WO2016104633A1 - ヒーターユニット及び浸炭炉 - Google Patents

ヒーターユニット及び浸炭炉 Download PDF

Info

Publication number
WO2016104633A1
WO2016104633A1 PCT/JP2015/086073 JP2015086073W WO2016104633A1 WO 2016104633 A1 WO2016104633 A1 WO 2016104633A1 JP 2015086073 W JP2015086073 W JP 2015086073W WO 2016104633 A1 WO2016104633 A1 WO 2016104633A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
heater
heating element
furnace
heater unit
carburizing furnace
Prior art date
Application number
PCT/JP2015/086073
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
恒孝 山田
Original Assignee
Ｄｏｗａサーモテック株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ｄｏｗａサーモテック株式会社 filed Critical Ｄｏｗａサーモテック株式会社
Priority to US15/539,983 priority Critical patent/US10499460B2/en
Priority to CN201580065692.0A priority patent/CN107006079B/zh
Publication of WO2016104633A1 publication Critical patent/WO2016104633A1/ja

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C8/00—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
    • C23C8/06—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases
    • C23C8/08—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases only one element being applied
    • C23C8/20—Carburising
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B3/00—Ohmic-resistance heating
    • H05B3/02—Details
    • H05B3/06—Heater elements structurally combined with coupling elements or holders
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C8/00—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
    • C23C8/06—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases
    • C23C8/08—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases only one element being applied
    • C23C8/20—Carburising
    • C23C8/22—Carburising of ferrous surfaces
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27D—DETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
    • F27D11/00—Arrangement of elements for electric heating in or on furnaces
    • F27D11/02—Ohmic resistance heating
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27D—DETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
    • F27D11/00—Arrangement of elements for electric heating in or on furnaces
    • F27D11/12—Arrangement of elements for electric heating in or on furnaces with electromagnetic fields acting directly on the material being heated
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27D—DETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
    • F27D7/00—Forming, maintaining, or circulating atmospheres in heating chambers
    • F27D7/06—Forming or maintaining special atmospheres or vacuum within heating chambers
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27D—DETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
    • F27D99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • F27D99/0001—Heating elements or systems
    • F27D99/0006—Electric heating elements or system
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B3/00—Ohmic-resistance heating
    • H05B3/62—Heating elements specially adapted for furnaces
    • H05B3/66—Supports or mountings for heaters on or in the wall or roof

