WO2021054332A1 - モジュール - Google Patents

モジュール Download PDF

Info

Publication number
WO2021054332A1
WO2021054332A1 PCT/JP2020/034948 JP2020034948W WO2021054332A1 WO 2021054332 A1 WO2021054332 A1 WO 2021054332A1 JP 2020034948 W JP2020034948 W JP 2020034948W WO 2021054332 A1 WO2021054332 A1 WO 2021054332A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
module
component
conductor pattern
sealing resin
substrate
Prior art date
Application number
PCT/JP2020/034948
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
喜人 大坪
貴大 北爪
Original Assignee
株式会社村田製作所
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社村田製作所 filed Critical 株式会社村田製作所
Priority to CN202080065239.0A priority Critical patent/CN114424333A/zh
Publication of WO2021054332A1 publication Critical patent/WO2021054332A1/ja
Priority to US17/654,829 priority patent/US20220199504A1/en

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/552Protection against radiation, e.g. light or electromagnetic waves
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/28Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection
    • H01L23/31Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape
    • H01L23/3107Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape the device being completely enclosed
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/28Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/48Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
    • H01L23/488Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
    • H01L23/498Leads, i.e. metallisations or lead-frames on insulating substrates, e.g. chip carriers
    • H01L23/49838Geometry or layout
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L25/00Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
    • H01L25/03Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes
    • H01L25/04Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers
    • H01L25/065Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
    • H01L25/0652Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00 the devices being arranged next and on each other, i.e. mixed assemblies
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L25/00Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
    • H01L25/16Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof the devices being of types provided for in two or more different main groups of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. forming hybrid circuits
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/15Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
    • H01L2224/16Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
    • H01L2224/161Disposition
    • H01L2224/16151Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/16221Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/16225Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/48Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
    • H01L23/488Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
    • H01L23/498Leads, i.e. metallisations or lead-frames on insulating substrates, e.g. chip carriers
    • H01L23/49811Additional leads joined to the metallisation on the insulating substrate, e.g. pins, bumps, wires, flat leads
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/52Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames
    • H01L23/538Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames the interconnection structure between a plurality of semiconductor chips being formed on, or in, insulating substrates
    • H01L23/5383Multilayer substrates
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/181Encapsulation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/181Encapsulation
    • H01L2924/1815Shape
    • H01L2924/1816Exposing the passive side of the semiconductor or solid-state body
    • H01L2924/18161Exposing the passive side of the semiconductor or solid-state body of a flip chip
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/19Details of hybrid assemblies other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/191Disposition
    • H01L2924/19101Disposition of discrete passive components
    • H01L2924/19105Disposition of discrete passive components in a side-by-side arrangement on a common die mounting substrate

