WO2019017542A1 - 탈취금형 및 이것의 제조 방법 - Google Patents
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Definitions
- the present invention relates to a deodorant mold and a method of manufacturing the same, and more particularly, to a deodorant mold capable of manufacturing a deodorant mold in a short period of time through a relatively simple and easy operation, will be.
- embossed molds are provided for more sophisticated and stable cutting of these products in the trend of miniaturization and compactness of the entire device by improving the degree of integration of electronic parts.
- the prior art is a method of forming a double-edged blade by piling up and integrating a blade processing member on the surface of a mold plate, and then processing the blade processing member.
- the deodorizing mold is shown in Fig. 1 (a) as a relief mold in which a blade 200 is formed on a first surface 101 of a base plate 100 having a first surface 101 and a second surface 102, And the CNC work is performed to form the machining groove 110 as shown in FIG. 1 (b).
- the worker drills a work hole 120 passing through the bottom surface of the machining groove 110 to the second surface 102 side using a super drill, and then a wire cutting device
- the chip discharge slot 300 is formed as a whole by removing the periphery of the work hole 120 as shown in FIG. 3 (d).
- the base plate 100 of the embossing mold is usually made of a thin metal plate of 2 mm or less, it is not suitable for the wire cutting work, and the reworking The case is frequent.
- the deodorizing mold manufacturing method includes super drilling and wire cutting operations, it takes much time for working and machining, as well as a considerable increase in the cost of installing the super drill device and the wire cutting device .
- the present invention has been made in order to solve the above problems, and it is an object of the present invention to provide a deodorant mold capable of manufacturing a deodorant mold in a short time through a relatively simple and easy operation, .
- the present invention provides a method of manufacturing a semiconductor device, comprising: a first step of forming a blade on one surface of a base plate to process a relief mold; A second step of forming a machining groove in an inner region formed by the blade; A third step of exposing and developing the photoresist layer formed on the other surface of the base plate to remove the PR layer corresponding to the position where the processing groove is formed; And forming a chip discharge slot by removing the other surface of the base plate from which the PR layer is removed to a predetermined thickness.
- the present invention provides a method of manufacturing a semiconductor device, comprising the steps of: exposing and developing a PR layer formed on the other surface of a base plate on which a blade and a processing groove are formed on one surface to remove the PR layer corresponding to the processing groove formation position; And removing the other surface of the plate to a predetermined thickness to form a chip discharge slot.
- the machining groove is formed in an inner region formed by the blade, the machining groove being larger than an area of a region where one surface of the base plate abuts against a lower end of the blade.
- the machining groove is formed by CNC machining.
- the machining groove is formed to be recessed to a predetermined thickness from one surface of the base plate.
- a masking operation may be additionally performed to one surface of the base plate before the PR layer is formed on the other surface of the base plate.
- the PR layer is formed by spraying the PR liquid onto the other surface of the base plate with air spray, bonding the base plate, and then heating and drying the base plate.
- the PR layer is formed by dipping the other surface of the base plate into the PR liquid and then heating and drying the base plate.
- the exposure is performed by irradiating a laser beam toward the other surface of the base plate.
- the exposure is performed by applying a masking film to the other surface of the base plate and irradiating a laser beam.
- the chip discharge slot is formed by opening the machining groove from the other surface of the base plate.
- the chip discharge slot may be formed by any one of mechanical polishing, chemical polishing, and etching, and the etching may be performed using gas, plasma, ion beam, or chemical etching.
- the present invention can also provide a deodorant mold manufactured by the above-described manufacturing method.
- the PR layer corresponding to the machining groove forming position is exposed and developed on the PR layer formed on the other surface of the base plate having the blades and the machined grooves formed on one surface thereof, So that a large number of deodorant molds can be manufactured in a short period of time regardless of the area and size of the work place even in a relatively simple and easy operation, The efficiency will be greatly improved in terms of cost reduction.
- the machined grooves are formed so as to be larger than the area of a region where one surface of the base plate and the lower end of the blade are in contact with each other in an inner region formed by the blade, And a chip discharge slot as a chip discharge path for guiding the chip to be discharged smoothly.
- the machining groove is formed to be recessed at a predetermined thickness from one surface of the base plate, unnecessary waste of the liquid and materials used in the chemical treatment is reduced, and at the same time, It is possible to prevent occurrence of various problems such as deformation and breakage and occurrence of defects in the periphery of the chip discharge slot.
- a masking operation is additionally performed on one surface of the base plate before the PR layer is formed on the other surface of the base plate, thereby facilitating smooth follow-up and rearrangement of the post- It will help to form a chip discharge slot of the exact size by chemical treatment as well as cutting.
- the PR layer is formed by spraying the PR liquid onto the other surface of the base plate with air spray and adhering it to the other surface of the base plate and then heating and drying the base plate or by dipping the other surface of the base plate into the PR liquid, By heating and drying, thereby helping to obtain a neat and excellent result of the chip discharge slot by the chemical treatment.
- FIG. 1 is a block diagram sequentially showing a method of manufacturing a deodorization mold according to an embodiment of the present invention.
- FIG. 2 is a conceptual view illustrating a method of manufacturing a deodorizing mold according to an embodiment of the present invention.
- FIG. 3 is a conceptual diagram showing a conventional method for manufacturing a general deodorant mold.
- FIG. 1 is a block diagram sequentially showing a method of manufacturing a deodorization mold according to an embodiment of the present invention.
