WO2014106972A1 - 광경화 조성물, 이를 포함하는 장벽층, 및 이를 포함하는 봉지화된 장치 - Google Patents

광경화 조성물, 이를 포함하는 장벽층, 및 이를 포함하는 봉지화된 장치 Download PDF

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barrier layer
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carbon atoms
monomer
acrylate
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남성룡
최승집
권지혜
이연수
이지연
이창민
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Definitions

  • the present invention relates to a photocurable composition, a barrier layer comprising the same, and an encapsulated device comprising the same.
  • Organic optoelectronic devices such as organic light emitting diodes, devices including photovoltaic cells and display devices such as organic thin film transistors must be encapsulated to protect their sensitive components from atmospheric gases (primarily oxygen and / or moisture). Without proper protection, the device can be degraded. In addition, deterioration of the quality of the device may occur mainly due to the appearance of dark spots. In particular, in the case of the organic light emitting diode, the quality of the organic light emitting diode may be degraded due to water vapor penetrating into the diode, and the quality of the cathode (or anode) / organic membrane interface may be degraded.
  • Encapsulation can typically be accomplished by bonding the glass cap to the display device using a particular adhesive, particularly an adhesive having low water permeability.
  • a solid moisture getter may be placed between the substrate and the cap to extend the life of the device.
  • Encapsulation with a cap fits well with rigid devices, but may not fit well with devices that include a flexible support (eg, a flexible display).
  • CMOS complementary metal oxide semiconductor
  • a "monolithic" encapsulation is generally used, ie encapsulation with thin films having good oxygen and water vapor barrier properties.
  • the most commonly used materials for this method are generally oxides of the formulas SiOx, SiNx, SiOxNy and AlxOy deposited using Chemical Vapor Deposition (CVD), optionally Plasma Promoted Chemical Vapor Deposition (PECVD) or Atomic Layer Deposition (ALD). Dielectric and / or nitride.
  • the method may be preferred over physical vapor deposition (PVD), such as sputtering, which results in the formation of a film having an unsatisfactory property of protective film due to defects such as many pinholes in the deposited film, which are mostly aggressive to organic semiconductors and the like.
  • PVD physical vapor deposition
  • Plasma accelerated chemical vapor deposition and atomic layer deposition have much fewer drawbacks than the films obtained by physical vapor deposition and have the advantage that the deposited films are very uniform. That is, the two methods can provide excellent step coverage.
  • Philips' "NONON" which consists of multiple layers such as SiNx / SiOx / SiNx / SiOx, which alternately comprise a nitride layer and an oxide layer.
  • Another object of the present invention is to provide a photocurable composition having a high photocurability, a low curing shrinkage ratio after curing, a high adhesion to an inorganic barrier layer, and a barrier layer for encapsulation.
  • Still another object of the present invention is to provide a barrier layer implemented with the photocurable composition, a barrier stack including the same, an encapsulated device including the same, and a method of encapsulating the device using the same.
  • a photocurable composition which is an aspect of the present invention, may include (A) a photocurable monomer and (B) a monomer of Formula 1 below:
  • X may be a lactone group, a morpholine group, a pyrrolidone group, a phthalimide group or a succinimide group.
  • the monomer (B) may be represented by any one of the following Chemical Formulas 2 to 6:
  • the photocurable monomer may include a monomer having about 1-30 vinyl groups, acrylate groups, or methacrylate groups.
  • Said (A) photocurable monomer is a (meth) acrylate which has a C1-C20 alkyl group, the di (meth) acrylate of a C2-C20 diol, and the tri (meth) acrylate of a C3-C20 triol It may include one or more of tetra (meth) acrylate of tetraol having 4 to 20 carbon atoms.
  • composition may further comprise an initiator (C).
  • the (C) initiator may include a photopolymerization initiator.
  • the composition comprises about 20-90% by weight of the (A) monomer, based on solids; About 1-60% by weight of the monomer (B); And about 0.1-20% by weight of the (C) initiator.
  • the barrier layer which is another aspect of the present invention, may include a cured product of the photocurable composition.
  • Another aspect of the invention is an encapsulated device comprising a device member and a barrier stack formed on the device member, the barrier stack comprising an inorganic barrier layer and an organic barrier layer, wherein the organic barrier layer is It may include a cured product of the photocurable composition.
  • the organic barrier layer may have an adhesion to the inorganic barrier layer of about 20-100kgf / (mm) 2 .
  • the inorganic barrier layer includes a metal, a metal oxide, a metal nitride, a metal carbide, a metal oxynitride, a metal oxyboride, or a mixture thereof, and the metal includes silicon (Si), aluminum (Al), and selenium (Se). It may include one or more of zinc (Zn), antimony (Sb), indium (In), germanium (Ge), tin (Sn), bismuth (Bi), transition metals, lanthanide metals.
  • the organic barrier layer and the inorganic barrier layer may be formed alternately.
  • the inorganic barrier layer and the organic barrier layer may be stacked up to about 10 times in total.
  • the thickness of one organic barrier layer may be about 0.1 ⁇ m-20 ⁇ m, and the thickness of one inorganic barrier layer may be about 5 nm to 500 nm.
  • the device member may be a flexible organic light emitting device, an organic light emitting device, a lighting device, a metal sensor pad, a microdisk laser, an electrochromic device, a photochromic device, a microelectromechanical system, a solar cell, an integrated circuit, or a charge coupling device. , Light emitting polymers or light emitting diodes.
  • the present invention provides a photocurable composition having a high photocurability, a low curing shrinkage ratio after curing, a high adhesion to the inorganic barrier layer, and a highly reliable barrier layer.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view of an encapsulated device of one embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view of an encapsulated device of another embodiment of the present invention.
  • the 'heterocycle' refers to a saturated or unsaturated heteroalicyclic group containing 2 to 20 carbon atoms or a heteroaromatic group containing 2 to 20 carbon atoms, or a heteroaromatic group having 2 to 20 carbon atoms, wherein the hetero atom is nitrogen. , Oxygen or sulfur.
  • the photocurable composition of one aspect of the present invention may include (A) a photocurable monomer and (B) a heterocyclic ring-containing monomer or an oligomer thereof.
  • the photocurable monomer may mean a non-heteroalicyclic system having no heteroalicyclic group or a non-heteroaromatic system having no heteroaromatic group and having a photocurable functional group.
  • the photocurable functional group may be a (meth) acrylate group, a vinyl group, or the like.
  • the photocurable monomer may comprise a monofunctional monomer, a polyfunctional monomer or a mixture thereof.
  • the photocurable monomer may have about 1-30 substituted or unsubstituted vinyl groups, substituted or unsubstituted acrylate groups, or substituted or unsubstituted methacrylate groups, for example, about 1-20, For example, it may include about 1-6 monomers.
  • the photocurable monomer may comprise a mixture of monofunctional and polyfunctional monomers.
  • the monofunctional monomer: multifunctional monomer in the mixture may be included in a weight ratio of about 1: 0.1 to 1:10, for example about 1: 1 to 1: 7, for example about 1: 2 to 1: 5.
  • the photocurable monomer is an aromatic compound having 6 to 20 carbon atoms having a substituted or unsubstituted vinyl group; Unsaturated carboxylic esters having an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, a cycloalkyl group having 3 to 20 carbon atoms, an aromatic group having 6 to 20 carbon atoms, or a hydroxy group and an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms; Unsaturated carboxylic esters having an amino alkyl group having 1 to 20 carbon atoms; Vinyl esters of saturated or unsaturated carboxylic acids having 1 to 20 carbon atoms; Unsaturated carboxylic acid glycidyl esters having 1 to 20 carbon atoms; Vinyl cyanide compounds; Unsaturated amide compounds; Mono- or polyfunctional (meth) acrylates of mono alcohols or polyhydric alcohols.
  • the 'polyhydric alcohol' is an alcohol having two or more hydroxyl groups, for example, may mean an alcohol having about 2-20 hydroxyl
  • the photocurable monomer is an aromatic compound having 6 to 20 carbon atoms having an alkenyl group including a vinyl group such as styrene, alpha-methyl styrene, vinyl toluene, vinyl benzyl ether, vinyl benzyl methyl ether; Methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxybutyl (meth) acrylate, hexyl (meth) acrylate, Octyl (meth) acrylate, nonyl (meth) acrylate, decanyl (meth) acrylate, undecanyl (meth) acrylate, dodecyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, benzyl (meth) Unsaturated carboxylic acid esters such as acrylate and phen
  • the photocurable monomer is a (meth) acrylate having an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, a di (meth) acrylate of a diol having 2 to 20 carbon atoms, and a tri (meth) acrylate of a triol having 3 to 20 carbon atoms. It may include one or more of tetra (meth) acrylate of tetraol having 4 to 20 carbon atoms.
  • the photocurable monomer may be included in about 20-90% by weight, for example about 60-90% by weight, for example about 70-90% by weight in the composition based on solids.
  • the composition may reduce or prevent the outgas and moisture permeability by improving the adhesion between the organic barrier layer and the inorganic barrier layer at the time of manufacturing the thin film encapsulation layer.
  • the heterocyclic-containing monomer or oligomer thereof is included in the photocurable composition together with the photocurable monomer to increase the photocuring rate and increase adhesion to the inorganic barrier layer after curing of the composition, thereby preventing moisture and oxygen from penetrating from the outside, thereby increasing reliability of the device member. Can improve.