Definitions

  • the present invention relates to a module.
  • Patent Document 1 US Patent Application Publication US2018 / 0323170A1 (Patent Document 1) describes a semiconductor package having a compartment shield structure (Patent Document 1, FIG. 9A, paragraph 0098).
  • electronic components are mounted on both sides of the substrate, and these electronic components are sealed by sealing materials on the upper and lower sides of the substrate, respectively.
  • the upper surface and side surfaces of the sealing material on the upper side of the substrate are covered with a shield film.
  • a compartment shield structure is realized so as to surround the electronic components mounted on the lower surface of the substrate, and the portion forming the lower surface is exposed on the lower surface of the encapsulant.
  • a part of the lower surface of the sealing material on the lower side of the substrate is covered with this shield film, but the other part is exposed without being covered with the shield film.
  • An external connection terminal is provided on the outer edge of the lower surface of the substrate. At the place where the external connection terminal is arranged, a through hole is provided in the sealing material on the lower side of the substrate, and the external connection terminal is arranged so as to project downward from the sealing material.
  • a compartment shield is realized by arranging a conductive film having a size larger than the parts mounted on the lower surface of the substrate on the lower surface of the sealing material, but the number of parts increases and the size becomes large. When this happens, a larger area of conductive film is required.
  • an object of the present invention is to provide a module that realizes a compartment shield for a component mounted on the lower surface of a substrate while suppressing the risk of peeling.
  • the module based on the present invention includes a substrate having a first surface, a first component mounted on the first surface, and at least the first surface of the first surface and the first component.
  • a first encapsulating resin covering a connection portion with respect to the first encapsulating resin, a first conductor pattern arranged on a surface of the first encapsulating resin far from the first surface, and the first surface and the first conductor pattern.
  • Each includes a plurality of connecting conductors that are electrically connected. When viewed from a direction perpendicular to the first surface, the plurality of connecting conductors are arranged so as to surround the first component, and the first conductor pattern is formed outside the first component. Includes a frame-shaped part that connects connecting conductors and electrically connects them.
  • a compartment shield is formed by surrounding the first component with a plurality of connecting conductors and a first conductor pattern. Then, instead of arranging the large-area conductor pattern on the surface of the first encapsulating resin far from the first surface, the frame-shaped portion of the first conductor pattern is arranged, so that it depends on the difference in the coefficient of thermal expansion. The problem of peeling is less likely to occur, and as a result, it is possible to realize a compartment shield for the components mounted on the lower surface of the substrate while suppressing the risk of peeling.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line III-III in FIG. It is a bottom view of the module in Embodiment 1 based on this invention. It is sectional drawing of the part where the plurality of connecting conductors of the module in Embodiment 1 based on this invention electrically connect a 1st surface and a 1st conductor pattern. It is a 1st explanatory view of the method for obtaining the structure shown in FIG. It is a second explanatory view of the method for obtaining the structure shown in FIG.
  • FIG. 8 is a cross section taken along the line of IX-IX in FIG. It is a bottom view of the module in Embodiment 2 based on this invention. It is a top view of the module in Embodiment 3 based on this invention.
  • FIG. 11 is a cross-sectional view taken along the line of XII-XII in FIG. It is a bottom view of the module in Embodiment 3 based on this invention. It is a bottom view of the first modification of the module in Embodiment 3 based on this invention. It is a bottom view of the second modification of the module in Embodiment 3 based on this invention.
  • FIG. 1 A perspective view of the module 101 in this embodiment is shown in FIG.
  • a plan view of the module 101 is shown in FIG.
  • a cross-sectional view taken along the line III-III in FIG. 2 is shown in FIG.
  • a bottom view of the module 101 is shown in FIG.
  • components having a positional relationship that do not originally appear in the same cross section are also displayed at the same time for convenience of explanation. The same applies to the other cross-sectional views below.
  • the module 101 has a first surface that covers a substrate 1 having a first surface 1a, a first component 3a mounted on the first surface 1a, and a connection portion between the first surface 1a and the first component 3a to at least the first surface 1a.
  • the sealing resin 6a, the first conductor pattern 10 arranged on the surface far from the first surface 1a of the first sealing resin 6a, and the first surface 1a and the first conductor pattern 10 are electrically connected to each other.
  • a wire 16 as a plurality of connecting conductors is provided. When viewed from a direction perpendicular to the first surface 1a, the plurality of connecting conductors are arranged so as to surround the first component 3a, and the first conductor pattern 10 is formed on the outer side of the first component 3a. Includes a frame-shaped portion 10f that connects connecting conductors and electrically connects them.
  • the substrate 1 has a second surface 1b on the opposite side of the first surface 1a.
  • the module 101 includes a second component 3b mounted on the second surface 1b, and a second sealing resin 6b that covers the second surface 1b and the second component 3b.
  • the component 3d and the component 3e are mounted on the second surface 1b of the substrate 1.
  • the second sealing resin 6b is formed so as to cover all the parts mounted on the second surface 1b.
  • the component 3c is mounted on the first surface 1a of the substrate 1.
  • the first sealing resin 6a is formed so as to cover the component 3c. A part of the surface of the first component 3a is exposed from the first sealing resin 6a.
  • the board 1 is a wiring board.
  • the substrate 1 is, for example, a ceramic multilayer substrate.
  • the substrate 1 may be a resin substrate.
  • the resin substrate referred to here may be, for example, a resin multilayer substrate.
  • Wiring may be provided on the surface and the inside of the substrate 1.
  • the shield film 8 is formed so as to cover the upper surface and the side surface of the second sealing resin 6b, the side surface of the substrate 1, and the side surface of the first sealing resin 6a.
  • the shield film 8 is a conductive film.
  • the shield film 8 is, for example, a metal film.
  • the shield film 8 may be formed by, for example, sputtering.
  • the shield film 8 is electrically connected to the conductor pattern 7 arranged inside the substrate 1.
  • the conductor pattern 7 is a ground electrode.
  • the conductor pattern 7 is exposed on the side surface of the substrate 1.
  • FIG. 5 shows the structure of a portion where the wires 16 as a plurality of connecting conductors electrically connect the first surface 1a and the first conductor pattern 10.
  • Pad electrodes 17 are formed on the first surface 1a, and the ends of the wires 16 are connected to the pad electrodes 17, respectively.
  • a columnar conductor 15 is arranged on the outer edge of the first surface 1a of the substrate 1.
  • the columnar conductor 15 penetrates the first sealing resin 6a.
  • the end surface of the columnar conductor 15 on the side far from the first surface 1a is exposed from the first sealing resin 6a and serves as an external connection terminal 9.
