JPWO2018179959A1 - 分離膜構造体の検査方法、分離膜モジュールの製造方法、及び分離膜構造体の製造方法 - Google Patents
分離膜構造体の検査方法、分離膜モジュールの製造方法、及び分離膜構造体の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2018179959A1 JPWO2018179959A1 JP2019508735A JP2019508735A JPWO2018179959A1 JP WO2018179959 A1 JPWO2018179959 A1 JP WO2018179959A1 JP 2019508735 A JP2019508735 A JP 2019508735A JP 2019508735 A JP2019508735 A JP 2019508735A JP WO2018179959 A1 JPWO2018179959 A1 JP WO2018179959A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- separation membrane
- membrane structure
- inspection
- liquid
- test
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000012528 membrane Substances 0.000 title claims abstract description 195
- 238000000926 separation method Methods 0.000 title claims abstract description 181
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 60
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 14
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims abstract description 105
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 88
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims abstract description 55
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 29
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims abstract description 11
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims abstract description 6
- 229910021536 Zeolite Inorganic materials 0.000 claims description 23
- HNPSIPDUKPIQMN-UHFFFAOYSA-N dioxosilane;oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O HNPSIPDUKPIQMN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 23
- 239000010457 zeolite Substances 0.000 claims description 23
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 4
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 2
- 230000006835 compression Effects 0.000 claims description 2
- 238000007906 compression Methods 0.000 claims description 2
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 claims description 2
- 230000005587 bubbling Effects 0.000 claims 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 59
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 35
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 15
- RVZRBWKZFJCCIB-UHFFFAOYSA-N perfluorotributylamine Chemical compound FC(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)N(C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)F RVZRBWKZFJCCIB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 11
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 9
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 9
- 238000001612 separation test Methods 0.000 description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 6
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 5
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 5
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 5
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002585 base Substances 0.000 description 3
- 239000004927 clay Substances 0.000 description 3
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 description 2
- 229910052784 alkaline earth metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000001342 alkaline earth metals Chemical class 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 2
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 2
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 2
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 2
- 125000004430 oxygen atom Chemical group O* 0.000 description 2
- 125000004437 phosphorous atom Chemical group 0.000 description 2
