WO2018179959A1 - 分離膜構造体の検査方法、分離膜モジュールの製造方法、及び分離膜構造体の製造方法 - Google Patents

分離膜構造体の検査方法、分離膜モジュールの製造方法、及び分離膜構造体の製造方法 Download PDF

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宮原　誠
真紀子 市川
谷島　健二
健史 萩尾
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日本碍子株式会社
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Definitions

  • the present invention relates to a method for inspecting a separation membrane structure, a method for manufacturing a separation membrane module, and a method for manufacturing a separation membrane structure.
  • a separation membrane structure having a porous substrate and a separation membrane has been subjected to strength inspection before shipment, or has been subjected to leakage inspection after assembly to a module.
  • Patent Document 1 by supplying pressurized gas to the second main surface side in a state where the first main surface side of the separation membrane assembled in the module is filled with the filtrate, defects in the separation membrane or separation membrane There has been proposed a method for inspecting a seal failure of the above.
  • the method of Patent Document 1 has a problem of high cost because a large amount of pressurized gas is required for inspection.
  • Patent Document 2 proposes a method for inspecting the strength of the separation membrane by pressurizing the liquid filled on the first main surface side of the separation membrane.
  • Patent Document 2 has a problem that the permeation performance of the separation membrane is deteriorated after the inspection when the liquid is adsorbed to the pores of the separation membrane.
  • the present invention has been made in view of the above-described situation, and a separation membrane structure inspection method, a separation membrane module manufacturing method, and a separation membrane structure manufacturing method that can suppress a decrease in permeation performance of the separation membrane.
  • the purpose is to provide.
  • the method for inspecting a separation membrane structure according to the present invention was satisfied on an assembly step of sealing a separation membrane structure having a porous base material and a separation membrane in a casing, and on the first main surface side of the separation membrane.
  • the inspection liquid has a characteristic that when the separation membrane structure is immersed in the inspection liquid for 60 minutes and then dried at 150 ° C. for 24 hours, the reduction rate of He permeation rate of the separation membrane becomes 10% or less.
  • the present invention it is possible to provide a separation membrane structure inspection method, a separation membrane module manufacturing method, and a separation membrane structure manufacturing method capable of suppressing a decrease in permeation performance of the separation membrane.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view of the separation membrane module 10.
  • the separation membrane module 10 includes a separation membrane structure 1 and a casing 2.
  • the separation membrane structure 1 is a monolith type.
  • the monolith type means a shape having a plurality of cells penetrating in the longitudinal direction, and is a concept including a honeycomb.
  • the separation membrane structure 1 is disposed inside the casing 2.
  • the separation membrane structure 1 has a porous substrate 11 and a separation membrane 12.
  • the porous substrate 11 is formed in a columnar shape extending in the longitudinal direction.
  • a plurality of cells CL are formed inside the porous substrate 11. Each cell CL extends in the longitudinal direction. Each cell CL is connected to both end faces of the porous substrate 11.
  • the porous substrate 11 is composed of an aggregate and a binder.
  • alumina, silicon carbide, titania, mullite, inconvenience, cordierite, or the like can be used.
  • the binder a glass material containing at least one of an alkali metal and an alkaline earth metal, silicon (Si), and aluminum (Al) can be used.
  • the content of the binder in the substrate 11 can be 20% by volume or more and 40% by volume or less, and preferably 25% by volume or more and 35% by volume or less.
  • the porosity of the porous substrate 11 is not particularly limited, but can be, for example, 25% to 50%.
  • the porosity of the porous substrate 11 can be measured by a mercury intrusion method.
  • the average pore diameter of the porous substrate 11 is not particularly limited, but can be 0.1 ⁇ m to 50 ⁇ m.
  • the average pore diameter of the porous substrate 11 can be measured by a mercury intrusion method, an air flow method described in ASTM F316, or a palm porometry method according to the size of the pore diameter.
  • the separation membrane 12 is formed on the inner surface of each cell CL.
  • the separation membrane 12 is formed in a cylindrical shape.
  • the separation membrane 12 allows permeation components contained in the mixed fluid to be separated.
  • the mixed fluid is supplied to the inner surface side of the separation membrane 12, and the permeated component flows out from the outer surface side of the separation membrane 12.
  • the inner surface of the separation membrane 12 is also the inner surface of the cell CL.
  • the outer surface of the separation membrane 12 is a connection surface with the porous substrate 11.
  • the inner surface of the separation membrane 12 is an example of a “first main surface”
  • the outer surface of the separation membrane 12 is an example of a “second main surface”.
  • the mixed fluid which is a separation target may be a mixed liquid or a mixed gas
  • the mixed liquid is particularly assumed as a separation target.
  • Examples of the separation membrane 12 include a zeolite membrane (for example, see JP-A-2004-66188), a silica membrane (for example, see WO2008 / 050812 pamphlet), and a carbon membrane (for example, see JP-A-2003-286018). ), An organic-inorganic hybrid film (for example, JP-A-2013-203618), a ceramic film (for example, see JP-A-2008-246304), and the like.
  • zeolite membrane for example, see JP-A-2004-66188
  • silica membrane for example, see WO2008 / 050812 pamphlet
  • a carbon membrane for example, see JP-A-2003-286018.
  • An organic-inorganic hybrid film for example, JP-A-2013-203618
  • a ceramic film for example, see JP-A-2008-246304
  • the average pore diameter of the separation membrane 12 may be appropriately determined based on the required filtration performance and separation performance, and may be, for example, 0.0003 ⁇ m to 1.0 ⁇ m.
  • the inspection method of the present application is particularly useful for a separation membrane having an average pore diameter of 10 nm or less, and is further useful for a separation membrane having an average pore diameter of 1 nm or less.
  • the average pore diameter of the separation membrane 12 can be appropriately selected according to the size of the pore diameter.
  • the separation membrane 12 is a zeolite membrane
  • the arithmetic average of the short diameter and long diameter of the oxygen n-membered ring pores when the skeleton forming the pores of the zeolite consists of rings having no more than oxygen n-membered rings To do.
  • the oxygen n-membered ring means that the number of oxygen atoms constituting the skeleton forming the pore is n and includes at least one of Si atom, Al atom and P atom, and each oxygen atom is Si atom, Al It is a part that forms a cyclic structure by combining with atoms or P atoms.
  • the zeolite membrane is uniquely determined by the framework structure, and the International Zeolite Association (IZA) “Database of Zeolites Structures” [online], Internet ⁇ URL: http: //www.iza-structure It can be obtained from the values disclosed in .org / databases />.
