JPH08146601A - 感光性樹脂組成物 - Google Patents
感光性樹脂組成物Info
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- JPH08146601A JPH08146601A JP28317394A JP28317394A JPH08146601A JP H08146601 A JPH08146601 A JP H08146601A JP 28317394 A JP28317394 A JP 28317394A JP 28317394 A JP28317394 A JP 28317394A JP H08146601 A JPH08146601 A JP H08146601A
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- JP
- Japan
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- photosensitive resin
- resin composition
- cellulose derivative
- water
- quaternary nitrogen
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Landscapes
- Polysaccharides And Polysaccharide Derivatives (AREA)
- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 水溶性で、高感度、高解像性を実現できる感
光性樹脂組成物を提供する。 【構成】 本発明に係る感光性樹脂組成物は、第４級窒
素を有するセルロース誘導体と、例えばスルホン酸基、
カルボン酸基あるいはそれらの塩であるアニオン基を有
する光架橋剤とを含むものである。
光性樹脂組成物を提供する。 【構成】 本発明に係る感光性樹脂組成物は、第４級窒
素を有するセルロース誘導体と、例えばスルホン酸基、
カルボン酸基あるいはそれらの塩であるアニオン基を有
する光架橋剤とを含むものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は感光性樹脂組成物に関
し、更に詳しくは高感度、高解像性で水現像性が優れた
水溶性の感光性樹脂組成物に関する。
し、更に詳しくは高感度、高解像性で水現像性が優れた
水溶性の感光性樹脂組成物に関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】従来、
水溶性の感光性樹脂としては、例えばゼラチン，カゼイ
ン及びグルーのような天然タンパク質あるいはポリビニ
ルアルコールに重クロム酸塩を配合したものが用いられ
ているが、これらの感光性樹脂は公害への配慮が必要と
なる、経時の安定性が悪いなどの欠点を有している。ま
た、ポリビニルアルコールにジアゾニウム塩を配合した
感光性樹脂は経時の安定性が悪いという問題点を有して
いる。
水溶性の感光性樹脂としては、例えばゼラチン，カゼイ
ン及びグルーのような天然タンパク質あるいはポリビニ
ルアルコールに重クロム酸塩を配合したものが用いられ
ているが、これらの感光性樹脂は公害への配慮が必要と
なる、経時の安定性が悪いなどの欠点を有している。ま
た、ポリビニルアルコールにジアゾニウム塩を配合した
感光性樹脂は経時の安定性が悪いという問題点を有して
いる。
【０００３】さらに、ポリビニルピロリドン（ＰＶＰ）
やアクリルアミドとダイアセトンアクリルアミド共重合
体（ＰＡＤ）に水溶性アジド化合物を配合した感光性樹
脂やポリビニルアルコールにスチリルピリジニウム塩を
ペンダントさせたポリマーなども知られているが、解像
性、水現像性が充分でないという問題点を有する。
やアクリルアミドとダイアセトンアクリルアミド共重合
体（ＰＡＤ）に水溶性アジド化合物を配合した感光性樹
脂やポリビニルアルコールにスチリルピリジニウム塩を
ペンダントさせたポリマーなども知られているが、解像
