 bonds a portion of the first inner surface 12b of the first electrode sheet 12 to the dielectric layer 11, and a portion of the inner peripheral surface of the first through hole 12a of the first electrode sheet 12
  • the dielectric layer 11 is bonded. Therefore, the first through holes 12 a of the first electrode sheet 12 are not completely blocked, and at least a part of the first through holes 12 a is kept penetrating.
  • the first main fusion layer 13 and the second main fusion layer 16 are formed of an elastomer (fusion material) of a thermoplastic material.
  • the first main fusion layer 13 and the second main fusion layer 16 are formed of, for example, a particulate material, and are melted by the application of heat, and the objects are joined by the fusion of itself. .
  • the first main fusion layer 13 and the second main fusion layer 16 are separate from the dielectric layer 11, it is preferable that the first main fusion layer 13 and the second main fusion layer 16 have an elastic modulus similar to that of the dielectric layer 11 in a solidified state.
  • the dielectric layer 11 has the holes communicating with each other in the stacking direction, and at least a part of the first through hole 12 a of the first electrode sheet 12 is not closed, and the second electrode sheet 15 The two through holes 15a are not at least partially closed. Therefore, the laminate constituted by the dielectric layer 11, the first electrode sheet 12 and the second electrode sheet 15 has air permeability in the laminating direction. Therefore, the transducer 700 is suitably applied to a site requiring air permeability.
  • the first connection protection layer 24 and the second connection protection layer 34 are the same as in the first example. Accordingly, the first connection protective layer 24 is bonded to the dielectric layer 11, the first electrode sheet 12, the first lead wire 21, and the first adhesive layer 123 by fusion bonding of itself. Further, the second connection protection layer 34 is bonded to the dielectric layer 11, the second electrode sheet 15, the second lead wire 31, and the second fixing layer 133 by fusion bonding of itself.
  • the first connection fusion layer 25 is constituted only by a portion of the first connection protection layer 24, and the second connection fusion layer 35 is constituted only by a portion of the second connection protection layer 34. ing.
  • the first electrode sheet 12 and the first lead wire 21 are disposed at predetermined positions (S31), and soldering is performed (S32). Thus, the first fixing layer 123 is formed. Subsequently, the second electrode sheet 15 and the second lead wire 31 are disposed at predetermined positions (S33), and soldering is performed (S34). Thus, the second fixed layer 133 is formed.
  • the fusion material of the dielectric layer 11, the first electrode sheet 12, the first lead wire 21, the first fixing layer 123, the first main fusion layer 13, and the first connection protection layer 24 are placed at predetermined positions. It arranges (S35). Then, the entire sheet is pressurized in the thickness direction and heated (S36). As a result, the fusion material of the first main fusion layer 13 formed of a thermoplastic elastomer and a part of the first connection protective layer 24 are melted, and the fusion thereof results in the dielectric layer 11 and the first electrode sheet. 12, the first lead wire 21, the first fixing layer 123, the first main fusion layer 13, and the first connection protection layer 24 are joined.
  • the sheet integrated in S36, the second electrode sheet 15, the second lead wire 31, the second fixing layer 133, the fusion material of the second main fusion layer 16, and the second connection protection layer 34 are used. It arrange
  • the 1st connection protection layer 24 and the 2nd connection protection layer 34 can apply the insulating sheet made from resin which has an adhesion layer or a contact bonding layer.
  • the first connection fusion bonding layer 25 and the second connection fusion bonding layer 35 are not provided.
  • the first connection protection layer 24 and the second connection protection layer 34 can be attached without heating.
  • the transducer 800 includes a first connection fusion layer 25 which is a different material from the dielectric layer 11 and the first connection protection layer 24 in order to bond the first connection protection layer 24 and other members. Furthermore, the transducer 800 includes a second connection fusion layer 35 which is a different material from the dielectric layer 11 and the second connection protection layer 34 in order to bond the second connection protection layer 34 to another member.
  • the first connection fusion bonding layer 25 and the second connection fusion bonding layer 35 are formed of an elastomer (fusion material) of a thermoplastic material.
  • the first connection fusion bonding layer 25 and the second connection fusion bonding layer 35 are formed of, for example, a particulate material, and are melted by the application of heat, and are joined to the object by their own fusion. .
  • the first connection fusion layer 25 and the second connection fusion layer 35 are separate bodies from the dielectric layer 11, the first connection protection layer 24, and the second connection protection layer 34, these are in a solidified state It is good to have the same elastic modulus.
  • the fusion material of the sheet integrated in S46, the first connection protective layer 24, and the first connection fusion layer 25 is disposed (S47). Then, the portion of the first connection protective layer 24 is pressurized in the thickness direction and heated (S48). Thereby, the fusion material of the first connection fusion bonding layer 25 formed of the thermoplastic elastomer is melted, and the respective members are joined by the fusion of the first connection fusion bonding layer 25.
  • the fusion material of the sheet integrated in S48, the second electrode sheet 15, the second lead wire 31, the second fixation layer 133, and the second main fusion layer 16 is disposed at a predetermined position (S49) ). Then, the entire sheet is pressurized in the thickness direction and heated (S50). Thereby, the fusion material of the second main fusion layer 16 formed of a thermoplastic elastomer is melted, and the respective members are joined by the fusion of the second main fusion layer 16.
  • the fusion material of the sheet integrated in S50, the second connection protection layer 34, and the second connection fusion layer 35 is disposed at a predetermined position (S51). Then, the portion of the second connection protection layer 34 is pressurized in the thickness direction and heated (S52). Thereby, the fusion material of the second connection fusion layer 35 formed of the thermoplastic elastomer is melted, and the respective members are joined by the fusion of the second connection fusion layer 35.
  • the dielectric layer 11 is formed of an elastomer of non-thermoplastic material.
  • the first connection protection layer 24 and the second connection protection layer 34 are formed of an elastomer of a thermoplastic material, and have an outer shape substantially the same as the outer shape of the dielectric layer 11 in the terminal portion 10 b.
  • the first connection protective layer 24 is bonded to the dielectric layer 11, the first electrode sheet 12, the first lead wire 21, and the first fixing layer 123 by fusion bonding of itself. That is, a part of the first connection protection layer 24 becomes the first fusion layer 51.
  • the first fusion layer 51 functions as a first main fusion layer for bonding the dielectric layer 11 and the first electrode sheet 12 and also protects the first lead wire 21 and the first fixed layer 123. It functions as a connection fusion layer.
  • the second connection protection layer 34 is bonded to the dielectric layer 11, the second electrode sheet 15, the second lead wire 31, and the second fixing layer 133 by fusion bonding of itself. That is, a part of the second connection protection layer 34 becomes the second fusion layer 52.
  • the second fusion layer 52 functions as a second main fusion layer for bonding the dielectric layer 11 and the second electrode sheet 15, and also protects the second lead wire 31 and the second fixed layer 133. It functions as a connection fusion layer.
  • the first electrode sheet 12 and the first lead wire 21 are disposed at predetermined positions (S61), and soldering is performed (S62). Thus, the first fixing layer 123 is formed. Subsequently, the second electrode sheet 15 and the second lead wire 31 are disposed at predetermined positions (S63), and soldering is performed (S64). Thus, the second fixed layer 133 is formed.
  • the dielectric layer 11, the first electrode sheet 12, the first lead wire 21, the first fixing layer 123, the first connection protection layer 24, the second electrode sheet 15, the second lead wire 31, the second fixing layer 133 , And the second connection protection layer 34 are disposed at predetermined positions (S65). Then, the entire sheet is pressurized in the thickness direction and heated (S66). Thereby, the fusion material of the first connection protection layer 24 formed of the thermoplastic elastomer is melted, and the respective members are joined by the fusion of the first connection protection layer 24. Furthermore, the fusion material of the second connection protection layer 34 formed of a thermoplastic elastomer is melted, and the respective members are joined by the fusion of the second connection protection layer 34.
  • the transducer 1000 further includes a first reinforcing layer 61 and a second reinforcing layer 62 with respect to the transducer 500 of the sixth example.
  • the first reinforcing layer 61 is disposed on the first inner surface 12 b side of the first electrode sheet 12, that is, between the dielectric layer 11 and the first electrode sheet 12.
  • the first reinforcing layer 61 has a plurality of through holes smaller than the first through holes 12 a of the first electrode sheet 12.
  • the first reinforcing layer 61 is, like the first electrode sheet 12, a cloth formed of conductive fibers, that is, a conductive woven or non-woven fabric.
  • the first reinforcing layer 61 can also be a thin film punching metal having flexibility and elasticity.
  • the second reinforcing layer 62 is disposed on the second inner surface 15 b side of the second electrode sheet 15, that is, between the dielectric layer 11 and the second electrode sheet 15.
  • the second reinforcing layer 62 has a plurality of through holes smaller than the second through holes 15 a of the second electrode sheet 15.
  • the second reinforcing layer 62 is, similarly to the second electrode sheet 15, a cloth formed of conductive fibers, that is, a conductive woven or non-woven fabric.
  • the second reinforcing layer 62 can also be made of punching metal.
  • the second reinforcing layer 62 is fixed to the second fixing layer 133 via the second through holes 15 a of the second electrode sheet 15. That is, in the state which made the 2nd electrode sheet 15 intervene between the 2nd lead wire 31 and the 2nd reinforcement layer 62, the 2nd adhesion layer 133 adheres these. Accordingly, the bonding between the second lead wire 31 and the second electrode sheet 15 is strengthened.
  • the first electrode sheet 12, the first lead wire 21, and the first reinforcing layer 61 are disposed at predetermined positions (S71), and soldering is performed (S72).
  • the first fixing layer 123 is formed. That is, the first fixing layer 123 firmly fixes the first lead wire 21 and the first electrode sheet 12 by using the first reinforcing layer 61.
  • the second electrode sheet 15, the second lead wire 31, and the second reinforcing layer 62 are disposed at predetermined positions (S73), and soldering is performed (S74).
  • the second fixed layer 133 is formed. That is, the second fixing layer 133 firmly fixes the second lead wire 31 and the second electrode sheet 15 by using the second reinforcing layer 62.
  • the second reinforcing layer 62, the second fixing layer 133, and the second connection protection layer 34 are disposed at predetermined positions (S75).
  • the entire sheet is pressurized in the thickness direction and heated (S76).
  • a portion of the dielectric layer 11 formed of a thermoplastic elastomer, a portion of the first connection protective layer 24 and a portion of the second connection protective layer 34 are melted, and the respective portions are joined by the fusion of the portions. Be done.
  • the 1st connection protection layer 24 and the 2nd connection protection layer 34 can apply the insulating sheet made from resin which has an adhesion layer or an adhesion layer.
  • the first connection fusion bonding layer 25 and the second connection fusion bonding layer 35 are not provided.
  • the first connection protection layer 24 and the second connection protection layer 34 can be attached without heating.
  • the first lead wire 21 is wound around the first electrode sheet 12 (S81).
  • the second lead wire 31 is wound around the second electrode sheet 15 and disposed (S82).
  • the dielectric layer 11, the first electrode sheet 12, the first lead wire 21, the first connection protection layer 24, the second electrode sheet 15, the second lead wire 31, and the second connection protection layer 34 are disposed at predetermined positions. (S83).
  • the entire sheet is pressurized in the thickness direction and heated (S84).
  • a portion of the dielectric layer 11 formed of a thermoplastic elastomer, a portion of the first connection protective layer 24 and a portion of the second connection protective layer 34 are melted, and the respective portions are joined by the fusion of the portions. Be done.
  • the transducer 1200 differs from the transducer 500 of the sixth example in the following points.
  • the first conductive portion 21 b of the first lead wire 21 is entangled with the first electrode sheet 12, and in this state, the first fixed layer 123 is the first conductive portion 21 b of the first lead wire 21 and the first electrode
  • the sheet 12 is fixed.
  • the second conductive portion 31b of the second lead wire 31 is entangled in the second electrode sheet 15, and in this state, the second fixed layer 133 is the second conductive portion 31b of the second lead wire 31 and the second conductive portion 31b.
  • the second electrode sheet 15 is fixed. Others are substantially the same. As a result, the first conductive portion 21 b of the first lead wire 21 is firmly joined to the first electrode sheet 12. In addition, the second conductive portion 31 b of the second lead wire 31 is firmly joined to the second electrode sheet 15.
  • the dielectric layer 11, the first electrode sheet 12, the first lead wire 21, the first fixing layer 123, the first connection protection layer 24, the second electrode sheet 15, the second lead wire 31, the second fixing layer 133 , And the second connection protection layer 34 are disposed at predetermined positions (S95). Then, the entire sheet is pressurized in the thickness direction and heated (S96). Thereby, a portion of the dielectric layer 11 formed of a thermoplastic elastomer, a portion of the first connection protective layer 24 and a portion of the second connection protective layer 34 are melted, and the respective portions are joined by the fusion of the portions. Be done.

