WO2018122920A1 - 終端器 - Google Patents

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WO2018122920A1
WO2018122920A1 PCT/JP2016/088705 JP2016088705W WO2018122920A1 WO 2018122920 A1 WO2018122920 A1 WO 2018122920A1 JP 2016088705 W JP2016088705 W JP 2016088705W WO 2018122920 A1 WO2018122920 A1 WO 2018122920A1
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branch
conductor
dielectric substrate
signal
terminator
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石橋　秀則
幸宣 垂井
祐子 小野寺
裕之 青山
米田　尚史
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三菱電機株式会社
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Priority to GB1906812.1A priority patent/GB2571214B/en
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Definitions

  • the present invention relates to a terminator that suppresses unnecessary reflection of signals.
  • the terminator is, for example, an electronic device attached to an input / output terminal of a high frequency circuit such as a communication device.
  • a high frequency circuit such as a communication device.
  • Patent Document 1 discloses an open-ended terminator in which a plurality of power non-reflectors are connected to a distributor as lossy members.
  • this terminator for the purpose of improving power durability without increasing the size of the lossy member, the signal is distributed by the distributor and then the signal power is lost by the plurality of power non-reflectors.
  • the conventional terminator Since the conventional terminator is configured as described above, the power of the signal can be lost by the power non-reflector which is a plurality of lossy members.
  • the open end type termination device has a problem that it is difficult to release heat generated by the lossy member, and heat is accumulated.
  • the circuit size increases. Increasing the size of the lossy member in order to increase power durability without increasing the number of distributors increases the influence of the frequency characteristics of the lossy member, so the usable frequency band can be expanded. There was a problem that it was difficult.
  • the present invention has been made to solve the above-described problems, and obtains a terminator that can suppress heat accumulation, increase power durability, and expand the usable frequency band. For the purpose.
  • the terminator includes a dielectric substrate formed of a dielectric and a first layer of the dielectric substrate, and at least one portion that is bifurcated on the way from the input end to the output end.
  • a lossy member disposed so as to overlap a part of the conductor and losing power of a signal flowing through the first and second branch conductors, and between the ground conductor and each of the first and second output ends.
  • a connecting member to be connected, and the first branch conductor includes a delay circuit having an electrical length of 90 degrees.
  • the signal conductor is disposed on the first layer of the dielectric substrate and has at least one location that is bifurcated on the way from the input end to the output end.
  • the ground conductor disposed in the second layer and the first conductor and the second branch conductor extending from the signal conductor branch to the first and second output ends are respectively overlapped with the first conductor and the first conductor.
  • FIG. 1 is a top view showing a terminator according to Embodiment 1 of the present invention
  • FIG. 2 is a sectional view showing the terminator according to Embodiment 1 of the present invention
  • a dielectric substrate 1 is a substrate formed of a dielectric material.
  • the signal conductor 2 is disposed on the surface 1a (first layer) of the dielectric substrate 1, and is branched into two on the way from the input end 2a to the output ends 2b-1, 2b-2, 2b-3, 2b-4. It has a part that has been.
  • the output terminals 2b-1 and 2b-4 are first output terminals
  • the output terminals 2b-2 and 2b-3 are second output terminals.
  • the signal conductor 2 may be at least two branches, but FIG. 1 shows an example in which the signal conductor 2 is branched into four. For this reason, in the example of FIG. 1, the signal conductor 2 has branch portions 3a, 3b, and 3c as three branch points.
  • the branch conductor 4-1 is a first branch conductor in the signal conductor 2 from the branch portion 3b of the signal conductor 2 to the output end 2b-1.
  • the branch conductor 4-2 is a second branch conductor in the signal conductor 2 from the branch portion 3b of the signal conductor 2 to the output end 2b-2.
  • the branch conductor 4-3 is a second branch conductor in the signal conductor 2 from the branch portion 3c of the signal conductor 2 to the output end 2b-3.
  • the branch conductor 4-4 is a first branch conductor in the signal conductor 2 from the branch portion 3c of the signal conductor 2 to the output end 2b-4.
  • the ground conductor 5 is a conductor arranged over the entire back surface 1 b (second layer) of the dielectric substrate 1.
  • the lossy members 6-1, 6-2, 6-3, 6-4 are members including a resistance, for example.
  • the lossy member 6-1 is a member that is disposed so as to overlap a part of the branch conductor 4-1, and loses the power of the signal flowing through the branch conductor 4-1.
  • the lossy member 6-2 is disposed so as to overlap a part of the branch conductor 4-2, and is a member that loses the power of the signal flowing through the branch conductor 4-2.
  • the lossy member 6-3 is disposed so as to overlap a part of the branch conductor 4-3, and is a member that loses the power of the signal flowing through the branch conductor 4-3.
  • the lossy member 6-4 is disposed so as to overlap a part of the branch conductor 4-4, and is a member that loses the power of the signal flowing through the branch conductor 4-4.
  • the via hole 7-1 is a connection member that connects the output end 2b-1 of the signal conductor 2 and the ground conductor 5.
  • the via hole 7-2 is a connection member that connects the output end 2b-2 of the signal conductor 2 and the ground conductor 5.
  • the via hole 7-3 is a connection member that connects the output end 2b-3 of the signal conductor 2 and the ground conductor 5.
  • the via hole 7-4 is a connection member that connects the output end 2b-4 of the signal conductor 2 and the ground conductor 5.
  • the delay circuit 8-1 is a delay circuit having an electrical length of 90 degrees, and the delay circuit 8-1 is a circuit included in the branch conductor 4-1.
  • the delay circuit 8-2 is a delay circuit having an electrical length of 90 degrees, and the delay circuit 8-2 is a circuit included in the branch conductor 4-4.
  • the electrical length of 90 degrees included in the delay circuits 8-1 and 8-2 is 1 ⁇ 4 of the wavelength of the signal input from the input end 2 a of the signal conductor 2.
  • a signal input from the input end 2 a of the signal conductor 2 propagates through the signal conductor 2.
  • the power of the signal propagating through the signal conductor 2 is divided into two at the branching portion 3a. Further, the power of one signal that has been divided into two by the branching unit 3a is divided into two by the branching unit 3b, and the power of the other signal that has been divided into two by the branching unit 3a is divided into two by the branching unit 3c.
  • the power of the signal input from the input end 2a of the signal conductor 2 is distributed into four, and the signal with the power distributed into four passes through the branch conductors 4-1, 4-2, 4-3 and 4-4, respectively. Propagate.
  • the signal propagated through the branch conductors 4-1, 4-2, 4-3, 4-4 reaches the output ends 2b-1, 2b-2, 2b-3, 2b-4 of the signal conductor 2, Part of the power of the signal propagated through the branch conductors 4-1, 4-2, 4-3, 4-4 is lost by the lossy members 6-1, 6-2, 6-3, 6-4.
  • the power of the signal applied to the lossy members 6-1, 6-2, 6-3, 6-4 is mainly converted to heat and lost.
  • the heat generated from the lossy members 6-1, 6-2, 6-3, 6-4 is supplied to the branch conductors 4-1, 4-2, 4-3, 4-4, and the output end 2b-.
  • the ground conductor 5 is reached through 1, 2b-2, 2b-3, 2b-4 and via holes 7-1, 7-2, 7-3, 7-4. Since the ground conductor 5 is disposed over the entire back surface 1b of the dielectric substrate 1, it has a large area.
  • the ground conductor 5 is a conductor having high thermal conductivity. For this reason, the ground conductor 5 is a member with high heat dissipation. Therefore, the heat generated from the lossy members 6-1, 6-2, 6-3 and 6-4 is efficiently released from the ground conductor 5.
  • FIG. 3 is a top view showing a conventional terminator. 3, the same reference numerals as those in FIG. 1 denote the same or corresponding parts.
  • lossy members 6-5 and 6-6 are connected to the branch conductors 4-5 and 4-6 of the signal conductor 2, as shown in FIG. Also, the lossy members 6-5 and 6-6 are connected to branch conductors 4-7 and 4-8 having a line width wider than that of the branch conductors 4-5 and 4-6 so as to have a low impedance. Yes.
  • the terminator is configured as shown in FIG. 3, heat concentrates on the input portions of the lossy members 6-5 and 6-6.
  • the dielectric substrate 1 and the signal conductor 2 serve as a heat dissipation path for heat generated from the input portions of the lossy members 6-5 and 6-6. Since heat conductivity is low compared with the ground conductor 5 in the termination
  • the signal conductor 2 is a conductor having high thermal conductivity, but its area is narrower than that of the ground conductor 5, so that heat dissipation is lower than that of the ground conductor 5. For this reason, it is difficult for the conventional terminator to release the heat generated from the input portions of the lossy members 6-5 and 6-6, and the heat is accumulated, as compared with the terminator of the first embodiment. There is.
  • the lossy members 6-1, 6-2, 6-3, and 6-4 may not convert all signal power into heat, and some signal power may not be converted into heat. Signals whose power is not converted into heat by the lossy members 6-1, 6-2, 6-3, 6-4 are transmitted from the branch conductors 4-1, 4-2, 4-3, 4-4 to the via holes 7
  • the ground conductor 5 is reached through -1, 7-2, 7-3, 7-4.
  • the signal that reaches the ground conductor 5 is reflected by the ground conductor 5.
  • the signal reflected by the ground conductor 5 reaches the branch conductors 4-1, 4-2, 4-3 and 4-4 through the via holes 7-1, 7-2, 7-3 and 7-4, and reaches the branch conductors. 4-1, 4-2, 4-3, 4-4.
  • the branch conductor 4-1 includes a delay circuit 8-1 having an electrical length of 90 degrees. Therefore, the phase of the signal from the branch portion 3b of the signal conductor 2 through the branch conductor 4-1 to the output end 2b-1 is delayed by 90 degrees by the delay circuit 8-1 included in the branch conductor 4-1. . Further, a signal that is reflected from the ground conductor 5 and reaches the branching portion 3b from the output terminal 2b-1 through the branch conductor 4-1 is phase-shifted by the delay circuit 8-1 included in the branch conductor 4-1. Is delayed 90 degrees.
  • the phase of the reflected signal that has been reflected from the ground conductor 5 and has reached the branch portion 3b from the output end 2b-1 through the branch conductor 4-1 is changed from the output end 2b-2 to the branch conductor 4-2. It is 180 degrees behind the phase of the reflected signal that has passed through and reached the branching portion 3b. That is, the reflected signal that has passed through the branch conductor 4-1 and reached the branch portion 3b is opposite in phase to the reflected signal that has passed through the branch conductor 4-2 and reached the branch portion 3b. Therefore, the reflected signal that has passed through the branch conductor 4-1 and has reached the branch portion 3b and the reflected signal that has passed through the branch conductor 4-2 and has reached the branch portion 3b are synthesized in opposite phases.
  • the branch conductor 4-4 includes a delay circuit 8-2 having an electrical length of 90 degrees. Therefore, the signal from the branch part 3c of the signal conductor 2 through the branch conductor 4-4 to the output terminal 2b-4 is delayed in phase by 90 degrees by the delay circuit 8-2 included in the branch conductor 4-4. . Further, a signal that is reflected from the ground conductor 5 and reaches the branch portion 3c from the output terminal 2b-4 through the branch conductor 4-4 is phase-shifted by the delay circuit 8-2 included in the branch conductor 4-4. Is delayed 90 degrees.
