WO2015137184A1 - 吸引ヘッドおよびシート取扱装置 - Google Patents

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茂生 白井
康仁 出水
和寛 田畑
裕士 正井
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Murata Manufacturing Co Ltd
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    • H01G13/00—Apparatus specially adapted for manufacturing capacitors; Processes specially adapted for manufacturing capacitors not provided for in groups H01G4/00 - H01G11/00
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28B—SHAPING CLAY OR OTHER CERAMIC COMPOSITIONS; SHAPING SLAG; SHAPING MIXTURES CONTAINING CEMENTITIOUS MATERIAL, e.g. PLASTER
    • B28B11/00—Apparatus or processes for treating or working the shaped or preshaped articles
    • B28B11/14—Apparatus or processes for treating or working the shaped or preshaped articles for dividing shaped articles by cutting
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
    • B65H3/00—Separating articles from piles
    • B65H3/08—Separating articles from piles using pneumatic force
    • B65H3/0808—Suction grippers
    • B65H3/0816—Suction grippers separating from the top of pile
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    • H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G4/00—Fixed capacitors; Processes of their manufacture
    • H01G4/30—Stacked capacitors

Definitions

  • the present invention relates to a suction head, and more particularly to a suction head having a suction surface for holding a ceramic green sheet.
  • the present invention also relates to a sheet handling apparatus, and in particular, a ceramic having a base having a mounting surface on which a carrier sheet (carrier film) holding a ceramic green sheet is mounted, and a suction surface facing the mounting surface.
  • the present invention relates to a sheet handling apparatus including a suction head that sucks a green sheet.
  • a ceramic green sheet formed in a carrier sheet shape is prepared, and the ceramic green sheet having a predetermined dimension is cut out and then peeled off from the carrier sheet. And the ceramic green sheet peeled from the carrier sheet is laminated
  • An example of a suction head and a sheet handling apparatus that can be used in this step is disclosed in Patent Document 1.
  • the suction head is connected to a specific one of the suction holes, and an opening larger than the diameter of the suction holes is positioned on the suction surface.
  • the suction grooves are provided so as to be intermittently distributed in the portion corresponding to the peripheral portion of the ceramic green sheet. By forming such suction grooves, it is said that the ceramic green sheet can be reliably and easily peeled off from the carrier film.
  • a main object of the present invention is to provide a suction head and a sheet handling device capable of reliably and easily peeling a ceramic green sheet from a carrier film while suppressing sheet damage due to suction.
  • a suction head according to the present invention (14: reference numeral corresponding to the embodiment; the same applies hereinafter) is a suction head (14) having a suction surface for holding a ceramic green sheet (20), and the suction surface includes a plurality of suction surfaces.
  • Suction holes (HL, HL, ...) and a plurality of grooves (GR, GR, 7), the plurality of grooves on at least one side of the end region in the suction surface and on the outer periphery of the suction surface
  • a suction hole provided in a direction along the suction hole and disposed in an end region in the suction surface among the plurality of suction holes is provided so as to pass through the groove.
  • the groove width of the groove is smaller than the diameter of the suction hole arranged in the end region in the suction surface.
  • the groove provided on the outermost periphery of the suction surface is provided further outside than the outermost suction hole arranged on the outermost side among the plurality of suction holes, and It is provided in contact with the outer periphery of the outermost suction hole.
  • the distance between the groove provided on the outermost periphery of the suction surface and the end of the suction surface among the plurality of grooves is adjusted by adjusting the groove width of the groove provided on the outermost periphery. Yes.
  • a connecting groove for connecting the plurality of grooves is further provided.
  • each of the plurality of grooves has a chamfered end portion in the width direction.
  • each edge of the plurality of suction holes is chamfered.
  • the sheet handling apparatus (10) is: The substrate (12) having a placement surface on which the carrier sheet (18) holding the ceramic green sheet (20) is placed, and the suction surface facing the placement surface, sucking the ceramic green sheet
  • a sheet handling device comprising a suction head (14),
  • the suction surface has a plurality of suction holes (HL, HL, ...) and a plurality of grooves (GR, GR, 7),
  • the plurality of grooves are provided on at least one side of the end region in the suction surface in a direction along the outer periphery of the suction surface; Of the plurality of suction holes, a suction hole disposed in an end region within the suction surface is provided so as to pass through the groove.
