KR102457547B1

KR102457547B1 - 유지 테이블

Info

Publication number: KR102457547B1
Application number: KR1020170002232A
Authority: KR
Inventors: 신이치 나미오카; 예 천
Original assignee: 가부시기가이샤 디스코
Priority date: 2016-01-22
Filing date: 2017-01-06
Publication date: 2022-10-20
Also published as: KR20170088288A; JP2017127945A; JP6661385B2; TW201726295A; TWI702109B

Abstract

(과제) 피가공물의 들뜸을 억제하는 것.
(해결 수단) 유지 테이블 (20) 은, 중앙에 사각형의 배선 영역 (W1) 과 외주에 배선 영역을 둘러싸는 잉여 영역 (W2) 을 구비하는 가요성의 직사각형의 피가공물 (W) 을 흡인 유지하는 것이다. 유지 테이블은, 피가공물의 배선 영역을 흡인 유지하는 흡인반 (21) 과, 흡인반에 의해 흡인 유지되는 피가공물의 잉여 영역의 외주 가장자리를 협지하여 유지면보다 아래로 눌러 내리는 압하부와, 유지면 방향에 있어서의 흡인반의 외주와 압하부의 경계에서 잉여 영역을 흡인하는 베이스 (22) 를 구비한다.

Description

유지 테이블{HOLDING TABLE}

본 발명은 유지 테이블에 관한 것으로, 특히, 선삭 장치에 적용 가능한 유지 테이블에 관한 것이다.

종래, 원호상의 절삭날을 갖는 바이트를 사용하여 피가공물의 상면을 선삭하는 선삭 장치가 알려져 있다 (특허문헌 1 참조). 특허문헌 1 에 기재된 선삭 장치에서는, 연직축 둘레로 회전하는 스핀들의 마운트의 외주 부분의 일부에 바이트가 고정되어 있다. 그리고, 피가공물을 유지한 척 테이블 (유지 수단) 을 저속으로 가공 이송하면서, 바이트가 스핀들의 연직축 둘레로 선회됨으로써, 척 테이블 상에 유지된 피가공물이 선삭된다. 그 결과, 피가공물이 균일한 높이 (두께) 로 박화 (薄化) 된다.

또, 작금의 회로 기판의 박화에 수반하여, 선삭 대상이 되는 피가공물도 한층 더 박화가 요구되고 있다. 그 예로서, 코어 기판을 구비하지 않는 코어리스 기판을 들 수 있다. 코어리스 기판은 배선층이나 수지층 등의 복수의 층으로 형성되는 적층체로, 가요성을 가진 시트상으로 형성된다.

일본 공개특허공보 2013-056397호

그런데, 상면에서 볼 때 직사각형상인 코어리스 기판을 선삭 장치에 의해 가공할 때에는, 유지 테이블 상에 코어리스 기판을 재치 (載置) 하여 흡인 유지한다. 이 경우, 유지 테이블로부터 코어리스 기판이 말려 올라가지 않도록, 코어리스 기판의 사변을 눌러 유지하는 것이 고려된다. 그러나, 코어리스 기판이 가요성을 갖고 있기 때문에, 코어리스 기판의 외측 가장자리부 근방이 유지면으로부터 들떠 버리는 경우가 있다. 이 때문에, 선삭 가공이 실시되면, 들뜬 부분에 바이트가 걸려 버려, 적절히 가공되지 않는다는 문제가 있다.

