WO2013069729A1 - 半導体素子及びその製造方法 - Google Patents

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公平 佐々木
東脇　正高
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株式会社タムラ製作所
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    • H01L29/45—Ohmic electrodes

Definitions

  • the present invention relates to a semiconductor element and a manufacturing method thereof.
  • a technique for forming an electrode on the surface of a conventional Ga 2 O 3 (gallium oxide) single crystal As a technique for forming an electrode on the surface of a conventional Ga 2 O 3 (gallium oxide) single crystal, a technique using a Ti electrode (see, for example, Patent Document 1), a plasma treatment is performed on a Ga 2 O 3 single crystal and then Ti is applied.
  • a technique for connecting electrodes for example, see Patent Document 2
  • a technique for performing heat treatment on a Ga 2 O 3 single crystal at 600 to 1000 ° C. after connecting an In electrode for example, see Patent Document 3 are known.
  • Patent Document 1 and Patent Document 2 do not satisfy the contact resistance required for putting the Ga 2 O 3 device into practical use. Further, although the technique described in Patent Document 3 can obtain good ohmic contact by heat treatment, the required heat treatment temperature is much higher than the melting point of In (156.4 ° C.), and the entire sample is subjected to the heat treatment. Is exposed to In vapor, there is a concern about deterioration of device characteristics due to In contamination.
  • an object of the present invention includes a method for manufacturing a semiconductor element capable of connecting an electrode to a Ga 2 O 3 single crystal with a low resistance, and a Ga 2 O 3 single crystal and an electrode connected with a low resistance. It is to provide a semiconductor device.
  • one embodiment of the present invention provides the following [1] to [4] semiconductor device manufacturing method and [5] to [9] semiconductor device.
  • a method for manufacturing a semiconductor device comprising:
  • a semiconductor element comprising: an altered region formed by dry etching on a side surface; and a metal electrode formed on the altered region and in ohmic contact with the altered region.
  • [8] The semiconductor element according to any one of [5] or [6], wherein the metal electrode is a source electrode, a drain electrode, and a gate electrode between the source electrode and the drain electrode.
  • the altered region is formed in a part of the substrate or the first crystal layer, and a height of a surface of the altered region is formed in the altered region of the substrate or the first crystal layer.
  • the first crystal layer includes a gate electrode on a region where the altered region is not formed, the first crystal layer includes a conductive impurity, and the metal electrode is a source electrode on both sides of the gate electrode.
  • Ga 2 O 3 system single method for producing crystals in the electrode semiconductor device which can be connected with low resistance, and a semiconductor device including a Ga 2 O 3 system single crystal and electrode connected with a low resistance can be provided.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view of the SBD according to the first embodiment.
  • FIG. 2A is a cross-sectional view illustrating a manufacturing process of the SBD according to the first embodiment.
  • FIG. 2B is a cross-sectional view illustrating a manufacturing process of the SBD according to the first embodiment.
  • FIG. 2C is a cross-sectional view illustrating a manufacturing process of the SBD according to the first embodiment.
  • FIG. 2D is a cross-sectional view illustrating a manufacturing process of the SBD according to the first embodiment.
  • FIG. 3 is a cross-sectional view of the SBD according to the second embodiment.
  • FIG. 4A is a cross-sectional view illustrating a manufacturing process of the SBD according to the second embodiment.
  • FIG. 4B is a cross-sectional view illustrating a manufacturing process of the SBD according to the second embodiment.
  • FIG. 4C is a cross-sectional view illustrating a manufacturing process of the SBD according to the second embodiment.
  • FIG. 4D is a cross-sectional view illustrating a manufacturing process of the SBD according to the second embodiment.
  • FIG. 5 is a cross-sectional view of a MESFET according to the third embodiment.
  • FIG. 6A is a cross-sectional view illustrating a manufacturing process of the MESFET according to the third embodiment.
  • FIG. 6B is a cross-sectional view illustrating a manufacturing process of the MESFET according to the third embodiment.
  • FIG. 6C is a cross-sectional view illustrating a manufacturing step of the MESFET according to the third embodiment.
  • FIG. 6D is a cross-sectional view illustrating a manufacturing process of the MESFET according to the third embodiment.
  • FIG. 7A shows current-voltage characteristics of the Ga 2 O 3 substrate according to the example.
  • FIG. 7B shows current-voltage characteristics of the Ga 2 O 3 substrate according to the example.
  • FIG. 8 shows current-voltage characteristics in the forward direction of the SBD according to the example.
  • FIG. 9 shows current-voltage characteristics of four Ga 2 O 3 substrates in which altered regions are formed using four kinds of reaction gases.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view of the SBD according to the first embodiment.
  • SBD10 includes a Ga 2 O 3 based substrate 11, and the upper surface affected region 12 formed on (the surface of the upper side in FIG. 1) of the Ga 2 O 3 based substrate 11, the lower surface of the Ga 2 O 3 based substrate 11 (FIG. 1 Ga 2 O 3 single crystal layer 13 formed on the lower surface), cathode electrode 14 formed on the altered region 12 of the Ga 2 O 3 substrate 11, and Ga 2 O 3 single crystal layer. 13, and an anode electrode 15 formed on the surface opposite to the Ga 2 O 3 based substrate 11.
  • the Ga 2 O 3 based substrate 11 is made of a Ga 2 O 3 based single crystal.
  • the Ga 2 O 3 single crystal refers to a Ga 2 O 3 single crystal or a Ga 2 O 3 single crystal containing impurities such as Al.
  • the Ga 2 O 3 based substrate 11 is made of Si, Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Mo, W, Ru, Rh, Ir, C, Sn, Ge, Pb, Mn, As, Sb, Bi. , F, Cl, Br, or I.
  • the donor concentration of the Ga 2 O 3 based substrate 11 is, for example, 1 ⁇ 10 19 / cm 3 .
  • the altered region 12 is a region on the surface of the Ga 2 O 3 based substrate 11 that has been altered by dry etching.
  • the alteration occurring in the altered region 12 includes, for example, oxygen deficiency, Ga deficiency, movement of Ga atoms to the oxygen site, movement of oxygen atoms to the Ga site, substitution of oxygen atoms or Ga atoms with etching gas ions, etching It is the penetration of gas ions into the crystal lattice or the change (disturbance) of the crystal structure, and a plurality of alterations of these may occur in combination.
  • the altered region 12 it is considered that a donor concentration is increased or an interface state is generated, and the altered region 12 is in ohmic contact with the cathode electrode 14.
  • the oxygen defect formed by the deficiency functions as a donor.
  • Affected region 12 may be formed on the entire upper surface of the Ga 2 O 3 based substrate 11 may be formed on a part of the upper surface of the Ga 2 O 3 based substrate 11.
  • the Ga 2 O 3 single crystal layer 13 is a crystal layer made of a Ga 2 O 3 single crystal.
