WO2018207773A1 - 回路モジュール - Google Patents

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arrangement
main surface
resin
resin groove
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喬文 菅野
和茂 佐藤
伸充 天知
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株式会社村田製作所
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    • H01L23/28—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L25/00—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
    • H01L25/03—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes
    • H01L25/04—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers
    • H—ELECTRICITY
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    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/22—Secondary treatment of printed circuits
    • H05K3/28—Applying non-metallic protective coatings
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K9/00—Screening of apparatus or components against electric or magnetic fields

Definitions

  • the present invention relates to a circuit module.
  • components such as transceiver ICs and baseband ICs are mounted on circuit modules.
  • the amount of heat generated by these components tends to increase with the increase in the speed of the digital circuit, the increase in the frequency of the analog circuit, the increase in bandwidth, and the use of MIMO (Multi Input Multi Output). It is required to improve the heat dissipation performance from these components, that is, to secure a heat conduction path from the heat generating component to the outside of the circuit module and reduce the thermal resistance.
  • MIMO Multi Input Multi Output
  • Patent Document 1 Japanese Patent Laying-Open No. 2015-62208 (Patent Document 1) describes an example of a circuit module considering such a requirement.
  • the circuit module described in Patent Literature 1 includes a circuit board, a mounting component mounted on the mounting surface of the circuit board, a sealing body that is formed on the mounting surface and covers the mounting component, and a shield.
  • the sealing body includes a trench.
  • the shield is a shield that covers the sealing body, and includes an inner shield part formed in the trench in addition to the outer shield part.
  • an object of the present invention is to provide a circuit module capable of further reducing the thermal resistance and shortening the processing time during production.
  • a circuit module includes a wiring board having a main surface, a component mounted on the main surface or an arrangement formed of a conductor formed on the main surface, and the main surface. And a sealing resin covering at least a part of the arrangement.
  • the sealing resin has a resin groove.
  • the arrangement object has at least an upper end and a side surface, and is arranged so as to overlap the resin groove portion when viewed from a direction perpendicular to the main surface. Concavities and convexities are formed inside the resin groove by the upper end and the side surface of at least a part of the arrangement.
  • the inner surface of the resin groove is covered with a conductive film.
  • the thermal resistance can be further reduced, and the processing time at the time of production can be shortened.
  • FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line III-III in FIG. 1.
  • FIG. 4 is a cross-sectional view taken along the line IV-IV in FIG. 1.
  • FIG. 5 is a cross-sectional view taken along the line VV in FIG. 1.
  • FIG. 14 is a cross-sectional view taken along the line XIV-XIV in FIG. 13.
  • FIG. 14 is a cross-sectional view taken along line XV-XV in FIG. 13. It is a perspective view of the conductor with which the circuit module in Embodiment 2 based on this invention is equipped. It is a front view of the conductor with which the circuit module in Embodiment 2 based on this invention is equipped. It is a side view of the conductor with which the circuit module in Embodiment 2 based on this invention is equipped. It is a bottom view of the conductor with which the circuit module in Embodiment 2 based on this invention is equipped. It is a top view of the state which removed the electroconductive film and sealing resin from the circuit module in Embodiment 2 based on this invention.
  • FIGS. 1 A circuit module according to the first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
  • a plan view of the circuit module in the present embodiment is shown in FIG.
  • Cross-sectional views taken along lines II-II, III-III, IV-IV, and VV in FIG. 1 are shown in FIGS. 2, 3, 4, and 5, respectively.
  • the circuit module 101 in the present embodiment includes a wiring board 1 having a main surface 1u, an arrangement that is a component mounted on the main surface 1u or a conductor formed on the main surface 1u, and the arrangement on the main surface 1u. And a sealing resin 4 covering at least a part of the arrangement.
  • the conductors 5 are arranged on the main surface 1u.
  • the conductor 5 may be provided for heat dissipation, for example.
  • the sealing resin 4 has resin groove portions 7a and 7b.
  • the arrangement object has at least an upper end and a side surface, and is arranged so as to overlap with the resin groove portions 7a and 7b when viewed from a direction perpendicular to the main surface 1u. Concavities and convexities are formed inside the resin grooves 7a and 7b by the upper end and the side surface of at least a part of the arrangement.
  • the inner surfaces of the resin groove portions 7 a and 7 b are covered with the conductive film 6.
  • Parts 3a and 3b are mounted on the main surface 1u.
  • the components 3a and 3b may be electronic components.
  • the components 3a and 3b are, for example, ICs.
  • the components 3a and 3b may be, for example, a transceiver IC, a baseband IC, or the like.
  • some of the conductors 5 as the arrangement are arranged so as to surround the periphery of the component 3a.
  • Some other conductors 5 as the arrangement are arranged in an L shape along two of the four sides of the component 3b.
  • the conductive film 6 is, for example, a metal film.
  • the conductive film 6 is electrically connected to the conductor 5.
  • Some wiring may be arranged on the main surface 1u or the side surface of the wiring board 1, and such wiring and the conductive film 6 may be electrically connected.
  • the amount of resin to be removed when forming the resin groove portions 7a and 7b is the case where there is no arrangement. Compared to less. By reducing the amount of resin to be removed, the processing time for forming the resin groove portions 7a and 7b can be shortened. Thereby, manufacturing cost can be reduced.