  • IZA International Zeolite Association
  • the average pore diameter can be obtained based on the following formula (1).
  • d p is the average pore diameter
  • f is the normalized Knudsen-type permeance
  • d k i is the diameter of the molecule used in the Knudsen diffusion test
  • d k He is the diameter of the helium molecule.
  • f (1-d k, i / d p ) 3 / (1-d k, He / d p ) 3 (1)
  • the average pore diameter can be determined by a palm porometry method or a nano palm porometry method according to the size of the pore diameter.
  • the casing 2 includes a main body 20, a supply path 21, a first recovery path 22, and a second recovery path 23.
  • the main body 20 accommodates the separation membrane structure 1.
  • the main body 20 can be configured by a metal member (for example, stainless steel). Both end portions of the separation membrane structure 1 are sealed inside the main body portion 20 via the O-ring 3. However, since a leak may occur around the O-ring 3, that is, from the junction between the separation membrane structure 1 and the casing 2, it is necessary to perform a leak test using a test liquid. The leak inspection using the inspection liquid will be described later.
  • the supply path 21 is a pipe for supplying the main body 20 with the mixed fluid to be separated.
  • the supply path 21 can be comprised with a metal member (for example, stainless steel etc.).
  • the first recovery path 22 is a pipe for discharging the remaining mixed fluid that has passed through the cell CL of the separation membrane structure 1 to the outside.
  • the first recovery path 22 can be configured by a metal member (for example, stainless steel).
  • the second recovery path 23 is a pipe for discharging the permeated component that has passed through the separation membrane 12 of the separation membrane structure 1 to the outside.
  • the second recovery path 23 can be configured by a metal member (for example, stainless steel).
  • Method for producing separation membrane module 10 An example of a method for producing the separation membrane module 10 will be described.
  • a clay is prepared by adding and kneading an organic binder such as methylcellulose, a dispersion material, and water to an aggregate and a binder.
  • a monolith type molded body is formed using the prepared clay by an extrusion molding method using a vacuum extrusion molding machine, a press molding method, or a casting molding method.
  • the porous substrate 11 having a plurality of cells CL is formed by firing the monolith-shaped molded body (for example, 500 ° C. to 1500 ° C., 0.5 hour to 80 hours).
  • a separation membrane 12 is formed on the inner surface of each cell CL of the porous substrate 11 (separation membrane formation step).
  • separation membrane formation step For the formation of the separation membrane 12, a technique suitable for the type of the separation membrane 12 may be used.
  • the inspection liquid used for the leak inspection has a characteristic that it is difficult to adsorb to the pores of the separation membrane 12. Therefore, it is necessary to confirm in advance by the following method that the inspection liquid is difficult to be adsorbed to the pores of the separation membrane 12.
  • the weight of the separation membrane structure 1 is measured.
  • the O-ring 3 is attached to the separation membrane structure 1 and sealed in the casing 2.
  • 0.1 MPaG He (helium) gas is filled into the main body 20 from the supply path 21.
  • the first recovery path 22 may be sealed with a sealing valve.
  • the He gas permeation rate [nmol / m 2 spa] is measured based on the permeation flow rate of He gas that permeates the separation membrane 12 and flows out from the second recovery path 23.
  • the separation membrane structure 1 is taken out from the casing 2, and the separation membrane structure 1 is immersed in the inspection liquid for 60 minutes as shown in FIG.
  • the immersion may be a method in which the inspection liquid is in contact with the separation membrane 12 and may be a method of filling the inspection liquid only in the cell.
  • the separation membrane structure 1 is lifted from the inspection liquid, and the separation membrane structure 1 is dried in a dry gas at 150 ° C. for 24 hours. It is preferable that the dry gas does not contain moisture. Specifically, the moisture content in the dry gas is preferably 500 ppm or less, and more preferably 100 ppm or less.
  • the weight of the dried separation membrane structure 1 is measured again, and it is confirmed that the increment relative to the weight before immersion in the test liquid is 1% or less.
  • the O-ring 3 is attached to the separation membrane structure 1 and sealed in the casing 2 again.
  • the He gas permeation rate [nmol / m 2 spa] is measured again based on the permeation flow rate of He gas that permeates the separation membrane 12 and flows out from the second recovery path 23.
  • the He gas permeation rate measured after immersion in the inspection liquid is divided by the He gas permeation rate measured before immersion in the inspection liquid, thereby reducing the He gas permeation rate after immersion in the inspection liquid. Calculate the rate.
  • the calculated reduction rate of the He gas permeation rate is 10% or less, it can be determined that this inspection liquid is suitable for leak inspection because it is difficult to adsorb to the pores of the separation membrane 12.
  • the calculated He gas permeation rate decrease rate is greater than 10%, the He gas permeation rate decrease rate may be calculated for other test liquids, and it may be determined again whether it is 10% or less.
  • the inspection liquid may be selected using the separation membrane 12 that is actually used, and the type thereof is not particularly limited.
  • the type thereof is not particularly limited.
  • at least one selected from a fluorine-based liquid and a silicone-based liquid is used. Seeds can be used.
  • the fluorinated liquid include Fluorinert (registered trademark), Novec (registered trademark), Galden (registered trademark), and the like.
  • the silicone-based liquid include KF96L (manufactured by Shin-Etsu Chemical).
  • fluorinate is particularly preferable in consideration of availability and handleability.
  • the vapor pressure of the test liquid at 25 ° C. is preferably 1.0 ⁇ 10 3 Pa or more.
  • the water content in the test liquid is preferably less than 20%.
  • moisture permeates into the pores and the permeation rate is easy to reduce. Therefore, the permeation rate is reduced by reducing the water content of the test liquid to less than 20%. This can be particularly suppressed.
  • the moisture content in the test liquid is more preferably 10% or less, and particularly preferably 5% or less.
  • the inspection liquid is preferably nonflammable. Thereby, the test
  • the inspection liquid is preferably inert to the separation membrane structure 1 and the casing 2. Thereby, it can suppress that the separation membrane 12 reacts with the test liquid and deteriorates, or the casing 2 reacts with the test liquid and is corroded.
  • the separation membrane structure 1 is sealed in the casing 2.
  • the test liquid is filled into the main body 20 from the supply path 21.
  • the inspection liquid is filled on the first main surface side of the separation membrane 12.
  • the test liquid filled on the first main surface side of the separation membrane 12 is given pressure (for example, 1 MPa to 20 MPa). Pressurize with.
