JPH10186681A - 光硬化パターン剥離用組成物およびそれを用いたブラックマトリックスパターンの形成方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】剥離残りやフリンジの形成のない光硬化パター
ン剥離用組成物、および該光硬化パターン剥離用組成物
を使用したブラックマトリックスパターンの形成方法を
提供すること。 【解決手段】感光性樹脂組成物で形成した光硬化パター
ンを剥離するための光硬化パターン剥離用組成物におい
て、前記光硬化パターン剥離用組成物が一般式（１） 【化１】ＸＦ （１） （式中、ＸはＨ、Ｎａ、ＫまたはＮＨ₄を表わす）で表
わされるフッ素化合物の少なくとも１種を含有すること
を特徴とする光硬化パターン剥離用組成物、および感光
性樹脂組成物で形成した光硬化パターンを前記光硬化パ
ターン剥離用組成物で剥離除去するブラックマトリック
スパターンの形成方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、光硬化パターン剥離用
組成物、さらに詳しくは、カラーテレビなどのカラーブ
ラウン管の蛍光面に設けられるブラックマトリックスの
製造工程で形成される光硬化パターンを剥離除去するた
めの光硬化パターン剥離用組成物に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、カラーテレビなどのカラーブラウ
ン管は、ガラスパネル上にシャドウマスクを用いてホト
レジストのドットやストライプを形成し、その上に光吸
収性物質（例えば黒鉛）を塗布したのち、剥離液で前記
光吸収性物質の付着した光硬化レジストパターンを剥離
除去しブラックマトリックスホールまたはストライプを
形成し、そこに赤、青、緑の三原色蛍光体を充填するこ
とで製造されてきた。前記光硬化パターンの剥離工程で
は次亜塩素酸塩、過酸化水素、ペルオキソ硫酸塩、過ヨ
ウ素酸塩、重クロム酸塩などの剥離剤が使用されていた
が、光硬化レジスト層が完全に除去されず剥離残りが生
じ、それが原因で蛍光体形成において混色が起るなどの
欠点があり、特にポリビニルピロリドンと感光性化合物
とを含有する感光性樹脂組成物を用いて形成した光硬化
パターンは、剥離性に問題があった。

【０００３】そこで、検討したところは上記欠点は使用
する感光性樹脂組成物に起因することがわかり、ビニル
ピロリドン−ビニルイミダゾール共重合体と感光性アジ
ド化合物とを含有する感光性樹脂組成物を開発し、特願
平７−２９８９０３号、特願平８−３５５５５号で提案
した。前記感光性樹脂組成物は光硬化パターンの剥離性
が向上し、しかも高感度で、短い露光時間、すなわち少
ない露光量で効率よく光硬化パターンを形成できる上
に、ガラス基板との密着性にすぐれ、薄膜でもパターン
形成能があった。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、依然、
上記感光性樹脂組成物を用いてブラックマトリックス用
の光硬化パターンを形成しそれを従来の剥離剤で剥離除
去した場合、ブラックマトリックスパターンに若干のフ
リンジ（ギザつき）、剥離残りが生じることがあり、コ
ントラストに優れた三原色ドットまたはストライプの形
成が困難であった。

【０００５】こうした現状に鑑み、本発明者等は、鋭意
研究を重ねた結果、特定のフッ素化合物を含有する水溶
液を剥離液として使用することで、さらに剥離性が向上
し、剥離残りやフリンジのないブラックマトリックスパ
ターンが形成できることを見出し、本発明を完成したも
のである。すなわち、

【０００６】本発明は、剥離残りやフリンジを形成する
ことのない光硬化パターン剥離用組成物を提供すること
を目的とする。

【０００７】また、本発明は、上記光硬化パターン剥離
用組成物を用いたブラックマトリックスパターンの形成
方法を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明は、感光性樹脂組成物で形成した光硬化パターンを剥
離するための光硬化パターン剥離用組成物において、前
記光硬化パターン剥離用組成物が一般式（６）

【０００９】

【化６】ＸＦ （６） （式中、ＸはＨ、Ｎａ、ＫまたはＮＨ₄を表わす）で表
わされるフッ素化合物の少なくとも１種を含有すること
を特徴とする光硬化パターン剥離用組成物、および該剥
離用組成物を用いたブラックマトリックスパターンの形
成方法に係る。

