JP2011167704A - ビームローテータ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】角度ローテータ14の第3のウェッジプリズム30及び第4のウェッジプリズム38を透過したレーザビームL13は、第2の反射ミラー52a〜第4の反射ミラー52cを経由し、反転された状態で第4のウェッジプリズム38及び第3のウェッジプリズム30に再入射するため、両ウェッジプリズムの少なくとも一方を所定方向に回転させ、両者間の位相差を調整することにより、半径ローテータ12に出射されるレーザビームL14の光軸を所定幅で平行移動可能となる。
【選択図】図1
Description
図4に示すように、この従来のビームローテータ80は、一対のウェッジプリズムを備えた半径ローテータ12と、一対のウェッジプリズムを備えた角度ローテータ81を備えている。
第3の円筒状支持部材83の左端開口部端面には、複数本のガイドシャフト84が突設されている。
この第4の円筒状支持部材86の右端開口部端面には複数のガイド孔87が形成されており、このガイド孔87には、第3の円筒状支持部材83のガイドシャフト84が挿通されている。
このボールネジ89の端部には第4のサーボモータ90が接続されており、このサーボモータ90の正転または逆転により、第4の円筒状支持部材86はガイドレール91に沿って第4のウェッジプリズム85ごと左右に往復移動する。
第4の円筒状支持部材86のガイド孔87には、上記のように第3の円筒状支持部材83のガイドシャフト84が挿通されているため、第3の円筒状支持部材83の回転に呼応して第4の円筒状支持部材86も回転する。
この偏向レーザビームは、第3の円筒状支持部材83内に配置された第3のウェッジプリズム82に入射し、ここでも所定の方向に偏向される。
ここで、第2のウェッジプリズム22及び第1のウェッジプリズム16は、それぞれ同一の形状、寸法、材質を備えているが、回転方向の位置ズレ(位相差)があれば、第1のウェッジプリズム16から出射されたレーザビームL43は第2のウェッジプリズム22への入射ビームL42に対して平行移動とはならず、所定の角度で偏向されることになる。
レーザ加工に際しては、第1のサーボモータ20〜第3のサーボモータ34が同一方向に高速回転しており、これを受けて第1のウェッジプリズム16〜第4のウェッジプリズム85も同一方向に高速回転する。この結果、ワークにおける照射スポットは円周上を移動することとなる。
この第1のウェッジプリズム16と第2のウェッジプリズム22との位相差は、第1のサーボモータ20及び第2のサーボモータ26の回転速度を制御し、両ウェッジプリズム間の位置関係を調整することにより実現される。
この第3のウェッジプリズム82と第4のウェッジプリズム85間の距離の変更は、第4のサーボモータ90の駆動により実現される。
すなわち、図5(a)に示すように、第3のウェッジプリズム82と第4ウェッジプリズム85の傾斜面同士を密着させ、両者間の距離を限りなく0に近づけると、入射レーザビームL41と出射レーザビームL42は同じ光軸を通ることとなり、両者間に平行移動は生じない。
すなわち、図6(a)は、第1のウェッジプリズム16及び第2のウェッジプリズム22による偏向量が比較的大きくなるように両ウェッジプリズム間の位相差(位置関係)を制御すると共に、第3のウェッジプリズム82及び第4のウェッジプリズム85間の距離が最小となるように制御した場合の加工例を示しており、形成される孔91の半径が比較的大きくなると共に、レーザビームL45の照射角度が垂直に近いため、孔91の内面が垂直に近い形となっている。
しかしながら、従来のビームローテータ80の場合には、ワーク56に対するレーザビームL45の角度調整が、ボールネジ89の駆動による第4のウェッジプリズム85の往復移動によって実現されるため、その際に第4のウェッジプリズム85の位置が僅かに捻れ、第3のウェッジプリズム82との間に位相差が生じるという問題があった。
