KR101779585B1 - 인쇄테이블 구동장치 - Google Patents

Abstract

본 발명 인쇄테이블 구동장치는 웨이퍼가 상면에 안착되어 웨이퍼 가공이 이루어지는 인쇄테이블(10); 상기 인쇄테이블(10)은 전면인쇄테이블(11)과 후면인쇄테이블(12) 사이에 중앙인쇄테이블(13)이 구비된 것으로 이루어져 있으며; 상기 중앙인쇄테이블(13)은 구동장치(30)에 의하여 사선방향으로 승,하강하는 것을 특징으로 한다.

Description

인쇄테이블 구동장치{The print table driving device}

본 발명은 스크린 프린터 등으로 웨이퍼를 가공을 위하여 웨이퍼를 고정하는 인쇄테이블에 관한 것으로서, 구체적으로는 인쇄테이블의 중앙에 형성되어 있는 슬릿에 중앙인쇄테이블을 상승시켜, 슬릿이 형성하는 공간을 메움으로써, 인쇄테이블에서 웨이퍼를 가공할 때 웨이퍼가 파손되는 것을 최소화하는 인쇄테이블 구동장치에 관한 것이다.

도 1에 도시된 종래의 기술을 살펴보면, 작업부(200)는 레일(210)의 하부에 비치된 작업부 작업로드(220)와, 작업로드(220)에 슬라이딩 가능하게 결합되어 레일(210)을 따라 이동하는 슬라이더(230)와, 작업로드(220)에 배치되어 슬라이더(230)를 이동시키는 액추에이터(231)와, 슬라이더(230)의 상부에 배치되는 슬라이딩블록(240)과, 슬라이딩블록(240)이 관통 이동가능하도록 슬릿(251)이 형성되어 상기 레일(210)의 상부에 배치되는 작업플레이트(250)를 포함하여 구성되어 있다.

상기 액추에이터(231)는 슬라이더(230)를 이동시키는 자력발생부로 이루어지고, 작업로드(220)의 양측에는 자성체가 배치되어 액추에이터(231)에서 발생되는 자력에 의해 슬라이더(230)를 이동시킨다.

슬라이더(230)의 상부에는 슬라이더(230)의 이동시 웨이퍼를 이동시키는 슬라이딩블록(240)이 배치되며, 레일(210)의 중앙 상부에는 슬라이딩블록(240)에 의해 이동되는 웨이퍼가 안착되는 작업플레이트(250)가 배치된다.

이러한 작업플레이트(250)에는 슬라이딩블록(240)이 가로질러 이동할 수 있도록 슬릿(251)이 형성되며, 슬라이딩블록(240)은 웨이퍼를 보다 용이하게 이동시킬 수 있도록 진공흡착이 가능하게 구성되어 있다.

그러나 상기의 종래기술은 작업플레이트(250)에 슬릿(251)이 형성되어 있어, 작업플레이트(250)의 상면에 안착되어 스크린 프린터 등으로 가공되는 웨이퍼에 압력이 가해질 때 작업테이블에(250)에 형성된 슬릿이 빈공간을 형성함으로써, 압력을 받쳐주지 못하여 슬릿(251) 부분에서 웨이퍼가 파손되는 문제점이 있었다.

본 발명은 인쇄테이블의 상면에 안착되어 가공되는 웨이퍼가 인쇄테이블에 형성된 슬릿에 의하여 파손되는 것을 방지함으로써, 웨이퍼의 가공을 원활하기 하기 위함이다.

