JP3163036B2 - 感光性化合物及び感光性樹脂 - Google Patents
感光性化合物及び感光性樹脂Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、新規な感光性化合
物及び感光性樹脂に関し、特に、例えば、カラーブラウ
ン管用、スクリーン印刷用、その他表示管用、固定化酵
素用、ＰＳ板用、エッチングレジスト用などの用途で使
用可能な感光性化合物及び感光性樹脂に関する。
物及び感光性樹脂に関し、特に、例えば、カラーブラウ
ン管用、スクリーン印刷用、その他表示管用、固定化酵
素用、ＰＳ板用、エッチングレジスト用などの用途で使
用可能な感光性化合物及び感光性樹脂に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、感光性ユニットとして、未変
性ポリビニルアルコールにスチリルピリジウム塩化合物
又はスチリルキノリウム塩化合物などの第４級アンモニ
ウム塩を縮合反応させた感光性樹脂を含有するもの（以
下、ＰＶＡ−ＳｂＱ系レジストという）が知られている
（特公昭５６−５７６１号公報、特公昭５６−５７６２
号公報、特開昭５６−１１９０６号公報）。
性ポリビニルアルコールにスチリルピリジウム塩化合物
又はスチリルキノリウム塩化合物などの第４級アンモニ
ウム塩を縮合反応させた感光性樹脂を含有するもの（以
下、ＰＶＡ−ＳｂＱ系レジストという）が知られている
（特公昭５６−５７６１号公報、特公昭５６−５７６２
号公報、特開昭５６−１１９０６号公報）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】かかるＰＶＡ−ＳｂＱ
系レジストは、感光速度が速い等の利点を有している
が、イオン的にはカチオン性のものに限定されてしまう
ので、用途及び組成物の制限が出てくる。また、露光光
源として、水銀灯（３６５ｎｍ）の他、メタルハライド
（４００ｎｍ）の光源を用いるため、感光波長を長波長
に設定するには、４−メチルキノリン等を使用する必要
があり、コスト高になるという欠点がある。
系レジストは、感光速度が速い等の利点を有している
が、イオン的にはカチオン性のものに限定されてしまう
ので、用途及び組成物の制限が出てくる。また、露光光
源として、水銀灯（３６５ｎｍ）の他、メタルハライド
（４００ｎｍ）の光源を用いるため、感光波長を長波長
に設定するには、４−メチルキノリン等を使用する必要
があり、コスト高になるという欠点がある。
【０００４】従って、例えば、カラーブラウン管用、ス
クリーン印刷用、その他表示管用などの用途において
は、４００ｎｍという長波長で感光性が良好で、水系溶
媒に溶解乃至分散できるものが要望されている。また、
特に、蛍光体パターン形成用途としては、バインダポリ
マーとしてポリビニルアルコール（以下、ＰＶＡと略
す）が優れているので、ＰＶＡ系レジストで、ＰＶＡ−
ＳｂＱ系レジストより感光波長が長く、且つイオン性に
ついても用途によりアニオン、ノニオンの使い分けが可
能な感光性樹脂が要望されている。
クリーン印刷用、その他表示管用などの用途において
は、４００ｎｍという長波長で感光性が良好で、水系溶
媒に溶解乃至分散できるものが要望されている。また、
特に、蛍光体パターン形成用途としては、バインダポリ
マーとしてポリビニルアルコール（以下、ＰＶＡと略
す）が優れているので、ＰＶＡ系レジストで、ＰＶＡ−
ＳｂＱ系レジストより感光波長が長く、且つイオン性に
ついても用途によりアニオン、ノニオンの使い分けが可
能な感光性樹脂が要望されている。
【０００５】本発明はこのような事情に鑑み、新規な感
光性樹脂を調製可能な感光性化合物及びこれを用いた感
光性樹脂を提供することを課題とする。
光性樹脂を調製可能な感光性化合物及びこれを用いた感
光性樹脂を提供することを課題とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決する本発
明の感光性化合物は、下記一般式（Ｉ）で示されるユニ
ットを有することを特徴とする。
明の感光性化合物は、下記一般式（Ｉ）で示されるユニ
ットを有することを特徴とする。
【０００７】
【化１３】
【０００８】ここで、Ａｒは下記から選択され、下記Ｘ
は、リチウム、ナトリウム、カリウム、アンモニウム、
モノアルキルアンモニウム、ジアルキルアンモニウム、