Definitions

  • the present invention relates to a heater unit for a carburizing furnace that performs a carburizing process on a workpiece.
  • Patent Document 1 describes a planar metal heater used in a continuous heat treatment furnace.
  • Patent Document 2 describes a Kanthal (registered trademark) heater disposed along the inner wall of a heating furnace.
  • Patent Document 3 describes a heater having a U-shaped heating element or a bellows-shaped heater in which U-shaped heating elements are connected.
  • Patent Document 4 describes a bellows-like heater provided so as to be inserted horizontally from a side wall of a heating furnace.
  • the above heaters are also used in carburizing furnaces that carburize low carbon steel workpieces.
  • the furnace wall of a carburizing furnace is generally composed of an outer wall (iron skin) and a plurality of heat insulating materials.
  • the heater for the carburizing furnace is disposed facing a heat insulating material (hereinafter referred to as “first heat insulating material”) located on the innermost side of the furnace wall.
  • the heater since the heater has a structure that releases heat radially from the heating element, heat is released not only to the inside of the furnace but also to the outer wall side. That is, heat is also supplied to the first heat insulating material, and the temperature of the furnace inner surface of the first heat insulating material becomes close to 900 ° C.
  • sooting a phenomenon in which soot adheres
  • Sooting is particularly likely to occur when the temperature reaches 700 to 800 ° C., and the amount of soot deposits increases in that temperature range.
  • the temperature on the furnace inner surface of the first heat insulating material is 900 ° C.
  • the temperature on the outer wall side surface of the first heat insulating material is 800 ° C. or lower. That is, the temperature of the outer wall side surface of the first heat insulating material is a temperature at which sooting starts to occur. For this reason, in a conventional carburizing furnace, sooting occurs between the first heat insulating material and the heat insulating material located further outside the first heat insulating material (hereinafter referred to as “second heat insulating material”). Was.
  • the thickness of the ridge increases between the heat insulating materials. Thereby, the 1st heat insulating material is extruded inside the furnace. If the state as it is continues, there is a possibility that the first heat insulating material may float or fall out to the inside of the furnace. For this reason, conventionally, “burn-out” has been performed in which the soot adhering between the heat insulating materials is burned and removed.
  • JP 2012-233649 A Japanese Patent Laid-Open No. 10-273396 JP 2000-252047 A JP 2001-74226 A
  • This invention is made
  • the present invention for solving the above-mentioned problems is a heater unit for a carburizing furnace, comprising: a heater that heats the atmosphere in the furnace; and a heater support member that reflects the radiant heat of the heater; And a heating element constituting the heating part is formed in a bellows shape.
  • the heat generating part of the heater is attached to the heater supporting member that reflects the radiant heat, so that the radiant heat emitted from the heat generating part to the outer wall side is reflected by the heater supporting member. be able to.
  • the temperature of the furnace inner surface of the heat insulating material on the innermost side of the furnace wall can be lowered. For this reason, sooting can be generated on the furnace inner surface of the heat insulating material. That is, it is possible to prevent sooting from occurring on the outer wall side surface of the heat insulating material located on the innermost side of the furnace wall.
  • the present invention it is possible to prevent the heat insulating material from being lifted or dropped due to the occurrence of sooting. As a result, it is possible to lengthen the burnout execution cycle and improve productivity.
  • FIG. 2 is a schematic view showing an AA cross section in FIG. 1. It is a front view which shows schematic structure of the heater unit which concerns on embodiment of this invention. It is a top view which shows schematic structure of the heater unit which concerns on embodiment of this invention. It is a front view which shows schematic structure of the heater which concerns on embodiment of this invention.
  • FIG. 4 is a schematic view taken along the line BB in FIG. 3.
  • the carburizing furnace 1 has a rectangular outer shape in plan view.
  • a carry-in entrance 2 for carrying the workpiece W is formed in the hearth at one corner among the four corners of the carburizing furnace 1.
  • a heat-resistant brick 3 is arranged at the center in the carburizing furnace so as to extend from one side wall toward the other side wall.
  • the heat-resistant brick 3 is provided in contact with the hearth and the ceiling.
  • the workpiece W carried in from the carry-in entrance 2 is conveyed along the periphery of the heat-resistant brick 3.
  • a carry-out port 4 for carrying out the workpiece W is formed on the side wall portion of the carburizing furnace 1 that is downstream in the workpiece conveyance direction T.
  • the furnace wall 5 of the carburizing furnace 1 is composed of an outer wall 6 made of iron skin or the like and a heat insulating material 7 provided inside the outer wall 6.
  • the heat insulating material 7 has a multi-layer structure including a first heat insulating material 7 a located on the innermost side of the furnace wall 5 and a second heat insulating material 7 b provided outside the first heat insulating material 7 a. Yes.
  • the heat insulating material 7 which comprises the furnace wall 5 it is preferable to use high performance heat insulating materials, such as a Roslim (trademark) board, for example.
  • a plurality of elevating partition doors 8 are provided in the furnace. When each of these partition doors 8 is closed, a plurality of sealed spaces are formed by the partition door 8, the furnace wall 5, and the heat-resistant brick 3. Each sealed space functions as a heat treatment chamber 9 that performs a desired heat treatment on the workpiece W.
  • each heat treatment chamber 9 has a heat treatment chamber in which the carry-in entrance 2 is formed as a first temperature raising chamber 9a, and sequentially along the transfer direction T, a second temperature raising chamber 9b, a first carburizing chamber 9c, a second carburizing chamber 9d, It functions as 3 carburizing chamber 9e, diffusion chamber 9f, descending chamber 9g, and quenching chamber 9h.
  • a heater unit 10 for heating the atmosphere in the furnace is provided on the side wall portion of the carburizing furnace 1 and the heat-resistant brick 3.
  • the heater unit 10 is disposed in the heat treatment chamber 9 in the first half of the transfer line in order to heat the workpiece W carried in at a low temperature.
  • each heat treatment chamber 9 from the first heating chamber 9a to the second carburizing chamber 9d is provided.
  • the heater unit 10 includes a heater 20 serving as a heat source and a heater support member 30.
  • the heater 20 includes a heat generating part G configured by a heat generating element 21 (for example, Kanthal wire) and lead wires 22 connected to both ends of the heat generating element 21.
  • the heating element 21 is a single tubular member, and is formed in a bellows shape so as to be repeatedly bent from a connection location with one lead wire 22 to a connection location with the other lead wire 22. . *
  • the linear portion 21a of the heating element 21 is formed to be perpendicular to the longitudinal direction of the heating portion G in the front view of the heater as shown in FIG.
  • the “heat generating portion” in the present specification refers to a portion surrounded by a horizontal plane and a vertical plane in contact with the heating element 21 in a front view of the heater as shown in FIG.
  • the heat generating part G in the present embodiment is a part surrounded by a broken line shown in FIG.
  • the vertical direction V is the longitudinal direction of the heat generating part G.
  • the heating element 21 is stretched due to thermal expansion during heat generation. If this stretching accumulates in the same direction, the heater 20 may come off the heater support member 30. For example, when the straight portion 21a of the heating element 21 faces the longitudinal direction of the heating portion G, the elongation in the same direction is likely to accumulate. For this reason, the heater 20 may fall off from the heater support member 30. Further, in a state where the elongation in the same direction is likely to accumulate, the linear portion 21a becomes longer due to thermal expansion, so that the curved portion 21b of the heating element 21 is in front of or behind the linear portion 21a in a plan view as shown in FIG. There is a risk of warping being located at Thereby, the flatness as the heater 20 may be impaired, and the heat distribution may be non-uniform.