  • external connection terminals 9 are arranged on the outer edge portion.
  • the plurality of external connection terminals 9 are mainly terminals for signal lines, but some of the plurality of external connection terminals 9 may be ground terminals.
  • the first component 3a is surrounded by the plurality of connecting conductors and the first conductor pattern 10
  • a compartment shield can be realized.
  • the frame-shaped portion 10f of the first conductor pattern 10 is arranged instead of arranging the large-area conductor pattern on the surface far from the first surface 1a of the first sealing resin 6a, the conductive film is conductive. The problem of peeling due to the difference in the coefficient of thermal expansion between the material and the sealing material is unlikely to occur. Therefore, in the present embodiment, it is possible to realize a compartment shield for the components mounted on the lower surface of the substrate while suppressing the risk of peeling.
  • the surface of the first component 3a on the side far from the first surface 1a is exposed from the first sealing resin 6a.
  • the first sealing resin 6a does not need to cover the first component 3a, the first sealing resin 6a can be thinned on the first surface 1a side, which can contribute to lowering the height of the entire module. it can.
  • the second sealing resin 6b is arranged so as to cover the surface and side surface of the second sealing resin 6b on the side far from the second surface 1b, the side surface of the substrate 1, and the side surface of the first sealing resin 6a. It is preferable to provide the shield film 8. By adopting this configuration, electromagnetic waves from the outside can be shielded.
  • the wires 16 are arranged so as to form an arch connecting the two pad electrodes 17, and the wires 16 are sealed with the first sealing resin 6a. Then, as shown in FIG. 7, the surface of the first sealing resin 6a may be polished to remove the arch-shaped top of the wire 16. By doing so, the wires 16 having one arch shape become separate left and right wires 16. By forming the first conductor pattern 10 in this way, the structure shown in FIG. 5 can be produced. As shown in FIG. 5, the connecting conductor is on the side far from the first surface 1a of the wires 16 arranged in an arch shape so that both ends are connected to the first surface 1a and rise from the first surface 1a.
  • a part of the wire is scraped off.
  • a part of the wire 16 is scraped off.
  • FIG. 2 A plan view of the module 102 in this embodiment is shown in FIG.
  • a cross-sectional view taken along the line IX-IX in FIG. 8 is shown in FIG.
  • a bottom view of the module 102 is shown in FIG.
  • the module 102 is the same as the module 101 described in the first embodiment in the basic configuration, but has the following configuration.
  • the first conductor pattern 10 includes a land-shaped portion 10n projecting from the frame-shaped portion 10f in a direction parallel to the first surface 1a.
  • the module 102 can be grounded by using the land-shaped portion 10n. Even when a configuration in which most of the lower surface of the module is covered with a resist film (not shown) is adopted, it is preferable to expose at least a part of the land-shaped portion 10n from the resist film. By doing so, when mounting the module on the mother substrate, even if the frame-shaped portion 10f is too thin and it is difficult to electrically connect to the frame-shaped portion 10f, the widely secured land-shaped portion 10n is used. Therefore, the electrical connection to the first conductor pattern 10 can be easily performed.
  • the electrical connection referred to here is, for example, a connection with a ground terminal prepared on the mother board side.
  • FIG. 3 A plan view of the module 103 in this embodiment is shown in FIG.
  • a cross-sectional view taken along the line XII-XII in FIG. 11 is shown in FIG.
  • FIG. 11 A bottom view of the module 103 is shown in FIG.
  • the module 103 is the same as the module 101 described in the first embodiment in the basic configuration, but has the following configuration.
  • the module 103 includes a substrate 1 having a first surface 1a, a first component 3a mounted on the first surface 1a, a first sealing resin 6a covering the first surface 1a and the first component 3a, and a first seal.
  • a wire 16 as a plurality of connecting conductors that electrically connects the first conductor pattern 10 arranged on the surface far from the first surface 1a of the stop resin 6a and the first surface 1a and the first conductor pattern 10, respectively.
  • the plurality of connecting conductors are arranged so as to surround the first component 3a, and the first conductor pattern 10 includes a region overlapping the first component 3a and the plurality of connecting conductors. Includes a plurality of tile-shaped portions 10e arranged so as to cover the connecting conductors of the above.
  • the substrate 1 has a second surface 1b on the opposite side of the first surface 1a.
  • the module 103 includes a second component 3b mounted on the second surface 1b, and a second sealing resin 6b that covers the second surface 1b and the second component 3b.
  • the compartment shield is realized by arranging a plurality of tile-shaped portions 10e instead of arranging a large-area conductor pattern on the surface of the first sealing resin 6a far from the first surface 1a. Therefore, the area of each tile-shaped portion 10e can be reduced. As a result, the problem of peeling due to the difference in the coefficient of thermal expansion between the conductive film and the sealing material is less likely to occur. Therefore, in the present embodiment, the compartment shield can be realized while suppressing the risk of peeling.
  • a plurality of tile-shaped portions 10e may be arranged as separate conductor patterns without being connected to each other. Also in this case, one or more wires 16 are electrically connected to each tile-shaped portion 10e.
  • tile-shaped portions 10e are connected to each other, but as in the module 105 shown in FIG. 15, all tile-shaped portions 10e may be connected to each other. In the example shown in FIG. 15, all the tile-shaped portions 10e are connected to each other so as to form an annular shape.
  • FIG. 4 A cross-sectional view of the module 106 in this embodiment is shown in FIG.
  • FIG. 16 A bottom view of the module 106 is shown in FIG.
  • the module 106 is the same as the module 101 described in the first embodiment in the basic configuration, but has the following configuration.
  • the first conductor pattern 10 includes a plurality of tile-shaped portions 10e inside the frame-shaped portion 10f.
  • the plurality of tile-shaped portions 10e are connected to the frame-shaped portion 10f.
  • FIG. 18 shows a partial cross-sectional view in the vicinity of the connecting conductor when the connecting conductor is the pin 18.
  • the pin 18 is made of metal.
  • the pin 18 is arranged so as to penetrate through the first sealing resin 6a.
  • a pad electrode 17 is formed on the first surface 1a of the substrate 1. The end of the pin 18 on the side closer to the substrate 1 is connected to the pad electrode 17.
  • a module having a double-sided mounting structure has been described as an example, but the module based on the present invention may be a module having a single-sided mounting structure.
  • the module may have a configuration in which the second component is not mounted on the second surface 1b of the substrate 1 and the second sealing resin is not arranged.
  • Substrate 1a 1st surface, 1b 2nd surface, 3a 1st part, 3b 2nd part, 3c, 3d, 3e part, 6a 1st sealing resin, 6b 2nd sealing resin, 7 conductor pattern, 8 shield Membrane, 9 external connection terminal, 10 first conductor pattern, 10f frame-shaped part, 10e tile-shaped part, 10n land-shaped part, 15 columnar conductor, 16 wire, 17 pad electrode, 18 pin, 101, 102, 103, 104, 105, 106 modules.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Geometry (AREA)
  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
  • Shielding Devices Or Components To Electric Or Magnetic Fields (AREA)

