WO2017141852A1 - レーザ加工機 - Google Patents

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WO2017141852A1
WO2017141852A1 PCT/JP2017/005073 JP2017005073W WO2017141852A1 WO 2017141852 A1 WO2017141852 A1 WO 2017141852A1 JP 2017005073 W JP2017005073 W JP 2017005073W WO 2017141852 A1 WO2017141852 A1 WO 2017141852A1
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laser beam
prism
spindle
laser
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善仁 藤田
清隆 中川
重川　英文
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三菱重工業株式会社
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Definitions

  • the present invention relates to a laser processing machine for processing a workpiece such as drilling using a laser beam.
  • the laser beam machine oscillates a laser beam of a predetermined wavelength from a laser oscillator and irradiates the workpiece with the laser beam through a condenser lens to melt (or evaporate) the workpiece to be drilled etc.
  • Machine tools that are suitable for fine processing.
  • the laser processing machine is provided with a plurality of prisms for displacing and deflecting the optical path of the laser beam, and the plurality of prisms indicate the position and angle of incidence to the condensing lens, that is, the condensing lens.
  • the angle and position at which the workpiece is irradiated are controlled.
  • the laser beam is swung (tracked) at a predetermined irradiation angle and irradiation position with respect to the workpiece, and a predetermined hole shape and hole diameter in the workpiece Holes are formed.
  • a desired processing shape can be obtained by controlling the irradiation trajectory (irradiation angle, irradiation position, orbit turning, etc.) of the laser beam.
  • irradiation trajectory irradiation angle, irradiation position, orbit turning, etc.
  • Patent Document 1 a technique of controlling the irradiation trajectory of a laser beam using a plurality of prisms, for example, there is one described in Patent Document 1.
  • Patent Document 1 discloses a beam rotator using four or six wedge prisms, which adjusts the irradiation angle and the irradiation position of the laser beam by the phase difference between the wedge prisms, and synchronously rotates the wedge prisms. Describes a technique for orbiting a laser beam to perform drilling.
  • Patent Document 1 since the drive of the servomotor is transmitted to the cylindrical support member via a gear, a belt, etc. and the wedge prism fitted to the cylindrical support member is rotated, a plurality of wedge prisms It is difficult to synchronously rotate with high accuracy.
  • the irradiation angle and the irradiation position of the laser beam are controlled only by the relative phase difference around the rotation axis of the wedge prism, and either one of the irradiation angle or the irradiation position of the laser beam is set (changed Even in the above case, since the laser beam is deflected three-dimensionally, complicated trajectory calculation is required.
  • the present invention has been made in view of the above problems, and has as its object to control the irradiation trajectory of a laser beam with high definition.
  • a laser beam machine for solving the above-mentioned problems is a laser beam machine for processing a workpiece using a laser beam, which is disposed in order from the upstream side of the optical path of the laser beam
  • the first spindle, the second spindle, the third spindle and the fourth spindle, and the first spindle, the second spindle, the third spindle and the fourth spindle are rotatably held.
  • the prism and the second prism are a pair of prisms for displacing the passing laser beam
  • the third prism and the fourth prism are a pair of prisms for deflecting the passing laser beam. It is characterized by
  • a laser beam machine according to a second invention for solving the above problems is the laser beam machine according to the first invention, wherein the first spindle, the second spindle, the third spindle and the fourth spindle are provided. Are rotatably held by the first holding means, the second holding means, the third holding means, and the fourth holding means via aerostatic bearings, respectively. I assume.
  • a laser beam machine for solving the above-mentioned problems is the laser beam machine according to the first or second aspect, wherein the laser beam is disposed on the optical path of the laser beam and irradiated to the workpiece A condensing lens for condensing a beam, and a lens moving means for moving the condensing lens along a central axis of rotation of the laser beam.
  • a laser beam machine for solving the above-mentioned problems is the laser beam machine according to any one of the first to third aspects, wherein the light path upstream side of the first prism in the light path of the laser beam And astigmatism correction means for correcting astigmatism of the laser beam.
  • a laser beam machine for solving the above-mentioned problems is the laser beam machine according to the fourth aspect, wherein the astigmatism correction means comprises a pair of cylindrical lenses and a pair of concave lenses. It is characterized by
  • the laser beam machine according to a sixth aspect of the present invention for solving the above-mentioned problems is the laser beam machine according to any one of the first to fifth aspects, wherein the light path upstream of the first prism in the light path of the laser beam. And polarization conversion means for converting the polarization state of the laser beam.
  • a laser beam machine for solving the above-mentioned problems is the laser beam machine according to any one of the first to sixth aspects, wherein an imaging means for imaging the workpiece to be irradiated with the laser beam It is characterized by having.
  • a laser beam machine according to an eighth invention for solving the above problems is a laser beam machine according to any one of the first to seventh inventions, wherein generation of plasma when the workpiece is machined by the laser beam And plasma generation suppressing means for suppressing
  • a laser beam machine for solving the above-mentioned problems is the laser beam machine according to any one of the first to eighth aspects, wherein plasma generated when processing the workpiece by the laser beam And a plasma suction means for suctioning.
  • a laser beam machine for solving the above-mentioned problems is characterized in that, in the laser beam machine according to any one of the first to ninth inventions, the laser beam is a short pulse laser of nanosecond or less. I assume.
  • the first and second prisms are directly rotationally driven (without an indirect mechanism such as a gear) by the first motor and the second motor.
  • the moving means can control the distance between the first prism and the second prism, that is, the amount by which the laser beam passing through the first prism and the second prism is displaced. Control can be easily performed.
  • first prism and the second prism are located upstream of the third prism and the fourth prism in the optical path of the laser beam, the laser beam incident on the third prism and the fourth prism
  • the trajectory of the lens is not three-dimensionally changed (displaced), and the control of the first to fourth prisms can be simplified.
  • the first to fourth spindles can rotate without contact with the first to fourth holding means, so that vibration due to friction or the like occurs. As a result, the accuracy of the synchronous rotation can be improved.
  • the condensing lens can be moved along the central axis of rotation of the laser beam, so that it can be moved according to the surface shape of the workpiece or the like. Therefore, the laser processing can be performed by controlling the distance between the condensing lens and the workpiece without moving (operating) the workpiece.
  • the astigmatism correction means can correct the astigmatism of the laser beam caused by all the optical elements on the optical path of the laser beam.
  • the focus and shape of the laser beam can be controlled with high precision, so fine and high-precision processing becomes possible.
  • the astigmatism correction means is disposed on the upstream side of the optical path of the first prism, the astigmatism correction means for the laser beam always incident from the same trajectory before the laser beam is displaced and deflected. Correction of astigmatism by
  • astigmatism correction means can be made into a simple structure.
  • the polarization state of the laser beam can be converted according to the processing shape by converting the polarization state of the laser beam by the polarization conversion means. That is, by making the polarization state of the laser beam suitable for the processing shape, fine and high-precision processing becomes possible.
  • the image pickup means can observe the state of the focal position of the laser beam. Feedback of this observation to the operation of laser processing enables control of the closed loop.
  • the laser beam machine by suppressing the generation of plasma by the plasma generation suppressing means, absorption and scattering of light due to the generation of plasma can be suppressed, and stable processing accuracy can be maintained. .
  • the laser beam machine by sucking the plasma generated by the plasma suction means, absorption and scattering of light due to the generation of plasma can be suppressed, and stable processing accuracy can be maintained.
  • fine and high-precision laser processing can be performed by using a short pulse laser of nanosecond (ns) or less.
  • FIG. 2 is an explanatory view showing a structure of an optical head for laser processing provided in a laser processing machine according to a first embodiment.
  • FIG. 6 is an explanatory view showing a structure of first and second prism units in a laser processing optical head provided in the laser processing machine according to the first embodiment.
  • FIG. 8 is an explanatory view showing the structures of third and fourth prism units in the optical head for laser processing provided in the laser processing machine according to the first embodiment.
  • FIG. 6 is an explanatory view showing an optical system in an optical head for laser processing provided in the laser processing machine according to the first embodiment.
  • FIG. 5 is a block diagram showing control in a laser processing optical head provided in the laser processing machine according to the first embodiment.
  • FIG. 5 is an explanatory view showing the vicinity of a focal position of a laser beam in a laser processing optical head provided in a laser processing machine according to a first embodiment.
  • the laser beam machine performs machining such as drilling by irradiating the workpiece with a laser beam, and the irradiation trajectory of the laser beam to the workpiece is made highly precise.
  • a controllable laser processing optical head is provided.
  • optical head for laser processing provided in the laser processing machine according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. 1 to 5.
  • a plurality of prism units for guiding the laser beam emitted from the laser oscillator 10 through the total reflection mirror 20.
  • the second prism unit 40, the third prism unit 50, and the fourth prism unit 60) are provided, and the laser beams having passed through the first to fourth prism units 30, 40, 50, 60 are dichroic light.
  • the workpiece (workpiece) W is irradiated via the mirror 70 and the condenser lens 80.
  • the laser processing machine is capable of ablation processing (processing by evaporation), and the laser oscillator 10 can oscillate a short pulse laser of nanosecond (ns) or less as a laser beam. It is a thing.
  • the dichroic mirror 70 disposed on the downstream side of the optical path of the first to fourth prism units 30, 40, 50, 60 reflects the laser beam (light of a specific wavelength) oscillated from the laser oscillator 10, The light of other wavelengths (wavelength bands different from the specific wavelength) is transmitted.
  • the first to fourth prism units 30, 40, 50, 60 are arranged in order from the upstream side (the right side in FIG. 1) of the optical path of the laser beam, and the laser beam has the first to fourth by passing through the prism unit 30, 40, 50 and 60 in the order, position incident on the condenser lens 80 (incident position d L) and angle (incident angle theta L), i.e., via a condensing lens 80
  • the angle (irradiation angle ⁇ W ) and position (irradiation position d W ) with which the workpiece W is irradiated are controlled (see FIG. 5).
  • the optical head 1 for laser processing is provided with a first unit table 100 and a second unit table 110 fixed to a support frame 90, and these first and second units are provided.