  • the phase of the reflected signal that is reflected from the ground conductor 5 and reaches the branch portion 3c from the output end 2b-4 through the branch conductor 4-4 is changed from the output end 2b-3 to the branch conductor 4-3. It is 180 degrees behind the phase of the reflected signal that has passed through and reached the branching section 3c. That is, the reflected signal that passes through the branch conductor 4-4 and reaches the branch portion 3c is opposite in phase to the reflected signal that passes through the branch conductor 4-3 and reaches the branch portion 3c. Therefore, the reflected signal that has passed through the branch conductor 4-4 and has reached the branch portion 3c and the reflected signal that has passed through the branch conductor 4-3 and has reached the branch portion 3c are synthesized in opposite phases. They will cancel each other out. Therefore, these reflected signals hardly reach the branch portion 3a of the signal conductor 2, and the deterioration of the reflection characteristics accompanying the increase in the reflected signals is suppressed, so that the usable frequency band can be expanded.
  • the signal conductor 2 is arranged so as to overlap with a part of the branch conductors 4-1, 4-2, and the branch conductors 4-1, 4-2 are connected to each other.
  • -2 and the branch conductor 4-1 includes the delay circuit 8-1 having an electrical length of 90 degrees, so that it is possible to suppress heat accumulation and to improve power durability, In addition, there is an effect that the usable frequency band can be expanded.
  • the signal conductor 2 is arranged so as to overlap a part of the branch conductors 4-3 and 4-4, and the power of the signal flowing through the branch conductors 4-3 and 4-4 is reduced.
  • the branch conductor 4-4 includes the delay circuit 8-2 having an electrical length of 90 degrees, it is possible to suppress heat accumulation and to improve power durability and to be used. There is an effect that the frequency band can be expanded.
  • the lossy members 6-1, 6-2, 6-3, and 6-4 cover part of the branch conductors 4-1, 4-2, 4-3, and 4-4.
  • FIG. 4 is a sectional view showing another terminator according to Embodiment 1 of the present invention.
  • the lossy members 6-1, 6-2, 6-3 and 6-4 are formed on the surface 1 a of the dielectric substrate 1 and then the lossy members 6-1 and 6-2. , 6-3, 6-4, branch conductors 4-1, 4-2, 4-3, 4-4 are arranged.
  • the signal conductor 2 is branched into four branches, but the signal conductor 2 only needs to be branched into at least two branches.
  • the signal conductor 2 is a two-branched conductor, the signal conductor 2 only needs to have one branch portion 3a.
  • the signal conductor 2 has two branch conductors 4-1 and 4-2, and the signal conductor 2 has two output ends, ie, output ends 2b-1 and 2b-2.
  • FIG. 5 is a top view showing another terminator according to Embodiment 1 of the present invention. As a result, even if the reflected signal reaches the branch unit 3a without being completely canceled in the branch units 3b and 3c, the reflected signal that has reached the branch unit 3a from the branch unit 3b by the delay circuit 8-3.
  • the reflected signal which arrived at the branching part 3a from the branching part 3c is synthesized in a reverse phase. For this reason, the reflected signal reaching the branching portion 3a from the branching portion 3b and the reflected signal reaching the branching portion 3a from the branching portion 3c cancel each other, and these reflected signals are almost output to the input end 2a. It will not be done. Therefore, since the deterioration of the reflection characteristics accompanying the increase of the reflection signal can be suppressed, the usable frequency band can be expanded.
  • Embodiment 2 FIG.
  • the output ends 2b-1, 2b-2, 2b-3, 2b-4 of the signal conductor 2 are connected to the via holes 7-1, 7-2, 7-3, 7-4.
  • An example is shown.
  • the branch conductors 4-1, 4-2, 4-3, and 4-4 are bifurcated in a T shape, and the two output ends 2b that are the branch destinations of the branch conductors 4-1 and 4 respectively. You may make it connect.
  • FIG. 6 is a top view showing a terminator according to Embodiment 2 of the present invention.
  • the branch conductor 4-1 as the first branch conductor is bifurcated into a T-shape, and the output end 2b-1a as one branch destination is connected to the via hole 7-1a, and the output as the other branch destination The end 2b-1b is connected to the via hole 7-1b.
  • the first direction ( ⁇ x direction) from the branch location of the branch conductor 4-1 to the output end 2b-1a, and the second direction ( ⁇ x direction) from the branch location of the branch conductor 4-1 to the output end 2b-1b ( + X direction) is orthogonal to the direction (+ y direction) from the input side of the branch location of the branch conductor 4-1 to the branch location (+ y direction), and the first direction and the second direction are opposite directions. .
  • the end 2b-2b is connected to the via hole 7-2b.
  • the third direction ( ⁇ x direction) from the branch location of the branch conductor 4-2 to the output end 2b-2a and the fourth direction from the branch location of the branch conductor 4-2 to the output end 2b-2b ( + X direction) is orthogonal to the direction (+ y direction) from the input side of the branch location of the branch conductor 4-2 to the branch location, and the third direction and the fourth direction are opposite directions. .
  • the branch conductor 4-3 which is the second branch conductor, is bifurcated into a T shape, and the output end 2b-3a, which is one branch destination, is connected to the via hole 7-3a, and the output that is the other branch destination
  • the end 2b-3b is connected to the via hole 7-3b.
  • the third direction ( ⁇ x direction) from the branch point of the branch conductor 4-3 to the output end 2b-3a, and the fourth direction ( ⁇ direction) from the branch point of the branch conductor 4-3 to the output end 2b-3b ( + X direction) is orthogonal to the direction (+ y direction) from the input side of the branch point of the branch conductor 4-3 to the branch point, and the third direction and the fourth direction are opposite directions. .
  • the branch conductor 4-4 which is the first branch conductor, is bifurcated into a T shape, and the output end 2b-4a, which is one branch destination, is connected to the via hole 7-4a, and the output that is the other branch destination
  • the end 2b-4b is connected to the via hole 7-4b.
  • the first direction ( ⁇ x direction) from the branch location of the branch conductor 4-4 to the output end 2b-4a and the second direction ( ⁇ direction) from the branch location of the branch conductor 4-4 to the output end 2b-4b ( + X direction) is orthogonal to the direction (+ y direction) from the input side of the branch point of the branch conductor 4-4 to the branch point, and the first direction and the second direction are opposite directions. .
  • the size of the lossy members 6-1, 6-2, 6-3, 6-4 is the same, and the lossy members 6-1, 6-2, 6-3, 6-4 Assume that the positions in the y direction are the same. In this case, in the first embodiment, if the positions in the y direction of the via holes 7-1, 7-2, 7-3, 7-4 vary, the lossy members 6-1, 6-2, The distance from the output side of 6-3 and 6-4 to the ground conductor 5 varies.
  • the lossy member 6- The distance from the output side of 1 to the ground conductor 5 and the distance from the output side of the lossy member 6-2 to the ground conductor 5 vary. Further, when there is a variation in the position in the y direction in the via holes 7-3a and 7-3b and the position in the y direction in the via holes 7-4a and 7-4b, the ground from the output side of the lossy member 6-3. Variations occur in the distance to the conductor 5 and the distance from the output side of the lossy member 6-4 to the ground conductor 5.
  • the branch conductor 4-1 (or 4-4), which is the first branch conductor, is bifurcated into a T shape, and the output end 2b-1a (one branch destination) Or 2b-4a) extends in the -x direction, and the other branch destination output end 2b-1b (or 2b-4b) extends in the + x direction.
  • the branch conductor 4-2 (or 4-3) as the second branch conductor is bifurcated in a T shape, and the output end 2b-2a (or 2b-3a) as one branch destination is ⁇ Extending in the x direction, the output end 2b-2b (or 2b-3b), which is the other branch destination, extends in the + x direction.
  • FIG. 27 is an explanatory diagram showing a displacement in the y direction in a via hole.
  • y1 is a position in the y direction in the via hole 7-1 in FIG. 1 and a position in the y direction in the via holes 7-1a and 7-1b in FIG. 6, and y2 is a position in the y direction in the via hole 7-2 in FIG.
  • A shows a position where the branch conductors 4-1 and 4-2 of FIG. In the figure, two triangles indicate that the corresponding two sides have the same length, and two circles indicate that the corresponding two sides have the same length.
  • the output side of the lossy member 6-1 as shown in FIG.
  • the position in the y direction in the via holes 7-1a and 7-1b is y1
  • the position in the y direction in the via holes 7-2a and 7-2b is y2, as shown in FIG.
  • the distance from the output side of the lossy member 6-1 to the ground conductor 5 via the via holes 7-1a and 7-1b and the via holes 7-2a and 7-2b from the output side of the lossy member 6-2 The difference from the distance to the ground conductor 5 via is b.
  • the difference b in the second embodiment is smaller than the difference a in the first embodiment, and the influence of the positional deviation in the y direction in the via hole is reduced. Yes. Therefore, the position in the y direction in the via holes 7-1a and 7-1b (or 7-4a and 7-4b) and the position in the y direction in the via holes 7-2a and 7-2b (or 7-3a and 7-3b) Even in the case where there is a variation, since the influence of the variation is reduced, the deterioration of the reflection characteristics can be suppressed as compared with the first embodiment.
  • Embodiment 3 FIG.
  • the lossy members 6-1, 6-2, 6-3, 6-4 cover a part of the branch conductors 4-1, 4-2, 4-3, 4-4.
  • the lossy members 6-1, 6-2, 6-3, 6-4 are arranged is shown.
  • the portions of the branch conductors 4-1, 4-2, 4-3, 4-4 covered by the lossy members 6-1, 6-2, 6-3, 6-4 are provided. An example in which resonators are connected to each other will be described.
  • FIG. 7 is a top view showing a terminator according to Embodiment 3 of the present invention.
  • the stub 9-1 is a resonator that is branched from a portion of the branch conductor 4-1 covered by the lossy member 6-1, and resonates with a signal propagated through the branch conductor 4-1.
  • the stub 9-2 is a resonator that is branched from the portion of the branch conductor 4-2 covered by the lossy member 6-2 and resonates with a signal propagated through the branch conductor 4-2.
  • the stub 9-3 is branched from the portion of the branch conductor 4-3 covered by the lossy member 6-3, and is a resonator that resonates with a signal propagated through the branch conductor 4-3.
  • the stub 9-4 is branched from the portion of the branch conductor 4-4 covered by the lossy member 6-4, and is a resonator that resonates with a signal propagated through the branch conductor 4-4.
  • FIG. 7 shows an example in which the stubs 9-1, 9-2, 9-3, 9-4 are applied to the terminator of FIG. 6, but the stubs 9-1, 9-2, 9-3, 9-4 may be applied to the terminator of FIG. 1 or FIG.
  • the power of the signal propagated through the branch conductors 4-1, 4-2, 4-3, and 4-4 is lost.
  • 6-2, 6-3, 6-4 are converted into heat and lost.
  • the stubs 9-1, 9-2, 9-3, 9-4 resonate with the signals propagated through the branch conductors 4-1, 4-2, 4-3, 4-4.
  • the stubs 9-1, 9-2, 9-3, 9-4 there are places where heat is released. For this reason, it propagates through the branch conductors 4-1, 4-2, 4-3 and 4-4 as compared with the case where only the lossy members 6-1, 6-2, 6-3 and 6-4 are arranged.
