WO2012139571A1 - Vorrichtung und verfahren zur dickenmessung eines messobjekts - Google Patents

Vorrichtung und verfahren zur dickenmessung eines messobjekts Download PDF

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sensor
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sensors
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Achim Sonntag
Gerhard Kirschner
Herbert FUELLMEIER
Franz HOCHWIMMER
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Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co. Kg
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    • G01B2210/44—Caliper-like sensors with detectors on both sides of the object to be measured

Definitions

  • the invention relates to a device for measuring the thickness of a preferably web-shaped or piece-shaped test object in a measuring gap with a mounted on a machine frame measuring mechanism, wherein the measuring mechanism for thickness measurement includes one or more directed to the measuring object Wegmesssensoren.
  • the invention relates to a method for measuring the thickness of a preferably web-shaped or piece-shaped measuring object in a measuring gap, wherein a measuring mechanism is attached to a machine frame, and wherein one or more displacement sensors are directed to the measurement object by the measuring mechanism for thickness measurement.
  • a continuous thickness measurement for example, of strip material by means of a C- or O-frame-shaped measuring mechanism using non-contact measuring methods.
  • optical sensors triangulation, confocal measurement technology
  • eddy-current sensors capacitive sensors
  • ultrasonic sensors ultrasonic sensors
  • radiometric sensors radiometric sensors (beta emitters) etc.
  • the thickness measurement with two distance measuring sensors takes place from both sides against the material surface of a test object.
  • the difference between the two measured value signals results in a known distance of the two displacement sensors to each other, the thickness of the measured material.
  • traversing measuring methods are used, with both displacement measuring sensors being moved in pairs transversely to the transport direction of the strip material.
  • the thickness d of a measuring object is determined by means of two displacement measuring sensors 1 and 2 as thickness sensors characterized in that the distance between the two displacement measuring sensors 1 and 2 to each other - measuring gap d A - with a calibration part 3 with predefined thickness d K (calibration part thickness) measured is detected and then subtracted in routine operation, the sum of the two measured values d m and d M2 of the measuring gap d A :
  • the position measuring sensors are integrated in C or O frame measuring mechanisms and are used in industrial environments. If no further precautions are taken in the construction of a device for measuring thickness, thermal changes in the environment affect the mechanical structure, in particular the measurement gap d A , and thus the measurement result d. In simple small measuring mechanisms, the measuring mechanism can be made of temperature-stable material. When measuring the thickness of piece goods, the calibration part can be measured after each routine measurement in order to eliminate the effect of the changing measuring gap. When measuring wide band-shaped materials, in particular coils, inner liners, etc., however, the predefined distance between the two measuring sensors is critical.
  • the distance between the two position measuring sensors would change with a temperature change of 10 ° C and a distance of 1 m between the distance measuring sensor mounted on an upper belt and the a distance measuring sensor mounted on a lower belt change by 160 ⁇ . Consequently, in thickness measurements, which often require micron-level accuracies, accurate measurement due to vibration and / or temperature effects is not possible. An even greater change in the spacing occurs in the aluminum profiles frequently used in practice, since aluminum has an expansion coefficient of 23 ppm / K.
  • the two laser punk projectors are attached to a temperature-stable and vibration-resistant holder made of invar, so that the relative position of the laser sources to each other remains as constant as possible.
  • the known device is problematic insofar as the optical sensors are not suitable for a rough production environment which is usual in industrial use, since the optical sensors are exposed to vibrations, shock, contamination, etc. there. In addition, an exact alignment of the laser is difficult.
  • Another disadvantage of the known device is that by the installation of the laser on one side even with the slightest movements a stronger beam offset occurs, the farther the sensor is removed from the beam source.
  • the present invention is therefore an object of the invention to provide a device and a method for measuring the thickness of a measurement object of the type mentioned in such a way and further, which is a robust and industrially suitable measuring mechanism ensures high accuracy in industrial use with structurally simple and inexpensive means.
  • the generic device for thickness measurement is characterized in that at least one compensation sensor coupled to a distance measuring sensor for detecting and compensating for a change in the measuring gap measures the distance to a reference ruler, that the reference ruler is embodied as a side of a frame-shaped reference device integrated in the measuring mechanism , And that the reference direction is designed such that during the thickness measurement, the distance between the reference ruler and the reference ruler opposite side of the reference device is known. Furthermore, the above object is achieved in terms of the method by the features of claim 15.
  • the generic method is characterized in that the distance to a reference ruler is measured by at least one compensation sensor coupled to a distance measuring sensor, that a change in the measuring gap is detected and compensated by the measured distance between the compensation sensor and the reference ruler that the reference ruler one side forms a frame-shaped reference device, which is integrated into the measuring mechanism, and that during the thickness measurement, the distance between the reference ruler and the reference ruler opposite side of the reference device is kept constant or measured.
  • a compensation sensor is coupled to a distance measuring sensor.
  • the compensation sensor measures, preferably continuously or at short intervals, the distance to a reference ruler so as to detect and compensate for a change in position of the distance measuring sensor and thus a change in the measuring gap.
  • the reference ruler forms a measuring surface for the compensation sensor.
  • the reference ruler is designed as a side of a frame-shaped reference device integrated into the measuring mechanism.
  • the reference device is designed such that during the thickness measurement of a measurement object, the distance between the reference ruler and the reference ruler opposite side of the reference device is known or detected.
  • a change in position of a distance measuring sensor can be compensated if the distance between the reference ruler and the side of the reference device opposite the reference ruler is kept constant or measured.
  • the device according to the invention and the method according to the invention can be used in the thickness measurement of sheet material and / or in the thickness measurement of piece goods.
  • the frame-shaped reference device has the shape of a frame in the broadest sense.
  • the reference device is not fixed to a configuration as a completely closed frame, which must have a sidebar throughout.
  • the reference ruler can be made of metal, but also other materials with high rigidity and low deformation, e.g. CFRP carbon, fiberglass or ceramic materials or the like are conceivable.
  • the reference device can be made substantially rectangular.
  • the compensation sensor can be designed as a capacitive sensor.
  • the compensation sensor has an extremely high resolution and thus allows a very good compensation of the smallest changes in position of the displacement sensor or measuring gap changes.
  • the compensation sensor can be designed as an eddy current sensor.
  • Eddy current sensors are insensitive to oil, water and dust in the measurement gap and can therefore be used easily and effectively, especially in difficult environmental conditions.
  • the use of other types of displacement measuring sensors as a compensation sensor is conceivable.
  • the use of optical or magnetic sensors is particularly advantageous that the relative change in distance between the Traverse that carries the Wegmesssensor, and the reference rule is usually low. Consequently, the compensation sensor requires only a small measuring range.
  • the compensation sensor only has to have such a large measuring range that the maximum deviation of the traverse can be detected during the measuring process. The deviation may occur due to deflection, vibration or thermal expansion.
  • the measuring mechanism may be configured such that displacement measuring sensors are directed on both sides of the measuring object by the measuring mechanism, wherein a compensation sensor is coupled to a distance measuring sensor on both sides of the measuring object.
  • the two opposite sides of the reference device can be formed on both sides of the measurement object as a reference ruler for the respective compensation sensor.
  • the reference device may comprise spacers made of a temperature-stable material, wherein the spacers rigidly connect the reference rulers.
  • spacers made of a temperature-stable material, wherein the spacers rigidly connect the reference rulers.
  • special ceramic or steel having a low coefficient of expansion such as e.g. Invar, Kovar, Zerodur (registered trademarks) etc. are used.
  • the spacers ensure that the distance between the reference rulers does not change. Consequently, an entire embodiment of the frame-shaped reference device made of temperature-stable material is not required.
  • the reference device can be fixedly mounted on the machine frame via a first spacer and floatingly via a second spacer.
  • the fixed bearing could be realized with a bolt in the spacer, wherein the bolt in a U- shaped storage is on the machine frame.
  • the floating bearing could be realized via a roller bearing.
  • the reference device can also be fastened to the machine frame via one of the two reference rulers, wherein the reference ruler is fixedly mounted on its one side and floating on its other side.
  • the compensation sensor may be arranged on the distance measuring sensor in such a way that the measuring points of the compensation sensor and of the distance measuring sensor lie in a measuring axis. If, for example, the compensation sensors are arranged fixedly to one another on a traverse with the distance measuring sensors, and the distance measuring sensors measure against the reference rulers, then the compensation sensors in the measuring axis can be aligned with the distance measuring sensors.
  • the reference device can be fastened to the machine frame via both reference rulers, the reference rulers being fixedly mounted on one side and floating on the other side.
  • distance sensors preferably measure the distance of the two reference rulers from one another continuously or at short intervals. Thus, a change in distance between the two reference rulers is detected and can be used to compensate for the measurement result during the measurement process.
  • distance sensors touch probes can be used.
  • the probes can be connected via temperature-stable spacers with the first, preferably upper, reference ruler and measure the change in distance by probing against the second, preferably lower, reference ruler.
  • non-contact distance sensors are also conceivable which are attached to a temperature-stable spacer with low expansion coefficients can be appropriate and measure the change in distance of the reference rulers to each other.
  • the spacers are used so that a distance sensor with a small measuring range and thus high absolute resolution can be used. The spacer thus makes it possible to reduce the effective measuring distance between the upper and lower reference ruler, since it itself does not cause a change in measured value.
  • a compensation sensor can be arranged on both sides of the distance measuring sensor, so that a tilting in the traverse direction emerges again from the two measured values of the compensation sensors.
  • the measuring mechanism can direct a displacement sensor on one side of the measurement object, wherein the measurement object rests on a support, in particular a roller.
  • the support can be designed as a part of the reference ruler opposite side of the reference device.
  • Distance sensors in particular laser triangulation sensors, cable tension sensors, measuring probes, etc., can preferably be connected to the reference ruler, preferably via temperature-stable spacers. The distance sensors measure the distance between the reference ruler and the support.
