WO2014010655A1 - ワークの表面を処理するための研磨粒子付き表面処理用シート - Google Patents

ワークの表面を処理するための研磨粒子付き表面処理用シート Download PDF

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WO2014010655A1
WO2014010655A1 PCT/JP2013/068928 JP2013068928W WO2014010655A1 WO 2014010655 A1 WO2014010655 A1 WO 2014010655A1 JP 2013068928 W JP2013068928 W JP 2013068928W WO 2014010655 A1 WO2014010655 A1 WO 2014010655A1
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abrasive particles
workpiece
sheet
surface treatment
base material
Prior art date
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PCT/JP2013/068928
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English (en)
French (fr)
Inventor
山崎　亨
真 海堀
剛直 重弘
俊彦 八木
Original Assignee
日本ミクロコーティング株式会社
東レ株式会社
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24D—TOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
    • B24D11/00—Constructional features of flexible abrasive materials; Special features in the manufacture of such materials
    • B24D11/02—Backings, e.g. foils, webs, mesh fabrics

Definitions

  • the present invention relates to a sheet for processing the surface of a workpiece such as a magnetic hard disk, a magnetic head, a semiconductor wafer, a liquid crystal panel, an optical lens, or the like. In particular, it removes unnecessary protrusions (burrs), scratches, foreign particles such as particles adhering to the surface of the workpiece, or contaminants floating on the surface of the workpiece, which are left on the surface of the workpiece that has been processed such as film formation.
  • the present invention also relates to a surface treatment sheet with abrasive particles for smoothing and flattening the surface of a workpiece with higher accuracy.
  • a magnetic recording medium 1 such as a magnetic hard disk shown in FIG. 1 includes a substrate 2 (made of glass or an aluminum alloy whose surface is Ni—P plated) formed into a disk having a predetermined size.
  • the base layer 3, the magnetic layer 4, the protective layer 5, and the lubricating layer 6 are formed on the substrate.
  • the manufacturing process of such a magnetic recording medium 1 is roughly divided into a substrate pretreatment process, a film forming process, and a post-treatment process. Specifically, each process includes each process as shown in FIG.
  • the substrate pretreatment process mainly includes i) substrate formation process, ii) rough polishing process, iii) inner and outer peripheral end face grinding process, iv) inner and outer peripheral end face polishing process, and v) surface finish polishing process.
  • high-precision mirror polishing is performed in the surface finishing polishing step v).
  • surface texture processing is further performed after the surface finishing step v), and the substrate surface is appropriately roughened along the circumferential direction.
  • the base layer 3 is formed on the surface of the substrate pretreated as described above by a thin film manufacturing apparatus, and viii) the magnetic layer 4 (perpendicular magnetic recording medium is soft when manufacturing a perpendicular magnetic recording medium).
  • This is a step of forming the recording magnetic layer
  • the post-processing step-I is composed of xi) burnishing process and xii) wiping process. Through these steps, the magnetic recording medium 1 is manufactured.
  • the xi) burnishing step xi) is performed by lightly polishing the surface of the formed substrate (for example, the lubricating layer 6), thereby removing fine abnormal protrusions (burrs) or fixed matters on the surface of the formed substrate.
  • This is a removal step (Patent Document 1: Japanese Patent Laid-Open No. 2001-66755).
  • the process may be performed by mixing fine alumina abrasive grains and a resin and applying a polishing tape (burnish tape) coated on the surface of the film base with a rubber contact roll or the like. This is done by pressing on.
  • the wiping treatment step xii) is a step for removing foreign matters such as particles and oil adhering to the surface of the substrate on which the film has been formed and oil, or dust and dirt floating on the surface after the burnishing treatment.
  • Patent Document 2 JP-A-10-106229, 3: JP-A-2009-299218, 4: JP-A-2010-97636.
  • a tape wiping tape
  • a knitted fabric that does not have an abrasive force substantially is used to remove contaminants and floating matters with low adhesion (not fixed) and to flatten and smooth the surface. (Wiping cloth) is used.
  • wiping processing step a may be performed (Patent Document 5: Japanese Patent Laid-Open No. 2008-135091).
  • the wiping process a is a process for previously wiping off relatively large foreign matters and deposits so as not to cause scratches or the like in the burnish process.
  • xi) burnishing process and xii) wiping process are performed.
  • the wiping process and the burnish process are performed in combination (multiple times).
  • the abrasive grains fixed to the polishing tape used fall off, or the surface of the abrasive grains is slightly crushed, so that the degranulated material and the crushed abrasive powder are removed from the surface of the workpiece.
  • the surface of the abrasive layer of the polishing tape was covered with a solid resin layer having a thickness in the range of 0.5 ⁇ m to 10 ⁇ m, and the surface of the resin layer was liquid.
  • Patent Document 6 Japanese Patent Laid-Open No. 2010-12530.
  • Patent Document 7 Japanese Patent No. 3598115.
  • the flocking sheet according to Patent Document 7 is for applying a fine and uniform texture to the surface of a hard disk substrate or the like, and thus is not suitable for a post-processing step (cleaning step).
  • An object of the present invention is to provide a surface treatment sheet with abrasive particles that can be removed and foreign matter and dirt adhering to and floating on the surface can be removed.
  • the surface of the workpiece is properly polished so as not to scrape too much to remove the adhering matter, and there is no degranulation of the abrasive particles. It aims at providing the sheet
  • Another object of the present invention is to perform a shortened and efficient post-treatment (cleaning) process by using the surface treatment sheet with abrasive particles as described above.
  • the surface treatment sheet with abrasive particles according to one embodiment of the present invention for achieving the above object is based on a woven fabric made of long fibers.
  • the coverage of the surface of either the warp or weft constituting the woven fabric is higher than that of the other, and at least the surface of the warp or weft has a high coverage on the surface.
  • Abrasive particles are fixed to the surfaces of a plurality of single yarns located in a portion of the base material in contact with the surface of the workpiece by a binder resin.
  • the plurality of single yarns include a single yarn having a recess formed on the surface, and the abrasive particles are fixed to at least the recess.
  • the surface treatment sheet with abrasive particles according to another aspect of the present invention is based on a knitted fabric composed of long fibers composed of a plurality of single yarns.
  • Abrasive particles are fixed to the surfaces of a plurality of single yarns located at portions of the base material that are in contact with the surface of the workpiece by a binder resin.
  • the plurality of single yarns includes a single yarn having a recess formed on the surface, and abrasive particles are fixed to at least the recess.
  • the knitted fabric (knit) may be composed of weft knitting (horizontal) or warp knitting (vertical knitting).
  • the recess is a polygon having a cross-sectional shape of a single yarn of three or more vertices, or a multi-leaf shape having three or more protrusions, and between each vertex of the polygon or each of the multi-leaf shapes. It may be formed by recessing between the protrusions.
  • the plurality of single yarns constituting the long fiber includes a modified cross-section fiber whose cross-sectional shape is not circular.
  • the cross-sectional shape may be 3 to 10 leaves, and may be a star or the like.
  • the abrasive particles are fixed to the recesses formed on the surface of such a single yarn. This is because the adhesion strength of the abrasive particles is increased, and the abrasive particles can be allowed to act so as not to cause fine scratches on the surface of the workpiece while preventing the particles from falling off.
  • the concave portions may be formed continuously along the longitudinal direction of the single yarn by having the single yarn having a predetermined cross-sectional shape. Moreover, a recessed part may be regularly formed surrounding the periphery of the longitudinal axis of a single yarn. Alternatively, the recesses may be irregularly formed around the longitudinal axis.
  • the abrasive particles may be fixed only to the recesses, may be mainly fixed to the recesses, or may be fixed to the entire surface of the single yarn including the recesses.
  • the surface treatment sheet according to the present invention is characterized in that each of the plurality of single yarns to which the abrasive particles are fixed is not fixed to each other and can move independently. By doing so, the surface of the sheet in contact with the workpiece has sufficient cushioning properties, and scratches or the like are not formed on the surface of the workpiece.
  • the single yarn fineness of the plurality of single yarns is preferably in the range of 0.01 dtex or more and 4.5 dtex or less.
  • the average particle size of the abrasive particles is preferably 10 ⁇ m or less.
  • the single yarn fiber diameter of the plurality of single yarns is preferably in the range of 1 ⁇ m or more and 20 ⁇ m or less.
  • the fiber diameter is an average diameter (circle-converted diameter) of a circle whose cross-sectional area is converted to the same circle when the cross-sectional shape is not circular (an irregular shape such as a triangle or a star).
  • the abrasive particles are made of an inorganic material, an organic material, or a mixture of an inorganic material and an organic material, and have an average particle size of 10 ⁇ m or less and preferably 1/2 or less of the single yarn fiber diameter.
  • the coverage of the warp or weft on the surface of the woven fabric serving as the substrate is 70% or more, and when the surface of the workpiece is treated, the surface of the substrate in contact with the surface of the workpiece
  • the portion is configured to be either one of the warp and the weft having a high coverage.
  • the structure of the woven fabric is a Mihara structure (plain weave, satin weave, or weft weave), and it is particularly preferable that weaved weave or satin weave.
  • the part of the base material that contacts the surface of the workpiece is composed of an array of warps or wefts, so that it has an appropriate cushioning property and acts uniformly on the surface of the workpiece to effectively prevent protrusions and deposits. Can be removed and wiped off.
