JP2007190643A - クリーニングシート及び方法 - Google Patents

Abstract

【課題】パネルの表面にスクラッチを形成せずに、パネルの表面から異物を除去できるクリーニングシート及び方法を提供することである。
【解決手段】シート状の基材１１、基材１１の表面に形成した第一の接着剤膜１４、第一の接着剤膜１４で基材１１の表面に単層で固定される砥粒２０から構成されるクリーニングシート１０。砥粒２０の各々が、複数個の硬質粒子２１、及びこれら硬質粒子２１を結合するバインダー樹脂２２から構成される。硬質粒子２１の平均粒径は０．５μｍ以上、５μｍ以下の範囲にあり、砥粒の平均粒径は０．５ｍｍ以上、３ｍｍ以下の範囲にある。硬質粒子２１は、酸化セリウム粒子である。基材１１の表面に単層で固定されている砥粒２０の高低差ΔＨは１ｍｍ以下の範囲にある。基材１１の表面上の１０ｍｍ×１０ｍｍの範囲内に固定される砥粒２０の個数は８０個以上、２００個以下の範囲にある。
【選択図】図１

Description

本発明は、液晶表示装置の液晶パネルのように、表面に高い清浄性が要求されるパネルをクリーニングするためのシート及び方法に関する。

液晶パネルは、カラーフィルターや透明電極を設置した二枚のガラス基板の間に液晶を封入したものであり、液晶を封入する際に使用した樹脂の残存物やガラスカレットなど、製造中にガラス基板に付着した異物が不良品を発生させる主な原因となっている。このため、ガラス基板に付着している異物を除去するクリーニングが行われている。

従来、このようなクリーニングは、ガラス基板などのパネルの表面にナイフの刃先を一定の角度で押し当てながら、ナイフを移動させることにより行われていた（例えば、特許文献１及び２を参照）。

しかし、このような従来の技術では、ナイフの刃先が摩耗するので、適宜に交換しなければならない。そして、交換の際に、パネルの表面に対してナイフの刃先が平行となるようにナイフを設置しなければならず、このナイフの設置に手間がかかる。また、ナイフによって削り落とされた異物が、パネルに再付着したり、パネルの表面を傷つけることもある。

一方、シート状の基材の表面に酸化アルミニウム粒子、酸化セリウム粒子などの硬質粒子をバインダー樹脂で固定したクリーニングテープ又はパッドを、パネルの表面に押し付けながら移動させて、パネルの表面を固定砥粒研磨式にクリーニングすると（例えば、特許文献３及び４を参照）、パネルの表面に付着している異物や汚れを除去することはできるが、パネル（特に、ＩＴＯ膜を形成したパネル）の表面にスクラッチを形成してしまう、という問題がある。

また、酸化アルミニウム粒子、酸化セリウム粒子などの硬質粒子を分散したスラリーを使用してパネルの表面を遊離砥粒研磨式にクリーニングすると（例えば、特許文献５を参照）、パネルの表面に形成されるスクラッチを減少できるが、スラリー中に含まれる粒子がパネルの表面に強固に付着し、またクリーニング中にスラリーが飛散するので、パネルのクリーニング環境の洗浄に手間がかかる、という問題が生じる。
特開２００２−４５８１２号公報 特開２００２−２４４１１５号公報 特開２０００−３００５０７公報 特開平８−８５０７０号公報 特開２００４−１６２０６２号公報

したがって、本発明の目的は、パネルの表面にスクラッチを形成することなく、パネルの表面から異物を除去できるクリーニングシートを提供することである。

また、本発明の他の目的は、パネルの表面にスクラッチを形成することなく、パネルの表面から異物を除去できるだけでなく、パネルのクリーニング環境を容易に洗浄できるクリーニングシートを提供することである。

上記目的を達成する本発明のクリーニングシートは、シート状の基材、この基材の表面に形成した第一の接着剤膜、及びこの第一の接着剤膜によって基材の表面に固定される砥粒から構成される。