【００１０】本発明の光硬化パターン剥離用組成物は、
上述のとおりフッ素化合物の少なくとも１種を含有する
が、該フッ素化合物としては、具体的にフッ酸、フッ化
ナトリウム、フッ化カリウム、フッ化アンモニウム、酸
性フッ化アンモニウムなどが挙げられる。前記フッ素化
合物は１種または２種以上を混合して使用することがで
きる。

【００１１】上記フッ素化合物の含有量は、光硬化パタ
ーン剥離用組成物中におけるフッ素の含有量が１０００
〜２０００ｐｐｍの範囲になるような量であることが好
ましく、用いるフッ素化合物の種類によって異なるが、
光硬化パターン剥離用組成物の０．１〜１．０重量％、
好ましくは０．２〜０．５重量％の範囲が好適である。
前記含有量が０．１重量％未満では剥離性の向上がみら
れず、また、１．０重量％を越えるとガラス面のエッチ
ングが起り、光吸収性物質の剥離が起り好ましくない。

【００１２】上記に加えて、本発明の光硬化パターン剥
離用組成物は、剥離性を向上させるため水溶液中で酸性
を示す無機化合物（以下酸性無機化合物という）を含有
することができる。前記酸性無機化合物としては、具体
的に硫酸、硝酸、塩酸、リン酸、次亜塩素酸、ペルオキ
ソ硫酸、過ヨウ素酸およびスルファミン酸が挙げられる
がこれらに限定されるものではない。特に塩酸、硫酸、
スルファミン酸が好ましい。これらの少なくとも１種を
含有することができる。

【００１３】上記酸性無機化合物は本発明の光硬化パタ
ーン剥離用組成物の０．５〜３０重量％、好ましくは２
〜１５重量％の範囲で含有するのが好ましい。前記酸性
化合物が０．５重量％未満では剥離効果の向上がみられ
ず、また酸性化合物を３０重量％を越えて添加しても、
剥離性が更に向上する傾向がみられず、逆に材料コスト
の上昇、強酸水溶液になることによる取扱上の問題が起
こる。

【００１４】本発明の光硬化パターン剥離用組成物は、
上述のとおり一般式（６）で表わされるフッ素化合物の
少なくとも１種、さらに酸性無機化合物を含有してもよ
いが、特に好ましくはフッ素化合物と酸性無機化合物を
ともに含有し、かつフッ素化合物の含有量が０．２〜
０．５重量％、酸性無機化合物の含有量が２〜１５重量
％のときである。前記組成割合のとき光硬化パターンは
好適に剥離され剥離残りやフリンジなどの発生がない。

【００１５】なお、本発明の剥離用組成物は、酸性水溶
液であることが好ましく、中性またはアルカリ性では光
吸収性物質が剥離し易くなる。フッ酸、酸性フッ化アン
モニウムなどは水に溶け酸性を示すが、フッ化ナトリウ
ム、フッ化カリウムは水に難溶で、またその液自体も中
性であるため、上記の酸性無機化合物との併用が好まし
い。

【００１６】本発明の光硬化パターン剥離用組成物は感
光性樹脂組成物として水現像型感光性組成物であれば、
従来公知の種々のものが使用可能であるが、この中でも
特に（Ａ）ビニルピロリドン−ビニルイミダゾール共重
合体と（Ｂ）感光性化合物からなる水溶性感光性樹脂組
成物で形成した光硬化パターンの剥離に特に効果的であ
る。前記ビニルピロリドン−ビニルイミダゾール共重合
体の「ビニルピロリドン」とはＮ−ビニル−２−ピロリ
ドンを、また「ビニルイミダゾール」とは、Ｎ−ビニル
体、２−ビニル体、４−ビニル体のビニルイミダゾール
をいう。

【００１７】上記（Ａ）成分中のビニルイミダゾール含
有量は共重合体１００モル％に対して５〜９０モル％、
好ましくは１０〜２５モル％の範囲で選ばれる。前記ビ
ニルイミダゾール成分が５モル％未満では剥離処理時の
剥離性が十分でなく剥離残りを生じやすく、またビニル
イミダゾール成分が９０モル％を超える共重合体は、高
分子量体の合成が困難である。

【００１８】また、上記（Ａ）成分は、Ｋ値が３０〜１
００、好ましくは５０〜１００のものが好適に用いられ
る。前記Ｋ値は、分子量を表わすパラメータであり、下
記式１で表わされる。

