WO2017122471A1 - 半導体装置 - Google Patents

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WO2017122471A1
WO2017122471A1 PCT/JP2016/086610 JP2016086610W WO2017122471A1 WO 2017122471 A1 WO2017122471 A1 WO 2017122471A1 JP 2016086610 W JP2016086610 W JP 2016086610W WO 2017122471 A1 WO2017122471 A1 WO 2017122471A1
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plate
recess
lid
semiconductor device
terminal
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悦宏 小平
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富士電機株式会社
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    • H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
    • H01L29/70—Bipolar devices
    • H01L29/72—Transistor-type devices, i.e. able to continuously respond to applied control signals
    • H01L29/739—Transistor-type devices, i.e. able to continuously respond to applied control signals controlled by field-effect, e.g. bipolar static induction transistors [BSIT]
    • H01L29/7393—Insulated gate bipolar mode transistors, i.e. IGBT; IGT; COMFET

Definitions

  • the present invention relates to a semiconductor device.
  • Patent Document 1 International Publication No. 2012/66833 Brochure
  • a predetermined clearance is provided between the opening and the control terminal to facilitate assembly of the semiconductor device. For this reason, the relative position of the control terminal in the opening may vary due to the variation of the assembly jig or the external force.
  • the first plate-like portion may have a first inner end opposite to the adjacent second plate-like portion and a first outer end opposite to the first inner end.
  • the second plate-like portion may have a second inner end opposite to the adjacent first plate-like portion and a second outer end opposite to the second inner end.
  • the amount of the recess provided at the first inner end may be larger than the amount of the recess provided at the first outer end.
  • the amount of the recess provided at the second inner end may be larger than the amount of the recess provided at the second outer end.
  • the first terminal portion is provided extending from one end of the first plate-like portion, and is provided extending from the other end of the first fixing portion fixed to the lid and the other end of the first plate-like portion, and is in contact with the pad And a first contact portion.
  • the second terminal portion is provided extending from one end of the second plate-like portion, and is provided extending from the other end of the second fixing portion fixed to the lid and the other end of the second plate-like portion, and is in contact with the pad And a second contact portion.
  • the distance between the first contact portion and the second contact portion may be larger than the distance between the first fixing portion and the second fixing portion.
  • the density of the recess may be higher in the region on the first fixing portion side than in the region on the first contact portion side.
  • the density of the recesses may be higher in the region on the second fixed portion side than in the region on the second contact portion side.
  • the first fixing portion and the second fixing portion may have a plate shape.
  • the normal direction of the main surface of the first fixing portion may be parallel to the extending direction of the first plate-like portion.
  • the normal direction of the main surface of the second fixing portion may be parallel to the extending direction of the second plate-like portion.
  • a recess may be formed in a range wider than the first plate-like portion.
  • FIG. 1 is a perspective view showing an outline of a semiconductor device 100 according to an embodiment of the present invention.
  • the semiconductor device 100 internally accommodates an electronic circuit such as a semiconductor chip.
  • the semiconductor device 100 of this example includes a case unit 10, a plurality of main terminals 60, and a plurality of control terminals 40.
  • the control terminal 40 is an example of a terminal unit.
  • the case unit 10 internally accommodates an electronic circuit such as a semiconductor chip.
  • the case unit 10 has a bottom portion having a substrate on which the electronic circuit is mounted, a lid portion 24 and an insertion portion 50.
  • the lid 24 is fixed to the bottom by adhesion or the like and covers at least a part of the bottom.
  • An electronic circuit is placed on the bottom covered by the lid 24.
  • the lid 24 is formed of an insulating material such as resin.
  • Through holes 14 such as screw holes for fixing the semiconductor device 100 to the outside are provided at corners of the lid 24.
  • a plane parallel to the front surface of the case portion 10 is taken as an XY plane.
  • the longitudinal direction of the front surface of case part 10 be a X direction
  • the transversal direction be a Y direction.
  • the short direction may be the X direction
  • the longitudinal direction may be the Y direction.
  • a direction perpendicular to the XY plane is taken as a Z direction.
  • the Z direction may be referred to as the height direction.
  • the direction from the bottom of the case 10 toward the front surface of the lid 24 may be referred to as upward, and the direction from the front of the lid 24 toward the bottom may be referred to as downward.
  • the vertical direction does not necessarily coincide with the gravity direction.
  • the main terminal 60 is electrically connected to the electronic circuit covered by the lid 24.
  • the main terminal 60 is formed of a conductive material.
  • each main terminal 60 serves as a current path of a large current flowing to a power device such as an IGBT.
  • At least a part of the main surface portion 30 of the main terminal 60 is exposed to the front surface of the case portion 10.
  • the main terminal 60 of this example has a plate shape.
  • the main surface portion 30 of the main terminal 60 is exposed at the front surface of the lid portion 24 and has a surface substantially parallel to the front surface.
  • a through hole 31 is formed in the main surface portion 30 of the main terminal 60.
  • Main terminal 60 further includes a side surface portion extending from main surface portion 30 toward the bottom portion of case portion 10.
  • the side surface portion is electrically connected to an electronic circuit provided at the bottom of the case portion 10.
  • the lid portion 24 is provided with an opening for exposing a part of the main terminal 60.
  • the opening is a slit extending in the X direction on the front surface of the lid 24 and exposes the main surface 30 of the main terminal 60.
  • the opening is provided at the center of the front surface of the lid 24 in the Y direction.
  • the insertion portion 50 is inserted into the opening and provided so as to face the main surface portion 30 of the main terminal 60.
  • the insertion portion 50 is disposed below the main surface portion 30.
  • a recess is provided at a position facing the through hole 31 of the main surface portion 30.
  • the lid portion 24 has a main terminal placement portion 12 on the front surface.
  • the main terminal placement portion 12 is provided to project upward on the front surface of the lid portion 24.
  • the main surface portion 30 of the main terminal 60 is exposed to the front surface of the main terminal placement portion 12.
  • the main terminal placement portion 12 is also provided with an opening for inserting the insertion portion 50.
  • the control terminal 40 is formed of a conductive material and has a plate shape smaller in width than the main terminal 60.
  • the control terminal 40 is fixed to the lid 24.
  • the lid 24 is formed by injecting a resin into a predetermined mold. By injecting the resin in a state where the control terminal 40 is disposed at a predetermined position of the mold, the lid 24 integrated with the control terminal 40 can be formed.
  • the control terminal 40 may be insert-molded and fixed to the lid 24.
  • the control terminal 40 may be fixed to the lid 24 with an adhesive or the like.
  • the lid portion 24 has a control terminal placement portion 13 that surrounds other than the tip of the control terminal 40.
  • FIG. 2 is a perspective view showing an outline of the bottom portion 16 of the case portion 10 and the main terminal 60.
