WO2014050324A1

WO2014050324A1 - 感光性樹脂組成物、これを用いたパターンの製造方法

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Description

感光性樹脂組成物、これを用いたパターンの製造方法

　本発明は、感光性樹脂組成物およびこれを用いたパターンの製造方法に関する。さらに、かかるパターン製造方法を含む、有機ＥＬ表示装置または液晶表示装置の製造方法、およびパターン製造方法により製造されたパターンに関する。さらに詳しくは、液晶表示装置、有機ＥＬ表示装置などの電子部品のレジストエッチングの形成に好適なポジ型感光性樹脂組成物およびそれを用いたパターンの製造方法に関する。

　有機ＥＬ表示装置や液晶表示装置などには、パターン形成されたＩＴＯ膜などの金属配線パターンが設けられている。このＩＴＯ膜などのパターン形成には、ＩＴＯ膜上で感光性樹脂組成物を塗布および溶剤除去、露光、現像し、形成されたパターンをマスクとしてＩＴＯ膜をエッチングし、加工を施す方法が広く知られている。

　また、近年は有機ＥＬ表示装置や液晶表示装置を高精細な表示特性とするため、ＩＴＯ加工の高解像性が求められている。ＩＴＯを高精細で微細加工するためには、エッチングの際にマスクとして機能する感光性樹脂組成物の高解像性が求められている。このため、高精細で微細なパターン形状が得られる感光性樹脂組成物が検討されている（例えば、特許文献１、特許文献２等）。

特開平９－３２５４７３号公報特開平１０－３２６０１５号公報

　しかしながら、近年の技術開発に伴い、感度、線幅安定性、解像性および矩形性について、さらに向上した感光性樹脂組成物が求められる。本願発明は、かかる要求を解決することを目的としたものであり、感度、線幅安定性、解像性および矩形性について、さらに向上した感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。

　かかる状況のもと、本願発明者が鋭意検討を行った結果、所定の重合体、脂環式エポキシ化合物、および所定の溶剤を含ませることで、感度、線幅安定性、解像性および矩形性が向上させることを見出し、本発明を完成するに至った。

　具体的には、下記手段＜１＞により、好ましくは、＜２＞～＜１３＞により、上記課題は解決された。
＜１＞（Ａ１）下記一般式（１）で表される構成単位（ａ１）を有する重合体を含む重合体成分、
（Ｂ）光酸発生剤、
（Ｃ）脂環式エポキシ化合物、および
（Ｄ１）分子内にアセテート構造を２つ以上含有する溶剤、
を含有する感光性樹脂組成物。

（一般式（１）中、Ｒ¹およびＲ²は、それぞれ独立に水素原子、アルキル基またはアリール基を表し、少なくともＲ¹およびＲ²のいずれか一方がアルキル基またはアリール基である；Ｒ³はアルキル基またはアリール基を表し、Ｒ¹またはＲ²と、Ｒ³とが連結して環状エーテルを形成してもよい；Ｒ⁴は水素原子またはメチル基を表す。）
＜２＞前記（Ｃ）脂環式エポキシ化合物が、下記一般式（Ｉ）で表される化合物である、＜１＞に記載の感光性樹脂組成物。

（一般式（１）中、ｎは１～４の整数を表す。Ｒ¹は炭素数１～１５の有機基を表す。）
＜３＞前記一般式（Ｉ）で表される化合物中のｎが１または２である、＜２＞に記載の感光性樹脂組成物。
＜４＞さらに、（Ａ２）酸分解性基で保護された保護カルボキシル基を有する構成単位（ａ４）を有する重合体成分を含む、＜１＞～＜３＞のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
＜５＞前記構成単位（ａ４）が、下記一般式（Ａ２’）で表される構成単位である、＜４＞に記載の感光性樹脂組成物。

（一般式（Ａ２’）中、Ｒ¹およびＲ²はそれぞれ独立に水素原子、アルキル基またはアリール基を表し、少なくともＲ¹およびＲ²のいずれか一方がアルキル基またはアリール基であり、Ｒ³はアルキル基またはアリール基を表し、Ｒ¹またはＲ²と、Ｒ³とが連結して環状エーテルを形成してもよく、Ｒ⁴は水素原子またはメチル基を表し、Ｘ⁰は単結合またはアリーレン基を表す。）
＜６＞前記（Ｃ）脂環式エポキシ化合物の含有量が、全固形分量に対して０．０５～５質量％である、＜１＞～＜５＞のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
＜７＞前記（Ｄ１）分子内にアセテート構造を２つ以上含有する溶剤と、（Ｄ１）分子内にアセテート構造を２つ以上含有する溶剤と異なる他の溶剤（Ｄ２）とを含む、＜１＞～＜６＞のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
＜８＞前記（Ｄ１）分子内にアセテート構造を２つ以上含有する溶剤の沸点が、１３０℃以上３００℃未満である、＜１＞～＜７＞のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
＜９＞前記（Ｄ１）分子内にアセテート構造を２つ以上含有する溶剤の含有量が、前記感光性樹脂組成物の１～１０質量％である、＜１＞～＜８＞のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
＜１０＞（１）基板の少なくとも一方の面に、＜１＞～＜９＞のいずれかに記載の感光性樹脂組成物を塗布する工程、
（２）乾燥により有機溶剤を揮発させ、感光性樹脂組成物層を形成する工程、
（３）前記感光性樹脂組成物層を露光する工程、
（４）露光された前記感光性樹脂組成物層を現像する工程、を含むパターンの製造方法。
＜１１＞形成されたパターンをエッチング用レジストとして用いてエッチングを行う工程、および前記パターンをプラズマ処理または薬品処理により除去する工程、を含む、＜１０＞に記載のパターンの製造方法。
＜１２＞＜１＞～＜９＞のいずれかに記載の感光性樹脂組成物を硬化させてなる硬化膜。
＜１３＞＜１０＞または＜１１＞に記載のパターンの製造方法を含む、有機ＥＬ表示装置または液晶表示装置の製造方法。

　本発明により、感度が高く、線幅安定性、解像性および矩形性に優れた感光性樹脂組成物を提供可能になった。

有機ＥＬ表示装置の一例の構成概念図を示す。ボトムエミッション型の有機ＥＬ表示装置における基板の模式的断面図を示し、平坦化膜４を有している。液晶表示装置の一例の構成概念図を示す。液晶表示装置におけるアクティブマトリックス基板の模式的断面図を示し、層間絶縁膜である硬化膜１７を有している。

　以下において、本発明の内容について詳細に説明する。尚、本願明細書において「～」とはその前後に記載される数値を下限値および上限値として含む意味で使用される。また、本発明における有機ＥＬ表示装置とは、有機エレクトロルミネッセンス表示装置のことをいう。本発明における多分散度とは、Ｍｗ／Ｍｎの値をいう。

　なお、本明細書における基（原子団）の表記において、置換および無置換を記していない表記は、置換基を有さないものと共に置換基を有するものをも包含するものである。例えば「アルキル基」とは、置換基を有さないアルキル基（無置換アルキル基）のみならず、置換基を有するアルキル基（置換アルキル基）をも包含するものである。
　さらに、（メタ）アクリル酸とは、アクリル酸および／またはメタクリル酸を意味する。

　本発明の感光性樹脂組成物（以下、「本発明の組成物」ということがある。）は、
（Ａ１）下記一般式（１）で表される構成単位（ａ１）を有する重合体を含む重合体成分、
（Ｂ）光酸発生剤、
（Ｃ）脂環式エポキシ化合物、および
（Ｄ１）分子内にアセテート構造を２つ以上含有する溶剤、
を含有することを特徴とする。

（一般式（１）中、Ｒ¹およびＲ²は、それぞれ独立に水素原子、アルキル基またはアリール基を表し、少なくともＲ¹およびＲ²のいずれか一方がアルキル基またはアリール基である；Ｒ³はアルキル基またはアリール基を表し、Ｒ¹またはＲ²と、Ｒ³とが連結して環状エーテルを形成してもよい；Ｒ⁴は水素原子またはメチル基を表す。）
　本発明の感光性樹脂組成物は、化学増幅型ポジ型感光性樹脂組成物として好ましく用いられる。
　以下、本発明の組成物について詳細に説明する。

＜重合体成分＞
　本発明の感光性樹脂組成物は、重合体成分（Ａ）として、（Ａ１）下記一般式（１）で表される構成単位（ａ１）を有する重合体成分を含む。（Ａ１）重合体成分は、一般式（１）で表される構成単位（ａ１）以外の重合体を含んでいてもよい。また、重合体成分は、（Ａ２）酸分解性基で保護された保護カルボキシル基を有する構成単位（ａ４）を有することが好ましい。
　以下、これらの重合体成分について説明する。

＜＜重合体成分（Ａ１）＞＞
　本発明における（Ａ１）重合体成分は、一般式（１）で表される構成単位（ａ１）を有する重合体を含む重合体成分である。（Ａ１）成分が構成単位（ａ１）を有することにより解像力および矩形性に優れる感光性樹脂組成物とすることができる。

（一般式（１）中、Ｒ¹およびＲ²は、それぞれ独立に水素原子、アルキル基またはアリール基を表し、少なくともＲ¹およびＲ²のいずれか一方がアルキル基またはアリール基である；Ｒ³はアルキル基またはアリール基を表し、Ｒ¹またはＲ²と、Ｒ³とが連結して環状エーテルを形成してもよい；Ｒ⁴は水素原子またはメチル基を表す。）

　Ｒ¹およびＲ²は、それぞれ独立に水素原子、アルキル基またはアリール基を表し、少なくともＲ¹およびＲ²のいずれか一方がアルキル基またはアリール基である。
　アルキル基としては、炭素数１～１０のアルキル基が好ましく、炭素数１～８のアルキル基がより好ましく、炭素数１～６のアルキル基がさらに好ましい。アルキル基は、置換基を有していてもよい。また、アルキル基は、直鎖、分岐、環状のいずれであってもよいが、直鎖のアルキル基が好ましい。アルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ｔ－ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、シクロヘキシル基等が例示される。
　アリール基としては、炭素数６～２０のアリール基が好ましく、炭素数６～１４のアリール基がより好ましく、炭素数６～１０のアリール基がさらに好ましい。アリール基は、置換基を有していてもよい。アリール基としては、例えば、フェニル基、ナフチル基、アントラセニル基等が例示される。

　アルキル基およびアリール基が有していてもよい置換基としては、炭素数１～１０のアルキル基、炭素数１～１０のアルコキシ基、炭素数１～１０のチオアルコキシ基、ヒドロキシル基、シアノ基、ハロゲン原子（フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子）などが挙げられる。これら置換基は、さらに置換基を有していてもよい。

　これらの中でも、Ｒ¹およびＲ²は、水素原子、アルキル基であることが好ましく、水素原子、メチル基であることがより好ましく、Ｒ¹およびＲ²の一方がメチル基であり、他方が水素原子であることが特に好ましい。

　Ｒ³はアルキル基またはアリール基を表す。Ｒ³が表すアルキル基、およびアリール基はＲ¹およびＲ²におけるアルキル基、およびアリール基と同義である。Ｒ³は、メチル基、エチル基、プロピル基であることが好ましく、エチル基、プロピル基がより好ましい。

　Ｒ³は、Ｒ¹またはＲ²と連結して環状エーテルを形成してもよい。Ｒ¹またはＲ²と連結して形成される環状エーテルとしては、３～６員環の環状エーテルが好ましく、５～６員環の環状エーテルがより好ましい。

　以下、一般式（１）で表される構成単位（ａ１）の具体例としては下記構造が挙げられるが、本発明は下記構造に限定されるものではない。

　（Ａ１）重合体成分は、構成単位（ａ１）の他に、下記一般式（２）で表される構成単位（ａ２）を有する重合体を含むことが高感度の観点から好ましい。

（一般式（２）中、Ｒ⁴は水素原子またはメチル基である。）

　Ｒ⁴は水素原子が好ましい。
　ＯＨ基は、ｐ－、ｍ－、ｏ－のいずれでもよいが、ｐ位に結合していることが好ましい。

　一般式（２）で表される構成単位は、（Ａ１）重合体成分の構成単位の５．０～３０モル％が好ましく、更に好ましくは１０～２０モル％である。これより少ないと効果が得られないのと、多すぎると、高感度になりすぎて、露光プロセスマージンが狭くなるといった問題が生じる。

　（Ａ１）重合体を構成する構成単位中、一般式（１）で表される構成単位は、（Ａ１）重合体成分の構成単位の５～４０モル％が好ましく、１０～４０モル％がより好ましく、２０～３５モル％がより好ましい。

　（Ａ１）重合体の保護率は、好ましくは、１～６０％であり、より好ましくは５～５０％であり、さらに好ましくは１０～４０％である。このような範囲とすることにより、画像デイスクリと感度、解像性が良好になる。保護率とは、（Ａ１）重合体中の全構成単位を１００モル％として、保護された基のモル比率を言う。

　上記（Ａ１）重合体の重量平均分子量（Ｍｗ）は、２０００～１５０００の範囲であることが好ましく、より好ましくは５０００～１２０００であり、さらに好ましくは、７５００～１２０００である。２０００以上とすることにより、形成された画素がポストベークによる加熱後も矩形性を維持できるという効果が得られ、１５０００以下とすることにより感度、ＰＥＤ特性が向上するという効果が得られる。ここで、重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィーのポリスチレン換算値をもって定義される。

　上記（Ａ１）重合体の多分散度（重量平均分子量（Ｍｗ）／数平均分子量（Ｍｎ））は、１．０～４．０が好ましく、１．５～３．５がより好ましく、２．０～３．０がさらに好ましい。このような範囲とすることにより、矩形性が良化する。

＜＜重合体成分（Ａ２）＞＞
　本発明の感光性樹脂組成物は、（Ａ１）重合体成分の他に（Ａ２）重合体成分を含んでいてもよい。（Ａ２）酸分解性基で保護された保護カルボキシル基を有する構成単位（ａ４）を有する重合体成分が好ましい。ここで、酸分解性基とは酸の存在下で分解することが可能な官能基を意味する。

　本発明の組成物における重合体成分はアルカリ不溶性であることが好ましく、かつ、一般式（Ａ２’）で表される構成単位の酸分解性基が分解したときにアルカリ可溶性となる樹脂であることが好ましい。カルボキシル基が酸分解性基で保護されている保護カルボキシル基を有する構成単位は、酸により保護基が分解することによって、カルボキシル基が生成可能である。ここで、本発明において「アルカリ可溶性」とは、当該化合物（樹脂）の溶液を基板上に塗布し、９０℃で２分間加熱することによって形成される当該化合物（樹脂）の塗膜（厚さ３μｍ）の、２３℃における０．４％テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液に対する溶解速度が、０．０１μｍ／秒以上であることをいい、「アルカリ不溶性」とは、当該化合物（樹脂）の溶液を基板上に塗布し、９０℃で２分間加熱することによって形成される当該化合物（樹脂）の塗膜（厚さ３μｍ）の、２３℃における０．４％テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液に対する溶解速度が、０．０１μｍ／秒未満であることをいう。

