JPH09111087A - 水溶性感光性組成物およびこれを用いた遮光画像の形成方法 - Google Patents

水溶性感光性組成物およびこれを用いた遮光画像の形成方法

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JPH09111087A
JPH09111087A JP29360095A JP29360095A JPH09111087A JP H09111087 A JPH09111087 A JP H09111087A JP 29360095 A JP29360095 A JP 29360095A JP 29360095 A JP29360095 A JP 29360095A JP H09111087 A JPH09111087 A JP H09111087A
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JP
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water
photosensitive composition
light
soluble
collagen
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JP29360095A
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English (en)
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Shozo Miyazawa
祥三 宮澤
Atsushi Kawakami
敦史 川上
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Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd
Original Assignee
Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd
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Publication date
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  • Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
  • Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 遮光性に優れ、かつ機械的強度に優れ繰り返
し使用に耐え得るとともに、染色性、長期間の保存安定
性に優れた水溶性感光性組成物およびこれを用いた遮光
画像の形成方法を提供する。 【解決手段】 コラーゲンと、特定の化学構造からなる
高分子化合物を含有させて水溶性感光性組成物とする。
そして、この水溶性感光性組成物を基板上に塗布、選択
的に露光後、現像して基板上に光硬化画像部を形成し、
この光硬化画像部を特定の2種類の染料の少なくとも1
種により染色することにより遮光画像を形成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は水溶性感光性組成物
およびこれを用いた遮光画像の形成方法に係り、さらに
詳しくは、機械的強度に優れ繰り返し使用に耐え得ると
ともに、染色性、保存安定性に優れた水溶性感光性組成
物およびこれを用いた遮光画像の形成方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、遮光マスクパターンプレート等の
ワーキングプレートの製造においては、水溶性高分子物
質に感光剤を添加して感光特性をもたせたものを感光性
組成物として用い、これをガラス基板上に塗布し、活性
光線で選択的に照射、現像して光硬化パターンを形成
し、必要に応じて重クロム酸水溶液等で硬膜化処理した
後、この光硬化パターンを染色して遮光画像(遮光マス
クパターン)を形成している。
【0003】水溶性高分子物質としては、従来よりゼラ
チン、カゼイン等の天然高分子や、ポリビニルアルコー
ル(PVA)等の合成高分子が用いられている。しかし
ながら、PVAを用いて形成した光硬化パターンは、染
色性が悪く、またガラス基板への接着性が悪いという不
具合がある。さらに、ワーキングパターンをマスクとし