第一の接着剤膜は、フェノール樹脂、アクリル樹脂、ウレタン樹脂、エポキシ樹脂、ユリア樹脂などの合成樹脂からなるものである。

基材として、基材表面（上記の第一の接着剤膜が形成される表面）を平坦化し且つ基材の厚さを均一化するために、第一の接着剤膜を形成する前に予め表面処理を施したものを使用してもよい。すなわち、基材として、基材本体、及びこの基材本体の表面に形成した表面処理膜から構成されるものを使用してもよい。この表面処理膜の平坦な表面に第一の接着剤膜が形成される。この表面処理膜は、フェノール樹脂、アクリル樹脂、ウレタン樹脂、エポキシ樹脂、ユリア樹脂などの合成樹脂からなるものである。

砥粒の各々は、複数個の硬質粒子、及びこれら硬質粒子を結合するバインダー樹脂から構成される。砥粒は、第一の接着剤膜によって、基材の表面に単層で固定される。

硬質粒子は、炭化ケイ素粒子、カーボランダム粒子、酸化アルミニウム粒子、シリコンカーバイド粒子、酸化ジルコニウム粒子、酸化クロム粒子、ダイヤモンド粒子、酸化セリウム粒子などから選択される一種又は二種以上の粒子である。好適に、硬質粒子は、酸化セリウム粒子である。

硬質粒子の平均粒径は０．５μｍ以上、５μｍ以下の範囲、好適に０．５μｍ以上、２μｍ以下の範囲にある。また、基材の表面に固定される砥粒の平均粒径は０．５ｍｍ以上、３ｍｍ以下の範囲、好適に０．６ｍｍ以上、１．２ｍｍ以下の範囲にある。

基材の表面に単層で固定されている砥粒の高低差は１．０ｍｍ以下の範囲、好適に０．６ｍｍ以下の範囲にある。

基材の表面上の１０ｍｍ×１０ｍｍの範囲内に固定される砥粒の個数は８０個以上、２００個以下の範囲にある。

本発明のクリーニングシートは、基材の表面に第一の接着剤膜によって固定された砥粒上から第一の接着剤膜上にわたって形成した第二の接着剤膜からさらに構成され得る。この第二の接着剤膜は、フェノール樹脂、アクリル樹脂、ウレタン樹脂、エポキシ樹脂、ユリア樹脂などの合成樹脂からなるものである。

本発明のクリーニングシートは、基材の裏面に固定した弾性を有するシート状の裏当て材からさらに構成され得る。この裏当て材として、両面接着シート、面ファスナー用の起毛布シート、織布シート、不織布シート、又は発泡体シートなどが使用され得る。

パネルのクリーニングは、上記本発明のクリーニングシートをクリーニングし易い形状（例えば、テープ状、パッド状）に適宜にカットしたクリーニング具を使用して行われる。

すなわち、パネルの表面に洗浄液を供給し、本発明のクリーニングシートをカットして作製したクリーニング具（クリーニングテープ又はパッド）をこのパネルの表面に押し付けながら、パネルとクリーニング具とを相対的に移動させることによって行われる。

パネルのクリーニング中、砥粒がパネルの表面に押し付けられると、砥粒から硬質粒子が脱粒する（砥粒が変形する）。そして、この脱粒した硬質粒子が遊離砥粒としてパネルの表面に作用するとともに、基材の表面に固定されている砥粒もパネルの表面に作用して、基材の表面に固定されている砥粒と遊離砥粒とによってパネルの表面から異物が削り取られる。このようにして削り取られた異物は、基材の表面に固定されている砥粒と砥粒との間の隙間内に取り込まれ、パネルの表面から除去される。遊離砥粒も、異物と同様に、基材の表面に固定されている砥粒と砥粒との間の隙間内に取り込まれ、パネルの表面から除去される。

本発明が以上のように構成されるので、以下のような効果を奏する。

砥粒がパネルの表面に押し付けられると、砥粒から硬質粒子が脱粒し、砥粒が変形するので、砥粒がパネルの表面に過度に押し付けられても、基材の表面に固定されている砥粒によりパネルの表面にスクラッチを形成することがない。

砥粒から硬質粒子が脱粒し、この脱粒した硬質粒子が遊離砥粒としてパネルの表面に作用するとともに、基材の表面に固定されている砥粒もパネルの表面に作用するので、パネルの表面に強固に付着している異物を容易に除去できる。