  • the thermal resistance can be further reduced and the processing time at the time of manufacturing can be shortened.
  • the “upper end” of the arrangement may be a flat upper surface as shown in the present embodiment, but is not limited to a flat surface and may be a curved surface.
  • the upper end may be a sharp end.
  • the “side surface” of the arrangement may be a surface perpendicular to the main surface 1u as shown in the present embodiment, but is not limited to this, and the surface perpendicular to the main surface 1u is inclined. It may be a plane with a proper posture.
  • the conductor 5 as an arrangement is in direct contact with the conductive film 6
  • Another member may be interposed between the conductor 5 and the conductive film 6.
  • the other member is, for example, the sealing resin 4.
  • a part of the sealing resin 4 may be thinly interposed between the conductor 5 and the conductive film 6.
  • it is preferable that at least a part of the arrangement is in direct contact with the conductive film 6. This is because by adopting this configuration, heat can be transferred more smoothly between the arrangement and the conductive film 6.
  • the wiring board 1 includes a grounding conductor pattern, and the conductive film 6 is electrically connected to the grounding conductor pattern.
  • the grounding conductor pattern may be a conductor pattern arranged on the main surface 1u of the wiring board 1, for example. By doing so, the grounding conductor pattern is grounded when the actual circuit module is used, and the conductive film 6 can also be at the ground potential. Thus, if the conductive film 6 has a ground potential due to some structure, the conductive film 6 can have a performance as a shield, and emission of radio noise from the circuit module can be suppressed.
  • the circuit module 101 can be manufactured by the following method.
  • Wiring substrate 1 has a main surface 1u.
  • the wiring board 1 is not limited to the size of one product, but may be a large-sized board that can produce a plurality of products at once, that is, a collective board. Wiring is formed inside the wiring substrate 1.
  • the component 3 a is mounted on the main surface 1 u of the wiring board 1.
  • the component 3 b is not shown but only the component 3 a is shown, but the component 3 b is also placed at another location on the main surface 1 u of the wiring board 1.
  • the conductor 5 is disposed on the main surface 1 u of the wiring board 1.
  • the sealing resin 4 is not yet arranged, so that the component 3 a is visible beyond the side where the conductors 5 are arranged.
  • FIG. 9 shows a top view of what is shown in FIG.
  • the conductor 5 is columnar.
  • the sealing resin 4 is disposed.
  • the sealing resin 4 covers the components 3a and 3b and the conductor 5 together.
  • FIG. 10 shows a certain cross section.
  • resin groove portions 7a and 7b are formed.
  • This groove processing may be performed by laser processing.
  • the laser beam is adjusted so that the irradiated portion of the sealing resin 4 can be removed and the conductor 5 and the wiring pattern on the bottom surface of the groove are not damaged. It shall be.
  • the circuit board is divided into individual circuit module sizes. This division is performed by dicing, for example.
  • the conductive film 6 is formed.
  • the conductive film 6 covers the upper surface and side surfaces of the sealing resin 4 and further covers the inner surfaces of the resin groove portions 7a and 7b.
  • the surface of the conductor 5 exposed inside the resin groove portions 7 a and 7 b is also covered with the conductive film 6.
  • the side surface of the wiring board 1 is also covered with the conductive film 6.
  • the conductive film 6 is, for example, a metal film. In forming the conductive film 6, for example, a sputtering method may be used.
  • circuit module according to the present embodiment as shown in FIGS. 1 to 5 can be obtained.
  • FIG. 13 shows a plan view of the circuit module in this embodiment.
  • FIG. 14 and FIG. 15 show sectional views taken along lines XIV-XIV and XV-XV in FIG.
  • the circuit module 102 includes a wiring board 1 having a main surface 1u, a component mounted on the main surface 1u or an arrangement formed of a conductor formed on the main surface 1u, And a sealing resin 4 covering at least a part of the arrangement.
  • the conductor 15 is arranged on the main surface 1u as an example of the arrangement.
  • the sealing resin 4 has resin groove portions 7a and 7b.
  • the arrangement object has at least an upper end and a side surface, and is arranged so as to overlap with the resin groove portions 7a and 7b when viewed from a direction perpendicular to the main surface. Concavities and convexities are formed in the resin groove portions 7a and 7b by the upper end and the side surface of at least a part of the arrangement.
  • the inner surfaces of the resin groove portions 7 a and 7 b are covered with the conductive film 6.
  • FIG. 17 A perspective view of the conductor 15 taken out alone is shown in FIG.
  • a front view, a side view, and a bottom view of the conductor 15 are shown in FIGS. 17, 18, and 19, respectively.
  • the conductor 15 is rectangular when viewed from above.
  • the conductor 15 has a shape with a narrow base. 16 to 19, W means the width direction of the resin groove portion, and L means the longitudinal direction of the resin groove portion.
  • W means the width direction of the resin groove portion
  • L means the longitudinal direction of the resin groove portion.
  • a part of the sealing resin 4 enters both sides of the conductor 15 in the narrowed portion of the conductor 15.
  • a substrate groove 8a is formed further below the resin groove 7a.
  • a substrate groove 8b is formed further below the resin groove 7b.
  • the substrate groove portions 8 a and 8 b are grooves formed by digging down the wiring substrate 1.
