WO2022130741A1 - 分離膜複合体、分離装置、分離方法および分離膜複合体の製造方法 - Google Patents

分離膜複合体、分離装置、分離方法および分離膜複合体の製造方法 Download PDF

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separation
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dense
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憲一 野田
航 小林
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日本碍子株式会社
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Definitions

  • the present invention relates to a zeolite membrane composite and a technique for separating a mixed substance using the zeolite membrane composite.
  • a porous support and a pair of dense glasses covering both end faces of the porous support are provided as a separation membrane composite suitable for separating liquid and gas.
  • a separation membrane composite suitable for separating liquid and gas.
  • those comprising a seal and a zeolite membrane formed on a porous support.
  • a glass seal covering the end face of the porous support covers the end surface of the porous support and is in contact with the glass seal to form a zeolite membrane.
  • a through hole (that is, a cell) of a columnar porous support that is, a monolithic porous support
  • a monolithic separation membrane composite in which a zeolite membrane is formed on the inner surface, as a method of repairing a cell having a defect, a method of closing both ends of the cell having a defect with a polymer compound such as a synthetic resin, or a method of closing both ends of the cell with a defect with a polymer compound such as a synthetic resin, A method has been proposed in which the polymer compound is poured into a cell having a defect and cured. In this way, by filling the defective cell itself without directly repairing the defect, the time required for repairing the defect of the separation membrane composite is shortened.
  • both the separation membrane and the dense portion are covered at the boundary portion between the separation membrane and the dense portion formed on the porous support.
  • a technique for suppressing defects at the boundary portion by providing a film-shaped coating zeolite is disclosed.
  • the present invention is directed to a separation membrane complex, and an object thereof is to improve the separation performance of the separation membrane complex and to easily produce the separation membrane complex.
  • the separation membrane composite has a support having a porous portion and a dense portion that are continuously arranged, and the support is provided on the porous portion of the support and the end portion is described above.
  • a separation membrane that comes into contact with the dense portion and a coating film formed of a layered inorganic compound that covers the boundary portion between the dense portion and the separation membrane are provided.
  • the separation performance of the separation membrane composite can be improved.
  • the separation membrane composite can be easily produced.
  • the layered inorganic compound is a clay mineral or a layered metal oxide.
  • the layered inorganic compound is a clay mineral.
  • the layered inorganic compound is smectite.
  • the average thickness of the coating film is 0.002 ⁇ m or more.
  • the separation membrane is a zeolite membrane.
  • the present invention is also directed to a separator.
  • the separation device includes the above-mentioned separation membrane complex and a supply unit for supplying a mixed substance containing a plurality of types of gases or liquids to the separation membrane complex.
  • the separation membrane complex separates from the mixed substance by permeating the highly permeable substance in the mixed substance.
  • the present invention is also directed to a separation method.
  • the separation method comprises a) the step of preparing the above-mentioned separation membrane composite, and b) supplying a mixed substance containing a plurality of types of gases or liquids to the separation membrane composite.
  • the present invention comprises a step of separating a highly permeable substance in the mixed substance from the mixed substance by permeating the separation membrane complex.
  • the mixture is hydrogen, helium, nitrogen, oxygen, water, water vapor, carbon monoxide, carbon dioxide, nitrogen oxides, ammonia, sulfur oxides, hydrogen sulfide, sulfur fluoride, mercury, alcine, hydrogen cyanide, etc. It contains one or more substances among carbonyl sulfide, hydrogens of C1 to C8, organic acids, alcohols, mercaptans, esters, ethers, ketones and aldehydes.
  • the present invention is directed to a method for producing a separation membrane composite.
  • the method for producing a separation membrane composite includes a) a step of continuously arranging a dense portion of a support in a porous portion, and b) on the porous portion of the support.
  • the step of forming the separation film and c) the boundary is formed by forming a coating film formed of a layered inorganic compound on the boundary portion between the separation film and the dense portion where the end portion is in contact with the dense portion. It comprises a step of covering a portion.
  • the layered inorganic compound is a clay mineral or a layered metal oxide.
  • the layered inorganic compound is a clay mineral.
  • the layered inorganic compound is smectite.
  • the average thickness of the coating film is 0.002 ⁇ m or more.
  • the separation membrane is a zeolite membrane.
  • the method for producing the separation membrane composite further comprises a step of heat-treating the support, the separation membrane and the coating film at a temperature of 200 ° C. or higher after the step c).
  • FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view showing an end portion of another separation membrane composite.
  • FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view showing an end portion of another separation membrane composite.
  • FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view showing an end portion of another separation membrane composite.
  • FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view showing an end portion of another separation membrane composite.
  • FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view showing an end portion of another separation membrane composite.
  • FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view showing an end portion of another separation membrane composite.
  • FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view showing an end portion of another separation membrane composite.
  • FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view showing an end portion of another separation membrane composite.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view of the separation membrane complex 1 according to the embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view showing a part of an end portion of the separation membrane complex 1 in the longitudinal direction (that is, the left-right direction in FIG. 1).
  • FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view showing a part of the central portion of the separation membrane complex 1 in the longitudinal direction.
  • the separation membrane complex 1 includes a support 11, a separation membrane 12, and a coating membrane 13.
  • the support 11 includes a porous portion 41 which is a columnar main body portion, and a dense portion 42 which covers the surfaces of both ends of the porous portion 41 in the longitudinal direction (that is, the left-right direction in FIG. 1).
  • the separation membrane 12 is drawn with a thick line.
  • the illustration of the coating film 13 shown in FIG. 2 is omitted.
  • parallel diagonal lines are provided on the porous portion 41, the dense portion 42, and the separation membrane 12, and the coating film 13 is shown by a thick line.
  • the thicknesses of the dense portion 42, the separation film 12, and the coating film 13 are drawn thicker than they actually are.
  • the thickness of the separation membrane 12 is drawn thicker than it actually is.
  • the porous portion 41 of the support 11 is an integrally molded, substantially columnar member.
  • the porous portion 41 is provided with a plurality of through holes 111 extending in the longitudinal direction. That is, the porous portion 41 is a so-called monolith-type member.
  • the outer shape of the porous portion 41 is, for example, substantially cylindrical.
  • the porous portion 41 is a porous member having pores through which gas and liquid can permeate.
  • the cross section perpendicular to the longitudinal direction of each through hole 111 ie, cell
  • the diameter of the through hole 111 is larger than the actual diameter, and the number of the through hole 111 is smaller than the actual number.
  • the length of the porous portion 41 (that is, the length in the left-right direction in FIG. 1) is, for example, 10 cm to 200 cm.
  • the outer diameter of the porous portion 41 is, for example, 0.5 cm to 30 cm.
  • the distance between the central axes of the adjacent through holes 111 is, for example, 0.3 mm to 10 mm.
  • the surface roughness (Ra) of the porous portion 41 is, for example, 0.1 ⁇ m to 5.0 ⁇ m, preferably 0.2 ⁇ m to 2.0 ⁇ m.
  • the shape of the porous portion 41 may be, for example, a honeycomb shape, a flat plate shape, a tubular shape, a cylindrical shape, a columnar shape, a polygonal columnar shape, or the like. When the shape of the porous portion 41 is tubular or cylindrical, the thickness of the porous portion 41 is, for example, 0.1 mm to 10 mm.
  • the porous portion 41 As the material of the porous portion 41 , various substances (for example, ceramic or metal) can be adopted as long as they have chemical stability in the step of forming the separation film 12 on the surface.
  • the porous portion 41 is formed of a ceramic sintered body.
  • the ceramic sintered body selected as the material of the porous portion 41 include alumina, silica, mullite, zirconia, titania, ittria, silicon nitride, silicon carbide and the like.
  • the porous portion 41 contains at least one of alumina, silica and mullite.
  • the porous portion 41 may contain an inorganic binder.
  • the inorganic binder at least one of titania, mullite, easily sinterable alumina, silica, glass frit, clay mineral, and easily sinterable cordierite can be used.
  • the average pore diameter of the porous portion 41 is, for example, 0.01 ⁇ m to 70 ⁇ m, preferably 0.05 ⁇ m to 25 ⁇ m.
  • the average pore diameter of the porous portion 41 in the vicinity of the surface on which the separation membrane 12 is formed is 0.01 ⁇ m to 1 ⁇ m, preferably 0.05 ⁇ m to 0.5 ⁇ m.
  • the average pore size can be measured by, for example, a mercury porosimeter, a palm porosimeter or a nanopalm porosimeter.
  • D5 is, for example, 0.01 ⁇ m to 50 ⁇ m
  • D50 is, for example, 0.05 ⁇ m to 70 ⁇ m
  • D95 is, for example, 0.1 ⁇ m to 2000 ⁇ m. be.
  • the porosity of the porous portion 41 in the vicinity of the surface on which the separation membrane 12 is formed is, for example, 20% to 60%.
  • the porous portion 41 has, for example, a multilayer structure in which a plurality of layers having different average pore diameters are laminated in the thickness direction.
  • the average pore diameter and sintered particle size in the surface layer including the surface on which the separation film 12 is formed are smaller than the average pore diameter and sintered particle size in the layers other than the surface layer.
  • the average pore diameter of the surface layer of the porous portion 41 is, for example, 0.01 ⁇ m to 1 ⁇ m, preferably 0.05 ⁇ m to 0.5 ⁇ m.
  • the above-mentioned materials can be used as the material for each layer.
  • the materials of the plurality of layers forming the multilayer structure may be the same or different.
  • the dense portion 42 is a film-like or thin plate-like member fixed to both ends of the porous portion 41 in the longitudinal direction.
  • the dense portion 42 covers the longitudinal end surface of the porous portion 41, the outer surface in the vicinity of the end face, and the inner surface in the vicinity of the end surface of each through hole 111 at each end portion in the longitudinal direction of the porous portion 41. And seal.
  • the dense portion 42 is, for example, a non-porous member having substantially no pores.
  • the dense portion 42 preferably has high strength, high heat resistance and chemical resistance.
  • the dense portion 42 is formed of, for example, glass, ceramic, metal, resin, or the like.
  • the dense portion 42 is made of glass.
  • the dense portion 42 is, for example, a glass film formed by firing on the surface of the porous portion 41.
  • the average thickness of the dense portion 42 is, for example, 1 ⁇ m to 1000 ⁇ m.
  • the dense portion 42 is formed by, for example, attaching a glass frit to the surface of the porous portion 41 and firing it together with the porous portion 41.
  • the formation of the dense portion 42 may be performed in parallel with the formation of the separation membrane 12, and may be performed before or after the formation of the separation membrane 12.
  • the material and shape of the dense portion 42 may be changed as appropriate.
  • the dense portion 42 may be a porous member having pores having an average pore diameter smaller than that of the surface layer of the porous portion 41.
  • the dense portion 42 is a sealing portion that is continuously arranged in the porous portion 41 and substantially prevents the inflow and outflow of gas and liquid into the porous portion 41.
  • the portion of the dense portion 42 that covers the end face of the porous portion 41 in the longitudinal direction is provided with a plurality of openings that overlap with the plurality of through holes 111 of the porous portion 41. Therefore, both ends of each through hole 111 in the longitudinal direction are not covered with the dense portion 42, and gas and liquid can flow in and out of the through hole 111 from both ends.
  • the separation membrane 12 is a substantially cylindrical thin film provided on the inner surface of the through hole 111 of the porous portion 41 over substantially the entire surface of the inner surface.
  • the longitudinal end of the separation membrane 12 comes into contact with the dense portion 42 covering the longitudinal end of the inner surface on the inner surface of the through hole 111. That is, the separation membrane 12 covers substantially the entire region of the inner surface of the through hole 111 that is not covered by the dense portion 42.
  • the longitudinal edge of the separation membrane 12 and the longitudinal edge of the dense portion 42 are in contact with each other, and the longitudinal end of the separation membrane 12 and the longitudinal edge of the compact portion 42 are in contact with each other.
  • the end portion in the direction hardly overlaps with the radial end of the through hole 111 (that is, the vertical direction in FIG. 2).
  • the separation membrane 12 is a dense porous membrane having fine pores.
  • the separation membrane 12 can separate a specific substance from a mixed substance in which a plurality of types of substances are mixed.
  • the average pore diameter of the separation membrane 12 is larger than the average pore diameter of the dense portion 42 when the dense portion 42 is a porous member.
  • the dense portion 42 is denser than the separation membrane 12.
  • the dense portion 42 is a porous member, if the dense portion 42 attempts to separate the specific substance from the mixed substance, the permeation rate of the specific substance is 1 in the case where the separation is performed by the separation membrane 12. It is / 10 or less (preferably 1/100 or less).
  • the dense portion 42 is a non-porous member that is sufficiently denser than the separation membrane 12 and does not substantially allow the specific substance to permeate.
  • the separation membrane 12 is a zeolite membrane.
  • the zeolite membrane does not include, at least, a film in which zeolite is formed in the form of a film on the surface of the porous portion 41 of the support 11, and the zeolite particles are simply dispersed in the organic film.
  • the zeolite membrane can be used as a separation membrane for separating a specific substance from the mixed substance.
  • other substances are less likely to permeate than the specific substance.
  • the permeation amount of the other substance in the zeolite membrane is smaller than the permeation amount of the specific substance.
  • the zeolite membrane may contain two or more types of zeolite having different structures and compositions.
  • the thickness of the separation membrane 12 is, for example, 0.05 ⁇ m to 30 ⁇ m, preferably 0.1 ⁇ m to 20 ⁇ m, and more preferably 0.5 ⁇ m to 10 ⁇ m. Thickening the separation membrane 12 improves the separation performance. When the separation membrane 12 is thinned, the permeation rate increases.
  • the surface roughness (Ra) of the separation membrane 12 is, for example, 5 ⁇ m or less, preferably 2 ⁇ m or less, more preferably 1 ⁇ m or less, and further preferably 0.5 ⁇ m or less.
  • the pore diameter of the zeolite crystals contained in the separation membrane 12 (hereinafter, also simply referred to as “pore diameter of the separation membrane 12”) is 0.2 nm or more and 0.8 nm or less, more preferably 0.3 nm or more and It is 0.7 nm or less, more preferably 0.3 nm or more and 0.5 nm or less. If the pore diameter of the separation membrane 12 is less than 0.2 nm, the amount of the substance that permeates the separation membrane 12 may be small, and if the pore diameter of the separation membrane 12 is larger than 0.8 nm, the substance due to the separation membrane 12 May be inadequate in selectivity.
  • the pore diameter of the separation membrane 12 is the diameter of the pores in a direction substantially perpendicular to the maximum diameter of the pores of the zeolite crystals constituting the separation membrane 12 (that is, the major diameter which is the maximum value of the oxygen atom distance) (that is, the diameter of the pores). Short diameter).
  • the pore diameter of the separation membrane 12 is smaller than the average pore diameter on the surface of the porous portion 41 of the support 11 on which the separation membrane 12 is arranged.
  • the minor axis of the n-membered ring pores is defined as the pore diameter of the separation membrane 12.