基材の表面に固定されている砥粒と遊離砥粒とによってパネルの表面から削り取られた異物は、基材の表面に固定されている砥粒と砥粒との間の隙間内に取り込まれ、パネルの表面から除去されるので、パネルの表面にスクラッチを形成せずに、パネルの表面から異物を除去できるだけでなく、パネルのクリーニング環境を容易に洗浄できる。

＜クリーニングシート＞ 図１Ａ及び図１Ｂに示すように、本発明のクリーニングシート１０は、シート状の基材１１、この基材１１の表面に形成した第一の接着剤膜１４、及びこの第一の接着剤膜１４によって基材１１の表面に固定される砥粒２０から構成される。

基材１１として、表面が平坦であり且つ通液性のないプラスチックシートが使用される。プラスチックシートは、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリプロピレン、ポリエステル、アクリルシなどの合成樹脂からなる既知のシートから選択される。また、基材１１として、弾力性のある織布、不織布、発泡体（独立気泡タイプ及び連続気泡タイプ）などからなる多孔質シートを使用してもよい。

また、基材１１として、基材表面（第一の接着剤膜１４が形成される表面）を平坦化し且つ基材１１の厚さを均一化するために、第一の接着剤膜１４を形成する前に予め表面処理を施したものを使用してもよい。すなわち、基材１１として、図１Ａ及び図１Ｃに示すように、基材本体１２、及びこの基材本体１２の表面に形成した表面処理膜１３から構成されるものを使用してもよい。（この表面処理膜１３の平坦な表面に、第一の接着剤膜１４が形成される。）

表面処理膜１３は、フェノール樹脂、アクリル樹脂、ウレタン樹脂、エポキシ樹脂、ユリア樹脂などの合成樹脂からなるものであり、基材本体１２の表面に、ロールコート法、ドクターコート法、ディップコート法などの既知の塗工法を利用して、上記の合成樹脂を含む樹脂溶液をコーティングし、この樹脂溶液を乾燥させることによって基材本体１２の表面に形成されるものである。

基材１１として、表面に凹凸がある上記のような多孔質シート（基材本体１２）を使用しても、この表面処理により、多孔質シートの表面に、表面が平坦な表面処理膜１３が形成され、この表面処理膜１３の平坦な表面に、第一の接着剤膜１４が形成される。また、表面処理膜１３を形成することにより、多孔質シート（基材本体１２）の内部への通液を、第一の接着剤膜１４を形成する前に防止しておくこともできるので、高い平坦性を有する第一の接着剤膜１４を基材１１の表面に形成することができる。

第一の接着剤膜１４は、フェノール樹脂、アクリル樹脂、ウレタン樹脂、エポキシ樹脂、ユリア樹脂などの合成樹脂からなるものであり、砥粒２０は、この第一の接着剤膜１４によって基材１１の表面に固定される。

砥粒２０の各々は、図２Ｄに示すように、複数個の硬質粒子２１、及びこれら硬質粒子２１を結合するバインダー樹脂２２から構成され、略球形（図２Ａ）、丸みのある略円柱形（図２Ｂ）又は略楕円形（図２Ｃ）のような丸みのある形状をしている。

砥粒２０は、図１Ａ、図１Ｂ及び図１Ｃに示すように、砥粒２０同士の間に隙間が形成されるように、第一の接着剤膜１４によって基材１１の表面に単層で固定され、クリーニング中にパネルの表面から削り取られた異物がこの隙間を通じてパネルの表面から除去される。また、砥粒２０から脱粒した硬質粒子もこの隙間内に取り込まれ、適宜、遊離砥粒としてパネルの表面に作用する。

バインダー樹脂２２は、ポリビニルアルコール、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエステル、ポリアミドなどの合成樹脂から選択される。好適に、バインダー樹脂２２は、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）樹脂である。硬質粒子２１とバインダー樹脂２２との割合は、硬質粒子２１を１００重量部として、バインダー樹脂２２（固形分）は０．６重量部以上、１．０重量部以下の範囲にある。

硬質粒子の量が多すぎると、クリーニング中に砥粒２０から硬質粒子が多量に脱粒し、基材１１の表面に固定されている砥粒２０同士の間の隙間に取り込まれ得なかった硬質粒子がパネルの表面に強固に付着するという問題が生じ、またこの砥粒２０同士の間の隙間に取り込まれ得なかった硬質粒子がクリーニング中に飛散するので、パネルのクリーニング環境の洗浄に手間をかけることになる。