  • the booster pump 30 is stopped, and the pressure of the inspection liquid is measured in real time, and held for a predetermined time (for example, 1 minute to 60 minutes).
  • the difference between the pressure at the start of measurement and the pressure after the lapse of a predetermined time is calculated, and the degree of leak is determined based on the difference (inspection process).
  • the sealing valve 24 of the first recovery path 22 is opened, and the inspection liquid is extracted from the casing 2.
  • the separation membrane 12 is dried in a dry gas (drying process). At this time, it is preferable to dry the separation membrane 12 at a temperature lower than the heat resistant limit temperature of the O-ring. Thus, if the separation membrane 12 is dried at a temperature lower than the heat resistant limit temperature of the O-ring, it is convenient because the separation membrane structure 1 can be dried without being taken out from the casing 2. Moreover, it is preferable that the dry gas does not contain moisture. Specifically, the moisture content in the dry gas is preferably 500 ppm or less, and more preferably 100 ppm or less.
  • the inspection method using the inspection liquid according to the present invention can be applied to the inspection of the separation membrane structure 1.
  • the inspection of the separation membrane structure 1 is, for example, a strength test disclosed in Patent Document 2 (Japanese Patent Laid-Open No. 2014-46286).
  • Patent Document 2 Japanese Patent Laid-Open No. 2014-46286.
  • the leak inspection is performed based on the pressure change of the inspection liquid, but is not limited thereto.
  • the leak inspection can be performed based on at least one of the discharge amount from the pressurization booster 30 that pressurizes the test liquid, the compression amount, and the elapsed time until the end of pressurization.
  • the leak inspection can be performed based on the state of foaming in the inspection liquid when the gas is filled in the second main surface side of the separation membrane 12 and the gas is pressurized.
  • the separation membrane 12 is formed directly on the porous substrate 11, but one or more intermediate layers are disposed between the separation membrane 12 and the porous substrate 11. It may be.
  • the intermediate layer can be made of the same material as the porous substrate 11.
  • the pore diameter of the intermediate layer is preferably smaller than the pore diameter of the porous substrate 11.
  • Example No. 1 Preparation of separation membrane structure First, 30% by volume of an inorganic binder is added to 70% by volume of alumina particles (aggregate) having an average particle size of 12 ⁇ m, and further a molding aid such as an organic binder and a pore-forming agent are added. After dry mixing, water and a surfactant were added and mixed and kneaded to prepare a clay.
  • alumina particles aggregate having an average particle size of 12 ⁇ m
  • a molding aid such as an organic binder and a pore-forming agent
  • water and a surfactant were added and mixed and kneaded to prepare a clay.
  • the inorganic binder talc, kaolin, feldspar, clay and the like having an average particle diameter of 1 to 5 ⁇ m are made of SiO 2 (70% by mass), Al 2 O 3 (16% by mass), alkaline earth metal and alkali metal ( 11% by weight) mixture was used.
  • the clay was extruded to form a monolith type porous base material.
  • the molded object of the porous base material was baked (1250 degreeC, 1 hour), and the alumina base
  • PVA organic binder
  • a DDR type zeolite membrane (pore diameter: 0.40 nm) was formed as a separation membrane on the intermediate layer on the inner surface of each cell of the porous substrate.
  • the sample No. 1 composed of the DDR type zeolite membrane and the porous substrate on which the DDR type zeolite membrane is formed.
  • the separation membrane structure according to 1 was completed.
  • the separation membrane structure is set in the casing, and based on the permeation flow rate of He gas flowing out from the second recovery path while supplying 0.1 MPaG of He gas from the supply path. Then, the He gas permeation rate was measured.
  • the He gas permeation rate before immersion in the inspection liquid was 149 [nmol / m 2 Spa].
  • the separation membrane structure was taken out of the casing, and as shown in FIG. 3, the separation membrane structure was immersed in Fluorinert as a test liquid for 60 minutes.
  • the separation membrane structure was lifted from the florinate, and the separation membrane structure 1 was dried in a dry gas at 150 ° C. for 24 hours. He was used as the dry gas.
  • the He gas permeation rate measured after immersion in florinate was divided by the He gas permeation rate measured before immersion in florinate, thereby calculating a decrease rate of He gas permeation rate after immersion in florinate.
  • the separation membrane structure was sealed in a casing, and a mixed gas of CO 2 and CH 4 was supplied in advance to the DDR type zeolite membrane, and the gas separation performance was measured.
  • the separation factor ( ⁇ ) was 120 [nmol / m 2 spa], and the permeation rate of CO 2 was 744 [nmol / m 2 spa].
  • Fluorinert was filled from the supply path. Then, as shown in FIG. 6, the fluorinate filled on the first main surface side of the separation membrane was pressurized at 10 MPa using a pressure booster pump from the supply path side.
  • the booster pump was stopped and the pressure of florinate was measured in real time and held for 10 minutes, and the degree of leak was determined based on the difference between the pressure at the start of measurement and the pressure after 10 minutes.
  • the DDR type zeolite membrane was dried at 150 ° C. by removing Fluorinert from the casing 2 and supplying He as a dry gas from the supply path side.
  • Example No. 2 Sample No. The same separation membrane structure as in No. 1 was prepared, and the reduction rate of He gas permeation rate was measured using Galden (registered trademark) as the inspection liquid. As a result, it was -2%. It was confirmed to be suitable.
  • Galden registered trademark
  • Example No. 3 Sample No. The same separation membrane structure as in No. 1 was prepared, and the He gas permeation rate decrease rate was measured using KF96L (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) as the inspection liquid. As a result, it was -8%. It was confirmed to be suitable for.
  • KF96L manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
  • Sample No. 4 Sample No. 1 was used except that an AEI zeolite membrane (pore size: 0.38 nm) was formed as the separation membrane.
  • a separation membrane structure was prepared in the same manner as in 1.
  • the AEI type zeolite membrane was prepared based on the method described in International Publication No. WO2014 / 157324.
  • Example No. 5 Except that a silica membrane (pore diameter: 1.0 nm) was formed as a separation membrane, Sample No. A separation membrane structure was prepared in the same manner as in 1. The silica film was produced based on the method described in International Publication No. WO2011118252.
  • Example No. 6 Sample No. 1 except that a carbon membrane (pore diameter: 0.3 nm) was formed as a separation membrane.
  • a separation membrane structure was prepared in the same manner as in 1. The carbon film was produced based on the method described in International Publication No. WO2013145863.
  • Sample No. 7 Sample No. The same separation membrane structure as in No. 1 was prepared, and the rate of decrease in the He gas permeation rate was measured using ion-exchanged water as a test liquid. As a result, it was found to be ⁇ 28%. It was confirmed that it was not suitable.
