JP4061852B2

JP4061852B2 - セラミックグリーンシートの取扱方法および取扱装置

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Publication number: JP4061852B2
Application number: JP2001061624A
Authority: JP
Inventors: 治彦森; 哲生酒井; 敏昭岡島
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2001-03-06
Filing date: 2001-03-06
Publication date: 2008-03-19
Anticipated expiration: 2021-03-06
Also published as: JP2002254421A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、セラミックグリーンシートの取扱方法および取扱装置に関するもので、特に、キャリアフィルムからのセラミックグリーンシートの剥離をより確実に行なえるようにするための改良に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
たとえば積層セラミックコンデンサのような積層セラミック電子部品を製造する場合、内部導体が印刷されたマザーセラミックグリーンシートを、キャリアフィルムによって裏打ちされた状態で用意し、このマザーセラミックグリーンシートから所定の寸法を有するセラミックグリーンシートを切り出し、次いで、この所定の寸法を有するセラミックグリーンシートをキャリアフィルムから剥離し、さらに、キャリアフィルムから剥離されたセラミックグリーンシートを積み重ねることが行なわれている。
【０００３】
このようなセラミックグリーンシートの取り扱いを行なうのに適した装置として、図１１に示すような取扱装置１が提案されている。
【０００４】
取扱装置１は、キャリアフィルム２によって裏打ちされたマザーセラミックグリーンシート３を、キャリアフィルム２を介して位置決めするための定盤４を備えている。マザーセラミックグリーンシート３の表面には、内部導体が印刷されていることもある。
【０００５】
キャリアフィルム２およびマザーセラミックグリーンシート３は、たとえば、定盤４の上面に沿って間欠的に搬送される。定盤４には、真空吸引に基づきキャリアフィルム２を吸着するための負圧を与える複数の吸引穴５が設けられていて、それによって、キャリアフィルム２は、定盤４に対して位置決めされ、このキャリアフィルム２を介して、マザーセラミックグリーンシート３が位置決めされる。
【０００６】
また、定盤４の上方には、カット刃６が位置される。カット刃６は、定盤４に対して近接・離隔可能に設けられ、その近接によって、マザーセラミックグリーンシート３から所定の寸法を有するセラミックグリーンシート７を切り出すためのものである。
【０００７】
また、カット刃６によって囲まれた空間内には、吸着ヘッド８が位置される。吸着ヘッド８は、カット刃６と同様、定盤４に対して近接・離隔可能に設けられる。吸着ヘッド８の下面は、切り出されたセラミックグリーンシート７を吸着するための吸着面９とされる。
【０００８】
吸着面９には、それぞれ負圧が与えられる複数の吸引穴１０が分布しており、切り出されたセラミックグリーンシート７は、これら吸引穴１０を介してそれぞれ与えられる負圧に基づく吸着によって吸着面９上に保持される。
【０００９】
このような取扱装置１は、次のように動作する。
【００１０】
まず、カット刃６が、吸着ヘッド８とともに下降する。これによって、カット刃６は、マザーセラミックグリーンシート３から所定の寸法を有するセラミックグリーンシート７を切り出す。このような切り出しを可能とするため、少なくともこの切り出しの段階では、カット刃６の刃先は、吸着ヘッド８の吸着面９より突出した状態とされる。また、この突出度合いは、マザーセラミックグリーンシート３の厚みよりわずかに長く突出するように選ばれ、それによって、カット刃６は、マザーセラミックグリーンシート３を完全に切断するが、キャリアフィルム２を完全には切断することがないようにされる。
【００１１】
また、上述したように、カット刃６とともに吸着ヘッド８が下降したとき、その吸着面９をセラミックグリーンシート７に接触させる。このとき、吸引穴１０には負圧が及ぼされていて、上述のように切り出されたセラミックグリーンシート７を吸着面９上に吸着する。