  • the Ga 2 O 3 single crystal layer 13 is made of Si, Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Mo, W, Ru, Rh, Ir, C, Sn, Ge, Pb, Mn, As, Sb, Bi. , F, Cl, Br, or I.
  • the donor concentration of the Ga 2 O 3 single crystal layer 13 is, for example, 4 ⁇ 10 16 / cm 3 .
  • the cathode electrode 14 is a metal electrode made of a metal such as Ti, and is in ohmic contact with the altered region 12.
  • the cathode electrode 14 may have a multilayer structure in which different metal films are stacked, for example, a two-layer structure of Ti and Au or Al.
  • the cathode electrode 14 may be formed on the entire upper surface of the Ga 2 O 3 based substrate 11 may be formed on a part of the upper surface of the Ga 2 O 3 based substrate 11.
  • the anode electrode 15 is a metal electrode made of a metal such as Pt or Ni, and is in Schottky junction with the Ga 2 O 3 single crystal layer 13.
  • the anode electrode 15 may have a multilayer structure in which different metal films are stacked, for example, a two-layer structure of Pt and Au or Al.
  • the Ga 2 O 3 single crystal layer 13 may not be included in the SBD 10. In that case, the anode electrode 15 is in Schottky junction with the Ga 2 O 3 substrate 11.
  • FIGS 2A to 2D are cross-sectional views showing the manufacturing process of the SBD according to the first embodiment.
  • a Ga 2 O 3 based substrate 11 is prepared.
  • a Ga 2 O 3 single crystal layer 13 is formed by epitaxially growing a Ga 2 O 3 single crystal containing an n-type dopant on the lower surface of the Ga 2 O 3 substrate 11.
  • the altered region 12 is formed by RIE
  • BCl 3 gas having a flow rate of 35 sccm and Ar gas having a flow rate of 5 sccm are used as the reaction gas.
  • the pressure, output, and processing time are, for example, 5.0 Pa, 100 to 150 W, and 1 to 3 min, respectively.
  • a cathode electrode 14 and an anode electrode 15 are connected to the altered region 12 and the Ga 2 O 3 based single crystal layer 13, respectively.
  • the cathode electrode 14 it is preferable to form the cathode electrode 14 immediately after the altered region 12 is formed.
  • the anode electrode 15 may be formed before the altered region 12 is formed.
  • the second embodiment in that the affected region is formed on the Ga 2 O 3 system single crystal layer on the Ga 2 O 3 based substrate, different from the first embodiment. Note that the description of the same points as in the first embodiment will be omitted or simplified.
  • FIG. 3 is a cross-sectional view of the SBD according to the second embodiment.
  • SBD20 is, Ga and 2 O 3 based substrate 11, and Ga 2 O 3 system single crystal layer 26 formed on the upper surface (upper surface in FIG. 3) of the Ga 2 O 3 based substrate 11, Ga 2 O 3 system single
  • the altered region 22 is a region having a high donor concentration in which Ga 2 O 3 single crystal layer 26 is deficient in oxygen, and is formed by subjecting the surface of Ga 2 O 3 single crystal layer 26 to dry etching such as RIE.
  • the Ga 2 O 3 single crystal layer 26 is a crystal layer made of a Ga 2 O 3 single crystal.
  • the Ga 2 O 3 single crystal layer 26 is made of Si, Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Mo, W, Ru, Rh, Ir, C, Sn, Ge, Pb, Mn, As, Sb, Bi. , F, Cl, Br, or I.
  • the donor concentration of the Ga 2 O 3 single crystal layer 26 is, for example, 1 ⁇ 10 18 / cm 3 .
  • the thickness of the Ga 2 O 3 single crystal layer 26 is, for example, 30 nm.
  • the cathode electrode 14 is in ohmic contact with the altered region 22.
  • the anode electrode 15 is in Schottky junction with the Ga 2 O 3 single crystal layer 13.
  • the Ga 2 O 3 single crystal layer 13 may not be included in the SBD 20. In that case, the anode electrode 15 is in Schottky junction with the Ga 2 O 3 substrate 11.
  • 4A to 4D are cross-sectional views showing the manufacturing process of the SBD according to the second embodiment.
  • a Ga 2 O 3 -based single crystal layer 26 is formed by epitaxially growing a Ga 2 O 3 -based single crystal containing an n-type dopant on the upper surface of the Ga 2 O 3 -based substrate 11.
  • a Ga 2 O 3 single crystal layer 13 is formed by epitaxially growing a Ga 2 O 3 single crystal containing an n-type dopant on the lower surface of the Ga 2 O 3 substrate 11.
  • the altered region 22 can be formed under the same processing conditions as the altered region 12 of the first embodiment.
  • the cathode electrode 14 and the anode electrode 15 are connected to the altered region 22 and the Ga 2 O 3 based single crystal layer 13, respectively.
  • FIG. 5 is a cross-sectional view of a MESFET according to the third embodiment.
  • MESFET40 includes a Ga 2 O 3 based substrate 31, and Ga 2 O 3 system Ga 2 O 3 system single crystal layer 46 formed on the upper surface (upper surface in FIG. 5) of the substrate 31, Ga 2 O 3 system single Alterations of the altered regions 42a and 42b formed on the upper surface of the crystal layer 46, the source electrode 33a and the drain electrode 33b formed on the upper surfaces of the altered regions 42a and 42b, and the altered upper surface of the Ga 2 O 3 single crystal layer 46 And the gate electrode 34 between the source electrode 33a and the drain electrode 33b on the region where the regions 42a and 42b are not formed.
  • the Ga 2 O 3 based substrate 31 is made of a Ga 2 O 3 based single crystal.
  • the Ga 2 O 3 based substrate 31 is an undoped high resistance substrate, or Mg, H, Li, Na, K, Rb, Cs, Fr, Be, Ca, Sr, Ba, Ra, Mn, Fe, Co, Ni, This is a high-resistance substrate having a high resistance by adding a p-type dopant such as Pd, Cu, Ag, Au, Zn, Cd, Hg, Tl, Pb, N, or P.
  • a p-type dopant such as Pd, Cu, Ag, Au, Zn, Cd, Hg, Tl, Pb, N, or P.
  • the altered regions 42a and 42b are regions having a high donor concentration in which Ga 2 O 3 substrate 31 is deficient in oxygen, and are formed by subjecting the surface of Ga 2 O 3 substrate 31 to dry etching such as RIE.
  • the dry etching conditions for forming the altered regions 42a and 42b are the same as those in the altered region 12 of the first embodiment.
  • the Ga 2 O 3 single crystal layer 46 is a crystal layer made of a Ga 2 O 3 single crystal.
  • the Ga 2 O 3 single crystal layer 46 is made of Si, Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Mo, W, Ru, Rh, Ir, C, Sn, Ge, Pb, Mn, As, Sb, Bi. , F, Cl, Br, or I.