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 2
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 2
- -1 selven Chemical compound 0.000 description 2
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 2
- 239000005995 Aluminium silicate Substances 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000012211 aluminium silicate Nutrition 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 1
- 229910052878 cordierite Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- JSKIRARMQDRGJZ-UHFFFAOYSA-N dimagnesium dioxido-bis[(1-oxido-3-oxo-2,4,6,8,9-pentaoxa-1,3-disila-5,7-dialuminabicyclo[3.3.1]nonan-7-yl)oxy]silane Chemical compound [Mg++].[Mg++].[O-][Si]([O-])(O[Al]1O[Al]2O[Si](=O)O[Si]([O-])(O1)O2)O[Al]1O[Al]2O[Si](=O)O[Si]([O-])(O1)O2 JSKIRARMQDRGJZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KZHJGOXRZJKJNY-UHFFFAOYSA-N dioxosilane;oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Si]=O.O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O.O=[Al]O[Al]=O.O=[Al]O[Al]=O KZHJGOXRZJKJNY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 description 1
- 238000007580 dry-mixing Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 239000010433 feldspar Substances 0.000 description 1
- 239000000706 filtrate Substances 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 238000005187 foaming Methods 0.000 description 1
- NLYAJNPCOHFWQQ-UHFFFAOYSA-N kaolin Chemical compound O.O.O=[Al]O[Si](=O)O[Si](=O)O[Al]=O NLYAJNPCOHFWQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004898 kneading Methods 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 229920000609 methyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- 239000001923 methylcellulose Substances 0.000 description 1
- 235000010981 methylcellulose Nutrition 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 229910052863 mullite Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
- 239000012466 permeate Substances 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 1
- 239000000454 talc Substances 0.000 description 1
- 229910052623 talc Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D65/00—Accessories or auxiliary operations, in general, for separation processes or apparatus using semi-permeable membranes
- B01D65/10—Testing of membranes or membrane apparatus; Detecting or repairing leaks
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/08—Investigating permeability, pore-volume, or surface area of porous materials
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D65/00—Accessories or auxiliary operations, in general, for separation processes or apparatus using semi-permeable membranes
- B01D65/10—Testing of membranes or membrane apparatus; Detecting or repairing leaks
- B01D65/102—Detection of leaks in membranes
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D71/00—Semi-permeable membranes for separation processes or apparatus characterised by the material; Manufacturing processes specially adapted therefor
- B01D71/02—Inorganic material
- B01D71/0215—Silicon carbide; Silicon nitride; Silicon oxycarbide
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/08—Investigating permeability, pore-volume, or surface area of porous materials
- G01N15/082—Investigating permeability by forcing a fluid through a sample
- G01N15/0826—Investigating permeability by forcing a fluid through a sample and measuring fluid flow rate, i.e. permeation rate or pressure change
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/08—Investigating permeability, pore-volume, or surface area of porous materials