  • the tables 100 and 110 are disposed adjacent to each other along the optical path of the laser beam.
  • the first unit table 100 is provided with a unit moving rail 101 extending along the optical path of the laser beam, and the first prism unit 30 extends in the X-axis direction (FIG. 1) via the unit moving rail 101. Is movably supported in the left and right direction).
  • a unit moving motor 102 is provided on the first unit table 100, and when the unit moving motor 102 is driven, the first prism unit 30 is moved along the unit moving rail 101. It has become.
  • second to fourth prism units 40, 50, 60 are fixedly supported on the second unit table 110.
  • the second prism unit 40 is disposed on one side (the right side in FIG. 1) to be adjacent to the first prism unit 30, and the third prism unit 50 is
  • the fourth prism unit 60 is disposed on the other side (the left side in FIG. 1) so as to be adjacent to the second prism unit 40 and to be adjacent to the third prism unit 50. There is.
  • the first prism unit 30 is movably supported by the support frame 90 via the first unit table 100, the second to fourth prism units 40, 50, 60
  • the first prism unit 30 is moved toward and away from the second prism unit 40 by driving the unit moving motor 102 so as to be fixedly supported on the support frame 90 via the second unit table 110. .
  • the first prism unit 30 is roughly configured of a unit casing 31 which is an outer shell thereof and a cylindrical spindle 32 provided in the unit casing 31.
  • the spindle 32 is rotatably supported with respect to the unit casing 31 via the radial air static pressure bearing 33 and the thrust air static pressure bearing 34.
  • the central axis of the spindle 32 coincides with the optical path (optical axis C) of the laser beam reflected by the total reflection mirror 20 and incident on the first prism unit 30, and the spindle 32 rotates this optical axis C. It is designed to be rotated around the C 1 axis around the center.
  • the first prism unit 30 is provided with a first rotation motor 35.
  • the first rotary motor 35 comprises a stator 35 a fixed to the unit casing 31 and a rotor 35 b fixed to the spindle 32.
  • the first rotary motor 35 is driven, a spindle 32 (rotor 35b) is rotated to C 1 axis with respect to the unit casing 31 (the stator 35a).
  • the second to fourth prism units 40, 50, 60 have unit casings 41, 51, 61, which are outer shells thereof, like the first prism unit 30;
  • the cylindrical spindles 42, 52, 62 rotatably supported in the unit casings 41, 51, 61 via radial air static pressure bearings 43, 53, 63 and thrust air static pressure bearings 44, 54, 64, and , Second to fourth rotary motors 45, 55, for rotating the spindles 42, 52, 62 (rotors 45b, 55b, 65b) relative to the unit casings 41, 51, 61 (stators 45a, 55a, 65a) 65 are provided respectively.
  • the central axes of the spindles 42, 52, 62 coincide with the optical axis C in the same manner as the first spindle 32, and the spindles 42, 52, 62 are C 2 axes C 3 centered on the optical axis C. It is designed to be rotated around each of the four axes.
  • the laser processing machine As shown in FIG. 4, the laser processing machine according to the present embodiment is provided with an NC apparatus 120 for controlling laser processing, and the unit moving motor 102 in the optical head 1 for laser processing and the first to fourth The rotary motors 35, 45, 55, and 65 are electrically connected to the NC device 120.
  • the first unit table 100 is provided with a linear scale 103 for detecting the amount of movement of the first prism unit 30 (position in the X-axis direction).
  • the first to fourth prism units 30, 40, 50, 60 have encoders (first encoder 36, second encoder) for detecting the rotational phase of the spindles 32, 42, 52, 62. 46, a third encoder 56, and a fourth encoder 66) are provided.
  • the linear scale 103 and the first to fourth encoders 36, 46, 56, 66 are electrically connected to the NC device 120, and the movement amount of the first prism unit 30 detected by the linear scale 103 and the Information on the rotational phase of the first to fourth spindles 32, 42, 52, 62 detected by the first to fourth encoders 36, 46, 56, 66 is sent to the NC device 120. (See Figure 4).
  • the NC apparatus 120 generates the unit moving motor 102 and the first movement based on the information (the movement amount of the first prism unit 30 and the rotational phases of the first to fourth spindles 32, 42, 52, 62).
  • the fourth to fourth rotary motors 35, 45, 55, and 65 can be controlled.
  • prisms for displacing or deflecting the optical path of the laser beam 47, a third wedge prism 57, and a fourth wedge prism 67 are provided.
  • the first to fourth wedge prisms 37, 47, 57, 67 are respectively fixedly supported in spindles 32, 42, 52, 62 in the first to fourth prism units 30, 40, 50, 60, C 1 axis with the spindle 32, 42, 52, 62 by the drive of the fourth rotary motor 35,45,55,65 from the first, C 2 axis, C 3 axis, to be rotated respectively to C 4 axis (See FIGS. 2A and 2B).
  • the first to fourth wedge prisms 37, 47, 57, 67 are prisms having a wedge-shaped cross section, and one surface (orthogonal surface) 37a, 47a, 57a, 67a is an optical axis.
  • the other surfaces (inclined surfaces) 37b, 47b, 57b and 67b are arranged to be orthogonal to C and to be inclined (not parallel or orthogonal) with the optical axis C.
  • the laser beam is deflected (refracted) as it passes through the first to fourth wedge prisms 37, 47, 57, 67.
  • the first wedge prism 37 and the second wedge prism 47 are disposed such that the inclined surfaces 37b and 47b face each other, and the laser beam passes through the first and second wedge prisms 37 and 47. By doing this, the respective deflection angles (declination angles) are canceled out and translated (displaced) with respect to the optical axis C.
  • the amount by which the laser beam is displaced (displacement amount) changes according to the distance between the first wedge prism 37 and the second wedge prism 47, passes through the condenser lens 80, and becomes the workpiece W. It affects the irradiation angle ⁇ W of the laser beam to be irradiated (see FIG. 5). That is, the displacement amount of the laser beam, that is, the irradiation angle ⁇ W is controlled by driving the unit moving motor 102.
  • the optical head 1 for laser processing is provided with a parallel flat plate 130 for performing the zero point correction on the displacement of the laser beam by the first and second wedge prisms 37 and 47.
  • the parallel plate 130 is provided to be tiltable with respect to the optical axis C in the spindle 42 of the second prism unit 40, and the light path downstream of the first and second wedge prisms 37 and 47 and the third plate And the fourth wedge prisms 57 and 67 are disposed upstream of the light path.
  • the laser beams having passed through the first and second wedge prisms 37 and 47 are displaced according to the tilt angle of the parallel plate 130 and then are incident on the third and fourth wedge prisms 57 and 67. It has become. That is, when the first wedge prism 37 and the second wedge prism 47 are at a predetermined distance (the first prism unit 30 is at a predetermined position), the parallel flat plate 130 is inclined to emit a laser beam. By aligning with the axis C, it is possible to make a zero correction for the displacement of the laser beam by the first and second wedge prisms 37,47.
  • the third wedge prism 57 and the fourth wedge prism 67 are disposed such that the orthogonal surfaces 57a and 67a face each other, and the laser beams are made of the third and fourth laser beams.
  • the respective deflection angles are deflected (tilted) with respect to the optical axis C by a combined angle (deflection angle).
  • the angle (deflection angle) at which the laser beam is deflected changes in accordance with the rotational phase difference between the third wedge prism 57 and the fourth wedge prism 67, passes through the condenser lens 80, and becomes the workpiece W. It affects the irradiation position d W of the laser beam to be irradiated (see FIG. 5). That is, the deflection angle of the laser beam, that is, the irradiation position d W is controlled by the drive of the third and fourth rotation motors 55 and 65.
  • the polarization state of the laser beam is set to a predetermined polarization state (for example, linear polarization, circular polarization, elliptical polarization, radial (radial) polarization, azimuth
  • a polarization conversion element 140 is provided to convert the light into polarization, etc.).
  • the polarization conversion element 140 is mounted in the spindle 32 of the first prism unit 30 and is disposed upstream of the first wedge prism 37 in the light path.
  • the laser beam emitted from the laser oscillator 10 is reflected by the total reflection mirror 20 and converted into a desired polarization state by the polarization conversion element 140, and then the first to fourth wedge prisms 37, 47, 57, It is supposed to be incident on 67.
  • the polarization conversion element 140 There are various polarization conversion elements 140 in accordance with the predetermined polarization state to be converted, and in the optical head 1 for laser processing, one type of polarization conversion is performed according to the processing shape to be applied to the workpiece W
  • the element 140 is selected, or plural types of polarization conversion elements 140 are used in combination.
  • a diffractive optical element may be provided in place of or in combination with the polarization conversion element 140. That is, by using the diffractive optical element, it is possible to optimize the shape of the laser beam and improve the processing accuracy with the laser beam, and it is also possible to process a shape not limited to a round hole.
  • the laser processing optical head 1 is provided with an astigmatism correction optical element 150 for correcting astigmatism of the laser beam.
  • the astigmatism correction optical element 150 is mounted in the spindle 32 of the first prism unit 30 and is disposed upstream of the first wedge prism 37 in the optical path.
  • the astigmatism correction optical element 150 includes a first cylindrical lens 151 having a convex portion on the upstream side of the optical path, a first concave lens 152 having a concave portion on the downstream side of the optical path, and A second concave lens 153 having a concave portion and a second cylindrical lens 154 having a convex portion on the downstream side of the optical path are arranged in order from the upstream side of the optical path.
  • the astigmatism of the laser beam is adjusted by adjusting the distance and phase (rotational phase around the C axis) between the first cylindrical lens 151 and the first concave lens 152 and the second concave lens 153 and the second cylindrical lens 154. It is corrected by being done. Note that these adjustments are performed by the operator or the NC apparatus 120 via a mechanical mechanism (not shown).
  • the laser processing optical head 1 includes a nozzle head 160 to which a condensing lens 80 is attached, a nozzle body 161 which supports the nozzle head 160 slidably in the Z-axis direction, and a nozzle head 160. And a nozzle moving motor 162 (see FIG. 4) that slides on the nozzle body 161. Therefore, when the nozzle movement motor 162 is driven, the nozzle head 160 and the condensing lens 80 are moved in the Z-axis direction with respect to the workpiece W.
