KR20200016276A - Oled들을 증착시키기 위한 방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 기판(5)상에 층을 증착시키기 위한 장치 및 방법에 관한 것으로, 이때 준비 단계에서 저장기 소자(1)의 저장기 표면들 상에 출발 물질의 제1 질량이 증착되고, 코팅 단계에서 상기 출발 물질은 상기 저장기 표면들로부터 증발하고 상기 출발 물질의 측정된 질량이 캐리어 가스(C)에 의해 공정 챔버(2) 내로 운반되며, 상기 공정 챔버에서 기판(5)상에 상기 출발 물질 또는 상기 출발 물질의 반응 생성물을 포함하는 층이 상기 기판(5)상에 증착된다. 상기 준비 단계에서 상기 측정된 질량보다 최대 10 퍼센트 이상, 그러나 바람직하게는 정확히 상기 측정된 질량이 상기 저장기 표면들 상에 증착되고, 상기 측정된 질량은 상기 코팅 단계에서 가열 공정에 의해 증발한다.
Description
본 발명은 기판상에 층을 증착시키기 위한 방법에 관한 것으로, 이때 준비 단계에서 저장기 소자의 저장기 표면들 상에 출발 물질의 제1 질량이 증착되고, 코팅 단계에서 상기 출발 물질은 상기 저장기 표면들로부터 증발하고 상기 출발 물질의 측정된 질량이 캐리어 가스에 의해 공정 챔버 내로 운반되며, 상기 공정 챔버에서 기판상에 상기 출발 물질 또는 상기 출발 물질의 반응 생성물을 포함하는 층이 상기 기판상에 증착된다.
유사한 방법은 WO 2012/175128, WO 2012/175126 및 WO 2012/175124 A1호에서 공개된다. 고체 폼(solid foam)의 오픈 셀형(open celled) 기공들의 벽들은 저장기 표면들을 형성하고, 준비 단계에서 상기 저장기 표면들 상에 이전에 증발한 유기 출발 물질이 증착된다. 코팅 단계에서 상기 고체 폼은 증발 온도로 가열되고, 상기 증발 온도는 일정하게 유지된다. 일정하게 유지된 증발률로 증발한 출발 물질이 공급되면서, 저장기 소자를 통해 캐리어 가스 유동이 관류한다. 이와 같은 조치에 의해 발생한 시간에 따라 일정한 증기 유동은 증착 반응기의 공정 챔버 내로 공급되고, 상기 공정 챔버에서 냉각된 기판 홀더 상에 기판이 위치한다. 상기 기판의 표면상에 상기 출발 물질 또는 상기 출발 물질의 반응 생성물이 증착된다.
US 7,238,389는 분말 증발기를 포함하는 장치를 기술하는데, 상기 분말 증발기에 의해 분말이 증발하고 상기 분말의 증기는 증기원(vapour source)으로서 사용되는 고체 폼 내로 공급된다.
DE 10 2011 051 260 A1호는 비축된 유기 출발 물질로부터 에어로졸을 발생시키기 위한 에어로졸 발생기를 기술한다. 상기 에어로졸은 캐리어 가스에 의해 고체 폼으로 구성된 증발기 내로 공급되고, 상기 고체 폼에 외부로부터 증발 에너지가 공급됨으로써, 결과적으로 상기 고체 폼의 표면들에서 에어로졸 입자들이 증발할 수 있다. 이와 같은 방식으로 발생한 증기는 공정 챔버 내로 공급되고, 상기 공정 챔버 내에 코팅될 기판이 위치한다.
본 발명의 과제는 유사한 방법을 사용에 바람직하게 개선하고, 특히, 공정 챔버 내로 공급되는 출발 물질의 정확히 측정된 질량을 더 간단하게 설정할 수 있는 조치들을 제시하는 것이다.
