JP2007531819A - 流動化した有機材料の気化 - Google Patents
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- Y10S427/101—Liquid Source Chemical Depostion, i.e. LSCVD or Aerosol Chemical Vapor Deposition, i.e. ACVD
Abstract
Description
(a)所定量の流動化した粉末形態の有機材料を供給し;
(b)その粉末化した有機材料を計量し、流動化した粉末流として第1の部材の上に誘導し;
(c)その第1の部材を加熱して流動化した上記粉末流を気化させ;
(d)気化した有機材料をマニホールド内に回収し;
(e)そのマニホールドに通じている少なくとも1つの開口部が形成された第2の部材を用意し、気化した有機材料をその第2の部材によって上記表面に誘導して膜を形成する操作を含む方法によって達成される。
Q1とQ2は、独立に、芳香族第三級アミン部分の中から選択され;
Gは、結合基(例えば、炭素-炭素結合のアリーレン基、シクロアルキレン基、アルキレン基など)である。
R1とR2は、それぞれ独立に、水素原子、アリール基、アルキル基のいずれかを表わすか、R1とR2は、合わさって、シクロアルキル基を完成させる原子を表わし;
R3とR4は、それぞれ独立にアリール基を表わし、そのアリール基は、構造式C:
R5とR6は、独立に、アリール基の中から選択される。一実施態様では、R5とR6のうちの少なくとも一方は、多環縮合環構造(例えばナフタレン)を含んでいる。
それぞれのAreは、独立に、アリーレン基(例えばフェニレン部分またはアントラセン部分)の中から選択され;
nは1〜4の整数であり;
Ar、R7、R8、R9は、独立に、アリール基の中から選択される。
10 有機材料導入口
15 ノズル
20 基部ブロック
30 制御通路
40 透過可能な第1の部材
45 容器
50 第2の部材
55 計量バルブ
60 マニホールド
70 シールド
75 装着用ロック装置
80 蒸着チェンバー
85 OLED基板
90 開口部
95 並進移動装置
100 真空源
110 OLEDデバイス
120 基板
130 アノード
135 正孔注入層
140 正孔輸送層
150 発光層
155 電子輸送層
160 電子注入層
170 有機層
190 カソード
Claims (38)
- 有機材料を気化させて表面に膜を形成する方法であって、
(a)所定量の流動化した粉末形態の有機材料を供給し;
(b)その粉末化した有機材料を計量し、流動化した粉末流として第1の部材の上に誘導し;
(c)その第1の部材を加熱して流動化した上記粉末流を気化させ;
(d)気化した有機材料をマニホールド内に回収し;
(e)そのマニホールドに通じている少なくとも1つの開口部が形成された第2の部材を用意し、気化した有機材料をその第2の部材によって上記表面に誘導して膜を形成する操作を含む方法。 - 有機材料を流動化した粉末の形態で供給する上記操作を、超臨界溶媒に上記有機材料を溶かした溶液を蒸発または急膨張させることによって行なう、請求項1に記載の方法。
- 流動化した上記有機材料を、バルブを用い、気化速度とともに直線的に変化する制御された速度で計量する、請求項1に記載の方法。
- 蒸着チェンバーを用意する操作と気化を中断する操作をさらに含んでおり、そのことによってその蒸着チェンバーの壁の汚染が最少になり、基板表面のコーティングを行なっていないときに有機材料が保持される、請求項1に記載の方法。
- 蒸気が上記開口部を出て上記表面に誘導される、請求項1に記載の方法。
- 上記有機材料が消費されていくとき、上記第1の部材と上記第2の部材を一定の温度に加熱する、請求項1に記載の方法。
- 上記バルブが加熱されたノズルを備える、請求項3に記載の方法。
- 有機材料を気化させて表面に膜を形成する方法であって、
(a)所定量の粉末形態の有機材料を容器に供給し;
(b)その粉末形態の有機材料を流動化し、計量し、流動化した粉末流として透過可能な第1の部材の上に誘導し;
(c)その透過可能な第1の部材を加熱し、流動化した上記粉末流を、その透過可能な上記第1の部材の中を通過するときに気化させ;
(d)気化した有機材料をマニホールド内に回収し;
(e)そのマニホールドに通じている少なくとも1つの開口部が形成された第2の部材を用意し、気化した有機材料をその第2の部材によって上記表面に誘導して膜を形成する操作を含む方法。 - 流動化した上記有機材料を、バルブを用い、気化速度とともに直線的に変化する制御された速度で計量する、請求項8に記載の方法。
- 蒸着チェンバーを用意する操作と気化を中断する操作をさらに含んでおり、そのことによってその蒸着チェンバーの壁の汚染が最少になり、基板表面のコーティングを行なっていないときに有機材料が保持される、請求項8に記載の方法。
- 蒸気が上記開口部を出て上記表面に誘導される、請求項8に記載の方法。
- 上記有機材料が消費されていくとき、透過可能な上記第1の部材と上記第2の部材を一定の温度に加熱する、請求項8に記載の方法。
- 上記バルブが加熱されたノズルを備える、請求項9に記載の方法。
- 有機材料を気化させて表面に膜を形成する方法であって、
(a)所定量の粉末形態の有機材料を容器に供給し;
(b)その粉末形態の有機材料を流動化し、計量し、流動化した粉末流として透過可能な第1の部材の上に誘導し;
(c)その透過可能な第1の部材を加熱し、流動化した上記粉末流を、その透過可能な上記第1の部材の中を通過するときに気化させ;
(d)気化した有機材料を加熱したマニホールド内に回収し;