  • the minor axis of the n-membered ring pore having the largest minor diameter is defined as the pore diameter of the separation membrane 12.
  • the n-membered ring is a portion in which the number of oxygen atoms constituting the skeleton forming the pores is n, and each oxygen atom is bonded to a T atom described later to form a cyclic structure.
  • the n-membered ring refers to a ring having a through hole (channel), and does not include a ring having no through hole.
  • the n-membered ring pores are pores formed by the n-membered ring.
  • the maximum number of membered rings of the zeolite contained in the above-mentioned separation membrane 12 is preferably 8 or less (for example, 6 or 8).
  • the pore diameter of the separation membrane 12 which is a zeolite membrane is uniquely determined by the skeleton structure of the zeolite, and is described in "Database of Zeolite Structures" [online] of the International Zeolite Society, Internet ⁇ URL: http: // www. iza-structure. It can be obtained from the values disclosed in org / databases />.
  • the type of zeolite constituting the separation membrane 12 is not particularly limited, but is, for example, AEI type, AEN type, AFN type, AFV type, AFX type, BEA type, CHA type, DDR type, ERI type, ETL type, FAU type.
  • X type, Y type GIS type, IHW type, LEV type, LTA type, LTJ type, MEL type, MFI type, MOR type, PAU type, RHO type, SOD type, SAT type and the like.
  • the zeolite is an 8-membered ring zeolite, for example, AEI type, AFN type, AFV type, AFX type, CHA type, DDR type, ERI type, ETL type, GIS type, IHW type, LEV type, LTA type, LTJ Zeolites of type, RHO type, SAT type and the like.
  • the zeolite constituting the separation membrane 12 has T atoms (that is, atoms located at the center of the oxygen tetrahedron (TO 4 ) constituting the zeolite), for example, silicon (Si), aluminum (Al), phosphorus (P). Including at least one of.
  • T atoms that is, atoms located at the center of the oxygen tetrahedron (TO 4 ) constituting the zeolite
  • the T atom is only Si or a zeolite composed of Si and Al
  • the T atom is an AlPO type zeolite composed of Al and P
  • the T atom is composed of Si, Al and P.
  • SAPO type zeolite SAPO type zeolite, MAPSO type zeolite whose T atom is composed of magnesium (Mg), Si, Al and P, ZnASPSO type zeolite whose T atom is composed of zinc (Zn), Si, Al and P, etc. are used. be able to. A part of the T atom may be replaced with another element.
  • the separation membrane 12 contains, for example, Si.
  • the separation membrane 12 may contain, for example, any two or more of Si, Al, and P.
  • the separation membrane 12 may contain an alkali metal.
  • the alkali metal is, for example, sodium (Na) or potassium (K).
  • the Si / Al ratio in the separation membrane 12 is, for example, 1 or more and 100,000 or less.
  • the Si / Al ratio is the molar ratio of the Si element to the Al element contained in the separation membrane 12.
  • the Si / Al ratio is preferably 5 or more, more preferably 20 or more, still more preferably 100 or more, and the higher the ratio, the more preferable.
  • the Si / Al ratio in the separation membrane 12 can be adjusted by adjusting the mixing ratio of the Si source and the Al source in the raw material solution described later.
  • the separation membrane 12 may include a membrane other than the zeolite membrane in addition to the zeolite membrane.
  • the separation membrane 12 may be a membrane other than the zeolite membrane.
  • the coating film 13 is a thin-film member that covers the boundary portion 45 between the dense portion 42 and the separation membrane 12 in each through hole 111 over substantially the entire area.
  • the boundary portion 45 between the dense portion 42 and the separation membrane 12 is a substantially circumferential region where the longitudinal edge of the dense portion 42 and the separation membrane 12 are in contact with each other.
  • the substantially circumferential region that is, the contact portion in which the longitudinal edge of the dense portion 42 and the separation membrane 12 are in contact with each other is directly covered with the separation membrane 12.
  • the boundary portion is a substantially circumferential region where the surface extending from the contact portion in the direction perpendicular to the surface of the porous portion 41 (that is, the normal direction of the surface of the porous portion 41) and the surface of the separation membrane 12 intersect. It is set to 45.
  • the coating film 13 is a member including a substantially cylindrical portion provided on the boundary portion 45 between the dense portion 42 and the separation film 12 over the entire circumference of the inner surface of the through hole 111.
  • the coating film 13 may extend from the boundary portion 45 on both sides in the longitudinal direction. Further, the covering film 13 may continuously spread in the longitudinal direction from the longitudinal end portion of the separation membrane 12 to the dense portion 42, and may cover the longitudinal end portion of the dense portion 42.
  • the coating film 13 extends from the boundary portion 45 toward the separation film 12 in the longitudinal direction by 1 mm to 50 mm. Further, the coating film 13 covers substantially the entire surface of the dense portion 42 on the inner surface of the through hole 111. In the example shown in FIG. 2, the covering film 13 extends from the boundary portion 45 to the longitudinal end surface of the support 11 (that is, the longitudinal end surface of the dense portion 42), but on the end surface. It does not have to be extended to. Alternatively, the edge of the covering film 13 on the dense portion 42 side may be located between the longitudinal end surface of the support 11 and the boundary portion 45.
  • FIG. 4A is an SEM (Scanning Electron Microscope) image showing a cross section of the separation membrane composite 1 in the vicinity of the coating film 13.
  • FIG. 4B is an enlarged SEM image showing the coating film 13 of FIG. 4A.
  • the coating film 13 is a thin film member having a layered microstructure formed of a layered inorganic compound.
  • the layered inorganic compound is an inorganic compound having a layered structure.
  • SEM or TEM Transmission Electron Microscope
  • the layered structure is a structure in which atoms are strongly bonded by covalent bonds or ionic bonds and closely arranged, and are stacked substantially in parallel in the thickness direction by a weak bond force such as van der Waals force, or the said structure.
  • the sheet structure is a highly flat structure in which sheets are stacked in the thickness direction and bonded via ions or molecules.
  • a large number of sheet structures are laminated in layers in the vertical direction in the drawing.
  • the thickness of each sheet structure is, for example, 0.3 nm to 10 nm.
  • the layered inorganic compound forming the coating film 13 for example, clay minerals, layered metal oxides, layered double hydroxides, layered phosphates, layered carbons and the like can be used.
  • the clay mineral for example, pyrophyllite, mica, smectite, vermiculite, chlorite, kaolinite, halloysite, talc, and other layered silicates can be used.
  • the layered metal oxide for example, layered titanate, layered niobate, layered manganese oxide, layered perovskite and the like can be used.
  • layered phosphate for example, ⁇ -type zirconium phosphate, ⁇ -type zirconium phosphate, ⁇ -type titanium phosphate, ⁇ -type titanium phosphate, aluminum triphosphate and the like can be used.
  • layered carbon for example, graphite, graphene, graphene oxide and the like can be used.
  • the layered inorganic compound forming the coating film 13 is preferably a clay mineral or a layered metal oxide, and more preferably a clay mineral. More preferably, the layered inorganic compound forming the coating film 13 is smectite. As the smectite, montmorillonite, byderite, nontronite, saponite, hectorite, stepnsite, saponite and the like can be used.
  • the coating film 13 does not substantially permeate gas and liquid, and even if it permeates, the amount of permeation is small.
  • the coating film 13 is a porous member, if the coating film 13 attempts to separate the specific substance from the mixed substance, the permeation rate of the specific substance is determined by the separation membrane 12. The following (preferably 1/10 or less, more preferably 1/100 or less).
  • the coating film 13 is a non-porous member that is sufficiently denser than the separation membrane 12 and is substantially impermeable to the particular substance.
  • the coating film 13 preferably has high strength, high heat resistance and chemical resistance. Either the coating film 13 or the dense portion 42 may be more dense, and may have the same degree of denseness.
  • the average thickness of the coating film 13 is, for example, 0.002 ⁇ m or more, preferably 0.01 ⁇ m or more. By setting the average thickness to 0.002 ⁇ m, the denseness of the coating film 13 is improved, and the permeation of gas, liquid, or the like through the coating film 13 is preferably suppressed. Further, when the average thickness is 0.01 ⁇ m or more, the denseness of the coating film 13 is further improved.
  • the upper limit of the average thickness of the coating film 13 is not particularly limited, but is, for example, 10 ⁇ m or less, preferably 5 ⁇ m or less. By setting the average thickness to 10 ⁇ m or less, it is possible to prevent defects such as cracks from occurring in the coating film 13. Further, by setting the average thickness to 5 ⁇ m or less, the occurrence of defects is further suppressed.
  • the average thickness of the coating film 13 can be obtained by observing the cross section with SEM or TEM.
  • FIG. 5 is a diagram showing the separating device 2.
  • FIG. 6 is a diagram showing a flow of separation of mixed substances by the separation device 2.
  • a mixed substance containing a plurality of types of fluids that is, gas or liquid
  • a highly permeable substance in the mixed substance is permeated through the separation membrane complex 1.
  • Separation in the separation device 2 may be performed for the purpose of extracting a highly permeable substance (hereinafter, also referred to as “highly permeable substance”) from the mixed substance, and may be performed for the purpose of extracting a substance having low permeability (hereinafter, “highly permeable substance”). It may be carried out for the purpose of concentrating (also referred to as "lowly permeable substance”).
  • the mixed substance (that is, a mixed fluid) may be a mixed gas containing a plurality of types of gases, a mixed liquid containing a plurality of types of liquids, and a gas-liquid two-phase containing both a gas and a liquid. It may be a fluid.
  • the mixed substances include, for example, hydrogen (H 2 ), helium (He), nitrogen (N 2 ), oxygen (O 2 ), water (H 2 O), water vapor (H 2 O), carbon monoxide (CO), and the like.
  • Carbon dioxide (CO 2 ) nitrogen oxides, ammonia (NH 3 ), sulfur oxides, hydrogen sulfide (H 2 S), sulfur fluoride, mercury (Hg), arsine (AsH 3 ), hydrogen cyanide (HCN), sulfide
  • the above-mentioned highly permeable substance is, for example, one or more of H 2 , He, N 2 , O 2 , H 2 O, CO 2 , NH 3 and H 2 S.
  • Nitrogen oxides are compounds of nitrogen and oxygen.
  • the above-mentioned nitrogen oxides include, for example, nitric oxide (NO), nitrogen dioxide (NO 2 ), nitrous oxide (also referred to as dinitrogen monoxide) (N 2 O), and dinitrogen trioxide (N 2 O 3 ). ), Nitric oxide (N 2 O 4 ), Nitric oxide (N 2 O 5 ) and other gases called NO X.
  • Sulfur oxides are compounds of sulfur and oxygen.
  • the above-mentioned sulfur oxide is, for example, a gas called SO X (sox) such as sulfur dioxide (SO 2 ) and sulfur trioxide (SO 3 ).
  • Sulfur fluoride is a compound of fluorine and sulfur.
  • the hydrocarbons of C1 to C8 are hydrocarbons having 1 or more carbon atoms and 8 or less carbon atoms.
  • the hydrocarbons C3 to C8 may be any of a linear compound, a side chain compound and a cyclic compound.
  • the hydrocarbons of C2 to C8 are saturated hydrocarbons (that is, those in which double bonds and triple bonds are not present in the molecule) and unsaturated hydrocarbons (that is, double bonds and / or triple bonds are molecules). It may be either of those present in it).
  • Hydrocarbons of C1 to C4 are, for example, methane (CH 4 ), ethane (C 2 H 6 ), ethylene (C 2 H 4 ), propane (C 3 H 8 ), propylene (C 3 H 6 ), normal butane.
  • the above-mentioned organic acid is a carboxylic acid, a sulfonic acid or the like.
  • Carboxylic acids include, for example, formic acid (CH 2 O 2 ), acetic acid (C 2 H 4 O 2 ), oxalic acid (C 2 H 2 O 4 ), acrylic acid (C 3 H 4 O 2 ) or benzoic acid (C). 6 H 5 COOH) and the like.
  • the sulfonic acid is, for example, ethane sulfonic acid (C 2 H 6 O 3 S) or the like.
  • the organic acid may be a chain compound or a cyclic compound.
  • the above-mentioned alcohols include, for example, methanol (CH 3 OH), ethanol (C 2 H 5 OH), isopropanol (2-propanol) (CH 3 CH (OH) CH 3 ), ethylene glycol (CH 2 (OH) CH 2 ). (OH)) or butanol (C 4 H 9 OH) or the like.
  • Mercaptans are organic compounds having hydrogenated sulfur (SH) at the end, and are substances also called thiols or thioalcohols.
  • the above-mentioned mercaptans are, for example, methyl mercaptan (CH 3 SH), ethyl mercaptan (C 2 H 5 SH), 1-propanethiol (C 3 H 7 SH) and the like.
  • ester is, for example, formate ester or acetic acid ester.
  • ether is, for example, dimethyl ether ((CH 3 ) 2 O), methyl ethyl ether (C 2 H 5 OCH 3 ) or diethyl ether ((C 2 H 5 ) 2 O).
  • ketone is, for example, acetone ((CH 3 ) 2 CO), methyl ethyl ketone (C 2 H 5 COCH 3 ) or diethyl ketone ((C 2 H 5 ) 2 CO).
  • aldehydes are, for example, acetaldehyde (CH 3 CHO), propionaldehyde (C 2 H 5 CHO) or butyraldehyde (butyraldehyde) (C 3 H 7 CHO) and the like.
  • the mixed substance separated by the separating device 2 will be described as being a mixed gas containing a plurality of types of gases.
  • the separation device 2 includes a separation membrane complex 1, an outer cylinder 22, two sealing members 23, a supply unit 26, a first collection unit 27, and a second collection unit 28.
  • the separation membrane complex 1 and the sealing member 23 are housed in the outer cylinder 22.
  • the supply unit 26, the first collection unit 27, and the second collection unit 28 are arranged outside the outer cylinder 22 and connected to the outer cylinder 22.
  • the shape of the outer cylinder 22 is not particularly limited, but is, for example, a substantially cylindrical tubular member.
  • the outer cylinder 22 is made of, for example, stainless steel or carbon steel.
  • the longitudinal direction of the outer cylinder 22 is substantially parallel to the longitudinal direction of the separation membrane complex 1.
  • a supply port 221 is provided at one end of the outer cylinder 22 in the longitudinal direction (that is, the left end in FIG. 5), and a first discharge port 222 is provided at the other end.
  • a second discharge port 223 is provided on the side surface of the outer cylinder 22.
  • a supply unit 26 is connected to the supply port 221.
  • the first collection unit 27 is connected to the first discharge port 222.
  • the second collection unit 28 is connected to the second discharge port 223.
  • the internal space of the outer cylinder 22 is a closed space isolated from the space around the outer cylinder 22.
  • the two sealing members 23 are arranged over the entire circumference between the outer surface of the separation membrane complex 1 and the inner surface of the outer cylinder 22 in the vicinity of both ends in the longitudinal direction of the separation membrane complex 1.