- FIG. 2 is a conceptual diagram sequentially illustrating a method of manufacturing a deodorization mold according to an embodiment of the present invention.
- reference numeral 60 denotes a portion removed by chemical treatment.
- the PR layer 50 corresponding to the formation position of the processing groove 13 is removed and the second surface 12 of the base plate 10 from which the PR layer 50 is removed is removed to a predetermined thickness, 30 to form the deodorant mold 2, as shown in Fig.
- step S1 after the relief mold 1 is processed (first step: S1), the process groove 13 is formed (second step: S2), the PR layer 50 is removed The third step S3, and the chip discharging slot 30 are formed (step S4: S4), the deodorant mold 2 is manufactured.
- a blade 20 is formed on the first surface 11 of the base plate 10 having the first surface 11 and the second surface 12 in the first step S1, So that the embossing die 1 is processed.
- the machining groove 13 is formed in the inner region formed by the blade 20 as shown in Fig. 2 (b).
- the PR layer 50 (photoresist layer) formed on the second surface 12 is exposed and developed in the third step S3 to form the processed groove 13 as shown in Fig. 2 (e) The PR layer 50 is removed.
- the second surface 12 from which the PR layer 50 has been removed is removed to a predetermined thickness to form a deodorant mold 2 having the discharge slot 30 as shown in Fig. 2 (g) Is completed.
- the PR layer 50 is formed by applying a photoresist liquid (hereinafter, referred to as a PR liquid) on the second surface 12.
- a photoresist liquid hereinafter, referred to as a PR liquid
- the chip discharging slot 30 is subjected to a chemical treatment as shown in Fig. 2 (f) to the portion where the PR layer 50 is removed to form the machining groove 13, Is formed through the second surface (12) from the first surface (11) over the region corresponding to the groove (13).
- the machining groove 13 is formed by the CNC machining in the inner region formed by the blade 20 as shown in Fig. 2 (a) Is formed larger than the area of the area where the first surface (11) and the lower end of the blade (20) abut.
- an area of a portion (on the first surface 11) formed by connecting the connection portion of the blade 20 and the first surface 11 among the above-described internal regions is formed to be smaller than the bottom surface area of the processing groove 13 , And chip discharge according to the formation of the chip discharge slot 30 to be described later can be smoothly performed.
- the machining groove 13 is recessed from the first surface 11 of the base plate 10 by a predetermined thickness d.
- the predetermined thickness d is set to be 50 to 70%, more preferably 65% of the thickness of the base plate 10.
- the working condition of the predetermined thickness d may be an optimal thickness for easily forming the chip discharge slot 30 according to the chemical treatment to be performed in the fourth step S4.
- the predetermined thickness d is less than 60% of the thickness of the base plate 10 in the above-described working conditions, the amount of the solution or material to be used in the chemical treatment to be performed in the fourth step S4 is increased more than necessary There is a concern.
- the predetermined thickness d is formed to be more than 70% of the thickness of the base plate 10, the machining groove 13 of the base plate 10 and the subsequent There is a possibility that problems such as defects or deformation may occur in the formation of the chip discharge slots 30 to be formed.
- a masking operation may be additionally performed on the first surface 11 as shown in Fig. 2 (c) before the PR liquid is applied on the second surface 12 Of course.
- Any material and member used for the masking operation may be applied as long as it has chemical resistance to various chemical treatments to be performed in the fourth step S4.
- This masking operation is performed by using a masking tape (not shown) having an adhesive layer detachable from the first surface 11 so as to cover the first surface 11, the blade 20 and the processing groove 13 It may be considered to be attached to the first surface 11.
- the masking operation described above is carried out in such a manner that the masking operation is performed so as to cover the first surface 11, the blade 20 and the processing groove 13 as shown in Fig. 2 (c) It may be considered that a part of the gel 40 is filled in the entire processing groove 13 and the rest of the gel 40 is attached to the first surface 11.
- the masking work described above is detachable with respect to the first surface 11 so as to cover the first surface 11, the blade 20 and the processing groove 13 as shown in Fig. 2 (c) It is of course possible to consider attaching a finishing block 40 having adherence to adhere, which permits the deformation of the shape corresponding to the shape of the end portion.
- the PR layer 50 is formed by spraying the PR liquid onto the second surface 12 with air spray and adhering the base plate 10 to which the PR liquid is adhered, Into an oven, and drying at 70 to 90 DEG C for 0.5 to 1 hour.
- the PR layer 50 is formed by putting the base plate 10 to which the PR liquid is adhered so that the second surface 12 is immersed in the PR liquid into the IR oven and heating at 70 to 90 DEG C for 0.5 to 1 hour Drying during the drying process.
- the exposure is performed by irradiating a laser beam having a wavelength of 330 nm to 370 nm toward the second surface 12, wherein the above-mentioned laser beam is irradiated by laser direct imaging using an ultraviolet solid laser By applying the imaging method, exposure is performed.
- the above-described exposure may be performed by attaching a masking film (not shown) to the second surface 12 and irradiating the second surface 12 with a laser beam.
- the portion 60 to be removed by the chemical treatment as shown in Fig. 2 (f) is formed by opening the machining groove 13 from the second surface 12, The production of the deodorizing mold 2 is completed.
- the formation of the chip discharge slots 30 may be performed by any one of mechanical polishing, chemical polishing, and etching, and the above-described etching may use any one of gas, plasma, ion beam, and chemical etching to be.