  • FIG. 20 shows a plan view of the circuit module 102 with the conductive film 6 and the sealing resin 4 removed.
  • the conductors 15 are arranged around the parts 3a and 3b so that the direction in which the conductors 15 are aligned and the respective longitudinal directions coincide with each other.
  • the same effect as in the first embodiment can be obtained. Since the conductor 15 has a narrow base and the sealing resin 4 enters both sides, the joint between the conductor 15 and the wiring board 1 is covered with the sealing resin 4. Thereby, the junction part of the conductor 15 and the wiring board 1 is stabilized, and the reliability of a circuit module improves.
  • the arrangement includes a first surface 151 facing the main surface 1u at a position closest to the main surface 1u, and a second surface 152 facing the opposite side of the main surface 1u. It is preferable that the area of the second surface 152 is larger than that of the first surface 151.
  • the shape of the conductor 15 is such that the dimension of the second surface 152 in the longitudinal direction L is longer than the dimension of the first surface 151 in the longitudinal direction L.
  • the dimension in the width direction W is equal to the dimension in the width direction W of the second surface 152.
  • the shape of the conductor 15 is not limited to this.
  • the dimension of the second surface 152 in the longitudinal direction L is longer than the dimension of the first surface 151 in the longitudinal direction L, and the width of the second surface 152 is larger than the dimension of the first surface 151 in the width direction W.
  • the dimension in the direction W may be longer.
  • the second surface 152 is a rectangle, but the shape of the second surface 152 may be other than a rectangle.
  • the resin groove at the end portion far from the main surface 1u has the first dimension A in the length direction L of the resin groove at the end portion close to the main surface 1u. It is preferable that the dimension of the groove part in the length direction L is a second dimension B larger than the first dimension.
  • the wiring substrate 1 has substrate groove portions 8a and 8b further connected in the thickness direction of the wiring substrate 1 from the resin groove portions 7a and 7b.
  • a part of the resin groove 7a and the vicinity thereof are shown in detail in FIG.
  • the resin groove 7a and the substrate groove 8a are connected in the vertical direction to form one groove.
  • the portion formed in the sealing resin 4 in the groove is the resin groove portion 7a
  • the portion formed in the wiring substrate 1 is the substrate groove portion 8a.
  • the bottom surface of the substrate groove 8 a is located lower than the main surface 1 u of the wiring substrate 1.
  • FIG. 21 also shows a state in which the sealing resin 4 enters both sides of the joint portion 13.
  • the joint portion 13 is a region where the conductor 15 as the arrangement and the wiring board 1 are in contact with each other.
  • the circuit module 102 can be manufactured by the following method.
  • a wiring board 1 is prepared as shown in FIG.
  • the details of the wiring board 1 are as described in the first embodiment.
  • the internal wiring 12 is provided where the wiring board 1 is lowered to some extent from the main surface 1u.
  • a component 3a is mounted on the main surface 1u of the wiring board 1 as shown in FIG.
  • the component 3 b is not shown but only the component 3 a is shown, but the component 3 b is also placed at another location on the main surface 1 u of the wiring board 1.
  • conductor 15 is arranged on main surface 1 u of wiring board 1.
  • the component 3a is visible beyond the side where the conductors 15 are arranged.
  • FIG. 20 shows the top view of what is shown in FIG. The details of the method for forming the conductor 15 are the same as those described as the method for forming the conductor 5 in the first embodiment.
  • the sealing resin 4 is disposed.
  • the sealing resin 4 covers the components 3a and 3b and the conductor 5 together.
  • FIG. 24 shows a certain cross section.
  • the “groove portion” includes, for example, a combination of the resin groove portion 7a and the substrate groove portion 8a.
  • the groove portion here includes, for example, a combination of the resin groove portion 7b and the substrate groove portion 8b.
  • This groove processing may be performed by laser processing. In this laser processing, the irradiated portion of the sealing resin 4 can be removed by laser light, and a predetermined thickness near the main surface 1u of the wiring substrate 1 is removed to expose the internal wiring 12. It is assumed that the conditions are adjusted to such an extent that It is assumed that the laser light is adjusted so as not to damage the internal wiring 12.
  • the resin groove portion 7a and the substrate groove portion 8a can be formed collectively.
  • the resin groove portion 7b and the substrate groove portion 8b can be formed collectively.
  • the conductive film 6 is formed.
  • the conductive film 6 covers the upper surface and side surfaces of the sealing resin 4, and further covers the inner surfaces of the resin groove portions 7a and 7b and the substrate groove portions 8a and 8b.
  • the surface of the conductor 15 exposed inside the resin groove portions 7 a and 7 b is also covered with the conductive film 6.
  • the side surface of the wiring board 1 is also covered with the conductive film 6. The details of the conductive film 6 are as described in the first embodiment.
  • circuit module in the present embodiment as shown in FIGS. 13 to 15 can be obtained.
  • the dimension in the width direction W of the conductor 5 as an arrangement may be smaller than the width of the resin groove 7a, and the entire conductor 5 may be exposed inside the resin groove 7a.
  • the width direction W of the conductor 5 as the arrangement is larger than the width of the resin groove 7a, the position of the conductor 5 is shifted with respect to the resin groove 7a.
  • the conductor 5 may be partially hidden on the inner surface on one side of the resin groove 7a.