  • the Ga 2 O 3 single crystal layer 46 functions as a channel layer of the MESFET 40.
  • the donor concentration of the Ga 2 O 3 single crystal layer 46 is, for example, 2 ⁇ 10 17 to 3 ⁇ 10 17 / cm 3 .
  • the thickness of the Ga 2 O 3 single crystal layer 13 is, for example, 300 nm.
  • the source electrode 33a and the drain electrode 33b are in ohmic contact with the altered regions 42a and 42b, respectively, and the altered regions 42a and 42b function as contact regions for the source electrode 33a and the drain electrode 33b, respectively.
  • 6A to 6D are cross-sectional views showing the manufacturing process of the MESFET according to the third embodiment.
  • Ga 2 on the upper surface of the O 3 based substrate 31 is epitaxially grown Ga 2 O 3 single crystal containing an n-type dopant to form a Ga 2 O 3 system single crystal layer 46.
  • a mask 45 having a pattern of altered regions 42a and 42b is formed on the Ga 2 O 3 single crystal layer 46 by photolithography or the like.
  • dry etching such as RIE is performed on the upper surface of the Ga 2 O 3 single crystal layer 46 covered with the mask 45 to form altered regions 42a and 42b.
  • the source electrode 33a and the drain electrode 33b are connected to the altered regions 42a and 42b, respectively, and between the source electrode 33a and the drain electrode 33b on the Ga 2 O 3 based single crystal layer 46.
  • the gate electrode 34 is connected to this region.
  • a portion of the metal film on the mask 45 is removed together with the mask 45 (lift-off). It is formed by doing.
  • the metal electrode is made to have a low resistance by forming an altered region by dry etching on the surface of the Ga 2 O 3 based single crystal layer on the Ga 2 O 3 based substrate or the Ga 2 O 3 based substrate. Can be ohmic-bonded. As a result, a semiconductor element having excellent operation performance can be formed.
  • Ga 2 O 3 case of forming a modified region on the surface of the substrate, and the case of not forming the current of the Ga 2 O 3 substrate of the surface - voltage characteristics were measured.
  • the measurement was performed by connecting two Ti electrodes having a diameter of 0.2 mm to the main surface of the (010) Ga 2 O 3 substrate.
  • FIG. 7A shows the current-voltage characteristics of a Ga 2 O 3 substrate with a donor concentration of 1 ⁇ 10 19 cm ⁇ 3 .
  • FIG. 7B shows current-voltage characteristics of a Ga 2 O 3 substrate with a donor concentration of 4 ⁇ 10 17 cm ⁇ 3 .
  • the solid line in FIG. 7B measure of Ga 2 O 3 substrate affected region is formed by dry etching, and the dotted line shows the measurements of Ga 2 O 3 substrate affected region is not formed.
  • the surface and the electrode of the Ga 2 O 3 substrate is Schottky junction
  • Ga 2 O 3 substrate in the affected region is formed when the affected region in the Ga 2 O 3 substrate is not formed
  • the surface (modified region) of the Ga 2 O 3 substrate and the electrode are in ohmic contact.
  • the forward characteristics of the SBD 10 according to the first embodiment were examined.
  • the current-voltage characteristics of the surface of the Ga 2 O 3 substrate 11 with and without the altered region 12 formed on the upper surface of the Ga 2 O 3 substrate 11 of the SBD 10 were measured.
  • the Ga 2 O 3 -based substrate 11 used for the measurement contains Si as an n-type dopant and has a donor concentration of 1 ⁇ 10 19 cm ⁇ 3 .
  • the Ga 2 O 3 single crystal layer 13 includes Sn as an n-type dopant and has a donor concentration of 4 ⁇ 10 16 cm ⁇ 3 .
  • BCl 3 gas having a flow rate of 35 sccm and Ar gas having a flow rate of 5 sccm were used as RIE reaction gases.
  • the pressure, output, and processing time were 5.0 Pa, 150 W, and 3 min, respectively.
  • FIG. 8 shows forward current-voltage characteristics of the SBD 10.
  • the solid line in FIG. 8 is the measured value of Ga 2 O 3 system board affected region is formed, and the dotted line shows the measurements of Ga 2 O 3 system board affected region is not formed.
  • the altered region 12 is not formed on the upper surface of the Ga 2 O 3 based substrate 11 of the SBD 10, the upper surface of the Ga 2 O 3 based substrate 11 and the cathode electrode 14 are joined together in a Schottky-like manner having a large contact resistance.
  • the forward characteristics of the SBD 10 are deteriorated. Therefore, as shown by the dotted line in FIG. 8, when the altered region 12 is not formed, the forward rising voltage V T is as large as 2.1V.
  • the junction between the upper surface (the altered region 12) of the Ga 2 O 3 substrate 11 and the cathode electrode 14 has a small contact resistance. Ohmic junction. Therefore, as shown by the solid line in FIG. 8, when the altered region 12 is formed, the forward rising voltage V T is about 1.2 V, which is smaller than when the altered region 12 is not formed. From these results, it was confirmed that the characteristics of the SBD 10 are greatly improved by forming the altered region 12.
  • a circular electrode having a diameter of 0.1 mm and a gap having a length of 0.01 mm are formed around a main surface of a Ga 2 O 3 substrate having a plane orientation of (010) and a donor concentration of 4 ⁇ 10 17 cm ⁇ 3.
  • the measurement was performed by connecting the large-area electrode and the two Ti electrodes prepared as described above.
  • FIG. 9 shows the current-voltage of four Ga 2 O 3 substrates in which altered regions are formed using four kinds of reactive gases of Ar gas, CF 4 gas, BCl 3 gas, and mixed gas of BCl 3 and Ar, respectively. Show properties.
  • FIG. 9 shows that when the altered region is formed using Ar gas or CF 4 gas, the surface (modified region) of the Ga 2 O 3 substrate and the electrode are in Schottky junction, and the altered region is BCl 3 gas or BCl 3.
  • the surface (modified region) of the Ga 2 O 3 substrate and the electrode are in ohmic contact.
  • a gas containing BCl 3 can be used as a reactive gas for forming the altered region capable of ohmic bonding the metal electrode.
  • a method of manufacturing a semiconductor element capable of connecting an electrode to a Ga 2 O 3 single crystal with low resistance, and a semiconductor element including a Ga 2 O 3 single crystal connected with a low resistance and an electrode are provided.

