WO2017094469A1

WO2017094469A1 - 蒸気放出装置及び成膜装置

Info

Publication number: WO2017094469A1
Application number: PCT/JP2016/083350
Authority: WO
Inventors: 齋藤　和彦; 信博林; 貴啓廣野; 照明岩橋
Original assignee: Ulvac Inc
Current assignee: Ulvac Inc
Priority date: 2015-11-30
Filing date: 2016-11-10
Publication date: 2017-06-08
Anticipated expiration: 2018-05-30
Also published as: CN108291292A; TWI695083B; TW201730366A; CN108291292B; JP6637520B2; JPWO2017094469A1; KR20180071351A; KR102139125B1

Abstract

本発明は、真空中で基材フィルム上に有機化合物膜を形成する際に有機化合物モノマーの蒸気を一定の割合で発生させて成膜レートを安定させることができる技術を提供することを目的とする。本発明は、真空中で有機化合物モノマーの蒸気を放出する蒸気放出装置であって、液体状の有機化合物モノマーを気化する気化部２１と、気化部２１に連通され、気化部２１において気化された有機化合物モノマーの蒸気を放出する蒸気放出部２２とを有する。気化部２１内には、中空の蒸発器４０が設けられている。この蒸発器４０は、液体状の有機化合物モノマーを霧状にして導入し、霧状の有機化合物モノマー３４を加熱し蒸発させて有機化合物モノマーの蒸気を気化部２１内に導出するように構成されている。

Description

蒸気放出装置及び成膜装置

　本発明は、真空中で基材フィルム上に有機化合物膜を形成するための成膜装置の技術に関する。

　近年、電子部品等を基材フィルム上に効率良く形成したいという要望があり、このため、真空中で長尺の基材フィルムを搬送して基材フィルム上に高分子有機化合物からなる膜を形成する技術が提案されている。

　従来、真空中で基材フィルム上に高分子有機化合物膜を形成する場合には、例えば有機化合物モノマーを蒸発させ、その蒸気を基材フィルム上に吹き付けて有機化合物層を形成し、この有機化合物層に対して熱を加えたり、エネルギー線を照射することによって硬化させ、高分子有機化合物膜を形成することが行われている。

　しかし、真空中でこのような方法によって基材フィルム上に高分子有機化合物膜を形成する場合には種々の課題がある。
　すなわち、真空中で基材フィルム上に有機化合物のモノマーの膜を均一な膜厚で形成することは困難で、特に有機化合物モノマーの蒸気を一定の割合で発生させて成膜レートを安定させることは非常に困難である。

特開２００４－１６９１４４号公報

　本発明は、このような従来の技術の課題を考慮してなされたもので、その目的とするところは、真空中で基材フィルム上に有機化合物膜を形成する際に有機化合物モノマーの蒸気を一定量で発生させて成膜レートを安定させることができる技術を提供することにある。

　上記目的を達成するためになされた本発明は、真空中で有機化合物モノマーの蒸気を放出する蒸気放出装置であって、液体状の有機化合物モノマーを気化する気化部と、前記気化部に連通され、前記気化部において気化された有機化合物モノマーの蒸気を放出する蒸気放出部とを有し、前記気化部内に中空の蒸発器が設けられ、当該蒸発器は、前記液体状の有機化合物モノマーを霧状にして導入し、当該霧状の有機化合物モノマーを加熱し蒸発させて当該有機化合物モノマーの蒸気を前記気化部内に導出するように構成されているものである。
　本発明では、前記気化部及び前記蒸気放出部をそれぞれ全体的に加熱する加熱手段を有する場合にも効果的である。
　本発明では、前記蒸発器に液体状の有機化合物モノマーを供給するモノマー供給管と、当該モノマー供給管を冷却する冷却手段を有する場合にも効果的である。
　本発明では、前記液体状の有機化合物モノマーを霧状にして前記蒸発器内に導入するためのノズル部が前記モノマー供給管の先端部に設けられ、当該ノズル部の先端部が、前記蒸発器の内壁面に対して当該蒸発器の内方に突出しないように配置構成されている場合にも効果的である。
　一方、本発明は、真空槽と、前記真空槽内に設けられた上記いずれかの蒸気放出装置とを有し、前記真空槽内において搬送される基材フィルムに対して前記蒸気放出装置の蒸気放出部から有機化合物モノマーの蒸気を吹き付けるように構成されている成膜装置である。
　本発明では、前記蒸気放出装置の気化部が、前記真空槽の外側に設けられている場合にも効果的である。