  • the surface treatment sheet with abrasive particles according to the present invention has a structure in which abrasive particles are attached to the surface of each fine single yarn located in a portion in contact with the surface of the workpiece of the base material by a binder resin. It has become. Since the single yarns to which the abrasive particles are fixed are not fixed to each other, the sheet has a cushioning property, and the surface of the workpiece is not scraped excessively or without forming a scratch on the surface of the workpiece. Can be cleaned with high precision.
  • the woven or knitted fabric used for the base material is composed of long fibers, the single yarn fiber waste constituting the part of the base material that contacts the workpiece does not fall off and contaminate the surface of the workpiece. Further, the shape of the surface of the plurality of single yarns in contact with the surface of the work can elastically contact the surface of the work while holding the abrasive particles stably. Occurrence of scratches due to falling off or crushing of abrasive particles is prevented, and highly accurate post-processing can be performed.
  • the post-treatment process can be efficiently performed by carrying out the surface treatment sheet with abrasive particles according to the present invention.
  • the surface of a workpiece such as a magnetic recording medium can be flattened and cleaned with high accuracy by a single post-processing step using the sheet according to the present invention, and high density recording as designed can be realized. Further, it is possible to shorten the conventional process of performing the burnish process and / or the wiping process a plurality of times, improve the yield, and improve the reliability of the product.
  • FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a magnetic recording medium.
  • FIG. 2 is a diagram showing a manufacturing process of the magnetic recording medium.
  • FIG. 3 is a diagram showing another example of the post-processing step in the manufacturing process of the magnetic recording medium.
  • FIG. 4 is (a) a plan view, (b) a structure diagram, and (c) a WW cross-sectional view of one embodiment of a fabric used for the base material of the sheet of the present invention.
  • FIG. 5 is an SEM photograph of the surface of the fabric of one embodiment used for the base material of the sheet of the present invention.
  • FIG. 6 shows (a) an enlarged SEM photograph of the XX section in FIG. 5 and (b) an enlarged SEM photograph of the YY section in FIG.
  • FIG. 7 (a) is a figure which shows typically one aspect of the several single yarn which comprises the weft of the textile fabric based on this invention, and FIG.7 (b) shows typically one aspect of a single yarn.
  • FIG. FIGS. 8A and 8B are enlarged SEM photographs of 2000 times (left) and 5000 times (right) of the portion of the surface treatment sheet with abrasive particles according to the present invention that is in contact with the surface of the workpiece.
  • FIG. 9 is a view schematically showing a double-sided cleaning device that performs a post-processing step using the surface treatment sheet with abrasive particles according to the present invention.
  • FIG. 10 is a diagram schematically showing a gravure coating apparatus used for manufacturing the surface treatment sheet with abrasive particles according to the present invention.
  • Fabrics used in the base material of the substrate present invention is formed by intersecting vertically arranged the warp and weft yarns consisting of long fibers at right angles.
  • the knitted fabric is formed by repeatedly forming a loop by making a loop with long fibers and passing a thread through the loop.
  • the woven fabric used for the base material of the present invention has a structure in which warps and wefts are arranged.
  • the structure may be a Mihara structure, that is, plain weave (plain), oblique weave (twill, twill), satin weave, and preferably weave or satin weave.
  • the texture of the oblique weave is a structure in which two or more warps or wefts are arranged to intersect with the wefts or warps, and has a characteristic that wrinkles appear in an oblique direction.
  • satin weaving the points where the warp and weft intersect (intersection points, structure points) are arranged away from each other. Either warp or weft appears on the surface for a long time, and the structure points are almost on the surface. It does not appear.
  • the woven fabric according to the present invention preferably has a higher coverage ratio on one surface of warp or weft (ratio of the warp or weft appearing on the surface with respect to the fabric area when the woven fabric is viewed in a plane) than the other. (70% or more, 80% or more, 90% or more, etc., any value between 70% and 100%). Moreover, it is preferable that the arrangement
  • the structure of the woven fabric according to the present invention is not limited to the three-primary structure having the above-described characteristics, and may be a changed structure obtained by changing the three-dimensional structure, or a mixed structure obtained by mixing these.
  • FIG. 4 (a) to 4 (c) show one embodiment of the fabric 10 used for the base material of the surface treatment sheet with abrasive particles according to the present invention.
  • the woven fabric 10 has a weft 12 that floats and appears on the surface, and has a twill texture as shown in FIG. 4 (b).
  • the weft 12 swells in the thickness direction rather than the warp 11.
  • the types of single yarns constituting the warp 11 and the weft 12 may be the same or different.
  • FIG. 5 shows a scanning electron microscope (SEM) photograph of the surface of the fabric 10.
  • SEM scanning electron microscope
  • FIGS. 6 (a) and 6 (b) show enlarged SEM photographs of the cross section of the fabric 10.
  • the weft 12 swells to the surface side of the warp 11 in both the XX and YY sections. .
  • Each of the warp 11 and the weft 12 is composed of a plurality of single yarns. In this way, the weft 12 is floated for a long time on the surface of the fabric, and the warp 12 is composed of a plurality of single yarns, so the fabric 10 has cushioning properties (elasticity).
  • the portion of the woven fabric 10 consisting of the wefts 12 (the portion located on the surface side from the warp yarn 11 at the texture point) is elastically in contact with the surface of the workpiece and is suitable for surface treatment. Demonstrate the effect.
  • the total fineness (dtex) of the wefts 12 constituting the fabric 10 is 2 to 10 times the total fineness (dtex) of the warp 11 It is preferable to make it.
  • the surface of the textile 10 can be made into a state with substantially no gap by the arrangement of the wefts 12.
  • Such a portion of the fabric 10 in contact with the workpiece surface can hold the abrasive particles uniformly and cause the workpiece to act uniformly.
  • the warp yarn 11 and the weft yarn 12 can be interchanged.
  • the weft 12 includes a single yarn 13a having a concave portion formed on the surface.
  • the single yarn 13a is a modified cross-section fiber having a non-circular cross-sectional shape, and may be composed of a split fiber of a composite fiber.
  • the cross-sectional shape of the single yarn 13a is not limited to this, but may be a star shape having an arbitrary number of vertices as shown in FIG.
  • the single yarn fineness of the single yarn included in the weft 12 is preferably in the range of 0.01 dtex or more and 4.5 dtex or less.
  • the single yarn fiber diameter is preferably 50 ⁇ m or less, preferably 1 ⁇ m or more and 20 ⁇ m or less.
  • the single yarn fiber diameter is less than 1 ⁇ m, it is difficult to fix the abrasive particles to the surface of a sufficient single yarn, and the abrasive particles are likely to fall off. As a result, scratches may occur on the surface of the workpiece due to the deagglomerated abrasive particles.
  • the single yarn fiber diameter exceeds 50 ⁇ m, the rigidity of the woven fabric sheet is increased and the cushioning property is lowered, and the surface of the woven fabric sheet may not be uniformly contacted with the surface of the workpiece, resulting in uneven cleaning. is there.
  • the single yarn fineness (fiber diameter) within the above range, contaminants on the surface of the workpiece can be removed with high accuracy.
  • the single yarn for example, a synthetic fiber such as a polyester fiber, a polyamide resin (nylon), or a polypropylene fiber may be used.
  • the weft 12 constituting the fabric 10 may be composed of one type of single yarn (for example, 13a), or may be composed of a plurality of types of single yarn (for example, 13a, 13b, etc.).
  • the thickness of the fabric 10 is generally in the range of 50 ⁇ m to 550 ⁇ m.
  • the surface treatment sheet with abrasive particles of the present invention has abrasive particles on the surface of each single yarn (one, one) located on the surface of the fabric 10 as a substrate that is in contact with the workpiece surface. It is characterized by being fixed by.
  • FIG. 8 shows an enlarged SEM photograph of the surface treatment sheet according to the present invention in which abrasive particles are fixed to each of the single yarns located in contact with the surface of the workpiece of the base material with a binder resin.
  • FIG. 8A shows an alumina (Al 2 O 3 ) abrasive particle fixed. The abrasive particles are crushed particles, and are dispersed and fixed over the entire surface including the concave portion of the single yarn.
  • FIG. 8B is a diagram in which abrasive particles of silica (SiO 2 ) are fixed.
  • the abrasive particles are precipitated grains (crystal growth grains), and each abrasive particle has a (true) spherical shape.
  • the abrasive particles are fixed mainly to the recesses on the surface of the single yarn.
  • abrasive particles particles made of an inorganic material can be used.
  • silicon carbide (SiC), diamond, cubic boron nitride (cBN) and the like can be used in addition to the above-mentioned alumina (Al 2 O 3 ) and silica (SiO 2 ).
  • These inorganic particles may be crushed particles or precipitated particles, and may or may not have a spherical shape. By using such abrasive particles, a sheet having an abrasive power suitable for burnishing can be obtained.
  • abrasive particles particles made of an organic material may be used.
  • abrasive particles may be made of, for example, polystyrene, polymethyl methacrylate, and the like.
  • the abrasive particles may be composed of an arbitrary mixture of an inorganic material and an organic material.
  • the average particle size of the abrasive particles is preferably 10 ⁇ m or less, and preferably 0.05 ⁇ m or more and 5.0 ⁇ m or less. If the thickness exceeds 10 ⁇ m, the polishing action becomes strong, which causes scratches and scratches, which is not preferable. On the other hand, if the particle size is too large, the fixing strength of the abrasive particles to the surface of the fine single yarn having the fineness (fiber diameter) described above becomes weak, which is not preferable because it causes degranulation. Increasing the amount of the binder resin to increase the fixing strength is not preferable because the cushioning property of the surface of the sheet is lowered.