てコンタクト露光を行う場合、遮光画像部の形成された
面をホトレジスト層表面に直接接触することになるが、
PVAを用いて遮光画像を形成した場合、回数を重ねる
と該遮光画像部が欠落するなど機械的強度に劣り、繰り
返し使用に耐えられないという問題がある。一方、ゼラ
チンは水への溶解度が低く、またカゼインはアルカリで
溶解させた後に水に分散させる必要があり、いずれも取
り扱い性に劣るという問題がある。
【0004】これに対し、例えば特公平1−52738
号公報、同2−52256号公報等においては、水溶性
高分子物質としてコラーゲンを用い、該コラーゲンと感
光剤とからなる水溶性感光材料により、高解像度で強固
な被膜をもち、染色性の良好なホトレジスト層の形成を
図っている。感光剤としては、従来より重クロム酸アン
モニウム等が用いられており、これら公報において用い
られている感光剤も従来より慣用的に使用されているも
のである。
【0005】しかしながら、重クロム酸アンモニウムを
用いた感光性組成物は、クロムの暗反応が起こりやすい
ため保存安定性が悪く、さらに、有害な6価クロムの廃
液による環境汚染の問題がある。またクロム以外の感光
剤としてp−ジアゾジフェニルアミンホスフェート、1
−ジアゾ−4−ジメチルアミノベンゼン・ヒドロフルオ
ロボレート、1−ジアゾ−3−メチル−4−ジメチルア
ニリン・サルフェート、1−ジアゾ−3−モノエチルナ
フチルアミン等のジアゾニウム塩の使用も検討されてい
るが、これらのジアゾニウム塩は、光を照射すると窒素
ガスを放出し、光硬化パターンの表面に泡が発生するた
め好ましくなく、また保存安定性、染色性が悪いという
点で実用には至っていないのが現状である。
【0006】さらに、コラーゲンを含有する感光性組成
物は、比較的染色性が良好で、また遮光画像部の機械的
強度に優れるものとして挙げられているものの、遮光画
像として満足し得る程度にコラーゲンパターンを染色し
得る染料がいまだ見つかっておらず、十分な遮光性を有
するワーキングプレートを製造し得るまでには至ってい
ないというのが実情である。なお、染色性の良い染料と
してベンジジン系の染料が挙げられるが、発ガン性が高
く現在では製造されていない。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記事情に鑑
みてなされたもので、機械的強度に優れ繰り返し使用に
耐え得るとともに、染色性、長期間の保存安定性に優れ
た水溶性感光性組成物およびこれを用いた遮光画像の形
成方法を提供することを課題とするものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記課題
を解決するために鋭意研究を行った結果、コラーゲンと
特定の化学構造からなる高分子化合物とを含有させるこ
とにより、水による現像が可能で、環境汚染等の問題が
なく、染色性、機械的強度に優れ、高感度、高解像性で
長期間の保存安定性も良好で、かつ基板との密着性に優
れた水溶性感光性組成物が得られるという知見を得、こ
れに基づいて本発明を完成させるに至った。
【0009】また本発明者らは、上記水溶性感光性組成
物を基板上に塗布し、選択的に露光後、現像して基板上
に光硬化画像部を形成し、この光硬化画像部を特定の染
料により染色することによって、遮光性に優れた遮光画
像を形成することができるという知見を得、これに基づ
いて本発明方法を完成させるに至った。
【0010】すなわち本発明は、コラーゲンと下記一般
式(I)
【0011】
【化2】 (式中、XはNa、KまたはNH4 を表す)で表される
構成単位を有する高分子化合物とを含有してなる水溶性
感光性組成物を提供するものである。
【0012】また本発明は、上記水溶性感光性組成物を
基板上に塗布し、選択的に露光後、現像して基板上に光
硬化画像部を形成し、この光硬化画像部をC.I.Di
rect Black 19およびC.I.Direc
t Black 154の少なくとも1種により染色し
て遮光画像を形成する遮光画像の形成方法を提供するも
のである。
【0013】
【発明の実施の形態】以下に、本発明について詳述す
る。
【0014】まず、本発明に用いられるコラーゲンとし
ては、特に制限されるものでなく、ウシ、ブタ、ヒツジ
等の骨、軟骨、腱、皮膚等から得られるものを好適に使
用できるが、塗布性、取り扱い性の点で常温で水に溶解
することが好ましく、重量平均分子量が5000〜23
000程度のもの、特には10000〜22000程度
のものが好ましい。重量平均分子量が5000未満では