一方、硬質粒子２１の量が少なすぎると、パネルに作用する硬質粒子２１の個数が減少し、また砥粒２０から脱粒する硬質粒子の量も減少するので（すなわち、遊離砥粒としてパネルの表面に作用する硬質粒子が少なくなるので）、パネルの表面に付着している異物を十分に除去できない。

硬質粒子２１は、炭化ケイ素粒子、カーボランダム粒子、酸化アルミニウム粒子、シリコンカーバイド粒子、酸化ジルコニウム粒子、酸化クロム粒子、ダイヤモンド粒子、酸化セリウム粒子などから選択される一種又は二種以上の粒子である。好適に、硬質粒子２１は、酸化セリウム粒子である。

硬質粒子２１の平均粒径は、０．５μｍ以上、５μｍ以下の範囲、好適に０．５μｍ以上、２μｍ以下の範囲にある。硬質粒子２１の平均粒径が０．５μｍ未満であると、十分な研削力を発揮できない。一方、硬質粒子２１の平均粒径が５μｍを超えると、砥粒２０から脱粒した硬質粒子２１がパネルの表面に作用し、パネルの表面に不要なスクラッチが形成される。

砥粒２０の平均粒径は０．５ｍｍ以上、３ｍｍ以下の範囲、好適に０．６ｍｍ以上、１．２ｍｍ以下の範囲にある。

砥粒２０の平均粒径が０．５ｍｍ未満であると、砥粒２０に固定されている硬質粒子２１がパネルの表面に弾力的に作用しなくなり、パネルの表面に不要のスクラッチが形成される。

一方、砥粒２０の平均粒径が３ｍｍを超えると、砥粒２０と砥粒２０との間に形成される隙間の個数が減少し、異物をパネルの表面から十分に除去できず、パネルの表面に不要のスクラッチが形成される。

基材１１の表面上の１０ｍｍ×１０ｍｍの範囲内に固定される砥粒２０の個数は８０個以上、２００個以下の範囲にある。

砥粒２０の個数が８０個未満であると、砥粒２０と砥粒２０との間に形成される隙間のサイズが大きすぎて、クリーニング中の生じた異物をこの隙間内に取り込んでおくことができない。

一方、砥粒２０の個数が２００個を超えると、砥粒２０同士の間に形成される隙間が小さすぎて、クリーニング中に生じた異物をこの隙間内に取り込めない。

図１Ｃを参照して、基材１１の表面に単層で固定されている砥粒２０の（最大高さの砥粒２０ａと最小高さの砥粒２０ｂとの間の）高低差ΔＨは、１ｍｍ以下の範囲にある。

この高低差ΔＨが１ｍｍを超えると、この突出した砥粒がパネルの表面に作用し、この砥粒から硬質粒子が脱粒する（砥粒が変形する）間に、パネルの表面にスクラッチが形成される。

本発明のクリーニングシート１０では、基材１１の表面に第一の接着剤膜１４によって固定された砥粒２０上から第一の接着剤膜１４上にわたって第二の接着剤膜１５を形成して、これら砥粒２０を基材１１の表面により確実に固定してもよい。この第二の接着剤膜１５は、フェノール樹脂、アクリル樹脂、ウレタン樹脂、エポキシ樹脂、ユリア樹脂などの合成樹脂からなるものであり、砥粒２０を固定した基材１１の表面に、この合成樹脂を含む樹脂溶液を、ロールコート法、スプレーコート法などの既知の塗工法を利用してコーティングし、この樹脂溶液を乾燥させることによって形成される。

また、本発明のクリーニングシート１０は、基材１１の裏面に固定した弾性を有するシート状の裏当て材（図示せず）からさらに構成され得る。この裏当て材として、両面接着シート、面ファスナー用の起毛布シート、織布シート、不織布シート、発泡体シートなどが使用され得る。これら起毛布、織布、不織布及び発泡体シートは、両面接着シート又は接着剤を使用して基材１１の裏面に貼り付けられる。