  • the linear portion 21a of the heating element 21 according to the present embodiment is formed to be perpendicular to the longitudinal direction of the heating portion G as described above. For this reason, accumulation of elongation due to thermal expansion can be reduced. Thereby, generation
  • the heating element 21 has a shape in which the straight portions 21a are arranged in a straight line. That is, the heating element 21 of the heater 20 is formed in a planar shape so that all the straight portions 21a are in contact with one arbitrary plane in a side view. As described above, since the heating element 21 is formed in a planar shape in a side view, the heat radiation amount of the heating element 21 with respect to the furnace atmosphere can be made uniform, and the furnace temperature can be easily made uniform. Thereby, carburizing process quality can be improved.
  • the heater support member 30 includes a rear plate 31, a reflector 32 that reflects the radiant heat of the heater 20, and a support member 33 that restricts the movement of the heating element 21 to the inside of the furnace.
  • the rear plate 31 is made of, for example, SiC
  • the reflection plate 32 and the support member 33 are made of, for example, mullite.
  • each support member 33 is formed with a protruding portion 33 a that protrudes in the longitudinal direction of the linear portion 21 a of the heating element 21.
  • the protruding portion 33a By forming the protruding portion 33a in this way, the concave portion 33b is also formed.
  • the recess 33b is formed so as to cover the front surface of the curved portion of the heating element 21 and the back surface of the end portion of the reflector.
  • Each protrusion 33a has such a length as to cover the curved portion 21b of the heating element 21, as shown in FIG. For this reason, even if the heating element 21 is likely to move to the inside of the furnace, the movement of the curved portion 21b of the heating element 21 can be limited by the protrusion 33a (hereinafter referred to as “curve support portion 33a”). . Thereby, it is possible to prevent the heater 20 from being detached from the heater support member 30.
  • the curve support portion 33a does not cover the entire curve portion 21b of the heating element 21 in the front view as shown in FIG. 3, but covers only a part of the curve portion 21b. Thereby, the area which the curved part 21b of the heat generating body 21 is exposed increases, and the amount of heat released to the inside of the furnace can be increased.
  • each curve support portion 33a is provided at the same interval as the interval P between adjacent curve portions 21b of the heating element 21. For this reason, the area of each curved part 21b exposed in the heater front view becomes equal. Thereby, the amount of heat released from the heating element 21 to the inside of the furnace can be made uniform. As a result, it is possible to maintain the soaking temperature in the furnace atmosphere, and the carburizing quality can be improved.
  • the curved portion 21b of the heating element 21 and the end of the reflection plate 32 are arranged in the recess 33b, the gap formed between the heating element 21 and the reflection plate 32 can be easily set. It becomes possible. Further, since the curved portion 21b is disposed in the concave portion 33b, it is possible to prevent the heater 20 from being shifted from the set position due to the thermal expansion of the heating element 21.
  • the gap between the heating element 21 and the reflection plate 32 is preferably 200 mm or less. If the gap exceeds 200 mm, it is necessary to increase the furnace volume, leading to an increase in the size of the furnace.
  • a more preferable gap between the heating element 21 and the reflecting plate 32 is 5 mm or more and 100 mm or less.
  • a gap of 5 mm or more and 200 mm or less is formed between the rear plate 31 and the reflection plate 32.
  • the furnace is increased in size.
  • a more preferable gap between the rear plate 31 and the reflecting plate 32 is 5 mm or more and 10 mm or less.
  • the front end portion of the fixing bracket 34 is attached to the rear surface of the rear plate 31.
  • the front end of the fixing bracket 34 has a bifurcated shape and penetrates the rear plate 31.
  • a flat plate member 36 is attached to each distal end portion of the fixing bracket 34.
  • the rear end portion of the fixture 34 is attached to the outer wall 6 of the furnace wall 5 or embedded in the heat-resistant brick 3.
  • the reflecting plate 32 is provided with a linear support portion 32a that supports the linear portion 21a of the heating element 21.
  • the linear support portion 32a is formed so as to protrude between adjacent linear portions 21a of the heating element 21 in a side view shown in FIG.
  • a reflector support block 35 that supports the reflector 32 is provided between the heat generating part G of the heater 20 and the first heat insulating material 7a.
  • the lower surface of the linear support portion 32 a located at the lowermost position of the reflection plate 32 is in contact with the reflection plate support block 35. Thereby, the position of the reflecting plate 32 in the vertical direction is restricted.
  • the reflector support block 35 is formed of, for example, SK38 that is a refractory brick.
  • each linear support part 32a of the reflecting plate 32 also has a role of preventing abnormal heating of the heating element 21.
  • the heating element 21 is formed in a bellows shape, heat concentrates inside the curved portion 21b of the heating element 21, so that abnormal heating is likely to occur.
  • each linear support part 32a which concerns on this embodiment is formed so that the length of each linear support part 32a may become equal to the length of the linear part 21a of the heat generating body 21. FIG. Thereby, the heat concentrated on the inner side of the curved portion 21b can be easily released via the linear support portion 32a. As a result, it is possible to prevent abnormal heating in the curved portion 21b of the heating element 21.
  • the heater unit 10 according to the present embodiment is configured as described above.
  • the heater unit 10 In such a heater unit 10 as well, heat is radiated from the heating element 21 in a radial manner as in the conventional case. That is, the released heat is released not only inside the furnace but also on the rear plate side (outer wall side).
  • the heater unit 10 according to the present embodiment is provided with a reflecting plate 32 that reflects radiant heat on the rear plate 31 side of the heat generating part G. For this reason, the radiant heat emitted to the rear plate 31 side is reflected by the reflecting plate 32. Thereby, the temperature rise of the back surface (surface on the outer wall side) of the rear plate 31 can be suppressed.
  • the temperature between the heater unit 10 and the first heat insulating material 7a is a temperature at which sooting is likely to occur. That is, sooting is likely to occur between the heater unit 10 and the first heat insulating material 7a, and sooting is difficult to occur between the first heat insulating material 7a and the second heat insulating material 7b. Thereby, it is possible to prevent the first heat insulating material 7a from being lifted up or dropped off due to progress of sooting.
  • the heater support member 30 is configured by the rear plate 31, the reflection plate 32, and the support member 33.
  • the configuration of the heater support member 30 and the fixing method of each member will be described in the above embodiment. It is not limited to what you did.
  • the effect of preventing the occurrence of sooting between the heat insulating materials described in the above embodiments can be enjoyed if the heat generating portion G of the heater 20 is attached to the heater support member 30 provided with a reflecting member.
  • the reflecting member may not be plate-shaped.
  • the heat insulating material 7 constituting the furnace wall 5 may have a single layer structure.
  • the Kanthal wire is used as the heating element of the heater 20, but the heating element is not limited to this.
  • the reflecting plate 32 is provided on the back side of the heat generating part G of the heater 20, so that the temperature on the back side of the rear plate 31 can be lowered.
  • the workpiece loading direction of the carburizing furnace 1 is the vertical direction
  • the heater unit 10 according to the present invention can also be applied to a carburizing furnace in which the workpiece loading direction is the horizontal direction.
  • the heater 20 and the heater support member 30 may be formed to have a curvature in a plan view as shown in FIG. 3 and applied to a circular furnace.
  • the heater unit 10 can be applied not only to a continuous type carburizing furnace but also to a batch type carburizing furnace.
  • the present invention can be applied to a carburizing furnace that performs a carburizing process on a workpiece.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Solid-Phase Diffusion Into Metallic Material Surfaces (AREA)
  • Resistance Heating (AREA)
  • Control Of Resistance Heating (AREA)
  • Furnace Details (AREA)