【００１２】
次いで、吸着ヘッド８は、カット刃６とともに上昇する。これによって、セラミックグリーンシート７は、キャリアフィルム２から剥離されるとともに、吸着ヘッド８によって保持された状態となる。図１１には、この段階にある取扱装置１の状態が図示されている。
【００１３】
次いで、セラミックグリーンシート７を保持した吸着ヘッド８は、図示しないが、定盤４とは別の場所に位置される積み重ねテーブルの上方にまで移動され、次いで、積み重ねテーブル上においてセラミックグリーンシート７を積み重ねるように、吸着ヘッド８が下降される。そして、このようにセラミックグリーンシート７を吸着ヘッド８によって保持した状態で積み重ねテーブル上に搬送する工程を繰り返し実施することによって、複数のセラミックグリーンシート７からなる積層体が作製される。
【００１４】
この積層体は、加圧された後、必要に応じて、個々の積層セラミック電子部品を与える寸法に切断される。そして、切断された積層体は、焼成され、次いで、外部電極等が形成されることによって、所望の積層セラミック電子部品が得られる。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】
近年の電子機器の小型化に対する要望に伴い、そこで用いられる積層セラミックコンデンサのような積層セラミック電子部品についても小型化が進んでいる。特に、積層セラミックコンデンサについて言えば、小型化を図りながらも、大容量化を図ることが望まれている。積層セラミックコンデンサにおいて、小型化かつ大容量化を進めるための有効な手段として、誘電体層の薄層化を進めながら多層化を図る方法がある。
【００１６】
誘電体層の薄層化は、前述の図１１に示した取扱装置１において取り扱われるマザーセラミックグリーンシート３あるいはセラミックグリーンシート７の厚みをより薄くすることによって達成される。一般に、セラミックグリーンシートが薄くなればなるほど、その取り扱いが困難になるが、図１１に示した取扱装置１は、セラミックグリーンシート７が薄くなっても、これを取り扱うのに適した構造を有している点で評価される。
【００１７】
しかしながら、セラミックグリーンシート７が薄くされると、吸引穴１０を通して与えられる真空吸引力が大きい場合には、特に吸引穴１０の部分で、セラミックグリーンシート７が損傷することがある。そのため、吸引穴１０を通してセラミックグリーンシート７に及ぼす真空吸引力をそれほど大きくすることはできない。
【００１８】
このような状況から、セラミックグリーンシート７の、キャリアフィルム２に対する付着力が強い場合、吸着ヘッド８によってセラミックグリーンシート２を吸着して持ち上げようとしても、セラミックグリーンシート７がキャリアフィルム２から順調に剥離せず、キャリアフィルム２側に残されたり、吸着面９とセラミックグリーンシート７との間で位置ずれが生じたりすることがある。
【００１９】
そこで、この発明の目的は、上述したような問題を解決し得る、セラミックグリーンシートの取扱方法および取扱装置を提供しようとすることである。
【００２０】
【課題を解決するための手段】
この発明は、定盤上に、キャリアフィルムによって裏打ちされたマザーセラミックグリーンシートを位置決めする、位置決め工程と、定盤に対してカット刃を近接させることによって、マザーセラミックグリーンシートから所定の寸法を有するセラミックグリーンシートを切り出す、切り出し工程と、その吸着面にそれぞれ負圧が与えられる複数の吸引穴を分布させている吸着ヘッドを、切り出されたセラミックグリーンシートに近接させることによって、セラミックグリーンシートを吸着面上に吸着する、吸着工程と、次いで、吸着ヘッドを定盤から離隔させることによって、セラミックグリーンシートを、キャリアフィルムから剥離するとともに、吸着ヘッドによって保持した状態とする、剥離および保持工程とを備える、セラミックグリーンシートの取扱方法にまず向けられるものであって、上述した技術的課題を解決するため、次のような構成を備えることを特徴としている。
【００２１】
すなわち、吸着ヘッドとして、当該吸着ヘッドに設けられる複数の吸引穴の一部であって互いに隣り合う複数の吸引穴に連通する開口を吸着面上に位置させている吸引溝を備えるものが用いられる。そして、吸着工程において、セラミックグリーンシートにおける吸引溝の開口に対向する部分を、吸引溝の内部に向かって膨出させ、それによって、キャリアフィルムから局所的に剥離した部分をセラミックグリーンシートに形成する、局所剥離工程が実施されることを特徴としている。