＜砥粒製造方法＞ 砥粒２０は、硬質粒子２１と、バインダー樹脂２２を含む樹脂溶液との混合物（硬質粒子２１を１００重量部として、バインダー樹脂２２（固形分）は０．６重量部以上、１．０重量部以下の範囲）を円柱形のペレットに押出成形し、このペレットを、既知の回転造粒機を使用して、略球形又は丸みのある略円柱形の粒子に造粒し、これを乾燥させた後に、既知の分級機（目開き０．６ｍｍ以上、１．２ｍｍ以下）を使用して分級することによって製造される。

このようにして製造された砥粒２０の形状は、図２Ａ及び図２Ｂに示すように、略球形又は丸みのある略円柱形となっている。

＜クリーニングシート製造方法＞ 本発明のクリーニングシート１０は、まず、砥粒２０を製造する。（砥粒２０の製造は、上記したとおりであるので省略する。）

次に、基材１１の表面に、ロールコート法、ドクターコート法などの既知の塗工法を利用して、フェノール樹脂、アクリル樹脂、ウレタン樹脂、エポキシ樹脂、ユリア樹脂などの合成樹脂を含む樹脂溶液からなる接着剤（この接着剤は、乾燥後に砥粒２０を固定するための第一の接着剤膜１４となる接着剤である）をコーティングする。

この接着剤は、基材１１の表面にコーティングした接着剤の塗膜表面が平坦となるようにコーティングされる。

ここで、基材１１として、表面に凹凸がある上記のような多孔質シートを使用した場合、接着剤は、多孔質シートの表面部分に一部浸透し、この多孔質シートの表面にコーティングした接着剤の塗膜表面が平坦となるようにコーティングされる。なお、後述のように、砥粒２０を基材１１の表面に固定するために、この接着剤を乾燥させると、基材１１の表面に第一の接着剤膜１４が形成され、この第一の接着剤膜１４によって、多孔質シートの内部への通液が防止される。

また、基材１１として、上記のように予め表面処理を施したもの（すなわち、基材本体１２、及びこの基材本体１２の表面に形成した表面処理膜１３から構成されるもの）を使用してもよい。

次に、基材１１の表面上の１０ｍｍ×１０ｍｍの範囲内に固定される砥粒２０の個数が８０個以上、２００個以下の範囲となるように、基材１１の表面にコーティングした上記の接着剤の塗膜上に、砥粒２０を重力落下式に散布し、この接着剤の塗膜を乾燥させて第一の接着剤膜１４で砥粒２０を単層で固定する。

次に、基材１１の表面に固定される砥粒２０の高低差ΔＨが１ｍｍ以下の範囲となるように、砥粒２０を散布した基材１１の表面上からローラで加圧し、砥粒２０を第一の接着剤膜１４内に押し込んで、第一の接着剤膜１４で砥粒２０を基材１１の表面に確実に固定する。

ここで、砥粒２０は、基材１１の表面に散布された後にローラで加圧されるので、この加圧の際に、砥粒２０は、図２Ｂ及び図２Ｃに示すような丸みのある略円柱形又は略楕円形に変形され得る。

次に、基材１１の表面に第一の接着剤膜１４によって固定した砥粒２０上から第一の接着剤膜１４上にわたって、フェノール樹脂、アクリル樹脂、ウレタン樹脂、エポキシ樹脂、ユリア樹脂などの合成樹脂を含む樹脂溶液を、ロールコート法、スプレーコート法などの既知の塗工法を利用してコーティングし、この樹脂溶液を乾燥させることによって第二の接着剤膜１５を形成し、これにより、基材１１の表面に第一の接着剤膜１４によって固定されている砥粒２０を基材１１の表面により確実に固定してもよい（図１Ｃを参照）。

また、基材１１の裏面に、弾性を有するシート状の裏当て材（図示せず）を固定してもよい。

このようにして、本発明のクリーニングシート１０が製造される。

＜クリーニング方法＞ パネルは、上記本発明のクリーニングシート１０をクリーニングし易い形状（例えば、テープ状、パッド状）に適宜にカットしたクリーニング具を使用し、既知のパネルクリーナーを使用して、片面ずつ又は両面同時にクリーニングできる。

すなわち、パネルは、パネルの表面又は両面に洗浄液を供給し、上記本発明のクリーニングシート１０をカットして作製したクリーニング具をこのパネルの表面又は両面に押し付けながら、パネルとクリーニング具とを相対的に移動させることによってクリーニングする。洗浄液は、水、又はパネルに付着した油分を除去できる界面活性剤を添加した水溶液である。