  • a suction head and a sheet handling apparatus capable of reliably and easily peeling a ceramic green sheet from a carrier film while suppressing sheet damage due to suction.
  • FIG. 1 is a perspective view showing a part of the sheet handling apparatus of the present invention.
  • FIG. 2 is a view of the sheet handling apparatus shown in FIG. 1 when viewed in the Y-axis direction, and shows an example of a state in which a carrier sheet having a ceramic green sheet formed on the upper surface is disposed under the suction head.
  • FIG. 3 is an illustrative view showing an example of a state in which a ceramic green sheet on a carrier sheet is cut with a cutting blade.
  • FIG. 4 is an illustrative view showing an example of a state in which the cut sheet piece is sucked by the suction head and peeled off from the carrier sheet.
  • FIG. 1 is a perspective view showing a part of the sheet handling apparatus of the present invention.
  • FIG. 2 is a view of the sheet handling apparatus shown in FIG. 1 when viewed in the Y-axis direction, and shows an example of a state in which a carrier sheet having a ceramic green sheet formed on the upper surface is
  • FIG. 5A is an enlarged perspective view showing a part of an example of the shape of the suction head
  • FIG. 5B is an enlarged view showing a part of a groove and a suction hole provided on the suction surface of the suction head
  • FIG. 6A is an enlarged plan view showing a part of the suction surface of the suction head.
  • 6 (b) is a cross-sectional view taken along the line AA in FIG. 6 (a)
  • FIG. 6 (c) is a cross-sectional view taken along the line BB in FIG. 6 (a).
  • 7 (a) and 7 (b) are cross-sectional views taken along arrows BB in FIG. 6 (a) of the modified groove shape.
  • FIG. 8 is a cross-sectional view of a modification of the groove shape.
  • 8A is an arrow cross-sectional view at a position corresponding to AA in FIG. 6A
  • FIG. 8B is a cross-sectional view at a position corresponding to BB in FIG. 6A.
  • FIG. FIG. 9A and FIG. 9B are enlarged plan views showing a part of the suction surface of the suction head of another example.
  • FIG. 10A is an enlarged view showing a part of a groove and a suction hole provided on the suction surface of another example of the suction head.
  • FIG. 10B is an enlarged plan view showing a part of the suction surface of the suction head.
  • FIG. 11 is an enlarged plan view showing a part of the suction surface of the suction head of still another example.
  • the sheet handling apparatus 10 of this embodiment includes a rectangular parallelepiped base 12.
  • the X axis, the Y axis, and the Z axis are assigned to the length direction, the width direction, and the height direction of the rectangular parallelepiped forming the base 12.
  • the carrier sheet 18 has a width corresponding to the width of the base 12 and an arbitrary length, and is intermittently conveyed from the negative side to the positive side in the X-axis direction by a conveyance roller (not shown).
  • a ceramic green sheet 20 is entirely formed on the upper surface of the carrier sheet 18.
  • the ceramic green sheet 20 is referred to as “green sheet 20”.
  • a rectangular parallelepiped suction head 14 is disposed above the base 12.
  • the length direction, the width direction, and the height direction of the rectangular parallelepiped forming the suction head 14 are along the X axis, the Y axis, and the Z axis, respectively.
  • the suction head 14 has four side surfaces, and a cutting blade 16 is provided on each side surface.
  • the blade length of the cutting blade 16 coincides with the length or width dimension of the suction head 14.
  • FIG. 1 only the cutting blade 16 provided on the negative side surface in the X-axis direction of the suction head 14 is illustrated for easy explanation.
  • the carrier sheet 18 is intermittently conveyed from the negative side to the positive side in the X-axis direction.
  • a downward suction force is generated on the mounting surface of the base 12, and then the suction head 14 is lowered.
  • the green sheet 20 formed on the upper surface of the carrier sheet 18 is cut by a cutting blade when the suction head 14 is lowered (see FIGS. 2 to 3).
  • the size of the main surface of the sheet piece 22 obtained by cutting matches the size of the suction surface of the suction head 14.
  • the sheet piece 22 is held on the suction surface by the suction force generated in the suction head 14.
  • the downward suction force generated on the mounting surface of the base 12 is released after the sheet piece 22 is held on the suction surface.
  • the suction head 14 is then raised to the original position before the descent.
  • the sheet piece 22 held on the suction surface is peeled off from the carrier sheet 18 and rises as the suction head 14 rises (see FIG. 4).