【００２２】
この発明に係るセラミックグリーンシートの取扱方法において、好ましくは、吸引溝は、吸着ヘッドの吸着面におけるセラミックグリーンシートの周縁部に対向する部分に分布するように設けられていて、局所剥離工程において、局所的に剥離した部分は、セラミックグリーンシートの周縁部に形成される。
【００２３】
また、局所剥離工程において、吸着ヘッドを、吸着面に直交する方向に小刻みに振動させることが好ましい。
【００２４】
また、この局所剥離工程において、吸着ヘッドをセラミックグリーンシートに近接させた状態で、負圧を互いに異なるレベルに切り換え、このように切り換えられた負圧をセラミックグリーンシートに与えるようにしてもよい。この場合、さらに、エアブローによって、セラミックグリーンシートに空気を吹き付けることが好ましい。
【００２５】
この発明は、また、キャリアフィルムによって裏打ちされた所定の寸法を有するセラミックグリーンシートを位置決めするための定盤と、セラミックグリーンシートを真空吸引に基づく吸着によって保持するためのものであって、それぞれ負圧が与えられる複数の吸引穴を分布させている吸着面を有し、かつ定盤に対して近接離隔可能に設けられる、吸着ヘッドとを備える、セラミックグリーンシートの取扱装置にも向けられる。このセラミックグリーンシートの取扱装置は、前述した技術的課題を解決するため、次のような構成を備えることを特徴としている。
【００２６】
すなわち、吸着ヘッドには、キャリアフィルムから局所的に剥離した部分をセラミックグリーンシートに形成するため、当該吸着ヘッドに設けられる複数の吸引穴の一部であって互いに隣り合う複数の吸引穴に連通する開口を吸着面上に位置させている吸引溝が設けられていることを特徴としている。
【００２７】
この発明に係るセラミックグリーンシートの取扱装置において、吸引溝は、吸着ヘッドの吸着面におけるセラミックグリーンシートの周縁部に対向する部分に分布するように設けられていることが好ましい。
【００２８】
また、吸引溝は、曲面によって規定された内面を有することが好ましい。
【００３０】
また、吸引穴の開口は、長手の形状を有することが好ましい。
【００３１】
また、この発明に係るセラミックグリーンシートの取扱装置において、吸着ヘッドは、定盤上において、キャリアフィルムによって裏打ちされたマザーセラミックグリーンシートから所定の寸法を有するセラミックグリーンシートを切り出すためのカット刃を保持していてもよい。
【００３２】
【発明の実施の形態】
図１および図２は、この発明の一実施形態を説明するためのものである。ここで、図１は、セラミックグリーンシートの取扱装置１１を示す、図１１の一部に相当する図であり、図２は、取扱装置１１に備える吸着ヘッド１２の下面図である。
【００３３】
図１において、キャリアフィルム２、マザーセラミックグリーンシート３およびセラミックグリーンシート７、ならびに定盤４については、図１１に示した対応のものと実質的に同様であるので、これらの要素については、図１１を参照して前述した説明を援用することによって、ここでの詳細な説明を省略することがある。
【００３４】
取扱装置１１における定盤４の上方に、吸着ヘッド１２が配置される。吸着ヘッド１２は、図１１に示した吸着ヘッド８の場合と同様、セラミックグリーンシート７を真空吸引に基づく吸着によって保持するためのもので、それぞれ負圧が与えられる複数の吸引穴１３を分布させている吸着面１４を有し、かつ定盤４に対して近接離隔可能に設けられている。
【００３５】
吸着ヘッド１２には、特徴的構成として、当該吸着ヘッド１２に設けられる複数の吸引穴１３の一部であって互いに隣り合う複数の吸引穴１３に連通する開口を吸着面１４上に位置させている吸引溝１５が設けられている。
【００３６】
吸引溝１５は、この実施形態では、吸着面１４におけるセラミックグリーンシート７の周縁部に対向する部分に分布するように設けられている。また、この実施形態では、図２に示すように、吸引溝１５の開口は、長手の形状を有している。
【００３７】
なお、図示した実施形態では、複数の吸引溝１５が、四角形の吸着面１４の各辺および各角に沿って分布するように、直線状およびＬ字状にそれぞれ延びるように形成されたが、吸引溝１５の数は任意に変更でき、また、１つの吸引溝１５内に位置する吸引穴１３の数も任意に変更することができる。
【００３８】
