WO2012043031A1 - レーザ加工装置 - Google Patents

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WO2012043031A1
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laser
unit
processing apparatus
irradiation unit
emission
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Inventor
明久 松本
直哉 山崎
敬洋 田原
Original Assignee
パナソニック電工Sunx 株式会社
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    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/70Auxiliary operations or equipment
    • B23K26/702Auxiliary equipment
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • B23K26/08Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
    • B23K26/082Scanning systems, i.e. devices involving movement of the laser beam relative to the laser head
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/352Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring for surface treatment

Definitions

  • the present invention relates to a laser processing apparatus that performs processing by irradiating a processing object with laser light.
  • a conventional laser processing apparatus includes an emission unit and a laser irradiation unit connected to each other by an optical fiber cable.
  • the emission unit accommodates a laser oscillator that oscillates laser light.
  • the laser irradiation unit has an irradiation optical system for irradiating the workpiece with the laser beam from the laser emission unit, for example, a galvanometer mirror or a converging lens.
  • the laser emission unit and the laser irradiation unit have independent housings. Thereby, for example, only the laser irradiation unit can be easily exchanged for the laser emission unit and the optical fiber cable according to the size of the object to be processed.
  • the laser emitting unit and the laser irradiation unit can be positioned by providing the laser emitting unit with a positioning pin and providing a positioning hole for inserting and inserting the positioning pin into the laser irradiation unit. Conceivable.
  • the positioning pin is inserted and fitted into the positioning hole by hand. For this reason, if the positioning pin is not inserted into the positioning hole in one alignment, the positioning pin rubs the periphery of the positioning hole many times. For this reason, if the attachment / detachment of the laser irradiation unit with respect to the laser emission unit is repeated many times, the positioning pin is scraped. As a result, since the positioning accuracy between the laser emitting unit and the laser irradiation unit is lowered, there is a problem that the position accuracy of the optical axis of the laser light is lowered.
  • An object of the present invention is to provide a laser processing apparatus capable of maintaining the positional accuracy of the optical axis of laser light even when the laser irradiation unit is repeatedly attached to and detached from the laser emission unit.
  • a laser oscillation unit a laser emission unit having an emission optical system for emitting laser light oscillated by the laser oscillation unit, and a detachably connected to the laser emission unit
  • a laser processing apparatus including a laser irradiation unit having an irradiation optical system for irradiating a workpiece with laser light emitted from a laser emission unit.
  • the laser processing apparatus includes a first connection portion provided at a connection portion of the laser emission unit with the laser irradiation unit, a second connection portion provided at a connection portion of the laser irradiation unit with the laser emission unit, and a first connection.
  • the concave portion is open at least in the direction facing the convex portion in the optical axis direction and outward in the direction intersecting the optical axis.
  • the convex portion when the two units are connected to each other, the convex portion is fitted in the direction intersecting the optical axis with respect to the concave portion. And by moving both units so that it may mutually approach along an optical axis, both units approach, guiding by the uneven
  • the apparatus further includes a main unit having a laser oscillation unit, and the laser emission unit is connected to the main unit via an optical fiber cable and emits laser light transmitted from the laser oscillation unit via the optical fiber cable. It is preferable.
  • the laser emission unit includes an end portion for emitting laser light in the optical fiber cable, a diffusion lens for expanding the beam diameter of the laser light emitted from the optical fiber cable, and a laser light whose beam diameter is enlarged by the diffusion lens. It is preferable to accommodate a collimating lens that makes the light parallel.
  • the emission optical system has a protrusion protruding from the first connection portion along the optical axis toward the laser irradiation unit, and the irradiation optical system is a protrusion of the emission optical system along the optical axis from the second connection portion. It is preferable to have an accommodating part which becomes depressed toward the protruding direction.
  • the protruding portion of the emission optical system enters the depression of the irradiation optical system. Therefore, the total length of the laser irradiation unit and the laser emission unit in the connected state in the optical axis direction can be shortened.
  • the protruding length of the convex portion is larger than the protruding length of the protruding portion of the emission optical system.