  • the condenser lens 80 is moved in the Z-axis direction according to the surface shape of the workpiece W, and the workpiece W is irradiated via the condenser lens 80.
  • the focus position of the laser beam can be always positioned on the surface of the workpiece W.
  • the condenser lens 80 the provided axis of rotational symmetry is arranged to coincide with the pivot axis C L at orbital of the laser beam to be described later, Z-axis direction for moving the condensing lens 80, turning a central axis C L direction parallel (see FIG. 5).
  • the movement in the Z axis direction of the condensing lens 80, pivot axis C L relative to the workpiece W is moved (shifted) it is not.
  • the laser processing optical head 1 is provided with a gas injection device 170 for injecting a gas (plasma suppression gas) that suppresses the generation of plasma due to laser processing.
  • a gas plasma suppression gas
  • the gas injection device 170 is provided in the nozzle 160, and the plasma suppression gas is injected to the processing position (the focal position of the laser beam) on the workpiece W. Therefore, generation of plasma during laser processing, that is, absorption and scattering of light (laser beam) due to generation of plasma can be suppressed, and processing accuracy by the laser beam can be stabilized.
  • a plasma suppression gas helium gas etc. are mentioned, for example.
  • a plasma suction device 171 (shown by a two-dot chain line in FIG. 1) for suctioning plasma generated by laser processing may be provided instead of or in combination with the gas injection device 170.
  • a plasma suction device 171 shown by a two-dot chain line in FIG. 1 for suctioning plasma generated by laser processing may be provided instead of or in combination with the gas injection device 170.
  • the optical head 1 for laser processing is provided with an observation camera 180 and an observation illumination 190 for observing the state of the focal position of the laser beam (the processing position of the workpiece W). It is done.
  • the illumination light emitted from the observation illumination 190 reaches the dichroic mirror 70 via the total reflection mirror 200, the half mirror 210, the total reflection mirror 220, and the magnifying lens 230. Since this illumination light is light of a wavelength different from that of the laser beam (a wavelength band different from the specific wavelength), it can be transmitted through the dichroic mirror 70.
  • the illumination light transmitted through the dichroic mirror 70 is irradiated to the processing position on the workpiece W via the condenser lens 80 and is reflected by the workpiece W.
  • the reflected light reflected by the workpiece W reaches the dichroic mirror 70 via the condenser lens 80.
  • the reflected light is light of a wavelength different from that of the laser beam (a wavelength band different from a specific wavelength), passes through the dichroic mirror 70, and is observed through the magnifying lens 230, the total reflection mirror 220, and the half mirror 210.
  • the camera 180 For the camera 180.
  • the illumination light of the observation illumination 190 is irradiated to the processing position in the workpiece W, and the appearance is imaged by the observation camera 180 to visualize the processing position in the workpiece W, that is, the focal position of the laser beam
  • the operator or the NC apparatus 120
  • the laser processing by the laser processing machine according to the present embodiment is performed by irradiating the workpiece W fixed to the work table (not shown) with a laser beam, and the irradiation trajectory of the laser beam is the optical head 1 for laser processing. Controlled by
  • Control of the irradiation trajectory by the laser processing optical head 1 at the time of laser processing (in the present embodiment, drilling processing) will be described with reference to FIGS. 1 to 5.
  • the setting of the irradiation angle ⁇ W of the laser beam, the setting of the irradiation position d W of the laser beam, and the orbiting of the laser beam are performed.
  • a hole of a predetermined shape and inner diameter is formed in
  • the setting of the irradiation angle ⁇ W (see FIG. 5) of the laser beam drives the unit moving motor 102 to move the first prism unit 30 closer to and away from the second prism unit 40 (move in the X-axis direction). (See FIGS. 1 and 2A). That is, the distance between the first wedge prism 37 and the second wedge prism 47 is set to a predetermined value, and the laser beam passing through the first and second wedge prisms 37 and 47 is displaced by a predetermined amount (parallel The laser beam is moved, and the irradiation angle ⁇ W of the laser beam irradiated to the workpiece via the condenser lens 80 is set to a predetermined angle.
  • the inclination of the parallel plate 130 provided in the second prism unit 40 with respect to the optical axis C Adjust the angle. That is, the first prism unit 30 is moved to a predetermined position by driving the unit moving motor 102 (the distance between the first wedge prism 37 and the second wedge prism 47 is set to a predetermined value). To align the laser beam with the optical axis C, and perform zero correction.
  • the setting of the irradiation position d W (see FIG. 5) of the laser beam drives at least one of the third and fourth rotary motors 55, 65, and at least one of the third and fourth prism units 50, 60 It is done by rotating around 3 axes or C 4 axes (see FIGS. 1 and 2B). That is, the third wedge prism 57 and the fourth wedge prism 67 are set to have a predetermined rotational phase difference, and the laser beam passing through the third and fourth wedge prisms 57 and 67 is deflected by a predetermined deflection angle ( Then, the irradiation position d W of the laser beam irradiated to the workpiece W through the condenser lens 80 is set to a predetermined position.
  • the laser beams incident on the third and fourth wedge prisms 57 and 67 are displaced by the first and second wedge prisms 37 and 47, but this displacement is not three-dimensional. .
  • the orbiting of the laser beam maintains the first wedge prism 37 and the second wedge prism 47 at a predetermined distance, and the third wedge prism 57 and the fourth wedge prism 67 have a predetermined rotational phase difference.
  • the first to fourth rotation motors 35, 45, 55, and 65 are driven in the state of (1), (2) and (2). That is, the laser which rotates the first to fourth wedge prisms 37, 47, 57, 67 synchronously and passes through the first to fourth wedge prisms 37, 47, 57, 67 and enters the condenser lens 80 pivots the beam pivot axis C L around pivot trajectory of the laser beam irradiated to the workpiece W via the condenser lens 80 on the pivot axis C L direction.
  • the spindles 32, 42, 52, 62 for fixedly supporting the first to fourth wedge prisms 37, 47, 57, 67 do not require an indirect mechanism such as a gear. It is directly driven by the first to fourth rotary motors 35, 45, 55, 65 (see FIGS. 2A and 2B). Therefore, the spindles 32, 42, 52, 62, ie, the first to fourth wedge prisms 37, 47, 57, 67 can be synchronously rotated with high accuracy.
  • the rotational phases of the spindles 32, 42, 52, 62 can be detected by the encoders 36, 46, 56, 66. Therefore, based on the detection results of the encoders 36, 46, 56, 66, the NC device 120 performs spindles 32, 42, 52, 62 (first to fourth rotary motors 35, 45, 55, 65), ie, The first to fourth wedge prisms 37, 47, 57, 67 can be controlled to synchronously rotate the first to fourth wedge prisms 37, 47, 57, 67 with high precision (FIG. 2A). , FIG. 2B and FIG. 4).
  • the spindles 32, 42, 52, 62 are respectively provided via radial air static pressure bearings 33, 43, 53, 63 and thrust air static pressure bearings 34, 44, 45, 64. It is supported by the unit casings 31, 41, 51, 61, and is rotated without coming into contact with the unit casings 31, 41, 51, 61. Therefore, contact resistance hardly occurs between the spindles 32, 42, 52, 62 and the unit casings 31, 41, 51, 61. For example, compared with the prior art using a rolling bearing etc. Since vibrations at the time can be suppressed, the first to fourth wedge prisms 37, 47, 57, 67 can be synchronously rotated with high accuracy.
  • the laser beam machine controls the irradiation trajectory of the laser beam with higher definition in the laser processing optical head 1, thereby performing finer and more precise laser processing on the workpiece W. It can be applied.
  • the optical head 1 for laser processing conversion of the polarization state of the laser beam and correction of astigmatism of the laser beam are performed as further control of the irradiation trajectory of the laser beam.
  • the conversion of the polarization state of the laser beam is performed by selecting the polarization conversion element 140 and attaching it to the spindle 32 in the first prism unit 30 according to the shape of the process to be applied to the workpiece W (FIG. 1 and FIG. 2A).
  • the polarization conversion element 140 is formed on the workpiece W by converting the polarization state of the laser beam into circularly polarized light or radially polarized light. The roundness of the round hole can be improved.
  • the polarization conversion element 140 is disposed on the light path upstream side of the first to fourth wedge prisms 37, 47, 57, 67, and the laser beam is always transmitted to the polarization conversion element 140 at the same angle and position. Since the light is incident, conversion of the polarization state by the polarization conversion element 140 is performed reliably (efficiently).
  • Correction of the astigmatism of the laser beam adjusts the astigmatism correction element 150, ie, between the first cylindrical lens 151 and the first concave lens 152 and the second concave lens 153 and the second cylindrical lens 154.
  • the distance and phase rotational phase about the C axis
  • the phases between the first cylindrical lens 151 and the first concave lens 152 and the second concave lens 153 and the second cylindrical lens 154 are adjusted in accordance with the direction of the focal length shift due to astigmatism.
  • the distance between the first cylindrical lens 151 and the first concave lens 152 and the second concave lens 153 and the second cylindrical lens 154 is adjusted according to the degree of deviation of the focal length due to astigmatism, and the laser beam Correct the astigmatism of
  • the astigmatism correction optical element 150 is disposed upstream of the first to fourth wedge prisms 37, 47, 57, 67 on the light path, and the laser beam is always astigmatic at the same angle and at the same position. Since the light is made incident on the aberration correction optical element 150, correction of astigmatism by the astigmatism correction optical element 150 can be made reliably (efficiently).
  • the laser beam machine controls the irradiation trajectory of the laser beam in the optical head 1 for laser processing with high precision by closed loop control, thereby making the workpiece W finer and more accurate. Laser processing can be performed. Information detected by the first to fourth encoders 36, 46, 56, 66, the linear scale 103 and the observation camera 180 is fed back to the NC device 120.