　酸分解性基で保護された保護カルボキシル基を有する構成単位としては、特開２０１２－１５５２８８号公報の段落００２１～００５５に記載の酸分解性基で保護された保護カルボキシル基を有する構成単位、特開２０１２－１３３０９１号公報の段落００２０～００５２に記載の酸分解性基で保護された保護カルボキシル基を有する構成単位が例示されており、その内容は本明細書に取り込まれる。中でも、（Ａ２）重合体成分は、下記一般式（Ａ２’）で表される構造の酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位（ａ４）を有する重合体成分が好ましい。本発明における酸基とは、ｐＫａが７より小さいプロトン解離性基を意味する。酸基は、通常、酸基を形成しうるモノマーを用いて、酸基を含む構成単位として、重合体に組み込まれる。このような酸基を含む構成単位を重合体中に含めることにより、アルカリ性の現像液に対して溶けやすくなる傾向にある。（Ａ２）成分が構成単位（ａ４）を有することにより極めて高感度な感光性樹脂組成物とすることができる。

（一般式（Ａ２’）中、Ｒ¹およびＲ²はそれぞれ独立に水素原子、アルキル基またはアリール基を表し、少なくともＲ¹およびＲ²のいずれか一方がアルキル基またはアリール基であり、Ｒ³はアルキル基またはアリール基を表し、Ｒ¹またはＲ²と、Ｒ³とが連結して環状エーテルを形成してもよく、Ｒ⁴は水素原子またはメチル基を表し、Ｘ⁰は単結合またはアリーレン基を表す。）

　Ｒ¹およびＲ²がアルキル基の場合、炭素数は１～１０のアルキル基が好ましい。Ｒ¹およびＲ²がアリール基の場合、フェニル基が好ましい。Ｒ¹およびＲ²は、それぞれ、水素原子または炭素数１～４のアルキル基が好ましい。
　Ｒ³は、アルキル基またはアリール基を表し、炭素数１～１０のアルキル基が好ましく、１～６のアルキル基がより好ましい。
　Ｘ⁰は単結合またはアリーレン基を表し、単結合が好ましい。

　一般式（Ａ２’）で表される構成単位の好ましい具体例としては、下記の構成単位が例示できる。なお、Ｒは水素原子またはメチル基を表す。

　一般式（Ａ２’）で表される構成単位は、（Ａ２）重合体成分の構成単位の１０～８０モル％が好ましく、２０～８０モル％がより好ましく、３０～７０モル％がより好ましい。

　（Ａ２）重合体成分を構成する構成単位中、上記他の構成単位の含有率は、６０モル％以下が好ましく、５０モル％以下がより好ましく、４０モル％以下がさらに好ましい。下限値としては、０モル％でもよいが、例えば、１モル％以上とすることができ、さらには、５モル％以上とすることができる。上記の数値の範囲内であると、感光性樹脂組成物から得られる硬化膜の諸特性が良好となる。

　（Ａ２）重合体成分の保護率は、好ましくは、１～６０％であり、より好ましくは５～５０％であり、さらに好ましくは１０～４０％である。このような範囲とすることにより、感度が向上し、また露光部と未露光部の溶解性の差（デイスクリミネーション）が良好になる。保護率とは、（Ａ２）重合体成分中の全構成単位を１００モル％として、保護された基のモル比率を言う。

　上記（Ａ２）重合体成分の重量平均分子量（Ｍｗ）は、２０００～１５０００の範囲であることが好ましく、より好ましくは５０００～１２０００であり、さらに好ましくは、７５００～１２０００である。２０００以上とすることにより、形成された画素がポストベークによる加熱後も矩形性を維持できるという効果が得られ、１５０００以下とすることにより感度、ＰＥＤ特性が向上するという効果が得られる。ここで、重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィーのポリスチレン換算値をもって定義される。

　上記（Ａ２）重合体成分の多分散度（重量平均分子量（Ｍｗ）／数平均分子量（Ｍｎ））は、１．０～４．０が好ましく、１．５～３．５がより好ましく、２．０～３．０がさらに好ましい。このような範囲とすることにより、矩形性に優れる。

－（Ａ１）成分と（Ａ２）成分の配合比－
　本発明の感光性樹脂組成物は、重合体成分として、（Ａ１）と（Ａ２）を含むことが好ましい。これらの質量比は、１：６～６：１が好ましく、２：５～８：１がさらに好ましい。このような範囲とすることにより、本発明の効果がより効果的に発揮される傾向にある。

＜＜重合体成分＞＞
　本発明において、（Ａ）成分は、上記構成単位（ａ１）、（ａ２）および（ａ４）に加えて、これら以外の他の構成単位（ａ３）を有していてもよい。これらの構成単位は、上記重合体成分（Ａ１）および（Ａ２）のいずれか一方が含んでいても良く、両方が含んでいてもよい。また、上記重合体成分（Ａ１）または（Ａ２）とは別に、実質的に（ａ１）、（ａ２）および（ａ４）を含まずに他の構成単位（ａ３）を有する重合体成分（Ａ３）を有していてもよい。上記重合体成分（Ａ１）または（Ａ２）とは別に、実質的に（ａ１）、（ａ２）および（ａ４）を含まずに他の構成単位（ａ３）を有する重合体成分を含む場合、該重合体成分の配合量は、全重合体成分中、６０質量％以下であることが好ましく、４０質量％以下であることがより好ましく、２０質量％以下であることがさらに好ましい。

　その他の構成単位（ａ３）となる構成単位（モノマー）としては、特に制限はなく、例えば、スチレン類、（メタ）アクリル酸アルキルエステル、（メタ）アクリル酸環状アルキルエステル、（メタ）アクリル酸アリールエステル、不飽和ジカルボン酸ジエステル、ビシクロ不飽和化合物類、マレイミド化合物類、不飽和芳香族化合物、共役ジエン系化合物、不飽和モノカルボン酸、不飽和ジカルボン酸、不飽和ジカルボン酸無水物、その他の不飽和化合物を挙げることができる。また、後述するとおり、酸基を有する構成単位を有していてもよい。その他の構成単位（ａ３）となるモノマーは、単独または２種類以上を組み合わせて使用することができる。

　本発明の組成物は、重合体成分を、全固形分に対し、組成物中６０重量％以上の割合で含むことが好ましく、８０重量％以上の割合で含むことがより好ましい。

　本発明の組成物における全重合体成分のうち、ｐＫａが９以上の構成単位の割合が１０～８０モル％であることが好ましく、２０～７０モル％であることが好ましい。また、本発明の組成物における全重合体成分のうち、ｐＫａが５以下の構成単位の割合が０～２０モル％であることが好ましく、５～１０モル％であることが好ましい。弱酸の構成単位を多めに含むことにより、比較的強いアルカリ現像液（例えば、２．３８％のＴＭＡＨ水溶液　ｐＨ１３を超える）を用いて現像しても、ポリマーが現像液に膨潤しにくく、脱膜現像されることなく適切な速度で溶解現像させることができる。この結果、形成されるパターンがより良好になる。また、強酸の構成単位を２０％以下の少量含むことで、より高感度にパターン形成が可能となる。

＜（Ｂ）光酸発生剤＞
　本発明の感光性樹脂組成物は、（Ｂ）光酸発生剤を含有する。本発明で使用される光酸発生剤（「（Ｂ）成分」ともいう。）としては、波長３００ｎｍ以上、好ましくは波長３００～４５０ｎｍの活性光線に感応し、酸を発生する化合物が好ましいが、その化学構造に制限されるものではない。また、波長３００ｎｍ以上の活性光線に直接感応しない光酸発生剤についても、増感剤と併用することによって波長３００ｎｍ以上の活性光線に感応し、酸を発生する化合物であれば、増感剤と組み合わせて好ましく用いることができる。本発明で使用される光酸発生剤としては、ｐＫａが４以下の酸を発生する光酸発生剤が好ましく、ｐＫａが３以下の酸を発生する光酸発生剤がより好ましく、２以下の酸を発生する光酸発生剤が最も好ましい。

　光酸発生剤の例として、トリクロロメチル－ｓ－トリアジン類、スルホニウム塩やヨードニウム塩、第四級アンモニウム塩類、ジアゾメタン化合物、イミドスルホネート化合物、および、オキシムスルホネート化合物などを挙げることができる。これらの中でも、絶縁性の観点から、オキシムスルホネート化合物を用いることが好ましい。これら光酸発生剤は、１種単独または２種類以上を組み合わせて使用することができる。トリクロロメチル－ｓ－トリアジン類、ジアリールヨードニウム塩類、トリアリールスルホニウム塩類、第四級アンモニウム塩類、およびジアゾメタン誘導体の具体例としては、特開２０１１－２２１４９４号公報の段落番号００８３～００８８に記載の化合物が例示できる。

　オキシムスルホネート化合物、すなわち、オキシムスルホネート構造を有する化合物としては、下記一般式（Ｂ１）で表されるオキシムスルホネート構造を含有する化合物が好ましく例示できる。

一般式（Ｂ１）

（一般式（Ｂ１）中、Ｒ²¹は、アルキル基またはアリール基を表す。波線は他の基との結合を表す。）

　いずれの基も置換されてもよく、Ｒ²¹におけるアルキル基は直鎖状でも分岐状でも環状でもよい。許容される置換基は以下に説明する。
　Ｒ²¹のアルキル基としては、炭素数１～１０の、直鎖状または分岐状アルキル基が好ましい。Ｒ²¹のアルキル基は、炭素数６～１１のアリール基、炭素数１～１０のアルコキシ基、または、シクロアルキル基（７，７－ジメチル－２－オキソノルボルニル基などの有橋式脂環基を含む、好ましくはビシクロアルキル基等）で置換されてもよい。
　Ｒ²¹のアリール基としては、炭素数６～１１のアリール基が好ましく、フェニル基またはナフチル基がより好ましい。Ｒ²¹のアリール基は、低級アルキル基、アルコキシ基あるいはハロゲン原子で置換されてもよい。

　上記一般式（Ｂ１）で表されるオキシムスルホネート構造を含有する上記化合物は、下記一般式（Ｂ２）で表されるオキシムスルホネート化合物であることも好ましい。

（式（Ｂ２）中、Ｒ⁴²は、アルキル基またはアリール基を表し、Ｘは、アルキル基、アルコキシ基、または、ハロゲン原子を表し、ｍ４は、０～３の整数を表し、ｍ４が２または３であるとき、複数のＸは同一でも異なっていてもよい。）

　Ｘとしてのアルキル基は、炭素数１～４の直鎖状または分岐状アルキル基が好ましい。
Ｘとしてのアルコキシ基は、炭素数１～４の直鎖状または分岐状アルコキシ基が好ましい。
　Ｘとしてのハロゲン原子は、塩素原子またはフッ素原子が好ましい。　ｍ４は、０または１が好ましい。上記一般式（Ｂ２）中、ｍ４が１であり、Ｘがメチル基であり、Ｘの置換位置がオルト位であり、Ｒ⁴²が炭素数１～１０の直鎖状アルキル基、７，７－ジメチル－２－オキソノルボルニルメチル基、またはｐ－トルイル基である化合物が特に好ましい。

　上記一般式（Ｂ１）で表されるオキシムスルホネート構造を含有する化合物は、下記一般式（Ｂ３）で表されるオキシムスルホネート化合物であることも好ましい。

（式（Ｂ３）中、Ｒ⁴³は式（Ｂ２）におけるＲ⁴²と同義であり、Ｘ¹は、ハロゲン原子、水酸基、炭素数１～４のアルキル基、炭素数１～４のアルコキシ基、シアノ基またはニトロ基を表し、ｎ４は０～５の整数を表す。）

　上記一般式（Ｂ３）におけるＲ⁴³としては、メチル基、エチル基、ｎ－プロピル基、ｎ－ブチル基、ｎ－オクチル基、トリフルオロメチル基、ペンタフルオロエチル基、パーフルオロ－ｎ－プロピル基、パーフルオロ－ｎ－ブチル基、ｐ－トリル基、４－クロロフェニル基またはペンタフルオロフェニル基が好ましく、ｎ－オクチル基が特に好ましい。
　Ｘ¹としては、炭素数１～５のアルコキシ基が好ましく、メトキシ基がより好ましい。
　ｎ４としては、０～２が好ましく、０～１が特に好ましい。

　上記一般式（Ｂ３）で表される化合物の具体例としては、α－（メチルスルホニルオキシイミノ）ベンジルシアニド、α－（エチルスルホニルオキシイミノ）ベンジルシアニド、α－（ｎ－プロピルスルホニルオキシイミノ）ベンジルシアニド、α－（ｎ－ブチルスルホニルオキシイミノ）ベンジルシアニド、α－（４－トルエンスルホニルオキシイミノ）ベンジルシアニド、α－〔（メチルスルホニルオキシイミノ）－４－メトキシフェニル〕アセトニトリル、α－〔（エチルスルホニルオキシイミノ）－４－メトキシフェニル〕アセトニトリル、α－〔（ｎ－プロピルスルホニルオキシイミノ）－４－メトキシフェニル〕アセトニトリル、α－〔（ｎ－ブチルスルホニルオキシイミノ）－４－メトキシフェニル〕アセトニトリル、α－〔（４－トルエンスルホニルオキシイミノ）－４－メトキシフェニル〕アセトニトリルを挙げることができる。

　好ましいオキシムスルホネート化合物の具体例としては、下記化合物（ｉ）～（ｖｉｉｉ）等が挙げられ、１種単独で使用、または、２種類以上を併用することができる。化合物（ｉ）～（ｖｉｉｉ）は、市販品として、入手することができる。また、他の種類の（Ｂ）光酸発生剤と組み合わせて使用することもできる。