また、吸引溝１５は、図１によく示されているように、半円状の断面形状であり、曲面によって規定された内面を有している。
【００３９】
また、吸着ヘッド１２は、図１１に示した吸着ヘッド８の場合と同様、定盤４上において、キャリアフィルム２によって裏打ちされたマザーセラミックグリーンシート３から所定の寸法を有するセラミックグリーンシート７を切り出すためのカット刃１６を保持している。
【００４０】
このような取扱装置１１は、次のように動作し、それによって、次のように、セラミックグリーンシート７を取扱う。
【００４１】
キャリアフィルム２によって裏打ちされたマザーセラミックグリーンシート３は、たとえば、定盤４の上面に沿って間欠的に搬送される。そして、マザーセラミックグリーンシート３が停止状態にある時点において、吸引穴５を通しての真空吸引に基づき、キャリアフィルム２が吸着され、このキャリアフィルム２を介して、マザーセラミックグリーンシート３が位置決めされる。
【００４２】
次に、カット刃１６が、吸着ヘッド１２とともに下降する。これによって、カット刃１６は、マザーセラミックグリーンシート３から所定の寸法を有するセラミックグリーンシート７を切り出す。カット刃１６の動作は、図１１に示したカット刃６の場合と実質的に同様である。
【００４３】
なお、カット刃１６が、吸着ヘッド１２から独立して設けられてもよい。この場合には、カット刃１６のみが動作し、マザーセラミックグリーンシート３から所定の寸法を有するセラミックグリーンシート７を切り出すことになる。
【００４４】
前述したように、吸着ヘッド１２が下降したとき、その吸着面１４がセラミックグリーンシート７に接触する。このとき、吸引穴１３には負圧が及ぼされていて、セラミックグリーンシート７を吸着面１４上に吸着する。
【００４５】
また、上述の吸着工程において、吸引溝１５は、いくつかの吸引穴１３と連通しているので、吸引溝１５の内部においても、負圧が及ぼされている。したがって、セラミックグリーンシート７における吸引溝１５の開口に対向する部分は、図１に示すように、吸引溝１５の内部に向かって膨出する。その結果、セラミックグリーンシート７には、キャリアフィルム２から局所的に剥離した部分が強制的に形成される。
【００４６】
次いで、吸着ヘッド１２は、カット刃１６とともに上昇する。これによって、セラミックグリーンシート７は、キャリアフィルム２から剥離されるとともに、吸着ヘッド１２によって保持された状態となる。
【００４７】
この剥離工程において、前述したように、セラミックグリーンシート７には局所的に剥離した部分が予め形成されているので、この局所的な剥離部分が契機となって、吸着ヘッド１２が上昇するに従って、剥離を、セラミックグリーンシート７の全領域に順調かつ迅速に及ぼすことができる。
【００４８】
なお、その機構については図示しないが、上述した剥離工程の前の段階で、両方向矢印１７で示すように、吸着ヘッド１２を、吸着面１４に直交する方向に小刻みに振動させて、吸引溝１５によるセラミックグリーンシート７の局所的な剥離をより促進するようにしてもよい。
【００４９】
また、吸着ヘッド１２をセラミックグリーンシート７に近接させた状態で、負圧を互いに異なるレベルに切り換え、このように切り換えられた負圧をセラミックグリーンシート７に与え、それによって、セラミックグリーンシート７の局所的な剥離をより促進するようにしてもよい。
【００５０】
上述の場合、負圧は、たとえば２つの異なるレベルの負圧を交互に繰り返し与えるようにされてもよい。なお、負圧の異なるレベルの数は、２には限定されず、３以上であってもよい。
【００５１】
また、セラミックグリーンシート７に負圧を与えるだけでなく、エアブローによる空気の吹き付けと負圧とを与えることを交互に行なって、セラミックグリーンシート７の局所的な剥離を一層促進するようにしてもよい。
【００５２】
次いで、セラミックグリーンシート７を保持した吸着ヘッド１２は、図１１に示した吸着ヘッド８の場合と同様、図示しないが、定盤４とは別の場所に位置される積み重ねテーブルの上方にまで移動され、次いで、積み重ねテーブル上においてセラミックグリーンシート７を積み重ねるように、吸着ヘッド１２が下降される。そして、このようにセラミックグリーンシート７を吸着ヘッド１２によって保持した状態で積み重ねテーブル上に搬送する工程を繰り返し実施することによって、複数のセラミックグリーンシート７からなる積層体が作製される。
【００５３】