ワーク56において超微細加工を行うことを前提とすると、第4のウェッジプリズム85と第3のウェッジプリズム82間において極僅かな位相差が生じても、照射スポットの半径に大きな狂いを生じさせる結果となる。
上記「反射光学系」は、例えば複数枚の反射ミラーの組合せ、ダブプリズムと複数枚の反射ミラーとの組合せ、複数のプリズムの組合せによって構成される。
上記「反転光学系」は、例えば1または複数のダブプリズムによって構成される。
各サーボモータはエンコーダを内蔵しており、パソコンに対してそれぞれの位置情報がリアルタイムに送出される。
このパソコン48には、OSの他にレーザ加工装置及びビームローテータの制御用プログラムが搭載されている。
そして、パソコン48の拡張スロットに装着された制御ボードから各サーボモータに対して制御用の信号が送出され、それぞれの回転方向及び回転速度がコントロールされる。
汎用的なパソコン48を用いる代わりに、専用の制御装置(同期サーボ制御装置等)を制御手段として用いることも当然に可能である。
そして、第3のウェッジプリズム30及び第4の円筒状支持部材39内の第4のウェッジプリズム38を透過し、所定の方向に偏向されたレーザビームL13は、第2の反射ミラー52a〜第4の反射ミラー52cを経由して反転され、再び第4の円筒状支持部材39内に導かれる。
そして、第2のウェッジプリズム22及び第1の円筒状支持部材17内の第1のウェッジプリズム16を透過し、所定の角度に偏向されたレーザビームL15は、ミラー54で反射されてレンズ55に入射し、そこで集光されたレーザビームL17は、ワーク56に照射される。
この第1のウェッジプリズム16と第2のウェッジプリズム22との位相差は、第1のサーボモータ20の回転速度と第2のサーボモータ26の回転速度との間にズレが生じるように両サーボモータを制御し、一方のウェッジプリズムを他方のウェッジプリズムに対して相対的に回転させることにより実現される。
この第3のウェッジプリズム30と第4のウェッジプリズム38との位相差は、第3のサーボモータ34の回転速度と第4のサーボモータ42の回転速度との間にズレが生じるように両サーボモータを制御し、一方のウェッジプリズムを他方のウェッジプリズムに対して相対的に回転させることにより実現される。
この第5のウェッジプリズム62と、第3の円筒状支持部材31の左端開口部に嵌装された第3のウェッジプリズム30は、それぞれ同一の形状、寸法、材質を備えており、、頂角が反対方向に向くように固定配置されている。この第3の円筒状支持部材31が、第1のユニットに相当する。
この第6のウェッジプリズム63と、第4の円筒状支持部材39の右端開口部に嵌装された第4のウェッジプリズム38は、それぞれ同一の形状、寸法、材質を備えており、両ウェッジプリズムの、頂角が反対方向に向くように固定配置されている。この第4の円筒状支持部材39が、第2のユニットに相当する。
そして、パソコン48からの制御信号に基づいて図示しないレーザ発振器からレーザビームが出射されると、このレーザビームL21は第4の円筒状支持部材39の第6のウェッジプリズム63に入射し、所定の方向に偏向される。この偏向レーザビームL22は、そのまま第4のウェッジプリズム38に入射し、ここでも所定の方向に偏向される。
そして、第2のウェッジプリズム22及び第1の円筒状支持部材17内の第1のウェッジプリズム16を透過し、所定の角度に偏向されたレーザビームL26は、ミラー54で反射されてレンズ55に入射し、そこで集光されたレーザビームL28は、ワーク56に照射される。
この第1のウェッジプリズム16と第2のウェッジプリズム22との位相差は、上記と同様、第1のサーボモータ20及び第2のサーボモータ26の回転速度を制御することにより実現される。
この第3のウェッジプリズム30と第4のウェッジプリズム38との位相差は、上記と同様、第3のサーボモータ34及び第4のサーボモータ42の回転速度を制御することにより実現される。
また、角度ローテータ14についても、基本構成は図1に示した第1のビームローテータ10における角度ローテータ14と実質的に等しいため、同一部材に対して同一の符号を付することにより、重複説明を省略する。