  • Each sealing member 23 is a substantially annular member made of a material that is impermeable to gas and liquid.
  • the seal member 23 is, for example, an O-ring made of a flexible resin.
  • the sealing member 23 is in close contact with the outer surface of the separation membrane complex 1 and the inner surface of the outer cylinder 22 over the entire circumference. In the example shown in FIG. 5, the sealing member 23 adheres to a portion on the outer surface of the support 11 of the separation membrane complex 1 where the porous portion 41 is covered by the dense portion 42.
  • a coating film 13 may be formed at a portion of the dense portion 42 where the seal member 23 is arranged.
  • the seal member 23 and the dense portion 42 may be in close contact with each other via the coating film 13.
  • the space between the sealing member 23 and the outer surface of the separation membrane complex 1 and the space between the sealing member 23 and the inner surface of the outer cylinder 22 are sealed, and the passage of gas and liquid is almost or completely impossible. Is.
  • the supply unit 26 supplies the mixed gas to the internal space of the outer cylinder 22 via the supply port 221.
  • the supply unit 26 includes, for example, a pressure feeding mechanism such as a blower or a pump that pumps the mixed gas toward the outer cylinder 22.
  • the pressure feeding mechanism includes, for example, a temperature control unit and a pressure control unit that adjust the temperature and pressure of the mixed gas supplied to the outer cylinder 22, respectively.
  • the first recovery unit 27 and the second recovery unit 28 include, for example, a storage container for storing the gas derived from the outer cylinder 22, or a blower or a pump for transferring the gas.
  • the separation membrane complex 1 is prepared (FIG. 6: step S11). Specifically, the separation membrane complex 1 is prepared by being attached to the inside of the outer cylinder 22. Subsequently, the supply unit 26 supplies a mixed gas containing a plurality of types of gases having different permeability to the separation membrane 12 to the inside of the outer cylinder 22 as shown by an arrow 251.
  • the main components of the mixed gas are CO 2 and CH 4 .
  • the mixed gas may contain a gas other than CO 2 and CH 4 .
  • the pressure of the mixed gas supplied from the supply unit 26 to the inside of the outer cylinder 22 (that is, the pressure on the supply side) is, for example, 0.1 MPaG to 20.0 MPaG.
  • the temperature of the mixed gas supplied from the supply unit 26 is, for example, 10 ° C to 250 ° C.
  • the mixed gas supplied from the supply unit 26 to the outer cylinder 22 is introduced into each through hole 111 of the support 11 from the left end in the drawing of the separation membrane complex 1.
  • the mixed gas from the supply unit 26 is supplied to the separation membrane complex 1 in the outer cylinder 22.
  • the highly permeable substance for example, CO 2
  • CO 2 which is a highly permeable gas in the mixed gas, forms a separation membrane 12 provided on the inner surface of each through hole 111 and a porous portion 41 of the support 11. It is transmitted and derived from the outer surface of the support 11. As a result, the highly permeable substance is separated from the mixed gas (step S12).
  • the gas derived from the outer surface of the support 11 (hereinafter referred to as “permeate”) is guided to the second recovery unit 28 via the second discharge port 223 as shown by the arrow 253. It is collected by the second collection unit 28.
  • the pressure of the gas recovered by the second recovery unit 28 (that is, the pressure on the permeation side) is, for example, 0.0 MPaG.
  • the permeable substance may contain a low permeable substance (for example, CH 4 ) which is a gas having low permeability in the mixed gas.
  • the gas excluding the substance that has permeated through the separation membrane 12 and the support 11 has each through hole 111 of the support 11 from the left side to the right side in the drawing.
  • the gas is collected by the first collection unit 27 via the first discharge port 222.
  • the pressure of the gas recovered by the first recovery unit 27 is, for example, substantially the same as the introduction pressure.
  • the impermeable substance may include a highly permeable substance that has not penetrated the separation membrane 12 in addition to the above-mentioned low permeable substance.
  • the impermeable substance recovered by the first recovery unit 27 may be circulated to the supply unit 26 and supplied again into the outer cylinder 22, for example.
  • step S21 a raw material containing an aggregate material for the porous portion 41, a pore-forming agent, a binder, and the like is prepared and mixed. Subsequently, water is added to the raw material and kneaded by a kneader to prepare clay. Next, the clay is molded by an extrusion molding machine or the like, and a molded body having a plurality of through holes 111 (see FIG. 1) is obtained.
  • the molded product may be molded by a molding method other than extrusion molding.
  • step S21 is a step of continuously forming and arranging the dense portion 42 of the support 11 in the porous portion 41.
  • the temperature (that is, the firing temperature) of the outermost layer of the molded product during the firing process is, for example, 1000 ° C to 1500 ° C, and 1250 ° C in the present embodiment.
  • the firing time is, for example, 1 hour to 100 hours.
  • the conditions for the firing process of the molded product may be changed as appropriate.
  • the porous portion 41 is formed by firing without attaching the glass frit or the like to the molded body, and then the glass frit or the like is attached to the porous portion 41 and fired again.
  • a continuous dense portion 42 may be formed in the porous portion 41.
  • a raw material solution of a seed crystal is prepared by dissolving or dispersing a raw material such as a Si source and a structure-defining agent (Structure-Directing Agent, hereinafter also referred to as “SDA”) in a solvent. .. Subsequently, hydrothermal synthesis of the raw material solution is performed, and the obtained crystals are washed and dried to obtain a zeolite (for example, DDR type zeolite) powder.
  • the zeolite powder may be used as a seed crystal as it is, or a seed crystal may be obtained by processing the powder by pulverization or the like.
  • the seed crystal is attached onto the inner surface of the through hole 111 of the support 11 (step S23). Specifically, the seed crystal is attached to the portion of the inner surface of each through hole 111 where the porous portion 41 is exposed.
  • the adhesion of the seed crystal to the support 11 is performed, for example, by immersing the porous support 11 in a dispersion liquid in which the seed crystal is dispersed in a solvent (for example, water or an alcohol such as ethanol). .. Immersion of the support 11 in the dispersion liquid may be repeated a plurality of times. Further, the seed crystal may be attached to the support 11 by another method different from the above.
  • the support 11 to which the seed crystal is attached is immersed in the raw material solution.
  • the raw material solution is prepared, for example, by dissolving a Si source, SDA, or the like in a solvent.
  • the composition of the raw material solution is, for example, 1.0SiO 2 : 0.015SDA: 0.12 (CH 2 ) 2 (NH 2 ) 2 .
  • Alcohol such as water or ethanol may be used as the solvent of the raw material solution.
  • the molar ratio of SDA to the water contained in the raw material solution is preferably 0.01 or less.
  • the molar ratio of SDA to water contained in the raw material solution is preferably 0.00001 or more.
  • the SDA contained in the raw material solution is, for example, an organic substance.
  • As the SDA for example, 1-adamantanamine can be used.
  • a DDR-type separation membrane 12 is formed on the porous portion 41 of the support 11 (step S24).
  • the longitudinal end of the separation membrane 12 is in contact with the longitudinal end of the compact 42, as described above.
  • the temperature during hydrothermal synthesis is preferably 120 to 200 ° C, for example 130 ° C.
  • the hydrothermal synthesis time is preferably 5 to 100 hours, for example, 15 hours.
  • the support 11 and the separation membrane 12 are washed with pure water. After washing, the support 11 and the separation membrane 12 are dried at, for example, 80 ° C. After the support 11 and the separation membrane 12 are dried, the separation membrane 12 is heat-treated to substantially completely burn off the SDA in the separation membrane 12 and penetrate the fine pores in the separation membrane 12 (step S25). ).
  • step S21 the formation of the dense portion 42 in step S21 may be performed after steps S22 to S25 (that is, the formation of the separation membrane 12 on the porous portion 41). .. Further, step S25 may be omitted depending on the usage mode of SDA.
  • steps S21 to S25 are completed, a coating film 13 formed of a layered inorganic compound is formed on the boundary portion 45 between the separation film 12 and the dense portion 42. As a result, the boundary portion 45 is covered with the coating film 13 (step S26).
  • the material of the coating film 13 (hereinafter, also referred to as “coating film material”) is dispersed in a solvent to prepare a dispersion liquid.
  • the coating film material is a powder of a layered inorganic compound (for example, a clay mineral such as smectite).
  • solvent molecules enter the layers of the layered inorganic compound, and the layered inorganic compound is separated into flakes.
  • the size of each slice in the plane direction (that is, the direction perpendicular to the thickness direction) is, for example, several tens of nm to several tens of ⁇ m.
  • the type of solvent is appropriately determined according to the type of material of the coating film 13.
  • the material of the coating film 13 When smectite is used as the material of the coating film 13, pure water or the like can be used as the solvent.
  • the content of the coating film material in the dispersion liquid is appropriately determined depending on the type of the coating film material, the thickness of the coating film 13 to be formed, and the like. The content is, for example, 0.1% by mass to 10% by mass.
  • the dispersion liquid is applied to the support 11 on which the separation film 12 is formed on the inner side surface of the through hole 111.
  • the dispersion liquid is applied to the entire region where the coating film 13 is to be formed (that is, the region including the boundary portion 45) on the inner surface of the through hole 111, and is not applied to other regions.
  • the dispersion liquid is applied, for example, by inserting the longitudinal end portion of the support 11 into the dispersion liquid stored in the container and immersing it (so-called dip coating).
  • the dispersion liquid may be applied by various methods other than dip coating.
  • the dispersion liquid may be sprayed on the support 11 and the separation membrane 12, or the dispersion liquid may be applied by a coater such as a brush.
  • the support 11 and the separation membrane 12 coated with the dispersion liquid are dried.
  • the drying is, for example, natural drying or ventilation drying in a temperature environment of 20 ° C to 100 ° C.
  • a coating film 13 that covers the boundary portion 45 between the separation membrane 12 and the dense portion 42 is formed, and the above-mentioned separation membrane composite 1 is obtained.
  • the separation membrane complex 1 (that is, the support 11, the separation membrane 12 and the coating membrane 13) may be heat-treated at a temperature of 200 ° C. or higher after step S26 (that is, the separation membrane complex 1 and the coating film 13) may be heat-treated (that is, the support film 11 and the coating film 13).
  • Step S27 This improves the adhesion of the coating film 13 to the separation film 12 and the dense portion 42.
  • the denseness of the coating film 13 is also improved.
  • the heating temperature during the heat treatment is, for example, 200 ° C. or higher and 1000 ° C. or lower, preferably 250 ° C. or higher and 800 ° C. or lower, and more preferably 300 ° C. or higher and 600 ° C.
  • the heating time during the heat treatment is, for example, 1 hour to 100 hours.
  • the heat treatment is performed, for example, by accommodating the separation membrane complex 1 in a dryer, an electric furnace, or the like and heating it.
  • the heat treatment may be performed by various other methods.
  • the atmosphere at the time of heat treatment for example, air, oxygen, an inert gas and the like can be used.
  • the separation membrane complex 1 of Examples 1 to 3 in Table 1 is a separation membrane complex including the above-mentioned coating film 13.
  • the separation membrane complex of Comparative Example 1 is a separation membrane complex that does not include a coating film 13 (that is, the boundary portion 45 between the separation membrane 12 and the dense portion 42 is exposed).
  • the permeance rate (that is, permeance) of CO 2 and CH 4 in the separation membrane composite 1 is such that in the above-mentioned separation device 2, the mixed gas of CO 2 and CH 4 is supplied from the supply unit 26 to the separation membrane composite in the outer cylinder 22. I supplied it to 1 and asked for it.
  • the unit of permeation rate is [nmol / ( m2 ⁇ s ⁇ Pa)].
  • the content of CO 2 in the mixed gas is 50% by volume, and the content of CH 4 is 50% by volume.
  • the pressure of the mixed gas supplied from the supply unit 26 to the separation membrane composite 1 (that is, the pressure on the supply side) is 0.3 MPaG.
  • the pressure of the permeated gas that has permeated the separation membrane complex 1 (that is, the permeation side pressure) is 0 MPaG.
  • the permeation rates of CO 2 and CH 4 were determined by measuring the permeated gas with a mass flow meter (MFM) and a gas chromatograph. Then, the CO 2 permeation rate was divided by the CH 4 permeation rate to obtain the ratio of the CO 2 permeation rate to the CH 4 permeation rate (that is, the permeation rate ratio CO 2 / CH 4 ).
  • the transmission rate ratio coefficient in Table 1 is the ratio of the transmission rate ratio CO 2 / CH 4 of Examples 1 to 3 with the transmission rate ratio CO 2 / CH 4 of Comparative Example 1 as a reference (that is, 1.0). It is shown.
  • the permeation rate ratio coefficient is a value obtained by dividing the permeation rate ratio CO 2 / CH 4 of Examples 1 to 3 by the permeation rate ratio CO 2 / CH 4 of Comparative Example 1.
  • the separation membrane complex of Comparative Example 1 was produced by the production method shown in steps S21 to 25 described above.
  • the porous portion 41 of the support 11 is a monolith-type porous alumina base material.
  • the dense portion 42 is a thin film made of glass.
  • the separation membrane 12 is a DDR type zeolite membrane.
  • the hydrothermal synthesis temperature and the hydrothermal synthesis time in step S24 are 130 ° C. and 15 hours, respectively.
  • step SDA was removed by heating at 450 ° C. for 50 hours.
  • the separation membrane complex 1 of Example 1 was produced by performing the above-mentioned steps S26 to S27 with respect to the separation membrane complex of Comparative Example 1.
  • the dispersion liquid in step S26 was prepared by using a clay mineral "Smecton-SA" (manufactured by Kunimine Kogyo Co., Ltd.) as a coating film material and dispersing the coating film material in pure water.
  • Smecton-SA is a synthetic smectite containing saponite as a main component.
  • the content of the coating film material in the dispersion was 1% by mass.
  • the heating temperature and heating time during the heat treatment in step S27 were set to 200 ° C. and 20 hours, respectively.
  • the permeation rate ratio coefficient was 1.6, and the separation performance of the separation membrane complex 1 was improved as compared with Comparative Example 1 having no coating film 13.
  • the improvement in separation performance was that defects such as cracks at the boundary portion 45 between the separation membrane 12 and the dense portion 42 were covered (that is, repaired) by the coating film 13, and leakage of CH 4 from the defects was suppressed. according to.
  • the thickness of the coating film 13 was 0.8 ⁇ m.
  • Example 2 is the same as Example 1 except that the coating film material is changed to the clay mineral "Smecton-SWN" (manufactured by Kunimine Industries, Ltd.).
  • Smecton-SWN is a synthetic smectite containing hectorite as a main component.
  • the permeation rate ratio coefficient was 1.6, and the separation performance of the separation membrane complex 1 was improved as compared with Comparative Example 1 having no coating film 13.
  • the thickness of the coating film 13 was 2.0 ⁇ m.
  • Example 3 is the same as Example 1 except that the coating film material is changed to the clay mineral "Kunipia-F" (manufactured by Kunimine Industries, Ltd.).
  • Kunipia-F is a purified bentonite containing montmorillonite as a main component.