　本発明の蒸気放出装置においては、気化部内に中空の蒸発器を設け、液体状の有機化合物モノマーを霧状にして蒸発器内に導入し、この霧状の有機化合物モノマーを加熱し蒸発させて有機化合物モノマーの蒸気を気化部内に導出して蒸気放出部から放出するようにしている。

　このような構成を有する本発明の蒸気放出装置においては、霧状の有機化合物モノマーを加熱し蒸発させる蒸発器と、この蒸発器により生成された有機化合物モノマーの蒸気を蒸気放出部に導く気化部を別構造とすることにより、有機化合物モノマーを蒸発させる部分と有機化合物モノマーの蒸気を放出する部分が直接連通しない構成とすることが可能になり、その結果、微小な液滴と蒸気が混在した状態の有機化合物モノマーが直接蒸気放出部に導入されて成膜に使用されることを防止できる。すなわち、有機化合物モノマーを蒸発させる部分と有機化合物モノマーの蒸気を放出する部分との間の経路が長くなるように構成することにより、有機化合物モノマーの飛沫同伴を抑えることができる。

　また、有機化合物モノマーの蒸気を、一旦蒸発に関係ない空間である、気化部の内部であって蒸発器の外側の空間に溜め込むことにより、蒸気放出部に送られる有機化合物モノマーの蒸気の量を安定に保つことができる。

　以上より、本発明の蒸気放出装置によれば、常に一定量の有機化合物モノマーの蒸気を発生させて気化部から蒸気放出部に送り込むことが可能になる。その結果、常に一定量の有機化合物モノマーの蒸気を放出することができるので、成膜レートを安定させることができる。

　本発明において、蒸気放出装置の気化部及び蒸気放出部をそれぞれ全体的に加熱する加熱手段を有する場合には、気化部及び蒸気放出部内において有機化合物モノマーの蒸気の凝縮を確実に防止することができるので、成膜レートをより安定させることができる。

　本発明において、蒸発器に液体状の有機化合物モノマーを供給するモノマー供給管を冷却する冷却手段を有する場合には、モノマー供給管内における有機化合物モノマーの熱による重合反応をより確実に防止することができる。

　本発明において、液体状の有機化合物を霧状にして蒸発器内に導入するためのノズル部がモノマー供給管の先端部に設けられ、当該ノズル部の先端部が、蒸発器の内壁面に対して当該蒸発器の内方側に突出しないように配置構成されている場合には、以下のような効果がある。

　すなわち、当該ノズル部は、冷却手段を有するモノマー供給管の先端部に設けられており、蒸発器の内壁面に比べて低温となっている。このため、ノズル部が蒸発器の内壁面よりも蒸発器の内方側に突出した状態になると、蒸発器内において加熱され蒸発された有機化合物モノマーの蒸気に、蒸発器の内壁面より低温のノズル部が曝され、有機化合物モノマーの蒸気が凝縮するおそれがある。

　これに対し、本発明では、ノズル部の先端部が蒸発器の内方側に突出しないように配置構成されているため、ノズル部に有機化合物モノマーの蒸気が付着して凝縮するおそれはなく、さらに、蒸発器内において加熱され蒸発された有機化合物モノマーの蒸気は、例えばヒーターによって加熱された蒸発器の内壁面のみに接することとなるため、蒸発器の内壁面における凝縮を防止して確実に一定量の蒸気を発生させることが可能になる。

　一方、真空槽と、この真空槽内に設けられた上記いずれかの蒸気放出装置とを有し、真空槽内において搬送される基材フィルムに対して蒸気放出装置の蒸気放出部から有機化合物モノマーの蒸気を吹き付けるように構成されている成膜装置によれば、常に一定の割合で有機化合物モノマーの蒸気を発生させて放出して成膜レートを安定させることができる成膜装置を提供することができる。

