WO2014037984A1 - Ｘ線厚さ計 - Google Patents

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dose
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Inventor
武 賀川
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株式会社 東芝
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B15/00—Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons
    • G01B15/02—Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons for measuring thickness
    • G01B15/025—Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons for measuring thickness by measuring absorption

Definitions

  • Embodiments of the present invention relate to an X-ray thickness meter.
  • the X-ray thickness meter is a device that continuously measures the thickness of a moving plate such as a steel plate (hereinafter referred to as plate thickness).
  • This X-ray thickness meter measures the amount of X-rays attenuated by the plate by irradiating the plate with X-rays (hereinafter referred to as X-ray attenuation amount), and the measured X-ray attenuation amount is used as the plate thickness.
  • the plate thickness is measured by conversion. Note that the relationship between the X-ray attenuation and the plate thickness is non-linear.
  • the disturbance factors include temperature change of the cooling medium for cooling the X-ray generator, temperature change and humidity change of the geometric setting environment between the X-ray generator and the detector, X-ray generator and detector.
  • foreign matter for example, water, oil, oil mist, scale, etc.
  • the disturbance factors include temperature change of the cooling medium for cooling the X-ray generator, temperature change and humidity change of the geometric setting environment between the X-ray generator and the detector, X-ray generator and detector.
  • foreign matter for example, water, oil, oil mist, scale, etc.
  • the X-ray thickness gauge usually has a calibration curve calibration function that can calibrate the calibration curve. Specifically, the X-ray thickness meter measures the detected dose using about 10 built-in calibration plates, and calibrates the calibration curve using these detected doses (for example, Patent Document 1). reference.).
  • the calibration curve calibration function of the method shown in Patent Document 1 includes a plurality of reference plates having different thicknesses, and sets a plurality of thickness reference points (calibration points) by one or a combination of a plurality of reference plates. Since this method is used, highly accurate calibration is possible.
  • An object of the present invention is to provide an X-ray thickness meter having a simple calibration function using a single calibration plate without the plurality of reference plates, and a calibration method thereof.
  • the X-ray thickness meter of the embodiment measures the plate thickness of the object to be measured based on the detected dose and the calibration curve obtained by irradiating the object to be measured with X-rays, and calibrates the calibration curve. Line calibration processing can be executed.
  • the X-ray thickness meter body includes first storage means, second storage means, measurement means, first calculation means, second calculation means, reading means, and calibration means.
  • the first storage means stores a correction curve indicating the change rate of the detected dose at a plurality of calibration points defining a desired thickness for each disturbance factor that fluctuates the detected dose.
  • the second storage means is used when the calibration curve is created, and the detected dose in the first state in which the calibration plate is not inserted in the X-ray beam and the second state in which the calibration plate is inserted in the X-ray beam.
  • the detected dose and the detected dose in the third state where X-rays are blocked are stored.
  • the measuring means measures the detected doses in the first to third states during the calibration curve calibration process.
  • the first calculation means is a first detected dose change rate indicating a change rate of the detected dose in the first to third states based on the measured detected doses and the stored detected doses. Is calculated.
  • the second calculation means calculates a second detected dose change rate indicating a change rate of the detected dose at each calibration point based on the calculated first detected dose change rate.
  • the reading unit reads, from the first storage unit, a correction curve that matches or approximates the curve indicating the calculated second detected dose change rate among the plurality of stored correction curves.
  • the calibration means corrects the detected dose at each calibration point using the read correction curve, and then calibrates the calibration curve based on the corrected detected dose.
  • FIG. 1 is a schematic diagram illustrating a configuration example of an X-ray thickness meter according to an embodiment.
  • the X-ray thickness meter 1 includes an X-ray generator 11, a calibration device 12, a calibration plate 13, an X-ray detector 14, and a calculation device 15. First, functions of the devices 11 to 15 constituting the X-ray thickness meter 1 will be described.
  • the X-ray generator 11 is a device that irradiates a desired object with an X-ray beam.
  • the desired object include the measurement object 16 or the calibration plate 13.
  • the DUT 16 is an object whose thickness is measured, that is, an object whose thickness is unknown.
  • the calibration plate 13 is an object used for measuring a detected dose used when creating or calibrating a calibration curve, and is an object having a known plate thickness.
  • the calibration device 12 normally includes one calibration plate 13 and inserts one calibration plate 13 into the X-ray beam or inserts the calibration plate 13 into the X-ray beam according to the operation of the user. It is a device that can be set in either of two states such as not being inserted.