  • the bottom 16 comprises a substrate 20 and an electronic circuit 22.
  • the electronic circuit 22 includes a semiconductor chip, a wiring, a pad, and the like.
  • the electronic circuit 22 in this example has a pad 21 formed of a conductive material, which is electrically connected to the end of the control terminal 40.
  • the electronic circuit 22 may also have a pad electrically connected to the main terminal 60.
  • the substrate 20 has a metal plate such as a copper plate and an insulating layer covering the front surface of the metal plate. You may have a metal layer further in the metal plate side of an insulating layer.
  • the electronic circuit 22 is provided on the insulating layer. Through holes 18 for fixing the semiconductor device 100 to the outside are provided at corner portions of the substrate 20.
  • the through hole 18 may be arranged to be substantially coaxial with the through hole 14 of the case portion 10.
  • the semiconductor device 100 may include a plurality of main terminals 60.
  • three main terminals 60 are arranged along the insertion direction (in the present example, the X direction) of the insertion portion 50.
  • Each main terminal 60 has a main surface portion 30, a side surface portion 35 and a foot portion 32.
  • the main surface portion 30 is disposed in parallel with the XY plane.
  • the side surface portions 35 are provided so as to extend toward the bottom portion 16 from both ends of the main surface portion 30 in the Y direction. Each side surface portion 35 is disposed in parallel with the XZ plane.
  • the foot portion 32 is connected to an end side of the side portion 35 on the bottom portion 16 side, and is connected to the bottom portion 16.
  • the foot portion 32 is elastic so that the main terminal 60 can be tilted in response to the applied force.
  • the foot 32 supports the main terminal 60 so that it can be tilted in the XZ plane.
  • the foot portion 32 may support the main terminal 60 so that it can be further tilted in the YZ plane.
  • the foot 32 in this example has an extending portion 33 and a fixing portion 34.
  • the extending portion 33 is connected to a part of an end side of the side portion 35 on the bottom portion 16 side, and is provided to extend along the X direction.
  • the extending portions 33 are provided on the outer side of each side surface portion 35, and extend from one end in the X direction of an end side on the bottom portion 16 side of the side surface portion 35 toward the other end in the X direction of the end side.
  • the extending portion 33 has a plate shape parallel to the XY plane.
  • the fixing portion 34 is provided at an end portion of the end portion of the extending portion 33 opposite to the end portion connected to the side surface portion 35.
  • the fixing portion 34 is provided so as to extend from the end of the extending portion 33 toward the bottom portion 16.
  • the lower end of the fixing portion 34 is fixed to the electronic circuit 22 by solder or the like.
  • the main terminal 60 can be tilted in the XZ plane according to the applied force.
  • the insertion portion 50 is inserted into a space sandwiched by the two facing side portions 35 in each of the main terminals 60.
  • the insertion portion 50 can be easily inserted by the main terminal 60 being inclined according to the variation of the insertion position of the insertion portion 50 and the like.
  • the foot part 32 may be provided in each side part 35. As shown in FIG.
  • FIG. 3 is a perspective view showing an outline of the lid 24.
  • the lid portion 24 has an opening 25 in the front surface in addition to the configuration shown in FIG.
  • the opening 25 is formed to extend from one end in the X direction of the front surface of the lid 24 toward the other end.
  • the main terminal placement portion 12 is provided on the front surface of the lid portion 24 on both sides of the opening 25 in the Y direction.
  • the main terminal arrangement portion 12 is provided at a position corresponding to each of the main terminals 60.
  • the main terminal 60 is exposed at the opening of the corresponding main terminal arrangement 12.
  • the lid 24 is assembled to cover the bottom 16 from the upper side in the Z direction. At this time, each main terminal 60 is inserted into the opening along the side wall of the opening of the main terminal placement portion 12. Also, the lower end of the control terminal 40 contacts the pad 21.
  • Each main terminal placement portion 12 has a ceiling parallel to the XY plane. Further, the lid portion 24 has a pressing portion 26 extending from the ceiling portion toward the bottom portion 16. The pressing portion 26 is disposed along the side surface 35 of the main terminal 60 when the main terminal 60 is inserted into the opening of the main terminal placement portion 12. The pressing portion 26 may be disposed at the center of the side surface portion 35 in the X direction.
  • the lower end of the pressing portion 26 abuts on the front surface of the extending portion 33 of the foot portion 32 of the main terminal 60.
  • the extension 33 can be pressed to the substrate 20 side of the bottom 16 to define the vertical position of the extension 33.
  • a connecting portion 28 is provided between the main terminal placement portions 12 adjacent in the X direction.
  • the connecting portion 28 has a thickness in the Z direction larger than the thickness of the ceiling portion of the main terminal placement portion 12.
  • FIG. 4 is a perspective view showing an outline of the insertion unit 50.
  • the insertion portion 50 has the same width in the Y direction as the opening 25 provided on the front surface of the lid 24 and has the same length in the X direction.
  • the insertion portion 50 is inserted into the opening 25 along the X direction.
  • the insertion portion 50 is inserted between the main surface portion 30 of the main terminal 60 and the bottom portion 16.
  • the insertion part 50 has the main surface opposing part 55 which opposes the main surface part 30 of each main terminal 60. As shown in FIG. Each main surface facing portion 55 protrudes in the Z direction on the front surface of the insertion portion 50. A recess 52 is provided on the front surface 53 of each of the main surface facing portions 55.
  • the recess 52 is provided at a position facing the through hole 31 of the main terminal 60.
  • the recess 52 is provided at the center of the front surface 53 of the main surface facing portion 55.
  • the recess 52 may have a larger diameter than the through hole 31.
  • a nut or the like is disposed inside the recess 52.
  • a screw or the like that has passed through the through hole 31 is fastened to a nut or the like inside the recess 52.
  • the insertion portion 50 may have a lock portion 51 that fixes the insertion portion 50 to the lid portion 24 by being fitted to the lid portion 24.
  • the lock portion 51 is provided, for example, on the side wall 54 of the end portion of the insertion portion 50 which is to be finally inserted into the opening 25.
  • the lock portion 51 of this example protrudes in the Y direction.
  • the lock portion 51 is fitted with a recess provided in the lid portion 24.
  • the insertion portion 50 may be fixed to the lid 24 with an adhesive or the like in a state of being inserted into the opening 25.
  • FIG. 5 is a perspective view showing the control terminal 40 according to the first embodiment.
  • FIG. 5 shows the first control terminal 40-1 and the second control terminal 40-2 provided in parallel.
  • the two control terminals 40 are fixed to the lid 24 and contact the corresponding pads 21 respectively.
  • Each control terminal 40 has a plate-like portion 41, a contact portion 42 and a fixing portion 43.