  • the portion of the sheet that acts on the workpiece surface has sufficient cushioning properties and is suitable for the post-processing step.
  • Sheet By making the average particle size of the abrasive particles 10 ⁇ m or less (preferably 0.05 ⁇ m or more and 5.0 ⁇ m or less), the portion of the sheet that acts on the workpiece surface has sufficient cushioning properties and is suitable for the post-processing step. Sheet.
  • the material, shape, and the like of the above abrasive particles can be selected depending on the material of the workpiece that is the object to be processed, the contamination state of the surface, and the like. By selecting the material, shape, and the like of the abrasive particles, a desired action can be selectively strengthened or weakened among the burnish action and the wiping action.
  • undulations are formed by the shape and texture (texture point) of the single yarn.
  • This wave also provides cushioning suitable for cleaning to the sheet, and is effective for wiping away particles and the like by removing the protrusions by causing the abrasive particles fixed to each single yarn to act appropriately on the surface of the workpiece. is there. That is, the portion of the cushioning sheet that contacts the workpiece surface acts on the workpiece surface with an appropriate (weak) polishing force, and protrusions and deposits can be removed without forming scratches.
  • the base material consists of a woven or knitted fabric composed of long fibers, and the surface is impregnated with a binder resin, so there is no loss of fiber waste or abrasive particles, and there is no contamination of the workpiece derived from the sheet. Cleaning process can be performed.
  • the surface treated sheet with abrasive particles according to the present invention is coated with a coating made of abrasive particles and a binder resin on the surface of a woven or knitted fabric as a substrate, dried and wound on a reel. It is manufactured by cutting into a predetermined size. A specific manufacturing method will be described below using a fabric as an example.
  • a woven fabric for example, a thickness of 50 ⁇ m to 550 ⁇ m, a width of 500 mm, and a length of 600 m.
  • the structure of the woven fabric, the warp, the type of single yarn constituting the weft, and the like can be appropriately selected.
  • Abrasive particles include (spherical) inorganic particles, such as alumina, silicon carbide, silicon dioxide (silica), zirconia, diamond or cubic boron nitride, acrylic resins, epoxy resins, polyethylene resins, polyurethane-based particles (Spherical) organic particles made of a resin or the like, or (spherical) mixed particles of an inorganic substance and an organic substance can be used.
  • the average particle size of the abrasive particles is in the range of 0.05 ⁇ m or more and 10 ⁇ m or less.
  • the binder resin for fixing the abrasive particles to the surface of the single yarn one or more resins selected from polyester resin, polyurethane resin, copolymer vinyl resin, epoxy resin, phenol resin, etc. are used as a solvent. The dissolved one is used.
  • the solvent toluene, methyl ethyl ketone, xylene, ethyl acetate, cyclohexanone, acetone, alcohol or the like can be used.
  • An isocyanate-based curing agent is added to this.
  • a paint is produced by mixing abrasive particles and a binder resin.
  • the viscosity of the paint is preferably in the range of 50 cp to 300 cp.
  • the paint falls from the surface of the base material to the lower layer side, and a sufficient amount of abrasive particles cannot be fixed on the surface of the single yarn located at the portion in contact with the work. Since the abrasive particles cannot sufficiently act on the surface, the adhered foreign matter or the like cannot be sufficiently removed.
  • the viscosity of the paint exceeds 300 cp, the paint stagnates on the upper surface of the base material, and the layer in which the binder resin and abrasive particles are fixed to the part in contact with the surface of the work so that the adjacent single yarns are fixed to each other. As a result, the cushioning property of the surface portion of the seat is lowered, which causes a scratch on the surface of the workpiece.
  • the solid content blending ratio (weight ratio) in the paint is preferably in the range of 30% by weight to 90% by weight of abrasive particles.
  • weight ratio weight ratio of abrasive particles.
  • the proportion of abrasive particles is less than 30% by weight, the blending ratio of the binder resin and the like increases, and the area where the adjacent fine single yarns adhere to each other at the surface portion acting on the surface of the workpiece of the sheet increases. Therefore, it is not preferable.
  • the proportion of the abrasive particles exceeds 90% by weight, the amount of particles that are not sufficiently bonded to the binder resin increases, and the abrasive particles are separated during cleaning, which causes an increase in scratches. Table 1 below shows the composition of the paint.
  • a resin solution prepared by dissolving 30 wt% to 90 wt% of abrasive particles made of alumina (Al 2 O 3 ), silica (SiO 2 ), etc., in a mixed solvent of toluene, methyl ethyl ketone and ethyl acetate.
  • a paint having a viscosity adjusted in the range of 50 cp to 300 cp is manufactured.
  • Gravure coating is a method in which a gravure roller is coated with a paint in which abrasive particles are dispersed, and this is transferred to the surface of a substrate wound around a backup roller. The base material coated with the paint is dried and wound on a reel to obtain an original sheet of a surface treatment sheet with abrasive particles.
  • FIG. 10 schematically shows a gravure coating apparatus 30 for producing a sheet for surface treatment according to the present invention.
  • the gravure coating apparatus 30 includes a gravure roller 31 and a backup roller 32 disposed in proximity to the gravure roller 31.
  • the raw material B of the base material is disposed on the backup roller 32 with the surface to which the paint is applied facing outward, and is curved in a substantially U-shape as the backup roller 32 rotates in the circumferential direction R2 (counterclockwise). Drive in the R direction.
  • the gravure roller 31 is partially immersed in a paint 33 in which abrasive particles and a binder resin are kneaded and rotated in the direction R1 (clockwise).
  • the paint 33 ′ adhering to the gravure roller 31 is adjusted to a predetermined amount of paint 33 ′′ by the doctor blade 34.
  • a coating material 33 ′′ is applied to the surface of the original fabric B as the original fabric B of the base material is conveyed in the R direction, and abrasive particles adhere to the surface of each single yarn.
  • the thickness of the coating material to be applied may be adjusted by the distance between the gravure roller 31 and the backup roller 32.
  • the base material coated with the coating material is solidified with a resin binder through a drying furnace, and the abrasive particles are fixed to each surface of the single yarn located at the portion acting on the surface of the workpiece. This is wound up on a reel to obtain the raw sheet of the surface treatment sheet with abrasive particles according to the present invention.
  • the raw sheet of the surface treatment sheet may be cut into a predetermined length and width according to the application and used as a cleaning tape.
  • the width of the cleaning tape may vary depending on the diameter of the magnetic hard disk or the structure of the cleaning device when the work to be processed is a magnetic hard disk.
  • the raw sheet of the surface treatment sheet may be cut into a width of 6.3 mm, 12.6 mm, 38 mm, etc., and the length may be a unit of 10 to 20 m.
  • the post-processing (cleaning) process Figure 9 using the sheet of the present invention the double-sided cleaning device 20 (Patent Document 8: JP 2001-162504) to clean both sides of the disk-shaped workpiece W such as a magnetic hard disk simultaneously schematic Has been shown.
  • cleaning tapes T and T ′ (broken lines) with abrasive particles obtained by cutting the original fabric manufactured as described above into a predetermined width (for example, 12.6 mm) are used.
  • the double-sided cleaning device 20 includes a cleaning head 22 for cleaning both sides of the disk-shaped workpiece W, and means (not shown) for reciprocating the cleaning head 22 in the direction of arrow X.
  • the cleaning head 22 has a pair of arms 23, 23 arranged to face each other, and elastic backings (elastic pads) 24, 24 made of rubber or the like are opposed to each other at the tips of the arms 23, 23. It is fixed.
  • Cleaning of both surfaces (surface A, surface B) of the workpiece W is performed by rotating the workpiece W attached to the spindle 21 and feeding the cleaning tapes T and T ′ onto the backings 24 and 24, and applying the pressurizing means 25 and 25.
  • the cleaning head 22 is reciprocated along the radial direction of the workpiece W (the direction indicated by the arrow X) while driving and pressing the cleaning tapes T and T ′ against both surfaces A and B of the workpiece W via the backings 24 and 24. Is done.
  • the cleaning tapes T and T ′ may be sent out continuously or intermittently, and may be stopped (that is, the cleaning tapes T and T ′ are not sent out during the cleaning).
  • the surface treatment sheet with abrasive particles (cleaning tape with abrasive particles) of the present invention may be implemented by other cleaning devices and cleaning methods.
  • the raw material of the surface treatment sheet with abrasive particles may be cut into a desired shape and used as a cleaning pad with abrasive particles. After affixing the cleaning pad to the surface of the surface plate, supplying the cleaning liquid to the surface of the cleaning pad while rotating the surface plate, and pressing the surface of the work against the surface of the cleaning pad, the surface finish of the work surface Alternatively, processing such as cleaning can be performed.
  • Example 1 A cleaning sheet with abrasive particles of Example 1 was produced. Twill fabric (manufactured by Toray Industries, Inc., # 14185, see FIGS. 5 and 6) was used as the substrate.
  • the long fibers constituting the woven fabric have a triangular cross-section polyester fiber having a single yarn fineness of about 0.12 dtex (single yarn fiber diameter: about 4 ⁇ m), and a single yarn fineness of about 0.55 dtex (single yarn fiber diameter: It was made of a nylon fiber having a star-shaped cross section with a diameter of about 136 / inch and a horizontal density of about 170 / inch. The thickness of the fabric was about 300 ⁇ m.