  • the heterocyclic containing monomer may be a photocurable monomer including a heterocycle and having a photocurable functional group (eg, a (meth) acrylate group, a vinyl group).
  • a photocurable functional group eg, a (meth) acrylate group, a vinyl group.
  • the heterocyclic containing monomer may be represented by the following Chemical Formula 1:
  • R 1 is hydrogen, a substituted or unsubstituted alkyl group having 1 to 20 carbon atoms
  • R 2 is a substituted or unsubstituted C 1-30 alkylene group, a substituted or unsubstituted C 6-30 arylene group, or a substituted or unsubstituted C 5-20 cycloalkylene group,
  • R 3 is a single bond, a substituted or unsubstituted C 1-30 alkylene group, a substituted or unsubstituted C 6-30 arylene group, or a substituted or unsubstituted C 5-20 cycloalkylene group,
  • X is a saturated or unsaturated alicyclic hydrocarbon group having 2-20 carbon atoms or an unsaturated aromatic hydrocarbon group having 2-20 carbon atoms containing heteroatoms).
  • X can be a saturated or unsaturated alicyclic hydrocarbon group having 2-10 carbon atoms or an unsaturated aromatic hydrocarbon group having 2-10 carbon atoms, containing heteroatoms.
  • R 2 may be an alkylene group having 1-5 carbon atoms.
  • R 3 may be a single bond or an alkylene group having 1 to 5 carbon atoms.
  • R 3 may be bonded at any position (eg, carbon or nitrogen) constituting an alicyclic or aromatic hydrocarbon group in X.
  • X can be a lactone group, a pyrrolidone group, a morpholine group, a phthalimide group or a succinimide group.
  • Heterocyclic-containing monomers or oligomers thereof may be synthesized by conventional synthetic methods or may be used by purchasing a commercially available product.
  • the heterocyclic containing monomer or oligomer thereof may be included in about 1-60% by weight, for example about 1-30% by weight, for example about 5-20% by weight in the solids based composition. In the above range, it is possible to increase the adhesion to the inorganic barrier layer after curing of the composition.
  • composition may further comprise (C) an initiator.
  • the initiator may include, without limitation, conventional photopolymerization initiators capable of carrying out the photocurable reaction.
  • the photopolymerization initiator may include triazine, acetophenone, benzophenone, thioxanthone, benzoin, phosphorus, oxime or mixtures thereof.
  • Triazines include 2,4,6-trichloro-s-triazine, 2-phenyl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (3 ', 4'-dimethoxy sty Reyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4'-methoxy naphthyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- ( p-methoxy phenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (p-tolyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2-r Phenyl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, bis (trichloromethyl) -6-styryl-s-triazine, 2- (naphtho-1-yl) -4,
  • acetophenone type 2,2'- diethoxy acetophenone, 2,2'- dibutoxy acetophenone, 2-hydroxy-2-methyl propiophenone, pt-butyl trichloro acetophenone, pt-butyl dichloro Acetophenone, 4-chloro acetophenone, 2,2'-dichloro-4-phenoxy acetophenone, 2-methyl-1- (4- (methylthio) phenyl) -2-morpholino propane-1-one, 2-benzyl-2-dimethyl amino-1- (4-morpholino phenyl) -butan-1-one, or mixtures thereof.
  • benzophenones include benzophenone, benzoyl benzoic acid, benzoyl benzoic acid methyl, 4-phenyl benzophenone, hydroxy benzophenone, acrylated benzophenone, 4,4'-bis (dimethyl amino) benzophenone, and 4,4'-dichloro benzo Phenone, 3,3'-dimethyl-2-methoxy benzophenone or mixtures thereof.
  • Thioxanthones include thioxanthone, 2-methyl thioxanthone, isopropyl thioxanthone, 2,4-diethyl thioxanthone, 2,4-diisopropyl thioxanthone, 2-chloro thioxanthone or Mixtures thereof.
  • the benzoin system may be benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin isobutyl ether, benzyl dimethyl ketal or mixtures thereof.
  • Phosphorus-based may be bisbenzoylphenyl phosphine oxide, benzoyldiphenyl phosphine oxide or mixtures thereof.
  • oximes examples include 2- (o-benzoyloxime) -1- [4- (phenylthio) phenyl] -1,2-octanedione and 1- (o-acetyloxime) -1- [9-ethyl-6- ( 2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] ethanone, or mixtures thereof.
  • the initiator may be included in about 0.1-20% by weight, for example about 0.5-10% by weight, for example about 0.5-7% by weight in the solids based composition. Within this range, photopolymerization can occur sufficiently during exposure, and the transmittance can be prevented from being lowered due to the unreacted initiator remaining after the photopolymerization.
  • the photocurable composition can be formed by mixing the photocurable monomer, the heterocyclic monomer or the oligomer thereof, and the initiator.
  • it can be formed by the solventless type which does not contain a solvent.
  • the photocurable composition may have a photocurability of about 90% or more.
  • the hardening shrinkage stress after curing is low to implement a layer that does not generate a shift can be used for sealing the device.
  • Photocuring rate can be measured by a conventional method.
  • the photocurable composition is applied onto a glass substrate and cured for about 100 J / cm 2 and about 10 seconds. Aliquot the cured film and measure photocurability using FT-IR.
  • the photocurable composition may have a viscosity of about 10-50 cps at 25 ° C. In this range, deposition may be possible as the barrier layer material.
  • the photocurable composition may have an adhesion to the inorganic barrier layer after curing to about 20-100 kgf / (mm) 2 . If the adhesion force is less than 20 kgf / (mm) 2 , moisture or oxygen that penetrates from the outside easily penetrates between the inorganic barrier layer and the organic barrier layer, thereby resulting in poor reliability. If it is more than 100 kgf / (mm) 2 , problems may arise in the uniformity of the organic barrier layer.
  • the inorganic barrier layer may include, but is not limited to, an inorganic barrier layer (eg, silicon oxide, silicon nitride, aluminum oxide, etc.) detailed below. For example, the adhesion may be about 20-55 kgf / (mm) 2 .
  • the photocurable composition may have a visible light transmittance of about 95% or more after curing. Within this range, the visibility of the display device can be improved when the display device is encapsulated.
  • the transmittance is a value measured at a wavelength of 550 nm. For example, about 95-100%.
  • device members in particular display device members, are decomposed or defective due to permeation of gases or liquids in the surrounding environment, such as oxygen and / or moisture in the atmosphere and / or water vapor and chemicals used in processing electronics. Can be.
  • the display apparatus needs to be encapsulated or encapsulated.
  • OLEDs organic light emitting diodes
  • lighting devices flexible organic light emitting diode displays
  • metal sensor pads metal sensor pads
  • microdisk lasers electrochromic devices
  • photochromic devices photochromic devices
  • microelectromechanical systems solar cells
  • integrated circuits integrated circuits.
  • Charge coupling devices light emitting polymers, light emitting diodes, and the like, but is not limited thereto.
  • the photocurable composition of the present invention satisfies all of the above-described adhesion to the inorganic barrier layer, photocurability, and transmittance, thereby forming an organic barrier layer used for encapsulation or encapsulation of the device, in particular, a flexible display device. .
  • An organic barrier layer which is another aspect of the present invention, may be formed from the composition.
  • the organic barrier layer can be formed by photocuring the photocurable composition described above.
  • the photocurable composition may be coated to a thickness of about 0.1 ⁇ m-20 ⁇ m and cured by irradiation at about 10-500 mW / cm 2 for about 1-50 seconds.
  • the organic barrier layer has the physical properties of the photocurable composition after curing. Therefore, the barrier stack can be formed together with the inorganic barrier layer to be described below, and can be used for encapsulation of the device.
  • a barrier stack which is another aspect of the present invention, may include the organic barrier layer and the inorganic barrier layer.
  • the inorganic barrier layer may be formed of an inorganic layer different from the organic barrier layer, thereby supplementing the effect of the organic barrier layer.
  • the inorganic barrier layer is not particularly limited as long as the inorganic barrier layer is excellent in light transmittance and excellent in moisture and / or oxygen barrier property.
  • the metal is silicon (Si), aluminum (Al), selenium (Se), zinc (Zn), antimony (Sb), indium (In), germanium (Ge), tin (Sn), bismuth (Bi), transition metal , Lanthanide metals, and the like, but is not limited thereto.
  • the inorganic barrier layer may be silicon oxide, silicon nitride, silicon oxygen nitride, ZnSe, ZnO, Sb 2 O 3 , Al 2 O 3 , In 2 O 3 , SnO 2 .
  • metal may be replaced with "non-metal".
  • the inorganic barrier layer and the organic barrier layer may be deposited in a vacuum process, such as sputtering, chemical vapor deposition, plasma chemical vapor deposition, evaporation, sublimation, electron cyclotron resonance-plasma vapor deposition, and combinations thereof.
  • the organic barrier layer secures the above-described physical properties. As a result, when the organic barrier layer is deposited alternately with the inorganic barrier layer, it is possible to secure the smoothing characteristics of the inorganic barrier layer. In addition, the organic barrier layer can prevent the defect of the inorganic barrier layer from propagating to another inorganic barrier layer.
  • the barrier stack includes the organic barrier layer and the inorganic barrier layer, but the number of barrier stacks is not limited.
  • the combination of barrier stacks may vary depending on the level of permeation resistance to oxygen and / or moisture and / or water vapor and / or chemicals.