  • the suction force generated in the suction head 14 is released when the sheet piece 22 is moved to another process.
  • a plurality of suction holes HL and a plurality of grooves GR are formed on the suction surface of the suction head 14.
  • the plurality of suction holes HL are connected to a vacuum source (not shown).
  • the plurality of grooves GR are provided in the end region in the suction surface in a direction along the outer periphery of the suction surface. In the figure, the groove GR is provided along the outer periphery of each side in the suction surface and is connected at the four corners, but it may be provided at least on one side.
  • suction holes arranged in the end region within the suction surface are provided so as to pass through the groove GR.
  • the groove GR is preferably provided in the Y-axis direction.
  • the sheet piece 22 is gradually peeled from the vicinity of the outer periphery toward the center with respect to the carrier film 18.
  • the groove GR is continuously formed on at least one side of the end region of the suction surface, one end of the sheet piece 22 can be fixed over the entire side, and the sheet piece 22 is fixed to the carrier sheet. It becomes possible to peel from 18 stably.
  • the opening shape of the suction hole HL is circular, and the groove width of the groove GR is preferably smaller than the diameter of the suction hole HL arranged in the end region in the suction surface.
  • the diameter of the suction hole arranged in the end region is preferably in the range of 0.1 mm to 1 mm.
  • the groove width is preferably in the range of 0.05 mm to 0.5 mm. If the groove GR occupies the same area on the suction surface, for example, it is more difficult to provide a large number of narrow grooves than a few wide grooves, so that the green sheet is less likely to penetrate into the groove during suction. It is preferable because the deformation of the green sheet can be suppressed.
  • FIG. 6A is an enlarged plan view showing a part of the suction surface of the suction head shown in FIG. 6 (b) is a cross-sectional view taken along the line AA in FIG. 6 (a), and FIG. 6 (c) is a cross-sectional view taken along the line BB in FIG. 6 (a).
  • the depth of the groove GR is preferably in the range of 0.01 mm to 0.5 mm.
  • the cross-sectional shape of the groove GR in the width direction is a rectangular shape, but as shown in FIG. 7A, the cross-sectional shape may be an arc shape (R shape). It may be V-shaped as shown in 7 (b). It is preferable that the corner portion of the groove has an R shape because the green sheet 20 can be hardly damaged even if the green sheet 20 is deformed so as to be in close contact with the inner surface of the groove GR in the local peeling step.
  • both ends in the width direction of the groove GR are chamfered.
  • the corners forming the ends are dropped and a curved surface finish is applied.
  • each edge of the plurality of suction holes HL is chamfered.
  • FIG. 8A a cross-sectional view taken along the line AA in FIG. 6A is shown in FIG. 8A, for example, at the position corresponding to BB.
  • FIG. 8B the cross-sectional view taken along the arrow shows that the width direction end of the groove GR and the edge of the suction hole HL are curved.
  • the groove GRO provided on the outermost periphery can be provided further outside the outermost suction hole HLO disposed on the outermost side of the suction surface so as to be in contact with the outer periphery of the outermost suction hole HLO.
  • the position of the groove GRO provided on the outermost periphery of the suction surface is preferably closer to the end of the suction surface.
  • the distance between the groove GRO provided on the outermost periphery and the end of the suction surface can be adjusted by adjusting the groove width of the groove GRO provided on the outermost periphery.
  • the sheet piece 22 can be held at the end portion even though the suction hole arrangement is the same as that in FIG.
  • FIG. 10 is a view showing another example of the suction head of the present invention.
  • FIG. 10A is an enlarged view showing a part of a groove and a suction hole provided on the suction surface of the suction head of this example.
  • FIG. 10B is an enlarged plan view showing a part of the suction surface of the suction head.
  • a connecting groove GR ′ that connects the plurality of grooves GL is further provided.
  • the connecting groove GR ′ is provided in a direction orthogonal to the groove GR, but the shape and direction are not limited to this as long as the grooves GL are connected to each other.
  • connecting groove GR ′ for connecting the grooves GL in this way, it is possible to provide the groove GR1 that can suck and hold the green sheet 20 (sheet piece 22) without passing through the suction hole. Therefore, by providing the connecting groove GR ', it is possible to adjust the interval and number of grooves regardless of the number and position of the suction holes.
  • FIG. 11 is an enlarged plan view showing a part of the suction surface of the suction head of still another example of the suction head of the present invention.