性、水現像性が充分でないという問題点を有する。
【０００４】また、従来ＰＶＰあるいはＰＡＤと水溶性
アジド化合物とからなる感光性樹脂組成物は、ブラウン
管のブラックマトリックス形成用として使用されている
が、蛍光体を含む厚膜でのパターニングには使用されて
いない。これはこれらの感光性樹脂組成物の蛍光体分散
力が弱いことと、光硬化後の蛍光体の保持能力が低いた
めと考えられる。
アジド化合物とからなる感光性樹脂組成物は、ブラウン
管のブラックマトリックス形成用として使用されている
が、蛍光体を含む厚膜でのパターニングには使用されて
いない。これはこれらの感光性樹脂組成物の蛍光体分散
力が弱いことと、光硬化後の蛍光体の保持能力が低いた
めと考えられる。
【０００５】一方、セルロース誘導体は蛍光体の分散力
が良好なことから、印刷方式の蛍光体のパターニングに
使用されているが、この印刷方式に使用するセルロース
誘導体は水不溶性のものであり、取扱い性が悪い、とい
う問題がある。また、ヒドロキシエチルセルロースのよ
うな水溶性セルロース誘導体と水溶性アジド化合物から
なる組成物は光架橋性が十分でない、という問題があ
る。
が良好なことから、印刷方式の蛍光体のパターニングに
使用されているが、この印刷方式に使用するセルロース
誘導体は水不溶性のものであり、取扱い性が悪い、とい
う問題がある。また、ヒドロキシエチルセルロースのよ
うな水溶性セルロース誘導体と水溶性アジド化合物から
なる組成物は光架橋性が十分でない、という問題があ
る。
【０００６】第４級窒素を有するポリマーを用いた感光
性樹脂組成物の例としては特公昭６１−１０４９２号公
報に開示されているビニルピロリドンと第４級窒素を有
するアクリルとの共重合体と水溶性アジド化合物、水溶
性ジアゾニウム塩などの感光剤からなる感光性樹脂組成
物は、解像性が十分でないあるいは経時安定性が良くな
いなどの問題点を有する。
性樹脂組成物の例としては特公昭６１−１０４９２号公
報に開示されているビニルピロリドンと第４級窒素を有
するアクリルとの共重合体と水溶性アジド化合物、水溶
性ジアゾニウム塩などの感光剤からなる感光性樹脂組成
物は、解像性が十分でないあるいは経時安定性が良くな
いなどの問題点を有する。
【０００７】本発明は上記従来の問題点を解決しようと
するものであり、その目的とするところは、高感度、高
解像度で、更に蛍光体などの分散性が良好で水溶性を有
し水現像性に優れた感光性樹脂組成物を提供することに
ある。
するものであり、その目的とするところは、高感度、高
解像度で、更に蛍光体などの分散性が良好で水溶性を有
し水現像性に優れた感光性樹脂組成物を提供することに
ある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、前記課題
を解決するため鋭意研究を重ねた結果、第４級窒素を有
するセルロース誘導体とアニオン基を有する光架橋剤と
を含む感光性樹脂組成物が前記課題を解決しうることを
知見し、これに基づいて本発明を完成するに至った。
を解決するため鋭意研究を重ねた結果、第４級窒素を有
するセルロース誘導体とアニオン基を有する光架橋剤と
を含む感光性樹脂組成物が前記課題を解決しうることを
知見し、これに基づいて本発明を完成するに至った。
【０００９】かかる知見に基づく本発明の感光性樹脂組
成物の構成は、第４級窒素を有するセルロース誘導体と
アニオン基を有する光架橋剤とを含むことを特徴とす
る。
成物の構成は、第４級窒素を有するセルロース誘導体と
アニオン基を有する光架橋剤とを含むことを特徴とす
る。
【００１０】また、前記記載の感光性樹脂組成物におい
て、前記アニオン基としてスルホン酸基、カルボン酸基
あるいはそれらの塩であることを特徴とする。
て、前記アニオン基としてスルホン酸基、カルボン酸基
あるいはそれらの塩であることを特徴とする。
【００１１】また、前記記載の感光性樹脂組成物におい
て、前記光架橋剤がアジド基を有することを特徴とす
る。
て、前記光架橋剤がアジド基を有することを特徴とす
る。
【００１２】また、前記記載の感光性樹脂組成物におい
て、前記アニオン基を有する光架橋剤が１分子中にアジ