  • the permeation rate ratio coefficient was 1.3, and the separation performance of the separation membrane complex 1 was improved as compared with Comparative Example 1 having no coating film 13.
  • the thickness of the coating film 13 was 0.5 ⁇ m.
  • the permeation rate ratio coefficient was measured in the same manner as above, and as a result, the permeation rate ratio coefficient did not change. From this, it can be seen that the coating film 13 in the separation membrane complex 1 of Examples 1 to 3 has high heat resistance.
  • the separation membrane complex 1 includes a support 11, a separation membrane 12, and a coating membrane 13.
  • the support 11 has a porous portion 41 and a dense portion 42 which are continuously arranged.
  • the separation membrane 12 is provided on the porous portion 41 of the support 11.
  • the end portion of the separation membrane 12 comes into contact with the compact portion 42.
  • the coating film 13 is formed of a layered inorganic compound.
  • the coating film 13 covers the boundary portion 45 between the dense portion 42 and the separation membrane 12.
  • defects such as cracks at the boundary portion 45 between the separation membrane 12 and the dense portion 42 are covered (that is, repaired) by the coating membrane 13, so that the above-mentioned low-permeability substance is removed from the defects. It is possible to prevent leakage and inclusion in the permeate.
  • the separation performance of the separation membrane complex 1 can be improved. Further, by using the layered inorganic compound as the coating film material, it is possible to easily form a dense coating film 13 as compared with the case where the coating film is formed by zeolite. As a result, the separation membrane complex 1 can be easily produced.
  • the layered inorganic compound is preferably a clay mineral or a layered metal oxide. As a result, the heat resistance of the coating film 13 can be increased.
  • the layered inorganic compound is more preferably a clay mineral. This makes it possible to further facilitate the formation of the coating film 13. Further, since clay minerals are easily available and relatively inexpensive, the production cost of the separation membrane complex 1 can be reduced.
  • the layered inorganic compound is smectite (Examples 1 and 2).
  • the denseness of the coating film 13 can be further improved and the separation performance of the separation membrane composite 1 can be further improved as compared with the case where the layered inorganic compound is bentonite (Example 3). ..
  • the average thickness of the coating film 13 is preferably 0.002 ⁇ m or more.
  • the denseness of the coating film 13 can be improved, and the permeation of gas, liquid, or the like through the coating film 13 can be suitably suppressed.
  • the separation performance of the separation membrane complex 1 can be suitably improved.
  • the separation membrane 12 is preferably a zeolite membrane.
  • the separation membrane 12 is preferably a zeolite membrane.
  • the separation device 2 includes the separation membrane complex 1 and a supply unit 26 that supplies a mixed substance containing a plurality of types of gases or liquids to the separation membrane complex 1.
  • the separation membrane complex 1 separates from the mixed substance by permeating the highly permeable substance (that is, the highly permeable substance) in the mixed substance.
  • the highly permeable substance can be separated from the mixed substance at a high permeation rate ratio.
  • step S11 the step of preparing the separation membrane complex 1 (step S11) and a mixed substance containing a plurality of types of gases or liquids are supplied to the separation membrane complex 1, and the permeability in the mixed substance is increased.
  • step S12 of separating a high substance (that is, a highly permeable substance) from the mixed substance by permeating the separation membrane composite 1 is provided. This makes it possible to separate the highly permeable substance from the mixed substance at a high permeation rate ratio.
  • the mixed substances are hydrogen, helium, nitrogen, oxygen, water, steam, carbon monoxide, carbon dioxide, nitrogen oxides, ammonia, sulfur oxides, hydrogen sulfide, sulfur fluoride, mercury, alcine, and hydrogen cyanide.
  • the method for producing the separation membrane composite 1 described above includes a step of continuously arranging the dense portion 42 of the support 11 on the porous portion 41 (step S21) and a separation membrane 12 on the porous portion 41 of the support 11.
  • step S21 By forming a coating film 13 formed of a layered inorganic compound on the boundary portion 45 between the separation film 12 whose end contacts the dense portion 42 and the dense portion 42 (step S24).
  • step S26 A step (step S26) of covering the boundary portion 45 is provided.
  • the method for producing the separation membrane complex 1 further includes a step (step S27) of heat-treating the support 11, the separation membrane 12, and the coating film 13 at a temperature of 200 ° C. or higher after step S26. Is preferable. As a result, the adhesion between the separation film 12 and the dense portion 42 and the coating film 13 can be improved. In addition, the denseness of the coating film 13 can be improved.
  • the average thickness of the coating film 13 does not necessarily have to be 0.002 ⁇ m or more, and does not have to be 10 ⁇ m or less. That is, the average thickness of the coating film 13 may be less than 0.002 ⁇ m or thicker than 10 ⁇ m.
  • the longitudinal end portion of the separation membrane 12 and the longitudinal end portion of the dense portion 42 are in the radial direction of the through hole 111 (that is, the figure). Although they hardly overlap in the vertical direction in 2), these ends may overlap.
  • the longitudinal end of the dense portion 42 is in direct contact with the inner surface of the through hole 111 of the porous portion 41, and the longitudinal end of the separation membrane 12 is , May be provided on the dense portion 42.
  • the longitudinal end portion of the separation membrane 12 is indirectly in contact with the inner surface of the through hole 111 of the porous portion 41 with the dense portion 42 interposed therebetween.
  • the boundary portion 45 between the separation membrane 12 and the dense portion 42 extends a substantially circumferential region in contact between the edge of the dense portion 42 and the separation membrane 12 in a direction perpendicular to the surface of the porous portion 41. It refers to a substantially circumferential portion where the surface of the separation membrane 12 and the surface of the separation membrane 12 intersect.
  • the coating film 13 covers the boundary portion 45 over substantially the entire area and extends from the boundary portion 45 on both sides in the longitudinal direction. Thereby, the separation performance of the separation membrane complex 1 can be improved in the same manner as described above. Moreover, the dense coating film 13 can be easily formed.
  • the longitudinal end of the separation membrane 12 is in direct contact with the inner surface of the through hole 111 of the porous portion 41, and the longitudinal end of the dense portion 42 is , May be provided on the separation membrane 12.