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Abstract

　Ｇａ2Ｏ3系単結晶に電極を低抵抗で接続することができる半導体素子の製造方法、及び低抵抗で接続されたＧａ2Ｏ3系単結晶と電極を含む半導体素子を提供する。　一実施の形態として、Ｇａ2Ｏ3系基板１１の表面にドライエッチングを施し、変質領域１２を形成する工程と、変質領域１２上に、変質領域１２とオーミック接合するカソード電極１４を形成する工程と、を含む半導体素子の製造方法を提供する。

Description

半導体素子及びその製造方法
　本発明は、半導体素子及びその製造方法に関する。
　従来のＧａ2Ｏ3（酸化ガリウム）単結晶の表面へ電極を形成する技術として、Ｔｉ電極を用いる技術（例えば、特許文献１参照）、Ｇａ2Ｏ3単結晶にプラズマ処理を施した後にＴｉ電極を接続する技術（例えば、特許文献２参照）、Ｉｎ電極を接続した後に６００～１０００℃でＧａ2Ｏ3単結晶に熱処理を施す技術（例えば、特許文献３参照）が知られている。
特開２００９－８１４６８号公報 特開２００９－１３００１３号公報 特開２００９－３０２２５７号公報
　しかしながら、特許文献１や特許文献２に記載された技術は、Ｇａ2Ｏ3装置を実用化するために要求される接触抵抗を満足するには至っていない。また、特許文献３に記載された技術は、熱処理によって良好なオーミック接触が得られるものの、必要とされる熱処理温度がＩｎの融点（１５６．４℃）よりも遥かに高く、熱処理中に試料全体がＩｎ蒸気に晒されることとなるため、Ｉｎ汚染によるデバイス特性劣化が懸念される。
　したがって、本発明の目的は、Ｇａ2Ｏ3系単結晶に電極を低抵抗で接続することができる半導体素子の製造方法、及び低抵抗で接続されたＧａ2Ｏ3系単結晶と電極を含む半導体素子を提供することにある。
　本発明の一態様は、上記目的を達成するために、下記［１］～［４］の半導体素子の製造方法、［５］～［９］の半導体素子を提供する。
［１］Ｇａ2Ｏ3系単結晶の表面にドライエッチングを施し、変質領域を形成する工程と、
　前記変質領域上に、前記変質領域とオーミック接合する金属電極を形成する工程と、
　を含む半導体素子の製造方法。
［２］前記ドライエッチングは反応性イオンエッチングである、前記［１］に記載の半導体素子の製造方法。
［３］前記ドライエッチングはＢＣｌ3を含むガスを用いて実施される、前記［２］に記載の半導体素子の製造方法。
［４］前記基板の前記表面の一部に前記ドライエッチングを施し、前記変質領域を形成する、前記［１］～［３］のいずれか１項に記載の半導体素子の製造方法。
［５］Ｇａ2Ｏ3系単結晶からなる基板と、前記基板の第１の面、又は前記第１の面上のＧａ2Ｏ3系単結晶からなる第１の結晶層の前記基板と反対側の面にドライエッチングにより形成された変質領域と、前記変質領域上に形成され、前記変質領域とオーミック接合する金属電極と、を含む半導体素子。
［６］前記変質領域は、酸素が欠損した領域である、［５］に記載の半導体素子。
［７］前記基板の前記第１の面と反対側の第２の面、又は前記第２の面上のＧａ2Ｏ3系単結晶からなる第２の結晶層の前記基板と反対側の面上に形成されたアノード電極と、を有し、前記金属電極がカソード電極である、前記［５］又は［６］のいずれか一方に記載の半導体素子。
［８］前記金属電極は、ソース電極、ドレイン電極、及び前記ソース電極と前記ドレイン電極の間のゲート電極である、前記［５］又は［６］のいずれか一方に記載の半導体素子。
［９］前記変質領域は、前記基板又は前記第１の結晶層の一部に形成され、前記変質領域の表面の高さは、前記基板又は前記第１の結晶層の前記変質領域の形成されていない領域の表面の高さよりも低い、前記［５］又は［６］のいずれか一方に記載の半導体素子。
［１０］前記第１の結晶層の前記変質領域が形成されない領域上のゲート電極を含み、前記第１の結晶層は導電型不純物を含み、前記金属電極は、前記ゲート電極の両側のソース電極及びドレイン電極である、前記［９］に記載の半導体素子。
　本発明によれば、Ｇａ2Ｏ3系単結晶に電極を低抵抗で接続することができる半導体素子の製造方法、及び低抵抗で接続されたＧａ2Ｏ3系単結晶と電極を含む半導体素子を提供することができる。
図１は、第１の実施の形態に係るＳＢＤの断面図である。 図２Ａは、第１の実施の形態に係るＳＢＤの製造工程を表す断面図である。 図２Ｂは、第１の実施の形態に係るＳＢＤの製造工程を表す断面図である。 図２Ｃは、第１の実施の形態に係るＳＢＤの製造工程を表す断面図である。 図２Ｄは、第１の実施の形態に係るＳＢＤの製造工程を表す断面図である。 図３は、第２の実施の形態に係るＳＢＤの断面図である。 図４Ａは、第２の実施の形態に係るＳＢＤの製造工程を表す断面図である。 図４Ｂは、第２の実施の形態に係るＳＢＤの製造工程を表す断面図である。 図４Ｃは、第２の実施の形態に係るＳＢＤの製造工程を表す断面図である。 図４Ｄは、第２の実施の形態に係るＳＢＤの製造工程を表す断面図である。 図５は、第３の実施の形態に係るＭＥＳＦＥＴの断面図である。 図６Ａは、第３の実施の形態に係るＭＥＳＦＥＴの製造工程を表す断面図である。 図６Ｂは、第３の実施の形態に係るＭＥＳＦＥＴの製造工程を表す断面図である。 図６Ｃは、第３の実施の形態に係るＭＥＳＦＥＴの製造工程を表す断面図である。 図６Ｄは、第３の実施の形態に係るＭＥＳＦＥＴの製造工程を表す断面図である。 図７Ａは、実施例に係るＧａ2Ｏ3基板の電流－電圧特性を示す。 図７Ｂは、実施例に係るＧａ2Ｏ3基板の電流－電圧特性を示す。 図８は、実施例に係るＳＢＤの順方向の電流－電圧特性を示す。 図９は、４種の反応ガスを用いて変質領域がそれぞれ形成された４つのＧａ2Ｏ3基板の電流－電圧特性を示す。
〔第１の実施の形態〕
　第１の実施の形態では、半導体素子としてのショットキーバリアダイオード（ＳＢＤ）について説明する。
（ＳＢＤの構成）
　図１は、第１の実施の形態に係るＳＢＤの断面図である。ＳＢＤ１０は、Ｇａ2Ｏ3系基板１１と、Ｇａ2Ｏ3系基板１１の上面（図１の上側の面）に形成された変質領域１２と、Ｇａ2Ｏ3系基板１１の下面（図１の下側の面）に形成されたＧａ2Ｏ3系単結晶層１３と、Ｇａ2Ｏ3系基板１１の変質領域１２上に形成されたカソード電極１４と、Ｇａ2Ｏ3系単結晶層１３のＧａ2Ｏ3系基板１１と反対側の面上に形成されたアノード電極１５と、を含む。