  • the calibration plate 13 may have a structure including one or more sheets.
  • the calibration device 12 has a built-in shutter that can block the X-ray beam emitted from the X-ray generator 11, and can be used or not used according to a user operation. Use can be set appropriately. This shutter is used to measure the offset amount.
  • a reference plate for setting a plurality of thickness calibration points when creating a detected dose and a calibration curve is set at the position of the object to be measured 16, and the detected dose and the calibration curve are preliminarily set to the X-ray thickness meter. 1 is stored.
  • the thickness of the calibration plate 13 built in the calibration device 12 needs to satisfy the following two conditions (A) and (B).
  • the principle of the invention of the present X-ray thickness meter is that the detected dose is obtained by a reference plate for setting a plurality of thickness calibration points provided outside, which is not included in the X-ray thickness meter.
  • a detection dose change rate at which the detected dose changes due to a disturbance that varies the detected dose is calculated in advance as a correction curve connecting the calibration points.
  • the change in the detected dose due to the disturbance is obtained from the detected dose change rate of one calibration plate, and the detected dose of the calibration curve obtained in advance is corrected.
  • one calibration plate 13 needs to be a calibration plate having a thickness that can detect the change rate with respect to a preset disturbance condition (B) and can reproduce the required thickness measurement accuracy (A). There is.
  • the X-ray detector 14 When the X-ray detector 14 detects the amount of X-rays transmitted through the object (hereinafter referred to as X-ray transmission amount), the X-ray detector 14 measures the detected dose according to the detected X-ray transmission amount and indicates the detected dose. The signal is sent to the arithmetic unit 15.
  • the X-ray detector 14 may be referred to as an ionization chamber, and the detected dose is a value of a current generated when the gas sealed in the X-ray detector 14 is ionized by X-rays.
  • the arithmetic unit 15 When the arithmetic unit 15 receives an input of a signal transmitted from the X-ray detector 14, the arithmetic unit 15 performs a calibration curve calibration process for calibrating a calibration curve prepared in advance using the detected dose indicated by the received signal. It is something to execute. The details of the calibration curve calibration process will be described later together with the description of the flowchart of FIG.
  • the arithmetic device 15 is provided with a memory for storing information indicating a detected dose (hereinafter referred to as a reference detected dose) used when creating a calibration curve. Further, as shown in FIG. 2, the memory in the arithmetic unit 15 calculates in advance the rate of change of the detected dose at a plurality of calibration points that define a desired thickness for each disturbance factor that varies the detected dose. Information indicating the created correction curve is also stored. This correction curve is preferably arranged in a table.
  • the X-ray detector 14 includes the X-ray transmission amount in the first state in which the DUT 16 and the calibration plate 13 are not inserted into the X-ray beam irradiated from the X-ray generator 11,
  • the X-ray transmission amount in the second state in which the calibration plate 13 is inserted in the X-ray beam irradiated from the X-ray generator 11, and the X-ray beam irradiated from the X-ray generator 11 is the shutter in the calibration device 12.
  • the X-ray detector 14 includes a detection dose IN 0 corresponding to the X-ray transmission amount of the first state detected, a detection dose IN CL in accordance with the X-ray transmission amount in the second state detected, The detected dose IN B corresponding to the detected X-ray transmission amount in the third state is measured, and signals indicating these detected doses IN 0 , IN CL , IN B are sent to the computing device 15 (step S2). Note that L of the detection dose IN CL, the number of calibration plate 13 inserted into the X-ray beam, 1 is substituted.
  • the number of calibration plates may be plural, but preferably one.
  • the arithmetic unit 15 receives an input of a signal transmitted from the X-ray detector 14, the signal that has received the input is used as a trigger and is used when creating a calibration curve, and the first to third states Information indicating the reference detection doses IS 0 , IS CL , and IS B corresponding to the X-ray transmission amount at is read from the memory (step S3).
  • L of the reference detection dose IS CL, number 1 of the calibration plate 13 inserted into the X-ray beam is assigned.
  • the arithmetic unit 15 detects the detected doses IN 0 , IN CL , IN B indicated by the signals received in step S3 and the reference detected doses IS 0 , IS CL , IS indicated by the information read out in step S3. Based on B and the following equations (1) and (2), first detection dose change rates ⁇ rI 0 and ⁇ rI CL as shown in FIG. 4 are calculated (step S4).