  • the longitudinal end of the dense portion 42 is indirectly in contact with the inner surface of the through hole 111 of the porous portion 41 with the separation membrane 12 interposed therebetween.
  • the boundary portion 45 between the separation membrane 12 and the dense portion 42 refers to a substantially circumferential portion where the edge of the dense portion 42 and the separation membrane 12 are in contact with each other in the radial direction of the through hole 111.
  • the coating film 13 covers the boundary portion 45 over substantially the entire area and extends from the boundary portion 45 on both sides in the longitudinal direction. Thereby, the separation performance of the separation membrane complex 1 can be improved in the same manner as described above. Moreover, the dense coating film 13 can be easily formed.
  • the dense portion 42 may be fixed to the end face in the longitudinal direction of the porous portion 41.
  • the cross-sectional shape of the porous portion 41 and the cross-sectional shape of the dense portion 42 may be substantially the same or different.
  • the separation membrane 12 is provided on the porous portion 41 and extends on the dense portion 42. That is, the separation membrane 12 covers the boundary between the porous portion 41 and the dense portion 42.
  • the boundary portion 45 between the separation membrane 12 and the dense portion 42 refers to a substantially circumferential portion where the edge of the dense portion 42 and the separation membrane 12 are in contact with each other in the radial direction of the through hole 111.
  • the coating film 13 covers the boundary portion 45 over substantially the entire area and extends from the boundary portion 45 on both sides in the longitudinal direction. Thereby, the separation performance of the separation membrane complex 1 can be improved in the same manner as described above. Moreover, the dense coating film 13 can be easily formed. In the example shown in FIG. 10, the covering film 13 covers the inner side surface of the through hole 421 of the dense portion 42 over substantially the entire surface.
  • the method for producing the separation membrane complex 1 is not limited to the above example, and may be changed in various ways.
  • the step of heat-treating the separation film 12 and the coating film 13 at a temperature of 200 ° C. or higher may be omitted.
  • the separation membrane complex 1 may further include a functional membrane or a protective membrane laminated on the separation membrane 12 in addition to the support 11, the separation membrane 12 and the coating membrane 13.
  • a functional film or a protective film may be an inorganic film such as a zeolite film, a silica film or a carbon film, or an organic film such as a polyimide film or a silicone film.
  • the separation membrane 12 may be a membrane other than the zeolite membrane (for example, the above-mentioned inorganic membrane or organic membrane).
  • the separation device 2 and the separation method described above substances other than the substances exemplified in the above description may be separated from the mixed substance. Further, the structure of the separating device 2 is not limited to the above example, and may be changed in various ways.
  • the separation membrane composite of the present invention can be used as, for example, a gas separation membrane, and further, can be used in various fields as a separation membrane, an adsorption membrane, and the like of various substances other than gas.

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Abstract

分離膜複合体（１）は、支持体（１１）と、分離膜（１２）と、被覆膜（１３）とを備える。支持体（１１）は、連続して配置される多孔質部（４１）および緻密部（４２）を有する。分離膜（１２）は、支持体（１１）の多孔質部（４１）上に設けられる。分離膜（１２）の端部は、緻密部（４２に接触する。被覆膜（１３）は、層状無機化合物により形成される。被覆膜（１３）は、緻密部（４２）と分離膜（１２）との境界部（４５）を被覆する。これにより、分離膜複合体（１）の分離性能を向上することができる。また、被覆膜（１３）を容易に形成することができる。

Description

分離膜複合体、分離装置、分離方法および分離膜複合体の製造方法
　本発明は、ゼオライト膜複合体、および、ゼオライト膜複合体を利用した混合物質の分離技術に関する。
［関連出願の参照］
　本願は、２０２０年１２月１７日に出願された日本国特許出願ＪＰ２０２０－２０９１０８からの優先権の利益を主張し、当該出願の全ての開示は、本願に組み込まれる。
　現在、ゼオライト膜等の分離膜による特定の分子の分離や吸着等について、様々な研究や開発が行われている。
　例えば、国際公開第２０１６／０９３１９２号公報（文献１）では、液体およびガスの分離に適した分離膜複合体として、多孔質支持体と、多孔質支持体の両端面を覆う一対の緻密なガラスシールと、多孔質支持体上に形成されたゼオライト膜と、を備えるものが開示されている。
　このような分離膜複合体では、多孔質支持体の端面を覆うガラスシールが、多孔質支持体の端部表面を覆い、当該ガラスシールと接触してゼオライト膜が形成されている。このように、ガラスシール等の緻密部とゼオライト膜等の分離膜とが接触する場合、分離膜複合体の製造過程等において、分離膜と緻密部との境界部近傍にて分離膜にクラック等の欠陥が生じるおそれがある。
　国際公開第２０１４／０５０７０２号公報（文献２）では、長手方向に延びる複数の貫通孔を有する柱状の多孔質支持体（すなわち、モノリス型の多孔質支持体）の貫通孔（すなわち、セル）の内表面上にゼオライト膜が形成されたモノリス型の分離膜複合体において、欠陥を有するセルを補修する方法として、欠陥を有するセルの両端部を合成樹脂等の高分子化合物で閉塞する方法や、欠陥を有するセルに当該高分子化合物を流し込んで硬化させる方法が提案されている。このように、欠陥を直接的に補修することなく、欠陥を有するセル自体を埋めることにより、分離膜複合体の欠陥補修に要する時間が短縮される。
　また、特開２００９－２１４０７５号公報（文献３）では、分離膜複合体において、多孔質支持体上に形成された分離膜と緻密部との境界部分に、分離膜および緻密部の双方を覆う膜状の被覆用ゼオライトを設けることにより、当該境界部分における欠陥を抑制する技術が開示されている。
　ところで、文献２のように欠陥を有するセル自体を埋める場合、分離に使用可能なセル数が減少するため、分離膜複合体による分離速度が低下するおそれがある。また、欠陥を有するセル自体を埋めることなく、緻密部と分離膜との境界部分に膜状の高分子化合物を設けて欠陥を抑制したとしても、高分子化合物は耐熱性や耐有機溶媒性があまり高くないため、分離膜複合体の使用により、高分子化合物が早期に劣化して分離性能が低下するおそれがある。
　また、文献３のように、緻密部と分離膜との境界部分に膜状の被覆用ゼオライトを形成する場合、緻密部および分離膜の形成後、水熱合成等により被覆用ゼオライトを形成する必要がある。このため、分離膜複合体の製造工程が複雑化し、分離膜複合体の製造コストが増大するおそれがある。
　本発明は、分離膜複合体に向けられており、分離膜複合体の分離性能を向上すること、および、分離膜複合体を容易に製造することを目的としている。
　本発明の好ましい一の形態に係る分離膜複合体は、連続して配置される多孔質部および緻密部を有する支持体と、前記支持体の前記多孔質部上に設けられて端部が前記緻密部に接触する分離膜と、前記緻密部と前記分離膜との境界部を被覆する層状無機化合物により形成された被覆膜と、を備える。
　本発明によれば、分離膜複合体の分離性能を向上することができる。また、分離膜複合体を容易に製造することができる。
　好ましくは、前記層状無機化合物は粘土鉱物または層状金属酸化物である。
　好ましくは、前記層状無機化合物は粘土鉱物である。
　好ましくは、前記層状無機化合物はスメクタイトである。
　好ましくは、前記被覆膜の平均厚さは０．００２μｍ以上である。
　好ましくは、前記分離膜はゼオライト膜である。
　本発明は、分離装置にも向けられている。本発明の好ましい一の形態に係る分離装置は、上述の分離膜複合体と、複数種類のガスまたは液体を含む混合物質を前記分離膜複合体に供給する供給部と、を備える。前記分離膜複合体は、前記混合物質中の透過性が高い物質を透過することにより前記混合物質から分離する。
　本発明は、分離方法にも向けられている。本発明の好ましい一の形態に係る分離方法は、ａ）上述の分離膜複合体を準備する工程と、ｂ）複数種類のガスまたは液体を含む混合物質を前記分離膜複合体に供給し、前記混合物質中の透過性が高い物質を、前記分離膜複合体を透過させることにより前記混合物質から分離する工程と、を備える。
　好ましくは、前記混合物質は、水素、ヘリウム、窒素、酸素、水、水蒸気、一酸化炭素、二酸化炭素、窒素酸化物、アンモニア、硫黄酸化物、硫化水素、フッ化硫黄、水銀、アルシン、シアン化水素、硫化カルボニル、Ｃ１～Ｃ８の炭化水素、有機酸、アルコール、メルカプタン類、エステル、エーテル、ケトンおよびアルデヒドのうち、１種類以上の物質を含む。
　本発明は、分離膜複合体の製造方法に向けられている。本発明の好ましい一の形態に係る分離膜複合体の製造方法は、ａ）支持体の緻密部を多孔質部に連続させて配置する工程と、ｂ）前記支持体の前記多孔質部上に分離膜を形成する工程と、ｃ）端部が前記緻密部に接触する前記分離膜と前記緻密部との境界部上に、層状無機化合物により形成された被覆膜を形成することにより前記境界部を被覆する工程と、を備える。
　好ましくは、前記層状無機化合物は粘土鉱物または層状金属酸化物である。
　好ましくは、前記層状無機化合物は粘土鉱物である。
　好ましくは、前記層状無機化合物はスメクタイトである。
　好ましくは、前記被覆膜の平均厚さは０．００２μｍ以上である。
　好ましくは、前記分離膜はゼオライト膜である。
　好ましくは、前記分離膜複合体の前記製造方法は、前記ｃ）工程よりも後に、前記支持体、前記分離膜および前記被覆膜を２００℃以上の温度で熱処理する工程をさらに備える。
　上述の目的および他の目的、特徴、態様および利点は、添付した図面を参照して以下に行うこの発明の詳細な説明により明らかにされる。
一の実施の形態に係る分離膜複合体の断面図である。 分離膜複合体の端部を拡大して示す断面図である。 分離膜複合体の中央部を拡大して示す断面図である。 被覆膜近傍の断面を示すＳＥＭ画像である。 被覆膜近傍の断面を拡大して示すＳＥＭ画像である。 分離装置を示す図である。 混合物質の分離の流れを示す図である。 分離膜複合体の製造の流れを示す図である。 他の分離膜複合体の端部を拡大して示す断面図である。 他の分離膜複合体の端部を拡大して示す断面図である。 他の分離膜複合体の端部を拡大して示す断面図である。
　図１は、本発明の一の実施の形態に係る分離膜複合体１の断面図である。図２は、分離膜複合体１の長手方向（すなわち、図１中の左右方向）の端部の一部を拡大して示す断面図である。図３は、分離膜複合体１の長手方向の中央部の一部を拡大して示す断面図である。
　分離膜複合体１は、支持体１１と、分離膜１２と、被覆膜１３とを備える。支持体１１は、柱状の本体部である多孔質部４１と、多孔質部４１の長手方向（すなわち、図１中の左右方向）の両端部表面を覆う緻密部４２とを備える。図１では、分離膜１２を太線にて描いている。また、図１では、図２に示す被覆膜１３の図示を省略している。図２では、多孔質部４１、緻密部４２および分離膜１２に平行斜線を付し、被覆膜１３を太線にて示す。また、図２では、緻密部４２、分離膜１２および被覆膜１３の厚さを実際よりも厚く描いている。図３でも同様に、分離膜１２の厚さを実際よりも厚く描いている。
　図１に示す例では、支持体１１の多孔質部４１は、一体成形された一繋がりの略柱状の部材である。多孔質部４１には、長手方向にそれぞれ延びる複数の貫通孔１１１が設けられる。すなわち、多孔質部４１は、いわゆるモノリス型の部材である。多孔質部４１の外形は、例えば略円柱状である。多孔質部４１は、ガスおよび液体が透過可能な細孔を有する多孔質部材である。各貫通孔１１１（すなわち、セル）の長手方向に垂直な断面は、例えば略円形である。図１では、貫通孔１１１の径を実際よりも大きく、貫通孔１１１の数を実際よりも少なく描いている。
