JP2014520210A - Oledの堆積方法および装置特にそのための蒸発装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】本発明は、はじめに、有機出発物質がキャリヤガス流れ内の浮遊粒子の形のエーロゾルとして蒸発器(1)内に導入され、浮遊粒子が蒸発器(1)内において温度制御により加熱された伝熱面(15)と接触し且つ伝熱面(15)の温度の関数でもある平均滞留時間後に蒸発し、このようにして発生された蒸気がキャリヤガスにより出口ガス流れとして蒸発器(1)からプロセスチャンバ(10)内に搬送され、プロセスチャンバ(10)内において該蒸気が基板(11)の表面上で凝縮して層を形成する、基板(11)上における有機出発物質からなる層の堆積方法に関するものである。エーロゾルの蒸発により発生された蒸気の時間的変動率を低減させるために、伝熱面(15)の温度が、出口ガス流れ内の発生蒸気質量流量(c)の時間的変化に対する応答として変化されることが提案される。さらに、本発明は、キャリヤガス流れ内に搬送された有機浮遊粒子の蒸発装置、並びにOLEDの堆積装置に関するものである。
【選択図】 図1
Description
2 エーロゾル発生器
2′ 貯蔵容器
3 キャリヤガス・ライン
4 エーロゾル・ライン
5 蒸気ライン
6 加熱スリーブ
7 CVDリアクタ・ハウジング
8 ガス入口機構(シャワヘッド)
9 サセプタ
10 プロセスチャンバ
11 基板
12 真空ポンプ
13 センサ
14 PID制御器
15 伝熱面
16 外筒
17 絶縁層
18 流入開口/流入ノズル
19 ガス分配器
19′ 衝突面
20 流出開口
21 空洞
22 電極
23 電極
24 温度センサ
25 PID制御器
26 質量流量制御器
a 質量流量(エーロゾル粒子)
b 質量流量(蒸気)
c 加熱エネルギー
Claims (15)
- 有機出発物質がキャリヤガス流れ内の浮遊粒子の形のエーロゾルとして蒸発器(1)内に導入され、
浮遊粒子が蒸発器(1)内において温度制御により加熱された伝熱面(15)と接触し且つ伝熱面(15)の温度の関数でもある平均滞留時間後に蒸発し、
このようにして発生された蒸気がキャリヤガスにより出口ガス流れとして蒸発器(1)からプロセスチャンバ(10)内に搬送され、プロセスチャンバ(10)内において該蒸気が基板(11)の表面上で凝縮して層を形成する、基板(11)上における有機出発物質からなる層の堆積方法において、
伝熱面(15)の温度が、出口ガス流れ内の発生蒸気質量流量(c)の時間的変化に対する応答として変化されることを特徴とする基板(11)上における有機出発物質からなる層の堆積方法。 - 滞留時間の間に蒸発器(1)内に含まれている特に未蒸発出発物質の質量が緩衝質量を形成し、該緩衝質量は、温度変化により、蒸発器(1)内に流入する出発物質の質量流量の時間的変動が補償されるように変化されることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 出口ガス流れ内のセンサ(13)を用いて決定された、キャリヤガス内の蒸気の流量または分圧に対応する値が制御量として制御ループ(14)に供給され、該制御ループ(14)は、操作量として伝熱面(15)に対する加熱エネルギー流量を変化させることを特徴とする請求項1または2に記載の方法。
- 制御ループ(14)の応答時間が、特に少なくとも係数5または10だけ、蒸発器(1)内の未蒸発有機出発物質の平均滞留時間より短いことを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の方法。
- 伝熱面(15)の温度変化速度が少なくとも5℃/s好ましくは少なくとも10℃/sであり且つ温度が加熱エネルギー流量の変化により±10°だけ変化可能であることを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の方法。
- パルス間の時間が平均滞留時間より小さい脈動入口ガス流れを特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載の方法。
- 伝熱面(15)が、開放細孔固体発泡体の、開放セル壁を形成するウェブにより構成された細孔によって形成され、該固体発泡体は、特に蒸発器(1)を形成する容器の壁を構成することを特徴とする請求項1ないし6のいずれかに記載の方法。
- 固体発泡体(15)または固体発泡体のコーティングが導電性であり且つ固体発泡体(15)ないしはコーティング内を流れる電流により抵抗加熱されることを特徴とする請求項1ないし7のいずれかに記載の方法。
- 内部に、入口ガス流れのための流入開口(18)、出口ガス流れのための流出開口(20)および伝熱面(15)を有する容器(1)の形の、キャリヤガス流れ内に搬送された有機浮遊粒子の蒸発装置であって、この場合、伝熱面(15)が、可変加熱エネルギー流量により、流入開口を介して容器(1)内に導入された浮遊粒子が伝熱面(15)と接触して有機蒸気に蒸発する動的に制御可能な温度に加熱可能であり、該有機蒸気は流出開口(20)を介して容器(1)から流出する。キャリヤガス流れ内に搬送された有機浮遊粒子の蒸発装置において、
有機蒸気の流量または蒸気分圧の関数であるセンサ信号を提供する、流出ガス流れ内に配置されたセンサ(13)と、および
可変熱エネルギー流量により温度を動的に制御するために、制御ループ(14)に制御量としてセンサ信号が供給され、および制御ループ(14)は操作量として加熱エネルギー流量を変化させる、該制御ループ(14)と、を特徴とするキャリヤガス流れ内に搬送された有機浮遊粒子の蒸発装置。 - 蒸発器(1)内に流入した出発物質が温度変化により設定可能な滞留時間の間蒸発器(1)内に滞留するように蒸発器(1)が形成され、これにより、出発物質は緩衝質量を形成し、緩衝質量は、温度変化により、蒸発器(1)内に流入した出発物質の質量流量の時間的変動が補償可能なように変化可能であることを特徴とする請求項9に記載の装置。
- 伝熱面(15)が、特に容器壁を形成する開放細孔固体発泡体により形成されることを特徴とする請求項9または10に記載の装置。
- 固体発泡体が導電性であり且つ2つの電極(22、23)と協働し、固体発泡体の内部に熱を発生させるために、電極(22、23)により加熱電流が固体発泡体内に通電可能であることを特徴とする請求項9ないし11のいずれかに記載の装置。
- 固体発泡体の温度が、平均温度に対して±10℃だけ、少なくとも5℃/sの温度変化速度により変化可能なように、固体発泡体がより低温の周辺(16)と結合されていることを特徴とする請求項9ないし12のいずれかに記載の装置。
- キャリヤガス流れ内で蒸発器(1)に搬送される浮遊粒子の形の出発物質の配量質量流量を発生させるためのエーロゾル発生器(2)であって、該蒸発器(1)が伝熱面(15)を有し、該伝熱面(15)は浮遊粒子を蒸発させるために蒸発温度に加熱可能である、該エーロゾル発生器(2)と、
蒸発器(1)から発生された蒸気が蒸気ライン(5)を介してそれに供給される、基板(11)を受け入れるためのプロセスチャンバ(10)と、を備えた、基板(11)上の層としての有機出発物質の堆積装置において、
請求項9ないし13のいずれかに記載の蒸発器を特徴とする基板(11)上の層としての有機出発物質の堆積装置。 - 伝熱面(15)の平均温度を測定するための温度センサ(24)と、および
制御ループ(25)に制御量として温度センサ信号が供給され、および制御ループ(25)は操作量として蒸発器(1)への有機出発物質の質量流量を温度センサ信号の関数として変化させる、該制御ループ(25)と、を特徴とする請求項9ないし14のいずれかに記載の装置。
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