Abstract

　ワークの浸炭処理を行う浸炭炉用のヒーターユニットにおいて、炉内雰囲気を加熱するヒーターと、ヒーターの輻射熱を反射するヒーター支持部材とが設けられ、ヒーター支持部材にヒーターの発熱部が取り付けられ、発熱部を構成する発熱体が蛇腹状に形成されている。

Description

ヒーターユニット及び浸炭炉
　本発明は、ワークの浸炭処理を行う浸炭炉用のヒーターユニットに関する。
　被処理体の熱処理を行う熱処理炉内には、炉内雰囲気を加熱するためのヒーターが設けられる。熱処理炉に用いられるヒーターとして、例えば、特許文献１には連続熱処理炉に用いられる面状金属ヒーターが記載されている。また、特許文献２には、加熱炉の内壁に沿って配置されたカンタル（登録商標）ヒーターが記載されている。特許文献３には、発熱体の形状がＵ字形のヒーター又はＵ字形の発熱体を連ねた蛇腹状のヒーターが記載されている。特許文献４には、加熱炉の側壁から水平に挿入されるように設けられた蛇腹状のヒーターが記載されている。このように、熱処理炉用のヒーターには、様々な種類のものがある。
　上記のようなヒーターは、低炭素鋼のワークに浸炭処理を施す浸炭炉にも採用される。浸炭炉の炉壁は、外壁（鉄皮）と複数の断熱材で構成されることが一般的である。浸炭炉用のヒーターは、炉壁の最も内側に位置する断熱材（以下、「第１の断熱材」という）に面して配置される。
　しかし、ヒーターは、熱を発熱体から放射状に放出する構造であるため、炉内側だけでなく、外壁側に対しても熱が放出する。即ち、上記の第１の断熱材にも熱が供給されることになり、第１の断熱材の炉内側表面の温度は９００℃近くになってしまう。
　一方、浸炭炉内においては、浸炭処理中に導入される浸炭ガスや、浸炭処理後に残留する浸炭ガスにより、炉内にスーティング（煤が付着する現象）が発生する。スーティングは、温度が７００～８００℃となった際に特に発生しやすく、その温度域においては煤の付着量が多くなる。
　前述の通り、第１の断熱材の炉内側表面の温度は９００℃であるため、第１の断熱材の外壁側表面の温度は、８００℃以下の温度となる。即ち、第１の断熱材の外壁側表面の温度は、スーティングが発生し始める温度となる。このため、従来の浸炭炉においては、第１の断熱材と、第１の断熱材の更に外側に位置する断熱材（以下、「第２の断熱材」という）との間でスーティングが発生していた。
　第１の断熱材と第２の断熱材との間でスーティングが発生し続けると、断熱材間で煤の厚みが増していく。これにより、第１の断熱材が炉内側に押し出されていく。そのままの状態が続くと、第１の断熱材の浮き上がりや炉内側への脱落が起こるおそれがある。このため、従来は、断熱材間に付着した煤を燃焼させて除去する“バーンアウト”を実施していた。
特開２０１２－２３３６４９号公報 特開平１０－２７３３９６号公報 特開２０００－２５２０４７号公報 特開２００１－７４２２６号公報
　しかしながら、バーンアウトを実施している間はワークの浸炭処理を行うことができない。即ち、定期的にバーンアウトを実施することは、生産性を低下させる要因となる。
　本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、断熱材の外壁側表面におけるスーティングの発生を抑制し、生産性を向上させることを目的とする。
　上記課題を解決する本発明は、浸炭炉用ヒーターユニットであって、炉内雰囲気を加熱するヒーターと、ヒーターの輻射熱を反射するヒーター支持部材とを備え、前記ヒーター支持部材に前記ヒーターの発熱部が取り付けられ、前記発熱部を構成する発熱体が蛇腹状に形成されていることを特徴としている。
　本発明に係るヒーターユニットを浸炭炉に取り付ければ、ヒーターの発熱部が輻射熱を反射するヒーター支持部材に取り付けられていることにより、発熱部から外壁側に放出される輻射熱をヒーター支持部材で反射させることができる。これにより、炉壁の最も内側にある断熱材の炉内側表面の温度を下げることができる。このため、その断熱材の炉内側表面でスーティングを発生させることができる。即ち、炉壁の最も内側に位置する断熱材の外壁側表面でスーティングが発生することを防ぐことができる。
　本発明によれば、スーティングの発生に起因する断熱材の浮き上がりや脱落を防ぐことができる。その結果、バーンアウトの実施周期を長くすることが可能となり、生産性を向上させることができる。
本発明の実施形態に係る浸炭炉の概略構成を示す平面図である。 図１中のＡ－Ａ断面を示す模式図である。 本発明の実施形態に係るヒーターユニットの概略構成を示す正面図である。 本発明の実施形態に係るヒーターユニットの概略構成を示す平面図である。 本発明の実施形態に係るヒーターの概略構成を示す正面図である。 図３中のＢ－Ｂ断面を模式図である。
　以下、本発明の実施形態に係るヒーターユニットについて、図面を参照しながら説明する。以下の説明においては、本実施形態に係るヒーターユニットを、浸炭処理に関する一連の熱処理を実施する連続式浸炭炉に適用した例を示す。なお、本明細書および図面において、実質的に同一の機能構成を有する要素においては、同一の符号を付することにより重複説明を省略する。
　図１に示すように、本実施形態に係る浸炭炉１は、平面視において方形状の外形を有している。その浸炭炉１の四隅のうちの一隅の炉床には、ワークＷを搬入する搬入口２が形成されている。図１，図２に示すように、浸炭炉内の中央部には、一方の側壁から他方の側壁に向かって延びるようにして耐熱レンガ３が配置されている。耐熱レンガ３は、炉床及び天井部に接するように設けられている。搬入口２から搬入されたワークＷは、その耐熱レンガ３の周囲に沿って搬送される。ワーク搬送方向Ｔの下流にある浸炭炉１の側壁部には、ワークＷを搬出する搬出口４が形成されている。
　浸炭炉１の炉壁５は、鉄皮等から成る外壁６と、外壁６の内側に設けられた断熱材７で構成されている。断熱材７は、炉壁５の最も内側に位置する第１の断熱材７ａと、第１の断熱材７ａの外側に設けられた第２の断熱材７ｂで構成された複層構造となっている。なお、炉壁５を構成する断熱材７は、例えばロスリム（登録商標）ボード等の高性能断熱材を用いることが好ましい。
　また、炉内には、昇降式の仕切扉８（図２には不図示）が複数設けられている。これらの各仕切扉８が閉じている場合には、仕切扉８、炉壁５、耐熱レンガ３により複数の密閉空間が形成される。各密閉空間は、ワークＷに所望の熱処理を施す熱処理室９として機能する。
　本実施形態に係る浸炭炉１では、仕切扉８により炉内が８つに区分けされる。各熱処理室９は、搬入口２が形成された熱処理室を第１昇温室９ａとして、搬送方向Ｔに沿って順に、第２昇温室９ｂ、第１浸炭室９ｃ、第２浸炭室９ｄ、第３浸炭室９ｅ、拡散室９ｆ、降温室９ｇ、焼入れ室９ｈとして機能する。