トリアルキルアンモニウム、又はテトラアルキルアンモ
ニウムを表す。
は、リチウム、ナトリウム、カリウム、アンモニウム、
モノアルキルアンモニウム、ジアルキルアンモニウム、
トリアルキルアンモニウム、又はテトラアルキルアンモ
ニウムを表す。
【０００９】
【化１４】
【００１０】また、特に、本発明の感光性化合物は、下
記一般式で示されることを特徴とする。
記一般式で示されることを特徴とする。
【００１１】
【化１５】
【００１２】ここで、ＲはＣ6までのアルキル基，およ
び二つのＲが一緒になって形成する−（ＣＨ2）m−（ｍ
は２または３）から選択される。また、ｎは１，２又は
３である。さらに、Ａｒは上述したものと同様である。
び二つのＲが一緒になって形成する−（ＣＨ2）m−（ｍ
は２または３）から選択される。また、ｎは１，２又は
３である。さらに、Ａｒは上述したものと同様である。
【００１３】また、本発明の感光性樹脂は、上述した一
般式（Ｉ）で示されるユニットを有することを特徴とす
る。なお、Ａｒは上述したとおりである。
般式（Ｉ）で示されるユニットを有することを特徴とす
る。なお、Ａｒは上述したとおりである。
【００１４】また、特に、本発明の感光性樹脂は、下記
一般式で示される構成単位を有することを特徴とする。
一般式で示される構成単位を有することを特徴とする。
【００１５】
【化１６】
【００１６】ここで、ｎは１，２又は３である。なお、
Ａｒは上述したものと同様である。
Ａｒは上述したものと同様である。
【００１７】また、本発明の感光性組成物は、本発明の
感光性樹脂を含有することを特徴とする。
感光性樹脂を含有することを特徴とする。
【００１８】さらに、本発明の感光性化合物の製造方法
は、アジド基を有する感光性化合物の製造方法におい
て、下記式（ＩＩ）で示される反応のステップを含むこ
とを特徴とする。
は、アジド基を有する感光性化合物の製造方法におい
て、下記式（ＩＩ）で示される反応のステップを含むこ
とを特徴とする。
【００１９】
【化１７】
【００２０】ここで、Ｒｚは水素、又は置換基である。
なお、Ａｒは上述したものと同様である。
なお、Ａｒは上述したものと同様である。
【００２１】また、前記Ｒｚは、例えば、アセタール基
を有する置換基である。
を有する置換基である。
【００２２】また、本発明の感光性樹脂の製造方法は、
アジド基を有する感光性樹脂の製造方法において、上記
式（ＩＩ）で示される反応のステップを含むことを特徴
とする感光性樹脂の製造方法にある。
アジド基を有する感光性樹脂の製造方法において、上記
式（ＩＩ）で示される反応のステップを含むことを特徴
とする感光性樹脂の製造方法にある。
【００２３】なお、Ｒｚは水素、置換基又はポリマー
鎖、Ａｒは上述したものと同様である。
鎖、Ａｒは上述したものと同様である。
【００２４】また、本発明の感光性樹脂の製造方法は、
前記Ｒｚが、例えば、アセタール基を有する置換基であ
り、さらに、このアセタール基をポリ酢酸ビニルけん化
物に反応させるステップを有することができる。
前記Ｒｚが、例えば、アセタール基を有する置換基であ
り、さらに、このアセタール基をポリ酢酸ビニルけん化
物に反応させるステップを有することができる。
【００２５】本発明者らは上述した課題を解決すべく鋭
意研究を重ねた結果、アセタール基等の種々の置換基を
有するロダニン化合物と、アジド基を有する水溶性アル
デヒド又はアジド基を有する芳香環を具備するアルデヒ
ドとを縮合することにより、新規なロダニン骨格を有す
るアジド化合物とすることを知見し、本発明を完成させ
た。
意研究を重ねた結果、アセタール基等の種々の置換基を
有するロダニン化合物と、アジド基を有する水溶性アル
デヒド又はアジド基を有する芳香環を具備するアルデヒ
ドとを縮合することにより、新規なロダニン骨格を有す
るアジド化合物とすることを知見し、本発明を完成させ
た。
【００２６】なお、ロダニン骨格を有する感光性樹脂と
しては、米国特許第２，８２８，０８７号に開示された
ものがある。しかしながら、本発明の感光性樹脂とこの
感光性樹脂とは、感光機構が異なる。すなわち、本発明
の感光性樹脂は、光を吸収したアジド基の分解によりナ
イトレンが生成し、ナイトレン同士のカップリングや水
素引き抜き等の架橋反応が起こり、硬化するものであ
り、上記米国特許の感光性樹脂とは全く相違する。
しては、米国特許第２，８２８，０８７号に開示された
