WO2016031091A1 - 回生サーキュレータ、高周波電源装置、及び高周波電力の回生方法 - Google Patents
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Abstract
Description
以下、伝送経路の電気長および定在波による電圧変化について説明する。
負荷側の電圧は、高周波電源と負荷とを結ぶ伝送経路の電気長によって変動することが知られている。
本願発明は、高周波電源の高周波増幅回路と高周波負荷との間の伝送経路上において負荷インピーダンスに対して並列インピーダンスを構成することによって、接続位置のインピーダンスを低減して伝送経路上において過剰電圧が発生することを抑制すると共に、並列インピーダンスによって伝送経路上から高周波電力を回生し、エネルギー効率を向上させる。
本願発明の回生サーキュレータは回生機能を備えたサーキュレータであり、伝送経路上の所定位置においてインピーダンス状態を変更する構成によって、定在波の電圧状態を変化させて電圧定在波比の上昇を抑制すると共に、伝送経路から電力を回生する。
回生サーキュレータの並列インピーダンスについて説明する。伝送経路上において、インピーダンスが整合した状態では、回生サーキュレータの入力端の電圧は定常電圧状態にあるため設定電圧と比較して低電圧である。この電圧状態においては、伝送経路から回生サーキュレータ側に向かって電流は導通せず、回生サーキュレータは伝送経路に対する並列インピーダンスを構成しない。
伝送経路上において回生サーキュレータは、入力端が接続される位置の構成において複数の態様を採ることができる。
回生サーキュレータの入力端が接続される位置の第1の態様は、伝送経路上においてインピーダンス不整合により発生する定在波の腹部分に相当する位置である。伝送経路上において、インピーダンスの不整合によって定在波が発生すると腹部分では高電圧となり節部分では低電圧となる。
回生サーキュレータの入力端が接続される位置の第2の態様は、高周波増幅回路の出力から、伝送経路上において高周波電源が出力する高周波の波長(λ)の4分の1波長(λ/4)の奇数倍の電気長の位置である。
本願発明の高周波電源装置は、高周波負荷に高周波電力を供給する高周波電源と、高周波電源が備える高周波増幅回路と高周波負荷との間の伝送経路から高周波電力を片方向に取り込んで回生する回生サーキュレータを備える。高周波電源装置が備える回生サーキュレータは、本願発明の回生サーキュレータであって、回生サーキュレータの入力端は伝送経路上に接続され、回生サーキュレータの入力端の電圧と設定電圧との比較に基づいて、前記伝送経路に対して並列インピーダンスを構成し、並列インピーダンスは接続位置から高周波電力を取り込み回生する。
本願発明の高周波電力の回生方法は、高周波電源の高周波増幅回路と高周波負荷との間の伝送経路上から高周波電力を回生サーキュレータによって回生する方法であり、回生サーキュレータの入力端は伝送経路上に接続され、回生サーキュレータの入力端の電圧と設定電圧との比較に基づいて、伝送経路に対して並列インピーダンスを構成し、並列インピーダンスは接続位置から高周波電力を取り込み回生する。
本願発明の高周波電力の回生方法の第1の態様は、回生サーキュレータの入力端を伝送経路上においてインピーダンス不整合により発生する定在波の腹部分に相当する位置に接続し、回生サーキュレータの入力端の電圧と設定電圧との比較に基づいて、伝送経路に対して並列インピーダンスを構成し、並列インピーダンスによって接続位置から高周波電力を取り込み回生する。
本願発明の高周波電力の回生方法の第2の態様は、回生サーキュレータの入力端を伝送経路上において、高周波増幅回路の出力端から、伝送経路上において高周波電源が出力する高周波の波長(λ)の4分の1波長(λ/4)の奇数倍の電気長の位置に接続し、回生サーキュレータの入力端の電圧と設定電圧との比較に基づいて、伝送経路に対して並列インピーダンスを構成し、並列インピーダンスによって接続位置から高周波電力を片方向で取り込み回生する。
図1は本願発明の回生サーキュレータおよび高周波電源装置の構成を説明するための概略図である。
図1は伝達経路に対する回生サーキュレータの接続の第1の態様に対応している。第1の態様は、回生サーキュレータ20の入力端を、伝送経路3上においてインピーダンス不整合により発生する定在波の腹部分に相当する位置に接続する態様である。伝送経路3上においてインピーダンス不整合によって定在波が発生すると、腹部分では高電圧となり節部分では低電圧となる。図1は伝送経路3の定在波の腹部分に回生サーキュレータ20の入力端を接続する構成例を示している。
