WO2013153873A1 - 感光性化合物、感光性樹脂及び感光性組成物 - Google Patents

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    • G03F7/0388—Macromolecular compounds which are rendered insoluble or differentially wettable with ethylenic or acetylenic bands in the side chains of the photopolymer

Definitions

  • the present invention relates to a novel photosensitive compound, photosensitive resin and photosensitive composition.
  • photosensitive compositions containing a photosensitive resin have been proposed as a resist used in a lithography process of a semiconductor, a coating material for building a functional surface on a substrate, and the like (Patent Document 1, etc.) reference).
  • a photosensitive composition those containing water as a solvent and not containing an organic solvent are desired from the viewpoint of environmental problems. Therefore, the synthesis of the photosensitive resin is desirably performed in water not containing an organic solvent, not in an organic solvent or a mixed solvent of water and an organic solvent.
  • water is used as a solvent in order to suppress the phenomenon that substances that affect the living body etc. are eluted from the substrate. It is particularly desirable to use a photosensitive composition that does not contain an organic solvent.
  • the photosensitive resin can be produced, for example, by introducing a photosensitive compound into the polymer.
  • Patent Document 1 describes a photosensitive compound that can be dissolved in water to some extent and introduced into a polymer by a synthesis reaction in water.
  • a photosensitive compound having higher water solubility is desired.
  • the photosensitive composition is preferably excellent in storage stability and can be produced with a cheap raw material, but the photosensitive composition described in Patent Document 1 has insufficient storage stability, and The photosensitive compound capable of synthesizing the photosensitive resin in water has a problem that the raw material used for producing the compound is high.
  • the present invention can produce a photosensitive composition having excellent storage stability, a photosensitive compound having high water solubility and a low raw material, a photosensitive resin, and a photosensitive composition using the same.
  • the challenge is to provide goods.
  • n is an integer of 1 to 3
  • R 1 is a linear or branched alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, or two R 1 together Formed of an alkylene group having 2 to 6 carbon atoms
  • R 2 is —NR 3 R 4
  • R 3 and R 4 are each independently a linear or branched alkyl group having 1 to 6 carbon atoms.
  • R 1 is preferably a methyl group or an ethyl group
  • R 2 is preferably a group selected from the following.
  • a photosensitive material obtained by pendating the photosensitive compound with an acetal bond onto a polyvinyl alcohol polymer having a structure in which at least two repeating units formed of vinyl alcohol are continuous. Is in a functional resin.
  • n is an integer of 1 to 3
  • R 2 is a group selected from the following formulas.
  • the polyvinyl alcohol polymer may be a copolymer of vinyl alcohol and at least one selected from vinyl acetate, diacetone acrylamide, acrylamide, acrylic acid and polyethylene glycol.
  • Another aspect of the present invention is a photosensitive composition characterized by containing the photosensitive resin and water.
  • Another aspect of the present invention is a compound represented by the following formula (4), a compound represented by the following formula (5), and the following formula (6). It exists in the compound characterized by the above-mentioned.
  • R 2 is —NR 3 R 4
  • R 3 and R 4 are each independently a linear or branched alkyl or alkenyl group having 1 to 6 carbon atoms, or R 3 And R 4 are taken together to form a linear or branched alkylene group having 2 to 6 carbon atoms, or a linear or branched group having 3 to 8 carbon atoms that may contain an oxygen atom or a nitrogen atom An alkylene group or an alkenylene group.
  • a photosensitive compound that can be produced from an inexpensive raw material and has high water solubility can be provided.
  • the photosensitive composition containing water and the photosensitive resin which made this photosensitive compound the pendant to the polyvinyl alcohol-type polymer by the acetal bond is excellent in long-term storage stability.
  • 2 is an infrared absorption spectrum of [Photosensitive material A] obtained in Example 1.
  • 2 is an infrared absorption spectrum of [Photosensitive material C] obtained in Example 2.
  • 6 is an ultraviolet absorption spectrum of [Photosensitive material G] obtained in Example 6.
  • 6 is an ultraviolet absorption spectrum of a film of [photosensitive resin J] obtained in Example 9.
  • 4 is an infrared absorption spectrum of a film of [Photosensitive resin J] obtained in Example 9.
  • the photosensitive compound of the present invention is an acetal compound or an aldehyde compound having a predetermined structure having an azide group and a tertiary amino group, and is represented by the photosensitive compound represented by the above formula (1) or the above formula (2).
  • R 1 is a linear or branched alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, or 2 to 6 carbon atoms formed by combining two R 1 together.
  • R 2 is —NR 3 R 4
  • R 3 and R 4 are each independently a linear or branched alkyl or alkenyl group having 1 to 6 carbon atoms
  • R 3 and R 4 are A linear or branched alkylene group having 2 to 6 carbon atoms formed together, or a linear or branched alkylene group having 3 to 8 carbon atoms which may contain an oxygen atom or a nitrogen atom, or An alkenylene group, which is preferably a group selected from the following formulas from the viewpoint of cost.
  • X represents a substitution position, that is, a bonding position with a methylene group bonded to the benzene ring.
  • the position of R 2 —CH 2 — in the benzene ring is not particularly limited, and may be any of the para position, the meta position, and the ortho position with respect to the —CONH— group in the benzene ring.
  • N is an integer of 1 to 3, and n is preferably 3 from the viewpoint of easy reactivity with the polyvinyl alcohol polymer.
  • the photosensitive compound represented by the formula (1) or the photosensitive compound represented by the formula (2) of the present invention has an absorption wavelength at 250 nm to 400 nm, that is, reacts to light having a wavelength of 400 nm or less. Having a photosensitive group.
  • the photosensitive compound represented by the formula (1) and the photosensitive compound represented by the formula (2) have very high water solubility in the acidic range.
  • 100 g of acidic water having a pH of 1.5 to 3 is used.
  • the polymer By reacting a repeating unit with a polymer having two consecutive structures in acidic water, the polymer can be pendant via an acetal group or an aldehyde group. Therefore, it is possible to synthesize a photosensitive resin without using an organic solvent such as alcohol, which causes a problem of environmental burden. And, since it is possible to synthesize a photosensitive resin using water as a reaction solvent, without performing an operation of removing the organic solvent after the synthesis reaction of the photosensitive resin, as it is, or diluted with water as needed, A photosensitive composition containing water as a solvent without containing an organic solvent can be obtained.
  • the photosensitive compound represented by Formula (1) and the photosensitive compound represented by Formula (2) have very high water solubility in an acidic region, a high-concentration aqueous solution is used as a polymer and an acetal.
  • the polymer can be pendant to the polymer.
  • the photosensitive compound represented by Formula (1) and the photosensitive compound represented by Formula (2) can be manufactured with an inexpensive raw material.
  • Patent Document 1 also describes a photosensitive compound having water solubility, and this photosensitive compound can be reacted with a polymer in water to pendant the photosensitive compound onto the polymer.
  • the water-soluble photosensitive compound described in Patent Document 1 is more water-soluble than the photosensitive compound represented by the formula (1) and the photosensitive compound represented by the formula (2) of the present invention.
  • the photosensitive composition containing a photosensitive resin in which a photosensitive compound is pendant on a polymer in water is not good in long-term storage stability because the property is not sufficient.
  • the method for synthesizing the photosensitive compound represented by formula (1) and the photosensitive compound represented by formula (2) is not particularly limited.
  • the compound represented by formula (1) is represented by the following reaction formula.
  • it can manufacture by making the secondary amine compound NR ⁇ 3 > R ⁇ 4 > H react with the compound which has a halogenated methyl group represented by Formula (a).
  • n and R 1 are the same as n and R 1 in the formula (1), and Q is a halogen atom, specifically a chlorine atom or a bromine atom.
  • This reaction may be performed, for example, in the presence of triethylamine or the like in a solvent such as acetonitrile for about 3 to 8 hours.
  • the compound which has a halogenated methyl group represented by Formula (a) is represented by Formula (b) in the compound which has an azlactone ring represented by Formula (4), as shown in the following reaction formula. It can be produced by reacting an acetal compound.
  • n and R 1 are the same as n and R 1 in formula (1), and Q is the same as Q in formula (a). This reaction may be performed, for example, without a catalyst in a solvent such as tetrahydrofuran for about 3 to 8 hours.
  • the compound having an azlactone ring represented by formula (4) can be produced by reacting azidobenzaldehyde with a compound having a carboxy group represented by formula (5) as shown in the following reaction formula. .
  • Q is the same as Q in formula (a). This reaction may be performed, for example, in the presence of acetic anhydride and sodium acetate in a solvent such as acetonitrile for about 5 to 12 hours.
  • a compound having a carboxyl group represented by formula (5) is added with ethyl chloroformate in a solvent such as acetonitrile in the presence of a base such as triethylamine to form an azlactone ring, and further reacted with azidobenzaldehyde.
  • a solvent such as acetonitrile
  • a base such as triethylamine
  • the compound which has a carboxy group represented by Formula (5) can be manufactured by making glycine react with halogenated methylbenzoyl chloride, as shown by the following reaction formula.
  • Q is the same as Q in formula (a).
  • This reaction may be performed, for example, using sodium hydroxide or the like as a catalyst in a solvent such as a mixed solvent of water and acetonitrile for about 1 to 8 hours.
  • the photosensitive compound represented by Formula (1) is manufactured by making the compound represented by Formula (6) react with the acetal compound represented by Formula (b), as shown by the following reaction formula. it can.
  • R 2 is the same as R 2 in the formula (1)
  • n and R 1 are the same as n and R 1 in formula (1).
  • This reaction may be performed, for example, without a catalyst and in a solvent such as tetrahydrofuran for about 1 to 5 hours.
  • the photosensitive compound represented by Formula (6) can be manufactured by making azidobenzaldehyde react with the compound which has a carboxy group represented by Formula (c), as shown by the following Reaction Formula. .