ものがある。しかしながら、本発明の感光性樹脂とこの
感光性樹脂とは、感光機構が異なる。すなわち、本発明
の感光性樹脂は、光を吸収したアジド基の分解によりナ
イトレンが生成し、ナイトレン同士のカップリングや水
素引き抜き等の架橋反応が起こり、硬化するものであ
り、上記米国特許の感光性樹脂とは全く相違する。
【００２７】本発明に係る上記一般式（Ｉ）で表される
ユニットを有する感光性化合物又は感光性樹脂は、アジ
ドタイプの感光性を有し、長波長で感光可能で且つ安定
性の高いものである。また、かかるユニットを導入する
ことにより比較的容易に種々の感光性化合物又は感光性
樹脂が設計できる。
ユニットを有する感光性化合物又は感光性樹脂は、アジ
ドタイプの感光性を有し、長波長で感光可能で且つ安定
性の高いものである。また、かかるユニットを導入する
ことにより比較的容易に種々の感光性化合物又は感光性
樹脂が設計できる。
【００２８】本発明に係る上記一般式（Ｉ）で表される
ユニットを有する化合物は、種々のロダニン化合物と、
アジド基を有するベンズアルデヒドもしくはアリルアル
デヒド誘導体又はアジド基を有する芳香環を具備するア
ルデヒド化合物とを縮合することにより得ることができ
る。
ユニットを有する化合物は、種々のロダニン化合物と、
アジド基を有するベンズアルデヒドもしくはアリルアル
デヒド誘導体又はアジド基を有する芳香環を具備するア
ルデヒド化合物とを縮合することにより得ることができ
る。
【００２９】本発明で用いることができるロダニン化合
物は、下記式（１）で示される。
物は、下記式（１）で示される。
【００３０】
【化１８】
【００３１】ここで、前記Ｒｚは、水素又は各種置換基
であり、例えば、種々の樹脂に結合するための各種反応
性基とすることができる。また、Ｒｚが水素の場合に
は、上述したアジド基を有するベンズアルデヒド等との
縮合反応後、各種置換基を容易に導入することができ
る。
であり、例えば、種々の樹脂に結合するための各種反応
性基とすることができる。また、Ｒｚが水素の場合に
は、上述したアジド基を有するベンズアルデヒド等との
縮合反応後、各種置換基を容易に導入することができ
る。
【００３２】代表的なロダニン化合物の例としては、Ｒ
ｚがアセタール基を有する置換基の場合であり、例え
ば、下記式（２）に示すことができる。
ｚがアセタール基を有する置換基の場合であり、例え
ば、下記式（２）に示すことができる。
【００３３】
【化１９】
【００３４】かかるロダニン化合物は、例えば、アミノ
基を有するアセタール化合物を、アンモニア、トリエチ
ルアミン、ＮａＯＨ、ＫＯＨ等の塩基存在下で二硫化炭
素とさせて、ジチオカルバミン酸塩を合成し、続いて、
クロル酢酸エチルと反応させることにより得ることがで
きる。この場合の反応溶媒は、使用するアミン化合物に
より、水、エーテル、ＤＭＦ等を選択して使用すること
ができるが、これに限定されるものではない。
基を有するアセタール化合物を、アンモニア、トリエチ
ルアミン、ＮａＯＨ、ＫＯＨ等の塩基存在下で二硫化炭
素とさせて、ジチオカルバミン酸塩を合成し、続いて、
クロル酢酸エチルと反応させることにより得ることがで
きる。この場合の反応溶媒は、使用するアミン化合物に
より、水、エーテル、ＤＭＦ等を選択して使用すること
ができるが、これに限定されるものではない。
【００３５】また、このロダニン化合物と縮合可能なア
ジド基を有する芳香族アルデヒド、又はアジド基を有す
る芳香環を具備するアルデヒド化合物は、下記式（３）
で示される。なお、これらの化合物は、必要に応じて本
発明の感光性化合物に水溶性を付与するものであり、こ
の場合には水溶性のものを用いる。
ジド基を有する芳香族アルデヒド、又はアジド基を有す
る芳香環を具備するアルデヒド化合物は、下記式（３）
で示される。なお、これらの化合物は、必要に応じて本
発明の感光性化合物に水溶性を付与するものであり、こ
の場合には水溶性のものを用いる。
【００３６】
【化２０】
【００３７】ここで、式（３）において、Ａｒは上述し
た通りである。
た通りである。
【００３８】本発明の上記式（２）に示されるロダニン
化合物を用いた場合には、上記「化１５」の一般式で示
される感光性化合物が得られる。また、かかる感光性化
合物は、ポリ酢酸ビニルけん化物、又はビニルアルコー
ルと他のビニル化合物との水溶性共重合体に、酸触媒下