感度が低くなり、一方、23000を超えると常温でゲ
ル状になる傾向にあるため、塗布性等の取り扱い性が劣
り好ましくない。なお、本発明ではコラーゲンを用いる
ことにより、水溶性感光性組成物の基板への密着性も良
好となる。
【0015】このようなコラーゲンの製造方法は特に限
定されるものでなく、公知の方法により得ることができ
る。例えば、ブタの皮膚等から得られるコラーゲンの主
鎖ペプチド結合を公知の方法、例えば酸、アルカリある
いは酵素を作用させて加水分解温度、時間および圧力等
を制御することにより、所望の重量平均分子量のものを
得ることができる。
【0016】もう一つの構成成分である上記一般式
(I)で表される構成単位を有する高分子化合物(ホト
ポリマー)は、例えば、ジアセトンアクリルアミドと他
のモノマー、好ましくは水溶性モノマーを公知の方法で
共重合させて得られる水溶性ポリマー(ベースポリマ
ー)に、4−アジドベンズアルデヒド−2−スルホン酸
およびその塩類から選ばれる少なくとも1種をアルドー
ル縮合反応により導入することによって得ることができ
るが、合成方法はこれに限定されるものではない。
【0017】ここで、上記他のモノマーとしては、例え
ばアクリル酸、メタクリル酸、ジメチルアクリルアミ
ド、ジエチルアクリルアミド、アクリロイルモルホリ
ン、ジメチルアミノエチルアクリルアミド、N−ビニル
−2−ピロリドン等を挙げることができる。なお、共重
合した後、加水分解反応させることによってアルコール
性水酸基を生じる酢酸ビニルも、上記他のモノマーに包
含される。これら他のモノマーは単独で用いてもよく、
あるいは2種以上を組み合わせて用いてもよい。
【0018】上記ジアセトンアクリルアミドと他のモノ
マーとしての水溶性モノマーとの共重合反応割合は、ジ
アセトンアクリルアミド1モルに対し、水溶性モノマー
0.5〜10モルが好ましく、より好ましくは1.5〜
3.0モルである。水溶性モノマーの割合が10モルを
超えると感光性が低下するおそれがあり、一方、0.5
モル未満では溶解性が悪くなるおそれがあり、好ましく
ないからである。
【0019】このようにして得られる水溶性ポリマー
は、重量平均分子量が15×104 〜100×104
あるのが好ましく、より好ましくは20×104 〜30
×104 である。また、分散度は1〜10、好ましくは
1〜3、さらに好ましくは1〜2である。
【0020】次に、この水溶性ポリマーに、4−アジド
ベンズアルデヒド−2−スルホン酸およびその塩類から
選ばれる少なくとも1種をアルドール縮合反応により導
入するが、その導入量は感光特性の点から、ジアセトン
アクリルアミド100モル%に対し5〜95モル%、よ
り好ましくは30〜90モル%、特には80〜90モル
%が好ましい。
【0021】このようにして上記一般式(I)で表され
る構成単位を有する高分子化合物(ホトポリマー)を得
ることができる。
【0022】なお、水溶性モノマーとして酢酸ビニルを
用いた場合、ジアセトンアクリルアミドと酢酸ビニルと
を共重合し、アルカリにて酢酸基を加水分解することに
よって水酸基含有水溶性ポリマーを合成することができ
る。この水酸基含有水溶性ポリマーは、酸性水溶液中で
アルデヒド類をアセタール化反応により導入することに
よって、耐水性に極めて優れたパターン形成が可能な水
溶性ポリマーとなることから、好適に用いられる。
【0023】このようなアルデヒド類としては、例えば
ホルムアルデヒド、アセトアルデヒド、プロピオンアル
デヒド、n−ブチルアルデヒド、クロトンアルデヒド等
の脂肪族系アルデヒド類;ベンズアルデヒド、ジアルキ
ルベンズアルデヒド、アルキルベンズアルデヒド、シン
ナミックアルデヒド等の芳香族系アルデヒド類;ピリジ
ンアルデヒド等の複素環系アルデヒド類等が挙げられ
る。これらアルデヒド類には、4−アジドベンズアルデ
ヒド−2−スルホン酸およびその塩類や、ホルミルスチ
リルピリジンおよびその4級化塩等も含まれる。これら
アルデヒド類は、単独で用いてもよく、また2種以上を
組み合わせて用いてもよい。実用上好ましく用いられる
ものはプロピオンアルデヒド、n−ブチルアルデヒド、
クロトンアルデヒド等であり、中でもn−ブチルアルデ
ヒドが最も好適に用いられる。
【0024】このアルデヒド類によるアセタール化反応
は、水溶性ポリマーの全水酸基の15モル%以下をアセ
タール化することが好ましい。15モル%を超えると安
定性に優れた水溶性ポリマーを得るのが難しいからであ
る。