  • the distance sensors can measure against a reference surface, wherein the reference surface can be arranged such that the distance between the reference surface and the reference ruler is identical to the distance between the reference ruler and the surface of the support.
  • the reference surface can each be arranged laterally next to the support.
  • a wear of probes as distance sensors can be avoided in a roller as a support.
  • the reference ruler can be attached to the machine frame, wherein the reference ruler is fixedly mounted on one side and floating on its other side.
  • the displacement measuring sensors can be moved by the measuring mechanism by means of a traversing unit, in particular a linear axis, transversely to the measuring object for the traversing measurement.
  • the Wegmesssensoren can on a top flange and possibly on a lower flange be stored.
  • the displacement sensors can then be moved synchronously across a linear axis transversely to the belt material - the object to be measured.
  • the requirements for upper and lower belt in terms of mechanical and thermal stability can be kept lower, since the compensation of - the measurement result falsifying - movements in the measurement of the distance of the distance measuring sensors to each other by means of the compensation sensors and the reference rulers is possible.
  • the reference device can be calibrated with one or more calibration parts with a predefined thickness, wherein the measuring gap and a compensation gap formed between the compensation sensor and the reference ruler are measured at several points, in particular continuously.
  • the frame-shaped reference device can be calibrated.
  • the reference rulers do not have to be aligned in a straight line since the straightness of the reference rulers can be determined and stored by the calibration process.
  • the measuring gap can be re-detected after each traversing in a parking position.
  • a thermal change of the mechanical coupling between Wegmesssensor and compensation sensor can be compensated.
  • the expansion of the spacer is also detected in this step.
  • FIG. 1 is a schematic view of a known from the prior art basic principle of thickness measurement or calibration with two displacement sensors
  • Fig. 2 is a schematic view of an embodiment of a device according to the invention and a method of the invention
  • Fig. 3 in a schematic view another 4 shows a schematic view of a further embodiment of a device according to the invention arranged in an O-frame
  • FIG. 5 shows a schematic view of a further embodiment of a device according to the invention and FIG schematic view of an embodiment of a device according to the invention with only one reference ruler.
  • FIG. 1 shows, in a schematic view, a basic principle known from the prior art of the differential thickness measurement or calibration with two path measuring sensors on the basis of a sensor and calibration arrangement.
  • a distance measuring sensor 1 and 2 measures against the upper and lower surfaces of the measurement object.
  • the thickness is obtained by subtracting the measured values o and C / M2 from the measuring gap C / A.
  • the basic prerequisite for a correct thickness measurement value is that the measuring gap C / A, ie the distance between the two distance measuring sensors 1 and 2, remains constant. This could be achieved by a suitable suspension and guidance of the distance measuring sensors 1 and 2, which, however, means a high expenditure in the selection of materials (high-strength, temperature-stable materials) and the construction.
  • FIG. 2 shows a schematic view of an embodiment of a device according to the invention and a method according to the invention.
  • Two distance measuring sensors 1 and 2 each measure the distance to the surface of a measuring object or a calibration part 3 with the calibration thickness dK.
  • the Wegmesssensor 1 is a compensation sensor 4 and the Wegmesssensor 2 is a compensation sensor 5 is connected.
  • the compensation sensor 4 measures against the upper reference ruler 6 and the compensation sensor 5 measures against the lower reference ruler 7.
  • the reference rulers 6 and 7 in Fig. 2 must have a constant or at least known distance 8.
  • the distance 8 can be kept constant, for example, by two rods from Invar. Invar rods are mechanically stable and have a very low coefficient of linear expansion, so that even with changes in temperature whose length does not change or only negligibly small.
  • the distance 8 shown in FIG. 2 could also be measured, for example, by measuring two distance sensors on the left and right sides of the reference rulers 6 and 7, respectively, the distance 8 of the reference rulers 6 and 7 continuously or from time to time.
  • distance sensors for example, laser triangulation sensors or cable pull sensors can be used, which have a sufficiently large measuring range.
  • the Invar spacers achieve a mechanically stable and temperature-stable extension of the probes, which then only have to have a small measuring range.
  • d m is the measured value of the upper position measuring sensor 1 and d M2 is the measured value of the lower position measuring sensor 2.
  • the dimension d A is newly recorded in the parking position in order to compensate for the thermal change in the mechanical coupling between the displacement sensor and the compensation sensor.
  • the expansion of the spacer is also detected in this step.
  • the measuring gap can be recalculated over the entire traverse width. If the compensation measuring gaps are neglected, the measuring gap d A j for the traversal t results as follows:
  • the thickness d of a measuring object at the point / ' during the traversal t results from:
  • FIG. 3 shows in a schematic view a further embodiment of a device according to the invention, which is integrated in an O-frame-shaped machine frame.
  • the machine frame comprises a machine bed 9, a top chord 10 and two supports 11 which connect the machine bed 9 and the top chord 10 to form an O-frame.
  • the machine frame consists of a simple, inexpensive steel construction, without special measures for stiffening or temperature compensation, e.g. by using expensive, temperature-stable materials.
  • the reference ruler 6 is arranged above and the reference ruler 7 below the measuring object 12 and rigidly connected to one another by means of spacers 13 and 14 in the form of invar profiles. The reference rulers 6 and 7 together with the two spacers 13 and 14, the frame-shaped reference device.
  • the reference rulers 6 and 7 in FIG. 3 do not have to consist of a material with a low coefficient of linear expansion, since a linear expansion of the reference rulers 6 and 7 in the x-direction is not included in the thickness calculation of the test object 12. However, so that expansion of length does not cause any mechanical stresses in the reference rulings 6 and 7 which could possibly lead to deflection or distortion of the reference rulers 6 and 7 and thus to a falsification of the measured values, the reference rulers 6 and 7 are fixed on one side and on the other side the other side floating.
  • the fixed bearing is realized by a bearing pin 15 in the spacer 13, wherein the bearing pin 15 is in a U-shaped mounting 16 - U-profile - on a support 1 1 of the machine frame. This is a movement of the reference device in the x direction while allowing rotation about the y-axis.
  • the spacer 14 is mounted with a roller bearing 17, which rests on a flat surface 18, movable in the x direction.
  • the geometry of the frame-shaped reference device is temperature-invariant insofar as the change in length in the x direction does not change the distance of the reference rulers in the z-direction. Although the change in length in the x-direction can occur, it is not decisive for the thickness measurement.
  • the compensation sensors 4 and 5 are arranged on the crossbar with the distance measuring sensors 1 and 2 fixed to each other and measure against the reference rulers 6 and 7.
  • the traverse comprises a top flange 10 and a machine bed 9 associated bottom chord. So that tilting of the traverse does not affect the measurement result, the compensation sensors 4 and 5 are aligned in the z-axis in alignment with the distance measuring sensors 1 and 2, i.
  • the measuring points of the respective measuring and compensation sensor lie in an axis which is parallel to the z-axis and predominantly perpendicular to the traverse direction x.
  • Fig. 4 shows a schematic view of another embodiment of a device according to the invention arranged in an O-frame.
  • the two reference rulers 6 and 7, as in the exemplary embodiment from FIG. 3 are rigidly connected by means of temperature-stable spacers.
  • the upper reference ruler 6 is connected to the machine frame.
  • the attachment of the reference ruler 6 on the machine frame is designed such that one side is rotatably mounted about a bearing pin 15 and the other side movably by means of roller bearings 17.
  • the lower reference ruler 7 hangs over the spacers 13 and 14 on the upper reference ruler 6.
  • the two reference rulers 6 and 7 are mounted by means of ball rollers such that the reference rulers 6 and 7 on one side by means of a spring pressed against the ball rollers on the other side (in Fig. 4 not shown).
  • a stable guidance is achieved in the y-direction, without a movement in the x-direction or z-direction would be hindered.
  • Fig. 5 shows a schematic representation of another embodiment of a device according to the invention for thickness measurement.
  • the two reference rulers 6 and 7 are not connected to each other with temperature-stable spacers, but each mounted directly on the machine frame.
  • a fixed, rotatable support 19 is provided about the y-axis with a bearing pin, while the other side of the reference rulers 6 and 7 is realized movably in the x-direction by means of roller bearings 20.
  • the distance of the reference rulers 6 and 7 to each other must be measured.
  • two compensating sensors 4 and 5 are used on each side of the distance measuring sensors 1 and 2. Since an aligned arrangement as in the embodiment of FIG. 3 is structurally not possible, thus two compensation sensors 4 left and right of Wegmesssensor 1 and two compensation sensors 5 left and right of Wegmesssensor 2 are used. As a result, a tilt in the x-direction averages out of the two measured values of the compensation sensors 4 and 5.
  • Fig. 6 shows a schematic representation of an embodiment of a device according to the invention with only one reference ruler 6.
  • the reference ruler 6 is fixed on one side with a fixed, rotatable support 19 about the y-axis by means of bearing bolts on the machine frame.
  • the reference ruler 6 is movably mounted in the x-direction by means of roller bearings 20 on the machine frame.
  • the thickness measurement is carried out in the embodiment of FIG. 6 only with a distance measuring sensor 1, which is arranged above the measuring object 23.
  • the way- Measuring sensor 1 measures against the surface of the measurement object 23, for example, a rolling stock (steel, aluminum, etc.) or a plastic or rubber web.
  • the known support of the measurement object 23, for example a roller 24, represents the underside of the measurement object 23.
  • the displacement sensor 1 may be a laser triangulation sensor.
  • the advantage of the laser triangulation sensor is that a relatively large distance between the object to be measured 23 and the distance measuring sensor 1 can be achieved. As a result, the distance measuring sensor 1 is protected against any distortions or buckling of the measuring object 23 that could damage the position measuring sensor 1 in the event of process disturbances. Buckling can occur, for example, when rolling steel or aluminum at the beginning or end of the strip. If the distance measuring sensor 1 were mounted too close to the measuring object 23, it would be damaged by these bulges.
  • the distance measuring sensor 1 Since the distance measuring sensor 1 is guided over a top flange 10 of the machine frame, movements of the machine frame are transferred directly to the measurement result. With the compensation sensor 4 is measured against the reference ruler 6, which is also connected to the machine frame. So that movements of the machine frame do not affect the measurement, the distance of the reference ruler 6 to the roll surface is measured. This can be done for example by means of probes 21. Since the roller 24 rotates and a direct measurement against the roller surface due to rapid wear of the probe 21 is unfavorable, is measured against two reference surfaces 25 left and right of the roller 24.
  • the reference surfaces 25 are arranged such that their distance from the reference guide 6 in the z-direction is identical to the distance of the surface of the roller from the reference guide, ie that the surfaces of reference surfaces and roller surface are aligned.
  • the materials used for the roller 24, the bearing block 26 of the roller 24 and the reference surfaces 25 have almost the same coefficients of linear expansion, so that in the z-direction no relative changes in length caused by temperature changes.
  • contactless sensors can also be used directly against the roller Surface are measured, for example, at the edge of the roller 24, where the measuring object 23, the roller 24 is not covered.