で反応させることにより、本発明の上記「化１６」の一
般式で示される感光性樹脂とすることができる。
化合物を用いた場合には、上記「化１５」の一般式で示
される感光性化合物が得られる。また、かかる感光性化
合物は、ポリ酢酸ビニルけん化物、又はビニルアルコー
ルと他のビニル化合物との水溶性共重合体に、酸触媒下
で反応させることにより、本発明の上記「化１６」の一
般式で示される感光性樹脂とすることができる。
【００３９】ここで用いられるポリ酢酸ビニルけん化物
としては、例えば、平均重合度２００〜５０００、けん
化度６０〜１００％のものが好適である。また、このポ
リ酢酸ビニルけん化物としては、例えば、親水基変性、
アニオン変性、カチオン変性、又はアセトアセチル基の
ような反応基変性などの変性酢酸ビニルけん化物を用い
ることができる。
としては、例えば、平均重合度２００〜５０００、けん
化度６０〜１００％のものが好適である。また、このポ
リ酢酸ビニルけん化物としては、例えば、親水基変性、
アニオン変性、カチオン変性、又はアセトアセチル基の
ような反応基変性などの変性酢酸ビニルけん化物を用い
ることができる。
【００４０】ここで、平均重合度が２００より小さい場
合には、十分な感度が得られ難く、また、平均重合度が
５０００より大きい場合には、感光性樹脂の溶液の粘度
が高くなり、塗布性が悪くなるという不具合が発生し易
く、さらに、粘度を下げるために濃度を低くすると、所
望の塗布膜厚を得るのが困難となる。また、けん化度が
６０％より低いと十分な水溶性及び水現像性が得られ難
い。
合には、十分な感度が得られ難く、また、平均重合度が
５０００より大きい場合には、感光性樹脂の溶液の粘度
が高くなり、塗布性が悪くなるという不具合が発生し易
く、さらに、粘度を下げるために濃度を低くすると、所
望の塗布膜厚を得るのが困難となる。また、けん化度が
６０％より低いと十分な水溶性及び水現像性が得られ難
い。
【００４１】一方、ビニルアルコールと他のビニル化合
物との共重合体としては、例えば、平均重合度２００〜
５０００のものが使用できる。なお、ビニルアルコール
と共重合され得るビニルモノマーとしては、例えば、Ｎ
−ビニルピロリドン、アクリルアミド等を挙げることが
できる。
物との共重合体としては、例えば、平均重合度２００〜
５０００のものが使用できる。なお、ビニルアルコール
と共重合され得るビニルモノマーとしては、例えば、Ｎ
−ビニルピロリドン、アクリルアミド等を挙げることが
できる。
【００４２】このようなポリ酢酸ビニルけん化物類と、
上記式（Ｉ）で示される感光性化合物とを酸触媒存在下
で反応させて、上記式(II)で示される感光性樹脂を得る
場合、例えば、ホルムアルデヒド、アセトアルデヒド、
プロピオンアルデヒド、ブチルアルデヒド、ベンズアル
デヒド等のアルデヒド類又はこれらのアセタール類を同
時に反応させることもできる。
上記式（Ｉ）で示される感光性化合物とを酸触媒存在下
で反応させて、上記式(II)で示される感光性樹脂を得る
場合、例えば、ホルムアルデヒド、アセトアルデヒド、
プロピオンアルデヒド、ブチルアルデヒド、ベンズアル
デヒド等のアルデヒド類又はこれらのアセタール類を同
時に反応させることもできる。
【００４３】ポリ酢酸ビニルけん化物類に対する一般式
（Ｉ）の感光性化合物の導入率は、モノマー単位当た
り、０．３〜５モル％程度が好ましい。
（Ｉ）の感光性化合物の導入率は、モノマー単位当た
り、０．３〜５モル％程度が好ましい。
【００４４】
【発明の実施の形態】以下、本発明を各実施例に基づい
て詳細に説明する。
て詳細に説明する。
【００４５】（実施例１）［３−（２−ジメトキシエチ
ル）ロダニンの水分散液の調製］ アミノアセトアルデヒドジメチルアセタール５３ｇ、水
酸化ナトリウム２０ｇを水２００ｇに分散溶解し、１０
℃に冷却した。撹拌下に二硫化炭素３８ｇを３０分かけ
て滴下し、その後、２０℃で２４時間反応した。次に、
クロル酢酸エチル８１ｇを１５分で滴下し、その後、室
温下で２４時間反応し、下記式に示す目的物の水分散液
を得た。
ル）ロダニンの水分散液の調製］ アミノアセトアルデヒドジメチルアセタール５３ｇ、水
酸化ナトリウム２０ｇを水２００ｇに分散溶解し、１０
℃に冷却した。撹拌下に二硫化炭素３８ｇを３０分かけ
て滴下し、その後、２０℃で２４時間反応した。次に、
クロル酢酸エチル８１ｇを１５分で滴下し、その後、室