  • the connection groove GR ′ by providing the connection groove GR ′, the green sheet 20 (sheet piece 22) is sucked and held also in the region at the extreme end of the suction surface where it is difficult to form a suction hole. It is possible to provide a groove GR2 that can be used.
  • the ceramic green sheet is suppressed while suppressing sheet damage due to suction. Can be reliably and easily peeled off from the carrier film.
  • the suction pressure is ⁇ 60 kPa
  • a green sheet having a thickness of about 1 to 3 ⁇ m can be peeled well, and even a thinner green sheet can be handled by adjusting the suction pressure and the like. is there.
  • the suction area increases when suction is performed in the groove GR, a desired suction force can be ensured even if the number of suction holes HL is small. Thereby, the cost for processing the suction head 14 can be suppressed.

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Abstract

　吸引によるシートダメージを抑制しつつ、セラミックグリーンシートをキャリアフィルムから確実かつ容易に剥離することのできる、吸引ヘッドおよびシート取扱装置を提供する。セラミックグリーンシート２０を保持するための吸引面を有する吸引ヘッド１４であって、吸引面は、複数の吸引穴ＨＬ，ＨＬ，…および複数の溝ＧＲ，ＧＲ，…を有し、複数の溝ＧＲ，ＧＲ，…は、吸引面内の端部領域の少なくとも一辺に、吸引面の外周に沿う方向に設けられ、複数の吸引穴ＨＬ，ＨＬ，…のうち吸引面内の端部領域に配置される吸引穴ＨＬは、溝ＧＲを通るように設けられている。

Description

吸引ヘッドおよびシート取扱装置
　この発明は、吸引ヘッドに関し、特に、セラミックグリーンシートを保持するための吸引面を有する、吸引ヘッドに関する。
　この発明はまた、シート取扱装置に関し、特に、セラミックグリーンシートを保持したキャリアシート（キャリアフィルム）が載置される載置面を有する基盤と、載置面に対向する吸引面を有してセラミックグリーンシートを吸引する吸引ヘッドとを備える、シート取扱装置に関する。
　積層セラミックコンデンサ等の積層セラミック電子部品を製造する場合、キャリアシート状に形成されたセラミックグリーンシートを用意し、所定の寸法を有するセラミックグリーンシートを切り出した後にキャリアシートから剥離する。そして、キャリアシートから剥離したセラミックグリーンシートを積層する。この工程で用いることのできる吸引ヘッドおよびシート取扱装置の一例が特許文献１に開示されている。特許文献１によれば、キャリアシートの剥離性を向上させるために、吸引ヘッドには、吸引穴の特定のものに連通し、かつ、吸引穴の径より大きい開口を吸着面上に位置させている吸引溝が、セラミックグリーンシートの周縁部に対応する部分に、断続的に分布するように設けられている。このような吸引溝を形成することで、セラミックグリーンシートをキャリアフィルムから確実かつ容易に剥離することができるとされている。
特開２００２－２５４４２１号公報