　多孔質部４１の長さ（すなわち、図１中の左右方向の長さ）は、例えば１０ｃｍ～２００ｃｍである。多孔質部４１の外径は、例えば０．５ｃｍ～３０ｃｍである。隣接する貫通孔１１１の中心軸間の距離は、例えば０．３ｍｍ～１０ｍｍである。多孔質部４１の表面粗さ（Ｒａ）は、例えば０．１μｍ～５．０μｍであり、好ましくは０．２μｍ～２．０μｍである。なお、多孔質部４１の形状は、例えば、ハニカム状、平板状、管状、円筒状、円柱状または多角柱状等であってもよい。多孔質部４１の形状が管状または円筒状である場合、多孔質部４１の厚さは、例えば０．１ｍｍ～１０ｍｍである。
　多孔質部４１の材料は、表面に分離膜１２を形成する工程において化学的安定性を有するものであれば、様々な物質（例えば、セラミックまたは金属）が採用可能である。本実施の形態では、多孔質部４１はセラミック焼結体により形成される。多孔質部４１の材料として選択されるセラミック焼結体としては、例えば、アルミナ、シリカ、ムライト、ジルコニア、チタニア、イットリア、窒化ケイ素、炭化ケイ素等が挙げられる。本実施の形態では、多孔質部４１は、アルミナ、シリカおよびムライトのうち、少なくとも１種類を含む。
　多孔質部４１は、無機結合材を含んでいてもよい。無機結合材としては、チタニア、ムライト、易焼結性アルミナ、シリカ、ガラスフリット、粘土鉱物、易焼結性コージェライトのうち少なくとも１つを用いることができる。
　多孔質部４１の平均細孔径は、例えば０．０１μｍ～７０μｍであり、好ましくは０．０５μｍ～２５μｍである。分離膜１２が形成される表面近傍における多孔質部４１の平均細孔径は０．０１μｍ～１μｍであり、好ましくは０．０５μｍ～０．５μｍである。平均細孔径は、例えば、水銀ポロシメータ、パームポロシメータまたはナノパームポロシメータにより測定することができる。多孔質部４１の表面および内部を含めた全体における細孔径の分布について、Ｄ５は例えば０．０１μｍ～５０μｍであり、Ｄ５０は例えば０．０５μｍ～７０μｍであり、Ｄ９５は例えば０．１μｍ～２０００μｍである。分離膜１２が形成される表面近傍における多孔質部４１の気孔率は、例えば２０％～６０％である。
　多孔質部４１は、例えば、平均細孔径が異なる複数の層が厚さ方向に積層された多層構造を有する。分離膜１２が形成される表面を含む表面層における平均細孔径および焼結粒径は、表面層以外の層における平均細孔径および焼結粒径よりも小さい。多孔質部４１の表面層の平均細孔径は、例えば０．０１μｍ～１μｍであり、好ましくは０．０５μｍ～０．５μｍである。多孔質部４１が多層構造を有する場合、各層の材料は上記のものを用いることができる。多層構造を形成する複数の層の材料は、同じであってもよく、異なっていてもよい。
　緻密部４２は、多孔質部４１の長手方向の両端部に固定される膜状または薄板状の部材である。緻密部４２は、多孔質部４１の長手方向の各端部において、多孔質部４１の長手方向の端面、当該端面近傍の外側面、および、各貫通孔１１１の当該端面近傍の内側面を被覆して封止する。緻密部４２は、例えば、実質的に細孔を有しない非多孔質部材である。緻密部４２は、高強度、並びに、高い耐熱性および耐薬品性を有することが好ましい。
　緻密部４２は、例えば、ガラス、セラミック、金属、樹脂等により形成される。本実施の形態では、緻密部４２はガラス製である。緻密部４２は、例えば、多孔質部４１の表面上に焼成により形成されたガラス膜である。緻密部４２の平均厚さは、例えば、１μｍ～１０００μｍである。緻密部４２は、例えば、多孔質部４１の表面にガラスフリットを付着させ、多孔質部４１と共に焼成することにより形成される。緻密部４２の形成は、分離膜１２の形成と並行して行われてもよく、分離膜１２の形成よりも前または後に行われてもよい。なお、緻密部４２の材料および形状は、適宜変更されてよい。例えば、緻密部４２は、多孔質部４１の表面層よりも平均細孔径が小さい細孔を有する多孔質部材であってもよい。
　緻密部４２が配設された部分では、ガスおよび液体の流入および流出は実質的に生じず、生じたとしても僅かである。すなわち、緻密部４２は、多孔質部４１に連続して配置され、多孔質部４１へのガスおよび液体の流入および流出を実質的に防止する封止部である。なお、緻密部４２のうち多孔質部４１の長手方向の端面を覆う部位には、多孔質部４１の複数の貫通孔１１１と重なる複数の開口が設けられている。したがって、各貫通孔１１１の長手方向両端は、緻密部４２により被覆されておらず、当該両端から貫通孔１１１へのガスおよび液体の流入および流出は可能である。
　分離膜１２は、多孔質部４１の貫通孔１１１の内側面上において、当該内側面の略全面に亘って設けられる略円筒状の薄膜である。分離膜１２の長手方向の端部は、貫通孔１１１の内側面上において、当該内側面の長手方向の端部を覆う緻密部４２に接触する。すなわち、分離膜１２は、貫通孔１１１の内側面のうち、緻密部４２により覆われていない領域の略全体を覆う。図２に示す例では、分離膜１２の長手方向の端縁と、緻密部４２の長手方向の端縁とが接触しており、分離膜１２の長手方向の端部と、緻密部４２の長手方向の端部とは、貫通孔１１１の径方向（すなわち、図２中の上下方向）においてほとんど重なっていない。
　分離膜１２は、微細孔を有する緻密な多孔膜である。分離膜１２は、複数種類の物質が混合した混合物質から、特定の物質を分離可能である。なお、分離膜１２の平均細孔径は、緻密部４２が多孔質部材である場合、緻密部４２の平均細孔径よりも大きい。換言すれば、緻密部４２は、分離膜１２よりも緻密である。緻密部４２が多孔質部材である場合、仮に、緻密部４２によって上記混合物質から上記特定の物質を分離しようとすると、当該特定の物質の透過速度は、分離膜１２によって分離を行う場合の１／１０以下（好ましくは、１／１００以下）である。好ましくは、緻密部４２は、分離膜１２よりも十分に緻密で、当該特定の物質を実質的に透過させない非多孔質部材である。
　本実施の形態では、分離膜１２はゼオライト膜である。ゼオライト膜とは、少なくとも、支持体１１の多孔質部４１の表面にゼオライトが膜状に形成されたものであって、有機膜中にゼオライト粒子を分散させただけのものは含まない。ゼオライト膜は、上述のように、混合物質から特定の物質を分離する分離膜として利用可能である。ゼオライト膜では、当該特定の物質に比べて他の物質が透過しにくい。換言すれば、ゼオライト膜の当該他の物質の透過量は、上記特定の物質の透過量に比べて小さい。なお、ゼオライト膜は、構造や組成が異なる２種類以上のゼオライトを含んでいてもよい。
　分離膜１２の厚さは、例えば０．０５μｍ～３０μｍであり、好ましくは０．１μｍ～２０μｍであり、さらに好ましくは０．５μｍ～１０μｍである。分離膜１２を厚くすると分離性能が向上する。分離膜１２を薄くすると透過速度が増大する。分離膜１２の表面粗さ（Ｒａ）は、例えば５μｍ以下であり、好ましくは２μｍ以下であり、より好ましくは１μｍ以下であり、さらに好ましくは０．５μｍ以下である。
　分離膜１２に含まれるゼオライト結晶の細孔径（以下、単に「分離膜１２の細孔径」とも呼ぶ。）は、０．２ｎｍ以上かつ０．８ｎｍ以下であり、より好ましくは、０．３ｎｍ以上かつ０．７ｎｍ以下であり、さらに好ましくは、０．３ｎｍ以上かつ０．５ｎｍ以下である。分離膜１２の細孔径が０．２ｎｍ未満の場合、分離膜１２を透過する物質の量が少なくなる場合があり、分離膜１２の細孔径が０．８ｎｍよりも大きい場合、分離膜１２による物質の選択性が不十分となる場合がある。分離膜１２の細孔径とは、分離膜１２を構成するゼオライト結晶の細孔の最大直径（すなわち、酸素原子間距離の最大値である長径）と略垂直な方向における細孔の直径（すなわち、短径）である。分離膜１２の細孔径は、分離膜１２が配設される支持体１１の多孔質部４１の表面における平均細孔径よりも小さい。
　分離膜１２を構成するゼオライトの最大員環数がｎの場合、ｎ員環細孔の短径を分離膜１２の細孔径とする。また、ゼオライトが、ｎが等しい複数種のｎ員環細孔を有する場合には、最も大きい短径を有するｎ員環細孔の短径を分離膜１２の細孔径とする。なお、ｎ員環とは、細孔を形成する骨格を構成する酸素原子の数がｎ個であって、各酸素原子が後述のＴ原子と結合して環状構造をなす部分のことである。また、ｎ員環とは、貫通孔（チャンネル）を形成しているものをいい、貫通孔を形成していないものは含まない。ｎ員環細孔とは、ｎ員環により形成される細孔である。選択性能向上の観点から、上述の分離膜１２に含まれるゼオライトの最大員環数は、８以下（例えば、６または８）であることが好ましい。
　ゼオライト膜である分離膜１２の細孔径は当該ゼオライトの骨格構造によって一義的に決定され、国際ゼオライト学会の“Ｄａｔａｂａｓｅ　ｏｆ　Ｚｅｏｌｉｔｅ　Ｓｔｒｕｃｔｕｒｅｓ”［ｏｎｌｉｎｅ］、インターネット＜ＵＲＬ：ｈｔｔｐ：／／ｗｗｗ．ｉｚａ－ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ．ｏｒｇ／ｄａｔａｂａｓｅｓ／＞に開示されている値から求めることができる。
　分離膜１２を構成するゼオライトの種類は、特に限定されないが、例えば、ＡＥＩ型、ＡＥＮ型、ＡＦＮ型、ＡＦＶ型、ＡＦＸ型、ＢＥＡ型、ＣＨＡ型、ＤＤＲ型、ＥＲＩ型、ＥＴＬ型、ＦＡＵ型（Ｘ型、Ｙ型）、ＧＩＳ型、ＩＨＷ型、ＬＥＶ型、ＬＴＡ型、ＬＴＪ型、ＭＥＬ型、ＭＦＩ型、ＭＯＲ型、ＰＡＵ型、ＲＨＯ型、ＳＯＤ型、ＳＡＴ型等のゼオライトである。当該ゼオライトが８員環ゼオライトである場合、例えば、ＡＥＩ型、ＡＦＮ型、ＡＦＶ型、ＡＦＸ型、ＣＨＡ型、ＤＤＲ型、ＥＲＩ型、ＥＴＬ型、ＧＩＳ型、ＩＨＷ型、ＬＥＶ型、ＬＴＡ型、ＬＴＪ型、ＲＨＯ型、ＳＡＴ型等のゼオライトである。
　分離膜１２を構成するゼオライトは、Ｔ原子（すなわち、ゼオライトを構成する酸素四面体（ＴＯ４）の中心に位置する原子）として、例えば、ケイ素（Ｓｉ）、アルミニウム（Ａｌ）、リン（Ｐ）の少なくとも一種を含む。分離膜１２を構成するゼオライトとしては、Ｔ原子がＳｉのみ、もしくは、ＳｉとＡｌとからなるゼオライト、Ｔ原子がＡｌとＰとからなるＡｌＰＯ型のゼオライト、Ｔ原子がＳｉとＡｌとＰとからなるＳＡＰＯ型のゼオライト、Ｔ原子がマグネシウム（Ｍｇ）とＳｉとＡｌとＰとからなるＭＡＰＳＯ型のゼオライト、Ｔ原子が亜鉛（Ｚｎ）とＳｉとＡｌとＰとからなるＺｎＡＰＳＯ型のゼオライト等を用いることができる。Ｔ原子の一部は、他の元素に置換されていてもよい。
　分離膜１２は、例えば、Ｓｉを含む。分離膜１２は、例えば、Ｓｉ、ＡｌおよびＰのうちいずれか２つ以上を含んでいてもよい。分離膜１２は、アルカリ金属を含んでいてもよい。当該アルカリ金属は、例えば、ナトリウム（Ｎａ）またはカリウム（Ｋ）である。分離膜１２がＳｉ原子およびＡｌ原子を含む場合、分離膜１２におけるＳｉ／Ａｌ比は、例えば１以上かつ１０万以下である。Ｓｉ／Ａｌ比は、分離膜１２に含有されるＡｌ元素に対するＳｉ元素のモル比率である。当該Ｓｉ／Ａｌ比は、好ましくは５以上、より好ましくは２０以上、さらに好ましくは１００以上であり、高ければ高いほど好ましい。後述する原料溶液中のＳｉ源とＡｌ源との配合割合等を調整することにより、分離膜１２におけるＳｉ／Ａｌ比を調整することができる。
　なお、分離膜複合体１では、分離膜１２は、ゼオライト膜に加えて、ゼオライト膜以外の膜を備えていてもよい。あるいは、分離膜１２は、ゼオライト膜以外の膜であってもよい。
　被覆膜１３は、各貫通孔１１１内において、緻密部４２と分離膜１２との境界部４５を略全体に亘って被覆する薄膜状の部材である。図２に示す例では、緻密部４２と分離膜１２との境界部４５とは、緻密部４２の長手方向の端縁と分離膜１２とが接触している略円周状の領域である。なお、図２に示すように、緻密部４２の長手方向の端縁と分離膜１２とが接している略円周状の領域（すなわち、接触部）が、分離膜１２によって直接被覆されている場合は、当該接触部から多孔質部４１表面に垂直な方向（すなわち、多孔質部４１表面の法線方向）に延伸した面と分離膜１２表面とが交わる略円周状の領域を境界部４５とする。被覆膜１３は、緻密部４２と分離膜１２との境界部４５上において、貫通孔１１１の内側面の全周に亘って設けられる略円筒状の部分を含む部材である。被覆膜１３は、境界部４５から長手方向の両側に延在していてもよい。さらに、被覆膜１３は、分離膜１２の長手方向の端部上から緻密部４２へと長手方向に連続して広がり、緻密部４２の長手方向の端部を被覆していてもよい。
　図２に示す例では、被覆膜１３は、境界部４５から長手方向の分離膜１２側に１ｍｍ～５０ｍｍ延びている。また、被覆膜１３は、貫通孔１１１の内側面上において緻密部４２の略全面を被覆する。なお、図２に示す例では、被覆膜１３は、境界部４５から支持体１１の長手方向の端面（すなわち、緻密部４２の長手方向の端面）上まで延出しているが、当該端面上まで延出していなくてもよい。あるいは、被覆膜１３の緻密部４２側の端縁は、支持体１１の長手方向の端面と境界部４５との間に位置していてもよい。
　図４Ａは、分離膜複合体１の被覆膜１３近傍の断面を示すＳＥＭ（Scanning Electron Microscope）画像である。図４Ｂは、図４Ａの被覆膜１３を拡大して示すＳＥＭ画像である。図４Ａおよび図４Ｂに示すように、被覆膜１３は、層状無機化合物により形成された層状の微構造を有する薄膜部材である。層状無機化合物とは、層状構造を有する無機化合物である。換言すると、ＳＥＭやＴＥＭ（Transmission Electron Microscope）によって被覆膜１３の断面を観察した際に、層状の微構造が観察されることで、被覆膜１３が層状無機化合物により形成されていることを確認することができる。層状構造とは、原子が共有結合やイオン結合等によって強く結合して密に配列したシート構造が、ファンデルワールス力等の弱い結合力によって厚さ方向に略平行に積み重なった構造、または、当該シート構造が厚さ方向に積み重なってイオンや分子を介して結合した平板性の高い構造である。図４Ａおよび図４Ｂに示す被覆膜１３では、多数のシート構造が図中の上下方向に層状に積層されている。各シート構造の厚さは、例えば、０．３ｎｍ～１０ｎｍである。
　被覆膜１３を形成する層状無機化合物として、例えば、粘土鉱物、層状金属酸化物、層状複水酸化物、層状リン酸塩または層状炭素等が利用可能である。粘土鉱物としては、例えば、パイロフィライト、マイカ、スメクタイト、バーミキュライト、クロライト、カオリナイト、ハロイサイト、タルク、その他の層状ケイ酸塩等が利用可能である。層状金属酸化物としては、例えば、層状チタン酸塩、層状ニオブ酸塩、層状マンガン酸化物、層状ペロブスカイト等が利用可能である。層状リン酸塩としては、例えば、α型リン酸ジルコニウム、γ型リン酸ジルコニウム、α型リン酸チタン、γ型リン酸チタン、三リン酸アルミニウム等が利用可能である。層状炭素としては、例えば、グラファイト、グラフェン、酸化グラフェン等が利用可能である。
　被覆膜１３を形成する層状無機化合物は、好ましくは、粘土鉱物または層状金属酸化物であり、より好ましくは粘土鉱物である。さらに好ましくは、被覆膜１３を形成する層状無機化合物はスメクタイトである。当該スメクタイトとしては、モンモリロナイト、バイデライト、ノントロナイト、サポナイト、ヘクトライト、スチーブンサイト、ソーコナイト等が利用可能である。
　被覆膜１３は、ガスおよび液体を実質的に透過させず、透過させたとしても透過量は僅かであることが好ましい。被覆膜１３が多孔質部材である場合、仮に、被覆膜１３によって上記混合物質から上記特定の物質を分離しようとすると、当該特定の物質の透過速度は、分離膜１２によって分離を行う場合以下（好ましくは１／１０以下、より好ましくは１／１００以下）である。好ましくは、被覆膜１３は、分離膜１２よりも十分に緻密で、当該特定の物質を実質的に透過させない非多孔質部材である。被覆膜１３は、高強度、並びに、高い耐熱性および耐薬品性を有することが好ましい。なお、被覆膜１３と緻密部４２とは、どちらがより緻密であってもよく、同程度の緻密性を有していてもよい。
　被覆膜１３の平均厚さは、例えば０．００２μｍ以上であり、好ましくは０．０１μｍ以上である。当該平均厚さが０．００２μｍとされることにより、被覆膜１３の緻密性が向上され、ガスや液体等が被覆膜１３を透過することが好適に抑制される。また、当該平均厚さが０．０１μｍ以上とされることにより、被覆膜１３の緻密性がさらに向上される。被覆膜１３の平均厚さの上限は特に限定されないが、例えば１０μｍ以下であり、好ましくは５μｍ以下である。当該平均厚さが１０μｍ以下とされることにより、被覆膜１３にクラック等の欠陥が発生することが抑制される。また、当該平均厚さが５μｍ以下とされることにより、欠陥の発生がさらに抑制される。被覆膜１３の平均厚さは、断面をＳＥＭやＴＥＭで観察することにより求めることができる。
　次に、図５および図６を参照しつつ、分離膜複合体１を利用した混合物質の分離について説明する。図５は、分離装置２を示す図である。図６は、分離装置２による混合物質の分離の流れを示す図である。