温下で２４時間反応し、下記式に示す目的物の水分散液
を得た。
【００４６】
【化２１】
【００４７】（実施例２）［３−（２−ジメトキシエチ
ル）−（４−アジド−ベンジリデン−２−スルホン酸Ｎ
a）ロダニンの合成］ ４−アジド−ベンズアルデヒド−２−スルホン酸Ｎａ１
２０ｇ、水酸化ナトリウム３０ｇを水２５００ｇに溶解
した水溶液を調製し、これを１０℃に冷却した後、これ
を、実施例１の水分散液にゆっくりと加えた。反応する
に従い、目的物が析出してくるが、そのまま撹拌を続
け、２４時間反応した。ＮａＣｌを１５０ｇ添加し、更
に５時間撹拌し、目的物を濾別し、アセトンにて洗浄し
た。
ル）−（４−アジド−ベンジリデン−２−スルホン酸Ｎ
a）ロダニンの合成］ ４−アジド−ベンズアルデヒド−２−スルホン酸Ｎａ１
２０ｇ、水酸化ナトリウム３０ｇを水２５００ｇに溶解
した水溶液を調製し、これを１０℃に冷却した後、これ
を、実施例１の水分散液にゆっくりと加えた。反応する
に従い、目的物が析出してくるが、そのまま撹拌を続
け、２４時間反応した。ＮａＣｌを１５０ｇ添加し、更
に５時間撹拌し、目的物を濾別し、アセトンにて洗浄し
た。
【００４８】得られた結晶は、液体クロマトグラフィー
純度９５％であった。また、吸収極大は、３８８ｎｍで
あった。
純度９５％であった。また、吸収極大は、３８８ｎｍで
あった。
【００４９】
【化２２】
【００５０】（実施例３）［感光性ＰＶＡの合成］ ポリビニルアルコール（ＧＨ−１７、日本合成製）１０
０ｇを水９００ｇに溶解し、これに、実施例２の化合物
を１３ｇ、燐酸３ｇを加え、８０℃で２４時間反応し
た。アセタール化率は、９０％であった。燐酸をイオン
交換処理により除去し、感光基がＰＶＡに対し１．３モ
ル％導入された感光液を調製した。 （試験例１）実施例３の感光液を５％に希釈し、ガラス
板に膜厚１．０μｍ塗布し、超高圧水銀等（紫外線照度
５ｍＷ／ｃｍ2：ＵＶ−３５（オーク製照度計））に
て、１ｍＪ露光した。次いで、水現像することにより、
５０μｍの線幅がきれいに解像されていることを確認し
た。
０ｇを水９００ｇに溶解し、これに、実施例２の化合物
を１３ｇ、燐酸３ｇを加え、８０℃で２４時間反応し
た。アセタール化率は、９０％であった。燐酸をイオン
交換処理により除去し、感光基がＰＶＡに対し１．３モ
ル％導入された感光液を調製した。 （試験例１）実施例３の感光液を５％に希釈し、ガラス
板に膜厚１．０μｍ塗布し、超高圧水銀等（紫外線照度
５ｍＷ／ｃｍ2：ＵＶ−３５（オーク製照度計））に
て、１ｍＪ露光した。次いで、水現像することにより、
５０μｍの線幅がきれいに解像されていることを確認し
た。
【００５１】（実施例４）［３−（２−ジメトキシブチ
ル）ロダニンの水分散液の調製］ アミノブチルアルデヒドジメチルアセタール６７ｇ、ア
ンモニア水６０ｇを水２００ｇに分散溶解し、１０℃に
冷却した。撹拌下に二硫化炭素３８ｇを３０分かけて滴
下し、その後、２０℃で２４時間反応した。次に、クロ
ル酢酸エチル８１ｇを１５分で滴下し、その後、室温下
で２４時間反応し、下記式で示される目的物の水分散液
を得た。
ル）ロダニンの水分散液の調製］ アミノブチルアルデヒドジメチルアセタール６７ｇ、ア
ンモニア水６０ｇを水２００ｇに分散溶解し、１０℃に
冷却した。撹拌下に二硫化炭素３８ｇを３０分かけて滴
下し、その後、２０℃で２４時間反応した。次に、クロ
ル酢酸エチル８１ｇを１５分で滴下し、その後、室温下
で２４時間反応し、下記式で示される目的物の水分散液
を得た。
【００５２】
【化２３】
【００５３】（実施例５）［３−（２−ジメトキシブチ
ル）−（４−アジド−ベンジリデン−２−スルホン酸Ｎ
a）ロダニンの合成］ ４−アジド−ベンズアルデヒド−２−スルホン酸Ｎａ１
２０ｇ、水酸化ナトリウム３０ｇを水２５００ｇに溶解
した水溶液を１０℃に冷却し、これを実施例４の水分散
液にゆっくりと加えた。反応するに従い目的物が析出し
てくるが、そのまま撹拌を続け、２４時間反応した。Ｎ
ａＣｌを１５０ｇ添加し、更に５時間撹拌し、目的物を
濾別し、アセトンにて洗浄した。
ル）−（４−アジド−ベンジリデン−２−スルホン酸Ｎ
a）ロダニンの合成］ ４−アジド−ベンズアルデヒド−２−スルホン酸Ｎａ１
２０ｇ、水酸化ナトリウム３０ｇを水２５００ｇに溶解
した水溶液を１０℃に冷却し、これを実施例４の水分散