　Ｇａ2Ｏ3系基板１１は、Ｇａ2Ｏ3系単結晶からなる。ここで、Ｇａ2Ｏ3系単結晶とは、Ｇａ2Ｏ3単結晶、又はＡｌ等の不純物を含むＧａ2Ｏ3単結晶をいう。また、Ｇａ2Ｏ3系基板１１は、Ｓｉ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｍｏ、Ｗ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｉｒ、Ｃ、Ｓｎ、Ｇｅ、Ｐｂ、Ｍｎ、Ａｓ、Ｓｂ、Ｂｉ、Ｆ、Ｃｌ、Ｂｒ、又はＩ等のｎ型ドーパントを含む。Ｇａ2Ｏ3系基板１１のドナー濃度は、例えば、１×１０19／ｃｍ3である。
　変質領域１２は、ドライエッチングにより変質したＧａ2Ｏ3系基板１１の表面の領域である。この変質領域１２に生じている変質は、例えば、酸素欠損、Ｇａ欠損、酸素サイトへのＧａ原子の移動、Ｇａサイトへの酸素原子の移動、酸素原子又はＧａ原子のエッチングガスイオンによる置換、エッチングガスイオンの結晶格子間への侵入、又は結晶構造の変化（乱れ）であり、これらのうちの複数の変質が複合的に生じていてもよい。
　変質領域１２においては、ドナー濃度の上昇、又は界面準位の発生が生じているものと考えられ、変質領域１２は、カソード電極１４とオーミック接合する。例えば、ドライエッチングによりＧａ2Ｏ3系単結晶層２６の表面の酸素が欠損して変質領域１２が形成された場合、欠損により形成される酸素欠陥がドナーとして機能する。変質領域１２は、Ｇａ2Ｏ3系基板１１の上面の全面に形成されてもよく、Ｇａ2Ｏ3系基板１１の上面の一部に形成されてもよい。
　Ｇａ2Ｏ3系単結晶層１３は、Ｇａ2Ｏ3系単結晶からなる結晶層である。Ｇａ2Ｏ3系単結晶層１３は、Ｓｉ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｍｏ、Ｗ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｉｒ、Ｃ、Ｓｎ、Ｇｅ、Ｐｂ、Ｍｎ、Ａｓ、Ｓｂ、Ｂｉ、Ｆ、Ｃｌ、Ｂｒ、又はＩ等のｎ型ドーパントを含む。Ｇａ2Ｏ3系単結晶層１３のドナー濃度は、例えば、４×１０16／ｃｍ3である。
　カソード電極１４は、Ｔｉ等の金属からなる金属電極であり、変質領域１２とオーミック接合する。また、カソード電極１４は、異なる金属膜を積層した多層構造、例えば、ＴｉとＡｕ又はＡｌの２層構造、を有してもよい。カソード電極１４は、Ｇａ2Ｏ3系基板１１の上面の全面に形成されてもよく、Ｇａ2Ｏ3系基板１１の上面の一部に形成されてもよい。
　アノード電極１５は、Ｐｔ、Ｎｉ等の金属からなる金属電極であり、Ｇａ2Ｏ3系単結晶層１３とショットキー接合する。また、アノード電極１５は、異なる金属膜を積層した多層構造、例えば、ＰｔとＡｕ又はＡｌの２層構造、を有してもよい。
　なお、Ｇａ2Ｏ3系単結晶層１３は、ＳＢＤ１０に含まれなくてもよい。その場合、アノード電極１５は、Ｇａ2Ｏ3系基板１１とショットキー接合する。
（ＳＢＤの製造方法）
　以下に、本実施の形態のＳＢＤ１０の製造方法の一例を示す。
　図２Ａ～図２Ｄは、第１の実施の形態に係るＳＢＤの製造工程を表す断面図である。
　まず、図２Ａに示されるように、Ｇａ2Ｏ3系基板１１を用意する。
　次に、図２Ｂに示されるように、Ｇａ2Ｏ3系基板１１の下面にｎ型ドーパントを含むＧａ2Ｏ3系単結晶をエピタキシャル成長させ、Ｇａ2Ｏ3系単結晶層１３を形成する。
　次に、図２Ｃに示されるように、Ｇａ2Ｏ3系基板１１の上面にＲＩＥ等のドライエッチングを施し、変質領域１２を形成する。
　ＲＩＥにより変質領域１２を形成する場合、反応ガスとして、例えば、流量３５ｓｃｃｍのＢＣｌ3ガスと流量５ｓｃｃｍのＡｒガスを用いる。また、圧力、出力、処理時間は、例えば、それぞれ５．０Ｐａ、１００～１５０Ｗ、１～３ｍｉｎである。
　なお、これらの処理条件はエッチングレートやエッチング量に影響を与えるが、変質領域１２とカソード電極１４と間のオーミック特性にはほとんど影響を与えない。
　変質領域１２をＧａ2Ｏ3系基板１１の上面の一部に形成する場合は、Ｇａ2Ｏ3系基板１１の上面を所定のパターンを有するマスクで覆った状態でエッチングを行う。この場合、Ｇａ2Ｏ3系基板１１のエッチングされた領域である変質領域１２の表面の高さは、Ｇａ2Ｏ3系基板１１のエッチングされていない領域の表面の高さよりも低くなる。
　次に、図２Ｄに示されるように、変質領域１２及びＧａ2Ｏ3系単結晶層１３に、カソード電極１４及びアノード電極１５をそれぞれ接続する。なお、良好なオーミック接合を得るためには変質領域１２を形成した直後にカソード電極１４を形成することが好ましい。なお、変質領域１２を形成する前にアノード電極１５を形成してもよい。
〔第２の実施の形態〕
　第２の実施の形態は、変質領域がＧａ2Ｏ3系基板上のＧａ2Ｏ3系単結晶層に形成される点において、第１の実施の形態と異なる。なお、第１の実施の形態と同様の点については、説明を省略又は簡略化する。
（ＳＢＤの構成）
　図３は、第２の実施の形態に係るＳＢＤの断面図である。ＳＢＤ２０は、Ｇａ2Ｏ3系基板１１と、Ｇａ2Ｏ3系基板１１の上面（図３の上側の面）に形成されたＧａ2Ｏ3系単結晶層２６と、Ｇａ2Ｏ3系単結晶層２６の上面（図３の上側の面）に形成された変質領域２２と、Ｇａ2Ｏ3系基板１１の下面（図１の下側の面）に形成されたＧａ2Ｏ3系単結晶層１３と、Ｇａ2Ｏ3系単結晶層２６の変質領域２２上に形成されたカソード電極１４と、Ｇａ2Ｏ3系単結晶層１３のＧａ2Ｏ3系基板１１と反対側の面上に形成されたアノード電極１５と、を含む。
　変質領域２２は、Ｇａ2Ｏ3系単結晶層２６の酸素が欠損したドナー濃度の高い領域であり、Ｇａ2Ｏ3系単結晶層２６の表面にＲＩＥ等のドライエッチングを施すことにより形成される。
　Ｇａ2Ｏ3系単結晶層２６は、Ｇａ2Ｏ3系単結晶からなる結晶層である。Ｇａ2Ｏ3系単結晶層２６は、Ｓｉ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｍｏ、Ｗ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｉｒ、Ｃ、Ｓｎ、Ｇｅ、Ｐｂ、Ｍｎ、Ａｓ、Ｓｂ、Ｂｉ、Ｆ、Ｃｌ、Ｂｒ、又はＩ等のｎ型ドーパントを含む。Ｇａ2Ｏ3系単結晶層２６のドナー濃度は、例えば、１×１０18／ｃｍ3である。また、Ｇａ2Ｏ3系単結晶層２６の厚さは、例えば、３０ｎｍである。