　上記一般式（Ｂ１）で表されるオキシムスルホネート構造を含有する化合物としては、下記一般式（ＯＳ－１）で表される化合物であることも好ましい。

　上記一般式（ＯＳ－１）中、Ｒ¹⁰¹は、水素原子、アルキル基、アルケニル基、アルコキシ基、アルコキシカルボニル基、アシル基、カルバモイル基、スルファモイル基、スルホ基、シアノ基、アリール基、または、ヘテロアリール基を表す。Ｒ¹⁰²は、アルキル基、または、アリール基を表す。
　Ｘ¹⁰¹は－Ｏ－、－Ｓ－、－ＮＨ－、－ＮＲ¹⁰⁵－、－ＣＨ₂－、－ＣＲ¹⁰⁶Ｈ－、または、－ＣＲ¹⁰⁵Ｒ¹⁰⁷－を表し、Ｒ¹⁰⁵～Ｒ¹⁰⁷はアルキル基、または、アリール基を表す。
　Ｒ¹²¹～Ｒ¹²⁴は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アルケニル基、アルコキシ基、アミノ基、アルコキシカルボニル基、アルキルカルボニル基、アリールカルボニル基、アミド基、スルホ基、シアノ基、または、アリール基を表す。Ｒ¹²¹～Ｒ¹²⁴のうち２つは、それぞれ互いに結合して環を形成してもよい。
　Ｒ¹²¹～Ｒ¹²⁴としては、水素原子、ハロゲン原子、および、アルキル基が好ましく、また、Ｒ¹²¹～Ｒ¹²⁴のうち少なくとも２つが互いに結合してアリール基を形成する態様もまた、好ましく挙げられる。中でも、Ｒ¹²¹～Ｒ¹²⁴がいずれも水素原子である態様が感度の観点から好ましい。
　既述の官能基は、いずれも、さらに置換基を有していてもよい。

　上記一般式（ＯＳ－１）で表される化合物は、下記一般式（ＯＳ－２）で表される化合物であることがより好ましい。

　上記一般式（ＯＳ－２）中、Ｒ¹⁰¹、Ｒ¹⁰²、Ｒ¹²¹～Ｒ¹²⁴は、それぞれ式（ＯＳ－１）におけるのと同義であり、好ましい例もまた同様である。
　これらの中でも、上記一般式（ＯＳ－１）および上記一般式（ＯＳ－２）におけるＲ¹⁰¹がシアノ基、または、アリール基である態様がより好ましく、上記一般式（ＯＳ－２）で表され、Ｒ¹⁰¹がシアノ基、フェニル基またはナフチル基である態様が最も好ましい。

　また、上記オキシムスルホネート化合物においてオキシムやベンゾチアゾール環の立体構造（Ｅ，Ｚ等）のついてはそれぞれ、どちらか一方であっても、混合物であってもよい。

　本発明に好適に用いうる上記一般式（ＯＳ－１）で表される化合物の具体例としては、特開２０１１－２２１４９４号公報の段落番号０１２８～０１３２に記載の化合物（例示化合物ｂ－１～ｂ－３４）が挙げられるが、本発明はこれに限定されない。

　本発明では、上記一般式（Ｂ１）で表されるオキシムスルホネート構造を含有する化合物としては、下記一般式（ＯＳ－３）、下記一般式（ＯＳ－４）または下記一般式（ＯＳ－５）で表されるオキシムスルホネート化合物であることが好ましい。

　（一般式（ＯＳ－３）～一般式（ＯＳ－５）中、Ｒ²²、Ｒ²⁵およびＲ²⁸はそれぞれ独立にアルキル基、アリール基またはヘテロアリール基を表し、Ｒ²³、Ｒ²⁶およびＲ²⁹はそれぞれ独立に水素原子、アルキル基、アリール基またはハロゲン原子を表し、Ｒ²⁴、Ｒ²⁷およびＲ³⁰はそれぞれ独立にハロゲン原子、アルキル基、アルキルオキシ基、スルホン酸基、アミノスルホニル基またはアルコキシスルホニル基を表し、Ｘ¹～Ｘ³はそれぞれ独立に酸素原子または硫黄原子を表し、ｎ¹～ｎ³はそれぞれ独立に１または２を表し、ｍ¹～ｍ³はそれぞれ独立に０～６の整数を表す。）

　上記一般式（ＯＳ－３）～（ＯＳ－５）中、Ｒ²²、Ｒ²⁵およびＲ²⁸におけるアルキル基、アリール基またはヘテロアリール基は、置換基を有していてもよい。
　上記式（ＯＳ－３）～（ＯＳ－５）中、Ｒ²²、Ｒ²⁵およびＲ²⁸におけるアルキル基としては、置換基を有していてもよい総炭素数１～３０のアルキル基であることが好ましい。

　また、上記一般式（ＯＳ－３）～（ＯＳ－５）中、Ｒ²²、Ｒ²⁵およびＲ²⁸におけるアリール基としては、置換基を有してもよい総炭素数６～３０のアリール基が好ましい。

　また、上記一般式（ＯＳ－３）～（ＯＳ－５）中、Ｒ¹におけるヘテロアリール基としては、置換基を有してもよい総炭素数４～３０のヘテロアリール基が好ましい。

　上記一般式（ＯＳ－３）～（ＯＳ－５）中、Ｒ²²、Ｒ²⁵およびＲ²⁸におけるヘテロアリール基は、少なくとも１つの環が複素芳香環であればよく、例えば、複素芳香環とベンゼン環とが縮環していてもよい。

上記一般式（ＯＳ－３）～（ＯＳ－５）中、Ｒ²³、Ｒ²⁶およびＲ²⁹は、水素原子、アルキル基またはアリール基であることが好ましく、水素原子またはアルキル基であることがより好ましい。
　上記一般式（ＯＳ－３）～（ＯＳ－５）中、化合物中に２以上存在するＲ²³、Ｒ²⁶およびＲ²⁹のうち、１つまたは２つがアルキル基、アリール基またはハロゲン原子であることが好ましく、１つがアルキル基、アリール基またはハロゲン原子であることがより好ましく、１つがアルキル基であり、かつ残りが水素原子であることが特に好ましい。

　Ｒ²³、Ｒ²⁶およびＲ²⁹におけるアルキル基としては、置換基を有してもよい総炭素数１～１２のアルキル基であることが好ましく、置換基を有してもよい総炭素数１～６のアルキル基であることがより好ましい。

　Ｒ²³、Ｒ²⁶およびＲ²⁹におけるアリール基としては、置換基を有してもよい総炭素数６～３０のアリール基であることが好ましい。

　上記一般式（ＯＳ－３）～（ＯＳ－５）中、Ｘ¹～Ｘ³はそれぞれ独立にＯまたはＳを表し、Ｏであることが好ましい。
上記一般式（ＯＳ－３）～（ＯＳ－５）において、Ｘ¹～Ｘ³を環員として含む環は、５員環または６員環である。
　上記一般式（ＯＳ－３）～（ＯＳ－５）中、ｎ¹～ｎ³はそれぞれ独立に１または２を表し、Ｘ¹～Ｘ³がＯである場合、ｎ¹～ｎ³はそれぞれ独立に１であることが好ましく、また、Ｘ¹～Ｘ³がＳである場合、ｎ¹～ｎ³はそれぞれ独立に２であることが好ましい。

　上記一般式（ＯＳ－３）～（ＯＳ－５）中、Ｒ²⁴、Ｒ²⁷およびＲ³⁰はそれぞれ独立にハロゲン原子、アルキル基、アルキルオキシ基、スルホン酸基、アミノスルホニル基またはアルコキシスルホニル基を表す。その中でも、Ｒ²⁴、Ｒ²⁷およびＲ³⁰はそれぞれ独立にアルキル基またはアルキルオキシ基であることが好ましい。
　Ｒ²⁴、Ｒ²⁷およびＲ³⁰におけるアルキル基、アルキルオキシ基、スルホン酸基、アミノスルホニル基およびアルコキシスルホニル基は、置換基を有していてもよい。
　上記一般式（ＯＳ－３）～（ＯＳ－５）中、Ｒ²⁴、Ｒ²⁷およびＲ³⁰におけるアルキル基としては、置換基を有していてもよい総炭素数１～３０のアルキル基であることが好ましい。

　上記一般式（ＯＳ－３）～（ＯＳ－５）中、Ｒ²⁴、Ｒ²⁷およびＲ³⁰におけるアルキルオキシ基としては、置換基を有してもよい総炭素数１～３０のアルキルオキシ基であることが好ましい。

　また、上記一般式（ＯＳ－３）～（ＯＳ－５）中、ｍ¹～ｍ³はそれぞれ独立に０～６の整数を表し、０～２の整数であることが好ましく、０または１であることがより好ましく、０であることが特に好ましい。
　また、上記（ＯＳ－３）～（ＯＳ－５）のそれぞれの置換基について、特開２０１１－２２１４９４号公報の段落番号００９２～０１０９に記載の（ＯＳ－３）～（ＯＳ－５）の置換基の好ましい範囲も同様に好ましい。

　また、上記一般式（Ｂ１）で表されるオキシムスルホネート構造を含有する化合物は、下記一般式（ＯＳ－６）～（ＯＳ－１１）のいずれかで表されるオキシムスルホネート化合物であることが特に好ましい。

（式（ＯＳ－６）～（ＯＳ－１１）中、Ｒ³⁰¹～Ｒ³⁰⁶はアルキル基、アリール基またはヘテロアリール基を表し、Ｒ³⁰⁷は、水素原子または臭素原子を表し、Ｒ³⁰⁸～Ｒ³¹⁰、Ｒ³¹³、Ｒ³¹⁶およびＲ³¹⁸はそれぞれ独立に水素原子、炭素数１～８のアルキル基、ハロゲン原子、クロロメチル基、ブロモメチル基、ブロモエチル基、メトキシメチル基、フェニル基またはクロロフェニル基を表し、Ｒ³¹¹およびＲ³¹⁴はそれぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、メチル基またはメトキシ基を表し、Ｒ³¹²、Ｒ³¹⁵、Ｒ³¹⁷およびＲ³¹⁹はそれぞれ独立には水素原子またはメチル基を表す。）

　上記一般式（ＯＳ－６）～（ＯＳ－１１）における好ましい範囲は、特開２０１１－２２１４９４号公報の段落番号０１１０～０１１２に記載される（ＯＳ－６）～（ＯＳ－１１）の好ましい範囲と同様である。

　上記一般式（ＯＳ－３）～上記一般式（ＯＳ－５）で表されるオキシムスルホネート化合物の具体例としては、特開２０１１－２２１４９４号公報の段落番号０１１４～０１２０に記載の化合物が挙げられるが、本発明は、これらに限定されるものではない。

　本発明の感光性樹脂組成物において、（Ｂ）光酸発生剤は、感光性樹脂組成物中の全樹脂成分（好ましくは固形分、より好ましくは共重合体の合計）１００質量部に対して、０．１～１０質量部使用することが好ましく、０．５～１０質量部使用することがより好ましい。２種以上を併用することもできる。

＜（Ｃ）脂環式エポキシ化合物＞
　本発明の感光性樹脂組成物は、架橋剤として脂環式エポキシ化合物を含有する。脂環式エポキシ化合物は、酸発生剤による酸を素早くトラップするため、かかる化合物を配合することにより、感度、線幅安定性、解像性および矩形性に優れた感光性樹脂組成物となると考えられる。
　本発明で用いる脂環式エポキシ化合物が有する脂環式エポキシ基としては、特に限定されず、例えば環状脂肪族炭化水素に直接付加した脂環式エポキシ基などが例示され、環状脂肪族炭化水素としては、３～１０員環が好ましく、５～６員環がより好ましい。中でも、好ましくは下記で表される脂環式エポキシ基である。

　脂環式エポキシ化合物は、下記式（Ｉ）で表されることが好ましい。

（式（Ｉ）中、ｎは１～４の整数を表す。Ｒ¹は炭素数１～１５の有機基を表す。）

　Ｒ¹は炭素数１～１５の有機基を表し、分岐していても不飽和結合を有していてもよく、脂肪族環または芳香環の環状構造を有してもよい。また、これらの基は、酸素、硫黄、窒素、リン、ホウ素、ハロゲン原子を有していてもよい。また、置換基を有していてもよく、置換基同士が互いに結合を形成していても良い。また、Ｒ¹はｎ価の連結基である。

　Ｒ¹の有機基の炭素数は、１～８が好ましく、１～６がより好ましい。有機基は、炭化水素基または、炭化水素基と、シリル基、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－および－ＮＲ－（Ｒは、水素原子または炭素数１～７のアルキル基を表す。）の少なくとも１つの組み合わせからなる基が好ましく、炭化水素基、または、炭化水素基と、－Ｏ－および／または－ＣＯ－の組み合わせからなる基がより好ましい。炭化水素基は、直鎖または分岐の基が好ましく、直鎖の基がより好ましい。炭化水素基の炭素数は、１～４が好ましい。１つの有機基に２以上の炭化水素基が含まれていてもよい。

　脂環式エポキシ化合物におけるエポキシ基が開環すると、酸発生剤によって酸が発生したときに、開環したエポキシ基がポリマーが有する官能基等と結合し、脂環式エポキシ化合物の自由度が失われることがある。このため、エポキシ基の数は少ない方が好ましい。ｎは１～４の整数を表し、１～３の整数が好ましく、１または２がより好ましい。

　脂環式エポキシ化合物の好ましい態様としては、下記式（ＩＩ）で表される化合物が例示される。

（式（ＩＩ）中、Ｒ²は炭素数１～１５の有機基を表す。）
　Ｒ²は炭素数１～１５の有機基を表し、分岐していても不飽和結合を有していてもよく、脂肪族環または芳香環の環状構造を有してもよい。また、これらの基は、酸素、硫黄、窒素、リン、ホウ素、ハロゲン原子を有していてもよい。また、置換基を有していてもよく、置換基同士が互いに結合を形成していても良い。また、Ｒ²は２価の連結基である。

　Ｒ²の有機基の炭素数は、１～８が好ましく、１～６がより好ましい。有機基は、炭化水素基または、炭化水素基と、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－および－ＮＲ－（Ｒは、水素原子または炭素数１～７のアルキル基を表す。）の少なくとも１つの組み合わせからなる基が好ましく、炭化水素基、または、炭化水素基と、－Ｏ－および／または－ＣＯ－の組み合わせからなる基がより好ましい。炭化水素基は、直鎖または分岐の基が好ましく、直鎖の基がより好ましい。炭化水素基の炭素数は、１～４が好ましい。１つの有機基に２以上の炭化水素基が含まれていてもよい。炭化水素基はアルキレン基が好ましい。

　脂環式エポキシ化合物の好ましい態様としては、下記式（ＩＩＩ）で表される化合物も例示される。

（式（ＩＩＩ）中、Ｒ³は炭素数１～１５の有機基を表す。）
　Ｒ³は炭素数１～１５の有機基を表し、分岐していても不飽和結合を有していてもよく、脂肪族環または芳香環の環状構造を有してもよい。また、これらの基は、酸素、硫黄、窒素、リン、ホウ素、ハロゲン原子を有していてもよい。また、置換基を有していてもよく、置換基同士が互いに結合を形成していても良い。また、Ｒ³は２価の連結基である。