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Abstract

Eine Vorrichtung zur Dickenmessung eines, vorzugsweise bahnförmigen oder stückgutförmigen, Messobjekts in einem Messspalt mit einer an einem Maschinenrahmen angebrachten Messmechanik, wobei die Messmechanik zur Dickenmessung einen oder mehrere auf das Messobjekt gerichtete Wegmesssensor(en) umfasst, ist dadurch gekennzeichnet, dass ein an einen Wegmesssensor gekoppelter Kompensationssensor zur Erfassung und Kompensation einer Veränderung des Messspalts den Abstand zu einem Referenzlineal misst, dass das Referenzlineal als eine Seite einer in die Messmechanik integrierten rahmenförmigen Referenzeinrichtung ausgeführt ist, und dass die Referenzeinrichtung derart ausgestaltet ist, dass während der Dickenmessung der Abstand zwischen dem Referenzlineal und der dem Referenzlineal gegenüberliegende Seite der Referenzeinrichtung bekannt ist. Des Weiteren ist ein entsprechendes Verfahren zur Dickenmessung angegeben.

Description

VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR DICKENMESSUNG EINES
MESSOBJEKTS
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Dickenmessung eines vorzugsweise bahnförmigen oder stückgutförmigen Messobjekts in einem Messspalt mit einer an einem Maschinenrahmen angebrachten Messmechanik, wobei die Messmechanik zur Dickenmessung einen oder mehrere auf das Messobjekt gerichtete Wegmesssensoren umfasst.
Des Weiteren betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Dickenmessung eines vorzugsweise bahnförmigen oder stückgutförmigen Messobjekts in einem Messspalt, wobei eine Messmechanik an einem Maschinenrahmen angebracht wird, und wobei durch die Messmechanik ein oder mehrere Wegmesssensoren zur Dickenmessung auf das Messobjekt gerichtet werden.
Vorrichtungen und Verfahren der gattungsbildenden Art sind seit Jahren in den unterschiedlichsten Ausführungsformen aus der Praxis bekannt. Bei den bekannten Vorrichtungen und Verfahren erfolgt eine kontinuierliche Dickenmessung beispielsweise von Bandmaterial mittels einer C- oder O- rahmenförmigen Messmechanik unter Verwendung von berührungslosen Messmethoden. Zur Dickenmessung werden hierbei optische Sensoren (Triangulation, konfokale Messtechnik), Wirbelstromsensoren, kapazitive Sensoren, Ultraschall-Sensoren, radiometrische Sensoren (Betastrahler) etc. eingesetzt. Üblicherweise erfolgt die Dickenmessung mit zwei Wegmesssensoren von beiden Seiten gegen die Materialoberfläche eines Messobjekts. Die Differenzbildung der beiden Messwertsignale ergibt bei bekanntem Abstand der beiden Wegmesssensoren zueinander die Dicke des gemessenen Materials. Bei Bandmaterial als Messobjekt werden traversierende Messmethoden angewandt, wobei beide Wegmesssensoren paarweise quer zur Transportrichtung des Bandmaterials bewegt werden.
Fig. 1 zeigt in einer schematischen Darstellung das Grundprinzip der differentiellen Dickenmessung bzw. -Kalibrierung mit zwei Wegmesssensoren anhand einer Sensor- und Kalibrationsanordnung. Die Dicke d eines Messobjekts wird mit Hilfe von zwei Wegmesssensoren 1 und 2 als Dickensensoren dadurch bestimmt, dass der Abstand der beiden Wegmesssensoren 1 und 2 zueinander - Messspalt dA - mit einem Kalibrationsteil 3 mit vordefinierter Dicke dK (Kalibrationsteildicke) ge- maß
Figure imgf000004_0001
erfasst wird und anschließend im Routinebetrieb die Summe der beiden Mess- werte dm und dM2 von dem Messspalt dA subtrahiert wird:
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Die Wegmesssensoren werden in C- oder O-rahmenförmigen Messmechaniken integriert und finden ihren Einsatz im industriellen Umfeld. Sofern bei der Konstruktion einer Vorrichtung zur Dickenmessung keine weiteren Vorkehrungen getroffen werden, beeinflussen thermische Änderungen der Umgebung den mechanischen Aufbau, insbesondere den Messspalt dA , und damit das Messergebnis d . Bei einfachen kleinen Messmechaniken kann die Messmechanik aus temperaturstabilem Material ausgeführt werden. Bei der Dickenmessung von Stückgut kann nach jeder Routinemessung das Kalibrationsteil gemessen werden, um den Effekt des sich ändernden Messspaltes zu eliminieren. Bei der Messung von breiten bandförmigen Materialien, insbesondere Coils, Innerliner etc. ist der vordefinierte Abstand zwischen den beiden Messsensoren jedoch kritisch. Gerade bei der Messung von metallischen Bändern in Breiten bis 1 -2 m oder bei Papierbahnen bis 6 m Breite und darüber hinaus ist besonders problematisch, dass C-Bügel und/oder O-Rahmen über die Breite des Band- materials als Messobjekt mechanisch nicht stabil zu halten sind. Folglich ist der Abstand der Wegmesssensoren zueinander nicht konstant. So haben bereits geringste Änderungen der Mechanik bei geforderten Messgenauigkeiten im Mikrometer-Bereich Einfluss auf den Dicken-Messwert. Solche Änderungen der Mechanik können zum Beispiel durch Vibrationen auftreten oder durch eine Län- genausdehnung infolge von Temperaturänderungen verursacht werden. Somit entsteht eine Abstandsänderung der Wegmesssensoren aufgrund von Vibration oder thermischer Längenausdehnung des Maschinenrahmens. Zum Beispiel würde sich bei einem Maschinenrahmen aus V2A-Stahl mit einem Ausdehnungs- koeffizienten von 16 ppm/K der Abstand zwischen den beiden Wegmesssensoren bei einer Temperaturänderung von 10°C und einem Abstand von 1 m zwischen dem an einem Obergurt gelagerten Wegmesssensor und dem an einem Untergurt gelagerten Wegmesssensor um 160 μιη ändern. Folglich ist bei Dickenmessungen, die häufig Genauigkeiten im Mikrometerbereich erfordern, eine präzise Messung aufgrund von Vibrations- und/oder Temperatureinflüssen nicht möglich. Eine noch größere Abstandsänderung tritt bei den häufig in der Praxis verwendeten Aluminium-Profilen auf, da Aluminium einen Ausdehnungskoeffizienten von 23 ppm/K hat.
Zur Messung von breiten, bandförmigen Materialien, insbesondere Coils, Inner- liner etc. könnte man möglicherweise eine temperaturstabile Messmechanik durch ausschließliche Verwendung von temperaturstabilen Materialien herstellen. Die Verwendung von vibrationsfesten oder temperaturstabilen O-Rahmen bzw. C- Rahmen zur Vermeidung von Messungenauigkeiten erfordert jedoch einen hohen mechanischen Aufwand und spezielle Materialien wie zum Beispiel Invar (eingetragene Marke), wodurch erhebliche Kosten verursacht werden. Die Wegmesssensoren müssten bei den zuvor genannten Messaufgaben mit Linearachsen traversierend über dem Material bewegt werden. Des Weiteren besteht die Möglichkeit in kurzen Zeitabständen das Kalibrationsteil zu messen nur außerhalb des Materialbandes. Folglich kann eine Veränderung des Messspaltes über dem Material nicht erfasst und kompensiert werden.
Aus der Praxis ist ein C-Rahmen bekannt, in dem die Wegmesssensoren auf einer Glasplatte mit einem geringen thermischen Ausdehnungskoeffizienten montiert sind. Diese Ausgestaltung hat jedoch den erheblichen Nachteil, dass bei einem C- Rahmen mit langen Schenkeln die Montage der Messsensoren äußerst aufwendig ist. Des Weiteren ist bei der Ausgestaltung mit Glas sehr problematisch, dass Glas sehr leicht brechen kann und daher für einen Einsatz im rauen industriellen Produktionsumfeld ungeeignet ist. Aus der DE 42 20 501 A1 ist ein Verfahren und eine Vorrichtung zur optischen Dickenmessung an bahnförmigen Materialien bekannt, wobei zur Vermeidung des mechanischen Aufwands der relative Abstand der beiden Wegmesssensoren je- weils mittels eines Laser-Punktprojektors ermittelt wird. Dieser Laser-Punkprojektor projiziert einen Laserstrahl in die Bewegungsrichtung der Wegmesssensoren. Die beiden Laser-Punkprojektoren sind an einer temperaturstabilen und vibrationsfesten Halterung aus Invar befestigt, so dass die relative Position der Laserquellen zueinander möglichst konstant bleibt. Die bekannte Vor- richtung ist jedoch insoweit problematisch, dass die optischen Sensoren für ein im industriellen Einsatz übliches raues Produktionsumfeld nicht geeignet sind, da die optischen Sensoren dort Vibrationen, Schock, Verschmutzung etc. ausgesetzt sind. Zudem ist eine exakte Ausrichtung der Laser schwierig. Ein weiterer Nachteil der bekannten Vorrichtung besteht darin, dass durch die Montage der Laser auf einer Seite bereits bei geringsten Bewegungen ein umso stärkerer Strahlversatz auftritt, je weiter der Sensor von der Strahlquelle entfernt ist.
Der vorliegenden Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Dickenmessung eines Messobjekts der eingangs genannten Art derart auszugestalten und weiterzubilden, das im industriellen Einsatz mit konstruktiv einfachen und kostengünstigen Mitteln eine robuste und industrietaugliche Messmechanik mit hoher Messgenauigkeit gewährleistet ist.
Die voranstehende Aufgabe ist durch die Merkmale des Patentanspruchs 1 gelöst. Danach ist die gattungsbildende Vorrichtung zur Dickenmessung dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein an einen Wegmesssensor gekoppelter Kompensationssensor zur Erfassung und Kompensation einer Veränderung des Messspalts den Abstand zu einem Referenzlineal misst, dass das Referenzlineal als eine Seite einer in die Messmechanik integrierten rahmenförmigen Referenz- einrichtung ausgeführt ist, und dass die Referenzein richtung derart ausgestaltet ist, dass während der Dickenmessung der Abstand zwischen dem Referenzlineal und der dem Referenzlineal gegenüberliegende Seite der Referenzeinrichtung bekannt ist. Des Weiteren ist die voranstehende Aufgabe in verfahrensmäßiger Hinsicht durch die Merkmale des Patentanspruchs 15 gelöst. Danach ist das gattungsbildende Verfahren dadurch gekennzeichnet, dass durch mindestens einen an einen Wegmesssensor gekoppelten Kompensationssensor der Abstand zu einem Referenzlineal gemessen wird, dass durch den gemessen Abstand zwischen dem Kompensationssensor und dem Referenzlineal eine Veränderung des Messspalts erfasst und kompensiert wird, dass das Referenzlineal eine Seite einer rahmenförmigen Referenzeinrichtung bildet, die in die Messmechanik integriert wird, und dass während der Dickenmessung der Abstand zwischen dem Referenzlineal und der dem Referenzlineal gegenüberliegende Seite der Referenzeinrichtung konstant gehalten oder gemessen wird.