  • the movement amount of the first prism unit 30 (the position in the X-axis direction) detected by the linear scale 103 is sent to the NC device 120, whereby the NC device 120 controls the operation of the unit moving motor 102 with high accuracy. be able to.
  • the first prism unit 30 is moved with high accuracy, and the space between the first prism unit 30 (first wedge prism 37) and the second prism unit 40 (second wedge prism 47) is obtained.
  • the distance is set with high accuracy, and the displacement amount of the laser beam passing through the first and second wedge prisms 37 and 47, that is, the irradiation angle ⁇ of the laser beam irradiated to the workpiece via the condenser lens 80.
  • W is set to high precision.
  • the state of the focal position of the laser beam detected by the observation camera 180 is sent to the NC device 120, so that the NC device 120 (or the operator) receives the irradiation trajectory of the laser beam (irradiation angle ⁇ W , irradiation position d W Orbit orbit rotation, polarization state (roundness of the hole formed in the workpiece W), astigmatism can be confirmed, and the irradiation trajectory of the laser beam can be controlled according to the state.
  • the irradiation trajectory of the laser beam is controlled with high definition.
  • the NC device 120 slides the nozzle head 160 in the Z-axis direction so that the distance D between the focusing lens 80 and the workpiece W becomes constant based on the imaging by the observation camera 180.
  • the focal position of the laser beam can be moved in accordance with the surface shape of the workpiece W.
  • the NC apparatus 120 makes the surface shape and the processing position of the workpiece W on the basis of the recognition mark. Etc. can be accurately grasped.
  • the laser beam machine is not limited to the one that moves the nozzle head 160 (the condensing lens 80) based on the imaging of the observation camera 180 as in the present embodiment.
  • the nozzle head 160 (condenser lens 80) may be moved based on the three-dimensional machining data to adjust the focal position of the laser beam to the surface shape of the workpiece W.
  • an image rotator for example, a dove prism
  • the laser processing optical head 1 provided in the laser processing machine according to the present embodiment.
  • the irradiation trajectory of the laser beam is controlled with high definition, and fine and high-precision laser processing is possible. is there.

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Abstract

レーザビームを使用して被加工物Ｗに加工を施すレーザ加工機であって、前記レーザビームの光路上流側から順に配置される第一から第四のプリズム３７，４７，５７，６７と、前記第一から第四のプリズム３７，４７，５７，６７をそれぞれ独立して保持する第一から第四のスピンドル３２，４２，５２，６２と、前記第一から第四のスピンドル３２，４２，５２，６２をそれぞれ回転可能に保持する第一から第四の保持手段３１，４１，５１，６１と、前記第一から第四のスピンドル３２，４２，５２，６２にそれぞれ固定されるロータ３５ｂ，４５ｂ，５５ｂ，６５ｂと、前記第一から第四の保持手段３１，４１，５１，６１にそれぞれ固定されるステータ３５ａ，４５ａ，５５ａ，６５ａとから成る第一から第四のモータ３５，４５，５５，６５と、前記第一のプリズム３７または前記第二のプリズム４７の少なくとも一方を移動するプリズム移動手段１０１，１０２とを備えて成る。

Description

レーザ加工機
　本発明は、レーザビームを使用して被加工物に穴明け等の加工を施すレーザ加工機に関する。
　レーザ加工機は、レーザ発振器から所定波長のレーザビームを発振し、集光レンズを介して当該レーザビームを被加工物に照射することにより、被加工物を溶融（または蒸発）して穴明け等の加工を行うものであり、微細な加工に適した工作機械である。
　レーザ加工機には、レーザビームの光路を変位および偏向するための複数のプリズムが設けられており、これら複数のプリズムによって、集光レンズに入射される位置および角度、すなわち、当該集光レンズを介して被加工物に照射される角度および位置が制御されている。そして、複数のプリズムが同期して回転されることにより、レーザビームが被加工物に対して所定の照射角度および照射位置で旋回（軌道旋回）され、被加工物に所定の穴形状および穴径の穴が形成される。
　このように、レーザ加工機においては、レーザビームの照射軌道（照射角度、照射位置および軌道旋回等）を制御することにより、所望の加工形状を得ることができる。複数のプリズムを用いてレーザビームの照射軌道を制御する技術として、例えば、特許文献１に記載のものがある。
特開２０１１－１６７７０４号公報
　特許文献１には、四枚または六枚のウェッジプリズムを用いたビームローテータであって、ウェッジプリズム間の位相差によってレーザビームの照射角度および照射位置を調整し、当該ウェッジプリズムを同期回転することによってレーザビームを軌道旋回して穴明け加工を行う技術が記載されている。
　しかし、特許文献１においては、ギアおよびベルト等を介してサーボモータの駆動を円筒支持部材に伝達し、当該円筒支持部材に嵌合されたウェッジプリズムを回転しているため、複数のウェッジプリズムを高精度に同期回転することは難しい。
　また、特許文献１においては、レーザビームの照射角度および照射位置をウェッジプリズムの回転軸回りの相対位相差のみによって制御しており、レーザビームの照射角度または照射位置のいずれか一方を設定（変更）した場合であってもレーザビームが三次元的に偏向されてしまうため、複雑な軌道計算が必要となる。
　近年では、電子機器等の製品の更なる小型化が進み、これらの製品に使用される部品の製造には、より微細かつ高精度な加工が求められている。しかし、特許文献１に記載の技術においては、レーザビームの照射軌道を高精細に制御することができず、微細かつ高精度な加工を行うことができない。
　本発明は上記問題に鑑みてなされたもので、レーザビームの照射軌道を高精細に制御することを目的とする。
　上記課題を解決する第一の発明に係るレーザ加工機は、レーザビームを使用して被加工物に加工を施すレーザ加工機であって、前記レーザビームの光路上流側から順に配置される第一のプリズム、第二のプリズム、第三のプリズムおよび第四のプリズムと、前記第一のプリズム、前記第二のプリズム、前記第三のプリズムおよび前記第四のプリズムをそれぞれ独立して保持する第一のスピンドル、第二のスピンドル、第三のスピンドルおよび第四のスピンドルと、前記第一のスピンドル、前記第二のスピンドル、前記第三のスピンドルおよび前記第四のスピンドルをそれぞれ回転可能に保持する第一の保持手段、第二の保持手段、第三の保持手段および第四の保持手段と、前記第一のスピンドル、前記第二のスピンドル、前記第三のスピンドルおよび前記第四のスピンドルにそれぞれ固定されるロータと、前記第一の保持手段、前記第二の保持手段、前記第三の保持手段および前記第四の保持手段にそれぞれ固定されるステータとから成る第一のモータ、第二のモータ、第三のモータおよび第四のモータと、前記第一のプリズムまたは前記第二のプリズムの少なくとも一方を移動するプリズム移動手段とを備え、前記第一のプリズムと前記第二のプリズムは、通過する前記レーザビームを変位させる一対のプリズムであり、前記第三のプリズムと前記第四のプリズムは、通過する前記レーザビームを偏向させる一対のプリズムであることを特徴とする。