상기 과제는 청구항들에 제시된 발명에 의해 해결되고, 이때 종속 청구항들은 주 청구항에 제시된 발명의 바람직한 개선예들일 뿐 아니라, 상기 과제의 독립적인 해결책들을 나타낸다. 청구항들의 개별적인 특징들은 다른 청구항들의 개별적인 특징들과 임의로 조합될 수 있다.
우선적으로 그리고 실질적으로, 준비 단계에서 출발 물질의 사전 결정된 질량이 저장기 표면들 상에 증착됨으로써 유사한 방법이 개선된다. 이와 같은 질량은, 코팅 단계에서 증착되는 바로 그 질량일 수 있다. 상기 저장기 표면들 상에 증착된 상기 출발 물질의 총 질량은 코팅 단계에서 다시 증발한 질량보다 약간 더 클 수 있고, 이때 질량 차이는 최대 10 퍼센트, 바람직하게는 최대 1 퍼센트이다. 저장기의 특정 "과적(overloading)"은, 실질적으로 일정한 길이 또는 일정한 에너지양을 갖는 동일한 에너지 펄스(energy pulse)가 증발 공정을 위해 사용될 수 있다는 것과, 코팅 단계가 매우 짧을 수 있다는 장점이 있다. 기술적인 이유들로 인해 증기 발생률이 에너지 공급 종료시까지 대략 기하급수적으로(exponentially) 감소함으로써, 결과적으로 저장 질량의 단지 10 퍼센트 미만이 저장기 표면들 상에 존재하는 경우에 증기 발생은 중단될 수 있다. 바람직하게, 상기 저장 질량의 1 퍼센트 미만이 저장기 표면들 상에 존재하는 경우에 증발 공정이 중단된다. 그럼에도 불구하고 출발 물질을 증발시키기 위한 에너지 공급 시간은 공지된 방법과 비교해서 중요하지 않은데, 그 이유는 증발률이 증발 단계의 종료시까지 기하급수적으로 감소하고 방출된 질량은 쉽게 오차 범위 내에 유지되기 때문이다. 저장기 소자가 이미 전력(previous history)이 있고 자체 저장기 표면들 상에 소량의 출발 물질을 지지하면, 출발 물질의 바로 그 측정된 질량이 상기 저장기 표면들 상에 증착될 수 있다. 코팅 단계에서 상기 저장기 표면들 상에 증착된 상기 출발 물질의 질량은 오차 범위 내에 있는, 언급된 나머지를 제외하고 완전히 증발하고 공정 챔버 내로 공급된다.
기판상에 층을 증착시키기 위한 본 발명에 따른 방법의 경우, 분말의 정확히 측정된 양이 증기량으로서 캐리어 가스에 의해 공정 챔버 내로 운반된다. 상기 공정 챔버에서 기판상에 층의 증착 공정이 이루어진다. 선행 기술의 경우, 증기 발생기가 우선 일정하게 유지되는 증기율을 발생시키는 작동 상태로 제공됨으로써 증기량이 측정된다. 그런 다음 캐리어 가스 유동이 출발 물질의 시간에 따라 일정하게 유지되는 질량 흐름을 공정 챔버 내로 운반한다. 증기량의 측정 공정은, 상기 시간에 따라 일정한 질량 흐름이 공정 챔버 내로 공급되는 규정된 시간을 통해 이루어진다. 본 발명에 따르면, 저장기 소자에 출발 물질의 정확히 측정된 양이 적재된다. 이는, 코팅 단계가 실시되는 동일한 장치에서 이루어질 수 있다. 공급 라인을 통해 캐리어 가스-증기 혼합물이 가스 투과성 저장기 소자 내로 공급되는데, 상기 저장기 소자의 응축 표면들은 낮은 온도, 특히 실온으로 유지된다. 상기 저장기 소자의 온도는 바람직하게 출발 물질의 응축 온도보다 적어도 20℃ 아래에 놓인다. 