ド基２個以上を有することを特徴とする。
て、前記アニオン基を有する光架橋剤が１分子中にアジ
ド基２個以上を有することを特徴とする。
【００１３】また、前記記載の感光性樹脂組成物におい
て、前記第４級窒素を有するセルロース誘導体がセルロ
ース誘導体に対し第４級窒素が０．５〜５重量％である
ことを特徴とする。
て、前記第４級窒素を有するセルロース誘導体がセルロ
ース誘導体に対し第４級窒素が０．５〜５重量％である
ことを特徴とする。
【００１４】更に、前記記載の感光性樹脂組成物におい
て、前記第４級窒素を有するセルロース誘導体の第４級
窒素１００モルに対し、前記アニオン基を有する光架橋
剤のアニオン基が５〜８０モルであることを特徴とす
る。
て、前記第４級窒素を有するセルロース誘導体の第４級
窒素１００モルに対し、前記アニオン基を有する光架橋
剤のアニオン基が５〜８０モルであることを特徴とす
る。
【００１５】以下、本発明の感光性樹脂組成物の内容を
詳細に説明する。
詳細に説明する。
【００１６】本発明の組成物で使用される第４級窒素を
有するセルロース誘導体の製造は、ＵＳＰ２６２３０４
２、特公昭４５−２０３１８号公報、特開昭５４−８７
７８６号公報、特開昭５４−８７７８７号公報、特開平
１−１３８２０１号公報等に記載の方法で得られる。例
えばアルカリセルロースに２，３−エポキシプロピルト
リアルキルアンモニウムクロリド等を作用させたり、セ
ルロース物質に酸化アルキレン、及び２，３−エポキシ
プロピルトリアルキルアンモニウムクロリドを反応させ
たりする事で本発明の組成物で使用される第４級窒素を
有するセルロース誘導体を得ることができる。また、ヒ
ドロキシエチルセロースにジアリルジメチルアンモニウ
ムクロリドをグラフト重合した、Celquat L200（Nation
al Starch Chemical）等も使用できる。
有するセルロース誘導体の製造は、ＵＳＰ２６２３０４
２、特公昭４５−２０３１８号公報、特開昭５４−８７
７８６号公報、特開昭５４−８７７８７号公報、特開平
１−１３８２０１号公報等に記載の方法で得られる。例
えばアルカリセルロースに２，３−エポキシプロピルト
リアルキルアンモニウムクロリド等を作用させたり、セ
ルロース物質に酸化アルキレン、及び２，３−エポキシ
プロピルトリアルキルアンモニウムクロリドを反応させ
たりする事で本発明の組成物で使用される第４級窒素を
有するセルロース誘導体を得ることができる。また、ヒ
ドロキシエチルセロースにジアリルジメチルアンモニウ
ムクロリドをグラフト重合した、Celquat L200（Nation
al Starch Chemical）等も使用できる。
【００１７】また、セルロース誘導体に対し、第４級窒
素の含量は、０．５〜５重量％が好適である。これは、
０．５重量％以下では光硬化性が不十分となり、５重量
％以上では耐水性が悪くなり解像性が低下し、共に好ま
しくないからである。
素の含量は、０．５〜５重量％が好適である。これは、
０．５重量％以下では光硬化性が不十分となり、５重量
％以上では耐水性が悪くなり解像性が低下し、共に好ま
しくないからである。
【００１８】本発明組成物で使用されるアニオン基を有
する光架橋剤のアニオン基としてはスルホン酸基または
その塩、あるいはカルボン酸基またはその塩が好適であ
り、以下にその具体例を挙げることができるが、本発明
において使用できる光架橋剤はこれらに限定されるもの
ではない。
する光架橋剤のアニオン基としてはスルホン酸基または
その塩、あるいはカルボン酸基またはその塩が好適であ
り、以下にその具体例を挙げることができるが、本発明
において使用できる光架橋剤はこれらに限定されるもの
ではない。
【００１９】
【化１】
【００２０】
【化２】
【００２１】
【化３】
【００２２】
【化４】
【００２３】
【化５】
【００２４】
【化６】
【００２５】
【化７】
【００２６】
【化８】
【００２７】
【化９】
【００２８】
【化１０】
【００２９】
【化１１】
【００３０】
【化１２】
【００３１】
【化１３】
【００３２】
【化１４】
【００３３】
【化１５】