　カソード電極１４は、変質領域２２とオーミック接合する。アノード電極１５は、Ｇａ2Ｏ3系単結晶層１３とショットキー接合する。なお、Ｇａ2Ｏ3系単結晶層１３は、ＳＢＤ２０に含まれなくてもよい。その場合、アノード電極１５は、Ｇａ2Ｏ3系基板１１とショットキー接合する。
（ＳＢＤの製造方法）
　以下に、本実施の形態のＳＢＤ２０の製造方法の一例を示す。
　図４Ａ～図４Ｄは、第２の実施の形態に係るＳＢＤの製造工程を表す断面図である。
　まず、図４Ａに示されるように、Ｇａ2Ｏ3系基板１１の上面にｎ型ドーパントを含むＧａ2Ｏ3系単結晶をエピタキシャル成長させ、Ｇａ2Ｏ3系単結晶層２６を形成する。
　次に、図４Ｂに示されるように、Ｇａ2Ｏ3系基板１１の下面にｎ型ドーパントを含むＧａ2Ｏ3系単結晶をエピタキシャル成長させ、Ｇａ2Ｏ3系単結晶層１３を形成する。
　次に、図４Ｃに示されるように、Ｇａ2Ｏ3系単結晶層２６の上面にＲＩＥ等のドライエッチングを施し、変質領域２２を形成する。変質領域２２は、第１の実施の形態の変質領域１２と同様の処理条件により形成することができる。
　次に、図４Ｄに示されるように、変質領域２２及びＧａ2Ｏ3系単結晶層１３に、カソード電極１４及びアノード電極１５をそれぞれ接続する。なお、良好なオーミック接合を得るためには変質領域２２を形成した直後にカソード電極１４を形成することが好ましいため、アノード電極１５よりも前にカソード電極１４を形成することが好ましい。
〔第３の実施の形態〕
　第３の実施の形態は、半導体素子としてのＭＥＳＦＥＴ（Metal Semiconductor Field Effect Transistor）について説明する。なお、第１の実施の形態と同様の点については、説明を省略又は簡略化する。
 
（ＭＥＳＦＥＴの構成）
　図５は、第３の実施の形態に係るＭＥＳＦＥＴの断面図である。ＭＥＳＦＥＴ４０は、Ｇａ2Ｏ3系基板３１と、Ｇａ2Ｏ3系基板３１の上面（図５の上側の面）に形成されたＧａ2Ｏ3系単結晶層４６と、Ｇａ2Ｏ3系単結晶層４６の上面に形成された変質領域４２ａ、４２ｂと、変質領域４２ａ、４２ｂの上面にそれぞれ形成されたソース電極３３ａ及びドレイン電極３３ｂと、Ｇａ2Ｏ3系単結晶層４６の上面の変質領域４２ａ、４２ｂが形成されない領域上のソース電極３３ａとドレイン電極３３ｂの間のゲート電極３４と、を含む。
　Ｇａ2Ｏ3系基板３１は、Ｇａ2Ｏ3系単結晶からなる。Ｇａ2Ｏ3系基板３１は、アンドープの高抵抗基板、又はＭｇ、Ｈ、Ｌｉ、Ｎａ、Ｋ、Ｒｂ、Ｃｓ、Ｆｒ、Ｂｅ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｒａ、Ｍｎ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｐｄ、Ｃｕ、Ａｇ、Ａｕ、Ｚｎ、Ｃｄ、Ｈｇ、Ｔｌ、Ｐｂ、Ｎ、又はＰ等のｐ型ドーパントを添加することにより高抵抗化した高抵抗基板である。
　変質領域４２ａ、４２ｂは、Ｇａ2Ｏ3系基板３１の酸素が欠損したドナー濃度の高い領域であり、Ｇａ2Ｏ3系基板３１の表面にＲＩＥ等のドライエッチングを施すことにより形成される。変質領域４２ａ、４２ｂを形成するためのドライエッチングの条件は、第１の実施の形態の変質領域１２と同様である。
　Ｇａ2Ｏ3系単結晶層４６は、Ｇａ2Ｏ3系単結晶からなる結晶層である。Ｇａ2Ｏ3系単結晶層４６は、Ｓｉ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｍｏ、Ｗ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｉｒ、Ｃ、Ｓｎ、Ｇｅ、Ｐｂ、Ｍｎ、Ａｓ、Ｓｂ、Ｂｉ、Ｆ、Ｃｌ、Ｂｒ、又はＩ等のｎ型ドーパントを含む。Ｇａ2Ｏ3系単結晶層４６は、ＭＥＳＦＥＴ４０のチャネル層として機能する。Ｇａ2Ｏ3系単結晶層４６のドナー濃度は、例えば、２×１０17～３×１０17／ｃｍ3である。また、Ｇａ2Ｏ3系単結晶層１３の厚さは、例えば、３００ｎｍである。
　ソース電極３３ａ及びドレイン電極３３ｂは、変質領域４２ａ、４２ｂとそれぞれオーミック接合し、変質領域４２ａ、４２ｂは、ソース電極３３ａ及びドレイン電極３３ｂのコンタクト領域としてそれぞれ機能する。
（ＭＥＳＦＥＴの製造方法）
　以下に、本実施の形態のＭＥＳＦＥＴ４０の製造方法の一例を示す。
　図６Ａ～図６Ｄは、第３の実施の形態に係るＭＥＳＦＥＴの製造工程を表す断面図である。
　まず、図６Ａに示されるように、Ｇａ2Ｏ3系基板３１の上面にｎ型ドーパントを含むＧａ2Ｏ3系単結晶をエピタキシャル成長させ、Ｇａ2Ｏ3系単結晶層４６を形成する。
　次に、図６Ｂに示されるように、フォトリソグラフィ等により、Ｇａ2Ｏ3系単結晶層４６上に変質領域４２ａ、４２ｂのパターンを有するマスク４５を形成する。
　次に、図６Ｃに示されるように、マスク４５に覆われたＧａ2Ｏ3系単結晶層４６の上面にＲＩＥ等のドライエッチングを施し、変質領域４２ａ、４２ｂを形成する。
　次に、図６Ｄに示されるように、変質領域４２ａ、４２ｂにソース電極３３ａ及びドレイン電極３３ｂをそれぞれ接続し、Ｇａ2Ｏ3系単結晶層４６上のソース電極３３ａとドレイン電極３３ｂとの間の領域にゲート電極３４を接続する。ここで、ソース電極３３ａ及びドレイン電極３３ｂは、変質領域４２ａ、４２ｂ上、及びマスク４５上を覆うように金属膜を形成した後、金属膜のマスク４５上の部分をマスク４５と共に除去（リフトオフ）することにより形成される。
（実施の形態の効果）
　本実施の形態によれば、Ｇａ2Ｏ3系基板やＧａ2Ｏ3系基板上のＧａ2Ｏ3系単結晶層の表面にドライエッチングにより変質領域を形成することにより、金属電極を低抵抗でオーミック接合させることができる。それによって、動作性能に優れた半導体素子を形成することができる。
　なお、本発明は、上記実施の形態に限定されず、発明の主旨を逸脱しない範囲内において種々変形実施が可能である。また、発明の主旨を逸脱しない範囲内において上記実施の形態の構成要素を任意に組み合わせることができる。
　Ｇａ2Ｏ3基板の表面に変質領域を形成した場合、及び形成しない場合の、Ｇａ2Ｏ3基板の表面の電流－電圧特性を測定した。面方位が（０１０）のＧａ2Ｏ3基板の主面に直径０．２ｍｍの２つのＴｉ電極を接続して測定を行った。
　図７Ａは、ドナー濃度が１×１０19ｃｍ-3のＧａ2Ｏ3基板の電流－電圧特性を示す。図７Ｂは、ドナー濃度が４×１０17ｃｍ-3のＧａ2Ｏ3基板の電流－電圧特性を示す。ここで、図７Ａ、図７Ｂの実線はドライエッチングにより変質領域が形成されたＧａ2Ｏ3基板の測定値、点線は変質領域が形成されていないＧａ2Ｏ3基板の測定値を示す。