In erfindungsgemäßer Weise ist erkannt worden, dass es von ganz enormem Vorteil ist, wenn eine Lageveränderung der Wegmesssensoren im Raum mittels einer einfachen Referenzeinrichtung zu kompensieren ist. Dadurch könnte der Messrahmen bzw. die Messmechanik weiterhin aus herkömmlichen Materialien ohne hohe Anforderungen an Stabilität und Temperaturausdehnung bestehen. Zweckmäßigerweise ist dazu ein Kompensationssensor an einen Wegmesssensor gekoppelt. Der Kompensationssensor misst, vorzugsweise kontinuierlich oder in kurzen Intervallen, den Abstand zu einem Referenzlineal, um so eine Lageveränderung des Wegmesssensors und damit eine Veränderung des Messspalts zu erfassen und zu kompensieren. Das Referenzlineal bildet dabei eine Messfläche für den Kompensationssensor. Im Konkreten ist das Referenzlineal als eine Seite einer in die Messmechanik integrierten rahmenförmigen Referenzeinrichtung ausgeführt. Dabei ist die Referenzeinrichtung derart ausgestaltet, dass während der Dickenmessung eines Messobjekts der Abstand zwischen dem Referenzlineal und der dem Referenzlineal gegenüberliegenden Seite der Referenzeinrichtung bekannt oder erfasst ist. Erfindungsgemäß kann somit eine Lageveränderung eines Wegmesssensors kompensiert werden, wenn der Abstand zwischen dem Referenzlineal und der dem Referenzlineal gegenüberliegenden Seite der Referenzeinrichtung konstant gehalten oder gemessen wird.
Folglich ist mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung und dem erfindungsgemäßen Verfahren mit konstruktiv einfachen und kostengünstigen Mitteln eine robuste und industrietaugliche Messmechanik mit hoher Messgenauigkeit für den industriellen Einsatz gewährleistet. Die erfindungsgemäße Vorrichtung und das erfindungsgemäße Verfahren kann bei der Dickenmessung von bahnförmigem Material und/oder bei der Dickenmessung von Stückgut eingesetzt werden.
Des Weiteren sei darauf hingewiesen, dass die rahmenförmige Referenzeinrichtung die Form eines Rahmens im weitesten Sinne aufweist. Die Referenzeinrichtung ist nicht auf eine Ausgestaltung als vollständig geschlossener Rahmen festgelegt, der durchgehend eine Seitenleiste aufweisen muss.
Das Referenzlineal kann aus Metall bestehen, aber auch andere Materialien mit hoher Steifigkeit und geringer Verformung, z.B. CFK-Carbon, GFK-Glasfaser oder keramische Materialien oder dgl. sind denkbar. Hinsichtlich einer optimalen Geometrie und einer einfachen Integration in die Messmechanik kann die Referenzeinrichtung im Wesentlichen rechteckig ausgestaltet sein. Somit ist ein leichter und unkomplizierter Einbau bzw. einfache Integration in die Messmechanik möglich. Im Hinblick auf eine präzise Messung kann der Kompensationssensor als kapazitiver Sensor ausgeführt sein. Somit bestitzt der Kompensationssensor eine extrem hohe Auflösung und erlaubt damit eine sehr gute Kompensation von geringsten Lageveränderungen des Wegmesssensors bzw. Messspaltveränderungen.
In besonders vorteilhafter Weise kann der Kompensationssensor als Wirbelstromsensor ausgeführt sein. Wirbelstromsensoren sind unempfindlich gegen Öl, Wasser und Staub im Messspalt und sind daher gerade bei schwierigen Umgebungsbedingungen problemlos und effektiv einsetzbar.
Grundsätzlich ist auch der Einsatz von weiteren Typen von Wegmesssensoren als Kompensationssensor denkbar. Zum Beispel der Einsatz von optischen oder magnetischen Sensoren. Jedenfalls ist für den Einsatz der Kompensationssensoren besonders vorteilhaft, dass die relative Abstandsänderung zwischen der Traverse, die den Wegmesssensor trägt, und dem Referenzlineal meist nur gering ist. Folglich benötigt der Kompensationssensor nur einen geringen Messbereich. Prinzipiell muss der Kompensationssensor nur einen derart großen Messbereich besitzen, dass die maximale Abweichung der Traverse beim Meßvorgang erfasst werden kann. Die Abweichung kann aufgrund von Durchbiegung, durch Vibrationen oder durch Temperaturausdehnung auftreten.
In einer vorteilhaften Ausgestaltung kann die Messmechanik derart ausgestaltet sein, dass durch die Messmechanik beidseitig auf das Messobjekt Weg- messsensoren gerichtet sind, wobei auf beiden Seiten des Messobjekts ein Kompensationssensor an einen Wegmesssensor gekoppelt ist. Die beiden gegenüberliegenden Seiten der Referenzeinrichtung können dabei auf beiden Seiten des Messobjekts als Referenzlineal für den jeweiligen Kompensationssensor ausgebildet sein.
In weiter vorteilhafter Weise kann die Referenzeinrichtung Abstandshalter aus einem temperaturstabilen Material umfassen, wobei die Abstandshalter die Referenzlineale starr miteinander verbinden. Als temperatustabiles Material kann insbesondere spezielle Keramik oder Stahl mit geringem Ausdehnungs- koeffizienten wie z.B. Invar, Kovar, Zerodur (eingetragene Marken) etc. verwendet werden. Somit sorgen die Abstandshalter dafür, dass sich der Abstand der Referenzlineale zueinander nicht verändert. Folglich ist eine gesamte Ausgestaltung der rahmenförmigen Referenzeinrichtung aus temperaturstabilem Material nicht erforderlich.
Alternativ könnte man die Referenzeinrichtung auch mit Abstandshaltern aus nicht temperaturstabilem Material ausbilden. Dazu müsste man einen bekannten Temperaturgang des Materials mit einem Temperatursensor messen und damit eine Abstandsänderung der Referenzlineale rechnerisch kompensieren.
In einer besonders vorteilhaften Ausgestaltung kann die Referenzeinrichtung über einen ersten Abstandshalter fest und über einen zweiten Abstandshalter schwimmend an dem Maschinenrahmen gelagert sein. Die feste Lagerung könnte mit einem Bolzen im Abstandshalter realisiert sein, wobei der Bolzen in einer U- förmigen Lagerung am Maschinenrahmen liegt. Die schwimmende Lagerung könnte über ein Rollenlager realisiert sein. Somit sind die Referenzlineale auf einer Seite der rahmenförmigen Referenzeinrichtung fest gelagert und auf der anderen Seite z.B. nur lose aufgelegt. Dadurch wird eine Verspannung der Referenzlineale durch Temperaturdehnung vermieden, so dass die Referenzlineale immer spannungsfrei sind.
Hinsichtlich der Vermeidung einer Verspannung der Referenzlineale kann die Referenzeinrichtung auch über eines der beiden Referenzlineale an dem Maschinenrahmen befestigt sein, wobei das Referenzlineal auf seiner einen Seite fest und auf seiner anderen Seite schwimmend gelagert ist.
In besonders vorteilhafter Weise kann der Kompensationssensor derart an den Wegmesssensor angeordnet sein, dass die Messpunkte des Kompensations- sensors und des Wegmesssensors in einer Messachse liegen. Sind beispielsweise die Kompensationssensoren auf einer Traverse mit den Wegmesssensoren fest zueinander angeordnet und messen die Wegmesssensoren gegen die Referenzlineale, so können die Kompensationssensoren in der Messachse fluchtend an den Wegmesssensoren ausgerichtet sein.
In einer konkreten Ausgestaltung kann die Referenzeinrichtung über beide Referenzlineale an dem Maschinenrahmen befestigt sein, wobei die Referenzlineale auf einer Seite fest und auf der anderen Seite schwimmend gelagert sind. Dabei messen Abstandssensoren vorzugweise kontinuierlich oder in kurzen Intervallen den Abstand der beiden Referenzlineale zueinander. Somit wird eine Abstandsänderung zwischen den beiden Referenzlinealen detektiert und kann zur Kompensation des Messergebnisses während des Messvorgangs verwendet werden. Als Abstandssensoren können Messtaster eingesetzt werden. Die Messtaster können über temperaturstabile Abstandshalter mit dem ersten, vorzugsweise oberen, Referenzlineal verbunden sein und messen die Abstandsänderung durch Antasten gegen das zweite, vorzugsweise untere, Referenzlineal.
Grundsätzlich sind auch andere zum Beispiel berührungslose Abstandssensoren denkbar, die an einem temperaturstabilen Abstandshalter mit geringem Aus- dehnungskoeffizienten angebracht sein können und die Abstandsänderung der Referenzlineale zueinander messen. Die Abstandshalter dienen dazu, dass ein Abstandssensor mit kleinem Messbereich und damit hoher absoluter Auflösung verwendet werden kann. Der Abstandshalter ermöglicht somit, den effektiven Messabstand zwischen oberem und unterem Referenzlineal zu verringern, da er selbst keine Messwertänderung verursacht.
In vorteilhafter Weise kann auf beiden Seiten des Wegmesssensors ein Kompensationssensor angeordnet sein, damit sich eine Verkippung in Traversierrichtung aus den beiden Messwerten der Kompensationssensoren wieder herausmittelt.
In einer konkreten Ausgestaltung kann die Messmechanik einen Wegmesssensor einseitig auf das Messobjekt richten, wobei das Messobjekt auf einer Auflage, insbesondere einer Walze, aufliegt. Die Auflage kann dabei als ein Teil der dem Referenzlineal gegenüberliegenden Seite der Referenzeinrichtung ausgeführt sein. Mit dem Referenzlineal können Abstandssensoren, insbesondere Laser- Triangulationssensoren, Seilzugssensoren, Messtaster etc., vorzugsweise über temperaturstabile Abstandshalter verbunden sein. Die Abstandssensoren messen dabei den Abstand zwischen dem Referenzlineal und der Auflage.