【００１９】

【式１】ｌｏｇη_r／Ｃ ＝ （７５Ｋ² ₀＋Ｋ₀）／（１
＋１．５Ｋ₀Ｃ） （式中、Ｃは共重合体水溶液１００ｍｌに含まれる該重
合体のグラム数を示し、 η_rは共重合体の相対
粘度を示す）

【００２０】上記水溶性感光性樹脂組成物の（Ｂ）成分
としては、一般式（７）

【００２１】

【化７】 （式中、ＹはＮａ、ＫまたはＮＨ₄を表わす）で表わさ
れる構成単位を有する高分子化合物、一般式（８）

【００２２】

【化８】 （式中、ＹはＮａ、ＫまたはＮＨ₄を表わす）で表わさ
れる４，４’−ジアジドスチルベン−２，２’ジスルホ
ン酸塩類および一般式（９）

【００２３】

【化９】 （式中、ＹはＮａ、ＫまたはＮＨ₄を表わす）で表わさ
れる２，５−ビス（４’−アジド−２’−スルホベンジ
リデン）シクロペンタノン塩類から選ばれる少なくとも
１種が用いられる。

【００２４】上記一般式（７）で表わされる高分子化合
物は、例えば、ジアセトンアクリルアミドと水溶性モノ
マーを公知の方法で共重合させて得たベースポリマー
に、４−アジドベンズアルデヒド−２−スルホン酸およ
びその塩類から選ばれる少なくとも１種をアルドール縮
合反応させて得た重合体である。前記水溶性モノマーと
しては、例えばアクリル酸、メタクリル酸、ジメチルア
クリルアミド、アクリロイルモルホリンなどが挙げられ
る。また、共重合後加水分解反応でアルコール性水酸基
を生じる酢酸ビニルも使用できる。前記高分子化合物の
共重合反応割合は、ジアセトンアクリルアミド１モルに
対し水溶性モノマー０．５〜１０モルの範囲がよく、ま
たベースポリマーの重量平均分子量は１０×１０⁴〜１
００×１０⁴、好ましくは２０×１０⁴〜５０×１０⁴、
分散度は１〜１０、好ましくは１〜３の範囲がよい。前
記高分子化合物の４−アジドベンズアルデヒド−２−ス
ルホン酸またはその塩類の導入量はジアセトンアクリル
アミド１００モルに対し５〜９５モル％の範囲がよい。
この一般式（７）で表わされる高分子化合物の上記水溶
性感光性樹脂組成物中の配合割合は、（Ｂ）成分／
（Ａ）成分＝０．０１〜０．５０、好ましくは０．０５
〜０．２０の範囲がよい。前記（Ｂ）成分が０．０１未
満では感度不足になり、また０．５０を超えると感度が
高すぎ、露光コントロールが困難となる。

【００２５】一般式（８）、（９）で表わされるビスジ
アジド化合物を（Ｂ）成分とする場合には、水溶性感光
性樹脂組成物中の配合割合は、（Ｂ）成分／（Ａ）成分
＝０．０１〜０．３５、好ましくは０．０３〜０．２０
の範囲で使用する。

【００２６】また、上記（Ａ）成分および（Ｂ）成分を
含有する水溶性感光性樹脂組成物は、塗布性などの点か
ら固形分濃度１〜１２重量％の範囲を含有する水溶液が
好ましい。

【００２７】カラーブラウン管はその製造においてブラ
ックマトリックスパターンを形成するため光吸収性物質
塗布液を使用するが、該光吸収性物質塗布液としては例
えば黒鉛粒子を水に分散させたスラリー液（分散液）な
どが用いられる。前記黒鉛粒子としては、球状、立方形
状などの３次元的形状を有する粒子や平面に近いうろこ
状の２次元的形状を有する粒子が挙げられるが、ガラス
基板に対する接着性、光硬化パターンの剥離後のブラッ
クマトリックスパターンのホールまたはストライプ形状
の良さから２次元的形状の黒鉛粒子が好ましい。前記２
次元的形状の黒鉛粒子としては、具体的にヒタゾルＧＡ
−６６Ｓ、ヒタゾルＧＡ−６６Ｍ、（日立粉末冶金社
製）などを挙げることができる。