【００３４】
【化１６】
【００３５】
【化１７】
【００３６】上記式において、Ｘは水素、リチウム、ナ
トリウム、カリウム、アンモニウム、モノアルキルアン
モニウム、ジアルキルアンモニウム、トリアルキルアン
モニウム又はテトラアルキルアンモニウムを表わす。
トリウム、カリウム、アンモニウム、モノアルキルアン
モニウム、ジアルキルアンモニウム、トリアルキルアン
モニウム又はテトラアルキルアンモニウムを表わす。
【００３７】さらに、特開昭５１−４９５６号、特開平
２−１７３００７号、特開平２−９２９０５号、特開平
２−２０４７５０号、特開平５−１１４４２号、特開平
５−６７４３３号、特開平５−１１３６６１号、特開平
６−３２８２３号、特願平５−８４３７５号、特願平６
−６８３５４号などの各公報に記載のスルホン酸基また
はその塩とアジド基を含むポリマーも挙げることができ
る。
２−１７３００７号、特開平２−９２９０５号、特開平
２−２０４７５０号、特開平５−１１４４２号、特開平
５−６７４３３号、特開平５−１１３６６１号、特開平
６−３２８２３号、特願平５−８４３７５号、特願平６
−６８３５４号などの各公報に記載のスルホン酸基また
はその塩とアジド基を含むポリマーも挙げることができ
る。
【００３８】このようなアニオン基を有する光架橋剤の
うち、１分子中にアジド基を２個以上有するものが、光
硬化性が特に良好である。
うち、１分子中にアジド基を２個以上有するものが、光
硬化性が特に良好である。
【００３９】本発明の組成物において、第４級窒素を有
するセルロース誘導体の第４級窒素に対するアニオン基
を有する光架橋剤のアニオン基の比は特に第４級窒素１
００モルに対しアニオン基５〜８０モルが好適である。
これは第４級窒素１００モルに対しアニオン基が５モル
以下では光硬化性が不十分であり、また、８０モル以上
では組成物溶液からの析出が起きやすくなり、共に好ま
しくないからである。
するセルロース誘導体の第４級窒素に対するアニオン基
を有する光架橋剤のアニオン基の比は特に第４級窒素１
００モルに対しアニオン基５〜８０モルが好適である。
これは第４級窒素１００モルに対しアニオン基が５モル
以下では光硬化性が不十分であり、また、８０モル以上
では組成物溶液からの析出が起きやすくなり、共に好ま
しくないからである。
【００４０】本発明の組成物には、種々の水溶性ポリマ
ー、例えばポリビニルアルコール誘導体、ポリビニルピ
ロリドン、ポリアクリルアミド、ポリ（Ｎ，Ｎ−ジメチ
ルアクリルアミド）、ポリアクリロイルモルホリン、ア
クリルアミドとダイアセトンアクリルアミドとの共重合
体、アクリルアミドとアクリル酸ヒドロキシアルキルと
の共重合体などを添加することができる。これらの水溶
性ポリマーの添加量は第４級窒素を有するセルロース誘
導体１００重量部に対し、５〜５００重量部を添加する
ことが感度及び解像性の点で好適である。
ー、例えばポリビニルアルコール誘導体、ポリビニルピ
ロリドン、ポリアクリルアミド、ポリ（Ｎ，Ｎ−ジメチ
ルアクリルアミド）、ポリアクリロイルモルホリン、ア
クリルアミドとダイアセトンアクリルアミドとの共重合
体、アクリルアミドとアクリル酸ヒドロキシアルキルと
の共重合体などを添加することができる。これらの水溶
性ポリマーの添加量は第４級窒素を有するセルロース誘
導体１００重量部に対し、５〜５００重量部を添加する
ことが感度及び解像性の点で好適である。
【００４１】さらに本発明の組成物には、必要に応じ
て、例えば増感剤、塗布性や現像性などを改良するため
の界面活性剤や、さらには基板との接着性を改良する接
着助剤、保存安定剤、消泡剤、染料などを適宜配合する
ことができる。
て、例えば増感剤、塗布性や現像性などを改良するため
の界面活性剤や、さらには基板との接着性を改良する接
着助剤、保存安定剤、消泡剤、染料などを適宜配合する
ことができる。
【００４２】本発明の組成物は、前述した第４級窒素を
有するセルロース誘導体及びアニオン基を有する光架橋
ならびに必要により水溶性ポリマー及び各種添加剤を水
に溶解させて、必要により濾過することにより調製され
る。ここで、溶解させる水には、水溶性有機溶媒を適量
