TW201726295A - 保持台 - Google Patents

Abstract

本發明的課題是抑制被加工物的浮起。本發明的解決手段是一種保持台(20)係保持可撓性之矩形的被加工物(W)；該被加工物(W)係於中央具備四角形的配線區域(W1)，於外周具備圍繞該配線區域的剩餘區域(W2)。保持台係具備吸引保持被加工物之配線區域的吸引盤(21)、狹持被吸引盤吸引保持之被加工物的剩餘區域的外周緣，並下推至比保持面更方下的下推部、在保持面方向之吸引盤的外周與下推部的邊界，吸引剩餘區域的基座(22)。

Description

保持台

本發明係關於保持台，尤其關於可適用於旋削裝置的保持台。

先前，公知有使用具有圓弧狀之切刃的切削工具，對被加工物的上面進行旋削的旋削裝置(參照專利文獻1)。在專利文獻1所記載的旋削裝置中，繞垂直軸旋轉之主軸的架座之外周部份的一部分，固定切削工具。然後，利用一邊對保持被加工物的吸盤台(保持手段)以低速進行加工進送，一邊讓切削工具繞主軸的垂直軸旋回，對被保持於吸盤台上的被加工物進行旋削。結果，被加工物被薄化成均勻的高度(厚度)。

又，伴隨昨今之電路基板的薄化，旋削對象的被加工物也被要求更進一步的薄化。作為其例子，可舉出不具備核心基板的無芯基板。無芯基板是以配線層及樹脂層等的複數層所形成的層積體，形成為具有可撓性的薄片狀。

[先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本特開2013-056397號公報

話說，在以旋削裝置對俯視矩形狀之無芯基板進行加工時，於保持台上載置並吸引保持無芯基板。此時，考量以從保持台不會捲起無芯基板之方式，壓住並保持無芯基板的四邊。然而，因無芯基板具有可撓性，故無芯基板的外緣部附近會有從保持面浮起之狀況。因此，會有如實施旋削加工的話，浮起的部分卡到切削工具，無法適切進行加工的問題。

本發明係有鑑於此種問題點所發明者，目的為提供可抑制被加工物從保持面浮起的保持台。

本發明的保持台，係保持可撓性之矩形的被加工物；該被加工物，係於中央具備四角形的配線區域，於外周具備圍繞配線區域的剩餘區域；保持台係具備：第1吸引保持部，係具有吸引保持被加工物的配線區域之四角形的保持面；下推部，係挾持被第1吸引保持部吸引保持之被加工物的該剩餘區域的外周緣，並下推至比該保持面更下方；及第2吸引保持部，係在保持面方向之該第1 吸引保持部的外周與該下推部的邊界，吸引剩餘區域。

依據該構造，被加工物的配線區域，係利用藉由第1吸引保持部吸引保持，另一方面，被加工物的剩餘區域被下推至比保持面更下方，於第1吸引保持部的外周與下推部的邊界(外周側)中被加工物會彎曲而產生膨脹。此時，利用藉由第2吸引保持部，在第1吸引保持部的外周與下推部的邊界，吸引被加工物(剩餘區域)，將前述膨脹拉到下推部側。藉此，可抑制被加工物從保持面浮起之狀況。

依據本發明，可藉由吸引因為彎曲而產生之被加工物的膨脹，抑制被加工物從保持面浮起之狀況。

11‧‧‧移動板

12‧‧‧防水護蓋

15‧‧‧支柱

20‧‧‧保持台

21‧‧‧吸引盤(第1吸引保持部)

21a‧‧‧保持面

21b‧‧‧貫通口

22‧‧‧基座(第2吸引保持部)

22a‧‧‧矩形凹部

22b‧‧‧連通路徑

22c‧‧‧連通路徑

23‧‧‧第1吸引源

24‧‧‧第2吸引源

25‧‧‧傾斜部(支承部：下推部)

25a‧‧‧傾斜面

26‧‧‧推壓部(下推部)