  • sample no. 7 since the inspection liquid was adsorbed on the pores of the separation membrane during the leak test, the permeation rate was greatly reduced after the leak test.

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Abstract

分離膜モジュール（１０）の検査方法は、多孔質基材（１１）と分離膜（１２）とを有する分離膜構造体（１）をケーシング（２）内に封止する組み付け工程と、分離膜（１２）の第1主面側に満たされた検査用液体を加圧する検査工程とを備える。検査用液体は、分離膜構造体（１）を検査用液体に６０分間浸漬した後に１５０℃で２４時間乾燥した場合、分離膜のＨｅ透過速度低下率が１０％以下になる特性を有する。

Description

分離膜構造体の検査方法、分離膜モジュールの製造方法、及び分離膜構造体の製造方法
　本発明は、分離膜構造体の検査方法、分離膜モジュールの製造方法、及び分離膜構造体の製造方法に関する。
　従来、多孔質基材と分離膜とを有する分離膜構造体について、出荷前に強度検査が行われたり、或いは、モジュールへの組み付け後にリーク検査が行われたりしている。
　例えば、特許文献１では、モジュールに組み付けられた分離膜の第１主面側にろ過液を充填した状態で第２主面側に加圧気体を供給することによって、分離膜の欠陥や分離膜のシール不良などを検査する手法が提案されている。しかしながら、特許文献１の手法では、検査のために多量の加圧気体が必要であるため高コストになるという問題がある。
　そこで、特許文献２では、分離膜の第１主面側に充填された液体を加圧することによって、分離膜の強度を検査する手法が提案されている。
特開平５－１５７６５４号公報 特開２０１４－４６２８６号公報
　しかしながら、特許文献２の手法では、分離膜の細孔に液体が吸着すると、検査後に分離膜の透過性能が低下してしまうという問題がある。
　本発明は、上述の状況に鑑みてなされたものであり、分離膜の透過性能の低下を抑制可能な分離膜構造体の検査方法、分離膜モジュールの製造方法、及び分離膜構造体の製造方法を提供することを目的とする。
　本発明に係る分離膜構造体の検査方法は、多孔質基材と分離膜とを有する分離膜構造体をケーシング内に封止する組み付け工程と、分離膜の第1主面側に満たされた検査用液体を加圧する検査工程とを備える。検査用液体は、分離膜構造体を検査用液体に６０分間浸漬した後に１５０℃で２４時間乾燥した場合、分離膜のＨｅ透過速度低下率が１０％以下になる特性を有する。
　本発明によれば、分離膜の透過性能の低下を抑制可能な分離膜構造体の検査方法、分離膜モジュールの製造方法、及び分離膜構造体の製造方法を提供することができる。
分離膜モジュールの断面図 検査用液体の選定方法を説明するための模式図 検査用液体の選定方法を説明するための模式図 検査用液体の選定方法を説明するための模式図 検査用液体を用いた検査方法を説明するための模式図 検査用液体を用いた検査方法を説明するための模式図
　（分離膜モジュール１０）
　図１は、分離膜モジュール１０の断面図である。分離膜モジュール１０は、分離膜構造体１とケーシング２とを備える。
　１．分離膜構造体１
　分離膜構造体１は、モノリス型である。モノリス型とは、長手方向に貫通した複数のセルを有する形状を意味し、ハニカムを含む概念である。分離膜構造体１は、ケーシング２の内部に配置される。
　分離膜構造体１は、多孔質基材１１と分離膜１２とを有する。
　多孔質基材１１は、長手方向に延びる円柱状に形成される。多孔質基材１１の内部には、複数のセルＣＬが形成されている。各セルＣＬは、長手方向に延びる。各セルＣＬは、多孔質基材１１の両端面に連なる。
　多孔質基材１１は、骨材と結合材によって構成される。骨材としては、アルミナ、炭化珪素、チタニア、ムライト、セルベン、及びコージェライトなどを用いることができる。結合材としては、アルカリ金属及びアルカリ土類金属の少なくとも一方と、ケイ素（Ｓｉ）と、アルミニウム（Ａｌ）とを含むガラス材料を用いることができる。基材１１における結合材の含有率は、２０体積％以上４０体積％以下とすることができ、２５体積％以上３５体積％以下が好ましい。
　多孔質基材１１の気孔率は特に制限されないが、例えば２５％～５０％とすることができる。多孔質基材１１の気孔率は、水銀圧入法によって測定できる。多孔質基材１１の平均細孔径は特に制限されないが、０．１μｍ～５０μｍとすることができる。多孔質基材１１の平均細孔径は、細孔径の大きさに応じて、水銀圧入法、ＡＳＴＭ　Ｆ３１６に記載のエアフロー法、パームポロメトリー法によって測定できる。
　分離膜１２は、各セルＣＬの内表面に形成される。分離膜１２は、筒状に形成される。分離膜１２は、分離対象である混合流体に含まれる透過成分を透過させる。混合流体は、分離膜１２の内表面側に供給され、透過成分は、分離膜１２の外表面側から流出する。分離膜１２の内表面は、セルＣＬの内表面でもある。分離膜１２の外表面は、多孔質基材１１との接続面である。本実施形態において、分離膜１２の内表面は、「第1主面」の一例であり、分離膜１２の外表面は、「第２主面」の一例である。
　なお、分離対象である混合流体は、混合液体であってもよいし、混合気体であってもよいが、本実施形態では特に混合液体が分離対象として想定されている。
　分離膜１２としては、ゼオライト膜（例えば、特開２００４－６６１８８号公報参照）、シリカ膜（例えば、国際公開第２００８／０５０８１２号パンフレット参照）、炭素膜（例えば、特開２００３－２８６０１８号公報参照）、有機無機ハイブリッド膜（例えば、特開２０１３－２０３６１８号公報）、セラミック膜（例えば、特開２００８－２４６３０４号公報参照）などが挙げられる。