  • Al 2 O 3 As the abrasive particles, Al 2 O 3 (AWA # 10000) and an average particle diameter of 0.5 ⁇ m are used, and this is used as a binder (binder) resin A (Toyobo Co., Ltd., Byron 10SS (solution)), a binder. (Binder) Resin B (manufactured by Toyobo Co., Ltd., Byron GK680 (solution)), organic solvent (commercially available methyl ethyl ketone, toluene, ethyl acetate), and curing agent (Dainippon Ink & Chemicals, Vernock D750) A coating solution (paint) was produced by mixing with. Table 2 shows the blending amount of the paint and the solid content blending ratio.
  • the binder resin A and the binder resin B are weighed, an organic solvent is added to the tank, and while stirring, alumina abrasive particles are added and stirred for about 30 minutes, whereby a mixed solution containing alumina particles is obtained. manufactured.
  • the alumina particles were sufficiently dispersed in the mixed solution using a disperser, and then filtered using a filter to remove foreign matters from the mixed solution.
  • a curing agent was added, and an organic solvent was further added until a predetermined concentration was obtained, whereby a coating solution was produced.
  • the viscosity of the paint thus produced was about 190 cp.
  • the blending ratio of the abrasive particles to the solid binder resin was 76% by weight.
  • the above paint was applied to the surface of the woven fabric.
  • Application of the paint was performed by the gravure coating described above with reference to FIG.
  • the coating solution applied to the surface of the woven fabric was dried at 100 ° C. through a drying furnace to solidify the coating solution, and the alumina abrasive particles were fixed to the single fibers on the surface of the woven fabric. Finally, it was cut into a predetermined width and length, and the cleaning sheet with abrasive particles of Example 1 was manufactured.
  • FIG. 8A is a SEM photograph of the sheet of Example 1.
  • FIG. Alumina particles are fixed to the entire surface including the recesses for each single yarn.
  • Example 2 A cleaning sheet with abrasive particles of Example 2 was produced.
  • the cleaning sheet with abrasive particles of Example 2 spherical silica particles having an average particle diameter of 1.0 ⁇ m were used as abrasive particles.
  • the coating material was manufactured by using the same material as in Example 1 and changing the blending ratio as shown in Table 3 below. Other conditions were the same as in Example 1.
  • FIG. 8B is a SEM photograph of the sheet of Example 2. True spherical silica particles are mainly fixed to the recesses on each of the surfaces of the single yarn.
  • Comparative Example 1 As the cleaning sheet of Comparative Example 1, the same fabric as in Example 1 was used, and the cleaning sheet was used as it was without applying a coating containing abrasive particles.
  • Comparative Example 2 As a cleaning sheet of Comparative Example 2, a flocked sheet with abrasive particles was produced. In the flocked sheet with abrasive particles of Comparative Example 2, a large number of fibers made of polyester having an average fiber diameter of 10 ⁇ m and an average length of 500 ⁇ m (500 ⁇ m ⁇ 100 ⁇ m) are planted on a PET substrate sheet having a thickness of 50 ⁇ m. 1 was prepared by applying the same paint using the same application method.
  • Cleaning test Cut the cleaning sheets of Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 and 2 into cleaning tapes, and use them to clean both sides of the magnetic hard disk and examine the surface condition before and after cleaning. A cleaning test was conducted.
  • the magnetic hard disk used for the cleaning test had a 2.5-inch glass substrate mirror-polished, and then a ground layer, a magnetic layer, a protective layer, and a lubricating layer were formed on the mirror-polished surface.
  • One test hard disk was prepared for each of Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 and 2.
  • a cleaning test on both sides (A side and B side) of the test hard disk was performed using the double side cleaning device described above with reference to FIG. The cleaning conditions were as shown in Table 4 below.
  • the number of foreign matters (particles), protrusions and scratches existing on the surface of the test hard disk before and after cleaning, and how the surface roughness (Ra, Rmax) changed were tested.
  • the number of foreign objects (particles) and protrusions and the number of scratches are determined by irradiating the surface of a test hard disk rotating at 5000 rpm in a radial direction using an optical surface analyzer (OSA5100, manufactured by Candela Instruments). It was measured.