  • the organic barrier layer and the inorganic barrier layer may be deposited alternately. This is due to the effect on the organic barrier layer produced due to the physical properties of the above-described composition. As a result, the organic barrier layer and the inorganic barrier layer can complement or enhance the sealing effect on the device.
  • the organic barrier layer and the inorganic barrier layer are each deposited two or more times alternately up to about 10 times (eg about 2-10 times), preferably about 7 times or less (eg about 2-7 times). Can be.
  • the thickness of one organic barrier layer in the barrier stack may be about 0.1 ⁇ m-20 ⁇ m, for example about 1 ⁇ m-10 ⁇ m, and the thickness of one inorganic barrier layer may be about 5 nm-500 nm, for example about 5 nm-200 nm.
  • the barrier stack is a thin film encapsulant, the thickness of which may be about 5 ⁇ m or less, for example 1.5 ⁇ m-5 ⁇ m.
  • An encapsulated device which is another aspect of the present invention, may include a device member and the barrier layer or barrier stack.
  • the device is not limited so long as it includes the device member, and may include, for example, a display device.
  • FIG. 1 and 2 are cross-sectional views of an encapsulated device of one embodiment of the present invention.
  • the encapsulated device 100 includes a substrate 10; A device member (eg, an organic light emitting element) 20 formed on the substrate 10; And a barrier stack 30 formed over the device member 20 and including an inorganic barrier layer 31 and an organic barrier layer 32.
  • a device member eg, an organic light emitting element
  • a barrier stack 30 formed over the device member 20 and including an inorganic barrier layer 31 and an organic barrier layer 32.
  • the encapsulated device 200 includes a substrate 10; A device member (eg, an organic light emitting element) 20 formed on the substrate 10; And a barrier stack 30 formed over the device member 20 and including an inorganic barrier layer 31 and an organic barrier layer 32.
  • a device member eg, an organic light emitting element
  • FIG. 1 is an embodiment in which the device member 20 and the inorganic barrier layer 31 are in contact with each other
  • FIG. 2 is an embodiment in which an empty space 40 is formed between the device member 20 and the inorganic barrier layer 31. to be.
  • the contents for the device member, the organic barrier layer, the inorganic barrier layer, and the barrier stack are as described above.
  • the substrate is not particularly limited as long as it is a substrate on which device members can be laminated.
  • it may be made of a material such as transparent glass, plastic sheet, silicon or metal substrate.
  • substrate may not be included.
  • the encapsulated device can be manufactured by conventional methods.
  • a device member is formed on the substrate and an inorganic barrier layer is formed.
  • the photocurable composition may be applied using a method such as spin coating or slit coating and irradiated with light to form an organic barrier layer. The process of forming the inorganic barrier layer and the organic barrier layer can be repeated.
  • the method of forming the inorganic barrier layer and the organic barrier layer is not limited, but may include deposition.
  • the encapsulated device is an organic light emitting display device, which is stacked on a substrate, an organic light emitting unit formed on the substrate, an inorganic barrier layer encapsulating the organic light emitting unit, and the inorganic barrier layer.
  • An organic barrier layer, wherein the organic barrier layer may have an adhesive force to the inorganic barrier layer of about 20-100 kgf / (mm) 2 .
  • a method for encapsulating a device member may comprise the following steps:
  • Forming at least one barrier stack comprising at least one inorganic barrier layer and an organic barrier layer and adjacent to the device component.
  • the substrate, the device member, the inorganic barrier layer, the organic barrier layer, and the barrier stack are as described above.
  • the device member is laminated on a substrate. This can be carried out in the same manner as the inorganic barrier layer and the organic barrier layer forming method, but is not limited thereto.
  • the inorganic barrier layer and the organic barrier layer may be formed by a vacuum process such as sputtering, chemical vapor deposition, plasma chemical vapor deposition, evaporation, sublimation, electron cyclotron resonance-plasma vapor deposition, and combinations thereof.
  • Photocurable monomer (A1) hexyl acrylate, (A2) decanediol diacrylate, (A3) pentaerythritol tetraacrylate (above, Aldrich)
  • the components (A), (B) and (C) are mixed in the contents shown in Table 1 (unit: parts by weight, based on solids), placed in a 125 ml brown polypropylene bottle, mixed for 3 hours using a shaker, and then A fired composition was prepared.
  • Visible light transmittance (%): The composition was coated on the cleaned glass substrate to about 10 ⁇ m ⁇ 2 ⁇ m and then UV cured (100 mW / cm 2 X 10 sec) to prepare a film (thickness: 9 ⁇ m ⁇ 2 ⁇ m). . Visible light transmittance in the wavelength range of 550 nm was measured with a Lambda 950 (Perkin elmer) instrument for the prepared film.
  • A is the ratio of the intensity of the absorption peak in the vicinity of 1635 cm ⁇ 1 to the intensity of the absorption peak in the vicinity of 1720 cm ⁇ 1 for the cured film
  • B is the ratio of the intensity of the absorption peak in the vicinity of 1635 cm ⁇ 1 to the intensity of the absorption peak in the vicinity of 1720 cm ⁇ 1 for the photocurable composition).
  • the photocurable composition of the present invention has a high adhesion to the inorganic barrier layer including glass or silicon nitride, high photocurability, it can implement a reliable barrier layer.
  • the photocurable compositions of Comparative Examples 1 to 3 which do not contain a heterocyclic monomer, have low adhesion to the inorganic barrier layer and low photocurability, so that the effects of the present invention could not be realized.

Abstract

본 발명은 (A)광경화성 모노머 및 (B)화학식 1의 모노머를 포함하는 광경화 조성물, 이를 포함하는 장벽층, 및 이를 포함하는 봉지화된 장치에 관한 것이다.

Description

광경화 조성물, 이를 포함하는 장벽층, 및 이를 포함하는 봉지화된 장치
본 발명은 광경화 조성물, 이를 포함하는 장벽층(barrier layer), 및 이를 포함하는 봉지화된 장치에 관한 것이다.
유기발광다이오드와 같은 유기 광전자 장치, 광전지를 포함하는 장치 및 유기 박막 트랜지스터 등의 디스플레이 장치는 대기 중의 기체(주로 산소 및/또는 수분)로부터 그들의 민감한 부품을 보호하기 위하여 봉지되어야 한다. 적절한 보호가 이루어지지 않는다면, 상기 장치의 질이 저하될 수 있다. 또한, 주로 검은 비방사성의 점(dark spot)이 생김으로써 장치의 질의 저하가 나타날 수 있다. 특히 유기발광다이오드의 경우, 다이오드로 침투하는 수증기로 인해 질이 저하되고, 음극(또는 양극)/유기막 계면부의 질을 저하시킬 수 있다.
봉지는 전형적으로 특정 접착제, 특히 낮은 투수성을 갖는 접착제를 이용하여 디스플레이 장치에 유리 캡을 접합시킴으로써 이루질 수 있다. 일반적으로, 장치의 수명을 길게 하기 위하여 고체의 수분 게터를 기판과 캡 사이에 넣을 수 있다. 캡을 이용한 봉지는 견고한 장치에는 잘 맞지만, 유연한 지지부(예를 들면, 플렉시블(flexible) 디스플레이)를 포함하는 장치에는 잘 맞지 않을 수 있다.
상기 봉지 기술은 또한 예를 들어 상보형금속산화반도체(CMOS) 마이크로디스플레이에서처럼 기판의 회로에 공간이 부족할 때에는 실현 불가능하고, 장치의 무게를 최소화하기를 바란다면 특히 큰 방출 영역의 경우에는 피해야 한다.
캡을 이용한 봉지가 적합하지 않은 모든 경우에는 일반적으로 "일체식(monolithic)" 봉지, 즉 좋은 산소 차단 및 수증기 차단 특성을 갖는 박막을 이용한 봉지 방법을 이용한다. 상기 방법을 위하여 가장 흔하게 사용되는 물질은 일반적으로 화학적 증기 증착법(CVD), 선택적으로 플라스마 촉진화학증착법(PECVD) 또는 원자층 증착법(ALD)을 이용하여 증착된 식 SiOx, SiNx, SiOxNy 및 AlxOy의 산화물 유전체 및/또는 질화물이 될 수 있다. 상기 방법은 대부분 유기 반도체 등에 공격적이어서 상기 증착된 막에 생기는 많은 핀홀과 같은 결점 때문에 보호막 도포가 불만족스러운 특성을 갖는 막의 형성을 야기하는 스퍼터링(sputtering)과 같은 물리적 증착법(PVD)보다 선호될 수 있다. 플라스마 촉진화학증착법 및 원자층 증착법은 물리적 증착법으로 수득되는 막보다 훨씬 적은 결점을 갖고, 증착된 막이 매우 균일하다는 장점을 갖는다. 즉 상기 두 방법은 우수한 스텝 커버리지(step coverage)를 제공할 수 있다.
무기층의 결점이 다른 무기층과 "연관되지 않게" 하는 예를 들어 Barix 라는 이름의 유기/무기/유기/무기 등의 다층을 제조하는 노력이 있어 왔다. 상기 방식으로, 현재 약 10g-6/m2/day까지 수증기 투과성을 감소시킬 수 있고, 따라서 유기발광다이오드 디스플레이 장치의 상업화가 이루어질 수 있도록 충분한 수명을 갖게 하는 것이 가능하다.
다층 봉지 구조의 또 다른 큰 군은 필립스(Philips)사의 "NONON"인데 이는 질화물층과 산화물 층을 교대로 포함하는, 예를 들어 SiNx/SiOx/SiNx/SiOx 등과 같은 다층으로 구성되는 것이다.