- G01N15/088—Investigating volume, surface area, size or distribution of pores; Porosimetry
- G01N15/0886—Mercury porosimetry
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D63/00—Apparatus in general for separation processes using semi-permeable membranes
- B01D63/06—Tubular membrane modules
- B01D63/066—Tubular membrane modules with a porous block having membrane coated passages
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D71/00—Semi-permeable membranes for separation processes or apparatus characterised by the material; Manufacturing processes specially adapted therefor
- B01D71/02—Inorganic material
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L2300/00—Additional constructional details
- B01L2300/06—Auxiliary integrated devices, integrated components
- B01L2300/0681—Filter
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L2300/00—Additional constructional details
- B01L2300/08—Geometry, shape and general structure
- B01L2300/0832—Geometry, shape and general structure cylindrical, tube shaped
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L2400/00—Moving or stopping fluids
- B01L2400/04—Moving fluids with specific forces or mechanical means
- B01L2400/0403—Moving fluids with specific forces or mechanical means specific forces
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/08—Investigating permeability, pore-volume, or surface area of porous materials
- G01N2015/084—Testing filters
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Dispersion Chemistry (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Pathology (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
- Silicates, Zeolites, And Molecular Sieves (AREA)
Abstract
分離膜モジュール（１０）の検査方法は、多孔質基材（１１）と分離膜（１２）とを有する分離膜構造体（１）をケーシング（２）内に封止する組み付け工程と、分離膜（１２）の第1主面側に満たされた検査用液体を加圧する検査工程とを備える。検査用液体は、分離膜構造体（１）を検査用液体に６０分間浸漬した後に１５０℃で２４時間乾燥した場合、分離膜のＨｅ透過速度低下率が１０％以下になる特性を有する。
Description
本発明は、分離膜構造体の検査方法、分離膜モジュールの製造方法、及び分離膜構造体の製造方法に関する。
従来、多孔質基材と分離膜とを有する分離膜構造体について、出荷前に強度検査が行われたり、或いは、モジュールへの組み付け後にリーク検査が行われたりしている。
例えば、特許文献１では、モジュールに組み付けられた分離膜の第１主面側にろ過液を充填した状態で第２主面側に加圧気体を供給することによって、分離膜の欠陥や分離膜のシール不良などを検査する手法が提案されている。しかしながら、特許文献１の手法では、検査のために多量の加圧気体が必要であるため高コストになるという問題がある。
そこで、特許文献２では、分離膜の第１主面側に充填された液体を加圧することによって、分離膜の強度を検査する手法が提案されている。
しかしながら、特許文献２の手法では、分離膜の細孔に液体が吸着すると、検査後に分離膜の透過性能が低下してしまうという問題がある。
本発明は、上述の状況に鑑みてなされたものであり、分離膜の透過性能の低下を抑制可能な分離膜構造体の検査方法、分離膜モジュールの製造方法、及び分離膜構造体の製造方法を提供することを目的とする。
本発明に係る分離膜構造体の検査方法は、多孔質基材と分離膜とを有する分離膜構造体をケーシング内に封止する組み付け工程と、分離膜の第1主面側に満たされた検査用液体を加圧する検査工程とを備える。検査用液体は、分離膜構造体を検査用液体に６０分間浸漬した後に１５０℃で２４時間乾燥した場合、分離膜のＨｅ透過速度低下率が１０％以下になる特性を有する。
本発明によれば、分離膜の透過性能の低下を抑制可能な分離膜構造体の検査方法、分離膜モジュールの製造方法、及び分離膜構造体の製造方法を提供することができる。
（分離膜モジュール１０）
図１は、分離膜モジュール１０の断面図である。分離膜モジュール１０は、分離膜構造体１とケーシング２とを備える。
図１は、分離膜モジュール１０の断面図である。分離膜モジュール１０は、分離膜構造体１とケーシング２とを備える。
１．分離膜構造体１
分離膜構造体１は、モノリス型である。モノリス型とは、長手方向に貫通した複数のセルを有する形状を意味し、ハニカムを含む概念である。分離膜構造体１は、ケーシング２の内部に配置される。
分離膜構造体１は、モノリス型である。モノリス型とは、長手方向に貫通した複数のセルを有する形状を意味し、ハニカムを含む概念である。分離膜構造体１は、ケーシング２の内部に配置される。
分離膜構造体１は、多孔質基材１１と分離膜１２とを有する。
多孔質基材１１は、長手方向に延びる円柱状に形成される。多孔質基材１１の内部には、複数のセルＣＬが形成されている。各セルＣＬは、長手方向に延びる。各セルＣＬは、多孔質基材１１の両端面に連なる。
多孔質基材１１は、骨材と結合材によって構成される。骨材としては、アルミナ、炭化珪素、チタニア、ムライト、セルベン、及びコージェライトなどを用いることができる。結合材としては、アルカリ金属及びアルカリ土類金属の少なくとも一方と、ケイ素（Ｓｉ）と、アルミニウム（Ａｌ）とを含むガラス材料を用いることができる。基材１１における結合材の含有率は、２０体積％以上４０体積％以下とすることができ、２５体積％以上３５体積％以下が好ましい。
多孔質基材１１の気孔率は特に制限されないが、例えば２５％〜５０％とすることができる。多孔質基材１１の気孔率は、水銀圧入法によって測定できる。多孔質基材１１の平均細孔径は特に制限されないが、０．１μｍ〜５０μｍとすることができる。多孔質基材１１の平均細孔径は、細孔径の大きさに応じて、水銀圧入法、ＡＳＴＭ Ｆ３１６に記載のエアフロー法、パームポロメトリー法によって測定できる。