  • the amount of power loss of the generated signal can be increased. Therefore, the reflected signal from the ground conductor 5 can be reduced as compared with the first and second embodiments.
  • the stubs 9-1, 9-2, 9-3, and 9-4 adjust the length of the line to match the input signal from the input end 2a with the reflected signal from the ground conductor 5. It is also possible to operate as a matching circuit.
  • the portions of the branch conductors 4-1, 4-2 covered by the lossy members 6-1, 6-2, 6-3, 6-4. , 4-3, and 4-4 are configured such that the resonators are connected to each other, so that the deterioration of the reflection characteristics due to the increase in the reflection signal can be suppressed more than in the first and second embodiments. it can. Therefore, the usable frequency band can be expanded further than in the first and second embodiments.
  • Embodiment 4 FIG.
  • the portions of the branch conductors 4-1, 4-2, 4-3, 4-4 covered by the lossy members 6-1, 6-2, 6-3, 6-4 are provided.
  • an example is shown in which stubs 9-1, 9-2, 9-3, 9-4 are connected.
  • a disk-like conductor 9a is connected to the tip portions of the stubs 9-1, 9-2, 9-3, 9-4 will be described.
  • FIG. 8 is a top view showing a terminator according to Embodiment 4 of the present invention.
  • the same reference numerals as those in FIG. A disc-shaped conductor 9a is connected to the tip portions of the stubs 9-1, 9-2, 9-3, 9-4, and the disc-shaped conductor 9a is connected to the stubs 9-1, 9-2, 9 It is wider than the line widths of ⁇ 3 and 9-4 and has a curved shape with no corners.
  • the stubs 9-1, 9-2, 9-3, 9-4 are linear conductors, and the shapes of the stubs 9-1, 9-2, 9-3, 9-4 are It is a rectangle. For this reason, heat concentrates on the corners of the stubs 9-1, 9-2, 9-3, 9-4.
  • the stubs 9-1, 9-2, 9- 3, 9-4 have no corners. Thereby, since the location where heat concentrates disappears and is dispersed, the power durability can be improved as compared with the third embodiment.
  • Embodiment 5 FIG. In the fifth embodiment, a terminator in which the signal conductor 2 includes matching circuits 10, 11-1, and 11-2 that match the impedance on the input side and the impedance on the output side will be described.
  • FIG. 9 is a top view showing a terminator according to Embodiment 5 of the present invention.
  • the matching circuit 10 is a circuit that matches the impedance at the input end 2a of the signal conductor 2 with the impedance at the branch portion 3a.
  • the matching circuit 10 is a conductor that propagates a signal. However, since the conductor width is wider than the conductor width of the signal conductor 2, the matching circuit 10 operates as an impedance transformer.
  • the matching circuit 11-1 is a circuit that has one end connected to the branch part 3a and the other end connected to the branch part 3b, and matches the impedance of the branch part 3a with the impedance of the branch part 3b.
  • the matching circuit 11-2 is a circuit in which one end is connected to the branch part 3a and the other end is connected to the branch part 3c, and the impedance in the branch part 3a and the impedance in the branch part 3c are matched.
  • the matching circuits 11-1 and 11-2 are conductors that propagate signals, but operate as impedance transformers because the conductor width is wider than the conductor width of the signal conductor 2.
  • FIG. 9 shows an example in which the matching circuits 10, 11-1, and 11-2 are applied to the terminator in FIG. 8, but the matching circuits 10, 11-1, and 11-2 are shown in FIGS. 7 may be applied.
  • the matching circuit 10 matches the impedance at the input end 2a of the signal conductor 2 with the impedance at the branch portion 3a.
  • the matching circuit 11-1 matches the impedance in the branching section 3a and the impedance in the branching section 3b
  • the matching circuit 11-2 matches the impedance in the branching section 3a and the impedance in the branching section 3c.
  • the fifth embodiment shows an example in which the matching circuits 10, 11-1, and 11-2 are impedance transformers.
  • 11-1 and 11-2 may be stubs 10a, 11-1a, and 11-2a.
  • the impedance transformers that are the matching circuits 10, 11-1, and 11-2 may further include stubs 10a, 11-1a, and 11-2a.
  • 10 is a top view showing another terminator according to Embodiment 5 of the present invention.
  • FIG. 10 shows an example in which the stubs 10a, 11-1a, and 11-2a are applied to the terminator of FIG. 1, but the stubs 10a, 11-1a, and 11-2a are applied to the terminators of FIGS. It may be applied.
  • Embodiment 6 FIG.
  • the first layer of the dielectric substrate 1 is the front surface 1a of the dielectric substrate 1, and the second layer of the dielectric substrate 1 is the back surface 1b of the dielectric substrate 1.
  • the first layer of the dielectric substrate 1 is the inner layer 1c of the dielectric substrate 1, and the second layer of the dielectric substrate 1 is the front surface 1a and the back surface 1b of the dielectric substrate 1. Will be explained.
  • FIG. 11 is a sectional view showing a terminator according to Embodiment 6 of the present invention. 11, the same reference numerals as those in FIG. 2 denote the same or corresponding parts.
  • the signal conductor 2 is a signal conductor corresponding to the signal conductor 2 in the first embodiment.
  • the signal conductor 2 of the sixth embodiment is arranged on the inner layer 1c of the dielectric substrate 1, unlike the signal conductor 2 of the first embodiment.
  • the lossy member 6 is a lossy member corresponding to the lossy members 6-1, 6-2, 6-3, 6-4 in the first embodiment.
  • the lossy member 6 of the sixth embodiment is arranged on the inner layer 1c of the dielectric substrate 1. ing.
  • the ground conductor 5 a is a conductor arranged over the entire surface 1 a of the dielectric substrate 1.
  • the ground conductor 5 b corresponds to the ground conductor 5 in the first embodiment, and is disposed over the entire back surface 1 b of the dielectric substrate 1.
  • the via hole 7a is a via hole corresponding to the via holes 7-1, 7-2, 7-3, 7-4 in the first embodiment. However, unlike the via holes 7-1, 7-2, 7-3, 7-4 in the first embodiment, the via hole 7a differs from the output end 2b ⁇ of the signal conductor 2 arranged in the inner layer 1c of the dielectric substrate 1. 1, 2 b-2, 2 b-3, 2 b-4 and the ground conductor 5 a are connected.
  • the via hole 7b is a via hole corresponding to the via holes 7-1, 7-2, 7-3, 7-4 in the first embodiment.
  • the via hole 7b is different from the via holes 7-1, 7-2, 7-3, 7-4 in the first embodiment, and the output end 2b ⁇ of the signal conductor 2 arranged in the inner layer 1c of the dielectric substrate 1 is used. 1, 2b-2, 2b-3, 2b-4 and the ground conductor 5b are connected.
  • the operation of the terminator in the sixth embodiment is the same as in the first to fifth embodiments.
  • the ground conductor 5b is disposed on the back surface 1b of the dielectric substrate 1
  • the ground conductor 5a is disposed on the front surface 1a of the dielectric substrate 1.
  • the via hole 7 a is connected to the ground conductor 5 a disposed on the front surface 1 a of the dielectric substrate 1
  • the via hole 7 b is connected to the ground conductor 5 b disposed on the back surface 1 b of the dielectric substrate 1.
  • the total area of the ground conductor 5a and the ground conductor 5b is twice the area of the ground conductor 5 in the first to fifth embodiments, and the heat dissipation effect is increased.
  • the operation can be performed without causing a significant change in characteristics.
  • the via hole 7a connected to the ground conductor 5a disposed on the surface 1a of the dielectric substrate 1 is missing.
  • the output ends 2b-1, 2b-1 of the signal conductor 2 are formed by the via holes 7b connected to the ground conductor 5b disposed on the back surface 1b of the dielectric substrate 1.
  • 2b-2, 2b-3 and 2b-4 are electrically connected to the ground conductor 5b. Therefore, substantially the same characteristics as those obtained when the via hole 7a connected to the ground conductor 5a disposed on the surface 1a of the dielectric substrate 1 is not lost can be obtained.
  • Embodiment 7 FIG.
  • the first layer of the dielectric substrate 1 is the front surface 1a of the dielectric substrate 1
  • the second layer of the dielectric substrate 1 is the back surface 1b of the dielectric substrate 1.
  • the sixth embodiment an example will be described in which the first and second layers of the dielectric substrate 1 are each multilayered.
  • FIG. 12 is a sectional view showing a terminator according to Embodiment 7 of the present invention. 12, the same reference numerals as those in FIGS. 2 and 11 denote the same or corresponding parts.
  • the cross-sectional view of the terminator shown in FIG. 12 shows a cross-sectional view when the circuit in the terminator of FIG. 1 is applied, but even if the circuit in the terminator of FIGS. Good.
  • the surface 1 a of the dielectric substrate 1 is the second layer of the dielectric substrate 1.
  • the back surface 1 b of the dielectric substrate 1 is the second layer of the dielectric substrate 1.
  • the inner layer 1c-1 of the dielectric substrate 1 is the first layer of the dielectric substrate 1.
  • the inner layer 1c-2 of the dielectric substrate 1 is the second layer of the dielectric substrate 1.
  • the inner layer 1c-3 of the dielectric substrate 1 is the first layer of the dielectric substrate 1.
  • the ground conductor 5c is a conductor disposed over the entire surface of the inner layer 1c-2 of the dielectric substrate 1.
  • the input / output terminal 21 is a terminal disposed on the back surface 1 b of the dielectric substrate 1.
  • the distribution circuit 22 is a circuit arranged on the inner layer 1c-1 of the dielectric substrate 1, and among the signal conductors 2 in the first embodiment, the lossy members 6-1, 6-2, 6 from the input end 2a. Includes signal conductors 2 to the input side of ⁇ 3, 6-4.
  • the termination circuit 23 is a circuit disposed on the inner layer 1c-3 of the dielectric substrate 1. Among the signal conductors 2 in the first embodiment, the lossy members 6-1, 6-2, 6-3, 6 -4 from the input side to the output ends 2b-1, 2b-2, 2b-3, 2b-4.
  • the via hole 24 is a connection conductor between the back surface 1 b of the dielectric substrate 1 and the inner layer 1 c-1, and connects between the input / output terminal 21 and the input end 2 a of the signal conductor 2 in the distribution circuit 22.
  • the via hole 25 is a connection conductor between the inner layer 1c-1 and the inner layer 1c-3 of the dielectric substrate 1, and includes branch conductors 4-1, 4-2, 4-3, 4-4 in the distribution circuit 22, and a termination.
  • the input sides of the lossy members 6-1, 6-2, 6-3, 6-4 in the circuit 23 are connected.
  • the via hole 26 is a connecting conductor between the inner layer 1c-3 and the inner layer 1c-2 of the dielectric substrate 1, and is an output terminal of the branch conductors 4-1, 4-2, 4-3, 4-4 in the termination circuit 23. 2b-1, 2b-2, 2b-3, 2b-4 and the ground conductor 5c are connected.
  • the via hole 27 is a connecting conductor between the inner layer 1c-3 and the back surface 1b of the dielectric substrate 1, and the output terminal 2b ⁇ of the branch conductors 4-1, 4-2, 4-3, 4-4 in the termination circuit 23. 1, 2b-2, 2b-3, 2b-4 and the ground conductor 5b are connected.