  • the plate-like portion 41 is formed of a plate-like conductive material.
  • the plate-like portion 41 is disposed so that the main surface faces the pad 21.
  • the main surface of the plate-like portion 41 may be parallel to the main surface of the substrate 20, and may have an inclination of about 30 degrees or less with respect to the main surface of the substrate 20.
  • the main surface of the plate-like portion 41 refers to the surface having the largest area and the surface parallel to the surface among the plate-shaped surfaces.
  • the plate-like portion 41 has elasticity in the direction toward the pad 21 (in this example, the Z direction).
  • the plate-like portion 41 in this example extends in parallel with the pad 21.
  • the fixing portion 43 is provided to extend upward in the Z direction from one end of the plate-like portion 41 in the X direction, and is fixed to the lid portion 24.
  • the normal direction of the main surface in this example, Y direction
  • the normal direction of the main surface of the plate-like portion 41 in this example, Z direction
  • the extending direction of the plate-like portion 41 in this example
  • It may have a plate shape orthogonal to the X direction). That is, in the two adjacent control terminals 40, the main surfaces of the respective fixing portions 43 may be arranged to face each other.
  • a fixing area 45 fixed to the lid 24 is provided.
  • the fixing area 45 may be in close contact with the resin of the lid 24 or may be adhered to the lid 24 by an adhesive.
  • the fixing portion 43 may have a positioning portion 44.
  • the positioning unit 44 defines, for example, the position of the control terminal 40 in a mold for molding the lid 24.
  • the positioning portion 44 in the present example is a recess provided in the fixing portion 43.
  • the contact portion 42 extends from the other end of the plate-like portion 41 on the opposite side to the fixing portion 43 and contacts the pad 21. However, the contact portion 42 is not fixed to the pad 21. The contact portion 42 contacts the pad 21 by assembling the lid portion 24 and the bottom portion 16.
  • the normal direction of the main surface in this example, Y direction is the normal direction of the main surface of the plate-like portion 41 (in this example, Z direction)
  • the main surfaces of the region extending toward the pad 21 of the contact portion 42 may be disposed to face each other.
  • the plate-like portion 41 presses the contact portion 42 in the direction of the pad 21 in a state where the lid portion 24 and the bottom portion 16 are assembled. That is, by assembling the lid portion 24 and the bottom portion 16, the contact portion 42 is pushed upward in the Z direction by the pad 21, and the plate-like portion 41 is warped. The plate-like portion 41 presses the contact portion 42 by the restoring force against the warp.
  • the plate-like portion 41 of the present example is provided with a recess 46 directed inward of the main surface from an end (long side) of the main surface.
  • the recess 46 in this example is provided so as to extend from the end (long side) of the plate-like part 41 in a direction (Y direction in this example) orthogonal to the extending direction of the plate-like part 41.
  • the recess 46 may be provided at each of two opposing ends (two long sides) of the main surface of the plate-like portion 41.
  • the recesses 46 may be alternately provided at the two ends in the extension direction of the plate-like portion 41.
  • the length of the recess 46 in the Y direction may be half or more of the width of the plate-like portion 41 in the Y direction.
  • the control terminal 40 is fixed to the lid 24. Therefore, no variation occurs in the position of the control terminal 40 in the XY plane with respect to the lid 24. In addition, when the lid 24 and the bottom 16 are assembled, it is possible to prevent the control terminal 40 from sinking downward in the Z direction due to the friction with the lid 24. Therefore, the control terminal 40 can be connected to an external device or the like with high accuracy. Further, since the control terminal 40 has elasticity in the Z direction, the control terminal 40 fixed to the lid 24 can be pressed toward the pad 21 provided on the bottom portion 16. Thereby, the reliability of the electrical connection between the control terminal 40 and the pad 21 can also be enhanced.
  • each plate-like-part 41 in two adjacent control terminals 40 is extended
  • parallel includes those having an inclination of about 20 degrees or less, in addition to those strictly parallel.
  • FIG. 6 is a perspective view showing the control terminal 40 according to the second embodiment.
  • the distance D2 between the contact portions 42 at two adjacent control terminals 40 is larger than the distance D1 between the fixed portions 43.
  • the distances D1 and D2 indicate the shortest distances of the respective members. With such a structure, it is possible to suppress contact between the contact portions 42 where the amount of movement in the XY plane tends to be relatively large.
  • FIG. 7 is a top view showing the control terminal 40 according to the second embodiment.
  • FIG. 7 shows the control terminal 40 viewed from the upper side in the Z direction.
  • the side opposite to the adjacent plate-like portion 41 is the inner end 47
  • the side opposite to the inner end 47 is the outer end It will be 48.
  • the fixing portion 43 is connected to the inner end 47 of the plate-like portion 41, and the contact portion 42 is connected to the outer end 48 of the plate-like portion 41.
  • the recessed part 46 is provided in the inner side edge part 47 and the outer side edge part 48 of the plate-like-part 41, respectively.
  • the distance P1 of the recess 46 provided in the inner end 47 and the distance P2 of the recess 46 provided in the outer end 48 are equal.
  • the recess 46 provided in the inner end 47 and the recess 46 provided in the outer end 48 have the same shape and size.
  • FIG. 8 is a top view showing the control terminal 40 according to the third embodiment.
  • the amount of the recess 46 provided in the inner end 47 is larger than the amount of the recess 46 provided in the outer end 48.
  • the amount of recesses refers to the total area of the recesses in the top view.
  • the inner end 47 and the outer end 48 are provided with recesses 46 having the same shape and the same size.
  • the number of recesses 46 provided in the inner end 47 is greater than the number of recesses 46 provided in the outer end 48.
  • the amount of the recess 46 provided in the inner end 47 is larger than the amount of the recess 46 provided in the outer end 48.
  • the size per recess 46 may be made different. That is, at the inner end 47 and the outer end 48, the amount of the recess 46 of the inner end 47 can be changed by changing the number of the recesses 46 and / or the size per recess 46 at the outer end It can be larger than the amount of the recess 46 of the portion 48.
  • FIG. 9 is a top view showing the control terminal 40 according to the fourth embodiment.
  • the density of the recess 46 is higher in the region on the fixed portion 43 side than in the region on the contact portion 42 side.
  • the density of the recess 46 refers to the amount of the recess 46 per unit length of the plate-like portion 41.
  • recesses 46 having the same shape and the same size are provided in the entire plate-like portion 41.
  • the interval P3 of the recess 46 in the region on the fixing portion 43 side is smaller than the interval P4 of the recess 46 in the region on the contact portion 42 side.
  • the density of the recess 46 provided on the fixed portion 43 side is higher than the density of the recess 46 provided on the contact portion 42 side.
  • the density of the recess 46 may be lower in the region on the fixing portion 43 side than in the region on the contact portion 42 side.