본 발명은 이와 같은 점을 감안하여 이루어진 것으로, 유지면으로부터 피가공물이 들뜨는 것을 억제할 수 있는 유지 테이블을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명에 관련된 유지 테이블은, 중앙에 사각형의 배선 영역과 외주에 배선 영역을 둘러싸는 잉여 영역을 구비하는 시트상으로 가요성을 갖는 직사각형의 피가공물을 유지하는 유지 테이블로서, 피가공물의 배선 영역을 흡인 유지하는 사각형의 유지면을 갖는 제 1 흡인 유지부와, 제 1 흡인 유지부에 의해 흡인 유지되는 피가공물의 잉여 영역의 외주 가장자리를 협지 (挾持) 하여 유지면보다 아래로 눌러 내리는 압하부와, 유지면 방향에 있어서의 제 1 흡인 유지부의 외주와 압하부의 경계에서 잉여 영역을 흡인하는 제 2 흡인 유지부를 구비하고, 그 제 2 흡인 유지부는, 그 제 1 흡인 유지부를 장착하기 위한 오목부와, 그 오목부의 외주로부터 외주측을 향함에 따라 하방으로 경사지는 제 1 경사면을 갖고, 그 오목부에 의해 그 제 1 흡인 유지부와 그 오목부의 내벽 사이에 직사각형의 간극이 형성되고, 그 압하부는, 그 제 1 경사면에 대향하는 제 2 경사면을 갖고, 그 잉여 영역은, 그 제 1 경사면과 그 제 2 경사면 사이에서 그 유지면보다 하방에서 협지되고, 그 제 2 흡인 유지부는, 피가공물의 그 외주 가장자리가 그 압하부에 의해 눌러 내려짐으로써 그 배선 영역과 그 잉여 영역의 경계 부분에 있어서 그 유지면보다 상방에 형성된 피가공물의 볼록부의 정점을, 그 제 1 흡인 유지부의 외측에 형성되는 그 간극에서 흡인함으로써 그 유지면보다 하방으로 이동시킨다.

이 구성에 의하면, 피가공물의 배선 영역은 제 1 흡인 유지부에 의해 흡인 유지되는 한편, 피가공물의 잉여 영역이 유지면보다 아래로 눌러 내려짐으로써, 제 1 흡인 유지부의 외주와 압하부의 경계 (외주측) 에 있어서 피가공물이 구부러져 볼록부가 생긴다. 이 때, 제 2 흡인 유지부에 의해, 제 1 흡인 유지부의 외주와 압하부의 경계에서 피가공물 (잉여 영역) 이 흡인됨으로써, 상기 볼록부가 압하부측으로 끌어당겨진다. 이로써, 유지면으로부터 피가공물이 들뜨는 것을 억제할 수 있다.

본 발명에 의하면, 굽힘에 의해 생기는 피가공물의 볼록부를 흡인함으로써, 유지면으로부터 피가공물이 들뜨는 것을 억제할 수 있다.

도 1 은, 본 실시형태에 관련된 유지 테이블이 적용되는 선삭 장치의 사시도이다.
도 2 는, 본 실시형태에 관련된 유지 테이블의 상면 모식도이다.
도 3 은, 본 실시형태에 관련된 유지 테이블의 단면 모식도이다.
도 4 는, 본 실시형태에 관련된 유지 테이블의 흡인 유지 동작을 나타내는 도면이다.
도 5 는, 본 실시형태에 관련된 유지 테이블의 흡인 유지 동작의 부분 확대도이다.

이하, 첨부 도면을 참조하여, 본 실시형태에 관련된 유지 테이블이 적용되는 선삭 장치에 대해 설명한다. 도 1 은, 본 실시형태에 관련된 유지 테이블이 적용되는 선삭 장치의 사시도이다. 또한, 본 실시형태에 관련된 유지 테이블은, 도 1 에 나타내는 바와 같이 선삭 장치에 한정되지 않고, 연삭 장치 등 다른 타입의 가공 장치에 적용되어도 된다. 또한, 도 1 에 나타내는 유지 테이블은, 설명의 편의상, 일부 구성을 생략하고 있다.

도 1 에 나타내는 바와 같이, 선삭 장치 (1) 는, 피가공물 (W) 을 유지한 유지 테이블 (20) 을 저속으로 X 축 방향으로 가공 이송하면서, 단일의 바이트 (46) 에 의해 피가공물 (W) 의 상면을 크리프 피드 방식으로 선삭하도록 구성되어 있다.