  • the via hole 28 is a connection conductor between the front surface 1a, the inner layer 1c-2, and the back surface 1b of the dielectric substrate 1, and connects the ground conductor 5a, the ground conductor 5b, and the ground conductor 5c.
  • FIG. 13 is a top view of the surface 1a in the terminator according to the seventh embodiment of the present invention.
  • FIG. 14 is a top view of the inner layer 1c-1 in the terminator according to the seventh embodiment of the present invention.
  • 5d is a ground conductor.
  • FIG. 15 is a top view of the inner layer 1c-2 in the terminator according to the seventh embodiment of the present invention.
  • FIG. 16 is a top view of the inner layer 1c-3 in the terminator according to the seventh embodiment of the present invention.
  • FIG. 17 is a top view of the back surface 1b of the terminator according to Embodiment 7 of the present invention.
  • the operation of the terminator in the seventh embodiment is the same as in the first to fifth embodiments.
  • a ground conductor 5a is disposed over the entire surface 1a of the dielectric substrate 1, and a plurality of via holes 28 surround the outer periphery of the ground conductor 5a. Leakage of electromagnetic waves from the circuit of the terminator can be prevented by arranging the plurality of via holes 28 at intervals at which the intervals between the plurality of via holes 28 are equal to or less than the cutoff frequency of the use frequency.
  • the substrate is multilayered in order to reduce the size of the terminator.
  • a termination circuit 23 is arranged on an inner layer 1c-3 shown in FIG. 16, which is a different layer from the inner layer 1c-1 of the dielectric substrate 1 on which the distribution circuit 22 is arranged. In the example of FIG. 16, it is connected to the output terminals 2b-1, 2b-2, 2b-3, 2b-4 of the branch conductors 4-1, 4-2, 4-3, 4-4 in the termination circuit 23.
  • the via holes 26 and 27 are arranged near the center of the substrate.
  • the via hole 24 connected to the input / output terminal 21 is disposed at the center of the substrate.
  • the substrate of the terminator is multilayered.
  • the terminator can be mounted on the surface of a substrate having a layer on which an IC (Integrated Circuit) chip or the like is mounted.
  • the ground conductor 5e is arranged on the ⁇ z direction side of the signal conductor 2
  • the signal conductor 2 in the terminator is surrounded by the ground conductors 5a and 5e.
  • the signal conductor 2 is electromagnetically shielded.
  • Embodiment 8 FIG. In the seventh embodiment, an example in which the substrate of the terminator of FIG. 1 is multilayered is shown, but in the eighth embodiment, a diagram including matching circuits 10, 11-1, and 11-2 is shown. An example in which the substrate of the terminator 9 is multilayered will be described.
  • FIG. 19 is a top view of the surface 1a in the terminator according to the eighth embodiment of the present invention.
  • FIG. 20 is a top view of the inner layer 1c-1 in the terminator according to the eighth embodiment of the present invention.
  • 11-3 is a matching circuit.
  • the matching circuit 11-3 shows an impedance transformer in which the conductor width is wider than the conductor width of the signal conductor 2, but the matching circuit 11-3 may be a stub.
  • FIG. 21 is a top view of the inner layer 1c-2 in the terminator according to the eighth embodiment of the present invention.
  • FIG. 22 is a top view of the inner layer 1c-3 in the terminator according to the eighth embodiment of the present invention.
  • the lossy member 6-5 is an annular lossy member, in which the lossy members 6-1, 6-2, 6-3, and 6-4 are integrated.
  • FIG. 23 is a top view of the back surface 1b of the terminator according to the eighth embodiment of the present invention.
  • the operation of the terminator in the eighth embodiment is the same as that in the fifth embodiment. For this reason, in the eighth embodiment, the same effect as in the fifth embodiment can be obtained.
  • the substrate is multilayered as in the seventh embodiment. Therefore, it is possible to reduce the size of the terminator.
  • Embodiment 9 FIG.
  • the distribution circuit 22 is disposed on the inner layer 1c-1 of the dielectric substrate 1, and the termination circuit 23 is disposed on the inner layer 1c-3 of the dielectric substrate 1.
  • the arrangement of the distribution circuit 22 and the termination circuit 23 is reversed up and down, the distribution circuit 22 is arranged on the inner layer 1c-3 of the dielectric substrate 1, and the termination circuit 23 is arranged on the inner layer 1c- of the dielectric substrate 1. 1 may be arranged.
  • FIG. 24 is a sectional view showing a terminator according to Embodiment 9 of the present invention.
  • the operation of the terminator in the ninth embodiment is the same as in the seventh and eighth embodiments. Therefore, in the ninth embodiment, the same effect as in the seventh and eighth embodiments can be obtained.
  • the ninth embodiment as shown in FIG. 25, by arranging the solder balls 30 on the back surface 1b of the dielectric substrate 1, for example, ground conductors 5e, 5f, 5g, IC chips, and the like are mounted.
  • the terminator can be mounted on the surface of the substrate having the layer.
  • FIG. 25 is a sectional view showing another terminator according to Embodiment 9 of the present invention.