　分離膜１２の平均細孔径は、要求される濾過性能及び分離性能に基づいて適宜決定されればよいが、例えば０．０００３μｍ～１．０μｍとすることができる。なお、本願の検査方法は、平均細孔径１０ｎｍ以下の分離膜において特に有用であり、平均細孔径１ｎｍ以下の分離膜において更に有用である。分離膜１２の平均細孔径は、細孔径の大きさに応じて、適宜測定方法を選択することができる。
　例えば、分離膜１２がゼオライト膜の場合、ゼオライトの細孔を形成する骨格が酸素ｎ員環以下の環からなる場合の酸素ｎ員環細孔の短径と長径の算術平均を平均細孔径とする。酸素ｎ員環とは、細孔を形成する骨格を構成する酸素原子の数がｎ個であって、Ｓｉ原子、Ａｌ原子、Ｐ原子の少なくとも１種を含み、各酸素原子がＳｉ原子、Ａｌ原子またはＰ原子などと結合して環状構造をなす部分のことである。ゼオライトが、ｎが等しい複数の酸素ｎ員環細孔を有する場合には、全ての酸素ｎ員環細孔の短径と長径の算術平均をゼオライトの平均細孔径とする。このように、ゼオライト膜の平均細孔径は骨格構造によって一義的に決定され、Ｔｈｅ　Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ　Ｚｅｏｌｉｔｅ　Ａｓｓｏｃｉａｔｉｏｎ　（ＩＺＡ）　“Ｄａｔａｂａｓｅ　ｏｆ　Ｚｅｏｌｉｔｅ　Ｓｔｒｕｃｔｕｒｅｓ”　［ｏｎｌｉｎｅ］、インターネット＜ＵＲＬ：http://www.iza-structure.org/databases/＞に開示されている値から求めることができる。
　例えば、分離膜１２がシリカ膜、炭素膜、有機無機ハイブリッド膜の場合、平均細孔径は以下の式（１）に基づいて求めることができる。式（１）において、ｄｐは平均細孔径、ｆは正規化されたクヌーセン型パーミアンス、ｄｋ，ｉはクヌーセン拡散試験に用いられる分子の直径、ｄｋ，Ｈｅはヘリウム分子の直径である。
　ｆ＝（１－ｄｋ，ｉ／ｄｐ）３／（１－ｄｋ，Ｈｅ／ｄｐ）３　　　・・・（１）
　クヌーセン拡散試験や平均細孔径の求め方の詳細は、Ｈｙｅ　Ｒｙｅｏｎ　Ｌｅｅほか４名、“Ｅｖａｌｕａｔｉｏｎ　ａｎｄ　ｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ　ｏｆ　ｐｏｒｅ－ｓｉｚｅ－ｔｕｎｅｄ　ｓｉｌｉｃａ　ｍｅｍｂｒａｎｅｓ　ｗｉｔｈ　ｔｅｔｒａｅｔｈｏｘｙｄｉｍｅｔｈｙｌ　ｄｉｓｉｌｏｘａｎｅ　ｆｏｒ　ｇａｓ　ｓｅｐａｒａｔｉｏｎ”、ＡＩＣｈＥ　Ｊｏｕｒｎａｌ　ｖｏｌｕｍｅ５７、Ｉｓｓｕｅ１０、２７５５－２７６５、Ｏｃｔｏｂｅｒ　２０１１に開示されている。
　例えば、分離膜１２がセラミック膜の場合、平均細孔径は、細孔径の大きさに応じて、パームポロメトリー法やナノパームポロメトリー法によって求めることができる。
　２．ケーシング２
　ケーシング２は、本体部２０、供給路２１、第１回収路２２及び第２回収路２３を有する。
　本体部２０は、分離膜構造体１を収容する。本体部２０は、金属部材（例えば、ステンレスなど）によって構成することができる。分離膜構造体１の両端部は、Ｏリング３を介して、本体部２０の内部に封止される。ただし、Ｏリング３周辺、すなわち分離膜構造体１とケーシング２との接合部分からリークが生じる場合があるため、検査用液体を用いてリーク検査を行う必要がある。検査用液体を用いたリーク検査については後述する。
　供給路２１は、分離対象である混合流体を本体部２０に供給するための配管である。供給路２１は、金属部材（例えば、ステンレスなど）によって構成することができる。
　第１回収路２２は、分離膜構造体１のセルＣＬを通過した、残りの混合流体を外部に排出するための配管である。第１回収路２２は、金属部材（例えば、ステンレスなど）によって構成することができる。
　第２回収路２３は、分離膜構造体１の分離膜１２を透過した透過成分を外部に排出するための配管である。第２回収路２３は、金属部材（例えば、ステンレスなど）によって構成することができる。
　（分離膜モジュール１０の作製方法）
　分離膜モジュール１０の作製方法の一例について説明する。
　１．多孔質基材１１の作製
　まず、骨材と結合材にメチルセルロースなどの有機バインダと分散材と水を加えて混練することによって坏土を調製する。
　次に、真空押出成形機を用いた押出成形法、プレス成型法、又は鋳込み成型法により、調製した坏土を用いてモノリス型成形体を形成する。
　次に、モノリス型成形体を焼成（例えば、５００℃～１５００℃、０．５時間～８０時間）することによって、複数のセルＣＬを有する多孔質基材１１を形成する。
　２．分離膜１２の作製
　多孔質基材１１の各セルＣＬの内表面に分離膜１２を形成する（分離膜形成工程）。分離膜１２の形成には、分離膜１２の膜種に適した手法を用いればよい。
　３．分離膜１２の組み付け
　分離膜構造体１の両端部にＯリング３を装着して、ケーシング２の内部に封止する（組み付け工程）。
　４．分離膜モジュール１０の検査
　次に、分離膜モジュール１０の検査を実施する。以下においては、検査用液体を用いた検査の一例として、Ｏリング３周辺、すなわち分離膜構造体１とケーシング２との接合部分からのリーク検査について説明する。
　（１）検査用液体の選定
　まず、リーク検査に用いられる検査用液体の選定手法について説明する。
　リーク検査に用いられる検査用液体は、分離膜１２の細孔に吸着しにくい特性を有していることが好ましい。そのため、検査用液体が分離膜１２の細孔に吸着しにくいものであることを、以下の手法で予め確認しておく必要がある。
　まず、分離膜構造体１の重量を計測する。
　次に、分離膜構造体１にＯリング３を取り付けてケーシング２内に封止する。
　次に、図２に示すように、供給路２１から０．１ＭＰａＧのＨｅ（ヘリウム）ガスを本体部２０内に充填する。この際、第１回収路２２を封止弁で封止してもよい。
　次に、分離膜１２を透過して第２回収路２３から流出するＨｅガスの透過流量に基づいて、Ｈｅガス透過速度［ｎｍｏｌ／ｍ２ｓＰａ］を測定する。
　次に、分離膜構造体１をケーシング２から取り出して、図３に示すように、分離膜構造体１を検査用液体に６０分間浸漬する。ただし、浸漬は検査用液体が分離膜１２に接していればよく、セル内のみに検査用液体を充填する方法でもよい。