まず、第4の円筒状支持部材39の左端開口部の直前に、第1の偏光ビームスプリッタ71が配置されている。
また第2の円筒状支持部材23の左端開口部の直前には、第2の偏光ビームスプリッタ72が配置されている。
第1の偏光ビームスプリッタ71の接合面及び第2の偏光ビームスプリッタ72の接合面は、それぞれ直線偏光のP偏光を透過すると共に、S偏光を反射する特性を備えている。
この波長板73は、入射した直線偏光の偏光方向を、「P偏光→S偏光」及び「S偏光→P偏光」のように変換する機能を備えている。
また、第1の反射ミラー74と第2の反射ミラー75との間には、第1のダブプリズム100が介装されている。
さらに、第1の偏光ビームスプリッタ71と第1の反射ミラー74との間には、第2のダブプリズム102が介装されている。
そして、パソコン48からの制御信号に基づいて図示しないレーザ発振器からレーザビームが出射されると、このレーザビームは図示しない偏光子を介してP偏光に偏光され、第1の偏光ビームスプリッタ71に到達する。
このP偏光P01は、そのまま第1の偏光ビームスプリッタ71を透過し、第4の円筒状支持部材39内に導かれる。
そして、第4のウェッジプリズム38及び第3の円筒状支持部材31内の第3のウェッジプリズム30を透過し、所定の方向に偏向されたP偏光P02は、波長板73を介してS偏光S01に変換された後、第2の偏光ビームスプリッタ72に到達する。
そして、この反転状態となされたS偏光S01は、第1の偏光ビームスプリッタ71の接合面で反射され、第4の円筒状支持部材39内に導かれる。
このP偏光P03は、第2の偏光ビームスプリッタ72を透過して、第2の円筒状支持部材23内に配置された第2のウェッジプリズム22に入射する。
そして、第2のウェッジプリズム22及び第1の円筒状支持部材17内の第1のウェッジプリズム16を透過し、所定の角度に偏向されたP偏光P04は、ミラー54で反射されてレンズ55に入射し、そこで集光されたP偏光P06がワーク56に照射される。
この第3のウェッジプリズム30と第4のウェッジプリズム38との位相差は、上記と同様、第3のサーボモータ34及び第4のサーボモータ42の回転速度を制御することにより実現される。
12 半径ローテータ
14 角度ローテータ
16 第1のウェッジプリズム
17 第1の円筒状支持部材
18 第1のベアリング
19 第1のプーリ
20 第1のサーボモータ
21 ギア
22 ベルト
22 第2のウェッジプリズム
23 第2の円筒状支持部材
24 第2のベアリング
25 第2のプーリ
26 第2のサーボモータ
27 ギア
28 ベルト
30 第3のウェッジプリズム
31 第3の円筒状支持部材
32 第3のベアリング
33 第3のプーリ
34 第3のサーボモータ
35 ギア
36 ベルト
38 第4のウェッジプリズム
39 第4の円筒状支持部材
40 第4のベアリング
41 第4のプーリ
42 第4のサーボモータ
43 ギア
44 ベルト
46 ケーブル
48 パソコン
50 傾斜面
51 第1の反射ミラー
52a 第2の反射ミラー
52b 第3の反射ミラー
52c 第4の反射ミラー
54 ミラー
55 レンズ
56 ワーク
60 第2のビームローテータ
62 第5のウェッジプリズム
63 第6のウェッジプリズム
70 第3のビームローテータ
71 第1の偏光ビームスプリッタ
72 第2の偏光ビームスプリッタ
73 波長板
74 第1の反射ミラー
75 第2の反射ミラー
100 第1のダブプリズム
102 第2のダブプリズム
Claims (3)
- 回転可能に配置された第1のウェッジプリズム及び第2のウェッジプリズムを備え、両ウェッジプリズム間の位相差を調整することによって透過レーザビームの偏向量を可変とし、もってレンズを介してワークに集光されるレーザビームの照射半径を可変とする半径ローテータと、
回転可能に配置された第3のウェッジプリズム及び第4のウェッジプリズムを備え、外部に出射するレーザビームの光軸を平行移動させることにより、レンズを介してワークに集光されるレーザビームの照射角度を可変とする角度ローテータと、