26a‧‧‧傾斜面

30‧‧‧進給手段

31‧‧‧導引軌道

32‧‧‧Z軸台

33‧‧‧滾珠螺桿

40‧‧‧旋削手段

41‧‧‧殼體

42‧‧‧旋轉主軸

43‧‧‧架座

44‧‧‧凸緣

45‧‧‧切削工具安裝部

46‧‧‧切削工具

B‧‧‧膨脹

W‧‧‧被加工物

W1‧‧‧配線區域

W2‧‧‧剩餘區域

[圖1]適用本實施形態之保持台的旋削裝置的立體圖。

[圖2]本實施形態之保持台的上面模式圖。

[圖3]本實施形態之保持台的剖面模式圖。

[圖4]揭示本實施形態之保持台的吸引保持動作的圖。

[圖5]本實施形態之保持台的吸引保持動作的部分放大圖。

以下，參照添附圖面，針對適用本實施形態之保持台的旋削裝置進行說明。圖1係適用本實施形態之保持台的旋削裝置的立體圖。再者，本實施形態的保持台，並如如圖1所示限定於旋削裝置，適用於研磨裝置等之其他類型的加工裝置亦可。再者，圖1所示之保持台，為了便利說明，省略一部分的構造。

如圖1所示，旋削裝置1係以一邊將保持被加工物W的保持台20以低速向X軸方向加工進送，一邊藉由單一切削工具46，對被加工物W的上面以深進緩給(Creep feed)方式進行旋削之方式構成。

被加工物W係以層積配線層及樹脂層、矽層等的複數層所形成之薄片狀的無芯基板所構成。被加工物W係形成為俯視矩形狀，具有可撓性。於被加工物W的中央，形成有四角形的配線區域W1。又，於被加工物W的外周，以圍繞配線區域W之方式形成環狀的剩餘區域W2。該剩餘區域W2成為不作為產品所使用的端材。再者，被加工物W並不限定於無芯基板，只要是具有可撓性之薄面狀者，任意構成亦可。

於旋削裝置1的基台10的上面，形成延伸於X軸方向之矩形狀的開口，該開口被可與保持台20一起移動的移動板11及蛇腹狀的防水護蓋12覆蓋。於防水護蓋12的下方，設置有使保持台20往X軸方向移動之滾珠 螺桿式的進退手段(未圖示)。於保持台20的表面，形成有吸引保持被加工物W的保持面21a(參照圖3)。保持面21a透過保持台20內的流通路徑，連接於吸引源(未圖示)，藉由保持面21a所產生的負壓，吸引保持被加工物W。關於保持台20的詳細構造，於後敘述。

於基台10上的支柱15，設置有使旋削手段40對於保持台20在Z軸方向接近及離開的進給手段30。進給手段30具有配置於支柱15之與Z軸方向平行的一對導引軌道31，與可滑動於一對導引軌道31地設置之馬達驅動的Z軸台32。於Z軸台32的背面側形成未圖示的螺帽部，於該等螺帽部，螺合滾珠螺桿33。藉由連結於滾珠螺桿33之一端部的驅動馬達34，旋轉驅動滾珠螺桿33，藉此，旋削手段40沿著導引軌道31往Z軸方向移動。

旋削手段40係透過殼體41安裝於Z軸台32的前面，並於圓筒狀的旋轉主軸42的下端設置架座43所構成。於旋轉主軸42設置凸緣44，透過凸緣44，旋削手段40被支持於殼體41。於架座43的下面之外周側的一部分，設置有切削工具安裝部45，於切削工具安裝部45，安裝有切削工具46。於切削工具46，可使用超硬切削工具或鑽石切削工具等。

在如此構成的旋削裝置1中，一邊藉由旋轉主軸42，切削工具46旋回移動於Z軸周圍，一邊旋削手段40接近保持台20。然後，利用一邊朝被加工物W供給 加工水或者空氣，冷卻切削工具46的前端，一邊切削工具46旋轉接觸於被加工物W的上面，切削工具46的前端與被加工物W相對性滑動，對被加工物W進行旋削。利用一邊使切削工具46旋轉，一邊保持台20以低速水平移動於X軸方向，對被加工物W整面地進行旋削。

接著，參照圖2及圖3，針對本實施形態的保持台進行說明。圖2係本實施形態之保持台的上面模式圖。圖3係本實施形態之保持台的剖面模式圖。再者，圖2及圖3所示之保持台僅為模式圖，誇張表現各部的尺寸及形狀。

如圖2及圖3所示，本實施形態的保持台20，係以吸引保持薄片狀的被加工物W之方式構成，具備吸引保持被加工物W之配線區域W1的第1吸引保持部(吸引盤21)，與吸引保持被加工物W之剩餘區域W2的第2吸引保持部(基座22)。具體來說，保持台20係形成為在表面中央形成矩形凹部22a的基座22，安裝矩形狀之吸引盤21的俯視矩形狀。