　上記課題を解決する第二の発明に係るレーザ加工機は、第一の発明に係るレーザ加工機において、前記第一のスピンドル、前記第二のスピンドル、前記第三のスピンドルおよび前記第四のスピンドルが、それぞれ空気静圧軸受を介して前記第一の保持手段、前記第二の保持手段、前記第三の保持手段および前記第四の保持手段に回転可能に保持されるものであることを特徴とする。
　上記課題を解決する第三の発明に係るレーザ加工機は、第一または第二の発明に係るレーザ加工機において、前記レーザビームの光路上に配置され、前記被加工物に照射される前記レーザビームを集光する集光レンズと、前記集光レンズを前記レーザビームの旋回中心軸に沿って移動するレンズ移動手段とを備えたことを特徴とする。
　上記課題を解決する第四の発明に係るレーザ加工機は、第一から第三のいずれか一つの発明に係るレーザ加工機において、前記レーザビームの光路上における前記第一のプリズムの光路上流側に配置され、前記レーザビームの非点収差を補正する非点収差補正手段を備えたことを特徴とする。
　上記課題を解決する第五の発明に係るレーザ加工機は、第四の発明に係るレーザ加工機において、前記非点収差補正手段が、一対のシリンドリカルレンズと一対の凹レンズとを備えたものであることを特徴とする。
　上記課題を解決する第六の発明に係るレーザ加工機は、第一から第五のいずれか一つの発明に係るレーザ加工機において、前記レーザビームの光路上における前記第一のプリズムの光路上流側に配置され、前記レーザビームの偏光状態を変換する偏光変換手段を備えたことを特徴とする。
　上記課題を解決する第七の発明に係るレーザ加工機は、第一から第六のいずれか一つの発明に係るレーザ加工機において、前記レーザビームが照射される前記被加工物を撮像する撮像手段を備えたことを特徴とする。
　上記課題を解決する第八の発明に係るレーザ加工機は、第一から第七のいずれか一つの発明に係るレーザ加工機において、前記レーザビームによって前記被加工物を加工する際のプラズマの発生を抑制するプラズマ発生抑制手段を備えたことを特徴とする。
　上記課題を解決する第九の発明に係るレーザ加工機は、第一から第八のいずれか一つの発明に係るレーザ加工機において、前記レーザビームによって前記被加工物を加工する際に発生するプラズマを吸引するプラズマ吸引手段を備えたことを特徴とする。
　上記課題を解決する第十の発明に係るレーザ加工機は、第一から第九のいずれか一つの発明に係るレーザ加工機において、前記レーザビームがナノ秒以下の短パルスレーザであることを特徴とする。
　第一の発明に係るレーザ加工機によれば、第一のモータおよび第二のモータによって第一のプリズムおよび第二のプリズムが直接的（ギヤなどの間接的機構を介さず）に回転駆動されるので、バックラッシュ等による回転斑が発生せず、精密な同期回転が可能となる。また、移動手段によって、第一のプリズムと第二のプリズムとの間の距離、すなわち、第一のプリズムおよび第二のプリズムを通過するレーザビームが変位させられる量を制御することができ、当該制御を容易におこなうことができる。また、第一のプリズムおよび第二のプリズムが、第三のプリズムおよび第四のプリズムよりもレーザビームの光路上流側に位置するので、第三のプリズムおよび第四のプリズムに入射されるレーザビームの軌道が三次元的に変化（変位）されることはなく、第一から第四のプリズムの制御を簡易なものとすることができる。
　第二の発明に係るレーザ加工機によれば、第一から第四のスピンドルが第一から第四の保持手段に対して非接触で回転可能となっているので、摩擦等による振動が発生せず、同期回転の精度を向上させることができる。
　第三の発明に係るレーザ加工機によれば、集光レンズをレーザビームの旋回中心軸に沿って移動可能としたことにより、被加工物の表面形状等に合わせて移動することができる。よって、被加工物を移動（動作）させることなく、集光レンズと被加工物との距離を制御してレーザ加工を行うことができる。
　第四の発明に係るレーザ加工機によれば、非点収差補正手段によって、レーザビームの光路上にある全ての光学素子に起因して生じるレーザビームの非点収差を補正することができる。非点収差を補正することにより、レーザビームの焦点と形状を高精度に制御することができるので、微細かつ高精度な加工が可能となる。また、非点収差補正手段が第一のプリズムの光路上流側に配置されているので、レーザビームを変位および偏向させる以前に、常に同じ軌道から入射されるレーザビームに対して非点収差補正手段による非点収差の補正が可能である。
　第五の発明に係るレーザ加工機によれば、非点収差補正手段を簡易な構成とすることができる。
　第六の発明に係るレーザ加工機によれば、偏光変換手段によって、レーザビームの偏光状態を変換することにより、レーザビームの偏光状態を加工形状に応じて変換することができる。つまり、レーザビームの偏光状態を加工形状に適したものとすることにより、微細かつ高精度な加工が可能となる。
　第七の発明に係るレーザ加工機によれば、撮像手段によって、レーザビームの焦点位置の様子を観察することができる。この観察をレーザ加工の動作にフィードバックすることにより、クローズドループの制御が可能となる。
　第八の発明に係るレーザ加工機によれば、プラズマ発生抑制手段によってプラズマの発生を抑制することにより、プラズマの発生による光の吸収および散乱を抑制し、安定した加工精度を維持することができる。
　第九の発明に係るレーザ加工機によれば、プラズマ吸引手段によって発生したプラズマを吸引することにより、プラズマの発生による光の吸収および散乱を抑制し、安定した加工精度を維持することができる。
　第十の発明に係るレーザ加工機によれば、ナノ秒（ｎｓ）以下の短パルスレーザを用いることにより、微細かつ高精度なレーザ加工が可能となる。
実施例１に係るレーザ加工機に備えられるレーザ加工用光学ヘッドの構造を示す説明図である。 実施例１に係るレーザ加工機に備えられるレーザ加工用光学ヘッドにおける第一および第二のプリズムユニットの構造を示す説明図である。 実施例１に係るレーザ加工機に備えられるレーザ加工用光学ヘッドにおける第三および第四のプリズムユニットの構造を示す説明図である。 実施例１に係るレーザ加工機に備えられるレーザ加工用光学ヘッドにおける光学系を示す説明図である。 実施例１に係るレーザ加工機に備えられるレーザ加工用光学ヘッドにおける制御を示すブロック図である。 実施例１に係るレーザ加工機に備えられるレーザ加工用光学ヘッドにおけるレーザビームの焦点位置近傍を示す説明図である。
　以下に、本発明に係るレーザ加工機の実施例について、添付図面を参照して詳細に説明する。もちろん、本発明は、以下の実施例に限定されず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で各種変更が可能であることは言うまでもない。
　本発明の実施例１に係るレーザ加工機は、被加工物に対してレーザビームを照射することによって穴明け等の加工を行うものであり、被加工物に対するレーザビームの照射軌道を高精細に制御可能なレーザ加工用光学ヘッドを備えている。
　本実施例に係るレーザ加工機に備えられるレーザ加工用光学ヘッドの構造について、図１から図５を参照して説明する。
　図１に示すように、レーザ加工用光学ヘッド１には、レーザ発振器１０から発振されるレーザビームが全反射ミラー２０を介して導光される複数のプリズムユニット（第一のプリズムユニット３０、第二のプリズムユニット４０、第三のプリズムユニット５０、第四のプリズムユニット６０）が設けられており、これら第一から第四のプリズムユニット３０，４０，５０，６０を通過したレーザビームは、ダイクロイックミラー７０および集光レンズ８０を介して被加工物（ワーク）Ｗに照射されるようになっている。
　ここで、本実施例に係るレーザ加工機は、アブレーション加工（蒸発による加工）が可能なものであり、レーザ発振器１０は、レーザビームとして、ナノ秒（ｎｓ）以下の短パルスレーザを発振可能なものである。また、第一から第四のプリズムユニット３０，４０，５０，６０の光路下流側に設置されるダイクロイックミラー７０は、レーザ発振器１０から発振されるレーザビーム（特定の波長の光）を反射し、その他（特定の波長とは異なる波長帯）の波長の光を透過するものである。
　第一から第四のプリズムユニット３０，４０，５０，６０は、レーザビームの光路上流側（図１においては、右方側）から順に配列されており、レーザビームは、これら第一から第四のプリズムユニット３０，４０，５０，６０を順に通過することにより、集光レンズ８０に入射される位置（入射位置ｄL）および角度（入射角度θL）、すなわち、集光レンズ８０を介して被加工物Ｗに照射される角度（照射角度θW）および位置（照射位置ｄW）が制御されている（図５参照）。
　図１に示すように、レーザ加工用光学ヘッド１には、支持フレーム９０に固定された第一のユニットテーブル１００および第二のユニットテーブル１１０が設けられており、これら第一および第二のユニットテーブル１００，１１０は、レーザビームの光路に沿うように隣接して配置されている。
　第一のユニットテーブル１００には、レーザビームの光路に沿って延びるユニット移動レール１０１が設けられており、このユニット移動レール１０１を介して、第一のプリズムユニット３０がＸ軸方向（図１においては、左右方向）に移動可能に支持されている。また、第一のユニットテーブル１００には、ユニット移動モータ１０２が設けられており、このユニット移動モータ１０２が駆動されると、第一のプリズムユニット３０がユニット移動レール１０１に沿って移動されるようになっている。
　一方、第二のユニットテーブル１１０には、第二から第四のプリズムユニット４０，５０，６０が固定支持されている。第二のユニットテーブル１１０上において、第二のプリズムユニット４０は第一のプリズムユニット３０と隣接するように一方側（図１においては、右方側）に配置され、第三のプリズムユニット５０は第二のプリズムユニット４０と隣接するように中央に配置され、第四のプリズムユニット６０は第三のプリズムユニット５０と隣接するように他方側（図１においては、左方側）に配置されている。
　つまり、第一のプリズムユニット３０は、第一のユニットテーブル１００を介して支持フレーム９０に移動可能に支持されているのに対し、第二から第四のプリズムユニット４０，５０，６０は、第二のユニットテーブル１１０を介して支持フレーム９０に固定支持されており、ユニット移動モータ１０２の駆動によって、第一のプリズムユニット３０は第二のプリズムユニット４０に対して接近離反するようになっている。