添加することもできる。
有するセルロース誘導体及びアニオン基を有する光架橋
ならびに必要により水溶性ポリマー及び各種添加剤を水
に溶解させて、必要により濾過することにより調製され
る。ここで、溶解させる水には、水溶性有機溶媒を適量
添加することもできる。
【００４３】本発明の組成物は、基板に塗布することに
より感光性層を形成し、所定のマスクパターンを介して
該感光性層に光を照射して、現像液で現像することによ
りパターンの形成が行なわれる。
より感光性層を形成し、所定のマスクパターンを介して
該感光性層に光を照射して、現像液で現像することによ
りパターンの形成が行なわれる。
【００４４】現像液としては通常水が使用されるが、必
要に応じて、水に水溶性有機溶媒及び／または界面活性
剤を適量添加して使用することもできる。
要に応じて、水に水溶性有機溶媒及び／または界面活性
剤を適量添加して使用することもできる。
【００４５】本発明の組成物は、エレクトロニクス分野
の部品加工や、印刷分野における製版材料などに用いる
ことができる。
の部品加工や、印刷分野における製版材料などに用いる
ことができる。
【００４６】
【実施例】以下、実施例により本発明を更に詳細に説明
するが、本発明はこれらの実施例によって、なんら制限
されるものではない。
するが、本発明はこれらの実施例によって、なんら制限
されるものではない。
【００４７】＜実施例１〜８＞及び＜比較例１〜３＞下
記の「表１」に示す＜実施例１〜４＞の第４級窒素を有
するセルロース誘導体及び＜比較例１及び２＞の第４級
窒素を持たないセルロース誘導体の２重量％水溶液を、
それぞれ調製し、これらにアニオン基を有する光架橋剤
を溶液に対して０．２重量％配合して感光性組成物を調
製した。また＜比較例３＞では６重量％のポリマー水溶
液に対し、光架橋剤を０．６重量％配合した。一方、
「表２」に示す＜実施例５〜７＞においてはアニオン基
を有する光架橋剤を溶液に対して０．４４重量％配合し
て感光性組成物を調製すると共に、＜実施例８＞におい
てはアニオン基を有する光架橋剤を溶液に対して０．０
８重量％配合して感光性組成物を調製した。これらの組
成物を、シランカップリング剤で処理したソーダガラス
基板に乾燥時膜厚が０．６μｍになるようにスピナーで
塗布し、オーブン中７０℃で１０分間乾燥し、感光膜を
得た。これらの感光膜にフジステップガイド（商品名：
富士写真フィルム社製）を密着し、超高圧水銀灯を用い
て露光後、水で１分間現像した。硬化膜が得られるステ
ップガイドの段数で感度を比較した。この結果を、下記
の「表１」及び「表２」に示す。
記の「表１」に示す＜実施例１〜４＞の第４級窒素を有
するセルロース誘導体及び＜比較例１及び２＞の第４級
窒素を持たないセルロース誘導体の２重量％水溶液を、
それぞれ調製し、これらにアニオン基を有する光架橋剤
を溶液に対して０．２重量％配合して感光性組成物を調
製した。また＜比較例３＞では６重量％のポリマー水溶
液に対し、光架橋剤を０．６重量％配合した。一方、
「表２」に示す＜実施例５〜７＞においてはアニオン基
を有する光架橋剤を溶液に対して０．４４重量％配合し
て感光性組成物を調製すると共に、＜実施例８＞におい
てはアニオン基を有する光架橋剤を溶液に対して０．０
８重量％配合して感光性組成物を調製した。これらの組
成物を、シランカップリング剤で処理したソーダガラス
基板に乾燥時膜厚が０．６μｍになるようにスピナーで
塗布し、オーブン中７０℃で１０分間乾燥し、感光膜を
得た。これらの感光膜にフジステップガイド（商品名：
富士写真フィルム社製）を密着し、超高圧水銀灯を用い
て露光後、水で１分間現像した。硬化膜が得られるステ
ップガイドの段数で感度を比較した。この結果を、下記
の「表１」及び「表２」に示す。
【００４８】
【表１】
【００４９】
【表２】
【００５０】上記の「表１」及び「表２」から、比較例
１及び２の第４級窒素を持たないセルロース誘導体を用
いた組成物は６０秒露光でも硬化しなかったが、第４級
窒素を有するセルロース誘導体を用いた本発明の組成物
はいずれも３秒露光で硬化し、高感度であることがわか