In weiter vorteilhafter Weise können die Abstandssensoren gegen eine Referenzfläche messen, wobei die Referenzfläche derart angeordnet sein kann, dass der Abstand zwischen der Referenzfläche und dem Referenzlineal identisch ist mit dem Abstand zwischen dem Referenzlineal und der Oberfläche der Auflage. Die Referenzfläche kann jeweils seitlich neben der Auflage angeordnet sein. Somit kann bei einer Walze als Auflage ein Verschleiß von Messtastern als Abstandssensoren vermieden werden. In vorteilhafter Weise kann das Referenzlineal an dem Maschinenrahmen befestigt sein, wobei das Referenzlineal auf seiner einen Seite fest und auf seiner anderen Seite schwimmend gelagert ist.
Hinsichtlich der Dickenmessung von Bandmaterial können die Wegmesssensoren durch die Messmechanik mittels einer Traversiereinheit, insbesondere einer Linearachse, quer zum Messobjekt zur traversierenden Messung bewegt werden. Die Wegmesssensoren können an einem Obergurt und ggf. an einem Untergurt gelagert werden. Bei der traversierenden Messung können dann die Wegmesssensoren synchron über eine Linearachse quer zum Bandmaterial - Messobjekt - bewegt werden. Die Anforderungen an Ober- und Untergurt im Hinblick auf mechanische und thermische Stabilität können geringer gehalten werden, da die Kompensation von - das Messergebnis verfälschende - Bewegungen bei der Messung des Abstandes der Wegmesssensoren zueinander mittels der Kompensationssensoren und der Referenzlineale möglich ist.
In vorteilhafter Weise kann die Referenzeinrichtung mit einem oder mehreren Kalibrationsteilen mit vordefinierter Dicke kalibriert werden, wobei an mehreren Punkten, insbesondere kontinuierlich, der Messspalt und ein zwischen Kompensationssensor und Referenzlineal gebildeter Kompensationsspalt gemessen wird. Somit kann die rahmenförmige Referenzeinrichtung geeicht werden. Die Referenzlineale müssen nicht perferkt ausgerichtet sein, da durch den Kalibriervorgang die Geradheite der Referenzlineale bestimmt und gespeichert werden kann.
In einer weiter vorteilhaften Ausgestaltung kann nach jeder Traversierung in einer Parkposition der Messspalt neu erfasst wird. Somit kann eine thermische Veränderung der mechanischen Kopplung zwischen Wegmesssensor und Kompensationssensor ausgeglichen werden. Bei thermischen veränderlichen Abstandshaltern wird in diesem Schritt auch die Ausdehnung des Abstandshalters erfasst. Es gibt nun verschiedene Möglichkeiten, die Lehre der vorliegenden Erfindung in vorteilhafter Weise auszugestalten und weiterzubilden. Dazu ist einerseits auf die dem Patentanspruch 1 nachgeordneten Patentansprüche und andererseits auf die nachfolgende Erläuterung eines bevorzugten Ausführungsbeispiels der Erfindung anhand der Zeichnung zu verweisen. In Verbindung mit der Erläuterung des bevorzugten Ausführungsbeispiels der Erfindung anhand der Zeichnung werden auch im Allgemeinen bevorzugte Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Lehre erläutert. In der Zeichnung zeigen Fig. 1 in einer schematischen Ansicht ein aus dem Stand der Technik bekanntes Grundprinzip der Dickenmessung bzw. -Kalibrierung mit zwei Wegmesssensoren, Fig. 2 in einer schematischen Ansicht ein Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung und eines erfindungsgemäßen Verfahrens Fig. 3 in einer schematischen Ansicht ein weiteres Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung in einem O-Rahmen angeordnet, Fig. 4 in einer schematischen Ansicht ein weiteres Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung in einem O-Rahmen angeordnet, Fig. 5 in einer schematischen Ansicht ein weiteres Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung und Fig. 6 in einer schematischen Ansicht ein Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung mit nur einem Referenzlineal.
Fig. 1 zeigt in einer schematischen Ansicht ein aus dem Stand der Technik bekannte Grundprinzip der differentiellen Dickenmessung bzw. -Kalibrierung mit zwei Wegmesssensoren anhand einer Sensor- und Kalibrationsanordnung. Jeweils ein Wegmesssensor 1 und 2 misst gegen die obere und untere Oberfläche des Messobjektes. Die Dicke erhält man, indem man vom Messspalt C/A jeweils den Messwert o und C/M2 subtrahiert. Die Grundvoraussetzung für einen korrekten Dickenmesswert ist, dass der Messspalt C/A, d.h. der Abstand der beiden Wegmesssensoren 1 und 2 zueinander, konstant bleibt. Dies könnte durch eine geeignete Aufhängung und Führung der Wegmesssensoren 1 und 2 erreicht werden, was jedoch einen hohen Aufwand bei der Auswahl der Materialien (hochfeste, temperaturstabile Materialien) und der Konstruktion bedeutet. Wesentlich einfacher, kostengünstiger und genauer ist es, wenn der Abstand selbst nicht konstant gehalten wird, sondern mit Kompensationssensoren gemessen und rechnerisch bei der Dickenberechnung berücksichtigt wird. Fig. 2 zeigt in einer schematischen Ansicht ein Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung und eines erfindungsgemäßen Verfahrens. Zwei Wegmesssensoren 1 und 2 messen jeweils den Abstand zur Oberfläche eines Messobjektes bzw. eines Kalibrationteils 3 mit der Kalibrationsteildicke dK. Mit dem Wegmesssensor 1 ist ein Kompensationssensor 4 und mit dem Wegmesssensor 2 ist ein Kompensationssensor 5 verbunden. Der Kompensationssensor 4 misst gegen das obere Referenzlineal 6 und der Kompensationssensor 5 misst gegen das untere Referenzlineal 7.
Die Referenzlineale 6 und 7 in Fig. 2 müssen einen konstanten oder zumindest bekannten Abstand 8 haben. Der Abstand 8 kann beispielsweise durch zwei Rundstäbe aus Invar konstant gehalten werden. Invarstäbe sind mechanisch stabil und besitzen einen sehr geringen Längenausdehnungskoeffizienten, so dass sich auch bei Temperaturänderungen deren Länge nicht oder nur vernachlässigbar gering verändert.
Der in Fig. 2 dargestellte Abstand 8 könnte aber auch gemessen werden, indem beispielsweise zwei Abstandssensoren jeweils auf der linken und rechten Seite der Referenzlineale 6 und 7 den Abstand 8 der Referenzlineale 6 und 7 kontinuierlich oder von Zeit zu Zeit messen. Als Abstandssensoren können beispielsweise Laser-Triangulationssensoren oder Seilzugsensoren verwendet werden, die einen hinreichend großen Messbereich besitzen. Günstiger und genauer sind jedoch Messtaster, die mit Abstandshaltern aus Invar am oberen Referenzlineal 6 befestigt sind und gegen das untere Referenzlineal 7 messen. Durch die Invar-Ab- standshalter wird eine mechanisch stabile und temperaturstabile Verlängerung der Messtaster erreicht, die dann nur noch einen kleinen Messbereich aufweisen müssen. Durch den kleineren Messbereich, der im Prinzip nur die zu erwartenden Abstandsänderungen der Referenzlineale, beispielsweise aufgrund von Vibrationen oder Temperaturausdehnung im Maschinenrahmen, abdecken muss. Gemäß Fig. 2 ist dm der Messwert des oberen Wegmesssensors 1 und dM2 der Messwert des unteren Wegmesssenors 2. Damit ergibt sich mit der Dicke dK des Kalibrationsteils 3 der Messspalt dA in der Parkposition durch:
Figure imgf000015_0001
In einem ersten Schritt wird mit einem eingeschwenkten Kalibrationsteil an n Punkten die Maße der beiden Kompensationsspalte dKV und dK2 l , sowie der Messspalt dA j mit i = \..., n gemessen und hinterlegt.
Ferner wird aus diesen Daten die Veränderung des Messspaltes AdA j mit i = \..., n in Bezug auf die Dicke in der Parkposition dA ermittelt. Nach jeder Traversierung wird in der Parkposition das Maß dA neu erfasst, um die thermische Veränderung der mechanischen Kopplung zwischen Wegmesssensor und Kom- pensationssensor auszugleichen. Bei thermisch veränderlichen Abstandshaltern wird in diesem Schritt auch die Ausdehnung des Abstandshalters erfasst. Mit Hilfe der Werte AdA j kann der Messspalt über die gesamte Traversierbreite neu berechnet werden. Werden die Kompensationsmessspalte vernachlässigt, so ergibt sich der Messspalt dA j zur Traversierung t folgendermaßen:
Figure imgf000015_0002
Erfolgt eine Änderung der Linearführung oder deren Aufhängung in Richtung des Messspalts, so wird die Änderung direkt auf das Signal des Kompensations- sensors übertragen. Es kommt somit zu einer Signaländerung
bzw.
Figure imgf000015_0003
zur Traversierung t . Der Messspalt über seiner gesamten Breite berechnet sich damit durch:
Figure imgf000016_0001
Auf diese Weise wird der Messspalt rechnerisch konstant gehalten. Die Dicke d eines Messobjekts im Punkt /' während der Traversierung t ergibt sich damit aus:
Figure imgf000016_0002
Fig. 3 zeigt in einer schematischen Ansicht ein weiteres Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung, die in einem O-rahmenförmigen Maschinen- rahmen integriert ist. Der Maschinenrahmen umfasst ein Maschinenbett 9, ein Obergurt 10 und zwei Stützen 1 1 , die das Maschinenbett 9 und den Obergurt 10 zu einem O-Rahmen verbinden. Der Maschinenrahmen besteht aus einer einfachen, günstigen Stahlkonstruktion, ohne dass besondere Maßnahmen zur Aussteifung oder Temperaturkompensation, z.B. durch Verwendung teurer, tempera- turstabiler Materialien, getroffen wurden. Das Referenzlineal 6 ist oberhalb und das Referenzlineal 7 unterhalb des Messobjekts 12 angeordnet und mittels Abstandshalter 13 und 14 in Form von Invar-Profilen starr miteinander verbunden. Die Referenzlineale 6 und 7 bilden zusammen mit den beiden Abstandshaltern 13 und 14 die rahmenförmige Referenzeinrichtung.