피가공물 (W) 은, 배선층이나 수지층, 실리콘층 등의 복수의 층을 적층하여 형성되는 시트상의 코어리스 기판으로 구성된다. 피가공물 (W) 은, 상면에서 볼 때 직사각형상으로 형성되며, 가요성을 갖고 있다. 피가공물 (W) 의 중앙에는, 사각형의 배선 영역 (W1) 이 형성되어 있다. 또, 피가공물 (W) 의 외주에는, 배선 영역 (W1) 을 둘러싸도록 고리형의 잉여 영역 (W2) 이 형성되어 있다. 이 잉여 영역 (W2) 은, 제품으로서는 사용되지 않는 단재 (端材) 가 된다. 또한, 피가공물 (W) 은 코어리스 기판에 한정되지 않고, 가요성을 갖는 시트상의 것이면 어떻게 구성되어도 된다.

선삭 장치 (1) 의 기대 (10) 의 상면에는, X 축 방향으로 연장되는 직사각형상의 개구가 형성되고, 이 개구는 유지 테이블 (20) 과 함께 이동 가능한 이동판 (11) 및 벨로우즈상의 방수 커버 (12) 에 의해 덮여 있다. 방수 커버 (12) 의 하방에는, 유지 테이블 (20) 을 X 축 방향으로 이동시키는 볼 나사식의 진퇴 수단 (도시 생략) 이 형성되어 있다. 유지 테이블 (20) 의 표면에는, 피가공물 (W) 을 흡인 유지하는 유지면 (21a) (도 3 참조) 이 형성되어 있다. 유지면 (21a) 은, 유지 테이블 (20) 내의 유로를 통해 흡인원 (도시 생략) 에 접속되어 있고, 유지면 (21a) 에 발생하는 부압에 의해 피가공물 (W) 이 흡인 유지된다. 유지 테이블 (20) 의 상세한 구성에 대해서는 후술한다.

기대 (10) 상의 칼럼 (15) 에는, 선삭 수단 (40) 을 유지 테이블 (20) 에 대하여 Z 축 방향으로 접근 및 이간시키는 이송 수단 (30) 이 형성되어 있다. 이송 수단 (30) 은, 칼럼 (15) 에 배치된 Z 축 방향으로 평행한 1 쌍의 가이드 레일 (31) 과, 1 쌍의 가이드 레일 (31) 에 슬라이드 가능하게 설치된 모터 구동의 Z 축 테이블 (32) 을 갖고 있다. Z 축 테이블 (32) 의 배면측에는 도시되지 않은 너트부가 형성되고, 이들 너트부에 볼 나사 (33) 가 나사 결합되어 있다. 볼 나사 (33) 의 일단부에 연결된 구동 모터 (34) 에 의해 볼 나사 (33) 가 회전 구동됨으로써, 선삭 수단 (40) 이 가이드 레일 (31) 을 따라 Z 축 방향으로 이동된다.

선삭 수단 (40) 은, 하우징 (41) 을 통해 Z 축 테이블 (32) 의 전면 (前面) 에 장착되어 있고, 원통상의 회전 스핀들 (42) 의 하단에 마운트 (43) 를 형성하여 구성되어 있다. 회전 스핀들 (42) 에는 플랜지 (44) 가 형성되고, 플랜지 (44) 를 통해 하우징 (41) 에 선삭 수단 (40) 이 지지된다. 마운트 (43) 의 하면의 외주측 일부에는 바이트 장착부 (45) 가 형성되어 있고, 바이트 장착부 (45) 에는 바이트 (46) 가 장착되어 있다. 바이트 (46) 에는, 초경 바이트나 다이아몬드 바이트 등이 사용된다.

이와 같이 구성된 선삭 장치 (1) 에서는, 회전 스핀들 (42) 에 의해 바이트 (46) 가 Z 축 둘레로 선회 이동되면서, 선삭 수단 (40) 이 유지 테이블 (20) 에 가까워진다. 그리고, 피가공물 (W) 을 향하여 가공수 혹은 에어가 공급되어 바이트 (46) 의 선단을 냉각시키면서, 바이트 (46) 가 피가공물 (W) 의 상면에 회전 접촉됨으로써, 바이트 (46) 의 선단과 피가공물 (W) 이 상대적으로 슬라이딩되어 피가공물 (W) 이 선삭된다. 바이트 (46) 를 회전시키면서 유지 테이블 (20) 이 X 축 방향으로 저속으로 수평 이동됨으로써, 피가공물 (W) 이 전체면에 걸쳐 선삭된다.