  • the region on the fixing portion 43 side of the plate-like portion 41 is not easily curved in the XY plane, and contact between the contact portions 42 can be suppressed.
  • FIG. 10 is a top view showing the control terminal 40 according to the fifth embodiment.
  • the plate-like portion 41 of the second control terminal 40-2 is provided with a recess 46 in a range wider than the plate-like portion 41 of the first control terminal 40-1. That is, the absolute value of the length in the X direction of the region where the recess 46 is provided in the second control terminal 40-2 is the X direction of the region where the recess 46 is provided in the first control terminal 40-1.
  • the absolute value of the length at is large.
  • the plate-like portion 41 of the second control terminal 40-2 is longer than the plate-like portion 41 of the first control terminal 40-1.
  • the second control terminal 40-2 contacts the pad 21 provided on the inner side of the substrate 20.
  • the amount of warpage of the substrate 20 due to a temperature change or the like increases as the inside of the substrate 20 increases. According to the configuration of the present example, it is possible to easily follow the positional fluctuation in the Y direction of the pad 21 caused by the warp of the substrate 20 or the like.
  • FIG. 11 is a perspective view showing a control terminal 40 according to a sixth embodiment.
  • the normal direction (that is, the X direction) of the main surface of the fixing portion 43 is parallel to the extending direction of the plate-like portion 41.
  • a fixing portion 43 having the same width as the plate-like portion 41 is provided so as to be bent in the Z direction at the end of the plate-like portion 41.
  • Such a configuration allows the plate-like portion 41 to be more easily bent in the Z direction. Moreover, the area
  • the region of the contact portion 42 extending toward the pad 21 is also provided such that the normal direction of the main surface is parallel to the extending direction (X direction) of the plate portion 41. You may Such a configuration allows the plate-like portion 41 to be more easily bent in the Z direction. In addition, the area where the recess 46 can be formed can be further widened.
  • FIG. 12 is a diagram showing an example of a circuit 300 including an electronic circuit housed in the semiconductor device 100.
  • the circuit 300 of this example is a three-phase inverter circuit provided between the power supply 210 and the load 220.
  • the load 220 is, for example, a three-phase motor.
  • the circuit 300 converts the power supplied from the power supply 210 into a three-phase signal (AC voltage) and supplies it to the load 220.
  • AC voltage three-phase signal
  • the circuit 300 has three bridges corresponding to three phase signals.
  • Each bridge has an upper arm 152 and a lower arm 154 provided in series between the positive wire and the negative wire.
  • Each arm is provided with a transistor 202 such as an IGBT and a diode 204 such as FWD. From the connection point of the upper arm 152 and the lower arm 154, the signal of each phase is output.
  • the circuit 300 also includes two sense units 208.
  • One sense unit 208 detects the current at the connection point of the upper arm 152 and the lower arm 154.