　次に、図４に示すように、分離膜構造体１を検査用液体から引き揚げて、分離膜構造体１を１５０℃で２４時間、乾燥気体中で乾燥する。乾燥気体は、水分を含んでいないことが好ましい。具体的に、乾燥気体における含水率は、５００ｐｐｍ以下が好ましく、１００ｐｐｍ以下がより好ましい。
　次に、乾燥させた分離膜構造体１の重量を再計測して、検査用液体への浸漬前の重量に対する増加分が１％以下であることを確認する。
　次に、分離膜構造体１にＯリング３を取り付けてケーシング２内に再度封止する。
　次に、図２に示すように、供給路２１から０．１ＭＰａＧのＨｅガスを本体部２０内に再充填する。
　次に、分離膜１２を透過して第２回収路２３から流出するＨｅガスの透過流量に基づいて、Ｈｅガス透過速度［ｎｍｏｌ／ｍ２ｓＰａ］を再測定する。
　次に、検査用液体への浸漬後に測定したＨｅガス透過速度を検査用液体への浸漬前に測定したＨｅガス透過速度で除すことによって、検査用液体への浸漬後におけるＨｅガス透過速度低下率を算出する。
　そして、算出したＨｅガス透過速度低下率が１０％以下であれば、この検査用液体は、分離膜１２の細孔に吸着しにくいため、リーク検査に好適であると判断できる。一方、算出したＨｅガス透過速度低下率が１０％より大きい場合には、他の検査用液体についてＨｅガス透過速度低下率を算出し、再度、１０％以下か否かを判定すればよい。
　以上のようにＨｅガス透過速度低下率が１０％以下になる特性を有する検査用液体は、分離膜１２の種類や組成などによって変わる。そのため、検査用液体は、実際に使用される分離膜１２を用いて選定すればよく、その種類は特に制限されるものではないが、例えば、フッ素系液体、シリコーン系液体から選択される少なくとも１種を用いることができる。フッ素系液体としては、例えばフロリナート（登録商標）、ノベック（登録商標）、ガルデン（登録商標）などが挙げられる。シリコーン系液体としては、例えばＫＦ９６Ｌ（信越化学製）などが挙げられる。なお、検査用液体としては、入手容易性と取り扱い性を考慮すると、フロリナートが特に好ましい。
　また、２５℃における検査用液体の蒸気圧は、１．０×１０３Ｐａ以上であることが好ましい。これにより、後述するリーク検査後において、検査用液体を速やかに蒸発させることができる。
　また、分離膜１２として、ＳｉＯ２／Ａｌ２Ｏ３が２００以下のゼオライト膜を用いる場合には、検査用液体における含水率は２０％未満であることが好ましい。ＳｉＯ２／Ａｌ２Ｏ３が２００以下のゼオライト膜では、水分が細孔に吸着して透過速度が低減しやすいため、検査用液体の含水率を２０％未満にすることによって、透過速度が低減することを特に抑制できる。検査用液体における含水率は、１０％以下がより好ましく、５％以下が特に好ましい。
　また、検査用液体は、不燃性であることが好ましい。これにより、検査用液体を用いた検査を安全に実施することができる。
　また、検査用液体は、分離膜構造体１及びケーシング２に対して不活性であることが好ましい。これにより、分離膜１２が検査用液体と反応して劣化したり、ケーシング２が検査用液体と反応して腐蝕したりすることを抑制できる。
　（２）リーク検査
　次に、上述の手法で選定された検査用液体を用いたリーク検査について説明する。
　上述の組み付け工程において、分離膜構造体１はケーシング２内に封止されている。
　まず、図５に示すように、第１回収路２２を封止弁２４で封止した後、供給路２１から検査用液体を本体部２０内に充填する。これによって、検査用液体が分離膜１２の第1主面側に満たされた状態になる。
　次に、図６に示すように、供給路２１側から加圧ブースターポンプ３０を用いて、分離膜１２の第1主面側に満たされた検査用液体を所定圧力（例えば、１ＭＰａ～２０ＭＰａ）で加圧する。
　次に、ブースターポンプ３０を止めて、検査用液体の圧力をリアルタイムで計測しながら、そのまま所定時間（例えば、１分～６０分）保持する。
　そして、計測開始時の圧力と所定時間経過後の圧力との差を算出して、その差に基づいてリークの程度を判定する（検査工程）。
　次に、第１回収路２２の封止弁２４を開放して、ケーシング２内から検査用液体を抜き取る。
　次に、分離膜１２を乾燥気体中で乾燥する（乾燥工程）。この際、Ｏリングの耐熱限界温度以下で分離膜１２を乾燥することが好ましい。このようにＯリングの耐熱限界温度以下で分離膜１２を乾燥するのであれば、分離膜構造体１をケーシング２から取り出さずに乾燥できるため簡便である。また、乾燥気体は、水分を含んでいないことが好ましい。具体的に、乾燥気体における含水率は、５００ｐｐｍ以下が好ましく、１００ｐｐｍ以下がより好ましい。
　以上により、分離膜モジュール１０が完成する。
　（変形例）
　以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
　上記実施形態では、本発明に係る検査用液体を用いた検査方法を、分離膜モジュール１０のリーク検査に適用した場合について説明したが、それ以外の様々な検査に適用することができる。例えば、本発明に係る検査用液体を用いた検査方法は、分離膜構造体１の検査に適用することができる。分離膜構造体１の検査とは、例えば、特許文献２（特開２０１４－４６２８６号公報）に開示された強度試験などである。このように、本発明に係る検査用液体を用いた検査方法を分離膜構造体１の検査に適用した場合には、分離膜形成工程の後、検査工程が終了した時点で分離膜構造体１が完成したとみなすことができる。
　上記実施形態において、分離モジュール１０の検査工程では、検査用液体の圧力変化に基づいてリーク検査することとしたが、これに限られるものではない。例えば、検査用液体を加圧する加圧ブースター３０からの吐出量、圧縮量及び加圧終了までの経過時間の少なくとも１つに基づいてリーク検査することができる。或いは、分離膜１２の第２主面側にガスを満たし、そのガスを加圧した際における検査用液体中の発泡状況に基づいてリーク検査することもできる。