  • the first detected dose change rate ⁇ rI 0 indicates the change rate of the detected dose according to the X-ray transmission amount in the first and third states
  • the first detected dose change rate ⁇ rI CL indicates the second and third rates.
  • the change rate of the detected dose according to the X-ray transmission amount in the state is shown.
  • ⁇ rI 0 ⁇ (IN 0 ⁇ IN B ) ⁇ (IS 0 ⁇ IS B ) ⁇ / (IS 0 ⁇ IS B ) ...
  • ⁇ rI CL ⁇ (IN CL ⁇ IN B ) ⁇ (IS CL ⁇ IS B ) ⁇ / (IS CL ⁇ IS B ) ...
  • the computing device 15 calculates the second detected dose change rate D based on the first detected dose change rates ⁇ rI 0 and ⁇ rI CL calculated in step S4 and the following equation (3) (step): S5).
  • the second detected dose change rate D indicates the detected dose change rate at each calibration point.
  • the first detection dose rate of change DerutarI 0, the DerutarI CL, the corresponding values are, in the absence in the previously obtained correction curve, the first detection dose rate of change DerutarI 0, and DerutarI CL, first detected dose changes A correction curve that approximates the corresponding detected dose at the measured thicknesses of the rates ⁇ rI 0 and ⁇ rI CL from the second detected dose change rate D before and after is calculated.
  • the computing device 15 reads (selects) information indicating a correction curve that matches or approximates the calculated curve indicating the second detected dose change rate D from the memory (step S6).
  • the arithmetic unit 15 corrects the detected dose correction amounts (that is, ⁇ I m , ⁇ I m ⁇ 1 , ⁇ I m in FIG. 5) at the respective calibration points m to m-2 of the correction curve indicated by the information read out in step S6. -2 ) is calculated, and the detected dose after calibration at each calibration point (ie, I ' m , I' m-1 , I ' m-2 in Fig. 5) is calculated. Then, the computing device 15 re-creates a calibration curve as shown in FIG. 5 from the calculated detected dose and the plate thickness of each calibration point (step S7). Thereby, the calibration curve is calibrated.
  • the correction amount [Delta] I m of the detected dose at each calibration point m mentioned above is calculated based on the shown below (4).
  • I ′ m I m + ⁇ I m (5)
  • I ′ m ⁇ 1 and I ′ m ⁇ 2 can be obtained in the same manner.
  • a memory for storing the detected dose and the correction curve used when creating the calibration curve, and a curve indicating the second detected dose change rate D among the plurality of correction curves stored in the memory
  • the calibration device 15 has a function of calibrating a calibration curve using a correction curve that matches or approximates the calibration curve, so that one calibration plate can be calibrated without calibration at a large number of calibration points with a plurality of reference plates.
  • an X-ray thickness meter having a calibration curve calibration function capable of correcting the calibration curve can be provided.
  • the material of the object to be measured and the calibration plate 13 must be the same or approximate.
  • the detected dose at each calibration point is not actually measured during the calibration curve calibration process. Instead, the rate of change in the detected dose is obtained with a single calibration plate, and the detected dose at each calibration point is calculated with reference to a correction curve prepared in advance. You don't have to.
  • the calibration plate can be made of a material that hardly changes over time, such as stainless steel.
  • a material that hardly changes over time such as stainless steel.