る。また実施例１〜４及び比較例３の感光膜にマスクを
密着または１５０μｍのギャップをあけてオーク製作所
製「ＯＲＣ６６１Ｃ型露光機」（製品名）で露光現像
後、得られたパターンを「ノマルスキー微分干渉装置付
光学顕微鏡」（ミノルタ社製）で観察し、下記の「表
３」に示す結果を得た。
１及び２の第４級窒素を持たないセルロース誘導体を用
いた組成物は６０秒露光でも硬化しなかったが、第４級
窒素を有するセルロース誘導体を用いた本発明の組成物
はいずれも３秒露光で硬化し、高感度であることがわか
る。また実施例１〜４及び比較例３の感光膜にマスクを
密着または１５０μｍのギャップをあけてオーク製作所
製「ＯＲＣ６６１Ｃ型露光機」（製品名）で露光現像
後、得られたパターンを「ノマルスキー微分干渉装置付
光学顕微鏡」（ミノルタ社製）で観察し、下記の「表
３」に示す結果を得た。
【００５１】
【表３】
【００５２】上記の表３から、本発明の組成物は比較例
より解像性が良好であることがわかる。
より解像性が良好であることがわかる。
【００５３】＜実施例９＞実施例１において、光架橋剤
として、（１４）の代りに、（１）（Ｘ＝Ｎａ）を０．
１重量％及び（２）（Ｘ＝Ｎａ）を０．１重量％配合
し、感光性樹脂組成物を得た。実施例１と同様に得られ
た組成物をシランカップリング剤で処理したソーダガラ
ス基板に塗布、乾燥し、膜厚０．７μｍの感光膜を得
た。得られた感光膜を実施例１と同様にステップガイド
を密着し、露光したところ、２０秒露光で「２段」であ
った。
として、（１４）の代りに、（１）（Ｘ＝Ｎａ）を０．
１重量％及び（２）（Ｘ＝Ｎａ）を０．１重量％配合
し、感光性樹脂組成物を得た。実施例１と同様に得られ
た組成物をシランカップリング剤で処理したソーダガラ
ス基板に塗布、乾燥し、膜厚０．７μｍの感光膜を得
た。得られた感光膜を実施例１と同様にステップガイド
を密着し、露光したところ、２０秒露光で「２段」であ
った。
【００５４】＜実施例１０＞ソーダガラス基板に下記組
成のプレコート液をスピナーで塗布後、８０℃で１０分
間乾燥した。プレコート層の膜厚は０．１μｍ以下であ
った。プレコートされたガラス基板上に、下記組成の
「蛍光体分散液」を塗布後、８０℃で１０分間乾燥し、
膜厚１７μｍの蛍光体膜を得た。ドットパターンのマス
クを密着させ、超高圧水銀灯で２０秒露光し、スプレー
水で１分間現像した。１００μｍ径の蛍光体のきれいな
ドットパターンが形成された。 （プレコート液） ・カチナールＨＣ−１００の２％水溶液 ２ｇ ・イオン交換水 ２３ｇ ・ＫＢＭ６０３* の５％メタノール溶液 0.１ｇ ＊ 信越化学工業製シランカップリング剤 （蛍光体分散液） ・カチナールＨＣ−１００の２％水溶液 ５０ｇ ・光架橋剤（14）（Ｘ＝Ｎａ） 0.１ｇ 蛍光体（ＺｎＳ：Ｃｕ） １０ｇ ・ＬＴ−２２１* の５％水溶液 0.５ｇ ・イオン交換水 １０ｇ ＊ 日本油脂製界面活性剤
成のプレコート液をスピナーで塗布後、８０℃で１０分
間乾燥した。プレコート層の膜厚は０．１μｍ以下であ
った。プレコートされたガラス基板上に、下記組成の
「蛍光体分散液」を塗布後、８０℃で１０分間乾燥し、
膜厚１７μｍの蛍光体膜を得た。ドットパターンのマス
クを密着させ、超高圧水銀灯で２０秒露光し、スプレー
水で１分間現像した。１００μｍ径の蛍光体のきれいな
ドットパターンが形成された。 （プレコート液） ・カチナールＨＣ−１００の２％水溶液 ２ｇ ・イオン交換水 ２３ｇ ・ＫＢＭ６０３* の５％メタノール溶液 0.１ｇ ＊ 信越化学工業製シランカップリング剤 （蛍光体分散液） ・カチナールＨＣ−１００の２％水溶液 ５０ｇ ・光架橋剤（14）（Ｘ＝Ｎａ） 0.１ｇ 蛍光体（ＺｎＳ：Ｃｕ） １０ｇ ・ＬＴ−２２１* の５％水溶液 0.５ｇ ・イオン交換水 １０ｇ ＊ 日本油脂製界面活性剤
【００５５】＜実施例１１＞ （感光性樹脂組成物） ・カチナールＨＣ−１００ 2.６ｇ ・ポリビニルピロリドン 7.４ｇ ・光架橋剤（14）（Ｘ＝Ｎａ） 0.７５ｇ ・イオン交換水 ２９０ｇ
【００５６】上記組成の感光性樹脂組成物をシランカッ