다음으로, 도 2 및 도 3 을 참조하여, 본 실시형태에 관련된 유지 테이블에 대해 설명한다. 도 2 는, 본 실시형태에 관련된 유지 테이블의 상면 모식도이다. 도 3 은, 본 실시형태에 관련된 유지 테이블의 단면 모식도이다. 또한, 도 2 및 도 3 에 나타내는 유지 테이블은 어디까지나 모식도이며, 각 부의 치수나 형상은 과장되어 표현되고 있다.

도 2 및 도 3 에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태에 관련된 유지 테이블 (20) 은, 시트상의 피가공물 (W) 을 흡인 유지하도록 구성되어 있고, 피가공물 (W) 의 배선 영역 (W1) 을 흡인 유지하는 제 1 흡인 유지부 (흡인반 (吸引盤) (21)) 와, 피가공물 (W) 의 잉여 영역 (W2) 을 흡인 유지하는 제 2 흡인 유지부 (베이스 (22)) 를 구비하고 있다. 구체적으로 유지 테이블 (20) 은, 표면 중앙에 직사각형 오목부 (22a) 가 형성된 베이스 (22) 에 직사각형상의 흡인반 (21) 을 장착한 상면에서 볼 때 직사각형상으로 형성되어 있다.

흡인반 (21) 의 상면은, 피가공물 (W) 의 배선 영역 (W1) 을 흡인 유지하는 유지면 (21a) 으로 되어 있다. 유지면 (21a) 은, 피가공물 (W) 의 배선 영역 (W1) 과 대략 동일한 크기 (면적) 를 갖고 있다. 또, 흡인반 (21) 에는, 상면으로부터 하면을 향해 복수의 관통구 (21b) 가 형성되어 있다. 관통구 (21b) 는, 직사각형 오목부 (22a) 의 바닥면에 형성되는 연통로 (22b) (제 1 연통로) 를 통해 제 1 흡인원 (23) 에 접속된다. 흡인반 (21) 은, 제 1 흡인원 (23) 에 흡인됨으로써 유지면 (21a) 에 부압이 발생하여, 피가공물 (W) 을 흡인 유지하는 것이 가능해진다.

또, 흡인반 (21) 의 외측면과 직사각형 오목부 (22a) 와 내측면 사이에는 약간의 간극이 형성되어 있다. 이 간극은, 베이스 (22) 에 형성되는 연통로 (22c) (제 2 연통로) 를 통해 제 2 흡인원 (24) 에 접속된다. 또한, 제 1 흡인원 (23) 및 제 2 흡인원 (24) 은, 도시되지 않은 밸브로부터 각각의 흡인 타이밍을 자유롭게 조정하는 것이 가능하게 되어 있다.

직사각형 오목부 (22a) 의 외주에는, 외주측을 향함에 따라 하방으로 경사지는 경사부 (25) 가 형성되어 있다. 경사부 (25) 는, 직사각형 오목부 (22a) 를 둘러싸도록 상면에서 볼 때 사각 고리형으로 형성된다. 상세하게는 후술하지만, 이 경사부 (25) 가, 피가공물 (W) 의 잉여 영역을 지지하는 지지부로서 기능한다.

또, 베이스 (22) 의 사변 상방에는, 피가공물 (W) 의 외주 가장자리 (잉여 영역 (W2)) 를 베이스 (22) 를 향하여 누르는 복수의 누름부 (26) (본 실시형태에서는, 베이스 (22) 의 각 변 상에 1 개씩 합계 4 개) 가 형성되어 있다. 누름부 (26) 는, 베이스 (22) 의 각 변을 따른 장척 플레이트로 형성되고, 경사부 (25) 의 경사면 (25a) 에 대향하는 경사면 (26a) 을 갖고 있다 (도 5 참조). 피가공물 (W) 의 잉여 영역 (W2) 은, 베이스 (22) 의 경사부 (25) 와 누름부 (26) 에 의해 사이에 끼워짐으로써 유지된다. 또한, 상세하게는 후술하지만, 경사부 (25) 및 누름부 (26) 는, 피가공물 (W) 의 잉여 영역 (W2) 을 유지면 (21a) 보다 하방으로 눌러 내리는 압하부를 구성한다.