  • the radiation fins 31 may be attached to the surface 1a of the dielectric substrate 1.
  • FIG. 26 is a sectional view showing another terminator according to Embodiment 9 of the present invention.
  • the present invention is suitable for a terminator that suppresses unnecessary signal reflection.

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Abstract

信号導体（２）における分岐導体（４－１），（４－２）の一部とそれぞれ重なるように配置され、分岐導体（４－１），（４－２）を流れる信号の電力を損失させる損失性部材（６－１），（６－２）と、信号導体（２）の出力端（２ｂ－１），（２ｂ－２）のそれぞれと地導体（５）との間を接続するビアホール（７－１），（７－２）とを備え、分岐導体（４－１）が９０度の電気長を有する遅延回路（８－１）を含んでいるように構成する。

Description

終端器
　この発明は、信号の不要反射を抑制する終端器に関するものである。
　終端器は、例えば、通信機器などの高周波回路の入出力端子に取り付けられる電子機器である。
　終端器は、高周波回路から出力された信号が内部の信号導体に入力されると、損失性部材によって、信号導体を流れる信号の電力を損失させることで、高周波回路への不要な信号の反射を抑制する。
　以下の特許文献１には、損失性部材として電力無反射器が分配器に複数個接続されている先端開放型の終端器が開示されている。
　この終端器は、損失性部材のサイズを大きくすることなく、耐電力性を高める目的で、分配器によって信号を分配してから、複数の電力無反射器によって信号の電力を損失させている。
特開平２－１９３４０１号公報
　従来の終端器は以上のように構成されているので、複数の損失性部材である電力無反射器によって信号の電力を損失させることができる。しかし、先端開放型の終端器では、損失性部材で発生した熱を逃がすことが困難であり、熱がこもってしまうという課題があった。
　また、耐電力性を高めるために、分配器の分配数を増やすと、回路のサイズが大きくなる。分配器の分配数を増やすことなく、耐電力性を高めるために、損失性部材のサイズを大きくすると、損失性部材が有する周波数特性の影響が大きくなるため、使用可能な周波数帯域を広げることが困難であるという課題があった。
　この発明は上記のような課題を解決するためになされたもので、熱のこもりを抑えることができるとともに、耐電力性を高め、かつ、使用可能な周波数帯域を広げることができる終端器を得ることを目的とする。
　この発明に係る終端器は、誘電体で形成されている誘電体基板と、誘電体基板の第１の層に配置され、入力端から出力端に至る途中で２分岐されている箇所を少なくとも１つ以上有している信号導体と、誘電体基板の第２の層に配置されている地導体と、信号導体の分岐箇所から第１及び第２の出力端に至る第１及び第２の分岐導体の一部とそれぞれ重なるように配置され、第１及び第２の分岐導体を流れる信号の電力を損失させる損失性部材と、第１及び第２の出力端のそれぞれと地導体との間を接続する接続部材とを備え、第１の分岐導体が９０度の電気長を有する遅延回路を含んでいるようにしたものである。
　この発明によれば、誘電体基板の第１の層に配置され、入力端から出力端に至る途中で２分岐されている箇所を少なくとも１つ以上有している信号導体と、誘電体基板の第２の層に配置されている地導体と、信号導体の分岐箇所から第１及び第２の出力端に至る第１及び第２の分岐導体の一部とそれぞれ重なるように配置され、第１及び第２の分岐導体を流れる信号の電力を損失させる損失性部材と、第１及び第２の出力端のそれぞれと地導体との間を接続する接続部材とを備え、第１の分岐導体が９０度の電気長を有する遅延回路を含んでいるように構成したので、熱のこもりを抑えることができるとともに、耐電力性を高め、かつ、使用可能な周波数帯域を広げることができる効果がある。
この発明の実施の形態１による終端器を示す上面図である。 この発明の実施の形態１による終端器を示す断面図である。 従来の終端器を示す上面図である。 この発明の実施の形態１による他の終端器を示す断面図である。 この発明の実施の形態１による他の終端器を示す上面図である。 この発明の実施の形態２による終端器を示す上面図である。 この発明の実施の形態３による終端器を示す上面図である。 この発明の実施の形態４による終端器を示す上面図である。 この発明の実施の形態５による終端器を示す上面図である。 この発明の実施の形態５による他の終端器を示す上面図である。 この発明の実施の形態６による終端器を示す断面図である。 この発明の実施の形態７による終端器を示す断面図である。 この発明の実施の形態７による終端器における表面１ａの上面図である。 この発明の実施の形態７による終端器における内層１ｃ－１の上面図である。 この発明の実施の形態７による終端器における内層１ｃ－２の上面図である。 この発明の実施の形態７による終端器における内層１ｃ－３の上面図である。 この発明の実施の形態７による終端器における裏面１ｂの上面図である。 この発明の実施の形態７による他の終端器を示す断面図である。 この発明の実施の形態８による終端器における表面１ａの上面図である。 この発明の実施の形態８による終端器における内層１ｃ－１の上面図である。 この発明の実施の形態８による終端器における内層１ｃ－２の上面図である。 この発明の実施の形態８による終端器における内層１ｃ－３の上面図である。 この発明の実施の形態８による終端器における裏面１ｂの上面図である。 この発明の実施の形態９による終端器を示す断面図である。 この発明の実施の形態９による他の終端器を示す断面図である。 この発明の実施の形態９による他の終端器を示す断面図である。 ビアホールにおけるｙ方向の位置ずれを示す説明図である。
　以下、この発明をより詳細に説明するために、この発明を実施するための形態について、添付の図面にしたがって説明する。
実施の形態１．
　図１はこの発明の実施の形態１による終端器を示す上面図であり、図２はこの発明の実施の形態１による終端器を示す断面図である。
　図１及び図２において、誘電体基板１は誘電体で形成されている基板である。
　信号導体２は誘電体基板１の表面１ａ（第１の層）に配置されており、入力端２ａから出力端２ｂ－１，２ｂ－２，２ｂ－３，２ｂ－４に至る途中で２分岐されている箇所を有している。
　なお、出力端２ｂ－１，２ｂ－４は第１の出力端であり、出力端２ｂ－２，２ｂ－３は第２の出力端である。
　信号導体２は、少なくとも２分岐されていればよいが、図１では、信号導体２が４分岐されている例を示している。このため、図１の例では、信号導体２は、３つの分岐箇所として、分岐部３ａ，３ｂ，３ｃを有している。
　分岐導体４－１は信号導体２の分岐部３ｂから出力端２ｂ－１に至る信号導体２における第１の分岐導体である。
　分岐導体４－２は信号導体２の分岐部３ｂから出力端２ｂ－２に至る信号導体２における第２の分岐導体である。
　分岐導体４－３は信号導体２の分岐部３ｃから出力端２ｂ－３に至る信号導体２における第２の分岐導体である。
　分岐導体４－４は信号導体２の分岐部３ｃから出力端２ｂ－４に至る信号導体２における第１の分岐導体である。
　地導体５は誘電体基板１の裏面１ｂ（第２の層）の全面に亘って配置されている導体である。
　損失性部材６－１，６－２，６－３，６－４は例えば抵抗などを含んでいる部材である。
　損失性部材６－１は分岐導体４－１の一部と重なるように配置され、分岐導体４－１を流れる信号の電力を損失させる部材である。
　損失性部材６－２は分岐導体４－２の一部と重なるように配置され、分岐導体４－２を流れる信号の電力を損失させる部材である。
　損失性部材６－３は分岐導体４－３の一部と重なるように配置され、分岐導体４－３を流れる信号の電力を損失させる部材である。
　損失性部材６－４は分岐導体４－４の一部と重なるように配置され、分岐導体４－４を流れる信号の電力を損失させる部材である。
　ビアホール７－１は信号導体２の出力端２ｂ－１と地導体５との間を接続する接続部材である。
　ビアホール７－２は信号導体２の出力端２ｂ－２と地導体５との間を接続する接続部材である。
　ビアホール７－３は信号導体２の出力端２ｂ－３と地導体５との間を接続する接続部材である。
　ビアホール７－４は信号導体２の出力端２ｂ－４と地導体５との間を接続する接続部材である。
　遅延回路８－１は９０度の電気長を有する遅延回路であり、遅延回路８－１は分岐導体４－１に含まれている回路である。
　遅延回路８－２は９０度の電気長を有する遅延回路であり、遅延回路８－２は分岐導体４－４に含まれている回路である。
　遅延回路８－１，８－２が有する９０度の電気長は、信号導体２の入力端２ａから入力される信号の波長の４分の１の長さである。
　次に動作について説明する。
　信号導体２の入力端２ａから入力された信号は、信号導体２を伝搬する。
　信号導体２を伝搬する信号の電力は、分岐部３ａで２分配される。
　また、分岐部３ａで２分配された一方の信号の電力は、分岐部３ｂで２分配され、分岐部３ａで２分配された他方の信号の電力は、分岐部３ｃで２分配される。
　これにより、信号導体２の入力端２ａから入力された信号の電力は４分配され、電力が４分配された信号は、分岐導体４－１，４－２，４－３，４－４をそれぞれ伝搬する。
　分岐導体４－１，４－２，４－３，４－４を伝搬された信号は、信号導体２の出力端２ｂ－１，２ｂ－２，２ｂ－３，２ｂ－４に到達するが、分岐導体４－１，４－２，４－３，４－４を伝搬された信号の電力の一部は、損失性部材６－１，６－２，６－３，６－４によって損失される。
　即ち、分岐導体４－１，４－２，４－３，４－４を伝搬された信号の電力は、損失性部材６－１，６－２，６－３，６－４に印加され、損失性部材６－１，６－２，６－３，６－４に印加された信号の電力は、主に熱に変換されて損失される。
　このとき、損失性部材６－１，６－２，６－３，６－４から発生された熱は、分岐導体４－１，４－２，４－３，４－４、出力端２ｂ－１，２ｂ－２，２ｂ－３，２ｂ－４及びビアホール７－１，７－２，７－３，７－４を通じて地導体５に到達する。
　地導体５は、誘電体基板１の裏面１ｂの全面に亘って配置されているため、大きな面積を有している。また、地導体５は、熱伝導性が高い導体である。このため、地導体５は、放熱性が高い部材である。
　したがって、損失性部材６－１，６－２，６－３，６－４から発生された熱は、地導体５から効率よく放出される。
　この実施の形態１の終端器は、信号導体２の出力端２ｂ－１，２ｂ－２，２ｂ－３，２ｂ－４が、ビアホール７－１，７－２，７－３，７－４を介して、地導体５と接続されていることを特徴の１つとしているので、地導体５から効率よく熱を放出することができる。
　このような特徴を有していない終端器（以下、従来の終端器と称する）は、図３に示すような構成となる。
　図３は従来の終端器を示す上面図である。図３において、図１と同一符号は同一または相当部分を示している。
　従来の終端器は、図３に示すように、信号導体２の分岐導体４－５，４－６に損失性部材６－５，６－６が接続されている。
　また、損失性部材６－５，６－６には、低インピーダンスとなるように、分岐導体４－５，４－６よりも線路幅が広い分岐導体４－７，４－８が接続されている。
　終端器が図３のように構成されている場合、損失性部材６－５，６－６の入力部分に熱が集中する。
　図３の終端器では、誘電体基板１と信号導体２が、損失性部材６－５，６－６の入力部分から発生した熱の放熱経路となるが、誘電体基板１は、この実施の形態１の終端器における地導体５と比べて熱伝導性が低いため、地導体５と比べて放熱性が低い。
　また、信号導体２は、熱伝導性が高い導体であるが、地導体５と比べて面積が狭いため、地導体５と比べて放熱性が低い。
　このため、従来の終端器は、この実施の形態１の終端器と比べて、損失性部材６－５，６－６の入力部分から発生した熱を逃がすことが難しく、熱がこもってしまうことがある。