　本発明において、蒸気放出装置の気化部が、真空槽の外側に設けられている場合には、気化部内の蒸発器等のメンテナンスを容易に行うことができるとともに、気化部内の蒸発器と蒸気放出部との間の距離を十分に確保して有機化合物モノマーの蒸気の濃度の均一化を図ることができる。

本発明に係る蒸気放出装置を用いた成膜装置の実施の形態の全体構成図本発明に係る蒸気放出装置の実施の形態の内部構成図本実施の形態における蒸気放出装置の蒸発器のモノマー導入部の要部構成を示す断面図（ａ）：同蒸気放出装置の蒸気放出部を示す正面図（ｂ）：同蒸気放出装置の蒸気放出部を示す側面図（ａ）（ｂ）：基材フィルム上に有機化合物層を形成する工程を模式的に示す説明図

　以下、本発明の好ましい実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。
　図１は、本発明に係る蒸気放出装置を用いた成膜装置の実施の形態の全体構成図、図２は、本発明に係る蒸気放出装置の実施の形態の内部構成図である。

　図１に示すように、本実施の形態の成膜装置１は、真空排気装置１７に接続された真空槽２内において基材フィルム１０上に有機化合物膜を形成するもので、後述する蒸気放出装置２０（図２参照）を有している。

　ここで、真空槽２の内部の中央部分近傍には、基材フィルム１０と接触してこれを搬送するための円柱形状の中央ローラ３が設けられ、この中央ローラ３の周囲に、後述する蒸気放出装置２０の蒸気放出部２２と、エネルギー線射出装置９とが、それぞれ中央ローラ３に対向するように配置されている。

　真空槽２内の例えば上部には、基材フィルム１０の原反ロール４ａが配置され、この原反ロール４ａから繰り出された基材フィルム１０が、中央ローラ３の表面に密着するように方向転換して引き回されて、真空槽２内の例えば上部に設けられた巻取ローラ４ｂによって巻き取られるように構成されている。

　図２に示すように、本実施の形態の蒸気放出装置２０は、例えばアクリル樹脂等の液体状の有機化合物モノマーを気化する気化部２１と、この気化部２１において気化された有機化合物モノマーの蒸気を放出する蒸気放出部２２とを有している。

　蒸気放出装置２０の気化部２１は例えば円筒形状に形成され、この気化部２１には、例えば気化部２１より小径の円筒形状に形成された蒸気放出部２２が同心状に連通した状態で接続されている。なお、気化部２１と蒸気放出部２２の接続は、同心状には限られず、中央ローラ３上の基材フィルム１０に対する蒸気放出部２２の位置関係によって適宜調整されるものである。

　本実施の形態の蒸気放出装置２０は、気化部２１が真空槽２の外部に配置されるとともに、蒸気放出部２２が真空槽２の内部に配置されている（図２参照）。
　気化部２１は、例えばステンレス等の金属材料からなる中空の本体部２１ａを有し、さらに、気化部２１の真空槽２に対して反対側の端部に、メンテナンス用の開閉自在の扉部２１ｂを設けて構成されている。

　気化部２１の本体部２１ａ及び扉部２１ｂの表面には、加熱手段２３がそれぞれ設けられ、これにより気化部２１の表面が全面的に覆われている。
　加熱手段２３は、例えばジャケット状のもので、その内部に熱媒体が循環するように構成されたものを好適に用いることができる。

　この加熱手段２３は、気化部２１を有機化合物モノマーの蒸気が凝縮する温度より高い温度に加熱する機能を有し、後述するように、蒸発器４０から気化部２１内に導出された有機化合物モノマーの蒸気が気化部２１の内壁面において凝縮することを防止する役割を果たすものである。
　なお、加熱手段２３により気化部２１を加熱する温度としては、有機化合物膜を形成するために使用する有機化合物モノマーの材質によって選択するものとする。

　一方、気化部２１の外部には、モノマー供給源３０が設けられ、このモノマー供給源３０から液体状の有機化合物モノマーを、ポンプ３１及びモノマー供給管３２を介して以下に説明する気化部２１内の蒸発器４０に所定量供給するように構成されている。