  • R 2 is the same as R 2 in formula (1). This reaction may be performed, for example, in the presence of acetic anhydride or the like in a solvent such as acetonitrile for about 5 to 12 hours.
  • a compound having a carboxyl group represented by the formula (c) is added with ethyl chloroformate in a solvent such as acetonitrile in the presence of a base such as triethylamine to form an azlactone ring and further reacted with azidobenzaldehyde.
  • a solvent such as acetonitrile
  • a base such as triethylamine
  • the compound represented by Formula (c) is made to react the secondary amine compound NR ⁇ 3 > R ⁇ 4 > H with the compound which has a carboxy group represented by Formula (5), as shown by the following Reaction Formula. Can be manufactured.
  • Q is a halogen atom
  • R 2 is the same as R 2 in formula (1). This reaction may be performed, for example, in the presence of triethylamine or the like in a solvent such as water or acetonitrile for about 3 to 12 hours.
  • the photosensitive compound represented by the formula (2) is obtained by hydrolyzing the photosensitive compound represented by the formula (1).
  • the photosensitive compound represented by the above formula (1) and the photosensitive compound represented by the formula (2) are obtained by adding an acetal to a polyvinyl alcohol polymer having a structure in which at least two repeating units formed of vinyl alcohol are continuous. It can be set as the photosensitive resin of this invention by making it pendant by coupling
  • This photosensitive resin of the present invention has a structure derived from the photosensitive compound represented by the above formula (1) and the photosensitive compound represented by the formula (2) in the side chain, and therefore has photocrosslinkability. For example, it can be cross-linked by irradiating with light having a wavelength in the range of 250 nm to 400 nm to form a photocured body.
  • the photosensitive resin of the present invention is photocrosslinkable if the photosensitive compound represented by formula (1) or the photosensitive compound represented by formula (2) is pendant with an acetal bond on a polyvinyl alcohol polymer.
  • the photosensitive compound represented by the formula (1) or the photosensitive compound represented by the formula (2) is 0.1 mol% to 3 mol% acetal bond with respect to the polyvinyl alcohol polymer.
  • the photosensitive compound represented by multiple types of Formula (1) and the photosensitive compound represented by Formula (2) are pendant to the polyvinyl alcohol polymer by an acetal bond, Formula (1)
  • the total amount of the photosensitive compound represented by formula (2) and the photosensitive compound represented by formula (2) is 0.1 mol% to 3 mol% acetal based on a structure in which at least two repeating units formed of vinyl alcohol are continuous. It is preferably pendant with a bond.
  • repeating unit formed with vinyl alcohol is a structure formed using vinyl alcohol as a monomer, and has the following structure.
  • the structure in which at least two repeating units formed of vinyl alcohol are continuous is the following structure.
  • Such a polyvinyl alcohol polymer may be polyvinyl alcohol or a copolymer of vinyl alcohol and another vinyl compound.
  • the copolymer include a copolymer of vinyl alcohol and at least one selected from vinyl acetate, diacetone acrylamide, acrylamide, acrylic acid, and polyethylene glycol.
  • the copolymer may be any of a random copolymer, a block copolymer, and a graft copolymer.
  • the repeating unit formed with the said vinyl alcohol is 70 mass% or more in a copolymer.
  • Polyvinyl alcohol preferably has an average degree of polymerization of 200 to 5000, for example.
  • the average degree of polymerization is less than 200, it is difficult to obtain sufficient sensitivity, and when the average degree of polymerization is more than 5000, the viscosity of the solution of the photosensitive resin becomes high and the applicability is deteriorated. Further, if the concentration is lowered to lower the viscosity, it becomes difficult to obtain a desired coating film thickness.
  • examples of copolymers of vinyl alcohol and other vinyl compounds include those having an average polymerization degree of 200 to 5,000.
  • the photosensitive resin of the present invention can be obtained.
  • the reaction conditions are not particularly limited, but the reaction is preferably carried out in water adjusted to pH 1.5-3 by adding phosphoric acid, p-toluenesulfonic acid or the like.
  • the reaction may be performed at 50 to 70 ° C. for about 5 to 48 hours.
  • Aliphatic aldehydes such as formaldehyde, acetaldehyde, propionaldehyde, butyraldehyde, crotonaldehyde, benzaldehyde, sulfonate, benzaldehyde-disulfonate, sodium 4-azido-2-sulfobenzaldehyde, carboxybenzaldehyde, hydroxybenzaldehyde, formyl
  • Aromatic aldehydes such as styrylpyridinium salts or acetals thereof, and ketones such as acetone and methyl ethyl ketone can be reacted simultaneously.
  • the photosensitive composition of the present invention contains the photosensitive resin of the present invention and water.
  • the ratio of the photosensitive resin contained in the photosensitive composition of the present invention is not particularly limited, and for example, a photosensitive composition having a photosensitive resin concentration of 4 to 15% by mass can be obtained.
  • the photosensitive composition of the present invention may contain a water-soluble polymer other than the photosensitive resin of the present invention and a water-soluble azide compound.
  • water-soluble polymer examples include natural polymer such as saponified polyvinyl acetate, gelatin, cellulose derivative, and casein, and a polymer or copolymer composed of a water-soluble vinyl monomer.
  • water-soluble vinyl monomer examples include N-vinylformamide, N-vinylacetamide, vinylpyrrolidone, acrylamide, diacetoneacrylamide, N, N-dimethylacrylamide, vinylpyridine, methacrylamide, and allylthiourea.
  • water-soluble azide compound examples include 4,4′-diazidostilbene-2,2′-disulfonic acid, 4,4′-diazidobenzalacetophenone-2-sulfonic acid, and 4,4′-disulfonic acid.
  • examples thereof include azidostilbene- ⁇ -carboxylic acid and alkali metal salts, ammonium salts and organic amine salts thereof.
  • the photosensitive composition of the present invention may contain, for example, ethylene glycol, sorbitol, or a surfactant for improving coating properties and moisture retention properties.
  • the photosensitive composition of the present invention may contain a so-called silane coupling material that is an adhesion promoter for improving the adhesion to the substrate.
  • adhesion promoter include water-soluble adhesion promoters such as N- ⁇ (aminoethyl) -aminopropylmethyldimethoxysilane and N- ⁇ (aminoethyl) - ⁇ -aminopropyltrimethoxysilane.
  • the photosensitive composition of the present invention contains a preservative, an antifoaming agent, a pH adjuster, and a hydrophobic polymer emulsion for improving film strength, water resistance, adhesion to various substrates and the like. You may do it.
  • the hydrophobic emulsion include polyvinyl acetate emulsion, polyacrylate emulsion, and urethane emulsion. Pattern formation using a composition containing a hydrophobic polymer emulsion can be suitably used, for example, when producing a screen printing plate.
  • the photosensitive composition of the present invention may contain a colorant such as a pigment or a dye in order to prevent halation due to exposure or to obtain a colored image.
  • Such a photosensitive composition of the present invention is excellent in storage stability as the viscosity hardly increases even when stored for a long period of time, as shown in the Examples described later.
  • the photosensitive resin of the present invention can be synthesized using water as a reaction solvent without using an organic solvent, an operation of removing the organic solvent is performed on the synthesized photosensitive resin.
  • a photosensitive composition containing water as a solvent without containing an organic solvent as it is or after being diluted with water as necessary.
  • such a photosensitive composition containing no organic solvent is suitable for use in manufacturing a medical device, a biochemical test device or the like by coating the substrate.
  • a material such as plastic is used as a base material
  • a photosensitive composition containing an organic solvent is coated on the base material, a substance (such as a protein, cell, or enzyme) that affects the living body ( Since a plasticizer etc. are easily eluted from a base material, it is difficult to use a base material coated with a photosensitive composition containing an organic solvent as a medical device or a biochemical test device.
  • the photosensitive composition of the present invention can contain water as a solvent and does not contain an organic solvent, it may be coated on a substrate made of a material such as plastic that causes a problem of elution due to the organic solvent. It can be used as a medical device or a biochemical test device that comes into contact with living bodies such as proteins, cells, and enzymes.
  • the material of the base material is not particularly limited, and examples thereof include glass and plastic.
  • the shape of the substrate is not particularly limited, and examples thereof include a fiber shape, a film shape, a plate shape, and a shape in which a plurality of holes are formed.
  • the formed coating film is irradiated with light having a wavelength in the range of 250 nm to 400 nm, for example,
  • a photocured body in which a photosensitive resin is crosslinked can be formed on a substrate.
  • the photocuring body which has a desired pattern shape on a base material can be obtained by providing the mask of predetermined shape, irradiating light to the said coating film, and wash
  • a photocured body is formed on the substrate thus obtained include, for example, a biochip, a biosensor, a cell culture container, a protein analysis container, an enzyme reaction container, a protein analysis container having a channel shape, etc.
  • the photosensitive composition of the present invention can be used as a medical device or biochemical test device. It can also be used to immobilize biocatalysts such as enzymes and microorganisms. Since the photosensitive composition of the present invention has high resolution, not only the production of the above-mentioned medical device or biochemical test device, the use of immobilizing a biocatalyst, but also the lithography process of a semiconductor having a fine structure, etc. It can also be used as a resist used in.
  • 3 g of glycine was dissolved in a mixed solution of 20 g of water, 10 g of acetonitrile and 2 g of sodium hydroxide, and the solution temperature was cooled to 10 ° C. to prepare a glycine solution. Further, 8 g of chloromethylbenzoyl chloride was dissolved in 20 g of acetonitrile, and a solution cooled to 10 ° C. was dropped into the above glycine solution over 2 hours. At the same time, a solution obtained by dissolving 2 g of sodium hydroxide in 20 g of water was added dropwise to the glycine solution over 2 hours.