　損失性部材６－１，６－２，６－３，６－４によって、信号の電力の全てが熱に変換されず、一部の信号の電力が熱に変換されないことがある。
　損失性部材６－１，６－２，６－３，６－４によって電力が熱に変換されていない信号は、分岐導体４－１，４－２，４－３，４－４からビアホール７－１，７－２，７－３，７－４を通じて地導体５に到達する。
　地導体５に到達した信号は、地導体５に反射する。
　地導体５に反射された信号は、ビアホール７－１，７－２，７－３，７－４を通じて分岐導体４－１，４－２，４－３，４－４に到達し、分岐導体４－１，４－２，４－３，４－４を伝搬する。
　ここで、分岐導体４－１は、９０度の電気長を有する遅延回路８－１を含んでいる。
　このため、信号導体２の分岐部３ｂから分岐導体４－１を通って出力端２ｂ－１に至る信号は、分岐導体４－１に含まれている遅延回路８－１によって位相が９０度遅れる。
　また、地導体５から反射することで、出力端２ｂ－１から分岐導体４－１を通って分岐部３ｂに至る信号は、分岐導体４－１に含まれている遅延回路８－１によって位相が９０度遅れる。
　これにより、地導体５から反射することで、出力端２ｂ－１から分岐導体４－１を通って分岐部３ｂに到達した反射信号の位相は、出力端２ｂ－２から分岐導体４－２を通って分岐部３ｂに到達した反射信号の位相と比べて１８０度遅れている。
　即ち、分岐導体４－１を通過して分岐部３ｂに到達した反射信号と、分岐導体４－２を通過して分岐部３ｂに到達した反射信号とは逆相になる。
　このため、分岐導体４－１を通過して分岐部３ｂに到達した反射信号と、分岐導体４－２を通過して分岐部３ｂに到達した反射信号とは、逆相で合成されるため、互いに打ち消し合うようになる。したがって、これらの反射信号は、信号導体２の分岐部３ａにはほとんど到達しなくなり、反射信号の増加に伴う反射特性の劣化が抑えられる。これにより、耐電力性を高めるために、損失性部材６－１，６－２，６－３，６－４のサイズを大きくしても、損失性部材６－１，６－２，６－３，６－４が有する周波数特性の影響が小さくなるため、使用可能な周波数帯域を広げることができる。
　また、分岐導体４－４は、９０度の電気長を有する遅延回路８－２を含んでいる。
　このため、信号導体２の分岐部３ｃから分岐導体４－４を通って出力端２ｂ－４に至る信号は、分岐導体４－４に含まれている遅延回路８－２によって位相が９０度遅れる。
　また、地導体５から反射することで、出力端２ｂ－４から分岐導体４－４を通って分岐部３ｃに至る信号は、分岐導体４－４に含まれている遅延回路８－２によって位相が９０度遅れる。
　これにより、地導体５から反射することで、出力端２ｂ－４から分岐導体４－４を通って分岐部３ｃに到達した反射信号の位相は、出力端２ｂ－３から分岐導体４－３を通って分岐部３ｃに到達した反射信号の位相と比べて１８０度遅れている。
　即ち、分岐導体４－４を通過して分岐部３ｃに到達した反射信号と、分岐導体４－３を通過して分岐部３ｃに到達した反射信号とは逆相になる。
　このため、分岐導体４－４を通過して分岐部３ｃに到達した反射信号と、分岐導体４－３を通過して分岐部３ｃに到達した反射信号とは、逆相で合成されるため、互いに打ち消し合うようになる。したがって、これらの反射信号は、信号導体２の分岐部３ａにはほとんど到達しなくなり、反射信号の増加に伴う反射特性の劣化が抑えられるため、使用可能な周波数帯域を広げることができる。
　以上で明らかなように、この実施の形態１によれば、信号導体２における分岐導体４－１，４－２の一部とそれぞれ重なるように配置され、分岐導体４－１，４－２を流れる信号の電力を損失させる損失性部材６－１，６－２と、信号導体２の出力端２ｂ－１，２ｂ－２のそれぞれと地導体５との間を接続するビアホール７－１，７－２とを備え、分岐導体４－１が９０度の電気長を有する遅延回路８－１を含んでいるように構成したので、熱のこもりを抑えることができるとともに、耐電力性を高め、かつ、使用可能な周波数帯域を広げることができる効果を奏する。
　また、この実施の形態１によれば、信号導体２における分岐導体４－３，４－４の一部とそれぞれ重なるように配置され、分岐導体４－３，４－４を流れる信号の電力を損失させる損失性部材６－３，６－４と、信号導体２の出力端２ｂ－３，２ｂ－４のそれぞれと地導体５との間を接続するビアホール７－３，７－４とを備え、分岐導体４－４が９０度の電気長を有する遅延回路８－２を含んでいるように構成したので、熱のこもりを抑えることができるとともに、耐電力性を高め、かつ、使用可能な周波数帯域を広げることができる効果を奏する。
　この実施の形態１では、損失性部材６－１，６－２，６－３，６－４が分岐導体４－１，４－２，４－３，４－４の一部を覆うように、損失性部材６－１，６－２，６－３，６－４を配置している例を示しているが、これに限るものではない。
　図４はこの発明の実施の形態１による他の終端器を示す断面図である。
　図４の例では、損失性部材６－１，６－２，６－３，６－４が誘電体基板１の表面１ａの上に形成されてから、損失性部材６－１，６－２，６－３，６－４の上に分岐導体４－１，４－２，４－３，４－４が配置されている。
　この実施の形態１では、信号導体２が４分岐されている例を示しているが、信号導体２は、少なくとも２分岐されていればよい。
　例えば、信号導体２が２分岐されている導体であれば、信号導体２は、１つの分岐部３ａを有していればよい。この場合、信号導体２の分岐導体は、分岐導体４－１，４－２の２つとなり、信号導体２の出力端は、出力端２ｂ－１，２ｂ－２の２つとなる。
　この実施の形態１では、分岐導体４－１，４－４が９０度の電気長を有する遅延回路８－１，８－２を含んでいる例を示しているが、図５に示すように、さらに、分岐部３ａと分岐部３ｃの間の信号導体２が、９０度の電気長を有する遅延回路８－３を含んでいるようにしてもよい。
　図５はこの発明の実施の形態１による他の終端器を示す上面図である。
　これにより、分岐部３ｂ，３ｃにおいて、反射信号が完全に打ち消されずに、反射信号が分岐部３ａに到達する場合でも、遅延回路８－３によって、分岐部３ｂから分岐部３ａに到達した反射信号と、分岐部３ｃから分岐部３ａに到達した反射信号とが逆相で合成される。
　このため、分岐部３ｂから分岐部３ａに到達した反射信号と、分岐部３ｃから分岐部３ａに到達した反射信号とは、互いに打ち消し合うようになり、これらの反射信号が入力端２ａにほとんど出力されなくなる。したがって、さらに、反射信号の増加に伴う反射特性の劣化が抑えられるため、使用可能な周波数帯域を広げることができる。
実施の形態２．
　上記実施の形態１では、信号導体２の出力端２ｂ－１，２ｂ－２，２ｂ－３，２ｂ－４が、ビアホール７－１，７－２，７－３，７－４と接続されている例を示している。
　この実施の形態２では、分岐導体４－１，４－２，４－３，４－４がＴ字状に２分岐されて、各々の分岐先である２つの出力端２ｂがビアホール７とそれぞれ接続されるようにしてもよい。
　図６はこの発明の実施の形態２による終端器を示す上面図である。図６において、図１と同一符号は同一または相当部分を示すので説明を省略する。
　第１の分岐導体である分岐導体４－１はＴ字状に２分岐されており、一方の分岐先である出力端２ｂ－１ａはビアホール７－１ａと接続され、他方の分岐先である出力端２ｂ－１ｂはビアホール７－１ｂと接続されている。
　なお、分岐導体４－１の分岐箇所から出力端２ｂ－１ａに至る第１の方向（－ｘ方向）と、分岐導体４－１の分岐箇所から出力端２ｂ－１ｂに至る第２の方向（＋ｘ方向）とが、分岐導体４－１の分岐箇所の入力側から当該分岐箇所に至る方向（＋ｙ方向）と直交しており、かつ、第１の方向と第２の方向が反対方向である。
　第２の分岐導体である分岐導体４－２はＴ字状に２分岐されており、一方の分岐先である出力端２ｂ－２ａはビアホール７－２ａと接続され、他方の分岐先である出力端２ｂ－２ｂはビアホール７－２ｂと接続されている。
　なお、分岐導体４－２の分岐箇所から出力端２ｂ－２ａに至る第３の方向（－ｘ方向）と、分岐導体４－２の分岐箇所から出力端２ｂ－２ｂに至る第４の方向（＋ｘ方向）とが、分岐導体４－２の分岐箇所の入力側から当該分岐箇所に至る方向（＋ｙ方向）と直交しており、かつ、第３の方向と第４の方向が反対方向である。
　第２の分岐導体である分岐導体４－３はＴ字状に２分岐されており、一方の分岐先である出力端２ｂ－３ａはビアホール７－３ａと接続され、他方の分岐先である出力端２ｂ－３ｂはビアホール７－３ｂと接続されている。
　なお、分岐導体４－３の分岐箇所から出力端２ｂ－３ａに至る第３の方向（－ｘ方向）と、分岐導体４－３の分岐箇所から出力端２ｂ－３ｂに至る第４の方向（＋ｘ方向）とが、分岐導体４－３の分岐箇所の入力側から当該分岐箇所に至る方向（＋ｙ方向）と直交しており、かつ、第３の方向と第４の方向が反対方向である。
　第１の分岐導体である分岐導体４－４はＴ字状に２分岐されており、一方の分岐先である出力端２ｂ－４ａはビアホール７－４ａと接続され、他方の分岐先である出力端２ｂ－４ｂはビアホール７－４ｂと接続されている。
　なお、分岐導体４－４の分岐箇所から出力端２ｂ－４ａに至る第１の方向（－ｘ方向）と、分岐導体４－４の分岐箇所から出力端２ｂ－４ｂに至る第２の方向（＋ｘ方向）とが、分岐導体４－４の分岐箇所の入力側から当該分岐箇所に至る方向（＋ｙ方向）と直交しており、かつ、第１の方向と第２の方向が反対方向である。
　次に動作について説明する。
　ここでは、説明の便宜上、損失性部材６－１，６－２，６－３，６－４のサイズが同じで、損失性部材６－１，６－２，６－３，６－４におけるｙ方向の位置が同じであるとする。
　この場合、上記実施の形態１では、ビアホール７－１，７－２，７－３，７－４におけるｙ方向の位置にばらつきが生じていれば、損失性部材６－１，６－２，６－３，６－４の出力側から地導体５までの距離にばらつきが生じる。
　損失性部材６－１，６－２，６－３，６－４の出力側から地導体５までの距離にばらつきが生じると、分岐導体４－１，４－４が遅延回路８－１，８－２を含んでいたとしても、分岐部３ｂ，３ｃにおいて、２つの反射信号の位相が完全な逆相にならなくなる。したがって、２つの反射信号を打ち消すことができなくなり、反射特性が劣化する。
　この実施の形態２においても、ビアホール７－１ａ，７－１ｂにおけるｙ方向の位置と、ビアホール７－２ａ，７－２ｂにおけるｙ方向の位置とにばらつきが生じている場合、損失性部材６－１の出力側から地導体５までの距離と、損失性部材６－２の出力側から地導体５までの距離とにばらつきが生じる。
　また、ビアホール７－３ａ，７－３ｂにおけるｙ方向の位置と、ビアホール７－４ａ，７－４ｂにおけるｙ方向の位置とにばらつきが生じている場合、損失性部材６－３の出力側から地導体５までの距離と、損失性部材６－４の出力側から地導体５までの距離とにばらつきが生じる。
　しかし、この実施の形態２では、第１の分岐導体である分岐導体４－１（または４－４）は、Ｔ字状に２分岐されて、一方の分岐先である出力端２ｂ－１ａ（または２ｂ－４ａ）が－ｘ方向に伸びて、他方の分岐先である出力端２ｂ－１ｂ（または２ｂ－４ｂ）が＋ｘ方向に伸びている。
　また、第２の分岐導体である分岐導体４－２（または４－３）は、Ｔ字状に２分岐されて、一方の分岐先である出力端２ｂ－２ａ（または２ｂ－３ａ）が－ｘ方向に伸びて、他方の分岐先である出力端２ｂ－２ｂ（または２ｂ－３ｂ）が＋ｘ方向に伸びている。
　このため、ビアホール７－１ａ，７－１ｂ（または７－４ａ，７－４ｂ）におけるｙ方向の位置と、ビアホール７－２ａ，７－２ｂ（または７－３ａ，７－３ｂ）におけるｙ方向の位置とにばらつきが生じている場合でも、そのばらつきの影響が減少される。
　具体的には、以下の通りである。
　ここでは、分岐導体４－１と分岐導体４－２に着目して説明するが、分岐導体４－３と分岐導体４－４についても同様である。
　図２７はビアホールにおけるｙ方向の位置ずれを示す説明図である。
　図２７において、ｙ１は図１のビアホール７－１におけるｙ方向の位置及び図６のビアホール７－１ａ，７－１ｂにおけるｙ方向の位置、ｙ２は図１のビアホール７－２におけるｙ方向の位置及び図６のビアホール７－２ａ，７－２ｂにおけるｙ方向の位置であり、ｙ１＜ｙ２である。
　Ａは図６の分岐導体４－１，４－２の２分岐されている位置を示している。
　図中、２つの△は該当の２つ辺の長さが同じであることを示し、２つの〇は該当の２つ辺の長さが同じであることを示している。