　また、浸炭炉１の側壁部および耐熱レンガ３には、炉内雰囲気を加熱するヒーターユニット１０が設けられている。ヒーターユニット１０は、温度の低い状態で搬入されたワークＷを加熱するために、搬送ラインの前半の熱処理室９に配置されている。本実施形態においては、第１昇温室９ａから第２浸炭室９ｄまでの各熱処理室９に設けられている。
　図３，図４に示すように、本実施形態に係るヒーターユニット１０は、発熱源となるヒーター２０と、ヒーター支持部材３０から構成されている。図５に示すように、本実施形態に係るヒーター２０は、発熱体２１（例えばカンタル線）で構成される発熱部Ｇと、発熱体２１の両端部に接続されたリード線２２で構成される。発熱体２１は、１本の管状部材であり、一方のリード線２２との接続箇所から他方のリード線２２との接続箇所までの間で、繰り返し折り曲げられるようにして蛇腹状に形成されている。　
　発熱体２１の直線部２１ａは、図５に示すようなヒーター正面視において、発熱部Ｇの長手方向に対して垂直となるように形成されている。ここで、本明細書における「発熱部」とは、図５に示すようなヒーター正面視において、発熱体２１に接する水平面と鉛直面に囲まれた部分を指す。本実施形態における発熱部Ｇは、図５に示す破線で囲まれた部分となる。なお、本実施形態においては、ヒーター正面視における発熱部Ｇの長さが、水平方向Ｈの長さより鉛直方向Ｖの方が長いため、鉛直方向Ｖが発熱部Ｇの長手方向となる。
　発熱体２１は、発熱中に熱膨張によって伸びが生じるが、この伸びが同一方向に蓄積していくと、ヒーター２０がヒーター支持部材３０から外れるおそれがある。例えば、発熱体２１の直線部２１ａが発熱部Ｇの長手方向に向いている場合には、同一方向の伸びが蓄積しやすい。このため、ヒーター２０がヒーター支持部材３０から脱落するおそれがある。また、同一方向の伸びが蓄積しやすい状態では、直線部２１ａが熱膨張で長くなることによって、図４に示すような平面視において、発熱体２１の曲線部２１ｂが直線部２１ａの前方又は後方に位置するような反りが生じるおそれがある。これにより、ヒーター２０としての平面性が損なわれ、熱分布が不均一になるおそれがある。
　これに対して、本実施形態に係る発熱体２１の直線部２１ａは、前述の通り、発熱部Ｇの長手方向に対して垂直となるように形成されている。このため、熱膨張による伸びの蓄積を軽減することができる。これにより、ヒーター２０がヒーター支持部材３０から外れる等の不具合の発生を抑制することができる。また、直線部２１ａが発熱部Ｇの長手方向に向いている場合に比べて、発熱体２１の熱膨張による反りを抑制することができる。これにより、ヒーター２０としての平面性を維持することができるため、熱分布が不均一になることを防ぐことができる。
　また、本実施形態に係る発熱体２１は、図６の縦断面図に示すように、直線部２１ａが一直線上に並ぶような形状を有している。即ち、ヒーター２０の発熱体２１は、側面視において、任意の１平面に対して全ての直線部２１ａが接するように平面状に形成されている。このように発熱体２１が側面視において平面状に形成されていることにより、炉内雰囲気に対する発熱体２１の放熱量を均一にすることが可能となり、炉内温度を均一にしやすくなる。これにより、浸炭処理品質を向上させることができる。
　図３，図４に示すように、ヒーター支持部材３０は、リアプレート３１と、ヒーター２０の輻射熱を反射する反射板３２と、発熱体２１の炉内側への移動を制限するサポート部材３３で構成されている。なお、リアプレート３１は例えばＳｉＣで形成され、反射板３２及びサポート部材３３は例えばムライトで形成される。
　図３，図４に示すように、リアプレート３１とサポート部材３３は、ボルト固定されている。サポート部材３３は、リアプレート３１の両側端部と中央部にそれぞれ設けられている。図４の平面視で示されるように、各サポート部材３３には、発熱体２１の直線部２１ａの長手方向に突出する突出部３３ａが形成されている。このように突出部３３ａが形成されていることにより、凹部３３ｂも形成される。凹部３３ｂは、発熱体２１の曲線部前面と反射板端部の背面を覆うように形成されている。
　各突出部３３ａは、図３に示すように、発熱体２１の曲線部２１ｂを覆うような長さを有している。このため、発熱体２１が炉内側に移動しそうになったとしても、その突出部３３ａ（以下、「曲線支持部３３ａ」という）によって、発熱体２１の曲線部２１ｂの移動を制限することができる。これにより、ヒーター２０がヒーター支持部材３０から外れることを防ぐことができる。
　また、曲線支持部３３ａは、図３に示すような正面視において、発熱体２１の曲線部２１ｂを全て覆ってはおらず、曲線部２１ｂの一部のみを覆っている。これにより、発熱体２１の曲線部２１ｂが露出する面積が増え、炉内側に放出する熱量を増やすことができる。
　また、曲線支持部３３ａは複数設けられているが、各曲線支持部３３ａは、発熱体２１の隣り合う曲線部２１ｂの間隔Ｐと同一の間隔で設けられている。このため、ヒーター正面視において露出する各曲線部２１ｂの面積がそれぞれ等しくなる。これにより、発熱体２１から炉内側に放出される熱量を均一にすることができる。その結果、炉内雰囲気の均熱を保つことが可能となり、浸炭処理品質を向上させることができる。
　また、発熱体２１の曲線部２１ｂ及び反射板３２の端部が凹部３３ｂに配置される構造とすることで、発熱体２１と反射板３２との間に形成される隙間の設定を容易に行うことが可能となる。また、曲線部２１ｂが凹部３３ｂに配置されていることにより、発熱体２１の熱膨張に伴うヒーター２０の設定位置からのずれを防ぐことができる。
　なお、発熱体２１と反射板３２との間には、５ｍｍ以上の隙間が形成されていることが好ましい。これにより、後述の輻射熱を反射させる効果を向上させることが可能となる。一方、発熱体２１と反射板３２との隙間は、２００ｍｍ以下であることが好ましい。隙間が２００ｍｍを超えると、炉内容積を大きくすることが必要となり、炉の大型化につながってしまう。発熱体２１と反射板３２の更に好ましい隙間は、５ｍｍ以上、１００ｍｍ以下である。
　また、リアプレート３１と反射板３２との間には、５ｍｍ以上、２００ｍｍ以下の隙間が形成されていることが好ましい。リアプレート３１と反射板３２の隙間が大きくなると、炉の大型化につながる。リアプレート３１と反射板３２の更に好ましい隙間は、５ｍｍ以上、１０ｍｍ以下である。
　また、図４に示すように、リアプレート３１の背面には、固定金具３４の先端部が取り付けられている。固定金具３４の先端部は二又形状となっており、リアプレート３１を貫通した状態となっている。また、固定金具３４の各先端部には、それぞれ平板部材３６が取り付けられている。一方、固定金具３４の後端部は、図１に示すように、炉壁５の外壁６に取り付けられるか、あるいは、耐熱レンガ３に埋め込まれた状態となっている。このように固定金具３４が取り付けられることで、リアプレート３１の前倒れを防ぐことができる。これにより、ヒーターユニット１０が炉内側に倒れることを防いでいる。