液にゆっくりと加えた。反応するに従い目的物が析出し
てくるが、そのまま撹拌を続け、２４時間反応した。Ｎ
ａＣｌを１５０ｇ添加し、更に５時間撹拌し、目的物を
濾別し、アセトンにて洗浄した。
【００５４】下記式で示される生成物は、液体クロマト
グラフィー純度９５％であった。また、吸収極大は、３
８８ｎｍであった。
グラフィー純度９５％であった。また、吸収極大は、３
８８ｎｍであった。
【００５５】
【化２４】
【００５６】（実施例６）［感光性ＰＶＡの合成］ ポリビニルアルコール（ＧＨ−１７、日本合成製）１０
０ｇを水９００ｇに溶解した。実施例５の化合物を１５
ｇ、燐酸３ｇを加え、６０℃で２４時間反応した。アセ
タール化率は、９０％であった。燐酸をイオン交換処理
により除去し、感光基がＰＶＡに１．３モル％導入され
た感光液を調製した。
０ｇを水９００ｇに溶解した。実施例５の化合物を１５
ｇ、燐酸３ｇを加え、６０℃で２４時間反応した。アセ
タール化率は、９０％であった。燐酸をイオン交換処理
により除去し、感光基がＰＶＡに１．３モル％導入され
た感光液を調製した。
【００５７】（試験例２）実施例６の感光液を５％に希
釈し、ガラス板に膜厚１．０μｍ塗布し、超高圧水銀等
（紫外線照度５ｍＷ／ｃｍ2：ＵＶ−３５（オーク製照
度計））にて、１ｍＪ露光した。次いで、水現像するこ
とより、５０μｍの線幅がきれいに解像されていること
を確認した。
釈し、ガラス板に膜厚１．０μｍ塗布し、超高圧水銀等
（紫外線照度５ｍＷ／ｃｍ2：ＵＶ−３５（オーク製照
度計））にて、１ｍＪ露光した。次いで、水現像するこ
とより、５０μｍの線幅がきれいに解像されていること
を確認した。
【００５８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
アセタール基を有するロダニン化合物と、アジド基を有
する芳香族アルデヒドとを縮合することにより、新規な
ロダニン骨格を有する、長波長で感光可能な新規化合物
を提供することができる。
アセタール基を有するロダニン化合物と、アジド基を有
する芳香族アルデヒドとを縮合することにより、新規な
ロダニン骨格を有する、長波長で感光可能な新規化合物
を提供することができる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平７−234504（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−239930（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−65415（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−65（ＪＰ，Ａ) 特開 昭56−64335（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G03F 7/00 - 7/42
Claims (9)
- 【請求項１】 下記一般式で示されるユニットを有する
ことを特徴とする感光性化合物。 【化１】 ここで、Ａｒは下記から選択され、下記Ｘは、リチウ
ム、ナトリウム、カリウム、アンモニウム、モノアルキ
ルアンモニウム、ジアルキルアンモニウム、トリアルキ
ルアンモニウム、又はテトラアルキルアンモニウムを表
す。 【化２】 - 【請求項２】 請求項１において、下記一般式で示され
ることを特徴とする感光性化合物。 【化３】 ここで、ＲはＣ6までのアルキル基，および二つのＲが
一緒になって形成する−（ＣＨ2）m−（ｍは２または
３）から選択される。また、ｎは１，２又は３である。
さらに、Ａｒは下記から選択され、下記Ｘは、リチウ
ム、ナトリウム、カリウム、アンモニウム、モノアルキ
ルアンモニウム、ジアルキルアンモニウム、トリアルキ
ルアンモニウム、又はテトラアルキルアンモニウムを表
す。 【化４】 - 【請求項３】 下記一般式で示されるユニットを有する
ことを特徴とする感光性樹脂。 【化５】 ここで、Ａｒは下記から選択され、下記Ｘは、リチウ
ム、ナトリウム、カリウム、アンモニウム、モノアルキ
ルアンモニウム、ジアルキルアンモニウム、トリアルキ
ルアンモニウム、又はテトラアルキルアンモニウムを表
す。 【化６】 - 【請求項４】 請求項３において、下記一般式で示され