  • the other sense unit 208 detects the current at the connection point between the lower arm 154 and the reference potential.
  • the upper arm 152, the lower arm 154, and the sensing unit 208 in one bridge are accommodated in one semiconductor device 100.
  • Three main terminals 60 may be connected to the power supply 210 and the load 220, respectively.
  • a pair of control terminals 40 may be connected to the sense unit 208 and the gate driver, respectively.
  • one arm may be accommodated in one semiconductor device 100, and the entire circuit 300 may be accommodated in one semiconductor device 100.

Abstract

導電材料で形成されたパッドを有する底部と、底部の少なくとも一部を覆う蓋部と、蓋部に固定され、それぞれ対応するパッドと接触する、並行して設けられた第１端子部及び第２端子部とを備え、第１端子部には第１板状部が設けられており、第２端子部には第２板状部が設けられており、第１板状部及び第２板状部はそれぞれ、パッドと対向する方向に主面を有し、且つ、パッドに向かう方向に弾性を有する半導体装置を提供する。

Description

半導体装置
　本発明は、半導体装置に関する。
　従来、半導体チップ等を収容する半導体装置において、樹脂ケースに設けられた開口を貫通する制御端子を備える構造が知られている（例えば、特許文献１参照）。制御端子は、半導体チップ等を載置した基板に設けられる。樹脂ケースを基板に被せるときに、樹脂ケースの開口に制御端子を貫通させて、半導体装置を組み立てる。
　特許文献１　国際公開第２０１２／６６８３３号パンフレット
解決しようとする課題
　半導体装置の組み立てを容易にするべく、開口と制御端子との間には所定のクリアランスが設けられる。このため、組み立て治具のバラツキまたは外力等によって、開口内における制御端子の相対的な位置にはバラツキが生じてしまう。
一般的開示
　本発明の一つの態様においては、導電材料で形成されたパッドを有する底部と、底部の少なくとも一部を覆う蓋部と、蓋部に固定され、それぞれ対応するパッドと接触する、並行して設けられた第１端子部及び第２端子部とを備える半導体装置を提供する。第１端子部には第１板状部が設けられており、第２端子部には第２板状部が設けられてよい。第１板状部及び第２板状部はそれぞれ、パッドと対向する方向に主面を有し、且つ、パッドに向かう方向に弾性を有してよい。
　第１板状部及び第２板状部は、互いに平行に設けられてよい。第１板状部及び第２板状部の主面にはそれぞれ、端部から内側に向かう凹部が設けられていてよい。
　第１板状部は、隣接する第２板状部と対向する第１内側端部と、第１内側端部とは逆側の第１外側端部とを有してよい。第２板状部は、隣接する第１板状部と対向する第２内側端部と、第２内側端部とは逆側の第２外側端部とを有してよい。第１板状部において、第１内側端部に設けられた凹部の量が、第１外側端部に設けられた前記凹部の量よりも多くてよい。第２板状部において、第２内側端部に設けられた凹部の量が、第２外側端部に設けられた凹部の量よりも多くてよい。
　第１端子部は、第１板状部の一端から延伸して設けられ、蓋部に固定される第１固定部と、第１板状部の他端から延伸して設けられ、パッドと接触する第１接触部とを有してよい。第２端子部は、第２板状部の一端から延伸して設けられ、蓋部に固定される第２固定部と、第２板状部の他端から延伸して設けられ、パッドと接触する第２接触部とを有してよい。
　第１接触部と第２接触部の間の距離は、第１固定部と第２固定部の間の距離よりも大きくてよい。第１板状部において、第１固定部側の領域は、第１接触部側の領域よりも凹部の密度が高くてよい。第２板状部において、第２固定部側の領域は、第２接触部側の領域よりも凹部の密度が高くてよい。
　第１固定部及び第２固定部は板形状であってよい。第１固定部の主面の法線方向は、第１板状部の延伸方向と平行であってよい。第２固定部の主面の法線方向は、第２板状部の延伸方向と平行であってよい。第２板状部には、第１板状部よりも広い範囲に凹部が形成されていてよい。
　なお、上記の発明の概要は、本発明の特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
本発明の実施形態に係る半導体装置１００の概要を示す斜視図である。 ケース部１０の底部１６と、主端子６０との概要を示す斜視図である。 蓋部２４の概要を示す斜視図である。 挿入部５０の概要を示す斜視図である。 第１実施例に係る制御端子４０を示す斜視図である。 第２実施例に係る制御端子４０を示す斜視図である。 第２実施例に係る制御端子４０を示す上面図である。 第３実施例に係る制御端子４０を示す上面図である。 第４実施例に係る制御端子４０を示す上面図である。 第５実施例に係る制御端子４０を示す上面図である。 第６実施例に係る制御端子４０を示す斜視図である。 半導体装置１００に収容された電子回路を含む回路３００の例を示す図である。
　以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
　図１は、本発明の実施形態に係る半導体装置１００の概要を示す斜視図である。半導体装置１００は、半導体チップ等の電子回路を内部に収容する。本例の半導体装置１００は、ケース部１０、複数の主端子６０および複数の制御端子４０を備える。制御端子４０は、端子部の一例である。
　ケース部１０は、半導体チップ等の電子回路を内部に収容する。一例としてケース部１０は、電子回路が載置される基板を有する底部と、蓋部２４と、挿入部５０とを有する。蓋部２４は、接着等により底部に固定され、底部の少なくとも一部を覆う。蓋部２４により覆われる底部には、電子回路が載置される。蓋部２４は、樹脂等の絶縁材料で形成される。蓋部２４の角部には、外部に半導体装置１００を固定するためのねじ穴等の貫通孔１４が設けられる。
　なお、本明細書においてはケース部１０のおもて面と平行な面をＸＹ面とする。また、ケース部１０のおもて面の長手方向をＸ方向、短手方向をＹ方向とする。ただし、短手方向がＸ方向であり、長手方向がＹ方向であってもよい。また、ＸＹ面と垂直な方向をＺ方向とする。本明細書では、Ｚ方向を高さ方向と称する場合がある。また、ケース部１０の底部から、蓋部２４のおもて面に向かう方向を上、蓋部２４のおもて面から底部に向かう方向を下と称する場合がある。ただし上下の方向は重力方向とは必ずしも一致しない。
　主端子６０は、蓋部２４に覆われた電子回路と電気的に接続される。主端子６０は、導電材料で形成される。例えばそれぞれの主端子６０は、ＩＧＢＴ等のパワーデバイスに流れる大電流の電流経路となる。主端子６０の主面部３０の少なくとも一部は、ケース部１０のおもて面に露出する。本例の主端子６０は、板形状を有する。
　主端子６０の主面部３０は、蓋部２４のおもて面において露出しており、且つ、当該おもて面とほぼ平行な面を有する。主端子６０の主面部３０には、貫通孔３１が形成される。貫通孔３１にねじ等が挿入されることで、半導体装置１００は、外部のバスバー等に固定される。