  • the average surface roughness (Ra) and the maximum height (Rmax: maximum value of the height difference between the protrusion and the valley) were measured using a white light microscope (Zygo, New View 5020) on the surface of the test hard disk. It was measured in an arbitrary range of 0.87 mm x 0.87 mm.
  • the cleaning sheets (tapes) of Examples 1 and 2 according to the present invention have a highly flat hard disk surface (for example, the average surface roughness after cleaning is 0). .4 nm) particles and protrusions can be removed, and it has both high-precision burnish action and wiping action.
  • the cleaning sheet (tape) of Comparative Example 1 did not have abrasive particles, as shown in Table 7, the protrusions and deposits could not be removed sufficiently. Further, the cleaning sheet (tape) of Comparative Example 2 decreased the maximum height (Rmax), but increased scratches, and thus was not suitable for the cleaning process (burnishing process, wiping process).

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Abstract

ワークの表面についてバーニッシュ処理とワイピング処理を効率的に行うことができる表面処理用シートを提供する。ワークの表面を処理するための研磨粒子付き表面処理用シートであって、複数の単糸を含む、長繊維から成る織編物から成る基材と、該基材のワークの表面に接する部分に位置する複数の単糸の表面にバインダー樹脂により固着された研磨粒子と、を含み、複数の単糸が、表面に凹部が形成されて成る単糸を含み、研磨粒子が少なくとも凹部に固着されている、表面処理用シート。

Description

ワークの表面を処理するための研磨粒子付き表面処理用シート
　本発明は、磁気ハードディスク、磁気ヘッド、半導体ウエハ、液晶パネル、光学レンズ等のワークの表面を処理するためのシートに関する。特に、成膜等の加工が施されたワークの表面に残る不要な突起（バリ）、スクラッチ、ワークの表面に付着しているパーティクル等の異物、又はワークの表面に浮遊する汚染物等を除去して、ワークの表面をより高精度に平滑・平坦化しクリーニングするための研磨粒子付き表面処理用シートに関する。
　コンピュータ、テレビジョン、カメラ、電話等の機器には常に、より高い性能が要求される。すなわち、音声、画像等の記録容量を増大し、画面（液晶パネル）、レンズ等の平滑性、清浄性を向上することにより、より高い性能を実現することが要求される。このような機器を、設計段階で予定される性能を発揮するよう製造するためには、機器を構成する各部品を設計どおりに高精度に製造することが重要である。
　例えば、図１に示されている磁気ハードディスク等の磁気記録媒体１は、所定の寸法の円板に成形された基板２（ガラス製、又は表面にＮｉ－Ｐめっき処理を施されたアルミニウム合金製）の上に、下地層３、磁性層４、保護層５、潤滑層６を形成されて製造される。このような磁気記録媒体１の製造工程は、大別して基板前処理工程、成膜工程、及び後処理工程から成る。各々の工程は具体的には、図２に示されているような各工程から成る。
　基板前処理工程は主に、ｉ）基板形成工程、ｉｉ）粗研磨工程、ｉｉｉ）内外周端面研削工程、ｉｖ）内外周端面研磨工程、ｖ）表面仕上げ研磨工程から成る。垂直磁気記録媒体を製造する場合は、ｖ）の表面仕上げ研磨工程において、高精度の鏡面研磨仕上げが行われる。面内磁気記録媒体を製造する場合は、ｖ）の表面仕上げ工程の後、さらに、ｖｉ）表面テクスチャー加工が施され、基板表面が円周方向に沿って適度に粗面化される。
　成膜工程は、上記のように前処理された基板の表面に、薄膜製造装置によって、ｖｉｉ）下地層３を形成し、順次、ｖｉｉｉ）磁性層４（垂直磁気記録媒体を製造する場合は軟磁性層の上に記録磁性層）、ｉｘ）保護層５、及びｘ）潤滑層６を形成する工程である。
　さらに、成膜された基板の表面をクリーニングするための後処理が施される。図２に示されているように、後処理工程－Ｉは、ｘｉ）バーニッシュ処理工程と、ｘｉｉ）ワイピング処理工程とから成る。これらの工程を経て、磁気記録媒体１が製造される。
　ｘｉ）のバーニッシュ処理工程は、成膜された基板の表面（例えば、潤滑層６）を軽く研磨することにより、成膜された基板の表面の微細な異常突起（バリ）や固着物等を除去する工程である（特許文献１：特開２００１－６７６５５公報）。該工程は、例えば、微細なアルミナ砥粒等と樹脂とを混合してフィルム基材の表面に塗布した研磨テープ（バーニッシュテープ）を、ゴム製のコンタクトロール等によって成膜された基板の表面に押し当てることにより行われる。
　ｘｉｉ）のワイピング処理工程は、バーニッシュ処理を経た後、成膜された基板の表面に付着しているパーティクルなどの異物及び油分、又は表面を浮遊する塵や汚れ等を除去するための工程である（特許文献２：特開平１０－１０６２２９号公報、３：特開２００９－２９９２１８公報、４：特開２０１０－９７６３６公報）。該工程では、付着度合いの低い（固着していない）汚染物や浮遊物を除去して表面を平坦・平滑化するために、実質的に研磨力を有さないテープ（ワイピングテープ）や編織物（ワイピングクロス）が使用される。
　上記のようなバーニッシュ処理工程において、成膜工程で生じたパーティクル等の異物が、テープに付着しワーク（処理対象物）の表面との間に噛み込まれ、あるいは表面を移動してワークの表面を傷つけることがあった。このため、図３の後処理工程－ＩＩのように、ｖｉ－ａ）ワイピング処理工程ａが行われることがあった（特許文献５：特開２００８－１３５０９１公報）。ワイピング処理工程ａは、バーニッシュ処理工程でスクラッチ等が生ずることがないよう比較的大きな異物や付着物を予め拭い取るための工程である。該工程の後に改めて、ｘｉ）バーニッシュ処理工程、ｘｉｉ）ワイピング処理工程が行われる。このように従来、ワイピング処理工程及びバーニッシュ処理工程が（複数回）組み合わせて行われた。
　また、バーニッシュ処理工程において、使用される研磨テープに固着された砥粒が脱落し、又は砥粒の表面がわずかに破砕されることにより、その脱粒物や破砕した砥粒粉がワークの表面に付着しワークを汚染することがあったため、従来、研磨テープの砥粒層の表面を厚さが０．５μｍ～１０μｍの範囲内の固体の樹脂層で被覆し、該樹脂層の表面を液体の潤滑層で覆った研磨テープが提案された（特許文献６：特開２０１０－１２５３０公報）。
　あるいは、磁気記録媒体等のワークの表面を機械的に研磨処理するための研磨テープとして、基体表面に非導電性材料からなる砥粒付きの多数の研磨毛が設けられたテープが提案された（特許文献７：特許第３５９８１１５号公報）。
特開２００１－６７６５５公報 特開平１０－１０６２２９号公報 特開２００９－２９９２１８公報 特開２０１０－９７６３６公報 特開２００８－１３５０９１公報 特開２０１０－１２５３０公報 特許第３５９８１１５号公報 特開２００１－１６２５０４公報
　上記したように、バーニッシュ処理工程でスクラッチ等を生ずることがないよう複数回のワイピング処理工程及びバーニッシュ処理工程を組み合わせる等する場合、工程数が増加し製造コストが高くなるという問題があった。
　また、バーニッシュ処理工程において、砥粒層が樹脂等により被覆された従来の研磨テープを使用した場合、脱粒等による磁気記録媒体の表面の汚染は抑制されても、成膜工程で生じた突起や固着物等を、高密度記録のために要求される高い加工精度で除去することは困難であった。
　研磨テープとして特許文献７に係る植毛シートを使用した場合、研磨粒子が植毛先端に固定されているため、植毛先端が歯ブラシのようにワークの表面に接触し、スクラッチを発生させるという問題があった。上記特許文献７に係る植毛シートは、ハードディスク基板等の表面に微細且つ均一なテクスチャー加工を施すためのものであるため、後処理工程（クリーニング工程）には適さなかった。
　本発明は、上記問題に鑑み、成膜された基板等のワークの表面に新たに微細な傷等を生じさせることなく、ワークの表面に形成されている不要な突起や固着物を高精度に除去し、且つ表面に付着、浮遊している異物や汚れを除去することができる研磨粒子付き表面処理用シートを提供することを目的とする。すなわち、ワークの表面を削り過ぎないよう適度に研磨して固着物を除去しながら研磨粒子の脱粒等がなく、さらに付着物や浮遊物を払拭することができる、バーニッシュ作用とワイピング作用とを兼ね備えた研磨粒子付きシートを提供することを目的とする。
　また、上記のような研磨粒子付き表面処理用シートを使用することにより、短縮された効率的な後処理（クリーニング）工程を行うことを目的とする。
　上記の目的を達成するための本発明のひとつの態様に係る研磨粒子付き表面処理用シートは、長繊維から成る織物を基材とする。該織物を構成する経糸、緯糸のいずれか一方の織物の表面における被覆率が他方よりも高く、少なくとも経糸、緯糸のうちの表面における被覆率が高い経糸又は緯糸を構成する長繊維が複数の単糸から成る。基材のワークの表面に接する部分に位置する複数の単糸の表面に、バインダー樹脂により研磨粒子が固着される。複数の単糸は、表面に凹部が形成されて成る単糸を含み、研磨粒子が少なくとも凹部に固着される。このような構成とすることにより、バーニッシュ作用とワイピング作用とを兼ね備えた表面処理用シートが得られる。
　本発明の他の態様に係る研磨粒子付き表面処理用シートは、複数の単糸から成る長繊維から構成される編物を基材とする。該基材のワークの表面に接する部分に位置する複数の単糸の表面に、バインダー樹脂により研磨粒子が固着される。複数の単糸は、表面に凹部が形成されて成る単糸を含み、研磨粒子が少なくとも該凹部に固着されている。編物（ニット）は、緯編（ヨコメリヤス）から成ってもよく、経編（タテメリヤス）から成ってもよい。