그런데, 코어리스 기판과 같이 가요성을 갖는 피가공물 (W) 에 있어서는, 외주측에 휨이 발생하는 경우가 있다. 이 때문에, 피가공물 (W) 을 유지면 (21a) 상에서 흡인 유지하는 것만으로는, 피가공물 (W) 의 외측 가장자리부가 유지면 (21a) 으로부터 튀어오르는 경우가 있다. 이 상태로 선삭 가공이 실시되면, 튀어오른 피가공물 (W) 에 바이트 (46) (도 1 참조) 가 걸려 버려, 피가공물 (W) 을 적절히 가공할 수 없는 경우가 상정된다.

이 대책으로서, 피가공물 (W) 의 외측 가장자리부 (잉여 영역 (W2)) 를 누름으로써, 피가공물 (W) 의 휨을 교정하는 것이 고려된다. 그러나, 피가공물 (W) 의 외측 가장자리부가 유지면 (21a) 보다 하방에 위치하도록 눌러 내려지면, 압하된 피가공물 (W) 에 굽힘이 생겨, 피가공물 (W) 이 유지면 (21a) 으로부터 들떠 버린다 (예를 들어, 도 5A 참조). 이 때문에, 선삭 가공이 실시되면, 상기와 동일하게, 유지면 (21a) 으로부터 들뜬 피가공물 (W) 에 바이트 (46) 가 걸려, 피가공물 (W) 을 적절히 가공할 수 없다. 가령 바이트 (46) 가 피가공물 (W) 에 걸리지 않았다고 해도, 들뜬 분만큼 불필요하게 피가공물 (W) 이 선삭 가공되는 결과, 피가공물 (W) 을 원하는 두께로 가공할 수 없는 경우가 상정된다.

그래서, 본 실시형태에서는, 피가공물 (W) 의 배선 영역 (W1) 을 흡인반 (21) (제 1 흡인 유지부) 에 의해 흡인 유지하고, 피가공물 (W) 의 잉여 영역 (W2) 을 베이스 (22) 의 경사부 (25) 와 누름부 (26) 사이에서 협지하고 있다. 이 때, 잉여 영역 (W2) 이 유지면 (21a) 보다 하방으로 눌러 내려짐으로써, 흡인반 (21) 과 베이스 (22) (직사각형 오목부 (22a)) 의 경계 부분에서 피가공물 (W) 에 굽힘이 형성되어 볼록부가 생긴다. 그러나, 흡인반 (21) 과 직사각형 오목부 (22a) 의 간극이 흡인됨으로써, 당해 볼록부가 하방으로 끌어당겨진다. 그 결과, 피가공물 (W) 이 유지면 (21a) 보다 상방으로 들뜨는 것을 억제하는 것이 가능해졌다.

다음으로, 도 4 및 도 5 를 참조하여, 본 실시형태에 관련된 유지 테이블을 사용하여 피가공물을 흡인 유지할 때의 동작에 대해 설명한다. 도 4 는, 본 실시형태에 관련된 유지 테이블의 흡인 유지 동작을 나타내는 도면이다. 도 5 는, 본 실시형태에 관련된 유지 테이블의 흡인 유지 동작의 부분 확대도이다. 도 4A 내지 도 4C 는, 흡인 유지의 동작 천이도를 나타내고 있다. 도 5A 는 도 4B 의 X 부의 부분 확대도이고, 도 5B 는 도 4C 의 Y 부의 부분 확대도이다.

도 4A 에 나타내는 바와 같이, 베이스 (22) (경사부 (25)) 로부터 누름부 (26) 가 퇴피된 상태에서, 먼저, 피가공물 (W) 을 흡인반 (21) 에 재치한다. 이 때, 피가공물 (W) 의 배선 영역 (W1) 이 유지면 (21a) 상에 오도록 위치되어진다. 그리고, 제 1 흡인원 (23) 에 의해 흡인반 (21) 이 흡인됨으로써, 피가공물 (W) 의 배선 영역 (W1) 이 유지면 (21a) 에 흡인 유지된다. 또한, 이 때, 제 2 흡인원 (24) 에 의한 흡인은 실시되고 있지 않다.