分離膜１２は、各セルＣＬの内表面に形成される。分離膜１２は、筒状に形成される。分離膜１２は、分離対象である混合流体に含まれる透過成分を透過させる。混合流体は、分離膜１２の内表面側に供給され、透過成分は、分離膜１２の外表面側から流出する。分離膜１２の内表面は、セルＣＬの内表面でもある。分離膜１２の外表面は、多孔質基材１１との接続面である。本実施形態において、分離膜１２の内表面は、「第1主面」の一例であり、分離膜１２の外表面は、「第２主面」の一例である。
なお、分離対象である混合流体は、混合液体であってもよいし、混合気体であってもよいが、本実施形態では特に混合液体が分離対象として想定されている。
分離膜１２としては、ゼオライト膜（例えば、特開２００４−６６１８８号公報参照）、シリカ膜（例えば、国際公開第２００８／０５０８１２号パンフレット参照）、炭素膜（例えば、特開２００３−２８６０１８号公報参照）、有機無機ハイブリッド膜（例えば、特開２０１３−２０３６１８号公報）、セラミック膜（例えば、特開２００８−２４６３０４号公報参照）などが挙げられる。
分離膜１２の平均細孔径は、要求される濾過性能及び分離性能に基づいて適宜決定されればよいが、例えば０．０００３μｍ〜１．０μｍとすることができる。なお、本願の検査方法は、平均細孔径１０ｎｍ以下の分離膜において特に有用であり、平均細孔径１ｎｍ以下の分離膜において更に有用である。分離膜１２の平均細孔径は、細孔径の大きさに応じて、適宜測定方法を選択することができる。
例えば、分離膜１２がゼオライト膜の場合、ゼオライトの細孔を形成する骨格が酸素ｎ員環以下の環からなる場合の酸素ｎ員環細孔の短径と長径の算術平均を平均細孔径とする。酸素ｎ員環とは、細孔を形成する骨格を構成する酸素原子の数がｎ個であって、Ｓｉ原子、Ａｌ原子、Ｐ原子の少なくとも１種を含み、各酸素原子がＳｉ原子、Ａｌ原子またはＰ原子などと結合して環状構造をなす部分のことである。ゼオライトが、ｎが等しい複数の酸素ｎ員環細孔を有する場合には、全ての酸素ｎ員環細孔の短径と長径の算術平均をゼオライトの平均細孔径とする。このように、ゼオライト膜の平均細孔径は骨格構造によって一義的に決定され、Ｔｈｅ Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ Ｚｅｏｌｉｔｅ Ａｓｓｏｃｉａｔｉｏｎ （ＩＺＡ） “Ｄａｔａｂａｓｅ ｏｆ Ｚｅｏｌｉｔｅ Ｓｔｒｕｃｔｕｒｅｓ” ［ｏｎｌｉｎｅ］、インターネット＜ＵＲＬ：http://www.iza-structure.org/databases/＞に開示されている値から求めることができる。
例えば、分離膜１２がシリカ膜、炭素膜、有機無機ハイブリッド膜の場合、平均細孔径は以下の式（１）に基づいて求めることができる。式（１）において、ｄｐは平均細孔径、ｆは正規化されたクヌーセン型パーミアンス、ｄｋ，ｉはクヌーセン拡散試験に用いられる分子の直径、ｄｋ，Ｈｅはヘリウム分子の直径である。
ｆ＝（１−ｄｋ，ｉ／ｄｐ）３／（１−ｄｋ，Ｈｅ／ｄｐ）３ ・・・（１）
ｆ＝（１−ｄｋ，ｉ／ｄｐ）３／（１−ｄｋ，Ｈｅ／ｄｐ）３ ・・・（１）
クヌーセン拡散試験や平均細孔径の求め方の詳細は、Ｈｙｅ Ｒｙｅｏｎ Ｌｅｅほか４名、“Ｅｖａｌｕａｔｉｏｎ ａｎｄ ｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ ｏｆ ｐｏｒｅ−ｓｉｚｅ−ｔｕｎｅｄ ｓｉｌｉｃａ ｍｅｍｂｒａｎｅｓ ｗｉｔｈ ｔｅｔｒａｅｔｈｏｘｙｄｉｍｅｔｈｙｌ ｄｉｓｉｌｏｘａｎｅ ｆｏｒ ｇａｓ ｓｅｐａｒａｔｉｏｎ”、ＡＩＣｈＥ Ｊｏｕｒｎａｌ ｖｏｌｕｍｅ５７、Ｉｓｓｕｅ１０、２７５５−２７６５、Ｏｃｔｏｂｅｒ ２０１１に開示されている。
例えば、分離膜１２がセラミック膜の場合、平均細孔径は、細孔径の大きさに応じて、パームポロメトリー法やナノパームポロメトリー法によって求めることができる。
２．ケーシング２
ケーシング２は、本体部２０、供給路２１、第１回収路２２及び第２回収路２３を有する。
ケーシング２は、本体部２０、供給路２１、第１回収路２２及び第２回収路２３を有する。
本体部２０は、分離膜構造体１を収容する。本体部２０は、金属部材（例えば、ステンレスなど）によって構成することができる。分離膜構造体１の両端部は、Ｏリング３を介して、本体部２０の内部に封止される。ただし、Ｏリング３周辺、すなわち分離膜構造体１とケーシング２との接合部分からリークが生じる場合があるため、検査用液体を用いてリーク検査を行う必要がある。検査用液体を用いたリーク検査については後述する。
供給路２１は、分離対象である混合流体を本体部２０に供給するための配管である。供給路２１は、金属部材（例えば、ステンレスなど）によって構成することができる。
第１回収路２２は、分離膜構造体１のセルＣＬを通過した、残りの混合流体を外部に排出するための配管である。第１回収路２２は、金属部材（例えば、ステンレスなど）によって構成することができる。
第２回収路２３は、分離膜構造体１の分離膜１２を透過した透過成分を外部に排出するための配管である。第２回収路２３は、金属部材（例えば、ステンレスなど）によって構成することができる。
（分離膜モジュール１０の作製方法）
分離膜モジュール１０の作製方法の一例について説明する。
分離膜モジュール１０の作製方法の一例について説明する。
１．多孔質基材１１の作製
まず、骨材と結合材にメチルセルロースなどの有機バインダと分散材と水を加えて混練することによって坏土を調製する。
まず、骨材と結合材にメチルセルロースなどの有機バインダと分散材と水を加えて混練することによって坏土を調製する。
次に、真空押出成形機を用いた押出成形法、プレス成型法、又は鋳込み成型法により、調製した坏土を用いてモノリス型成形体を形成する。
次に、モノリス型成形体を焼成（例えば、５００℃〜１５００℃、０．５時間〜８０時間）することによって、複数のセルＣＬを有する多孔質基材１１を形成する。
２．分離膜１２の作製
多孔質基材１１の各セルＣＬの内表面に分離膜１２を形成する（分離膜形成工程）。分離膜１２の形成には、分離膜１２の膜種に適した手法を用いればよい。
多孔質基材１１の各セルＣＬの内表面に分離膜１２を形成する（分離膜形成工程）。分離膜１２の形成には、分離膜１２の膜種に適した手法を用いればよい。
３．分離膜１２の組み付け
分離膜構造体１の両端部にＯリング３を装着して、ケーシング２の内部に封止する（組み付け工程）。
分離膜構造体１の両端部にＯリング３を装着して、ケーシング２の内部に封止する（組み付け工程）。
４．分離膜モジュール１０の検査
次に、分離膜モジュール１０の検査を実施する。以下においては、検査用液体を用いた検査の一例として、Ｏリング３周辺、すなわち分離膜構造体１とケーシング２との接合部分からのリーク検査について説明する。
次に、分離膜モジュール１０の検査を実施する。以下においては、検査用液体を用いた検査の一例として、Ｏリング３周辺、すなわち分離膜構造体１とケーシング２との接合部分からのリーク検査について説明する。
（１）検査用液体の選定
まず、リーク検査に用いられる検査用液体の選定手法について説明する。
まず、リーク検査に用いられる検査用液体の選定手法について説明する。
リーク検査に用いられる検査用液体は、分離膜１２の細孔に吸着しにくい特性を有していることが好ましい。そのため、検査用液体が分離膜１２の細孔に吸着しにくいものであることを、以下の手法で予め確認しておく必要がある。
まず、分離膜構造体１の重量を計測する。
次に、分離膜構造体１にＯリング３を取り付けてケーシング２内に封止する。
次に、図２に示すように、供給路２１から０．１ＭＰａＧのＨｅ（ヘリウム）ガスを本体部２０内に充填する。この際、第１回収路２２を封止弁で封止してもよい。
次に、分離膜１２を透過して第２回収路２３から流出するＨｅガスの透過流量に基づいて、Ｈｅガス透過速度［ｎｍｏｌ／ｍ２ｓＰａ］を測定する。
次に、分離膜構造体１をケーシング２から取り出して、図３に示すように、分離膜構造体１を検査用液体に６０分間浸漬する。ただし、浸漬は検査用液体が分離膜１２に接していればよく、セル内のみに検査用液体を充填する方法でもよい。