【００２８】次に、本発明の光硬化パターン剥離用組成
物を用いたブラックマトリックスパターンの形成方法を
示す。すなわち、（ｉ）ガラスなどのガラスパネル上に
感光性樹脂組成物を塗布し、乾燥する工程、（ｉｉ）シ
ャドウマスクを装着し、回転光源露光法で赤、青、緑の
三色相当の三回露光を行う工程、（ｉｉｉ）シャドウマ
スクを外し、現像してパネル上に光硬化レジストのドッ
トやストライプなどのパターンを残す工程、（ｉｖ）前
記ドットやストライプをも含めたパネル全面に光吸収性
物質（例えば黒鉛）塗布液を塗布、乾燥する工程、
（ｖ）光硬化パターン剥離用組成物で前記光吸収性物質
の付着した光硬化パターンを剥離除去してマトリックス
ホールまたはストライプを形成する工程および（ｖｉ）
前記マトリックスホールまたはストライプに赤、青、緑
の三原色蛍光体スラリーを塗布することにより充填し三
原色ドットまたはストライプを形成する工程からなる形
成方法である。

【００２９】

【発明の実施の態様】次に、実施例により本発明をさら
に詳細に説明するが、本発明はこれらの例によってなん
ら限定されるものではない。

【００３０】〈水溶性感光性樹脂組成物１の調製例〉 １）感光性化合物の合成 濃度５重量％のベースポリマー〔ジアセトンアクリルア
ミド単位：ジメチルアクリルアミド単位＝４０：６０
（モル比）、Ｍｗ＝２５００００〕水溶液１００ｇに４
−アジドベンズアルデヒド−２−スルホン酸ナトリウム
４ｇ（０．０１６モル）を添加溶解し、次いで１０％カ
セイソーダ水溶液２ｍｌを加え、室温（２５℃）にて７
時間反応を行った。その後希塩酸にて中和し、純水で希
釈し、固形分７重量％の一般式（１０）で表わされる構
成単位を有する感光性化合物の水溶液を得た。

【００３１】

【化１０】

【００３２】２）水溶性感光性樹脂組成物１の調製 ビニルピロリドン−ビニルイミダゾール共重合体（ビニ
ルピロリドン：ビニルイミダゾール＝９０：１０（モル
比）、Ｋ値＝９０）７ｇを純水１００ｇに溶解してビニ
ルピロリドン−ビニルイミダゾール共重合体水溶液を調
合した。この水溶液に１）の一般式（１０）で表わされ
る感光性化合物水溶液１０ｇを添加溶解し純水で希釈
し、固形分濃度３．３重量％の水溶性感光性樹脂組成物
１を調製した。

【００３３】〈水溶性感光性樹脂組成物２の調製例〉 一般式（１１）

【００３４】

【化１１】 で表わされる４，４’−ジアジドスチルベン−２，２’
ジスルホン酸ナトリウム０．７ｇを上記２）のビニルピ
ロリドン−ビニルイミダゾール共重合体水溶液１０７ｇ
に添加溶解し純水で希釈し、固形分濃度３．６重量％の
水溶性感光性樹脂組成物２を調製した。

【００３５】〈水溶性感光性樹脂組成物３の調製例〉 一般式（１２）

【００３６】

【化１２】 で表わされる２，５−ビス（４’−アジド−２’−スル
ホベンジリデン）シクロペンタノンのナトリウム塩０．
７ｇを上記２）のビニルピロリドン−ビニルイミダゾー
ル共重合体水溶液１０７ｇに添加溶解し純水で希釈し、
固形分濃度３．６重量％の水溶性感光性樹脂組成物３を
調製した。

【００３７】〈水溶性感光性樹脂組成物４の調製例〉ビ
ニルピロリドン−ビニルイミダゾール共重合体粉末（ビ
ニルピロリドン：ビニルイミダゾール＝９０：１０（モ
ル比）、Ｋ値＝９０）を純水に溶解し樹脂濃度６％の水
溶液１ｋｇに調合し、上記一般式（１１）で表わされる
４，４’−ジアジドスチルベン−２，２’ジスルホン酸
ナトリウム６ｇを添加溶解し、ろ過を行い、水溶性感光
性樹脂組成物４を調製した。

【００３８】〈比較水溶性感光性樹脂組成物〉ポリビニ
ルピロリドン粉末（Ｋ値＝９０）を純水に溶解して樹脂
濃度６％の水溶液１ｋｇを調合した。これに一般式（１
１）で表わされる４，４’−ジアジドスチルベン−２，
２’ジスルホン酸ナトリウム６ｇを添加溶解し、ろ過を
行い、比較水溶性感光性樹脂組成物を調製した。