　また、反射板３２には、発熱体２１の直線部２１ａを支持する直線支持部３２ａが設けられている。直線支持部３２ａは、図６に示す側面視において、発熱体２１の隣り合う直線部２１ａ間に突出するように形成されている。
　また、図３，図６に示すように、ヒーター２０の発熱部Ｇと第１の断熱材７ａとの間には、反射板３２を支持する反射板支持ブロック３５が設けられている。反射板３２の最も下方に位置する直線支持部３２ａは、下面が反射板支持ブロック３５に接した状態となっている。これにより、反射板３２の鉛直方向の位置が拘束される。なお、反射板支持ブロック３５は、例えば耐火レンガであるＳＫ３８で形成される。
　また、反射板３２の各直線支持部３２ａは、発熱体２１の異常加熱を防ぐ役割も有している。発熱体２１が蛇腹状に形成される場合、発熱体２１の曲線部２１ｂの内側において熱が集中するため、異常加熱が生じやすくなる。これに対して、本実施形態に係る各直線支持部３２ａは、各直線支持部３２ａの長さが発熱体２１の直線部２１ａの長さに等しくなるように形成されている。これにより、直線支持部３２ａを介して曲線部２１ｂの内側に集中する熱を逃がしやすくすることができる。その結果、発熱体２１の曲線部２１ｂにおける異常加熱を防ぐことが可能となる。
　本実施形態に係るヒーターユニット１０は、上記のように構成される。
　このようなヒーターユニット１０においても、従来と同様に、発熱体２１から放射状に熱が放出される。即ち、放出される熱は、炉内側だけなく、リアプレート側（外壁側）にも放出される。しかしながら、本実施形態に係るヒーターユニット１０は、発熱部Ｇのリアプレート３１側に輻射熱を反射する反射板３２が設けられている。このため、リアプレート３１側に放出される輻射熱は、反射板３２で反射されることになる。これにより、リアプレート３１の背面（外壁側の表面）の温度上昇を抑制することができる。
　その結果、ヒーターユニット１０と第１の断熱材７ａとの間の温度は、スーティングが発生しやすい温度となる。即ち、ヒーターユニット１０と第１の断熱材７ａとの間でスーティングが発生しやすくなり、第１の断熱材７ａと第２の断熱材７ｂとの間では、スーティングが発生し難くなる。これにより、スーティングの進行に起因する第１の断熱材７ａの浮き上がりや脱落等の発生を防ぐことが可能となる。
　一方で、ヒーターユニット１０と第１の断熱材７ａとの間においては、スーティングが進行し続けることになる。このため、依然として定期的なバーンアウトを実施する必要はある。しかし、ヒーターユニット１０は、リアプレート３１に固定金具３４が取り付けられていることから、炉内側に倒れることはない。また、本実施形態においては、ヒーター２０の発熱体２１は、曲線支持部３３ａによって、炉内側への移動が制限されている。
　このため、スーティングがある程度進行しても、発熱体２１が炉内側に脱落する等の問題は起こらず、所望の熱処理を行うことが可能である。その結果、従来よりもバーンアウト作業を実施する頻度を少なくすることが可能となる。これにより、次のメンテナンスまでのワークＷの浸炭処理量を増やすことができ、生産性を向上させることができる。
　なお、ヒーター２０の発熱体２１、反射板３２、リアプレート３１は、図４に示すような平面視において互いに平行となるように配置されることが好ましい。これにより、発熱体２１から放出される輻射熱及び反射板３２で反射される輻射熱の熱量分布が均一となり、炉内雰囲気の温度分布も均一となる。その結果、浸炭処理時の温度ムラを防ぐことが可能となる。さらに、リアプレート３１が受ける伝熱量のバラつきも抑えることが可能となり、リアプレート背面に生じる煤の析出量のバラつきも抑えることができる。
　以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明はかかる例に限定されない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到しうることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
　例えば、上記実施形態では、ヒーター支持部材３０をリアプレート３１、反射板３２、サポート部材３３で構成することとしたが、ヒーター支持部材３０の構成及び各部材の固定方法は、上記実施形態で説明したものに限定されない。上記実施形態で説明した断熱材間のスーティングの発生を防ぐ効果は、ヒーター２０の発熱部Ｇが、反射部材を備えたヒーター支持部材３０に取り付けられていれば享受することができる。また、反射部材は、板形状でなくとも良い。また、炉壁５を構成する断熱材７は単層構造であっても良い。
　また、上記実施形態では、ヒーター２０の発熱体としてカンタル線を用いることとしたが、発熱体はこれに限定されることはない。例えば、蛇腹状に配置したラジアントチューブの端末部においてガスを燃焼させる、いわゆるガスバーナー方式の発熱体を用いても良い。この場合であっても、ヒーター２０の発熱部Ｇの背面側には反射板３２が設けられることになるため、リアプレート３１の背面側の温度を低くすることができる。
　また、上記実施形態では、浸炭炉１のワーク搬入方向が鉛直方向であったが、本願発明に係るヒーターユニット１０はワーク搬入方向が水平方向である浸炭炉にも適用することができる。また、ヒーター２０やヒーター支持部材３０を図３のような平面視において曲率を持つように形成し、円形状の炉に適用することも可能である。また、ヒーターユニット１０は連続式浸炭炉に限らず、バッチ式浸炭炉にも適用することができる。
　本発明は、ワークの浸炭処理を行う浸炭炉に適用することができる。
１　　　浸炭炉
２　　　搬入口
３　　　耐熱レンガ
４　　　搬出口
５　　　炉壁
６　　　外壁
７　　　断熱材
７ａ　　第１の断熱材
７ｂ　　第２の断熱材
８　　　仕切扉
９　　　熱処理室
９ａ　　第１昇温室
９ｂ　　第２昇温室
９ｃ　　第１浸炭室
９ｄ　　第２浸炭室
９ｅ　　第３浸炭室
９ｆ　　拡散室
９ｇ　　降温室
９ｈ　　焼入れ室
１０　　ヒーターユニット
２０　　ヒーター
２１　　発熱体
２１ａ　発熱体の直線部
２１ｂ　発熱体の曲線部
２２　　リード線
３０　　ヒーター支持部材
３１　　リアプレート
３２　　反射板
３２ａ　直線支持部
３３　　サポート部材
３３ａ　曲線支持部
３３ｂ　凹部
３４　　固定金具
３５　　反射板支持ブロック
３６　　平板部材
Ｇ　　　発熱部
Ｈ　　　水平方向
Ｐ　　　曲線部の間隔
Ｔ　　　ワーク搬送方向
Ｖ　　　鉛直方向
Ｗ　　　ワーク