Abstract

モジュール(101)は、第1面(1a)を有する基板(1)と、第1面(1a)に実装された第1部品(3a)と、第1面(1a)および第1部品(3a)の少なくとも前記第1面に対する接続部分を覆う第1封止樹脂(6a)と、第1封止樹脂(6a)の第1面(1a)から遠い側の面に配置された第1導体パターン(10)と、第1面(1a)と第1導体パターン(10)とをそれぞれ電気的に接続する複数の接続導体としてのワイヤ(16)とを備え、第1面(1a)に垂直な方向から見たとき、前記複数の接続導体は、第1部品(3a)を取り囲むように配置されており、第1導体パターン(10)は、第1部品(3a)の外側において前記複数の接続導体を連ねて電気的に接続する枠状部(10f)を含む。

Description

モジュール
 本発明は、モジュールに関するものである。
 米国特許出願公開US2018/0323170A1(特許文献1)には、コンパートメントシールド構造を備える半導体パッケージが記載されている(特許文献1の図9A、段落0098)。この半導体パッケージでは、基板の両面に電子部品が実装されており、これらの電子部品は、基板の上下においてそれぞれ封止材によって封止されている。基板の上側の封止材の上面および側面はシールド膜によって覆われている。基板の下面に実装された電子部品を取り囲むようにコンパートメントシールド構造が実現されていて、そのうち下面をなす部分は、封止材の下面に露出している。基板の下側の封止材の下面の一部はこのシールド膜に覆われているが、他の部分はシールド膜に覆われることなく露出している。基板の下面のうち外縁部には外部接続端子が設けられている。外部接続端子が配置されている箇所では、基板の下側の封止材に貫通孔が設けられており、外部接続端子が封止材より下方に突出するように配置されている。
米国特許出願公開US2018/0323170A1
 特許文献1では、基板の下面に実装された部品より大きなサイズの導電膜を、封止材の下面に配置することによって、コンパートメントシールドを実現しているが、部品の個数が増えたりサイズが大きくなったりしたときには、さらに大きな面積の導電膜が必要となる。
 コンパートメントシールドを実現するために、大きな面積の導電膜が封止材の下面に配置されていると、導電膜と封止材との熱膨張係数の差により両者の間に剥離が生じやすくなる。
 そこで、本発明は、剥離のおそれを抑えつつ、基板の下面に実装された部品に対するコンパートメントシールドを実現するモジュールを提供することを目的とする。
 上記目的を達成するため、本発明に基づくモジュールは、第1面を有する基板と、上記第1面に実装された第1部品と、上記第1面および上記第1部品の少なくとも上記第1面に対する接続部分を覆う第1封止樹脂と、上記第1封止樹脂の上記第1面から遠い側の面に配置された第1導体パターンと、上記第1面と上記第1導体パターンとをそれぞれ電気的に接続する複数の接続導体とを備える。上記第1面に垂直な方向から見たとき、上記複数の接続導体は、上記第1部品を取り囲むように配置されており、上記第1導体パターンは、上記第1部品の外側において上記複数の接続導体を連ねて電気的に接続する枠状部を含む。
 本発明によれば、複数の接続導体と第1導体パターンとによって第1部品を取り囲むことによってコンパートメントシールドが形成されている。そして、第1封止樹脂の第1面から遠い側の面に大面積の導体パターンを配置するのではなく、第1導体パターンの枠状部が配置されているので、熱膨張係数の差による剥離の問題が生じにくく、その結果、剥離のおそれを抑えつつ、基板の下面に実装された部品に対するコンパートメントシールドを実現することができる。
本発明に基づく実施の形態1におけるモジュールの斜視図である。 本発明に基づく実施の形態1におけるモジュールの平面図である。 図2におけるIII-III線に関する矢視断面図である。 本発明に基づく実施の形態1におけるモジュールの下面図である。 本発明に基づく実施の形態1におけるモジュールの複数の接続導体が第1面と第1導体パターンとを電気的に接続している部分の断面図である。 図5に示した構造を得るための方法の第1の説明図である。 図5に示した構造を得るための方法の第2の説明図である。 本発明に基づく実施の形態2におけるモジュールの平面図である。 図8におけるIX-IX線に関する矢視断面である。 本発明に基づく実施の形態2におけるモジュールの下面図である。 本発明に基づく実施の形態3におけるモジュールの平面図である。 図11におけるXII-XII線に関する矢視断面図である。 本発明に基づく実施の形態3におけるモジュールの下面図である。 本発明に基づく実施の形態3におけるモジュールの第1の変形例の下面図である。 本発明に基づく実施の形態3におけるモジュールの第2の変形例の下面図である。 本発明に基づく実施の形態4におけるモジュールの断面図である。 本発明に基づく実施の形態4におけるモジュールの下面図である。 接続導体がピンである場合の接続導体近傍の部分断面図である。
 図面において示す寸法比は、必ずしも忠実に現実のとおりを表しているとは限らず、説明の便宜のために寸法比を誇張して示している場合がある。以下の説明において、上または下の概念に言及する際には、絶対的な上または下を意味するとは限らず、図示された姿勢の中での相対的な上または下を意味する場合がある。
 (実施の形態1)
 図1~図5を参照して、本発明に基づく実施の形態1におけるモジュールについて説明する。本実施の形態におけるモジュール101の斜視図を図1に示す。モジュール101の平面図を図2に示す。図2におけるIII-III線に関する矢視断面図を図3に示す。モジュール101の下面図を図4に示す。なお、図3では、本来は同一断面内に現れない位置関係にある構成要素も、説明の便宜のために同時に表示している。以下の他の断面図においても同様である。