　本実施の形態の蒸発器４０は、例えば銅などの熱伝導率の大きい金属材料からなるもので、気化部２１の大きさより小さな大きさの中空の例えば円筒形状に形成され、気化部２１の扉部２１ｂの近傍に配置されている。そして、これにより気化部２１の内部の蒸気放出部２２側に、有機化合物モノマーの蒸気を一旦溜め込む空間が形成されている。
　蒸発器４０の例えば上部には、液体状の有機化合物モノマーを霧（ミスト）状にして蒸発器４０内に導入するための後述するモノマー導入部４１が設けられ、このモノマー導入部４１は、上述したモノマー供給管３２に接続されている。

　ここで、モノマー供給管３２は、その表面に冷却手段３３が設けられている。
　冷却手段３３は、例えばジャケット状のもので、その内部に冷却媒体が循環するように構成されたものを好適に用いることができる。
　この冷却手段３３は、モノマー供給管３２内における有機化合物モノマーの熱による重合反応を確実に防止するためのもので、有機化合物モノマーを例えば２５℃程度の常温に冷却する機能を有している。

　一方、蒸発器４０の外表面には、蒸発器４０を加熱して蒸発器４０内に導入された霧状の有機化合物モノマー３４を蒸発させるための蒸発器用ヒーター４２が設けられている。
　ここで、蒸発器用ヒーター４２は、例えば抵抗加熱型のものを用いることができ、蒸発器４０の外表面に全面的に設けられている。

　この蒸発器用ヒーター４２は、蒸発器４０を有機化合物モノマーが効率良く蒸発する温度以上に加熱する機能を有し、蒸発器４０の内壁面において霧状の有機化合物モノマー３４を加熱して蒸発させるとともに、発生した有機化合物モノマーの蒸気が蒸発器４０の内壁面において凝縮することを防止する役割を果たすものである。

　なお、蒸発器用ヒーター４２により蒸発器４０を加熱する温度としては、有機化合物膜を形成するために使用する有機化合物モノマーの材質によって選択するものとする。
　また、蒸発器４０の例えば上部には、蒸発器４０内において加熱され蒸発された有機化合物モノマーの蒸気を気化部２１内に導出するための導出口４３が設けられている。

　図３は、本実施の形態における蒸気放出装置の蒸発器のモノマー導入部の要部構成を示す断面図である。
　図３に示すように、本実施の形態のモノマー導入部４１においては、蒸発器４０内に有機化合物モノマーを導入するためのモノマー導入口４４が蒸発器４０の上部の壁部を貫通するように設けられている。

　そして、このモノマー導入口４４の内側の位置に、上述したモノマー供給管３２の先端部に設けられたノズル部３５が配置されている。
　このノズル部３５は、例えば熱変形や摩耗の小さいセラミックス等の材料からなるもので、その先端部が、蒸発器４０の内壁面４０ａに対して蒸発器４０の内方側に突出しないように配置構成されている。

　これは、以下のような理由によるものである。
　すなわち、本実施の形態のノズル部３５は、冷却手段３３が設けられたモノマー供給管３２の先端部に設けられており、蒸発器４０の内壁面４０ａに比べて低温となっている。このため、ノズル部３５が蒸発器４０の内壁面４０ａよりも蒸発器４０の内方側に突出した状態になると、蒸発器４０内において加熱され蒸発された有機化合物モノマーの蒸気に、蒸発器４０の内壁面４０ａより低温のノズル部３５が曝され、有機化合物モノマーの蒸気が凝縮するおそれがある。

　これに対し、本実施の形態のノズル部３５は、その先端部が蒸発器４０の内方側に突出しないように配置構成されているため、ノズル部３５に有機化合物モノマーの蒸気が付着して凝縮するおそれはなく、さらに、蒸発器４０内において加熱され蒸発された有機化合物モノマーの蒸気は、蒸発器用ヒーター４２で加熱された蒸発器４０の内壁面４０ａのみに接することとなるため、蒸発器４０の内壁面４０ａにおける凝縮を防止して確実に一定量の蒸気を発生させることが可能になる。