　Ｒ³の有機基の炭素数は、１～８が好ましく、１～６がより好ましい。有機基は、炭化水素基または、炭化水素基と、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－および－ＮＲ－（Ｒは、水素原子または炭素数１～７のアルキル基を表す。）の少なくとも１つの組み合わせからなる基が好ましく、炭化水素基、または、炭化水素基と、－Ｏ－および／または－ＣＯ－の組み合わせからなる基がより好ましい。炭化水素基は、直鎖または分岐の基が好ましく、直鎖の基がより好ましい。炭化水素基の炭素数は、１～４が好ましい。１つの有機基に２以上の炭化水素基が含まれていてもよい。炭化水素基はアルキレン基が好ましい。

　上記式（Ｉ）～（ＩＩＩ）の具体例としては、以下のような化合物が挙げられるが、本発明では特にこれに限定されるものではない。

　本発明で用いる脂環式エポキシ化合物は、その製法は問わないが、例えば、丸善ＫＫ出版、第四版実験化学講座２０有機合成ＩＩ、２１３～、平成４年、Ｅｄ．ｂｙ　Ａｌｆｒｅｄ　Ｈａｓｆｎｅｒ，　Ｔｈｅ　ｃｈｅｍｉｓｔｒｙ　ｏｆ　ｈｅｔｅｒｏｃｙｃｌｉｃ　ｃｏｍｐｏｕｎｄｓ－Ｓｍａｌｌ　Ｒｉｎｇ　Ｈｅｔｅｒｏｃｙｃｌｅｓ　ｐａｒｔ３　ｏｘｉｒａｎｅｓ，　Ｊｏｈｎ＆Ｗｉｌｅｙ　ａｎｄ　Ｓｏｎｓ，　Ａｎ　Ｉｎｔｅｒｓｃｉｅｎｃｅ　Ｐｕｂｌｉｃａｔｉｏｎ，　Ｎｅｗ　Ｙｏｒｋ，　１９８５、吉村、接着、２９巻１２号、３２、１９８５、吉村、接着、３０巻５号、４２、１９８６、吉村、接着、３０巻７号、４２、１９８６、特開平１－１００３７８号、特許第２９０６２４５号、特許第２９２６２６２号の各公報等の文献を参考にして合成できる。

　本発明で用いる脂環式エポキシ化合物の分子量は、１０００未満であり、５００未満であることが好ましい。このような範囲とすることにより、本発明の効果がより効果的に発揮される傾向にある。下限値については、特に定めるものではないが、通常、１００以上である。

　本発明の感光性樹脂組成物中における脂環式エポキシ化合物の添加量は、感光性樹脂組成物の全固形分１００質量部に対し、０．０５～５質量部であることが好ましく、０．１～３質量部であることがより好ましく、０．１～１．５質量部であることがさらに好ましい。脂環式エポキシ化合物は複数を併用することもでき、その場合は脂環式エポキシ化合物を全て合算して含有量を計算する。

＜（Ｄ）溶剤＞
　本発明の感光性樹脂組成物は、（Ｄ）溶剤として、（Ｄ１）分子内にアセテート構造を２つ以上含有する溶剤を含有する。メカニズムは定かではないが、このような溶媒を配合することにより、適度な塗膜の可塑剤になり、また、クエンチャーと脂環エポキシ化合物よる酸の適度な捕捉を促進することにより、感度、線幅安定性、解像性および矩形性が向上させることが可能になると推定される。本発明の感光性樹脂組成物は、本発明の必須成分と、さらに後述の任意の成分を（Ｄ１）溶剤に溶解した溶液として調製されることが好ましい。

　（Ｄ１）分子内にアセテート構造を２つ以上含有する溶剤としては、分子内にアセテート構造を２つ以上含有していれば特に限定されないが、分子内のアセテート構造の数は２～４つが好ましく、２つがさらに好ましい。
　また、（Ｄ１）分子内にアセテート構造を２つ以上含有する溶剤は、沸点が１３０℃以上３００℃未満の溶剤が好ましく、１８０℃以上２７０℃未満の溶剤が好ましく、２００℃以上２７０℃未満のものがより好ましい。なお、沸点は、特に断りがない限り１気圧における沸点である。また、溶剤を２種類以上含む溶媒混合の場合、沸点は、全溶媒に対する各溶媒の沸点をそれぞれの重量割合にて加重平均したものとする。

　（Ｄ１）溶剤としては、例えば、１，２－エチレンジオールジアセタート、１，２－プロパンジオールジアセタート、１，３－プロパンジオールジアセタート、１，２－ブタンジオールジアセテート、１，３－ブタンジオールジアセテート、１，４－ブタンジオールジアセテート、１，６－ヘキサンジオールジアセタート、トリアセチン、などが例示される。（Ｄ１）溶剤は、１種単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。

　本発明の感光性樹脂組成物における（Ｄ１）溶剤の含有量は、感光性樹脂組成物１００質量部当たり、１～１０質量％であることが好ましく、１～５質量％であることがさらに好ましい。

　また、（Ｄ１）溶剤に、さらに必要に応じて、（Ｄ２）他の溶剤を添加し、混合溶剤とすることもできる。前記混合溶剤の場合は、全溶媒に対する各溶媒の沸点をそれぞれの重量割合にて加重平均したものが１３０℃以上３００℃未満となるように、（Ｄ２）他の溶剤を選択することができる。（Ｄ２）他の溶剤は、１種単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。

　（Ｄ２）他の溶剤としては、沸点１３０℃以上１６０℃未満の溶剤、沸点１６０℃以上の溶剤であることが好ましく、具体的には、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（沸点１４６℃）、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート(沸点１５８℃)などの分子内にアセテート構造を１つ含有する溶剤；プロピレングリコールメチル－ｎ－ブチルエーテル（沸点１５５℃）、プロピレングリコールメチル－ｎ－プロピルエーテル（沸点１３１℃）が例示できる。
　沸点１６０℃以上の溶剤としては、３－エトキシプロピオン酸エチル（沸点１７０℃）、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル（沸点１７６℃）、プロピレングリコールモノメチルエーテルプロピオネート（沸点１６０℃）、ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート（沸点２１３℃）、３－メトキシブチルエーテルアセテート（沸点１７１℃）、ジエチレングリコールジエチエルエーテル（沸点１８９℃）、ジエチレングリコールジメチルエーテル（沸点１６２℃）、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート（沸点２２０℃）、ジプロピレングリコールジメチルエーテル（沸点１７５℃）が例示できる。

　上記他の溶剤以外にも、公知の溶剤を用いることができ、エチレングリコールモノアルキルエーテル類、エチレングリコールジアルキルエーテル類、エチレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類、プロピレングリコールモノアルキルエーテル類、プロピレングリコールジアルキルエーテル類、プロピレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類、ジエチレングリコールジアルキルエーテル類、ジエチレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類、ジプロピレングリコールモノアルキルエーテル類、ジプロピレングリコールジアルキルエーテル類、ジプロピレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類、エステル類、ケトン類、アミド類、ラクトン類等が例示できる。また、本発明の感光性樹脂組成物に使用される（Ｄ２）溶剤の具体例としては特開２０１１－２２１４９４号公報の段落番号０１７４～０１７８に記載の溶剤も挙げられ、これらの内容は本願明細書に組み込まれる。

　また、さらに必要に応じて、ベンジルエチルエーテル、ジヘキシルエーテル、エチレングリコールモノフェニルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、イソホロン、カプロン酸、カプリル酸、１－オクタノール、１－ノナール、ベンジルアルコール、アニソール、酢酸ベンジル、安息香酸エチル、シュウ酸ジエチル、マレイン酸ジエチル、炭酸エチレン、炭酸プロピレン等の溶剤を添加することもできる。これら溶剤は、１種単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。本発明に用いることができる溶剤は、１種単独、または、２種を併用することが好ましく、２種を併用することがより好ましく、プロピレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類またはジアルキルエーテル類、ジアセテート類とジエチレングリコールジアルキルエーテル類、あるいは、エステル類とブチレングリコールアルキルエーテルアセテート類とを併用することがさらに好ましい。

　本発明の感光性樹脂組成物における（Ｄ２）溶剤の含有量は、感光性樹脂組成物１００質量部当たり、７０～９５質量％であることが好ましく、８０～９０質量％であることがさらに好ましい。

＜その他の成分＞
　本発明の感光性樹脂組成物には、上記成分に加えて、必要に応じて、（Ｅ）アルコキシシラン化合物、（Ｆ）架橋剤、（Ｇ）増感剤、（Ｈ）塩基性化合物、（Ｉ）界面活性剤、（Ｊ）酸化防止剤、を好ましく加えることができる。さらに本発明の感光性樹脂組成物には、酸増殖剤、現像促進剤、可塑剤、熱ラジカル発生剤、熱酸発生剤、紫外線吸収剤、増粘剤、および、有機または無機の沈殿防止剤などの公知の添加剤を加えることができる。

（Ｅ）アルコキシシラン化合物
　本発明の感光性樹脂組成物は、（Ｅ）アルコキシシラン化合物（「（Ｅ）成分」ともいう）を含有することを特徴とする。アルコキシシラン化合物を用いると、本発明の感光性樹脂組成物により形成された膜と基板との密着性を向上できたり、本発明の感光性樹脂組成物により形成された膜の性質を調整することができる。アルコキシシラン化合物としては、ジアルコキシシラン化合物またはトリアルコキシシラン化合物が好ましく、トリアルコキシシラン化合物がより好ましい。アルコキシシラン化合物が有するアルコキシ基の炭素数は１～５が好ましい。
　本発明の感光性樹脂組成物に用いることができる（Ｅ）アルコキシシラン化合物は、基材となる無機物、例えば、シリコン、酸化シリコン、窒化シリコン等のシリコン化合物、金、銅、モリブデン、チタン、アルミニウム等の金属と絶縁膜との密着性を向上させる化合物であることが好ましい。具体的には、公知のシランカップリング剤等も有効である。
　シランカップリング剤としては、例えば、γ－アミノプロピルトリメトキシシラン、γ－アミノプロピルトリエトキシシラン、γ－グリシドキシプロピルトリアルコキシシラン、γ－グリシドキシプロピルアルキルジアルコキシシラン、γ－メタクリロキシプロピルトリアルコキシシラン、γ－メタクリロキシプロピルアルキルジアルコキシシラン、γ－クロロプロピルトリアルコキシシラン、γ－メルカプトプロピルトリアルコキシシラン、β－（３，４－エポキシシクロヘキシル）エチルトリアルコキシシラン、ビニルトリアルコキシシランが挙げられる。これらのうち、γ－グリシドキシプロピルトリアルコキシシランやγ－メタクリロキシプロピルトリアルコキシシランがより好ましく、γ－グリシドキシプロピルトリアルコキシシランがさらに好ましく、３－グリシドキシプロピルトリメトキシシランがよりさらに好ましい。これらは１種単独または２種以上を組み合わせて使用することができる。

　また、下記の化合物も好ましく採用できる。

　上記において、Ｐｈはフェニル基である。

　本発明の感光性樹脂組成物における（Ｅ）アルコキシシラン化合物は、特にこれらに限定することなく、公知のものを使用することができる。
　本発明の感光性樹脂組成物における（Ｅ）アルコキシシラン化合物の含有量は、感光性組成物中の全固形分１００質量部に対して、０．１～３０質量部が好ましく、０．５～２０質量部がより好ましい。

（Ｆ）架橋剤
　本発明の感光性樹脂組成物は、必要に応じ、架橋剤を含有することが好ましい。架橋剤を添加することにより、本発明の感光性樹脂組成物により得られる硬化膜をより強固な膜とすることができる。
　架橋剤としては、熱によって架橋反応が起こるものであれば制限は無い。（Ａ成分を除く）。例えば、以下に述べる分子内に２個以上のエポキシ基またはオキセタニル基を有する化合物、アルコキシメチル基含有架橋剤、または、少なくとも１個のエチレン性不飽和二重結合を有する化合物、ブロックイソシアネート化合物等を添加することができる。
　本発明の感光性樹脂組成物中における架橋剤の添加量は、感光性樹脂組成物の全固形分１００質量部に対し、０．０１～５０質量部であることが好ましく、０．１～３０質量部であることがより好ましく、０．５～２０質量部であることがさらに好ましい。この範囲で添加することにより、機械的強度および耐溶剤性に優れた硬化膜が得られる。架橋剤は複数を併用することもでき、その場合は架橋剤を全て合算して含有量を計算する。

＜分子内に２個以上のエポキシ基またはオキセタニル基を有する化合物＞
　分子内に２個以上のエポキシ基を有する化合物の具体例としては、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、脂肪族エポキシ樹脂等を挙げることができる。

　これらは市販品として入手できる。例えば、ＪＥＲ１５７Ｓ７０、ＪＥＲ１５７Ｓ６５（（株）三菱ケミカルホールディングス製）など、特開２０１１－２２１４９４号公報の段落番号０１８９に記載の市販品などが挙げられる。
　その他にも、ＡＤＥＫＡ　ＲＥＳＩＮ　ＥＰ－４０００Ｓ、同ＥＰ－４００３Ｓ、同ＥＰ－４０１０Ｓ、同ＥＰ－４０１１Ｓ（以上、（株）ＡＤＥＫＡ製）、ＮＣ－２０００、ＮＣ－３０００、ＮＣ－７３００、ＸＤ－１０００、ＥＰＰＮ－５０１、ＥＰＰＮ－５０２（以上、（株）ＡＤＥＫＡ製）、デナコールＥＸ－６１１、ＥＸ－６１２、ＥＸ－６１４、ＥＸ－６１４Ｂ、ＥＸ－６２２、ＥＸ－５１２、ＥＸ－５２１、ＥＸ－４１１、ＥＸ－４２１、ＥＸ－３１３、ＥＸ－３１４、ＥＸ－３２１、ＥＸ－２１１、ＥＸ－２１２、ＥＸ－８１０、ＥＸ－８１１、ＥＸ－８５０、ＥＸ－８５１、ＥＸ－８２１、ＥＸ－８３０、ＥＸ－８３２、ＥＸ－８４１、ＥＸ－９１１、ＥＸ－９４１、ＥＸ－９２０、ＥＸ－９３１、ＥＸ－２１２Ｌ、ＥＸ－２１４Ｌ、ＥＸ－２１６Ｌ、ＥＸ－３２１Ｌ、ＥＸ－８５０Ｌ、ＤＬＣ－２０１、ＤＬＣ－２０３、ＤＬＣ－２０４、ＤＬＣ－２０５、ＤＬＣ－２０６、ＤＬＣ－３０１、ＤＬＣ－４０２（以上ナガセケムテック製）、ＹＨ－３００、ＹＨ－３０１、ＹＨ－３０２、ＹＨ－３１５、ＹＨ－３２４、ＹＨ－３２５（以上新日鐵化学製）セロキサイド２０２１Ｐ、２０８１、３０００、ＥＨＰＥ３１５０、エポリードＧＴ４００、セルビナースＢ０１３４、Ｂ０１７７（（株）ダイセル）、などが挙げられる。
これらは１種単独または２種以上を組み合わせて使用することができる。