  • the mixture was acidified with a 5% by mass hydrochloric acid aqueous solution to precipitate the target chloromethylbenzoylglycine, which was filtered and dried to obtain 7 g of the target chloromethylbenzoylglycine.
  • Example 2 6 g of [Photosensitive material A] obtained in Example 1 was dispersed in 30 g of tetrahydrofuran (hereinafter referred to as THF), and a solution of 3 g of aminobutyraldehyde dimethyl acetal in 20 g of THF was cooled to 10 ° C. in this dispersion. The solution was added dropwise over 1 hour. Thereafter, the mixture was allowed to stand for 3 hours, 150 g of water was added, and the precipitate was filtered and dried to obtain 6 g of [photosensitive material B] as the target compound.
  • THF tetrahydrofuran
  • Photosensitive material D represented by the following formula (3- (4-azidophenyl) -N- (4,4′-dimethoxybutyl) -2- (4-imidazolylmethylphenyl) carbonylamino- Synthesis of prop-2-enamide)
  • the compound [photosensitive material B] obtained in Synthesis Example 2 was dissolved in 6 g, diallylamine 1.3 g, triethylamine 1.1 g, and acetonitrile 40 g, reacted at 50 ° C. for 7 hours, cooled, 250 g of water was added, and the precipitate was added. By filtering off and drying, 3 g of [photosensitive material E] as the target compound was obtained.
  • 3 g of glycine was dissolved in a mixed solution of 20 g of water, 10 g of acetonitrile and 2 g of sodium hydroxide, and the solution temperature was cooled to 10 ° C. to prepare a glycine solution. Further, 8 g of chloromethylbenzoyl chloride was dissolved in 20 g of acetonitrile, and a solution cooled to 10 ° C. was dropped into the above glycine solution over 2 hours. At the same time, a solution obtained by dissolving 2 g of sodium hydroxide in 20 g of water was added dropwise to the glycine solution over 2 hours. After 5 hours, 4 g of morpholine was added and reacted at 60 ° C.
  • Example 7 [Photosensitive material G] Synthesis of (4- (4-azidophenylmethylene) -2- (4-morpholinomethylphenyl) -1,3-oxazolin-5-one) (different from Example 6) Synthesis method) 10 g of chloromethylbenzoylglycine obtained in Synthesis Example 1 was dispersed in 30 g of acetonitrile, added with 4.5 g of triethylamine and 4 g of morpholine, and reacted at 60 ° C. for 4 hours to obtain morpholinomethylbenzoylglycine. The reaction solution was cooled to 10 ° C.
  • Example 8 [Photosensitive material C] (3- (4-azidophenyl) -N- (4,4′-dimethoxybutyl) -2- (4-morpholinomethylphenyl) carbonylamino-prop-2-enamide) (Synthesis method different from Example 2) 6 g of [Photosensitive material G] obtained in Example 7 was dispersed in 30 g of THF, and a solution prepared by dissolving 3 g of aminobutyraldehyde dimethyl acetal in 20 g of THF was added dropwise to the dispersion over 1 hour while cooling to 10 ° C.
  • Example 9 Synthesis of [Photosensitive Resin J] and Preparation of Photosensitive Composition 40 g of polyvinyl alcohol (“GOHSENOL EG-30” manufactured by Nippon Synthetic Chemical Industry Co., Ltd .: average polymerization degree 1700) was dissolved in 400 g of water. To this, 4 g of [Photosensitive material C] obtained in Example 2 and 2 g of phosphoric acid were added and reacted at 60 ° C. for 24 hours. The acetalization reaction rate was 98% as measured by GPC (gel permeation chromatography). From the measurement results, the amount of acetalization was calculated as an amount corresponding to 0.8 mol% with respect to polyvinyl alcohol.
  • polyvinyl alcohol (“GOHSENOL EG-30” manufactured by Nippon Synthetic Chemical Industry Co., Ltd .: average polymerization degree 1700) was dissolved in 400 g of water.
  • 4 g of [Photosensitive material C] obtained in Example 2 and 2 g of phosphoric acid were added and reacted
  • phosphoric acid was removed by treatment with an ion exchange resin to obtain a photosensitive solution containing a photosensitive resin in which [Photosensitive material C] was pendant to polyvinyl alcohol with an acetal bond.
  • This photosensitive solution was diluted with water to prepare a photosensitive composition having a photosensitive resin concentration of 6% by mass.
  • the obtained photosensitive composition was applied to a glass plate and dried to obtain a coating film having a thickness of 1.0 ⁇ m.
  • the coated film is adhered to Toppan Printing Co., Ltd. test mask, the coating through the mask, an ultrahigh-pressure mercury lamp measured at (ultraviolet illuminance 5 mW / cm 2 :( Ltd.) Oak Seisakusho illuminometer "UV-35")
  • UV-35 ultrahigh-pressure mercury lamp measured at
  • the ultraviolet absorption spectrum was measured about the film
  • the ultraviolet absorption spectrum is shown in FIG.
  • the obtained photosensitive composition was applied and dried to form a film having a thickness of 3 ⁇ m, and the film was obtained by peeling the film from the PET film, that is, the infrared of the film of [photosensitive resin J].
  • the absorption spectrum was measured, an absorption 2020 cm ⁇ 1 derived from an azide group was confirmed.
  • the infrared absorption spectrum is shown in FIG.
  • Example 10 Synthesis of [Photosensitive Resin K] and Preparation of Photosensitive Composition 40 g of diacetone acrylamide copolymer polyvinyl alcohol (“DF-20” manufactured by Nippon Vinegar Poval Co., Ltd.) was dissolved in 400 g of water. To this, 4 g of [Photosensitive material C] obtained in Example 2 and 2 g of phosphoric acid were added and reacted at 50 ° C. for 48 hours. The acetalization reaction rate was 98% as measured by GPC (gel permeation chromatography). From the measurement results, the amount of acetalization was calculated as an amount corresponding to 0.8 mol% with respect to the polymer.
  • DF-20 diacetone acrylamide copolymer polyvinyl alcohol
  • phosphoric acid was removed by treatment with an ion exchange resin, and a photosensitive solution containing a photosensitive resin in which [photosensitive material C] was pendant to diacetone acrylamide copolymer polyvinyl alcohol with an acetal bond was obtained.
  • This photosensitive solution was diluted with water to prepare a photosensitive composition having a photosensitive resin concentration of 6% by mass.
  • the obtained photosensitive composition was applied to a glass plate and dried to obtain a coating film having a thickness of 1.0 ⁇ m.
  • the coating film is adhered to a test mask manufactured by Toppan Printing Co., Ltd., through the mask, an ultrahigh-pressure mercury lamp measured at (ultraviolet illuminance 5 mW / cm 2 :( Ltd.) Oak Seisakusho illuminometer "UV-35")
  • UV-35 ultrahigh-pressure mercury lamp measured at (ultraviolet illuminance 5 mW / cm 2 :( Ltd.) Oak Seisakusho illuminometer
  • Example 11 Synthesis of [Photosensitive Resin L] 40 g of polyvinyl alcohol-polyethylene glycol graft copolymer (“Kollicoat IR” manufactured by BASF) was dissolved in 300 g of water, and [Photosensitive material obtained in Example 2] C] 4 g and 2 g of phosphoric acid were added and reacted at 50 ° C. for 48 hours. The acetalization reaction rate was 98% as measured by GPC (gel permeation chromatography). From the measurement results, the amount of acetalization was calculated as an amount corresponding to 0.8 mol% with respect to the polymer.
  • Polyvinyl alcohol-polyethylene glycol graft copolymer (“Kollicoat IR” manufactured by BASF) was dissolved in 300 g of water, and [Photosensitive material obtained in Example 2] C] 4 g and 2 g of phosphoric acid were added and reacted at 50 ° C. for 48 hours. The acetalization reaction rate was 98% as measured by GPC (gel permeation
  • phosphoric acid was removed by treatment with an ion exchange resin, and a photosensitive solution containing a photosensitive resin in which [photosensitive material C] was pendant to the polyvinyl alcohol-polyethylene glycol graft copolymer by an acetal bond was prepared.
  • This photosensitive solution was diluted with water to prepare a photosensitive composition having a photosensitive resin concentration of 10% by mass.
  • the obtained photosensitive composition was applied to a glass plate and dried to obtain a coating film having a thickness of 0.6 ⁇ m.
  • the coating film is adhered to a test mask manufactured by Toppan Printing Co., Ltd., through the mask, an ultrahigh-pressure mercury lamp measured at (ultraviolet illuminance 5 mW / cm 2 :( Ltd.) Oak Seisakusho illuminometer "UV-35")
  • UV-35 ultrahigh-pressure mercury lamp measured at (ultraviolet illuminance 5 mW / cm 2 :( Ltd.) Oak Seisakusho illuminometer
  • Comparative Example 1 Synthesis of [Comparative Photosensitive Resin M] 40 g of polyvinyl alcohol (“EG-30” manufactured by Nippon Synthetic Chemical Industry Co., Ltd.) was dissolved in 400 g of water, and obtained in Comparative Synthesis Example 2 [ Comparative Photosensitive Material I] 4 g and phosphoric acid 2 g were added and reacted at 60 ° C. for 24 hours. The acetalization reaction rate was 98% as measured by GPC (gel permeation chromatographic analysis). From the measurement results, the amount of acetalization was calculated as an amount corresponding to 0.8 mol% with respect to the polymer.
  • EG-30 polyvinyl alcohol
  • Comparative Synthesis Example 2 Comparative Photosensitive Material I
  • phosphoric acid 2 g were added and reacted at 60 ° C. for 24 hours.
  • the acetalization reaction rate was 98% as measured by GPC (gel permeation chromatographic analysis). From the measurement results, the amount of acetalization was calculated as an amount corresponding to 0.8
  • phosphoric acid was removed by treatment with an ion exchange resin to obtain a photosensitive solution containing a photosensitive resin in which [Comparative Photosensitive Material I] was pendant to polyvinyl alcohol with an acetal bond.