　そして、このような構成を有するノズル部３５を用いた場合には、図３に示すように、ノズル部３５から噴霧される霧状の有機化合物モノマー３４が蒸発器４０の内壁面側のモノマー導入口４４の縁部４０ｂに接触付着しないようにノズル部３５を配置することが好ましい。

　本発明の場合、特に限定されることはないが、有機化合物モノマーを蒸発器４０内に導入する際の重合反応をより確実に防止する観点からは、ノズル部３５として、液体状の有機化合物モノマーを放射状に噴霧して液滴間の距離を大きく、すなわち、液滴の密度がより小さくなるように構成されたものを用いることが好ましい。

　具体的には、ノズル部３５の噴霧口がすり鉢状に、開口が広がるように形成されていることが好ましい。このような構成であれば、液体状の有機化合物モノマーを放射状に効率良く、蒸発器４０の内壁面４０ａの全面に向かって噴霧することが可能となり、例えば、ノズル部３５から噴霧された霧状の有機化合物モノマー３４が、蒸発器４０の内壁面４０ａの一部のみに噴霧された場合に発生する局所的な低温領域に起因する、当該低温領域における有機化合物モノマーの凝縮を防止することができる。

　このような構成を有する本実施の形態の蒸気放出装置２０においては、霧状の有機化合物モノマー３４を加熱し蒸発させる蒸発器４０と、この蒸発器４０により生成された有機化合物モノマーの蒸気を蒸気放出部２２に導く気化部２１を別構造とすることにより、有機化合物モノマーを蒸発させる部分と有機化合物モノマーの蒸気を放出する部分が直接連通しない構成とすることが可能になり、その結果、微小な液滴と蒸気が混在した状態の有機化合物モノマーが直接蒸気放出部２２に導入されて成膜に使用されることを防止できる。すなわち、有機化合物モノマーを蒸発させる部分と有機化合物モノマーの蒸気を放出する部分との間の経路が長くなるように構成することにより、有機化合物モノマーの飛沫同伴を抑えることができる。

　また、有機化合物モノマーの蒸気を、一旦蒸発に関係ない空間である、気化部２１の内部であって蒸発器４０の外側の空間に溜め込むことにより、蒸気放出部２２に送られる有機化合物モノマーの蒸気の量を安定に保つことができる。

　以上より、本実施の形態の蒸気放出装置２０によれば、常に一定量の有機化合物モノマーの蒸気を発生させて気化部２１から蒸気放出部２２に送り込むことが可能になる。その結果、常に一定量の有機化合物モノマーの蒸気を放出することができるので、成膜レートを安定させることができる。

　図４（ａ）は、本実施の形態の蒸気放出装置の蒸気放出部を示す正面図、図４（ｂ）は、蒸気放出装置の蒸気放出部を示す側面図である。
　上述したように円筒形状に形成された蒸気放出部２２は、気化部２１から送られた有機化合物モノマーを放出するもので、図４（ａ）（ｂ）に示すように、円筒の長手方向に沿って直線状に形成された放出部２４を有し、この放出部２４に直線スリット状の蒸気放出口２５が設けられている。

　ここで、蒸気放出部２２は、その中心軸線が中央ローラ３の回転軸線と平行になるように配置されるとともに、蒸気放出口２５が、これら軸線と平行に、中央ローラ３上の基材フィルム１０に対し近接して対向配置されている。

　また、蒸気放出部２２の蒸気放出口２５は、中央ローラ３（基材フィルム１０）の幅より若干幅狭に形成され、基材フィルム１０の表面に対して幅方向に直線的に有機化合物モノマーの蒸気３６を吹き付けるように構成されている。

　一方、図２に示すように、蒸気放出部２２の外表面には、蒸気放出部２２内に導入された有機化合物モノマーの蒸気が蒸気放出部２２の内壁面において凝縮することを防止するための蒸気放出部用ヒーター２６（加熱手段）が設けられている。
　この蒸気放出部用ヒーター２６は、例えば抵抗加熱型のものを用いることができ、蒸気放出部２２の外面に全面的に設けられている。

　また、この蒸気放出部用ヒーター２６は、蒸気放出部２２を有機化合物モノマーの蒸気が凝縮する温度より高い温度に加熱する機能を有している。
　ここで、蒸気放出部用ヒーター２６により蒸気放出部２２を加熱する温度は、有機化合物膜を形成するために使用する有機化合物モノマーの材質によって選択するものである。