　図７Ａ、図７Ｂは、Ｇａ2Ｏ3基板に変質領域が形成されない場合にはＧａ2Ｏ3基板の表面と電極はショットキー接合しており、Ｇａ2Ｏ3基板に変質領域が形成される場合にはＧａ2Ｏ3基板の表面（変質領域）と電極はオーミック接合していることを示している。
　次に、第１の実施の形態に係るＳＢＤ１０の順方向特性を調べた。ＳＢＤ１０のＧａ2Ｏ3系基板１１の上面に変質領域１２を形成した場合、及び形成しない場合の、Ｇａ2Ｏ3系基板１１の表面の電流－電圧特性を測定した。
　ここで、測定に用いたＧａ2Ｏ3系基板１１は、ｎ型ドーパントとしてＳｉを含み、ドナー濃度が１×１０19ｃｍ-3である。また、Ｇａ2Ｏ3系単結晶層１３は、ｎ型ドーパントとしてＳｎを含み、ドナー濃度が４×１０16ｃｍ-3である。
　変質領域１２を形成するために、ＲＩＥの反応ガスとして、流量３５ｓｃｃｍのＢＣｌ3ガスと流量５ｓｃｃｍのＡｒガスを用いた。また、圧力、出力、処理時間は、それぞれ５．０Ｐａ、１５０Ｗ、３ｍｉｎとした。
　図８は、ＳＢＤ１０の順方向の電流－電圧特性を示す。ここで、図８の実線は変質領域が形成されたＧａ2Ｏ3系基板の測定値、点線は変質領域が形成されていないＧａ2Ｏ3系基板の測定値を示す。
　ＳＢＤ１０のＧａ2Ｏ3系基板１１の上面に変質領域１２が形成されない場合は、Ｇａ2Ｏ3系基板１１の上面とカソード電極１４の接合は、接触抵抗の大きいショットキーライクな接合となるため、ＳＢＤ１０の順方向特性を悪化させる。そのため、図８の点線で示されるように、変質領域１２が形成されない場合は、順方向の立ち上がり電圧ＶTが２．１Ｖと大きい。
　一方、ＳＢＤ１０のＧａ2Ｏ3系基板１１の上面に変質領域１２が形成される場合は、Ｇａ2Ｏ3系基板１１の上面（変質領域１２）とカソード電極１４の接合は、接触抵抗の小さいオーミック接合となる。そのため、図８の実線で示されるように、変質領域１２が形成される場合は、順方向の立ち上がり電圧ＶTが１．２Ｖ程度であり、変質領域１２が形成されない場合よりも小さい。これらの結果から、変質領域１２を形成することにより、ＳＢＤ１０の特性が大きく向上することが確認された。
　次に、反応性イオンエッチングにより変質領域を形成する場合の、反応性イオンエッチングに用いる反応ガスとＧａ２Ｏ３基板の電流－電圧特性を調べた。面方位が（０１０）、ドナー濃度が４×１０１７ｃｍ－３のＧａ２Ｏ３基板の主面に、直径０．１ｍｍの円形電極と、長さ０．０１ｍｍのすきまを空けてそれを取り囲むように作製した大面積電極、２つのＴｉ電極を接続して測定を行った。
　図９は、Ａｒガス、ＣＦ4ガス、ＢＣｌ3ガス、ＢＣｌ3とＡｒとの混合ガスの４種の反応ガスを用いて変質領域がそれぞれ形成された４つのＧａ2Ｏ3基板の電流－電圧特性を示す。
　図９は、変質領域がＡｒガス又はＣＦ4ガスを用いて形成される場合にはＧａ2Ｏ3基板の表面（変質領域）と電極はショットキー接合し、変質領域がＢＣｌ3ガス又はＢＣｌ3とＡｒとの混合ガスを用いて形成される場合にはＧａ2Ｏ3基板の表面（変質領域）と電極はオーミック接合することを示している。
　この結果から、反応性イオンエッチングにより変質領域を形成する場合は、金属電極をオーミック接合させることができる変質領域を形成するための反応ガスとして、ＢＣｌ3を含むガスを使用できることがわかる。
　以上、本発明の実施の形態及び実施例を説明したが、上記に記載した実施の形態及び実施例は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。また、実施の形態及び実施例の中で説明した特徴の組合せの全てが発明の課題を解決するための手段に必須であるとは限らない点に留意すべきである。
　Ｇａ2Ｏ3系単結晶に電極を低抵抗で接続することができる半導体素子の製造方法、及び低抵抗で接続されたＧａ2Ｏ3系単結晶と電極を含む半導体素子を提供する。
１０、２０…ＳＢＤ、４０…ＭＥＳＦＥＴ、１１、３１…Ｇａ2Ｏ3系基板、１２、２２、４２ａ、４２ｂ…変質領域、１４…カソード電極、２６、４６…Ｇａ2Ｏ3系単結晶層、３３ａ…ソース電極、３３ｂ…ドレイン電極、３４…ゲート電極

Claims (10)

  1. 　Ｇａ2Ｏ3系単結晶の表面にドライエッチングを施し、変質領域を形成する工程と、
    　前記変質領域上に、前記変質領域とオーミック接合する金属電極を形成する工程と、
    　を含む半導体素子の製造方法。
  2. 　前記ドライエッチングは反応性イオンエッチングである、
    　請求項１に記載の半導体素子の製造方法。
  3. 　前記ドライエッチングはＢＣｌ3を含むガスを用いて実施される、
    　請求項２に記載の半導体素子の製造方法。
  4. 　前記基板の前記表面の一部に前記ドライエッチングを施し、前記変質領域を形成する、
    　請求項１～３のいずれか１項に記載の半導体素子の製造方法。
  5. 　Ｇａ2Ｏ3系単結晶からなる基板と、
    　前記基板の第１の面、又は前記第１の面上のＧａ2Ｏ3系単結晶からなる第１の結晶層の前記基板と反対側の面にドライエッチングにより形成された変質領域と、
    　前記変質領域上に形成され、前記変質領域とオーミック接合する金属電極と、
    　を含む半導体素子。
  6. 　前記変質領域は、酸素が欠損した領域である、
    　請求項５に記載の半導体素子。
  7. 　前記基板の前記第１の面と反対側の第２の面、又は前記第２の面上のＧａ2Ｏ3系単結晶からなる第２の結晶層の前記基板と反対側の面上に形成されたアノード電極と、
    　を有し、
    　前記金属電極がカソード電極である、
    　請求項５又は６のいずれか一方に記載の半導体素子。
  8. 　前記金属電極は、ソース電極、ドレイン電極、及び前記ソース電極と前記ドレイン電極の間のゲート電極である、
    　請求項５又は６のいずれか一方に記載の半導体素子。
  9. 　前記変質領域は、前記基板又は前記第１の結晶層の一部に形成され、
    　前記変質領域の表面の高さは、前記基板又は前記第１の結晶層の前記変質領域の形成されていない領域の表面の高さよりも低い、
    　請求項５又は６のいずれか一方に記載の半導体素子。
  10. 　前記第１の結晶層の前記変質領域が形成されない領域上のゲート電極を含み、
    　前記第１の結晶層は導電型不純物を含み、
    　前記金属電極は、前記ゲート電極の両側のソース電極及びドレイン電極である、