  • This photosensitive solution was diluted with water to prepare a photosensitive composition having a photosensitive resin concentration of 6% by mass.
  • the obtained photosensitive composition was applied to a glass plate and dried to obtain a coating film having a thickness of 1.0 ⁇ m.
  • a test mask made by Toppan Printing Co., Ltd. was brought into close contact with this coating film, and the ultra-high pressure mercury lamp (ultraviolet illuminance 5 mW / cm 2 : measured with an illuminance meter “UV-35” made by Oak Manufacturing Co., Ltd.)
  • the coating was exposed for 15 seconds, then developed with water for 60 seconds and dried.
  • the line width of 50 ⁇ m with no residual development was clearly developed, but the line width of 30 ⁇ m was partially resolved, but some lines were thickened, and the resolution was higher than in Example 1. Was bad.
  • the photosensitive compounds of the present invention (photosensitive materials C to F) obtained in Examples 2 to 5 had very high solubility in an aqueous phosphoric acid solution.
  • [Comparative Photosensitive Material H] obtained in Comparative Synthesis Example 1 had very low solubility in an aqueous phosphoric acid solution.
  • [Comparative Photosensitive Material I] obtained in Comparative Synthesis Example 2 was dissolved in phosphoric acid aqueous solution more than Comparative Synthesis Example 1 [Comparative Photosensitive Material H], but Photosensitive Materials C to C obtained in Examples 2 to 5 were used. Compared with F, the solubility was low.
  • Example 2 The photosensitive composition of 6% by mass obtained in Example 9 and Comparative Example 1 was placed in a plastic container and stored for 1 year in a refrigerator at 4 ° C. under light shielding, and the viscosity was measured at 25 ° C. Table 2 shows the results at 0 day (at the start), 6 months, and 1 year.
  • the photosensitive composition containing [Photosensitive Resin J] of Example 9 has a viscosity even when stored in a plastic container and protected from light in a refrigerator at 4 ° C. for 1 year. No increase was observed, and the storage stability was excellent.
  • the photosensitive composition containing [Comparative Photosensitive Resin M] of Comparative Example 1 showed a phenomenon in which the viscosity gradually increased with time.
  • the viscosity of the photosensitive composition of the present invention is kept constant over a long period of time because the photosensitive compound of the present invention has very good solubility in an acidic aqueous solution of phosphoric acid, so that during the acetalization reaction to the polymer This is probably because the photosensitive compound is uniformly introduced into the polymer, so that aggregation of the photosensitive groups hardly occurs during storage.
  • Comparative Example 1 since the water solubility in the acidic region of the photosensitive compound is lower than the water solubility of the photosensitive compound of the present invention, the photosensitive resin is completely dissolved at the end of the reaction, Since it is in a state of being dispersed in water, the photosensitive compound pendant on the photosensitive resin is microscopically uneven in density, and it is considered that partial aggregation occurs during long-term storage and the viscosity increases.

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Abstract

　下記式（１）又は式（２）で表される感光性化合物。　〔化１〕 （式（１）及び式（２）において、ｎは１～３の整数であり、Ｒ１は炭素数１～６の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基、又は、二つのＲ１が一緒になって形成される炭素数２～６のアルキレン基であり、Ｒ２は－ＮＲ３Ｒ４であり、Ｒ３及びＲ４はそれぞれ独立に炭素数１～６の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基又はアルケニル基、或いは、Ｒ３とＲ４が一緒になって形成される炭素数２～６の直鎖状もしくは分岐状のアルキレン基、又は、酸素原子もしくは窒素原子を含んでよい炭素数３～８の直鎖状もしくは分岐状のアルキレン基又はアルケニレン基である。）

Description

感光性化合物、感光性樹脂及び感光性組成物
　本発明は、新規な感光性化合物、感光性樹脂及び感光性組成物に関する。
　半導体のリソグラフィー工程等において使用するレジストや、基材上に機能性表面を構築するためのコーティング材料等として、感光性樹脂を含有する様々な感光性組成物が提案されている（特許文献１等参照）。このような感光性組成物としては、環境問題の観点から、水を溶媒とし有機溶媒を含有しないものが望まれている。そのため、感光性樹脂の合成は、有機溶媒中や水と有機溶媒との混合溶媒中ではなく、有機溶媒を含有していない水中で行うことが望ましい。感光性組成物を基材にコーティングして、医療デバイスや生化学試験用デバイス等として使用する場合は、生体等に影響を与える物質が基材から溶出するという現象を抑制するために水を溶媒とし、有機溶媒を含有しない感光性組成物を使用することが、特に望まれる。
　感光性樹脂は、例えば、重合体に感光性化合物を導入することによって製造できる。そして、特許文献１の中には、ある程度水に溶解し、水中での合成反応で重合体に導入できる感光性化合物が記載されている。しかしながら、例えばより高い濃度の感光性化合物の水溶液を使用して感光性樹脂を得るため等には、さらに水溶性が高い感光性化合物が望まれる。
　また、感光性組成物は、保存安定性に優れていることや、安い原料で製造できることが望ましいが、特許文献１に記載された感光性組成物では、保存安定性が不十分であり、また、水中で感光性樹脂を合成できる感光性化合物はその化合物を製造するために使用する原料が高いという問題があった。
特開２００３－２９２４７７号公報
　本発明はこのような事情に鑑み、保存安定性に優れた感光性組成物を製造することができ、水溶性が高く原料が安価な感光性化合物、感光性樹脂及びこれを用いた感光性組成物を提供することを課題する。
　上記課題を解決する本発明の態様は、下記式（１）又は式（２）で表されることを特徴とする感光性化合物にある。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000008