 モジュール101は、第1面1aを有する基板1と、第1面1aに実装された第1部品3aと、第1面1aおよび第1部品3aの少なくとも第1面1aに対する接続部分を覆う第1封止樹脂6aと、第1封止樹脂6aの第1面1aから遠い側の面に配置された第1導体パターン10と、第1面1aと第1導体パターン10とをそれぞれ電気的に接続する複数の接続導体としてのワイヤ16とを備える。第1面1aに垂直な方向から見たとき、前記複数の接続導体は、第1部品3aを取り囲むように配置されており、第1導体パターン10は、第1部品3aの外側において前記複数の接続導体を連ねて電気的に接続する枠状部10fを含む。
 基板1は、第1面1aの反対側に第2面1bを有する。モジュール101は、第2面1bに実装された第2部品3bと、第2面1bおよび第2部品3bを覆う第2封止樹脂6bとを備える。
 ここで示す例では、基板1の第2面1bには、第2部品3bの他に、部品3d、部品3eが実装されている。第2封止樹脂6bは、第2面1bに実装した全ての部品を覆うように形成されている。基板1の第1面1aには、第1部品3aの他に、部品3cが実装されている。第1封止樹脂6aは、部品3cを覆うように形成されている。第1部品3aの一部の面は、第1封止樹脂6aから露出している。
 基板1は、配線基板である。基板1は、たとえばセラミック多層基板である。基板1は、樹脂基板であってもよい。ここでいう樹脂基板は、たとえば樹脂多層基板であってもよい。基板1の表面および内部には、配線が設けられていてよい。
 図3に示すように、第2封止樹脂6bの上面および側面、基板1の側面、ならびに第1封止樹脂6aの側面を覆うようにシールド膜8が形成されている。シールド膜8は導電膜である。シールド膜8はたとえば金属膜である。シールド膜8は、たとえばスパッタによって形成されたものであってよい。図3に示すように、シールド膜8は、基板1の内部に配置された導体パターン7と電気的に接続されている。導体パターン7はグランド電極である。導体パターン7は基板1の側面に露出している。
 複数の接続導体としてのワイヤ16が第1面1aと第1導体パターン10とを電気的に接続している部分の構造を図5に示す。第1面1aにはパッド電極17が形成されており、ワイヤ16の端はそれぞれパッド電極17に接続されている。
 図3に示すように、基板1の第1面1aの外縁部には柱状導体15が配置されている。柱状導体15は第1封止樹脂6aを貫通している。柱状導体15の第1面1aから遠い側の端面は、第1封止樹脂6aから露出しており、外部接続端子9となっている。図4に示すように、モジュール101の下面においては、外縁部に外部接続端子9が配列されている。複数の外部接続端子9は、主に信号線のための端子であるが、複数の外部接続端子9のうちの一部はグランド端子であってもよい。
 本実施の形態では、複数の接続導体と第1導体パターン10とによって第1部品3aを取り囲んでいるので、コンパートメントシールドを実現することができる。特に、第1封止樹脂6aの第1面1aから遠い側の面に大面積の導体パターンを配置するのではなく、第1導体パターン10の枠状部10fが配置されているので、導電膜と封止材との熱膨張係数の差による剥離の問題も生じにくい。したがって、本実施の形態では、剥離のおそれを抑えつつ、基板の下面に実装された部品に対するコンパートメントシールドを実現することができる。
 本実施の形態で示したように、第1部品3aの第1面1aから遠い側の面が、第1封止樹脂6aから露出していることが好ましい。この構成を採用することにより、第1部品3aからの放熱を促進することができる。また、第1封止樹脂6aは第1部品3aを覆う必要がないので、第1面1a側において第1封止樹脂6aを薄くすることができ、モジュール全体の低背化に貢献することができる。
 本実施の形態で示したように、第2封止樹脂6bの第2面1bから遠い側の面および側面、基板1の側面、ならびに第1封止樹脂6aの側面を覆うように配置されたシールド膜8を備えることが好ましい。この構成を採用することにより、外部からの電磁波を遮蔽することができる。
 なお、図5に示した構造は、図6に示すように、2つのパッド電極17を結ぶアーチ状となるようにワイヤ16を配置し、第1封止樹脂6aでワイヤ16を封止した後で、図7に示すように第1封止樹脂6aの表面を研磨加工し、これによってワイヤ16のアーチ形状の頂部を除去したものであってもよい。こうすることによって、1つのアーチ形状をなしていたワイヤ16は、左右別々のワイヤ16となる。このようにしてから第1導体パターン10を形成することによって、図5に示す構造を作製することができる。図5に示したように、前記接続導体は、両端がそれぞれ第1面1aに接続しつつ第1面1aから立ち上がるようにアーチ状に配置されたワイヤ16の、第1面1aから遠い側の一部を削り取ったものであることが好ましい。このようにワイヤ16の一部が研磨加工などによって削り取られていることによって、ワイヤ16の平坦な面が形成され、第1導体パターン10とワイヤ16との接触面積を大きく確保することができる。
 (実施の形態2)
 図8~図10を参照して、本発明に基づく実施の形態2におけるモジュールについて説明する。本実施の形態におけるモジュール102の平面図を図8に示す。図8におけるIX-IX線に関する矢視断面図を図9に示す。モジュール102の下面図を図10に示す。モジュール102は、基本的な構成においては実施の形態1で説明したモジュール101と同様であるが、以下の構成を備える。