次に、図４に示すように、分離膜構造体１を検査用液体から引き揚げて、分離膜構造体１を１５０℃で２４時間、乾燥気体中で乾燥する。乾燥気体は、水分を含んでいないことが好ましい。具体的に、乾燥気体における含水率は、５００ｐｐｍ以下が好ましく、１００ｐｐｍ以下がより好ましい。
次に、乾燥させた分離膜構造体１の重量を再計測して、検査用液体への浸漬前の重量に対する増加分が１％以下であることを確認する。
次に、分離膜構造体１にＯリング３を取り付けてケーシング２内に再度封止する。
次に、図２に示すように、供給路２１から０．１ＭＰａＧのＨｅガスを本体部２０内に再充填する。
次に、分離膜１２を透過して第２回収路２３から流出するＨｅガスの透過流量に基づいて、Ｈｅガス透過速度［ｎｍｏｌ／ｍ２ｓＰａ］を再測定する。
次に、検査用液体への浸漬後に測定したＨｅガス透過速度を検査用液体への浸漬前に測定したＨｅガス透過速度で除すことによって、検査用液体への浸漬後におけるＨｅガス透過速度低下率を算出する。
そして、算出したＨｅガス透過速度低下率が１０％以下であれば、この検査用液体は、分離膜１２の細孔に吸着しにくいため、リーク検査に好適であると判断できる。一方、算出したＨｅガス透過速度低下率が１０％より大きい場合には、他の検査用液体についてＨｅガス透過速度低下率を算出し、再度、１０％以下か否かを判定すればよい。
以上のようにＨｅガス透過速度低下率が１０％以下になる特性を有する検査用液体は、分離膜１２の種類や組成などによって変わる。そのため、検査用液体は、実際に使用される分離膜１２を用いて選定すればよく、その種類は特に制限されるものではないが、例えば、フッ素系液体、シリコーン系液体から選択される少なくとも１種を用いることができる。フッ素系液体としては、例えばフロリナート（登録商標）、ノベック（登録商標）、ガルデン（登録商標）などが挙げられる。シリコーン系液体としては、例えばＫＦ９６Ｌ（信越化学製）などが挙げられる。なお、検査用液体としては、入手容易性と取り扱い性を考慮すると、フロリナートが特に好ましい。
また、２５℃における検査用液体の蒸気圧は、１．０×１０３Ｐａ以上であることが好ましい。これにより、後述するリーク検査後において、検査用液体を速やかに蒸発させることができる。
また、分離膜１２として、ＳｉＯ２／Ａｌ２Ｏ３が２００以下のゼオライト膜を用いる場合には、検査用液体における含水率は２０％未満であることが好ましい。ＳｉＯ２／Ａｌ２Ｏ３が２００以下のゼオライト膜では、水分が細孔に吸着して透過速度が低減しやすいため、検査用液体の含水率を２０％未満にすることによって、透過速度が低減することを特に抑制できる。検査用液体における含水率は、１０％以下がより好ましく、５％以下が特に好ましい。
また、検査用液体は、不燃性であることが好ましい。これにより、検査用液体を用いた検査を安全に実施することができる。
また、検査用液体は、分離膜構造体１及びケーシング２に対して不活性であることが好ましい。これにより、分離膜１２が検査用液体と反応して劣化したり、ケーシング２が検査用液体と反応して腐蝕したりすることを抑制できる。
（２）リーク検査
次に、上述の手法で選定された検査用液体を用いたリーク検査について説明する。
次に、上述の手法で選定された検査用液体を用いたリーク検査について説明する。
上述の組み付け工程において、分離膜構造体１はケーシング２内に封止されている。
まず、図５に示すように、第１回収路２２を封止弁２４で封止した後、供給路２１から検査用液体を本体部２０内に充填する。これによって、検査用液体が分離膜１２の第1主面側に満たされた状態になる。
次に、図６に示すように、供給路２１側から加圧ブースターポンプ３０を用いて、分離膜１２の第1主面側に満たされた検査用液体を所定圧力（例えば、１ＭＰａ〜２０ＭＰａ）で加圧する。
次に、ブースターポンプ３０を止めて、検査用液体の圧力をリアルタイムで計測しながら、そのまま所定時間（例えば、１分〜６０分）保持する。
そして、計測開始時の圧力と所定時間経過後の圧力との差を算出して、その差に基づいてリークの程度を判定する（検査工程）。
次に、第１回収路２２の封止弁２４を開放して、ケーシング２内から検査用液体を抜き取る。
次に、分離膜１２を乾燥気体中で乾燥する（乾燥工程）。この際、Ｏリングの耐熱限界温度以下で分離膜１２を乾燥することが好ましい。このようにＯリングの耐熱限界温度以下で分離膜１２を乾燥するのであれば、分離膜構造体１をケーシング２から取り出さずに乾燥できるため簡便である。また、乾燥気体は、水分を含んでいないことが好ましい。具体的に、乾燥気体における含水率は、５００ｐｐｍ以下が好ましく、１００ｐｐｍ以下がより好ましい。
以上により、分離膜モジュール１０が完成する。
（変形例）
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
上記実施形態では、本発明に係る検査用液体を用いた検査方法を、分離膜モジュール１０のリーク検査に適用した場合について説明したが、それ以外の様々な検査に適用することができる。例えば、本発明に係る検査用液体を用いた検査方法は、分離膜構造体１の検査に適用することができる。分離膜構造体１の検査とは、例えば、特許文献２（特開２０１４−４６２８６号公報）に開示された強度試験などである。このように、本発明に係る検査用液体を用いた検査方法を分離膜構造体１の検査に適用した場合には、分離膜形成工程の後、検査工程が終了した時点で分離膜構造体１が完成したとみなすことができる。
上記実施形態において、分離モジュール１０の検査工程では、検査用液体の圧力変化に基づいてリーク検査することとしたが、これに限られるものではない。例えば、検査用液体を加圧する加圧ブースター３０からの吐出量、圧縮量及び加圧終了までの経過時間の少なくとも１つに基づいてリーク検査することができる。或いは、分離膜１２の第２主面側にガスを満たし、そのガスを加圧した際における検査用液体中の発泡状況に基づいてリーク検査することもできる。
上記実施形態では、分離膜１２が多孔質基材１１上に直接形成されることとしたが、分離膜１２と多孔質基材１１との間には１層ないし複数層の中間層が配置されていてもよい。中間層は、多孔質基材１１と同様の材料によって構成することができる。中間層の細孔径は、多孔質基材１１の細孔径よりも小さいことが好ましい。
（サンプルＮｏ．１）
１．分離膜構造体の作製
まず、平均粒径１２μｍのアルミナ粒子（骨材）７０体積％に対して無機結合材３０体積％を添加し、更に有機バインダ等の成形助剤や造孔剤を添加して乾式混合した後、水、界面活性剤を加えて混合し混練することにより坏土を調製した。無機結合材としては、平均粒径が１〜５μｍであるタルク、カオリン、長石、粘土等をＳｉＯ２（７０質量％）、Ａｌ２Ｏ３（１６質量％）、アルカリ土類金属およびアルカリ金属（１１質量％）の混合物を用いた。
１．分離膜構造体の作製
まず、平均粒径１２μｍのアルミナ粒子（骨材）７０体積％に対して無機結合材３０体積％を添加し、更に有機バインダ等の成形助剤や造孔剤を添加して乾式混合した後、水、界面活性剤を加えて混合し混練することにより坏土を調製した。無機結合材としては、平均粒径が１〜５μｍであるタルク、カオリン、長石、粘土等をＳｉＯ２（７０質量％）、Ａｌ２Ｏ３（１６質量％）、アルカリ土類金属およびアルカリ金属（１１質量％）の混合物を用いた。
次に、坏土を押出成形して、モノリス型の多孔質基材の成形体を作成した。そして、多孔質基材の成形体を焼成（１２５０℃、１時間）して、多数のセルを有するアルミナ基体を得た。
次に、アルミナ粉末にＰＶＡ（有機バインダ）を添加してスラリーを調製し、スラリーを用いた濾過法によってアルミナ基体のセルの内表面上に中間層の成形体を形成した。続いて、中間層の成形体を焼成（１２５０℃、１時間）することによって中間層を形成した。
次に、アルミナ基体の両端面をガラスでシールした。以上により、モノリス型の多孔質基材が完成した。