본 발명 인쇄테이블 구동장치는 웨이퍼가 상면에 안착되어 웨이퍼 가공이 이루어지는 인쇄테이블; 상기 인쇄테이블은 전면인쇄테이블과 후면인쇄테이블 사이에 중앙인쇄테이블이 구비된 것으로 이루어지며; 상기 전,후면인쇄테이블은 바닥면에 고정되고, 상기 중앙인쇄테이블은 구동장치에 의하여 승,하강하되, 상기 중앙인쇄테이블이 하강한 상태에서, 전면인쇄테이블과 후면인쇄테이블 사이에 형성된 슬릿에 이송장치의 상단에 형성된 버큠블록이 웨이퍼를 흡착하여 가이드레일을 따라 슬라이딩하면서 인입되어, 웨이퍼를 전,후면인쇄테이블의 상면 안착시키고, 버큠블록이 하강하면, 상기 중앙인쇄테이블은 사선방향으로 상승하여, 전,후면인쇄테이블과 중앙인쇄테이블의 상면이 수평면을 형성하는 것을 특징으로 한다.

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본 발명에 따른 인쇄테이블 구동장치는 인쇄테이블의 슬릿 공간을 메운 상태로 웨이퍼의 가공이 이루어지게 됨으로써, 웨이퍼의 가공상태가 좋아져서 불량률을 최소화할 수 있으며, 웨이퍼가 슬릿에 의하여 파손되는 것을 최소화하는 효과가 있다.

도1은 종래 작업테이블을 사시도.
도2는 본 발명 인쇄테이블 구동장치의 사시도
도3은 본 발명 인쇄테이블 구동장치의 작동상태도
도4는 본 발명 중앙인쇄테이블 구동장치의 사시도

이하 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 참고로, 본 발명을 설명하는데 참조하는 도면에 도시된 구성요소의 크기, 선의 두께 등은 이해의 편의상 다소 과장되게 표현되어 있을 수 있다. 또, 본 발명의 설명에 사용되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의한 것이므로 사용자, 운용자 의도, 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 따라서, 이 용어에 대한 정의는 본 명세서의 전반에 걸친 내용을 토대로 내리는 것이 마땅하다.

또한, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시 예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다.

도2는 본 발명 인쇄테이블의 사시도이다.

도시된 바와 같이 인쇄테이블 구동장치는 인쇄테이블(10), 이송장치(20), 구동장치(30)로 대별된다.

인쇄테이블(10)은 웨이퍼가 안착되어 스크린프린터 등의 웨이퍼 가공이 이루어지는 부분으로써, 전면인쇄테이블(11), 후면인쇄테이블(12), 중앙인쇄테이블(13)로 이루어져 있으며, 전,후면인쇄테이블(11)(12)은 바닥면에 고정되어 있고, 전,후면인쇄테이블(11)(12)사이에 위치하는 중앙인쇄테이블(13)은 후술하는 구동장치에 의하여 상하로 이동된다.

이송장치(20)는 웨이퍼를 인쇄테이블로 이동시키는 장치로서, 이송장치(20)의 상단에 형성되어 있는 버큠블록(21)이 도시하지 않은 웨이퍼를 흡착하여 가이드레일(22)을 따라 슬라이딩 이동하여 인쇄테이블(10)의 상면에 웨이퍼를 안착시킨다.

구동장치(30)는 중앙인쇄테이블(13)을 상,하로 이동시키는 장치로서, 중앙인쇄테이블(13)이 하강하면, 인쇄테이블(10)의 중앙에는 슬릿(14)이 나타나게 되고, 이 슬릿(14)으로 이송장치(20)의 버큠블록(21)이 인입되어 버큠블럭(21)에 흡착고정되어 있는 웨이퍼를 인쇄테이블의 상면에 안착시킨다.

도3은 인쇄테이블 구동장치의 작동상태도이다

도3(a)에 도시된 바와 같이 이송장치(20)의 상면에 형성된 도시하지 않은 웨이퍼를 흡착한 버큠블록(21)이 전,후면인쇄테이블(11)(12)사이의 슬릿(14)으로 인입되어 웨이퍼를 인쇄테이블(10)의 상면으로 이송시켜 안착시키고, 도3(b)에 도시된 바와 같이 인쇄테이블(10)의 하면으로 이동된 버큠블록(21)이 하강하면, 웨이퍼는 인쇄테이블(10)의 상면에 안착하게 되는데, 이때 웨이퍼가 놓여지는 인쇄테이블(10)에는 슬릿(14)이 나타난다.