다음으로, 도 4B 및 도 5A 에 나타내는 바와 같이, 누름부 (26) 에 의해, 피가공물 (W) 의 외측 가장자리부 (잉여 영역 (W2)) 가 하방으로 눌러 내려져, 피가공물 (W) (잉여 영역 (W2)) 은, 경사부 (25) 의 경사면 (25a) 과 누름부 (26) 의 경사면 (26a) 사이에 협지된다. 이 때, 피가공물 (W) 의 외측 가장자리부가 유지면 (21a) 보다 하방으로 눌러 내려지는 결과, 배선 영역 (W1) 과 잉여 영역 (W2) 의 경계 부분, 즉, 흡인반 (21) 의 외측면과 직사각형 오목부 (22a) 의 내측면 사이에서 피가공물 (W) 에 굽힘이 형성된다.

그 결과, 피가공물 (W) 에 볼록부 (B) 가 생긴다. 특히, 도 5A 에 나타내는 바와 같이, 볼록부 (B) 에 의해 유지면 (21a) 과 피가공물 (W) 사이에 약간의 간극이 생겨 있다. 이 때, 유지면 (21a) 상에 간극 없이 흡인 유지된 피가공물 (W) 의 표면보다, 볼록부 (B) 의 정점이 상방에 위치되어져 있다.

다음으로, 제 2 흡인원 (24) 에 의한 흡인이 실시되어, 흡인반 (21) 의 외측면과 직사각형 오목부 (22a) 의 내측면의 간극에 부압이 발생한다. 그 결과, 도 4C 및 도 5B 에 나타내는 바와 같이, 배선 영역 (W1) 과 잉여 영역 (W2) 의 경계 부분이 하방을 향하여 흡인된다. 이 때, 유지면 (21a) 과 피가공물 (W) (배선 영역 (W1)) 의 간극이 없어짐과 함께, 볼록부 (B) 의 정점이 경사부 (25) 측으로 이동한다. 특히, 도 5B 에 나타내는 바와 같이, 볼록부 (B) 의 정점이 유지면 (21a) 보다 하방에 위치되어진다. 그 결과, 피가공물 (W) 의 배선 영역 (W1) 이 유지면 (21a) 으로부터 들뜨는 것을 억제할 수 있다.

이와 같이, 피가공물 (W) 의 외주 가장자리를 협지했을 때에 굽힘이 생겨도, 흡인반 (21) 과 직사각형 오목부 (22a) 사이로부터 굽힘 부분 (볼록부 (B)) 을 흡인함으로써, 볼록부 (B) 의 정점이 유지면 (21a) 으로부터 위로 튀어나오지 않도록 볼록부 (B) 의 위치를 외주측으로 이동시킬 수 있다. 이로써, 피가공물 (W) 의 들뜸이 억제되어, 선삭 가공을 할 때, 바이트 (46) (도 1 참조) 가 피가공물 (W) 에 걸리는 것을 방지할 수 있어, 피가공물 (W) 을 원하는 두께로 선삭 가공하는 것이 가능해진다.

이상과 같이, 본 실시형태에 의하면, 피가공물 (W) 의 배선 영역 (W1) 은 제 1 흡인 유지부 (흡인반 (21)) 에 의해 흡인 유지되는 한편, 피가공물 (W) 의 잉여 영역 (W2) 이 유지면 (21a) 보다 아래로 눌러 내려짐으로써, 흡인반 (21) 의 외주와 압하부 (경사부 (25)) 의 경계 (외주측) 에 있어서 피가공물 (W) 이 구부러져 볼록부 (B) 가 생긴다. 이 때, 흡인반 (21) 의 외주와 직사각형 오목부 (22a) 의 경계에서 피가공물 (W) (잉여 영역 (W2)) 이 흡인됨으로써, 상기 볼록부 (B) 가 압하부 (경사부 (25) 및 누름부 (26)) 측으로 끌어당겨진다. 이로써, 유지면 (21a) 으로부터 피가공물 (W) 이 들뜨는 것을 억제할 수 있다.