Durch die starre Verbindung der Referenzlineale 6 und 7 über die Abstandshalter 13 und 14 ist eine Längenausdehnung aufgrund von Temperaturänderungen in z- Richtung vermieden oder zumindest erheblich minimiert. Die Referenzlineale 6 und 7 in Fig. 3 müssen dabei nicht aus einem Material mit geringem Längenaus- dehnungskoeffizienten bestehen, da eine Längenausdehnung der Referenzlineale 6 und 7 in x-Richtung nicht in die Dickenberechnung des Messobjekts 12 eingeht. Damit durch Längenausdehnung jedoch keine mechanischen Spannungen in den Referenzlinealen 6 und 7 entstehen, die möglicherweise zu einer Durchbiegung oder Verwindung der Referenzlineale 6 und 7 und damit zu einer Messwertver- fälschung führen könnten, sind die Referenzlineale 6 und 7 auf einer Seite fest und auf der anderen Seite schwimmend gelagert. Die feste Lagerung ist durch einen Lagerbolzen 15 im Abstandshalter 13 realisiert, wobei der Lagerbolzen 15 in einer U-förmigen Lagerung 16 - U-Profil - an einer Stütze 1 1 des Maschinenrahmens liegt. Damit ist eine Bewegung der Referenzeinrichtung in x-Richtung unterbunden, während eine Drehung um die y-Achse ermöglicht ist. Auf der andern Seite der Referenzeinrichtung ist der Abstandshalter 14 mit einem Rollenlager 17, das auf einer ebenen Fläche 18 aufliegt, beweglich in x-Richtung gelagert. Durch diese Konstruktion werden ggf. auftretende Spannungen, Vibra- tionen oder Längenausdehnungen des Maschinenrahmens nicht auf die Referenzlineale 6 und 7 übertragen. Folglich ist die rahmenförmige Referenzeinrichtung in ihrer Geometrie insoweit temperaturinvariant, als die Längenänderung in x- Richtung den Abstand der Referenzlineale in z-Richtung nicht verändert. Die Längenänderung in x-Richtung kann zwar auftreten, ist aber für die Dicken- messung nicht ausschlaggebend.
In Fig. 3 sind die Kompensationssensoren 4 und 5 auf der Traverse mit den Wegmesssensoren 1 und 2 fest zueinander angeordnet und messen gegen die Referenzlineale 6 und 7. Die Traverse umfasst ein Obergurt 10 und ein zum Ma- schinenbett 9 zugeordnetes Untergurt. Damit Verkippungen der Traverse keinen Einfluss auf das Messergebnis haben, sind die Kompensationssensoren 4 und 5 in der z-Achse fluchtend an den Wegmesssensoren 1 und 2 ausgerichtet, d.h. die Messpunkte des jeweiligen Mess- und Kompensationssensors liegen in einer Achse, die parallel zur z-Achse und überwiegend rechtwinklig zur Traversier- richtung x liegt.
Fig. 4 zeigt in einer schematischen Ansicht ein weiteres Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung in einem O-Rahmen angeordnet. In dem Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 4 sind die beiden Referenzlineale 6 und 7 wie in dem Ausführungsbeispiel aus Fig. 3 starr mittels temperaturstabilen Abstandshaltern verbunden. Im Unterschied zu dem Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 3 ist lediglich das obere Referenzlineal 6 mit dem Maschinenrahmen verbunden. Die Befestigung des Referenzlineals 6 am Maschinenrahmen ist derart ausgeführt, dass eine Seite drehbar um einen Lagerbolzen 15 und die andere Seite beweglich mit- tels Rollenlager 17 gelagert ist. Das untere Referenzlineal 7 hängt über die Abstandshalter 13 und 14 am oberen Referenzlineal 6. Um eine Bewegung in y- Richtung zu unterbinden, sind die beiden Referenzlineale 6 und 7 mittels Kugelrollen derart gelagert, dass die Referenzlineale 6 und 7 auf einer Seite mittels einer Feder gegen die Kugelrollen auf der anderen Seite gedrückt werden (in Fig. 4 nicht gezeigt). Damit ist in y-Richtung eine stabile Führung erreicht, ohne dass eine Bewegung in x-Richtung oder z-Richtung behindert wäre.
Fig. 5 zeigt in einer schematischen Darstellung ein weiteres Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Dickenmessung. In dem Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 5 sind die beiden Referenzlineale 6 und 7 nicht mit temperaturstabilen Abstandshaltern miteinander verbunden, sondern jeweils direkt am Maschinenrahmen montiert. Auf einer Seite der Referenzlineale 6 und 7 ist jeweils eine feste, drehbare Lagerung 19 um die y-Achse mit einem Lagerbolzen vorgesehen, während die andere Seite der Referenzlineale 6 und 7 in x-Richtung beweglich mittels Rollenlagern 20 realisiert ist. Da bei dieser Konstruktion die Bewegungen des Maschinenrahmens aufgrund von Vibrationen oder Temperaturausdehnungen sich direkt auf die Referenzlineale 6 und 7 überträgt, muss der Abstand der Referenzlineale 6 und 7 zueinander gemessen werden. Dies erfolgt mit zwei Messtastern 21 als Abstandssensoren, die über Abstandshalter 22 aus Invar mit dem oberen Referenzlineal 6 verbunden sind. Die Messtaster 21 messen die Abstandsänderung durch Antasten gegen das untere Referenzlineal 7. In dem Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 5 werden auf jeder Seite der Wegmesssensoren 1 und 2 zwei Kompensationssensoren 4 bzw. 5 verwendet. Da eine fluchtende Anordnung wie bei dem Ausführungsbeispiel aus Fig. 3 konstruktiv nicht möglich ist, werden somit zwei Kompensationssensoren 4 links und rechts vom Wegmesssensor 1 und zwei Kompensationssensoren 5 links und rechts vom Wegmesssensor 2 verwendet. Dadurch mittelt sich eine Verkippung in x-Richtung aus den beiden Messwerten der Kompensationssensoren 4 bzw. 5 wieder heraus.
Fig. 6 zeigt in einer schematischen Darstellung ein Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung mit nur einem Referenzlineal 6. Das Referenzlineal 6 ist auf der einen Seite mit einer festen, drehbaren Lagerung 19 um die y-Achse mittels Lagerbolzen am Maschinenrahmen befestigt. Auf seiner anderen Seite ist das Referenzlineal 6 in x-Richtung beweglich mittels Rollenlager 20 am Maschinenrahmen angebracht.
Die Dickenmessung erfolgt bei dem Ausführungsbeispiel aus Fig. 6 nur mit einem Wegmesssensor 1 , der oberhalb des Messobjektes 23 angeordnet ist. Der Weg- messsensor 1 misst gegen die Oberfläche des Messobjektes 23, beispielsweise ein Walzgut (Stahl, Aluminium etc.) oder eine Kunststoff- oder Gummibahn. Die bekannte Auflage des Messobjektes 23, beispielsweise eine Walze 24, repräsentiert die Unterseite des Messobjektes 23.
Der Wegmesssensor 1 kann ein Laser-Triangulationssensor sein. Der Vorteil des Laser-Triangulationssensors ist, dass damit ein relativ großer Abstand zwischen Messobjekt 23 und Wegmesssensor 1 erreicht werden kann. Dadurch ist der Wegmesssensor 1 geschützt vor eventuell auftretenden Verwerfungen oder Auf- Wölbungen des Messobjektes 23, die bei Prozessstörungen den Wegmesssensor 1 beschädigen könnten. Aufwölbungen können beispielsweise beim Walzen von Stahl oder Aluminium am Bandanfang oder -ende auftreten. Wenn der Wegmesssensor 1 zu nahe am Messobjekt 23 angebracht wäre, würde er durch diese Aufwölbungen beschädigt werden.
Da der Wegmesssensor 1 über einen Obergurt 10 des Maschinenrahmens geführt ist, übertragen sich Bewegungen des Maschinenrahmens direkt auf das Messergebnis. Mit dem Kompensationssensor 4 wird gegen das Referenzlineal 6 gemessen, das ebenfalls mit dem Maschinenrahmen verbunden ist. Damit sich Be- wegungen des Maschinenrahmens nicht auf die Messung auswirken, wird der Abstand des Referenzlineals 6 zur Walzenoberfläche gemessen. Dies kann beispielsweise mittels Messtastern 21 erfolgen. Da sich die Walze 24 dreht und eine direkte Messung gegen die Walzenoberfläche aufgrund eines schnellen Verschleißes der Messtaster 21 ungünstig ist, wird gegen zwei Referenzflächen 25 links und rechts der Walze 24 gemessen. Die Referenzflächen 25 sind derart angeordnet, dass deren Abstand zum Referenzlineal 6 in z-Richtung identisch ist mit dem Abstand der Oberfläche der Walze zum Referenzlineal, d. h. dass die Oberflächen von Referenzflächen und Walzenoberfläche fluchtend angeordnet sind. Die verwendeten Materialien für die Walze 24, den Lagerbock 26 der Walze 24 und die Referenzflächen 25 besitzen nahezu denselben Längenausdehnungskoeffizienten, damit in z-Richtung keine relativen Längenänderungen durch Temperaturänderungen auftreten. Statt der Verwendung von Referenzflächen und Messtastern kann auch mit berührungslosen Sensoren direkt gegen die Walzen- Oberfläche gemessen werden, beispielsweise am Rand der Walze 24, wo das Messobjekt 23 die Walze 24 nicht bedeckt.
Hinsichtlich weiterer vorteilhafter Ausgestaltungen der erfindungsgemäßen Vorrichtung wird zur Vermeidung von Wiederholungen auf den allgemeinen Teil der Beschreibung sowie auf die beigefügten Patentansprüche verwiesen.
Schließlich sei ausdrücklich darauf hingewiesen, dass die voranstehend beschriebenen Ausführungsbeispiele der erfindungsgemäßen Vorrichtung lediglich zur Erörterung der beanspruchten Lehre dienen, diese jedoch nicht auf die Ausführungsbeispiele einschränken.
Bezugszeichenliste
1 Wegmesssensor
2 Wegmesssensor
3 Kalibrationsteil
4 Kompensationssensor
5 Kompensationssensor
6 Referenzlineal
7 Referenzlineal
8 Abstand zwischen Referenzlinealen
9 Maschinenbett
10 Obergurt
11 Stütze
12 Messobjekt
13 Abstandshalter
14 Abstandshalter
15 Lagerbolzen
16 Lagerung U-Profil
17 Rollenlager
18 ebene Fläche
19 Lagerbolzen drehbar um y-Achse
20 Rollenlager beweglich in x-Richtung
21 Messtaster
22 Abstandshalter
23 Messobjekt
24 Walze
25 Referenzfläche
26 Lagerbock
dA Messspalt
dM 1 Me ss wert
dM2 Me ss wert
dK Kalibrationsteildicke
dK1 Kompensationsspalt dK2 Kompensationsspalt