- the PR layer 50 formed on the second surface 12 of the base plate 10 on which the blade 20 and the processing groove 13 are formed on the first surface 11 is exposed and developed and processed
- the PR layer 50 corresponding to the groove 13 formation position is removed and the second surface 12 of the base plate 10 from which the PR layer 50 is removed is removed to a certain thickness, It is possible to manufacture a large number of deodorant molds 2 in a short time irrespective of the area and size of the work place even in a relatively simple and easy operation, .
- the inner diameter of the machining groove 130 is larger than the area of the area where the first face 11 of the base plate 10 and the lower end of the blade 20 are abutted against each other in the inner region formed by the blade 20, It is possible to provide a chip discharge slot 30 as a chip discharge path for guiding the chip generated during the operation to be smoothly discharged by using the manufactured deodorant mold 2.
- the machining groove 13 is formed to be recessed from the first surface 11 to a predetermined thickness, that is, a predetermined depth d, 70%, it is possible to reduce unnecessary waste of liquids and materials used in the chemical treatment, and to prevent deformation and breakage of the base plate 10 due to excessive CNC machining, and to cause defects in the periphery of the chip discharge slot 30 And the like.
- a masking operation is additionally performed on the first surface 11 before the PR layer 50 is formed, thereby facilitating smooth follow-up and rearrangement of the post-process according to the chemical process
- a masking operation is additionally performed on the first surface 11 before the PR layer 50 is formed, thereby facilitating smooth follow-up and rearrangement of the post-process according to the chemical process
- it will help to form the chip discharge slot 30 of the correct size by chemical treatment.
- the PR layer 50 is formed by spraying the PR liquid onto the second surface 12 with air spray and adhering it, and then heating and drying the base plate 10, 12 and then the base plate 10 is heated and dried. Therefore, it is possible to help the chip discharge slot 30 by chemical treatment to obtain a neat and excellent result.
- the present invention provides a deodorant mold and a method of manufacturing the deodorant mold in which a deodorant mold can be manufactured in a short time through a relatively simple and easy operation and cost reduction can be achieved. .
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Abstract
본 발명은 일면에 블레이드와 가공홈이 형성된 베이스 플레이트의 타면에 형성된 PR층에 노광 및 현상하여 상기 가공홈 형성 위치에 대응하는 상기 PR층을 제거하고, 상기 PR층이 제거된 상기 베이스 플레이트의 타면을 일정 두께로 제거하여 칩 배출 슬롯을 형성하는 것을 특징으로 하여, 비교적 간단하고 용이한 작업을 통하여 단시간에 탈취금형을 제작하여 비용 절감까지 도모할 수 있도록 한 탈취금형 및 이것의 제조 방법에 관한 것이다.
Description
본 발명은 탈취금형 및 이것의 제조 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 비교적 간단하고 용이한 작업을 통하여 단시간에 탈취금형을 제작하여 비용 절감까지 도모할 수 있도록 한 탈취금형 및 이것의 제조 방법에 관한 것이다.
종래에는 플렉서블 인쇄회로기판, 양면 테이프, 패킹재, 절연체, 정밀가공재, 액정 표시 장치 및 보호 필름 등을 목형 및 금형으로 절단해 왔다.
그러나, 전자 부품의 집적도가 향상되어 장치 전체의 소형화 및 컴팩트화가 이루어지는 추세에서 이러한 제품들을 더욱 정교하고 안정되게 절단하기 위하여 마련된 것이 양각 금형(embossed mold)이다.
상기와 같은 관점에서 안출된 것으로, 등록특허 제10-1410811호의 "양각금형 제조방법"(이하 선행기술)과 같은 것을 들 수 있다.
선행기술은 금형플레이트의 표면에 칼날가공용부재를 쌓아 올려 일체화시킨 후 상기 칼날가공용부재를 가공하여 양각칼날을 형성하는 방법이다.
그러나, 선행기술을 포함한 양각금형들은 대부분 반복 작업에 따라 블레이드 사이에 적층되는 칩 배출 문제가 대두되므로, 칩 배출을 원활하게 할 수 있도록 도 3과 같이 탈취금형(blanking dies)을 제작하여 사용하게 되는 것이다.
탈취금형은 도시된 바와 같이 제1 면(101)과 제2 면(102)을 가진 베이스 플레이트(100)의 제1 면(101) 상에 블레이드(200)가 형성된 양각금형을 도 1(a)와 같이 준비하고, CNC 작업을 통하여 도 1(b)와 같이 가공홈(110)을 형성하게 된다.
이후, 작업자는 도 3(c)와 같이 슈퍼드릴을 이용하여 가공홈(110)의 바닥면에 제2 면(102)측으로 관통되는 작업홀(120)을 뚫은 후, 와이어커팅 장치(wire cutting device)를 이용하여 도 3(d)와 같이 작업홀(120) 주변을 제거함으로써, 전체적으로 칩 배출 슬롯(300)을 형성하게 되는 것이다.
그러나, 이러한 탈취금형의 제조 방법에는 몇가지 문제가 있다.
여기서, 양각금형에서 베이스 플레이트(100)는 통상 2mm 이하의 금속 박판으로 이루어져 있으므로, 와이어커팅 작업에 적합하지 않으며 와이어커팅 작업시 불량 발생으로 인하여 탈취금형의 제조 공정을 최초부터 다시 시작해야 하는 재작업 사건이 빈발하고 있는 실정이다.
특히, 직경이 0.6mm이하인 미세홀을 와이어커팅 작업시 불량으로 인한 재작업이 추가적으로 실시되고, 와이어커팅 장치의 와이어 자동 결선 작업이 곤란한 관계로 수작업에 의존하는 문제점도 있었다.