　図２Ａに示すように、第一のプリズムユニット３０は、その外殻であるユニットケーシング３１と当該ユニットケーシング３１内に設けられた筒状のスピンドル３２とから概略構成されている。スピンドル３２は、ラジアル空気静圧軸受３３およびスラスト空気静圧軸受３４を介して、ユニットケーシング３１に対して回転可能に支持されている。なお、スピンドル３２の中心軸は、全反射ミラー２０によって反射されて第一のプリズムユニット３０に入射されるレーザビームの光路（光軸Ｃ）と一致し、スピンドル３２は、この光軸Ｃを回転中心としたＣ1軸回りに回転されるようになっている。
　また、第一のプリズムユニット３０には、第一の回転モータ３５が設けられている。第一の回転モータ３５は、ユニットケーシング３１に固定されるステータ３５ａと、スピンドル３２に固定されるロータ３５ｂとから成る。よって、第一のプリズムユニット３０において、第一の回転モータ３５が駆動されると、スピンドル３２（ロータ３５ｂ）がユニットケーシング３１（ステータ３５ａ）に対してＣ1軸回りに回転される。
　図２Ａおよび図２Ｂに示すように、第二から第四のプリズムユニット４０，５０，６０には、第一のプリズムユニット３０と同様に、その外殻であるユニットケーシング４１，５１，６１と、このユニットケーシング４１，５１，６１内にラジアル空気静圧軸受４３，５３，６３およびスラスト空気静圧軸受４４，５４，６４を介して回転可能に支持される筒状のスピンドル４２，５２，６２と、ユニットケーシング４１，５１，６１（ステータ４５ａ，５５ａ，６５ａ）に対してスピンドル４２，５２，６２（ロータ４５ｂ，５５ｂ，６５ｂ）を回転するための第二から第四の回転モータ４５，５５，６５とがそれぞれ設けられている。なお、スピンドル４２，５２，６２の中心軸は、第一のスピンドル３２と同様に光軸Ｃと一致し、スピンドル４２，５２，６２は、光軸Ｃを回転中心としたＣ2軸，Ｃ3軸，Ｃ4軸回りにそれぞれ回転されるようになっている。
　図４に示すように、本実施例に係るレーザ加工機には、レーザ加工の制御を行うＮＣ装置１２０が設けられており、レーザ加工用光学ヘッド１におけるユニット移動モータ１０２および第一から第四の回転モータ３５，４５，５５，６５は、このＮＣ装置１２０と電気的に接続されている。
　また、図１，図２Ａおよび図２Ｂに示すように、第一のユニットテーブル１００には、第一のプリズムユニット３０の移動量（Ｘ軸方向における位置）を検出するためのリニアスケール１０３が設けられており、第一から第四のプリズムユニット３０，４０，５０，６０には、スピンドル３２，４２，５２，６２の回転位相を検出するためのエンコーダ（第一のエンコーダ３６、第二のエンコーダ４６、第三のエンコーダ５６、第四のエンコーダ６６）がそれぞれ設けられている。
　これらリニアスケール１０３および第一から第四のエンコーダ３６，４６，５６，６６は、ＮＣ装置１２０と電気的に接続されており、リニアスケール１０３によって検出される第一のプリズムユニット３０の移動量および第一から第四のエンコーダ３６，４６，５６，６６によって検出される第一から第四のスピンドル３２，４２，５２，６２の回転位相の情報は、ＮＣ装置１２０に送られるようになっている（図４参照）。
　そして、ＮＣ装置１２０は、これらの情報（第一のプリズムユニット３０の移動量および第一から第四のスピンドル３２，４２，５２，６２の回転位相）に基づいて、ユニット移動モータ１０２および第一から第四の回転モータ３５，４５，５５，６５を制御することができるようになっている。
　図１に示すように、第一から第四のプリズムユニット３０，４０，５０，６０には、レーザビームの光路を変位または偏向するためのプリズム（第一のウェッジプリズム３７、第二のウェッジプリズム４７、第三のウェッジプリズム５７、第四のウェッジプリズム６７）がそれぞれ設けられている。第一から第四のウェッジプリズム３７，４７，５７，６７は、第一から第四のプリズムユニット３０，４０，５０，６０におけるスピンドル３２，４２，５２，６２内にそれぞれ固定支持されており、第一から第四の回転モータ３５，４５，５５，６５の駆動によってスピンドル３２，４２，５２，６２と共にＣ1軸，Ｃ2軸，Ｃ3軸，Ｃ4軸回りにそれぞれ回転されるようになっている（図２Ａおよび図２Ｂ参照）。
　図３に示すように、第一から第四のウェッジプリズム３７，４７，５７，６７は、楔形の断面を有するプリズムであり、一方の面（直交面）３７ａ，４７ａ，５７ａ，６７ａが光軸Ｃと直交すると共に他方の面（傾斜面）３７ｂ，４７ｂ，５７ｂ，６７ｂが光軸Ｃと傾斜する（平行または直交とならない）ように配置されている。よって、レーザビームは、第一から第四のウェッジプリズム３７，４７，５７，６７を通過する際に、偏向（屈折）される。
　第一のウェッジプリズム３７と第二のウェッジプリズム４７とは、互いの傾斜面３７ｂ，４７ｂが対向するように配置されており、レーザビームは、第一および第二のウェッジプリズム３７，４７を通過することにより、それぞれの偏向角（偏角）が相殺されて光軸Ｃに対して平行移動（変位）されるようになっている。
　レーザビームが変位される量（変位量）は、第一のウェッジプリズム３７と第二のウェッジプリズム４７との間の距離に応じて変化し、集光レンズ８０を通過して被加工物Ｗに照射されるレーザビームの照射角度θWに影響するものである（図５参照）。つまり、ユニット移動モータ１０２の駆動により、レーザビームの変位量、すなわち、照射角度θWが制御されている。
　また、図１に示すように、レーザ加工用光学ヘッド１には、第一および第二のウェッジプリズム３７，４７によるレーザビームの変位についての零点補正を行うための平行平板１３０が設けられている。平行平板１３０は、第二のプリズムユニット４０のスピンドル４２内において光軸Ｃに対して傾斜可能に設けられており、第一および第二のウェッジプリズム３７，４７の光路下流側、かつ、第三および第四のウェッジプリズム５７，６７の光路上流側に位置するように配置されている。
　よって、第一および第二のウェッジプリズム３７，４７を通過したレーザビームは、平行平板１３０の傾斜角度に応じて変位された後、第三および第四のウェッジプリズム５７，６７に入射されるようになっている。つまり、第一のウェッジプリズム３７と第二のウェッジプリズム４７とが所定の距離である（第一のプリズムユニット３０が所定の位置にある）場合に、平行平板１３０を傾斜させてレーザビームを光軸Ｃと一致させることにより、第一および第二のウェッジプリズム３７，４７によるレーザビームの変位についての零点補正を行うことができる。
　図３に示すように、第三のウェッジプリズム５７と第四のウェッジプリズム６７とは、互いの直交面５７ａ，６７ａが対向するように配置されており、レーザビームは、第三および第四のウェッジプリズム５７，６７を通過することにより、それぞれの偏向の角度が組み合わされた角度（偏角）だけ光軸Ｃに対して偏向（傾斜）されるようになっている。
　レーザビームが偏向される角度（偏角）は、第三のウェッジプリズム５７と第四のウェッジプリズム６７との回転位相差に応じて変化し、集光レンズ８０を通過して被加工物Ｗに照射されるレーザビームの照射位置ｄWに影響するものである（図５参照）。つまり、第三および第四の回転モータ５５，６５の駆動により、レーザビームの偏角、すなわち、照射位置ｄWが制御されている。
　また、図１に示すように、レーザ加工用光学ヘッド１には、レーザビームの偏光状態を所定の偏光状態（例えば、直線偏光、円偏光、楕円偏光、ラジアル（放射状）偏光、アジマス（同一円状）偏光など）へと変換するための偏光変換素子１４０が設けられている。偏光変換素子１４０は、第一のプリズムユニット３０におけるスピンドル３２内に取り付けられており、第一のウェッジプリズム３７よりも光路上流側に位置するように配置されている。
　よって、レーザ発振器１０から発振されたレーザビームは、全反射ミラー２０によって反射され、偏光変換素子１４０によって所望の偏光状態に変換された後、第一から第四のウェッジプリズム３７，４７，５７，６７に入射されるようになっている。なお、偏光変換素子１４０には、変換する所定の偏光状態に応じた種々のものがあり、レーザ加工用光学ヘッド１においては、被加工物Ｗに施す加工形状に応じて、一種類の偏光変換素子１４０が選定され、または、複数種類の偏光変換素子１４０が組み合わされて使用される。
　また、偏光変換素子１４０と代用または併用して、回折光学素子（不図示）を設けても良い。つまり、回折光学素子を用いることによって、レーザビームの形状を最適化し、レーザビームによる加工精度を向上させることができる他、丸穴に限らない形状の加工が可能となる。
　また、図１に示すように、レーザ加工用光学ヘッド１には、レーザビームの非点収差を補正するための非点収差補正光学素子１５０が設けられている。非点収差補正光学素子１５０は、第一のプリズムユニット３０におけるスピンドル３２内に取り付けられており、第一のウェッジプリズム３７よりも光路上流側に位置するように配置されている。
　図３に示すように、非点収差補正光学素子１５０は、光路上流側に凸部を有する第一のシリンドリカルレンズ１５１と、光路下流側に凹部を有する第一の凹レンズ１５２と、光路上流側に凹部を有する第二の凹レンズ１５３と、光路下流側に凸部を有する第二のシリンドリカルレンズ１５４とが光路上流側から順に配置されて成る。
　レーザビームの非点収差は、第一のシリンドリカルレンズ１５１および第一の凹レンズ１５２と第二の凹レンズ１５３および第二のシリンドリカルレンズ１５４との間の距離および位相（Ｃ軸回りの回転位相）が調整されることによって補正される。なお、これらの調整は、図示しない機械的機構を介して、オペレータまたはＮＣ装置１２０によって行われるようになっている。
　図１に示すように、レーザ加工用光学ヘッド１には、集光レンズ８０が取付けられるノズルヘッド１６０と、ノズルヘッド１６０をＺ軸方向に摺動可能に支持するノズルボディ１６１と、ノズルヘッド１６０をノズルボディ１６１に対して摺動するノズル移動モータ１６２（図４参照）とが設けられている。よって、ノズル移動モータ１６２が駆動されると、ノズルヘッド１６０および集光レンズ８０は、被加工物Ｗに対してＺ軸方向に移動される。つまり、ノズル移動モータ１６２の駆動を制御することにより、被加工物Ｗの表面形状に応じて集光レンズ８０をＺ軸方向に移動し、集光レンズ８０を介して被加工物Ｗに照射されるレーザビームの焦点位置を常に被加工物Ｗの表面に位置させることができる。
　ここで、集光レンズ８０は、その回転対称軸が後述するレーザビームの軌道旋回における旋回中心軸ＣLと一致するように配置されており、集光レンズ８０を移動するＺ軸方向は、旋回中心軸ＣLと平行な方向である（図５参照）。よって、集光レンズ８０のＺ軸方向における移動によって、被加工物Ｗに対する旋回中心軸ＣLが移動する（ずれる）ことはない。