Claims

A n s p r ü c h e
1. Vorrichtung zur Dickenmessung eines vorzugsweise bahnförmigen oder stückgutförmigen Messobjekts (12, 23) in einem Messspalt (dA) mit einer an einem Maschinenrahmen angebrachten Messmechanik,
wobei die Messmechanik zur Dickenmessung einen oder mehrere auf das Messobjekt (12, 23) gerichtete Wegmesssensor(en) (1 , 2) umfasst,
d a d u rc h g e ke n nz e i c h n et , dass mindestens ein an einen Wegmesssensor (1 , 2) gekoppelter Kompensationssensor (4, 5) zur Erfassung und Kompensation einer Veränderung des Messspalts (dA) den Abstand zu einem Referenzlineal (6, 7) misst,
dass das Referenzlineal (6, 7) als eine Seite einer in die Messmechanik integrierten rahmenförmigen Referenzeinrichtung ausgeführt ist, und
dass die Referenzeinrichtung derart ausgestaltet ist, dass während der
Dickenmessung der Abstand zwischen dem Referenzlineal (6, 7) und der dem Referenzlineal (6, 7) gegenüberliegende Seite der Referenzeinrichtung bekannt ist.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass die Referenzeinrichtung im Wesentlichen rechteckig ausgestaltet ist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass der Kompensationssensor (4, 5) als kapazitiver Sensor ausgeführt ist.
4. Vorrichtung nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass der Kompensationssensor (4, 5) als Wirbelstromsensor ausgeführt ist.
5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Messmechanik derart ausgestaltet ist, dass durch die Messmechanik beidseitig auf das Messobjekt Wegmesssensoren (1 , 2) gerichtet sind,
wobei auf beiden Seiten des Messobjekts (12, 23) ein Kompensationssensor (4, 5) an einen Wegmesssensor (1 , 2) gekoppelt ist, und wobei die beiden gegenüberliegenden Seiten der Referenzeinrichtung auf beiden Seiten des Messobjekts als Referenzlineal (6, 7) für den Kompensationssensor (4, 5) ausgebildet sind.
6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Referenzeinrichtung Abstandshalter (13, 14) aus einem temperaturstabilen Material, insbesondere aus Invar, Kovar, Zerodur (eingetragene Marken) etc., umfasst, wobei die Abstandshalter (13, 14) die Referenzlineale (6, 7) starr miteinander verbinden.
7. Vorrichtung nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Referenzeinrichtung über einen ersten Abstandshalter (13) fest und über einen zweiten Abstandshalter (14) schwimmend an dem Maschinenrahmen gelagert ist.
8. Vorrichtung nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Referenzeinrichtung über eines der beiden Referenzlineale (6, 7) an dem Maschinenrahmen befestigt ist, wobei das Referenzlineal (6, 7) auf seiner einen Seite fest und auf seiner anderen Seite schwimmend gelagert ist.
9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass der Kompensationssensor (4, 5) derart an den Wegmesssensor (1 , 2) angeordnet ist, dass die Messpunkte des Kompensationssensors (4, 5) und des Wegmesssensors (1 , 2) in einer Messachse liegen.
10. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Referenzeinrichtung über beide Referenzlineale (6, 7) an dem Maschinenrahmen befestigt ist, wobei die Referenzlineale (6, 7) auf einer Seite fest und auf der anderen Seite schwimmend gelagert sind, und wobei Abstandssensoren, insbesondere Messtaster (21 ), den Abstand der beiden Referenzlineale (6, 7) zueinander messen.
1 1. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass auf beiden Seiten des Wegmesssensors (1 , 2) ein Kompensationssensor (4, 5) angeordnet ist.
12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Messmechanik den Wegmesssensor (1) einseitig auf das Messobjekt (12, 23) richtet,
wobei das Messobjekt (12, 23) auf einer Auflage, insbesondere einer Walze (24), aufliegt,
wobei die Auflage als ein Teil der dem Referenzlineal (6) gegenüberliegenden Seite der Referenzeinrichtung ausgeführt ist,
wobei mit dem Referenzlineal (6) Abstandssensoren, insbesondere Laser- Triangulationssensoren, Seilzugssensoren, Messtaster (21 ) etc., vorzugsweise über temperaturstabile Abstandshalter (13, 14) verbunden sind, und
wobei die Abstandssensoren den Abstand zwischen dem Referenzlineal (6) und der Auflage messen.
13. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Abstandssensoren gegen eine Referenzfläche (25) messen, wobei die
Referenzfläche (25) derart angeordnet ist, dass der Abstand zwischen der Referenzfläche (25) und dem Referenzlineal (6) identisch ist mit dem Abstand zwischen dem Referenzlineal (6) und der Oberfläche der Auflage.
14. Vorrichtung nach Anspruch 12 oder 13, dadurch gekennzeichnet, dass das Referenzlineal (6) an dem Maschinenrahmen befestigt ist, wobei das Referenzlineal (6) auf seiner einen Seite fest und auf seiner anderen Seite schwimmend gelagert ist.
15. Verfahren zur Dickenmessung eines vorzugsweise bahnförmigen oder stückgutförmigen Messobjekts (12, 23) in einem Messspalt (dA), insbesondere unter Verwendung einer Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 14,
wobei eine Messmechanik an einem Maschinenrahmen angebracht wird, und
wobei durch die Messmechanik ein oder mehrere Wegmesssensor(en)
(1 , 2) zur Dickenmessung auf das Messobjekt (12, 23) gerichtet werden, d a d u rc h g e ke n nze i c h n et , dass durch mindestens einen an einen Wegmesssensor (1 , 2) gekoppelten Kompensationssensor (4, 5) der Abstand zu einem Referenzlineal (6, 7) gemessen wird, dass durch den gemessen Abstand zwischen dem Kompensationssensor (4, 5) und dem Referenzlineal (6, 7) eine Veränderung des Messspalts (dA) erfasst und kompensiert wird,
dass das Referenzlineal (6, 7) eine Seite einer rahmenförmigen Referenz- einrichtung bildet, die in die Messmechanik integriert wird, und
dass während der Dickenmessung der Abstand zwischen dem Referenzlineal (6, 7) und der dem Referenzlineal (6, 7) gegenüberliegende Seite der Referenzeinrichtung konstant gehalten oder gemessen wird.
16. Verfahren nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass die Wegmesssensoren (1 , 2) durch die Messmechanik mittels einer Traversiereinheit, insbesondere einer Linearachse, quer zum Messobjekt (12, 23) zur traversierenden Messung bewegt werden.
17. Verfahren nach Anspruch 15 oder 16, dadurch gekennzeichnet, dass die Referenzeinrichtung mit einem Kalibrationsteil (3) mit vordefinierter Dicke kalibriert wird, wobei an mehreren Punkten, insbesondere kontinuierlich, der Messspalt (dA) und ein zwischen Kompensationssensor (4, 5) und Referenzlineal (6, 7) gebildeter Kompensationsspalt (dκι, dK2) gemessen wird.
18. Verfahren nach einem der Ansprüche 15 bis 17, dadurch gekennzeichnet, dass nach jeder Traversierung in einer Parkposition der Messspalt (dA) neu erfasst wird.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2016177369A1 (de) * 2015-05-05 2016-11-10 Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co. Kg Vorrichtung und verfahren zur messung der breite und der dicke eines flächigen objekts
CN109196301A (zh) * 2016-05-13 2019-01-11 安赛乐米塔尔公司 获得堆放在焦炉中的材料的高度的方法
US10571249B1 (en) 2019-05-27 2020-02-25 Precitec Optronik Gmbh Optical measuring device and method
CN112789478A (zh) * 2018-09-24 2021-05-11 霍尼韦尔国际公司 利用感应传感器和光学位移传感器的厚度测量