図６Ａに、パネルＰの片面をクリーニングするパッド式のパネルクリーナー３０を例示する。図示のように、パネルクリーナー３０のヘッド３１の下端に矢印Ｒの方向に回転可能の定盤３２に（本発明のクリーニングシート１０をカットして作製した）クリーニングパッド１０´を貼り付ける。そして、パネルＰのクリーニングは、この定盤３２を矢印Ｒの方向に回転させながら、図６Ｂに示すように、枠３３に保持したパネルＰの表面に、洗浄液を供給し、クリーニングパッド１０´を押し付けて、ヘッド３１を矢印Ｔの方向に蛇行移動させることによって行われる。

パネルＰのクリーニング中、パネルＰの表面に押し付けられている砥粒２０から硬質粒子２１が脱粒し、この脱粒した硬質粒子２１が遊離砥粒としてパネルＰの表面に作用する。基材１１の表面に固定されている砥粒２０と遊離砥粒（砥粒２０から脱粒した硬質粒子２１）とによってパネルＰの表面から削り取られた異物は、基材１１の表面に固定されている砥粒２０と砥粒２０との間の隙間内に取り込まれ、パネルＰの表面から除去される。遊離砥粒（砥粒２０から脱粒した硬質粒子２１）も、異物と同様に、基材１１の表面に固定されている砥粒２０と砥粒２０との間の隙間内に取り込まれ、パネルＰの表面から除去される。

＜実施例＞ 実施例のクリーニングパッドを製造した。

酸化セリウム粒子（粒径１μｍ以上、２μｍ以下、製品名：セロックス１６５０、昭和電工（株））（１００重量部）と、合成樹脂（ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）、製品名：ＮＨ−２６、日本合成化学（株））の固形分濃度が７％の樹脂溶液（１４重量部）（樹脂固形分：０．９重量部）とをヘンシェルミキサーに投入して混合し、この混合物を内径０．８ｍｍのダイス穴から押出して、円柱形のペレットを成形し、このペレットを回転式の造粒機に投入して略球形に造粒した後、この造粒した粒子を乾燥させ、分級機（目開き０．６ｍｍ以上、１．２ｍｍ以下）を使用して分級し、粒径０．６ｍｍ以上、１．２ｍｍ以下の砥粒を製造した。

次に、基材（綿織布）の表面に、ロールコート法を利用して、酢酸ビニルエマルジョン（１００重量％）をコーティング（塗布量：３００ｇ／ｍ^２）した後、上記の砥粒を重力落下式に散布（散布量：１５００ｇ／ｍ^２）し、９０℃で２分間乾燥させ、基材の表面に砥粒を第一の接着剤膜（酢酸ビニルエマルジョンを乾燥したもの）で固定した。

次に、ローラを使用して、基材の表面に固定した砥粒を第一の接着剤膜内に押し込み、その後、基材の表面に固定した砥粒に、アクリル系の樹脂溶液（アクリルエマルジョン５０重量％、消泡剤１重量％、水４９重量％）をスプレーコート法を利用してコーティングし、１００℃で３０分間乾燥して、第二の接着剤膜（アクリル系の樹脂溶液を乾燥したもの）を形成した。

次に、基材の裏面に、裏当て材として面ファスナー用の起毛布を接着して、本発明のクリーニングシートを製造した。

そして、このクリーニングシートを円形状に打ち抜いて、実施例のクリーニングパッドを製造した。

＜比較例１＞ 比較例１のクリーニングパッドを製造した。

まず、表面に多数の円柱形の小突起を有するグラビアロール（突起径：約１．０ｍｍ、突起同士の中心距離：約３．０ｍｍ）を使用して、水溶性ポリウレタン樹脂を含む樹脂溶液中に平均粒径４０μｍの酸化アルミニウム粒子を分散させた塗料を基材（連続気泡タイプの発泡ポリウレタン）の表面にコーティングし、この塗料を乾燥させて、基材の表面に、穴径約１．０ｍｍの多数のチップポケット（クリーニング中に発生した異物を取り込む穴）を有する厚さ１０μｍの多孔質の研磨層を形成した。