  • the convex portion and the concave portion can be fitted to each other before the protruding portion of the emission optical system reaches the accommodating portion of the irradiation optical system. Therefore, it is possible to prevent the projecting portion of the emission optical system from colliding with the laser irradiation unit.
  • the convex portion is disposed at the lower end portion of the laser irradiation unit, and the concave portion is disposed at the lower end portion of the laser emission unit and is opened below the laser emission unit.
  • the concave portion can be fitted to the convex portion from above. For this reason, even when the laser irradiation unit and the laser emission unit are heavy, the laser irradiation unit and the laser emission unit can be easily connected.
  • the lower surface of the convex portion is preferably a flat surface.
  • the user exit unit can be placed on the installation surface in a stable state by appropriately changing the length of the convex portion.
  • the convex portion has a tip portion, and at least the tip portion preferably has a taper portion whose width in the direction orthogonal to the optical axis direction of the laser beam decreases toward the tip.
  • the convex portion can be easily fitted into the concave portion.
  • the apparatus further includes a connection state detection unit that is provided in the second connection portion of the laser irradiation unit and detects a connection state with the first connection portion of the laser emission unit.
  • the abnormal situation when an abnormal situation occurs in the connection state between the first connecting portion and the second connecting portion, the abnormal situation can be immediately grasped.
  • Laser emission in a direction perpendicular to the optical axis direction when connecting the laser emission unit and the laser irradiation unit is provided at a position excluding the positions where the convex portions and the concave portions are provided in the first connection portion and the second connection portion. It is preferable to further include positioning means for positioning the unit and the laser irradiation unit.
  • the laser emitting unit and the laser irradiation unit can be more accurately connected by the positioning means.
  • the present invention it is possible to provide a laser processing apparatus capable of maintaining the positional accuracy of the optical axis of laser light even when the laser irradiation unit is repeatedly attached to and detached from the laser emission unit.
  • the schematic diagram which shows the whole structure of the laser processing apparatus which concerns on one Embodiment of this invention.
  • the perspective view which shows the laser emission unit of the laser processing apparatus of FIG.
  • the perspective view which shows the laser irradiation unit of the laser processing apparatus of FIG.
  • the schematic diagram which shows the laser emission unit and laser irradiation unit which were removed.
  • the principal part expansion perspective view which shows the connection state of a laser emission unit and a laser irradiation unit.
  • the terms “front-rear direction”, “left-right direction”, and “up-down direction” are defined to indicate the front-rear direction, left-right direction, and up-down direction indicated by arrows in FIG.
  • the left-right direction corresponds to the direction orthogonal to the paper surface
  • the direction from the paper surface toward the front is defined as the right direction.
  • the laser marking device 11 includes a main unit 12, a laser emitting unit 13, and a laser irradiation unit 14 each having an independent casing.
  • the main unit 12 houses a control unit 15 that controls the operating state of the entire apparatus and a laser oscillation unit that oscillates the laser light L, that is, a laser oscillator 16.
  • the control unit 15 is electrically connected to the laser oscillation unit 16 and controls driving of the laser oscillator 16.
  • the main unit 12 is connected to the laser emitting unit 13 via an optical fiber cable 17 from the rear side.
  • the laser irradiation unit 14 is detachably connected directly to the laser emission unit 13 from the front side opposite to the main unit 12.
  • the optical fiber cable 17 extends from the laser oscillator 16 toward the laser emission unit 13.
  • the tip of the optical fiber cable 17 is inserted straight forward into the rear part of the laser emitting unit 13.
  • the laser light L oscillated from the laser oscillator 16 is emitted straight from the tip of the optical fiber cable 17 forward in the laser emission unit 13.
  • the laser emission unit 13 has a diffusion lens 18 for diffusing the laser light L emitted from the tip of the optical fiber cable 17, and a predetermined emission diameter (beam diameter) of the laser light L diffused by the diffusion lens 18.
  • the collimating lens 23 for making it the parallel light which has is accommodated. That is, the diffusing lens 18 and the collimating lens 23 constitute a beam expander.