　上記実施形態では、分離膜１２が多孔質基材１１上に直接形成されることとしたが、分離膜１２と多孔質基材１１との間には１層ないし複数層の中間層が配置されていてもよい。中間層は、多孔質基材１１と同様の材料によって構成することができる。中間層の細孔径は、多孔質基材１１の細孔径よりも小さいことが好ましい。
　（サンプルＮｏ．１）
　１．分離膜構造体の作製
　まず、平均粒径１２μｍのアルミナ粒子（骨材）７０体積％に対して無機結合材３０体積％を添加し、更に有機バインダ等の成形助剤や造孔剤を添加して乾式混合した後、水、界面活性剤を加えて混合し混練することにより坏土を調製した。無機結合材としては、平均粒径が１～５μｍであるタルク、カオリン、長石、粘土等をＳｉＯ２（７０質量％）、Ａｌ２Ｏ３（１６質量％）、アルカリ土類金属およびアルカリ金属（１１質量％）の混合物を用いた。
　次に、坏土を押出成形して、モノリス型の多孔質基材の成形体を作成した。そして、多孔質基材の成形体を焼成（１２５０℃、１時間）して、多数のセルを有するアルミナ基体を得た。
　次に、アルミナ粉末にＰＶＡ（有機バインダ）を添加してスラリーを調製し、スラリーを用いた濾過法によってアルミナ基体のセルの内表面上に中間層の成形体を形成した。続いて、中間層の成形体を焼成（１２５０℃、１時間）することによって中間層を形成した。
　次に、アルミナ基体の両端面をガラスでシールした。以上により、モノリス型の多孔質基材が完成した。
　次に、国際公開番号ＷＯ２０１１１０５５１１に記載の方法に基づき、多孔質基材の各セルの内表面の中間層上にＤＤＲ型ゼオライト膜（細孔径：０．４０ｎｍ）を分離膜として形成した。以上により、ＤＤＲ型ゼオライト膜と、ＤＤＲ型ゼオライト膜が形成された多孔質基材とによって構成されるサンプルＮｏ．１に係る分離膜構造体が完成した。
　２．検査用液体としてのフロリナートについての検討
　まず、分離膜構造体の重量を計測した。
　次に、図２に示したように、分離膜構造体をケーシング内にセットし、０．１ＭＰａＧのＨｅガスを供給路から供給しながら、第２回収路から流出するＨｅガスの透過流量に基づいて、Ｈｅガス透過速度を測定した。検査用液体への浸漬前のＨｅガス透過速度は、１４９［ｎｍｏｌ／ｍ２ｓＰａ］であった。
　次に、分離膜構造体をケーシングから取り出して、図３に示したように、分離膜構造体を検査用液体であるフロリナート中に６０分間浸漬した。
　次に、図４に示したように、分離膜構造体をフロリナートから引き揚げて、分離膜構造体１を１５０℃で２４時間、乾燥気体中で乾燥した。乾燥気体にはＨｅを用いた。
　次に、乾燥させた分離膜構造体の重量を再計測して、フロリナートへの浸漬前の重量に対する増加分が１％以下であることを確認した。
　次に、分離膜構造体にＯリングを取り付けてケーシング２内に再度封止し、図２に示したように、０．１ＭＰａＧのＨｅガスを供給路から供給しながら、第２回収路から流出するＨｅガスの透過流量に基づいて、Ｈｅガス透過速度を再測定した。フロリナートへの浸漬前のＨｅガス透過速度は、１４９［ｎｍｏｌ／ｍ２ｓＰａ］であった。
　そして、フロリナートへの浸漬後に測定したＨｅガス透過速度をフロリナートへの浸漬前に測定したＨｅガス透過速度で除すことによって、フロリナートへの浸漬後におけるＨｅガス透過速度低下率を算出した。
　サンプルＮｏ．１の分離膜構造体におけるＨｅガス透過速度低下率は、０％であったため、フロリナートはＤＤＲゼオライト膜のリーク検査に好適であることが確認された。
　３．リーク検査
　まず、分離膜構造体をケーシング内に封止して、あらかじめＣＯ２とＣＨ４の混合ガスをＤＤＲ型ゼオライト膜に供給して、ガス分離性能を測定した。分離係数（α）は１２０［ｎｍｏｌ／ｍ２ｓＰａ］であり、ＣＯ２の透過速度は７４４［ｎｍｏｌ／ｍ２ｓＰａ］であった。
　次に、図５に示したように、供給路からフロリナートを充填した。そして、図６に示したように、供給路側から加圧ブースターポンプを用いて、分離膜の第1主面側に満たされたフロリナートを１０ＭＰａで加圧した。
　次に、ブースターポンプを止めて、フロリナートの圧力をリアルタイムで計測しながら、そのまま１０分保持し、計測開始時の圧力と１０分経過後の圧力との差を基づいてリークの程度を判定した。
　次に、ケーシング２からフロリナートを抜き取って、供給路側から乾燥気体であるＨｅを供給することによって、ＤＤＲ型ゼオライト膜を１５０℃で乾燥した。
　４．ガス分離試験
　上記リーク検査後、リーク検査前に行ったガス分離試験と同様に、ＣＯ２とＣＨ４の混合ガスをＤＤＲ型ゼオライト膜に供給して、ガス分離性能を再測定した。
　Ｈｅガス透過速度低下率が０％であるフロリナートを用いてリーク検査を行ったサンプルＮｏ．１において、ＤＤＲ型ゼオライト膜の分離係数（α）は１２０［ｎｍｏｌ／ｍ２ｓＰａ］であり、ＣＯ２透過速度は、７４４［ｎｍｏｌ／ｍ２ｓＰａ］であった。すなわち、リーク検査後における分離係数及び透過速度の低下率は、０％であった。
　（サンプルＮｏ．２）
　サンプルＮｏ．１と同じ分離膜構造体を作製し、検査用液体としてガルデン（登録商標）を用いてＨｅガス透過速度低下率を測定したところ、－２％であったため、ガルデンはＤＤＲゼオライト膜のリーク検査に好適であることが確認された。
　また、サンプルＮｏ．１と同様に、ガルデンを用いたリーク検査の前後でガス分離試験を行ったところ、リーク検査後における透過速度の低下率は０％と良好であった。
　（サンプルＮｏ．３）
　サンプルＮｏ．１と同じ分離膜構造体を作製し、検査用液体としてＫＦ９６Ｌ（信越化学製）を用いてＨｅガス透過速度低下率を測定したところ、－８％であったため、ＫＦ９６ＬはＤＤＲゼオライト膜のリーク検査に好適であることが確認された。
　また、サンプルＮｏ．１と同様に、ＫＦ９６Ｌを用いたリーク検査の前後でガス分離試験を行ったところ、リーク検査後における透過速度の低下率は、－５％と良好であった。
　（サンプルＮｏ．４）
　分離膜としてＡＥＩ型ゼオライト膜（細孔径：０．３８ｎｍ）を形成した以外は、サンプルＮｏ．１と同じ手法で分離膜構造体を作製した。ＡＥＩ型ゼオライト膜は、国際公開番号ＷＯ２０１４／１５７３２４に記載の方法に基づき作製した。