次に、国際公開番号ＷＯ２０１１１０５５１１に記載の方法に基づき、多孔質基材の各セルの内表面の中間層上にＤＤＲ型ゼオライト膜（細孔径：０．４０ｎｍ）を分離膜として形成した。以上により、ＤＤＲ型ゼオライト膜と、ＤＤＲ型ゼオライト膜が形成された多孔質基材とによって構成されるサンプルＮｏ．１に係る分離膜構造体が完成した。
２．検査用液体としてのフロリナートについての検討
まず、分離膜構造体の重量を計測した。
まず、分離膜構造体の重量を計測した。
次に、図２に示したように、分離膜構造体をケーシング内にセットし、０．１ＭＰａＧのＨｅガスを供給路から供給しながら、第２回収路から流出するＨｅガスの透過流量に基づいて、Ｈｅガス透過速度を測定した。検査用液体への浸漬前のＨｅガス透過速度は、１４９［ｎｍｏｌ／ｍ２ｓＰａ］であった。
次に、分離膜構造体をケーシングから取り出して、図３に示したように、分離膜構造体を検査用液体であるフロリナート中に６０分間浸漬した。
次に、図４に示したように、分離膜構造体をフロリナートから引き揚げて、分離膜構造体１を１５０℃で２４時間、乾燥気体中で乾燥した。乾燥気体にはＨｅを用いた。
次に、乾燥させた分離膜構造体の重量を再計測して、フロリナートへの浸漬前の重量に対する増加分が１％以下であることを確認した。
次に、分離膜構造体にＯリングを取り付けてケーシング２内に再度封止し、図２に示したように、０．１ＭＰａＧのＨｅガスを供給路から供給しながら、第２回収路から流出するＨｅガスの透過流量に基づいて、Ｈｅガス透過速度を再測定した。フロリナートへの浸漬前のＨｅガス透過速度は、１４９［ｎｍｏｌ／ｍ２ｓＰａ］であった。
そして、フロリナートへの浸漬後に測定したＨｅガス透過速度をフロリナートへの浸漬前に測定したＨｅガス透過速度で除すことによって、フロリナートへの浸漬後におけるＨｅガス透過速度低下率を算出した。
サンプルＮｏ．１の分離膜構造体におけるＨｅガス透過速度低下率は、０％であったため、フロリナートはＤＤＲゼオライト膜のリーク検査に好適であることが確認された。
３．リーク検査
まず、分離膜構造体をケーシング内に封止して、あらかじめＣＯ２とＣＨ４の混合ガスをＤＤＲ型ゼオライト膜に供給して、ガス分離性能を測定した。分離係数（α）は１２０［ｎｍｏｌ／ｍ２ｓＰａ］であり、ＣＯ２の透過速度は７４４［ｎｍｏｌ／ｍ２ｓＰａ］であった。
まず、分離膜構造体をケーシング内に封止して、あらかじめＣＯ２とＣＨ４の混合ガスをＤＤＲ型ゼオライト膜に供給して、ガス分離性能を測定した。分離係数（α）は１２０［ｎｍｏｌ／ｍ２ｓＰａ］であり、ＣＯ２の透過速度は７４４［ｎｍｏｌ／ｍ２ｓＰａ］であった。
次に、図５に示したように、供給路からフロリナートを充填した。そして、図６に示したように、供給路側から加圧ブースターポンプを用いて、分離膜の第1主面側に満たされたフロリナートを１０ＭＰａで加圧した。
次に、ブースターポンプを止めて、フロリナートの圧力をリアルタイムで計測しながら、そのまま１０分保持し、計測開始時の圧力と１０分経過後の圧力との差を基づいてリークの程度を判定した。
次に、ケーシング２からフロリナートを抜き取って、供給路側から乾燥気体であるＨｅを供給することによって、ＤＤＲ型ゼオライト膜を１５０℃で乾燥した。
４．ガス分離試験
上記リーク検査後、リーク検査前に行ったガス分離試験と同様に、ＣＯ２とＣＨ４の混合ガスをＤＤＲ型ゼオライト膜に供給して、ガス分離性能を再測定した。
上記リーク検査後、リーク検査前に行ったガス分離試験と同様に、ＣＯ２とＣＨ４の混合ガスをＤＤＲ型ゼオライト膜に供給して、ガス分離性能を再測定した。
Ｈｅガス透過速度低下率が０％であるフロリナートを用いてリーク検査を行ったサンプルＮｏ．１において、ＤＤＲ型ゼオライト膜の分離係数（α）は１２０［ｎｍｏｌ／ｍ２ｓＰａ］であり、ＣＯ２透過速度は、７４４［ｎｍｏｌ／ｍ２ｓＰａ］であった。すなわち、リーク検査後における分離係数及び透過速度の低下率は、０％であった。
（サンプルＮｏ．２）
サンプルＮｏ．１と同じ分離膜構造体を作製し、検査用液体としてガルデン（登録商標）を用いてＨｅガス透過速度低下率を測定したところ、−２％であったため、ガルデンはＤＤＲゼオライト膜のリーク検査に好適であることが確認された。
サンプルＮｏ．１と同じ分離膜構造体を作製し、検査用液体としてガルデン（登録商標）を用いてＨｅガス透過速度低下率を測定したところ、−２％であったため、ガルデンはＤＤＲゼオライト膜のリーク検査に好適であることが確認された。
また、サンプルＮｏ．１と同様に、ガルデンを用いたリーク検査の前後でガス分離試験を行ったところ、リーク検査後における透過速度の低下率は０％と良好であった。
（サンプルＮｏ．３）
サンプルＮｏ．１と同じ分離膜構造体を作製し、検査用液体としてＫＦ９６Ｌ（信越化学製）を用いてＨｅガス透過速度低下率を測定したところ、−８％であったため、ＫＦ９６ＬはＤＤＲゼオライト膜のリーク検査に好適であることが確認された。
サンプルＮｏ．１と同じ分離膜構造体を作製し、検査用液体としてＫＦ９６Ｌ（信越化学製）を用いてＨｅガス透過速度低下率を測定したところ、−８％であったため、ＫＦ９６ＬはＤＤＲゼオライト膜のリーク検査に好適であることが確認された。
また、サンプルＮｏ．１と同様に、ＫＦ９６Ｌを用いたリーク検査の前後でガス分離試験を行ったところ、リーク検査後における透過速度の低下率は、−５％と良好であった。
（サンプルＮｏ．４）
分離膜としてＡＥＩ型ゼオライト膜（細孔径：０．３８ｎｍ）を形成した以外は、サンプルＮｏ．１と同じ手法で分離膜構造体を作製した。ＡＥＩ型ゼオライト膜は、国際公開番号ＷＯ２０１４／１５７３２４に記載の方法に基づき作製した。
分離膜としてＡＥＩ型ゼオライト膜（細孔径：０．３８ｎｍ）を形成した以外は、サンプルＮｏ．１と同じ手法で分離膜構造体を作製した。ＡＥＩ型ゼオライト膜は、国際公開番号ＷＯ２０１４／１５７３２４に記載の方法に基づき作製した。
そして、サンプルＮｏ．１と同じ手法でＨｅガス透過速度低下率を測定したところ、０％であったため、フロリナートはＡＥＩ型ゼオライト膜のリーク検査に好適であることが確認された。
また、サンプルＮｏ．１と同様に、フロリナートを用いたリーク検査の前後でガス分離試験を行ったところ、リーク検査後における透過速度の低下率は、０％と良好であった。
（サンプルＮｏ．５）
分離膜としてシリカ膜（細孔径：１．０ｎｍ）を形成した以外は、サンプルＮｏ．１と同じ手法で分離膜構造体を作製した。シリカ膜は、国際公開番号ＷＯ２０１１１１８２５２に記載の方法に基づき作製した。
分離膜としてシリカ膜（細孔径：１．０ｎｍ）を形成した以外は、サンプルＮｏ．１と同じ手法で分離膜構造体を作製した。シリカ膜は、国際公開番号ＷＯ２０１１１１８２５２に記載の方法に基づき作製した。
そして、サンプルＮｏ．１と同じ手法でＨｅガス透過速度低下率を測定したところ、０％であったため、フロリナートはシリカ膜のリーク検査に好適であることが確認された。
また、サンプルＮｏ．１と同様に、フロリナートを用いたリーク検査の前後でガス分離試験を行ったところ、リーク検査後における透過速度の低下率は、０％と良好であった。
（サンプルＮｏ．６）
分離膜として炭素膜（細孔径：０．３ｎｍ）を形成した以外は、サンプルＮｏ．１と同じ手法で分離膜構造体を作製した。炭素膜は、国際公開番号ＷＯ２０１３１４５８６３に記載の方法に基づき作製した。
分離膜として炭素膜（細孔径：０．３ｎｍ）を形成した以外は、サンプルＮｏ．１と同じ手法で分離膜構造体を作製した。炭素膜は、国際公開番号ＷＯ２０１３１４５８６３に記載の方法に基づき作製した。
そして、サンプルＮｏ．１と同じ手法でＨｅガス透過速度低下率を測定したところ、０％であったため、フロリナートは炭素膜のリーク検査に好適であることが確認された。
また、サンプルＮｏ．１と同様に、フロリナートを用いたリーク検査の前後でガス分離試験を行ったところ、リーク検査後における透過速度の低下率は、０％と良好であった。
（サンプルＮｏ．７）
サンプルＮｏ．１と同じ分離膜構造体を作製し、検査用液体としてイオン交換水を用いてＨｅガス透過速度低下率を測定したところ、−２８％であったため、イオン交換水はＤＤＲゼオライト膜のリーク検査に好適ではないことが確認された。