次に、基材の裏面に、裏当て材として面ファスナー用の起毛布を接着して、従来のクリーニングシートを製造し、このクリーニングシートを円形状に打ち抜いて、比較例１のクリーニングパッドを製造した。

＜比較例２＞ 比較例２のクリーニングパッドを製造した。

比較例２のクリーニングパッドの製造は、上記比較例１のクリーニングパッドの製造に使用した酸化アルミニウム粒子の平均粒径が異なる以外は、上記比較例１のクリーニングパッドと同じであった。比較例２では、平均粒径３０μｍの酸化アルミニウム粒子を使用した。

＜比較試験＞ 上記実施例と比較例１、２のクリーニングパッドをそれぞれ使用して、表面にＩＴＯ膜を形成したガラス基板をクリーニングして、表面に残留する異物の有無、及びスクラッチの有無について比較した。

比較試験には、図６Ａ及び図６Ｂに示すようなパネルクリーナー（製品名：ＮＭＦ−６、日本ミクロコーティング（株））を使用し、下記の表１に示す条件でガラス基板の表面（ＩＴＯ膜の表面）をクリーニングした。洗浄液として、純水を使用した。

＜比較試験結果＞ クリーニング後のＩＴＯ膜の表面の状態（任意の１０μｍ×１０μｍの範囲）を、原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）（製品名：Ｄｉｍｅｎｓｉｏｎ３１００、デジタル・インスツルメント社）を使用してコンピュータ処理した画像を図３（実施例）、図４（比較例１）及び図５（比較例２）に示す。

図３に示すように、実施例のクリーニングパッドを使用すると、スクラッチが形成されない。しかし、図４及び図５に示すように、比較例１、２のものを使用すると、スクラッチが形成されていることがわかる。（スクラッチの深さ（Ｒｖ）は、実施例では５．５２１ｎｍ、比較例１では２７．４４２ｎｍ、比較例２では１９．３６１ｎｍであった。）

また、実施例と比較例１では、異物が完全に除去されたが、比較例２では、異物が残留していた。

このように、比較例１、２（従来の技術）では、パネルの表面にスクラッチが形成されるが、実施例（本発明）では、パネルの表面にスクラッチを形成せずに、パネルの表面をクリーニングできるという結果が得られた。

図１Ａは、本発明のクリーニングシートの断面図であり、図１Ｂは、本発明のクリーニングシートの部分拡大平面図であり、図１Ｃは、本発明のクリーニングシートの部分拡大断面図である。 図２Ａ、図２Ｂ及び図２Ｃは、それぞれ、本発明のクリーニングに使用される砥粒の形状を示すものであり、図２Ｄは、図２Ｂに符号（Ｄ）で示す部分の拡大断面図である。 図３は、本発明に従ってＩＴＯ膜の表面をクリーニングした後のＩＴＯ膜の表面の原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）のコンピュータ処理画像である（実施例）。 図４は、従来技術に従ってＩＴＯ膜の表面をクリーニングした後のＩＴＯ膜の表面の原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）のコンピュータ処理画像である（比較例２）。 図５は、それぞれ、従来技術に従ってＩＴＯ膜の表面をクリーニングした後のＩＴＯ膜の表面の原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）のコンピュータ処理画像である（比較例３）。 図６Ａは、本発明を実施するパネルクリーナーを例示し、図４Ｂは、図６Ａのパネルクリーナーの移動方向を例示する。

符号の説明

１０・・・クリーニングシート
１１・・・基材
１２・・・基材本体
１３・・・表面処理膜
１４・・・第一の接着剤膜
１５・・・第二の接着剤膜
２０・・・砥粒
２０ａ・・・最大高さの砥粒
２０ｂ・・・最小高さの砥粒
ΔＨ・・・高低差
２１・・・硬質粒子
２２・・・バインダー樹脂
３０・・・パネルクリーナー
３１・・・ヘッド
３２・・・定盤
３３・・・枠
１０´・・・クリーニングパッド
Ｒ・・・回転方向
Ｔ・・・移動方向
Ｐ・・・パネル

Claims (16)