この積層体は、加圧された後、必要に応じて、個々の積層セラミック電子部品を与える寸法に切断される。そして、切断された積層体は、焼成され、次いで、外部電極等が形成されることによって、所望の積層セラミック電子部品が得られる。
【００５４】
以上説明した実施形態においては、吸引溝１５は、曲面によって規定された内面を有しているため、前述した局所剥離工程において、セラミックグリーンシート７が吸引溝１５の内面に密着するように変形しても、セラミックグリーンシート７の破損を生じにくくすることができる。しかしながら、このような利点を望まないならば、図３に示す吸引溝１５ａのように、その断面形状をＶ字状にしても、図４に示す吸引溝１５ｂのように、その断面形状を角形にしてもよい。
【００５５】
なお、図３および図４において、図１に示す要素に相当する要素には同様の参照符号を付し、重複する説明は省略する。
【００５６】
また、上述した実施形態では、吸引溝１５は、吸着ヘッド１２の吸着面１４におけるセラミックグリーンシート７の周縁部に対向する部分に分布するように設けられているので、次のような利点がある。
【００５７】
すなわち、吸引溝１５による局所的剥離を契機として、剥離部分を、剥離工程において、セラミックグリーンシート７の全領域に広げることがより容易である。また、吸引溝１５による局所的剥離の結果、セラミックグリーンシート７にたとえ損傷が生じても、通常の積層セラミック電子部品の製造にあたって廃棄されることが多いセラミックグリーンシート７の周縁部での損傷に留めることができ、必要とするセラミックグリーンシート７の中央部における損傷を生じにくくすることができる。しかしながら、これらの利点を望まないならば、吸引溝１５の分布領域を、以下に説明するように変更してもよい。
【００５８】
図５ないし図８は、セラミックグリーンシート７を図解的に示す平面図であり、吸引溝が分布される領域をハッチングで示している。
【００５９】
図５に示すように、吸引溝は、セラミックグリーンシート７の全領域にわたって分布するように設けられてもよい。また、図６に示すように、吸引溝は、セラミックグリーンシート７の周縁部とともに、中央部において、対角線方向に延びる一定幅の領域に設けられてもよい。また、図７に示すように、吸引溝は、セラミックグリーンシート７の周縁部とともに、中央部において各辺に平行な方向に延びる一定幅の領域に設けられてもよい。また、図８に示すように、吸引溝は、セラミックグリーンシート７の中央部にのみ設けられてもよい。
【００６０】
また、前述した実施形態では、吸引溝１５の開口は、たとえば、直線状またはＬ字状というように、長手の形状を有していたが、たとえば、図９または図１０に示すような形状の開口を有していてもよい。
【００６１】
図９に示した吸引溝１５ｃは、Ｈ字状の開口を有している。また、図１０に示した吸引溝１５ｄは、Ｘ字状の開口を有している。
【００６２】
これら図９に示した吸引溝１５ｃおよび図１０に示した吸引溝１５ｄは、たとえば、図５ないし図８にそれぞれ示した分布状態を与える吸引溝として有利に適用することができる。
【００６３】
なお、図９および図１０において、吸引穴１３が図示されているが、１つの吸引溝１５ｃまたは１５ｄに連通する吸引穴１３の数は任意に変更することができる。
【００６４】
以上、この発明を、図示した実施形態に関連して説明したが、この発明の範囲内において、その他、種々の変形例が可能である。
【００６５】
たとえば、図示の実施形態では、吸引穴１３は、それぞれ、断面円形をなしていたが、その他の断面形状に変更されてもよい。
【００６６】
【発明の効果】
以上のように、この発明によれば、吸着ヘッドには、当該吸着ヘッドに設けられる複数の吸引穴の一部であって互いに隣り合う複数の吸引穴に連通する開口を吸着面上に位置させている吸引溝が設けられており、セラミックグリーンシートを吸着面上に吸着する吸着工程において、セラミックグリーンシートにおける吸引溝の開口に対向する部分を、吸引溝の内部に向かって膨出させ、それによって、キャリアフィルムから局所的に剥離した部分をセラミックグリーンシートに形成するようにしているので、次いで実施される剥離工程において、この局所的剥離部分を契機として、剥離を、セラミックグリーンシートの全領域に順調かつ迅速に及ぼすことができる。
【００６７】
したがって、吸着ヘッドの吸着面における吸着力が比較的弱くても、キャリアフィルムからセラミックグリーンシートを確実かつ容易に剥離することができ、吸着ヘッドの吸着面に与えられる負圧を強めることによるセラミックグリーンシートの損傷の問題を回避することができる。