　しかし、セラミックグリーンシートが薄くなった場合、吸引溝の開口が吸引穴の径より大きいようなものであると、セラミックグリーンシートが変形してしまう等のダメージを受けてしまうという問題がある。
　それゆえに、この発明の主たる目的は、吸引によるシートダメージを抑制しつつ、セラミックグリーンシートをキャリアフィルムから確実かつ容易に剥離することのできる、吸引ヘッドおよびシート取扱装置を提供することである。
　この発明に従う吸引ヘッド(14：実施例で相当する参照符号。以下同じ)は、セラミックグリーンシート(20)を保持するための吸引面を有する吸引ヘッド(14)であって、吸引面は、複数の吸引穴(HL, HL, …)および複数の溝(GR, GR, …)を有し、前記複数の溝は、前記吸引面内の端部領域の少なくとも一辺に、前記吸引面の外周に沿う方向に設けられ、前記複数の吸引穴のうち前記吸引面内の端部領域に配置される吸引穴は、前記溝を通るように設けられている。
　好ましくは、前記溝の溝幅は、前記吸引面内の端部領域に配置される吸引穴の直径より小さい。
　好ましくは、前記複数の溝のうち、前記吸引面の最外周に設けられる溝は、前記複数の吸引穴のうち最も外寄りに配置される最外吸引穴よりもさらに外側に設けられ、かつ、前記最外吸引穴の外周に接するように設けられている。
　好ましくは、前記複数の溝のうち前記吸引面の最外周に設けられる溝と、前記吸引面の端部との距離は、前記最外周に設けられる溝の溝幅を調整することにより調整されている。
　好ましくは、さらに前記複数の溝同士を連結する連結溝が設けられている。
　好ましくは、前記複数の溝は、面取り加工を施された幅方向端部を各々が有している。
　好ましくは、前記複数の吸引穴の各々の縁は、面取り加工を施されている。
　この発明に従うシート取扱装置(10)は、
セラミックグリーンシート(20)を保持したキャリアシート(18)が載置される載置面を有する基盤(12)、および
前記載置面に対向する吸引面を有して前記セラミックグリーンシートを吸引する吸引ヘッド(14)を備えるシート取扱装置であって、
前記吸引面は、複数の吸引穴(HL, HL, …)および複数の溝 (GR, GR, …)を有し、
前記複数の溝は、前記吸引面内の端部領域の少なくとも一辺に、前記吸引面の外周に沿う方向に設けられ、
前記複数の吸引穴のうち前記吸引面内の端部領域に配置される吸引穴は、前記溝を通るように設けられている。
　本発明によれば、吸引によるシートダメージを抑制しつつ、セラミックグリーンシートをキャリアフィルムから確実かつ容易に剥離することのできる、吸引ヘッドおよびシート取扱装置を提供することができる。
　この発明の上述の目的，その他の目的，特徴および利点は、図面を参照して行う以下の実施例の詳細な説明から一層明らかとなろう。
図１は、本発明のシート取扱装置の一部を切り出して示した斜視図である。 図２は、図１に示したシート取扱装置をＹ軸方向に見たときの図であって、セラミックグリーンシートが上面に形成されたキャリアシートを吸引ヘッドの下に配置した状態の一例を示す図解図である。 図３は、キャリアシート上のセラミックグリーンシートをカット刃でカットした状態の一例を示す図解図である。 図４は、カットされたシート片を吸引ヘッドによって吸引し、キャリアシートから剥離した状態の一例を示す図解図である。 図５（ａ）は吸引ヘッドの形状の一例の一部を示す拡大斜視図、図５（ｂ）は吸引ヘッドの吸引面に設けられた溝および吸引穴の一部を示す拡大図である。 図６（ａ）は、前記吸引ヘッドの吸引面の一部を示す拡大平面図である。図６（ｂ）は図６（ａ）におけるＡ－Ａ矢視断面図であり、図６（ｃ）は図６（ａ）におけるＢ－Ｂ矢視断面図である。 図７（ａ）および図７（ｂ）は、溝形状の変形例の図６（ａ）におけるＢ－Ｂに対応する位置の矢視断面図である。 図８は、溝形状の変形例の断面図である。図８（ａ）は図６（ａ）におけるＡ－Ａに対応する位置の矢視断面図であり、図８（ｂ）は図６（ａ）におけるＢ－Ｂに対応する位置の矢視断面図である。 図９（ａ）および図９（ｂ）は、他の例の吸引ヘッドの吸引面の一部を示す拡大平面図である。 図１０（ａ）は、その他の例の吸引ヘッドの吸引面に設けられた溝および吸引穴の一部を示す拡大図である。図１０（ｂ）は、前記吸引ヘッドの吸引面の一部を示す拡大平面図である。 図１１は、さらに他の例の吸引ヘッドの吸引面の一部を示す拡大平面図である。