　主端子６０は、主面部３０からケース部１０の底部に向かって延伸する側面部を更に有する。当該側面部は、ケース部１０の底部に設けられた電子回路と電気的に接続される。
　蓋部２４には、主端子６０の一部を露出させるための開口が設けられる。本例において当該開口は、蓋部２４のおもて面においてＸ方向に延伸するスリットであり、主端子６０の主面部３０を露出させる。当該開口は、蓋部２４のおもて面の、Ｙ方向における中央に設けられる。
　挿入部５０は、当該開口に挿入されて、主端子６０の主面部３０と対向するように設けられる。本例において挿入部５０は、主面部３０の下側に配置される。挿入部５０において、主面部３０の貫通孔３１と対向する位置には窪みが設けられる。当該窪みにナット等を設けることで、貫通孔３１を通過したねじ等を当該窪みに締結できる。
　蓋部２４は、おもて面において主端子配置部１２を有する。主端子配置部１２は、蓋部２４のおもて面において、上方向に突出して設けられる。主端子６０の主面部３０は、主端子配置部１２のおもて面に露出する。ただし、主端子配置部１２にも、挿入部５０を挿入するための開口が設けられる。
　制御端子４０は、導電材料で形成され、主端子６０よりも幅の小さい板形状を有する。制御端子４０は、蓋部２４に固定される。例えば蓋部２４は、所定の型枠に樹脂を注入して形成される。制御端子４０を、当該型枠の所定の位置に配置した状態で樹脂を注入することで、制御端子４０と一体化した蓋部２４を成形できる。制御端子４０は蓋部２４にインサート成形され、固定されてもよい。また、制御端子４０は、蓋部２４に接着剤等で固定されていてもよい。
　制御端子４０の一つの端部は、蓋部２４のおもて面において露出する。制御端子４０の他方の端部は、ケース部１０の底部に載置された電子回路に電気的に接続される。蓋部２４は、制御端子４０の先端以外を囲む制御端子配置部１３を有する。
　図２は、ケース部１０の底部１６と、主端子６０の概要を示す斜視図である。底部１６は、基板２０および電子回路２２を有する。電子回路２２には、半導体チップ、配線、パッド等が含まれる。本例の電子回路２２は、制御端子４０の端部と電気的に接続される、導電材料で形成されたパッド２１を有する。電子回路２２は、主端子６０と電気的に接続するパッドも有してよい。基板２０は、銅板等の金属板と、金属板のおもて面を覆う絶縁層とを有する。絶縁層の金属板側にさらに金属層を有してもよい。電子回路２２は、当該絶縁層上に設けられる。基板２０の角部には、半導体装置１００を外部に固定するための貫通孔１８が設けられる。貫通孔１８はケース部１０の貫通孔１４と略同軸となるよう配置されてよい。
　半導体装置１００は、複数の主端子６０を備えてよい。図２の例では、３個の主端子６０が、挿入部５０の挿入方向（本例ではＸ方向）に沿って配列されている。それぞれの主端子６０は、主面部３０、側面部３５および足部３２を有する。主面部３０は、ＸＹ面と平行に配置される。
　側面部３５は、主面部３０のＹ方向における両端から、底部１６に向かって延伸して設けられる。それぞれの側面部３５は、ＸＺ面と平行に配置される。足部３２は、側面部３５の底部１６側の端辺に連結され、底部１６と接続される。
　足部３２は、印加される力に応じて主端子６０を傾かせることができるように、弾性を有する。例えば足部３２は、主端子６０を、ＸＺ面内で傾かせることができるように支持する。また足部３２は、主端子６０を、更にＹＺ面内で傾かせることができるように支持してもよい。
　本例の足部３２は、延伸部３３および固定部３４を有する。延伸部３３は、側面部３５の底部１６側の端辺の一部に連結され、Ｘ方向に沿って延伸して設けられる。一例として延伸部３３は、それぞれの側面部３５の外側に設けられ、側面部３５の底部１６側の端辺のＸ方向における一端から、当該端辺のＸ方向における他端に向けて延伸する。延伸部３３は、ＸＹ面と平行な板形状を有する。
　固定部３４は、延伸部３３の端部のうち、側面部３５と接続される端部とは逆側の端部に設けられる。固定部３４は、延伸部３３の当該端部から底部１６に向かって延伸して設けられる。固定部３４の下端は、半田等により電子回路２２に固定される。
　このような構成により、主端子６０は、印加される力に応じて、ＸＺ面内で傾くことができる。それぞれの主端子６０において対向する２つの側面部３５に挟まれる空間には、挿入部５０が挿入される。主端子６０が、挿入部５０の挿入位置等のばらつきに応じて傾くことで、挿入部５０を容易に挿入することができる。なお、それぞれの側面部３５に足部３２が設けられてよい。
　図３は、蓋部２４の概要を示す斜視図である。蓋部２４は、図１に示した構成に加えて、おもて面に開口２５を有する。開口２５は、蓋部２４のおもて面のＸ方向の一端から、他端に向けて延伸して形成される。
　蓋部２４のおもて面には、開口２５のＹ方向における両側に、主端子配置部１２が設けられる。主端子配置部１２は、それぞれの主端子６０と対応する位置に設けられる。主端子６０は、対応する主端子配置部１２の開口において露出する。蓋部２４は、Ｚ方向における上側から、底部１６に被せるように組み立てられる。このとき、それぞれの主端子６０は、主端子配置部１２の開口の側壁に沿って、当該開口に挿入される。また、制御端子４０の下側の端部は、パッド２１に接触する。
　それぞれの主端子配置部１２は、ＸＹ面と平行な天井部を有する。また、蓋部２４は、当該天井部から底部１６に向かって延伸する押圧部２６を有する。押圧部２６は、主端子配置部１２の開口に主端子６０が挿入された場合に、主端子６０の側面部３５に沿うように配置される。押圧部２６は、側面部３５のＸ方向における中心に配置されてよい。
　押圧部２６の下端は、主端子６０の足部３２における延伸部３３のおもて面と当接する。これにより、延伸部３３を底部１６の基板２０側に押圧して、延伸部３３の上下方向の位置を規定することができる。また、Ｘ方向において隣接する主端子配置部１２の間には、連結部２８が設けられる。連結部２８は、Ｚ方向における厚みが、主端子配置部１２の天井部の厚みよりも大きい。
　図４は、挿入部５０の概要を示す斜視図である。挿入部５０は、蓋部２４のおもて面に設けた開口２５と、Ｙ方向において同一の幅を有し、Ｘ方向において同一の長さを有する。挿入部５０は、Ｘ方向に沿って開口２５に挿入される。挿入部５０は、主端子６０の主面部３０と、底部１６の間に挿入される。
　挿入部５０は、それぞれの主端子６０の主面部３０と対向する主面対向部５５を有する。それぞれの主面対向部５５は、挿入部５０のおもて面において、Ｚ方向に突出する。それぞれの主面対向部５５のおもて面５３には、窪み５２が設けられる。
　窪み５２は、主端子６０の貫通孔３１と対向する位置に設けられる。一例として窪み５２は、主面対向部５５のおもて面５３の中央に設けられる。窪み５２は、貫通孔３１よりも大きい直径を有してよい。窪み５２の内部にはナット等が配置される。貫通孔３１を通過したねじ等が、窪み５２の内部のナット等に締結する。
　また、挿入部５０は、蓋部２４と嵌合することで、挿入部５０を蓋部２４に固定するロック部５１を有してよい。ロック部５１は、例えば挿入部５０のうち、最後に開口２５に挿入される側の端部の側壁５４に設けられる。本例のロック部５１はＹ方向に突出している。ロック部５１は、蓋部２４に設けられる窪みと嵌合する。挿入部５０は、開口２５に挿入された状態で、接着剤等で蓋部２４に固定されてもよい。
（第１実施例）
　図５は、第１実施例に係る制御端子４０を示す斜視図である。図５では、並行して設けられた第１の制御端子４０－１および第２の制御端子４０－２を示している。２つの制御端子４０は、蓋部２４に固定され、それぞれ対応するパッド２１と接触する。