　分離装置２では、複数種類の流体（すなわち、ガスまたは液体）を含む混合物質を分離膜複合体１に供給し、混合物質中の透過性が高い物質を、分離膜複合体１を透過させることにより混合物質から分離させる。分離装置２における分離は、例えば、透過性が高い物質（以下、「高透過性物質」とも呼ぶ。）を混合物質から抽出する目的で行われてもよく、透過性が低い物質（以下、「低透過性物質」とも呼ぶ。）を濃縮する目的で行われてもよい。
　当該混合物質（すなわち、混合流体）は、複数種類のガスを含む混合ガスであってもよく、複数種類の液体を含む混合液であってもよく、ガスおよび液体の双方を含む気液二相流体であってもよい。
　混合物質は、例えば、水素（Ｈ２）、ヘリウム（Ｈｅ）、窒素（Ｎ２）、酸素（Ｏ２）、水（Ｈ２Ｏ）、水蒸気（Ｈ２Ｏ）、一酸化炭素（ＣＯ）、二酸化炭素（ＣＯ２）、窒素酸化物、アンモニア（ＮＨ３）、硫黄酸化物、硫化水素（Ｈ２Ｓ）、フッ化硫黄、水銀（Ｈｇ）、アルシン（ＡｓＨ３）、シアン化水素（ＨＣＮ）、硫化カルボニル（ＣＯＳ）、Ｃ１～Ｃ８の炭化水素、有機酸、アルコール、メルカプタン類、エステル、エーテル、ケトンおよびアルデヒドのうち、１種類以上の物質を含む。上述の高透過性物質は、例えば、Ｈ２、Ｈｅ、Ｎ２、Ｏ２、Ｈ２Ｏ、ＣＯ２、ＮＨ３およびＨ２Ｓのうち１種類以上の物質である。
　窒素酸化物とは、窒素と酸素の化合物である。上述の窒素酸化物は、例えば、一酸化窒素（ＮＯ）、二酸化窒素（ＮＯ２）、亜酸化窒素（一酸化二窒素ともいう。）（Ｎ２Ｏ）、三酸化二窒素（Ｎ２Ｏ３）、四酸化二窒素（Ｎ２Ｏ４）、五酸化二窒素（Ｎ２Ｏ５）等のＮＯＸ（ノックス）と呼ばれるガスである。
　硫黄酸化物とは、硫黄と酸素の化合物である。上述の硫黄酸化物は、例えば、二酸化硫黄（ＳＯ２）、三酸化硫黄（ＳＯ３）等のＳＯＸ（ソックス）と呼ばれるガスである。
　フッ化硫黄とは、フッ素と硫黄の化合物である。上述のフッ化硫黄は、例えば、二フッ化二硫黄（Ｆ－Ｓ－Ｓ－Ｆ，Ｓ＝ＳＦ２）、二フッ化硫黄（ＳＦ２）、四フッ化硫黄（ＳＦ４）、六フッ化硫黄（ＳＦ６）または十フッ化二硫黄（Ｓ２Ｆ１０）等である。
　Ｃ１～Ｃ８の炭化水素とは、炭素が１個以上かつ８個以下の炭化水素である。Ｃ３～Ｃ８の炭化水素は、直鎖化合物、側鎖化合物および環式化合物のうちいずれであってもよい。また、Ｃ２～Ｃ８の炭化水素は、飽和炭化水素（すなわち、２重結合および３重結合が分子中に存在しないもの）、不飽和炭化水素（すなわち、２重結合および／または３重結合が分子中に存在するもの）のどちらであってもよい。Ｃ１～Ｃ４の炭化水素は、例えば、メタン（ＣＨ４）、エタン（Ｃ２Ｈ６）、エチレン（Ｃ２Ｈ４）、プロパン（Ｃ３Ｈ８）、プロピレン（Ｃ３Ｈ６）、ノルマルブタン（ＣＨ３（ＣＨ２）２ＣＨ３）、イソブタン（ＣＨ（ＣＨ３）３）、１－ブテン（ＣＨ２＝ＣＨＣＨ２ＣＨ３）、２－ブテン（ＣＨ３ＣＨ＝ＣＨＣＨ３）またはイソブテン（ＣＨ２＝Ｃ（ＣＨ３）２）である。
　上述の有機酸は、カルボン酸またはスルホン酸等である。カルボン酸は、例えば、ギ酸（ＣＨ２Ｏ２）、酢酸（Ｃ２Ｈ４Ｏ２）、シュウ酸（Ｃ２Ｈ２Ｏ４）、アクリル酸（Ｃ３Ｈ４Ｏ２）または安息香酸（Ｃ６Ｈ５ＣＯＯＨ）等である。スルホン酸は、例えばエタンスルホン酸（Ｃ２Ｈ６Ｏ３Ｓ）等である。当該有機酸は、鎖式化合物であってもよく、環式化合物であってもよい。
　上述のアルコールは、例えば、メタノール（ＣＨ３ＯＨ）、エタノール（Ｃ２Ｈ５ＯＨ）、イソプロパノール（２－プロパノール）（ＣＨ３ＣＨ（ＯＨ）ＣＨ３）、エチレングリコール（ＣＨ２（ＯＨ）ＣＨ２（ＯＨ））またはブタノール（Ｃ４Ｈ９ＯＨ）等である。
　メルカプタン類とは、水素化された硫黄（ＳＨ）を末端に持つ有機化合物であり、チオール、または、チオアルコールとも呼ばれる物質である。上述のメルカプタン類は、例えば、メチルメルカプタン（ＣＨ３ＳＨ）、エチルメルカプタン（Ｃ２Ｈ５ＳＨ）または１－プロパンチオール（Ｃ３Ｈ７ＳＨ）等である。
　上述のエステルは、例えば、ギ酸エステルまたは酢酸エステル等である。
　上述のエーテルは、例えば、ジメチルエーテル（（ＣＨ３）２Ｏ）、メチルエチルエーテル（Ｃ２Ｈ５ＯＣＨ３）またはジエチルエーテル（（Ｃ２Ｈ５）２Ｏ）等である。
　上述のケトンは、例えば、アセトン（（ＣＨ３）２ＣＯ）、メチルエチルケトン（Ｃ２Ｈ５ＣＯＣＨ３）またはジエチルケトン（（Ｃ２Ｈ５）２ＣＯ）等である。
　上述のアルデヒドは、例えば、アセトアルデヒド（ＣＨ３ＣＨＯ）、プロピオンアルデヒド（Ｃ２Ｈ５ＣＨＯ）またはブタナール（ブチルアルデヒド）（Ｃ３Ｈ７ＣＨＯ）等である。
　以下の説明では、分離装置２により分離される混合物質は、複数種類のガスを含む混合ガスであるものとして説明する。
　分離装置２は、分離膜複合体１と、外筒２２と、２つのシール部材２３と、供給部２６と、第１回収部２７と、第２回収部２８とを備える。分離膜複合体１およびシール部材２３は、外筒２２内に収容される。供給部２６、第１回収部２７および第２回収部２８は、外筒２２の外部に配置されて外筒２２に接続される。
　外筒２２の形状は特に限定されないが、例えば、略円筒状の筒状部材である。外筒２２は、例えばステンレス鋼または炭素鋼により形成される。外筒２２の長手方向は、分離膜複合体１の長手方向に略平行である。外筒２２の長手方向の一方の端部（すなわち、図５中の左側の端部）には供給ポート２２１が設けられ、他方の端部には第１排出ポート２２２が設けられる。外筒２２の側面には、第２排出ポート２２３が設けられる。供給ポート２２１には、供給部２６が接続される。第１排出ポート２２２には、第１回収部２７が接続される。第２排出ポート２２３には、第２回収部２８が接続される。外筒２２の内部空間は、外筒２２の周囲の空間から隔離された密閉空間である。
　２つのシール部材２３は、分離膜複合体１の長手方向両端部近傍において、分離膜複合体１の外側面と外筒２２の内側面との間に、全周に亘って配置される。各シール部材２３は、ガスおよび液体が透過不能な材料により形成された略円環状の部材である。シール部材２３は、例えば、可撓性を有する樹脂により形成されたＯリングである。シール部材２３は、分離膜複合体１の外側面および外筒２２の内側面に全周に亘って密着する。図５に示す例では、シール部材２３は、分離膜複合体１の支持体１１の外側面上において緻密部４２により多孔質部４１が覆われている部位に密着する。なお、緻密部４２のシール部材２３が配置される部位には、被覆膜１３が形成されていてもよい。換言すれば、シール部材２３と緻密部４２は、被覆膜１３を介して密着していてもよい。シール部材２３と分離膜複合体１の外側面との間、および、シール部材２３と外筒２２の内側面との間は、シールされており、ガスおよび液体の通過はほとんど、または、全く不能である。
　供給部２６は、混合ガスを、供給ポート２２１を介して外筒２２の内部空間に供給する。供給部２６は、例えば、外筒２２に向けて混合ガスを圧送するブロワまたはポンプ等の圧送機構を備える。当該圧送機構は、例えば、外筒２２に供給する混合ガスの温度および圧力をそれぞれ調節する温度調節部および圧力調節部を備える。第１回収部２７および第２回収部２８は、例えば、外筒２２から導出されたガスを貯留する貯留容器、または、当該ガスを移送するブロワまたはポンプを備える。
　混合ガスの分離が行われる際には、まず、分離膜複合体１が準備される（図６：ステップＳ１１）。具体的には、分離膜複合体１が外筒２２の内部に取り付けられることにより準備される。続いて、供給部２６により、分離膜１２に対する透過性が異なる複数種類のガスを含む混合ガスが、矢印２５１にて示すように、外筒２２の内部に供給される。例えば、混合ガスの主成分は、ＣＯ２およびＣＨ４である。混合ガスには、ＣＯ２およびＣＨ４以外のガスが含まれていてもよい。供給部２６から外筒２２の内部に供給される混合ガスの圧力（すなわち、供給側圧力）は、例えば、０．１ＭＰａＧ～２０．０ＭＰａＧである。供給部２６から供給される混合ガスの温度は、例えば、１０℃～２５０℃である。
　供給部２６から外筒２２に供給された混合ガスは、分離膜複合体１の図中の左端から、支持体１１の各貫通孔１１１内に導入される。換言すれば、供給部２６からの混合ガスは、外筒２２内の分離膜複合体１に供給される。混合ガス中の透過性が高いガスである高透過性物質（例えば、ＣＯ２）は、各貫通孔１１１の内側面上に設けられた分離膜１２、および、支持体１１の多孔質部４１を透過して支持体１１の外側面から導出される。これにより、高透過性物質が混合ガスから分離される（ステップＳ１２）。
　支持体１１の外側面から導出されたガス（以下、「透過物質」と呼ぶ。）は、矢印２５３にて示すように、第２排出ポート２２３を介して第２回収部２８へと導かれ、第２回収部２８により回収される。第２回収部２８により回収されるガスの圧力（すなわち、透過側圧力）は、例えば、０．０ＭＰａＧである。透過物質には、上述の高透過性物質以外に、混合ガス中の透過性が低いガスである低透過性物質（例えば、ＣＨ４）が含まれていてもよい。
　また、混合ガスのうち、分離膜１２および支持体１１を透過した物質を除くガス（以下、「不透過物質」と呼ぶ。）は、支持体１１の各貫通孔１１１を図中の左側から右側へと通過し、矢印２５２にて示すように、第１排出ポート２２２を介して第１回収部２７により回収される。第１回収部２７により回収されるガスの圧力は、例えば、導入圧と略同じ圧力である。不透過物質には、上述の低透過性物質以外に、分離膜１２を透過しなかった高透過性物質が含まれていてもよい。第１回収部２７により回収された不透過物質は、例えば、供給部２６に循環されて、外筒２２内へと再度供給されてもよい。
　次に、図７を参照しつつ、分離膜複合体１の製造の流れの一例について説明する。以下の説明では、ＤＤＲ型ゼオライト膜である分離膜１２を備える分離膜複合体１の製造方法について説明する。分離膜複合体１が製造される際には、まず、支持体１１が形成されて準備される（ステップＳ２１）。ステップＳ２１では、例えば、多孔質部４１の骨材の材料、造孔剤およびバインダ等を含む原料が調製および混合される。続いて、当該原料に水が投入され、ニーダーにより混練されて坏土が調製される。次に、押出成形機等により坏土が成形され、複数の貫通孔１１１（図１参照）を有する成形体が得られる。なお、押出成形以外の成形方法により成形体が成形されてもよい。
　当該成形体は、乾燥および脱脂される。そして、当該成形体において緻密部４２が設けられる予定の領域に、ガラスフリット等の緻密部４２の材料が付着される。その後、ガラスフリット等が付着された成形体が焼成されることにより支持体１１が形成される。支持体１１は、上述のように、多孔質部４１と、多孔質部４１に連続する緻密部４２とを備える。すなわち、ステップＳ２１は、支持体１１の緻密部４２を多孔質部４１に連続させて形成して配置する工程である。成形体最表層の焼成処理時の温度（すなわち、焼成温度）は、例えば１０００℃～１５００℃であり、本実施の形態では１２５０℃である。焼成時間は、例えば、１時間～１００時間である。成形体の焼成処理の条件は、適宜変更されてよい。なお、ステップＳ２１では、上記成形体にガラスフリット等を付着させずに焼成を行って多孔質部４１を形成した後に、多孔質部４１にガラスフリット等が付着されて再度焼成されることにより、多孔質部４１に連続する緻密部４２が形成されてもよい。
　分離膜複合体１の製造では、ステップＳ２１と並行して、あるいは、ステップＳ２１よりも前または後に、分離膜１２の形成に利用されるゼオライトの種結晶が生成されて準備される（ステップＳ２２）。種結晶の生成では、Ｓｉ源等の原料および構造規定剤（Structure-Directing Agent、以下「ＳＤＡ」とも呼ぶ。）等を、溶媒に溶解または分散させることにより、種結晶の原料溶液が作製される。続いて、当該原料溶液の水熱合成が行われ、得られた結晶を洗浄および乾燥させることにより、ゼオライト（例えば、ＤＤＲ型ゼオライト）の粉末が得られる。当該ゼオライトの粉末はそのまま種結晶として用いられてもよく、当該粉末を粉砕等によって加工することにより種結晶が得られてもよい。
　続いて、種結晶を支持体１１の貫通孔１１１の内側面上に付着させる（ステップＳ２３）。具体的には、各貫通孔１１１の内側面のうち、多孔質部４１が露出している部位に種結晶を付着させる。支持体１１への種結晶の付着は、例えば、種結晶を溶媒（例えば、水、または、エタノール等のアルコール）に分散させた分散液に、多孔質の支持体１１を浸漬することにより行われる。支持体１１の分散液への浸漬は、複数回繰り返されてもよい。また、種結晶は、上記とは異なる他の手法により支持体１１に付着されてもよい。
　種結晶が付着された支持体１１は、原料溶液に浸漬される。原料溶液は、例えば、Ｓｉ源およびＳＤＡ等を、溶媒に溶解させることにより作製する。原料溶液の組成は、例えば、１．０ＳｉＯ２：０．０１５ＳＤＡ：０．１２（ＣＨ２）２（ＮＨ２）２である。原料溶液の溶媒には、水やエタノール等のアルコールを用いてもよい。原料溶液の溶媒に水が用いられる場合、原料溶液に含まれる水に対するＳＤＡのモル比率は、好ましくは０．０１以下である。また、原料溶液に含まれる水に対するＳＤＡのモル比率は、好ましくは０．００００１以上である。原料溶液に含まれるＳＤＡは、例えば有機物である。ＳＤＡとして、例えば、１－アダマンタンアミンを用いることができる。
　そして、水熱合成により上述の種結晶を核としてＤＤＲ型のゼオライトを成長させることにより、支持体１１の多孔質部４１上にＤＤＲ型の分離膜１２が形成される（ステップＳ２４）。分離膜１２の長手方向の端部は、上述のように、緻密部４２の長手方向の端部と接触している。水熱合成時の温度は、好ましくは１２０～２００℃であり、例えば１３０℃である。水熱合成時間は、好ましくは５～１００時間であり、例えば１５時間である。
　水熱合成が終了すると、支持体１１および分離膜１２を純水で洗浄する。洗浄後の支持体１１および分離膜１２は、例えば８０℃にて乾燥される。支持体１１および分離膜１２を乾燥した後に、分離膜１２を加熱処理することによって、分離膜１２中のＳＤＡをおよそ完全に燃焼除去して、分離膜１２内の微細孔を貫通させる（ステップＳ２５）。
　なお、分離膜複合体１の製造方法では、ステップＳ２１における緻密部４２の形成は、ステップＳ２２～Ｓ２５（すなわち、多孔質部４１上への分離膜１２の形成）よりも後に行われてもよい。また、ＳＤＡの使用態様によっては、ステップＳ２５は省略されてもよい。
　ステップＳ２１～Ｓ２５が終了すると、分離膜１２と緻密部４２との境界部４５上に、層状無機化合物により形成された被覆膜１３が形成される。これにより、境界部４５が被覆膜１３によって被覆される（ステップＳ２６）。
　被覆膜１３の形成では、まず、被覆膜１３の材料（以下、「被覆膜材料」とも呼ぶ。）を溶媒に分散させて分散液を調製する。被覆膜材料は、層状無機化合物（例えば、スメクタイト等の粘土鉱物）の粉末である。分散液中では、溶媒分子が層状無機化合物の層間に入り込み、層状無機化合物が薄片に分離している。各薄片の面方向（すなわち、厚さ方向に垂直な方向）の大きさは、例えば、数十ｎｍ～数十μｍである。溶媒の種類は、被覆膜１３の材料の種類に合わせて適宜決定される。被覆膜１３の材料としてスメクタイトが利用される場合、溶媒として純水等が利用可能である。分散液中における被覆膜材料の含有率は、被覆膜材料の種類、および、形成予定の被覆膜１３の厚さ等により適宜決定される。当該含有率は、例えば、０．１質量％～１０質量％である。
　分散液が調製されると、貫通孔１１１の内側面に分離膜１２が形成された支持体１１に対して分散液が付与される。分散液は、貫通孔１１１の内側面上において、被覆膜１３が形成される予定の領域（すなわち、境界部４５を含む領域）全体に付与され、当該領域以外には付与されない。分散液の付与は、例えば、支持体１１の長手方向の端部を、容器に貯留されている分散液中に挿入して浸漬すること（いわゆる、ディップコート）により行われる。分散液の付与は、ディップコート以外の様々な方法により行われてよい。例えば、支持体１１および分離膜１２に対して、分散液がスプレーされてもよく、刷毛等のコータにより分散液が塗布されてもよい。
　その後、分散液が塗布された支持体１１および分離膜１２が乾燥される。当該乾燥は、例えば、２０℃～１００℃の温度環境下における自然乾燥や通風乾燥である。分散液が乾燥することにより、分離膜１２と緻密部４２との境界部４５を被覆する被覆膜１３が形成され、上述の分離膜複合体１が得られる。
　分離膜複合体１の製造では、ステップＳ２６よりも後に、分離膜複合体１（すなわち、支持体１１、分離膜１２および被覆膜１３）が、２００℃以上の温度で熱処理されてもよい（ステップＳ２７）。これにより、分離膜１２および緻密部４２に対する被覆膜１３の密着性が向上される。また、被覆膜１３の緻密性も向上される。熱処理時の加熱温度は、例えば２００℃以上かつ１０００℃以下であり、好ましくは２５０℃以上かつ８００℃以下であり、より好ましくは３００℃以上かつ６００℃以下である。熱処理時の加熱時間は、例えば１時間～１００時間である。当該熱処理は、例えば、分離膜複合体１を乾燥機や電気炉等に収容して加熱することにより行われる。当該熱処理は、他の様々な方法により行われてもよい。また、熱処理時の雰囲気としては、例えば、大気、酸素、不活性ガス等が利用可能である。