プリング剤で処理したソーダガラス基板に塗布し、７０
℃で１０分間乾燥し、膜厚１．０μｍの感光膜を得た。
マスクを密着させ超高圧水銀灯にて１．５秒露光後、水
で１分間現像したところ、エッジのきれいな１０μｍの
ラインアンドスペースパターンが得られた。
プリング剤で処理したソーダガラス基板に塗布し、７０
℃で１０分間乾燥し、膜厚１．０μｍの感光膜を得た。
マスクを密着させ超高圧水銀灯にて１．５秒露光後、水
で１分間現像したところ、エッジのきれいな１０μｍの
ラインアンドスペースパターンが得られた。
【００５７】
【発明の効果】以上説明したように本発明の感光性樹脂
組成物は高感度、高解像度であると共に、水溶性で更に
蛍光体などの分散性が良好であり、例えば、カラーブラ
ウン管のブラックマトリックスや蛍光体パターン形成、
ＣＣＤやＬＣＤのカラーフィルターやブラックマトリッ
クス形成、スクリーン印刷版や各種エッチングレジスト
等として用いて好適である。
組成物は高感度、高解像度であると共に、水溶性で更に
蛍光体などの分散性が良好であり、例えば、カラーブラ
ウン管のブラックマトリックスや蛍光体パターン形成、
ＣＣＤやＬＣＤのカラーフィルターやブラックマトリッ
クス形成、スクリーン印刷版や各種エッチングレジスト
等として用いて好適である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｊ 9/227 Ｄ
Claims (6)
- 【請求項１】 第４級窒素を有するセルロース誘導体と
アニオン基を有する光架橋剤とを含むことを特徴とする
感光性樹脂組成物。 - 【請求項２】 請求項１の感光性樹脂組成物において、 前記アニオン基としてスルホン酸基、カルボン酸基ある
いはそれらの塩であることを特徴とする感光性樹脂組成
物。 - 【請求項３】 請求項１及び２の感光性樹脂組成物にお
いて、 前記光架橋剤がアジド基を有することを特徴とする感光
性樹脂組成物。 - 【請求項４】 請求項１の感光性樹脂組成物において、 前記アニオン基を有する光架橋剤が１分子中にアジド基
２個以上有することを特徴とする感光性樹脂組成物。 - 【請求項５】 請求項１，２，３及び４の感光性樹脂組
成物において、 前記第４級窒素を有するセルロース誘導体がセルロース
誘導体に対し第４級窒素が０．５〜５重量％であること
を特徴とする感光性樹脂組成物。 - 【請求項６】 請求項５の感光性樹脂組成物において、 前記第４級窒素を有するセルロース誘導体の第４級窒素
１００モルに対し、前記アニオン基を有する光架橋剤の
アニオン基が５〜８０モルであることを特徴とする感光
性樹脂組成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28317394A JPH08146601A (ja) | 1994-11-17 | 1994-11-17 | 感光性樹脂組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28317394A JPH08146601A (ja) | 1994-11-17 | 1994-11-17 | 感光性樹脂組成物 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08146601A true JPH08146601A (ja) | 1996-06-07 |
Family
ID=17662114
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28317394A Withdrawn JPH08146601A (ja) | 1994-11-17 | 1994-11-17 | 感光性樹脂組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08146601A (ja) |
-
1994
- 1994-11-17 JP JP28317394A patent/JPH08146601A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20020205 |