　図１に示すように、レーザ加工用光学ヘッド１には、レーザ加工によるプラズマの発生を抑制するガス（プラズマ抑制ガス）を噴出するためのガス噴出装置１７０が設けられている。ガス噴出装置１７０は、ノズル１６０に設けられており、プラズマ抑制ガスは、被加工物Ｗにおける加工位置（レーザビームの焦点位置）に噴出されるようになっている。よって、レーザ加工中におけるプラズマの発生、すなわち、プラズマの発生による光（レーザビーム）の吸収および散乱を抑制し、レーザビームによる加工精度を安定させることができる。なお、プラズマ抑制ガスとしては、例えば、ヘリウムガスなどが挙げられる。
　また、ガス噴出装置１７０と代用または併用して、レーザ加工によって発生したプラズマを吸引するためのプラズマ吸引装置１７１（図１においては、二点鎖線で図示）を設けても良い。このように、レーザ加工において発生したプラズマを吸引することにより、プラズマの発生による光（レーザビーム）の吸収および散乱を抑制し、レーザビームによる加工精度を安定させることができる。
　また、図１に示すように、レーザ加工用光学ヘッド１には、レーザビームの焦点位置（被加工物Ｗの加工位置）の様子を観察するための観察用カメラ１８０および観察用照明１９０が設けられている。観察用照明１９０から発せられる照明光は、全反射ミラー２００、ハーフミラー２１０、全反射ミラー２２０、拡大レンズ２３０を介してダイクロイックミラー７０に達する。この照明光は、レーザビームと異なる波長（特定の波長とは異なる波長帯の波長）の光であるので、ダイクロイックミラー７０を透過することができる。ダイクロイックミラー７０を透過した照明光は、集光レンズ８０を介して被加工物Ｗにおける加工位置に照射され、当該被加工物Ｗによって反射される。被加工物Ｗによって反射された反射光は、集光レンズ８０を介してダイクロイックミラー７０に達する。この反射光は、レーザビームと異なる波長（特定の波長とは異なる波長帯の波長）の光であり、ダイクロイックミラー７０を透過し、拡大レンズ２３０、全反射ミラー２２０、ハーフミラー２１０を介して観察用カメラ１８０に達する。
　つまり、被加工物Ｗにおける加工位置に観察用照明１９０の照明光が照射され、その様子が観察用カメラ１８０によって撮像されることにより、被加工物Ｗにおける加工位置すなわちレーザビームの焦点位置が可視化され、オペレータ（または、ＮＣ装置１２０）は、その様子を観察（確認）することができる。
　本実施例に係るレーザ加工機によるレーザ加工は、図示しないワークテーブルに固定された被加工物Ｗに対してレーザビームを照射することによってなされ、レーザビームの照射軌道は、レーザ加工用光学ヘッド１によって制御される。
　レーザ加工（本実施例においては、穴明け加工）時のレーザ加工用光学ヘッド１による照射軌道の制御について、図１から図５を参照して説明する。穴明け加工時には、レーザ加工用光学ヘッド１において、レーザビームの照射角度θWの設定、レーザビームの照射位置ｄWの設定、および、レーザビームの軌道旋回がなされることにより、被加工物Ｗに所定の形状および内径の穴が形成される。
　レーザビームの照射角度θW（図５参照）の設定は、ユニット移動モータ１０２を駆動し、第一のプリズムユニット３０を第二のプリズムユニット４０に対して接近離反（Ｘ軸方向に移動）することによってなされる（図１および図２Ａ参照）。つまり、第一のウェッジプリズム３７と第二のウェッジプリズム４７との間の距離を所定値に設定し、第一および第二のウェッジプリズム３７，４７を通過するレーザビームを所定量だけ変位（平行移動）させ、集光レンズ８０を介して被加工物に照射されるレーザビームの照射角度θWを所定角度に設定する。
　なお、第一および第二のウェッジプリズム３７，４７によるレーザビームの変位について、零点補正を行う必要がある場合には、第二のプリズムユニット４０に設けられた平行平板１３０の光軸Ｃに対する傾斜角度を調整する。つまり、ユニット移動モータ１０２の駆動によって第一のプリズムユニット３０を所定位置に移動（第一のウェッジプリズム３７と第二のウェッジプリズム４７との間の距離を所定値に設定）し、平行平板１３０を傾斜してレーザビームを光軸Ｃと一致させ、零点補正を行う。
　レーザビームの照射位置ｄW（図５参照）の設定は、第三および第四の回転モータ５５，６５の少なくとも一方を駆動し、第三および第四のプリズムユニット５０，６０の少なくとも一方をＣ3軸またはＣ4軸回りに回転することによってなされる（図１および図２Ｂ参照）。つまり、第三のウェッジプリズム５７と第四のウェッジプリズム６７とを所定の回転位相差に設定し、第三および第四のウェッジプリズム５７，６７を通過するレーザビームを所定の偏角だけ偏向（傾斜）させ、集光レンズ８０を介して被加工物Ｗに照射されるレーザビームの照射位置ｄWを所定位置に設定する。
　ここで、第三および第四のウェッジプリズム５７，６７に入射されるレーザビームは、第一および第二のウェッジプリズム３７，４７によって変位されているが、この変位は三次元的なものではない。これは、第一および第二のウェッジプリズム３７，４７を通過する際のレーザビームの変位量が、第一のウェッジプリズム３７と第二のウェッジプリズム４７との間の距離によって制御されているからである。つまり、レーザビームの変位量を変化させた場合においても、レーザビームは、光軸Ｃに対して常に同じ方向（二次元的）に変位される。よって、第三および第四のウェッジプリズム５７，６７に入射されるレーザビームが三次元的に変位されることはないので、従来技術（例えば、特許文献１に記載された技術）と比較して、レーザビームの軌道計算を簡易なものとすることができる。
　レーザビームの軌道旋回は、第一のウェッジプリズム３７と第二のウェッジプリズム４７とを所定の距離に維持すると共に、第三のウェッジプリズム５７と第四のウェッジプリズム６７とを所定の回転位相差に維持した状態で、第一から第四の回転モータ３５，４５，５５，６５を駆動することによってなされる（図１、図２Ａおよび図２Ｂ参照）。つまり、第一から第四のウェッジプリズム３７，４７，５７，６７を同期回転し、第一から第四のウェッジプリズム３７，４７，５７，６７を通過して集光レンズ８０に入射されるレーザビームを旋回中心軸ＣL回りに旋回させ、集光レンズ８０を介して被加工物Ｗに照射されるレーザビームの軌道を旋回中心軸ＣL回りに旋回する。このように所定の照射角度θWおよび照射位置ｄWで被加工物Ｗに照射されるレーザビームの軌道を旋回中心軸ＣL回りに旋回することにより、被加工物Ｗに所定の形状および内径の穴を形成することができる（図５参照）。
　レーザ加工用光学ヘッド１においては、第一から第四のウェッジプリズム３７，４７，５７，６７を固定支持するスピンドル３２，４２，５２，６２が、ギアなどの間接的機構を介さずに、第一から第四の回転モータ３５，４５，５５，６５によって直接駆動されている（図２Ａおよび図２Ｂ参照）。よって、スピンドル３２，４２，５２，６２、すなわち、第一から第四のウェッジプリズム３７，４７，５７，６７を高精度に同期回転することができる。
　また、レーザ加工用光学ヘッド１においては、スピンドル３２，４２，５２，６２の回転位相をエンコーダ３６，４６，５６，６６によって検出できるようにしている。よって、ＮＣ装置１２０は、当該エンコーダ３６，４６，５６，６６の検出結果に基づいて、スピンドル３２，４２，５２，６２（第一から第四の回転モータ３５，４５，５５，６５）、すなわち、第一から第四のウェッジプリズム３７，４７，５７，６７の回転を制御し、第一から第四のウェッジプリズム３７，４７，５７，６７を高精度に同期回転することができる（図２Ａ、図２Ｂおよび図４参照）。
　また、レーザ加工用光学ヘッド１においては、スピンドル３２，４２，５２，６２は、ラジアル空気静圧軸受３３，４３，５３，６３およびスラスト空気静圧軸受３４，４４，５４，６４を介してそれぞれのユニットケーシング３１，４１，５１，６１に支持されており、ユニットケーシング３１，４１，５１，６１に対して接触することなく回転されるようになっている。よって、スピンドル３２，４２，５２，６２とユニットケーシング３１，４１，５１，６１との間には、接触抵抗がほとんど生じることはなく、例えば転がり軸受等を使用した従来技術と比較して、回転時の振動を抑えることができるので、第一から第四のウェッジプリズム３７，４７，５７，６７を高精度に同期回転することができる。
　また、本実施例に係るレーザ加工機は、レーザ加工用光学ヘッド１においてレーザビームの照射軌道を更に高精細に制御することにより、被加工物Ｗに対して更に微細かつ高精度なレーザ加工を施すことができる。レーザ加工用光学ヘッド１においては、レーザビームの照射軌道の更なる制御として、レーザビームの偏光状態の変換、レーザビームの非点収差の補正がなされる。
　レーザビームの偏光状態の変換は、被加工物Ｗに施す加工の形状に応じて、偏光変換素子１４０を選定し、第一のプリズムユニット３０におけるスピンドル３２に取り付けることによってなされる（図１および図２Ａ参照）。例えば、被加工物Ｗに施す加工形状が丸形状である場合には、偏光変換素子１４０によってレーザビームの偏光状態を円偏光またはラジアル偏光等に変換することにより、被加工物Ｗに形成される丸穴の真円度を向上させることができる。
　なお、偏光変換素子１４０は、第一から第四のウェッジプリズム３７，４７，５７，６７よりも光路上流側に配置されており、レーザビームは、常に同じ角度および同じ位置で偏光変換素子１４０に入射されるため、偏光変換素子１４０による偏光状態の変換が確実（効率的）になされる。
　レーザビームの非点収差の補正は、非点収差補正素子１５０を調整する、すなわち、第一のシリンドリカルレンズ１５１および第一の凹レンズ１５２と第二の凹レンズ１５３および第二のシリンドリカルレンズ１５４との間の距離および位相（Ｃ軸回りの回転位相）を調整することによってなされる（図１および図３参照）。つまり、非点収差による焦点距離のずれの方向に合わせて、第一のシリンドリカルレンズ１５１および第一の凹レンズ１５２と第二の凹レンズ１５３および第二のシリンドリカルレンズ１５４との間の位相を調整し、非点収差による焦点距離のずれの度合いに合わせて、第一のシリンドリカルレンズ１５１および第一の凹レンズ１５２と第二の凹レンズ１５３および第二のシリンドリカルレンズ１５４との間の距離を調整し、レーザビームの非点収差を補正する。
　なお、非点収差補正光学素子１５０は、第一から第四のウェッジプリズム３７，４７，５７，６７よりも光路上流側に配置されており、レーザビームは、常に同じ角度および同じ位置で非点収差補正光学素子１５０に入射されるため、非点収差補正光学素子１５０による非点収差の補正が確実（効率的）になされる。