이와 관련하여, 미국등록특허 제7767498호에 따르면, 진공 증착으로 약 5층의 아크릴계 유기물과 5층의 무기물의 반복적인 증착 코팅을 하여 10-6g/m2/day 정도의 수분 투과 방지 특성을 확보하였다고 보고되었다. 그러나, 상기와 같이 유기 증착을 쌓아 올린 경우 유기층이 장벽 특성이 전혀 없는 유기재료로 구성되어, 수분의 침투에 의해 Cathod 층의 부식으로 발광 현상이 발생되지 않는 불량으로 인해, 신뢰성 특성이 취약하게 되는 단점을 가지고 있다. 또한, 증착층이 10층 구조로 되어 있으며, 유기층의 두께가 충분하지 못할 경우, 무기층 위에 유기층이 증착되면서 평활성이 떨어지는 문제가 발생된다. 또한, 장벽 특성이 우수한 알루미늄 옥사이드 단독으로만 사용할 경우, 층의 두께를 두껍게 하여도, 증착시 발생된 핀-홀(pin-hole)이 그대로 성장되어, 수분 및 산소가 쉽게 투과되어질 수 있다. 그 결과, 무기층과 유기층 간의 부착력이 저하되어 수분 차단 효과가 떨어질 수도 있다.
본 발명의 목적은 환경에 민감한 장치의 봉지를 위한 장벽층을 형성할 수 있는 광경화 조성물을 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 광경화율이 높고, 경화 후 경화 수축율이 낮고, 무기 장벽층에 대한 부착력이 높아, 봉지를 위한 장벽층을 구현할 수 있는 광경화 조성물을 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 상기 광경화 조성물로 구현된 장벽층, 이를 포함하는 장벽 스택, 이를 포함하는 봉지화된 장치, 및 이를 사용하는 장치의 봉지 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 일 관점인 광경화 조성물은 (A)광경화성 모노머 및 (B)하기 화학식 1의 모노머를 포함할 수 있다:
<화학식 1>
Figure PCTKR2013004627-appb-I000001
(상기에서, R1, R2, R3, 및 X는 하기 발명의 상세한 설명에서 정의한 바와 같다).
상기 X는 -O-,
Figure PCTKR2013004627-appb-I000002
, -NR-, -S-, -N=, -O+=, -S+=, -O+R-, -S+R-, -(C=O)-, -(C=S)-, -(C=O)O-, -O(C=O)O-, -NR(C=O)-,
Figure PCTKR2013004627-appb-I000003
, -NR(C=O)NR-,
Figure PCTKR2013004627-appb-I000004
, -NH-CH=CH-(C=O)-, -O-CH=N-(C=O)-, -NH-N=CH-(C=O)-, -(C=O)-NH-N=, -O-N=CH-(C=O)-, -S-CH=N-(C=O)- (상기에서 R은 수소, 또는 탄소수 1-10의 알킬기이고, "-"는 분자간 연결 부위이다) 중 하나 이상을 포함하는, 탄소수 2-10의 포화 또는 불포화된 지환족 탄화수소기 또는 탄소수 2-10의 불포화된 방향족 탄화수소기일 수 있다.
X는 락톤기, 모르폴린기, 피롤리돈기, 프탈이미드기 또는 숙신이미드기일 수 있다.
상기 (B) 모노머는 하기 화학식 2 내지 6 중 어느 하나로 표시될 수 있다:
<화학식 2>
Figure PCTKR2013004627-appb-I000005
<화학식 3>
Figure PCTKR2013004627-appb-I000006
<화학식 4>
Figure PCTKR2013004627-appb-I000007
<화학식 5>
Figure PCTKR2013004627-appb-I000008
<화학식 6>
Figure PCTKR2013004627-appb-I000009
.
상기 광경화성 모노머는 비닐기, 아크릴레이트기, 또는 메타아크릴레이트기를 약 1-30개 갖는 모노머를 포함할 수 있다.
상기 (A)광경화성 모노머는 탄소수 1-20의 알킬기를 갖는 (메타)아크릴레이트, 탄소수 2-20의 디올의 디(메타)아크릴레이트, 탄소수 3-20의 트리올의 트리(메타)아크릴레이트, 탄소수 4-20의 테트라올의 테트라(메타)아크릴레이트 중 하나 이상을 포함할 수 있다.
상기 조성물은 (C)개시제를 더 포함할 수 있다.
상기 (C)개시제는 광중합 개시제를 포함할 수 있다.
상기 조성물은 고형분 기준 상기 (A) 모노머 약 20-90중량%; 상기 (B) 모노머 약 1-60중량%; 및 상기 (C) 개시제 약 0.1-20중량%를 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 관점인 상기 장벽층은 상기 광경화 조성물의 경화물을 포함할 수 있다.
본 발명의 또 다른 관점인 봉지화된 장치는 장치용 부재, 및 상기 장치용 부재 위에 형성되고, 무기 장벽층과 유기 장벽층을 포함하는 장벽 스택(barrier stack)을 포함하고, 상기 유기 장벽층은 상기 광경화 조성물의 경화물을 포함할 수 있다.
상기 유기 장벽층은 상기 무기 장벽층에 대한 부착력이 약 20-100kgf/(mm)2가 될 수 있다.
상기 무기 장벽층은 금속, 금속 산화물, 금속 질화물, 금속 탄화물, 금속 산소질화물, 금속 산소붕소화물, 또는 이들의 혼합물을 포함하고, 상기 금속은 실리콘(Si), 알루미늄(Al), 셀레늄(Se), 아연(Zn), 안티몬(Sb), 인듐(In), 게르마늄(Ge), 주석(Sn), 비스무트(Bi), 전이금속, 란탄족 금속 중 하나 이상을 포함할 수 있다.
상기 유기 장벽층과 상기 무기 장벽층은 교대로 형성될 수 있다.
상기 무기 장벽층과 상기 유기 장벽층은 전체 약 10회 이하로 적층될 수 있다.
상기 유기 장벽층 하나의 두께는 약 0.1㎛-20㎛이고, 상기 무기 장벽층 하나의 두께는 약 5nm-500nm가 될 수 있다.
상기 장치용 부재는 플렉시블(flexible) 유기발광소자, 유기발광소자, 조명 장치, 금속 센서 패드, 마이크로디스크 레이저, 전기변색 장치, 광변색장치, 마이크로전자기계 시스템, 태양전지, 집적 회로, 전하 결합 장치, 발광 중합체 또는 발광 다이오드를 포함할 수 있다.
본 발명은 광경화율이 높고, 경화 후 경화 수축율이 낮고, 무기 장벽층에 대한 부착력이 높아, 신뢰성이 좋은 장벽층을 형성할 수 있는 광경화 조성물을 제공하였다.
도 1은 본 발명 일 구체예의 봉지화된 장치의 단면도이다.
도 2는 본 발명 다른 구체예의 봉지화된 장치의 단면도이다.
본 명세서에서 '치환 또는 비치환된'에서 '치환'은 본 발명의 관능기 중 하나 이상의 수소 원자가 할로겐(F, Cl, Br 또는 I), 히드록시기, 니트로기, 시아노기, 이미노기(=NH, =NR, R은 탄소수 1-10의 알킬기이다), 아미노기(-NH2, -NH(R'), -N(R")(R"'), R',R",R"'은 각각 독립적으로 탄소수 1-10의 알킬기이다), 탄소수 1-20의 알킬기, 탄소수 6-20의 아릴기, 탄소수 3-10의 시클로알킬기, 탄소수 3-20의 헤테로아릴기, 탄소수 2-30의 헤테로시클로알킬기, 탄소수 7-21의 아릴알킬기로 치환되는 것을 의미할 수 있다.
본 명세서에서 '헤테로고리'는 헤테로원자를 함유하고 탄소수 2-20의 포화 또는 불포화된 헤테로지환족기 또는 헤테로원자를 함유는 탄소수 2-20의 헤테로방향족기이고, 본 명세서에서 '헤테로 원자'는 질소, 산소 또는 황을 의미할 수 있다.
본 발명의 일 관점인 광경화 조성물은 (A)광경화성 모노머 및 (B)헤테로 고리 포함 모노머 또는 그의 올리고머를 포함할 수 있다.
(A)광경화성 모노머
광경화성 모노머는 헤테로지환족기를 갖지 않는 비-헤테로지환족계 또는 헤테로방향족기를 갖지 않는 비-헤테로방향족계이고, 광경화성 작용기를 갖는 모노머를 의미할 수 있다. 광경화성 작용기는 (메타)아크릴레이트기, 비닐기 등이 될 수 있다.
광경화성 모노머는 단관능 모노머, 다관능 모노머 또는 이들의 혼합물을 포함할 수 있다. 예를 들면, 광경화성 모노머는 치환 또는 비치환된 비닐기, 치환 또는 비치환된 아크릴레이트기, 또는 치환 또는 비치환된 메타아크릴레이트기를 약 1-30개, 예를 들면 약 1-20개, 예를 들면 약 1-6개 갖는 모노머를 포함할 수 있다.
광경화성 모노머는 단관능 모노머와 다관능 모노머의 혼합물을 포함할 수 있다. 상기 혼합물 중 단관능 모노머:다관능 모노머는 약 1:0.1 내지 1:10, 예를 들면 약 1:1 내지 1:7, 예를 들면 약 1:2 내지 1:5의 중량비로 포함될 수 있다.