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Abstract

よりコストを低減した検量線校正機能を有するＸ線厚さ計を提供すること。 実施形態のＸ線厚さ計は、被測定物にＸ線を照射して得られる検出線量及び検量線に基づいて、前記被測定物の板厚を測定し、且つ前記検量線を校正する検量線校正処理を実行可能である。前記Ｘ線厚さ計本体は、前記検出線量を変動させる外乱要因毎に、所望の厚みを定義する複数の校正点における検出線量の変化率を示す補正曲線を記憶する。また、前記検量線作成時に用いられ、Ｘ線ビーム中に校正板が挿入されない第１状態での検出線量と、Ｘ線ビーム中に校正板が挿入された第２状態での検出線量と、Ｘ線を遮断した第３状態での検出線量とを記憶する。更に、前記補正曲線を用いて、前記各校正点における検出線量を補正した後に、当該補正した検出線量に基づいて、検量線を校正する。

Description

Ｘ線厚さ計
　本発明の実施形態は、Ｘ線厚さ計に関する。
　Ｘ線厚さ計は、鋼鈑等の移動する板の厚み（以下、板厚と表記）を連続して測定する装置である。このＸ線厚さ計は、板にＸ線を照射することで板によって減衰したＸ線の量（以下、Ｘ線減衰量と表記）を測定し、当該測定したＸ線減衰量を板厚に換算することで、板厚を測定する。なお、Ｘ線減衰量と板厚との関係は非線形である。
　そこで、板厚が既知の複数の基準板の板厚と、各基準板の板厚を測定したときのＸ線の検出線量とから検量線を予め作成しておく必要がある。
　しかしながら、検出線量は様々な外乱要因によって変化するため、上記検量線を用いて、Ｘ線減衰量を板厚に換算したとしても、正確な板厚が測定できないといった不都合がある。
　なお、上記外乱要因としては、Ｘ線発生器を冷却する冷却媒体の温度変化、Ｘ線発生器及び検出器間の幾何学的な設定環境の温度変化及び湿度変化、Ｘ線発生器及び検出器間のＸ線ビームが照射される光学空間内への異物（例えば、水、油、オイルミスト、スケール等）の混入等が挙げられる。
　このため、Ｘ線厚さ計は、通常、検量線を校正可能な検量線校正機能を有している。具体的には、Ｘ線厚さ計は、内蔵された１０枚程度の校正板を用いて検出線量を測定し、これらの検出線量を用いて検量線を校正している(例えば、特許文献１参照。)。
特公平２－３７５２３号公報
　特許文献１に示す方法の検量線校正機能は、複数枚の異なる厚さの基準板を備え、この基準板の1枚または複数枚の組み合わせにより複数の厚さ基準点(校正点)を設定する方式であるので、高精度な校正が可能である。
　しかしながら、複数の基準板の製作や組み立てに高精度が要求されることから、校正のための作業や、装置の構成が複雑となる問題がある。
　本発明は、当該複数の基準板を備えず、１枚の校正板によるシンプルな校正機能のＸ線厚さ計、及びその校正方法を提供することを目的とする。
　実施形態のＸ線厚さ計は、被測定物にＸ線を照射して得られる検出線量及び検量線に基づいて、前記被測定物の板厚を測定し、且つ前記検量線を校正する検量線校正処理を実行可能である。
　前記Ｘ線厚さ計本体は、第１記憶手段、第２記憶手段、測定手段、第１算出手段、第２算出手段、読出手段及び校正手段を備えている。
　前記第１記憶手段は、前記検出線量を変動させる外乱要因毎に、所望の厚みを定義する複数の校正点における検出線量の変化率を示す補正曲線を記憶する。
　前記第２記憶手段は、前記検量線作成時に用いられ、Ｘ線ビーム中に校正板が挿入されない第１状態での検出線量と、Ｘ線ビーム中に校正板が挿入された第２状態での検出線量と、Ｘ線を遮断した第３状態での検出線量とを記憶する。
　前記測定手段は、前記検量線校正処理時に、前記第１乃至第３状態での検出線量を各々測定する。
　前記第１算出手段は、前記測定された各検出線量と、前記記憶された各検出線量とに基づいて、前記第１乃至第３状態での検出線量の変化率を示す第１検出線量変化率を算出する。
　前記第２算出手段は、前記算出された第１検出線量変化率に基づいて、前記各校正点における検出線量の変化率を示す第２検出線量変化率を算出する。
　前記読出手段は、前記記憶された複数の補正曲線のうち、前記算出された第２検出線量変化率を示す曲線に一致する又は近似する補正曲線を前記第１記憶手段から読出す。