サンプルＮｏ．１と同じ分離膜構造体を作製し、検査用液体としてイオン交換水を用いてＨｅガス透過速度低下率を測定したところ、−２８％であったため、イオン交換水はＤＤＲゼオライト膜のリーク検査に好適ではないことが確認された。
また、サンプルＮｏ．１と同様の手法で、イオン交換水を用いたリーク検査の前後でガス分離試験を行ったところ、リーク検査後における透過速度の低下率は−３１％と過大であった。
表１に示すように、分離膜構造体を６０分間浸漬した後に１５０℃で２４時間乾燥した場合の分離膜のＨｅガス透過速度低下率が１０％以下になる特性を有する検査用液体を用いてリーク試験を実施したサンプルＮｏ．１〜６では、リーク検査後に透過速度が低下することを抑制できた。これは、各分離膜に適した検査用液体が選定されているため、リーク検査中に検査用液体が分離膜の細孔に吸着することを抑制できたためである。
一方、サンプルＮｏ．７では、リーク検査中に検査用液体が分離膜の細孔に吸着したため、リーク検査後に透過速度が大幅に低下してしまった。
１０ 分離膜モジュール
１ 分離膜構造体
１１ 多孔質基材
１２ 分離膜
２ ケーシング
２１ 供給路
２２ 第１回収路
２３ 第２回収路
ＣＬ セル
１ 分離膜構造体
１１ 多孔質基材
１２ 分離膜
２ ケーシング
２１ 供給路
２２ 第１回収路
２３ 第２回収路
ＣＬ セル
Claims (11)
- 多孔質基材と分離膜とを有する分離膜構造体の検査方法であって、
前記分離膜の第1主面側に満たされた検査用液体を加圧する検査工程を備え、
前記検査用液体は、前記分離膜構造体を前記検査用液体に６０分間浸漬した後に１５０℃で２４時間乾燥した場合、前記分離膜のＨｅガス透過速度低下率が１０％以下になる特性を有する、
分離膜構造体の検査方法。 - 前記検査工程では、前記検査用液体の圧力変化に基づいてリーク検査する、
請求項１に記載の分離膜構造体の検査方法。 - 前記検査工程では、前記検査用液体を加圧ブースターで加圧し、前記加圧ブースターの吐出量、圧縮量及び加圧終了までの経過時間の少なくとも１つに基づいてリーク検査する、
請求項１に記載の分離膜構造体の検査方法。 - 前記検査工程では、前記分離膜の第２主面側に満たされたガスを加圧した際における前記検査用液体中の発泡状況に基づいてリーク検査する、
請求項１に記載の分離膜構造体の検査方法。 - ２５℃における前記検査用液体の蒸気圧は、１．０×１０３Ｐａ以上である、
請求項１乃至４のいずれかに記載の分離膜構造体の検査方法。 - 前記検査用液体は、フッ素系液体である、
請求項１乃至５のいずれかに記載の分離膜構造体の検査方法。 - 前記検査工程後に、前記分離膜をＯリングの耐熱限界温度以下で乾燥させる乾燥工程を備える、
請求項１乃至６のいずれかに記載の分離膜構造体の検査方法。 - 前記分離膜は、ＳｉＯ２／Ａｌ２Ｏ３が２００以下のゼオライト膜である、
請求項１乃至７のいずれかに記載の分離膜構造体の検査方法。 - 前記検査用液体における含水率は、２０％未満である、
請求項８に記載の分離膜構造体の検査方法。 - 多孔質基材と分離膜とを有する分離膜構造体をケーシング内に封止する組み付け工程と、
前記分離膜の第1主面側に満たされた検査用液体を加圧する検査工程と、
を備え、
前記検査用液体は、前記分離膜構造体を前記検査用液体に６０分間浸漬した後に１５０℃で２４時間乾燥した場合、前記分離膜のＨｅ透過速度低下率が１０％以下になる特性を有する、
分離膜モジュールの製造方法。 - 多孔質基材の表面に分離膜を形成する分離膜形成工程と、
前記分離膜の第1主面側に満たされた検査用液体を加圧する検査工程と、
を備え、
前記検査用液体は、前記分離膜構造体を前記検査用液体に６０分間浸漬した後に１５０℃で２４時間乾燥した場合、前記分離膜のＨｅ透過速度低下率が１０％以下になる特性を有する、
分離膜構造体の製造方法。
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2017068960 | 2017-03-30 | ||
| JP2017068960 | 2017-03-30 | ||
| PCT/JP2018/005263 WO2018179959A1 (ja) | 2017-03-30 | 2018-02-15 | 分離膜構造体の検査方法、分離膜モジュールの製造方法、及び分離膜構造体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPWO2018179959A1 true JPWO2018179959A1 (ja) | 2020-02-06 |
| JP7096234B2 JP7096234B2 (ja) | 2022-07-05 |
Family
ID=63675037
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2019508735A Active JP7096234B2 (ja) | 2017-03-30 | 2018-02-15 | 分離膜構造体の検査方法、分離膜モジュールの製造方法、及び分離膜構造体の製造方法 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US11402314B2 (ja) |
| JP (1) | JP7096234B2 (ja) |
| CN (1) | CN110430935B (ja) |
| DE (1) | DE112018001736T5 (ja) |
| WO (1) | WO2018179959A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102342446B1 (ko) * | 2018-10-18 | 2021-12-22 | 주식회사 엘지화학 | 분리막 엘리먼트의 결함 검출 방법 및 분리막 엘리먼트 결함 검출 장치 |
| JP7300822B2 (ja) * | 2018-12-03 | 2023-06-30 | 株式会社東洋精機製作所 | ガス透過度測定装置 |
| JPWO2022208980A1 (ja) * | 2021-03-30 | 2022-10-06 |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6058530A (ja) * | 1983-09-09 | 1985-04-04 | Fujisawa Pharmaceut Co Ltd | メンブランフイルタの試験方法および装置 |
| JP2001242066A (ja) * | 2000-03-01 | 2001-09-07 | Toyobo Co Ltd | 非対称構造を有する多孔質膜のリークテスト法 |
| JP2004286635A (ja) * | 2003-03-24 | 2004-10-14 | Ngk Insulators Ltd | 多孔質濾過体の細孔径測定方法 |
| JP2007017171A (ja) * | 2005-07-05 | 2007-01-25 | Toray Ind Inc | 中空糸膜モジュールのリーク検出方法および装置 |
| WO2010090049A1 (ja) * | 2009-02-05 | 2010-08-12 | 日本碍子株式会社 | Ｄｄｒ型ゼオライト紛体、及びｄｄｒ型ゼオライト粉体の製造方法 |
| WO2016158583A1 (ja) * | 2015-03-31 | 2016-10-06 | 日本碍子株式会社 | ゼオライト膜構造体及びその製造方法 |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3477691D1 (en) | 1983-09-09 | 1989-05-18 | Fujisawa Pharmaceutical Co | Apparatus for testing membrane filters, and apparatus for sterilizing liquids with use of membrane filter |