또한, 이러한 탈취금형의 제조 방법은 슈퍼드릴 가공 및 와이어커팅 작업까지 실시하므로 작업 및 가공 시간이 과다하게 소요됨은 물론, 슈퍼드릴 장치와 와이어커팅 장치를 구비하는데 따는 비용의 대폭적인 증대가 초래되는 문제점이 있었다.
[선행기술문헌]
[특허문헌]
등록특허 제10-1410811호
본 발명은 상기와 같은 문제점을 개선하기 위하여 발명된 것으로, 비교적 간단하고 용이한 작업을 통하여 단시간에 탈취금형을 제작하여 비용 절감까지 도모할 수 있도록 하는 탈취금형 및 이것의 제조 방법을 제공하기 위한 것이다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 베이스 플레이트의 일면상에 블레이드를 형성하여 양각금형을 가공하는 제1 단계; 상기 블레이드에 의하여 형성되는 내부 영역에 가공홈을 형성하는 제2 단계; 상기 베이스 플레이트의 타면에 형성된 PR층(Photoresist layer)에 노광 및 현상하여 상기 가공홈이 형성된 위치에 대응하는 상기 PR층을 제거하는 제3 단계; 및 상기 PR층이 제거된 상기 베이스 플레이트의 타면을 일정 두께로 제거하여 칩 배출 슬롯을 형성하는 제4 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 탈취금형의 제조 방법을 제공할 수 있다.
또한, 본 발명은, 일면에 블레이드와 가공홈이 형성된 베이스 플레이트의 타면에 형성된 PR층에 노광 및 현상하여 상기 가공홈 형성 위치에 대응하는 상기 PR층을 제거하고, 상기 PR층이 제거된 상기 베이스 플레이트의 타면을 일정 두께로 제거하여 칩 배출 슬롯을 형성하는 것을 특징으로 하는 탈취 금형의 제조 방법을 제공할 수도 있다.
여기서, 상기 블레이드에 의하여 형성되는 내부 영역에 있어서 상기 베이스 플레이트의 일면과 상기 블레이드의 하단부가 맞닿아 형성되는 영역의 면적보다 크게 상기 가공홈을 형성하는 것을 특징으로 한다.
이때, 상기 가공홈은 CNC 가공에 의하여 형성되는 것을 특징으로 한다.
그리고, 상기 가공홈은 상기 베이스 플레이트의 일면으로부터 일정 두께로 함몰 형성되는 것을 특징으로 한다.
그리고, 상기 PR층을 상기 베이스 플레이트의 타면에 형성하기 전에 상기 베이스 플레이트의 일면에 마스킹(masking) 작업을 추가적으로 실시하는 것을 특징으로 한다.
그리고, 상기 PR층은, 에어 스프레이로 상기 PR액을 상기 베이스 플레이트의 타면에 분사하여 접착시킨 후 상기 베이스 플레이트를 가열 건조시킴으로써 형성되는 것을 특징으로 한다.
그리고, 상기 PR층은, 상기 PR액에 상기 베이스 플레이트의 타면을 침지시킨 후 상기 베이스 플레이트를 가열 건조시킴으로써 형성되는 것을 특징으로 한다.
그리고, 상기 노광은 상기 베이스 플레이트의 타면을 향하여 레이저 빔을 조사하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
그리고, 상기 노광은 상기 베이스 플레이트의 타면에 마스킹 필름을 적용하고 레이저 빔을 조사하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
그리고, 상기 칩 배출 슬롯은 상기 베이스 플레이트의 타면으로부터 상기 가공홈을 개방시킴으로써 형성되는 것을 특징으로 한다.
그리고, 상기 칩 배출 슬롯은, 기계적 연마, 화학 연마, 에칭 중 어느 하나에 의하여 형성되며, 상기 에칭은 가스, 플라즈마, 이온 빔 및 화학적 에칭 중 어느 하나를 이용 가능한 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명은 전술한 제조 방법에 의하여 제조된 탈취금형을 제공할 수도 있음은 물론이다.
상기와 같은 구성의 본 발명에 따르면, 다음과 같은 효과를 도모할 수 있다.
우선, 본 발명은 일면에 블레이드와 가공홈이 형성된 베이스 플레이트의 타면에 형성된 PR층에 노광 및 현상하여 상기 가공홈 형성 위치에 대응하는 상기 PR층을 제거하고, 상기 PR층이 제거된 상기 베이스 플레이트의 타면을 일정 두께로 제거하여 칩 배출 슬롯을 형성하는 것을 특징으로 하여, 비교적 간단하고 용이한 작업으로도 작업 개소와 면적 및 크기에 관계없이 단시간에 대량의 탈취금형을 제작할 수 있게 되므로, 시간과 비용의 절감 측면에서 효율성을 대폭 향상시킬 수 있게 될 것이다.
본 발명에서, 상기 블레이드에 의하여 형성되는 내부 영역에 있어서 상기 베이스 플레이트의 일면과 상기 블레이드의 하단부가 맞닿아 형성되는 영역의 면적보다 크게 상기 가공홈을 형성되도록 함으로써, 제작된 탈취금형을 이용하여 작업시 발생하는 칩이 원활하게 배출되도록 유도하는 칩 배출 경로로서의 칩 배출 슬롯을 제공할 수 있게 될 것이다.