구체예에서, 광경화성 모노머는 치환 또는 비치환된 비닐기를 갖는 탄소수 6-20의 방향족 화합물; 탄소수 1-20의 알킬기, 탄소수 3-20의 시클로알킬기, 탄소수 6-20의 방향족기, 또는 히드록시기 및 탄소수 1-20의 알킬기를 갖는 불포화 카르본산 에스테르; 탄소수 1-20의 아미노 알킬기를 갖는 불포화 카르본산 에스테르; 탄소수 1-20의 포화 또는 불포화 카르본산의 비닐 에스테르; 탄소수 1-20의 불포화 카르본산 글리시딜 에스테르; 시안화 비닐 화합물; 불포화 아미드 화합물; 모노 알코올 또는 다가 알코올의 단관능 또는 다관능 (메타)아크릴레이트 등이 될 수 있다. 상기 '다가 알코올'은 수산기를 2개 이상 갖는 알코올로서, 예를 들면 수산기를 약 2-20개, 예를 들면 약 2-10개, 예를 들면 약 2-6개 갖는 알코올을 의미할 수 있다.
구체예에서, 광경화성 모노머는 스티렌, 알파-메틸 스티렌, 비닐 톨루엔, 비닐 벤질 에테르, 비닐 벤질 메틸 에테르 등의 비닐기를 포함하는 알케닐기를 갖는 탄소수 6-20의 방향족 화합물; 메틸 (메타)아크릴레이트, 에틸 (메타)아크릴레이트, 부틸 (메타)아크릴레이트, 2-히드록시에틸 (메타)아크릴레이트, 2-히드록시부틸 (메타)아크릴레이트, 헥실 (메타)아크릴레이트, 옥틸 (메타)아크릴레이트, 노닐 (메타)아크릴레이트, 데카닐 (메타)아크릴레이트, 운데카닐 (메타)아크릴레이트, 도데실 (메타)아크릴레이트, 시클로헥실 (메타)아크릴레이트, 벤질 (메타)아크릴레이트, 페닐 (메타)아크릴레이트 등의 불포화 카르본산 에스테르; 2-아미노에틸 (메타)아크릴레이트, 2-디메틸아미노에틸 (메타)아크릴레이트 등의 불포화 카르본산 아미노 알킬 에스테르; 비닐 아세테이트, 비닐 벤조에이트 등의 포화 또는 불포화 카르본산 비닐 에스테르; 글리시딜 (메타)아크릴레이트 등의 탄소수 1-20의 불포화 카르본산 글리시딜 에스테르; (메타)아크릴로니트릴 등의 시안화 비닐 화합물; (메타)아크릴아미드 등의 불포화 아미드 화합물; 에틸렌 글리콜 디(메타)아크릴레이트, 트리에틸렌글리콜 디(메타)아크릴레이트, 트리메틸올프로판 트리(메타)아크릴레이트, 1,4-부탄디올 디(메타)아크릴레이트, 1,6-헥산디올 디(메타)아크릴레이트, 옥틸디올 디(메타)아크릴레이트, 노닐디올 디(메타)아크릴레이트, 데카닐디올 디(메타)아크릴레이트, 운데카닐디올 디(메타)아크릴레이트, 도데실디올 디(메타)아크릴레이트, 네오펜틸글리콜 디(메타)아크릴레이트, 펜타에리트리톨 디(메타)아크릴레이트, 펜타에리트리톨 트리(메타)아크릴레이트, 펜타에리트리톨 테트라(메타)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨 디(메타)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨 트리(메타)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨 테트라(메타)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨 펜타(메타)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨 헥사(메타)아크릴레이트, 비스페놀 A 디(메타)아크릴레이트, 노볼락에폭시 (메타)아크릴레이트, 디에틸렌글리콜 디(메타)아크릴레이트, 트리(프로필렌글리콜) 디(메타)아크릴레이트, 폴리(프로필렌글리콜) 디(메타)아크릴레이트 등을 포함하는 모노 알코올 또는 다가 알코올의 단관능 또는 다관능 (메타)아크릴레이트 등이 될 수 있고, 이에 제한되는 것은 아니다.
예를 들면, 광경화성 모노머는 탄소수 1-20의 알킬기를 갖는 (메타)아크릴레이트, 탄소수 2-20의 디올의 디(메타)아크릴레이트, 탄소수 3-20의 트리올의 트리(메타)아크릴레이트, 탄소수 4-20의 테트라올의 테트라(메타)아크릴레이트 중 하나 이상을 포함할 수 있다.
광경화성 모노머는 고형분 기준 상기 조성물 중 약 20-90중량%, 예를 들면 약 60-90중량%, 예를 들면 약 70-90중량%로 포함될 수 있다. 상기 범위에서, 조성물은 박막봉지층 제조 시에 유기 장벽층과 무기 장벽층과의 접착력을 향상시켜 아웃가스 및 투습도를 낮추거나 방지할 수 있다.
(B)헤테로고리 포함 모노머 또는 그의 올리고머
헤테로고리 포함 모노머 또는 그의 올리고머는 상기 광경화성 모노머와 함께 광경화 조성물에 포함되어 광경화율을 높이고 조성물의 경화 후 무기 장벽층에 대한 부착력을 높여 외부에서 침투되는 수분과 산소를 막아 장치용 부재의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
헤테로고리 포함 모노머는 헤테로고리를 포함하고, 광경화성 작용기(예:(메타)아크릴레이트기, 비닐기)를 갖는 광경화성 모노머일 수 있다.
구체예에서, 헤테로고리 포함 모노머는 하기 화학식 1로 표시될 수 있다:
<화학식 1>
Figure PCTKR2013004627-appb-I000010
(상기에서, R1은 수소, 치환 또는 비치환된 탄소수 1-20의 알킬기이고,
R2는 치환 또는 비치환된 탄소수 1-30의 알킬렌기, 치환 또는 비치환된 탄소수 6-30의 아릴렌기, 또는 치환 또는 비치환된 탄소수 5-20의 시클로알킬렌기이고,
R3은 단일결합, 치환 또는 비치환된 탄소수 1-30의 알킬렌기, 치환 또는 비치환된 탄소수 6-30의 아릴렌기, 또는 치환 또는 비치환된 탄소수 5-20의 시클로알킬렌기이고,
X는 헤테로원자를 함유하는, 탄소수 2-20의 포화 또는 불포화된 지환족 탄화수소기 또는 탄소수 2-20의 불포화된 방향족 탄화수소기이다).
X는 -(C=O)- 또는 -(C=S)-를 하나 이상 포함할 수 있다.
예를 들면 X는 헤테로원자를 함유하는, 탄소수 2-10의 포화 또는 불포화된 지환족 탄화수소기 또는 탄소수 2-10의 불포화된 방향족 탄화수소기일 수 있다.
예를 들면, R2은 탄소수 1-5의 알킬렌기가 될 수 있다.
예를 들면, R3은 단일결합, 또는 탄소수 1-5의 알킬렌기가 될 수 있다.
예를 들면, X는 -O-,
Figure PCTKR2013004627-appb-I000011
, -NR-, -S-, -N=, -O+=, -S+=, -O+R-, -S+R-, -(C=O)-, -(C=S)-, -(C=O)O-, -O(C=O)O-, -NR(C=O)-,
Figure PCTKR2013004627-appb-I000012
, -NR(C=O)NR-,
Figure PCTKR2013004627-appb-I000013
, -NH-CH=CH-(C=O)-, -O-CH=N-(C=O)-, -NH-N=CH-(C=O)-, -(C=O)-NH-N=, -O-N=CH-(C=O)-, -S-CH=N-(C=O)- (상기에서 R은 수소, 탄소수 1-10의 알킬기이고, '-'는 분자간 연결 부위이다) 중 하나 이상을 포함하는, 탄소수 2-10의 포화 또는 불포화된 지환족 탄화수소기 또는 탄소수 2-10의 불포화된 방향족 탄화수소기가 될 수 있다.
R3은 X 중 지환족기 또는 방향족 탄화수소기를 구성하는 임의의 위치(예:탄소 또는 질소)에 결합될 수 있다.
예를 들면, X는 락톤기, 피롤리돈기, 모르폴린기, 프탈이미드기 또는 숙신이미드기가 될 수 있다.
헤테로고리 포함 모노머 또는 그의 올리고머는 통상의 합성 방법으로 합성하여 사용하거나 상업적으로 판매되는 제품을 구입하여 사용할 수 있다.
헤테로고리 포함 모노머 또는 그의 올리고머는 고형분 기준 조성물 중 약 1-60중량%, 예를 들면 약 1-30중량%, 예를 들면 약 5-20중량%로 포함될 수 있다. 상기 범위에서, 조성물의 경화 후 무기 장벽층에 대한 접착력을 높일 수 있다.
조성물은 (C) 개시제를 더 포함할 수 있다.
(C) 개시제
개시제는 광경화성 반응을 수행할 수 있는 통상의 광중합 개시제를 제한없이 포함할 수 있다. 예를 들면, 광중합 개시제는 트리아진계, 아세토페논계, 벤조페논계, 티오크산톤계, 벤조인계, 인계, 옥심계 또는 이들의 혼합물을 포함할 수 있다.