  • the central portion of the first connection portion 19, which is a connection portion of the laser emission unit 13 with the laser irradiation unit 14, is along the optical axis direction of the laser light L, that is, the front-rear direction.
  • a cylindrical protrusion 20 that protrudes toward the front side, that is, toward the laser irradiation unit 14 is provided.
  • the front end of the protrusion 20, that is, the opening 21 at the front end is closed by a disk-shaped protective glass 22.
  • the rear end of the projecting portion 20 opens into the laser emitting unit 13.
  • a collimating lens 23 is disposed in the protruding portion 20.
  • the diffusing lens 18, the collimating lens 23, and the protective glass 22 constitute an emission optical system that emits the laser light L oscillated from the laser oscillator 16 to the laser irradiation unit 14. Since the collimating lens 23 and the protective glass 22 are provided on the protruding portion 20, a part of the emission optical system protrudes from the first connecting portion 19 along the optical axis of the laser light L toward the laser irradiation unit 14. .
  • the first contact surface 24 is a contact surface with the laser irradiation unit 14 in the first connection portion 19 of the laser emission unit 13 and forms a surface parallel to the vertical surface.
  • the first contact surface 24 has a rectangular frame shape and surrounds the protruding portion 20.
  • Screw insertion holes 26 are formed at the four corners of the first contact surface 24, respectively. Fixing screws 25 for fixing the laser emitting unit 13 to the laser irradiation unit 14 are respectively inserted into the screw insertion holes 26. Further, a pair of left and right positioning pins 27 are provided between the left and right screw insertion holes 26 at the upper part of the first contact surface 24 so as to protrude straight forward.
  • a recess 28 is provided at the lower end of the first connecting portion 19 of the laser emitting unit 13.
  • the recess 28 is open at the front, rear, and lower sides.
  • the protruding portion 20 has a protruding length LA with the first contact surface 24 as a reference.
  • the recess 28 has a channel-like groove extending along the front-rear direction.
  • a second connection portion 29 is formed at the connection portion of the laser irradiation unit 14 with the laser emission unit 13.
  • a cylindrical accommodating portion 30 for accommodating the protruding portion 20 is provided at a position corresponding to the protruding portion 20 of the laser emitting unit 13 in the second connecting portion 29.
  • the opening 31 at the front end of the housing part 30 is closed by a disk-shaped protective glass 32.
  • the rear end of the accommodating portion 30 is opened to insert the protruding portion 20 of the laser emitting unit 13.
  • the protective glasses 22 and 32 are opposed to each other in a state of being close to each other in the front-rear direction.
  • the contact surface of the second connection portion 29 of the laser irradiation unit 14 with the laser emitting unit 13 has a second contact surface 33 parallel to the vertical surface. That is, the second contact surface 33 corresponds to the first contact surface 24. Screw holes 34 into which the fixing screws 25 can be screwed are formed at positions corresponding to the respective screw insertion holes 26 on the second contact surface 33. Positioning holes 35 into which the positioning pins 27 can be respectively inserted are formed at positions corresponding to the positioning pins 27 on the second contact surface 33.
  • the left positioning hole 35 of the positioning holes 35 is a long hole extending in the left-right direction, so that the inserted positioning pin 27 is allowed to move slightly in the left-right direction.
  • the positioning pins 27 and the positioning holes 35 constitute positioning means for positioning the laser emitting unit 13 and the laser irradiation unit 14 in the direction orthogonal to the optical axis of the laser light L.
  • a proximity sensor 36 serving as a connection state detection means is located at a position between the right positioning hole 35 of the positioning holes 35 and the screw hole 34 positioned at the upper right of the screw holes 34.
  • Two contact surfaces 33 are provided so as to be flush with each other.
  • the proximity sensor 36 detects the connection state of the laser emission unit 13 with respect to the laser irradiation unit 14.
  • a connection terminal portion 38 for detachably connecting an electric cable 37 extending from the control portion 15 is provided on the upper side of the second contact surface 33 in the laser irradiation unit 14.