 （式（１）及び式（２）において、ｎは１～３の整数であり、Ｒ１は炭素数１～６の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基、又は、二つのＲ１が一緒になって形成される炭素数２～６のアルキレン基であり、Ｒ２は－ＮＲ３Ｒ４であり、Ｒ３及びＲ４はそれぞれ独立に炭素数１～６の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基又はアルケニル基、或いは、Ｒ３とＲ４が一緒になって形成される炭素数２～６の直鎖状もしくは分岐状のアルキレン基、又は、酸素原子もしくは窒素原子を含んでよい炭素数３～８の直鎖状もしくは分岐状のアルキレン基又はアルケニレン基である。）
　そして、Ｒ１がメチル基又はエチル基であり、Ｒ２が下記から選択される基であることが好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000009
 （Ｘは置換位置を表す。）
　本発明の他の態様は、ビニルアルコールで形成される繰り返し単位が少なくとも二つ連続した構造を有するポリビニルアルコール系重合体に、上記感光性化合物をアセタール結合でペンダントさせてなることを特徴とする感光性樹脂にある。
　そして、下記式（３）で表される繰り返し単位を有していてもよい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000010
 （式（３）において、ｎは１～３の整数であり、Ｒ２は下記式から選択される基である。）
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000011
 （Ｘは置換位置を表す。）
　また、前記ポリビニルアルコール系重合体が、ビニルアルコールと、酢酸ビニル、ダイアセトンアクリルアミド、アクリルアミド、アクリル酸及びポリエチレングリコールから選択される少なくとも一種との共重合体であってもよい。
　また、本発明の他の態様は、上記感光性樹脂及び水を含有することを特徴とする感光性組成物にある。
　本発明の他の態様は、下記式（４）で表されることを特徴とする化合物、下記式（５）で表されることを特徴とする化合物、及び、下記式（６）で表されることを特徴とする化合物にある。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000012
 （式（４）において、Ｑはハロゲン原子である。）
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000013
 （式（５）において、Ｑはハロゲン原子である。）
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000014
 （式（６）において、Ｒ２は－ＮＲ３Ｒ４であり、Ｒ３及びＲ４はそれぞれ独立に炭素数１～６の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基又はアルケニル基、或いは、Ｒ３とＲ４が一緒になって形成される炭素数２～６の直鎖状もしくは分岐状のアルキレン基、又は、酸素原子もしくは窒素原子を含んでよい炭素数３～８の直鎖状もしくは分岐状のアルキレン基又はアルケニレン基である。）
　本発明によれば、安価な原料で製造することができ且つ水溶性が高い感光性化合物を提供できる。そして、この感光性化合物をポリビニルアルコール系重合体にアセタール結合でペンダントさせた感光性樹脂及び水を含有する感光性組成物は、長期間保存安定性に優れる。
実施例１で得た［感光材Ａ］の赤外線吸収スペクトルである。 実施例２で得た［感光材Ｃ］の赤外線吸収スペクトルである。 実施例６で得た［感光材Ｇ］の紫外線吸収スペクトルである。 実施例９で得た［感光性樹脂Ｊ］の皮膜の紫外線吸収スペクトルである。 実施例９で得た［感光性樹脂Ｊ］のフィルムの赤外線吸収スペクトルである。
　本発明の感光性化合物は、アジド基及び３級アミノ基を有する所定構造のアセタール化合物またはアルデヒド化合物であり、上記式（１）で表される感光性化合物、または、上記式（２）で表される感光性化合物である。式（１）や式（２）において、Ｒ１は、炭素数１～６の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基、又は、二つのＲ１が一緒になって形成される炭素数２～６のアルキレン基、すなわち、炭素数が２～６の－Ｒ１－Ｒ１－であり、コストの観点からメチル基又はエチル基であることが好ましい。また、Ｒ２は、－ＮＲ３Ｒ４であり、Ｒ３及びＲ４はそれぞれ独立に炭素数１～６の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基又はアルケニル基、或いは、Ｒ３とＲ４が一緒になって形成される炭素数２～６の直鎖状もしくは分岐状のアルキレン基、又は、酸素原子もしくは窒素原子を含んでよい炭素数３～８の直鎖状もしくは分岐状のアルキレン基又はアルケニレン基であり、コストの観点から下記式から選択される基であることが好ましい。なお、下記式において、Ｘは置換位置を表す、すなわち、ベンゼン環に結合しているメチレン基との結合位置を表す。ベンゼン環が有するＲ２－ＣＨ２－の位置は特に限定されず、ベンゼン環が有する－ＣＯＮＨ－基に対して、パラ位、メタ位、オルト位のいずれでもよい。そして、ｎは１～３の整数であり、ポリビニルアルコール系重合体との反応性の容易さの観点からｎは３が好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000015
 （Ｘは置換位置を表す。）
　このような本発明の式（１）で表される感光性化合物や式（２）で表される感光性化合物は、２５０ｎｍ～４００ｎｍに吸収波長を持つ、すなわち、波長が４００ｎｍ以下の光に反応する感光基を有する。
　また、式（１）で表される感光性化合物や式（２）で表される感光性化合物は、酸性域での水溶性が非常に高く、例えば、ｐＨ１．５～３の酸性の水１００ｇに対して、２ｇ以上さらには４ｇ以上溶解することが可能である。また、アセタール基又はアルデヒド基を有するアジド化合物である。したがって、式（１）で表される感光性化合物や式（２）で表される感光性化合物は、酸性の水を溶媒とする系で反応させることができ、例えば、ビニルアルコールで形成される繰り返し単位を二つ連続した構造を有する重合体と酸性水中で反応させることにより、アセタール基またはアルデヒド基を介して該重合体にペンダントさせることができる。したがって、環境への負荷が問題となるアルコール等の有機溶媒を使用せず、感光性樹脂を合成することができる。そして、水を反応溶媒として感光性樹脂を合成することができるため、感光性樹脂の合成反応後に有機溶媒を除く操作をせずに、そのまま、または、必要に応じて水で希釈等して、有機溶媒を含有せず水を溶媒とする感光性組成物を得ることができる。なお、式（１）で表される感光性化合物や式（２）で表される感光性化合物は、酸性域での水溶性が非常に高いため、高濃度の水溶液にして、重合体とアセタール化反応させて重合体にペンダントさせることができる。また、得られる感光性組成物は、長期間保存しても、粘度が上昇せず、保存安定性に優れたものとなる。そして、詳しくは後述するが、式（１）で表される感光性化合物や式（２）で表される感光性化合物は、安価な原料で製造することができる。
　一方、従来の感光性化合物は、一般的には水溶性が不十分であるので、水のみを反応溶媒として重合体にペンダントさせることは難しい。ここで、特許文献１には、水溶性を有する感光性化合物も記載され、この感光性化合物を水中で重合体と反応させて重合体に感光性化合物をペンダントすることはできる。しかしながら、特許文献１に記載された水溶性を有する感光性化合物は、本発明の式（１）で表される感光性化合物や式（２）で表される感光性化合物と比較して、水溶性が十分ではないためか、水中で感光性化合物を重合体にペンダントさせた感光性樹脂を含有する感光性組成物は、長期の保存安定性が良好ではない。例えば、特許文献１に記載された感光性化合物のうち水溶性が比較的高い合成例５の感光性化合物であっても、後述する比較合成例２に示すように、本発明の感光性化合物に比べて水溶性が低く、感光性組成物にしたときの長期保存安定性が良好ではない。また、この特許文献１の合成例５等に記載された感光性化合物は、ピリジン構造を有し、このピリジン構造によって水溶性を発揮しているものと推測されるが、ピリジン構造を導入するためには、ピリジンアルデヒドなどの高価な原料を使用しなければならないという問題がある。
　式（１）で表される感光性化合物や式（２）で表される感光性化合物の合成方法は特に限定されないが、例えば、式（１）で表される化合物は、下記反応式で示すように、式（ａ）で表されるハロゲン化メチル基を有する化合物に、二級アミン化合物ＮＲ３Ｒ４Ｈを反応させることで製造できる。なお、式（ａ）において、ｎ及びＲ１は、式（１）におけるｎ及びＲ１と同じであり、Ｑはハロゲン原子、具体的には、塩素原子や臭素原子等である。この反応は、例えば、トリエチルアミン等の存在下、アセトニトリル等の溶媒中で３～８時間程度反応させればよい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000016
　そして、式（ａ）で表されるハロゲン化メチル基を有する化合物は、下記反応式で示すように、式（４）で表されるアズラクトン環を有する化合物に、式（ｂ）で表されるアセタール化合物を反応させることにより製造することができる。なお、式（ｂ）において、ｎ及びＲ１は式（１）におけるｎ及びＲ１と同じであり、Ｑは式（ａ）におけるＱと同じである。この反応は、例えば、無触媒で、テトラヒドロフラン等の溶媒中で、３～８時間程度反応させればよい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000017
　式（４）で表されるアズラクトン環を有する化合物は、下記反応式で示すように、式（５）で表されるカルボキシ基を有する化合物に、アジドベンズアルデヒドを反応させることにより製造することができる。なお、式（５）において、Ｑは式（ａ）におけるＱと同じである。この反応は、例えば、無水酢酸と酢酸ナトリウム等の存在下、アセトニトリル等の溶媒中で、５～１２時間程度反応させればよい。又は、式（５）で表されるカルボキシル基を有する化合物をアセトニトリル等の溶媒中で、トリエチルアミン等の塩基の存在下、クロロギ酸エチルを加えることによりアズラクトン環を生成させ、さらにアジドベンズアルデヒドを反応させることにより製造することができる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000018
　そして、式（５）で表されるカルボキシ基を有する化合物は、下記反応式で示すように、ハロゲン化メチルベンゾイルクロライドに、グリシンを反応させることにより製造することができる。なお、下記式において、Ｑは式（ａ）におけるＱと同じである。この反応は、例えば、水酸化ナトリウム等を触媒とし、水とアセトニトリルの混合溶媒等の溶媒中で、１～８時間程度反応させればよい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000019