Families Citing this family (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102011107771B4 (de) * 2011-04-15 2013-10-17 Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co. Kg Vorrichtung und Verfahren zur Dickenmessung eines Messobjekts
DE102012112570B4 (de) * 2012-12-18 2016-03-03 ProNES automation GmbH Messung der Materialstärke breiter Folien
US10929890B2 (en) 2013-08-15 2021-02-23 Overstock.Com, Inc. System and method of personalizing online marketing campaigns
DE102014200157A1 (de) 2013-10-28 2015-05-21 Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co. Kg Verfahren zur Dickenmessung an Messobjekten und Vorrichtung zur Anwendung des Verfahrens
DE102014216084B4 (de) * 2014-08-13 2019-05-29 Trumpf Laser- Und Systemtechnik Gmbh Verfahren zum Ermitteln von Abstandskorrekturwerten beim Laserbearbeiten eines Werkstücks und zugehörige Laserbearbeitungsmaschine sowie Computerprogrammprodukt
JP6309868B2 (ja) * 2014-09-26 2018-04-11 株式会社神戸製鋼所 形状測定装置および形状測定方法
JP6481469B2 (ja) * 2015-03-31 2019-03-13 新日鐵住金株式会社 面間距離測定装置及び方法
DE102015008995B4 (de) * 2015-07-10 2017-02-09 Technische Universität Ilmenau Verfahren und Vorrichtung zur nicht-invasiven Ermittlung der Strömungsgeschwindigkeit, des Volumenstroms oder der elektrischen Leitfähigkeit eines strömenden Fluids
CN105300298B (zh) * 2015-11-06 2017-09-29 项俊俊 金刚石刀头参数测量装置
CN105571499A (zh) * 2015-12-21 2016-05-11 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种非接触光学元件中心厚度测量装置及测量方法
CN108351205B (zh) * 2016-03-03 2020-12-01 株式会社东芝 测量装置
US10281318B1 (en) 2017-03-31 2019-05-07 SolveTech, lnc. In line web process measurement apparatus and method
US10240911B2 (en) * 2017-06-12 2019-03-26 Advanced Gauging Technologies, LLC Laser gauge with full air gap measurement range
CN107401990A (zh) * 2017-07-11 2017-11-28 丹阳市雷登智能科技有限公司 一种非接触式镜片中心厚度测量装置
CN110017804A (zh) * 2018-01-08 2019-07-16 深南电路股份有限公司 一种pcb的厚度测量系统
CN110022648A (zh) * 2018-01-08 2019-07-16 深南电路股份有限公司 一种pcb的背钻方法及系统
JP6892836B2 (ja) * 2018-03-16 2021-06-23 明産株式会社 シート厚さ測定装置
CN108426531A (zh) * 2018-04-13 2018-08-21 清华大学深圳研究生院 一种复合膜厚度在线测量系统
JP6402272B1 (ja) * 2018-05-18 2018-10-10 大塚電子株式会社 厚み測定装置及び厚み測定方法
CN109211151B (zh) * 2018-08-27 2021-02-05 北京玖瑞科技有限公司 型材的检测装置、方法、设备和介质
DE102018222873A1 (de) * 2018-12-20 2020-06-25 Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co. Kg Vorrichtung zur Bestimmung der Dicke eines Objekts
DE102019117193B4 (de) * 2019-06-26 2023-06-07 Baumer Electric Ag Sensorvorrichtung zur Bestimmung einer Wegstrecke, einer Fläche oder eines Volumens
CN111426293A (zh) * 2020-03-18 2020-07-17 漳州捷龙自动化技术有限公司 一种厚度测量方法
CN112880573B (zh) * 2021-01-04 2023-04-07 中国航空制造技术研究院 高铁刹车片生产线的厚度在线测量装置及方法
CN113418498B (zh) * 2021-06-23 2023-05-26 中国核动力研究设计院 一种板材形变测量组件、装置
CN113720273B (zh) * 2021-09-01 2023-09-22 沈阳理工大学 一种基于激光轮廓扫描的壁板类工件检测装置及检测方法
CN114136201B (zh) * 2021-12-30 2023-03-17 西安交通大学 基于光学透明导电介质材料的电涡流探头及薄膜厚度测量系统和方法
CN115290015B (zh) * 2022-10-08 2023-01-17 临沂荣华文创藤饰股份有限公司 一种用于木制品生产的厚度测量装置
DE102023105972B3 (de) 2023-03-10 2024-02-15 Wenglor sensoric elektronische Geräte GmbH T-stück, system und verfahren zur dicken- oder differenzmessung

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3536405A (en) * 1968-06-12 1970-10-27 Singer General Precision Optical thickness gauge
DE4220501A1 (de) 1992-06-23 1994-01-05 Robert Prof Dr Ing Massen Optische Dickenmessung an bahnförmigen Materialien
DE4407215A1 (de) * 1994-03-06 1995-09-07 Robert Prof Dr Ing Massen Optische Dickenmessung an dünnen Bahnen
US20060132808A1 (en) * 2004-12-21 2006-06-22 Honeywell International Inc. Thin thickness measurement method and apparatus
US20090056412A1 (en) * 2006-03-10 2009-03-05 Metso Automation Oy Method for calibration of measuring equipment and measuring equipment
WO2011000665A1 (de) * 2009-07-02 2011-01-06 Voith Patent Gmbh Verfahren und vorrichtung zur berührungslosen bestimmung der dicke einer materialbahn mit korrektur des ausrichtfehlers

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB8808261D0 (en) * 1988-04-08 1988-05-11 Kineron Gauging Systems Ltd Thickness measurement device
JPH0648185B2 (ja) * 1988-10-12 1994-06-22 明産株式会社 シート厚さ測定装置
US5485082A (en) * 1990-04-11 1996-01-16 Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co. Kg Method of calibrating a thickness measuring device and device for measuring or monitoring the thickness of layers, tapes, foils, and the like
US5247253A (en) * 1990-11-09 1993-09-21 Curtis Instruments, Inc. Eddy current proximity sensing means and method useful for determining throttle position
DE59006447D1 (de) * 1990-11-19 1994-08-18 Kugelfischer G Schaefer & Co Dickenmessgerät.
GB2312043B (en) * 1996-04-12 2000-07-05 Beta Instr Co Thickness measuring device
US6038028A (en) * 1998-08-26 2000-03-14 Lockheed Martin Energy Research Corp. High-speed non-contact measuring apparatus for gauging the thickness of moving sheet material
US6281679B1 (en) * 1998-12-21 2001-08-28 Honeywell - Measurex Web thickness measurement system
DE69936262T2 (de) * 1999-10-13 2008-02-07 Hilti Ag Induktiver Messkopf für Metalldetektoren
DE10060144A1 (de) * 2000-12-04 2002-06-13 Dillinger Huettenwerke Ag Vorrichtung zur Dickenmessung an bahn- oder plattenförmigen Meßobjekten
FI114337B (fi) * 2001-07-03 2004-09-30 Metso Automation Oy Menetelmä ja mittalaite liikkuvan rainan ainakin yhden ominaisuuden mittaamiseksi
DE10361161A1 (de) * 2003-12-22 2005-07-21 Voith Paper Patent Gmbh Messvorrichtung
JP2006105878A (ja) * 2004-10-07 2006-04-20 Toshiba Ceramics Co Ltd 基板の平坦度測定装置および形状寸法測定装置
JP2007046946A (ja) 2005-08-08 2007-02-22 Toshiba Mach Co Ltd 基板の両面形状測定装置及び基板の両面形状測定方法
US8083895B2 (en) * 2008-04-18 2011-12-27 Honeywell Asca Inc. Sheet stabilization with dual opposing cross direction air clamps
US8188730B2 (en) * 2008-09-10 2012-05-29 Rockwell Automation Technologies, Inc. Method and system for inductive proximity sensing that includes mounting effect compensation
DE102011107771B4 (de) * 2011-04-15 2013-10-17 Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co. Kg Vorrichtung und Verfahren zur Dickenmessung eines Messobjekts
DE102011110666A1 (de) * 2011-05-11 2012-11-15 Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co. Kg Sensor, System mit einem Sensor und einem Messobjekt sowie Verfahren zur Temperaturmessung mittels Sensor
DE102013204494A1 (de) * 2013-03-14 2014-10-02 Carl Zeiss Smt Gmbh Positionssensor, sensoranordnung und lithographieanlage mit positionssensor

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3536405A (en) * 1968-06-12 1970-10-27 Singer General Precision Optical thickness gauge
DE4220501A1 (de) 1992-06-23 1994-01-05 Robert Prof Dr Ing Massen Optische Dickenmessung an bahnförmigen Materialien
DE4407215A1 (de) * 1994-03-06 1995-09-07 Robert Prof Dr Ing Massen Optische Dickenmessung an dünnen Bahnen
US20060132808A1 (en) * 2004-12-21 2006-06-22 Honeywell International Inc. Thin thickness measurement method and apparatus
US20090056412A1 (en) * 2006-03-10 2009-03-05 Metso Automation Oy Method for calibration of measuring equipment and measuring equipment
WO2011000665A1 (de) * 2009-07-02 2011-01-06 Voith Patent Gmbh Verfahren und vorrichtung zur berührungslosen bestimmung der dicke einer materialbahn mit korrektur des ausrichtfehlers

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2016177369A1 (de) * 2015-05-05 2016-11-10 Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co. Kg Vorrichtung und verfahren zur messung der breite und der dicke eines flächigen objekts
US10184784B2 (en) 2015-05-05 2019-01-22 Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co. Kg Device and method for measuring the width and thickness of a flat object
CN109196301A (zh) * 2016-05-13 2019-01-11 安赛乐米塔尔公司 获得堆放在焦炉中的材料的高度的方法
CN112789478A (zh) * 2018-09-24 2021-05-11 霍尼韦尔国际公司 利用感应传感器和光学位移传感器的厚度测量
CN112789478B (zh) * 2018-09-24 2023-10-20 霍尼韦尔国际公司 利用感应传感器和光学位移传感器的厚度测量
US10571249B1 (en) 2019-05-27 2020-02-25 Precitec Optronik Gmbh Optical measuring device and method

Also Published As

Publication number Publication date
US20140101954A1 (en) 2014-04-17
DE102011107771A1 (de) 2012-10-18
EP2697600A1 (de) 2014-02-19
DE102011107771B4 (de) 2013-10-17
EP2697600B1 (de) 2017-11-01
CN103492831B (zh) 2017-04-12
CN103492831A (zh) 2014-01-01
US9335145B2 (en) 2016-05-10

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