  • connection terminal portion 38 is electrically connected to the proximity sensor 36 and the galvano motor 39 disposed in the laser irradiation unit 14. Therefore, the control unit 15 is electrically connected to the proximity sensor 36 and the galvano motor 39 via the electric cable 37 and the connection terminal unit 38.
  • the control unit 15 determines that there is an abnormality in the connection state of the laser emission unit 13 to the laser irradiation unit 14 based on the detection signal transmitted from the proximity sensor 36, the control unit 15 stops the driving of the laser oscillator 16 and the galvano motor. 39 is controlled.
  • a pair of galvanometer mirrors 40 is disposed in front of the protective glass 32 in the laser irradiation unit 14.
  • the pair of galvanometer mirrors 40 reflects the laser light L that passes through the protective glass 32 and enters the laser irradiation unit 14 downward. That is, the laser beam L is reflected by one of the galvanometer mirrors 40 and then reflected downward by the other.
  • Each galvanometer mirror 40 is rotated by a galvanometer motor 39. By changing the angle of each galvanometer mirror 40 with respect to the laser beam L by driving the galvanometer motor 39, the reflection direction of the laser beam L by each galvanometer mirror 40 is changed.
  • An f ⁇ lens (convergence lens) 41 is provided below the galvanometer mirror 40.
  • the f ⁇ lens 41 converges the laser light L reflected by the galvanometer mirror 40 until it reaches a predetermined spot diameter on the surface of the workpiece W to increase the energy density suitable for the marking process.
  • An opening 42 is formed at a position corresponding to the f ⁇ lens 41 at the lower end of the laser irradiation unit 14.
  • the opening 42 is closed by a disk-shaped protective glass 43. Therefore, when the driving of the galvano motor 39 is controlled by the control unit 15, the angle of each galvano mirror 40 with respect to the laser light L is changed, and the laser light L applied to the processing object W is changed to the processing object W. A two-dimensional scan is performed along the surface. Thereby, a character, a figure, etc. are marked on the surface of the workpiece W, that is, printed.
  • the protective glass 32, the galvanometer mirror 40, the f ⁇ lens 41, and the protective glass 43 constitute an irradiation optical system that irradiates the workpiece W with the laser light L emitted from the laser emission unit 13. Since the protective glass 32 is located at the front end of the housing portion 30, the protective glass 32 is recessed from the partial second connection portion 29 of the irradiation optical system along the optical axis of the laser light L in the protruding direction (front direction) of the protruding portion 20. Has been placed.
  • the convex part 44 is provided in the lower end part in the 2nd connection part 29 of the laser irradiation unit 14, ie, below the 2nd contact surface 33. As shown in FIG. The convex portion 44 is disposed at a position corresponding to the concave portion 28 of the laser emitting unit 13.
  • the convex portion 44 has a rectangular parallelepiped shape that extends straight rearward.
  • the convex portion 44 can be fitted to the concave portion 28 from the front and the lower side, and can slide in the concave portion 28 along the front-rear direction.
  • the lower surface of the convex portion 44 is a flat surface (flat surface).
  • the convex portion 44 has a rearward protruding length LB with respect to the second contact surface 33.
  • the protrusion length LB of the protrusion 44 is set larger than the protrusion length LA of the protrusion 20. Note that the length of the concave portion 28 in the front-rear direction is set slightly larger than the protruding length LB of the convex portion 44.
  • the laser emission unit When connecting the laser emission unit 13 and the laser irradiation unit 14, as shown in FIG. 4, first, the laser emission unit is set so that the first connection portion 19 and the second connection portion 29 face each other in the front-rear direction. 13 and a laser irradiation unit 14 are arranged. Subsequently, the front end portion of the concave portion 28 is fitted on the rear end portion (front end portion) of the convex portion 44 from above. Thereby, the 2nd connection part 29 of the laser irradiation unit 14 opposes the 1st connection part 19 of the laser emission unit 13 accurately.