　なお、真空槽２の蒸気放出部２２との接続部分の壁部には、蒸気放出装置２０に設けた上記加熱手段２３及び蒸気放出部用ヒーター２６からの熱を遮るための断熱部２ａが設けられている。

　このような構成を有する本実施の形態において、真空槽２内において基材フィルム１０上に高分子有機化合物膜を形成する場合には、真空排気装置１７を動作させて真空槽２内の圧力を所定の値になるように真空排気する。

　一方、蒸気放出装置２０においては、加熱手段２３を動作させて気化部２１を有機化合物モノマーの蒸気が凝縮する温度より高い温度に加熱するとともに、蒸気放出部用ヒーター２６を動作させて蒸気放出部２２を有機化合物モノマーの蒸気が凝縮する温度より高い温度に加熱する。

　また、蒸発器用ヒーター４２を動作させて蒸発器４０を有機化合物モノマーの蒸気が効率良く蒸発する温度以上の温度に加熱する。
　さらに、冷却手段３３を動作させてモノマー供給管３２を例えば２５℃程度の常温に冷却する。
　この状態で、モノマー供給源３０からモノマー供給管３２を介して所定量の液体状の有機化合物モノマーを気化部２１内の蒸発器４０のモノマー導入部４１に供給する。

　これにより、図２及び図３に示すように、モノマー導入部４１のノズル部３５から霧状の有機化合物モノマー３４が蒸発器４０内に導入され、これにより蒸発器４０の内壁に接触して加熱されて蒸発する。

　蒸発器４０内において発生した有機化合物モノマーの蒸気は、導出口４３を介して気化部２１内に放出されて気化部２１内において充満し、さらに、蒸気放出部２２に送られて蒸気放出部２２の蒸気放出口２５から噴出される。

　これにより、図４（ｂ）及び図５（ａ）に示すように、有機化合物モノマーの蒸気３６が、中央ローラ３に接触して搬送される基材フィルム１０に対して吹き付けられて基材フィルム１０上に有機化合物モノマー層３７が形成される。

　さらに、基材フィルム１０を搬送しつつ、図１に示すエネルギー線射出装置９からエネルギー線９１を射出して基材フィルム１０上の有機化合物モノマー層３７を硬化させ、高分子有機化合物層３８を形成する（図５（ａ）（ｂ）参照）。
　その後、図１に示す巻取ローラ４ｂによって基材フィルム１０を巻き取る。

　以上述べたように本実施の形態の蒸気放出装置２０を有する成膜装置１においては、蒸気放出装置２０の気化部２１内に中空の蒸発器４０を設け、液体状の有機化合物を霧状にして蒸発器４０内に導入し、この霧状の有機化合物モノマー３４を加熱し蒸発させて有機化合物モノマーの蒸気を気化部２１内に導出して蒸気放出部２２から放出するようにしたことから、常に一定量の有機化合物モノマーの蒸気を発生させて放出することができるので、成膜レートを安定させることができる。

　また、本実施の形態では、蒸気放出装置２０の気化部２１及び蒸気放出部２２をそれぞれ全体的に加熱する加熱手段２３及び蒸気放出部用ヒーター２６を有することから、気化部２１及び蒸気放出部２２内において有機化合物モノマーの蒸気の凝縮を確実に防止することができ、これにより成膜レートを安定させることができる。

　さらに、本実施の形態では、蒸発器４０に液体状の有機化合物モノマーを供給するモノマー供給管３２を冷却する冷却手段３３を有することから、モノマー供給管３２内における有機化合物モノマーの熱による重合反応を確実に防止することができる。

　さらにまた、本実施の形態では、液体状の有機化合物を霧状にして蒸発器４０内に導入するためのノズル部３５がモノマー供給管３２の先端部に設けられ、このノズル部３５の先端部が、蒸発器４０の内壁面４０ａに対して蒸発器４０の内方側に突出しないように配置構成されていることから、ノズル部３５に有機化合物モノマーの蒸気が付着して凝縮するおそれはなく、さらに、蒸発器４０内において加熱され蒸発された有機化合物モノマーの蒸気は、蒸発器用ヒーター４２で加熱された蒸発器４０の内壁面４０ａのみに接することとなるため、蒸発器４０の内壁面４０ａにおける凝縮を防止して確実に一定量の蒸気を発生させることができる。