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Abstract

揮散型接着剤及び有機溶媒を用いることなく製造できると共に、半田や溶接とは異なる手法によって電極シートとリード線との電気的接続を確保することができるトランスデューサを提供する。シート本体部(10)において、誘電体層(11)と第一電極シート(12)は、融着材料により形成された第一主融着層(13)により接合される。第一クランプ(23)によって、シート本体部(10)に、第一リード線(21)の第一導通部(21b)が固定される。第一クランプ(23)は、シート本体部(10)を厚み方向に貫通複数の第一脚部(23a)と、複数の第一脚部(23a)の基端同士を連結し、第一導通部(21b)を跨いで配置される第一連結部(23b)と、複数の第一脚部(23a)のそれぞれの先端から折り曲げ形成されシート本体部(10)の第二面に係止される複数の第一返し部(23c)とを備える。

Description

トランスデューサ及びその製造方法
 本発明は、トランスデューサ及びその製造方法に関するものである。
 特許文献1には、多層型ピエゾアクチュエータにおけるワイヤメッシュ形状の外部電極の自由端に、半田付けや溶接によって、リード線を接続する構成が開示されている。特許文献2には、積層型圧電素子における外部電極の端部に、半田や導電性樹脂等の導電性接合材によりリード線を電気的に接続し、外部電極の端部とリード線との接続部を樹脂で覆う構成が開示されている。
 特許文献3には、ポリマー圧電体に多孔シート状の電極が埋入された圧電素子が開示されている。この圧電素子は、ポリマー圧電体フィルム又はシートの表面をアセトン等の有機溶媒で処理し、その後に処理表面に多孔シート状の電極を積層して圧着することにより製造される。
特表2012-500486号公報 特許第5465337号公報 特許第3105645号公報
 特許文献1,2においては、リード線は、トランスデューサを機能させるための電極シートに接続されるのではなく、外部へ引き延ばされた外部電極に接続されている。外部電極ではなく、電極シートにリード線を直接接触することができれば、トランスデューサの低コスト化を図ることができる。
 トランスデューサ全体の変形に伴って電極シートが変形するが、このような場合であっても、リード線と電極シートとが、電気的に接続された状態を維持する必要がある。特に、電極シートが貫通孔を有するような形状である場合には、リード線と電極シートとを半田付けや溶接によって接合しただけでは、十分ではないため、より確実な接合方法を適用することが、課題の一つである。
 さらに、半田付けや溶接による加熱温度を、電極シートの耐熱温度以下にする必要がある。電極シートが、例えば、ポリエチレン等の樹脂繊維の表面に、銅やニッケル等の導電性材料をメッキすることにより形成されたものが知られている。このような電極シートにおいては、特に樹脂の溶融温度が低いため、半田付けや溶接による加熱温度を、当該溶融温度以下にする必要がある。
 一方、近年の環境問題より、鉛フリー半田が使用されるが、鉛フリー半田の溶融温度は高温である。両者の条件を満たすような加熱温度の範囲が狭いため、電極シートとリード線との電気的接続を良好にすることが容易ではない。そこで、半田や溶接とは異なる手法によって、電極シートとリード線との電気的接続を確保することが、課題の一つである。
 また、近年、環境対策として、揮発性有機化合物(VOC)の排出の抑制が求められている。そのため、揮散型接着剤を用いないことが求められ、且つ、有機溶媒も用いないことが求められる。
 さらに、圧電効果を用いる構造とは異なり、電極間の静電容量を用いたトランスデューサが着目されている。静電型のトランスデューサは、誘電体の材料によって、静電容量が異なる。仮に、ポリマーの誘電体の表面を有機溶媒で処理して電極を圧着した場合には、圧着部位に有機溶媒の成分が残る。残存した有機溶媒の成分が、静電容量に影響を及ぼすおそれがある。その結果、残存した有機溶媒の成分の影響によって、設計どおりの静電容量を得ることができないおそれがある。
 また、静電型のトランスデューサは、様々な部位に取り付けることを可能とするために、柔軟性のみならず、伸縮性を有することが求められている。例えば、取付対象が自由曲面等のように様々な形状を有しており、平面状に製造されたトランスデューサを取付対象の面に沿って取り付ける場合に、トランスデューサにとって、柔軟性及び伸縮性は非常に重要な要素となる。柔軟性及び伸縮性を有しなければ、自由曲面の取付対象にトランスデューサを綺麗に取り付けることはできない。
 そして、上記のように、揮散型接着剤や有機溶媒を用いる場合には、揮散型接着剤や有機溶媒の成分が、トランスデューサの柔軟性及び伸縮性に影響を及ぼすおそれがある。そのため、柔軟性及び伸縮性の観点からも、揮散型接着剤及び有機溶媒を用いないようにすることが求められる。そこで、上記の種々の理由により、静電型のトランスデューサにおいて、揮散型接着剤及び有機溶媒を用いることなく製造できることが課題の一つである。
 また、電極にリード線を接続する部位において、リード線、及び、リード線を接続する導電性接合材が、静電シートの面法線方向に突出する。そのため、リード線が配置される部位において、リード線が配置されていない部位に比べて、リード線及び導電性接合材の厚みの分だけ厚くなる。特に、静電シートの両面のそれぞれにリード線が配置される場合には、リード線及び導電性接合材の厚みの2倍の厚みの分だけ、厚くなる。そこで、リード線が配置される部位において、厚みを薄くすることが、課題の一つである。
 また、静電型のトランスデューサにおいて、電極シートを、誘電体層に一体的に埋設することは有用である。しかし、特許文献3のように、電極シートが埋設された状態においては、電極シートにリード線を電気的に接続することは容易ではない。そこで、電極シートとリード線との電気的接続を容易にすることが、課題の一つである。
 本発明は、揮散型接着剤及び有機溶媒を用いることなく製造できると共に、半田や溶接とは異なる手法によって電極シートとリード線との電気的接続を確保することができるトランスデューサ及びその製造方法を提供することを目的の一つとする。
 本発明に係るトランスデューサの一つは、静電型のトランスデューサを構成するシート本体部と、前記シート本体部の第一面側に配置される第一リード線と、前記第一リード線を前記シート本体部に固定する第一クランプとを備える。
 前記シート本体部は、誘電体層と、複数の第一貫通孔を備え、前記誘電体層の第一面側に配置され、少なくとも一部が前記誘電体層の前記第一面から露出した状態で配置される第一電極シートと、融着材料により形成されており、前記誘電体層のうち前記誘電体層の前記第一面側の少なくとも一部分として配置され又は前記誘電体層の前記第一面に別部材として接合され、前記誘電体層と前記第一電極シートとを前記融着材料の融着により接合する第一主融着層とを備える。
 前記第一リード線は、前記第一電極シートの露出面に接触した状態で配置された第一導通部を備える。前記第一クランプは、前記シート本体部を厚み方向に貫通し、前記シート本体部の第一面側を基端とし、前記シート本体部の第二面側を先端とする複数の第一脚部と、前記複数の第一脚部の前記基端同士を連結し、前記第一リード線の前記第一導通部を跨いで配置される第一連結部であって、前記第一連結部と前記第一電極シートの前記露出面との間に前記第一リード線の前記第一導通部を介在させる前記第一連結部と、前記複数の第一脚部のそれぞれの前記先端から折り曲げ形成され、前記シート本体部の前記第二面に係止される複数の第一返し部とを備える。
 上記のトランスデューサによれば、融着材料の融着により、誘電体層と第一電極シートとが接合されている。融着材料は、揮散型接着剤及び有機溶媒ではないため、トランスデューサは、揮散型接着剤及び有機溶媒を用いることなく製造することができる。従って、トランスデューサの製造において、VOCの排出の抑制を図ることができる。ここで、第一主融着層は、誘電体層の素材の一部分を融着材料として構成される場合、誘電体層とは別の融着材料を用いる場合を含む。
 さらに、第一クランプが、第一リード線をシート本体部に固定している。つまり、半田や溶接を適用することなく、第一リード線がシート本体部に固定されている。半田付けや溶接に比べて、第一クランプの第一連結部は、厚みを薄くすることができる。従って、第一リード線が第一電極シートに接続される部位において、厚みを薄くすることができる。
第一例のトランスデューサ1を構成する静電シートを示す斜視図である。 第一例のトランスデューサ1を構成する静電シートの平面図である。 第一例のトランスデューサ1のトランスデューサ部10aの断面図である。 図2のIV-IV断面図である。 図4のV-V断面図である。 第一例のトランスデューサ1において、第一例の端子部の模式的な平面図である。 図6のVII-VII断面図である。 第一例のトランスデューサ1において、第二例の端子部の模式的な平面図である。 図8のIX-IX断面図である。 第一例のトランスデューサ1において、第三例の端子部の模式的な平面図である。 図10のXI-XI断面図である。 第一例のトランスデューサ1における静電シートの製造方法における積層体形成工程の状態を示す図である。 第一例のトランスデューサ1における静電シートの製造方法における加圧加熱工程の状態を示す図である。 第一例のトランスデューサ1における静電シートの製造方法におけるリード線配置工程の状態を示す図である。 第一例のトランスデューサ1における静電シートの製造方法におけるクランプ固定工程の状態を示す図である。 第二例のトランスデューサ100を構成する静電シートを示す斜視図である。 第二例のトランスデューサ100を構成する静電シートの平面図である。 図17のXVIII-XVIII断面図である。 第二例のトランスデューサ100における静電シートの製造方法におけるクランプ固定工程の状態を示す図である。 第三例のトランスデューサ200を構成する静電シートの断面図である。 第四例のトランスデューサ300を構成する静電シートの斜視図である。 第四例のトランスデューサ300を構成する静電シートにおいて、端子部の模式的な平面図である。 図22のXXIII-XXIII断面図である。 第五例のトランスデューサ400を構成する静電シートにおいて、端子部の模式的な平面図である。 図24のXXV-XXV断面図である。 第四例のトランスデューサ500を構成する静電シートにおいて、端子部の断面図である。 第四例のトランスデューサ500を構成する静電シートの製造方法を示すフローチャートである。 第五例のトランスデューサ600を構成する静電シートにおいて、端子部の断面図である。 第六例のトランスデューサ700を構成する静電シートにおいて、端子部の断面図である。 第六例のトランスデューサ700を構成する静電シートの製造方法を示すフローチャートである。 第七例のトランスデューサ800を構成する静電シートにおいて、端子部の断面図である。 第七例のトランスデューサ800を構成する静電シートの製造方法を示すフローチャートである。 第七例のトランスデューサ800を構成する静電シートの製造方法を示すフローチャートである。 第八例のトランスデューサ900を構成する静電シートにおいて、端子部の断面図である。 第八例のトランスデューサ900を構成する静電シートの製造方法を示すフローチャートである。 第九例のトランスデューサ1000を構成する静電シートにおいて、端子部の断面図である。 第九例のトランスデューサ1000を構成する静電シートの製造方法を示すフローチャートである。 第十例のトランスデューサ1100を構成する静電シートにおいて、端子部の断面図である。 第十例のトランスデューサ1100を構成する静電シートの製造方法を示すフローチャートである。 第十一例のトランスデューサ1200を構成する静電シートにおいて、端子部の断面図である。 第十一例のトランスデューサ1200を構成する静電シートの製造方法を示すフローチャートである。
 (1.第一例のトランスデューサ1の全体構成)
 第一例のトランスデューサ1について、図1を参照して説明する。トランスデューサ1は、静電型である。つまり、トランスデューサ1は、電極間の静電容量の変化を利用して、振動や音等を発生させるアクチュエータとして機能させることができる。また、トランスデューサ1は、電極間の静電容量の変化を利用して、外部からの押込力等を検出するセンサ(外力検出センサ)、電位を有する導電体の接触又は接近を検出するセンサ(接触接近センサ)として機能させることができる。
 トランスデューサ1がアクチュエータとして機能する場合には、電極に電圧が印加されることにより、電極間の電位に応じて誘電体が変形し、誘電体の変形に伴って振動が発生する。トランスデューサ1が外力検出センサとして機能する場合には、外部からの押込力や振動や音などの入力に起因して誘電体が変形することにより電極間の静電容量が変化し、電極間の静電容量に応じた電圧を検出することで、外部からの押込力等を検出する。また、トランスデューサ1が接触接近センサとして機能する場合には、電位を有する導電体の接触又は接近により、電極間の静電容量が変化し、変化した電極間の静電容量に応じた電圧を検出することで、当該導電体の接触又は接近を検出する。
 図1に示すように、トランスデューサ1は、シート状に形成された静電シートを備える。ただし、トランスデューサ1は、図1に示す基本構成である静電シートを複数積層するようにしてもよい。トランスデューサ1は、シート本体部10と、第一接続部20と、第二接続部30とにより構成された静電シートを備える。
 シート本体部10は、静電型のトランスデューサ1として機能するための主要な部分を構成する。シート本体部10は、アクチュエータ又はセンサとして機能する範囲を構成するトランスデューサ部10aと、トランスデューサ部10aの縁に接続される端子部10bとを備える。本例においては、端子部10bは、第一端子部10b1と、第二端子部10b2とを備える。シート本体部10は、誘電体層11、第一電極シート12、第一主融着層13、第一主保護層14、第二電極シート15、第二主融着層16、第二主保護層17を備える。
 第一接続部20は、第一リード線21を含み、第一リード線21をシート本体部10に接続する部分を構成する。第一接続部20は、少なくとも、第一リード線21、第一クランプ23、第一接続保護層24、第一裏面保護層26を備える。本例においては、第一接続部20は、第一リード線21、第一融着規制層22、第一クランプ23、第一接続保護層24、第一接続融着層25、第一裏面保護層26、第一裏面融着層27を備える。すなわち、第一接続部20は、第一融着規制層22、第一接続融着層25、第一裏面融着層27のうち少なくとも一つを備えない構成とすることもできる。
 第二接続部30は、第二リード線31を含み、第二リード線31をシート本体部10に接続する部分を構成する。第二接続部30は、少なくとも、第二リード線31、第二クランプ33、第二接続保護層34、第二裏面保護層36を備える。本例においては、第二接続部30は、第二リード線31、第二融着規制層32、第二クランプ33、第二接続保護層34、第二接続融着層35、第二裏面保護層36、第二裏面融着層37を備える。すなわち、第二接続部30は、第二融着規制層32、第二接続融着層35、第二裏面融着層37のうち少なくとも一つを備えない構成とすることもできる。
 なお、トランスデューサ1は、第二電極シート15に関する要素を備えない構成としてもよい。すなわち、トランスデューサ1は、第二電極シート15、第二主融着層16、第二主保護層17、第二リード線31、第二融着規制層32、第二クランプ33、第二接続保護層34、第二裏面保護層36、第二裏面融着層37を備えない構成としてもよい。この場合、トランスデューサ1を構成する静電シートは、誘電体層11と、第一電極シート12に関する要素とを備える構成となる。すなわち、トランスデューサ1は、シート本体部10として、誘電体層11、第一電極シート12、第一主融着層13、第一主保護層14を備えると共に、第一接続部20を備える。そして、トランスデューサ1は、第二電極シート15に相当する変形不能な導電部材(図示せず)を備える構成とすることもできる。
 (2.シート本体部10の詳細構成)
 次に、シート本体部10の構成について、図2及び図3を参照して説明する。誘電体層11は、弾性変形可能な誘電材料により形成される。詳細には、誘電体層11は、熱可塑性材料、特に熱可塑性エラストマーにより形成されている。誘電体層11は、シート状で、所望の外形に形成されている。誘電体層11は、厚み方向に伸縮すると共に、厚み方向の伸縮に伴って面方向に伸縮する構造を有する。
 第一電極シート12及び第二電極シート15は、導電性を有しつつ、柔軟性及び面方向への伸縮性を有する。第一電極シート12及び第二電極シート15は、例えば、導電性布である。導電性布とは、導電性繊維により形成された織物又は不織布である。ここで、導電性繊維は、柔軟性を有する繊維の表面を導電性材料により被覆することにより形成される。導電性繊維は、例えば、ポリエチレン等の樹脂繊維の表面に、銅やニッケルなどをメッキすることにより形成される。
 第一電極シート12は、繊維により布を形成されることで、複数の第一貫通孔12aを備えると共に、柔軟性を有し、面方向に伸縮可能である。第二電極シート15は、第一電極シート12と同様に、複数の第二貫通孔15aを備える。
 図2及び図3においては、第一電極シート12及び第二電極シート15は、導電性織物である場合を例にあげるが、導電性不織布を適用することもできる。第一電極シート12は、例えば、図2及び図3に示すように、導電性織物の場合には、導電性繊維を縦糸と横糸として織ることにより形成されている。縦糸と横糸により囲まれる領域が、第一貫通孔12aとなる。第二電極シート15における第二貫通孔15aも同様である。
 なお、第一電極シート12が導電性不織布である場合には、第一貫通孔12aが不規則に形成される。また、第一電極シート12及び第二電極シート15は、導電性布の他に、柔軟性及び伸縮性を有する薄膜のパンチングメタルや、金属糸で織った金属布等を適用することもできる。パンチングメタルの場合、第一貫通孔12a及び第二貫通孔15aは、パンチにより打ち抜かれた部位となる。また、第一電極シート12は、導電性材料を含有し、複数の貫通孔を備えるエラストマーシート(ゴムシートを含む)を適用することもできる。なお、本例において、エラストマーとは、弾性を有する高分子材料であり、ゴム弾性体、及び、ゴム弾性体以外のゴム状を有する弾性体を含む意味で用いている。