　前記校正手段は、前記読出された補正曲線を用いて、前記各校正点における検出線量を補正した後に、当該補正した検出線量に基づいて、前記検量線を校正する。
一実施形態に係るＸ線厚さ計の構成例を示す模式図である。 同実施形態に係る演算装置内のメモリに予め記憶された情報の一例を示す模式図である。 同実施形態に係るＸ線厚さ計による検量線校正処理の一例を示すフローチャートである。 同実施形態に係るＸ線厚さ計による検量線校正処理の一例を示す模式図である。 同実施形態に係るＸ線厚さ計による検量線校正処理の一例を示す模式図である。
　　図１は、一実施形態に係るＸ線厚さ計の構成例を示す模式図である。Ｘ線厚さ計１は、図１に示すように、Ｘ線発生器１１、校正装置１２、校正板１３、Ｘ線検出器１４及び演算装置１５を備えている。まず、Ｘ線厚さ計１を構成する各装置１１乃至１５が有する機能について説明する。
　Ｘ線発生器１１は、所望の物体に対してＸ線ビームを照射する装置である。所望の物体としては、被測定物１６又は校正板１３などが挙げられる。被測定物１６は板厚を測定する物体、つまり、板厚が未知の物体である。校正板１３は検量線を作成するとき又は校正するときに用いる検出線量を測定するために用いられる物体であり、板厚が既知の物体である。
　校正装置１２は、通常１枚の校正板１３を内蔵しており、ユーザの操作に応じて、１枚の校正板１３をＸ線ビーム中に挿入する、又は校正板１３をＸ線ビーム中に挿入しないといった２つの状態のいずれかに設定可能な装置である
また、校正板１３は、１枚以上を備える構造であっても良い。
　なお、図１には図示されないが、校正装置１２内には、Ｘ線発生器１１から照射されるＸ線ビームを遮断可能なシャッタが内蔵されており、ユーザの操作に応じて、使用又は不使用を適宜設定可能である。このシャッタは、オフセット量を測定するために用いられるものである。
　なお、この被測定物１６の位置には、検出線量及び検量線を作成する場合の複数の厚さ校正点を設定する基準板が設定され、予め検出線量と検量線とがＸ線厚さ計１に記憶される。
　なお、校正装置１２に内蔵される校正板１３の厚さは、以下に示す２つの条件（Ａ），（Ｂ）を満たしている必要がある。
　　（Ａ）厚さ測定精度仕様が最も厳しい板厚付近の誤差をキャンセルできること。　　（Ｂ）補正曲線作成時の各板厚さ校正点における検出線量変化率の値が外乱条件毎に識別可能であること。以下、その理由を述べる。
　先ず、本発明の原理について説明する。本Ｘ線厚さ計の発明の原理は、Ｘ線厚さ計に含まれない外部に備える複数の厚さ校正点を設定する基準板により検出線量を求め、求めた検出線量からこの検量線を予め作成しておき、さらに、検出線量に変動を与える外乱によって検出線量が変化する検出線量変化率を、各校正点結ぶ補正曲線として求めておく。
　そして、校正時には、１枚の校正板を用いて、この校正板の初期状態、または前回の検出線量の変化率から今回の検出線量変化率を求め、予め求めておいた検出線量変化率(補正曲線)に一致または予め定める誤差内の近似した補正曲線を選択し、選択した補正曲線を用いて校正された検量線を作成するものである。
　即ち、外乱による検出線量の変化を１枚の校正板の検出線量変化率から求めて、予め求めておいた検量線の検出線量を補正する。
　したがって、１枚の校正板１３は、予め設定される外乱条件に対する変化率が検出可能（Ｂ）で、且つ、要求される厚さ測定精度（Ａ）を再現できる厚さの校正板としておく必要がある。
　Ｘ線検出器１４は、物体を透過したＸ線の量（以下、Ｘ線透過量と表記）を検出すると、当該検出したＸ線透過量に応じた検出線量を測定し、この検出線量を示す信号を演算装置１５に送出するものである。このＸ線検出器１４は電離箱と称されてもよく、上記検出線量は、Ｘ線検出器１４内に封入されたガスがＸ線によって電離されたときに生じる電流の値である。
　演算装置１５は、Ｘ線検出器１４から送出された信号の入力を受け付けると、当該入力を受け付けた信号により示される検出線量を用いて、予め作成された検量線を校正する検量線校正処理を実行するものである。なお、検量線校正処理の詳細については、図３のフローチャートの説明と共に後述するため、ここでは詳細な説明は省略する。
　また、演算装置１５には、検量線を作成するときに用いられた検出線量（以下、基準検出線量と表記）を示す情報を記憶するメモリが設けられている。更に、演算装置１５内のメモリには、図２に示すように、検出線量を変動させる外乱要因毎に、所望の厚みを定義する複数の校正点における検出線量の変化率を予め算出することで作成された補正曲線を示す情報も記憶されている。なお、この補正曲線は、テーブル化して置くことと良い。