　図１を参照して、この実施例のシート取扱装置１０は、直方体状の基盤１２を含む。以下では、基盤１２をなす直方体の長さ方向，幅方向および高さ方向にＸ軸，Ｙ軸およびＺ軸を割り当てる。
　基盤１２の上面（＝Ｚ軸方向の正側を向く面：以下では「載置面」と呼ぶ）には、キャリアシート１８が載置される。キャリアシート１８は、基盤１２の幅に相当する幅と任意の長さとを有し、図示しない搬送ローラによってＸ軸方向における負側から正側に間欠的に搬送される。また、キャリアシート１８の上面には、セラミックグリーンシート２０が全面的に形成される。以下、セラミックグリーンシート２０を「グリーンシート２０」と呼ぶ。
　基盤１２の上方には、直方体状の吸引ヘッド１４が配置される。吸引ヘッド１４をなす直方体の長さ方向，幅方向および高さ方向はそれぞれ、Ｘ軸，Ｙ軸およびＺ軸に沿う。
　吸引ヘッド１４には４つの側面があり、それぞれの側面には、カット刃１６が設けられる。カット刃１６の刃長は吸引ヘッド１４の長さ方向または幅方向の寸法と一致する。図１においては、説明を容易に行うため、吸引ヘッド１４のＸ軸方向における負側の側面に設けられるカット刃１６のみを図示している。
　Ｘ軸方向における負側から眺めたとき、カット刃１６の先端部分は、吸引ヘッド１４の下面（＝Ｚ軸方向の負側を向く面：以下では「吸引面」と呼ぶ）よりもＺ軸方向の負側に突出する。Ｙ軸方向から眺めたとき、カット刃１６の先端部分は鋭角をなす。
　上述のように、キャリアシート１８はＸ軸方向における負側から正側に間欠的に搬送される。１回の搬送が完了すると、基盤１２の載置面に下向きの吸引力が発生し、次に吸引ヘッド１４が降下する。キャリアシート１８の上面に形成されたグリーンシート２０は、吸引ヘッド１４が降下したときにカット刃によって切断される（図２～図３参照）。切断によって得られたシート片２２の主面の大きさは吸引ヘッド１４の吸引面の大きさと一致する。
　グリーンシート２０の切断が完了すると、シート片２２は吸引ヘッド１４に発生した吸引力によって吸引面に保持される。基盤１２の載置面に発生した下向きの吸引力は、シート片２２が吸引面に保持された後に解除される。
　吸引ヘッド１４はその後、降下前の元の位置まで上昇する。吸引面に保持されたシート片２２はキャリアシート１８から剥離され、吸引ヘッド１４の上昇に伴って上昇する（図４参照）。こうして剥離されたシート片２２は、別の工程（＝積層工程）に移される。吸引ヘッド１４に発生した吸引力はシート片２２を別の工程に移すときに解除される。
　図５を参照して、吸引ヘッド１４の吸引面には、複数の吸引穴ＨＬおよび複数の溝ＧＲが形成される。複数の吸引穴ＨＬは、真空源（図示せず）に接続されている。複数の溝ＧＲは、吸引面内の端部領域に、吸引面の外周に沿う方向に設けられている。同図においては、溝ＧＲは、吸引面内の各辺の外周に沿って設けられ、四隅において繋がっているが、少なくとも一辺に設けられていればよい。複数の吸引穴ＨＬのうち吸引面内の端部領域に配置される吸引穴は、溝ＧＲを通るように設けられている。
　図１～４に示すようにキャリアシート１８がＸ軸方向に搬送される場合、溝ＧＲは、Ｙ軸方向に設けられていることが好ましい。切断後のシート片２２が剥離される際、キャリアフィルム１８に対してシート片２２は、外周付近から中央に向かって徐々に剥離される。このとき、溝ＧＲが吸引面の端部領域の少なくとも一辺に連続して形成されていることで、シート片２２の一端部を、辺全体で固定することが可能となり、シート片２２をキャリアシート１８から安定して剥離することができるようになる。
　吸引穴ＨＬの開口形状は円状であり、溝ＧＲの溝幅は、吸引面内の端部領域に配置される吸引穴ＨＬの直径より小さいことが好ましい。前記端部領域に配置される吸引穴の直径は、０．１ｍｍ～１ｍｍの範囲内にあることが好ましい。前記溝幅は、０．０５ｍｍ～０．５ｍｍの範囲内にあることが好ましい。吸引面において、溝ＧＲは、同じ面積を占めるのであれば、例えば、幅の広い溝を少数本設けるよりも、幅の狭い溝を多数本設けるほうが吸引時にグリーンシートが溝の奥まで入り込みにくくなり、グリーンシートの変形を抑制することができるので、好ましい。