본 발명에 따르면, 상기 가공홈은 상기 베이스 플레이트의 일면으로부터 일정 두께로 함몰 형성되도록 함으로써, 화학 처리시 사용되는 액체 및 재료들의 불필요한 낭비를 줄임과 동시에, CNC 가공이 과도하게 실시됨으로 인한 베이스 플레이트의 변형과 파손 및 칩 배출 슬롯 주변부의 불량 발생 등의 제반 문제 발생을 미연에 방지할 수 있게 될 것이다.
또한, 본 발명에서, 상기 PR층을 상기 베이스 플레이트의 타면에 형성하기 전에 상기 베이스 플레이트의 일면에 마스킹(masking) 작업을 추가적으로 실시함으로써, 화학 처리에 따른 사후 공정의 원활한 속행과 정리 작업의 편의를 도모함은 물론, 화학 처리에 의한 정확한 크기의 칩 배출 슬롯 형성에 도움을 줄 수 있을 것이다.
그리고, 상기 PR층은, 에어 스프레이로 상기 PR액을 상기 베이스 플레이트의 타면에 분사하여 접착시킨 후 상기 베이스 플레이트를 가열 건조시키거나, 상기 PR액에 상기 베이스 플레이트의 타면을 침지시킨 후 상기 베이스 플레이트를 가열 건조시킴으로써 형성되도록 함으로써, 화학 처리에 의한 칩 배출 슬롯의 깔끔하고 우수한 결과물 획득에 도움을 줄 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 탈취금형의 제조 방법을 순차적으로 나타낸 블록선도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 탈취금형의 제조 방법을 순차적으로 나타낸 개념도이다.
도 3은 종래의 일반적인 탈취금형의 제조 방법을 순차적으로 나타낸 개념도이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되는 실시예를 참조하면 명확해질 것이다.
그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예로 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이다.
본 명세서에서 본 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다.
그리고 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
따라서, 몇몇 실시예에서, 잘 알려진 구성 요소, 잘 알려진 동작 및 잘 알려진 기술들은 본 발명이 모호하게 해석되는 것을 피하기 위하여 구체적으로 설명되지 않는다.
또한, 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭하고, 본 명세서에서 사용된(언급된) 용어들은 실시예를 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다.
본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함하며, '포함(또는, 구비)한다'로 언급된 구성 요소 및 동작은 하나 이상의 다른 구성요소 및 동작의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.
다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다.
또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 정의되어 있지 않은 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.
이하, 첨부된 도면을 참고로 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명한다.
우선, 도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 탈취금형의 제조 방법을 순차적으로 나타낸 블록선도이며, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 탈취금형의 제조 방법을 순차적으로 나타낸 개념도이다.
참고로, 도면에서 미설명부호로 60은 화학 처리에 의하여 제거되는 부분을 나타낸다.
본 발명은 도시된 바와 같이 제1 면(11)에 블레이드(20)와 가공홈(13)이 형성된 베이스 플레이트(10)의 제2 면(12)에 형성된 PR층(50)에 대하여 노광 및 현상하여 가공홈(13) 형성 위치에 대응하는 PR층(50)을 제거하고, PR층(50)이 제거된 베이스 플레이트(10)의 제2 면(12)을 일정 두께로 제거하여 칩 배출 슬롯(30)을 형성함으로써, 탈취금형(2)을 제작할 수 있을 것이다.
즉, 본 발명은 도시된 바와 같이 양각금형(1)을 가공하고(제1 단계: S1), 가공홈(13)을 형성하며(제2 단계: S2), PR층(50)을 제거한 후(제3 단계: S3), 칩 배출 슬롯(30)을 형성(제4 단계: S4)함으로써, 탈취금형(2)이 제작됨을 알 수 있다.
우선, 제1 단계(S1)에서 제1 면(11)과 제2 면(12)을 가진 베이스 플레이트(10)의 제1 면(11) 상에 블레이드(20)를 형성하여 도 2(a)와 같이 양각금형(1)을 가공하게 된다.
다음으로, 제2 단계(S2)에서, 블레이드(20)에 의하여 형성되는 내부 영역에 도 2(b)와 같이 가공홈(13)을 형성하게 된다.
이후, 제3 단계(S3)에서, 도 2(d)와 같이 제2 면(12)에 형성된 PR층(50, Photoresist layer)에 노광 및 현상하여 도 2(e)와 같이 가공홈(13)에 형성된 위치에 대응하는 PR층(50)을 제거하게 된다.
계속하여, 제4 단계(S4)에서, PR층(50)이 제거된 제2 면(12)을 일정 두께로 제거함으로써 도 2(g)와 같이 배출 슬롯(30)이 형성된 탈취금형(2)의 제작이 완료된다.
본 발명은 상기와 같은 실시예의 적용이 가능하며, 다음과 같은 다양한 실시예의 적용 또한 가능함은 물론이다.
우선, 제2 단계(S2)에서는 제1 면(11) 상에서 블레이드(20)가 형성하는 일정 형상의 내부 영역에 CNC 가공을 실시함으로써, 제1 면(11)으로부터 일정 깊이(d)로 함몰된 가공홈(13)을 형성하게 된다.
그리고, 제3 단계(S3)에서, PR층(50)은 제2 면(12) 상에 포토레지스트액(Photoresist liquid, 이하 PR액)을 도포하여 형성된다.
제4 단계(S4)에서, 칩 배출 슬롯(30)은 PR층(50)이 제거된 가공홈(13) 형성 부위에 도 2(f)와 같이 화학 처리함으로써, 도 2(g)와 같이 가공홈(13)과 대응하는 영역에 걸쳐 제1 면(11)으로부터 제2 면(12)을 관통하여 형성된다.