　図１の終端器では、ビアホール７－１におけるｙ方向の位置がｙ１、ビアホール７－２におけるｙ方向の位置がｙ２であれば、図２７に示すように、損失性部材６－１の出力側から地導体５までの距離と、損失性部材６－２の出力側から地導体５までの距離との差分がａ＝｜ｙ２－ｙ１｜となる。
　図６の終端器では、ビアホール７－１ａ，７－１ｂにおけるｙ方向の位置がｙ１、ビアホール７－２ａ，７－２ｂにおけるｙ方向の位置がｙ２であれば、図２７に示すように、損失性部材６－１の出力側からビアホール７－１ａ，７－１ｂを経由して地導体５に至るまでの距離と、損失性部材６－２の出力側からビアホール７－２ａ，７－２ｂを経由して地導体５に至るまでの距離との差分がｂとなる。
　図２７から明らかなように、上記実施の形態１の場合の差分ａよりも、この実施の形態２の場合の差分ｂの方が小さくなり、ビアホールにおけるｙ方向の位置ずれの影響が小さくなっている。
　よって、ビアホール７－１ａ，７－１ｂ（または７－４ａ，７－４ｂ）におけるｙ方向の位置と、ビアホール７－２ａ，７－２ｂ（または７－３ａ，７－３ｂ）におけるｙ方向の位置とにばらつきが生じている場合でも、そのばらつきの影響が減少されるため、上記実施の形態１よりも、反射特性の劣化を抑えることができる。
実施の形態３．
　上記実施の形態１，２では、損失性部材６－１，６－２，６－３，６－４が分岐導体４－１，４－２，４－３，４－４の一部を覆うように、損失性部材６－１，６－２，６－３，６－４を配置している例を示している。
　この実施の形態３では、損失性部材６－１，６－２，６－３，６－４によって覆われている部分の分岐導体４－１，４－２，４－３，４－４に対して共振器がそれぞれ接続されている例を説明する。
　図７はこの発明の実施の形態３による終端器を示す上面図である。図７において、図６と同一符号は同一または相当部分を示すので説明を省略する。
　スタブ９－１は損失性部材６－１によって覆われている部分の分岐導体４－１から分岐されており、分岐導体４－１を伝搬された信号と共振する共振器である。
　スタブ９－２は損失性部材６－２によって覆われている部分の分岐導体４－２から分岐されており、分岐導体４－２を伝搬された信号と共振する共振器である。
　スタブ９－３は損失性部材６－３によって覆われている部分の分岐導体４－３から分岐されており、分岐導体４－３を伝搬された信号と共振する共振器である。
　スタブ９－４は損失性部材６－４によって覆われている部分の分岐導体４－４から分岐されており、分岐導体４－４を伝搬された信号と共振する共振器である。
　図７は、スタブ９－１，９－２，９－３，９－４が図６の終端器に適用される例を示しているが、スタブ９－１，９－２，９－３，９－４は図１又は図５の終端器に適用されるものであってもよい。
　次に動作について説明する。
　この実施の形態３でも、上記実施の形態１，２と同様に、分岐導体４－１，４－２，４－３，４－４を伝搬された信号の電力が、損失性部材６－１，６－２，６－３，６－４によって熱に変換されて損失される。
　この実施の形態３では、スタブ９－１，９－２，９－３，９－４が分岐導体４－１，４－２，４－３，４－４を伝搬された信号と共振するため、スタブ９－１，９－２，９－３，９－４においても、熱を放出する箇所が発生する。
　このため、損失性部材６－１，６－２，６－３，６－４のみが配置されている場合よりも、分岐導体４－１，４－２，４－３，４－４を伝搬された信号の電力の損失量を増やすことができる。したがって、上記実施の形態１，２よりも、地導体５からの反射信号を減らすことができる。
　なお、スタブ９－１，９－２，９－３，９－４は、線路の長さを調整することで、入力端２ａからの入力信号と、地導体５からの反射信号との整合を図る整合回路として動作させることも可能である。
　以上で明らかなように、この実施の形態３によれば、損失性部材６－１，６－２，６－３，６－４によって覆われている部分の分岐導体４－１，４－２，４－３，４－４に対して共振器がそれぞれ接続されているように構成したので、上記実施の形態１，２よりも更に、反射信号の増加に伴う反射特性の劣化を抑えることができる。よって、上記実施の形態１，２よりも更に、使用可能な周波数帯域を広げることができる。
実施の形態４．
　上記実施の形態３では、損失性部材６－１，６－２，６－３，６－４によって覆われている部分の分岐導体４－１，４－２，４－３，４－４に対してスタブ９－１，９－２，９－３，９－４が接続されている例を示している。
　この実施の形態４では、スタブ９－１，９－２，９－３，９－４の先端部分に円盤状の導体９ａが接続されている例を説明する。
　図８はこの発明の実施の形態４による終端器を示す上面図である。図８において、図７と同一符号は同一または相当部分を示すので説明を省略する。
　スタブ９－１，９－２，９－３，９－４の先端部分には、円盤状の導体９ａが接続されており、円盤状の導体９ａは、スタブ９－１，９－２，９－３，９－４の線路幅よりも広く、かつ、角がない曲線の形状をなしている。
　上記実施の形態３では、スタブ９－１，９－２，９－３，９－４が直線状の導体であり、スタブ９－１，９－２，９－３，９－４の形状が四角形になっている。このため、スタブ９－１，９－２，９－３，９－４の角の部分に熱が集中する。
　この実施の形態４では、スタブ９－１，９－２，９－３，９－４の先端部分に円盤状の導体９ａが接続されているため、スタブ９－１，９－２，９－３，９－４には角の部分がなくなっている。これにより、熱が集中する箇所がなくなって分散されるため、上記実施の形態３よりも、耐電力性を高めることができる。
実施の形態５．
　この実施の形態５では、信号導体２が入力側のインピーダンスと出力側のインピーダンスとを整合する整合回路１０，１１－１，１１－２を含んでいる終端器について説明する。
　図９はこの発明の実施の形態５による終端器を示す上面図である。図９において、図８と同一符号は同一または相当部分を示すので説明を省略する。
　整合回路１０は信号導体２の入力端２ａにおけるインピーダンスと分岐部３ａにおけるインピーダンスとを整合する回路である。整合回路１０は信号を伝搬する導体であるが、導体幅が信号導体２の導体幅よりも広くなっているため、インピーダンス変成器として動作する。
　整合回路１１－１は一端が分岐部３ａと接続され、他端が分岐部３ｂと接続されており、分岐部３ａにおけるインピーダンスと分岐部３ｂにおけるインピーダンスとを整合する回路である。
　整合回路１１－２は一端が分岐部３ａと接続され、他端が分岐部３ｃと接続されており、分岐部３ａにおけるインピーダンスと分岐部３ｃにおけるインピーダンスとを整合する回路である。
　整合回路１１－１，１１－２は信号を伝搬する導体であるが、導体幅が信号導体２の導体幅よりも広くなっているため、インピーダンス変成器として動作する。
　図９は、整合回路１０，１１－１，１１－２が図８の終端器に適用される例を示しているが、整合回路１０，１１－１，１１－２は図１、図５～７の終端器に適用されるものであってもよい。
　上記実施の形態１～４のように、信号導体２が整合回路１０，１１－１，１１－２を含んでいない場合、分岐部３ａ，３ｂ，３ｃにおいて、インピーダンスの不整合が発生して、反射特性が劣化する可能性がある。
　この実施の形態５では、整合回路１０が、信号導体２の入力端２ａにおけるインピーダンスと分岐部３ａにおけるインピーダンスとを整合する。
　また、整合回路１１－１が、分岐部３ａにおけるインピーダンスと分岐部３ｂにおけるインピーダンスとを整合し、整合回路１１－２が、分岐部３ａにおけるインピーダンスと分岐部３ｃにおけるインピーダンスとを整合する。
　これにより、分岐部３ａ，３ｂ，３ｃにおけるインピーダンスの不整合の発生を抑えることができるため、上記実施の形態１～４よりも、さらに、使用可能な周波数帯域を広げることができる。
　この実施の形態５では、整合回路１０，１１－１，１１－２がインピーダンス変成器である例を示しているが、これに限るものではなく、例えば、図１０に示すように、整合回路１０，１１－１，１１－２がスタブ１０ａ，１１－１ａ，１１－２ａであってもよい。
　また、整合回路１０，１１－１，１１－２であるインピーダンス変成器が、さらにスタブ１０ａ，１１－１ａ，１１－２ａを含むものであってもよい。
　図１０はこの発明の実施の形態５による他の終端器を示す上面図である。
　図１０は、スタブ１０ａ，１１－１ａ，１１－２ａが図１の終端器に適用される例を示しているが、スタブ１０ａ，１１－１ａ，１１－２ａは図５～８の終端器に適用されるものであってもよい。
実施の形態６．
　上記実施の形態１～５では、誘電体基板１の第１の層が誘電体基板１の表面１ａであり、誘電体基板１の第２の層が誘電体基板１の裏面１ｂである例を示している。
　この実施の形態６では、誘電体基板１の第１の層が誘電体基板１の内層１ｃであり、誘電体基板１の第２の層が誘電体基板１の表面１ａ及び裏面１ｂである例を説明する。
　図１１はこの発明の実施の形態６による終端器を示す断面図である。図１１において、図２と同一符号は同一または相当部分を示している。
　信号導体２は上記実施の形態１における信号導体２に相当する信号導体である。ただし、この実施の形態６の信号導体２は、上記実施の形態１における信号導体２と異なり、誘電体基板１の内層１ｃに配置されている。
　損失性部材６は上記実施の形態１における損失性部材６－１，６－２，６－３，６－４に相当する損失性部材である。ただし、この実施の形態６の損失性部材６は上記実施の形態１における損失性部材６－１，６－２，６－３，６－４と異なり、誘電体基板１の内層１ｃに配置されている。
　地導体５ａは誘電体基板１の表面１ａの全面に亘って配置されている導体である。
　地導体５ｂは上記実施の形態１における地導体５に相当し、誘電体基板１の裏面１ｂの全面に亘って配置されている。
　ビアホール７ａは上記実施の形態１におけるビアホール７－１，７－２，７－３，７－４に相当するビアホールである。ただし、ビアホール７ａは上記実施の形態１におけるビアホール７－１，７－２，７－３，７－４と異なり、誘電体基板１の内層１ｃに配置されている信号導体２の出力端２ｂ－１，２ｂ－２，２ｂ－３，２ｂ－４と地導体５ａとの間を接続している。
　ビアホール７ｂは上記実施の形態１におけるビアホール７－１，７－２，７－３，７－４に相当するビアホールである。ただし、ビアホール７ｂは上記実施の形態１におけるビアホール７－１，７－２，７－３，７－４と異なり、誘電体基板１の内層１ｃに配置されている信号導体２の出力端２ｂ－１，２ｂ－２，２ｂ－３，２ｂ－４と地導体５ｂとの間を接続している。
　この実施の形態６における終端器の動作は、上記実施の形態１～５と同様である。
　この実施の形態６では、地導体５ｂが誘電体基板１の裏面１ｂに配置されるだけでなく、地導体５ａが誘電体基板１の表面１ａに配置されている。また、ビアホール７ａが、誘電体基板１の表面１ａに配置されている地導体５ａと接続され、ビアホール７ｂが、誘電体基板１の裏面１ｂに配置されている地導体５ｂと接続されている。
　このため、地導体５ａと地導体５ｂを合わせた面積が、上記実施の形態１～５における地導体５の面積の２倍になり、放熱効果が増大する。
　また、終端器の製造時のミスによって、ビアホール７ａ又はビアホール７ｂの一方が欠損しても、大きな特性の変化を招くことなく、動作することが可能になる。
　例えば、誘電体基板１の表面１ａに配置されている地導体５ａと接続されるビアホール７ａが欠損する場合を想定する。
　この実施の形態６では、このような欠損が発生しても、誘電体基板１の裏面１ｂに配置されている地導体５ｂと接続されるビアホール７ｂによって、信号導体２の出力端２ｂ－１，２ｂ－２，２ｂ－３，２ｂ－４は、地導体５ｂと電気的に接続される。
　このため、誘電体基板１の表面１ａに配置されている地導体５ａと接続されるビアホール７ａが欠損していない場合とほぼ同様の特性が得られる。
実施の形態７．
　上記実施の形態１～５では、誘電体基板１の第１の層が誘電体基板１の表面１ａであり、誘電体基板１の第２の層が誘電体基板１の裏面１ｂである例を示している。
　この実施の形態６では、誘電体基板１の第１及び第２の層がそれぞれ多層化されている例を説明する。
　図１２はこの発明の実施の形態７による終端器を示す断面図である。図１２において、図２及び図１１と同一符号は同一または相当部分を示している。
　図１２が示す終端器の断面図は、図１の終端器における回路が適用される場合の断面図を示しているが、図５～９の終端器における回路が適用されるものであってもよい。
　誘電体基板１の表面１ａは、誘電体基板１の第２の層である。