  • the protruding portion 20 faces the accommodating portion 30 without colliding with the second connecting portion 29. Subsequently, the laser emission unit 13 and the laser irradiation unit 14 are moved so as to approach each other in the front-rear direction. At this time, the laser emitting unit 13 and the laser irradiation unit 14 move while maintaining the concave / convex fitting between the convex portion 44 and the concave portion 28.
  • each positioning pin 27 is inserted into the corresponding positioning hole 35 with high precision.
  • each fixing screw 25 is screwed into the corresponding screw hole 34 in a state where each fixing screw 25 is inserted into the corresponding screw insertion hole 26. Then, the units 13 and 14 are fixedly connected to each other by the fixing screw 25. Thereafter, the electric cable 37 extending from the control unit 15 is connected to the connection terminal unit 38.
  • each positioning pin 27 can be easily inserted in each positioning hole 35.
  • each positioning pin 27 when each positioning pin 27 is worn down, the play when the positioning pin 27 is fitted into the corresponding positioning hole 35 is increased. Therefore, the positional accuracy when the units 13 and 14 are connected may be reduced, and as a result, the positional accuracy of the optical axis of the laser light L may be reduced.
  • the control unit 15 grasps the abnormal situation and stops driving the laser oscillator 16. This prevents the laser light L from being irradiated in an unexpected direction outside the laser marking device 11.
  • the convex portions 44 are fitted into the concave portion 28 from below, and then the units 13 and 14 are moved toward each other along the front-rear direction. Thereby, the units 13 and 14 approach each other while being guided by the concave / convex fitting between the convex portion 44 and the concave portion 28.
  • the convex portion 44 can be prevented from colliding with the front surface of the concave portion 28 (the surface facing the laser irradiation unit 14). Therefore, it can prevent that the front surface of the recessed part 28 is damaged or dented.
  • connection portions 19 and 29 in a positioning state while preventing the first connection portion 19 and the second connection portion 29 from rubbing against each other. Therefore, even if the laser irradiation unit 14 is repeatedly attached to and detached from the laser emission unit 13, the positional accuracy of the optical axis of the laser light L can be maintained.
  • the protruding portion 20 enters the accommodating portion 30. Therefore, the total length of the laser emitting unit 13 and the laser irradiation unit 14 in the connected state in the front-rear direction (the optical axis direction of the laser light L) can be shortened, and as a result, the laser marking apparatus 11 can be reduced in size. .
  • the recess 28 is located at the lower end of the laser emitting unit 13 and is open downward.
  • the convex portion 44 is located at the lower end portion of the laser irradiation unit 14. For this reason, the recessed part 28 can be fitted with respect to a convex part from upper direction. Therefore, even when the units 13 and 14 are heavy, the units 13 and 14 can be easily connected to each other.
  • the laser irradiation unit 14 can be placed on the installation surface in a stable state.
  • a positioning pin 27 is provided at the upper end of the first contact surface 24, and a positioning hole 35 into which the corresponding positioning pin 27 can be fitted is provided at the upper end of the second contact surface 33.
  • the control unit 15 grasps the abnormal situation and stops driving the laser oscillator 16. For this reason, it is possible to prevent the laser light L from being irradiated in an unexpected direction outside the laser marking device 11.
  • the laser emitting unit 13 emits laser light L transmitted from the laser oscillator 16 accommodated in the main unit 12 via the optical fiber cable 17. That is, since the laser oscillator 16 is not disposed in the laser emission unit 13, it is possible to contribute to miniaturization of the laser emission unit 13.
  • the laser emission unit 13 includes an end portion on the emission side of the laser light L in the optical fiber cable 17, a diffusion lens 18 that expands the beam diameter of the laser light L emitted from the optical fiber cable 17, and the diffusion A collimating lens 23 that converts the laser beam L whose beam diameter has been expanded by the lens 18 into parallel light is housed. For this reason, when the laser irradiation unit 14 is replaced with respect to the laser emission unit 13, the adjustment of the optical axis of the laser light L can be made unnecessary.
  • the positioning pin 27 and the positioning hole 35 may be omitted.