트리아진계로는 2,4,6-트리클로로-s-트리아진, 2-페닐-4,6-비스(트리클로로 메틸)-s-트리아진, 2-(3',4'-디메톡시 스티릴)-4,6-비스(트리클로로 메틸)-s-트리아진, 2-(4'-메톡시 나프틸)-4,6-비스(트리클로로 메틸)-s-트리아진, 2-(p-메톡시 페닐)-4,6-비스(트리클로로 메틸)-s-트리아진, 2-(p-톨릴)-4,6-비스(트리클로로 메틸)-s-트리아진, 2-비페닐-4,6-비스(트리클로로 메틸)-s-트리아진, 비스(트리클로로 메틸)-6-스티릴-s-트리아진, 2-(나프토-1-일)-4,6-비스(트리클로로 메틸)-s-트리아진, 2-(4-메톡시 나프토-1-일)-4,6-비스(트리클로로 메틸)-s-트리아진, 2,4-트리클로로 메틸(피페로닐)-6-트리아진, 2,4-(트리클로로 메틸(4'-메톡시 스티릴)-6-트리아진 또는 이들의 혼합물이 될 수 있다.
아세토페논계로는, 2,2'-디에톡시 아세토페논, 2,2'-디부톡시 아세토페논, 2-히드록시-2-메틸 프로피오페논, p-t-부틸 트리클로로 아세토페논, p-t-부틸 디클로로 아세토페논, 4-클로로 아세토페논, 2,2'-디클로로-4-페녹시 아세토페논, 2-메틸-1-(4-(메틸티오)페닐)-2-모폴리노 프로판-1-온, 2-벤질-2-디메틸 아미노-1-(4-모폴리노 페닐)-부탄-1-온, 또는 이들의 혼합물이 될 수 있다.
벤조페논계로는 벤조페논, 벤조일 안식향산, 벤조일 안식향산 메틸, 4-페닐 벤조페논, 히드록시 벤조페논, 아크릴화 벤조페논, 4,4'-비스(디메틸 아미노)벤조페논, 4,4'-디클로로 벤조페논, 3,3'-디메틸-2-메톡시 벤조페논 또는 이들의 혼합물이 될 수 있다.
티오크산톤계로는 티오크산톤, 2-메틸 티오크산톤, 이소프로필 티오크산톤, 2,4-디에틸 티오크산톤, 2,4-디이소프로필 티오크산톤, 2-클로로 티오크산톤 또는 이들의 혼합물이 될 수 있다.
벤조인계로는 벤조인, 벤조인 메틸 에테르, 벤조인 에틸 에테르, 벤조인 이소프로필 에테르, 벤조인 이소부틸 에테르, 벤질 디메틸 케탈 또는 이들의 혼합물이 될 수 있다.
인계로는 비스벤조일페닐 포스핀옥시드, 벤조일디페닐 포스핀옥시드 또는 이들의 혼합물이 될 수 있다.
옥심계로는 2-(o-벤조일옥심)-1-[4-(페닐티오)페닐]-1,2-옥탄디온 및 1-(o-아세틸옥심)-1-[9-에틸-6-(2-메틸벤조일)-9H-카르바졸-3-일]에탄온, 또는 이들의 혼합물이 될 수 있다.
개시제는 고형분 기준 조성물 중 약 0.1-20중량%, 예를 들면 약 0.5-10중량%, 예를 들면 약 0.5-7중량%로 포함될 수 있다. 상기 범위에서, 노광시 광중합이 충분히 일어날 수 있고, 광중합 후 남은 미반응 개시제로 인하여 투과율이 저하되는 것을 막을 수 있다.
광경화 조성물은 상기 광경화성 모노머, 헤테로고리 포함 모노머 또는 그의 올리고머, 및 개시제를 혼합하여 형성할 수 있다. 바람직하게는, 용제를 포함하지 않는 무용제 타입으로 형성할 수 있다.
광경화 조성물은 광경화율이 약 90% 이상이 될 수 있다. 상기 범위에서, 경화 후 경화 수축 응력이 낮아 쉬프트가 발생되지 않은 층을 구현하여 소자의 밀봉 용도로 사용할 수 있다. 예를 들면 약 91-97%가 될 수 있다.
광경화율은 통상의 방법으로 측정할 수 있다. 예를 들면, 광경화 조성물을 유리 기판 위에 도포하고 약 100J/cm2 및 약 10초 동안 경화시킨다. 경화된 필름을 분취하고 FT-IR을 사용하여 광경화율을 측정한다.
광경화 조성물은 25℃에서 점도가 약 10-50cps가 될 수 있다. 상기 범위에서, 장벽층 재료로서 증착이 가능할 수 있다.
광경화 조성물은 경화 후 무기 장벽층에 대한 부착력이 약 20-100kgf/(mm)2가 될 수 있다. 부착력이 20 kgf/(mm)2 미만이면, 외부에서 침투되는 수분 또는 산소가 무기 장벽층과 유기 장벽층 사이를 쉽게 침투하여 신뢰성 불량이 발생할 수 있다. 100kgf/(mm)2 초과이면, 유기 장벽층의 균일성에 문제가 발생할 수 있다. 무기 장벽층은 하기에서 상술되는 무기 장벽층(예:실리콘 산화물, 실리콘 질화물, 알루미늄 산화물 등)을 포함할 수 있지만, 이에 제한되지 않는다. 예를 들면, 부착력은 약 20-55kgf/(mm)2가 될 수 있다.
광경화 조성물은 경화 후 가시광선 투과율이 약 95% 이상이 될 수 있다. 상기 범위에서, 디스플레이장치를 캡슐화하였을 때 디스플레이장치의 시인성을 높일 수 있다. 예를 들면, 투과율은 파장 550nm에서 측정된 값이다. 예를 들면, 약 95-100%가 될 수 있다.
한편, 장치용 부재 특히 디스플레이 장치용 부재는 주변 환경의 기체 또는 액체, 예를 들면 대기 중의 산소 및/또는 수분 및/또는 수증기와 전자제품으로 가공시 사용된 화학물질의 투과에 의해 분해되거나 불량이 될 수 있다. 이를 위해 디스플레이장치는 봉지 또는 캡슐화될 필요가 있다.
이러한 장치용 부재는 유기발광소자(OLED), 조명 장치, 플렉시블(flexible) 유기발광소자 디스플레이, 금속 센서 패드, 마이크로디스크 레이저, 전기변색 장치, 광변색장치, 마이크로전자기계 시스템, 태양전지, 집적 회로, 전하 결합 장치, 발광 중합체, 발광 다이오드 등이 될 수 있지만, 이에 제한되지 않는다.
본 발명의 광경화 조성물은 상술한 무기 장벽층에 대한 부착력, 광경화율, 투과율 모두를 만족함으로써, 상기 장치 특히 플렉시블(flexible) 디스플레이 장치의 봉지 또는 캡슐화 용도로 사용되는 유기 장벽층을 형성할 수 있다.
본 발명의 다른 관점인 유기 장벽층은 상기 조성물로 형성될 수 있다.
유기 장벽층은 상술한 광경화 조성물을 광경화시켜 형성할 수 있다. 제한되지 않지만, 광경화 조성물을 약 0.1㎛-20㎛ 두께로 코팅하고, 약 10-500mW/cm2에서 약 1-50초동안 조사하여 경화시킬 수 있다.
유기 장벽층은 상술한 경화 후 광경화 조성물의 물성을 갖는다. 따라서, 하기에서 상술될 무기 장벽층과 함께 장벽 스택을 형성하여 장치의 봉지 용도로 사용될 수 있다.
본 발명의 또 다른 관점인 장벽 스택은 상기 유기 장벽층과 무기 장벽층을 포함할 수 있다.
무기 장벽층은 상기 유기 장벽층과 상이한 무기층으로 형성하여, 유기 장벽층의 효과를 보완할 수 있다.
무기 장벽층은 광투과성이 우수하고, 수분 및/또는 산소 차단성이 우수한 무기층이라면 특별히 제한되지 않는다. 예를 들면, 금속, 금속간 화합물 또는 합금, 금속 또는 혼합 금속의 산화물, 금속 또는 혼합 금속의 불화물, 금속 또는 혼합 금속의 질화물, 금속 탄화물, 금속 또는 혼합 금속의 산소질화물, 금속 또는 혼합 금속의 붕소화물, 금속 또는 혼합 금속의 산소붕소화물, 금속 또는 혼합 금속의 실리사이드 또는 이들의 혼합물이 될 수 있다. 상기 금속은 실리콘(Si), 알루미늄(Al), 셀레늄(Se), 아연(Zn), 안티몬(Sb), 인듐(In), 게르마늄(Ge), 주석(Sn), 비스무트(Bi), 전이금속, 란탄족 금속, 등이 될 수 있지만, 이에 제한되지 않는다. 구체적으로, 무기 장벽층은 실리콘 산화물, 실리콘 질화물, 실리콘 산소 질화물, ZnSe, ZnO, Sb2O3, Al2O3, In2O3, SnO2가 될 수 있다. 상기 무기 장벽층에 대해 "금속"은 "비금속"으로 대체될 수 있다.
무기 장벽층과 유기 장벽층은 진공 공정, 예를 들면 스퍼터링, 화학기상증착, 플라즈마화학기상증착, 증발, 승화, 전자사이클로트론공명-플라즈마증기증착 및 이의 조합으로 증착될 수 있다.
유기 장벽층은 상술한 물성을 확보한다. 그 결과, 유기 장벽층은 무기 장벽층과 교대로 증착시, 무기 장벽층의 평활화 특성을 확보할 수 있다. 또한, 유기 장벽층은 무기 장벽층의 결함이 또 다른 무기 장벽층으로 전파되는 것을 막을 수 있다.