【００３９】〈塗布液１〜３の調製例〉水溶性感光性樹
脂組成物１〜３の各々１００ｇにノニオン系界面活性剤
（「ＬＴ−２２１」；日本油脂社製）の１０％水溶液１
ｇ、シリコンカップリング剤（「ＫＢＭ６０３」；信越
シリコン社製）の１０％エタノール溶液２ｇを混合し
て、塗布液１〜３を調製した。

【００４０】〈塗布液４の調製例〉水溶性感光性樹脂組
成物４を純水で２倍に希釈した。該水溶液を１００ｇ取
り、塗布液１〜３の調製例で用いたノニオン系界面活性
剤の１０％水溶液１ｇ、シリコンカップリング剤の１０
％エタノール溶液２ｇを混合し、ろ過して塗布液４を調
製した。

【００４１】〈比較塗布液の調製例〉塗布液４の調製例
において水溶性感光性樹脂組成物４を比較水溶性感光性
樹脂組成物に代えた以外は塗布液４の調製例と同様にし
て比較塗布液を調製した。

【００４２】〈剥離液１の調合例〉フッ酸０．４ｇ、濃
硫酸（濃度９８重量％）１０ｇを純水に溶解して、全量
を１００ｇに調製した剥離液１を調合した。

【００４３】〈剥離液２の調合例〉フッ化ナトリウム
０．４ｇ、濃硫酸（濃度９８重量％）１０ｇを純水に溶
解して、全量を１００ｇに調製し剥離液２を調合した。

【００４４】〈剥離液３の調合例〉フッ化アンモニウ
ム、０．４ｇ、濃硫酸（濃度９８重量％）１０ｇを純水
に溶解して、全量を１００ｇに調製し剥離液３を調合し
た。

【００４５】〈剥離液４の調合例〉フッ酸添加量を０．
４ｇから０．２ｇに代えた以外剥離液の調合例１と同様
にして剥離液４を調合した。

【００４６】〈剥離液５の調合例〉フッ酸添加量を０．
４ｇから０．８ｇに代えた以外剥離液の調合例１と同様
にして、剥離液５を調合した。

【００４７】〈剥離液６の調合例〉フッ酸とフッ化アン
モニウムの１：１混合物である酸性フッ化アンモニウム
０．４ｇを純水に溶解して、全量を１００ｇに調製し剥
離液６を調合した。

【００４８】〈剥離液７の調合例〉フッ化アンモニウム
０．２ｇ、塩酸水溶液（濃度３５重量％）８．６ｇ（Ｈ
Ｃｌ含有量３ｇ）を純水に溶解して、全量を１００ｇに
調製した剥離液７を調合した。

【００４９】〈剥離液８の調合例〉フッ化アンモニウム
０．２ｇ、濃硫酸（濃度９８重量％）３ｇを純水に溶解
して、全量を１００ｇに調製し剥離液８を調合した。

【００５０】〈比較剥離液の調合例〉濃硫酸（濃度９８
重量％）１０ｇを純水に溶解して、全量を１００ｇに調
製し比較剥離液を調合した。

【００５１】

【実施例】

実施例１ 洗浄したガラス板（１２５φｍｍ）を基板として用い、
この基板上に塗布液１を３００ｒｐｍにて回転塗布し、
５０℃にて１５分間乾燥を行い、感光性層（膜厚０．８
μｍ）を形成した。この感光性層上に、ギャップ１０ｍ
ｍにて、所定のドットパターンの透孔を有するシャドウ
マスクを介して、超高圧水銀灯にて照度０．１０ｍＷ／
ｃｍ²の光量、波長３５０ｎｍセンサー使用で２５秒間
点光源露光を行った。露光後、水現像して未露光部分を
除去した後、５０℃にて１０分間熱風乾燥して光硬化レ
ジストパターンを得た。前記光硬化レジストパターンが
形成されたガラス基板全面に、黒鉛スラリー（「ヒタゾ
ルＧＡ−６６Ｓ」；日本粉末治金社製）の２倍希釈液を
３００ｒｐｍにて回転塗布し、５０℃にて３０分間乾燥
を行った。次いで、これを剥離液１に２５℃にて１分間
浸漬した後、４ｋｇ／ｃｍ²圧のスプレー水で洗い流し
た。その結果、剥離残りやフリンジのないブラックマト
リックスパターンが得られた。