  • the configuration as shown in FIG. 29 is most preferable. That is, as shown in the first and second embodiments, the dimension of the arrangement object in the width direction W of the resin groove portions 7a and 7b is larger than the width of the resin groove portions 7a and 7b, and the arrangement object has the resin groove portions 7a and 7b. Is preferably arranged so as to extend in the width direction W.
  • the arrangement is a part
  • the conductor is arranged as the arrangement
  • the arrangement may be any part.
  • the concept of parts includes electronic parts.
  • FIG. 30 An example in which the arrangement is a part is shown in FIG.
  • the component 20 is mounted on the main surface 1 u of the wiring board 1.
  • the part 20 plays the role of an arrangement, and the conductive film 6 covers the surface of the part 20 exposed inside the resin groove 7a. By adopting this configuration, heat radiation from the component 20 can be promoted.

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Abstract

回路モジュール（１０１）は、主表面（１ｕ）を有する配線基板（１）と、主表面（１ｕ）に実装された部品または主表面（１ｕ）に形成された導電体（５）である配置物と、主表面（１ｕ）上で前記配置物の少なくとも一部を覆う封止樹脂（４）とを備える。封止樹脂（４）は樹脂溝部（７ａ，７ｂ）を有する。前記配置物は少なくとも上端および側面を有し、主表面（１ｕ）に垂直な方向から見て樹脂溝部（７ａ，７ｂ）と重なるように配置されている。前記配置物の少なくとも一部の前記上端および前記側面によって樹脂溝部（７ａ，７ｂ）の内部に凹凸が形成されており、樹脂溝部（７ａ，７ｂ）の内面が導電性膜（６）で覆われている。

Description

回路モジュール
　本発明は、回路モジュールに関するものである。
　一般的に、回路モジュールにおいては、トランシーバＩＣ、ベースバンドＩＣなどの部品が搭載される。デジタル回路部の高速化、アナログ回路部の高周波数化、広帯域化、ＭＩＭＯ（Multi　Input　Multi　Output）化などに伴って、これらの部品の発熱量は大きくなる傾向にある。これらの部品からの放熱性能を向上させること、すなわち、発熱部品から回路モジュール外部への熱伝導経路を確保し、熱抵抗を軽減することが求められている。
　特開２０１５－６２２０８号公報（特許文献１）には、このような要求を考慮した回路モジュールの一例が記載されている。特許文献１に記載された回路モジュールでは、回路基板と、回路基板の実装面に実装された実装部品と、実装面上に形成されて実装部品を被覆する封止体と、シールドとを備える。封止体はトレンチを備える。シールドは、封止体を被覆するシールドであり、外部シールド部の他に、トレンチ内に形成された内部シールド部を含む。
特開２０１５－６２２０８号公報
　特許文献１に記載された発明においては、トレンチすなわち溝部は、一様に形成されるので、放熱に寄与する表面積が狭く、熱抵抗の軽減が限定的である。一方、封止体すなわち封止樹脂に溝部を形成するためには、レーザ加工などの方法で樹脂を除去することが一般的であるが、溝部を形成するために多くの樹脂を除去しなければならないので、加工時間が長くなってしまう。
　そこで、本発明は、さらなる熱抵抗の軽減を図り、作製時の加工時間を短く抑えることができる回路モジュールを提供することを目的とする。
　上記目的を達成するため、本発明に基づく回路モジュールは、主表面を有する配線基板と、上記主表面に実装された部品または上記主表面に形成された導電体である配置物と、上記主表面上で上記配置物の少なくとも一部を覆う封止樹脂とを備える。上記封止樹脂は樹脂溝部を有している。上記配置物は少なくとも上端および側面を有し、上記主表面に垂直な方向から見て上記樹脂溝部と重なるように配置されている。上記配置物の少なくとも一部の上記上端および上記側面によって上記樹脂溝部の内部に凹凸が形成されている。上記樹脂溝部の内面が導電性膜で覆われている。