장벽 스택은 상기 유기 장벽층과 무기 장벽층을 포함하되, 장벽 스택의 수는 제한되지 않는다. 장벽 스택의 조합의 산소 및/또는 수분 및/또는 수증기 및/또는 화학 물질에 대한 투과 저항성의 수준에 따라 변경할 수 있다.
장벽 스택에서 유기 장벽층과 무기 장벽층은 교대로 증착될 수 있다. 이는 상술한 조성물이 갖는 물성으로 인해 생성된 유기 장벽층에 대한 효과 때문이다. 이로 인해, 유기 장벽층과 무기 장벽층은 장치에 대한 봉지 효과를 보완 또는 강화할 수 있다.
예를 들면, 유기 장벽층과 무기 장벽층은 각각 2층 이상 교대로 약 10회 이하(예:약 2-10회), 바람직하게는 약 7회 이하(예:약 2-7회)로 증착될 수 있다.
장벽 스택 중 유기 장벽층 하나의 두께는 약 0.1㎛-20㎛ 예를 들면 약 1㎛-10㎛, 무기 장벽층 하나의 두께는 약 5nm-500nm 예를 들면 약 5nm-200nm가 될 수 있다.
장벽 스택은 박막 봉지제로서, 두께는 약 5㎛ 이하 예를 들면 1.5㎛-5㎛가 될 수 있다.
본 발명의 또 다른 관점인 봉지화된 장치는 장치용 부재, 및 상기 장벽층 또는 장벽 스택을 포함할 수 있다. 상기 장치는 상기 장치용 부재를 포함하는 것이라면 제한되지 않고, 예를 들면, 디스플레이 장치를 포함할 수 있다.
도 1과 도 2는 본 발명 일 구체예의 봉지화된 장치의 단면도이다.
도 1을 참조하면, 봉지화된 장치(100)는 기판(10); 기판(10) 위에 형성된 장치용 부재(예:유기발광소자)(20); 및 장치용 부재(20) 위에 형성되고, 무기 장벽층(31)과 유기 장벽층(32)을 포함하는 장벽 스택(30)을 포함할 수 있다.
도 2를 참조하면, 봉지화된 장치(200)는 기판(10); 기판(10) 위에 형성된 장치용 부재(예:유기발광소자)(20); 및 장치용 부재(20) 위에 형성되고, 무기 장벽층(31)과 유기 장벽층(32)을 포함하는 장벽 스택(30)을 포함할 수 있다.
도 1은 장치용 부재(20)와 무기 장벽층(31)이 서로 접촉하는 구체예이고, 도 2는 장치용 부재(20)와 무기 장벽층(31) 간에 빈 공간(40)이 형성된 구체예이다.
장치용 부재, 유기 장벽층, 무기 장벽층, 장벽 스택에 대한 내용은 상기에서 상술한 바와 같다.
기판은 장치용 부재가 적층될 수 있는 기판이라면 특별히 제한되지 않는다. 예를 들면, 투명 유리, 플라스틱 시트, 실리콘 또는 금속 기판 등과 같은 물질로 이루어질 수 있다.
장치용 부재의 종류에 따라서는 기판이 포함되지 않을 수도 있다.
봉지화된 장치는 통상의 방법으로 제조될 수 있다. 기판 위에 장치용 부재를 형성하고 무기 장벽층을 형성한다. 광경화 조성물을 스핀 도포, 슬릿 도포 등의 방법을 사용하여 도포하고 광을 조사하여 유기 장벽층을 형성할 수 있다. 무기 장벽층과 유기 장벽층의 형성 과정은 반복될 수 있다.
무기 장벽층과 유기 장벽층의 형성 방법은 제한되지 않지만, 증착을 포함할 수 있다.
일 구체예에서, 상기 봉지화된 장치는 유기전계발광표시장치로서, 기판, 상기 기판 위에 형성된 유기전계발광부, 상기 유기전계발광부를 봉지하는 무기 장벽층, 및 상기 무기 장벽층 위에 적층되어 있는 유기 장벽층을 포함하고, 상기 유기 장벽층은 상기 무기 장벽층에 대한 접착력이 약 20-100 kgf/(mm)2이 될 수 있다.
본 발명의 또 다른 관점인 장치용 부재의 봉지 방법은 하기의 단계를 포함할 수 있다:
기판에 하나 이상의 장치용 부재를 적층하는 단계; 및
하나 이상의 무기 장벽층과 유기 장벽층을 포함하고, 상기 장치용 부재에 인접하는 하나 이상의 장벽 스택을 형성하는 단계.
기판, 장치용 부재, 무기 장벽층, 유기 장벽층, 장벽 스택에 대한 상세 내용은 상기에서 상술한 바와 같다.
기판에 장치용 부재를 적층한다. 이는 하기 무기 장벽층과 유기 장벽층 형성 방법과 동일한 방법으로 수행될 수 있지만, 이에 제한되지 않는다.
무기 장벽층과 유기 장벽층은 진공 공정, 예를 들면 스퍼터링, 화학기상증착, 플라즈마화학기상증착, 증발, 승화, 전자사이클로트론공명-플라즈마증기증착 및 이의 조합으로 형성될 수 있다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 통해 본 발명의 구성 및 작용을 더욱 상세히 설명하기로 한다. 다만, 이는 본 발명의 바람직한 예시로 제시된 것이며 어떠한 의미로도 이에 의해 본 발명이 제한되는 것으로 해석될 수는 없다.
제조예 1:헤테로고리 포함 모노머 제조
냉각관과 교반기를 구비한 1000ml 플라스크에 α-히드록시-γ-부티로락톤(TCI社) 50g과 2-이소시아네이토에틸 2-메타크릴레이트 79.79g을 0℃에서 교반하면서 디부틸틴 디라우레이트 100mg을 천천히 첨가하였다. 50℃까지 올린 후 4시간 교반하였다. 하기 화학식 2의 화합물 120g(HPLC 순도: 97%)을 얻을 수 있었다.
<화학식 2>
Figure PCTKR2013004627-appb-I000014
제조예 2 내지 5:헤테로고리 포함 모노머 제조
α-히드록시-γ-부티로락톤 대신에, 제조예 2에서 1-(2-히드록시에틸)-2-피롤리돈을 사용하고, 제조예 3에서 N-히드록시에틸 모르포린을 사용하고, 제조예 4에서 N-히드록시에틸 프탈이미드를 사용하고, 제조예 5에서 N-히드록시에틸 석신이미드를 사용한 것을 제외하고는 제조예 1과 동일한 방법을 실시하여, 하기 화학식 3 내지 6의 화합물을 제조하였다.
<화학식 3>
Figure PCTKR2013004627-appb-I000015
<화학식 4>
Figure PCTKR2013004627-appb-I000016
<화학식 5>
Figure PCTKR2013004627-appb-I000017
<화학식 6>
Figure PCTKR2013004627-appb-I000018
하기 실시예와 비교예에서 사용한 성분의 구체적인 사양은 다음과 같다.
(A)광경화성 모노머:(A1)헥실 아크릴레이트, (A2)데칸디올 디아크릴레이트, (A3)펜타에리트리톨 테트라아크릴레이트(이상, Aldrich사)
(B)헤테로고리 포함 모노머:(B1)화학식 2의 모노머, (B2)화학식 3의 모노머, (B3)화학식 4의 모노머, (B4)화학식 5의 모노머, (B5)화학식 6의 모노머
(C)개시제:Darocur TPO(BASF사)
실시예 1 내지 10과 비교예 1 내지 3
성분 (A), (B) 및 (C)를 하기 표 1에 기재된 함량(단위:중량부, 고형분 기준)으로 혼합하고, 125ml 갈색 폴리프로필렌병에 넣고, 쉐이커를 이용하여 3시간 동안 혼합하여 광경화 조성물을 제조하였다.
표 1
실시예 비교예
1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 1 2 3
A A1 20 20 20 20 20 20 20 20 20 20 20 20 20
A2 65 65 65 65 65 60 60 60 60 60 75 70 65
A3 - - - - - 5 5 5 5 5 - 5 10
B B1 10 - - - - 10 - - - - - - -
B2 - 10 - - - - 10 - - - - - -
B3 - - 10 - - - - 10 - - - - -
B4 - - - 10 - - - - 10 - - - -
B5 - - - - 10 - - - - 10 - - -
C 5 5 5 5 5 5 5 5 5 5 5 5 5
상기 실시예와 비교예에서 제조한 광경화 조성물에 대해 하기의 물성을 평가하고 그 결과를 하기 표 2에 나타내었다.
1.Die share strength(부착력) 1(kgf/(mm)2): 유리와 유리 사이의 부착력을 측정하기 위한 방법으로, Die shear strength를 측정하는 방법과 같은 방법으로 부착력을 측정하였다. 접착력 측정기인 dage series 4000PXY로 25℃에서 200kgf/mm의 힘으로 상부 유리를 측면에서 밀어 박리되는 힘을 측정하였다. 하부 유리의 크기는 2cm x 2cm x 1mm(가로 x 세로 x 두께)로 하였고, 상부 유리의 크기는 1.5cm x 1.5 cm x 1mm(가로 x 세로 x 두께)로 제작하였고, 점착층의 두께는 500㎛로 하였다.