　一方、本実施の形態の成膜装置１においては、蒸気放出装置２０の気化部２１が、真空槽２の外側に設けられていることから、気化部２１内の蒸発器４０等のメンテナンスを容易に行うことができるとともに、気化部２１内の蒸発器４０と蒸気放出部２２との間の距離を十分に確保して有機化合物モノマーの蒸気の濃度の均一化を図ることができる。

　なお、本発明は上述した実施の形態に限られず、種々の変更を行うことができる。
　例えば蒸気放出装置の気化部、蒸気放出部、蒸発器並びにノズル部の形状については、上記実施の形態のものには限られず、種々の形状のものを用いることができる。

　また、本発明において膜の原料となる有機化合物の種類は、特に限定されることはなく、種々の有機化合物に適用することができる。
　さらに、基材フィルムの種類、厚さ等についても、特に限定されることはなく、種々のフィルムに適用することができる。なお、本発明は基材フィルムのみならず、種々の成膜対象物上に成膜を行うことができる。ただし、フィルム状の成膜対象物に適用した場合に最も有効となるものである。

１…成膜装置
２…真空槽
１０…基材フィルム
２０…蒸気放出装置
２１…気化部
２２…蒸気放出部
２３…加熱手段
２５…蒸気放出口
２６…蒸気放出部用ヒーター（加熱手段）
３０…モノマー供給源
３２…モノマー供給管
３３…冷却手段
３４…霧状の有機化合物モノマー
３６…有機化合物モノマーの蒸気
４０…蒸発器
４１…モノマー導入部
４２…蒸発器用ヒーター
４３…導出口
４４…モノマー導入口

Claims

　真空中で有機化合物モノマーの蒸気を放出する蒸気放出装置であって、
　液体状の有機化合物モノマーを気化する気化部と、
　前記気化部に連通され、前記気化部において気化された有機化合物モノマーの蒸気を放出する蒸気放出部とを有し、
　前記気化部内に中空の蒸発器が設けられ、当該蒸発器は、前記液体状の有機化合物モノマーを霧状にして導入し、当該霧状の有機化合物モノマーを加熱し蒸発させて当該有機化合物モノマーの蒸気を前記気化部内に導出するように構成されている蒸気放出装置。
　前記気化部及び前記蒸気放出部をそれぞれ全体的に加熱する加熱手段を有する請求項１記載の蒸気放出装置。
　前記蒸発器に液体状の有機化合物モノマーを供給するモノマー供給管と、当該モノマー供給管を冷却する冷却手段を有する請求項１又は２のいずれか１項記載の蒸気放出装置。
　前記液体状の有機化合物モノマーを霧状にして前記蒸発器内に導入するためのノズル部が前記モノマー供給管の先端部に設けられ、当該ノズル部の先端部が、前記蒸発器の内壁面に対して当該蒸発器の内方に突出しないように配置構成されている請求項３記載の蒸気放出装置。
　真空槽と、
　前記真空槽内に設けられ、真空中で有機化合物モノマーの蒸気を放出する蒸気放出装置とを有し、
　前記蒸気放出装置は、液体状の有機化合物モノマーを気化する気化部と、前記気化部に連通され、前記気化部において気化された有機化合物モノマーの蒸気を放出する蒸気放出部とを有し、前記気化部内に中空の蒸発器が設けられ、当該蒸発器は、前記液体状の有機化合物モノマーを霧状にして導入し、当該霧状の有機化合物モノマーを加熱し蒸発させて当該有機化合物モノマーの蒸気を前記気化部内に導出するように構成され、
　前記真空槽内において搬送される基材フィルムに対して前記蒸気放出装置の蒸気放出部から有機化合物モノマーの蒸気を吹き付けるように構成されている成膜装置。
　前記蒸気放出装置の気化部が、前記真空槽の外側に設けられている請求項５記載の成膜装置。