　本発明によれば、導電性膜の表面積が大きくなり、かつ、除去すべき樹脂の量が少なくなるので、さらなる熱抵抗の軽減を図り、かつ、作製時の加工時間を短く抑えることができる。
本発明に基づく実施の形態１における回路モジュールの平面図である。 図１におけるＩＩ－ＩＩ線に関する矢視断面図である。 図１におけるＩＩＩ－ＩＩＩ線に関する矢視断面図である。 図１におけるＩＶ－ＩＶ線に関する矢視断面図である。 図１におけるＶ－Ｖ線に関する矢視断面図である。 本発明に基づく実施の形態１における回路モジュールの製造方法の第１の工程の説明図である。 本発明に基づく実施の形態１における回路モジュールの製造方法の第２の工程の説明図である。 本発明に基づく実施の形態１における回路モジュールの製造方法の第３の工程の説明図である。 図８に示した状態の平面図である。 本発明に基づく実施の形態１における回路モジュールの製造方法の第４の工程の説明図である。 本発明に基づく実施の形態１における回路モジュールの製造方法の第５の工程の説明図である。 本発明に基づく実施の形態１における回路モジュールの製造方法の第６の工程の説明図である。 本発明に基づく実施の形態２における回路モジュールの平面図である。 図１３におけるＸＩＶ－ＸＩＶ線に関する矢視断面図である。 図１３におけるＸＶ－ＸＶ線に関する矢視断面図である。 本発明に基づく実施の形態２における回路モジュールに備わる導電体の斜視図である。 本発明に基づく実施の形態２における回路モジュールに備わる導電体の正面図である。 本発明に基づく実施の形態２における回路モジュールに備わる導電体の側面図である。 本発明に基づく実施の形態２における回路モジュールに備わる導電体の下面図である。 本発明に基づく実施の形態２における回路モジュールから導電性膜および封止樹脂を取り去った状態の平面図である。 本発明に基づく実施の形態２における回路モジュールの樹脂溝部の一部およびその近傍の説明図である。 本発明に基づく実施の形態２における回路モジュールの製造方法の第１の工程の説明図である。 本発明に基づく実施の形態２における回路モジュールの製造方法の第２の工程の説明図である。 本発明に基づく実施の形態２における回路モジュールの製造方法の第３の工程の説明図である。 本発明に基づく実施の形態２における回路モジュールの製造方法の第６の工程の説明図である。 本発明に基づく実施の形態２における回路モジュールの製造方法の第７の工程の説明図である。 配置物の寸法と溝部の幅との関係についての第１の説明図である。 配置物の寸法と溝部の幅との関係についての第２の説明図である。 配置物の寸法と溝部の幅との関係についての第３の説明図である。 配置物が部品である例の部分断面図である。
　図面において示す寸法比は、必ずしも忠実に現実のとおりを表しているとは限らず、説明の便宜のために寸法比を誇張して示している場合がある。以下の説明において、上または下の概念に言及する際には、絶対的な上または下を意味するとは限らず、図示された姿勢の中での相対的な上または下を意味する場合がある。
　（実施の形態１）
　図１～図５を参照して、本発明に基づく実施の形態１における回路モジュールについて説明する。本実施の形態における回路モジュールの平面図を図１に示す。図１におけるＩＩ－ＩＩ線、ＩＩＩ－ＩＩＩ線、ＩＶ－ＩＶ線、Ｖ－Ｖ線に関する矢視断面図を図２、図３、図４、図５にそれぞれ示す。
　本実施の形態における回路モジュール１０１は、主表面１ｕを有する配線基板１と、主表面１ｕに実装された部品または主表面１ｕに形成された導電体である配置物と、主表面１ｕ上で前記配置物の少なくとも一部を覆う封止樹脂４とを備える。ここでは、配置物の一例として導電体５が主表面１ｕ上に配列されている。導電体５は、たとえば放熱のために設けられたものであってよい。封止樹脂４は樹脂溝部７ａ，７ｂを有している。配置物は少なくとも上端および側面を有し、主表面１ｕに垂直な方向から見て樹脂溝部７ａ，７ｂと重なるように配置されている。配置物の少なくとも一部の前記上端および前記側面によって樹脂溝部７ａ，７ｂの内部に凹凸が形成されている。樹脂溝部７ａ，７ｂの内面が導電性膜６で覆われている。
　主表面１ｕ上には、部品３ａ，３ｂが実装されている。部品３ａ，３ｂは電子部品であってよい。部品３ａ，３ｂは、たとえばＩＣである。部品３ａ，３ｂは、たとえばトランシーバＩＣ、ベースバンドＩＣなどであってよい。本実施の形態で示した例では、配置物としての導電体５のうちのいくつかは、部品３ａの周囲を取り囲むように配列されている。配置物としての導電体５のうちの他のいくつかは、部品３ｂの４辺のうち２辺に沿ってＬ字形に配列されている。
　導電性膜６はたとえば金属膜である。導電性膜６は、導電体５と電気的に接続されている。配線基板１の主表面１ｕ上または側面に何らかの配線を配置しておいて、そのような配線と導電性膜６とが電気的に接続されていてもよい。
　本実施の形態における回路モジュール１０１では、樹脂溝部７ａ，７ｂの内面が凹凸を有しているので、導電性膜６の表面積が大きくなり、放熱性能が改善される。一方、樹脂溝部７ａ，７ｂの内部空間のうち一部は配置物によって占められているので、樹脂溝部７ａ，７ｂを形成する際に除去すべき樹脂の量は、配置物がない構成の場合に比べて少なくなる。除去すべき樹脂の量が少ないことにより、樹脂溝部７ａ，７ｂを形成する際の加工時間を短縮することができる。これにより、製造コストを低減することができる。