【0025】上記一般式(I)で表される構成単位を有
する高分子化合物(ホトポリマー)は、高感度であり、
10mJ/cm2 の光量で露光した場合、グレースケー
ル法(Kodak Photographic Ste
p Tablet No.2を使用)で13〜18ステ
ップを感光することができる。なお、ホトポリマー中の
水溶性モノマー単位の割合、アジド化合物の導入量を適
宜選択することにより18ステップを超える高感度化も
可能であるが、一般に、18ステップを超えると感度が
高すぎるため、感光性組成物の保存安定性が悪くなり、
取り扱いが難しいという問題が生じ好ましくない。
【0026】このホトポリマーは水溶性であり、その水
溶液、およびこれを含有してなる本発明の水溶性感光性
組成物は、弱酸性であることから保存安定性に優れる。
強酸性にした場合には常温でゲル化する傾向にあり、特
に高分子量のコラーゲンを用いた感光性組成物は常温で
のゲル化が進行しやすい。またこのホトポリマーは、保
存安定性がよいばかりでなく、本発明で使用する染料に
対し染色性が良好である。
【0027】本発明の水溶性感光性組成物において、コ
ラーゲンとホトポリマーの配合割合は、コラーゲンに対
して重量比としてホトポリマーを4〜15重量%、特に
は5〜10重量%程度となるよう配合するのが感度、保
存安定性等の総合性能の観点から好ましい。
【0028】また本発明の水溶性感光性組成物には、本
発明の課題が損なわれない範囲で、従来水溶性感光性組
成物に慣用されている添加成分、例えば公知の種々の界
面活性剤、潤滑剤、安定剤、溶解助剤、接着助剤などを
適宜、添加してもよい。
【0029】次に、本発明の水溶性感光性組成物を用い
て、本発明に係る遮光画像の形成方法について説明す
る。
【0030】本発明の遮光画像の形成方法によれば、上
記水溶性感光性組成物を基板上に塗布し、これを選択的
に露光した後、現像して基板上に光硬化画像部を形成
し、この光硬化画像部をC.I.Direct Bla
ck 19およびC.I.Direct Black
154の少なくとも1種により染色することによって、
遮光画像が形成される。
【0031】上記水溶性感光性組成物は、例えば固形分
10〜25重量%となるよう、水に希釈させたものを塗
布液として用い、これをガラス基板上に塗布する。
【0032】そして、この水溶性感光性組成物塗布後の
基板を選択的に露光する。露光は、紫外線、特に波長3
00〜400nm付近の光を出力するUVランプが好適
に用いられ、その光量は水溶性感光性組成物の組成に応
じて若干異なるが、100〜500mJ/cm2 程度が
好ましい。
【0033】次いで現像を行うが、本発明の水溶性感光
性組成物は水による現像が可能である。
【0034】現像後、光硬化画像部(光硬化パターン)
を染色するが、本発明では染色濃度と耐光性の点から、
C.I.Direct Black 19およびC.
I.Direct Black 154の少なくとも1
種により染色する。
【0035】ここで、上記染料C.I.Direct
Black 19は下記一般式(II)
【0036】
【化3】 (式中、Yはアルカリ金属である)で表される化合物で
ある。
【0037】また、上記染料C.I.Direct B
lack 154は、下記一般式(III)、(IV)
で表される化合物の混合物である。
【0038】
【化4】
【0039】
【化5】 (上記各式中、Yはアルカリ金属である) なおアルカリ金属としては、具体的にはNa、K、Li
等が挙げられる。
【0040】本発明では上記特定の染料を用いることに
より、従来に比して遮光性に優れた遮光画像の形成が可
能となる。
【0041】染色後は、染料の脱落を抑えるために水溶
性金属塩を用いて固定処理を行うことが好ましい。水溶
性金属塩としては、銅、鉄、アルミニウムなど、水溶液
中で2価または3価の陽イオンを遊離するものが好適に
用いられる。これにより、光硬化パターンの耐光性をさ
らに向上させることができる。具体的には、硫酸銅、硫
酸第一鉄、硫酸アルミニウム等が好適なものとして例示
される。
【0042】以下に本発明を実施例によりさらに詳細に
説明するが、本発明はこれによってなんら限定されるも
のではない。
【0043】
【実施例】合成例1 [水溶性ポリマー(ベースポリマー)の合成]メタクリ
ル酸86g、ジアセトンアクリルアミド114g、純水
3.8kgをフラスコに仕込み水溶液とし、さらに水酸
化ナトリウム12gを加えた後、窒素ガスでバブリング
しながら加熱した。
【0044】温度が65℃になったところで窒素ガスの