상기 저장기 소자에 적재되기 위한 증기 형태의 출발 물질은 다양한 방식으로 발생할 수 있는데, 예를 들어 출발 물질의 양을 달아서 덜어내고, 도가니 내에서 완전히 증발시키며, 이와 같은 증기를 상기 저장기 소자의 저장기 표면들 상에 응축시킬 수 있다. 그러나 이에 대해 대안적으로, 증발기 내에서 증발하는 에어로졸 또는 입자 유동이 발생할 수도 있는데, 이때 고정적인 증기 흐름이 발생하고 저장기 소자 상에 저장된 출발 물질의 양은 증발 시간에 의해 결정되어 있다. 상기 에어로졸 또는 입자 유동의 고체 또는 액체 성분들은 저장기 소자의 저장기 표면들 상에 직접 증착될 수도 있다. 본 출원서에서 저장기 표면들 상에 증착된 재료의 측정 공정은 에어로졸 공급의 시간을 통해 이루어진다. 이와 같은 유형의 방법의 경우, 증발률 또는 에어로졸 발생률의 시간에 따른 평균값이 이동하지 않는 경우에 한해, 증발기 또는 에어로졸 발생기 내에서 출발 물질의 증발률 또는 에어로졸 발생률은 전적으로 시간에 따라 변동될 수 있다. 그 밖에 본 발명에 따른 방법은 준비 단계를 코팅 단계로부터 시간적으로 분리하는 것을 가능하게 한다. 복수의 저장기 소자에 동시에 출발 물질의 각각 정확히 측정된 질량을 적재하거나, 또는 정확히 측정된 질량이 적재된 저장기 소자를 비축하고 필요한 경우에 사용할 가능성이 생긴다. 코팅 단계에서는 저장기 소자에 에너지 펄스가 공급된다. 이는 전류를 관류시킴으로써, 다시 말해 전기 에너지를 공급함으로써 이루어질 수 있다. 상기 에너지 공급의 결과, 상기 저장기 소자의 온도는, 출발 물질의 응축 온도 또는 증발 온도 위에 놓이지만 상기 출발 물질의 화학적 또는 물리적 변환이 이루어지는 온도 아래에 놓이는 최대 온도가 도달될 때까지 연속적으로 증가한다. 상기 출발 물질은, OLED들을 제조할 때 사용되는 유기 출발 물질을 의미한다. 실온 또는 응축 온도 아래에 놓이는 더 높은 온도의 저온 저장기 소자를 상기 최대 온도로 가열하는 경우, 저장기 표면들의 온도는 연속적으로 증가한다. 말하자면 온도 램프(temperature ramp) 위에서 이동하면서 증가한다. 그 결과 코팅 단계 동안에 증기 발생률이 변동된다. 상기 증기 발생률은 영부터 증가하여 최대치에 도달한다. 상기 저장기 소자 내에 비축된 전체 출발 물질이 증발하면, 증발률은 최대치에 도달한 이후에 다시 영으로 감소한다. 본 발명에 의해 높은 재료 효율 및 짧은 재료 체류 시간을 갖는 재생 가능한 재료량이 고온의 증발기 내에서 증발한다. 연속 제조시 복수의 증착 단계가 연속적으로 실시되고, 이때 층을 증착시키기 위해, 각각 우선 저장기 소자의 적재 공정이 이루어지고, 후속하여 출발 물질의 증발 공정이 이루어지는 복수의 사이클이 연속적으로 실시될 수도 있으며, 이때 상기 저장기 소자가 지지하는 출발 물질의 전체 질량은 코팅 단계를 위해 필요한 질량보다 약간 더 많을 수 있다. 중요한 사실은, 적재시 저장기 표면들 상으로 항상 출발 물질의 동일한 양이 제공되고, 바람직하게 단지 이와 같은 양만이 후속하는 코팅 단계에서 상기 저장기 표면들로부터 증발한다는 것이다. 그에 따라, 유기 출발 물질의 재생 가능한 질량이 증발하도록 보장될 수 있고, 이때 오차 범위가 쉽게 유지될 수 있는데, 그 이유는 증발량이 증가할수록, 특히 저장 질량의 적어도 90 퍼센트가 증발하면, 증기 발생률이 기하급수적으로 감소하기 때문이다. 그에 따라 바람직하게 비축 단계에서 이산적으로(discrete) 규정된 재료량, 말하자면 코팅 단계를 위해 필요한 바로 그 재료량이 저온 증발기 상에 증착된다. 상기 증발기의 온도는 단지 증발 온도보다 더 낮아야만 한다. 말하자면 저장기 소자에 의해 형성된 증발기의 적재 단계인 준비 단계의 종료 이후에 코팅 단계가 시작할 수 있는데, 상기 코팅 단계에서는 상기 증발기가 에너지 펄스에 의해 가열됨으로써, 결과적으로 저장기 표면들 상에 증착된 재료가 실질적으로 완전히, 다시 말해 기술적으로 용인되는 나머지를 제외하고 증발한다. 상기 코팅 단계는 상기 준비 단계보다 더 짧을 수 있다. 상기 저장기 표면들 상에 비축된 재료의 실질적으로 완전한 증발 공정은 몇 초 걸릴 수 있다. 그런 다음 상기 증발기, 다시 말해 저장기 소자는 다시 냉각되고, 증발 온도보다 아래의 온도에 도달한 이후에 새로 적재된다. 적재 공정 동안에, 다시 말해 준비 단계 동안에 공정 챔버 내부에 기판 교체가 실시될 수 있다. 상기 저장기 소자의 적재 공정은 바람직하게 증기로서 운반된 유기 출발 물질의 응축 공정에 의해 이루어짐으로써, 결과적으로 상기 저장기 소자는 응축물 캐리어를 형성한다.
본 발명의 한 가지 실시예는 첨부된 도면들에 의해 설명된다.
도 1은 도 2에서 개략적으로 도시되어 있는 것처럼 코팅 설비의 부분일 수 있지만, 상기 코팅 설비로부터 공간적으로 분리될 수도 있는, 저장기 소자(1)를 적재하기 위한 장치를 보여주고,
도 2는 코팅 장치를 보여주며,
도 3은 선행 기술(WO 2012/175128)에 따른 증기원의 증기 발생률의 시간에 따른 파형을 보여주고, 그리고
도 4는 본 발명에 따른 증기원의 증기 발생률을 보여준다.
도 1은 도 2에서 개략적으로 도시되어 있는 것처럼 코팅 설비의 부분일 수 있지만, 상기 코팅 설비로부터 공간적으로 분리될 수도 있는, 저장기 소자(1)를 적재하기 위한 장치를 보여주고,
도 2는 코팅 장치를 보여주며,
도 3은 선행 기술(WO 2012/175128)에 따른 증기원의 증기 발생률의 시간에 따른 파형을 보여주고, 그리고
도 4는 본 발명에 따른 증기원의 증기 발생률을 보여준다.
도 1은 응축물 캐리어의 기능을 수행하는 저장기 소자(1)를 적재하기 위한 장치를 보여주고, 상기 저장기 소자는 유기 출발 물질의 정확히 측정된 양을 저장하기 위한 저장 매체로서 사용된다. 그 밖에 상기 저장기 소자(1)는 증발기의 기능을 갖는다. 상기 저장기 소자는, WO 2012/175128 또는 US 7,238,389에 기술되어 있는 것처럼, 전기 전도성 고체 폼으로 구성된다.
상기 저장기 소자(1)에 유기 출발 물질이 적재되는 준비 단계 동안에 상기 저장기 소자(1)의 온도는 상기 유기 출발 물질의 응축 온도 아래에 놓인다. 응축 열을 배출시키기 위해, 상기 저장기 소자(1)는 냉각될 수 있다. 그러나 상기 저장기 소자는 충분히 낮은 온도를 가질 수도 있음으로써, 결과적으로 상기 저장기 소자는 증기 형태로 도 1에 도시된 장치 내로 공급된 출발 물질의 응축시 증발 온도에 도달하지 않는다.
도 1에 도시된 상기 장치는 공급 라인(7)을 구비하고, 상기 공급 라인을 통해 이전에 발생한 유기 출발 물질의 증기(V)가 캐리어 가스(C)에 의해 운반된다. 상기 공급 라인(7)의 확장된 횡단면 영역 내에 전기 전도성 고체 폼에 의해 형성된 상기 저장기 소자(1)가 위치한다. 상기 저장기 소자의 개방 기공형 셀 벽들은 저장기 표면들을 형성하고, 상기 저장기 표면들 상에 상기 증기(V)가 응축한다.
상기 공급 라인(7) 내로 공급된 증기는, 도입부에 인용된 선행 기술에서 공개되는 것과 같은 장치에 의해 발생할 수 있다. 특히 에어로졸 발생기가 제공될 수 있고, 상기 에어로졸 발생기에 의해 앞에 연결된 추가 증발기 내에서 증발하는 에어로졸 흐름이 발생한다. 그러나 유기 출발 물질의 사전 결정된 질량을 달아서 덜어내고, 도가니 내에서 가열하며, 그럼으로써 발생한 증기(V)를 공급 라인(7)을 통해 저장기 소자(1)로 공급할 수도 있으며, 이때 상기 저장기 소자의 저장기 표면들 상에서 상기 발생한 증기(V)가 완전히 응축한다. 그러나 저장기 소자(1)의 적재 공정은 분말의 살포 또는 액체의 응고에 의해 이루어질 수도 있다. 증기 발생의 상기 바람직한 방법들의 경우 특히, 상기 공급 라인(7)을 통해 유동하는 전체 증기(V)가 상기 저장기 소자(1)의 저장기 표면들 상에서 응축한다.
유기 출발 물질의 정확히 측정된 양이 적재된 상기 유형의 저장기 소자(1)는 추후의 사용을 위해 비축될 수 있다. 그러나 특히, 유기 재료에 의한 상기 저장기 소자(1)의 적재 공정은, 층을 증착시키기 위해 공정 챔버(2) 내로 공급되는 증기를 발생시키는 동일한 장치에서 이루어진다.
상기 유형의 장치는 도 2가 보여준다. 준비 단계에 바로 후속하는 코팅 단계 동안에 공급 채널(6)을 통해 캐리어 가스 유동이 증기가 없는 상태로 공급된다. 상기 캐리어 가스 유동(C)은, 가열 에너지(H)의 공급에 의해 가열되는 저장기 소자(1)를 관류한다. 이때 상기 저장기 소자(1)의 온도는 유기 출발 물질의 증발 온도 위에 놓인 온도까지 일정하게 변한다. 상기 가열 전력(H)의 공급 공정은 전기 전도성 저장기 소자(1)를 통해 전류를 관류시킴으로써 이루어질 수 있다.
온도가 증가할수록, 특정 온도에 도달한 이후에 증발률이 최대치에 도달할 때까지, 저장기 소자(1) 내 증발률은 증가한다(도 4 참조). 그런 다음 상기 저장기 소자(1) 내에 저장된 유기 출발 물질의 질량이 거의 완전히 증발하고 저장기 표면들 상에서 응축물의 점유율이 50 퍼센트 미만 또는 20 퍼센트 미만인 경우, 상기 저장기 소자(1) 내에 비축된 재료가 소진될수록 상기 증발률은 감소한다. 이 경우, 상기 증발률은 실질적으로 시간에 따라 기하급수적으로 감소한다. 상기 증발률이 예를 들어 최대 증발률의 단지 백분의 일에 상응하는 경우, 에너지 공급은 중단된다.
그에 따라 상기 코팅 단계는 일정하게 변하는 재료 흐름에서 유동 채널(6)을 통해 관류하는 증기 흐름을 발생시킬 수 있다.
상기 유동 채널(6)은 상기 저장기 소자(1)와 가스 유입 부재(3)를 연결하고, 상기 가스 유입 부재는 공정 챔버(2) 내에 배치되어 있고, 상기 가스 유입 부재는 증기의 응축 온도 위에 놓인 온도로 유지됨으로써, 결과적으로 상기 저장기 소자(1)에서 발생하고 상기 유동 채널(6)을 통해 운반되는 증기는 완전히 상기 가스 유입 부재(3)를 관통한다. 상기 가스 유입 부재(3)는 기판 홀더(4)를 향하는 가스 배출면 상에 시브(sieve) 형태로 배치된 복수의 노즐을 구비한다. 샤워 헤드(shower head)의 형태를 갖는 이와 같은 가스 유입 부재(3)로부터 배출되는, 증기를 운반하는 캐리어 가스(C)는 상기 증기(V)를 냉각된 상기 기판 홀더(4) 상에 놓인 기판(5) 방향으로 운반하고, 상기 기판에서 상기 증기의 재생 가능한 비율이 층으로서 응축하거나, 또는 반응함으로써, 결과적으로 상기 기판(5)상에 반응 생성물이 층으로서 증착된다.
도 4가 본 발명에 따른 증기원, 말하자면 저장기 소자(1)에 의해 발생한 증기 발생률을 보여주는 반면, 도 3은 선행 기술에 따른 증기원의 증기 발생률을 보여준다. 증기 발생률이 강하게 변동되는 안정화 시간 이후에, 증기 발생률은 상기 증기 발생률이 시간에 따라 더는 변하지 않는 정적 상태에 도달한다. 공정 챔버(2) 내로 공급되는 양(Q)은, 고정적인 증기 흐름이 상기 공정 챔버(2) 내로 공급되는 공급 시간에 의해 규정된다.
본 발명에 따른 방법(도 4)의 경우, 저장기 소자(1)의 저장기 표면들 상에 증착된 유기 출발 물질의 저장 질량, 특히 응축물 질량이 공정 챔버(2) 내로 공급된 양(Q)을 형성한다.
특히, 기판상에 증착될 층은 겹쳐서 적층된 복수의 개별 층의 형태로 구성되고, 이때 각각의 개별 층은, 우선 준비 단계에서 저장기 소자(1)에 출발 물질이 적재됨으로써 증착되는데, 이때 각각 동일한 질량이 상기 저장기 소자(1)의 저장기 표면들 상에 증착되며, 이때 이와 같은 질량은 실질적으로, 각각 상기 준비 단계에 후속하는 코팅 단계에서 상기 저장기 소자(1)로부터 다시 증발하는 질량과 일치함으로써, 결과적으로 각각의 코팅 단계 이후에 대략 동일한 나머지 질량이 상기 저장기 표면들 상에 남아있으며, 이때 이와 같은 나머지 질량은 상기 저장기 표면들을 바람직하게 단지 부분적으로만 덮는다. 특히, 상기 코팅 단계에서 상기 저장기 소자(1)는, 출발 물질에 의한 상기 저장기 표면들의 커버율이 20 퍼센트 미만에 놓일 때까지 비워지는데, 이때 출발 물질에 의한 상기 저장기 표면들의 커버율은 상기 코팅 단계가 시작하기 이전에 100 퍼센트에 놓인다.
전술된 실시예들은 본 출원서에 의해 전체적으로 기술된 발명들을 설명하기 위해 이용되는데, 상기 발명들은 선행 기술을 적어도 다음 특징 조합들에 의해 각각 독립적으로도 개선하고, 이때 2개, 복수의, 또는 모든 이와 같은 특징 조합은 조합될 수도 있다:
준비 단계에서 측정된 질량보다 최대 10 퍼센트 이상, 그러나 바람직하게는 정확히 상기 측정된 질량이 저장기 표면들 상에 증착되고, 상기 측정된 질량은 코팅 단계에서 증발하는 것을 특징으로 하는, 방법.
저장기 표면들로부터 출발 물질의 증발 공정은 상기 출발 물질의 시간에 따라 변하는 증발률에서 저장기 소자(1)의 가열 공정에 의해 이루어지는 것을 특징으로 하는, 방법.
저장기 소자(1)는 준비 단계에서 출발 물질의 응축 온도보다 아래의 온도, 특히 상기 응축 온도보다 적어도 20℃ 아래의 온도를 갖고, 코팅 단계에서 이와 같은 온도에서 상기 출발 물질의 응축 온도보다 위의 온도로 가열되며, 이때 상기 저장기 소자(1)의 온도는 일정하게 증가하는 것을 특징으로 하는, 방법.
저장기 소자(1)로서 전기 전도 가능한 고체 폼을 사용하고, 상기 저장기 소자(1)의 가열 공정은 전류를 관류시킴으로써 이루어지는 것을 특징으로 하는, 방법.
저장기 표면들 상에 비축된 출발 물질을 증발시키기 위해, 저장기 소자(1)에 에너지 펄스를 공급하는 것을 특징으로 하는, 방법.
준비 단계에서 출발 물질은 캐리어 가스(C)에 의해 입자 유동으로서, 에어로졸로서, 또는 증기 형태의 상태로 저장기 소자(1)로 이송되는 것을 특징으로 하는, 방법.
복수의 연속하는 단계에서 각각 준비 단계에서 출발 물질의 사전 결정된 질량이 저장기 표면들 상에 증착되고, 그런 다음 코팅 단계에서 에너지 공급에 의해 동일한 질량이 증발하며, 이때 특히 코팅 단계가 시작하기 이전에 상기 저장기 표면들 상에 증착된 질량의 최대 10 퍼센트가 상기 코팅 단계 이후에도 여전히 상기 저장기 표면들 상에 존재하는 것을 특징으로 하는, 방법.
증발 공정을 위해, 사전 결정된 에너지양을 사용하는 것을 특징으로 하는, 방법.
공개된 모든 특징들은 (그 자체로, 그러나 서로 조합된 상태로도) 본 발명에 있어서 중요하다. 그에 따라, 우선권 서류들의 특징들을 본 출원서의 청구범위에 함께 수용할 목적으로도, 본 출원서의 공개 내용에는 해당하는/첨부된 우선권 서류들(예비 출원서의 사본)의 공개 내용도 전체 내용적으로 함께 포함된다. 특히 종속 청구항들을 기초로 부분 출원을 실시하기 위해, 종속 청구항들은 인용된 청구항의 특징들 없이도 자체 특징들에 의해 선행 기술의 독립적이고도 진보적인 개선예들을 특징짓는다. 각각의 청구항에 제시된 발명은 추가로, 전술된 상세 설명에서 특히 도면 부호에 의해 제시되고, 그리고/또는 도면 부호 목록에 제시된 하나 또는 복수의 특징을 포함할 수 있다. 특히 특징들이 명백히 각각의 사용 목적에서 불필요하거나, 또는 기술적으로 동일하게 작용하는 다른 수단들에 의해 대체될 수 있는 경우에 한해, 본 발명은, 전술된 상세 설명에 언급된 개별적인 특징들이 구현되어 있지 않은 설계 형태들과도 관련이 있다.
1 저장기 소자
2 공정 챔버
3 가스 유입 부재
4 기판 홀더
5 기판
6 유동 채널
7 공급 라인
C 캐리어 가스
H 가열 전력
Q 양
V 증기
t 시간
2 공정 챔버
3 가스 유입 부재
4 기판 홀더
5 기판
6 유동 채널
7 공급 라인
C 캐리어 가스
H 가열 전력
Q 양
V 증기
t 시간
Claims (11)
- 기판(5)상에 층을 증착시키기 위한 방법으로서,
준비 단계에서 저장기 소자(1)의 저장기 표면들 상에 출발 물질의 제1 질량이 증착되고, 코팅 단계에서 상기 출발 물질은 상기 저장기 표면들로부터 증발하고 상기 출발 물질의 측정된 질량이 캐리어 가스(C)에 의해 공정 챔버(2) 내로 운반되며, 상기 공정 챔버에서 기판상에 상기 출발 물질 또는 상기 출발 물질의 반응 생성물을 포함하는 층이 상기 기판(5)상에 증착되는, 상기 기판상에 층을 증착시키기 위한 방법에 있어서,
상기 준비 단계에서 상기 측정된 질량보다 최대 10 퍼센트 이상이 증착되고, 상기 측정된 질량은 상기 코팅 단계에서 증발하는 것을 특징으로 하는, 방법. - 제1 항에 있어서,
상기 준비 단계에서 정확히 상기 측정된 질량이 상기 저장기 표면들 상에 증착되고, 상기 측정된 질량은 상기 코팅 단계에서 증발하는 것을 특징으로 하는, 방법. - 제1 항 또는 제2 항에 있어서,
상기 저장기 표면들로부터 상기 출발 물질의 증발 공정은 상기 출발 물질의 시간에 따라 변하는 증발률에서 상기 저장기 소자(1)의 가열 공정에 의해 이루어지는 것을 특징으로 하는, 방법. - 제1 항 내지 제3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 저장기 소자(1)는 상기 준비 단계에서 상기 출발 물질의 응축 온도보다 아래의 온도, 특히 상기 응축 온도보다 적어도 20℃ 아래의 온도를 갖고, 상기 코팅 단계에서 이와 같은 온도에서 상기 출발 물질의 응축 온도보다 위의 온도로 가열되며, 상기 저장기 소자(1)의 온도는 일정하게 증가하는 것을 특징으로 하는, 방법. - 제1 항 내지 제4 항 중 어느 한 항에 있어서,
저장기 소자(1)로서 전기 전도 가능한 고체 폼(solid foam)을 사용하고, 상기 저장기 소자(1)의 가열 공정은 전류를 관류시킴으로써 이루어지는 것을 특징으로 하는, 방법. - 제1 항 내지 제5 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 저장기 표면들 상에 비축된 출발 물질을 증발시키기 위해, 상기 저장기 소자(1)에 에너지 펄스(energy pulse)를 공급하는 것을 특징으로 하는, 방법. - 제1 항 내지 제6 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 준비 단계에서 상기 출발 물질은 캐리어 가스(C)에 의해 입자 유동으로서, 에어로졸로서, 또는 증기 형태의 상태로 상기 저장기 소자(1)로 이송되는 것을 특징으로 하는, 방법. - 제1 항 내지 제7 항 중 어느 한 항에 있어서,
복수의 연속하는 단계에서 각각 준비 단계에서 상기 출발 물질의 사전 결정된 질량이 상기 저장기 표면들 상에 증착되고, 그런 다음 코팅 단계에서 에너지 공급에 의해 동일한 질량이 증발하는 것을 특징으로 하는, 방법. - 제8 항에 있어서,
코팅 단계가 시작하기 이전에 상기 저장기 표면들 상에 증착된 질량의 최대 10 퍼센트가 상기 코팅 단계 이후에도 여전히 상기 저장기 표면들 상에 존재하는 것을 특징으로 하는, 방법. - 제1 항 내지 제9 항 중 어느 한 항에 있어서,
증발 공정을 위해, 사전 결정된 에너지양을 사용하는 것을 특징으로 하는, 방법. - 제1 항 내지 제10 항 중 어느 한 항의 하나 또는 복수의 특징을 특징으로 하는, 방법.
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