図2は伝送経路に対する回生サーキュレータの接続について第2の態様を説明するための概略図であり、図2は回生サーキュレータの入力端を高周波増幅回路の出力端から所定の電気長の位置に接続する態様を示している。図2において、回生サーキュレータ20の入力端の接続位置はPで示し、このPにおけるインピーダンスをZPで表している
以下、本願発明の回生サーキュレータおよび高周波電源装置について、図5~図8を用いて前記した第2の態様の構成例を説明する。
以下、本願発明の回生サーキュレータの動作例について図9~図13を用いて説明する。
直流電源電圧VDD:290V
進行波 :4000W(高周波電源の出力端での測定値)
反射波 :0W(高周波電源の出力端での測定値)
高周波増幅回路の出力端インピーダンスZamp:40+j20Ω
負荷インピーダンスの有効分RLの電圧Vpp:1794V
負荷インピーダンスの有効分RL :100Ω
高周波電源装置の出力端インピーダンスZg0 :50Ω
図9の回路例において回生サーキュレータを備えていない場合に、プラズマが消灯している異常状態の各パラメータは下記のとおりである。なお、プラズマ消灯時において、負荷インピーダンスの有効分RLは100kΩとしている。
進行波 :49000W(高周波電源の出力端での測定値)
反射波 :49000W(高周波電源の出力端での測定値)
高周波増幅回路の出力端インピーダンスZamp:0.05-j0.01Ω
負荷インピーダンスの有効分RLの電圧Vpp :12530V
負荷インピーダンスの有効分RL :100kΩ
高周波電源装置の出力端インピーダンスZg0 :オープン(40kΩ)
図9の回路例において回生サーキュレータを備えている場合に、プラズマが消灯している異常状態の各パラメータは下記のとおりである。なお、プラズマ消灯時において、負荷インピーダンスの有効分RLは100kΩとしている。
進行波 :4000W(高周波電源の出力端での測定値)
反射波 :4000W(高周波電源の出力端での測定値)
高周波増幅回路の出力端インピーダンスZamp:18.9+j6.0Ω
負荷インピーダンスの有効分RLの電圧Vpp :3560V
負荷インピーダンスの有効分RL :100kΩ
高周波電源装置の出力端インピーダンスZg0 :オープン(40kΩ)
上記したように、高周波増幅回路の出力端から見たインピーダンスZampが低インピーダンスとなるインピーダンス状態と、定在波による負荷端電圧の上昇とは対応関係にある。以下、回生動作によってインピーダンスZampを低インピーダンスから回避する動作条件について説明する。
Rin=2RonN2 ・・・(1)
vamp=vg0=vin-Riniamp=vin-Rinig0
iamp=ig0
Zamp=vamp/iamp=vg0/ig0=Zg0
・・・(2)
である。
vL-set=vP-set
iL-set=iP-set
ZL=ZP
・・・(3)
vg0(λ/4)=j(vP-setZ0)/ZP
ig0(λ/4)=jvP-set/Z0
Zg0(λ/4)=vg0(λ/4)/ig0(λ/4)=Z0 2/ZP
・・・(4)
で表される。
式(4)において、ZL=Z0に整合している場合の添え字をZ0で表記し、回生動作時の添え字をregenで表記し、負荷電圧VLが整合時の負荷電圧VL-Z0のk倍となった時に回生動作が開始するとして負荷電圧VLの許容電圧比kを定めると、回生時の高周波増幅回路から見たインピーダンスZamp(λ/4)-regen、および回生サーキュレータの接続位置PのインピーダンスZP(λ/4)-regenはそれぞれ以下の式で表される。
Zamp(λ/4)-regen={Z0-(k-1)Rin}/k
ZP(λ/4)-regen=kZ0 2/{Z0-(k-1)Rin}
・・・(5)
ZL=∞
Rin=8Ω
Z0=50Ω
伝送線路の電気長l=λ/4
の場合に、回生サーキュレータを用いてk=2としたときに負荷電圧vLを抑制する例を示す。
Zamp={Z0-(k-1)Rin}/k={50-(2-1)×8}/2=21[Ω]
ZP=ZR=kZ0 2/{Z0-(k-1)Rin}=2×502/{50-(2-1)×8}
≒119[Ω]
となる。