吸引盤21的上面成為吸引保持被加工物W之配線區域W1的保持面21a。保持面21a具有與被加工物W的配線區域W1大略相同的大小(面積)。又，於吸引盤21，從上面朝下面形成有複數貫通口21b。貫通口21b係透過形成於矩形凹部22a的底面的連通路徑22b(第1連通路徑)，連接於第1吸引源23。吸引盤21利用被第1吸引源23吸引，於保持面21a產生負壓，可吸引保持被加工 物W。

又，在吸引盤21的外側面與矩形凹部22a的內側面之間，稍微形成間隙。該間隙係透過形成於基座22的連通路徑22c(第2連通路徑)，連接於第2吸引源24。再者，第1吸引源23及第2吸引源24，係可從未圖示的閥，自由調整個別的吸引時機。

於矩形凹部22a的外周，形成有隨著朝向外周側而往下方傾斜的傾斜部25。傾斜部25係以圍繞矩形凹部22a之方式形成為俯視四角環狀。雖於後詳述，該傾斜部25具有作為支承被加工物W之剩餘區域的支承部的作用。

又，於基座22的四邊部上方，設置有將被加工物W的外周緣(剩餘區域W2)朝向基座22推壓的複數推壓部26(在本實施形態中，於基座22的各邊上各有一個，合計4個)。推壓部26係以沿著基座22的各邊的長條狀板形成，具有與傾斜部25的傾斜面25a對向的傾斜面26a(參照圖5)。被加工物W的剩餘區域W2，藉由被基座22的傾斜部25與推壓部26挾持，來進行保持。再者，雖於後詳述，傾斜部25及推壓部26，係構成將被加工物W的剩餘區域W2下推至比保持面21a更下方的下推部。

話說，在如無芯基板般之具有可撓性的被加工物W，有於外周側產生翹曲之狀況。因此，僅將被加工物W在保持面21a上吸引保持，會有被加工物W的外緣部從保持面21a彈起之狀況。在該狀態下實施旋削加工的 話，可想像切削工具46(參照圖1)卡到彈起的被加工物W，無法對被加工物W適切地進行加工之狀況。

作為該對策，考量利用按壓被加工物W的外緣部(剩餘區域W2)，矯正被加工物W的翹曲。然而，被加工物W的外緣部被下推至比保持面21a更下方的位置的話，於被下推的被加工物W產生彎曲，被加工物W會從保持面21a浮起(例如，參照圖5A)。因此，實施旋削加工的話，與前述相同，切削工具46會卡到從保持面21a浮起的被加工物W，無法對被加工物W適切地進行加工。假設即使切削工具46未卡到被加工物W，浮起的部分多對被加工物W進行旋削加工的結果，可想像無法將被加工物W加工成所希望之厚度之狀況。

因此，在本實施形態中，利用吸引盤21(第1吸引保持部)吸引保持被加工物W的配線區域W1，並在基座22的傾斜部25與推壓部26之間挾持被加工物W的剩餘區域W2。此時，因為剩餘區域W2被下推至比保持面21a更下方，在吸引盤21與基座22(矩形凹部22a)的邊界部分中被加工物W形成彎曲，而產生膨脹。然而，藉由吸引吸引盤21與矩形凹部22a的間隙，可將該膨脹拉往下方。結果，可抑制被加工物W從保持面21a往上方浮起之狀況。

接著，參照圖4及圖5，針對使用本實施形態的保持台，吸引保持被加工物時的動作進行說明。圖4係揭示本實施形態之保持台的吸引保持動作的圖。圖5係本 實施形態之保持台的吸引保持動作的部分放大圖。圖4A至圖4C係揭示吸引保持的動作遷移圖。圖5A係圖4B的X部的部分放大圖，圖5B係圖4C的Y部的部分放大圖。

如圖4A所示，在推壓部26從基座22(傾斜部25)退避之狀態下，首先，將被加工物W載置於吸引盤21。此時，使被加工物W的配線區域W1位於移到保持面21a上。然後，利用藉由第1吸引源23吸引吸引盤21，被加工物W的配線區域W1被吸引保持於保持面21a。再者，此時，並未實施第2吸引源24所致之吸引。