　これらの中でも、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂および脂肪族エポキシ、脂肪族エポキシ樹脂がより好ましく挙げられ、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂が特に好ましく挙げられる。

　分子内に２個以上のオキセタニル基を有する化合物の具体例としては、アロンオキセタンＯＸＴ－１２１、ＯＸＴ－２２１、ＯＸ－ＳＱ、ＰＮＯＸ（以上、東亞合成（株）製）を用いることができる。

　また、オキセタニル基を含む化合物は、単独でまたはエポキシ基を含む化合物と混合して使用することが好ましい。

　また、その他の架橋剤としては特開２０１２－８２２３号公報の段落番号０１０７～０１０８に記載のアルコキシメチル基含有架橋剤、および少なくとも１個のエチレン性不飽和二重結合を有する化合物なども好ましく用いることができ、これらの内容は本願明細書に組み込まれる。アルコキシメチル基含有架橋剤としては、アルコキシメチル化グリコールウリルが好ましい。

＜ブロックイソシアネート化合物＞
　本発明の感光性樹脂組成物では、架橋剤として、ブロックイソシアネート系化合物も好ましく採用できる。ブロックイソシアネート化合物は、ブロックイソシアネート基を有する化合物であれば特に制限はないが、硬化性の観点から、１分子内に２以上のブロックイソシアネート基を有する化合物であることが好ましい。
　なお、本発明におけるブロックイソシアネート基とは、熱によりイソシアネート基を生成することが可能な基であり、例えば、ブロック剤とイソシアネート基とを反応させイソシアネート基を保護した基が好ましく例示できる。また、前記ブロックイソシアネート基は、９０℃～２５０℃の熱によりイソシアネート基を生成することが可能な基であることが好ましい。
　また、ブロックイソシアネート化合物としては、その骨格は特に限定されるものではなく、１分子中にイソシアネート基を２個有するものであればどのようなものでもよく、脂肪族、脂環族または芳香族のポリイソシアネートであってよいが、例えば２，４－トリレンジイソシアネート、２，６－トリレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、１，６－ヘキサメチレンジイソシアネート、１，３－トリメチレンジイソシアネート、１，４－テトラメチレンジイソシアネート、２，２，４－トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、２，４，４－トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、１，９－ノナメチレンジイソシアネート、１，１０－デカメチレンジイソシアネート、１，４－シクロヘキサンジイソシアネート、２，２’－ジエチルエーテルジイソシアネート、ジフェニルメタン－４，４’－ジイソシアネート、ｏ－キシレンジイソシアネート、ｍ－キシレンジイソシアネート、ｐ－キシレンジイソシアネート、メチレンビス（シクロヘキシルイソシアネート）、シクロヘキサン－１，３－ジメチレンジイソシアネート、シクロヘキサン－１，４－ジメチレレンジイソシアネート、１，５－ナフタレンジイソシアネート、ｐ－フェニレンジイソシアネート、３，３’－メチレンジトリレン－４，４’－ジイソシアネート、４，４’－ジフェニルエーテルジイソシアネート、テトラクロロフェニレンジイソシアネート、ノルボルナンジイソシアネート、水素化１，３－キシリレンジイソシアネート、水素化１，４－キシリレンジイソシアネート等のイソシアネート化合物およびこれらの化合物から派生するプレポリマー型の骨格の化合物を好適に用いることができる。これらの中でも、トリレンジイソシアネート（ＴＤＩ）やジフェニルメタンジイソシアネート（ＭＤＩ）、ヘキサメチレンジイソシアネート（ＨＤＩ）、イソホロンジイソシアネート（ＩＰＤＩ）が特に好ましい。

　本発明の感光性樹脂組成物におけるブロックイソシアネート化合物の母構造としては、ビウレット型、イソシアヌレート型、アダクト型、２官能プレポリマー型等を挙げることができる。
　前記ブロックイソシアネート化合物のブロック構造を形成するブロック剤としては、オキシム化合物、ラクタム化合物、フェノール化合物、アルコール化合物、アミン化合物、活性メチレン化合物、ピラゾール化合物、メルカプタン化合物、イミダゾール系化合物、イミド系化合物等を挙げることができる。これらの中でも、オキシム化合物、ラクタム化合物、フェノール化合物、アルコール化合物、アミン化合物、活性メチレン化合物、ピラゾール化合物から選ばれるブロック剤が特に好ましい。

　前記オキシム化合物としては、オキシム、および、ケトオキシムが挙げられ、具体的には、アセトキシム、ホルムアルドキシム、シクロヘキサンオキシム、メチルエチルケトンオキシム、シクロヘキサノンオキシム、ベンゾフェノンオキシム、アセトキシム等が例示できる。
　前記ラクタム化合物としてはε－カプロラクタム、γ－ブチロラクタム等が例示できる。
　前記フェノール化合物としては、フェノール、ナフトール、クレゾール、キシレノール、ハロゲン置換フェノール等が例示できる。
　前記アルコール化合物としては、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、シクロヘキサノール、エチレングリコールモノアルキルエーテル、プロピレングリコールモノアルキルエーテル、乳酸アルキル等が例示できる。
　前記アミン化合物としては、１級アミンおよび２級アミンが上げられ、芳香族アミン、脂肪族アミン、脂環族アミンいずれでもよく、アニリン、ジフェニルアミン、エチレンイミン、ポリエチレンイミン等が例示できる。
　前記活性メチレン化合物としては、マロン酸ジエチル、マロン酸ジメチル、アセト酢酸エチル、アセト酢酸メチル等が例示できる。
　前記ピラゾール化合物としては、ピラゾール、メチルピラゾール、ジメチルピラゾール等が例示できる、
　前記メルカプタン化合物としては、アルキルメルカプタン、アリールメルカプタン等が例示できる。

　本発明の感光性樹脂組成物に使用できるブロックイソシアネート化合物は、市販品として入手可能であり、例えば、コロネートＡＰステーブルＭ、コロネート２５０３、２５１５、２５０７、２５１３、２５５５、ミリオネートＭＳ－５０（以上、日本ポリウレタン工業（株）製）、タケネートＢ－８３０、Ｂ－８１５Ｎ、Ｂ－８２０ＮＳＵ、Ｂ－８４２Ｎ、Ｂ－８４６Ｎ、Ｂ－８７０Ｎ、Ｂ－８７４Ｎ、Ｂ－８８２Ｎ（以上、三井化学（株）製）、デュラネート１７Ｂ－６０ＰＸ、１７Ｂ－６０Ｐ、ＴＰＡ－Ｂ８０Ｘ、ＴＰＡ－Ｂ８０Ｅ、ＭＦ－Ｂ６０Ｘ、ＭＦ－Ｂ６０Ｂ、ＭＦ－Ｋ６０Ｘ、ＭＦ－Ｋ６０Ｂ、Ｅ４０２－Ｂ８０Ｂ、ＳＢＮ－７０Ｄ、ＳＢＢ－７０Ｐ、Ｋ６０００（以上、旭化成ケミカルズ（株）製）、デスモジュールＢＬ１１００、ＢＬ１２６５　ＭＰＡ／Ｘ、ＢＬ３５７５／１、ＢＬ３２７２ＭＰＡ、ＢＬ３３７０ＭＰＡ、ＢＬ３４７５ＢＡ／ＳＮ、ＢＬ５３７５ＭＰＡ、ＶＰＬＳ２０７８／２、ＢＬ４２６５ＳＮ、ＰＬ３４０、ＰＬ３５０、スミジュールＢＬ３１７５（以上、住化バイエルウレタン（株）製）等を好ましく使用することができる。

（Ｇ）増感剤
　本発明の感光性樹脂組成物は、（Ｂ）光酸発生剤との組み合わせにおいて、その分解を促進させるために、増感剤を含有することが好ましい。増感剤は、活性光線または放射線を吸収して電子励起状態となる。電子励起状態となった増感剤は、光酸発生剤と接触して、電子移動、エネルギー移動、発熱などの作用が生じる。これにより光酸発生剤は化学変化を起こして分解し、酸を生成する。好ましい増感剤の例としては、以下の化合物類に属しており、かつ３５０ｎｍから４５０ｎｍの波長域のいずれかに吸収波長を有する化合物を挙げることができる。

　多核芳香族類（例えば、ピレン、ペリレン、トリフェニレン、アントラセン、９，１０－ジブトキシアントラセン、９，１０－ジエトキシアントラセン，３，７－ジメトキシアントラセン、９，１０－ジプロピルオキシアントラセン）、キサンテン類（例えば、フルオレッセイン、エオシン、エリスロシン、ローダミンＢ、ローズベンガル）、キサントン類（例えば、キサントン、チオキサントン、ジメチルチオキサントン、ジエチルチオキサントン）、シアニン類（例えばチアカルボシアニン、オキサカルボシアニン）、メロシアニン類（例えば、メロシアニン、カルボメロシアニン）、ローダシアニン類、オキソノール類、チアジン類（例えば、チオニン、メチレンブルー、トルイジンブルー）、アクリジン類（例えば、アクリジンオレンジ、クロロフラビン、アクリフラビン）、アクリドン類（例えば、アクリドン、１０－ブチル－２－クロロアクリドン、１０－ブチルアクリドン）、アントラキノン類（例えば、アントラキノン）、スクアリウム類（例えば、スクアリウム）、スチリル類、ベーススチリル類（例えば、２－［２－［４－（ジメチルアミノ）フェニル］エテニル］ベンゾオキサゾール）、クマリン類（例えば、７－ジエチルアミノ４－メチルクマリン、７－ヒドロキシ４－メチルクマリン、２，３，６，７－テトラヒドロ－９－メチル－１Ｈ，５Ｈ，１１Ｈ［１］ベンゾピラノ［６，７，８－ｉｊ］キノリジン－１１－ノン）。
　これら増感剤の中でも、多核芳香族類、アクリドン類、スチリル類、ベーススチリル類、クマリン類が好ましく、多核芳香族類がより好ましい。多核芳香族類の中でもアントラセン誘導体が最も好ましい。

　本発明の感光性樹脂組成物中における増感剤の添加量は、感光性樹脂組成物の光酸発生剤１００質量部に対し、０～１０００質量部であることが好ましく、１０～５００質量部であることがより好ましく、５０～２００質量部であることがさらに好ましい。
　２種以上を併用することもできる。

（Ｈ）塩基性化合物
　本発明の感光性樹脂組成物は、（Ｈ）塩基性化合物を含有してもよい。（Ｈ）塩基性化合物としては、化学増幅レジストで用いられるものの中から任意に選択して使用することができる。例えば、脂肪族アミン、芳香族アミン、複素環式アミン、第四級アンモニウムヒドロキシド、カルボン酸の第四級アンモニウム塩等が挙げられる。これらの具体例としては、特開２０１１－２２１４９４号公報の段落番号０２０４～０２０７に記載の化合物が挙げられ、これらの内容は本願明細書に組み込まれる。また、Ｎ－シクロヘキシル－Ｎ’－［２－（４－モルホリニル）エチル］チオ尿素などのチオ尿素類を用いてもよい。

　本発明に用いることができる塩基性化合物は、１種単独で使用しても、２種以上を併用してもよい。

　本発明の感光性樹脂組成物における（Ｈ）他の塩基性化合物の含有量は、他の塩基性化合物を含む場合、感光性樹脂組成物中の全固形分１００質量部に対して、０．００１～３質量部であることが好ましく、０．００５～１質量部であることがより好ましい。

（Ｉ）界面活性剤
　本発明の感光性樹脂組成物は、（Ｉ）界面活性剤を含有してもよい。（Ｉ）界面活性剤としては、アニオン系、カチオン系、ノニオン系、または、両性のいずれでも使用することができるが、好ましい界面活性剤はノニオン界面活性剤である。
　ノニオン系界面活性剤の例としては、ポリオキシエチレン高級アルキルエーテル類、ポリオキシエチレン高級アルキルフェニルエーテル類、ポリオキシエチレングリコールの高級脂肪酸ジエステル類、シリコーン系、フッ素系界面活性剤を挙げることができる。また、以下商品名で、ＫＰ（信越化学工業（株）製）、ポリフロー（共栄社化学（株）製）、エフトップ（ＪＥＭＣＯ社製）、メガファック（ＤＩＣ（株）製）、フロラード（住友スリーエム（株）製）、アサヒガード、サーフロン（旭硝子（株）製）、ＰｏｌｙＦｏｘ（ＯＭＮＯＶＡ社製）、ＳＨ－８４００（東レ・ダウコーニングシリコーン）等の各シリーズを挙げることができる。
　また、界面活性剤として、下記一般式（Ｉ－１）で表される構成単位Ａおよび構成単位Ｂを含み、テトラヒドロフラン（ＴＨＦ）を溶剤とした場合のゲルパーミエーションクロマトグラフィーで測定されるポリスチレン換算の重量平均分子量（Ｍｗ）が１，０００以上１０，０００以下である共重合体を好ましい例として挙げることができる。

　一般式（Ｉ－１）

（式（Ｉ－１）中、Ｒ⁴⁰¹およびＲ⁴⁰³はそれぞれ、水素原子またはメチル基を表し、Ｒ⁴⁰²は炭素数１以上４以下の直鎖アルキレン基を表し、Ｒ⁴⁰⁴は水素原子または炭素数１以上４以下のアルキル基を表し、Ｌは炭素数３以上６以下のアルキレン基を表し、ｐおよびｑは重合比を表す質量百分率であり、ｐは１０質量％以上８０質量％以下の数値を表し、ｑは２０質量％以上９０質量％以下の数値を表し、ｒは１以上１８以下の整数を表し、ｓは１以上１０以下の整数を表す。）

　上記Ｌは、下記一般式（Ｉ－２）で表される分岐アルキレン基であることが好ましい。一般式（Ｉ－２）におけるＲ⁴⁰⁵は、炭素数１以上４以下のアルキル基を表し、相溶性と被塗布面に対する濡れ性の点で、炭素数１以上３以下のアルキル基が好ましく、炭素数２または３のアルキル基がより好ましい。ｐとｑとの和（ｐ＋ｑ）は、ｐ＋ｑ＝１００、すなわち、１００質量％であることが好ましい。