여기서, 제2 단계(S2)에서 가공홈(13)은, 전술한 내부 영역 중 도 2(a)와 같이 블레이드(20)에 의하여 형성되는 내부 영역에 있어서 CNC 가공으로써 베이스 플레이트(10)의 제1 면(11)과 블레이드(20)의 하단부가 맞닿은 영역의 면적보다 크게 형성되도록 한다.
이때, 전술한 내부 영역 중 블레이드(20)와 제1 면(11)의 연결부를 연결하여 형성된 부분(제1 면(11)상에서)의 면적은, 가공홈(13)의 바닥 면적보다 작게 형성되어야, 후술할 칩 배출 슬롯(30) 형성에 따른 칩 배출이 원활하게 이루어질 수 있을 것이다.
제2 단계(S2)에서 가공홈(13)은, 베이스 플레이트(10)의 제1 면(11)으로부터 일정 두께(d)로 함몰 형성되도록 한다.
전술한 일정 두께(d)는 베이스 플레이트(10)의 두께의 50 내지 70%, 더욱 바람직하게는 65% 내외가 되도록 한다.
전술한 일정 두께(d)의 작업 조건은 제4 단계(S4)에서 실시될 화학 처리에 따른 칩 배출 슬롯(30)을 용이하게 형성하기 위한 최적의 두께라 할 수 있다.
전술한 작업 조건에서 일정 두께(d)가 베이스 플레이트(10)의 두께의 60% 미만으로 형성될 경우, 제4 단계(S4)에서 실시될 화학 처리에 사용될 용액이나 재료의 사용량이 필요 이상으로 증대될 우려가 있다.
반대로, 전술한 일정 두께(d)가 베이스 플레이트(10)의 두께의 70%를 초과하여 깊게 형성될 경우, CNC 가공에 따른 기계적 충격으로 인하여 베이스 플레이트(10)의 가공홈(13) 및 뒤이어 형성될 칩 배출 슬롯(30)의 형성에 불량이나 변형 등의 문제가 발생할 우려가 있다.
한편, 제2 단계(S2)에서는, PR액을 제2 면(12) 상에 도포하기 전에 도 2(c)와 같이 제1 면(11)에 마스킹(masking) 작업을 추가적으로 실시할 수도 있음은 물론이다.
마스킹 작업에 이용되는 재료 및 부재는 제4 단계(S4)에서 실시될 각종 화학 처리에 대하여 내화학성을 지닌 것이라면 어떠한 것도 적용할 수 있을 것이다.
이러한 마스킹 작업은, 제1 면(11)과 블레이드(20) 및 가공홈(13)을 덮도록, 제1 면(11)에 대하여 탈착 가능한 점착층을 형성한 마스킹 테이프(이하 미도시)를 제1 면(11)에 부착하는 것을 고려할 수 있다.
또한, 전술한 마스킹 작업은, 도 2(c)와 같이 제1 면(11)과 블레이드(20) 및 가공홈(13)을 덮도록, 제1 면(11)에 대하여 탈착 가능한 점착성을 가진 마감젤(40)의 일부를 가공홈(13) 전체에 채워넣고 마감젤(40)의 나머지는 제1 면(11)에 부착하는 것을 고려할 수도 있다.
아울러, 전술한 마스킹 작업은, 도 2(c)와 같이 제1 면(11)과 블레이드(20) 및 가공홈(13)을 덮도록, 제1 면(11)에 대하여 탈착 가능하며 점착 대상면의 형상에 대응하여 형상 변형을 허용하며 밀착되는 점착성을 가진 마감 블록(40)을 부착하는 것을 고려할 수도 있음은 물론이다.
또한, 제3 단계(S3)에서, PR층(50)의 형성은, 에어 스프레이로 PR액을 제2 면(12)에 분사하여 접착시킨 후, PR액이 접착된 베이스 플레이트(10)를 IR 오븐에 투입하고, 70 내지 90℃에서 0.5 내지 1시간 동안 건조시키는 과정을 통하여 이루어질 수 있다.
아울러, PR층(50)의 형성은, PR액에 제2 면(12)이 침지되도록 하여 PR액이 접착된 베이스 플레이트(10)를 IR 오븐에 투입하고, 70 내지 90℃에서 0.5 내지 1시간 동안 건조시키는 과정을 통하여 이루어질 수도 있다.
또한, 제3 단계(S3)에서, 노광은, 제2 면(12)을 향하여 330 nm 내지 370nm 파장의 레이저 빔을 조사하되, 전술한 레이저 빔은 자외선 고체 레이저를 사용하는 레이저 다이렉트 이미징(Laser Direct Imaging) 방법을 적용함으로써, 노광이 이루어지게 된다.
아울러, 전술한 노광은, 제2 면(12)에 마스킹 필름(이하 미도시)을 부착하고, 제2 면(12)에 레이저 빔을 조사함으로써 이루어질 수도 있다.
한편, 제4 단계(S4)에서 도 2(f)와 같이 화학 처리에 의하여 제거되는 부분(60)은 제2 면(12)으로부터 가공홈(13)을 개방시킴으로써, 도 2(g)와 같은 탈취금형(2)의 제작이 완료되는 것이다.
여기서, 칩 배출 슬롯(30)의 형성은 기계 연마, 화학 연마, 에칭 중 어느 하나에 의하여 형성될 수 있으며, 전술한 에칭은 가스나 플라즈마, 이온 빔, 화학적 에칭 중 어느 하나를 이용할 수도 있음은 물론이다.