상기 버큠블록(21)이 하강하여 웨이퍼가 슬릿(14)의 상면에 안착하게 되면, 도3(c)에 도시된 바와 구동장치(30)가 중앙인쇄테이블(13)을 슬릿(14) 사이로 밀어 올려 슬릿(14)이 형성하고 있던 공간을 중앙인쇄테이블(13)이 메움으로써, 전,후면인쇄테이블(11)(12)과 중앙인쇄테이블(13)은 수평면을 형성하게 된다.

또한, 상기 중앙인쇄테이블(13)은 사선방향으로 승하강하게 함으로써, 인쇄테이블의 슬릿(14) 사이로 인입 및 인출되는 버큠블록(21)과 접촉되는 것을 방지하도록 한다.

도4는 본 발명 중앙인쇄테이블 구동장치의 사시도이다.

도시된 바와 같이 인쇄테이블의 중앙에 형성된 슬릿(14) 사이로 웨이퍼가 안착된 것을 센서(44)가 감지하면, 서보모터(46)가 구동되고, 서보모터(46)에 의하여 볼스크류(41)가 회전되면, 중앙인쇄테이블(13)는 엘엠가이드(42)에 슬라이딩되어 사선방향으로 인쇄테이블의 슬릿(14) 사이로 상승하여 슬릿(14)이 형성하고 있던 공간을 중앙인쇄테이블(13)이 메우게 되는 것이다.

따라서 웨이퍼의 저면과 인쇄테이블(10) 사이의 공간이 제거되어, 스크린프린터 등의 웨이퍼 가공으로 웨이퍼가 압력을 받아도 웨이퍼가 파손되는 것을 최소화할 수 있다.

10; 인쇄테이블 20; 이송장치 30; 구동장치 11; 전면인쇄테이블 12; 후면인쇄테이블 13; 중앙인쇄테이블 14; 슬릿 21; 버큠블록 22; 가이드레일 41; 볼스크류 42; 엘엠가이드 43; 서포트블록 44; 센서 45; 커플링 46; 서보모터

Claims (3)

1. 웨이퍼가 상면에 안착되어 웨이퍼 가공이 이루어지는 인쇄테이블(10);
   상기 인쇄테이블(10)은 전면인쇄테이블(11)과 후면인쇄테이블(12) 사이에 중앙인쇄테이블(13)이 구비된 것으로 이루어지며;
   상기 전,후면인쇄테이블(11)(12)은 바닥면에 고정되고,
   상기 중앙인쇄테이블(13)은 구동장치(30)에 의하여 승,하강하되,
   상기 중앙인쇄테이블(13)이 하강한 상태에서, 전면인쇄테이블(11)과 후면인쇄테이블(12) 사이에 형성된 슬릿(14)에 이송장치(20)의 상단에 형성된 버큠블록(21)이 웨이퍼를 흡착하여 가이드레일(22)을 따라 슬라이딩하면서 인입되어, 웨이퍼를 전,후면인쇄테이블(11)(12)의 상면에 안착시키고,
   상기 버큠블록(21)이 하강하면, 상기 중앙인쇄테이블(13)은 사선방향으로 상승하여, 전,후면인쇄테이블(11)(12)과 중앙인쇄테이블(13)의 상면이 수평면을 형성하며,
   상기 중앙인쇄테이블(13)을 승,하강하는 구동장치(30)는 전, 후면인쇄테이블(11)(12) 사이에 형성된 슬릿(14)에 웨이퍼가 안착된 것을 감지하는 센서(44)에 의해 구동되는 것을 특징으로 하는 인쇄테이블 구동장치.
   
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