　図６（ａ）は、図５に示す吸引ヘッドの吸引面の一部を示す拡大平面図である。図６（ｂ）は図６（ａ）におけるＡ－Ａ矢視断面図であり、図６（ｃ）は図６（ａ）におけるＢ－Ｂ矢視断面図である。溝ＧＲの深さは、０．０１ｍｍ～０．５ｍｍの範囲内にあることが好ましい。このような溝を設けることで、吸引ヘッドによるグリーンシートの保持を広い（長い）領域で行うことができ、グリーンシートのキャリアフィルムからの剥離を確実かつ容易に行うことができる。また、吸引ヘッドの端部領域に吸引穴ＨＬを多数形成しようとすると、加工が難しく手間がかかるが、溝の形成はそれに比べて非常に容易に行うことができる。
　本実施形態において、溝ＧＲの幅方向の断面形状は矩形形状であるが、図７（ａ）に示すように、前記断面形状は円弧状の形状（Ｒ形状）であってもよいし、図７（ｂ）に示すようにＶ字形状であってもよい。溝のコーナー部分がＲ形状であると、局所剥離工程において、グリーンシート２０が溝ＧＲの内面に密着するように変形しても、グリーンシート２０の破損を生じにくくすることができるので、好ましい。
　また、溝ＧＲの幅方向の両端部は、面取り加工を施されていることが好ましい。面取り加工では、端部をなす角が落とされ、かつ曲面仕上げが施される。また、複数の吸引穴ＨＬの各々の縁は、面取り加工を施されていることが好ましい。溝ＧＲおよび吸引穴ＨＬに面取り加工が施されると、図６（ａ）におけるＡ－Ａに対応する位置における矢視断面図は例えば図８（ａ）に、Ｂ－Ｂに対応する位置における矢視断面図は例えば図８（ｂ）に示すように、溝ＧＲの幅方向端部および吸引穴ＨＬの縁部は曲面をなす。溝ＧＲの幅方向端部、吸引穴ＨＬの縁部が面取り加工を施されていることにより、グリーンシートを吸引する際にグリーンシートにかかる力が緩和される。これによって、吸引によるシートダメージを抑制することができるので、好ましい。
　吸引ヘッド１４において、グリーンシート２０の保持は、シート片２２の剥離開始点のできるだけ近くで行うと、剥離能力を向上させることができる。したがって、吸引ヘッド１４の端部にできるだけ近い位置で、シート片を吸引することが好ましい。しかし、前述のとおり、端部に寄せて吸引穴ＨＬの加工をすることは困難である。そこで、グリーンシート２０（シート片２２）の保持を、より吸引ヘッド１４の吸引面の端部近くで行うために、吸引穴ＨＬの位置は変えなくとも、図９（ａ）に示すように、最外周に設けられる溝ＧＲＯを、吸引面の最も外寄りに配置される最外吸引穴ＨＬＯよりもさらに外側に設け、最外吸引穴ＨＬＯの外周に接するように設けることもできる。このように最外周の溝ＧＲＯを設けると、図６（ａ）と同じ吸引穴配置であるにもかかわらず、より端部でシート片２２の保持を行うことができる。吸引面の最外周に設けられる溝ＧＲＯの位置は、吸引面の端部に近ければ近いほうがよい。前記溝ＧＲＯが吸引面の端部の近くにあると、グリーンシートの剥離開始点のできるだけ近くを保持することができ、剥離能力を向上させることができる。
　あるいは、図９（ｂ）に示すように、最外周に設けられる溝ＧＲＯと吸引面の端部との距離は、最外周に設けられる溝ＧＲＯの溝幅を調整することにより調整することもできる。この場合も、図９（ａ）の場合と同様に、図６（ａ）と同じ吸引穴配置であるにもかかわらず、より端部でシート片２２の保持を行うことができる。
　図１０は、本発明の吸引ヘッドのその他の例を示した図である。図１０（ａ）は、本例の吸引ヘッドの吸引面に設けられた溝および吸引穴の一部を示す拡大図である。図１０（ｂ）は、前記吸引ヘッドの吸引面の一部を示す拡大平面図である。本例の吸引面の端部領域には、さらに複数の溝ＧＬ同士を連結する連結溝ＧＲ’が設けられている。図１０において連結溝ＧＲ’は溝ＧＲに直交する方向に設けられているが、溝ＧＬ同士を連結していれば形状や方向はこれに限定されない。このように溝ＧＬ同士を連結する連結溝ＧＲ’を設けることで、吸引穴を通らないがグリーンシート２０（シート片２２）の吸引保持を行うことのできる溝ＧＲ１を設けることが可能となる。したがって、連結溝ＧＲ’を設けることで、吸引穴の数や位置にかかわらず溝の間隔や本数を調整することが可能となる。
