WO2018043036A1 - メッシュフィルターの製造方法及びメッシュフィルター - Google Patents
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Abstract
Description
円周600mm、面長1100mmの版母材(アルミ中空ロール)を準備し、New FX装置(株式会社シンク・ラボラトリー製全自動レーザーグラビア製版ロール製造装置)を用いて下記するDLCパターン付ロールを製造した。
ついで、5%水酸化ナトリウム水溶液にてレジストを剥離させ、図2のように、直径の異なる複数の円形凸部がそれぞれ併存せしめたDLCパターンとした。DLCパターンとしては、直径200μm~10μmの複数の円形凸部が前記基材上に無段階グラデーションで併存するように形成した。このようにして、DLCパターン付ロールを得た。
Claims (10)
- メッキ可能な円筒状金属基材を準備する工程と、前記円筒状金属基材の表面にフォトレジストを塗布し、露光・現像せしめてメッシュフィルター状レジストパターンを形成する工程と、前記円筒状金属基材及びメッシュフィルター状レジストパターンの表面にDLC
被覆膜を形成する工程と、前記メッシュフィルター状レジストパターン上に形成されたDLC被覆膜を前記メッシュフィルター状レジストパターンごと剥離せしめて前記円筒状金属基材の表面にDLCパターンを形成し、DLCパターン付ロールを作製する工程と、前記DLCパターン付ロールを用いて、メッキ可能な金属を連続メッキすることによりメッシュフィルターを作製する工程と、を含み、
前記メッシュフィルター状レジストパターンが、目開きの異なる複数のメッシュフィルター状レジストパターンが同一の前記円筒状金属基材に形成されてなるメッシュフィルター状レジストパターンである、メッシュフィルターの製造方法。 - 前記フォトレジストが塗布される金属基材が、ニッケル、タングステン、クロム、チタン、金、銀、白金、ステンレス鋼、鉄、銅、アルミニウムからなる群から選ばれた少なくとも一種の材料から構成されてなる、請求項1記載のメッシュフィルターの製造方法。
- 前記DLC被覆膜の厚さが、0.1μm~20μmである、請求項1又は2記載のメッシュフィルターの製造方法。
- 前記目開きの異なる複数のメッシュフィルター状レジストパターンが、目開きが無段階で変化する無段階グラデーションパターンである、請求項1~3いずれか1項記載のメッシュフィルターの製造方法。
- メッキ可能な円筒状金属基材の表面にフォトレジストを塗布し、露光・現像せしめてメッシュフィルター状レジストパターンを形成し、前記円筒状金属基材及びメッシュフィルター状レジストパターンの表面にDLC被覆膜を形成し、前記メッシュフィルター状レジストパターン上に形成されたDLC被覆膜を前記メッシュフィルター状レジストパターンごと剥離せしめ、前記円筒状金属基材の表面にDLCパターンを形成して製造されたDLCパターン付ロールを用いて、メッキ可能な金属を連続メッキすることにより製造されてなるメッシュフィルターであり、
前記メッシュフィルター状レジストパターンが、目開きの異なる複数のメッシュフィルター状レジストパターンが同一の前記円筒状金属基材に形成されてなるメッシュフィルター状レジストパターンであり、
前記メッシュフィルターが、目開きの異なる複数のメッシュフィルター部を備える、メッシュフィルター。 - 前記フォトレジストが塗布される金属基材が、ニッケル、タングステン、クロム、チタン、金、銀、白金、ステンレス鋼、鉄、銅、アルミニウムからなる群から選ばれた少なくとも一種の材料から構成されてなる、請求項5記載のメッシュフィルター。
- 前記DLC被覆膜の厚さが、0.1μm~20μmである、請求項5又は6記載のメッシュフィルター。
- 前記目開きの異なる複数のメッシュフィルター状レジストパターンが、目開きが無段階で変化する無段階グラデーションパターンである、請求項5~7いずれか1項記載のメッシュフィルター。
- 請求項5~8いずれか1項記載の目開きの異なる複数のメッシュフィルター部を備えるメッシュフィルターと、
前記メッシュフィルターをスライドさせるスライド機構と、を有し、
前記メッシュフィルターをスライドさせることで、任意の目開きのメッシュフィルター部で流体流量の調整を行うことを可能とした、流体流量調整機構。 - 請求項5~8いずれか1項記載の目開きの異なる複数のメッシュフィルター部を備えるメッシュフィルターと、
前記メッシュフィルターをスライドさせるスライド機構と、を有し、
前記メッシュフィルターをスライドさせることで、任意の目開きのメッシュフィルター部で光量の調整を行うことを可能とした、光量調整機構。
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