| JP3111101B2 (ja) * | 1991-12-03 | 2000-11-20 | 旭化成工業株式会社 | 膜分離装置の漏洩検査方法 |
| JP2007237073A (ja) * | 2006-03-08 | 2007-09-20 | Ngk Insulators Ltd | 分離膜の欠陥検出方法 |
| CN101435763B (zh) * | 2008-12-23 | 2010-12-22 | 南京工业大学 | 一种测量多孔材料表面孔口直径分布的方法 |
| US10265660B2 (en) * | 2009-05-21 | 2019-04-23 | Battelle Memorial Institute | Thin-sheet zeolite membrane and methods for making the same |
| KR20120044079A (ko) * | 2010-10-27 | 2012-05-07 | 한국수자원공사 | 여과막의 막간차압을 이용한 여과막 손상 감지장치 및 방법 |
| JP5951415B2 (ja) * | 2012-08-31 | 2016-07-13 | 日本碍子株式会社 | モノリス型分離膜構造体の強度検査方法 |
-
2018
- 2018-02-15 WO PCT/JP2018/005263 patent/WO2018179959A1/ja active Application Filing
- 2018-02-15 CN CN201880012747.5A patent/CN110430935B/zh active Active
- 2018-02-15 JP JP2019508735A patent/JP7096234B2/ja active Active
- 2018-02-15 DE DE112018001736.2T patent/DE112018001736T5/de active Pending
-
2019
- 2019-09-06 US US16/562,671 patent/US11402314B2/en active Active
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6058530A (ja) * | 1983-09-09 | 1985-04-04 | Fujisawa Pharmaceut Co Ltd | メンブランフイルタの試験方法および装置 |
| JP2001242066A (ja) * | 2000-03-01 | 2001-09-07 | Toyobo Co Ltd | 非対称構造を有する多孔質膜のリークテスト法 |
| JP2004286635A (ja) * | 2003-03-24 | 2004-10-14 | Ngk Insulators Ltd | 多孔質濾過体の細孔径測定方法 |
| JP2007017171A (ja) * | 2005-07-05 | 2007-01-25 | Toray Ind Inc | 中空糸膜モジュールのリーク検出方法および装置 |
| WO2010090049A1 (ja) * | 2009-02-05 | 2010-08-12 | 日本碍子株式会社 | Ｄｄｒ型ゼオライト紛体、及びｄｄｒ型ゼオライト粉体の製造方法 |
| WO2016158583A1 (ja) * | 2015-03-31 | 2016-10-06 | 日本碍子株式会社 | ゼオライト膜構造体及びその製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN110430935B (zh) | 2022-04-29 |
| CN110430935A (zh) | 2019-11-08 |
| DE112018001736T5 (de) | 2020-02-20 |
| US11402314B2 (en) | 2022-08-02 |
| US20190391064A1 (en) | 2019-12-26 |
| JP7096234B2 (ja) | 2022-07-05 |
| WO2018179959A1 (ja) | 2018-10-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP7049320B2 (ja) | 分離膜モジュールの検査方法及び分離膜モジュールの製造方法 | |
| JP6228923B2 (ja) | セラミック分離膜構造体、およびその補修方法 | |
| US11402314B2 (en) | Method for inspecting separation membrane structure, method for manufacturing separation membrane module, and method for manufacturing separation membrane structure | |
| WO2014050702A1 (ja) | モノリス型分離膜構造体の欠陥検出方法、補修方法、およびモノリス型分離膜構造体 | |
| WO2014157701A1 (ja) | 酸素８員環ゼオライト膜、ゼオライト膜の製造方法、及び酸素８員環ゼオライト膜の評価方法 | |
| JP2016052959A (ja) | ガラス被覆アルミナ構造物、分離膜エレメント、およびガラス接合剤 | |
| JP6436974B2 (ja) | モノリス型分離膜構造体及びモノリス型分離膜構造体の製造方法 | |
| WO2014156579A1 (ja) | セラミック分離膜構造体、およびその製造方法 | |
| JP2015186776A (ja) | ゼオライト膜の評価方法 | |
| WO2015146488A1 (ja) | モノリス型分離膜構造体、モノリス型分離膜構造体の製造方法及び脱水方法 | |
| JP7412510B2 (ja) | セラミックフィルタ | |
| JP7161988B2 (ja) | ゼオライト膜構造体の製造方法 | |
| JP7182482B2 (ja) | 多孔質構造体およびそれを用いた分離膜付き多孔質体 | |
| JP6559146B2 (ja) | 分離膜構造体の製造方法 | |
| JP6636932B2 (ja) | 膜構造体及びその製造方法 | |
| US20230330603A1 (en) | Separation membrane complex and method of producing separation membrane complex | |
| WO2015146481A1 (ja) | モノリス型基材、モノリス型分離膜構造体及びモノリス型基材の製造方法 | |
| WO2018088064A1 (ja) | 分離膜の乾燥方法及び分離膜構造体の製造方法 | |
| JP2015188840A (ja) | モノリス型分離膜構造体 | |
| JP2016055272A (ja) | 片端封止型筒状セラミックス |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20201019 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20211116 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220112 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220531 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220623 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7096234 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |