CN103620086A - 沉积方法及装置 - Google Patents

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Abstract

本发明首先涉及一种在基底(11)上沉积由有机原始材料构成的层的方法，其中，将有机原始材料作为形式为载气流中的悬浮粒子的气溶胶送入蒸发器(1)，所述悬浮粒子从而在该蒸发器内与由温控装置加热的传热面(15)接触并在经过一段亦与该传热面(15)的温度有关的平均停留时间后蒸发，其中，以该载气为输出气流将由此产生的蒸气自该蒸发器(1)送入处理室(10)，该蒸气在该处理室内于该基底(11)表面发生冷凝并形成层。为了减小气溶胶蒸发所产生的蒸气随时间的波动率，本发明提出如下解决方案：改变该传热面(15)的温度以响应所产生蒸气在该输出气流内随时间的质量流量变化(c)。本发明还涉及一种用于蒸发由载气流输送的有机悬浮粒子的装置及一种用于沉积OLED的装置。

Description

沉积方法及装置
技术领域
本发明涉及一种将由有机原始材料构成的层沉积到基底上的方法，其中，以载气流为输入气流将悬浮粒子形式的该有机原始材料送入蒸发器，该悬浮粒子在该蒸发器内与经加热的传热面接触并在经过一段与该传热面的温度有关的平均停留时间后蒸发，其中，以该载气为输出气流将由此产生的蒸气自该蒸发器送入处理室，该蒸气在该处理室内在基底表面上发生冷凝并形成该层。
本发明还涉及一种用于蒸发由载气流输送的有机悬浮粒子的装置，其形式为一容器，该容器具有用于输入气流的进气口、用于输出气流的出气口及设于内部的传热面，其中，该传热面可借助热能流加热至某一温度，在此温度下，经该进气口被送入该容器的该悬浮粒子在与该传热面接触时蒸发成有机蒸气，该有机蒸气经该出气口离开该容器。
本发明还涉及一种用于以上述的蒸发器沉积OLED的装置。
背景技术
US7,238,389B2记载了一种同类型方法及同类型装置。其中用气溶胶发生器产生气溶胶。该气溶胶由被送入载气流的粉末构成。载气流将悬浮粒子形式的气溶胶粒子从气溶胶发生器送往蒸发器。该蒸发器由固态泡沫构成，将该固态泡沫加热至蒸发温度。通过悬浮粒子与固态泡沫的孔壁的表面接触给悬浮粒子输送蒸发热。蒸发率与传热面的温度有关。若在饱和区以下实施此过程，则每单位时间被送往蒸发器的有机原始材料质量等于该蒸发器每单位时间所释放的蒸气质量。特定区域内若温度不同，则未蒸发的有机原始材料在蒸发器内的平均停留时间亦不同。用载气将由此产生的蒸气送入其中设有基底的处理室。用该有机原始材料为该基底进行涂布。在最简单情况下，该基底仅需保持相应的较低温度，从而使蒸气沉积于基底表面形成冷凝物。
使用尤其是由钨、铼、钽、铌、钼或碳或涂层材料构成的固态泡沫来蒸发有机原始材料的方法另请参阅US2009/0039175A1。
US6,037,241记载一种具有可用电加热的空心圆柱形固态泡沫的固态蒸发器。
DE102006026576A1记载一种固态蒸发器，其中用超音波激励器以形成粉末涡流的方式产生气溶胶。
US7,501,152,B2记载一种用于将粉末状原始材料送至喷嘴的输送装置，借助该喷嘴可将该粉末状原始材料送入载气流。
DE8808098U1记载一种用电子束熔化固体以产生蒸气的方法。其中设有调节回路，可利用传感器调节蒸气产生率。为此使用多个电子束以在不同位置上加热表面。
US2002/0192375A1记载一种下游设有蒸发室的气溶胶发生器。将气溶胶喷入蒸发室，使其在该处蒸发。体积较大的滴状物可在经加热的壁上蒸发。
US2010/0173067A1描述一种通过在起泡器内蒸发液体以产生处理气体的CVD反应器。通过控制蒸发温度，调节质量流量。
通过控制蒸发温度来调节已蒸发材料的质量流率的蒸发器另请参阅EP0982411A2及WO2010/060646A1。
此外已知用刷轮产生气溶胶。刷轮毛刷自压缩粉饼上移取材料，该材料以悬浮粒子形式在载气流中输送。
另外已知以喷雾器形式将液体送入载气的装置。
现有技术所提供的气溶胶发生器具有固态或液态悬浮粒子质量流量随时间变化的特性。
发明内容
本发明所要解决的技术问题在于提供若干措施以减小气溶胶蒸发所产生的蒸气随时间的波动率。
该技术问题通过在各权利要求中所述的本发明来解决。
本发明首先提出如下主要方案：通过迅速改变传热面温度以响应输出气流内质量流量随时间所发生的波动。通过改变供能可将传热面受控地加热至不同温度。由此，温度控制是对在输出气流内的所产生蒸气的质量流量随时间的变化的响应。通过该方法，不仅可以补偿由输入气流内悬浮粒子的质量流量随时间波动会导致的、输出气流内质量流量随时间波动。该方法还能补偿蒸发器内的蒸发率波动。蒸发率取决于蒸发器内的热力学与动力学条件。传热面的表面温度在此是一个重要参数。所产生蒸气的分压与固体分压的比例主要取决于该表面温度。另一个能影响蒸发率的重要参数为自由表面大小。自由表面大小不但与传热面不随时间变化的总面积有关，亦与未蒸发有机材料在传热面上的覆盖率有关。此覆盖率随时间波动。本发明的方法在饱和条件以下实施，这意味着，由蒸发器所产生的蒸气在输出气流中的分压低于已蒸发有机材料的饱和蒸气压力。通过输入气流送入蒸发器的平均粒子数会随时间发生变化，从而导致输出气流内质量流量发生随时间的波动。除此外，粒度亦会产生影响。经进气口进入蒸发器的悬浮粒子与传热面发生表面接触并在此吸收热量。因此它们在蒸发室内停留一段时间直至完全蒸发。传热面的表面温度愈高，则未蒸发有机材料在蒸发器内的停留时间愈短。位于蒸发器内部的未蒸发有机材料形成一种缓冲质量。降低传热面温度可改变蒸发率，增加缓冲质量。由于蒸发过程长期追求稳定状态，其中每单位时间进入蒸发器的质量流量等于每单位时间离开蒸发器的质量流量的状态，因而当温度下降时，该缓冲质量或缓冲体积会出现中期增大，并因此自由表面大小会增大。温度下降及其所引起的平均停留时间延长短时内会使得离开蒸发器的已蒸发有机原始材料的质量流量变小。而若提高传热面温度，则蒸发率会上升，未蒸发有机原始材料在蒸发器内的平均停留时间会缩短。上述的缓冲质量或缓冲体积会减小。自由表面亦会因此而变小，从而长期达到进入蒸发器的有机材料质量流量等于离开蒸发器的质量流量的稳定状态。然而，随着温度升高在短时间内会提高离开蒸发器的已蒸发有机原始材料的质量流量。因此，通过改变传热面温度，有机原始材料在输出流中的蒸气压力在温度升高时会增大，而在温度下降时会降低。通过按本发明的方法，以迅速改变传热面温度的方式补偿质量流量随时间发生的波动。该平均停留时间为秒级。会使有效蒸发率受到明显影响的传热面温度变化率则为十分之一秒级，优选为百分之一秒级，尤其优选为毫秒级。例如传热面温度每变化一度，蒸发率便会变化5%。按本发明使用调节回路，尤其是PID调节器来改变传热面温度。为此需使用能测定有机原始材料在输出气流内的蒸气分压的传感器。作为替代方案，亦可使用能测定有机原始材料在输出气流内的蒸气质量流量的传感器。该传感器的传感器信号所提供的值将被作为调节变量传输给该调节回路。该调节回路的调节变量则为用以改变传热面温度的加热能流。该调节回路的响应时间主要取决于发热面随时间的温度变化率。传热面的温度变化率至少为5℃/s。在加热过程中亦能达到至少为10℃/s的更高温度变化率。通过适当地成型，甚至可达到在4ms内能让温度上升或下降一度的温度变化率。传热面温度在300℃与400℃之间范围内的平均值基础上变化±10℃即已足够。该传热面优选由固态泡沫的孔构成。如前所述，此固态泡沫为一如前文所引用的相关公开文献中所描述的开放孔状的固态泡沫。
本发明的装置具有设于输出气流中的传感器，该传感器能测定有机原始材料蒸气在蒸气管道内的分压或质量流量。以此方式测得的与蒸气压力相关的传感器信号作为调节变量被传输给PID调节器。该PID调节器给用于为传热面调温的加热能流提供调节变量。此传热面优选由容器壁构成，其中构成该蒸发器的容器具有进气口及出气口。该进气口下游可设置气体分布器，该气体分布器例如包含一或多个折流面，以便使进入容器的气流形成涡流，从而使得由该气流所输送的可能是固态或液态的悬浮粒子与容器壁发生接触。该传热面优选由一开放孔状的固态泡沫的孔壁构成。悬浮粒子的粒度通常约为100μm。孔隙宽度通常约为1mm。该固态泡沫的孔隙体积可占其总体积95%以上。该容器优选呈空心圆柱形，其壁部由一圆柱形固态泡沫构成。此固态泡沫可由陶瓷材料构成。但优选由导电材料，如石墨或前述金属，钨、铼、钽、铌、钼中的一种构成。可在由石墨或陶瓷构成的固态泡沫上涂布上述金属或其碳化物。该空心圆柱形固态泡沫优选为薄壁且与可调温的容器护套导热连接。例如可将该容器护套冷却以达到散热的目的。导电固态泡沫具有两可为该固态泡沫通电的电极。通过改变电流可改变输送给固态泡沫的加热功率。该固态泡沫温度比其周围护套温度高至少50℃即已足够。
通过向该固态泡沫所构成的蒸发体输送相应大小的电流，可短时提高传热面温度。以散热方式实现该蒸发体的短时降温。其中，通过与较低温度的护套进行导热接触以实现散热。然而被悬浮粒子吸收的蒸发热以及为进入该容器的冷载气加热，亦能起到冷却效果。
根据本发明的扩展方案，通过在上游设置合适的阀门，使该载气流以脉冲方式穿过该气溶胶发生器。脉冲频率在此明显高于停留时间的倒数。典型脉率为10至20赫兹。因此，脉冲长度明显短于约一秒量级的平均停留时间。
根据本发明的扩展方案，该蒸发器内部设有用于测量该传热面的平均温度的温度传感器。该传感器、优选为第二传感器与一调节回路共同作用。该调节回路优选为第二PID调节器，其调节变量为温度即该第二传感器的传感器信号，其调节变量对气溶胶产生率有影响。因此，该第二调节回路可改变气溶胶产生率以响应传热面的温度变化。
在该第一调节回路短时内对所产生蒸气的质量流量变化产生反应，并由此短时改变输送给蒸发器的加热功率时，该第二调节回路对传热面的变化的平均温度迟钝地反应。传热面平均温度长期上升或下降是为蒸发器提供悬浮粒子即未蒸发原始材料时供应不足或供应过量所引起。因此，该第二调节回路作用在于传热面平均温度上升时提高气溶胶产生率，传热面平均温度下降时降低气溶胶产生率。由此，该第一调节回路将控制传热面温度仅在规定的温度范围内变化。该温度传感器用于测量传热面平均温度。调节变量为温度信号。若将质量流量作为调节变量，则一定程度上可将散热量用作调节变量。尤其是当气体温度明显低于传热面温度时。
附图说明
下列根据附图阐述本发明的各实施例。附图中：
图1是按本发明第一装置的方框图；
图2是按本发明蒸发器的纵向剖面图；
图3是输入气流内气溶胶粒子的质量浓度时间特性曲线a、所提供的加热功率b及已蒸发有机原始材料的输出气流中的质量流量c；及
图4是按本发明第二装置的方框图。
具体实施方式
图1示出一涂布装置，用于为例如由玻璃构成的基底11涂布薄的有机发光层以产生所谓的OLED。关于层结构及所用有机原始材料请参阅前文所引用的文献，尤其是US7,238,389B2，其所披露的相关内容全部包含在本申请中。
按本发明的装置具有图中未详示的载气源，该载气可为氮气、氢气或合适的惰性气体。用载气管道3(必要时也以短脉冲形式)将该载气送入气溶胶发生器2，该气溶胶发生器2具有用以储存有机原始材料的储存容器2'。气溶胶发生器2可具有刷轮、螺旋输送机或其他类型的输送装置，以便将储存于该储存容器中的粉末送入载气流。作为粉末的替代方案，亦可将一液体喷入载气流。
所形成的悬浮粒子经气溶胶管道4由气流送入蒸发器1。蒸发器1详细示于图2中。气溶胶粒子在蒸发器1内变成气态，下文还将对此进行详细说明。与之相应的蒸气与载气一同通过由热套6加热的蒸气管道5送入CVD反应器。在CVD反应器壳体7内部，设有由蒸气管道5提供气体的莲蓬头型进气机构，该莲蓬头具有出气面，此出气面具有多个呈筛网状布置的出气口。该出气面垂直指向下方并构成处理室10的顶部，其底部形成基座9的向上指向进气机构8的表面。待涂布基底11平放于已冷却基座9上，在蒸发器1内所产生的蒸气可于该基底11上沉积成层。反应器壳体7另与真空泵12连接，以便在处理室10及蒸发器1内部形成1mbar至10mbar范围内的总气压。但亦可形成更高的总气压，如10mbar至100mbar。通过未示出的调节阀使该总压保持恒定。
设有与传感器13共同作用的PID调节器14，该传感器13对该有机原始材料的蒸气在蒸气管道5中的分压进行测量。作为替代方案，传感器13亦设计成质量流量计，以便测定流经蒸气管道5的有机原始材料蒸气的质量流量。
传感器信号所提供的值与蒸气压力或质量流量成比例，或者对应于某一特性曲线与蒸气压力或质量流量相关，该值构成PID调节器14的调节变量。PID调节器14的调节变量是用来为传热面15调温的加热功率，此传热面的温度对该有机原始材料的未蒸发悬浮粒子在蒸发器1内的平均停留时间有影响。
图2中详细示出的蒸发器具有用于连接气溶胶管道4的接头，此接头包含可以为进气喷嘴形式的进气口18。在进气口18下游设有气体分布器19。图2仅对该气体分布器作了简单示意。该气体分布器具有多个尤其是与气流倾斜定向的折流面19'，包含待蒸发悬浮粒子的输入气流撞向该折流面。借助气体分布器19可在构成蒸发器1的容器内部产生致使悬浮粒子送入构成容器壁的蒸发体的涡流。
该蒸发体构成前述的传热面15。在本发明实施例中，此蒸发体为一孔隙宽度约为1mm的开放孔状的固态泡沫。孔隙体积占该固态泡沫总体积95%以上。悬浮粒子进入固态泡沫并且积聚于孔壁上。
上述蒸发体15具有两个电极22、23。电极22接地。电极23则供给以由PID调节器14提供的电流。通过流经导电固态泡沫15的电流为蒸发体供热，以便传热面具有300℃至400℃的温度。
空心圆柱形蒸发体15被空心圆柱形护套16包围。在护套16与蒸发体15之间设有绝缘层17。绝缘层17电绝缘，但能透热。固态泡沫15的材料厚度为4mm至5mm，而绝缘层17的材料厚度约为0.1mm。
护套16可由金属构成。但亦可由固态泡沫构成。该护套同样可具有两个用于为护套16调温的电极。但护套16的温度低于蒸发体15的平均温度。其温差优选设定约为50℃。
进气口18大致位于圆柱体端壁中央，其对面设有同样位于圆柱体端壁内的出气口20。出气口20直径大于进气口18。输出气流经出气口20进入蒸气管道5。该输出气流包含已蒸发的有机原始材料的蒸气。
直接在出气口20下游设有空腔21，上述的传感器13设于该空腔21中，用以测定已蒸发有机原始材料在载气中的分压或质量流量。
用上述装置实施下述方法：
在气溶胶发生器2中产生的、由气溶胶管道4送入蒸发器1的悬浮粒子的质量流随时间的比率一方面会因构造方式所引起的粉末输送率变化，另一方面会因粒度不均匀而变化。
该随时间变化的悬浮粒子质量流量被送入蒸发器后经进气口18进入容器体积中，此处，由气体分布器19形成涡流，从而悬浮粒子进入蒸发体15的孔隙中。通过与传热体的传热面15的表面接触，加热悬浮粒子，在此过程中它们达到其蒸发温度并与其粒度及传热面15的温度有关地以不同速度蒸发。由此产生的蒸气从出气口20进入蒸气管道5。蒸气分压(即，该蒸气在输出气流中的浓度)由传感器13测定。
在气溶胶发生器2中选用某种悬浮粒子输送方式，使得在此质量流率下所产生的蒸气在载气中的分压低于饱和蒸气压力。蒸发器1长期稳态运行，在此状态下，每单位时间被送入蒸发器1的平均质量等于每单位时间被输出气流带离蒸发器1的平均质量。通过改变未蒸发有机原始材料在蒸发器1内部的停留时间可短时改变此平衡状态。通过提高传热面温度，可短时提高有机原始材料离开蒸发器的质量流量，并通过降低温度可减小该质量流量。因此，利用PID调节器14可对输出质量流量的波动进行补偿。
未采取质量流量补偿措施时在蒸气管道5内所观测到的质量流量波动具有超过一秒钟的波动时间。图3中的a为粉末产生率的典型的质量流量时间特性曲线。亦即，曲线a基本上反映为蒸发器1输送待蒸发有机原始材料的输送率。其中，水平时间轴所处的值对应于与时间相关的平均质量流量。
传感器13能测定输出气流内分压与时间相关平均值的间的偏差。当该偏差为向上偏差时，该PID调节器便会减小用以加热传热面15的加热功率。因为传热面的温度可以以至少100℃/s的速度发生变化，一旦有温度变化导致百分之五的蒸发率变化，则温度极快下降高达10℃引起未蒸发材料在蒸发体15表面的停留时间便会明显延长。其结果为，输出质量流量(图3中的曲线c)上升程度例如远低于输入质量流量。一旦PID调节器通过传感器13确定输出质量流量(曲线c)不再发生变化，便会再度开始提高加热功率(曲线b)。
若检测到传感器13向下偏差，则PID调节器14通过提高加热功率以进行对应控制。此时亦可能发生最高达10℃的温度变化。未蒸发材料在蒸发器1内的平均停留时间因温度升高而缩短，进而使得输出气流中的质量流量短时上升。由此，以平均停留时间附着于传热面15上的未蒸发材料形成通过蒸发温度的变化而变化的缓冲质量。
图4为另一用于沉积由有机原始材料构成的层的装置的示意图，此装置与图1所示装置的区别主要在于设置了第二传感器24。通过该传感器24测量传热面15的平均温度。温度传感器24为PID调节器25提供调节变量，该PID调节器改变气溶胶产生率以响应传热面15的长期温度变化。在图4所示实施例中附加地示出质量流量调节器26，通过该质量流量调节器26可以将载气的质量流量调节为规定值。
通过传感器13能识别质量流量的短期，即秒级或次秒级变化，以便在此段时间内提高或降低传热面15的温度，而温度传感器24测定传热面15与时间相关的平均温度的变化。与时间相关的平均温度在此指在若干秒时间内取平均值的温度。求平均温度的时间跨度例如是第一调节回路14对载气中蒸气分压变化作出反应的时间跨度的十倍。因此，调节回路25是对传热面15的长期温度变化作出反应。这种变化的原因在于气溶胶产生率过低或过高。与之相应地，当传热面15的平均温度长期升高时，气溶胶发生器2会在调节器25作用下提高气溶胶产生率。当传热面15的平均温度长期下降时，调节器25降低气溶胶发生器2内的气溶胶产生率。
上述措施导致，由加热功率控制的蒸发器1的温度(即，传热面15的温度)仅在预先规定的温度范围内变化。由此，该有机原始材料在蒸发器1内部起缓冲作用的质量在平均时间内基本上保持恒定。
因为两个调节回路14、25分别以差别极大的时间常数工作，所以将相互影响减至最小。
图4所示装置运行时亦可不用PID调节器14及传感器13工作。
所有公开的特征(自身)对本发明都是重要的。故本申请所公开的内容亦包含相关/所附优先权文本(在先申请副本)所揭示的全部内容，为此目的，这些文本的特征亦一并纳入本申请的权利要求书中。从属权利要求采用可选并列方式针对现有技术的扩展方案的创造性特征予以说明，其目的主要在于在该这些权利要求基础上进行分案申请。
附图标记列表
1   蒸发器
2   气溶胶发生器
2'  储存容器
3   载气管道
4   气溶胶管道
5   蒸气管道
6   热套
7   CVD反应器壳体
8   进气机构(喷淋头)
9   基座
10  处理室
11  基底
12  真空泵
13  传感器
14  PID调节器
15  传热面
16  护套
17   绝缘层
18   进气口/进气喷嘴
19   气体分布器
19'  折流面
20   出气口
21   空腔
22   电极
23   电极
24   温度传感器
25   PID调节器
26   质量流量调节器
a    气溶胶粒子质量流量
b    加热能量
c    蒸气质量流量

Claims (15)

1.一种将由有机原始材料构成的层沉积于基底(11)上的方法，其中，将在载气气流中气溶胶悬浮粒子形式的有机原始材料送入蒸发器(1)，其中，所述悬浮粒子在所述蒸发器内与由温控装置加热的传热面(15)接触并在经过一段亦与该传热面(15)的温度有关的平均停留时间后蒸发，从而以该载气为输出气流将由此产生的蒸气自该蒸发器(1)送入所述处理室(10)中，其中，所述蒸气在所述处理室内于所述基底(11)的表面上发生冷凝并形成层，其特征在于，改变所述传热面(15)的温度以响应所产生蒸气在该输出气流内随时间的质量流量变化(c)。
2.按权利要求1或尤其是如下所述的方法，其特征在于，在所述停留时间内包含于所述蒸发器(1)内的尤其是未蒸发原始材料的质量形成缓冲质量，所述缓冲质量通过所述温度变化而这样地发生变化，使得进入所述蒸发器(1)的原始材料质量流量随时间的波动得到补偿。
3.按前述权利要求一项或多项或尤其是如下所述的方法，其特征在于，将利用所述输出气流内的传感器(13)所测定的且与所述蒸气在所述载气内的流量或分压对应的值作为调节变量传输给调节回路(14)，所述调节回路(14)将提供给所述传热面(15)的加热能流作为调节变量加以改变。
4.按前述权利要求一项或多项或尤其是如下所述的方法，其特征在于，所述调节回路(14)的响应时间比所述未蒸发有机原始材料在所述蒸发器(1)内的平均停留时间短尤其是5或10倍。
5.按前述权利要求一项或多项或尤其是如下所述的方法，其特征在于，所述传热面(15)的温度变化率至少为5℃/s，优选至少为10℃/s，通过改变该加热能流可使该温度变化±10℃。
6.按前述权利要求一项或多项或尤其是如下所述的方法，其特征在于，具有一脉冲式输入气流，其中，所述脉冲间的时间短于该平均停留时间。
7.按前述权利要求一项或多项或尤其是如下所述的方法，其中，所述传热面(15)由开放孔状的固态泡沫的预定的孔的形成开放式小腔壁的接片构成，所述固态泡沫尤其构成形成蒸发器(1)的壁的容器。
8.按前述权利要求一项或多项或尤其是如下所述的方法，其中，所述固态泡沫(15)或所述固态泡沫的涂层导电，并且给所述固态泡沫(15)或所述涂层通电以实现电阻加热。
9.一种用于蒸发由载气流输送的有机悬浮粒子的装置，其形式为一容器(1)，该容器具有用于输入气流的进气口(18)、用于输出气流的出气口(20)及设于内部的传热面(15)，其中，所述传热面(15)借助可变加热能流加热至一动态可控温度，在此温度下，经所述进气口被送入所述容器(1)的悬浮粒子在与所述传热面(15)接触时蒸发成有机蒸气，所述有机蒸气经该出气口(20)离开所述容器(1)，其特征在于，布置在所述输出气流内的传感器(13)和调节回路(14)，所述传感器提供与所述有机蒸气的流量或蒸气分压相关的传感器信号，所述传感器信号被作为调节变量传输给所述调节回路(14)，且所述调节回路将所述加热能流作为调节变量加以改变，以便用可变热能流动态控制所述温度。
10.按权利要求9或尤其是如下所述的装置，其中，所述蒸发器(1)构造为，使得进入其中的原始材料在所述蒸发器(1)内停留一段能够由温度变化影响的停留时间，从而它形成一缓冲质量，所述缓冲质量可因温度变化而变化为，使得进入所述蒸发器(1)的原始材料质量流量随时间的波动得到补偿。
11.按权利要求9或10一项或多项或尤其是如下所述的装置，其中，所述传热面(15)由尤其是形成所述容器壁的开放孔状的固态泡沫构成。
12.按权利要求9至11一项或多项或尤其是如下所述的装置，其中，所述固态泡沫导电且与两个电极(22，23)共同作用，通过所述两个电极能给所述固态泡沫施加加热电流，以便在所述固态泡沫内部产生热量。
13.按权利要求9至12一项或多项或尤其是如下所述的装置，其中，所述固态泡沫与一温度相对较低的周围环境(16)耦合为，使得所述固态泡沫的温度相对平均温度以至少5℃/s的温度变化率变化±10℃。
14.一种用于将有机原始材料成层沉积于基底(11)上的装置，包括气溶胶发生器(2)及处理室(10)，所述气溶胶发生器用于产生所述原始材料的定量配给的质量流量，所述质量流量的形式为在载气流中送往蒸发器(1)的悬浮粒子，所述蒸发器(1)具有传热面(15)，所述传热面可被加热至蒸发温度以蒸发所述悬浮粒子，所述处理室用于容纳所述基底(11)，由所述蒸发器(1)所产生的蒸气通过蒸气管道(5)送给所述处理室，其特征在于，设有按前述权利要求一项或多项所述的蒸发器。
15.按前述权利要求一项或多项或尤其是如下所述的装置，其中，设有用于测量所述传热面(15)的平均温度的温度传感器(24)及调节回路(25)，所述温度传感器信号作为调节变量传输给所述调节回路，且所述调节回路将所述有机原始材料的被送往所述蒸发器(1)的质量流量作为调节变量及该温度传感器信号的函数加以改变。
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