　誘電体基板１の裏面１ｂは、誘電体基板１の第２の層である。
　誘電体基板１の内層１ｃ－１は、誘電体基板１の第１の層である。
　誘電体基板１の内層１ｃ－２は、誘電体基板１の第２の層である。
　誘電体基板１の内層１ｃ－３は、誘電体基板１の第１の層である。
　地導体５ｃは誘電体基板１の内層１ｃ－２の全面に亘って配置されている導体である。
　入出力端子２１は誘電体基板１の裏面１ｂに配置されている端子である。
　分配回路２２は誘電体基板１の内層１ｃ－１に配置されている回路であり、上記実施の形態１における信号導体２のうち、入力端２ａから損失性部材６－１，６－２，６－３，６－４の入力側までの信号導体２を含んでいる。
　終端回路２３は誘電体基板１の内層１ｃ－３に配置されている回路であり、上記実施の形態１における信号導体２のうち、損失性部材６－１，６－２，６－３，６－４の入力側から出力端２ｂ－１，２ｂ－２，２ｂ－３，２ｂ－４までの信号導体２を含んでいる。
　ビアホール２４は誘電体基板１の裏面１ｂと内層１ｃ－１との間の接続導体であり、入出力端子２１と分配回路２２における信号導体２の入力端２ａとの間を接続している。
　ビアホール２５は誘電体基板１の内層１ｃ－１と内層１ｃ－３との間の接続導体であり、分配回路２２における分岐導体４－１，４－２，４－３，４－４と、終端回路２３における損失性部材６－１，６－２，６－３，６－４の入力側とを接続している。
　ビアホール２６は誘電体基板１の内層１ｃ－３と内層１ｃ－２との間の接続導体であり、終端回路２３における分岐導体４－１，４－２，４－３，４－４の出力端２ｂ－１，２ｂ－２，２ｂ－３，２ｂ－４と地導体５ｃとの間を接続している。
　ビアホール２７は誘電体基板１の内層１ｃ－３と裏面１ｂとの間の接続導体であり、終端回路２３における分岐導体４－１，４－２，４－３，４－４の出力端２ｂ－１，２ｂ－２，２ｂ－３，２ｂ－４と地導体５ｂとの間を接続している。
　ビアホール２８は誘電体基板１の表面１ａと内層１ｃ－２と裏面１ｂとの間の接続導体であり、地導体５ａと地導体５ｂと地導体５ｃとの間を接続している。
　図１３はこの発明の実施の形態７による終端器における表面１ａの上面図である。
　図１４はこの発明の実施の形態７による終端器における内層１ｃ－１の上面図である。図１４において、５ｄは地導体である。
　図１５はこの発明の実施の形態７による終端器における内層１ｃ－２の上面図である。
　図１６はこの発明の実施の形態７による終端器における内層１ｃ－３の上面図である。
　図１７はこの発明の実施の形態７による終端器における裏面１ｂの上面図である。
　この実施の形態７における終端器の動作は、上記実施の形態１～５と同様である。
　誘電体基板１の表面１ａには、図１３に示すように、全面に亘って地導体５ａが配置されており、複数のビアホール２８が地導体５ａの外周を囲んでいる。
　複数のビアホール２８の間隔が使用周波数のカットオフ周波数以下となる間隔で、複数のビアホール２８が配置されることで、終端器の回路からの電磁波の漏洩を防ぐことができる。
　この実施の形態７では、終端器の小型化を図るために基板を多層化している。
　終端器を多層化するため、分配回路２２が配置されている誘電体基板１の内層１ｃ－１と別の層である図１６に示す内層１ｃ－３に、終端回路２３が配置されている。
　図１６の例では、終端回路２３における分岐導体４－１，４－２，４－３，４－４の出力端２ｂ－１，２ｂ－２，２ｂ－３，２ｂ－４と接続されているビアホール２６，２７は、基板中央付近に配置されている。また、入出力端子２１と接続されているビアホール２４は、基板中央に配置されている。
　この実施の形態７では、終端器の基板が多層化されている例を示しているが、図１８に示すように、はんだボール３０を配置することで、例えば、地導体５ｅ，５ｆ，５ｇやＩＣ（Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ）チップなどが実装されている層を有する基板の表面上に、当該終端器を実装することも可能となる。
　また、この実施の形態７では、信号導体２の－ｚ方向側に地導体５ｅを配置することで、終端器内の信号導体２が地導体５ａ，５ｅによって囲まれているため、終端器内の信号導体２は、電磁界シールドされている。
実施の形態８．
　上記実施の形態７では、図１の終端器の基板が多層化されている例を示しているが、この実施の形態８では、整合回路１０，１１－１，１１－２を備えている図９の終端器の基板が多層化されている例を説明する。
　この実施の形態８における終端器の断面図は、上記実施の形態７における図１２の終端器の断面図と同じである。
　図１９はこの発明の実施の形態８による終端器における表面１ａの上面図である。
　図２０はこの発明の実施の形態８による終端器における内層１ｃ－１の上面図である。図２０において、１１－３は整合回路である。図２０では、整合回路１１－３が、導体幅が信号導体２の導体幅よりも広くなっているインピーダンス変成器を図示しているが、整合回路１１－３がスタブであってもよい。
　図２１はこの発明の実施の形態８による終端器における内層１ｃ－２の上面図である。
　図２２はこの発明の実施の形態８による終端器における内層１ｃ－３の上面図である。図２２において、損失性部材６－５は円環状の損失性部材であり、損失性部材６－１，６－２，６－３，６－４が一体化されたものである。
　図２３はこの発明の実施の形態８による終端器における裏面１ｂの上面図である。
　この実施の形態８における終端器の動作は、上記実施の形態５と同様である。
　このため、この実施の形態８では、上記実施の形態５と同様の効果が得られる。
　また、この実施の形態８では、終端器が整合回路１０，１１－１，１１－２，１１－３を備える場合であっても、上記実施の形態７と同様に、基板が多層化されているため、終端器の小型化を図ることができる。
実施の形態９．
　上記実施の形態７，８では、分配回路２２が誘電体基板１の内層１ｃ－１に配置され、終端回路２３が誘電体基板１の内層１ｃ－３に配置されている例を示している。
　この実施の形態９では、分配回路２２と終端回路２３の配置を上下逆転し、分配回路２２が誘電体基板１の内層１ｃ－３に配置され、終端回路２３が誘電体基板１の内層１ｃ－１に配置されているようにしてもよい。
　図２４はこの発明の実施の形態９による終端器を示す断面図である。
　この実施の形態９における終端器の動作は、上記実施の形態７，８と同様である。
　このため、この実施の形態９では、上記実施の形態７，８と同様の効果が得られる。
　この実施の形態９においても、図２５に示すように、誘電体基板１の裏面１ｂにはんだボール３０を配置することで、例えば、地導体５ｅ，５ｆ，５ｇやＩＣチップなどが実装されている層を有する基板の表面上に、当該終端器を実装することも可能となる。
　図２５はこの発明の実施の形態９による他の終端器を示す断面図である。
　また、この実施の形態９では、図２６に示すように、誘電体基板１の表面１ａに放熱フィン３１を取り付けるようにしてもよい。
　図２６はこの発明の実施の形態９による他の終端器を示す断面図である。
　誘電体基板１の表面１ａに放熱フィン３１を取り付けることで、誘電体基板１の表面１ａからの放熱を実現することができる。
　なお、本願発明はその発明の範囲内において、各実施の形態の自由な組み合わせ、あるいは各実施の形態の任意の構成要素の変形、もしくは各実施の形態において任意の構成要素の省略が可能である。
　この発明は、信号の不要反射を抑制する終端器に適している。
　１　誘電体基板、１ａ，１ｃ　誘電体基板１の表面（第１の層、第２の層）、１ｂ　誘電体基板１の裏面（第２の層）、１ｃ－１　誘電体基板１の内層（第１の層）、１ｃ－２　誘電体基板１の内層（第２の層）、１ｃ－３　誘電体基板１の内層（第１の層）、２　信号導体、２ａ　入力端、２ｂ－１，２ｂ－１ａ，２ｂ－１ｂ，２ｂ－４，２ｂ－４ａ，２ｂ－４ｂ　出力端（第１の出力端）、２ｂ－２，２ｂ－２ａ，２ｂ－２ｂ，２ｂ－３，２ｂ－３ａ，２ｂ－３ｂ　出力端（第２の出力端）、３ａ，３ｂ，３ｃ　分岐部（分岐箇所）、４－１，４－４　分岐導体（第１の分岐導体）、４－２，４－３　分岐導体（第２の分岐導体）、４－５，４－６，４－７，４－８　分岐導体、５，５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ，５ｅ，５ｆ，５ｇ　地導体、６，６－１，６－２，６－３，６－４，６－５，６－６　損失性部材、７－１，７－１ａ，７－１ｂ，７－２，７－２ａ，７－２ｂ，７－３，７－３ａ，７－３ｂ，７－４，７－４ａ，７－４ｂ，７ａ，７ｂ　ビアホール（接続部材）、８－１，８－２，８－３　遅延回路、９－１，９－２，９－３，９－４　スタブ（共振器）、９ａ　円盤状の導体、１０，１１－１，１１－２　整合回路、１０ａ，１１－１ａ，１１－２ａ　スタブ、２１　入出力端子、２２　分配回路、２３　終端回路、２４，２５，２６，２７，２８　ビアホール、３０　はんだボール、３１　放熱フィン。

Claims (11)

  1. 　誘電体で形成されている誘電体基板と、
    　前記誘電体基板の第１の層に配置され、入力端から出力端に至る途中で２分岐されている箇所を少なくとも１つ以上有している信号導体と、
    　前記誘電体基板の第２の層に配置されている地導体と、
    　前記信号導体の分岐箇所から第１及び第２の出力端に至る第１及び第２の分岐導体の一部とそれぞれ重なるように配置され、前記第１及び第２の分岐導体を流れる信号の電力を損失させる損失性部材と、
    　前記第１及び第２の出力端のそれぞれと前記地導体との間を接続する接続部材とを備え、
    　前記第１の分岐導体が９０度の電気長を有する遅延回路を含んでいることを特徴とする終端器。
  2. 　前記地導体は、前記誘電体基板の第２の層の全面に亘って配置されていることを特徴とする請求項１記載の終端器。
  3. 　前記誘電体基板の前記第１の層が前記誘電体基板の表面であり、前記誘電体基板の前記第２の層が前記誘電体基板の裏面であることを特徴とする請求項１記載の終端器。
  4. 　前記第１の分岐導体が２分岐されて、前記第１の分岐導体における前記第１の出力端が２つ設けられ、
    　前記第１の分岐導体の分岐箇所から一方の前記第１の出力端に至る第１の方向と、前記第１の分岐導体の分岐箇所から他方の前記第１の出力端に至る第２の方向とが、当該分岐箇所の入力側から当該分岐箇所に至る方向と直交しており、かつ、前記第１の方向と前記第２の方向が反対方向であり、
    　前記第２の分岐導体が２分岐されて、前記第２の分岐導体における前記第２の出力端が２つ設けられ、
    　前記第２の分岐導体の分岐箇所から一方の前記第２の出力端に至る第３の方向と、前記第２の分岐導体の分岐箇所から他方の前記第２の出力端に至る第４の方向とが、当該分岐箇所の入力側から当該分岐箇所に至る方向と直交しており、かつ、前記第３の方向と前記第４の方向が反対方向であることを特徴とする請求項１記載の終端器。
  5. 　前記損失性部材が重ねられている部分の前記第１及び第２の分岐導体とそれぞれ接続されている共振器を備えたことを特徴とする請求項１記載の終端器。
  6. 　前記共振器は、前記第１及び第２の分岐導体のそれぞれから分岐されているスタブであることを特徴とする請求項５記載の終端器。
  7. 　前記スタブの先端部分は、前記スタブの線路幅よりも広く、かつ、角がない曲線の形状をなしていることを特徴とする請求項６記載の終端器。
  8. 　前記信号導体は、入力側のインピーダンスと出力側のインピーダンスとを整合する整合回路を含んでいることを特徴とする請求項１記載の終端器。
  9. 　前記整合回路がインピーダンス変成器又はスタブであることを特徴とする請求項８記載の終端器。
  10. 　前記誘電体基板の前記第１の層が前記誘電体基板の内層であり、前記誘電体基板の前記第２の層が前記誘電体基板の表面及び裏面であることを特徴とする請求項１記載の終端器。
  11. 　前記誘電体基板の前記第１及び第２の層がそれぞれ多層化されており、
    　前記損失性部材が重ねられている部分の前記信号導体と、前記損失性部材が重ねられていない部分の前記信号導体とが前記第１の層における異なる層に配置され、
    　前記地導体が前記第２の層における複数の層に配置されていることを特徴とする請求項１記載の終端器。
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