流加を止め、重合開始剤として2,2’−アゾビス[2
−(2’−イミダゾリン−2−イル)プロパン]二塩基
酸(「VA−004」;和光純薬(株)製)25gを添
加したところ、反応溶液は72℃まで昇温し、その後加
熱して80℃まで昇温させてから、この温度を維持しな
がら1.5時間反応を行った。その後室温(25℃)ま
で冷却し、固形分5.86重量%のベースポリマー(メ
タクリル酸:ジアセトンアクリルアミド=6:4(モル
比))溶液を得た。分析の結果、この水溶性ポリマー溶
液中のポリマーの平均分子量は25×104 (DMF
法、ポリスチレン基準)であった。
【0045】合成例2 [ホトポリマーの合成]上記合成例1で得られたベース
ポリマー溶液100gに4−アジドベンズアルデヒド−
2−スルホン酸ナトリウム7gを溶解添加し、次いで1
0%水酸化ナトリウム水溶液2mlを添加し、室温(2
5℃)にて6時間反応を行った。その後、希塩酸にて中
和し、さらに純水で希釈し、固形分10重量%のホトポ
リマー溶液を得た。
【0046】製造実施例1 [水溶性感光性組成物Aの調製]20%コラーゲン水溶
液(重量平均分子量5000)100重量部と、上記合
成例2で得られた10%ホトポリマー溶液10重量部を
混合し、水溶性感光性組成物Aを調製した。
【0047】製造実施例2〜7 [水溶性感光性組成物B〜Gの調製]製造実施例2〜7
として、それぞれ用いたコラーゲンの重量平均分子量を
変化させた以外は製造実施例1と同様にして、水溶性感
光性組成物B(コラーゲンの重量平均分子量1000
0)、水溶性感光性組成物C(コラーゲンの重量平均分
子量15000)、水溶性感光性組成物D(コラーゲン
の重量平均分子量20000)、水溶性感光性組成物E
(コラーゲンの重量平均分子量23000)、水溶性感
光性組成物F(コラーゲンの重量平均分子量2500
0)、水溶性感光性組成物G(コラーゲンの重量平均分
子量4500)をそれぞれ調製した。
【0048】製造実施例8 [水溶性感光性組成物Hの調製]用いたホトポリマー溶
液を、重量平均分子量23×104 のアクリロイルモル
ホリン:ジアセトンアクリルアミド=7:3、4−アジ
ドベンズアルデヒド−2−スルホン酸ナトリウムの導入
量がジアセトンアクリルアミド100モル%に対し90
モル%の共重合体からなるものに代えた以外は、製造実
施例3と同様にして水溶性感光性組成物Hを調製した。
【0049】製造実施例9〜11 [染色液P〜Rの調製]C. I. Direct Black 19 2
5gを純水1kgに加え、染色液Pを調製した。
【0050】C. I. Direct Black 154 を用いた以外
は上記と同様にして、染色液Qを調製した。
【0051】C. I. Direct Black 19 12g、C.
I. Direct Black 154 12gを純水1kgに加え、
染色液Rを調製した。
【0052】実施例1 水溶性感光性組成物Aをバーコーターにてガラス基板上
に塗布し、温度50℃にて送風乾燥して厚さ3μmの乾
燥被膜を得た。
【0053】これにマスクを介して300mJ/cm2
の紫外線照射を行い、次いで水道水のシャワーがけ現像
を行って未露光部分を除去し、次いで75℃の染色液P
に3分間浸漬して染色し、水洗後常温の染料固定処理剤
(1%硫酸銅水溶液)に1分間浸漬し、水洗の後65℃
の雰囲気下で乾燥を行った。
【0054】実施例2〜13 水溶性感光性組成物、染色液および染料固定処理剤をそ
れぞれ下記表1〜2に示したものに代えた以外は、実施
例1と同様にして処理した。
【0055】比較例1 ホトポリマーをp−ジアゾジフェニルアミンのパラホル
ムアルデヒド縮合物のリン酸塩に代えて水溶性感光性組
成物Jとした以外は、実施例3と同様にして処理した。
【0056】比較例2 染色液を C. I. Direct Black 17 25gを純水1k
gに加えた染色液(染色液X)に代えた以外は、実施例
9と同様にして処理した。
【0057】比較例3 染色液を C. I. Direct Black 22 25gを純水1k
gに加えた染色液(染色液Y)に代えた以外は、実施例
9と同様にして処理した。
【0058】比較例4 染色液を C. I. Direct Black 51 25gを純水1k
gに加えた染色液(染色液Z)に代えた以外は、実施例
9と同様にして処理した。
【0059】比較例5 コラーゲンに代えてPVA(けん化度88%、重合度2
400)を用いて水溶性感光性組成物Kとした以外は、