　一般式（Ｉ－２）

　上記共重合体の重量平均分子量（Ｍｗ）は、１，５００以上５，０００以下がより好ましい。

　これらの界面活性剤は、１種単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。
　本発明の感光性樹脂組成物における（Ｉ）界面活性剤の添加量は、感光性樹脂組成物中の全固形分１００質量部に対して、１０質量部以下であることが好ましく、０．００１～１０質量部であることがより好ましく、０．０１～３質量部であることがさらに好ましい。

（Ｊ）酸化防止剤
　本発明の感光性樹脂組成物は、酸化防止剤を含有してもよい。酸化防止剤としては、公知の酸化防止剤を含有することができる。酸化防止剤を添加することにより、硬化膜の着色を防止できる、または、分解による膜厚減少を低減でき、また、耐熱透明性に優れるという利点がある。
　このような酸化防止剤としては、例えば、リン系酸化防止剤、アミド類、ヒドラジド類、ヒンダードアミン系酸化防止剤、イオウ系酸化防止剤、フェノール系酸化防止剤、アスコルビン酸類、硫酸亜鉛、糖類、亜硝酸塩、亜硫酸塩、チオ硫酸塩、ヒドロキシルアミン誘導体などを挙げることができる。これらの中では、硬化膜の着色、膜厚減少の観点から特にフェノール系酸化防止剤、アミド系酸化防止剤、ヒドラジド系酸化防止剤、イオウ系酸化防止剤が好ましい。これらは１種単独で用いてもよいし、２種以上を混合してもよい。
　フェノール系酸化防止剤の市販品としては、例えば、アデカスタブＡＯ－１５、アデカスタブＡＯ－１８、アデカスタブＡＯ－２０、アデカスタブＡＯ－２３、アデカスタブＡＯ－３０、アデカスタブＡＯ－３７、アデカスタブＡＯ－４０、アデカスタブＡＯ－５０、アデカスタブＡＯ－５１、アデカスタブＡＯ－６０、アデカスタブＡＯ－７０、アデカスタブＡＯ－８０、アデカスタブＡＯ－３３０、アデカスタブＡＯ－４１２Ｓ、アデカスタブＡＯ－５０３、アデカスタブＡ－６１１、アデカスタブＡ－６１２、アデカスタブＡ－６１３、アデカスタブＰＥＰ－４Ｃ、アデカスタブＰＥＰ－８、アデカスタブＰＥＰ－８Ｗ、アデカスタブＰＥＰ－２４Ｇ、アデカスタブＰＥＰ－３６、アデカスタブＰＥＰ－３６Ｚ、アデカスタブＨＰ－１０、アデカスタブ２１１２、アデカスタブ２６０、アデカスタブ５２２Ａ、アデカスタブ１１７８、アデカスタブ１５００、アデカスタブＣ、アデカスタブ１３５Ａ、アデカスタブ３０１０、アデカスタブＴＰＰ、アデカスタブＣＤＡ－１、アデカスタブＣＤＡ－６、アデカスタブＺＳ－２７、アデカスタブＺＳ－９０、アデカスタブＺＳ－９１（以上、（株）ＡＤＥＫＡ製）、イルガノックス２４５ＦＦ、イルガノックス１０１０ＦＦ、イルガノックス１０１０、イルガノックスＭＤ１０２４、イルガノックス１０３５ＦＦ、イルガノックス１０３５、イルガノックス１０９８、イルガノックス１３３０、イルガノックス１５２０Ｌ、イルガノックス３１１４、イルガノックス１７２６、イルガフォス１６８、イルガモッド２９５（ＢＡＳＦ（株）製）などが挙げられる。中でも、アデカスタブＡＯ－６０、アデカスタブＡＯ－８０、イルガノックス１７２６、イルガノックス１０３５、イルガノックス１０９８を好適に使用することができる。

　酸化防止剤の含有量は、感光性樹脂組成物の全固形分に対して、０．１～１０質量％であることが好ましく、０．２～５質量％であることがより好ましく、０．５～４質量％であることが特に好ましい。この範囲にすることで、形成された膜の十分な透明性が得られ、且つ、パターン形成時の感度も良好となる。
　また、酸化防止剤以外の添加剤として、“高分子添加剤の新展開（（株）日刊工業新聞社）”に記載の各種紫外線吸収剤や、金属不活性化剤等を本発明の感光性樹脂組成物に添加してもよい。

〔酸増殖剤〕
　本発明の感光性樹脂組成物は、感度向上を目的に、酸増殖剤を用いることができる。
　本発明に用いることができる酸増殖剤は、酸触媒反応によってさらに酸を発生して反応系内の酸濃度を上昇させることができる化合物であり、酸が存在しない状態では安定に存在する化合物である。このような化合物は、１回の反応で１つ以上の酸が増えるため、反応の進行に伴って加速的に反応が進むが、発生した酸自体が自己分解を誘起するため、ここで発生する酸の強度は、酸解離定数、ｐＫａとして３以下であるのが好ましく、特に２以下であるのが好ましい。
　酸増殖剤の具体例としては、特開平１０－１５０８号公報の段落番号０２０３～０２２３、特開平１０－２８２６４２号公報の段落番号００１６～００５５、および、特表平９－５１２４９８号公報第３９頁１２行目～第４７頁２行目に記載の化合物を挙げることができ、これらの内容は本願明細書に組み込まれる。
　本発明で用いることができる酸増殖剤としては、酸発生剤から発生した酸によって分解し、ジクロロ酢酸、トリクロロ酢酸、メタンスルホン酸、ベンゼンスルホン酸、トリフルオロメタンスルホン酸、フェニルホスホン酸などのｐＫａが３以下の酸を発生させる化合物を挙げることができる。
　具体的には

等を挙げることができる。
　酸増殖剤の感光性組成物への含有量は、光酸発生剤１００質量部に対して、１０～１，０００質量部とするのが、露光部と未露光部との溶解コントラストの観点から好ましく、２０～５００質量部とするのがさらに好ましい。

〔現像促進剤〕
　本発明の感光性樹脂組成物は、現像促進剤を含有することができる。
　現像促進剤としては、特開２０１２－０４２８３７号公報の段落番号０１７１～０１７２の記載を参酌でき、かかる内容は本願明細書に組み込まれる。

　現像促進剤は、１種を単独で用いてもよいし、２種以上を併用することも可能である。
　本発明の感光性樹脂組成物における現像促進剤の添加量は、感度と残膜率の観点から、感光性組成物の全固形分１００質量部に対し、０～３０質量部が好ましく、０．１～２０質量部がより好ましく、０．５～１０質量部であることが最も好ましい。
　また、その他の添加剤としては特開２０１２－８２２３号公報の段落番号０１２０～０１２１に記載の熱ラジカル発生剤、ＷＯ２０１１／１３６０７４Ａ１に記載の窒素含有化合物および熱酸発生剤も用いることができ、これらの内容は本願明細書に組み込まれる。

＜感光性樹脂組成物の調製方法＞
　各成分を所定の割合でかつ任意の方法で混合し、撹拌溶解して感光性樹脂組成物を調製する。例えば、成分を、それぞれ予め溶剤に溶解させた溶液とした後、これらを所定の割合で混合して樹脂組成物を調製することもできる。以上のように調製した組成物溶液は、孔径０．２μｍのフィルター等を用いてろ過した後に、使用に供することもできる。

［パターンの製造方法］
　次に、本発明のパターンの製造方法を説明する。
　本発明の硬化膜の製造方法は、以下の（１）～（５）の工程を含むことが好ましい。
　（１）本発明の感光性樹脂組成物を基板上に塗布する工程；
　（２）塗布された感光性樹脂組成物から溶剤を除去する工程；
　（３）溶剤が除去された感光性樹脂組成物を活性光線により露光する工程；
　（４）露光された感光性樹脂組成物を水性現像液により現像する工程；
　（５）形成されたレジストパターンをマスクとして上記基板をエッチングする工程。
　以下に各工程を順に説明する。

　（１）の塗布工程では、本発明の感光性樹脂組成物を基板上に塗布して溶剤を含む湿潤膜とすることが好ましい。感光性樹樹脂組成物を基板へ塗布する前にアルカリ洗浄やプラズマ洗浄といった基板の洗浄を行うことが好ましく、さらに基板洗浄後にヘキサメチルジシラザンで基板表面を処理することがより好ましい。この処理を行うことにより、感光性樹脂組成物の基板への密着性が向上する傾向にある。ヘキサメチルジシラザンで基板表面を処理する方法としては、特に限定されないが、例えば、ヘキサメチルジシラザン蒸気に中に基板を晒しておく方法等が挙げられる。
　上記の基板としては、無機基板、樹脂、樹脂複合材料などが挙げられ、例えばクロム膜、モリブデン膜、モリブデン合金膜、タンタル膜、タンタル合金膜、酸化錫をドープした酸化インジウム（ＩＴＯ）膜や酸化錫膜、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｆｅ、Ａｌなどのメタル基板；石英、ガラス、窒化珪素膜、シリコーン、窒化シリコーン、ポリシリコーン、酸化シリコーン、アモルファスシリコーン膜、ＳＯＧ、半導体素子製造用のシリコーンウェーハ、液晶素子製造用のガラス角基板などのシリコン基板；紙、ポリエステルフイルム、ポリカーボネートフィルム、ポリイミドフィルム、有機ＥＬ表示装置に用いられるその他のポリマー基板などのポリマー基板；セラミック材料、Ｔｉ基板、Ａｌ基板などを用いることができる。その中でも本発明では、ＩＴＯ基板、モリブデン基板、シリコン基板、Ｃｕ基板、または、Ａｌ基板であるであることが好ましく、ＩＴＯ基板、モリブデン基板またはシリコン基板であることがより好ましく、ＩＴＯ基板であることがさらに好ましい。
　基板の形状は、板状でもよいし、ロール状でもよい。
　基板への塗布方法は特に限定されず、例えば、スリットコート法、スプレー法、ロールコート法、回転塗布法、流延塗布法、スリットアンドスピン法等の方法を用いることができる。さらに、特開２００９－１４５３９５号公報に記載されているような、所謂プリウェット法を適用することも可能である。
　塗布したときのウエット膜厚は特に限定されるものではなく、用途に応じた膜厚で塗布することができるが、通常は０．５～１０μｍの範囲で使用される。

　（２）の溶剤除去工程では、塗布された上記の膜から、減圧（バキューム）および／または加熱により、溶剤を除去して基板上に乾燥塗膜を形成させる。溶剤除去工程の加熱条件は、好ましくは７０～１３０℃で３０～３００秒間程度である。温度と時間が上記範囲である場合、パターンの密着性がより良好で、且つ残渣もより低減できる傾向にある。

　（３）の露光工程では、塗膜を設けた基板に所定のパターンを有するマスクを介して、活性光線を照射する。この工程では、光酸発生剤が分解し酸が発生する。発生した酸の触媒作用により、塗膜成分中に含まれる酸分解性基が加水分解されて、カルボキシル基またはフェノール性水酸基が生成する。
　活性光線による露光光源としては、低圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、ケミカルランプ、ＬＥＤ光源、エキシマレーザー発生装置などを用いることができ、ｇ線（４３６ｎｍ）、ｉ線（３６５ｎｍ）、ｈ線（４０５ｎｍ）などの波長３００ｎｍ以上４５０ｎｍ以下の波長を有する活性光線が好ましく使用できる。また、必要に応じて長波長カットフィルター、短波長カットフィルター、バンドパスフィルターのような分光フィルターを通して照射光を調整することもできる。
　露光装置としては、ミラープロジェクションアライナー、ステッパー、スキャナー、プロキシミティ、コンタクト、マイクロレンズアレイ、レーザー露光、など各種方式の露光機を用いることができる。
　酸触媒の生成した領域において、上記の加水分解反応を加速させるために、露光後加熱処理：Ｐｏｓｔ　Ｅｘｐｏｓｕｒｅ　Ｂａｋｅ（以下、「ＰＥＢ」ともいう。）を行うことができる。ＰＥＢにより、酸分解性基からのカルボキシル基またはフェノール性水酸基の生成を促進させることができる。ＰＥＢを行う場合の温度は、３０℃以上１３０℃以下であることが好ましく、４０℃以上１１０℃以下がより好ましく、５０℃以上１００℃以下が特に好ましい。
　ただし、本発明における酸分解性基は、酸分解の活性化エネルギーが低く、露光による酸発生剤由来の酸により容易に分解し、カルボキシル基またはフェノール性水酸基を生じるため、必ずしもＰＥＢを行うことなく、現像によりポジ画像を形成することもできる。

　（４）の工程で使用する現像液には、塩基性化合物が含まれることが好ましい。塩基性化合物としては、例えば、水酸化リチウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウムなどのアルカリ金属水酸化物類；炭酸ナトリウム、炭酸カリウムなどのアルカリ金属炭酸塩類；重炭酸ナトリウム、重炭酸カリウムなどのアルカリ金属重炭酸塩類；テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、コリンヒドロキシド等のアンモニウムヒドロキシド類；ケイ酸ナトリウム、メタケイ酸ナトリウムなどの水溶液を使用することができる。また、上記アルカリ類の水溶液にメタノールやエタノールなどの水溶性有機溶剤や界面活性剤を適当量添加した水溶液を現像液として使用することもできる。

　現像液のｐＨは、好ましくは１０．０～１４．０である。
　現像時間は、好ましくは３０～１８０秒間であり、また、現像の手法は液盛り法、ディップ法等の何れでもよい。現像後は、流水洗浄を３０～９０秒間行い、所望のパターンを形成させることができる。

　（５）の工程で、レジストパターンをマスクとして上記基板をエッチングする方法としては特に制限はなく、公知の方法を用いることができる。

　本発明のパターンの製造方法は、（６）上記レジストパターンを剥離する工程を含んでいてもよい。上記レジストパターンを剥離方法としては特に制限はなく、公知の方法を用いることができる。また、プラズマ処理または薬品処理によりレジストパターンを除去してもよい。

［硬化膜］
　本発明では、（４）現像する工程後、現像により得られた未露光領域に対応するパターンについて、ホットプレートやオーブン等の加熱装置を用いて、所定の温度、例えば、１８０～２５０℃で所定の時間、例えばホットプレート上なら５～６０分間、オーブンならば３０～９０分間、加熱処理をすることにより、耐熱性、硬度等に優れた保護膜や層間絶縁膜等の硬化膜を形成することができる。
　また、加熱処理を行う際は、窒素雰囲気下で行うことにより、硬化膜の透明性を向上させることもできる。
　なお、加熱処理に先立ち、硬化膜がパターン状に形成した基板に活性光線により再露光した後、加熱することが好ましい。