【００５２】実施例２ 塗布液１を塗布液２に代えた以外は実施例１と同様にし
てブラックマトリックスパターンを形成した。その結
果、剥離残りやフリンジのないブラックマトリックスパ
ターンが得られた。

【００５３】実施例３ 塗布液１を塗布液３に代えた以外は実施例１と同様にし
てブラックマトリックスパターンを形成した。その結
果、剥離残りやフリンジのないブラックマトリックスパ
ターンが得られた。

【００５４】実施例４〜９ 剥離液１を剥離液２〜６に代えた以外は実施例１と同様
にしてブラックマトリックスパターンを形成した。その
結果、剥離液６を用いた場合のみ、フリンジの発生が見
られたがそれ以外のいずれの剥離液を用いた場合も、剥
離残りやフリンジのないブラックマトリックスパターン
が得られた。

【００５５】比較例１ 剥離液１を比較剥離液に代えた以外は実施例１と同様に
してブラックマトリックスパターンを形成した。その結
果、かすかな剥離残りが生じ、また若干のフリンジの発
生がみられた。

【００５６】実施例１０ 塗布液１を塗布液４に代えた以外は実施例１と同様にし
て感光性層（膜厚０．８μｍ）を形成した。この感光性
層上に、ギャップ１０ｍｍにて、所定のドットパターン
の透孔を有するシャドウマスクを介して、超高圧水銀灯
にて照度０．１２ｍＷ／ｃｍ²の光量、波長３５０ｎｍ
センサー使用で２０秒間点光源露光を行った以外は実施
例１と同様にして露光を行い、現像し、光硬化レジスト
パターンを形成した。この光硬化レジストパターンが形
成されたガラス基板全面に、黒鉛スラリー（「ヒタゾル
ＧＡ−６６Ｍ」；日本粉末治金社製）の２倍希釈液を３
００ｒｐｍにて回転塗布し、５０℃にて３０分間乾燥を
行った。次いで、剥離液７に２５℃にて１分間浸漬した
のち、４ｋｇ／ｃｍ²圧のスプレー水で洗い流したとこ
ろ、剥離残りやフリンジのないブラックマトリックスパ
ターンが得られた。その結果を図１に示す。

【００５７】実施例１１ 剥離液７を剥離液８に代えた以外は実施例１０と同様に
してブラックマトリックスパターンを形成した。実施例
１０と同様に良好な形状のブラックマトリックスパター
ンが形成された。その結果を図２に示す。

【００５８】比較例２ 塗布液４を比較塗布液に代えた以外は実施例１０と同様
にしてブラックマトリックスパターンの形成を試みた
が、光硬化レジストパターンが形成されていた部分以外
の領域で黒鉛膜の剥離が生じてしまった。また、僅かに
形成されたホールにはフリンジの発生が確認された。そ
の結果を図３で示す。

【００５９】比較例３ 剥離液７を剥離液８に代えた以外は比較例２と同様にし
てブラックマトリックスパターンの形成を試みたが、光
硬化レジストパターンが形成されていた部分以外の領域
で黒鉛膜の剥離が生じてしまった。また、ホールの形成
は確認できなかった。その結果を図４に示す。

【００６０】

【発明の効果】本発明の光硬化パターン剥離用組成物
は、光硬化レジストパターンを良好に剥離でき剥離残り
やフリンジの形成がない。該光硬化パターン剥離用組成
物を用いることで、コントラストの優れたカラーテレビ
ブラウン管が製造できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】ビニルピロリドン−ビニルイミダゾール共重合
体と感光性化合物を含有する水溶性感光性樹脂組成物で
形成した光硬化レジストパターンをフッ化アンモニウム
０．２ｇ、塩酸水溶液（濃度３５重量％）８．６ｇ（Ｈ
Ｃｌ含有量３ｇ）からなる光硬化パターン剥離用組成物
で剥離したときのブラックマトリックスドットの状態を
示す。

【図２】フッ化アンモニウム０．２ｇと濃硫酸（濃度９
８重量％）３ｇを含有する本発明の光硬化パターン剥離
用組成物を用いたときのブラックマトリックスドットの
状態を示す。