　そして、サンプルＮｏ．１と同じ手法でＨｅガス透過速度低下率を測定したところ、０％であったため、フロリナートはＡＥＩ型ゼオライト膜のリーク検査に好適であることが確認された。
　また、サンプルＮｏ．１と同様に、フロリナートを用いたリーク検査の前後でガス分離試験を行ったところ、リーク検査後における透過速度の低下率は、０％と良好であった。
　（サンプルＮｏ．５）
　分離膜としてシリカ膜（細孔径：１．０ｎｍ）を形成した以外は、サンプルＮｏ．１と同じ手法で分離膜構造体を作製した。シリカ膜は、国際公開番号ＷＯ２０１１１１８２５２に記載の方法に基づき作製した。
　そして、サンプルＮｏ．１と同じ手法でＨｅガス透過速度低下率を測定したところ、０％であったため、フロリナートはシリカ膜のリーク検査に好適であることが確認された。
　また、サンプルＮｏ．１と同様に、フロリナートを用いたリーク検査の前後でガス分離試験を行ったところ、リーク検査後における透過速度の低下率は、０％と良好であった。
　（サンプルＮｏ．６）
　分離膜として炭素膜（細孔径：０．３ｎｍ）を形成した以外は、サンプルＮｏ．１と同じ手法で分離膜構造体を作製した。炭素膜は、国際公開番号ＷＯ２０１３１４５８６３に記載の方法に基づき作製した。
　そして、サンプルＮｏ．１と同じ手法でＨｅガス透過速度低下率を測定したところ、０％であったため、フロリナートは炭素膜のリーク検査に好適であることが確認された。
　また、サンプルＮｏ．１と同様に、フロリナートを用いたリーク検査の前後でガス分離試験を行ったところ、リーク検査後における透過速度の低下率は、０％と良好であった。
　（サンプルＮｏ．７）
　サンプルＮｏ．１と同じ分離膜構造体を作製し、検査用液体としてイオン交換水を用いてＨｅガス透過速度低下率を測定したところ、－２８％であったため、イオン交換水はＤＤＲゼオライト膜のリーク検査に好適ではないことが確認された。
　また、サンプルＮｏ．１と同様の手法で、イオン交換水を用いたリーク検査の前後でガス分離試験を行ったところ、リーク検査後における透過速度の低下率は－３１％と過大であった。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
  
　表１に示すように、分離膜構造体を６０分間浸漬した後に１５０℃で２４時間乾燥した場合の分離膜のＨｅガス透過速度低下率が１０％以下になる特性を有する検査用液体を用いてリーク試験を実施したサンプルＮｏ．１～６では、リーク検査後に透過速度が低下することを抑制できた。これは、各分離膜に適した検査用液体が選定されているため、リーク検査中に検査用液体が分離膜の細孔に吸着することを抑制できたためである。
　一方、サンプルＮｏ．７では、リーク検査中に検査用液体が分離膜の細孔に吸着したため、リーク検査後に透過速度が大幅に低下してしまった。
１０　　分離膜モジュール
１　　　分離膜構造体
１１　　多孔質基材
１２　　分離膜
２　　　ケーシング
２１　　供給路
２２　　第１回収路
２３　　第２回収路
ＣＬ　　セル

Claims (11)

  1. 　多孔質基材と分離膜とを有する分離膜構造体の検査方法であって、
    　前記分離膜の第1主面側に満たされた検査用液体を加圧する検査工程を備え、
    　前記検査用液体は、前記分離膜構造体を前記検査用液体に６０分間浸漬した後に１５０℃で２４時間乾燥した場合、前記分離膜のＨｅガス透過速度低下率が１０％以下になる特性を有する、
    分離膜構造体の検査方法。
  2. 　前記検査工程では、前記検査用液体の圧力変化に基づいてリーク検査する、
    請求項１に記載の分離膜構造体の検査方法。
  3. 　前記検査工程では、前記検査用液体を加圧ブースターで加圧し、前記加圧ブースターの吐出量、圧縮量及び加圧終了までの経過時間の少なくとも１つに基づいてリーク検査する、
    請求項１に記載の分離膜構造体の検査方法。
  4. 　前記検査工程では、前記分離膜の第２主面側に満たされたガスを加圧した際における前記検査用液体中の発泡状況に基づいてリーク検査する、
    請求項１に記載の分離膜構造体の検査方法。
  5. 　２５℃における前記検査用液体の蒸気圧は、１．０×１０３Ｐａ以上である、
    請求項１乃至４のいずれかに記載の分離膜構造体の検査方法。
  6. 　前記検査用液体は、フッ素系液体である、
    請求項１乃至５のいずれかに記載の分離膜構造体の検査方法。
  7. 　前記検査工程後に、前記分離膜をＯリングの耐熱限界温度以下で乾燥させる乾燥工程を備える、
    請求項１乃至６のいずれかに記載の分離膜構造体の検査方法。
  8. 　前記分離膜は、ＳｉＯ２／Ａｌ２Ｏ３が２００以下のゼオライト膜である、
    請求項１乃至７のいずれかに記載の分離膜構造体の検査方法。
  9. 　前記検査用液体における含水率は、２０％未満である、
    請求項８に記載の分離膜構造体の検査方法。
  10. 　多孔質基材と分離膜とを有する分離膜構造体をケーシング内に封止する組み付け工程と、
    　前記分離膜の第1主面側に満たされた検査用液体を加圧する検査工程と、
    を備え、
    　前記検査用液体は、前記分離膜構造体を前記検査用液体に６０分間浸漬した後に１５０℃で２４時間乾燥した場合、前記分離膜のＨｅ透過速度低下率が１０％以下になる特性を有する、
    分離膜モジュールの製造方法。
  11. 　多孔質基材の表面に分離膜を形成する分離膜形成工程と、
    　前記分離膜の第1主面側に満たされた検査用液体を加圧する検査工程と、
    を備え、
    　前記検査用液体は、前記分離膜構造体を前記検査用液体に６０分間浸漬した後に１５０℃で２４時間乾燥した場合、前記分離膜のＨｅ透過速度低下率が１０％以下になる特性を有する、
    分離膜構造体の製造方法。
     
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