1. クリーニングシートであって、
   シート状の基材、
   前記基材の表面に形成した第一の接着剤膜、及び
   前記第一の接着剤膜によって前記基材の表面に固定される砥粒、
   から成り、
   前記砥粒の各々が、
   複数個の硬質粒子、及び
   これら硬質粒子を結合するバインダー樹脂、
   から成り、
   前記砥粒が、前記第一の接着剤膜によって、前記基材の表面に単層で固定される、
   ところのクリーニングシート。
2. 請求項１のクリーニングシートであって、
   前記硬質粒子が、酸化セリウム粒子である、
   ところのクリーニングシート。
3. 請求項１のクリーニングシートであって、
   前記硬質粒子の平均粒径が、０．５μｍ以上、５μｍ以下の範囲にあり、
   前記砥粒の平均粒径が、０．５ｍｍ以上、３ｍｍ以下の範囲にある、
   ところのクリーニングシート。
4. 請求項１のクリーニングシートであって、
   前記基材の表面に単層で固定されている前記砥粒の高低差が、１ｍｍ以下の範囲にある、
   ところのクリーニングシート。
5. 請求項１のクリーニングシートであって、
   前記基材の表面上の１０ｍｍ×１０ｍｍの範囲内に固定される前記砥粒の個数が、８０個以上、２００個以下の範囲にある、
   ところのクリーニングシート。
6. 請求項１のクリーニングシートであって、
   前記基材が、
   基材本体、及び
   前記基材本体の表面に形成した表面処理膜、
   から成り、
   前記表面処理膜の表面が平坦であり、
   前記第一の接着剤膜が、前記表面処理膜の表面に形成される、
   ところのクリーニングシート。
7. 請求項１のクリーニングシートであって、
   前記第一の接着剤膜によって前記基材の表面に固定された前記砥粒上から前記第一の接着剤膜上にわたって形成した第二の接着剤膜、
   からさらに成るクリーニングシート。
8. 請求項６のクリーニングシートであって、
   前記表面処理膜が、フェノール樹脂、アクリル樹脂、ウレタン樹脂、エポキシ樹脂又はユリア樹脂からなる、
   ところのクリーニングシート。
9. 請求項１のクリーニングシートであって、
   前記第一の接着剤膜が、フェノール樹脂、アクリル樹脂、ウレタン樹脂、エポキシ樹脂又はユリア樹脂からなる、
   ところのクリーニングシート。
10. 請求項７のクリーニングシートであって、
    前記第二の接着剤膜が、フェノール樹脂、アクリル樹脂、ウレタン樹脂、エポキシ樹脂又はユリア樹脂からなる、
    ところのクリーニングシート。
11. 請求項１のクリーニングシートであって、
    前記基材の裏面に固定した弾性を有するシート状の裏当て材、
    からさらに成るクリーニングシート。
12. パネルの表面をクリーニングする方法であって、
    前記パネルの表面に洗浄液を供給する工程、及び
    クリーニング具を前記パネルの表面に押し付けながら、前記パネルと前記クリーニング具とを相対的に移動させる工程、
    から成り、
    前記クリーニング具が、クリーニングシートをカットして作製したものであり、
    前記クリーニングシートが、
    シート状の基材、
    前記基材の表面に形成した第一の接着剤膜、及び
    前記第一の接着剤膜によって前記基材の表面に固定される砥粒、
    から成り、
    前記砥粒の各々が、
    複数個の硬質粒子、及び
    これら硬質粒子を結合するバインダー樹脂、
    から成り、
    前記砥粒が、前記第一の接着剤膜によって、前記基材の表面に単層で固定される、
    ところの方法。
13. 請求項１２の方法であって、
    前記硬質粒子が、酸化セリウム粒子である、
    ところの方法。
14. 請求項１２の方法であって、
    前記硬質粒子の平均粒径が、０．５μｍ以上、５μｍ以下の範囲にあり、
    前記砥粒の平均粒径が、０．５ｍｍ以上、３ｍｍ以下の範囲にある、
    ところの方法。
15. 請求項１２の方法であって、
    前記基材の表面に単層で固定されている前記砥粒の高低差が、１ｍｍ以下の範囲にある、
    ところの方法。
16. 請求項１２の方法であって、
    前記基材の表面上の１０ｍｍ×１０ｍｍの範囲内に固定される前記砥粒の個数が、８０個以上、２００個以下の範囲にある、
    ところの方法。