　また、式（１）で表される感光性化合物は、下記反応式で示すように、式（６）で表される化合物に、式（ｂ）で表されるアセタール化合物を反応させることで製造できる。なお、式（６）において、Ｒ２は式（１）におけるＲ２と同じであり、式（ｂ）において、ｎ及びＲ１は式（１）におけるｎ及びＲ１と同じである。この反応は、例えば、無触媒で、テトラヒドロフラン等の溶媒中で、１～５時間程度反応させればよい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000020
　また、式（６）で表される感光性化合物は、下記反応式で示すように、式（ｃ）で表されるカルボキシ基を有する化合物に、アジドベンズアルデヒドを反応させることにより製造することができる。なお、式（ｃ）において、Ｒ２は式（１）におけるＲ２と同じである。この反応は、例えば、無水酢酸等の存在下、アセトニトリル等の溶媒中で、５～１２時間程度反応させればよい。又は、式（ｃ）で表されるカルボキシル基を有する化合物をアセトニトリル等の溶媒中で、トリエチルアミン等の塩基の存在下、クロロギ酸エチルを加えることによりアズラクトン環を生成させ、さらにアジドベンズアルデヒドを反応させることにより製造することができる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000021
　そして、式（ｃ）で表される化合物は、下記反応式で示すように、式（５）で表されるカルボキシ基を有する化合物に、二級アミン化合物ＮＲ３Ｒ４Ｈを反応させることにより製造することができる。なお、式（５）において、Ｑはハロゲン原子であり、式（ｃ）において、Ｒ２は式（１）におけるＲ２と同じである。この反応は、例えば、トリエチルアミン等の存在下、水や、アセトニトリル等の溶媒中で、３～１２時間程度反応させればよい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000022
　式（２）で表される感光性化合物は、式（１）で表される感光性化合物を加水分解することにより得られる。
　上記では、個別の反応として記載したが、勿論、複数の反応を連続した工程で行なってもよい。なお、上記式（４）～（６）、（ａ）、（ｃ）で表される化合物は、新規化合物である。
　上記式（１）で表される感光性化合物や式（２）で表される感光性化合物は、ビニルアルコールで形成される繰り返し単位が少なくとも二つ連続した構造を有するポリビニルアルコール系重合体にアセタール結合でペンダントさせることにより、本発明の感光性樹脂とすることができる。
　この本発明の感光性樹脂は、側鎖に上記式（１）で表される感光性化合物や式（２）で表される感光性化合物に由来する構造を有するため、光架橋性を有するものであり、例えば、波長が２５０ｎｍ～４００ｎｍの範囲にある光を照射することにより架橋され、光硬化体を形成することができる。本発明の感光性樹脂は、ポリビニルアルコール系重合体に式（１）で表される感光性化合物や式（２）で表される感光性化合物がアセタール結合でペンダントされていれば光架橋性を有するが、例えば、ポリビニルアルコール系重合体に対して、式（１）で表される感光性化合物や式（２）で表される感光性化合物が、０．１モル％～３モル％アセタール結合でペンダントされていることが好ましい。なお、複数種の式（１）で表される感光性化合物や式（２）で表される感光性化合物がポリビニルアルコール系重合体にアセタール結合でペンダントされている場合は、式（１）で表される感光性化合物及び式（２）で表される感光性化合物の総量が、ビニルアルコールで形成される繰り返し単位が少なくとも二つ連続した構造に対して０．１モル％～３モル％アセタール結合でペンダントされていることが好ましい。
　なお、ビニルアルコールで形成される繰り返し単位とは、ビニルアルコールを単量体として形成される構造であり、下記構造である。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000023
　そして、ビニルアルコールで形成される繰り返し単位が少なくとも二つ連続した構造とは、下記の構造である。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000024
　このような、ポリビニルアルコール系重合体としては、ポリビニルアルコールでもよく、ビニルアルコールと他のビニル化合物との共重合体でもよい。共重合体としては、ビニルアルコールと、酢酸ビニル、ダイアセトンアクリルアミド、アクリルアミド、アクリル酸及びポリエチレングリコールから選択される少なくとも一種との共重合体を挙げることができる。共重合体は、ランダム共重合体、ブロック共重合体、グラフト共重合体のいずれでもよい。なお、共重合体において、上記ビニルアルコールで形成される繰り返し単位が、７０質量％以上であることが好ましい。
　ポリビニルアルコールは、例えば、平均重合度２００～５０００が好適である。平均重合度が２００より小さい場合には、十分な感度が得られ難く、また、平均重合度が５０００より大きい場合には、感光性樹脂の溶液の粘度が高くなり、塗布性が悪くなるという不具合が発生し易く、さらに、粘度を下げるために濃度を低くすると、所望の塗布膜厚を得るのが困難となる。一方、ビニルアルコールと他のビニル化合物との共重合体としては、例えば、平均重合度２００～５０００のものを挙げることができる。
　このようなポリビニルアルコール系重合体に、式（１）で表される感光性化合物や式（２）で表される感光性化合物を、水を反応溶媒として、酸性下で、アセタール化することにより、本発明の感光性樹脂を得ることができる。反応条件は特に限定されないが、燐酸、ｐ－トルエンスルホン酸等を添加してｐＨ１．５～３にした水中で行なうことが好ましい。また、例えば、５０℃～７０℃で５～４８時間程度反応させればよい。なお、ホルムアルデヒド、アセトアルデヒド、プロピオンアルデヒド、ブチルアルデヒド、クロトンアルデヒド等の脂肪族アルデヒド類、ベンズアルデヒド、スルホン酸塩、ベンズアルデヒド－ジスルホン酸塩、ソジウム４－アジド－２－スルホベンズアルデヒド、カルボキシベンズアルデヒド、ヒドロキシベンズアルデヒド、ホルミルスチリルピリジニウム塩等の芳香族アルデヒド類又はこれらのアセタール類、アセトン、メチルエチルケトン等のケトン類を同時に反応させることもできる。
　本発明の感光性組成物は、上記本発明の感光性樹脂と水とを含有するものである。本発明の感光性組成物が含有する感光性樹脂の割合は特に限定されないが、例えば、感光性樹脂の濃度が４～１５質量％の感光性組成物とすることができる。
　また、本発明の感光性組成物は、本発明の感光性樹脂以外の水溶性ポリマーや、水溶性アジド化合物を含有していてもよい。
　水溶性ポリマーとしては、ポリ酢酸ビニルケン化物、ゼラチン、セルロース誘導体、カゼイン等の天然物ポリマーや、水溶性ビニルモノマーからなるポリマー又は共重合体等を挙げることができる。水溶性ビニルモノマーとしては、Ｎ－ビニルホルムアミド、Ｎ－ビニルアセトアミド、ビニルピロリドン、アクリルアミド、ジアセトンアクリルアミド、Ｎ，Ｎ－ジメチルアクリルアミド、ビニルピリジン、メタアクリルアミド、アリルチオ尿素等を挙げることができる。
　また、水溶性アジド化合物としては、例えば、４，４’－ジアジドスチルベン－２，２’－ジスルホン酸、４，４’－ジアジドベンザルアセトフェノン－２－スルホン酸、４，４’－ジアジドスチルベン－α－カルボン酸及びこれらのアルカリ金属塩、アンモニウム塩、有機アミン塩等を挙げることができる。さらに、特公昭５０－２７４０４号公報、特開昭５０－１４１４０３号公報、特開平２－２０４７５０号公報、特開平４－２６８４９号公報、特開平５－１１４４２号公報、特開平５－１１３６６１号公報、特開平６－２３９９３０号公報等に記載の水溶性アジド化合物を好適に使用することができる。
　さらに、本発明の感光性組成物は、塗布特性及び保湿特性の改良のための、例えば、エチレングリコール、ソルビトールあるいは界面活性剤等を含有していてもよい。
　また、本発明の感光性組成物は、基材への接着性の改良のための接着促進剤である、いわゆるシランカップリング材を含有していてもよい。接着促進剤としては、例えば、Ｎ－β（アミノエチル）－アミノプロピルメチルジメトキシシラン、Ｎ－β（アミノエチル）－γ－アミノプロピルトリメトキシシラン等の水溶性を持つ接着促進剤が挙げられる。
　さらに、本発明の感光性組成物は、防腐剤、消泡剤、ｐＨ調整剤や、例えば膜強度、耐水性、種々の基板への接着性の改良等のために疎水性高分子エマルジョンを含有していてもよい。疎水性エマルジョンとしては、ポリ酢酸ビニルエマルジョン、ポリアクリル酸エステルエマルジョン、ウレタンエマルジョン等が挙げられる。疎水性高分子エマルジョンを含む組成物を用いるパターン形成は、例えば、スクリーン印刷版を製造する際に好適に用いることができる。
　また、本発明の感光性組成物は、露光によるハレーションの防止、又は着色画像を得るために、顔料、染料等の着色剤を含有していてもよい。
　このような本発明の感光性組成物は、後述する実施例に示すように、長期間保存しても粘度が上昇し難く、保存安定性に優れている。
　また、上述したように、本発明の感光性樹脂は有機溶媒を使用せず水を反応溶媒として合成することができるため、感光性樹脂を合成したものを、有機溶媒を除去する操作を行うことなく、そのまま、又は、必要に応じて水で希釈等して、有機溶媒を含有せず水を溶媒とする感光性組成物とすることができる。勿論、反応溶液から感光性樹脂を取り出し、その後に水を添加するようにしてもよい。
　そして、このように有機溶媒を含有しない感光性組成物とすると、基材にコーティングして医療デバイスや生化学試験用デバイス等を製造する用途に好適である。詳述すると、例えば、基材としてプラスチック等の材料を使用した場合、この基材に有機溶媒を含有する感光性組成物をコーティングすると、タンパク質、細胞や、酵素等の生体に影響を与える物質（可塑剤等）が基材から溶出し易いため、有機溶媒を含有する感光性組成物をコーティングした基材を医療デバイスや生化学試験用デバイスとして使用し難い。しかしながら、本発明の感光性組成物は、水を溶媒とし有機溶媒を含有しないものとすることができるため、有機溶媒による溶出物の問題が生じるプラスチック等の材料からなる基材にコーティングしたものも、タンパク質、細胞や、酵素等の生体に接触する医療デバイスや生化学試験用デバイスとして使用することができる。
　基材の材料は特に限定されず、例えば、ガラス、プラスチック等が挙げられる。また、基材の形状も特に限定されず、例えば、繊維状、フィルム状、板状、複数の孔が形成された形状等が挙げられる。