이하, 본 발명의 다양한 실시예에 따른 탈취금형 및 이것의 제조 방법에 따른 작용 및 효과에 관하여 다음과 같이 살펴보고자 한다.
우선, 본 발명은 제1 면(11)에 블레이드(20)와 가공홈(13)이 형성된 베이스 플레이트(10)의 제2 면(12)에 형성된 PR층(50)에 대하여 노광 및 현상하여 가공홈(13) 형성 위치에 대응하는 PR층(50)을 제거하고, PR층(50)이 제거된 베이스 플레이트(10)의 제2 면(12)을 일정 두께로 제거하여 칩 배출 슬롯(30)을 형성하는 것을 특징으로 하여, 비교적 간단하고 용이한 작업으로도 작업 개소와 면적 및 크기에 관계없이 단시간에 대량의 탈취금형(2)을 제작할 수 있게 되므로, 시간과 비용의 절감 측면에서 효율성을 대폭 향상시킬 수 있게 될 것이다.
본 발명에서, 블레이드(20)에 의하여 형성되는 내부 영역에 있어서 베이스 플레이트(10)의 제1 면(11)과 블레이드(20)의 하단부가 맞닿아 형성되는 영역의 면적보다 크게 가공홈(130)을 형성함으로써, 제작된 탈취금형(2)을 이용하여 작업시 발생하는 칩이 원활하게 배출되도록 유도하는 칩 배출 경로로서의 칩 배출 슬롯(30)을 제공할 수 있게 될 것이다.
본 발명에 따르면, 가공홈(13)은 제1 면(11)으로부터 일정 두께, 즉 일정 깊이(d)로 함몰 형성되도록 하되, 전술한 깊이(d)는 베이스 플레이트(10)의 두께의 50 내지 70%가 되도록 함으로써, 화학 처리시 사용되는 액체 및 재료들의 불필요한 낭비를 줄임과 동시에, CNC 가공이 과도하게 실시됨으로 인한 베이스 플레이트(10)의 변형과 파손 및 칩 배출 슬롯(30) 주변부의 불량 발생 등의 제반 문제 발생을 미연에 방지할 수 있게 될 것이다.
또한, 본 발명에서, PR층(50)을 형성하기 전, 제1 면(11)에 마스킹(masking) 작업을 추가적으로 실시함으로써, 화학 처리에 따른 사후 공정의 원활한 속행과 정리 작업의 편의를 도모함은 물론, 화학 처리에 의한 정확한 크기의 칩 배출 슬롯(30) 형성에 도움을 줄 수 있을 것이다.
그리고, 본 발명에서, PR층(50)은, 에어 스프레이로 PR액을 제2 면(12)에 분사하여 접착시킨 후, 베이스 플레이트(10)를 가열 건조시키거나, PR액에 제2 면(12)을 침지시킨 후 베이스 플레이트(10)를 가열 건조시킴으로써 이루어지게 되므로, 화학 처리에 의한 칩 배출 슬롯(30)의 깔끔하고 우수한 결과물 획득에 도움을 줄 수 있을 것이다.
이상과 같이 본 발명은 비교적 간단하고 용이한 작업을 통하여 단시간에 탈취금형을 제작하여 비용 절감까지 도모할 수 있도록 하는 탈취금형 및 이것의 제조 방법을 제공하는 것을 기본적인 기술적 사상으로 하고 있음을 알 수 있다.
그리고, 본 발명의 기본적인 기술적 사상의 범주 내에서 당해 업계 통상의 지식을 가진 자에게 있어서는 다른 많은 변형 및 응용 또한 가능함은 물론이다.
Claims (25)
- 베이스 플레이트의 일면상에 블레이드를 형성하여 양각금형을 가공하는 제1 단계;상기 블레이드에 의하여 형성되는 내부 영역에 가공홈을 형성하는 제2 단계;상기 베이스 플레이트의 타면에 형성된 PR층(Photoresist layer)에 노광 및 현상하여 상기 가공홈이 형성된 위치에 대응하는 상기 PR층을 제거하는 제3 단계; 및상기 PR층이 제거된 상기 베이스 플레이트의 타면을 일정 두께로 제거하여 칩 배출 슬롯을 형성하는 제4 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 탈취금형의 제조 방법.
- 청구항 1에 있어서,상기 제2 단계에서는,상기 내부 영역에 있어서 상기 베이스 플레이트의 일면과 상기 블레이드의 하단부가 맞닿아 형성되는 영역의 면적보다 크게 상기 가공홈을 형성하는 것을 특징으로 하는 탈취금형의 제조 방법.
- 청구항 2에 있어서,상기 제2 단계에서 상기 가공홈은 CNC 가공에 의하여 형성되는 것을 특징으로 하는 탈취금형의 제조 방법.
- 청구항 1에 있어서,상기 제2 단계에서,상기 가공홈은 상기 베이스 플레이트의 일면으로부터 일정 두께로 함몰 형성되는 것을 특징으로 하는 탈취금형의 제조 방법.
- 청구항 1에 있어서,상기 제2 단계는,상기 PR층을 상기 베이스 플레이트의 타면에 형성하기 전에 상기 베이스 플레이트의 일면에 마스킹(masking) 작업을 실시하는 과정을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 탈취금형의 제조 방법.