2.Die share strength(부착력) 2(kgf/(mm)2): 실리콘 질화물과 실리콘 질화물 사이의 부착력을 측정하기 위한 방법으로, Die shear strength를 측정하는 방법과 같은 방법으로 부착력을 측정하였다. 접착력 측정기인 dage series 4000PXY로 25℃에서 200kgf/mm의 힘으로 상부를 측면에서 밀어 박리되는 힘을 측정하였다. 하부 유리의 크기는 2cm x 2cm x 1mm(가로 x 세로 x 두께)로 하였고, 상부 유리의 크기는 1.5cm x 1.5cm x 1mm(가로 x 세로 x 두께)로 제작하였고, 점착층의 두께는 500㎛로 하였다. 상부 유리와 하부 유리에는 모두 실리콘 질화물이 코팅되어 있다.
3.가시광선 투과율(%): 세정한 유리 기판 위에 조성물을 10㎛±2㎛ 내외로 코팅 후 UV경화(100mW/cm2 X 10초)시켜 필름(두께: 9㎛±2㎛)을 제조하였다. 제조된 필름에 대해 Lambda 950(Perkin elmer사) 기기로 파장 550nm 영역에서의 가시광선 투과율을 측정하였다.
4.광경화율(%): 광경화 조성물에 대하여 FT-IR(NICOLET 4700, Thermo사)을 사용하여 1635cm-1 부근(C=C), 1720cm-1 부근(C=O)에서의 흡수 피크의 강도를 측정하였다. 유리 기판 위에 광경화 조성물을 스프레이로 도포하고 100J/cm2으로 10초동안 조사하여 UV 경화시켜, 20cm x 20cm x 3㎛(가로 x 세로 x 두께)의 시편을 얻었다. 경화된 필름을 분취하고, FT-IR(NICOLET 4700, Thermo사)를 이용하여 1635cm-1 부근(C=C), 1720cm-1 부근(C=O)에서의 흡수 피크의 강도를 측정하였다. 광경화율은 하기 식 1에 따라 계산하였다.
<식 1>
광경화율(%)= ｜1-(A/B)｜ x 100
(상기에서, A는 경화된 필름에 대해 1720cm-1 부근에서의 흡수 피크의 강도에 대한 1635cm-1 부근에서의 흡수 피크의 강도의 비이고,
B는 광경화 조성물에 대해 1720cm-1 부근에서의 흡수 피크의 강도에 대한 1635cm-1 부근에서의 흡수 피크의 강도의 비이다).
표 2
실시예 비교예
1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 1 2 3
die share strength 1(kgf/(mm)2) 38.5 32.5 33.8 36.5 35.2 42.5 36.5 37.1 40.2 38.5 11 13.5 15
die share strength 2(kgf/(mm)2) 28.4 31.8 29.2 35.2 31.5 32.5 33.2 30.1 37.6 35.5 9.6 12.5 13.8
가시광선투과율(%) 96.1 95.4 95.8 95.1 96.5 95.8 95.3 95.1 95.8 95.9 96.3 95.3 95.1
광경화율(%) 96.2 94.4 93.1 92.5 91.5 96.5 95.4 94.2 94.3 92.5 83 87.5 89.2
상기 표 2에서 나타난 바와 같이, 본 발명의 광경화 조성물은 유리 또는 실리콘 질화물 등을 포함하는 무기 장벽층에 대한 부착력이 높고, 광경화율이 높아, 신뢰성이 좋은 장벽층을 구현할 수 있다.
반면에, 헤테로고리 포함 모노머를 포함하지 않는 비교예 1 내지 3의 광경화 조성물은 무기 장벽층에 대한 부착력이 낮고 광경화율도 낮아, 본 발명의 효과를 구현할 수 없었다.
본 발명은 상기 실시예 및 도면에 의해 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태가 될 수 있고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 것이다. 그러므로, 이상에서 기술한 실시예와 도면은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야 한다.

Claims (15)

  1. (A)광경화성 모노머 및 (B)하기 화학식 1의 모노머를 포함하는 광경화 조성물:
    <화학식 1>
    Figure PCTKR2013004627-appb-I000019
    (상기에서, R1은 수소, 치환 또는 비치환된 탄소수 1-20의 알킬기이고,
    R2는 치환 또는 비치환된 탄소수 1-30의 알킬렌기, 치환 또는 비치환된 탄소수 6-30의 아릴렌기, 또는 치환 또는 비치환된 탄소수 5-20의 시클로알킬렌기이고,
    R3은 단일결합, 치환 또는 비치환된 탄소수 1-30의 알킬렌기, 치환 또는 비치환된 탄소수 6-30의 아릴렌기, 또는 치환 또는 비치환된 탄소수 5-20의 시클로알킬렌기이고,
    X는 헤테로원자를 함유하는, 탄소수 2-20의 포화 또는 불포화된 지환족 탄화수소기 또는 탄소수 2-20의 불포화된 방향족 탄화수소기이다).
  2. 제1항에 있어서, 상기 X는 -O-,
    Figure PCTKR2013004627-appb-I000020
    , -NR-, -S-, -N=, -O+=, -S+=, -O+R-, -S+R-, -(C=O)-, -(C=S)-, -(C=O)O-, -O(C=O)O-, -NR(C=O)-,
    Figure PCTKR2013004627-appb-I000021
    , -NR(C=O)NR-,
    Figure PCTKR2013004627-appb-I000022
    , -NH-CH=CH-(C=O)-, -O-CH=N-(C=O)-, -NH-N=CH-(C=O)-, -(C=O)-NH-N=, -O-N=CH-(C=O)-, -S-CH=N-(C=O)- (상기에서 R은 수소, 또는 탄소수 1-10의 알킬기이고, -는 분자간 연결 부위이다) 중 하나 이상을 포함하는, 탄소수 2-10의 포화 또는 불포화된 지환족 탄화수소기 또는 탄소수 2-10의 불포화된 방향족 탄화수소기인 광경화 조성물.
  3. 제1항에 있어서, 상기 X는 락톤기, 모르폴린기, 피롤리돈기, 프탈이미드기 또는 숙신이미드기인 광경화 조성물.
  4. 제1항에 있어서, 상기 (B) 모노머는 하기 화학식 2 내지 6 중 어느 하나로 표시되는 광경화 조성물:
    <화학식 2>
    Figure PCTKR2013004627-appb-I000023
    <화학식 3>
    Figure PCTKR2013004627-appb-I000024
    <화학식 4>
    Figure PCTKR2013004627-appb-I000025
    <화학식 5>
    Figure PCTKR2013004627-appb-I000026
    <화학식 6>
    Figure PCTKR2013004627-appb-I000027
    .
  5. 제1항에 있어서, 상기 (A)모노머는 비닐기, 아크릴레이트기, 또는 메타아크릴레이트기를 약 1-30개 갖는 모노머를 포함하는 광경화 조성물.
  6. 제1항에 있어서, 상기 (A)모노머는 탄소수 1-20의 알킬기를 갖는 (메타)아크릴레이트, 탄소수 2-20의 디올의 디(메타)아크릴레이트, 탄소수 3-20의 트리올의 트리(메타)아크릴레이트, 탄소수 4-20의 테트라올의 테트라(메타)아크릴레이트 중 하나 이상을 포함하는 광경화 조성물.
  7. 제1항에 있어서, 상기 조성물은 (C)개시제를 더 포함하는 광경화 조성물.
  8. 제7항에 있어서, 상기 (C)개시제는 광중합 개시제를 포함하는 광경화 조성물.
  9. 제7항에 있어서, 상기 조성물은 고형분 기준
    상기 (A) 모노머 약 20-90중량%; 상기 (B) 모노머 약 1-60중량%; 및 상기 (C) 개시제 약 0.1-20중량%를 포함하는 광경화 조성물.
  10. 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항의 광경화 조성물의 경화물을 포함하는 장벽층.
  11. 장치용 부재, 및
    상기 장치용 부재 위에 형성되고, 무기 장벽층과 유기 장벽층을 포함하는 장벽 스택(barrier stack)을 포함하고,
    상기 유기 장벽층은 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항의 광경화 조성물의 경화물을 포함하는 봉지화된 장치.
  12. 제11항에 있어서, 상기 유기 장벽층은 상기 무기 장벽층에 대한 부착력이 약 20-100kgf/(mm)2인 봉지화된 장치.
  13. 제11항에 있어서, 상기 무기 장벽층은 금속, 금속 산화물, 금속 질화물, 금속 탄화물, 금속 산소질화물, 금속 산소붕소화물, 또는 이들의 혼합물을 포함하고, 상기 금속은 실리콘(Si), 알루미늄(Al), 셀레늄(Se), 아연(Zn), 안티몬(Sb), 인듐(In), 게르마늄(Ge), 주석(Sn), 비스무트(Bi), 전이금속, 란탄족 금속 중 하나 이상을 포함하는 봉지화된 장치.
  14. 제11항에 있어서, 상기 유기 장벽층 하나의 두께는 약 0.1㎛-20㎛, 상기 무기 장벽층 하나의 두께는 약 5nm-500nm인 봉지화된 장치.
  15. 제11항에 있어서, 상기 장치용 부재는 플렉시블(flexible) 유기발광소자, 유기발광소자, 조명 장치, 금속 센서 패드, 마이크로디스크 레이저, 전기변색 장치, 광변색장치, 마이크로전자기계 시스템, 태양전지, 집적 회로, 전하 결합 장치, 발광 중합체 또는 발광 다이오드를 포함하는 봉지화된 장치.
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