　それぞれの制御端子４０は、板状部４１、接触部４２および固定部４３を有する。板状部４１は、板状の導電材料で形成される。板状部４１は、主面がパッド２１と対向する方向を向いて配置される。板状部４１の主面は、基板２０の主面と平行であってよく、基板２０の主面に対して３０度程度以内の傾きを有していてもよい。板状部４１の主面とは、板形状の各面のうち、面積が最大の面および当該面と平行な面を指す。板状部４１は、パッド２１に向かう方向（本例ではＺ方向）に弾性を有する。本例の板状部４１は、パッド２１と平行に延伸する。
　固定部４３は、板状部４１のＸ方向における一端からＺ方向上側に延伸して設けられ、蓋部２４に固定される。固定部４３は、主面の法線方向（本例ではＹ方向）が、板状部４１の主面の法線方向（本例ではＺ方向）および板状部４１の延伸方向（本例ではＸ方向）と直交する板形状を有してよい。つまり、隣接する２つの制御端子４０において、それぞれの固定部４３の主面が対向するように配置されてよい。
　固定部４３のＺ方向における中間部分には、蓋部２４に固定される固定領域４５が設けられる。固定領域４５は蓋部２４の樹脂に密着していてよく、また、接着剤により蓋部２４に接着されていてもよい。
　また、固定部４３は、位置決め部４４を有してもよい。位置決め部４４は、例えば蓋部２４を成形する型枠内における制御端子４０の位置を規定する。本例の位置決め部４４は、固定部４３に設けられた凹部である。
　接触部４２は、固定部４３とは逆側の板状部４１の他端から延伸して設けられ、パッド２１と接触する。ただし、接触部４２はパッド２１には固定されない。接触部４２は、蓋部２４と底部１６とが組み立てられることで、パッド２１に接触する。
　接触部４２は、パッド２１に向かって延伸する領域において、主面の法線方向（本例ではＹ方向）が、板状部４１の主面の法線方向（本例ではＺ方向）および板状部４１の延伸方向（本例ではＸ方向）と直交する板形状を有してよい。つまり、隣接する２つの制御端子４０において、接触部４２のパッド２１に向かって延伸する領域の主面が対向するように配置されてよい。
　また、板状部４１は、蓋部２４と底部１６とが組み立てられた状態で、接触部４２をパッド２１の方向に押圧する。つまり、蓋部２４と底部１６とが組み立てられることで、接触部４２がパッド２１によりＺ方向上側に押し上げられ、板状部４１に反りが生じる。板状部４１は、当該反りに対する復元力により、接触部４２を押下する。
　本例の板状部４１は、主面における端部（長辺）から、主面の内側に向かう凹部４６が設けられている。本例の凹部４６は、板状部４１の端部（長辺）から、板状部４１の延伸方向と直交する方向（本例ではＹ方向）に延伸して設けられる。
　凹部４６は、板状部４１の主面において対向する２つの端部（２つの長辺）のそれぞれに設けられてよい。凹部４６は、板状部４１の延伸方向において、当該２つの端部に交互に設けられてよい。凹部４６のＹ方向における長さは、板状部４１のＹ方向における幅の半分以上であってよい。このように、板状部４１にＹ方向に延伸する凹部４６を設けることで、板状部４１のＺ方向における弾性を向上させることができる。
　半導体装置１００においては、制御端子４０が蓋部２４に固定される。このため、蓋部２４に対する制御端子４０のＸＹ面内における位置にバラツキが生じない。また、蓋部２４および底部１６を組み立てるときに、蓋部２４との摩擦によって制御端子４０がＺ方向下方に沈み込むことを防げる。このため、制御端子４０を外部装置等に精度よく接続できる。また、制御端子４０がＺ方向に弾性を有するので、蓋部２４に固定した制御端子４０を、底部１６に設けたパッド２１に向けて押圧することができる。これにより、制御端子４０とパッド２１との電気的な接続の信頼性も高めることができる。
　また、板状部４１は、主面がパッド２１と対向するように設けられる。このため、板状部４１および接触部４２は、Ｚ方向には移動するが、ＸＹ面内での移動は抑制される。従って、隣接する２つの制御端子４０どうしが接触してしまうことを防ぐことができる。なお、隣接する２つの制御端子４０におけるそれぞれの板状部４１は、互いに平行に延伸して設けられる。なお、本明細書において「平行」とは、厳密に平行であるものに加え、２０度以内程度の傾きを有するものも含む。
（第２実施例）
　図６は、第２実施例に係る制御端子４０を示す斜視図である。本例の制御端子４０においては、隣接する２つの制御端子４０における接触部４２の距離Ｄ２は、固定部４３の距離Ｄ１よりも大きい。距離Ｄ１およびＤ２は、それぞれの部材の最短距離を指す。このような構造により、ＸＹ面内での移動量が比較的に大きくなりやすい接触部４２どうしが、接触してしまうことを抑制できる。
　図７は、第２実施例に係る制御端子４０を示す上面図である。図７は、Ｚ方向上側から見た制御端子４０を示す。それぞれの板状部４１の延伸方向に沿った端部（長辺）のうち、隣接する板状部４１と対向する側を内側端部４７とし、内側端部４７とは逆側を外側端部４８とする。
　固定部４３は、板状部４１の内側端部４７に接続され、接触部４２は、板状部４１の外側端部４８に接続される。このような配置により、板状部４１にＺ方向の弾性を持たせつつ、隣接する接触部４２の距離を大きくすることができる。
　また、板状部４１の内側端部４７および外側端部４８には、それぞれ凹部４６が設けられる。本例では、内側端部４７に設けた凹部４６の距離Ｐ１と、外側端部４８に設けた凹部４６の距離Ｐ２とが等しい。また、内側端部４７に設けた凹部４６と、外側端部４８に設けた凹部４６とは、同一の形状および大きさである。
　（第３実施例）
　図８は、第３実施例に係る制御端子４０を示す上面図である。本例では、それぞれの板状部４１において、内側端部４７に設けられた凹部４６の量が、外側端部４８に設けられた凹部４６の量よりも多い。ここで、凹部の量とは、上面図における凹部の総面積を指す。
　図８に示した例では、内側端部４７および外側端部４８には、同一形状および同一の大きさの凹部４６が設けられている。ただし、内側端部４７に設けられる凹部４６の数は、外側端部４８に設けられる凹部４６の数よりも多い。このため、内側端部４７に設けられる凹部４６の量は、外側端部４８に設けられる凹部４６の量よりも多くなる。
　このように凹部４６の量を制御することで、板状部４１がＸＹ面内において湾曲したとしても、それぞれの接触部４２が互いに離れる方向に板状部４１が湾曲する。このため、それぞれの接触部４２が互いに接触してしまうことを抑制できる。
　なお、内側端部４７および外側端部４８において、凹部４６一つ当たりの大きさを異ならせてもよい。つまり、内側端部４７および外側端部４８において、凹部４６の数、および、凹部４６一つ当たりの大きさの少なくとも一方を異ならせることで、内側端部４７の凹部４６の量を、外側端部４８の凹部４６の量より多くできる。
　（第４実施例）
　図９は、第４実施例に係る制御端子４０を示す上面図である。本例では、それぞれの板状部４１において、固定部４３側の領域は、接触部４２側の領域よりも凹部４６の密度が高い。ここで、凹部４６の密度とは、板状部４１の単位長さ当たりの凹部４６の量を指す。
　図９に示した例では、板状部４１の全体において、同一形状および同一の大きさの凹部４６が設けられている。ただし、固定部４３側の領域における凹部４６の間隔Ｐ３は、接触部４２側の領域における凹部４６の間隔Ｐ４よりも小さい。このため、固定部４３側に設けられる凹部４６の密度は、接触部４２側に設けられる凹部４６の密度よりも高くなる。このように凹部４６の密度を制御することで、板状部４１の固定部４３側の領域がＹ方向に湾曲しやすくなり、接触部４２がＹ方向に移動できる範囲を広げることができる。一例として、接触部４２はＹ方向に３００μｍ程度移動できることが好ましい。
　また、それぞれの板状部４１において、固定部４３側の領域は、接触部４２側の領域よりも凹部４６の密度が低くてもよい。この場合、板状部４１の固定部４３側の領域がＸＹ面において湾曲しにくくなり、接触部４２どうしが接触してしまうことを抑制できる。