　以上のように、本実施の形態における回路モジュールでは、さらなる熱抵抗の軽減を図り、かつ、作製時の加工時間を短く抑えることができる。
　配置物が有する「上端」とは、本実施の形態で示したような平坦な上面であってもよいが、平面に限らず、曲面であってもよい。上端は尖った端であってもよい。配置物が有する「側面」とは、本実施の形態で示したように主表面１ｕに垂直な面であってもよいが、これに限らず、主表面１ｕに垂直な面を傾斜させたような姿勢の面であってもよい。
　本実施の形態では、配置物としての導電体５が導電性膜６と直接接している例を示したが、導電体５が導電性膜６と直接接していることは必須ではない。導電体５と導電性膜６との間に他の部材が介在していてもよい。他の部材がある程度良好な伝熱性を有する場合には、熱抵抗の軽減を図ることができる。他の部材とは、たとえば封止樹脂４である。導電体５と導電性膜６との間に封止樹脂４の一部が薄く介在していてもよい。ただし、配置物の少なくとも一部が導電性膜６と直接接していることが好ましい。この構成を採用することにより、配置物と導電性膜６との間での熱の伝達がより円滑に行なえるからである。
　本実施の形態において、配線基板１は接地用導体パターンを備え、導電性膜６は接地用導体パターンと電気的に接続されていることが好ましい。接地用導体パターンは、たとえば配線基板１の主表面１ｕに配置された導体パターンであってよい。こうすることで、実際の回路モジュール使用時には接地用導体パターンは接地され、導電性膜６も接地電位となりうる。このように、何らかの構造により導電性膜６が接地電位となれば、導電性膜６にシールドとしての性能をもたせることができ、回路モジュールからの電波雑音放出を抑制することができる。
　（製造方法）
　本実施の形態における回路モジュールの製造方法について、図６～図１２を参照して説明する。回路モジュール１０１は、以下の方法によって作製することができる。
　まず、図６に示すように配線基板１を用意する。配線基板１は、主表面１ｕを有する。配線基板１は、製品１個分の大きさのものとは限らず、複数の製品を一括して作製できるような大判サイズのもの、すなわち集合基板であってもよい。配線基板１の内部には配線が形成されている。
　図７に示すように、配線基板１の主表面１ｕに部品３ａを実装する。図７では、ある１つの断面に注目して図示しているので、部品３ｂが示されず部品３ａのみが示されているが、部品３ｂもこの配線基板１の主表面１ｕ上の別の場所に実装される。
　図８に示すように、配線基板１の主表面１ｕに導電体５を配置する。図８に示した状態では、まだ封止樹脂４は配置されていないので、導電体５の並びの向こう側に部品３ａが見えている。図８に示したものを上から見たところを図９に示す。導電体５は柱状である。導電体５を形成する際には、たとえば銀ナノペーストをインクジェット方式で塗布することとしてもよい。銀ナノペーストをインクジェット方式で塗布したものに対して、加熱することによって低温焼結させてもよい。
　図１０に示すように、封止樹脂４を配置する。封止樹脂４は、部品３ａ，３ｂおよび導電体５を一括して覆い隠す。図１０では一定の断面を表示している。
　図１１に示すように、樹脂溝部７ａ，７ｂを形成する。この溝加工に当たっては、レーザ加工で行なうこととしてよい。このレーザ加工においては、レーザ光は、封止樹脂４のうちの照射した部分を除去することができ、かつ、導電体５および溝の底面にある配線パターンにはダメージを与えない条件に調整されているものとする。図１０から図１１に移る際には、集合基板から個別の回路モジュールのサイズに分断されている。この分断はたとえばダイシングによって行なわれる。
　図１２に示すように、導電性膜６を形成する。導電性膜６は、封止樹脂４の上面および側面を覆い、さらに樹脂溝部７ａ，７ｂの内面を覆う。樹脂溝部７ａ，７ｂの内部に露出していた導電体５の表面も導電性膜６によって覆われる。配線基板１の側面も導電性膜６によって覆われる。導電性膜６はたとえば金属膜である。導電性膜６の形成に当たっては、たとえばスパッタリング法を用いてよい。
　このような各工程を経ることで、図１～図５に示したような本実施の形態における回路モジュールを得ることができる。
　（実施の形態２）
　図１３～図２０を参照して、本発明に基づく実施の形態２における回路モジュールについて説明する。本実施の形態における回路モジュールの平面図を図１３に示す。図１３におけるＸＩＶ－ＸＩＶ線、ＸＶ－ＸＶ線に関する矢視断面図を図１４、図１５にそれぞれ示す。
　本実施の形態における回路モジュール１０２は、主表面１ｕを有する配線基板１と、主表面１ｕに実装された部品または主表面１ｕに形成された導電体である配置物と、主表面１ｕ上で前記配置物の少なくとも一部を覆う封止樹脂４とを備える。ここでは、配置物の一例として導電体１５が主表面１ｕ上に配列されている。封止樹脂４は樹脂溝部７ａ，７ｂを有している。配置物は少なくとも上端および側面を有し、前記主表面に垂直な方向から見て樹脂溝部７ａ，７ｂと重なるように配置されている。前記配置物の少なくとも一部の前記上端および前記側面によって樹脂溝部７ａ，７ｂの内部に凹凸が形成されている。樹脂溝部７ａ，７ｂの内面が導電性膜６で覆われている。