　このような基材に、本発明の感光性組成物を塗布し必要に応じて乾燥した後、形成された塗膜に、例えば波長が２５０ｎｍ～４００ｎｍの範囲内にある光を照射することにより、基材上に感光性樹脂が架橋した光硬化体を形成することができる。また、所定形状のマスクを設けて上記塗膜に光を照射し水で洗浄することにより、基材上に所望のパターン形状を有する光硬化体が形成されたものを得ることができる。このようにして得られた基材上に光硬化体が形成されたものは、例えば、バイオチップ、バイオセンサー、細胞培養容器、タンパク質分析容器、酵素反応容器、流路形状をしたタンパク質分析容器等の医療デバイスや生化学試験用デバイスとして使用することができる。また、酵素や微生物などの生体触媒の固定化にも使用することができる。本発明の感光性組成物は、解像度が高いため、上記医療デバイスや生化学試験用デバイスの製造や、生体触媒を固定化する用途だけでなく、勿論、微細な構造を有する半導体のリソグラフィー工程等において使用するレジストとしても使用することができる。
　以下、本発明について実施例に基づき説明するが、本発明はこれらの実施例に何ら限定されるものではない。
　（合成例１）　下記式で表されるクロロメチルベンゾイルグリシンの合成
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000025
　水２０ｇ、アセトニトリル１０ｇ及び水酸化ナトリウム２ｇの混合液に、グリシン３ｇを溶解し、溶液温度を１０℃に冷却して、グリシン溶液を作成した。また、クロロメチルベンゾイルクロライド８ｇをアセトニトリル２０ｇに溶解し、１０℃に冷却した液を、２時間かけて上記のグリシン溶液に滴下した。同時に、水２０ｇに水酸化ナトリウム２ｇを溶解した液を、２時間かけてグリシン溶液に滴下した。５時間後、５質量％塩酸水溶液で酸性にすることで、目的物であるクロロメチルベンゾイルグリシンを析出させ、ろ別及び乾燥して、７ｇの目的物であるクロロメチルベンゾイルグリシンを得た。
　（実施例１）　下記式で表される［感光材Ａ］（４－（４－アジドフェニルメチレン）－２－（４－クロロメチルフェニル）－１，３－オキサゾリン－５－オン）の合成
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000026
　合成例１で得た、クロロメチルベンゾイルグリシン７ｇ、アセトニトリル２ｇ、アジドベンズアルデヒド５ｇ、無水酢酸１５ｇ、酢酸ソーダ０．３ｇを混合し、７５℃で１０時間反応させた。これを冷却後、ろ別及び乾燥することにより、目的とする化合物である［感光材Ａ］６ｇを得た。［感光材Ａ］の赤外線吸収スペクトルをＫＢｒ法で測定した結果、アジド基に由来する吸収２１２３．２ｃｍ－１を確認した。また、１７８７．７ｃｍ－１に、アズラクトンの吸収を確認した。［感光材Ａ］の赤外線吸収スペクトルを図１に示す。
　（合成例２）　下記式で表される［感光材Ｂ］（３－（４－アジドフェニル）－Ｎ－（４，４’－ジメトキシブチル）－２－（４－クロロメチルフェニル）カルボニルアミノ－プロパ－２－エンアミド）の合成
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000027
　実施例１で得た［感光材Ａ］　６ｇをテトラヒドロフラン（以下、ＴＨＦと記載する）３０ｇに分散させ、この分散液に、アミノブチルアルデヒドジメチルアセタール３ｇをＴＨＦ２０ｇに溶解した溶液を１０℃に冷却しながら１時間かけて滴下した。その後、３時間放置し、水１５０ｇを加えて、析出物をろ別及び乾燥することにより、目的とする化合物である［感光材Ｂ］を６ｇを得た。
　（実施例２）　下記式で表される［感光材Ｃ］（３－（４－アジドフェニル）－Ｎ－（４，４’－ジメトキシブチル）－２－（４－モルホリノメチルフェニル）カルボニルアミノ－プロパ－２－エンアミド）の合成
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000028
　合成例２で得た化合物［感光材Ｂ］　６ｇ、モルホリン１．３ｇ及びトリエチルアミン１．１ｇを、アセトニトリル４０ｇに溶解し、５０℃で７時間反応し、冷却後、水２５０ｇを加えて、析出物をろ別及び乾燥することにより、目的とする化合物である［感光材Ｃ］を４ｇ得た。［感光材Ｃ］の赤外線吸収スペクトルをＫＢｒ法で測定したところ、アジド基に由来する吸収２０１９．４ｃｍ－１を確認した。［感光材Ｃ］の赤外線吸収スペクトルを図２に示す。
　（実施例３）　下記式で表される［感光材Ｄ］（３－（４－アジドフェニル）－Ｎ－（４，４’－ジメトキシブチル）－２－（４－イミダゾリルメチルフェニル）カルボニルアミノ－プロパ－２－エンアミド）の合成
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000029
　合成例２で得た化合物［感光材Ｂ］　６ｇ、イミダゾール１．３ｇ及びトリエチルアミン１．１ｇを、アセトニトリル４０ｇに溶解し、５０℃で７時間反応し、冷却後、水２５０ｇを加えて、析出物をろ別及び乾燥することにより、目的とする化合物である［感光材Ｄ］を２ｇ得た。
　（実施例４）　下記式で表される［感光材Ｅ］（３－（４－アジドフェニル）－Ｎ－（４，４’－ジメトキシブチル）－２－（４－ジアリルアミノメチルフェニル）カルボニルアミノ－プロパ－２－エンアミド）の合成
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000030
　合成例２で得た化合物［感光材Ｂ］　６ｇ、ジアリルアミン１．３ｇ、トリエチルアミン１．１ｇ、アセトニトリル４０ｇに溶解し、５０℃で７時間反応し、冷却後、水２５０ｇを加えて、析出物をろ別及び乾燥することにより、目的とする化合物である［感光材Ｅ］を３ｇ得た。
　（実施例５）　下記式で表される［感光材Ｆ］（３－（４－アジドフェニル）－Ｎ－（３－ホルミルプロピル）－２－（４－モルホリノメチルフェニル）カルボニルアミノ－プロパ－２－エンアミド）の合成
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000031
　実施例２で得られた化合物［感光材Ｃ］　２ｇを水４０ｇ及び燐酸０．５ｇの混合物に加え、２０℃で、５時間攪拌し、アセタール保護基をはずした。その後、温度を１０℃にし、１質量％水酸化ナトリウム水溶液で、ｐＨ＝８になる様に中和をし、中和により析出したものをすばやくろ別及び乾燥し、目的とする化合物である［感光材Ｆ］を１ｇ得た。
　（実施例６）　下記式で表される［感光材Ｇ］（４－（４－アジドフェニルメチレン）－２－（４－モルホリノメチルフェニル）－１，３－オキサゾリン－５－オン）の合成
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000032
　グリシン３ｇを、水２０ｇ、アセトニトリル１０ｇ及び水酸化ナトリウム２ｇの混合液に溶解し、溶液温度を１０℃に冷却して、グリシン溶液を作成した。また、クロロメチルベンゾイルクロライド８ｇをアセトニトリル２０ｇに溶解し、１０℃に冷却した液を、２時間かけて上記のグリシン溶液に滴下した。同時に、水２０ｇに水酸化ナトリウム２ｇを溶解した液を、２時間かけてグリシン溶液に滴下した。５時間後、モルホリン４ｇを加え、６０℃で４時間反応させた後に、溶液を１０℃に冷却し、トリエチルアミン４ｇを加え、クロロギ酸エチル４．５ｇを３０分間かけて滴下した。そのまま２時間攪拌を続けた後、アジドベンズアルデヒド３．５ｇを加え、２０℃で１６時間反応させた。その後、析出物をろ別及び乾燥することにより、目的とする化合物である［感光材Ｇ］を１ｇ得た。［感光材Ｇ］をアセトニトリルに溶解し、紫外線吸収スペクトルを測定し、アズラクトン環に由来する吸収ピークが３８７ｎｍにあることを確認した。［感光材Ｇ］の紫外線吸収スペクトルを図３に示す。
　（実施例７）　［感光材Ｇ］（４－（４－アジドフェニルメチレン）－２－（４－モルホリノメチルフェニル）－１、３－オキサゾリン－５－オン）の合成（実施例６とは異なる合成方法）
　合成例１で得たクロロメチルベンゾイルグリシン１０ｇをアセトニトリル３０ｇに分散し、トリエチルアミン４．５ｇ、モルホリン４ｇを加え、６０℃で、４時間反応し、モルホリノメチルベンゾイルグリシンを得た。そのまま、反応液を１０℃に冷却し、トリエチルアミン４．５ｇを加え、クロロギ酸エチル５ｇを３０分間かけて滴下した。その後２時間攪拌を続け、アジドベンズアルデヒド６ｇを加え、２０℃で１６時間反応させた。その後、析出物をろ別及び乾燥することにより目的とする化合物である［感光材Ｇ］を６ｇ得た。［感光材Ｇ］をアセトニトリルに溶解し紫外線吸収スペクトルを測定し、アズラクトン環に由来する吸収ピークを３８７ｎｍに有することを確認した。また、［感光材Ｇ］の赤外吸収スペクトルをＫＢｒ法で測定した結果、アジド基に由来する吸収２１１５．５ｃｍ－１を確認した。また、１７９２．５ｃｍ－１に、アズラクトンの吸収を確認した。
　（実施例８）　［感光材Ｃ］（３－（４－アジドフェニル）－Ｎ－（４，４’－ジメトキシブチル）－２－（４－モルホリノメチルフェニル）カルボニルアミノ－プロパ－２－エンアミド）の合成（実施例２とは異なる合成方法）
　実施例７で得た［感光材Ｇ］　６ｇをＴＨＦ　３０ｇに分散させ、この分散液に、アミノブチルアルデヒドジメチルアセタール３ｇをＴＨＦ２０ｇに溶解した溶液を１０℃に冷却しながら１時間かけて滴下した。その後、３時間放置し、水１５０ｇを加えて析出物をろ別及び乾燥することにより、目的とする化合物である［感光材Ｃ］を５ｇ得た。［感光材Ｃ］の赤外線吸収スペクトルをＫＢｒ法で測定したところ、アジド基に由来する吸収２０１９．４ｃｍ－１を確認した。
　（比較合成例１）　下記式で表される［比較感光材Ｈ］（３－（４－アジドフェニル）－Ｎ－（４，４’－ジメトキシブチル）－２－フェニルカルボニルアミノ－プロパ－２－エンアミド）の合成
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000033
　特開２００３－２９２４７７号公報の合成例１にしたがって、上記式で表される［比較感光材Ｈ］を得た。
　（比較合成例２）下記式で表される［比較感光材Ｉ］（２－（３－（４－アジドフェニル）プロプ－２－エノイルアミノ）－Ｎ－（４，４－ジメトキシブチル）－３－（３－ピリジル）プロプ－２－エンアミド）の合成
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000034
　特開２００３－２９２４７７号公報の合成例５にしたがって、上記式で表される［比較感光材Ｉ］を得た。
　（実施例９）［感光性樹脂Ｊ］の合成及び感光性組成物の調整
　ポリビニルアルコール（日本合成化学工業（株）製「ゴーセノールＥＧ－３０」：平均重合度１７００）４０ｇを水４００ｇに溶解し、これに、実施例２で得た［感光材Ｃ］　４ｇ、燐酸２ｇを加え、６０℃で２４時間反応させた。アセタール化反応率は、ＧＰＣ（ゲル浸透クロマトグラフ分析）で測定し、９８％であった。測定結果から、アセタール化量はポリビニルアルコールに対し０．８モル％に相当する量と算出した。その後、燐酸をイオン交換樹脂で処理することにより除去し、［感光材Ｃ］がポリビニルアルコールにアセタール結合でペンダントされた感光性樹脂を含有する感光液を得た。この感光液を水で希釈し、感光性樹脂の濃度が６質量％である感光性組成物を調整した。