Claims (10)

  1. 　浸炭炉用のヒーターユニットにおいて、
    　炉内雰囲気を加熱するヒーターと、
    　ヒーターの輻射熱を反射するヒーター支持部材とを備え、
    　前記ヒーター支持部材に前記ヒーターの発熱部が取り付けられ、
    　前記発熱部を構成する発熱体が蛇腹状に形成されている。
  2. 　請求項１に記載の浸炭炉用ヒーターユニットにおいて、
    　前記ヒーター支持部材は、輻射熱を反射する反射板を備えている。
  3. 　請求項２に記載の浸炭炉用ヒーターユニットにおいて、
    　前記ヒーター支持部材は、前記反射板の背面側にリアプレートを備えている。
  4. 　請求項３に記載の浸炭炉用ヒーターユニットにおいて、
    　前記発熱体と前記反射板と前記リアプレートは、平面視において互いに平行となるように配置されている。
  5. 　請求項２～４のいずれか一項に記載の浸炭炉用ヒーターユニットにおいて、
    　前記ヒーター支持部材には、前記発熱体の曲線部前面と前記反射板の端部背面を覆う凹部が設けられている。
  6. 　請求項１～５のいずれか一項に記載の浸炭炉用ヒーターユニットにおいて、
    　前記発熱体の直線部は、正面視において前記発熱部の長手方向に対して垂直である。
  7. 　請求項１～６のいずれか一項に記載の浸炭炉用ヒーターユニットにおいて、
    　前記ヒーター支持部材は、正面視において前記発熱体の曲線部の一部を覆う曲線支持部を有している。
  8. 　請求項１～７のいずれか一項に記載の浸炭炉用ヒーターユニットにおいて、
    　前記ヒーター支持部材は、前記発熱体の直線部を支持する直線支持部を有し、
    　前記直線支持部は、前記発熱体の隣り合う直線部間に突出するように形成されている。
  9. 　請求項１～８のいずれか一項に記載の浸炭炉用ヒーターユニットにおいて、
    　前記発熱体が側面視において平面状に形成されている。
  10. 　ワークに浸炭処理を施す浸炭炉において、
    　請求項１～９のいずれか一項に記載された浸炭炉用ヒーターユニットを備えている。
    　
PCT/JP2015/086073 2014-12-26 2015-12-24 ヒーターユニット及び浸炭炉 WO2016104633A1 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US15/539,983 US10499460B2 (en) 2014-12-26 2015-12-24 Heater unit and carburizing furnace
CN201580065692.0A CN107006079B (zh) 2014-12-26 2015-12-24 加热器单元和渗碳炉

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014-266381 2014-12-26
JP2014266381A JP6548895B2 (ja) 2014-12-26 2014-12-26 ヒーターユニット及び浸炭炉

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2016104633A1 true WO2016104633A1 (ja) 2016-06-30