【００６８】
このようなことから、この発明は、特に薄いセラミックグリーンシートを取り扱う場合に有利に適用されることができる。したがって、得ようとする積層セラミック電子部品の多層化を図りながら薄型化を図ることができ、高い歩留まりをもって、小型でかつ優れた性能を有する積層セラミック電子部品を製造することができる。特に、積層セラミックコンデンサの製造に適用された場合には、小型でありながら大容量を有利に実現することができる。
【００６９】
この発明において、吸引溝が、吸着ヘッドの吸着面におけるセラミックグリーンシートの周縁部に対向する部分に分布するように設けられていると、吸引溝による局所剥離工程において、セラミックグリーンシートは、その周縁部において、キャリアフィルムから剥離されるので、剥離工程において、剥離を、この局所的剥離部分からセラミックグリーンシートの全領域に容易に広げることができ、剥離工程をより順調に進めることができる。
【００７０】
また、吸引溝が、セラミックグリーンシートの周縁部に対向する部分に分布するように設けられていると、吸引溝による局所的剥離の結果、セラミックグリーンシートに損傷が生じても、この損傷は、セラミックグリーンシートの周縁部に留めることができる。セラミックグリーンシートの周縁部は、通常の場合、積層セラミック電子部品を製造するにあたって破棄されることが多いので、このような周縁部での損傷は、製造される積層セラミック電子部品の品質に影響を及ぼすことはない。
【００７１】
また、局所剥離工程において、吸着ヘッドを、吸着面に直交する方向に小刻みに振動させたり、吸着ヘッドをセラミックグリーンシートに近接させた状態で、負圧を互いに異なるレベルに切り換え、このように切り換えられた負圧をセラミックグリーンシートに与えるようにしたり、さらには、負圧の切り換えの際に、エアブローによる空気の吹き付けを加えたりすることを行なうと、局所的剥離部分での剥離がより促進され、以後の剥離工程をより順調に進めることができるようになる。
【００７２】
また、吸引溝が、曲面によって規定された内面を有していると、セラミックグリーンシートの局所的剥離部分が、たとえ吸引溝の内面に密着するように変形しても、セラミックグリーンシートの損傷を最小限に留めることができる。
【００７３】
また、この発明によれば、吸引溝が、複数の吸引穴に連通するように設けられているので、吸引溝における吸引力を高めることができるとともに、吸引溝の開口を、たとえば長手の形状というように、任意の所望の形状に設計することが容易になる。
【００７４】
また、この発明に係るセラミックグリーンシートの取扱装置において、吸着ヘッドが、マザーセラミックグリーンシートから所定の寸法を有するセラミックグリーンシートを切り出すためのカット刃を保持していると、マザーセラミックグリーンシートからセラミックグリーンシートを切り出す工程から、吸着ヘッドによってセラミックグリーンシートを吸着する工程までを、能率的に実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の一実施形態によるセラミックグリーンシートの取扱装置１１の主要部を示す断面図である。
【図２】図１に示した吸着ヘッド１２の吸着面１４を示す図である。
【図３】この発明の他の実施形態を説明するためのもので、吸引溝の断面形状の変形例を示す断面図である。
【図４】この発明のさらに他の実施形態を説明するためのもので、吸引溝の断面形状の他の変形例を示す断面図である。
【図５】この発明のさらに他の実施形態を説明するためのもので、吸引溝の分布領域の変形例を示すセラミックグリーンシート７の平面図である。
【図６】この発明のさらに他の実施形態を説明するためのもので、吸引溝の分布領域の他の変形例を示すセラミックグリーンシート７の平面図である。
【図７】この発明のさらに他の実施形態を説明するためのもので、吸引溝の分布領域のさらに他の変形例を示すセラミックグリーンシート７の平面図である。
【図８】この発明のさらに他の実施形態を説明するためのもので、吸引溝の分布領域のさらに他の変形例を示すセラミックグリーンシート７の平面図である。
【図９】この発明のさらに他の実施形態を説明するためのもので、吸引溝の開口の変形例を示す図である。
【図１０】この発明のさらに他の実施形態を説明するためのもので、吸引溝の開口の他の変形例を示す図である。