　凹部は、単糸の横断面形状が、頂点を三個以上有する多角形、または突出部を三個以上有する多葉形であり、多角形の各々の頂点の間、又は多葉形の各々の突出部の間が凹むことにより、形成されたものであってよい。
　好適に、長繊維を構成する複数の単糸は、断面形状が円形でない異形断面繊維を含んで成る。横断面形状は、３～１０葉形であってよく、星形等であってもよい。
　このような単糸の表面に形成された凹部に研磨粒子が固着されていることが好ましい。研磨粒子の付着強度が高くなり、脱落を防止しながら、ワークの表面に微細な傷を付けないように研磨粒子を作用させることができるからである。
　凹部は、単糸が所定の横断面形状を有することにより、単糸の長手方向に沿ってひと続きに形成されて良い。また凹部は、単糸の長手方向の軸の周りを取り囲んで規則的に形成されてよい。あるいは、凹部は、長手方向の軸の周りに不規則に形成されてもよい。
　研磨粒子は凹部のみに固着されていてよく、主に凹部に固着されていてもよく、または、凹部を含む単糸の表面全体に固着されていてもよい。
　本発明に係る表面処理用シートは、研磨粒子を固着した複数の単糸の各々が互いに固着されておらず、独立して動くことができることを特徴とする。このようにすることで、シートのワークに接する表面が十分なクッション性を有し、ワークの表面にスクラッチ等を形成することがない。
　複数の単糸の単糸繊度は、０．０１デシテックス以上、４．５デシテックス以下の範囲にあることが好ましい。また、研磨粒子の平均粒径は１０μｍ以下であることが好ましい。
　複数の単糸の単糸繊維径は、１μｍ以上、２０μｍ以下の範囲にあることが好ましい。繊維径は、横断面形状が円形ではないもの（三角形、星形等の異形）では、断面積が同じ円に換算した円の平均直径（円換算径）である。
　また、研磨粒子は、無機物、有機物、又は無機物と有機物との混合物から成り、平均粒径が１０μｍ以下であり、単糸繊維径の１／２以下であることが好ましい。微細な単糸の表面に微細な砥粒が固着される構成により、ワークの表面を高精度に処理することができるシートが得られる。
　さらに、本発明に係る表面処理用シートにおいて、基材となる織物の表面における経糸又は緯糸の被覆率が７０パーセント以上であり、ワークの表面を処理するときに、ワークの表面に接する基材の部分が、経糸及び緯糸のうち被覆率が高いいずれか一方であるように構成されていることを特徴とする。
　織物の組織は三原組織（平織、朱子織、斜文織）であり、特に、斜文織又は朱子織であることが好ましい。
　ワークの表面に接する基材の部分が経糸又は緯糸の揃った配列によって構成されることにより、適度なクッション性を有し、均一にワークの表面に作用して、効果的に突起や付着物を除去・払拭できる。
　上記のように、本発明に係る研磨粒子付き表面処理用シートは、基材のワークの表面に接する部分に位置する微細な単糸の各々の表面に研磨粒子がバインダー樹脂によって付着された構造になっている。研磨粒子が固着された単糸同士が互いに固着していないため、シートはクッション性を有し、ワークの表面を過度に削ることなく、又はワークの表面にスクラッチを形成することなく、ワークの表面を高精度にクリーニングすることができる。すなわち、軽い研磨力でワークの表面に作用して、不要な突起などの固着物や付着物を除去するバーニッシュ作用を発揮しながら、複数の単糸が異物や汚れ等の付着物や浮遊物を拭い去り、ワイピング作用もまた発揮することができる。
　基材に使用される織編物が長繊維から成るため、基材のワークに接する部分を構成する単糸の繊維屑が脱落しワークの表面を汚染することがない。また、ワークの表面に接する複数の単糸の表面の形状により、研磨粒子を安定して保持しながら、弾力的にワークの表面に接することができる。研磨粒子の脱落や破砕に由来したスクラッチの発生も防止され、高精度な後処理を行うことができる。
　本発明に係る研磨粒子付き表面処理用シートを実施することにより、後処理工程を効率よく行うことができる。例えば、本発明に係るシートを使用した１回の後処理工程によって、磁気記録媒体等のワークの表面を高精度に平坦化、清浄化し、設計どおりの高密度記録を実現し得る。また、従来のバーニッシュ処理工程及び／又はワイピング処理工程を複数回行う工程を短縮し、歩留まりを向上し、製品の信頼性を向上することができる。
図１は、磁気記録媒体の模式的な断面図である。 図２は、磁気記録媒体の製造プロセスを示す図である。 図３は、磁気記録媒体の製造プロセスのうち後処理工程の他の例を示す図である。 図４は、本発明のシートの基材に使用されるひとつの態様の織物の（ａ）平面図、（ｂ）組織図、（ｃ）Ｗ－Ｗ断面図である。 図５は、本発明のシートの基材に使用されるひとつの態様の織物の表面のＳＥＭ写真である。 図６は、本発明のシートの基材に使用されるひとつの態様の織物の（ａ）図５におけるＸ－Ｘ断面の拡大ＳＥＭ写真、（ｂ）図５におけるＹ－Ｙ断面の拡大ＳＥＭ写真である。 図７（ａ）は本発明に係る織物の緯糸を構成する複数の単糸のひとつの態様を模式的に示す図であり、図７（ｂ）は単糸のひとつの態様を模式的に示す図である。 図８(ａ)、（ｂ）は各々、本発明に係る研磨粒子付き表面処理用シートのワークの表面に接する部分の２０００倍（左）、５０００倍（右）の拡大ＳＥＭ写真である。 図９は、本発明に係る研磨粒子付き表面処理用シートを使用して後処理工程を行う両面クリーニング装置を模式的に示す図である。 図１０は、本発明に係る研磨粒子付き表面処理用シートの製造に使用されるグラビア塗工装置を模式的に示す図である。
　以下、本発明の特徴が、本発明の限定を意図するものではない好適実施例とともに説明される。なお、図面は説明の目的で単純化され、尺度も必ずしも一致しない。
　基材
　本発明の基材に使用される織物は、長繊維から成る経糸と緯糸とを直角に配列し上下に交差させて形成される。編物は、長繊維でループを作りそのループにまた糸をくぐらせてループを作ることを繰り返して形成される。
　本発明の基材に使用される織物は、経糸と緯糸とが配列された組織から成る。組織は三原組織、すなわち、平織（プレーン）、斜文織（綾織、ツイル）、朱子織（サテン）であってよく、好適には、斜文織又は朱子織である。斜文織の組織は、経糸又は緯糸が二本以上並んで緯糸又は経糸に交錯するものであり、斜めの方向に畦が現われる特徴を有する。朱子織は、経糸と緯糸とが交わる点（交錯点、組織点）が飛び飛びに離れて配置されるもので、経糸又は緯糸のどちらか一方が表面に長く浮いて現われ、組織点がほとんど表面に現れないという特徴を有する。
　本発明に係る織物は、好適に、経糸又は緯糸のうち一方の表面に対する被覆率（織物を平面で見た際の織物面積に対する、経糸又は緯糸が表面に現われている割合）が他方よりも高い（７０パーセント以上、８０パーセント以上、９０パーセント以上等、７０パーセントから１００パーセントの間の任意の値）。また、織物の表面に現われる経糸又は緯糸の配列が、直交するＸ軸Ｙ軸に関して、Ｘ方向又はＹ方向に揃っていることが好ましい。本発明に係る織物の組織は、上記のような特徴を備える三原組織に限定されず、三原組織を変化させた変化組織、またはこれらを混合した混合組織等であってもよい。
　図４（ａ）～（ｃ）に、本発明に係る研磨粒子付き表面処理用シートの基材に使用されるひとつの態様の織物１０が示されている。図４（ａ）に示されているように、織物１０は、緯糸１２が長く浮いて表面に現われ、図４（ｂ）に示されているように、斜文織の組織を有する。図４（ｃ）に織物１０の断面が模式的に示されているように、経糸１１よりも緯糸１２が厚さ方向に膨らんでいる。経糸１１と緯糸１２を構成する単糸の種類は等しくてよく、異なっていてもよい。
　図５に、織物１０の表面の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）写真が示されている。図４（ｂ）の斜文織の組織を有する織物１０の表面において、経糸１１（組織点）はわずかしか現れず、緯糸１２が表面のほぼ全体（９０パーセント）を被覆している。織物１０のワークに接する部分が緯糸１２で均一に構成されているため、研磨粒子を均一に分散して保持することができる。
　図６（ａ）、（ｂ）に、織物１０の断面の拡大ＳＥＭ写真が示され、Ｘ－Ｘ断面においても、Ｙ－Ｙ断面においても、緯糸１２が経糸１１よりも表面側に膨らんでいる。また、経糸１１、緯糸１２は各々、複数の単糸から成っている。このように織物の表面部分で緯糸１２が長く浮いた状態になっており、経糸１２が複数の単糸で構成されているため、織物１０はクッション性（弾力性）を有する。ワークの表面を処理するとき、このような織物１０の緯糸１２からなる部分（組織点の経糸１１より表面側に位置する部分）が、ワークの表面に弾力的に接し、表面処理に適した研磨作用を発揮する。
　織物１０のワークの表面に接する部分を緯糸１２のみで構成するために、織物１０を構成する緯糸１２の総繊度（ｄｔｅｘ）が、経糸１１の総繊度（ｄｔｅｘ）の２～１０倍となるようにすることが好ましい。このようにすることで、織物１０の表面を緯糸１２の配列でほぼ隙間の無い状態にすることができる。このような織物１０のワークの表面に接する部分は、研磨粒子を均一に保持しワークに均一に作用させ得る。さらに、長く浮いた緯糸１２で構成されることによりクッション性を有し、研磨粒子をワークの表面にソフトに接触させることができるため、スクラッチなどの傷の発生を防止できる。なお、上記において、経糸１１と緯糸１２を相互に読み替えることも可能である。
　図７に緯糸１２（及び／又は経糸１１）を構成する複数の単糸１３ａ、１３ｂが模式的に示されている。緯糸１２を構成する単糸の種類、形状は様々なものを使用することができる。好適に、緯糸１２は、表面に凹部を形成されて成る単糸１３ａを含む。単糸１３ａは断面形状が円形でない異形断面繊維であり、複合繊維の割繊糸から成ってよい。例えば、単糸１３ａの断面形状は、これに限定されないが、図７に示されているような、任意の数の頂点を有する星形であってよい。このような凹部を有する単糸の表面に、研磨粒子をバインダー樹脂で固定することにより、研磨粒子の固定強度が増し、脱粒を防止することができる。
　緯糸１２に含まれる単糸の単糸繊度は、０．０１ｄｔｅｘ以上、４．５ｄｔｅｘ以下の範囲にあることが好ましい。または、単糸繊維径が、直径５０μｍ以下、好ましくは、１μｍ以上、２０μｍ以下の範囲にあることが好ましい。単糸繊維径が１μｍ未満であると、研磨粒子を十分の単糸の表面に固定するのが困難となり、研磨粒子の脱落が起こりやすくなる。その結果、脱粒した研磨粒子によってワークの表面にスクラッチを生ずることがある。また、単糸繊維径が５０μｍを越えると、織布シートの剛性が高くなりクッション性が低下し、ワークの表面に均一に織布シートの表面が接触しない場合が起こり、クリーニングむらを生ずることがある。単糸繊度（繊維径）を上記範囲とすることにより、ワークの表面の汚染物を高精度に除去することができる。