　すなわち、本発明の硬化膜を形成するには、現像する工程と熱硬化する工程の間に、活性光線により再露光する工程を含むことが好ましい。
　再露光する工程における露光は、上記露光する工程と同様の手段により行えばよいが、上記再露光する工程では、基板の本発明の感光性樹脂組成物により膜が形成された側に対し、全面露光を行うことが好ましい。再露光する工程の好ましい露光量としては、１００～１，０００ｍＪ／ｃｍ²である。

［パターン］
　本発明のパターンは、本発明の感光性樹脂組成物を硬化して得られたレジストパターンをマスクとして用いて、上記基板をエッチングして得られたパターンである。本発明のパターンは、ＩＴＯパターン、モリブデンパターンまたはシリコンパターンとして好ましく用いることができ、ＩＴＯパターンとしてより好ましく用いることができる。
　本発明の感光性樹脂組成物は感度、解像性および露光マージンに優れるため、矩形性に優れたレジストパターンが得られる。本発明のパターンは、上記レジストパターンを用いる本発明のパターンの製造方法で得られるため、微細加工することができ、有機ＥＬ表示装置や液晶表示装置を高精細な表示特性とすることができる。

［液晶表示装置］
　本発明の液晶表示装置は、本発明の硬化膜を具備することを特徴とする。
　本発明の液晶表示装置としては、上記本発明の感光性樹脂組成物を用いて形成される平坦化膜や層間絶縁膜を有すること以外は特に制限されず、様々な構造をとる公知の液晶表示装置を挙げることができる。
　例えば、本発明の液晶表示装置が具備するＴＦＴ（Ｔｈｉｎ－Ｆｉｌｍ　Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）の具体例としては、アモルファスシリコン－ＴＦＴ、低温ポリシリコンーＴＦＴ、酸化物半導体ＴＦＴ等が挙げられる。本発明の硬化膜は電気特性に優れるため、これらのＴＦＴに組み合わせて好ましく用いることができる。
　また、本発明の液晶表示装置が取りうる液晶駆動方式としてはＴＮ（ＴｗｉｓｔｅｄＮｅｍａｔｉｃ）方式、ＶＡ（Ｖｉｒｔｉｃａｌ　Ａｌｉｇｎｍｅｎｔ）方式、ＩＰＳ（Ｉｎ－Ｐｌａｃｅ－Ｓｗｉｔｃｈｉｎｇ）方式、ＦＦＳ（Ｆｒｉｎｇｓ　Ｆｉｅｌｄ　Ｓｗｉｔｃｈｉｎｇ）方式、ＯＣＢ（Ｏｐｔｉｃａｌ　Ｃｏｍｐｅｎｓａｔｅｄ　Ｂｅｎｄ）方式などが挙げられる。
　パネル構成においては、ＣＯＡ（Ｃｏｌｏｒ　Ｆｉｌｔｅｒ　ｏｎ　Ａｌｌａｙ）方式の液晶表示装置でも本発明の硬化膜を用いることができ、例えば、特開２００５－２８４２９１号公報の有機絶縁膜（１１５）や、特開２００５－３４６０５４号公報の有機絶縁膜（２１２）として用いることができる。
　また、本発明の液晶表示装置が取りうる液晶配向膜の具体的な配向方式としてはラビング配向法、光配向方などが挙げられる。また、特開２００３－１４９６４７号公報や特開２０１１－２５７７３４号公報に記載のＰＳＡ（Ｐｏｌｙｍｅｒ　Ｓｕｓｔａｉｎｅｄ　Ａｌｉｇｎｍｅｎｔ）技術によってポリマー配向支持されていてもよい。
　また、本発明の感光性樹脂組成物および本発明の硬化膜は、上記用途に限定されず種々の用途に使用することができる。例えば、平坦化膜や層間絶縁膜以外にも、カラーフィルターの保護膜や、液晶表示装置における液晶層の厚みを一定に保持するためのスペーサーや固体撮像素子においてカラーフィルター上に設けられるマイクロレンズ等に好適に用いることができる。
　図１は、アクティブマトリックス方式の液晶表示装置１０の一例を示す概念的断面図である。このカラー液晶表示装置１０は、背面にバックライトユニット１２を有する液晶パネルであって、液晶パネルは、偏光フィルムが貼り付けられた２枚のガラス基板１４，１５の間に配置されたすべての画素に対応するＴＦＴ１６の素子が配置されている。ガラス基板上に形成された各素子には、硬化膜１７中に形成されたコンタクトホール１８を通して、画素電極を形成するＩＴＯ透明電極１９が配線されている。ＩＴＯ透明電極１９の上には、液晶２０の層とブラックマトリックスを配置したＲＧＢカラーフィルター２２が設けられている。
　バックライトの光源としては、特に限定されず公知の光源を用いることができる。例えば白色ＬＥＤ、青色・赤色・緑色などの多色ＬＥＤ、蛍光灯（冷陰極管）、有機ＥＬなどを挙げる事ができる。
　また、液晶表示装置は、３Ｄ（立体視）型のものとしたり、タッチパネル型のものとしたりすることも可能である。さらにフレキシブル型にすることも可能であり、特開２０１１－１４５６８６号公報の第２相間絶縁膜（４８）や、特開２００９－２５８７５８号公報の相間絶縁膜（５２０）として用いることができる。

［有機ＥＬ表示装置］
　本発明の有機ＥＬ表示装置は、本発明の硬化膜を具備することを特徴とする。
　本発明の有機ＥＬ表示装置としては、上記本発明の感光性樹脂組成物を用いて形成される平坦化膜や層間絶縁膜を有すること以外は特に制限されず、様々な構造をとる公知の各種有機ＥＬ表示装置や液晶表示装置を挙げることができる。
　例えば、本発明の有機ＥＬ表示装置が具備するＴＦＴ（Ｔｈｉｎ－Ｆｉｌｍ　Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）の具体例としては、アモルファスシリコン－ＴＦＴ、低温ポリシリコンーＴＦＴ、酸化物半導体ＴＦＴ等が挙げられる。本発明の硬化膜は電気特性に優れるため、これらのＴＦＴに組み合わせて好ましく用いることができる。
　図２は、有機ＥＬ表示装置の一例の構成概念図である。ボトムエミッション型の有機ＥＬ表示装置における基板の模式的断面図を示し、平坦化膜４を有している。
　ガラス基板６上にボトムゲート型のＴＦＴ１を形成し、このＴＦＴ１を覆う状態でＳｉ₃Ｎ₄から成る絶縁膜３が形成されている。絶縁膜３に、ここでは図示を省略したコンタクトホールを形成した後、このコンタクトホールを介してＴＦＴ１に接続される配線２（高さ１．０μｍ）が絶縁膜３上に形成されている。配線２は、ＴＦＴ１間または、後の工程で形成される有機ＥＬ素子とＴＦＴ１とを接続するためのものである。
　さらに、配線２の形成による凹凸を平坦化するために、配線２による凹凸を埋め込む状態で絶縁膜３上に平坦化層４が形成されている。
　平坦化膜４上には、ボトムエミッション型の有機ＥＬ素子が形成されている。すなわち、平坦化膜４上に、ＩＴＯからなる第一電極５が、コンタクトホール７を介して配線２に接続させて形成されている。また、第一電極５は、有機ＥＬ素子の陽極に相当する。
　第一電極５の周縁を覆う形状の絶縁膜８が形成されており、この絶縁膜８を設けることによって、第一電極５とこの後の工程で形成する第二電極との間のショートを防止することができる。
　さらに、図２には図示していないが、所望のパターンマスクを介して、正孔輸送層、有機発光層、電子輸送層を順次蒸着して設け、次いで、基板上方の全面にＡｌから成る第二電極を形成し、封止用ガラス板と紫外線硬化型エポキシ樹脂を用いて貼り合わせることで封止し、各有機ＥＬ素子にこれを駆動するためのＴＦＴ１が接続されてなるアクティブマトリックス型の有機ＥＬ表示装置が得られる。

　本発明の感光性樹脂組成物は、硬化性および硬化膜特性に優れるため、ＭＥＭＳデバイスの構造部材として、本発明の感光性樹脂組成物を用いて形成されたレジストパターンを隔壁としたり、機械駆動部品の一部として組み込んで使用される。このようなＭＥＭＳ用デバイスとしては、例えばＳＡＷフィルター、ＢＡＷフィルター、ジャイロセンサー、ディスプレイ用マイクロシャッター、イメージセンサー、電子ペーパー、インクジェットヘッド、バイオチップ、封止剤等の部品が挙げられる。より具体的な例は、特表２００７－５２２５３１号公報、特開２００８－２５０２００号公報、特開２００９－２６３５４４号公報等に例示されている。

　本発明の感光性樹脂組成物は、平坦性や透明性に優れるため、例えば特開２０１１－１０７４７６号公報の図２に記載のバンク層（１６）および平坦化膜（５７）、特開２０１０－９７９３号公報の図４（ａ）に記載の隔壁（１２）および平坦化膜（１０２）、特開２０１０－２７５９１号公報の図１０に記載のバンク層（２２１）および第３層間絶縁膜（２１６ｂ）、特開２００９－１２８５７７号公報の図４（ａ）に記載の第２層間絶縁膜（１２５）および第３層間絶縁膜（１２６）、特開２０１０－１８２６３８号公報の図３に記載の平坦化膜（１２）および画素分離絶縁膜（１４）などの形成に用いることもできる。

　以下に実施例を挙げて本発明をさらに具体的に説明する。以下の実施例に示す材料、使用量、割合、処理内容、処理手順等は、本発明の趣旨を逸脱しない限り、適宜、変更することができる。従って、本発明の範囲は以下に示す具体例に限定されるものではない。

　以下の合成例において、以下の符号はそれぞれ以下の化合物を表す。
　ＭＡＥＶＥ：メタクリル酸１－エトキシエチル
　ＭＡＴＨＦ：メタクリル酸テトラヒドロ－２Ｈ－フラン－２－イル
　ＰＨＳ：パラヒドロキシスチレン
　ＭＡＡ：メタクリル酸（和光純薬工業社製）
　ＨＥＭＡ：ヒドロキシエチルメタクリレート（和光純薬社製）
　ＥＤＭ：（ジエチレングリコールエチルメチルエーテル）（東邦化学工業社製）
　ＢｚＭＡ：（ベンジルメタクリレート）（和光純薬社製）

（合成例１：重合体１の合成）
　アルカリ可溶性樹脂（ＶＰ－８０００　日本曹達（株）社製）２０ｇおよびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）３２０ｇをフラスコ中で溶解し、減圧蒸留を行い、水とＰＧＭＥＡを共沸留去した。含水が十分低くなったことを確認した後、エチルビニルエーテル２４ｇおよびｐ－トルエンスルホン酸０．３５ｇを加え、室温にて１時間撹拌した。そこへトリエチルアミンを０．２８ｇ加えて反応を止めた。反応液に酢酸エチルを添加、さらに水洗した後、減圧留去によって酢酸エチル、水、共沸分のＰＧＭＥＡを留去し、酸分解性基で保護されたアルカリ可溶性樹脂である重合体１を得た。得られた樹脂の重量平均分子量は１１，０００であった。また、多分散度は、１．１３であった。
　重合体１の構造は、ｐ－ヒドロキシスチレンの１－エトキシエチル保護体／ｐ－ヒドロキシスチレン共重合体（３０モル％／７０モル％）である。

（合成例２：重合体２の合成）
　アルカリ可溶性樹脂（ＶＰ－８０００　日本曹達（株）社製）１５．６ｇおよびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）１００ｇをフラスコ中で溶解し、減圧蒸留を行い、水とＰＧＭＥＡを共沸留去した。含水が十分低くなったことを確認した後、２，３－ジヒドロフラン２．７ｇおよびｐ－トルエンスルホン酸０．０１５ｇを加え、室温にて２時間撹拌した。そこへトリエチルアミンを０．０９０ｇ加えて反応を止めた。反応液に酢酸エチルを添加、さらに水洗した後、減圧留去によって酢酸エチル、水を留去し、保護率２５モル％の可溶性樹脂である重合体２を得た。得られた樹脂の重量平均分子量は１２，０００であった。また、多分散度は、１．１３であった。
　重合体２の構造は、ｐ－ヒドロキシスチレンの２－テトラヒドロフラニル保護体／ｐ－ヒドロキシスチレン共重合体（３０モル％／７０モル％）である。

＜重合体３の合成＞
　重合体３を以下のごとく合成した。
　エチルビニルエーテル１４４．２部（２モル当量）にフェノチアジン０．５部を添加し、反応系中を１０℃以下に冷却しながらメタクリル酸８６．１部（１モル当量）を滴下後、室温（２５℃）で４時間撹拌した。ｐ－トルエンスルホン酸ピリジニウム５．０部を添加後、室温で２時間撹拌し、一夜室温放置した。反応液に炭酸水素ナトリウム５部および硫酸ナトリウム５部を添加し、室温で１時間撹拌し、不溶物を濾過後４０℃以下で減圧濃縮し、残渣の黄色油状物を減圧蒸留して沸点（ｂｐ．）４３～４５℃／７ｍｍＨｇ留分のメタクリル酸１－エトキシエチル（ＭＡＥＶＥ）１３４．０部を無色油状物として得た。
　得られたメタクリル酸１－エトキシエチル（６３．２８部（０．４モル当量））、ＢｚＭＡ（５２．８３部（０．３モル当量））、ＭＡＡ（８．６１部（０．１モル当量））、ＨＥＭＡ（２６．０３部（０．２モル当量））およびＥＤＭ（１１０．８部）の混合溶液を窒素気流下、７０℃に加熱した。この混合溶液を撹拌しながら、ラジカル重合開始剤Ｖ－６５（商品名、和光純薬工業（株）製、４部）およびＥＤＭ（１００．０部）の混合溶液を２．５時間かけて滴下した。滴下が終了してから、７０℃で４時間反応させることにより、重合体のＥＤＭ溶液（固形分濃度：４０％）を得た。
　得られた重合体３のゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）により測定した重量平均分子量は、１５，０００であった。