負荷電圧VLが整合時における実効値電圧vL-Z0のk倍となった時点で回生動作を開始して直流電源電圧VDDへ直流電力を回生 (regeneration)させると共に、負荷電圧VLの上限電圧を回生動作時の負荷電圧VL-regenに制限する。
N×VDD=2√2×vL-regen/π=(2√2×k×vL-Z0)/π
N=(2√2×k×vL-Z0)/(π×VDD)
≒(0.9×k×vL-Z0)/(π×VDD)
・・・(6)
Idc 出力電流
Ig0 電流
Iinv 入力電圧
N 巻数比
P 接続位置
RL 有効分
Rin 内部抵抗
Ron 抵抗値
VDD 直流電源電圧
VL 負荷電圧
VP 回生動作開始電圧
Vg0 出力端電圧
Vin 交流電圧源
Vpp 電極電圧
Z0 特性インピーダンス
ZL 負荷インピーダンス
ZP インピーダンス
ZR 並列インピーダンス
Zamp 出力端インピーダンス
Zg0 出力端インピーダンス
iL 実効値電流
ig0 実効値電流
k 許容電圧比
vL 負荷電圧
Γ 電圧反射係数
λ 波長
1 高周波電源装置
2 高周波負荷
3 伝送経路
4 伝送線路
10 高周波電源
11 直流電源
12 高周波増幅回路
12a ブリッジ回路
12b 変成器
13 出力回路
13a LC回路
13b LPF
20 回生サーキュレータ
20a 変成器
20b 整流器
20c コンデンサ
20d,20e インダクタンス
20f 分圧器
21 方向性結合器
22 整流回路
101 ジェネレータ
102 負荷
104 伝送経路
111 直流電源
112 高周波増幅回路
112a ブリッジ回路
112b 変圧器
113 出力回路
113a 整合回路
113b フィルタ回路
Claims (21)
- 高周波電源の高周波増幅回路と高周波負荷との間の伝送経路上から高周波電力を回生する回生サーキュレータであり、
前記回生サーキュレータの入力端は前記伝送経路上に接続され、
前記回生サーキュレータは、回生サーキュレータの入力端の電圧と設定電圧との比較に基づいて、前記伝送経路に対して並列インピーダンスを構成し、
前記並列インピーダンスは前記接続位置から高周波電力を片方向で取り込み回生することを特徴とする、回生サーキュレータ。 - 前記回生サーキュレータの入力端の前記伝送経路上の接続位置は、前記伝送経路上においてインピーダンス不整合により発生する定在波の腹部分に相当する位置であり、
前記回生サーキュレータは、回生サーキュレータの入力端の電圧と設定電圧との比較に基づいて、前記伝送経路に対して並列インピーダンスを構成し、
前記並列インピーダンスは前記接続位置から高周波電力を片方向で取り込み回生することを特徴とする、請求項1に記載の回生サーキュレータ。 - 前記回生サーキュレータの入力端の前記伝送経路上の接続位置は、高周波増幅回路の出力端から、前記伝送経路上において前記高周波電源が出力する高周波の波長(λ)の4分の1波長(λ/4)の奇数倍の電気長の位置であり、
前記回生サーキュレータは、回生サーキュレータの入力端の電圧と設定電圧との比較に基づいて、前記伝送経路に対して並列インピーダンスを構成し、
前記並列インピーダンスは前記接続位置から高周波電力を片方向で取り込み回生することを特徴とする、請求項1又は2に記載の回生サーキュレータ。 - 前記伝送経路から高周波電力を片方向に取り込む方向性結合器を備え、
前記方向性結合器は、回生サーキュレータの入力端の電圧と設定電圧との比較に基づいて前記伝送経路から高周波電力を取り込み、
回生動作中において、回生サーキュレータの入力端の電圧の上限を設定電圧に制限することを特徴とする、請求項1から3の何れか一つに記載の回生サーキュレータ。 - 前記方向性結合器は変成器を備え、
前記変成器の巻き数比は、前記設定電圧と回生サーキュレータの出力端の電圧の電圧比に基づく値であることを特徴とする、請求項4に記載の回生サーキュレータ。 - 前記変成器の交流出力を直流に変換する整流器を備えることを特徴とする、請求項5に記載の回生サーキュレータ。
- 前記変成器の2次側にコンデンサを並列に備えることを特徴とする、請求項5又は6に記載の回生サーキュレータ。
- 前記整流器の後段に直流リアクトルを直列に備えることを特徴とする、請求項6又は7に記載の回生サーキュレータ。
- 高周波負荷に高周波電力を供給する高周波電源と、
前記高周波電源が備える高周波増幅回路と高周波負荷との間の伝送経路から高周波電力を片方向に取り込んで回生する回生サーキュレータを備え、