(e)そのマニホールドに通じている少なくとも1つの開口部が形成された第2の部材を用意し、そのマニホールドの中に気化した上記有機材料が滞在する時間を、材料の分解がほとんどないかまったくなく、しかも蒸着速度をより大きくするのに十分な程度に短くする操作を含む方法。 - 流動化した上記有機材料を、バルブを用い、気化速度とともに直線的に変化する制御された速度で計量する、請求項14に記載の方法。
- 蒸着チェンバーを用意する操作と気化を中断する操作をさらに含んでおり、そのことによってその蒸着チェンバーの壁の汚染が最少になり、基板表面のコーティングを行なっていないときに有機材料が保持される、請求項14に記載の方法。
- 蒸気が上記開口部を出て上記表面に誘導される、請求項14に記載の方法。
- 上記有機材料が消費されていくとき、透過可能な上記第1の部材と上記第2の部材を一定の温度に加熱する、請求項14に記載の方法。
- 上記バルブが加熱されたノズルを備える、請求項15に記載の方法。
- 有機材料を気化させて表面に膜を形成するための装置であって、
(a)有機材料を流動化した粉末形態で供給する手段と;
(b)透過可能な第1の部材と;
(c)流動化した上記粉末状有機材料を計量し、流動化した粉末流として透過可能な上記第1の部材の上に誘導する手段と;
(d)透過可能な上記第1の部材を加熱し、流動化した上記粉末流がその中を通過するときに気化させる手段と;
(e)透過可能な上記第1の部材から出てくる気化した有機材料と通じておりこれを回収するマニホールドと;
(f)このマニホールドと通じている複数の開口部が形成されていて、気化した上記有機材料を上記表面に誘導して膜を形成する第2の部材とを備える装置。 - 有機材料を流動化した粉末形態で供給する上記手段が、その有機材料が超臨界流体に溶けた溶液を蒸発させるか急膨張させる手段を備える、請求項20に記載の装置。
- 流動化して誘導する上記手段が、気化した上記有機材料を、気化速度に比例して変化する制御された速度で計量するバルブを備える、請求項20に記載の装置。
- 基板を取り囲んでいて、気化した有機材料を受け入れる蒸着チェンバーと、加熱を中断する手段とをさらに備えることで、その蒸着チェンバーの壁の汚染が最少になるとともに、基板表面のコーティングを行なっていないときに有機材料が保持される、請求項20に記載の装置。
- 蒸気が上記開口部から出て上記表面に誘導される、請求項20に記載の装置。
- 上記有機材料が消費されていくとき、透過可能な上記第1の部材と上記第2の部材を一定の温度に加熱する手段をさらに備える、請求項20に記載の装置。
- 上記バルブが加熱されたノズルを備える、請求項22に記載の装置。
- 有機材料を気化させて表面に膜を形成するための装置であって、
(a)粉末形態になった所定量の有機材料を収容する容器と;
(b)透過可能な第1の部材と;
(c)上記粉末状有機材料を流動化して計量し、流動化した粉末流として透過可能な上記第1の部材の上に誘導する手段と;
(d)透過可能な上記第1の部材を加熱し、流動化した上記粉末流がその中を通過するときに気化させる手段と;
(e)透過可能な上記第1の部材から出てくる有機材料と通じておりこれを回収するマニホールドと;
(f)このマニホールドと通じている複数の開口部が形成されていて、気化した上記有機材料を上記表面に誘導して膜を形成する第2の部材とを備える装置。 - 流動化して誘導する上記手段が、気化した上記有機材料を、気化速度に比例して変化する制御された速度で計量するバルブを備える、請求項27に記載の装置。
- 基板を取り囲んでいて、気化した有機材料を受け入れる蒸着チェンバーと、加熱を中断する手段とをさらに備えることで、その蒸着チェンバーの壁の汚染が最少になるとともに、基板表面のコーティングを行なっていないときに有機材料が保持される、請求項27に記載の装置。
- 蒸気が上記開口部から出て上記表面に誘導される、請求項27に記載の装置。
- 上記有機材料が消費されていくとき、透過可能な上記第1の部材と上記第2の部材を一定の温度に加熱する手段をさらに備える、請求項27に記載の装置。
- 上記バルブが加熱されたノズルを備える、請求項28に記載の装置。
- 有機材料を気化させて基板の表面に膜を形成するための装置であって、
(a)粉末形態になった所定量の有機材料を収容する容器と;
(b)透過可能な第1の部材と;
(c)上記粉末状有機材料を流動化して計量し、流動化した粉末流として透過可能な上記第1の部材の上に誘導する手段と;
(d)透過可能な上記第1の部材を加熱し、流動化した上記粉末流がその中を通過するときに気化させる手段と;
(e)透過可能な上記第1の部材から出てくる有機材料と通じておりこれを回収するマニホールドと;
(f)このマニホールドと通じている複数の開口部が形成されていて、そのマニホールドの中に気化した上記有機材料が滞在する時間が、材料の分解がほとんどないかまったくなく、しかも蒸着速度をより大きくするのに十分な程度に短くされている第2の部材を備える装置。 - 流動化して誘導する上記手段が、気化した上記有機材料を、気化速度に比例して変化する制御された速度で計量するバルブを備える、請求項33に記載の装置。
- 基板を取り囲んでいて、気化した有機材料を受け入れる蒸着チェンバーと、加熱を中断する手段とをさらに備えることで、その蒸着チェンバーの壁の汚染が最少になるとともに、基板表面のコーティングを行なっていないときに有機材料が保持される、請求項33に記載の装置。
- 蒸気が上記開口部から出て上記表面に誘導される、請求項33に記載の装置。
- 上記有機材料が消費されていくとき、透過可能な上記第1の部材と上記第2の部材を一定の温度に加熱する手段をさらに備える、請求項33に記載の装置。
- 上記バルブが加熱されたノズルを備える、請求項34に記載の装置。
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