Family

ID=56150646

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2015/086073 WO2016104633A1 (ja) 2014-12-26 2015-12-24 ヒーターユニット及び浸炭炉

Country Status (4)

Country Link
US (1) US10499460B2 (ja)
JP (1) JP6548895B2 (ja)
CN (1) CN107006079B (ja)
WO (1) WO2016104633A1 (ja)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6548895B2 (ja) * 2014-12-26 2019-07-24 Ｄｏｗａサーモテック株式会社 ヒーターユニット及び浸炭炉
CN110050508B (zh) * 2016-12-08 2021-08-24 光洋热系统股份有限公司 感应加热线圈的支承结构和感应加热装置
WO2019017728A1 (ko) * 2017-07-20 2019-01-24 주식회사 아모그린텍 발열체 및 이를 포함하는 히터유닛
KR102274247B1 (ko) * 2017-08-09 2021-07-07 주식회사 아모그린텍 발열체 및 이를 포함하는 히터유닛
CN110087354B (zh) * 2018-01-26 2022-05-03 鸿成国际科技股份有限公司 一种加热器支撑装置

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5392312A (en) * 1976-10-16 1978-08-14 Degussa Vacuum furnace with graphite heater
WO2001045464A1 (fr) * 1999-12-16 2001-06-21 Asahi Glass Company, Limited Structure support d'une chaufferette et four a mouler le verre en feuilles
JP2002260831A (ja) * 2001-02-27 2002-09-13 Asano Laboratories Co Ltd ヒータユニットおよびヒータ部材
JP2011124048A (ja) * 2009-12-09 2011-06-23 Teitokusha Kk 電気ヒーター及び電気ヒーターを備えた炉

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB333457A (en) * 1928-10-23 1930-08-14 British Thomson Houston Co Ltd Improvements in and relating to electric furnaces
JPS5049044U (ja) * 1973-08-30 1975-05-14
JPS56104091U (ja) * 1980-01-11 1981-08-14
JPH048Y2 (ja) * 1986-12-26 1992-01-06
CN1134208C (zh) * 1996-06-27 2004-01-07 光洋热系统株式会社 电加热装置及其制造方法
JPH10273396A (ja) 1997-03-27 1998-10-13 Sony Corp 層状結晶構造酸化物の製造方法
JP2000252047A (ja) 1999-03-03 2000-09-14 Tokai Konetsu Kogyo Co Ltd 還元雰囲気用金属ヒーターおよび高還元雰囲気炉
JP2001074226A (ja) 1999-09-02 2001-03-23 Moriguchi Katsura 加熱炉
CN2893595Y (zh) * 2006-05-10 2007-04-25 爱协林工业炉工程(北京)有限公司 大型可控气氛井式炉
KR100911624B1 (ko) * 2007-05-14 2009-08-12 연세대학교 산학협력단 Ｉｌ－１２ 및 ｉｌ－２３의 효율적인 공동발현 방법
JP5716523B2 (ja) 2011-05-06 2015-05-13 株式会社村田製作所 連続熱処理炉
JP5860234B2 (ja) * 2011-07-12 2016-02-16 哲 村山 電熱ヒーター用基板
JP6548895B2 (ja) * 2014-12-26 2019-07-24 Ｄｏｗａサーモテック株式会社 ヒーターユニット及び浸炭炉

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5392312A (en) * 1976-10-16 1978-08-14 Degussa Vacuum furnace with graphite heater
WO2001045464A1 (fr) * 1999-12-16 2001-06-21 Asahi Glass Company, Limited Structure support d'une chaufferette et four a mouler le verre en feuilles
JP2002260831A (ja) * 2001-02-27 2002-09-13 Asano Laboratories Co Ltd ヒータユニットおよびヒータ部材
JP2011124048A (ja) * 2009-12-09 2011-06-23 Teitokusha Kk 電気ヒーター及び電気ヒーターを備えた炉

Also Published As

Publication number Publication date
US10499460B2 (en) 2019-12-03
US20170353995A1 (en) 2017-12-07
CN107006079B (zh) 2020-06-26
JP2016126899A (ja) 2016-07-11
JP6548895B2 (ja) 2019-07-24
CN107006079A (zh) 2017-08-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2016104633A1 (ja) ヒーターユニット及び浸炭炉
JP2014034689A (ja) 鋼板焼入用加熱装置
KR20160033085A (ko) 연속 소성로
JP4982763B2 (ja) 連続熱処理炉
WO2001092800A1 (en) Heat treatment apparatus
JP6631326B2 (ja) コークス炉の炉体設備における火入れ時の炉体乾燥方法
JP2007093160A (ja) 熱処理炉
JP2010236779A (ja) ローラハースキルンによるワークの焼成方法
KR100484562B1 (ko) 롤러하스형연속글라스기판봉착로
JP2011038683A (ja) 金属ストリップの横型連続焼鈍炉
JP2002048475A (ja) 基板の熱処理方法及びそれに用いる連続式熱処理炉
JP5791300B2 (ja) オーブン装置
JPH11311484A (ja) 炉内雰囲気循環型ローラハース式連続焼成炉
JP2006284019A (ja) 直火式鋼板連続加熱炉および鋼板の加熱方法
KR102462355B1 (ko) 핀을 가진 회전자 커버
KR100848359B1 (ko) 배치식 반응챔버의 히팅시스템
JP5062803B2 (ja) 腐食性ガスを発生する製品の焼成方法
KR101049843B1 (ko) 허스롤 장치
JP2007040699A (ja) ローラハース式連続焼成炉
JP2010151369A (ja) 連続熱処理炉
JP2007178037A (ja) 搬送機構及び熱処理炉
WO2019239700A1 (ja) ワーク搬送部材、ワーク搬送装置、および、熱処理装置
JP2010025367A (ja) 移載装置および連続焼成炉
JP6454911B2 (ja) 板状物の曲げ方法
JP6554305B2 (ja) ウォーキングハース式加熱炉における被加熱材の加熱方法

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 15873201

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 15539983

Country of ref document: US

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 15873201

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1