　（第５実施例）
　図１０は、第５実施例に係る制御端子４０を示す上面図である。本例では、第２の制御端子４０－２における板状部４１には、第１の制御端子４０－１における板状部４１よりも広い範囲に凹部４６が設けられている。つまり、第２の制御端子４０－２において凹部４６が設けられている領域のＸ方向における長さの絶対値が、第１の制御端子４０－１において凹部４６が設けられている領域のＸ方向における長さの絶対値が大きい。このような構成により、第２の制御部４０－２の接触部４２のＹ方向における可動範囲を、第１の制御部４０－１の接触部４２のＹ方向における可動範囲よりも広くすることができる。
　本例では、第２の制御端子４０－２における板状部４１は、第１の制御端子４０－１における板状部４１よりも長い。このため、第２の制御端子４０－２は、基板２０のより内側に設けられたパッド２１と接触する。一方で、基板２０の内側ほど、温度変化等による基板２０の反り量が大きくなる。本例の構成によれば、基板２０の反り等によって生じるパッド２１のＹ方向における位置変動にも、容易に追従することができる。
　（第６実施例）
　図１１は、第６実施例に係る制御端子４０を示す斜視図である。本例では、固定部４３の主面の法線方向（すなわちＸ方向）は、板状部４１の延伸方向と平行である。本例では、板状部４１と同一の幅の固定部４３が、板状部４１の端部においてＺ方向に折れ曲がるように設けられている。
　このような構成により、板状部４１がＺ方向により湾曲しやすくなる。また、凹部４６を形成できる領域を広くできる。
　また、固定部４３と同様に、接触部４２のパッド２１に向けて延伸する領域も、主面の法線方向が、板状部４１の延伸方向（Ｘ方向）と平行となるように設けられてよい。このような構成により、板状部４１がＺ方向により湾曲しやすくなる。また、凹部４６を形成できる領域を更に広くできる。
　図１２は、半導体装置１００に収容された電子回路を含む回路３００の例を示す図である。本例の回路３００は、電源２１０および負荷２２０の間に設けられた３相インバータ回路である。負荷２２０は例えば３相モーターである。回路３００は、電源２１０から供給される電力を、３相の信号（交流電圧）に変換して負荷２２０に供給する。
　回路３００は、３相の信号に対応する３つのブリッジを有する。それぞれのブリッジは、正側配線と負側配線との間に、直列に設けられた上側アーム１５２および下側アーム１５４を有する。それぞれのアームは、ＩＧＢＴ等のトランジスタ２０２と、ＦＷＤ等のダイオード２０４が設けられる。上側アーム１５２および下側アーム１５４の接続点から、各相の信号が出力される。
　また、回路３００は、２つのセンス部２０８を有する。一方のセンス部２０８は、上側アーム１５２および下側アーム１５４の接続点における電流を検出する。他方のセンス部２０８は、下側アーム１５４と基準電位の接続点における電流を検出する。
　本例では、一つのブリッジにおける上側アーム１５２、下側アーム１５４およびセンス部２０８が、一つの半導体装置１００に収容される。３つの主端子６０がそれぞれ電源２１０および負荷２２０に接続されてよい。一対の制御端子４０がそれぞれセンス部２０８およびゲート駆動部に接続されてよい。他の例では、一つのアームが一つの半導体装置１００に収容されてよく、回路３００全体が一つの半導体装置１００に収容されてもよい。
　以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、請求の範囲の記載から明らかである。
１０・・・ケース部、１２・・・主端子配置部、１３・・・制御端子配置部、１４・・・貫通孔、１６・・・底部、１８・・・貫通孔、２０・・・基板、２１・・・パッド、２２・・・電子回路、２４・・・蓋部、２５・・・開口、２６・・・押圧部、２８・・・連結部、３０・・・主面部、３１・・・貫通孔、３２・・・足部、３３・・・延伸部、３４・・・固定部、３５・・・側面部、４０・・・制御端子、４１・・・板状部、４２・・・接触部、４３・・・固定部、４４・・・位置決め部、４５・・・固定領域、４６・・・凹部、４７・・・内側端部、４８・・・外側端部、５０・・・挿入部、５１・・・ロック部、５２・・・窪み、５３・・・おもて面、５４・・・側壁、５５・・・主面対向部、６０・・・主端子、１００・・・半導体装置、１５２・・・上側アーム、１５４・・・下側アーム、２０２・・・トランジスタ、２０４・・・ダイオード、２０８・・・センス部、２１０・・・電源、２２０・・・負荷、３００・・・回路

Claims (10)

  1. 　導電材料で形成されたパッドを有する底部と、
    　前記底部の少なくとも一部を覆う蓋部と、
    　前記蓋部に固定され、それぞれ対応する前記パッドと接触する、並行して設けられた第１端子部及び第２端子部と
    　を備え、
    　第１端子部には第１板状部が設けられており、第２端子部には第２板状部が設けられており、
    　前記第１板状部及び第２板状部はそれぞれ、前記パッドと対向する方向に主面を有し、且つ、前記パッドに向かう方向に弾性を有する
    　半導体装置。
  2. 　前記第１板状部及び第２板状部は、互いに平行に設けられる
    　請求項１に記載の半導体装置。
  3. 　前記第１板状部及び第２板状部の主面にはそれぞれ、端部から内側に向かう凹部が設けられている
    　請求項２に記載の半導体装置。
  4. 　前記第１板状部は、隣接する前記第２板状部と対向する第１内側端部と、前記第１内側端部とは逆側の第１外側端部とを有し、
    　前記第２板状部は、隣接する前記第１板状部と対向する第２内側端部と、前記第２内側端部とは逆側の第２外側端部とを有し、
    　前記第１板状部において、前記第１内側端部に設けられた前記凹部の量が、前記第１外側端部に設けられた前記凹部の量よりも多く、
    　前記第２板状部において、前記第２内側端部に設けられた前記凹部の量が、前記第２外側端部に設けられた前記凹部の量よりも多い
    　請求項３に記載の半導体装置。
  5. 　前記第１端子部は、
    　前記第１板状部の一端から延伸して設けられ、前記蓋部に固定される第１固定部と、
    　前記第１板状部の他端から延伸して設けられ、前記パッドと接触する第１接触部と
    　を有し、
    　前記第２端子部は、
    　前記第２板状部の一端から延伸して設けられ、前記蓋部に固定される第２固定部と、
    　前記第２板状部の他端から延伸して設けられ、前記パッドと接触する第２接触部と
    　を有する請求項３に記載の半導体装置。
  6. 　前記第１接触部と前記第２接触部の間の距離は、前記第１固定部と前記第２固定部の間の距離よりも大きい
    　請求項５に記載の半導体装置。
  7. 　前記第１板状部において、前記第１固定部側の領域は、前記第１接触部側の領域よりも前記凹部の密度が高く、
    　前記第２板状部において、前記第２固定部側の領域は、前記第２接触部側の領域よりも前記凹部の密度が高い
    　請求項５に記載の半導体装置。
  8. 　前記第１固定部及び第２固定部は板形状である
    　請求項５に記載の半導体装置。
  9. 　前記第１固定部の主面の法線方向は、前記第１板状部の延伸方向と平行であり、
    　前記第２固定部の主面の法線方向は、前記第２板状部の延伸方向と平行である
    　請求項８に記載の半導体装置。
  10. 　前記第２板状部には、前記第１板状部よりも広い範囲に前記凹部が形成されている
    　請求項３から９のいずれか一項に記載の半導体装置。
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