　また、本実施例に係るレーザ加工機は、レーザ加工用光学ヘッド１においてレーザビームの照射軌道をクローズドループ制御によって高精細に制御することにより、被加工物Ｗに対して更に微細かつ高精度なレーザ加工を施すことができる。ＮＣ装置１２０には、第一から第四のエンコーダ３６，４６，５６，６６、リニアスケール１０３および観察用カメラ１８０によって検出される情報がフィードバックされるようになっている。
　第一から第四のエンコーダ３６，４６，５６，６６によって検出されるスピンドル３２，４２，５２，６２の回転位相の情報がＮＣ装置１２０に送られることにより、ＮＣ装置１２０は、第一から第四の回転モータ３５，４５，５５，６５の動作を高精度に制御することができる。この制御により、スピンドル３２，４２，５２，６２、すなわち、第一から第四のウェッジプリズム３７，４７，５７，６７は、高精度に同期回転される。
　リニアスケール１０３によって検出される第一のプリズムユニット３０の移動量（Ｘ軸方向における位置）がＮＣ装置１２０に送られることにより、ＮＣ装置１２０は、ユニット移動モータ１０２の動作を高精度に制御することができる。この制御により、第一のプリズムユニット３０は高精度に移動され、第一のプリズムユニット３０（第一のウェッジプリズム３７）と第二のプリズムユニット４０（第二のウェッジプリズム４７）との間の距離が高精度に設定され、第一および第二のウェッジプリズム３７，４７を通過するレーザビームの変位量、すなわち、集光レンズ８０を介して被加工物に照射されるレーザビームの照射角度θWが高精度に設定される。
　観察用カメラ１８０によって検出されるレーザビームの焦点位置の様子がＮＣ装置１２０に送られることにより、ＮＣ装置１２０（または、オペレータ）は、レーザビームの照射軌道（照射角度θW、照射位置ｄW、軌道旋回、偏光状態（被加工物Ｗに形成された穴の真円度）、非点収差）を確認し、その状態に応じたレーザビームの照射軌道の制御を行うことができる。この制御により、レーザビームの照射軌道は、高精細に制御される。
　また、ＮＣ装置１２０は、観察用カメラ１８０による撮像に基づいて、集光レンズ８０と被加工物Ｗとの距離Ｄが一定となるように、ノズルヘッド１６０をＺ軸方向に摺動させることにより、レーザビームの焦点位置を被加工物Ｗの表面形状に合わせて移動させることができる。なお、被加工物Ｗの表面に観察用カメラ１８０が認識可能な認識マーク（不図示）を付加することにより、ＮＣ装置１２０は、当該認識マークを基準として被加工物Ｗの表面形状および加工位置等を正確に把握することができる。
　もちろん、本発明に係るレーザ加工機は、本実施例のように観察用カメラ１８０の撮像に基づいてノズルヘッド１６０（集光レンズ８０）を移動するものに限定されず、例えば、被加工物Ｗの三次元加工データに基づいてノズルヘッド１６０（集光レンズ８０）を移動し、レーザビームの焦点位置を被加工物Ｗの表面形状に合わせるようにしても良い。
　本発明は、以上に説明した実施例に限定されず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で各種変更が可能であることは言うまでもない。例えば、本実施例に係るレーザ加工機に備えられるレーザ加工用光学ヘッド１に、イメージローテータ（例えば、ダブプリズム）を更に設けても良い。このようなイメージローテータをレーザ加工用光学ヘッド１に設けた場合であっても、本実施例と同様に、レーザビームの照射軌道を高精細に制御し、微細かつ高精度なレーザ加工が可能である。
１　　　レーザ加工用光学ヘッド
１０　　レーザ発振器
２０　　全反射ミラー
３０　　第一のプリズムユニット
３１　　第一のユニットケーシング（第一の保持手段）
３２　　第一のスピンドル
３３　　ラジアル空気静圧軸受
３４　　スラスト空気静圧軸受
３５　　第一の回転モータ（第一のモータ）
３５ａ　第一の回転モータにおけるステータ
３５ｂ　第一の回転モータにおけるロータ
３６　　第一のエンコーダ
３７　　第一のウェッジプリズム（第一のプリズム）
３７ａ　第一のウェッジプリズムにおける平坦面
３７ｂ　第一のウェッジプリズムにおける傾斜面
４０　　第二のプリズムユニット
４１　　第二のユニットケーシング（第二の保持手段）
４２　　第二のスピンドル
４３　　ラジアル空気静圧軸受
４４　　スラスト空気静圧軸受
４５　　第二の回転モータ（第二のモータ）
４５ａ　第二の回転モータにおけるステータ
４５ｂ　第二の回転モータにおけるロータ
４６　　第二のエンコーダ
４７　　第二のウェッジプリズム（第二のプリズム）
４７ａ　第二のウェッジプリズムにおける平坦面
４７ｂ　第二のウェッジプリズムにおける傾斜面
５０　　第三のプリズムユニット
５１　　第三のユニットケーシング（第三の保持手段）
５２　　第三のスピンドル
５３　　ラジアル空気静圧軸受
５４　　スラスト空気静圧軸受
５５　　第三の回転モータ（第三のモータ）
５５ａ　第三の回転モータにおけるステータ
５５ｂ　第三の回転モータにおけるロータ
５６　　第三のエンコーダ
５７　　第三のウェッジプリズム（第三のプリズム）
５７ａ　第三のウェッジプリズムにおける平坦面
５７ｂ　第三のウェッジプリズムにおける傾斜面
６０　　第四のプリズムユニット
６１　　第四のユニットケーシング（第四の保持手段）
６２　　第四のスピンドル
６３　　ラジアル空気静圧軸受
６４　　スラスト空気静圧軸受
６５　　第四の回転モータ（第四のモータ）
６５ａ　第四の回転モータにおけるステータ
６５ｂ　第四の回転モータにおけるロータ
６６　　第四のエンコーダ
６７　　第四のウェッジプリズム（第四のプリズム）
６７ａ　第四のウェッジプリズムにおける平坦面
６７ｂ　第四のウェッジプリズムにおける傾斜面
７０　　ダイクロイックミラー
８０　　集光レンズ
９０　　支持フレーム
１００　第一のユニットテーブル
１０１　ユニット移動レール（プリズム移動手段）
１０２　ユニット移動モータ（プリズム移動手段）
１０３　リニアスケール
１１０　第二のユニットテーブル
１２０　ＮＣ装置
１３０　平行平板
１４０　偏光変換素子（偏光変換手段）
１５０　非点収差補正光学素子（非点収差補正手段）
１５１　第一のシリンドリカルレンズ
１５２　第一の凹レンズ
１５３　第二のシリンドリカルレンズ
１５４　第二の凹レンズ
１６０　ノズルヘッド（レンズ移動手段）
１６１　ノズルボディ
１６２　ノズル移動モータ（レンズ移動手段）
１７０　ガス噴出装置（プラズマ発生抑制手段）
１７１　ガス吸引装置（プラズマ吸引手段）
１８０　観察用カメラ（撮像手段）
１９０　観察用照明（撮像手段）
２００　全反射ミラー
２１０　ハーフミラー
２２０　全反射ミラー
２３０　拡大レンズ

Claims (10)

  1. 　レーザビームを使用して被加工物に加工を施すレーザ加工機であって、
    　前記レーザビームの光路上流側から順に配置される第一のプリズム、第二のプリズム、第三のプリズムおよび第四のプリズムと、
    　前記第一のプリズム、前記第二のプリズム、前記第三のプリズムおよび前記第四のプリズムをそれぞれ独立して保持する第一のスピンドル、第二のスピンドル、第三のスピンドルおよび第四のスピンドルと、
    　前記第一のスピンドル、前記第二のスピンドル、前記第三のスピンドルおよび前記第四のスピンドルをそれぞれ回転可能に保持する第一の保持手段、第二の保持手段、第三の保持手段および第四の保持手段と、
    　前記第一のスピンドル、前記第二のスピンドル、前記第三のスピンドルおよび前記第四のスピンドルにそれぞれ固定されるロータと、前記第一の保持手段、前記第二の保持手段、前記第三の保持手段および前記第四の保持手段にそれぞれ固定されるステータとから成る第一のモータ、第二のモータ、第三のモータおよび第四のモータと、
    　前記第一のプリズムまたは前記第二のプリズムの少なくとも一方を移動するプリズム移動手段と
    　を備え、
    　前記第一のプリズムと前記第二のプリズムは、通過する前記レーザビームを変位させる一対のプリズムであり、
    　前記第三のプリズムと前記第四のプリズムは、通過する前記レーザビームを偏向させる一対のプリズムである
    　ことを特徴とするレーザ加工機。
  2. 　前記第一のスピンドル、前記第二のスピンドル、前記第三のスピンドルおよび前記第四のスピンドルが、それぞれ空気静圧軸受を介して前記第一の保持手段、前記第二の保持手段、前記第三の保持手段および前記第四の保持手段に回転可能に保持されるものである
    　ことを特徴とする請求項１に記載のレーザ加工機。
  3. 　前記レーザビームの光路上に配置され、前記被加工物に照射される前記レーザビームを集光する集光レンズと、
    　前記集光レンズを前記レーザビームの旋回中心軸に沿って移動するレンズ移動手段と
    　を備えたことを特徴とする請求項１または請求項２に記載のレーザ加工機。
  4. 　前記レーザビームの光路上における前記第一のプリズムの光路上流側に配置され、前記レーザビームの非点収差を補正する非点収差補正手段を備えた
    　ことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか一項に記載のレーザ加工機。
  5. 　前記非点収差補正手段が、一対のシリンドリカルレンズと一対の凹レンズとを備えたものである
    　ことを特徴とする請求項４に記載のレーザ加工機。
  6. 　前記レーザビームの光路上における前記第一のプリズムの光路上流側に配置され、前記レーザビームの偏光状態を変換する偏光変換手段を備えた
    　ことを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか一項に記載のレーザ加工機。
  7. 　前記レーザビームが照射される前記被加工物を撮像する撮像手段を備えた
    　ことを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか一項に記載のレーザ加工機。
  8. 　前記レーザビームによって前記被加工物を加工する際のプラズマの発生を抑制するプラズマ発生抑制手段を備えた
    　ことを特徴とする請求項１から請求項７のいずれか一項に記載のレーザ加工機。
  9. 　前記レーザビームによって前記被加工物を加工する際に発生するプラズマを吸引するプラズマ吸引手段を備えた
    　ことを特徴とする請求項１から請求項８のいずれか一項に記載のレーザ加工機。
  10. 　前記レーザビームがナノ秒以下の短パルスレーザである
    　ことを特徴とする請求項１から請求項９のいずれか一項に記載のレーザ加工機。
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