　ここで、以上のように構成されたＸ線厚さ計による検量線校正処理の一例を、図２，４，５の模式図と、図３のフローチャートとを参照しながら説明する。また、演算装置１５内のメモリには、検量線を作成するときに用いられた基準検出線量を示す情報や、図２に示すような補正曲線を示す情報が予め記憶されており、Ｘ線厚さ計１（に含まれる演算装置１５）はこれら各種情報を適宜読出可能なものであるとする。
　図２において、縦軸は検出線量変化率（Ｄ値）を示し、ＤＣ＝Ｎｉは、上述したような外乱が値として識別された条件で設定されていることを示す。
　始めに、Ｘ線検出器１４は、Ｘ線発生器１１から照射されるＸ線ビーム中に被測定物１６及び校正板１３が共に挿入されていない第１状態でのＸ線透過量と、Ｘ線発生器１１から照射されるＸ線ビーム中に校正板１３が挿入された第２状態でのＸ線透過量と、Ｘ線発生器１１から照射されるＸ線ビームが校正装置１２内のシャッタによって遮断された第３状態でのＸ線透過量とを検出する（ステップＳ１）。
　続いて、Ｘ線検出器１４は、検出した第１状態でのＸ線透過量に応じた検出線量ＩＮ０と、検出した第２状態でのＸ線透過量に応じた検出線量ＩＮＣＬと、検出した第３状態でのＸ線透過量に応じた検出線量ＩＮＢとを測定し、これら検出線量ＩＮ０，ＩＮＣＬ，ＩＮＢを示す信号を演算装置１５に送出する（ステップＳ２）。なお、上記検出線量ＩＮＣＬのＬには、Ｘ線ビーム中に挿入された校正板１３の枚数、１が代入される。
　ただし、校正板の枚数は複数枚とすることも可能であるが、１枚であることが望ましい。
　次に、演算装置１５は、Ｘ線検出器１４から送出された信号の入力を受け付けると、当該入力を受け付けた信号がトリガとなって、検量線作成時に用いられ、且つ第１乃至第３状態でのＸ線透過量に応じた基準検出線量ＩＳ０，ＩＳＣＬ，ＩＳＢを示す情報をメモリから読出す（ステップＳ３）。なお、上記基準検出線量ＩＳＣＬのＬには、Ｘ線ビーム中に挿入された校正板１３の枚数１が代入される。
　　続いて、演算装置１５は、ステップＳ３において入力を受け付けた信号により示される検出線量ＩＮ０，ＩＮＣＬ，ＩＮＢと、ステップＳ３において読出した情報により示される基準検出線量ＩＳ０，ＩＳＣＬ，ＩＳＢと、以下に示す（１）及び（２）式とに基づいて、図４に示すような、第１検出線量変化率ΔｒＩ０，ΔｒＩＣＬを算出する（ステップＳ４）。
　なお、第１検出線量変化率ΔｒＩ０は、第１及び第３状態でのＸ線透過量に応じた検出線量の変化率を示し、第１検出線量変化率ΔｒＩＣＬは、第２及び第３状態でのＸ線透過量に応じた検出線量の変化率を示している。
　　ΔｒＩ０＝｛（ＩＮ０－ＩＮＢ）－（ＩＳ０－ＩＳＢ）｝／（ＩＳ０－ＩＳＢ）　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 …（１）
　　ΔｒＩＣＬ＝｛（ＩＮＣＬ－ＩＮＢ）－（ＩＳＣＬ－ＩＳＢ）｝／（ＩＳＣＬ－ＩＳＢ）
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 …（２）
　次に、演算装置１５は、ステップＳ４において算出した第１検出線量変化率ΔｒＩ０，ΔｒＩＣＬと、以下に示す（３）式とに基づいて、第２検出線量変化率Ｄを算出する（ステップＳ５）。なお、第２検出線量変化率Ｄは、各校正点における検出線量の変化率を示している。　なお、第１検出線量変化率ΔｒＩ０，ΔｒＩＣＬに、相当する値が、予め求めた補正曲線に存在しない場合には、第１検出線量変化率ΔｒＩ０，ΔｒＩＣＬと、第１検出線量変化率ΔｒＩ０，ΔｒＩＣＬの測定厚さでの対応する検出線量を前後の第２検出線量変化率Ｄから近似した補正曲線を算出する。
　　Ｄ＝ΔｒＩＣＬ／ΔｒＩ０　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　…（３）
　続いて、演算装置１５は、算出した第２検出線量変化率Ｄを示す曲線に一致した又は近似した補正曲線を示す情報をメモリから読出す（選択する）（ステップＳ６）。