  • the lower surface of the convex portion 44 is not necessarily flat.
  • the concave portion 28 may be disposed at any one of the both side surfaces and the upper surface end portion of the first connection portion 19 of the laser emitting unit 13. In this case, the recess 28 is opened at the front, the rear, and the outside of the laser emitting unit 13. Furthermore, in this case, the position of the convex portion 44 in the second connection portion 29 of the laser irradiation unit 14 also needs to be changed according to the concave portion 28.
  • the protrusion length LB of the protrusion 44 may be equal to or less than the protrusion length LA of the protrusion 20.
  • the protrusion part 20 and the accommodating part 30 may be abbreviate
  • the protective glass 32 constituting a part of the irradiation optical system is not necessarily arranged so as to be recessed forward of the second contact surface 33.
  • the rear end of the recess 28 is not necessarily opened.
  • the convex part 44 may be provided in the laser emission unit 13 and the concave part 28 may be provided in the laser irradiation unit 14.
  • the housing 30 may be provided in the laser emitting unit 13 and the protrusion 20 may be provided in the laser irradiation unit 14.
  • the positioning hole 35 may be provided in the laser emission unit 13 and the positioning pin 27 may be provided in the laser irradiation unit 14.
  • Chamfering processing (C chamfering processing) may be performed on the corner portion of the convex portion 44.
  • a tapered portion having a width that gradually decreases in the left-right direction (a direction perpendicular to the optical axis of the laser light L) toward the tip (rear end) may be provided at least at the tip of the convex portion 44.
  • the front end portion of the concave portion 28 can be easily fitted from the upper side and the front side to at least the front end portion (rear end portion) provided with the tapered portion in the convex portion 44.
  • the protective glass 22 that closes the opening 21 of the protrusion 20 may be omitted. In this case, it is necessary to close the opening 21 of the protrusion 20 with the collimating lens 23.
  • the protective glass 43 that closes the opening 42 of the laser irradiation unit 14 may be omitted. In this case, it is necessary to close the opening 42 with the f ⁇ lens 41.
  • the laser oscillator 16 may be disposed in the laser emission unit 13.
  • the laser irradiation unit 14 may be configured to irradiate the laser light L from above or from the side depending on the installation mode of the laser irradiation unit 14.