　単糸として、例えば、ポリエステル系繊維、ポリアミド系樹脂（ナイロン）、又はポリプロピレン系繊維等の合成繊維が使用されてよい。織物１０を構成する緯糸１２は、１種類の単糸（例えば、１３ａ）から成ってよく、複数種類の単糸（例えば、１３ａ、１３ｂ等）から成ってもよい。
　織物１０の厚さは、概して、５０μｍ～５５０μｍの範囲にある。
　研磨粒子
　本発明の研磨粒子付き表面処理用シートは、基材である織物１０のワークの表面に接する部分に位置する単糸の各々（一本、一本）の表面に、研磨粒子がバインダー樹脂によって、固着されて成ることを特徴とする。
　図８に、基材のワークの表面に接する部分に位置する単糸の各々に、研磨粒子がバインダー樹脂により固着された本発明に係る表面処理用シートの拡大ＳＥＭ写真が示されている。図８（ａ）はアルミナ（Ａｌ２Ｏ３）の研磨粒子が固着されたものである。該研磨粒子は破砕粒であり、単糸の凹部を含む表面全体に分散して固着されている。
　図８（ｂ）は、シリカ（ＳｉＯ２）の研磨粒子が固着されたものである。該研磨粒子は析出粒（結晶成長粒）であり、各々の研磨粒子は（真）球状を呈する。研磨粒子は単糸の表面の主に凹部に固着されている。
　研磨粒子として、無機物から成る粒子を使用することができる。無機粒子としては、上記のアルミナ（Ａｌ２Ｏ３）、シリカ（ＳｉＯ２）の他に、炭化珪素（ＳｉＣ）、ダイヤモンド、立方晶窒化硼素（ｃＢＮ）等を使用することができる。これらの無機粒子は破砕粒でも析出粒でもよく、球状を有していても有していなくてもよい。このような研磨粒子を使用することにより、バーニッシュ処理に適した研磨力を有するシートとすることができる。
　研磨粒子として、有機物から成る粒子を使用してもよい。このような研磨粒子は、例えば、ポリスチレン、ポリメチルメタクリレート等から成ってよい。または、研磨粒子は、無機物と有機物との任意の混合物から成ってもよい。
　研磨粒子の平均粒径は、１０μｍ以下が好ましく、好適に、０．０５μｍ以上、５．０μｍ以下の範囲にある。１０μｍを越えると研磨作用が強くなり、スクラッチや傷の発生の原因となるため好ましくない。また、粒径が大きすぎると、上述した繊度（繊維径）を有する微細な単糸の表面への研磨粒子の固定強度が弱くなり、脱粒の原因となるため好ましくない。固定強度を高めるためにバインダー樹脂の量を増加させると、シートの表面のクッション性が低下してしまうため好ましくない。研磨粒子の平均粒径を１０μｍ以下（好ましくは０．０５μｍ以上、５．０μｍ以下）とすることにより、シートのワークの表面に作用する部分が十分なクッション性を有し、後処理工程に適したシートとすることができる。
　上記の研磨粒子の材料、形状等は、処理の対象物であるワークの材料や表面の汚染状態等によって選択され得る。研磨粒子の材料、形状等を選択することにより、バーニッシュ作用とワイピング作用のうち、所望の作用を選択的に強め、又は弱めることができる。
　本発明の研磨粒子付き表面処理用シートのワークの表面に接する部分には、単糸の形状や織り目（組織点）によって起伏（ウエーブ）が形成されている。該ウエーブもまた、クリーニングに適したクッション性をシートに与え、各々の単糸に固着された研磨粒子を適度にワークの表面に作用させて突起を除去し、パーティクル等を払拭するために有効である。すなわち、クッション性のあるシートのワークの表面に接する部分が、適度な（弱い）研磨力でワーク表面に作用し、スクラッチを形成せずに突起や付着物を除去することができる。さらに、単糸同士が固着されていないため、シート側に移行した汚染物質をシートの内側に取り込むことができ、汚染物質がワークに再び付着することを防ぐことができる。また、基材が長繊維から構成された織編物から成り、表面にバインダー樹脂が含浸されているため、繊維屑の脱落や研磨粒子の脱落がなく、シート由来のワークの汚染がないため、効果的なクリーニング処理を行うことができる。
　研磨粒子付き表面処理用シートの製造
　本発明に係る研磨粒子付き表面処理用シートは、基材となる織編物の表面に研磨粒子、バインダー樹脂からなる塗料を塗布し、乾燥させてリールに巻き取り、所定のサイズにカットすることにより製造される。具体的な製造方法を、織物を例に以下で説明する。
　・基材
　織物の原反（例えば、厚さ５０μｍ～５５０μｍ、幅５００ｍｍ、長さ６００ｍ）を用意する。織物の組織及び経糸、緯糸を構成する単糸の種類等は適宜選択され得る。
　・研磨粒子
　研磨粒子としては、アルミナ、炭化珪素、二酸化珪素（シリカ）、ジルコニア、ダイヤモンド又は立方晶窒化硼素等からなる（球状）無機粒子、アクリル系樹脂、エポキシ系樹脂、ポリエチレン系樹脂、ポリウレタン系樹脂等から成る（球状）有機粒子、又は無機物と有機物の（球状）混合粒子を使用することができる。研磨粒子の平均粒径は、０．０５μｍ以上、１０μｍ以下の範囲にある。
　・バインダー樹脂
　研磨粒子を単糸の表面に固定するバインダー樹脂としては、ポリエステル樹脂、ポリウレタン樹脂、共重合ビニル系樹脂、エポキシ樹脂、フェノール樹脂などから選択される一種又は二種以上の樹脂を溶剤で溶解したものが使用される。溶剤として、トルエン、メチルエチルケトン、キシレン、酢酸エチル、シクロヘキサノン、アセトン、アルコール等を使用することができる。これに、イソシアネート系等の硬化剤が付加される。
　・塗料
　研磨粒子とバインダー樹脂とを混合することにより塗料が製造される。塗料の粘度は、５０ｃｐ以上、３００ｃｐ以下の範囲にすることが好ましい。塗料の粘度が５０ｃｐ未満になると、塗料が基材の表面から下層側に落ちてしまい、ワークに接する部分に位置する単糸の表面に十分な量の研磨粒子を固定することができず、ワークの表面に研磨粒子を十分に作用させることができないため、固着している異物等を十分に除去することができない。塗料の粘度が３００ｃｐを越えると、塗料が基材の表面の上層に停滞し、ワークの表面に接する部分に、バインダー樹脂と研磨粒子を固定した層が、隣接する単糸同士を固着するように形成され、シートの表面部分におけるクッション性が低下し、ワークの表面にスクラッチを生ずる原因となる。
　塗料中の固形分配合比（重量比）は、研磨粒子を３０重量％以上、９０重量％以下の範囲とするのが好ましい。研磨粒子の割合を３０重量％未満にするとバインダー樹脂等の配合比が増加し、シートのワークの表面に作用する表面部分で、隣接する微細な単糸同士が互いに接着した面積が増加してしまうため好ましくない。研磨粒子の割合が９０重量％を超えると、研磨粒子とバインダー樹脂の接着が十分でないものが増加し、クリーニング中に研磨粒子の脱粒が起こり、スクラッチ増加の原因となるため好ましくない。以下の表１に塗料の組成が示されている。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
　アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）、シリカ（ＳｉＯ２）等から成る研磨粒子３０重量％～９０重量％を、飽和ポリエステル樹脂をトルエン、メチルエチルケトン及び酢酸エチルの混合溶媒に溶解した樹脂溶液５重量％～４０重量％と混合攪拌し、研磨粒子を樹脂溶液中に分散させ、ろ過したものに、基材（織物）の表面に塗布する直前、イソシアネート系の硬化剤１重量％～１０重量％を添加することにより、粘度が５０ｃｐ～３００ｃｐの範囲に調整された塗料が製造される。
　・塗布方法
　塗料を基材に塗布する方法には、好適にグラビア塗工が使用されるが、代わりに、スプレー塗工、又は電着塗工が使用されてもよい。グラビア塗工は、グラビアローラに研磨粒子を分散した塗料を塗布し、これを、バックアップローラに巻かれた基材の表面に転写する方法である。塗料を塗布された基材は乾燥されてリールに巻き取られ、研磨粒子付きの表面処理用シートの原反が得られる。
　図１０に、本発明に係る表面処理用シートを製造するためのグラビア塗工装置３０が模式的に示されている。グラビア塗工装置３０は、グラビアローラ３１及びグラビアローラ３１に近接して配置されるバックアップローラ３２を有する。基材の原反Ｂは、塗料が塗布される表面を外側にしてバックアップローラ３２に配置され、バックアップローラ３２の円周方向Ｒ２（反時計回り）の回転に従い、略Ｕ字型に湾曲しながらＲ方向に走行する。グラビアローラ３１は、研磨粒子とバインダー樹脂とを混練した塗料３３に部分的に浸され、方向Ｒ１（時計回り）に回転される。グラビアローラ３１に付着した塗料３３’はドクターブレード３４によって所定の量の塗料３３’’に調整される。このような塗料３３’’が、基材の原反ＢがＲ方向へ搬送されるに従って原反Ｂの表面に塗布され、各々の単糸の表面に研磨粒子が付着される。塗布される塗料の厚みは、グラビアローラ３１とバックアップローラ３２との間の距離で調整されてよい。
　塗料を塗布された基材の原反は、乾燥炉を通して樹脂バインダーが固化され、ワークの表面に作用する部分に位置する単糸の各々の表面に研磨粒子が固着される。これをリールに巻取り、本発明に係る研磨粒子付き表面処理用シートの原反が得られる。表面処理用シートの原反は、用途に従って所定の長さ、幅に切断され、クリーニングテープとして使用されてよい。クリーニングテープの幅は、処理の対象物であるワークが磁気ハードディスクである場合、磁気ハードディスクの径、あるいはクリーニング装置の構造によってさまざまであってよい。例えば表面処理用シートの原反は、６．３ｍｍ、１２．６ｍｍ、３８ｍｍ等の幅に切断されてよく、長さは、１０～２０ｍ単位を一巻としてよい。
　本発明のシートを使用した後処理（クリーニング）方法
　図９に、磁気ハードディスク等の円板状のワークＷの両面を同時にクリーニングする両面クリーニング装置２０（特許文献８：特開２００１－１６２５０４）が模式的に示されている。両面クリーニング装置２０では、上記のように製造した原反を、所定の幅（例えば、１２．６ｍｍ）にカットした研磨粒子付きクリーニングテープＴ、Ｔ’（破線）が使用される。
　両面クリーニング装置２０は、円板状のワークＷの両面をクリーニングするためのクリーニングヘッド２２、及びクリーニングヘッド２２を矢印Ｘの方向へ往復運動させるための手段（図示せず）から構成される。クリーニングヘッド２２は、互いに向き合って配置された一対のアーム２３、２３を有し、これらアーム２３、２３の先端に、ゴム等から成る弾性を有する裏当て（弾性パッド）２４、２４が互いに向き合って固定されている。
　ワークＷの両面（Ａ面、Ｂ面）のクリーニングは、スピンドル２１に取り付けられたワークＷを回転させ、裏当て２４、２４上にクリーニングテープＴ、Ｔ’を送り出し、加圧手段２５、２５を駆動して裏当て２４、２４を介しクリーニングテープＴ、Ｔ’をワークＷの両面Ａ、Ｂに押付けながら、ワークＷの半径方向（矢印Ｘで示す方向）に沿ってクリーニングヘッド２２を往復移動させることにより行われる。クリーニング中、クリーニングテープＴ、Ｔ’は、連続的、又は間欠的に送りだされてよく、停止（すなわち、クリーニング中、クリーニングテープＴ、Ｔ’を送り出さない）していてもよい。