 モジュール102においては、第1導体パターン10は、枠状部10fから第1面1aに平行な方向に張り出すランド状部10nを含む。
 本実施の形態で示したように、第1導体パターン10がランド状部10nを含んでいることにより、ランド状部10nを用いてモジュール102を接地することができる。モジュールの下面の大部分をレジスト膜(図示せず)で覆う構成を採用する場合にも、ランド状部10nの少なくとも一部をレジスト膜から露出させることが好ましい。このようにすることで、モジュールをマザー基板に実装する際に、たとえ枠状部10fが細すぎて枠状部10fへの電気的接続が難しくても、広く確保されたランド状部10nを利用して第1導体パターン10への電気的接続を容易に行なうことができる。ここでいう電気的接続とは、たとえばマザー基板側に用意されたグランド端子との接続である。
 (実施の形態3)
 図11~図13を参照して、本発明に基づく実施の形態3におけるモジュールについて説明する。本実施の形態におけるモジュール103の平面図を図11に示す。図11におけるXII-XII線に関する矢視断面図を図12に示す。モジュール103の下面図を図13に示す。モジュール103は、基本的な構成においては実施の形態1で説明したモジュール101と同様であるが、以下の構成を備える。
 モジュール103は、第1面1aを有する基板1と、第1面1aに実装された第1部品3aと、第1面1aおよび第1部品3aを覆う第1封止樹脂6aと、第1封止樹脂6aの第1面1aから遠い側の面に配置された第1導体パターン10と、第1面1aと第1導体パターン10とをそれぞれ電気的に接続する複数の接続導体としてのワイヤ16とを備える。第1面1aに垂直な方向から見たとき、前記複数の接続導体は、第1部品3aを取り囲むように配置されており、第1導体パターン10は、第1部品3aに重なる領域および前記複数の接続導体を覆うように配列された複数のタイル状部10eを含む。
 基板1は、第1面1aの反対側に第2面1bを有する。モジュール103は、第2面1bに実装された第2部品3bと、第2面1bおよび第2部品3bを覆う第2封止樹脂6bとを備える。
 本実施の形態では、第1封止樹脂6aの第1面1aから遠い側の面に大面積の導体パターンを配置するのではなく、複数のタイル状部10eを配列することによってコンパートメントシールドを実現しているので、個々のタイル状部10eの面積を小さくすることができる。これにより、導電膜と封止材との熱膨張係数の差による剥離の問題も生じにくくなるので、本実施の形態では、剥離のおそれを抑えつつコンパートメントシールドを実現することができる。
 本実施の形態で示したように、複数のタイル状部10eのうち少なくとも一部は互いに接続されていることが好ましい。
 なお、図14に示すモジュール104のように、複数のタイル状部10eが互いに接続されておらず別々の導体パターンとして配置されている構成であってもよい。この場合も、各タイル状部10eに対しては1以上のワイヤ16が電気的に接続されている。
 図13では、2枚ずつのタイル状部10eが互いに接続されていたが、図15に示すモジュール105のように、全てのタイル状部10eが互いに接続されていてもよい。図15に示した例では、全てのタイル状部10eが環状をなすように互いに接続されている。
 (実施の形態4)
 図16~図17を参照して、本発明に基づく実施の形態4におけるモジュールについて説明する。本実施の形態におけるモジュール106の断面図を図16に示す。モジュール106の下面図を図17に示す。モジュール106は、基本的な構成においては実施の形態1で説明したモジュール101と同様であるが、以下の構成を備える。
 モジュール106においては、第1導体パターン10は、枠状部10fの内側に複数のタイル状部10eを含む。複数のタイル状部10eは枠状部10fと接続されている。
 本実施の形態においても、実施の形態1および3で説明したのと同様の効果を得ることができる。
 なお、ここまでの各実施の形態では、第1面1aと第1導体パターン10とを電気的に接続する複数の接続導体がワイヤ16である場合を例にとって説明してきた。前記接続導体は、ワイヤ以外の形態のものであってもよい。前記接続導体は、ワイヤ、ピン、金属ブロック、めっき膜のいずれかであることが好ましい。たとえば接続導体がピン18である場合の接続導体近傍の部分断面図を図18に示す。ピン18は金属で形成されている。第1封止樹脂6aの中を貫通するようにピン18が配置されている。基板1の第1面1aにはパッド電極17が形成されている。ピン18の基板1に近い側の端は、パッド電極17に接続されている。
 なお、ここまでの各実施の形態では、両面実装構造のモジュールを例に挙げて説明してきたが、本発明に基づくモジュールは、片面実装構造のモジュールであってもよい。たとえば、基板1の第2面1bに第2部品が実装されておらず、第2封止樹脂が配置されていない構成のモジュールであってもよい。
 なお、上記実施の形態のうち複数を適宜組み合わせて採用してもよい。
 なお、今回開示した上記実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではない。本発明の範囲は請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。
 1 基板、1a 第1面、1b 第2面、3a 第1部品、3b 第2部品、3c,3d,3e 部品、6a 第1封止樹脂、6b 第2封止樹脂、7 導体パターン、8 シールド膜、9 外部接続端子、10 第1導体パターン、10f 枠状部、10e タイル状部、10n ランド状部、15 柱状導体、16 ワイヤ、17 パッド電極、18 ピン、101,102,103,104,105,106 モジュール。