　導電体１５を単独で取り出したところの斜視図を図１６に示す。導電体１５の正面図、側面図、下面図を図１７、図１８、図１９にそれぞれ示す。導電体１５は上から見たときに長方形となっている。導電体１５は、根元が細くなった形状を有している。図１６～図１９において、Ｗは樹脂溝部の幅方向を意味し、Ｌは樹脂溝部の長手方向を意味する。図１４に示すように、導電体１５の根元の細くなった部分では導電体１５の両脇に封止樹脂４の一部が入り込んでいる。
　図１４に示すように、樹脂溝部７ａのさらに下側に基板溝部８ａが形成されている。樹脂溝部７ｂのさらに下側に基板溝部８ｂが形成されている。基板溝部８ａ，８ｂは配線基板１を掘り下げて形成された溝である。
　回路モジュール１０２から導電性膜６および封止樹脂４を取り去った状態の平面図を図２０に示す。導電体１５は、並ぶ方向と個々の長手方向とが一致するように部品３ａ，３ｂの周囲に配列されている。
　その他の構成は、実施の形態１で説明したものと基本的に同様であるので、説明を繰り返さない。
　本実施の形態においても、実施の形態１と同様の効果を得ることができる。導電体１５は根元が細くなっていて、両脇に封止樹脂４が入り込んだ形となるので、導電体１５と配線基板１との接合部は封止樹脂４に覆い隠される。これにより、導電体１５と配線基板１との接合部が安定し、回路モジュールの信頼性が向上する。
　一般的に、はんだ付け箇所にレーザ光が当たると、はんだの再溶融および固化に伴うフラッシュ、ボイドなどの問題が考えられる。本実施の形態では、導電体１５と配線基板１との接合部が封止樹脂４に覆われているので、樹脂溝部７ａ，７ｂの形成のためのレーザ加工の際に、導電体１５と配線基板１との接合部のはんだ付け箇所に、レーザ光が直接当たることを避けることができる。
　図１６～図１９に示すように、前記配置物は、主表面１ｕに最も近い位置で主表面１ｕの側を向く第１面１５１と、主表面１ｕとは反対側を向く第２面１５２とを有し、第１面１５１より第２面１５２の方が面積が大きいことが好ましい。この構成を採用することにより、配置物と配線基板１との接合部を封止樹脂４に埋もれさせることができ、安定した構造を実現することができる。なお、ここで示した例では、導電体１５の形状は、第１面１５１の長手方向Ｌの寸法よりも第２面１５２の長手方向Ｌの寸法が長くなっている一方、第１面１５１の幅方向Ｗの寸法と第２面１５２の幅方向Ｗの寸法とは等しくなっている。導電体１５の形状は、このようなものに限らない。たとえば、第１面１５１の長手方向Ｌの寸法よりも第２面１５２の長手方向Ｌの寸法が長くなっていて、なおかつ、第１面１５１の幅方向Ｗの寸法よりも第２面１５２の幅方向Ｗの寸法が長くなっていてもよい。ここで示した例では、第２面１５２が長方形であるものとしたが、第２面１５２の形状は長方形以外であってもよい。
　図１６～図１９に示すように、前記配置物は、主表面１ｕに近い端部における樹脂溝部の長さ方向Ｌの寸法が第１の寸法Ａであり、主表面１ｕから遠い端部における樹脂溝部の長さ方向Ｌの寸法が前記第１の寸法より大きい第２の寸法Ｂであることが好ましい。この構成を採用することにより、主表面１ｕに近い端部は主表面１ｕから遠い端部の陰に隠れることができるので、配置物の主表面に対する接合部には、レーザ加工時のレーザ光が直接当たることを避けることができる。
　本実施の形態で示したように、配線基板１に、樹脂溝部７ａ，７ｂから配線基板１の厚み方向にさらに連なる基板溝部８ａ，８ｂを有することが好ましい。樹脂溝部７ａの一部およびその近傍を図２１に詳しく示す。樹脂溝部７ａと基板溝部８ａとは上下方向に連なって１つの溝をなしている。図２１に示すように、溝のうち封止樹脂４に形成された部分が樹脂溝部７ａであり、配線基板１に形成された部分が基板溝部８ａである。基板溝部８ａの底面は配線基板１の主表面１ｕより低いところにある。このように基板溝部８ａ，８ｂで掘り下げた状態で溝の内面に導電性膜６が形成されれば、配線基板１内にある発熱体から導体ビアを介さずに導電性膜６に熱を伝えることができるので、放熱性能を高めることができる。図２１では、接合部１３の両脇に封止樹脂４が入り込んでいる様子も示されている。接合部１３とは、配置物としての導電体１５と配線基板１とが接する領域である。
　（製造方法）
　本実施の形態における回路モジュールの製造方法について、図２２～図２６を参照して説明する。回路モジュール１０２は、以下の方法によって作製することができる。
　まず、図２２に示すように配線基板１を用意する。配線基板１について詳しくは、実施の形態１で説明したとおりである。ただし、配線基板１の主表面１ｕからある程度下がったところに内部配線１２が設けられている。
　図２３に示すように、配線基板１の主表面１ｕに部品３ａを実装する。図２３では、ある１つの断面に注目して図示しているので、部品３ｂが示されず部品３ａのみが示されているが、部品３ｂもこの配線基板１の主表面１ｕ上の別の場所に実装される。図２３に示すように、配線基板１の主表面１ｕに導電体１５を配置する。図２３に示した状態では、まだ封止樹脂４は配置されていないので、導電体１５の並びの向こう側に部品３ａが見えている。図２３に示したものを上から見たところを図２０に示す。導電体１５の形成方法について詳しくは、実施の形態１で導電体５の形成方法として説明したものと同様である。
　図２４に示すように、封止樹脂４を配置する。封止樹脂４は、部品３ａ，３ｂおよび導電体５を一括して覆い隠す。図２４では一定の断面を表示している。