【図１１】この発明にとって興味ある従来のセラミックグリーンシートの取扱装置１を示す断面図である。
【符号の説明】
２キャリアフィルム
３マザーセラミックグリーンシート
４定盤
５吸引穴
７セラミックグリーンシート
１１セラミックグリーンシートの取扱装置
１２吸着ヘッド
１３吸引穴
１４吸着面
１５，１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄ吸引溝
１６カット刃
１７振動を示す両方向矢印

Claims

定盤上に、キャリアフィルムによって裏打ちされたマザーセラミックグリーンシートを位置決めする、位置決め工程と、
前記定盤に対してカット刃を近接させることによって、前記マザーセラミックグリーンシートから所定の寸法を有するセラミックグリーンシートを切り出す、切り出し工程と、
その吸着面にそれぞれ負圧が与えられる複数の吸引穴を分布させている吸着ヘッドを、切り出された前記セラミックグリーンシートに近接させることによって、前記セラミックグリーンシートを前記吸着面上に吸着する、吸着工程と、
次いで、前記吸着ヘッドを前記定盤から離隔させることによって、前記セラミックグリーンシートを、前記キャリアフィルムから剥離するとともに、前記吸着ヘッドによって保持した状態とする、剥離および保持工程と
を備える、セラミックグリーンシートの取扱方法であって、
前記吸着ヘッドとして、当該吸着ヘッドに設けられる前記複数の吸引穴の一部であって互いに隣り合う複数の前記吸引穴に連通する開口を前記吸着面上に位置させている吸引溝を備えるものを用い、
前記吸着工程は、前記セラミックグリーンシートにおける前記吸引溝の開口に対向する部分を、前記吸引溝の内部に向かって膨出させ、それによって、前記キャリアフィルムから局所的に剥離した部分を前記セラミックグリーンシートに形成する、局所剥離工程を備えることを特徴とする、セラミックグリーンシートの取扱方法。
前記吸引溝は、前記吸着ヘッドの前記吸着面における前記セラミックグリーンシートの周縁部に対向する部分に分布するように設けられていて、前記局所剥離工程において、前記局所的に剥離した部分は、前記セラミックグリーンシートの周縁部に形成される、請求項１に記載のセラミックグリーンシートの取扱方法。
前記局所剥離工程は、前記吸着ヘッドを、前記吸着面に直交する方向に小刻みに振動させる工程を備える、請求項１または２に記載のセラミックグリーンシートの取扱方法。
前記局所剥離工程は、前記吸着ヘッドを前記セラミックグリーンシートに近接させた状態で、前記負圧を互いに異なるレベルに切り換え、切り換えられた負圧を前記セラミックグリーンシートに与える工程を備える、請求項１または２に記載のセラミックグリーンシートの取扱方法。
前記切り換えられた負圧をセラミックグリーンシートに与える工程において、エアブローによって、前記セラミックグリーンシートに空気を吹き付ける工程がさらに実施される、請求項４に記載のセラミックグリーンシートの取扱方法。
キャリアフィルムによって裏打ちされた所定の寸法を有するセラミックグリーンシートを位置決めするための定盤と、
セラミックグリーンシートを真空吸引に基づく吸着によって保持するためのものであって、それぞれ負圧が与えられる複数の吸引穴を分布させている吸着面を有し、かつ前記定盤に対して近接離隔可能に設けられる、吸着ヘッドと
を備える、セラミックグリーンシートの取扱装置であって、
前記吸着ヘッドには、前記キャリアフィルムから局所的に剥離した部分を前記セラミックグリーンシートに形成するため、当該吸着ヘッドに設けられる前記複数の吸引穴の一部であって互いに隣り合う複数の前記吸引穴に連通する開口を前記吸着面上に位置させている吸引溝が設けられていることを特徴とする、セラミックグリーンシートの取扱装置。
前記吸引溝は、前記吸着ヘッドの前記吸着面における前記セラミックグリーンシートの周縁部に対向する部分に分布するように設けられている、請求項６に記載のセラミックグリーンシートの取扱装置。
前記吸引溝は、曲面によって規定された内面を有する、請求項６または７に記載のセラミックグリーンシートの取扱装置。
前記吸引溝の前記開口は、長手の形状を有する、請求項６ないし８のいずれかに記載のセラミックグリーンシートの取扱装置。
前記吸着ヘッドは、前記定盤上において、キャリアフィルムによって裏打ちされたマザーセラミックグリーンシートから所定の寸法を有するセラミックグリーンシートを切り出すためのカット刃を保持している、請求項６ないし９のいずれかに記載のセラミックグリーンシートの取扱装置。