또한, 본 발명은 상기 실시형태에 한정되지 않고, 여러 가지 변경하여 실시하는 것이 가능하다. 상기 실시형태에 있어서, 첨부 도면에 도시되어 있는 크기나 형상 등에 대해서는, 이것에 한정되지 않고, 본 발명의 효과를 발휘하는 범위 내에서 적절히 변경하는 것이 가능하다. 그 외, 본 발명의 목적의 범위를 일탈하지 않는 한에서 적절히 변경하여 실시하는 것이 가능하다.

또, 상기한 실시형태에서는, 제 1 흡인원 (23) 과 제 2 흡인원 (24) 을 별도로 형성하는 구성으로 하였지만, 이 구성에 한정되지 않는다. 제 1 흡인원 (23) 과 제 2 흡인원 (24) 을 공통으로 해도 된다.

또, 상기한 실시형태에서는, 상면에서 볼 때 직사각형상의 피가공물 (W) 을 흡인 유지하는 구성으로 하였지만, 이 구성에 한정되지 않는다. 피가공물 (W) 은, 예를 들어, 원형상으로 형성되어도 된다. 이 경우, 피가공물 (W) 의 형상에 맞추어 유지 테이블 (20) 의 형상도 적절히 변경하는 것이 바람직하다. 또, 직사각형상의 피가공물 (W) 을 흡인 유지할 때에, 미리 피가공물 (W) 의 네 모서리의 잉여 영역 (W2) 을 잘라냄으로써, 잉여 영역 (W2) 을 협지했을 때, 네 모서리에 주름 (유지면 (21a) 으로부터의 들뜸) 이 발생하는 것을 방지할 수도 있다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명은, 피가공물의 들뜸을 억제할 수 있다는 효과를 갖고, 특히, 선삭 장치에 적용 가능한 유지 테이블에 유용하다.

W : 피가공물
W1 : 배선 영역
W2 : 잉여 영역
20 : 유지 테이블
21 : 흡인반 (제 1 흡인 유지부)
21a : 유지면
22 : 베이스 (제 2 흡인 유지부)
25 : 경사부 (지지부：압하부)
26 : 누름부 (압하부)
B : 볼록부

Claims

중앙에 사각형의 배선 영역과 외주에 그 배선 영역을 둘러싸는 잉여 영역을 구비하는 시트상으로 가요성을 갖는 직사각형의 피가공물을 유지하는 유지 테이블로서,
피가공물의 그 배선 영역을 흡인 유지하는 사각형의 유지면을 갖는 제 1 흡인 유지부와,
그 제 1 흡인 유지부에 의해 흡인 유지되는 피가공물의 그 잉여 영역의 외주 가장자리를 협지하여 그 유지면보다 아래로 눌러 내리는 압하부와,
그 유지면 방향에 있어서의 그 제 1 흡인 유지부의 외주와 그 압하부의 경계에서 그 잉여 영역을 흡인하는 제 2 흡인 유지부를 구비하고,
그 제 2 흡인 유지부는, 그 제 1 흡인 유지부를 장착하기 위한 오목부와, 그 오목부의 외주로부터 외주측을 향함에 따라 하방으로 경사지는 제 1 경사면을 갖고, 그 오목부에 의해 그 제 1 흡인 유지부와 그 오목부의 내벽 사이에 직사각형의 간극이 형성되고,
그 압하부는, 그 제 1 경사면에 대향하는 제 2 경사면을 갖고,
그 잉여 영역은, 그 제 1 경사면과 그 제 2 경사면 사이에서 그 유지면보다 하방에서 협지되고,
그 제 2 흡인 유지부는, 피가공물의 그 외주 가장자리가 그 압하부에 의해 눌러 내려짐으로써 그 배선 영역과 그 잉여 영역의 경계 부분에 있어서 그 유지면보다 상방에 형성된 피가공물의 볼록부의 정점을, 그 제 1 흡인 유지부의 외측에 형성되는 그 간극에서 흡인함으로써 그 유지면보다 하방으로 이동시키는 유지 테이블.