接著，如圖4B及圖5A所示，藉由推壓部26，被加工物W的外緣部(剩餘區域W2)被往下方下推，被加工物W(剩餘區域W2)被挾持於傾斜部25的傾斜面25a與推壓部26的傾斜面26a之間。此時，被加工物W的外緣部被下推至比保持面21a更下方的結果，在配線區域W1與剩餘區域W2的邊界部分，亦即，在吸引盤21的外側面與矩形凹部22a的內側面之間，於被加工物W形成彎曲。

結果，被加工物W產生膨脹B。尤其，如圖5A所示，因為膨脹B，在保持面21a與被加工物W之間稍微產生間隙。此時，膨脹B的頂點位於比無間隙地被吸引保持於保持面21a上之被加工物W的表面更上方。

接著，實施第2吸引源24所致之吸引，於吸引盤21之外側面與矩形凹部22a之內側面的間隙產生負 壓。結果，如圖4C及圖5B所示，配線區域W1與剩餘區域W2的邊界部分朝向下方被吸引。此時，保持面21a與被加工物W(配線區域W1)的間隙消失，並且膨脹B的頂點往傾斜部25側移動。尤其，如圖5B所示，膨脹B的頂點位於比保持面21a更下方。結果，可抑制被加工物W的配線區域W1從保持面21a浮起之狀況。

如此，即使在挾持被加工物W的外周緣時產生彎曲，也可利用從吸引盤21與矩形凹部22a之間吸引彎曲得部分(膨脹B)，以膨脹B的頂點不會超出保持面21a上之方式，使膨脹B的位置往外周側錯開。藉此，抑制被加工物W的浮起，在進行旋削加工時，可防止切削工具46(參照圖1)卡到被加工物W之狀況，可將被加工物W旋削加工成所希望的厚度。

如上所述，依據本實施形態，被加工物W的配線區域W1，係利用藉由第1吸引保持部(吸引盤21)吸引保持，另一方面，被加工物W的剩餘區域W2被下推至比保持面21a更下方，於吸引盤21的外周與下推部(傾斜部25)的邊界(外周側)中被加工物W會彎曲而產生膨脹B。此時，藉由在吸引盤21的外周與矩形凹部22a的邊界中吸引被加工物W(剩餘區域W2)，前述膨脹B會被拉往下推部(傾斜部25及推壓部26)側。藉此，可抑制被加工物W從保持面21a浮起之狀況。

再者，本發明並不限定於前述實施形態，可進行各種變更來實施。於前述實施形態中，關於添附圖面 所圖示之大小及形狀，並不限定於此，在可發揮本發明的效果的範圍內，可適切變更。此外，只要不脫離本發明的目的範圍，可適當變更來實施。

又，在前述之實施形態中，設為分別設置第1吸引源23與第2吸引源24的構造，但並不限定於該構造。讓第1吸引源23與第2吸引源24共通亦可。

又，在前述之實施形態中，設為吸引保持俯視矩形狀的被加工物W的構造，但並不限定於該構造。被加工物W係例如形成為圓形狀亦可。此時，配合被加工物W的形狀，保持台20的形狀也適當變更為佳。又，吸引保持矩形狀的被加工物W時，利用預先切下被加工物W的四隅的剩餘區域W2，在挾持剩餘區域W2時，可防止四隅產生皺紋(從保持面21a的浮起)之狀況。

[產業上之利用可能性]

如以上所說明般，本發明係具有可抑制被加工物的浮起的效果，尤其，有助於可適用於旋削裝置的保持台。

21‧‧‧吸引盤

21a‧‧‧保持面

21b‧‧‧貫通口

22‧‧‧基座

22a‧‧‧矩形凹部

25‧‧‧傾斜部

25a‧‧‧傾斜面

26‧‧‧推壓部

26a‧‧‧傾斜面

B‧‧‧膨脹

W‧‧‧被加工物

W1‧‧‧配線區域

W2‧‧‧剩餘區域

Claims (1)

1. 一種保持台，係保持可撓性之矩形的被加工物的保持台；該被加工物，係於中央具備四角形的配線區域，於外周具備圍繞該配線區域的剩餘區域；保持台係具備：第1吸引保持部，係具有吸引保持被加工物的該配線區域之四角形的保持面；下推部，係挾持被該第1吸引保持部吸引保持之被加工物的該剩餘區域的外周緣，並下推至比該保持面更下方；及第2吸引保持部，係在該保持面方向之該第1吸引保持部的外周與該下推部的邊界，吸引該剩餘區域。