上記の各ウェッジプリズムの回転速度及び回転方向を制御する制御手段と、
上記角度ローテータの第3のウェッジプリズム及び第4のウェッジプリズムを透過したレーザビームを反転させて、第4のウェッジプリズム及び第3のウェッジプリズムに再入射させる反転光学系とを備え、
上記第3のウェッジプリズム及び第4のウェッジプリズムの少なくとも一方を所定方向に回転させて、両ウェッジプリズム間の位相差を調整することにより、第4のウェッジプリズム及び第3のウェッジプリズムを透過して外部に出射されるレーザビームの光軸を所定幅で平行移動させることを特徴とするビームローテータ。 - 回転可能に配置された第1のウェッジプリズム及び第2のウェッジプリズムを備え、両ウェッジプリズム間の位相差を調整することによって透過レーザビームの偏向量を可変とし、もってレンズを介してワークに集光されるレーザビームの照射半径を可変とする半径ローテータと、
回転可能に配置された第1のユニット及び第2のユニットを備え、外部に出射するレーザビームの光軸を平行移動させることにより、レンズを介してワークに集光されるレーザビームの照射角度を可変とする角度ローテータと、
上記の各ウェッジプリズム及びユニットの回転速度及び回転方向を制御する制御手段とを備えたビームローテータであって、
上記角度ローテータの第1のユニット及び第2のユニットは、相互の頂角が反対方向を向くように固定配置された一対のウェッジプリズムをそれぞれ備え、
第1のユニット及び第2のユニットの少なくとも一方を所定方向に回転させて、両ユニットのウェッジプリズム間の位相差を調整することにより、第2のユニットの各ウェッジプリズム及び第1のユニットの各ウェッジプリズムを透過して外部に出射されるレーザビームの光軸を所定幅で平行移動させることを特徴とするビームローテータ。 - 回転可能に配置された第1のウェッジプリズム及び第2のウェッジプリズムを備え、両ウェッジプリズム間の位相差を調整することによって透過レーザビームの偏向量を可変とし、もってレンズを介してワークに集光されるレーザビームの照射半径を可変とする半径ローテータと、
回転可能に配置された第3のウェッジプリズム及び第4のウェッジプリズムを備え、外部に出射するレーザビームの光軸を平行移動させることにより、レンズを介してワークに集光されるレーザビームの照射角度を可変とする角度ローテータと、
上記の各ウェッジプリズムの回転速度及び回転方向を制御する制御手段と、
直線偏光の第1の偏光を透過すると共に第2の偏光を反射する第1の偏光ビームスプリッタ及び第2の偏光ビームスプリッタと、
第1の偏光を第2の偏光に変換すると共に、第2の偏光を第1の偏光に変換する波長板と、
反射光学系及び反転光学系とを備え、
上記第1の偏光ビームスプリッタに導かれたレーザビームの第1の偏光が、これを透過して第4のウェッジプリズムに入射し、この第4のウェッジプリズム及び第3のウェッジプリズムを透過して所定の角度に偏向された後、上記波長板によって第2の偏光に変換され、
この第2の偏光が上記第2の偏光ビームスプリッタで反射された後、上記反射光学系及び反転光学系を介して反転された状態で上記第1の偏光ビームスプリッタに入射し、
この第1の偏光ビームスプリッタで反射された第2の偏光が、上記第4のウェッジプリズム及び第3のウェッジプリズムを透過して所定の角度に偏向された上で、上記波長板に入射して第1の偏光に変換され、
この第1の偏光が、上記第2の偏光ビームスプリッタを透過して外部に出射されるように、上記の各部材が配置されており、
上記第3のウェッジプリズム及び第4のウェッジプリズムの少なくとも一方を所定方向に回転させて、両ウェッジプリズム間の位相差を調整することにより、第4のウェッジプリズム及び第3のウェッジプリズムを透過して上記波長板に入射する第2の偏光の光軸を所定幅で平行移動させることを特徴とするビームローテータ。
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