Claims (11)

  1.  第1面を有する基板と、
     前記第1面に実装された第1部品と、
     前記第1面および前記第1部品の少なくとも前記第1面に対する接続部分を覆う第1封止樹脂と、
     前記第1封止樹脂の前記第1面から遠い側の面に配置された第1導体パターンと、
     前記第1面と前記第1導体パターンとをそれぞれ電気的に接続する複数の接続導体とを備え、
     前記第1面に垂直な方向から見たとき、前記複数の接続導体は、前記第1部品を取り囲むように配置されており、前記第1導体パターンは、前記第1部品の外側において前記複数の接続導体を連ねて電気的に接続する枠状部を含む、モジュール。
  2.  前記基板は、前記第1面の反対側に第2面を有し、
     前記モジュールは、
     前記第2面に実装された第2部品と、
     前記第2面および前記第2部品を覆う第2封止樹脂とを備える、請求項1に記載のモジュール。
  3.  前記第1導体パターンは、前記枠状部から前記第1面に平行な方向に張り出すランド状部を含む、請求項1または2に記載のモジュール。
  4.  前記第1部品の前記第1面から遠い側の面が、前記第1封止樹脂から露出している、請求項1から3のいずれか1項に記載のモジュール。
  5.  前記第1導体パターンは、前記枠状部の内側に複数のタイル状部を含み、前記複数のタイル状部は前記枠状部と接続されている、請求項1から3のいずれか1項に記載のモジュール。
  6.  第1面を有する基板と、
     前記第1面に実装された第1部品と、
     前記第1面および前記第1部品を覆う第1封止樹脂と、
     前記第1封止樹脂の前記第1面から遠い側の面に配置された第1導体パターンと、
     前記第1面と前記第1導体パターンとをそれぞれ電気的に接続する複数の接続導体とを備え、
     前記第1面に垂直な方向から見たとき、前記複数の接続導体は、前記第1部品を取り囲むように配置されており、前記第1導体パターンは、前記第1部品に重なる領域および前記複数の接続導体を覆うように配列された複数のタイル状部を含む、モジュール。
  7.  前記基板は、前記第1面の反対側に第2面を有し、
     前記モジュールは、
     前記第2面に実装された第2部品と、
     前記第2面および前記第2部品を覆う第2封止樹脂とを備える、請求項6に記載のモジュール。
  8.  前記複数のタイル状部のうち少なくとも一部は互いに接続されている、請求項6または7に記載のモジュール。
  9.  前記接続導体は、ワイヤ、ピン、金属ブロック、めっき膜のいずれかである、請求項1から8のいずれか1項に記載のモジュール。
  10.  前記接続導体は、両端がそれぞれ前記第1面に接続しつつ前記第1面から立ち上がるようにアーチ状に配置されたワイヤの、前記第1面から遠い側の一部を削り取ったものである、請求項1から9のいずれか1項に記載のモジュール。
  11.  前記第2封止樹脂の前記第2面から遠い側の面および側面、前記基板の側面、ならびに前記第1封止樹脂の側面を覆うように配置されたシールド膜を備える、請求項2に記載のモジュール。
PCT/JP2020/034948 2019-09-19 2020-09-15 モジュール WO2021054332A1 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202080065239.0A CN114424333A (zh) 2019-09-19 2020-09-15 模块
US17/654,829 US20220199504A1 (en) 2019-09-19 2022-03-15 Module