　得られた感光性組成物をガラス板に塗布し乾燥させて、膜厚が１．０μｍの塗膜を得た。この塗膜に凸版印刷（株）テストマスクを密着させ、そのマスクを介して、超高圧水銀灯（紫外線照度５ｍＷ／ｃｍ２：（株）オーク製作所製照度計「ＵＶ－３５」で測定）で塗膜を１５秒間露光し、次いで、水で６０秒間かけて現像し、乾燥した。この結果、現像残りのない３０μｍの線幅がきれいに現像されていた。
　また、得られた感光性組成物をガラス板に塗布し乾燥させて形成した皮膜について、紫外線吸収スペクトルを測定し、吸収極大が、３１３．６ｎｍにあることを確認した。その紫外線吸収スペクトルを図４に示す。
　また、得られた感光性組成物を塗布し乾燥させて、膜厚が３μｍの皮膜を形成し、皮膜をＰＥＴフィルムから剥離することによって得た皮膜フィルムすなわち［感光性樹脂Ｊ］のフィルムの赤外線吸収スペクトルを測定したところ、アジド基に由来する吸収２０２０ｃｍ－１を確認した。その赤外線吸収スペクトルを図５に示す。
　（実施例１０）［感光性樹脂Ｋ］の合成及び感光性組成物の調整
　ダイアセトンアクリルアミド共重合ポリビニルアルコール（日本酢ビ・ポバール（株）製「ＤＦ－２０」）４０ｇを水４００ｇに溶解し、これに、実施例２で得た［感光材Ｃ］　４ｇ、燐酸２ｇを加え、５０℃で４８時間反応させた。アセタール化反応率は、ＧＰＣ（ゲル浸透クロマトグラフ分析）で測定し、９８％であった。その測定結果から、アセタール化量はポリマーに対し０．８モル％に相当する量と算出した。その後、燐酸をイオン交換樹脂で処理することにより除去し、［感光材Ｃ］がダイアセトンアクリルアミド共重合ポリビニルアルコールにアセタール結合でペンダントされた感光性樹脂を含有する感光液を得た。この感光液を水で希釈し、感光性樹脂の濃度が６質量％である感光性組成物を調整した。
　得られた感光性組成物をガラス板に塗布し乾燥させて、膜厚が１．０μｍの塗膜を得た。この塗膜に凸版印刷（株）製テストマスクを密着させ、そのマスクを介して、超高圧水銀灯（紫外線照度５ｍＷ／ｃｍ２：（株）オーク製作所製照度計「ＵＶ－３５」で測定）で塗膜を１５秒間露光し、次いで、水で６０秒間かけて現像し、乾燥した。この結果、現像残りのない、３０μｍの線幅がきれいに現像されていた。
　（実施例１１）［感光性樹脂Ｌ］の合成
　ポリビニルアルコール－ポリエチレングリコールグラフト共重合体（ＢＡＳＦ製「Ｋｏｌｌｉｃｏａｔ　ＩＲ」）　４０ｇを水３００ｇに溶解し、これに、実施例２で得た［感光材Ｃ］　４ｇ、燐酸２ｇを加え、５０℃で４８時間反応させた。アセタール化反応率は、ＧＰＣ（ゲル浸透クロマトグラフ分析）で測定し、９８％であった。その測定結果から、アセタール化量はポリマーに対し０．８モル％に相当する量と算出した。その後、燐酸をイオン交換樹脂で処理することにより除去し、［感光材Ｃ］がポリビニルアルコール－ポリエチレングリコールグラフト共重合体にアセタール結合でペンダントされた感光性樹脂を含有する感光液を調整した。この感光液を水で希釈し、感光性樹脂の濃度が１０質量％である感光性組成物を調整した。
　得られた感光性組成物をガラス板に塗布し乾燥させて、膜厚が０．６μｍの塗膜を得た。この塗膜に凸版印刷（株）製テストマスクを密着させ、そのマスクを介して、超高圧水銀灯（紫外線照度５ｍＷ／ｃｍ２：（株）オーク製作所製照度計「ＵＶ－３５」で測定）で、塗膜を６０秒間露光し、次いで、水で４０秒間かけて現像し、乾燥した。この結果、現像残りのない、３０μｍの線幅がきれいに現像されていた。
　（比較例１）［比較感光性樹脂Ｍ］の合成
　ポリビニルアルコール（日本合成化学工業（株）製「ＥＧ－３０」）４０ｇを水４００ｇに溶解し、これに、比較合成例２で得た［比較感光材Ｉ］　４ｇ、燐酸２ｇを加え、６０℃で２４時間反応させた。アセタール化反応率は、ＧＰＣ（ゲル浸透クロマトグラフ分析）で測定し９８％であった。その測定結果から、アセタール化量はポリマーに対し０．８モル％に相当する量と算出した。その後、燐酸をイオン交換樹脂で処理することにより除去し、［比較感光材Ｉ］がポリビニルアルコールにアセタール結合でペンダントされた感光性樹脂を含有する感光液を得た。この感光液を水で希釈し、感光性樹脂の濃度が６質量％である感光性組成物を調整した。
　得られた感光性組成物をガラス板に塗布し乾燥させて、膜厚が１．０μｍの塗膜を得た。この塗膜に凸版印刷（株）製テストマスクを密着させてそのマスクを介して、超高圧水銀灯（紫外線照度５ｍＷ／ｃｍ２：（株）オーク製作所製照度計「ＵＶ－３５」で測定）で、塗膜を１５秒間露光し、次いで、水で６０秒間かけて現像し、乾燥した。この結果、現像残りのない、５０μｍの線幅がきれいに現像されていたが、３０μｍの線幅は、部分的に解像されているものの、所々線の太りが見られ、実施例１よりも解像度が悪かった。
　（試験例１）
　比較合成例１～２及び実施例２～５で得られた感光性化合物（比較感光材Ｈ～Ｉ及び感光材Ｃ～Ｆ）について、中性の水１００ｇ（水温：２０℃）への溶解性を調べた。また、燐酸４ｇを水１００ｇに混合して得られた燐酸水溶液（液温：２０℃）への溶解性も調べた。感光性化合物が溶解した量を、表１に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000035
　この結果、表１に示すように、実施例２～５で得られた本発明の感光性化合物（感光材Ｃ～Ｆ）は、燐酸水溶液への溶解性が非常に高かった。一方、比較合成例１で得られた［比較感光材Ｈ］は、燐酸水溶液への溶解性が非常に低かった。また、比較合成例２で得られた［比較感光材Ｉ］は、燐酸水溶液に比較合成例１［比較感光材Ｈ］よりは溶解したが、実施例２～５で得られた感光材Ｃ～Ｆと比べると溶解性は低かった。
　（試験例２）
　実施例９及び比較例１で得られた６質量％の感光性組成物を、プラスチック容器に入れ遮光下、４℃の冷蔵庫内で１年間保存し、２５℃で粘度を測定した。０日（開始時）、６ヶ月経過時、及び、１年経過時の結果を表２に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000036
　この結果、表２に示すように、実施例９の［感光性樹脂Ｊ］を含有する感光性組成物は、プラスチック容器に入れ遮光下、４℃の冷蔵庫内に１年間保存しても、粘度の上昇は見られず、保存安定性に優れていた。一方、比較例１の［比較感光性樹脂Ｍ］を含有する感光性組成物は、経時により、徐々に増粘する現象がみられた。本発明の感光性組成物が、長期にわたり粘度が一定に保たれるのは、本発明の感光性化合物が、燐酸酸性水溶液への溶解性が非常によいため、重合体へのアセタール化反応時に、重合体に対し、均一に感光性化合物が導入されるので、保存中に感光基の凝集が起きにくいためと考えられる。それに対し比較例１においては、感光性化合物の酸性域での水溶性が本発明の感光性化合物の水溶性よりも低いので、感光性樹脂は、反応終了時には完全に溶解するものの、反応初期は、水に分散した状態となるため、ミクロ的には感光性樹脂にペンダントされた感光性化合物に濃度ムラがあり、長期保存中に、部分的な凝集が起こり、増粘するものと考えられる。

Claims (9)

  1. 　下記式（１）又は式（２）で表されることを特徴とする感光性化合物。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000001
     （式（１）及び式（２）において、ｎは１～３の整数であり、Ｒ１は炭素数１～６の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基、又は、二つのＲ１が一緒になって形成される炭素数２～６のアルキレン基であり、Ｒ２は－ＮＲ３Ｒ４であり、Ｒ３及びＲ４はそれぞれ独立に炭素数１～６の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基又はアルケニル基、或いは、Ｒ３とＲ４が一緒になって形成される炭素数２～６の直鎖状もしくは分岐状のアルキレン基、又は、酸素原子もしくは窒素原子を含んでよい炭素数３～８の直鎖状もしくは分岐状のアルキレン基又はアルケニレン基である。）
  2. 　Ｒ１がメチル基又はエチル基であり、Ｒ２が下記から選択される基であることを特徴とする請求項１に記載する感光性化合物。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000002
     （Ｘは置換位置を表す。）
  3. 　ビニルアルコールで形成される繰り返し単位が少なくとも二つ連続した構造を有するポリビニルアルコール系重合体に、請求項１に記載する感光性化合物をアセタール結合でペンダントさせてなることを特徴とする感光性樹脂。
  4. 　下記式（３）で表される繰り返し単位を有することを特徴とする請求項３に記載する感光性樹脂。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000003
     （式（３）において、ｎは１～３の整数であり、Ｒ２は下記式から選択される基である。）
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000004
     （Ｘは置換位置を表す。）
  5. 　前記ポリビニルアルコール系重合体が、ビニルアルコールと、酢酸ビニル、ダイアセトンアクリルアミド、アクリルアミド、アクリル酸及びポリエチレングリコールから選択される少なくとも一種との共重合体であることを特徴とする請求項３又は４に記載する感光性樹脂。
  6. 　請求項３～５のいずれか一項に記載する感光性樹脂及び水を含有することを特徴とする感光性組成物。
  7. 　下記式（４）で表されることを特徴とする化合物。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000005
     （式（４）において、Ｑはハロゲン原子である。）
  8. 　下記式（５）で表されることを特徴とする化合物。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000006
     （式（５）において、Ｑはハロゲン原子である。）
  9. 　下記式（６）で表されることを特徴とする化合物。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000007
     （式（６）において、Ｒ２は－ＮＲ３Ｒ４であり、Ｒ３及びＲ４はそれぞれ独立に炭素数１～６の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基又はアルケニル基、或いは、Ｒ３とＲ４が一緒になって形成される炭素数２～６の直鎖状もしくは分岐状のアルキレン基、又は、酸素原子もしくは窒素原子を含んでよい炭素数３～８の直鎖状もしくは分岐状のアルキレン基又はアルケニレン基である。）
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