る構成単位を有することを特徴とする感光性樹脂。 【化７】 ここで、ｎは１，２又は３である。また、Ａｒは下記か
ら選択され、下記Ｘは、リチウム、ナトリウム、カリウ
ム、アンモニウム、モノアルキルアンモニウム、ジアル
キルアンモニウム、トリアルキルアンモニウム、又はテ
トラアルキルアンモニウムを表す。 【化８】 - 【請求項５】 請求項３又は４の感光性樹脂を含有する
ことを特徴とする感光性組成物。 - 【請求項６】 アジド基を有する感光性化合物の製造方
法において、下記反応のステップを含むことを特徴とす
る感光性化合物の製造方法。 【化９】 ここで、Ｒｚは水素、又は置換基である。また、Ａｒは
下記から選択され、下記Ｘは、リチウム、ナトリウム、
カリウム、アンモニウム、モノアルキルアンモニウム、
ジアルキルアンモニウム、トリアルキルアンモニウム、
又はテトラアルキルアンモニウムを表す。 【化１０】 - 【請求項７】 請求項６において、前記Ｒｚがアセター
ル基を有する置換基であることを特徴とする感光性化合
物。 - 【請求項８】 アジド基を有する感光性樹脂の製造方法
において、下記反応のステップを含むことを特徴とする
感光性樹脂の製造方法。 【化１１】 ここで、Ｒｚは水素，置換基又はポリマー鎖である。ま
た、Ａｒは下記から選択され、下記Ｘは、リチウム、ナ
トリウム、カリウム、アンモニウム、モノアルキルアン
モニウム、ジアルキルアンモニウム、トリアルキルアン
モニウム、又はテトラアルキルアンモニウムを表す。 【化１２】 - 【請求項９】 請求項８において、前記Ｒｚがアセター
ル基を有する置換基であり、さらに、このアセタール基
をポリ酢酸ビニルけん化物に反応させるステップを有す
ることを特徴とする感光性樹脂の製造方法。
Priority Applications (9)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12186097A JP3163036B2 (ja) | 1997-05-13 | 1997-05-13 | 感光性化合物及び感光性樹脂 |
| DE69809629T DE69809629T2 (de) | 1997-05-13 | 1998-05-11 | Photoempfindliche Verbindungen, photoempfindliche Harzzusammensetzungen, und Verfahren zur Herstellung von Mustern unter Verwendung dieser Verbindungen oder dieser Zusammensetzungen |
| ES98108552T ES2190004T3 (es) | 1997-05-13 | 1998-05-11 | Compuestos fotosensibles, composiciones de resina fotosensible y procedimiento de formacion de imagenes utilizando dichos compuestos o dichas composiciones. |
| EP98108552A EP0878739B1 (en) | 1997-05-13 | 1998-05-11 | Photosensitive compounds, photosensitive resin compositions, and pattern formation method making use of the compounds or compositions |
| KR10-1998-0016900A KR100380663B1 (ko) | 1997-05-13 | 1998-05-12 | 감광성화합물,감광성수지조성물및이화합물또는조성물을사용하는패턴형성방법 |
| TW087107268A TW539923B (en) | 1997-05-13 | 1998-05-12 | Photosensitive compounds, photosensitive resin compositions, and pattern formation method making use of the compounds or compositions |
| CN98109835.5A CN1131461C (zh) | 1997-05-13 | 1998-05-13 | 感光性化合物,感光树脂组合物,以及使用所述化合物或组合物成像的方法 |