　重合体３の合成と同様にして、重合体４も合成した。

（光酸発生剤）
　ＰＡＧ－１：特表２００２－５２８４５１号公報の段落０１０８に記載の方法に従って合成した。

Ｔｓ部分はトシル基を表す。

（脂環式エポキシ化合物）
　Ｃ１：下記化合物（製造元：ダイセル化学工業株式会社製、品番：セロキサイド２０２１Ｐ）

　Ｃ２：下記化合物（製造元：信越化学工業株式会社製、品番：ＫＢＭ－３０３）

　Ｃ３：下記化合物（製造元：ダイセル化学工業株式会社製、品番：セロキサイド２０８１）

　Ｃ４：下記化合物（製造元：ダイセル化学工業株式会社製、品番：エポリードＧＴ－４０１）

　Ｃ５：１５７Ｓ６５（製造元：三菱化学株式会社製）
　Ｃ６：下記化合物（ナガセケムテックス株式会社製、品番：ＥＸ-３２１Ｌ）

（溶剤）
　ＰＧＭＥＡ：メトキシプロピルアセテート（昭和電工社製）
　ＰＧＤＡ：１，２－プロパンジオールジアセタート（沸点１９０℃、製造元：株式会社ダイセル社製　品番：ＰＧＤＡ）
　１，３－ＢＧＤＡ：１，３－ブタンジオールジアセテート（沸点２３２℃、製造元：株式会社ダイセル社製　品番：１，３－ＢＧＤＡ）
　１，６－ＨＤＤＡ：１，６－ヘキサンジオールジアセタート（沸点２６０℃、製造元：株式会社ダイセル社製　品番：１，６－ＨＤＤＡ）
　ＤＲＡ－１５０：トリアセチン（沸点２６０℃、製造元：株式会社ダイセル社製　品番：ＤＲＡ－１５０）
　ＤＰＮＢ：ジプロピレングリコール－ｎ－ブチルエーテル（沸点２２９℃、製造元：株式会社ダイセル社製　品番：ＤＰＮＢ）
ＢＤＧＡＣ：ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート（沸点２４７℃、製造元：株式会社ダイセル社製　品番：ＤＰＮＢ）

（増感剤）
　Ｇ－１（製造元：川崎化成工業製、品番：９，１０－ジブトキシアントラセン）

（塩基性化合物）
Ｈ－１：（製造元：東洋化成工業製、品番：ＣＭＴＵ）

（感光性樹脂組成物の調整）
　下記表に示す組成となるように、各成分を溶解混合し、口径０．２μｍのポリテトラフルオロエチレン製フィルターで濾過して、実施例および比較例の感光性樹脂組成物を得た。尚、配合比は下記表のとおりとした。
・（Ａ）重合体　　　表に示す割合（重量比）で、（Ａ１）と（Ａ２）をブレンドした。
・（Ｂ）光酸発生剤　　　（Ａ）重合体１００重量部に対し、３．０重量％
・脂環式エポキシ化合物　（Ａ）重合体１００重量部に対し、下記表に記載の通りの量を配合した。
・（Ｄ１）溶剤　　　　　全溶剤に対して、下記表に記載の通りの量を配合した。
・（Ｄ２）溶剤　　　　　不揮発分が組成物に対して２０重量％となるように調製した。
・塩基性化合物　　　　　（Ａ）重合体１００重量部に対し、０．２重量％
・増感剤　　　　　　　　（Ａ）重合体１００重量部に対し、３．０重量％

　以上により得られた各実施例、各比較例の感光性樹脂組成物について、以下に示す各評価を行った。

＜感度の評価＞
　洗浄、ＨＭＤＳ処理したガラス基板に１．３μｍの膜厚で塗布し、マスクを介して露光現像し１０μｍのラインアンドスペースパターンがちょうど１０μｍとなる露光量を最適露光量として感度を評価した。３以上が実用レベルである。
１：１００ｍＪ／ｃｍ²以上の露光量を必要
２：５０ｍＪ／ｃｍ²以上１００ｍＪ／ｃｍ²未満の露光量が必要
３：２０ｍＪ／ｃｍ²以上５０ｍＪ／ｃｍ²未満の露光量が必要
４：１０ｍＪ／ｃｍ²以上２０ｍＪ未満の露光量
５：１０ｍＪ／ｃｍ²未満の露光量

＜線幅安定性の評価＞
　洗浄、ＨＭＤＳ処理したガラス基板に１．３μｍの膜厚で塗布し、マスクを介して１０μｍのラインアンドスペースパターンがちょうど１０μｍとなる露光量にて露光、現像し、かかるラインアンドスペースパターン付き基板を１０枚準備し、基板１枚ごとに１０点、光学式計測器ＺＹＧＯ　Ｎｅｗ　Ｖｉｅｗ７２００（ＺＹＧＯ　ｃｏｒｐ．製）にて、１０μｍのライン幅を測定し、計１００点の実測線幅の標準偏差（σ）を計算した。評価基準は下記の通りであり、３以上が実用レベルである。
１：標準偏差σが０．４μｍ以上
２：標準偏差σが０．２μｍ以上、０．４μｍ未満
３：標準偏差σが０．１５μｍ以上、０．２５μｍ未満
４：標準偏差σが０．１μｍ以上、０．１５μｍ未満
５：標準偏差σが０．１μｍ未満

＜解像度の評価＞
　洗浄、ＨＭＤＳ処理したガラス基板に１．３μｍの膜厚で塗布し、マスクを介して露光現像し、ラインアンドスペースパターンのうち解像しうる最も小さなパターンを解像度とした。３以上が実用レベルである。
１：解像度が５μｍ以上
２：３．０μｍが解像するが２．５μｍは解像しない
３：２．５μｍが解像するが２．０μｍは解像しない
４：２．０μｍが解像するが１．５μｍは解像しない
５：１．５μｍが解像する。

＜矩形性の評価＞
　洗浄、ＨＭＤＳ処理したガラス基板に１．３μｍの膜厚で塗布し、マスクを介して１０μｍのラインアンドスペースパターンがちょうど１０μｍとなる露光量にて露光、現像して形成した基板を、ホットプレートを用いて１４０℃の温度で３分間ＰｏｓｔＢａｋｅし、３μｍのＬ＆Ｓの画素のテーパー角度を測定しこれを矩形性とした。３以上が実用レベルである。
１：テーパー角度が３０°未満
２：テーパー角度が３０°以上４５°未満
３：テーパー角度が４５°以上６０°未満
４：テーパー角度が６０°以上７５°未満
５：テーパー角度が７５°以上

　上記表に示されるように、各実施例の感光性樹脂組成物は、各比較例の感光性樹脂組成物との対比において、感度、解像性、および矩形性のいずれかの評価についても優れた結果が得られたことがわかった。

（実施例１６）
＜有機ＥＬ表示装置＞
　ＩＴＯパターンを具備する有機ＥＬ表示装置を以下の方法で作製した（図１参照）。
　ガラス基板６上にボトムゲート型のＴＦＴ１を形成し、このＴＦＴ１を覆う状態でＳｉ₃Ｎ₄から成る絶縁膜３を形成した。次に、この絶縁膜３に、ここでは図示を省略したコンタクトホールを形成した後、このコンタクトホールを介してＴＦＴ１に接続される配線２（高さ１．０μｍ）を絶縁膜３上に形成した。この配線２は、ＴＦＴ１間または、後の工程で形成される有機ＥＬ素子とＴＦＴ１とを接続するためのものである。

　さらに、配線２の形成による凹凸を平坦化するために、配線２による凹凸を埋め込む状態で絶縁膜３上へ平坦化膜４を形成した。絶縁膜３上への平坦化膜４の形成は、特開２００９－９８６１６号公報の実施例１に記載の感光性樹脂組成物を基板上にスピン塗布し、ホットプレート上でプリベーク（９０℃×２分）した後、マスク上から高圧水銀灯を用いてｉ線（３６５ｎｍ）を４５ｍＪ／ｃｍ²（照度２０ｍＷ／ｃｍ²）照射した後、アルカリ水溶液にて現像してパターンを形成し、２３０℃で６０分間の加熱処理を行った。
　感光性樹脂組成物を塗布する際の塗布性は良好で、露光、現像、焼成の後に得られた硬化膜には、しわやクラックの発生は認められなかった。さらに、配線２の平均段差は５００ｎｍ、作製した平坦化膜４の膜厚は２，０００ｎｍであった。

　次に、得られた平坦化膜４上に、ボトムエミッション型の有機ＥＬ素子を形成した。まず、平坦化膜４上に、ＩＴＯからなる第一電極５を、コンタクトホール７を介して配線２に接続させて形成した。その後、実施例１の感光性樹脂組成物をＩＴＯ基板上にスピン塗布し、ホットプレート上でプリベーク（９０℃×２分）した後、マスク上から高圧水銀灯を用いてｉ線（３６５ｎｍ）を２０ｍＪ／ｃｍ²（照度２０ｍＷ／ｃｍ²）照射した後、アルカリ水溶液にて現像してパターンを形成した。その後、エッチング工程前に１４０℃で３分間のポストベーク加熱処理を行った。このレジストパターンをマスクとして、ＩＴＯエッチャント（３％シュウ酸水溶液）に４０℃／１ｍｉｎ浸漬させることで、ウエットエッチングによりＩＴＯのパターン加工を行った。その後、レジスト剥離液（ＭＳ２００１、富士フイルムエレクトロ二クスマテリアルズ社製）に７０℃／７ｍｉｎ浸漬させて上記レジストパターンを剥離した。こうして得られた第一電極５は、有機ＥＬ素子の陽極に相当する。

　次に、第一電極５の周縁を覆う形状の絶縁膜８を形成した。絶縁膜８には、特開２００９－９８６１６号公報の実施例１に記載の感光性樹脂組成物を用い、上記と同様の方法で絶縁膜８を形成した。この絶縁膜８を設けることによって、第一電極５とこの後の工程で形成する第二電極との間のショートを防止することができる。

　さらに、真空蒸着装置内で所望のパターンマスクを介して、正孔輸送層、有機発光層、電子輸送層を順次蒸着して設けた。次いで、基板上方の全面にＡｌから成る第二電極を形成した。得られた上記基板を蒸着機から取り出し、封止用ガラス板と紫外線硬化型エポキシ樹脂を用いて貼り合わせることで封止した。

　以上のようにして、各有機ＥＬ素子にこれを駆動するためのＴＦＴ１が接続してなるアクティブマトリックス型のＩＴＯパターンを具備する有機ＥＬ表示装置が得られた。駆動回路を介して電圧を印加したところ、良好な表示特性を示し、信頼性の高い有機ＥＬ表示装置であることが分かった。

（実施例１７）
＜液晶表示装置＞
　ＩＴＯパターンを具備する液晶表示装置を以下の方法で作製した。
　特許第３３２１００３号公報の図１に記載のアクティブマトリクス型液晶表示装置において、画素電極４を実施例１の感光性樹脂組成物をマスクとして用い形成し、実施例１７の液晶表示装置を得た。
　すなわち、上記実施例１６における有機ＥＬ表示装置の第一電極５の形成方法と同様の方法で、画素電極４を形成した。

　得られたＩＴＯパターンを具備する液晶表示装置に対して、駆動電圧を印加したところ、良好な表示特性を示し、信頼性の高い液晶表示装置であることが分かった。

　１：ＴＦＴ（薄膜トランジスター）
　２：配線
　３：絶縁膜
　４：平坦化膜
　５：第一電極
　６：ガラス基板
　７：コンタクトホール
　８：絶縁膜
　１０：液晶表示装置
　１２：バックライトユニット
　１４，１５：ガラス基板
　１６：ＴＦＴ
　１７：硬化膜
　１８：コンタクトホール
　１９：ＩＴＯ透明電極
　２０：液晶
　２２：カラーフィルター

Claims

（Ａ１）下記一般式（１）で表される構成単位（ａ１）を有する重合体を含む重合体成分、
（Ｂ）光酸発生剤、
（Ｃ）脂環式エポキシ化合物、および
（Ｄ１）分子内にアセテート構造を２つ以上含有する溶剤、
を含有する感光性樹脂組成物。

（一般式（１）中、Ｒ¹およびＲ²は、それぞれ独立に水素原子、アルキル基またはアリール基を表し、少なくともＲ¹およびＲ²のいずれか一方がアルキル基またはアリール基である；Ｒ³はアルキル基またはアリール基を表し、Ｒ¹またはＲ²と、Ｒ³とが連結して環状エーテルを形成してもよい；Ｒ⁴は水素原子またはメチル基を表す。）
前記（Ｃ）脂環式エポキシ化合物が、下記一般式（Ｉ）で表される化合物である、請求項１に記載の感光性樹脂組成物。

（一般式（１）中、ｎは１～４の整数を表す。Ｒ¹は炭素数１～１５の有機基を表す。）
前記一般式（Ｉ）で表される化合物中のｎが１または２である、請求項２に記載の感光性樹脂組成物。
さらに、（Ａ２）酸分解性基で保護された保護カルボキシル基を有する構成単位（ａ４）を有する重合体成分を含む、請求項１～３のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
前記構成単位（ａ４）が、下記一般式（Ａ２’）で表される構成単位である、請求項４に記載の感光性樹脂組成物。

（一般式（Ａ２’）中、Ｒ¹およびＲ²はそれぞれ独立に水素原子、アルキル基またはアリール基を表し、少なくともＲ¹およびＲ²のいずれか一方がアルキル基またはアリール基であり、Ｒ³はアルキル基またはアリール基を表し、Ｒ¹またはＲ²と、Ｒ³とが連結して環状エーテルを形成してもよく、Ｒ⁴は水素原子またはメチル基を表し、Ｘ⁰は単結合またはアリーレン基を表す。）
前記（Ｃ）脂環式エポキシ化合物の含有量が、全固形分量に対して０．０５～５質量％である、請求項１～５のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
前記（Ｄ１）分子内にアセテート構造を２つ以上含有する溶剤と、（Ｄ１）分子内にアセテート構造を２つ以上含有する溶剤と異なる他の溶剤（Ｄ２）とを含む、請求項１～６のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
前記（Ｄ１）分子内にアセテート構造を２つ以上含有する溶剤の沸点が、１３０℃以上３００℃未満である、請求項１～７のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
前記（Ｄ１）分子内にアセテート構造を２つ以上含有する溶剤の含有量が、前記感光性樹脂組成物の１～１０質量％である、請求項１～８のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
（１）基板の少なくとも一方の面に、請求項１～９のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物を塗布する工程、
（２）乾燥により有機溶剤を揮発させ、感光性樹脂組成物層を形成する工程、
（３）前記感光性樹脂組成物層を露光する工程、
（４）露光された前記感光性樹脂組成物層を現像する工程、を含むパターンの製造方法。
形成されたパターンをエッチング用レジストとして用いてエッチングを行う工程、および前記パターンをプラズマ処理または薬品処理により除去する工程、を含む、請求項１０に記載のパターンの製造方法。
請求項１～９のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物を硬化させてなる硬化膜。
請求項１０または１１に記載のパターンの製造方法を含む、有機ＥＬ表示装置または液晶表示装置の製造方法。