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019-170733 2019-09-19
JP2019170733 2019-09-19

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
US17/654,829 Continuation US20220199504A1 (en) 2019-09-19 2022-03-15 Module

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2021054332A1 true WO2021054332A1 (ja) 2021-03-25

Family

ID=74884237

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2020/034948 WO2021054332A1 (ja) 2019-09-19 2020-09-15 モジュール

Country Status (3)

Country Link
US (1) US20220199504A1 (ja)
CN (1) CN114424333A (ja)
WO (1) WO2021054332A1 (ja)

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010027996A (ja) * 2008-07-24 2010-02-04 Sanyo Electric Co Ltd 高周波モジュール及びその製造方法
US20150131231A1 (en) * 2013-11-08 2015-05-14 Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. Electronic component module and manufacturing method thereof
US20160035678A1 (en) * 2014-07-30 2016-02-04 Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. Semiconductor package and method of manufacturing the same
JP2017191835A (ja) * 2016-04-12 2017-10-19 Tdk株式会社 電子回路モジュール及びその製造方法
JP2018041899A (ja) * 2016-09-09 2018-03-15 Towa株式会社 電子回路装置及び電子回路装置の製造方法
WO2018101384A1 (ja) * 2016-12-02 2018-06-07 株式会社村田製作所 高周波モジュール

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010027996A (ja) * 2008-07-24 2010-02-04 Sanyo Electric Co Ltd 高周波モジュール及びその製造方法
US20150131231A1 (en) * 2013-11-08 2015-05-14 Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. Electronic component module and manufacturing method thereof
US20160035678A1 (en) * 2014-07-30 2016-02-04 Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. Semiconductor package and method of manufacturing the same
JP2017191835A (ja) * 2016-04-12 2017-10-19 Tdk株式会社 電子回路モジュール及びその製造方法
JP2018041899A (ja) * 2016-09-09 2018-03-15 Towa株式会社 電子回路装置及び電子回路装置の製造方法
WO2018101384A1 (ja) * 2016-12-02 2018-06-07 株式会社村田製作所 高周波モジュール

Also Published As

Publication number Publication date
CN114424333A (zh) 2022-04-29
US20220199504A1 (en) 2022-06-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6806166B2 (ja) 高周波モジュール
TWI393239B (zh) 具有內屏蔽體之封裝結構及其製造方法
US7478474B2 (en) Method of manufacturing shielded electronic circuit units
JP5400094B2 (ja) 半導体パッケージ及びその実装方法
WO2019098316A1 (ja) 高周波モジュール
EP1450400A1 (en) Module part
WO2019156051A1 (ja) 高周波モジュール
TW201533860A (zh) 配線基板及使用其之半導體裝置
US20120104570A1 (en) Semiconductor package module
WO2021131776A1 (ja) モジュール
WO2021054332A1 (ja) モジュール
US20200043864A1 (en) Module
WO2021251219A1 (ja) モジュール
WO2021176871A1 (ja) モジュール
JP7036087B2 (ja) モジュール
TWI423405B (zh) 具載板之封裝結構
WO2021049521A1 (ja) モジュール
CN114731763A (zh) 内埋电路板及其制造方法
JP5124329B2 (ja) 半導体装置
WO2023053763A1 (ja) モジュール
CN220065432U (zh) 电子部件封装
WO2023053762A1 (ja) モジュール
WO2024004846A1 (ja) モジュール
US20230105809A1 (en) Module
WO2021256299A1 (ja) モジュール

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 20865816

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 20865816

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: JP