    　請求項９に記載の半導体素子。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015228495A (ja) * 2014-05-08 2015-12-17 株式会社Flosfia 結晶性積層構造体、半導体装置
DE112017003754T5 (de) 2016-07-26 2019-04-18 Mitsubishi Electric Corporation Halbleitervorrichtung und verfahren zum herstellen einer halbleitervorrichtung
JP2020155530A (ja) * 2019-03-19 2020-09-24 トヨタ自動車株式会社 半導体装置の製造方法
US10861945B2 (en) 2014-08-29 2020-12-08 Tamura Corporation Semiconductor element and crystalline laminate structure

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01307215A (ja) * 1988-06-03 1989-12-12 Sanyo Electric Co Ltd 半導体の製造方法
JP2001110746A (ja) * 1999-10-12 2001-04-20 Matsushita Electric Ind Co Ltd 炭化珪素への電極形成法および半導体素子
JP2009081468A (ja) * 2009-01-19 2009-04-16 Univ Waseda Ｇａ２Ｏ３系半導体素子及びＧａ２Ｏ３系半導体素子の製造方法
JP2009130013A (ja) * 2007-11-21 2009-06-11 Nippon Light Metal Co Ltd 酸化ガリウム基板用電極の製造方法及びそれにより製造される酸化ガリウム基板用電極
JP2009260059A (ja) * 2008-04-17 2009-11-05 Nippon Light Metal Co Ltd 紫外線センサの製造方法
JP2009302257A (ja) * 2008-06-12 2009-12-24 Nippon Light Metal Co Ltd 酸化ガリウム単結晶基板用オーミック電極及びその製造方法
JP2010233406A (ja) * 2009-03-27 2010-10-14 Koha Co Ltd スイッチング制御装置及びショットキーダイオード

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01307215A (ja) * 1988-06-03 1989-12-12 Sanyo Electric Co Ltd 半導体の製造方法
JP2001110746A (ja) * 1999-10-12 2001-04-20 Matsushita Electric Ind Co Ltd 炭化珪素への電極形成法および半導体素子
JP2009130013A (ja) * 2007-11-21 2009-06-11 Nippon Light Metal Co Ltd 酸化ガリウム基板用電極の製造方法及びそれにより製造される酸化ガリウム基板用電極
JP2009260059A (ja) * 2008-04-17 2009-11-05 Nippon Light Metal Co Ltd 紫外線センサの製造方法
JP2009302257A (ja) * 2008-06-12 2009-12-24 Nippon Light Metal Co Ltd 酸化ガリウム単結晶基板用オーミック電極及びその製造方法
JP2009081468A (ja) * 2009-01-19 2009-04-16 Univ Waseda Ｇａ２Ｏ３系半導体素子及びＧａ２Ｏ３系半導体素子の製造方法
JP2010233406A (ja) * 2009-03-27 2010-10-14 Koha Co Ltd スイッチング制御装置及びショットキーダイオード

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015228495A (ja) * 2014-05-08 2015-12-17 株式会社Flosfia 結晶性積層構造体、半導体装置
JP2019142764A (ja) * 2014-05-08 2019-08-29 株式会社Flosfia 結晶性積層構造体、半導体装置
US10861945B2 (en) 2014-08-29 2020-12-08 Tamura Corporation Semiconductor element and crystalline laminate structure
DE112015003943B4 (de) * 2014-08-29 2021-02-04 National Institute Of Information And Communications Technology Halbleiterelement und kristalline Laminatstruktur
DE112017003754T5 (de) 2016-07-26 2019-04-18 Mitsubishi Electric Corporation Halbleitervorrichtung und verfahren zum herstellen einer halbleitervorrichtung
US10483110B2 (en) 2016-07-26 2019-11-19 Mitsubishi Electric Corporation Semiconductor device and method of manufacturing semiconductor device
DE112017003754B4 (de) 2016-07-26 2022-10-13 Mitsubishi Electric Corporation Halbleitervorrichtung und verfahren zum herstellen einer halbleitervorrichtung
JP2020155530A (ja) * 2019-03-19 2020-09-24 トヨタ自動車株式会社 半導体装置の製造方法

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