　本発明の研磨粒子付き表面処理用シート（研磨粒子付きクリーニングテープ）は、他のクリーニング装置、クリーニング方法により実施されてもよい。例えば、研磨粒子付き表面処理用シートの原反を所望の形状にカットし、研磨粒子付きクリーニングパッドとして使用してもよい。定盤の表面に該クリーニングパッドを貼り付けた後に、定盤を回転させながら、クリーニングパッドの表面に洗浄液を供給し、クリーニングパッドの表面にワークの表面を押し付けることによって、ワークの表面の平坦仕上げ又はクリーニング等の処理を行うことができる。
　実施例１
　実施例１の研磨粒子付きクリーニングシートが製造された。基材として、ツイルの織物（（株）東レ製、＃１４１８５、図５、図６参照）が使用された。該織物を構成する長繊維は、単糸繊度が約０．１２デシテックス（単糸繊維径：約４μｍ）の三角断面形状ポリエステル繊維、及び単糸繊度が約０．５５デシテックス（単糸繊維径：約１０μｍ）の星型断面形状ナイロン繊維から成り、タテ密度約１３６本/インチ、ヨコ密度約１７０本/インチであった。織物の厚みは約３００μｍであった。
　研磨粒子として、Ａｌ２Ｏ３(ＡＷＡ＃１００００)、平均粒径０．５μｍが使用され、これを結合剤（バインダー）樹脂Ａ（東洋紡績（株）製、バイロン１０ＳＳ（溶液））、結合剤（バインダー）樹脂Ｂ（東洋紡績（株）製、バイロンＧＫ６８０（溶液））、有機溶剤（市販のメチルエチルケトン、トルエン、酢酸エチル）、及び硬化剤（大日本インキ化学工業（株）製、バーノック　Ｄ７５０）と混合することにより、塗布溶液（塗料）が製造された。塗料の配合量及び固形分配合比が表２に示されている。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000002
　まず、結合剤樹脂Ａ、結合剤樹脂Ｂを計量し、有機溶剤を加えてタンクに入れ、攪拌しながら、アルミナ研磨粒子を加え、約３０分間攪拌することにより、アルミナ粒子を含有した混合溶液が製造された。次に、分散機を使用して、混合溶液中にアルミナ粒子を十分に分散させた後に、フィルターを使用して、濾過し、混合溶液から異物が除去された。さらに混合溶液を攪拌しながら、硬化剤を添加し、所定濃度になるまで有機溶剤をさらに加えることにより塗布溶液が製造された。このようにして製造された塗料の粘度は、約１９０ｃｐであった。固形分の結合剤樹脂に対する研磨粒子の配合比率は７６重量％であった。
　上記の塗料が織布の表面に塗布された。塗料の塗布は、図１０を参照して上述したグラビア塗工により行われた。
　次に、乾燥炉を通して、織布の表面に塗布した塗布溶液を１００℃で乾燥させ、塗布溶液を固化させ、織布の表面の単繊維にアルミナ研磨粒子が固着された。最後に、所定の幅、長さにカットされ、実施例１の研磨粒子付きクリーニングシートが製造された。
　図８（ａ）は実施例１のシートのＳＥＭ写真である。アルミナ粒子が単糸の各々について、凹部を含む表面全体に固着されている。
　実施例２
　実施例２の研磨粒子付きクリーニングシートが製造された。実施例２の研磨粒子付きクリーニングシートは、研磨粒子として平均粒径１．０μｍの真球状シリカ粒子が使用された。また、塗料は、実施例１と同じ材料を使用し、以下の表３のように配合比を変更して製造された。その他の条件は実施例１と同様であった。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000003
　図８（ｂ）は実施例２のシートのＳＥＭ写真である。真球状シリカ粒子が単糸の表面の各々について、主に凹部に固着されている。
　比較例１
　比較例１のクリーニングシートは、実施例１と同じ織物を使用し、研磨粒子を含む塗料を塗布せずそのままの状態でクリーニングシートとした。
　比較例２
　比較例２のクリーニングシートとして、研磨粒子付き植毛シートが製造された。比較例２の研磨粒子付き植毛シートは、厚さ５０μｍのＰＥＴ基材シートに、平均繊維径１０μｍ、平均長さ５００μｍ（５００μｍ±１００μｍ）のポリエステルからなる多数の繊維を植毛し、これに実施例１と同じ塗料を、同じ塗布方法を使用して塗布することにより製造された。
　クリーニング試験
　上記実施例１、２と比較例１、２のクリーニングシートをそれぞれカットしてクリーニングテープに加工し、これらを使用して、磁気ハードディスクの両面をクリーニングし、クリーニング前後の表面状態を調べることによりクリーニング試験が行われた。
　クリーニング試験に使用された磁気ハードディスクは、２．５インチのガラス基板の表面を鏡面研磨した後、この鏡面研磨面に、下地層、磁性層、保護層、潤滑層を形成したものであった。試験用ハードディスクは、実施例１、２と比較例１、２の各々について一枚準備された。試験用ハードディスクの両面（Ａ面、Ｂ面）のクリーニング試験は、図９を参照して上述した両面クリーニング装置を使用して行われた。クリーニング条件は下記の表４に示すとおりであった。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000004
　上記クリーニング条件において、クリーニング前後の試験用ハードディスクの表面に存在する異物（パーティクル）、突起及びスクラッチの個数と、表面粗さ（Ｒａ、Ｒｍａｘ）がどのように変化したかについて試験された。異物（パーティクル）及び突起物の個数とスクラッチの個数は、光学表面解析装置（Ｃａｎｄｅｌａ　Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ社製、ＯＳＡ５１００）を使用し、５０００ｒｐｍで回転する試験用ハードディスクの表面にレーザーを径方向に照射することにより計測された。平均表面粗さ（Ｒａ）及び最大高さ（Ｒｍａｘ：突起部と谷部の高低差の最大値）は、白色光顕微鏡（Ｚｙｇｏ社製、Ｎｅｗ　Ｖｉｅｗ　５０２０）を使用し、試験用ハードディスクの表面の任意の０．８７ｍｍ×０．８７ｍｍの範囲において計測された。
　実施例１、２、及び比較例１、２のクリーニングシート（テープ）を使用して行ったクリーニング試験の結果が以下の表５～８に示されている。表の左側がクリーニング前の試験用ハードディスクの両面の状態、表の右側がクリーニング後の試験用ハードディスクの該当する両面の状態である。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000005
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000006
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000007
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000008
　表５、表６に示されているとおり、本発明に係る実施例１、２のクリーニングシート（テープ）は、ハードディスクの表面を高度に平坦化しながら（例えば、クリーニング後の平均表面粗さが０．４ｎｍ）パーティクルや突起を除去することができ、高精度なバーニッシュ作用とワイピング作用とを兼ね備えるものであった。
　比較例１のクリーニングシート（テープ）は研磨粒子を有しないため、表７に示されているとおり、突起や付着物を十分除去できないものであった。また、比較例２のクリーニングシート（テープ）は、最大高さ（Ｒｍａｘ）を減少させたが、スクラッチを増加させるものであるため、クリーニング工程（バーニッシュ工程、ワイピング工程）には適さなかった。
　本発明の思想及び態様から離れることなく多くのさまざまな修正が可能であることは当業者の知るところである。したがって、言うまでもなく、本発明の態様は例示に過ぎず、本発明の範囲を限定するものではない。
　１０　　織物
　１１　　経糸
　１２　　緯糸
　１３ａ　単糸１
　１３ｂ　単糸２

Claims (8)

  1. 　ワークの表面を処理するための研磨粒子付き表面処理用シートであって、
    　長繊維の織物から成る基材であって、前記織物を構成する経糸、緯糸のいずれか一方の前記織物の表面における被覆率が他方よりも高く、前記経糸、緯糸のうちの少なくとも前記表面における被覆率が高い経糸又は緯糸を構成する長繊維が複数の単糸から成る、ところの基材と、
    　前記基材のワークの表面に接する部分に位置する複数の単糸の表面にバインダー樹脂により固着された研磨粒子と、
    から成り、
    　前記複数の単糸が、表面に凹部が形成されて成る単糸を含み、前記研磨粒子が少なくとも前記凹部に固着されている、
    表面処理用シート。
  2. 　ワークの表面を処理するための研磨粒子付き表面処理用シートであって、
    　長繊維の編物から成る基材であって、前記長繊維が複数の単糸から成る、ところの基材と、
    　前記基材のワークの表面に接する部分に位置する複数の単糸の表面にバインダー樹脂により固着された研磨粒子と、
    から成り、
    　前記複数の単糸が、表面に凹部が形成されて成る単糸を含み、前記研磨粒子が少なくとも前記凹部に固着されている、
    表面処理用シート。
  3. 　前記凹部が、前記複数の単糸に含まれる単糸の横断面形状が頂点を三個以上有する多角形、又は突出部を三個以上有する多葉形であり、前記多角形の各々の頂点の間、又は前記多葉形の各々の突出部の間が凹むことにより形成されている、
    請求項１又は２に記載された表面処理用シート。
  4. 　前記研磨粒子を固着された前記複数の単糸の各々が互いに固着されておらず、独立して動くことができる、
    請求項１ないし３のいずれかに記載された表面処理用シート。
  5. 　前記複数の単糸の単糸繊度が０．０１デシテックス以上、４．５デシテックス以下の範囲にあり、
    　前記研磨粒子の平均粒径が１０μｍ以下である、
    請求項１ないし４のいずれかに記載された表面処理用シート。
  6. 　前記織物の表面における前記経糸又は前記緯糸の被覆率が７０パーセント以上であり、
    　前記ワークの表面を処理するときに、前記基材の前記ワークの表面に接する部分が、前記経糸及び前記緯糸のうち被覆率が高いいずれか一方であるように構成されている、
    請求項１に記載された表面処理用シート。
  7. 　前記織物の組織が三原組織である、
    請求項１に記載された表面処理用シート。
  8. 　前記織物の組織が斜文織又は朱子織である、
    請求項１に記載された表面処理用シート。
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