- 청구항 1에 있어서,상기 제3 단계에서,상기 PR층은,에어 스프레이로 상기 PR액을 상기 베이스 플레이트의 타면에 분사하여 접착시킨 후 상기 베이스 플레이트를 가열 건조시킴으로써 형성되는 것을 특징으로 하는 탈취금형의 제조 방법.
- 청구항 1에 있어서,상기 제3 단계에서,상기 PR층은,상기 PR액에 상기 베이스 플레이트의 타면을 침지시킨 후 상기 베이스 플레이트를 가열 건조시킴으로써 형성되는 것을 특징으로 하는 탈취금형의 제조 방법.
- 청구항 1에 있어서,상기 제3 단계에서,상기 노광은 상기 베이스 플레이트의 타면을 향하여 레이저 빔을 조사하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 탈취금형의 제조 방법.
- 청구항 1에 있어서,상기 제3 단계에서,상기 노광은 상기 베이스 플레이트의 타면에 마스킹 필름을 적용하고 레이저 빔을 조사하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 탈취금형의 제조 방법.
- 청구항 1에 있어서,상기 제4 단계에서,상기 칩 배출 슬롯은상기 베이스 플레이트의 타면으로부터 상기 가공홈을 개방시킴으로써 형성되는 것을 특징으로 하는 탈취금형의 제조 방법.
- 청구항 10에 있어서,상기 칩 배출 슬롯은,기계적 연마, 화학 연마, 에칭 중 어느 하나에 의하여 형성되는 것을 특징으로 하는 탈취금형의 제조 방법.
- 청구항 11에 있어서,상기 에칭은,가스, 플라즈마, 이온 빔 및 화학적 에칭 중 어느 하나를 이용 가능한 것을 특징으로 하는 탈취금형의 제조 방법.
- 일면에 블레이드와 가공홈이 형성된 베이스 플레이트의 타면에 형성된 PR층에 노광 및 현상하여 상기 가공홈 형성 위치에 대응하는 상기 PR층을 제거하고, 상기 PR층이 제거된 상기 베이스 플레이트의 타면을 일정 두께로 제거하여 칩 배출 슬롯을 형성하는 것을 특징으로 하는 탈취 금형의 제조 방법.
- 청구항 13에 있어서,상기 블레이드에 의하여 형성되는 내부 영역에 있어서 상기 베이스 플레이트의 일면과 상기 블레이드의 하단부가 맞닿아 형성되는 영역의 면적보다 크게 상기 가공홈을 형성하는 것을 특징으로 하는 탈취 금형의 제조 방법.
- 청구항 14에 있어서,상기 가공홈은 CNC 가공에 의하여 형성되는 것을 특징으로 하는 탈취금형의 제조 방법.
- 청구항 13에 있어서,상기 가공홈은 상기 베이스 플레이트의 일면으로부터 일정 두께로 함몰 형성되는 것을 특징으로 하는 탈취금형의 제조 방법.
- 청구항 13에 있어서,상기 PR층을 상기 베이스 플레이트의 타면에 형성하기 전에 상기 베이스 플레이트의 일면에 마스킹(masking) 작업을 추가적으로 실시하는 것을 특징으로 하는 탈취금형의 제조 방법.
- 청구항 13에 있어서,상기 PR층은,에어 스프레이로 상기 PR액을 상기 베이스 플레이트의 타면에 분사하여 접착시킨 후 상기 베이스 플레이트를 가열 건조시킴으로써 형성되는 것을 특징으로 하는 탈취금형의 제조 방법.
- 청구항 13에 있어서,상기 PR층은,상기 PR액에 상기 베이스 플레이트의 타면을 침지시킨 후 상기 베이스 플레이트를 가열 건조시킴으로써 형성되는 것을 특징으로 하는 탈취금형의 제조 방법.
- 청구항 13에 있어서,상기 노광은 상기 베이스 플레이트의 타면을 향하여 레이저 빔을 조사하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 탈취금형의 제조 방법.
- 청구항 13에 있어서,상기 노광은 상기 베이스 플레이트의 타면에 마스킹 필름을 적용하고 레이저 빔을 조사하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 탈취금형의 제조 방법.
- 청구항 13에 있어서,상기 칩 배출 슬롯은 상기 베이스 플레이트의 타면으로부터 상기 가공홈을 개방시킴으로써 형성되는 것을 특징으로 하는 탈취금형의 제조 방법.
- 청구항 22에 있어서,상기 칩 배출 슬롯은,기계적 연마, 화학 연마, 에칭 중 어느 하나에 의하여 형성되는 것을 특징으로 하는 탈취금형의 제조 방법.
- 청구항 23에 있어서,상기 에칭은,가스, 플라즈마, 이온 빔 및 화학적 에칭 중 어느 하나를 이용 가능한 것을 특징으로 하는 탈취금형의 제조 방법.
- 청구항 1 내지 청구항 24 중 어느 한 항에 기재된 제조 방법에 의하여 제조된 탈취금형.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020170091807A KR20190009890A (ko) | 2017-07-20 | 2017-07-20 | 탈취금형 및 이것의 제조 방법 |
KR10-2017-0091807 | 2017-07-20 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
WO2019017542A1 true WO2019017542A1 (ko) | 2019-01-24 |
Family
ID=65016651
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
PCT/KR2017/015656 WO2019017542A1 (ko) | 2017-07-20 | 2017-12-28 | 탈취금형 및 이것의 제조 방법 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR20190009890A (ko) |
WO (1) | WO2019017542A1 (ko) |
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KR20190009890A (ko) | 2019-01-30 |
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