　図１１は、本発明の吸引ヘッドのさらに他の例の吸引ヘッドの吸引面の一部を示す拡大平面図である。図１１に示すように、連結溝ＧＲ’を設けることで、吸引穴を形成することが困難である吸引面の最端部の領域にも、グリーンシート２０（シート片２２）の吸引保持を行うことのできる溝ＧＲ２を設けることが可能となる。
　このように、吸引面には、その端部領域の少なくとも１辺に、吸引面の外周に沿う方向に複数の溝ＧＲが設けられているので、吸引によるシートダメージを抑制しつつ、セラミックグリーンシートをキャリアフィルムから確実かつ容易に剥離することができる。例えば、吸引圧を－６０ｋＰａで行った場合、１～３μｍ程度の厚みのグリーンシートを良好に剥離することができ、吸引圧等の調整によって、より薄いグリーンシートであっても取り扱うことが可能である。これにより、薄層大容量コンデンサ等の開発が可能となり、また、積層工程よりも前の工程での加工可能範囲を広げることができるため、シート組成、シート製造方法、シート特性、印刷工法、電極組成などのバリエーションを広げることによる、完成品であるチップのショートや特性改善も可能となった。
　さらに、溝ＧＲで吸引した場合は吸引面積が大きくなるため、吸引穴ＨＬの数が少なくても、所望の吸引力を確保することができる。これによって、吸引ヘッド１４の加工にかかるコストを抑制することができる。
　つまり、さらに薄いグリーンシートに対応するにはシートダメージを軽減するために微細な吸引穴が多数必要になるところ、微細な吸引穴を多数加工した場合、加工時間がかかりコストが上昇するだけでなくリードタイムも長くなり、生産性が低下する。本発明のように溝を形成することで、吸引穴の数を抑えることができ、さらに薄いグリーンシートの生産性を高めることができる。
　１０　…シート取扱装置
　１２　…基盤
　１４　…吸引ヘッド
　１６　…カット刃
　１８　…キャリアシート
　２０　…セラミックグリーンシート（グリーンシート）
　２２　…シート片
　ＧＲ、ＧＲ１、ＧＲ２　…溝
　ＨＬ　…吸引穴
　ＧＲＯ　最外周溝
　ＨＬＯ　最外吸引穴
　ＧＲ’　… 連結溝
 

Claims (8)

  1. セラミックグリーンシートを保持するための吸引面を有する吸引ヘッドであって、
    前記吸引面は、複数の吸引穴および複数の溝を有し、
    前記複数の溝は、前記吸引面内の端部領域の少なくとも一辺に、前記吸引面の外周に沿う方向に設けられ、
    前記複数の吸引穴のうち前記吸引面内の端部領域に配置される吸引穴は、前記溝を通るように設けられている、吸引ヘッド。
  2. 前記溝の溝幅は、前記吸引面内の端部領域に配置される吸引穴の直径より小さい、請求項１記載の吸引ヘッド。
  3. 前記複数の溝のうち、前記吸引面の最外周に設けられる溝は、前記複数の吸引穴のうち最も外寄りに配置される最外吸引穴よりもさらに外側に設けられ、かつ、前記最外吸引穴の外周に接するように設けられている、請求項１または２記載の吸引ヘッド。
  4. 前記複数の溝のうち前記吸引面の最外周に設けられる溝と、前記吸引面の端部との距離は、前記最外周に設けられる溝の溝幅を調整することにより調整されている、請求項１から３のいずれか一項に記載の吸引ヘッド。
  5. さらに前記複数の溝同士を連結する連結溝が設けられている、
    請求項１から４のいずれか一項に記載の吸引ヘッド。
  6. 前記複数の溝は、面取り加工を施された幅方向端部を各々が有している、請求項１から５のいずれか一項に記載の吸引ヘッド。
  7. 前記複数の吸引穴の各々の縁は、面取り加工を施されている、請求項１から６のいずれか一項に記載の吸引ヘッド。
  8. セラミックグリーンシートを保持したキャリアシートが載置される載置面を有する基盤、および
    前記載置面に対向する吸引面を有して前記セラミックグリーンシートを吸引する吸引ヘッドを備えるシート取扱装置であって、
    前記吸引面は、複数の吸引穴および複数の溝を有し、
    前記複数の溝は、前記吸引面内の端部領域の少なくとも一部に、前記吸引面の外周に沿う方向に設けられ、
    前記複数の吸引穴のうち前記吸引面内の端部領域に配置される吸引穴は、前記溝を通るように設けられている、シート取扱装置。
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