| PCT/JP1998/005028 WO2000028382A1 (en) | 1997-05-13 | 1998-11-09 | Photosensitive compounds, photosensitive resin compositions, and pattern formation method making use of the compounds or compositions |
| AU97628/98A AU772375B2 (en) | 1997-05-13 | 1998-11-09 | Photosensitive compounds, photosensitive resin compositions, and pattern formation method making use of the compounds or compositions |
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| JP12186097A JP3163036B2 (ja) | 1997-05-13 | 1997-05-13 | 感光性化合物及び感光性樹脂 |
| PCT/JP1998/005028 WO2000028382A1 (en) | 1997-05-13 | 1998-11-09 | Photosensitive compounds, photosensitive resin compositions, and pattern formation method making use of the compounds or compositions |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10310769A JPH10310769A (ja) | 1998-11-24 |
| JP3163036B2 true JP3163036B2 (ja) | 2001-05-08 |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12186097A Expired - Fee Related JP3163036B2 (ja) | 1997-05-13 | 1997-05-13 | 感光性化合物及び感光性樹脂 |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3163036B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9381798B2 (en) | 2010-01-14 | 2016-07-05 | Dr. Ing. H.C.F. Porsche Aktiengesellschaft | Battery system and motor vehicle |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| KR100817619B1 (ko) | 2005-03-31 | 2008-03-31 | 도요 고세이 고교 가부시키가이샤 | 감광성 수지 및 감광성 조성물 및 광가교체 |
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-
1997
- 1997-05-13 JP JP12186097A patent/JP3163036B2/ja not_active Expired - Fee Related
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|---|---|---|---|---|
| US9381798B2 (en) | 2010-01-14 | 2016-07-05 | Dr. Ing. H.C.F. Porsche Aktiengesellschaft | Battery system and motor vehicle |
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|---|---|
| JPH10310769A (ja) | 1998-11-24 |
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