　次に、表１を参照しつつ、被覆膜１３の有無と分離膜複合体１の分離性能との関係について説明する。表１中の実施例１～３の分離膜複合体１は、上述の被覆膜１３を備える分離膜複合体である。比較例１の分離膜複合体は、被覆膜１３を備えない（すなわち、分離膜１２と緻密部４２との境界部４５が露出している）分離膜複合体である。
　分離膜複合体１におけるＣＯ２およびＣＨ４の透過速度（すなわち、パーミアンス）は、上述の分離装置２において、ＣＯ２およびＣＨ４の混合ガスを供給部２６から外筒２２内の分離膜複合体１に供給して求めた。透過速度の単位は、［ｎｍｏｌ／（ｍ２・ｓ・Ｐａ）］である。混合ガスにおけるＣＯ２の含有率は５０体積％であり、ＣＨ４の含有率は５０体積％である。供給部２６から分離膜複合体１に供給される混合ガスの圧力（すなわち、供給側圧力）は０．３ＭＰａＧである。分離膜複合体１を透過した透過ガスの圧力（すなわち、透過側圧力）は、０ＭＰａＧである。ＣＯ２およびＣＨ４の透過速度は、透過ガスをマスフローメータ（ＭＦＭ）およびガスクロマトグラフで測定することにより求めた。そして、ＣＯ２透過速度をＣＨ４透過速度により除算して、ＣＨ４透過速度に対するＣＯ２透過速度の比（すなわち、透過速度比ＣＯ２／ＣＨ４）を求めた。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
　表１中の透過速度比係数は、比較例１の透過速度比ＣＯ２／ＣＨ４を基準（すなわち、１．０）として、実施例１～３の透過速度比ＣＯ２／ＣＨ４の割合を示したものである。換言すれば、当該透過速度比係数は、実施例１～３の透過速度比ＣＯ２／ＣＨ４を、比較例１の透過速度比ＣＯ２／ＣＨ４によって除算した値である。
　比較例１の分離膜複合体は、上述のステップＳ２１～２５に示す製造方法により製造した。支持体１１の多孔質部４１は、モノリス型の多孔質アルミナ基材である。緻密部４２は、ガラス製の薄膜である。分離膜１２は、ＤＤＲ型のゼオライト膜である。ステップＳ２４における水熱合成温度および水熱合成時間はそれぞれ、１３０℃および１５時間である。ステップＳ２５では、４５０℃で５０時間加熱することによりＳＤＡを除去した。
　実施例１の分離膜複合体１は、比較例１の分離膜複合体に対して、上述のステップＳ２６～Ｓ２７を行うことにより製造した。ステップＳ２６における分散液は、被覆膜材料として粘土鉱物である「スメクトン－ＳＡ」（クニミネ工業株式会社製）を用い、当該被覆膜材料を純水に分散して調製した。スメクトン－ＳＡは、サポナイトを主成分とする合成スメクタイトである。当該分散液中の被覆膜材料の含有率は、１質量％とした。ステップＳ２７の熱処理時の加熱温度および加熱時間はそれぞれ、２００℃および２０時間とした。透過速度比係数は１．６であり、被覆膜１３を有しない比較例１に比べて分離膜複合体１の分離性能が向上した。分離性能の向上は、分離膜１２と緻密部４２との境界部４５におけるクラック等の欠陥が被覆膜１３により被覆（すなわち、補修）され、当該欠陥からのＣＨ４の漏出が抑制されたことによる。被覆膜１３の厚さは、０．８μｍであった。
　実施例２は、被覆膜材料を粘土鉱物である「スメクトン－ＳＷＮ」（クニミネ工業株式会社製）に変更した点を除き、実施例１と同様である。スメクトン－ＳＷＮは、ヘクトライトを主成分とする合成スメクタイトである。透過速度比係数は１．６であり、被覆膜１３を有しない比較例１に比べて分離膜複合体１の分離性能が向上した。被覆膜１３の厚さは、２．０μｍであった。
　実施例３は、被覆膜材料を粘土鉱物である「クニピア－Ｆ」（クニミネ工業株式会社製）に変更した点を除き、実施例１と同様である。クニピア－Ｆは、モンモリロナイトを主成分とする精製ベントナイトである。透過速度比係数は１．３であり、被覆膜１３を有しない比較例１に比べて分離膜複合体１の分離性能が向上した。被覆膜１３の厚さは、０．５μｍであった。
　なお、実施例１～３の分離膜複合体１を４００℃で１時間加熱した後に、上記と同様に透過速度比係数を測定した結果、透過速度比係数は変化しなかった。このことから、実施例１～３の分離膜複合体１における被覆膜１３は、高い耐熱性を有することがわかる。
　以上に説明したように、分離膜複合体１は、支持体１１と、分離膜１２と、被覆膜１３とを備える。支持体１１は、連続して配置される多孔質部４１および緻密部４２を有する。分離膜１２は、支持体１１の多孔質部４１上に設けられる。分離膜１２の端部は、緻密部４２に接触する。被覆膜１３は、層状無機化合物により形成される。被覆膜１３は、緻密部４２と分離膜１２との境界部４５を被覆する。分離膜複合体１では、分離膜１２と緻密部４２との境界部４５におけるクラック等の欠陥が被覆膜１３により被覆（すなわち、補修）されるため、上述の低透過性物質が当該欠陥から漏出して透過物質に含まれることを抑制することができる。その結果、実施例１～３に示すように、分離膜複合体１の分離性能を向上することができる。また、被覆膜材料として層状無機化合物を用いることにより、ゼオライトにより被覆膜を形成する場合に比べて、緻密な被覆膜１３を容易に形成することができる。その結果、分離膜複合体１を容易に製造することができる。
　上述のように、層状無機化合物は粘土鉱物または層状金属酸化物であることが好ましい。これにより、被覆膜１３の耐熱性を高くすることができる。
　上述のように、層状無機化合物は粘土鉱物であることがより好ましい。これにより、被覆膜１３の形成をさらに容易とすることができる。また、粘土鉱物は入手が容易であり、比較的廉価でもあるため、分離膜複合体１の製造コストを低減することができる。
　上述のように、層状無機化合物はスメクタイト（実施例１，２）であることがさらに好ましい。これにより、層状無機化合物がベントナイト（実施例３）である場合に比べて、被覆膜１３の緻密性をさらに向上することができ、分離膜複合体１の分離性能をさらに向上することができる。
　上述のように、被覆膜１３の平均厚さは０．００２μｍ以上であることが好ましい。これにより、被覆膜１３の緻密性を向上し、ガスや液体等が被覆膜１３を透過することを好適に抑制することができる。その結果、分離膜複合体１の分離性能を好適に向上することができる。
　上述のように、分離膜１２はゼオライト膜であることが好ましい。細孔径が均一であるゼオライト結晶により分離膜１２を構成することにより、透過対象物質の選択的透過を好適に実現することができる。その結果、当該透過対象物質を混合物質から効率良く分離することができる。
　上述のように、分離装置２は、上記分離膜複合体１と、複数種類のガスまたは液体を含む混合物質を分離膜複合体１に供給する供給部２６と、を備える。分離膜複合体１は、当該混合物質中の透過性が高い物質（すなわち、高透過性物質）を透過することにより、混合物質から分離する。当該分離装置２では、高い透過速度比にて、高透過性物質を混合物質から分離させることができる。
　上述の分離方法は、上記分離膜複合体１を準備する工程（ステップＳ１１）と、複数種類のガスまたは液体を含む混合物質を分離膜複合体１に供給し、当該混合物質中の透過性が高い物質（すなわち、高透過性物質）を、分離膜複合体１を透過させることにより混合物質から分離する工程（ステップＳ１２）と、を備える。これにより、高い透過速度比にて、高透過性物質を混合物質から分離させることができる。
　当該分離方法は、混合物質が、水素、ヘリウム、窒素、酸素、水、水蒸気、一酸化炭素、二酸化炭素、窒素酸化物、アンモニア、硫黄酸化物、硫化水素、フッ化硫黄、水銀、アルシン、シアン化水素、硫化カルボニル、Ｃ１～Ｃ８の炭化水素、有機酸、アルコール、メルカプタン類、エステル、エーテル、ケトンおよびアルデヒドのうち、１種類以上の物質を含む場合に特に適している。
　上述の分離膜複合体１の製造方法は、支持体１１の緻密部４２を多孔質部４１に連続させて配置する工程（ステップＳ２１）と、支持体１１の多孔質部４１上に分離膜１２を形成する工程（ステップＳ２４）と、端部が緻密部４２に接触する分離膜１２と緻密部４２との境界部４５上に、層状無機化合物により形成された被覆膜１３を形成することにより境界部４５を被覆する工程（ステップＳ２６）と、を備える。これにより、緻密な被覆膜１３を容易に形成することができ、その結果、分離性能が高い分離膜複合体１を容易に製造することができる。
　上述のように、分離膜複合体１の製造方法は、ステップＳ２６よりも後に、支持体１１、分離膜１２および被覆膜１３を２００℃以上の温度で熱処理する工程（ステップＳ２７）をさらに備えることが好ましい。これにより、分離膜１２および緻密部４２と被覆膜１３との密着性を向上することができる。また、被覆膜１３の緻密性を向上することもできる。
　上述の分離膜複合体１、および、分離膜複合体１の製造方法、並びに、分離装置２および分離方法では、様々な変更が可能である。
　例えば、被覆膜１３の平均厚さは、必ずしも０．００２μｍ以上である必要はなく、１０μｍ以下である必要もない。すなわち、被覆膜１３の平均厚さは、０．００２μｍ未満であってもよく、１０μｍよりも厚くてもよい。
　上述のように、図２に例示する分離膜複合体１では、分離膜１２の長手方向の端部と、緻密部４２の長手方向の端部とは、貫通孔１１１の径方向（すなわち、図２中の上下方向）においてほとんど重なっていないが、これらの端部は重なっていてもよい。
　例えば、図８に示すように、緻密部４２の長手方向の端部が、多孔質部４１の貫通孔１１１の内側面と直接的に接触しており、分離膜１２の長手方向の端部は、緻密部４２上に設けられてもよい。換言すれば、分離膜１２の長手方向の端部は、緻密部４２を挟んで、多孔質部４１の貫通孔１１１の内側面と間接的に接触している。この場合、分離膜１２と緻密部４２との境界部４５は、緻密部４２の端縁と分離膜１２とが接している略円周状の領域を多孔質部４１表面に垂直な方向に延伸した面と、分離膜１２表面とが交わる略円周状の部位を指す。被覆膜１３は、境界部４５を略全体に亘って被覆し、境界部４５から長手方向の両側に延在する。これにより、上記と同様に、分離膜複合体１の分離性能を向上することができる。また、緻密な被覆膜１３を容易に形成することができる。
　あるいは、図９に示すように、分離膜１２の長手方向の端部が、多孔質部４１の貫通孔１１１の内側面と直接的に接触しており、緻密部４２の長手方向の端部は、分離膜１２上に設けられてもよい。換言すれば、緻密部４２の長手方向の端部は、分離膜１２を挟んで、多孔質部４１の貫通孔１１１の内側面と間接的に接触している。この場合、分離膜１２と緻密部４２との境界部４５は、貫通孔１１１の径方向において緻密部４２の端縁と分離膜１２とが接している略円周状の部位を指す。被覆膜１３は、境界部４５を略全体に亘って被覆し、境界部４５から長手方向の両側に延在する。これにより、上記と同様に、分離膜複合体１の分離性能を向上することができる。また、緻密な被覆膜１３を容易に形成することができる。
　また、図１０に示すように、緻密部４２は、多孔質部４１の長手方向の端面に固定されていてもよい。多孔質部４１の断面形状と緻密部４２の断面形状とは、略同じであってもよく、異なっていてもよい。分離膜１２は、多孔質部４１上に設けられ、緻密部４２上にも延在している。すなわち、分離膜１２は、多孔質部４１と緻密部４２との境界部を覆っている。この場合、分離膜１２と緻密部４２との境界部４５は、貫通孔１１１の径方向において緻密部４２の端縁と分離膜１２とが接している略円周状の部位を指す。被覆膜１３は、境界部４５を略全体に亘って被覆し、境界部４５から長手方向の両側に延在する。これにより、上記と同様に、分離膜複合体１の分離性能を向上することができる。また、緻密な被覆膜１３を容易に形成することができる。なお、図１０に示す例では、被覆膜１３は、緻密部４２の貫通孔４２１の内側面を略全面に亘って被覆する。
　分離膜複合体１の製造方法は、上記例には限定されず、様々に変更されてよい。例えば、分離膜１２および被覆膜１３を２００℃以上の温度で熱処理する工程（ステップＳ２７）は省略されてもよい。
　分離膜複合体１は、支持体１１、分離膜１２および被覆膜１３に加えて、分離膜１２上に積層された機能膜や保護膜をさらに備えていてもよい。このような機能膜や保護膜は、ゼオライト膜、シリカ膜または炭素膜等の無機膜であってもよく、ポリイミド膜またはシリコーン膜等の有機膜であってもよい。
　上述のように、分離膜１２はゼオライト膜以外の膜（例えば、上述の無機膜または有機膜）であってもよい。
　上述の分離装置２および分離方法では、上記説明にて例示した物質以外の物質が、混合物質から分離されてもよい。また、分離装置２の構造も、上記例には限定されず、様々に変更されてよい。
　上記実施の形態および各変形例における構成は、相互に矛盾しない限り適宜組み合わされてよい。
　発明を詳細に描写して説明したが、既述の説明は例示的であって限定的なものではない。したがって、本発明の範囲を逸脱しない限り、多数の変形や態様が可能であるといえる。
　本発明の分離膜複合体は、例えば、ガス分離膜として利用可能であり、さらには、ガス以外の様々な物質の分離膜や吸着膜等として、様々な分野で利用可能である。
　１　　分離膜複合体
　２　　分離装置
　１１　　支持体
　１２　　分離膜
　１３　　被覆膜
　２６　　供給部
　４１　　多孔質部
　４２　　緻密部
　４５　　境界部
　Ｓ１１～Ｓ１２，Ｓ２１～Ｓ２７　　ステップ

Claims (16)

  1. 　分離膜複合体であって、
    　連続して配置される多孔質部および緻密部を有する支持体と、
    　前記支持体の前記多孔質部上に設けられて端部が前記緻密部に接触する分離膜と、
    　前記緻密部と前記分離膜との境界部を被覆する層状無機化合物により形成された被覆膜と、
    を備える。
  2. 　請求項１に記載の分離膜複合体であって、
    　前記層状無機化合物は粘土鉱物または層状金属酸化物である。
  3. 　請求項２に記載の分離膜複合体であって、
    　前記層状無機化合物は粘土鉱物である。
  4. 　請求項３に記載の分離膜複合体であって、
    　前記層状無機化合物はスメクタイトである。
  5. 　請求項１ないし４のいずれか１つに記載の分離膜複合体であって、
    　前記被覆膜の平均厚さは０．００２μｍ以上である。
  6. 　請求項１ないし５のいずれか１つに記載の分離膜複合体であって、
    　前記分離膜はゼオライト膜である。
  7. 　分離装置であって、
    　請求項１ないし６のいずれか１つに記載の分離膜複合体と、
    　複数種類のガスまたは液体を含む混合物質を前記分離膜複合体に供給する供給部と、
    を備え、
    　前記分離膜複合体は、前記混合物質中の透過性が高い物質を透過することにより前記混合物質から分離する。
  8. 　分離方法であって、
    　ａ）請求項１ないし６のいずれか１つに記載の分離膜複合体を準備する工程と、
    　ｂ）複数種類のガスまたは液体を含む混合物質を前記分離膜複合体に供給し、前記混合物質中の透過性が高い物質を、前記分離膜複合体を透過させることにより前記混合物質から分離する工程と、
    を備える。
  9. 　請求項８に記載の分離方法であって、
    　前記混合物質は、水素、ヘリウム、窒素、酸素、水、水蒸気、一酸化炭素、二酸化炭素、窒素酸化物、アンモニア、硫黄酸化物、硫化水素、フッ化硫黄、水銀、アルシン、シアン化水素、硫化カルボニル、Ｃ１～Ｃ８の炭化水素、有機酸、アルコール、メルカプタン類、エステル、エーテル、ケトンおよびアルデヒドのうち、１種類以上の物質を含む。
  10. 　分離膜複合体の製造方法であって、
    　ａ）支持体の緻密部を多孔質部に連続させて配置する工程と、
    　ｂ）前記支持体の前記多孔質部上に分離膜を形成する工程と、
    　ｃ）端部が前記緻密部に接触する前記分離膜と前記緻密部との境界部上に、層状無機化合物により形成された被覆膜を形成することにより前記境界部を被覆する工程と、
    を備える。
  11. 　請求項１０に記載の分離膜複合体の製造方法であって、
    　前記層状無機化合物は粘土鉱物または層状金属酸化物である。
  12. 　請求項１１に記載の分離膜複合体の製造方法であって、
    　前記層状無機化合物は粘土鉱物である。
  13. 　請求項１２に記載の分離膜複合体の製造方法であって、
    　前記層状無機化合物はスメクタイトである。
  14. 　請求項１０ないし１３のいずれか１つに記載の分離膜複合体の製造方法であって、
    　前記被覆膜の平均厚さは０．００２μｍ以上である。
  15. 　請求項１０ないし１４のいずれか１つに記載の分離膜複合体の製造方法であって、
    　前記分離膜はゼオライト膜である。
  16. 　請求項１０ないし１５のいずれか１つに記載の分離膜複合体の製造方法であって、
    　前記ｃ）工程よりも後に、前記支持体、前記分離膜および前記被覆膜を２００℃以上の温度で熱処理する工程をさらに備える。
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