 第一電極シート12及び第二電極シート15は、同程度の大きさに形成され、且つ、誘電体層11の外形と同様の外形に形成されている。ただし、端子部10bにおいては、第一電極シート12及び第二電極シート15は、異なる形状に形成されている。第一電極シート12は、誘電体層11の第一面(図1の上面)側に配置される。第二電極シート15は、誘電体層11の第二面(図1の下面)側に配置される。従って、少なくともトランスデューサ部10aにおいては、図3に示すように、第一電極シート12及び第二電極シート15は、誘電体層11を挟んだ状態で、対向して配置されている。
 ここで、図3に示すように、第一電極シート12において、第二電極シート15に対向する側の面を第一内面12bとし、第二電極シート15と反対側の面を第一外面12cとする。また、第二電極シート15において、第一電極シート12に対向する側の面を第二内面15bとし、第一電極シート12と反対側の面を第二外面15cとする。
 図3に示すように、トランスデューサ部10aにおいて、第一電極シート12は、誘電体層11の第一面側(図3の上側)に配置されている。第一端子部10b1においても、第一電極シート12は、誘電体層11の第一面側に配置されている。ただし、第一端子部10b1において、第一電極シート12の少なくとも一部が、誘電体層11の第一面から露出した状態で配置されている。また、第二端子部10b2においては、第一電極シート12は、配置されていない。
 図3に示すように、第一電極シート12と誘電体層11とは、融着材料により形成された第一主融着層13により接合されている。図3においては、第一電極シート12は、誘電体層11の素材(図示せず)の第一面側に埋設されている。ここで、本例においては、誘電体層11の素材は、第二面側から順に、第二主保護層17の素材、第二主融着層16の素材、誘電体層11、第一主融着層13の素材、及び、第一主保護層14の素材を構成する。
 つまり、誘電体層11のうち第一面側の一部分が、誘電体層11の本体部分と第一電極シート12とを接合する第一主融着層13として機能する。換言すると、第一主融着層13は、誘電体層11のうち第一面側の少なくとも一部分として配置され、第一電極シート12と誘電体層11の本体部分とを接合する。なお、第一主融着層13は、誘電体層11の第一面に別部材として接合され、第一電極シート12と誘電体層11とを接合することもできる。
 また、上述したように、第一電極シート12は、誘電体層11の素材の第一面側に埋設されている。つまり、第一主融着層13は、誘電体層11の本体部分と第一電極シート12の第一内面12bとの境界部位、及び、誘電体層11の本体部分と第一電極シート12の複数の第一貫通孔12aの内周面との境界部位を接合する。
 さらに、図3に示すように、第一主保護層14が、第一電極シート12の第一外面12cに接合した状態で、第一外面12cを被覆している。誘電体層11の素材のうち第一面側の一部分が、第一主保護層14として機能する。つまり、第一主保護層14は、第一主融着層13と同様に、誘電体層11の素材の第一面側の一部分として配置され、融着材料の融着により第一外面12cを被覆する。なお、第一主保護層14は、誘電体層11の第一面側に別部材として配置され、第一外面12cを被覆することもできる。なお、第一電極シート12の第一外面12cは、外側に露出するようにしてもよい。
 また、図3に示すように、トランスデューサ部10aにおいて、第二電極シート15は、誘電体層11の第二面側(図3の下側)に配置されている。第二端子部10b2においても、第二電極シート15は、誘電体層11の第二面側に配置されている。ただし、第二端子部10b2において、第二電極シート15の少なくとも一部が、誘電体層11の第二面から露出した状態で配置されている。また、第一端子部10b1においては、第二電極シート15は、配置されていない。
 図3に示すように、トランスデューサ部10aにおいて、第二電極シート15は、第一電極シート12と同様に、誘電体層11の素材の第二面側(図3の下側)に埋設されている。つまり、誘電体層11のうち第二面側の一部分が、誘電体層11の本体部分と第二電極シート15とを接合する第二主融着層16として機能する。換言すると、第二主融着層16は、誘電体層11のうち第二面側の少なくとも一部分として配置され、融着材料の融着により第二電極シート15と誘電体層11の本体部分とを接合する。なお、第二主融着層16は、誘電体層11の第二面に別部材として接合され、融着材料の融着により第二電極シート15と誘電体層11とを接合することもできる。
 また、上述したように、第二電極シート15は、誘電体層11の素材の第二面側に埋設されている。つまり、第二主融着層16は、誘電体層11の本体部分と第二電極シート15の第二内面15bとの境界部位、及び、誘電体層11の本体部分と第二電極シート15の複数の第二貫通孔15aの内周面との境界部位を接合する。
 さらに、第二主保護層17が、第二電極シート15の第二外面15cに接合した状態で、第二外面15cを被覆している。誘電体層11の素材のうち第二面側の一部分が、第二主保護層17として機能する。つまり、第二主保護層17は、第二主融着層16と同様に、誘電体層11の素材の第二面側の一部分として配置され、融着材料の融着により第二外面15cを被覆する。なお、第二主保護層17は、誘電体層11の第二面側に別部材として配置され、第二外面15cを被覆することもできる。なお、第二電極シート15の第二外面15cは、外側に露出するようにしてもよい。
 ここで、図3においては、第一主融着層13及び第二主融着層16は、熱可塑性エラストマーにより形成されている誘電体層11の素材に熱を加えることにより形成されている。そのため、第一主融着層13及び第二主融着層16は、誘電体層11と同一材料成分により構成されている。つまり、誘電体層11の材料成分が実質的に変化することなく、第一主融着層13及び第二主融着層16が形成されている。このことは、第一主融着層13及び第二主融着層16に、揮散型接着剤や有機溶媒等の成分が含まれていないことを意味する。
 つまり、シート本体部10において、融着材料の融着により、誘電体層11と第一電極シート12とが接合されている。融着材料は、揮散型接着剤及び有機溶媒ではないため、シート本体部10は、揮散型接着剤及び有機溶媒を用いることなく製造することができる。従って、シート本体部10の製造において、VOCの排出の抑制を図ることができる。また、誘電体層11と第二電極シート15との接合においても同様である。
 (3.第一接続部20の詳細構成)
 次に、第一接続部20の構成について、図2、図4及び図5を参照して説明する。第一リード線21は、導線を絶縁材により被覆する第一リード線本体21aと、先端側に配置されており導線を露出する第一導通部21bとを備える。
 第一リード線21の第一リード線本体21aは、第一電極シート12における誘電体層11と反対側の面(第一外面12c)側に配置されている。第一リード線21の第一導通部21bは、撚り線により形成されている。つまり、第一導通部21bは、単線ではなく、複数の細線の束である。
 第一リード線21の第一導通部21bは、シート本体部10の第一端子部10b1の第一面側、詳細には誘電体層11の第一面側に配置されている。より詳細には、第一導通部21bは、第一電極シート12の露出面に接触した状態で配置されている。第一導通部21bは、図3に示すように、第一電極シート12の第一外面12c側に配置してもよい。また、第一導通部21bは、図示しないが、第一電極シート12に絡ませて配置してもよい。いずれの場合にも、第一導通部21bは、第一電極シート12に電気的に接続されている。
 第一融着規制層22は、シート状に形成されており、第一主融着層13を構成する融着材料の通過を規制可能な材料により形成されている。第一融着規制層22は、第一主融着層13を構成する融着材料の軟化点よりも高い軟化点を有する材料により形成されている。軟化点を有しない材料は、無限大の軟化点を有する材料であることに相当する。例えば、第一融着規制層22は、樹脂シート、耐熱紙等により形成されている。
 第一融着規制層22は、第一電極シート12と第一主融着層13との間に部分的に配置されている。詳細には、第一融着規制層22は、第一リード線21が配置される領域に配置されている。従って、第一融着規制層22は、第一リード線21が配置される領域において、第一主融着層13が第一電極シート12に融着することを規制する。つまり、第一融着規制層22の中央部は、第一主融着層13が存在しない状態とされている。従って、第一融着規制層22は、中央部において、第一電極シート12の少なくとも一部を第一主融着層13の外側に露出させる。
 ここで、第一融着規制層22の外面における中央部は、第一主融着層13に接合されておらず、且つ、第一電極シート12に非接合状態で配置されている。一方、第一融着規制層22の内面は、第一主融着層13に接合されている。ただし、第一融着規制層22の外面における外縁部は、第一主融着層13に接合されている。つまり、第一融着規制層22の外縁部は、第一主融着層13に埋設されている。従って、第一融着規制層22は、第一主融着層13によって位置決めがされている。
 従って、第一主融着層13は、第一融着規制層22が存在する領域において、第一電極シート12に接合されていない。そして、第一主融着層13は、第一融着規制層22が存在する領域において、第一電極シート12を外側に露出させている。一方、第一主融着層13は、第一融着規制層22が存在しない領域において、第一電極シート12の一部を埋設し、第一電極シート12の当該一部を外側に露出させないように配置されている。そして、第一電極シート12のうち第一融着規制層22により外側に露出している部分に、第一リード線21の第一導通部21bが電気的に接続される。
 ここで、第一接続部20は、第一融着規制層22を有することにより、第一電極シート12を十分に広範囲に亘って外側に露出させることができる。ただし、第一接続部20は、上述したように、第一融着規制層22を有しない構成とすることもできる。この場合であっても、第一電極シート12を外側に露出させることは可能である。そして、第一電極シート12のうち外側に露出している部分に、第一導通部21bが電気的に接続される。
 第一クランプ23は、第一電極シート12が露出している領域において、第一リード線21の第一導通部21bをシート本体部10の第一端子部10b1に固定する。本例においては、3本の第一クランプ23により、第一導通部21bが第一端子部10b1に固定されている。
 さらに、第一クランプ23は、第一リード線21の第一導通部21bを第一電極シート12に直接接触させることにより、第一導通部21bと第一電極シート12とを電気的に接続させる目的を有する。
 さらに、第一クランプ23は、金属等の導電性材料により形成されている。そして、第一クランプ23は、第一導通部21bに直接接触すると共に、第一電極シート12に直接接触する。従って、第一クランプ23を介することによっても、第一導通部21bと第一電極シート12とが、電気的に接続される。
 第一接続保護層24は、例えば、融着材料として機能可能な熱可塑性材料、特に熱可塑性エラストマーにより、シート状に形成されている。第一接続保護層24は、熱可塑性材料の他に、粘着層又は接着層を有する樹脂製の絶縁シートを適用することもできる。第一接続保護層24は、図2に示すように、第一リード線21のうち第一電極シート12上に位置する領域、及び、第一クランプ23が存在する領域に対応する形状に形成されている。第一接続保護層24は、図4及び図5に示すように、第一電極シート12における誘電体層11と反対側の面(第一電極シート12の第一外面12c)に配置され、第一リード線21の第一導通部21b及び第一クランプ23を保護する。特に、第一接続保護層24は、第一電極シート12のうち第一主保護層14により保護されていない部分を被覆する。
 そして、第一接続保護層24は、例えば、融着材料により形成された第一接続融着層25により接合されている。なお、第一接続保護層24が、粘着層又は接着層を有する樹脂製の絶縁シートである場合には、第一接続融着層25が存在しない構成となる。詳細には、図4及び図5に示すように、第一接続保護層24は、第一接続融着層25により、第一リード線21、第一電極シート12の第一外面12cのうち露出している部分、及び、第一クランプ23に接合されている。
 つまり、第一接続融着層25は、第一接続保護層24と第一リード線21との境界部位を接合する。さらに、第一接続融着層25は、第一接続保護層24と第一電極シート12との境界部位を接合する。詳細には、第一接続融着層25は、第一電極シート12の第一外面12c及び第一貫通孔12aの内周面を含む境界部位を接合する。
 ここで、本例においては、第一接続保護層24の一部分が、第一リード線21等と接合する第一接続融着層25として機能する。換言すると、第一接続融着層25は、第一接続保護層24の一部分として配置され、第一リード線21等と第一接続保護層24とを接合する。なお、第一接続融着層25は、第一接続保護層24に別部材として接合され、第一リード線21等と第一接続保護層24とを接合することもできる。
 さらに、第一接続保護層24の一部は、第一接続融着層25により、第一主保護層14にも接合されている。従って、第一接続保護層24は、シート本体部10と一体的となる。さらに、第一接続保護層24の一部は、第一電極シート12の第一貫通孔12aを介して、第一接続融着層25により、第一融着規制層22にも接合されている。
 第一接続融着層25は、上述したように、熱可塑性エラストマーにより形成されている第一接続保護層24の素材に熱を加えることにより形成されている。そのため、第一接続融着層25は、第一接続保護層24と同一材料成分により構成されている。つまり、第一接続保護層24の材料成分が実質的に変化することなく、第一接続融着層25が形成されている。このことは、第一接続融着層25に、揮散型接着剤や有機溶媒等の成分が含まれていないことを意味する。
 第一裏面保護層26は、第一接続保護層24と同様の材料及び形状に形成されている。第一裏面保護層26は、熱可塑性材料の他に、粘着層又は接着層を有する樹脂製の絶縁シートを適用することもできる。第一裏面保護層26は、シート本体部10の第一端子部10b1において、第一接続保護層24とは反対側の面に配置されている。ここで、第一裏面保護層26は、第一クランプ23の先端側(後述するが、第一返し部23cの部分)がシート本体部10の第一端子部10b1の第二面から露出しているため、当該部分を被覆する。
 そして、第一裏面保護層26は、例えば、融着材料により形成された第一裏面融着層27により、第一端子部10b1の第二面に接合されている。なお、第一裏面保護層26が、粘着層又は接着層を有する樹脂製の絶縁シートである場合には、第一裏面融着層27が存在しない構成となる。
 本例においては、第一裏面保護層26の一部分が、第一裏面融着層27として機能する。換言すると、第一裏面融着層27は、第一裏面保護層26の一部分として配置され、第一端子部10b1の第二面と第一裏面保護層26とを接合する。なお、第一裏面融着層27は、第一裏面保護層26に別部材として接合され、第一端子部10b1の第二面と第一裏面保護層26とを接合することもできる。
 第一裏面融着層27は、上述したように、熱可塑性エラストマーにより形成されている第一裏面保護層26の素材に熱を加えることにより形成されている。そのため、第一裏面融着層27は、第一裏面保護層26と同一材料成分により構成されている。つまり、第一裏面保護層26の材料成分が実質的に変化することなく、第一裏面融着層27が形成されている。このことは、第一裏面融着層27に、揮散型接着剤や有機溶媒等の成分が含まれていないことを意味する。
 (4.第二接続部30の詳細構成)
 第二接続部30の構成について説明する。第二接続部30は、実質的に、第一接続部20と同様の構成からなる。すなわち、第二接続部30は、図3及び図4に示す第一接続部20を、上下反転させた構成に相当する。
 図1及び図2に示すように、第二リード線31は、導線を絶縁材により被覆する第二リード線本体31aと、先端側に配置されており導線を露出する第二導通部31bとを備える。第二リード線31の第二リード線本体31aは、第二電極シート15における誘電体層11と反対側の面(第二外面15c)側に配置されている。第二リード線31の第二導通部31bは、誘電体層11の第二面側に配置されている。第二導通部31bは、第二電極シート15の第二外面15c側に配置してもよいし、第二電極シート15に絡ませて配置してもよい。そして、第二導通部31bが、第二電極シート15に電気的に接続されている。
 第二融着規制層32、第二クランプ33、第二接続保護層34、第二接続融着層35、第二裏面保護層36、第二裏面融着層37は、それぞれ、第一融着規制層22、第一クランプ23、第一接続保護層24、第一接続融着層25、第一裏面保護層26、第一裏面融着層27と実質的に同様に構成される。そのため、これらの詳細な説明は省略する。
 (5.第一クランプ23の詳細構成)
 第一クランプ23の構成について図4及び図5を参照して説明する。第一クランプ23は、鉄、アルミニウム等の導電性金属材料により形成されており、シート本体部10が変形したとしても、第一クランプ23の形状を維持することができる程度の剛性を有する。
 第一クランプ23は、複数の第一脚部23a、第一連結部23b、複数の第一返し部23cを備える。ここで、本例においては、第一クランプ23は、2本の第一脚部23aを備える場合を例にあげるが、3本以上の第一脚部23aを備えるようにすることもできる。
 2本の第一脚部23aは、直線状に形成されており、シート本体部10の第一端子部10b1を、第一端子部10b1の厚み方向に貫通する。2本の第一脚部23aは、第一リード線21の第一導通部21bを挟んで、両側に位置する。ここで、第一脚部23aの基端が、シート本体部10の第一面側とし、第一脚部23aの先端が、シート本体部10の第二面側とする。
 第一脚部23aの中間は、第一電極シート12の第一貫通孔12aの内周面に接触するようにされている。そのためには、第一脚部23aの横断面形状が、第一貫通孔12aよりも大きく形成されている。つまり、第一脚部23aが、第一端子部10b1のどの部位に貫通されたとしても、第一電極シート12に接触する状態となる。そして、第一クランプ23は、導電性金属材料により形成されている。従って、第一脚部23aは、第一電極シート12に接触することにより、第一電極シート12に電気的に接続することになる。
 第一連結部23bは、複数の第一脚部23aの基端同士を連結する。本例においては、第一連結部23bは、直線状に形成されている。ただし、第一連結部23bは、任意の形状とすることができ、例えば、波状とすることもできる。第一連結部23bは、第一リード線21の第一導通部21bを跨いで配置される。従って、第一連結部23bは、第一導通部21bに対して交差する。第一連結部23bは、第一電極シート12の露出面との間に、第一導通部21bを両者に接触した状態で介在させている。つまり、第一導通部21bは、第一電極シート12の露出面に接触すると共に、第一連結部23bに接触する。
 複数の第一返し部23cは、複数の第一脚部23aのそれぞれの先端から折り曲げ形成されている。第一返し部23cは、シート本体部10の第一端子部10b1の第二面に係止される。つまり、第一返し部23cが第一端子部10b1に係止されることで、第一クランプ23が第一端子部10b1に固定された状態となる。
 ここで、第一クランプ23は、第一端子部10b1に固定する際には以下のように行われる。第一クランプ23のU字状素材の先端を第一端子部10b1の第一面側から挿入し、第一連結部23bを第一導通部21bに押し付けた状態とする。その後に、第一クランプ23のU字状素材の先端を折り曲げ形成することにより、第一返し部23cを形成する。つまり、第一導通部21bは、第一連結部23bによって、第一電極シート12の露出面に押し付けられた状態で接触する。
 特に、シート本体部10の誘電体層11は、弾性体により形成されている。従って、第一クランプ23は、第一端子部10b1の誘電体層11を圧縮した状態として、第一端子部10b1に固定される。そのため、第一導通部21bは、誘電体層11の反力によって、第一電極シート12の露出面及び第一連結部23bに対して、常に押し付けられた状態で接触する。
 さらに、第一導通部21bは、撚り線により形成されている。そして、第一導通部21bが第一連結部23bと第一電極シート12の露出面とに押し付けられることで、元々円柱状に配列されていた撚り線が、面状に広がった状態となる。従って、面状に広がった第一導通部21bは、広範囲において、第一電極シート12に接触すると共に、第一連結部23bに接触する。これにより、第一導通部21bと第一電極シート12との接触を確実にすることができると共に、第一導通部21bと第一連結部23bとの接触を確実にすることができる。
 第一電極シート12と第一導通部21bとは、上記のように直接接触することにより、電気的に接続される。さらに、第一脚部23aが第一電極シート12の第一貫通孔12aに直接接触しているため、第一電極シート12と第一導通部21bとは、第一脚部23a及び第一連結部23bを介して、電気的に接続された状態となる。
 (6.第二クランプ33の詳細構成)
 第二クランプ33の構成について説明する。第二クランプ33は、実質的に、第一クランプ23と同様の構成からなる。すなわち、第二クランプ33は、図3及び図4に示す第一クランプ23を、上下反転させた構成に相当する。
 第二クランプ33は、複数の第二脚部33a、第二連結部33b、複数の第二返し部33cを備える。第二脚部33a、第二連結部33b、第二返し部33cは、それぞれ、第一脚部23a、第一連結部23b、第一返し部23cと実質的に同様に構成される。そのため、これらの詳細な説明は省略する。
 (7.第一例の端子部10bの詳細構成)
 第一例のトランスデューサ1における第一例の端子部10bの詳細構成について、図6及び図7を参照して説明する。ここで、図6及び図7においては、模式的に図示するため、シート本体部10が、誘電体層11、第一電極シート12及び第二電極シート15により構成されるものとする。また、第一接続部20及び第二接続部30においても、第一融着規制層22、第一接続融着層25、第一裏面融着層27、第二融着規制層32、第二接続融着層35及び第二裏面融着層37を図示しない。
 上述したように、端子部10bは、第一端子部10b1と、第二端子部10b2とを備える。ここで、第一電極シート12は、第一端子部10b1に配置され、第二端子部10b2には配置されていない。一方、第二電極シート15は、第二端子部10b2に配置され、第一端子部10b1に配置されていない。
 第一端子部10b1においては、第一リード線21の第一導通部21bが、第一電極シート12に接触している。第一導通部21bが、第一クランプ23によって第一端子部10b1に固定されている。第一接続保護層24が、第一導通部21b及び第一クランプ23の第一連結部23bを被覆している。さらに、第一裏面保護層26が、第一クランプ23の第一返し部23cを被覆している。
 また、第二端子部10b2においては、第二リード線31の第二導通部31bが、第二電極シート15に接触している。第二導通部31bが、第二クランプ33によって第二端子部10b2に固定されている。第二接続保護層34が、第二導通部31b及び第二クランプ33の第二連結部33bを被覆している。さらに、第二裏面保護層36が、第二クランプ33の第二返し部33cを被覆している。
 そして、第一接続部20と第二接続部30とは、シート本体部10の面方向にオフセットして配置されている。ここで、第一端子部10b1には、第二電極シート15が配置されていない。つまり、第一クランプ23が存在する領域には、第二電極シート15は配置されていない。従って、第一クランプ23の第一脚部23aが第一端子部10b1を貫通するとしても、第二電極シート15と接触することはない。換言すると、第一クランプ23は、第二電極シート15と電気的に接続される状態にはならない。
 同様に、第二端子部10b2には、第一電極シート12が配置されていない。つまり、第二クランプ33が存在する領域には、第一電極シート12は配置されていない。従って、第二クランプ33の第二脚部33aが第二端子部10b2を貫通するとしても、第一電極シート12と接触することはない。換言すると、第二クランプ33は、第一電極シート12と電気的に接続される状態にはならない。
 さらに、第一クランプ23が、第一リード線21の第一導通部21bをシート本体部10の第一端子部10b1に固定している。つまり、半田や溶接を適用することなく、第一導通部21bがシート本体部10の第一端子部10b1に固定されている。半田付けや溶接に比べて、第一クランプ23の第一連結部23bは、厚みを薄くすることができる。従って、第一リード線21の第一導通部21bが第一電極シート12に接続される部位において、厚みを薄くすることができる。同様に、第二クランプ33を用いることによって、第二リード線31の第二導通部31bが第二電極シート15に接続される部位において、厚みを薄くすることができる。
 (8.第二例の端子部10bの詳細構成)
 第一例のトランスデューサ1における第二例の端子部10bの詳細構成について、図8及び図9を参照して説明する。第二例の端子部10bは、第一端子部10b1及び第二端子部10b2に加えて、変形許容部10b3を備える。
 変形許容部10b3は、第一端子部10b1と第二端子部10b2との境界部に位置する。変形許容部10b3は、第一接続部20と第二接続部30のオフセット方向の境界部に形成されている。変形許容部10b3は、第一端子部10b1と第二端子部10b2とを面法線方向への相対移動を許容する。
 詳細には、シート本体部10の面法線方向(厚み方向)において、第一端子部10b1における第一電極シート12と第二端子部10b2における第二電極シート15との距離が、変形許容部10b3による変形前の状態に相当するトランスデューサ部10aにおける第一電極シート12と第二電極シート15との対向距離D(図9に示す)よりも短くなるように、第一端子部10b1と第二端子部10b2とが配置される。
 ここで、本例においては、変形許容部10b3は、シート本体部10の端子部10bの第一面から第二面に亘って切断されたスリットである。そして、図9に示すように、スリットを形成する突き合わせ面がシート本体部10の厚み方向にずらした状態とされる。つまり、変形許容部10b3による変形前の状態に相当するトランスデューサ部10aにおける第一電極シート12と第二電極シート15との対向距離Dに比べて、第一端子部10b1における第一電極シート12と第二端子部10b2における第二電極シート15とのシート本体部10の厚み方向の距離が短くなる。結果として、第一導通部21bと第二導通部31bとのシート本体部10の厚み方向の距離が短くなる。
 以上のとおり、第一導通部21bと第二導通部31bとは面方向にオフセットされている上に、端子部10bは、変形許容部10b3を備えている。変形許容部10b3は、第一導通部21bと第二導通部31bとをシート本体部10の厚み方向に近接させるように作用する。換言すると、第一導通部21bに対向する誘電体層11の部位と、第二導通部31bに対向する誘電体層11の部位とは、同一平面上に位置せず、誘電体層11の厚み方向にずれている。
 従って、第一導通部21b、第一電極シート12、及び、誘電体層11を含む部位の厚み方向の範囲と、第二導通部31b、第二電極シート15、及び、誘電体層11を含む部位の厚み方向の範囲とは、大部分においてオーバーラップしている。つまり、第一リード線21と第二リード線31とがシート本体部10の表裏反対側に配置される場合であっても、端子部10b全体の厚みHが小さくなる。その結果、トランスデューサ1を構成する静電シート全体の最大厚みを、小さくすることができる。
 さらに、第一電極シート12が、第一端子部10b1に配置されており、第二端子部10b2には配置されていない。一方、第二電極シート15は、第一端子部10b1に配置されておらず、第二端子部10b2に配置されている。このように、第一電極シート12及び第二電極シート15が、第一端子部10b1及び第二端子部10b2のそれぞれのみに配置されることで、端子部10b全体の厚みHがより小さくなる。
 (9.第三例の端子部10bの詳細構成)
 第一例のトランスデューサ1における第三例の端子部10bの詳細構成について、図10及び図11を参照して説明する。第三例の端子部10bは、第二例の端子部10bに対して、変形許容部10b3が相違する。
 本例においては、変形許容部10b3は、エラストマーにより形成されている誘電体層11の曲げ変形により構成されている。第一端子部10b1の誘電体層11と第二端子部10b2の誘電体層11は、変形許容部10b3の誘電体層11により連続的に接続されている。変形許容部10b3は、誘電体層11の曲げ変形により段差状に変形されて形成されている。
 このようにして、シート本体部10の面法線方向(厚み方向)において、第一端子部10b1における第一電極シート12と第二端子部10b2における第二電極シート15との距離が、変形許容部10b3による変形前の状態に相当するトランスデューサ部10aにおける第一電極シート12と第二電極シート15との対向距離D(図11に示す)よりも短くなるように、第一端子部10b1と第二端子部10b2とが配置される。結果として、第一導通部21bと第二導通部31bとのシート本体部10の厚み方向の距離が短くなる。
 従って、第一リード線21と第二リード線31とが誘電体層11の表裏反対側に配置される場合であっても、端子部10b全体の厚みHが小さくなる。その結果、トランスデューサ1を構成する静電シート全体の最大厚みを、小さくすることができる。
 また、シート本体部10の面方向において、第一端子部10b1と第二端子部10b2との距離を長く確保できる場合には、本例の変形許容部10b3が好適である。この場合、第一端子部10b1の誘電体層11と第二端子部10b2の誘電体層11とを大きくずらすことが確実にできると共に、誘電体層11の形状が簡易な形状となる。
 (10.第一例のトランスデューサ1の製造方法)
 第一例のトランスデューサ1を構成する静電シートの製造方法について、図4、図12-図15を参照して説明する。図12-図15は、第一端子部10b1の部分の製造方法を図示する。ここで、第二端子部10b2の部分の製造方法は、実質的に、第一端子部10b1を反転させた構造を有する。
 まず、シート本体部10を構成する誘電体層11の素材11a、第一電極シート12、第二電極シート15を準備する。ここで、第一端子部10b1において、誘電体層11の素材11aは、図12の下面側から、誘電体層11、第一主融着層13の素材、及び、第一主保護層14の素材を構成する。なお、第二端子部10b2においては、誘電体層11の素材11aは、誘電体層11、第二主融着層16の素材、及び、第二主保護層17の素材を構成する。また、トランスデューサ部10aにおいては、誘電体層11の素材11aは、第二主保護層17の素材、第二主融着層16の素材、誘電体層11、第一主融着層13の素材、及び、第一主保護層14の素材を構成する。
 また、第一接続部20を構成する第一リード線21、第一融着規制層22、第一クランプ23、第一接続保護層24の素材、第一裏面保護層26の素材を準備する。ここで、第一接続保護層24の素材は、第一接続融着層25の素材、第一接続保護層24を構成する。第一裏面保護層26の素材は、第一裏面融着層27の素材、第一裏面保護層26を構成する。なお、第一接続部20が第一融着規制層22、第一接続融着層25、第一裏面融着層27を備えない構成においては、これらの準備は不要となる。
 また、第二接続部30を構成する第二リード線31、第二融着規制層32、第二クランプ33、第二接続保護層34の素材、第二裏面保護層36の素材を準備する。ここで、第二接続保護層34の素材は、第二接続融着層35の素材、第二接続保護層34を構成する。第二裏面保護層36の素材は、第二裏面融着層37の素材、第二裏面保護層36を構成する。なお、第二接続部30が第二融着規制層32、第二接続融着層35、第二裏面融着層37を備えない構成においては、これらの準備は不要となる。
 次に、図12に示すように、第一端子部10b1においては、(a)誘電体層11の素材11a、(b)第一融着規制層22、(c)第一電極シート12の順に積層することにより、積層体が形成される(積層体形成工程:S1)。つまり、図12においては、誘電体層11、第一主融着層13の素材、第一主保護層14の素材、第一融着規制層22、第一電極シート12の順となるように積層されている。
 また、図示しないが、第二端子部10b2においては、(a)第二電極シート15、(b)第二融着規制層32、(c)誘電体層11の素材11aの順に積層することにより、積層体が形成される。また、図示しないが、トランスデューサ部10aにおいては、(a)第二電極シート15、(b)誘電体層11の素材11a、(c)第一電極シート12の順に積層することにより、積層体が形成される。
 続いて、積層体全体が、厚み方向に加圧されながら、加熱される(加圧加熱工程:S2)。これにより、熱可塑性エラストマーにより形成されている誘電体層11の素材11aの第一面側が溶融する。そうすると、図13に示すように、第一融着規制層22に面する領域を除く領域において、第一電極シート12が誘電体層11の素材11aの第一面側に埋設される。
 このようにして、誘電体層11の素材11aの一部分が、第一主融着層13を形成し、誘電体層11と第一電極シート12とを接合する。つまり、第一融着規制層22に面する領域を除く領域において、第一主融着層13が、誘電体層11と第一電極シート12とを接合する。さらに、第一融着規制層22に面する領域を除く領域において、誘電体層11の素材11aの一部分が、第一電極シート12の第一外面12c側を被覆することにより、第一主保護層14が形成される。
 さらに、第一融着規制層22に面する領域において、誘電体層11の素材11aが、第一主融着層13を形成し、誘電体層11と第一融着規制層22の内面とを接合する。ここで、第一融着規制層22は、第一主融着層13が第一電極シート12に融着することを規制する。そのため、第一融着規制層22によって、第一主融着層13が第一電極シート12の一部に接合されず、第一電極シート12の一部が第一主融着層13の外部に露出した状態で配置される。
 そして、第一融着規制層22の外面側の少なくとも中央部には、第一主融着層13は存在しない。一方、第一融着規制層22の外面側の外縁部には、第一主融着層13が回り込んで配置される。つまり、第一融着規制層22の外縁部は、第一主融着層13により埋設される。
 さらに、誘電体層11の素材11aの第二面側の一部分が溶融する。そうすると、図示しないが、第二融着規制層32に面する領域を除く領域において、第二電極シート15が誘電体層11の素材11aの第二面側に埋設される。つまり、第二融着規制層32に面する領域を除く領域において、第二主融着層16が、誘電体層11と第二電極シート15とを接合する。さらに、第二融着規制層32に面する領域を除く領域において、誘電体層11の素材11aの一部分が、第二電極シート15の第二外面15c側を被覆することにより、第二主保護層17が形成される。また、第二融着規制層32に面する領域においては、第一融着規制層22に面する領域と同様である。
 なお、第一接続部20が第一融着規制層22を有しない構成においては、加圧加熱工程S2において、当該部位における加圧圧力を他の部位に比べて弱くすることにより、第一電極シート12の一部を誘電体層11の素材11aの外部(第一主融着層13の外部)に露出した状態とすることが可能となる。また、加圧圧力の調整の他に、加熱温度を調整することにより、上記を実現することもできる。また、第二接続部30が第二融着規制層32を有しない構成についても同様である。すなわち、第二電極シート15の一部を誘電体層11の素材11aの外部(第二主融着層16の外部)に露出した状態とすることが可能となる。
 続いて、図14に示すように、第一端子部10b1においては、第一リード線21が第一電極シート12の第一外面12c側に配置される(リード線配置工程:S3)。第一リード線21と同様に、第二リード線31が第二電極シート15側に配置される(リード線配置工程:S3)。
 ここで、図14に示すように、第一リード線21の第一導通部21b全体が、第一電極シート12の第一外面12c側に接触した状態で配置される。このようにして、第一リード線21の第一導通部21bが、第一電極シート12に電気的に接続された状態となる。
 続いて、図15に示すように、第一リード線21の第一導通部21bと第一電極シート12との接続領域において、第一クランプ23を取り付ける(クランプ固定工程:S4)。また、第二リード線31の第二導通部31bと第二電極シート15との接続領域において、第二クランプ33を取り付ける(S4)。
 続いて、図4に示すように、第一融着規制層22に面する領域において、第一接続保護層24の素材を、第一電極シート12、第一リード線21の第一導通部21b、及び、第一クランプ23を被覆するように配置する(接続保護層配置工程:S5)。また、第二融着規制層32に面する領域において、第二接続保護層34の素材を、第二電極シート15、第二リード線31の第二導通部31b、及び、第二クランプ33を被覆するように配置する(S5)。
 続いて、図4に示すように、第一クランプ23の第一返し部23cが露出する領域において、第一裏面保護層26の素材を配置する(裏面保護層配置工程:S6)。また、第二クランプ33の第二返し部33cが露出する領域において、第二裏面保護層36の素材を配置する(S6)。
 続いて、第一接続保護層24の素材、第二接続保護層34の素材、第一裏面保護層26の素材、及び、第二裏面保護層36の素材が、厚み方向に加圧されながら、加熱される(保護層融着工程:S7)。そうすると、第一接続保護層24の素材が溶融することにより形成された第一接続融着層25が、第一電極シート12、第一リード線21の第一導通部21b、第一クランプ23の第一連結部23b、第一融着規制層22を接合する。さらに、第一接続融着層25の一部が、第一主保護層14にも接合される。このようにして、第一接続保護層24が、第一融着規制層22に面する領域を被覆する。
 また、第二接続保護層34が、第二接続融着層35により、第二電極シート15、第二リード線31の第二導通部31b、第二クランプ33、第二融着規制層32、及び、第二主保護層17の一部分に接合される(S7)。さらに、第一裏面保護層26が、第一裏面融着層27により、誘電体層11の第二面に接合される(S7)。さらに、第二裏面保護層36が、第二裏面融着層37により、誘電体層11の第一面に接合される(S7)。
 従って、第一融着規制層22によって、第一主融着層13が第一電極シート12の一部に接合されず、第一電極シート12の一部が確実に第一主融着層13の外部に配置された状態となる。従って、第一電極シート12に第一リード線21の第一導通部21bを電気的に接続することが、容易且つ確実となる。さらに、第一電極シート12の一部が第一主融着層13の外部に配置されることにより、第一クランプ23又は第一接続保護層24により、第一電極シート12と第一リード線21の第一導通部21bとが電気的に接続された状態を固定することができる。第二融着規制層32についても同様である。
 なお、第一接続保護層24が粘着層又は接着層を有する樹脂製の絶縁シートである場合には、保護層融着工程S7において、加熱することなく、第一接続保護層24を張り付けることが可能となる(保護層貼付工程:S7)。また、第二接続保護層34が上記絶縁シートである場合にも同様である。すなわち、加熱することなく、第二接続保護層34を張り付けることが可能となる。
 (11.第二例のトランスデューサ100)
 第二例のトランスデューサ100を構成する静電シートについて、図16-図18を参照して説明する。第二例のトランスデューサ100は、第一例のトランスデューサ1に対して、シート本体部10が実質的に共通し、第一接続部120及び第二接続部130が相違する。以下に、第一接続部120及び第二接続部130について説明する。ただし、第一接続部120及び第二接続部130の構成のうち、第一例のトランスデューサ1における第一接続部20及び第二接続部30と同一の構成については同一符号を付して説明を省略する。
 なお、シート本体部10の第一端子部10b1及び第二端子部10b2において、第一電極シート12と第二電極シート15は、同一形状に形成されている。ただし、第一例のトランスデューサ1と同様に、第一端子部10b1及び第二端子部10b2において、第一電極シート12と第二電極シート15の形状は、異なるようにしてもよい。
 第一接続部120は、少なくとも、第一リード線21、第一固着層123、第一接続保護層24を備える。本例においては、第一接続部120は、第一リード線21、第一融着規制層22、第一固着層123、第一接続保護層24、第一接続融着層25を備える。すなわち、第一接続部120は、第一例のトランスデューサ1における第一接続部20に対して、第一リード線21及び第一融着規制層22が共通し、第一固着層123が相違すると共に、第一裏面保護層26及び第一裏面融着層27を備えない点において、相違する。第一固着層123は、第一クランプ23に置換される。なお、第一接続部120は、第一例のトランスデューサ1と同様に、さらに、第一融着規制層22、第一接続融着層25を備えない構成とすることもできる。
 第二接続部130は、少なくとも、第二リード線31、第二固着層133、第二接続保護層34を備える。本例においては、第二接続部130は、第二リード線31、第二融着規制層32、第二固着層133、第二接続保護層34、第二接続融着層35を備える。また、第二接続部130は、第一例のトランスデューサ1における第二接続部30に対して、第二リード線31及び第二融着規制層32が共通し、第二固着層133が相違すると共に、第二裏面保護層36及び第二裏面融着層37を備えない点において、相違する。第二固着層133は、第二クランプ33に置換される。また、第二接続部130は、第一例のトランスデューサ1と同様に、さらに、第二融着規制層32、第二接続融着層35を備えない構成とすることもできる。
 第一接続部120において、第一固着層123は、第一電極シート12が露出している領域において、第一リード線21の第一導通部21bを第一電極シート12に電気的に接続した状態で、第一リード線21の第一導通部21bを第一電極シート12に固着させる。第一固着層123は、例えば、半田や導電性樹脂等の導電性接合材である。つまり、第一固着層123により、第一リード線21の第一導通部21bが、第一電極シート12に対して、広範囲に且つ確実に、電気的に接続される状態となる。
 そして、第一接続保護層24は、第一接続融着層25により、第一リード線21、第一電極シート12の第一外面12cのうち露出している部分、及び、第一固着層123に接合されている。なお、第一接続保護層24が、粘着層又は接着層を有する樹脂製の絶縁シートである場合には、第一接続融着層25を有することなく、第一リード線21、第一電極シート12、及び、第一固着層123に接合されている。
 第二接続部130において、第二固着層133は、第二融着規制層32に面する領域において、第二リード線31の第二導通部31bを第二電極シート15に電気的に接続した状態で、第二リード線31の第二導通部31bを第二電極シート15に固着させる。第二固着層133は、例えば、半田や導電性樹脂等の導電性接合材である。つまり、第二固着層133により、第二リード線31の第二導通部31bが、第二電極シート15に対して、広範囲に且つ確実に、電気的に接続される状態となる。
 そして、第二接続保護層34は、第二接続融着層35により、第二リード線31、第二電極シート15の第二外面15cのうち露出している部分、及び、第二固着層133に接合されている。なお、第二接続保護層34が、粘着層又は接着層を有する樹脂製の絶縁シートである場合には、第二接続融着層35を有することなく、第二リード線31、第二電極シート15、及び、第二固着層133に接合されている。
 (12.第二例のトランスデューサ100の製造方法)
 第二例のトランスデューサ100を構成する静電シートの製造方法について、図12-図14、図18-図19を参照して説明する。図12-図14に示すように、第一例のトランスデューサ1の製造方法における、積層体形成工程S1、加圧加熱工程S2、リード線配置工程S3を実行する。
 続いて、図19に示すように、第一リード線21の第一導通部21bと第一電極シート12との接続領域において、半田又は導電性樹脂等の導電性接合材により、第一固着層123が形成される(固着層形成工程:S14)。つまり、露出している第一電極シート12と第一リード線21の第一導通部21bとが、第一固着層123により電気的に接続した状態で固着される。
 特に、第一融着規制層22を有する構成においては、第一融着規制層22の存在により第一電極シート12が露出しているため、第一電極シート12と第一リード線21の第一導通部21bとが、容易且つ確実に電気的に接続される。さらに、第一固着層123の形成と同様に、第二リード線31の第二導通部31bと第二電極シート15とが第二固着層133により電気的に接続される(S14)。なお、第一接続部120及び第二接続部が第一融着規制層22及び第二融着規制層32を備えない構成とすることができるのは上述したとおりである。
 続いて、図18に示すように、第一電極シート12が露出している領域において、第一接続保護層24を、第一電極シート12、第一リード線21の第一導通部21b、及び、第一固着層123を被覆するように配置する(接続保護層配置工程:S15)。また、第二電極シート15が露出している領域においても、同様である。
 続いて、第一接続保護層24の素材、及び、第二接続保護層34の素材が、厚み方向に加圧されながら、加熱される(保護層融着工程:S16)。そうすると、第一接続保護層24の素材が溶融することにより形成された第一接続融着層25が、第一電極シート12、第一リード線21の第一導通部21b、第一固着層123、第一融着規制層22を接合する。さらに、第一接続融着層25の一部が、第一主保護層14にも接合される。このようにして、第一接続保護層24が、第一融着規制層22に面する領域を被覆する。第二接続保護層34についても同様である。このようにして、第二例のトランスデューサ200が製造される。
 なお、第一接続保護層24が粘着層又は接着層を有する樹脂製の絶縁シートである場合には、保護層融着工程S16において、加熱することなく、第一接続保護層24を張り付けることが可能となる(保護層貼付工程:S16)。また、第二接続保護層34が上記絶縁シートである場合にも同様である。すなわち、加熱することなく、第二接続保護層34を張り付けることが可能となる。
 (13.第三例のトランスデューサ200)
 第三例のトランスデューサ200を構成する静電シートについて、図20を参照して説明する。第一導通部21bは、図20に示すように、第一電極シート12に絡ませて配置してもよい。このようにして、第一導通部21bは、第一電極シート12に電気的に接続されている。また、第二導通部31bも、第二電極シート15に絡ませて配置してもよい。このようにして、第二導通部31bが、第二電極シート15に電気的に接続されている。なお、第一導通部21bは、第一例のトランスデューサ1において、第一電極シート12に絡めて配置することもできる。第二導通部31bも同様である。
 第三例のトランスデューサ200の製造方法について説明する。積層体形成工程S1において、第一リード線21の第一導通部21bは、第一電極シート12に絡ませて配置される。続いて、加圧加熱工程S2が実行される。ここで、第二例におけるリード線配置工程S3は、実行されない。
 続いて、第二例のトランスデューサ100における固着層形成工程S14、接続保護層配置工程S15、及び、保護層融着工程S16(又は保護層貼付工程S16)が実行される。このようにして、第三例のトランスデューサ200が製造される。
 なお、本例においても、第一融着規制層22及び第二融着規制層32を備えない構成とし、第一電極シート12の一部及び第二電極シート15の一部を露出させることは可能である。また、第一接続保護層24及び第二接続保護層34が樹脂製の絶縁シートとすることも可能である。
 (14.第四例のトランスデューサ300)
 第四例のトランスデューサ300を構成する静電シートについて、図21-図23を参照して説明する。第四例のトランスデューサ300は、変形許容部10b3を除いて、第二例のトランスデューサ100と同様に構成される。第四例のトランスデューサ300においては、端子部10bが、第一端子部10b1、第二端子部10b2、及び、変形許容部10b3を備える。変形許容部10b3は、第一例のトランスデューサ1における第二例の端子部10bと同様である。
 すなわち、変形許容部10b3は、第一端子部10b1と第二端子部10b2との境界部に位置する。変形許容部10b3は、第一接続部120と第二接続部130のオフセット方向の境界部に形成されている。変形許容部10b3は、第一端子部10b1と第二端子部10b2とを面法線方向への相対移動を許容する。本例においては、変形許容部10b3は、図21に示すように、シート本体部10の端子部10bの第一面から第二面に亘って切断されたスリットである。
 端子部10bの詳細構成について、図22及び図23を参照して説明する。ここで、図22及び図23においては、模式的に図示するため、シート本体部10が、誘電体層11、第一電極シート12及び第二電極シート15により構成されるものとする。また、第一接続部120及び第二接続部130においても、第一融着規制層22、第一接続融着層25、第二融着規制層32及び第二接続融着層35を図示しない。
 なお、第一接続部120及び第二接続部130は、第一融着規制層22及び第二融着規制層32を有しない構成とすることも可能である。また、第一接続保護層24及び第二接続保護層34は、熱可塑性材料の他に、粘着層又は接着層を有する樹脂製の絶縁シートを適用することもできる。
 上述したように、端子部10bは、第一端子部10b1と、第二端子部10b2と、変形許容部10b3とを備える。ここで、第一電極シート12は、第一端子部10b1に配置され、且つ、第二端子部10b2にも配置されている。ただし、第一電極シート12は、第一端子部10b1のみに配置されるようにしてもよい。一方、第二電極シート15は、第二端子部10b2のみに配置されている。ただし、第二電極シート15も、第一端子部10b1に配置され、且つ、第二端子部10b2にも配置されるようにしてもよい。
 第一端子部10b1には第一リード線21の第一導通部21bが接続されており、第一接続保護層24が第一導通部21bを被覆している。第二端子部10b2には第二リード線31の第二導通部31bが接続されており、第二接続保護層34が第二導通部31bを被覆している。つまり、第一導通部21bと第二導通部31bとは、誘電体層11の面方向(図22及び図23の左右方向)にオフセットして配置されている。
 ここで、第一導通部21bは、誘電体層11の第一面側に配置され、第二導通部31bは、誘電体層11の第二面側に配置されている。つまり、第一導通部21bと第二導通部31bとは、誘電体層11の厚み方向の表裏反対側の面に配置されている。
 さらに、第一接続部120において、特に第一固着層123が厚みを有する。そのため、第一導通部21bを含む第一接続部120は、誘電体層11の第一面から面法線方向に突出している。また、第二接続部130において、特に第二固着層133が厚みを有する。そのため、第二導通部31bを含む第二接続部130は、誘電体層11の第二面から面法線方向に突出している。そして、第一導通部21bと第二導通部31bの突出方向は、反対である。
 ここで、端子部10bは、第一端子部10b1と第二端子部10b2との境界部に、変形許容部10b3を備える。すなわち、変形許容部10b3は、第一導通部21bと第二導通部31bのオフセット方向の境界部に形成されている。変形許容部10b3は、第一端子部10b1と第二端子部10b2とを面法線方向への相対移動を許容する。
 詳細には、シート本体部10の面法線方向(誘電体層11の厚み方向)において、第一端子部10b1における第一電極シート12と第二端子部10b2における第二電極シート15との距離が、変形許容部10b3による変形前の状態に相当するトランスデューサ部10aにおける第一電極シート12と第二電極シート15との対向距離D(図23に示す)よりも短くなるように、第一端子部10b1と第二端子部10b2とが配置される。
 特に、シート本体部10の面法線方向において、第一導通部21bと第二導通部31bとの距離が、変形前における第一電極シート12と第二電極シート15との対向距離Dよりも短くなるようにされている。
 ここで、本例においては、変形許容部10b3は、誘電体層11の第一面から第二面に亘って切断されたスリットである。そして、図23に示すように、スリットを形成する突き合わせ面が誘電体層11の厚み方向にずらした状態とされる。つまり、変形許容部10b3による変形前の状態に相当するトランスデューサ部10aにおける第一電極シート12と第二電極シート15との対向距離Dに比べて、第一導通部21bと第二導通部31bとの誘電体層11の厚み方向の距離が短くなる。
 以上のとおり、第一導通部21bと第二導通部31bとは面方向にオフセットされている上に、誘電体層11は、変形許容部10b3を備えている。変形許容部10b3は、第一導通部21bと第二導通部31bとを誘電体層11の厚み方向に近接させるように作用する。換言すると、第一導通部21bに対向する誘電体層11の部位と、第二導通部31bに対向する誘電体層11の部位とは、同一平面上に位置せず、誘電体層11の厚み方向にずれている。
 従って、第一導通部21b、第一電極シート12、及び、誘電体層11を含む部位の厚み方向の範囲と、第二導通部31b、第二電極シート15、及び、誘電体層11を含む部位の厚み方向の範囲とは、大部分においてオーバーラップしている。特に、第一電極シート12及び第一導通部21bを含んで構成される第一導電範囲と、第二電極シート15及び第二導通部31bを含んで構成される第二導電範囲とは、誘電体層11の厚み方向において大部分においてオーバーラップしている。
 つまり、第一リード線21と第二リード線31とが誘電体層11の表裏反対側に配置される場合であっても、端子部10b全体の厚みHが小さくなる。その結果、トランスデューサ1を構成する静電シート全体の最大厚みを、小さくすることができる。
 さらに、第二電極シート15は、第二端子部10b2の中央部に配置されており、第二端子部10b2におけるスリット側の縁には配置されていない。一方、第一電極シート12は、第一端子部10b1及び第二端子部10b2に亘って配置されている。従って、スリットの周囲(スリットを形成する縁)において、第一電極シート12のみが配置されており、第二電極シート15は配置されていない。従って、第一端子部10b1と第二端子部10b2が厚み方向にずれている場合に、第一電極シート12と第二電極シート15とが接触することが防止される。
 また、図示しないが、スリットの周囲において、第一電極シート12が配置されておらず、第二電極シート15のみが配置されている場合にも、上記と同様の効果を奏する。また、図示しないが、スリットの周囲において、第一電極シート12及び第二電極シート15が配置されていない場合にも、上記と同様の効果を奏する。
 (15.第五例のトランスデューサ400)
 第五例のトランスデューサ400を構成する静電シートについて、図24を参照して説明する。第五例のトランスデューサ400は、第四例のトランスデューサ300に対して、変形許容部10b3が相違する。
 本例においては、変形許容部10b3は、エラストマーにより形成されている誘電体層11の曲げ変形により構成されている。第一端子部10b1の誘電体層11と第二端子部10b2の誘電体層11は、変形許容部10b3の誘電体層11により連続的に接続されている。変形許容部10b3は、誘電体層11の曲げ変形により段差状に変形されて形成されている。
 このようにして、変形許容部10b3は、シート本体部10の面法線方向(誘電体層11の厚み方向)において、第一端子部10b1における第一電極シート12と第二端子部10b2における第二電極シート15との距離を、変形許容部10b3による変形前の状態に相当するトランスデューサ部10aにおける第一電極シート12と第二電極シート15との対向距離Dよりも短くなるように、第一端子部10b1と第二端子部10b2とを配置させることができる。
 特に、シート本体部10の面法線方向において、第一導通部21bと第二導通部31bとの距離が、変形許容部10b3による変形前の状態に相当するトランスデューサ部10aにおける第一電極シート12と第二電極シート15との対向距離Dよりも短くなるようにされている。
 従って、第一リード線21と第二リード線31とが誘電体層11の表裏反対側に配置される場合であっても、端子部10b全体の厚みHが小さくなる。その結果、トランスデューサ1を構成する静電シート全体の最大厚みを、小さくすることができる。
 さらに、第一電極シート12が、第一端子部10b1に配置されており、第二端子部10b2には配置されていない。一方、第二電極シート15は、第一端子部10b1に配置されておらず、第二端子部10b2に配置されている。このように、第一電極シート12及び第二電極シート15が、第一端子部10b1及び第二端子部10b2のそれぞれのみに配置されることで、端子部10b全体の厚みHがより小さくなる。
 また、シート本体部10の面方向において、第一端子部10b1と第二端子部10b2との距離を長く確保できる場合には、本例の変形許容部10b3が好適である。この場合、第一端子部10b1の誘電体層11と第二端子部10b2の誘電体層11とを大きくずらすことが確実にできると共に、誘電体層11の形状が簡易な形状となる。
 なお、本例においても、第一接続部120及び第二接続部130は、第一融着規制層22及び第二融着規制層32を有しない構成とすることも可能である。また、第一接続保護層24及び第二接続保護層34は、熱可塑性材料の他に、粘着層又は接着層を有する樹脂製の絶縁シートを適用することもできる。
 (16.第六例のトランスデューサ500)
 第六例のトランスデューサ500を構成する静電シートについて、図26を参照して説明する。第六例のトランスデューサ500は、第二例のトランスデューサ100に対して、第一融着規制層22及び第二融着規制層32を備えない構成であると共に、第一接続部20と第二接続部30がシート本体部10の端子部10bにおいてオフセットせずに配置されている。ただし、第一接続部20と第二接続部30とは、オフセットして配置されるようにしてもよい。
 第六例のトランスデューサ500を構成する静電シートの製造方法について、図27を参照して説明する。まず、誘電体層11の素材、第一電極シート12及び第二電極シート15を所定位置に配置する(S21)。具体的には、第一電極シート12を誘電体層11の素材の第一面側に配置し、第二電極シート15を誘電体層11の素材の第二面側に配置する。
 続いて、積層体全体が、厚み方向に加圧されながら、加熱される(S22)。これにより、熱可塑性エラストマーにより形成されている誘電体層11の素材の一部分が溶融し、第一電極シート12が誘電体層11の素材の第一面側に埋設される。このようにして、誘電体層11の素材の一部分が、第一主融着層13を形成し、誘電体層11と第一電極シート12を接合する。また、熱可塑性エラストマーにより形成されている誘電体層11の他の一部分が溶融し、第二電極シート15が誘電体層11の素材の第二面側に埋設される。このようにして、誘電体層11の素材の他の一部分が、第二主融着層16を形成し、誘電体層11と第二電極シート15が接合される。
 続いて、第一リード線21を第一電極シート12側に配置し、且つ、第二リード線31を第二電極シート15側に配置する(S23)。続いて、第一リード線21の第一導通部21bと第一電極シート12との接続領域に対して半田付けを行うことにより、第一固着層123を形成する(S24)。さらに、第二リード線31の第二導通部31bと第二電極シート15との接続領域に対して半田付けを行うことにより、第二固着層133を形成する(S24)。
 続いて、第一接続保護層24の素材を、第一リード線21の第一導通部21b及び第一固着層123を覆うように配置し、且つ、第二接続保護層34の素材を、第二リード線31の第二導通部31b及び第二固着層133を覆うように配置する(S25)。
 続いて、接続保護層24,34の素材の部分に対して、厚み方向に加圧し、且つ、加熱する(S26)。これにより、熱可塑性エラストマーにより形成されている第一接続保護層24の素材の一部分及び誘電体層11の一部分が溶融し、当該溶融部分である第一接続融着層25が、誘電体層11、第一電極シート12、第一リード線21、第一固着層123、第一接続保護層24を接合する。
 さらに、熱可塑性エラストマーにより形成されている第二接続保護層34の素材の一部分及び誘電体層11の一部分が溶融し、当該溶融部分である第二接続融着層35が、誘電体層11、第二電極シート15、第二リード線31、第二固着層133、第二接続保護層34を接合する。
 上記によれば、第一リード線21及び第一接続保護層24は、第一電極シート12における誘電体層11の反対側の面(第一外面12c)側に配置されている。従って、外部に引き出された電極ではなく、トランスデューサ500として機能する第一電極シート12そのものに、第一リード線21及び第一接続保護層24が接合されている。従って、外部電極が不要となるため、トランスデューサ500の製造コストの低減を図ることができる。
 ここで、第一電極シート12の第一貫通孔12aを介することにより形成される部位であって誘電体層11と第一接続保護層24との境界部位が、融着材料の融着により接合されている。ここでの融着材料は、誘電体層11の一部分及び第一接続保護層24の一部分の少なくとも一方である。つまり、揮散型接着剤及び有機溶媒を用いることなく、両者が接合されている。従って、VOCの排出を抑制できる。
 さらに、第一接続保護層24と誘電体層11とが、融着材料(それぞれの一部分を適用)によって接合している。この構成は、第一リード線21及び第一接続保護層24が、第一電極シート12における誘電体層11の反対側の面(第一外面12c)側に配置されることにより実現できる。この場合、第一接続保護層24と誘電体層11との間には、第一電極シート12及び第一リード線21が介在している。ただし、第一電極シート12が第一貫通孔12aを有しているため、第一接続保護層24と誘電体層11とは、第一電極シート12及び第一リード線21を介した状態で、接合することが可能となる。
 つまり、第一電極シート12の一部及び第一リード線21の第一導通部21bは、接合された第一接続保護層24及び誘電体層11に埋設されたような状態となる。従って、第一電極シート12と第一リード線21とは、確実に、電気的に接続された状態が維持される。加えて、第一電極シート12を誘電体層11に接合した状態を維持することができる。
 さらに、第一電極シート12と第一接続保護層24との境界部位が、融着材料の融着によって接合されている。ここでの融着材料は、第一接続保護層24の素材の一部分である。この場合も、上記同様に、揮散型接着剤及び有機溶媒を用いることなく、両者が接合されている。従って、VOCの排出を抑制できる。
 さらに、第一接続保護層24と第一電極シート12とが、融着材料によって接合している。ここでの融着材料は、第一接続保護層24の素材の一部分である。そして、融着される第一電極シート12の部位は、第一電極シート12の第一貫通孔12aの内周面を含んでいる。融着材料(第一接続保護層24の一部分を適用)の融着によって、第一接続保護層24と、第一電極シート12における第一外面12c及び第一貫通孔12aの内周面とが接合されている。従って、第一接続保護層24と第一電極シート12とは広範囲に接合している。
 このようにして接合されている第一接続保護層24と第一電極シート12との間に、第一リード線21の第一導通部21bが存在している。つまり、第一リード線21の第一導通部21bは、接合された第一接続保護層24及び第一電極シート12に埋設されたような状態となる。従って、第一電極シート12と第一リード線21とは、確実に、電気的に接続された状態が維持される。なお、上記は、第一電極シート12側について説明したが、第二電極シート15側について同様である。
 また、第一接続保護層24及び第二接続保護層34が存在しない領域において、誘電体層11と第一電極シート12、及び、誘電体層11と第二電極シート15が、融着材料の融着によって接合されている。ここでの融着材料は、誘電体層11の一部分である。
 そして、第一電極シート12との融着部位は、第一電極シート12の第一内面12b及び第一電極シート12の第一貫通孔12aの内周面を含んでいる。第二電極シート15との融着部位は、第二電極シート15の第二内面15b及び第二電極シート15の第二貫通孔15aの内周面を含んでいる。この場合も、上記同様に、揮散型接着剤及び溶媒を用いることなく、両者が接合されている。従って、VOCの排出を抑制できる。そして、第一貫通孔12aの内周面及び第二貫通孔15aの内周面を融着部位とすることにより、両者はより強固な接合となる。
 なお、第一接続保護層24及び第二接続保護層34は、粘着層又は接着層を有する樹脂製の絶縁シートを適用することが可能である。この場合、第一接続融着層25及び第二接続融着層35を備えない構成となる。また、第一接続保護層24及び第二接続保護層34は、加熱することなく張り付けることが可能となる。
 (17.第七例のトランスデューサ600)
 第七例のトランスデューサ600を構成する静電シートについて、図28を参照して説明する。図28に示すように、トランスデューサ600は、第六例のトランスデューサ600における第一固着層123及び第二固着層133を有しない構造である。つまり、第一接続保護層24が、第一リード線21の第一導通部21bを直接保護し、第二接続保護層34が、第二リード線31の第二導通部31bを直接保護する。第一接続保護層24及び第二接続保護層34による接合力で十分である場合には、本態様を適用可能である。
 (18.第八例のトランスデューサ700)
 第八例のトランスデューサ700を構成する静電シートについて、図29を参照して説明する。図29に示すように、誘電体層11は、非熱可塑性材料により形成され、積層方向(厚み方向)に連通する孔を有する。誘電体層11には、例えば、非熱可塑性材料のエラストマーの発泡材料が用いられる。また、誘電体層11には、エラストマーの他に、非熱可塑性材料の不織布等の通気性のよいものを適用することもできる。誘電体層11は、非熱可塑性材料であるため、熱が加えられたとしても溶融しない。
 また、トランスデューサ700は、誘電体層11と第一電極シート12とを接合するために、誘電体層11と第一電極シート12との間に、誘電体層11及び第一電極シート12とは別体の第一主融着層13を備える。第一主融着層13は、第一電極シート12の第一内面12bの一部分と誘電体層11とを接合すると共に、第一電極シート12の第一貫通孔12aの内周面の一部分と誘電体層11とを接合する。従って、第一電極シート12の第一貫通孔12aは、全てを閉塞されることはなく、少なくとも一部分において貫通した状態が維持される。
 さらに、トランスデューサ700は、誘電体層11と第二電極シート15とを接合するために、誘電体層11と第二電極シート15との間に、誘電体層11及び第二電極シート15とは別体の第二主融着層16を備える。第二主融着層16は、第二電極シート15の第二内面15bの一部分と誘電体層11とを接合すると共に、第二電極シート15の第二貫通孔15aの内周面の一部分と誘電体層11とを接合する。従って、第二電極シート15の第二貫通孔15aは、全てを閉塞されることはなく、少なくとも一部分において貫通した状態が維持される。
 第一主融着層13及び第二主融着層16は、熱可塑性材料のエラストマー(融着材料)により形成されている。そして、第一主融着層13及び第二主融着層16は、例えば、粒子状の素材により形成されており、熱が加えられることにより溶融し、自身の融着により対象物を接合する。また、第一主融着層13及び第二主融着層16は、誘電体層11とは別体であるが、固化した状態において誘電体層11と同程度の弾性率を有するとよい。
 上記のように、誘電体層11が積層方向に連通する孔を有すると共に、第一電極シート12の第一貫通孔12aが少なくとも一部は閉塞されずに、且つ、第二電極シート15の第二貫通孔15aが少なくとも一部は閉塞されていない。従って、誘電体層11、第一電極シート12及び第二電極シート15により構成される積層体は、積層方向に通気性を有する。従って、トランスデューサ700は、通気性を必要とする部位に、好適に適用される。
 ここで、第一接続保護層24及び第二接続保護層34は、第一例と同様である。従って、第一接続保護層24は、自身の融着によって、誘電体層11、第一電極シート12、第一リード線21、及び、第一固着層123に接合される。また、第二接続保護層34は、自身の融着によって、誘電体層11、第二電極シート15、第二リード線31、及び、第二固着層133に接合される。本例においては、第一接続融着層25は、第一接続保護層24の一部分のみにより構成されており、第二接続融着層35は、第二接続保護層34の一部分のみにより構成されている。
 次に、トランスデューサ700を構成する静電シートの製造方法について、図30を参照して説明する。第一電極シート12及び第一リード線21を所定位置に配置し(S31)、半田付けを行う(S32)。このようにして、第一固着層123が形成される。続いて、第二電極シート15及び第二リード線31を所定位置に配置し(S33)、半田付けを行う(S34)。このようにして、第二固着層133が形成される。
 続いて、誘電体層11、第一電極シート12、第一リード線21、第一固着層123、第一主融着層13の融着材料、及び、第一接続保護層24を所定位置に配置する(S35)。そして、シート全体に対して、厚み方向に加圧し、加熱する(S36)。これにより、熱可塑性エラストマーにより形成されている第一主融着層13の融着材料及び第一接続保護層24の一部分が溶融し、これらの融着によって、誘電体層11、第一電極シート12、第一リード線21、第一固着層123、第一主融着層13、及び、第一接続保護層24が接合される。
 続いて、S36において一体化されたシート、第二電極シート15、第二リード線31、第二固着層133、第二主融着層16の融着材料、及び、第二接続保護層34を所定位置に配置する(S37)。そして、シート全体に対して、厚み方向に加圧し、加熱する(S38)。これにより、熱可塑性エラストマーにより形成されている第二主融着層16の融着材料及び第二接続保護層34の一部分が溶融し、これらの融着によって、一体化されたシート、第二電極シート15、第二リード線31、第二固着層133、第二主融着層16、及び、第二接続保護層34が接合される。
 なお、第一接続保護層24及び第二接続保護層34は、粘着層又は接着層を有する樹脂製の絶縁シートを適用することが可能である。この場合、第一接続融着層25及び第二接続融着層35を備えない構成となる。また、第一接続保護層24及び第二接続保護層34は、加熱することなく張り付けることが可能となる。
 (19.第九例のトランスデューサ800)
 第九例のトランスデューサ800を構成する静電シートについて、図31を参照して説明する。図31に示すように、誘電体層11は、第八例のトランスデューサ700における誘電体層11と同様に、非熱可塑性材料により形成され、積層方向(厚み方向)に連通する孔を有する。さらに、トランスデューサ800は、第八例のトランスデューサ700と同様に、第一主融着層13及び第二主融着層16を備える。
 また、本例においては、第一接続保護層24及び第二接続保護層34は、非熱可塑性材料により形成されている。つまり、第一接続保護層24及び第二接続保護層34は、誘電体層11と同様に、熱が加えられたとして溶融しない。
 また、トランスデューサ800は、第一接続保護層24と他の部材とを接合するために、誘電体層11及び第一接続保護層24とは別材料である第一接続融着層25を備える。さらに、トランスデューサ800は、第二接続保護層34と他の部材とを接合するために、誘電体層11及び第二接続保護層34とは別材料である第二接続融着層35を備える。
 第一接続融着層25及び第二接続融着層35は、熱可塑性材料のエラストマー(融着材料)により形成されている。そして、第一接続融着層25及び第二接続融着層35は、例えば、粒子状の素材により形成されており、熱が加えられることにより溶融し、自身の融着により対象物と接合する。また、第一接続融着層25及び第二接続融着層35は、誘電体層11、第一接続保護層24及び第二接続保護層34とは別体であるが、固化した状態においてこれらと同程度の弾性率を有するとよい。
 次に、トランスデューサ800を構成する静電シートの製造方法について、図32A及び図32Bを参照して説明する。第一電極シート12及び第一リード線21を所定位置に配置し(S41)、半田付けを行う(S42)。このようにして、第一固着層123が形成される。続いて、第二電極シート15及び第二リード線31を所定位置に配置し(S43)、半田付けを行う(S44)。このようにして、第二固着層133が形成される。
 続いて、誘電体層11、第一電極シート12、第一リード線21、第一固着層123、及び、第一主融着層13の融着材料を所定位置に配置する(S45)。そして、シート全体に対して、厚み方向に加圧し、加熱する(S46)。これにより、熱可塑性エラストマーにより形成されている第一主融着層13の融着材料が溶融し、第一主融着層13の融着によって、誘電体層11、第一電極シート12、第一リード線21、第一固着層123及び第一主融着層13が接合される。
 続いて、S46において一体化されたシート、第一接続保護層24、及び、第一接続融着層25の融着材料を配置(S47)。そして、第一接続保護層24の部分に対して、厚み方向に加圧し、加熱する(S48)。これにより、熱可塑性エラストマーにより形成されている第一接続融着層25の融着材料が溶融し、第一接続融着層25の融着によって、各部材が接合される。
 続いて、S48において一体化されたシート、第二電極シート15、第二リード線31、第二固着層133、及び、第二主融着層16の融着材料を所定位置に配置する(S49)。そして、シート全体に対して、厚み方向に加圧し、加熱する(S50)。これにより、熱可塑性エラストマーにより形成されている第二主融着層16の融着材料が溶融し、第二主融着層16の融着によって、各部材が接合される。
 続いて、S50において一体化されたシート、第二接続保護層34、及び、第二接続融着層35の融着材料を所定位置に配置する(S51)。そして、第二接続保護層34の部分に対して、厚み方向に加圧し、加熱する(S52)。これにより、熱可塑性エラストマーにより形成されている第二接続融着層35の融着材料が溶融し、第二接続融着層35の融着によって、各部材が接合される。
 (20.第十例のトランスデューサ900)
 第十例のトランスデューサ900を構成する静電シートについて、図33を参照して説明する。図33に示すように、誘電体層11は、非熱可塑性材料のエラストマーにより形成されている。また、第一接続保護層24及び第二接続保護層34は、熱可塑性材料のエラストマーにより形成されており、端子部10bにおける誘電体層11の外形とほぼ同様の外形に形成されている。
 第一接続保護層24は、自身の融着によって、誘電体層11、第一電極シート12、第一リード線21、及び、第一固着層123に接合される。つまり、第一接続保護層24の一部分が、第一融着層51となる。第一融着層51は、誘電体層11と第一電極シート12とを接合する第一主融着層として機能すると共に、第一リード線21と第一固着層123とを保護する第一接続融着層として機能する。
 また、第二接続保護層34は、自身の融着によって、誘電体層11、第二電極シート15、第二リード線31、及び、第二固着層133に接合される。つまり、第二接続保護層34の一部分が、第二融着層52となる。第二融着層52は、誘電体層11と第二電極シート15とを接合する第二主融着層として機能すると共に、第二リード線31と第二固着層133とを保護する第二接続融着層として機能する。
 次に、トランスデューサ900を構成する静電シートの製造方法について、図34を参照して説明する。第一電極シート12及び第一リード線21を所定位置に配置し(S61)、半田付けを行う(S62)。このようにして、第一固着層123が形成される。続いて、第二電極シート15及び第二リード線31を所定位置に配置し(S63)、半田付けを行う(S64)。このようにして、第二固着層133が形成される。
 続いて、誘電体層11、第一電極シート12、第一リード線21、第一固着層123、第一接続保護層24、第二電極シート15、第二リード線31、第二固着層133、第二接続保護層34を所定位置に配置する(S65)。そして、シート全体に対して、厚み方向に加圧し、加熱する(S66)。これにより、熱可塑性エラストマーにより形成されている第一接続保護層24の融着材料が溶融し、第一接続保護層24の融着によって、各部材が接合される。さらに、熱可塑性エラストマーにより形成されている第二接続保護層34の融着材料が溶融し、第二接続保護層34の融着によって、各部材が接合される。
 (21.第十一例のトランスデューサ1000)
 第十一例のトランスデューサ1000を構成する静電シートについて、図35を参照して説明する。図35に示すように、トランスデューサ1000は、第六例のトランスデューサ500に対して、さらに、第一補強層61及び第二補強層62を備える。
 第一補強層61は、第一電極シート12の第一内面12b側、すなわち、誘電体層11と第一電極シート12との間に配置されている。第一補強層61は、第一電極シート12の第一貫通孔12aよりも小さな複数の貫通孔を有する。第一補強層61は、第一電極シート12と同様に、導電性繊維により形成される布、すなわち導電性の織物又は不織布である。第一補強層61は、柔軟性及び伸縮性を有する薄膜のパンチングメタルを適用することもできる。
 そして、第一補強層61は、第一電極シート12の第一貫通孔12aを介して第一固着層123に固着される。つまり、第一固着層123は、第一リード線21と第一補強層61との間に第一電極シート12を介在させた状態で、これらを固着する。従って、第一リード線21と第一電極シート12との接合が強固となる。
 第二補強層62は、第二電極シート15の第二内面15b側、すなわち、誘電体層11と第二電極シート15との間に配置されている。第二補強層62は、第二電極シート15の第二貫通孔15aよりも小さな複数の貫通孔を有する。第二補強層62は、第二電極シート15と同様に、導電性繊維により形成される布、すなわち導電性の織物又は不織布である。第二補強層62は、パンチングメタルを適用することもできる。
 そして、第二補強層62は、第二電極シート15の第二貫通孔15aを介して第二固着層133に固着される。つまり、第二固着層133は、第二リード線31と第二補強層62との間に第二電極シート15を介在させた状態で、これらを固着する。従って、第二リード線31と第二電極シート15との接合が強固となる。
 次に、トランスデューサ1000を構成する静電シートの製造方法について、図36を参照して説明する。第一電極シート12、第一リード線21、及び、第一補強層61を所定位置に配置し(S71)、半田付けを行う(S72)。このようにして、第一固着層123が形成される。つまり、第一固着層123が、第一補強層61を利用することにより、第一リード線21と第一電極シート12とを強固に固着する。
 続いて、第二電極シート15、第二リード線31、及び、第二補強層62を所定位置に配置し(S73)、半田付けを行う(S74)。このようにして、第二固着層133が形成される。つまり、第二固着層133が、第二補強層62を利用することにより、第二リード線31と第二電極シート15とを強固に固着する。
 続いて、誘電体層11、第一電極シート12、第一リード線21、第一補強層61、第一固着層123、第一接続保護層24、第二電極シート15、第二リード線31、第二補強層62、第二固着層133、第二接続保護層34を所定位置に配置する(S75)。そして、シート全体に対して、厚み方向に加圧し、加熱する(S76)。これにより、熱可塑性エラストマーにより形成されている誘電体層11の一部分、第一接続保護層24の一部分及び第二接続保護層34の一部分が溶融し、当該部分の融着によって、各部材が接合される。
 なお、第一補強層61及び第二補強層62は、第一クランプ23及び第二クランプ33を有する上記の例に適用することができる。この場合、第一補強層61が、第一クランプ23の第一脚部23aに直接接触し、且つ、第一電極シート12に直接接触することにより、第一クランプ23を介して、第一電極シート12と第一導通部21bとの電気的接続を確実にすることができる。また、第二補強層62についても同様である。
 なお、第一接続保護層24及び第二接続保護層34は、粘着層又は接着層を有する樹脂製の絶縁シートを適用することが可能である。この場合、第一接続融着層25及び第二接続融着層35を備えない構成となる。また、第一接続保護層24及び第二接続保護層34は、加熱することなく張り付けることが可能となる。
 (22.第十二例のトランスデューサ1100)
 第十二例のトランスデューサ1100を構成する静電シートについて、図37を参照して説明する。図37に示すように、トランスデューサ1100は、第七例のトランスデューサ600に対して、以下の点が異なる。第一リード線21の第一導通部21bが、第一電極シート12に絡められており、第二リード線31の第二導通部31bが、第二電極シート15に絡められている。その他は、両者は、実質的に同様である。これにより、第一リード線21の第一導通部21bが第一電極シート12に強固に接合された状態となる。また、第二リード線31の第二導通部31bが第二電極シート15に強固に接合された状態となる。
 トランスデューサ1100を構成する静電シートの製造方法について、図38を参照して説明する。第一電極シート12に第一リード線21を絡めて配置する(S81)。続いて、第二電極シート15に第二リード線31を絡めて配置(S82)。続いて、誘電体層11、第一電極シート12、第一リード線21、第一接続保護層24、第二電極シート15、第二リード線31、第二接続保護層34を所定位置に配置する(S83)。
 続いて、シート全体に対して、厚み方向に加圧し、加熱する(S84)。これにより、熱可塑性エラストマーにより形成されている誘電体層11の一部分、第一接続保護層24の一部分及び第二接続保護層34の一部分が溶融し、当該部分の融着によって、各部材が接合される。
 (23.第十三例のトランスデューサ1200)
 第十三例のトランスデューサ1200を構成する静電シートについて、図39を参照して説明する。図398に示すように、トランスデューサ1200は、第六例のトランスデューサ500に対して、以下の点が異なる。第一リード線21の第一導通部21bが、第一電極シート12に絡められており、この状態で、第一固着層123が、第一リード線21の第一導通部21bと第一電極シート12とを固着する。さらに、第二リード線31の第二導通部31bが、第二電極シート15に絡められており、この状態で、第二固着層133が、第二リード線31の第二導通部31bと第二電極シート15とを固着する。その他は、両者は、実質的に同様である。これにより、第一リード線21の第一導通部21bが第一電極シート12に強固に接合された状態となる。また、第二リード線31の第二導通部31bが第二電極シート15に強固に接合された状態となる。
 トランスデューサ1200を構成する静電シートの製造方法について、図40を参照して説明する。第一電極シート12に、第一リード線21の第一導通部21bを絡めて配置し(S91)、半田付けを行う(S92)。このようにして、第一リード線21の第一導通部21bが第一電極シート12に絡められた状態において、第一固着層123が形成される。続いて、第二電極シート15に、第二リード線31の第二導通部31bを絡めて配置し(S93)、半田付けを行う(S94)。このようにして、第二リード線31の第二導通部31bが第二電極シート15に絡められた状態において、第二固着層133が形成される。
 続いて、誘電体層11、第一電極シート12、第一リード線21、第一固着層123、第一接続保護層24、第二電極シート15、第二リード線31、第二固着層133、第二接続保護層34を所定位置に配置する(S95)。そして、シート全体に対して、厚み方向に加圧し、加熱する(S96)。これにより、熱可塑性エラストマーにより形成されている誘電体層11の一部分、第一接続保護層24の一部分及び第二接続保護層34の一部分が溶融し、当該部分の融着によって、各部材が接合される。
 (その他)
 なお、上記例の各構成は、適宜相互に置換することが可能である。その場合、置換された構成においては、該当の構成に関する効果を奏することになる。
1,100,200,300,400,600,700,800,900,1000,1100,1200:トランスデューサ、10:シート本体部、10a:トランスデューサ部、10b:端子部、10b1:第一端子部、10b2:第二端子部、10b3:変形許容部、11:誘電体層、12:第一電極シート、12a:第一貫通孔、12b:第一内面、12c:第一外面、13:第一主融着層、14:第一主保護層、15:第二電極シート、15a:第二貫通孔、15b:第二内面、15c:第二外面、16:第二主融着層、17:第二主保護層、20,120:第一接続部、21:第一リード線、21a:第一リード線本体、21b:第一導通部、22:第一融着規制層、23:第一クランプ、23a:第一脚部、23b:第一連結部、23c:第一返し部、24:第一接続保護層、25:第一接続融着層、26:第一裏面保護層、27:第一裏面融着層、30,130:第二接続部、31:第二リード線、31a:第二リード線本体、31b:第二導通部、32:第二融着規制層、33:第二クランプ、33a:第二脚部、33b:第二連結部、33c:第二返し部、34:第二接続保護層、35:第二接続融着層、36:第二裏面保護層、37:第二裏面融着層、51:第一融着層、52:第二融着層、61:第一補強層、62:第二補強層、123:第一固着層、133:第二固着層

Claims (57)

  1.  静電型のトランスデューサを構成するシート本体部と、
     前記シート本体部の第一面側に配置される第一リード線と、
     前記第一リード線を前記シート本体部に固定する第一クランプと、
     を備えるトランスデューサであって、
     前記シート本体部は、
     誘電体層と、
     複数の第一貫通孔を備え、前記誘電体層の第一面側に配置され、少なくとも一部が前記誘電体層の前記第一面から露出した状態で配置される第一電極シートと、
     融着材料により形成されており、前記誘電体層のうち前記誘電体層の前記第一面側の少なくとも一部分として配置され又は前記誘電体層の前記第一面に別部材として接合され、前記誘電体層と前記第一電極シートとを前記融着材料の融着により接合する第一主融着層と、
     を備え、
     前記第一リード線は、前記第一電極シートの露出面に接触した状態で配置された第一導通部を備え、
     前記第一クランプは、
     前記シート本体部を厚み方向に貫通し、前記シート本体部の第一面側を基端とし、前記シート本体部の第二面側を先端とする複数の第一脚部と、
     前記複数の第一脚部の前記基端同士を連結し、前記第一リード線の前記第一導通部を跨いで配置される第一連結部であって、前記第一連結部と前記第一電極シートの前記露出面との間に前記第一リード線の前記第一導通部を介在させる前記第一連結部と、
     前記複数の第一脚部のそれぞれの前記先端から折り曲げ形成され、前記シート本体部の前記第二面に係止される複数の第一返し部と、
     を備える、トランスデューサ。
  2.  前記第一リード線の前記第一導通部は、前記第一連結部によって前記第一電極シートの前記露出面に押し付けられた状態で接触する、請求項1に記載のトランスデューサ。
  3.  前記誘電体層は、弾性体により形成されており、
     前記第一クランプは、前記誘電体層を圧縮した状態とし、
     前記第一リード線の前記第一導通部は、前記誘電体層の反力によって、前記第一電極シートの前記露出面に押し付けられた状態で接触する、請求項2に記載のトランスデューサ。
  4.  前記第一クランプは、導電性材料により形成され、
     前記第一クランプの前記第一連結部は、前記第一リード線の前記第一導通部に接触することによって前記第一導通部に電気的に接続し、
     前記第一クランプの前記複数の第一脚部は、前記第一電極シートに接触することにより前記第一電極シートに電気的に接続し、
     前記第一リード線の前記第一導通部と前記第一電極シートとは、直接接触することによって電気的に接続されると共に、前記第一クランプを介して電気的に接続される、請求項1-3の何れか一項に記載のトランスデューサ。
  5.  前記第一導通部は、撚り線により形成されており、前記撚り線が面状に広がった状態で前記第一連結部と前記第一電極シートの前記露出面との間に介在されている、請求項1-4の何れか一項に記載のトランスデューサ。
  6.  前記シート本体部は、さらに、
     複数の第二貫通孔を備え、前記誘電体層の第二面側に配置される第二電極シートを備え、
     前記第二電極シートは、前記第一クランプが存在する領域に配置されていない、請求項1-5の何れか一項に記載のトランスデューサ。
  7.  前記トランスデューサは、さらに、
     前記シート本体部の第二面側に配置される第二リード線と、
     前記第二リード線を前記シート本体部に固定する第二クランプと、
     を備え、
     前記第二電極シートは、少なくとも一部が前記誘電体層の前記第二面から露出した状態で配置され、
     前記シート本体部は、さらに、
     融着材料により形成されており、前記誘電体層のうち前記誘電体層の前記第二面側の少なくとも一部分として配置され又は前記誘電体層の前記第二面に別部材として接合され、前記誘電体層と前記第二電極シートとを前記融着材料の融着により接合する第二主融着層を備え、
     前記第二リード線は、前記第二電極シートの露出面に接触した状態で配置された第二導通部を備え、
     前記第二クランプは、
     前記シート本体部を厚み方向に貫通し、前記シート本体部の第二面側を基端とし、前記シート本体部の第一面側を先端とする複数の第二脚部と、
     前記複数の第二脚部の前記基端同士を連結し、前記第二リード線の前記第二導通部を跨いで配置される第二連結部であって、前記第二連結部と前記第二電極シートの前記露出面との間に前記第二リード線の前記第二導通部を介在させる第二連結部と、
     前記複数の第二脚部のそれぞれの前記先端から折り曲げ形成され、前記シート本体部の前記第一面に係止される複数の第二返し部と、
     を備える、請求項6に記載のトランスデューサ。
  8.  前記トランスデューサは、さらに、
     前記第一電極シートの前記露出面、前記第一リード線の前記第一導通部、及び、前記第一クランプの前記第一連結部を被覆する第一接続保護層を備える、請求項1-7の何れか一項に記載のトランスデューサ。
  9.  前記トランスデューサは、さらに、
     融着材料により形成されており、前記誘電体層のうち前記誘電体層の前記第一面側の少なくとも一部分として配置され又は前記第一接続保護層の一部分として配置され又は前記誘電体層と前記第一接続保護層とに別部材として接合され、前記誘電体層と前記第一接続保護層とを前記融着材料の融着により接合する又は前記第一電極シートと前記第一接続保護層とを前記融着材料の融着により接合する第一接続融着層を備える、請求項8に記載のトランスデューサ。
  10.  前記トランスデューサは、さらに、
     前記第二電極シートの前記露出面、前記第二リード線の前記第二導通部、及び、前記第二クランプの前記第二連結部を被覆する第二接続保護層を備える、請求項7に記載のトランスデューサ。
  11.  前記トランスデューサは、さらに、
     融着材料により形成されており、前記誘電体層のうち前記誘電体層の前記第二面側の少なくとも一部分として配置され又は前記第二接続保護層の一部分として配置され又は前記誘電体層と前記第二接続保護層とに別部材として接合され、前記誘電体層と前記第二接続保護層とを前記融着材料の融着により接合する又は前記第二電極シートと前記第二接続保護層とを前記融着材料の融着により接合する第二接続融着層を備える、請求項10に記載のトランスデューサ。
  12.  前記第一リード線の前記第一導通部は、前記第一電極シートに絡められている、請求項1-11の何れか一項に記載のトランスデューサ。
  13.  前記トランスデューサは、さらに、
     前記第一電極シートと前記第一主融着層との間に部分的に配置され、前記第一主融着層が前記第一電極シートに融着することを規制し、前記第一電極シートの少なくとも一部を前記第一主融着層の外部に配置させる第一融着規制層と、
     を備え、
     前記第一リード線は、前記第一電極シートのうち前記第一融着規制層により前記第一主融着層の外部に配置している部分に電気的に接続される、請求項1-11の何れか一項に記載のトランスデューサ。
  14.  前記第一融着規制層は、前記融着材料の通過を規制可能な材料により形成されている、請求項13に記載のトランスデューサ。
  15.  前記第一融着規制層の外縁部は、前記第一主融着層に埋設される、請求項13又は14に記載のトランスデューサ。
  16.  前記第一主融着層は、前記第一融着規制層の存在しない領域において、前記第一電極シートの一部を埋設し、前記第一電極シートの前記一部を前記第一主融着層の外部に露出させないように配置される、請求項13-15の何れか一項に記載のトランスデューサ。
  17.  前記第一融着規制層は、前記第一電極シートに非接合状態で配置されている、請求項13-16の何れか一項に記載のトランスデューサ。
  18.  前記第一融着規制層は、前記融着材料の軟化点より高い軟化点を有する材料により形成されている、請求項13-17の何れか一項に記載のトランスデューサ。
  19.  前記第一融着規制層は、樹脂シートである、請求項18に記載のトランスデューサ。
  20.  前記第一導通部と前記第二導通部は、前記誘電体層の面方向にオフセットして配置され、
     前記シート本体部は、さらに、前記第一導通部と前記第二導通部のオフセット方向の境界部に形成される変形許容部を有し、
     前記変形許容部は、変形前における前記第一電極シートと前記第二電極シートとの対向距離に比べて、前記第一導通部に接触する前記第一電極シートと前記第二導通部に接触する前記第二電極シートとの前記誘電体層の厚み方向の距離を短くするように配置させる、請求項7に記載のトランスデューサ。
  21.  前記変形許容部は、前記誘電体層の前記第一面から前記第二面に亘って切断されたスリットであり、前記スリットを形成する突き合わせ面が前記誘電体層の厚み方向にずらした状態とされる、請求項20に記載のトランスデューサ。
  22.  前記スリットの周囲において、前記第一電極シート及び前記第二電極シートが配置されていない、又は、前記第一電極シート及び前記第二電極シートの一方のみが配置されている、請求項21に記載のトランスデューサ。
  23.  前記誘電体層は、エラストマーにより形成され、
     前記変形許容部は、前記誘電体層の曲げ変形により段差状に変形されて形成される、請求項20に記載のトランスデューサ。
  24.  前記第一電極シート及び前記第一導通部を含んで構成される第一導電範囲と、前記第二電極シート及び前記第二導通部を含んで構成される第二導電範囲とは、前記誘電体層の厚み方向においてオーバーラップしている、請求項20-23の何れか一項に記載のトランスデューサ。
  25.  前記誘電体層は、熱可塑性材料により形成され、
     前記第一接続融着層は、前記誘電体層の一部分を前記融着材料として適用する、請求項9に記載のトランスデューサ。
  26.  前記第一接続保護層は、熱可塑性材料により形成され、
     前記第一接続融着層は、前記誘電体層の一部分及び前記第一接続保護層の一部分を前記融着材料として適用する、請求項25に記載のトランスデューサ。
  27.  前記第一接続保護層は、熱可塑性材料により形成され、
     前記第一接続融着層は、前記第一接続保護層の一部分を前記融着材料として適用する、請求項9に記載のトランスデューサ。
  28.  前記誘電体層は、非熱可塑性材料により形成され、積層方向に孔を有する、請求項27に記載のトランスデューサ。
  29.  前記誘電体層及び前記第一接続保護層は、非熱可塑性材料により形成され、
     前記第一接続融着層は、前記誘電体層及び前記第一接続保護層とは別材料であり、且つ、熱可塑性材料である前記融着材料により形成される、請求項9に記載のトランスデューサ。
  30.  前記第一電極シートは、織物又は不織布である、請求項1-29の何れか一項に記載のトランスデューサ。
  31.  前記トランスデューサは、さらに、
     前記誘電体層と前記第一電極シートとの間に配置され、前記第一電極シートの前記第一貫通孔を介して前記第一クランプに固定される第一補強層を備える、請求項1-30の何れか一項に記載のトランスデューサ。
  32.  前記第一補強層は、前記第一電極シートの前記第一貫通孔よりも小さな貫通孔を有する、請求項31に記載のトランスデューサ。
  33.  誘電体層と、
     複数の第一貫通孔を備え、前記誘電体層の第一面側に配置される第一電極シートと、
     融着材料により形成されており、前記誘電体層のうち前記第一面側の少なくとも一部分として配置され又は前記誘電体層の前記第一面に別部材として接合され、前記誘電体層と前記第一電極シートとを前記融着材料の融着により接合する第一主融着層と、
     前記第一電極シートと前記第一主融着層との間に部分的に配置され、前記第一主融着層が前記第一電極シートに融着することを規制し、前記第一電極シートの少なくとも一部を前記第一主融着層の外部に配置させる第一融着規制層と、
     を備える、トランスデューサ。
  34.  前記トランスデューサは、さらに、
     前記第一電極シートのうち前記第一融着規制層により前記第一主融着層の外部に配置している部分に電気的に接続される第一リード線を備える、請求項33に記載のトランスデューサ。
  35.  前記トランスデューサは、さらに、
     前記第一融着規制層に面する領域において、前記第一電極シートと前記第一リード線とを電気的に接続した状態で固着し、導電性接合材からなる第一固着層を備える、請求項34に記載のトランスデューサ。
  36.  誘電体層と、
     前記誘電体層の第一面側に配置される第一電極シートと、
     前記誘電体層の第二面側に配置される第二電極シートと、
     前記誘電体層の前記第一面側に配置される第一導通部であり、前記第一電極シートに電気的に接続される前記第一導通部を備える第一リード線と、
     前記誘電体層の前記第二面側に配置される第二導通部であり、前記第二電極シートに電気的に接続される前記第二導通部を備える第二リード線と、
     を備え、
     前記第一導通部と前記第二導通部は、前記誘電体層の面方向にオフセットして配置され、
     さらに、前記第一導通部と前記第二導通部のオフセット方向の境界部に形成される変形許容部を有し、
     前記変形許容部は、変形前における前記第一電極シートと前記第二電極シートとの対向距離に比べて、前記第一導通部に接触する前記第一電極シートと前記第二導通部に接触する前記第二電極シートとの前記誘電体層の厚み方向の距離を短くするように配置させる、トランスデューサ。
  37.  前記変形許容部は、前記誘電体層の前記第一面から前記第二面に亘って切断されたスリットであり、前記スリットを形成する突き合わせ面が前記誘電体層の厚み方向にずらした状態とされる、請求項36に記載のトランスデューサ。
  38.  前記スリットの周囲において、前記第一電極シート及び前記第二電極シートが配置されていない、又は、前記第一電極シート及び前記第二電極シートの一方のみが配置されている、請求項37に記載のトランスデューサ。
  39.  前記誘電体層は、エラストマーにより形成され、
     前記変形許容部は、前記誘電体層の曲げ変形により段差状に変形されて形成される、請求項36に記載のトランスデューサ。
  40.  前記第一電極シート及び前記第一導通部を含んで構成される第一導電範囲と、前記第二電極シート及び前記第二導通部を含んで構成される第二導電範囲とは、前記誘電体層の厚み方向においてオーバーラップしている、請求項36-39の何れか一項に記載のトランスデューサ。
  41.  誘電体層と、
     複数の第一貫通孔を備え、前記誘電体層の第一面側に配置される第一電極シートと、
     前記第一電極シートにおける前記誘電体層と反対側の面に配置される第一リード線と、
     前記第一電極シートにおける前記誘電体層と反対側の面に配置され、前記第一リード線の第一導通部を保護する第一接続保護層と、
     融着材料により形成されており、前記第一電極シートの前記第一貫通孔を介することにより形成される部位であって前記誘電体層と前記第一接続保護層との境界部位、又は、前記第一電極シートの前記第一貫通孔の内周面を含む前記第一電極シートと前記第一接続保護層との境界部位を、前記融着材料の融着により接合する第一接続融着層と、
     を備える、トランスデューサ。
  42.  前記誘電体層は、熱可塑性材料により形成され、
     前記第一接続融着層は、前記誘電体層の一部分を前記融着材料として適用し、前記境界部位を前記誘電体層の一部分の融着により接合する、請求項41に記載のトランスデューサ。
  43.  前記第一接続保護層は、熱可塑性材料により形成され、
     前記第一接続融着層は、前記誘電体層の一部分及び前記第一接続保護層の一部分を前記融着材料として適用し、前記境界部位を前記誘電体層の一部分及び前記誘電体層の一部分の融着により接合する、請求項42に記載のトランスデューサ。
  44.  前記第一接続保護層は、熱可塑性材料により形成され、
     前記第一接続融着層は、前記第一接続保護層の一部分を前記融着材料として適用し、前記境界部位を前記第一接続保護層の一部分の融着により接合する、請求項41に記載のトランスデューサ。
  45.  前記誘電体層は、非熱可塑性材料により形成され、積層方向に孔を有する、請求項44に記載のトランスデューサ。
  46.  前記誘電体層及び前記第一接続保護層は、非熱可塑性材料により形成され、
     前記第一接続融着層は、前記誘電体層及び前記第一接続保護層とは別材料であり、且つ、熱可塑性材料である前記融着材料により形成される、請求項41に記載のトランスデューサ。
  47.  前記トランスデューサは、さらに、前記第一リード線の第一導通部を前記第一電極シートに電気的に接続した状態で固着させる第一固着層を備え、
     前記第一接続保護層は、前記第一リード線の第一導通部及び前記第一固着層を保護する、請求項41-46の何れか一項に記載のトランスデューサ。
  48.  前記トランスデューサは、さらに、前記誘電体層と前記第一電極シートとの間に配置され、前記第一電極シートの前記第一貫通孔を介して前記第一固着層に固着される第一補強層を備える、請求項47に記載のトランスデューサ。
  49.  前記第一補強層は、前記第一電極シートの前記第一貫通孔よりも小さな貫通孔を有する、請求項48に記載のトランスデューサ。
  50.  前記トランスデューサは、さらに、
     融着材料により形成されており、前記誘電体層と前記第一電極シートの内面との境界部位、及び、前記誘電体層と前記複数の第一貫通孔の少なくとも一部の内周面との境界部位を、融着材料の融着により接合する第一主融着層を備える、請求項41-49の何れか一項に記載のトランスデューサ。
  51.  前記トランスデューサは、さらに、
     複数の第二貫通孔を備え、前記誘電体層の第二面側に配置される第二電極シートと、
     前記第二電極シートにおける前記誘電体層と反対側の面に配置される第二リード線と、
     前記第二電極シートにおける前記誘電体層と反対側の面に配置され、前記第二リード線の第二導通部を保護する第二接続保護層と、
     融着材料により形成されており、前記第二電極シートの前記第二貫通孔を介することにより形成される部位であって前記誘電体層と前記第二接続保護層との境界部位、又は、前記第二電極シートの前記第二貫通孔の内周面を含む前記第二電極シートと前記第二接続保護層との境界部位を、前記融着材料の融着により接合する第二接続融着層と、
     を備える、請求項41-50の何れか一項に記載のトランスデューサ。
  52.  請求項1-5、8、9の何れか一項に記載のトランスデューサの製造方法であって、
     前記誘電体層、前記第一主融着層の素材、前記第一電極シートの順となるように積層することにより積層体を形成し、
     前記積層体に対して前記第一電極シートの第一外面側から加熱することにより前記第一主融着層の前記素材を溶融して、前記第一主融着層により前記誘電体層と前記第一電極シートとを接合すると共に、前記第一電極シートの少なくとも一部を露出させた状態とする、トランスデューサの製造方法。
  53.  前記露出している前記第一電極シートと前記第一リード線とを前記第一クランプにより電気的に接続した状態で固着する、請求項52に記載のトランスデューサの製造方法。
  54.  請求項13-19、34-35の何れか一項に記載のトランスデューサの製造方法であって、
     前記誘電体層、前記第一主融着層の素材、前記第一融着規制層、前記第一電極シートの順となるように積層することにより積層体を形成し、
     前記積層体に対して前記第一電極シートの第一外面側から加熱することにより前記第一主融着層の前記素材を溶融して、前記第一融着規制層に面する領域を除く領域において前記第一主融着層により前記誘電体層と前記第一電極シートとを接合すると共に、前記第一融着規制層に面する領域において前記第一電極シートを露出させた状態とする、トランスデューサの製造方法。
  55.  請求項13-19の何れか一項に記載のトランスデューサの製造方法であって、
     前記誘電体層、前記第一主融着層の素材、前記第一融着規制層、前記第一電極シートの順となるように積層することにより積層体を形成し、
     前記積層体に対して前記第一電極シートの第一外面側から加熱することにより前記第一主融着層の前記素材を溶融して、前記第一融着規制層に面する領域を除く領域において前記第一主融着層により前記誘電体層と前記第一電極シートとを接合すると共に、前記第一融着規制層に面する領域において前記第一電極シートを露出させた状態とし、
     前記第一融着規制層に面する領域において露出している前記第一電極シートと前記第一リード線とを前記第一クランプにより電気的に接続した状態で固着する、トランスデューサの製造方法。
  56.  請求項35に記載のトランスデューサの製造方法であって、
     前記誘電体層、前記第一主融着層の素材、前記第一融着規制層、前記第一電極シートの順となるように積層することにより積層体を形成し、
     前記積層体に対して前記第一電極シートの第一外面側から加熱することにより前記第一主融着層の前記素材を溶融して、前記第一融着規制層に面する領域を除く領域において前記第一主融着層により前記誘電体層と前記第一電極シートとを接合すると共に、前記第一融着規制層に面する領域において前記第一電極シートを露出させた状態とし、
     前記第一融着規制層に面する領域において露出している前記第一電極シートと前記第一リード線とを前記第一固着層により電気的に接続した状態で固着する、トランスデューサの製造方法。
  57.  前記トランスデューサは、さらに、
     前記第一融着規制層に面する領域において前記第一電極シート及び前記第一リード線を被覆する第一接続保護層を備え、
     前記第一融着規制層に面する領域において前記第一電極シートに前記第一リード線を電気的に接続した状態において、前記第一接続保護層により前記第一電極シート及び前記第一リード線を被覆する、請求項54-56の何れか一項に記載のトランスデューサの製造方法。
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