【図３】ポリビニルピロリドンを含有する水溶性感光性
樹脂組成物で形成した光硬化パターンをフッ化アンモニ
ウム０．２ｇ、塩酸水溶液（濃度３５重量％）８．６ｇ
（ＨＣｌ含有量３ｇ）からなる光硬化パターン剥離用組
成物で剥離したときのブラックマトリックスドットの状
態を示す。

【図４】ポリビニルピロリドンを含有する水溶性感光性
樹脂組成物で形成した光硬化パターンをフッ化アンモニ
ウム０．２ｇ、濃硫酸（濃度９８重量％）３ｇからなる
剥離用組成物で剥離したときのブラックマトリックスド
ットを形成したときの状態を示す。

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】感光性樹脂組成物で形成した光硬化パター
   ンを剥離するための光硬化パターン剥離用組成物におい
   て、前記光硬化パターン剥離用組成物が一般式（１） 【化１】ＸＦ （１） （式中、ＸはＨ、Ｎａ、ＫまたはＮＨ₄を表わす）で表
   わされるフッ素化合物の少なくとも１種を含有すること
   を特徴とする光硬化パターン剥離用組成物。
2. 【請求項２】フッ素化合物の含有量が０．１〜１．０重
   量％であることを特徴とする請求項１記載の光硬化パタ
   ーン剥離用組成物。
3. 【請求項３】請求項１記載の光硬化パターン剥離用組成
   物がさらに水溶液中で酸性を示す無機化合物を含有する
   ことを特徴とする光硬化パターン剥離用組成物。
4. 【請求項４】フッ素化合物の含有量が０．１〜１．０重
   量％、水溶液中で酸性を示す無機化合物の含有量が０．
   ５〜３０重量％であることを特徴とする請求項３記載の
   光硬化パターン剥離用組成物。
5. 【請求項５】感光性樹脂組成物が水現像型感光性樹脂組
   成物であることを特徴とする請求項１ないし４のいずれ
   か１記載の光硬化パターン剥離用組成物。
6. 【請求項６】感光性樹脂組成物が（Ａ）ビニルピロリド
   ン−ビニルイミダゾール共重合体と（Ｂ）感光性化合物
   からなる水溶性感光性樹脂組成物であることを特徴とす
   る請求項１ないし５のいずれか１記載の光硬化パターン
   剥離用組成物。
7. 【請求項７】（Ｂ）成分が一般式（２） （式中、ＹはＮａ、ＫまたはＮＨ₄を表わす）で表わさ
   れる構成単位を有する高分子化合物であることを特徴と
   する請求項６記載の光硬化パターン剥離用組成物。
8. 【請求項８】（Ｂ）成分が一般式（３） 【化３】 （式中、ＹはＮａ、ＫまたはＮＨ₄を表わす）で表わさ
   れる４，４’−ジアジドスチルベン−２，２’ジスルホ
   ン酸塩類および 【化４】 （式中、ＹはＮａ、ＫまたはＮＨ₄を表わす）で表わさ
   れる２，５−ビス（４’−アジド−２’−スルホベンジ
   リデン）シクロペンタノン塩類から選ばれる少なくとも
   １種であることを特徴とする請求項６記載の光硬化パタ
   ーン剥離用組成物。
9. 【請求項９】感光性樹脂組成物を用いてガラス基板上に
   ドットまたはストライプの光硬化パターンを形成したの
   ちガラス基板全面に光吸収性物質塗布液を塗布、乾燥
   し、前記光硬化パターンを一般式（５） 【化５】ＸＦ （５） （式中、ＸはＨ、Ｎａ、ＫまたはＮＨ₄を表わす）で表
   わされるフッ素化合物の少なくとも１種を含有する光硬
   化パターン剥離用組成物で剥離除去し３原色蛍光体用マ
   トリックスホール又はストライプを形成することを特徴
   とするブラックマトリックスパターンの形成方法。
10. 【請求項１０】光硬化パターン剥離用組成物がさらに水
    溶液中で酸性を示す無機化合物を含有することを特徴と
    する請求項９記載のブラックマトリックスパターンの形
    成方法。
11. 【請求項１１】光吸収性物質塗布液が２次元的形状を有
    する黒鉛粒子を水に分散した分散液であることを特徴と
    する請求項９記載のブラックマトリックスパターンの形
    成方法。