JPWO2015137184A1 - 吸引ヘッドおよびシート取扱装置 - Google Patents
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Abstract
Description
セラミックグリーンシート(20)を保持したキャリアシート(18)が載置される載置面を有する基盤(12)、および
前記載置面に対向する吸引面を有して前記セラミックグリーンシートを吸引する吸引ヘッド(14)を備えるシート取扱装置であって、
前記吸引面は、複数の吸引穴(HL, HL, …)および複数の溝 (GR, GR, …)を有し、
前記複数の溝は、前記吸引面内の端部領域の少なくとも一辺に、前記吸引面の外周に沿う方向に設けられ、
前記複数の吸引穴のうち前記吸引面内の端部領域に配置される吸引穴は、前記溝を通るように設けられている。
12 …基盤
14 …吸引ヘッド
16 …カット刃
18 …キャリアシート
20 …セラミックグリーンシート(グリーンシート)
22 …シート片
GR、GR1、GR2 …溝
HL …吸引穴
GRO 最外周溝
HLO 最外吸引穴
GR’ … 連結溝
Claims (8)
- セラミックグリーンシートを保持するための吸引面を有する吸引ヘッドであって、
前記吸引面は、複数の吸引穴および複数の溝を有し、
前記複数の溝は、前記吸引面内の端部領域の少なくとも一辺に、前記吸引面の外周に沿う方向に設けられ、
前記複数の吸引穴のうち前記吸引面内の端部領域に配置される吸引穴は、前記溝を通るように設けられている、吸引ヘッド。 - 前記溝の溝幅は、前記吸引面内の端部領域に配置される吸引穴の直径より小さい、請求項1記載の吸引ヘッド。
- 前記複数の溝のうち、前記吸引面の最外周に設けられる溝は、前記複数の吸引穴のうち最も外寄りに配置される最外吸引穴よりもさらに外側に設けられ、かつ、前記最外吸引穴の外周に接するように設けられている、請求項1または2記載の吸引ヘッド。
- 前記複数の溝のうち前記吸引面の最外周に設けられる溝と、前記吸引面の端部との距離は、前記最外周に設けられる溝の溝幅を調整することにより調整されている、請求項1から3のいずれか一項に記載の吸引ヘッド。
- さらに前記複数の溝同士を連結する連結溝が設けられている、
請求項1から4のいずれか一項に記載の吸引ヘッド。 - 前記複数の溝は、面取り加工を施された幅方向端部を各々が有している、請求項1から5のいずれか一項に記載の吸引ヘッド。
- 前記複数の吸引穴の各々の縁は、面取り加工を施されている、請求項1から6のいずれか一項に記載の吸引ヘッド。
- セラミックグリーンシートを保持したキャリアシートが載置される載置面を有する基盤、および
前記載置面に対向する吸引面を有して前記セラミックグリーンシートを吸引する吸引ヘッドを備えるシート取扱装置であって、
前記吸引面は、複数の吸引穴および複数の溝を有し、
前記複数の溝は、前記吸引面内の端部領域の少なくとも一部に、前記吸引面の外周に沿う方向に設けられ、
前記複数の吸引穴のうち前記吸引面内の端部領域に配置される吸引穴は、前記溝を通るように設けられている、シート取扱装置。
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