　しかる後、演算装置１５は、ステップＳ６において読出した情報により示される補正曲線の各校正点ｍ～ｍ－２における検出線量の補正量（即ち、図５のΔＩｍ，ΔＩｍ－１，ΔＩｍ－２）を算出した後に、各校正点における校正後の検出線量（即ち、図５のＩ´ｍ，Ｉ´ｍ－１，Ｉ´ｍ－２）を算出する。そして、演算装置１５は、算出した検出線量と、各校正点の板厚とから、図５に示すような検量線を再作成する（ステップＳ７）。これにより、検量線は校正される。なお、上記した各校正点ｍにおける検出線量の補正量ΔＩｍは、以下に示す（４）式に基づいて算出される。
　　ΔＩｍ＝Ｄｍ×ΔｒＩ０×Ｉｍ　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　…（４）
　また、上記した各校正点における校正後の検出線量は、以下の（５）式に基づいて算出される。　
　　Ｉ´ｍ＝Ｉｍ＋ΔＩｍ　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　…（５）
Ｉ´ｍ－１，Ｉ´ｍ－２　も同様にして求めることが出来る。　以上説明した一実施形態によれば、検量線作成時に用いられた検出線量や補正曲線を記憶するメモリと、メモリに記憶された複数の補正曲線のうち、第２検出線量変化率Ｄを示す曲線に一致した又は近似した補正曲線を用いて検量線を校正する機能とを有した演算装置１５を備えたことにより、複数の基準板で多数の校正点で校正することなく、１枚の校正板により検量線の補正が可能な検量線校正機能を有するＸ線厚さ計を提供することができる。
　また、従来、被測定物と校正板１３の材質を同一又は近似したものとする必要があったが、本実施形態によれば、検量線校正処理時に各校正点における検出線量を実測するのではなく、１枚の校正板により検出線量の変化率を求め、予め作成された補正曲線を参照して、各校正点における検出線量を算出するので、被測定物と校正板の材質を同一又は近似したものとしなくてもよい。
　したがって、校正板はステンレス等の経年変化しにくい材料で作成することが可能である。　
　なお、本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
　１…Ｘ線厚さ計、１１…Ｘ線発生器、１２…校正装置、１３…校正板、１４…Ｘ線検出器、１５…演算装置。

Claims (3)

  1. 　被測定物にＸ線を照射して得られる検出線量及び検量線に基づいて、前記被測定物の板厚を測定し、且つ前記検量線を校正する検量線校正処理を実行可能なＸ線厚さ計であって、
    　前記Ｘ線厚さ計本体は、
    　前記検出線量を変動させる外乱要因毎に、所望の厚みを定義する複数の校正点における検出線量の変化率を示す複数の補正曲線を記憶する第１記憶手段と、
    　前記検量線作成時に用いられ、Ｘ線ビーム中に校正板が挿入されない第１状態での検出線量と、Ｘ線ビーム中に校正板が挿入された第２状態での検出線量と、Ｘ線を遮断した第３状態での検出線量とを記憶する第２記憶手段と、
    　前記検量線校正処理時に、前記第１乃至第３状態での検出線量を各々測定する測定手段と、
    　前記測定された各検出線量と、前記記憶された各検出線量とに基づいて、前記第１乃至第３状態での検出線量の変化率を示す第１検出線量変化率を算出する第１算出手段と、
    　前記算出された第１検出線量変化率に基づいて、前記各校正点における検出線量の変化率を示す第２検出線量変化率を算出する第２算出手段と、
    　前記記憶された複数の補正曲線のうち、前記算出された第２検出線量変化率を示す曲線に一致する又は近似する補正曲線を前記第１記憶手段から読出す読出手段と、
    　前記読出された補正曲線を用いて、前記各校正点における検出線量を補正した後に、当該補正した検出線量に基づいて、前記検量線を校正する校正手段と
    　を備えたことを特徴とするＸ線厚さ計。
  2. 　前記第２状態は、１枚の校正板が挿入された状態であることを特徴とする請求項１に記載のＸ線厚さ計。
  3. 　前記第２算出手段は、前記第１検出線量変化率に相当する値が前記補正曲線に存在しない場合、前記第１検出線量変化率と、前記第１検出線量変化率を挟む前後の補正曲線の値を用いて、前記各校正点の前記第２検出線量変化率を求めるようにしたことを特徴とする請求項１に記載のＸ線厚さ計。
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