実施例1と同様にして処理した。
【0060】比較例6 コラーゲンの重量平均分子量を2000に代えて水溶性
感光性組成物Iとした以外は、実施例1と同様にして処
理した。
【0061】上記水溶性感光性組成物、並びに各実施例
および比較例により処理したものを用いて、透過濃度、
染色固定化度、保存安定性、泡の発生度、機械的強度を
以下の試験方法により評価した。結果を下記表1〜3に
示す。
【0062】[透過濃度]上記各実施例および比較例に
より得られた遮光画像部の透過濃度(D)を測定した。
その結果、透過濃度(D)3.5以上のものを○、3以
上3.5未満のものを△、3未満のものを×とした。
【0063】[染色固定化度]上記各実施例および比較
例において、遮光画像部表面に染料のしみ出しが発生し
なかったものを○、部分的に発生したものを△、全面に
亘って発生したものを×とした。
【0064】[保存安定性]上記各実施例および比較例
で用いた水溶性感光性組成物を室温、暗所で窒素ガス雰
囲気下で6カ月間密閉保存した後、ゲル化しなかったも
のを○、一部ゲル化が発生したものを△、全面的にゲル
化したものを×とした。
【0065】[泡の発生度]上記各実施例および比較例
において、露光後および現像後、光硬化パターンの上に
泡の発生が確認されなかったものを○、泡の発生が確認
されたものを×とした。
【0066】[機械的強度]上記各実施例および比較例
により得られた遮光画像部をJIS K 5401の鉛
筆ひっかき試験機(4Hの鉛筆使用)により試験した。
遮光画像部に傷が確認されなかったものを○、かすかに
傷が確認されたものを△、傷が確認されたものを×とし
た。
【0067】
【表1】
【0068】
【表2】
【0069】
【表3】 表1〜3から明らかなように、水溶性感光性組成物、染
料ともに本発明範囲内のものでは、いずれの項目におい
ても優れた評価結果が得られた。また、水溶性感光性組
成物が本発明範囲内であって、染料が本発明範囲を外れ
るものを用いた場合は、保存安定性や機械的強度に優
れ、泡の発生等もみられなかったが、透過濃度に劣り、
十分な遮光性が得られなかった(特に比較例2〜4)。
また、比較例6では、コラーゲンの重量平均分子量が好
適範囲より低過ぎたため、十分に光硬化せず、現像途中
でパターン流れを起こした。
【0070】
【発明の効果】以上詳述したように本発明によれば、露
光時に泡の発生等がなく、長期間に亘る保存安定性、遮
光性に優れ、しかも機械的強度に優れた水溶性感光性組
成物およびこれを用いた遮光画像の形成方法が提供され
る。したがって、本発明の適用により、十分な遮光性を
有するワーキングプレート(遮光マスクパターンプレー
ト)の製造が可能となる。

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 コラーゲンと下記一般式(I) 【化1】 (式中、XはNa、KまたはNH4 を表す)で表される
    構成単位を有する高分子化合物とを含有してなる、水溶
    性感光性組成物。
  2. 【請求項2】 コラーゲンの重量平均分子量が5000
    〜23000である、請求項1記載の水溶性感光性組成
    物。
  3. 【請求項3】 請求項1または2記載の水溶性感光性組
    成物を基板上に塗布し、選択的に露光後、現像して基板
    上に光硬化画像部を形成し、この光硬化画像部をC.
    I.Direct Black 19およびC.I.D
    irect Black 154の少なくとも1種によ
    り染色して遮光画像を形成する、遮光画像の形成方法。
  4. 【請求項4】 染色後にさらに水溶性金属塩を含む水溶
    液に接触させて染料の固定処理を行う、請求項3記載の
    遮光画像の形成方法。
  5. 【請求項5】 水溶性金属塩が、水溶液中で2価または
    3価の陽イオンを遊離する金属塩である、請求項4記載
    の遮光画像の形成方法。
  6. 【請求項6】 水溶性金属塩が硫酸銅、硫酸第一鉄およ
    び硫酸アルミニウムの中から選ばれる少なくとも1種で
    ある、請求項5記載の遮光画像の形成方法。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101482652B1 (ko) * 2007-06-07 2015-01-16 주식회사 동진쎄미켐 유기반도체 보호막 조성물

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