前記回生サーキュレータの入力端は前記伝送経路上に接続され、
前記回生サーキュレータは、回生サーキュレータの入力端の電圧と設定電圧との比較に基づいて、前記伝送経路に対して並列インピーダンスを構成し、
前記並列インピーダンスは前記接続位置から高周波電力を取り込み回生することを特徴とする、高周波電源装置。 - 前記回生サーキュレータの入力端の前記伝送経路上の接続位置は、前記伝送経路上においてインピーダンス不整合により発生する定在波の腹部分に相当する位置であり、
前記回生サーキュレータは、回生サーキュレータの入力端の電圧と設定電圧との比較に基づいて、前記伝送経路に対して並列インピーダンスを構成し、
前記並列インピーダンスは前記接続位置から高周波電力を取り込み回生することを特徴とする、請求項9に記載の高周波電源装置。 - 前記回生サーキュレータの入力端の前記伝送経路上の接続位置は、高周波増幅回路の出力端から、前記伝送経路上において前記高周波電源が出力する高周波の波長(λ)の4分の1波長(λ/4)の奇数倍の電気長の位置であり、
前記回生サーキュレータは、回生サーキュレータの入力端の電圧と設定電圧との比較に基づいて、前記伝送経路に対して並列インピーダンスを構成し、
前記並列インピーダンスは前記接続位置から高周波電力を片方向で取り込み回生することを特徴とする、請求項9又は10に記載の高周波電源装置。 - 前記伝送経路から高周波電力を片方向に取り込む方向性結合器を備え、
前記方向性結合器は、回生サーキュレータの入力端の電圧と設定電圧との比較に基づいて前記伝送経路から高周波電力を取り込み、
回生動作中において、回生サーキュレータの入力端の電圧の上限を設定電圧に制限することを特徴とする、請求項9~11の何れか一つに記載の高周波電源装置。 - 前記方向性結合器は変成器を備え、
前記変成器の巻き数比は、前記設定電圧と回生サーキュレータの出力端の電圧の電圧比に基づく値であることを特徴とする、請求項12に記載の高周波電源装置。 - 前記変成器の交流出力を直流に変換する整流器を備えることを特徴とする、請求項13に記載の高周波電源装置。
- 前記変成器の2次側にコンデンサを並列に備えることを特徴とする、請求項13又は14に記載の高周波電源装置。
- 前記整流器の後段に直流リアクトルを直列に備えることを特徴とする、請求項14又は15に記載の高周波電源装置。
- 高周波電源の高周波増幅回路と高周波負荷との間の伝送経路上から高周波電力を回生サーキュレータによって回生する方法であり、
前記回生サーキュレータの入力端を前記伝送経路上に接続し、
前記回生サーキュレータの入力端の電圧と設定電圧との比較に基づいて、前記伝送経路に対して並列インピーダンスを構成し、
前記並列インピーダンスによって前記接続位置から高周波電力を取り込み回生することを特徴とする、高周波電力の回生方法。 - 前記回生サーキュレータにおいて、入力端を前記伝送経路上において、前記伝送経路上においてインピーダンス不整合により発生する定在波の腹部分に相当する位置に接続し、
前記回生サーキュレータの入力端の電圧と設定電圧との比較に基づいて、前記伝送経路に対して並列インピーダンスを構成し、
前記並列インピーダンスによって前記接続位置から高周波電力を取り込み回生することを特徴とする、請求項17に記載の高周波電力の回生方法。 - 前記回生サーキュレータにおいて、入力端を前記伝送経路上において、高周波増幅回路の出力端から、前記伝送経路上において前記高周波電源が出力する高周波の波長(λ)の4分の1波長(λ/4)の奇数倍の電気長の位置に接続し、
前記回生サーキュレータの入力端の電圧と設定電圧との比較に基づいて、前記伝送経路に対して並列インピーダンスを構成し、
前記並列インピーダンスによって前記接続位置から高周波電力を片方向で取り込み回生することを特徴とする、請求項17又は18に記載の高周波電力の回生方法。 - 前記並列インピーダンスによって、回生サーキュレータの入力端の電圧と設定電圧との比較に基づいて前記伝送経路から高周波電力を取り込み、
回生動作中において、回生サーキュレータの入力端の電圧の上限を設定電圧に制限することを特徴とする、請求項17~19の何れか一つに記載の高周波電力の回生方法。 - 高周波電力の交流出力を直流に変換した後に回生することを特徴とする、請求項17~19の何れか一つに記載の高周波電力の回生方法。
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