　図２５に示すように、溝部を形成する。ここでいう「溝部」は、たとえば樹脂溝部７ａと基板溝部８ａとを合わせたものを含む。一方、ここでいう溝部は、たとえば樹脂溝部７ｂと基板溝部８ｂとを合わせたものを含む。この溝加工に当たっては、レーザ加工で行なうこととしてよい。このレーザ加工においては、レーザ光は、封止樹脂４のうちの照射した部分を除去することができ、かつ、配線基板１の主表面１ｕ近傍の一定厚み分を除去して内部配線１２を露出させる程度の条件に調整されているものとする。レーザ光は、内部配線１２にはダメージを与えない条件に調整されているものとする。樹脂溝部７ａと基板溝部８ａとを一括して形成することができる。樹脂溝部７ｂと基板溝部８ｂとを一括して形成することができる。図２４から図２５に移る際には、集合基板から個別の回路モジュールのサイズに分断されている。この分断はたとえばダイシングによって行なわれる。
　図２６に示すように、導電性膜６を形成する。導電性膜６は、封止樹脂４の上面および側面を覆い、さらに樹脂溝部７ａ，７ｂおよび基板溝部８ａ，８ｂの内面を覆う。樹脂溝部７ａ，７ｂの内部に露出していた導電体１５の表面も導電性膜６によって覆われる。配線基板１の側面も導電性膜６によって覆われる。導電性膜６について詳しくは、実施の形態１で説明したとおりである。
　このような各工程を経ることで、図１３～図１５に示したような本実施の形態における回路モジュールを得ることができる。
　（配置物の寸法）
　たとえば図２７に示すように、配置物としての導電体５の幅方向Ｗの寸法が樹脂溝部７ａの幅より小さくて樹脂溝部７ａの内部に導電体５の全体が露出していてもよい。あるいは、図２８に示すように、配置物としての導電体５の幅方向Ｗの寸法が樹脂溝部７ａの幅より大きくても、導電体５の位置が樹脂溝部７ａに対してずれていて、結果的に、導電体５が樹脂溝部７ａの片側の内側面に一部隠れた状態であってもよい。
　ただし、図２９のような構成が最も好ましい。すなわち、実施の形態１，２で示したように、前記配置物の、樹脂溝部７ａ，７ｂの幅方向Ｗの寸法は樹脂溝部７ａ，７ｂの幅より大きく、前記配置物は樹脂溝部７ａ，７ｂに対して幅方向Ｗにまたがるように配置されていることが好ましい。
　（配置物が部品である例）
　実施の形態１，２では、配置物として導電体が配置されている例を説明したが、配置物は導電体に限らない。配置物は何らかの部品であってもよい。ここでいう部品の概念には、電子部品を含む。配置物が部品である例を図３０に示す。図３０に示す例では、配線基板１の主表面１ｕに部品２０が実装されている。部品２０が配置物の役割を果たしており、部品２０のうち樹脂溝部７ａの内部に露出した表面を導電性膜６が覆っている。この構成を採用することにより、部品２０からの放熱を促進することができる。
　なお、上記実施の形態のうち複数を適宜組み合わせて採用してもよい。
　なお、今回開示した上記実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではない。本発明の範囲は請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。
　１　配線基板、１ｕ　主表面、３ａ，３ｂ　部品、４　封止樹脂、５，１５　導電体、６　導電性膜、７ａ，７ｂ　樹脂溝部、８ａ，８ｂ　基板溝部、１２　内部配線、１３　接合部、２０　部品、１０１，１０２　回路モジュール、１５１　第１面、１５２　第２面。

Claims (7)

  1. 　主表面を有する配線基板と、
    　前記主表面に実装された部品または前記主表面に形成された導電体である配置物と、
    　前記主表面上で前記配置物の少なくとも一部を覆う封止樹脂とを備え、
    　前記封止樹脂は樹脂溝部を有しており、
    　前記配置物は少なくとも上端および側面を有し、前記主表面に垂直な方向から見て前記樹脂溝部と重なるように配置されており、
    　前記配置物の少なくとも一部の前記上端および前記側面によって前記樹脂溝部の内部に凹凸が形成されており、
    　前記樹脂溝部の内面が導電性膜で覆われている、回路モジュール。
  2. 　前記配置物の少なくとも一部が前記導電性膜と直接接している、請求項１に記載の回路モジュール。
  3. 　前記配線基板は接地用導体パターンを備え、前記導電性膜は前記接地用導体パターンと電気的に接続されている、請求項１または２に記載の回路モジュール。
  4. 　前記配置物の、前記樹脂溝部の幅方向の寸法は前記樹脂溝部の幅より大きく、前記配置物は前記樹脂溝部に対して幅方向にまたがるように配置されている、請求項１から３のいずれかに記載の回路モジュール。
  5. 　前記配置物は、前記主表面に最も近い位置で前記主表面の側を向く第１面と、前記主表面とは反対側を向く第２面とを有し、前記第１面より前記第２面の方が面積が大きい、請求項１から４のいずれかに記載の回路モジュール。
  6. 　前記配置物は、前記主表面に近い端部における前記樹脂溝部の長さ方向の寸法が第１の寸法であり、前記主表面から遠い端部における前記樹脂溝部の長さ方向の寸法が前記第１の寸法より大きい第２の寸法である、請求項１から５のいずれかに記載の回路モジュール。
  7. 　前記配線基板に、前記樹脂溝部から前記配線基板の厚み方向にさらに連なる基板溝部を有する、請求項１から６のいずれかに記載の回路モジュール。
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