  • the laser processing apparatus of the present invention is embodied in the laser marking apparatus 11 for marking, that is, printing, characters or figures on the surface of the workpiece W.
  • the present invention is not limited to this.
  • the workpiece is irradiated with a workpiece, for example, a cutting process is performed, it may be embodied in another laser processing apparatus.

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Abstract

レーザマーキング装置は、レーザ光を出射するレーザ出射ユニット(13)と、該レーザ出射ユニット(13)に対して着脱可能に接続されるレーザ照射ユニット(14)とを備える。レーザ照射ユニット(14)は、レーザ出射ユニット(13)から出射されるレーザ光を加工対象物に向かって照射する。レーザ照射ユニット(14)におけるレーザ出射ユニット(13)との接続部には後方に向かって突出する凸部(44)が設けられ。レーザ出射ユニット(13)におけるレーザ照射ユニット(14)との接続部には凸部(44)を嵌合可能とする凹部(28)が設けられている。凹部(28)は前方と後方と両側方と下方とにおいて開放されている。

Description

レーザ加工装置
 本発明は、レーザ光を加工対象物に照射することにより加工を行うレーザ加工装置に関する。
 従来のレーザ加工装置は、光ファイバケーブルによって互いに接続された出射ユニットとレーザ照射ユニットとを備える。例えば、特許文献1参照。出射ユニットは、レーザ光を発振するレーザ発振器を収容する。レーザ照射ユニットは、該レーザ出射ユニットからのレーザ光を加工対象物に照射するための照射光学系、例えばガルバノミラーや収束レンズを有する。
 このようなレーザ加工装置では、レーザ出射ユニットとレーザ照射ユニットとがそれぞれ独立した筐体を有する。それにより、例えば、レーザ出射ユニット及び光ファイバケーブルに対し、加工対象物の大きさなどに応じて、レーザ照射ユニットのみの交換を容易に行うことができる。
 ところで、こうしたレーザ加工装置では、レーザ光の光軸のずれが加工品質に大きく影響するため、レーザ出射ユニットとレーザ照射ユニットとを互いに接続する際には、高い精度で位置決めを行う必要がある。このため、レーザ出射ユニットに位置決めピンを設けるとともに、レーザ照射ユニットに位置決めピンを挿入して嵌め込むためのされる位置決め孔を設けることにより、レーザ出射ユニットとレーザ照射ユニットとの位置決めを行うことが考えられる。
特開2004-351516号公報
 しかしながら、このような構成を採用した場合、位置決めピンは位置決め孔に対して手探りで挿入して嵌め込まれる。そのため、位置決めピンが一回の位置合わせで位置決め孔に挿入されないと、位置決めピンによって位置決め孔の周辺が何度もこすられることになる。このため、レーザ出射ユニットに対するレーザ照射ユニットの着脱を何度も繰り返すと、位置決めピンが削られてしまう。この結果、レーザ出射ユニットとレーザ照射ユニットとの位置決め精度が低下するため、レーザ光の光軸の位置精度が低下してしまうという問題がある。
 本発明の目的は、レーザ出射ユニットに対するレーザ照射ユニットの着脱を繰り返しても、レーザ光の光軸の位置精度を維持することが可能なレーザ加工装置を提供することにある。
 上記の目的を達成するために、レーザ発振部と、レーザ発振部で発振されたレーザ光を出射する出射光学系を有するレーザ出射ユニットと、該レーザ出射ユニットに対して着脱可能に接続されるとともに、レーザ出射ユニットから出射されるレーザ光を加工対象物に照射するための照射光学系を有するレーザ照射ユニットとを備えるレーザ加工装置が提供される。レーザ加工装置は、レーザ出射ユニットにおけるレーザ照射ユニットとの接続箇所に設けられた第1接続部と、レーザ照射ユニットにおけるレーザ出射ユニットとの接続箇所に設けられた第2接続部と、第1接続部及び第2接続部の一方に設けられレーザ光の光軸に沿って突出する凸部と、第1接続部及び第2接続部の他方に設けられ凸部と嵌合可能であるとともに光軸に沿って凸部を摺動可能に案内する凹部とを備える。凹部は、光軸方向における少なくとも凸部と対向する方向と、光軸と交差する方向における外方とにおいて開放している。
 上記構成によれば、まず、両ユニットを互いに接続する際に、凹部に対して光軸と交差する方向において凸部が嵌合される。そして、光軸に沿って両ユニットを互いに近づくように移動させることにより、両ユニットが凸部と凹部との凹凸嵌合によってガイドされながら接近する。このため、第1接続部及び第2接続部が磨り減ることを抑制しつつ、第1接続部と第2接続部とを容易に精度よく位置決め状態で接触させて接続することができる。したがって、レーザ出射ユニットに対するレーザ照射ユニットの着脱を繰り返しても、レーザ光の光軸の位置精度を維持することが可能となる。
 レーザ発振部を有するメインユニットを更に備え、レーザ出射ユニットは、メインユニットに対して光ファイバケーブルを介して接続されるとともに、レーザ発振部から光ファイバケーブルを介して伝送されるレーザ光を出射することが好ましい。
 上記構成によれば、レーザ出射ユニットの小型化に寄与することが可能となる。
 レーザ出射ユニットは、光ファイバケーブルにおけるレーザ光を出射する端部と、該光ファイバケーブルから出射されるレーザ光のビーム径を拡大する拡散レンズと、該拡散レンズによってビーム径の拡大されたレーザ光を平行光にするコリメートレンズとを収容することが好ましい。
 上記構成によれば、レーザ出射ユニットに対してレーザ照射ユニットを付け替えた場合に、レーザ光の光軸の調整を不要とすることが可能となる。
 出射光学系は、第1接続部から光軸に沿ってレーザ照射ユニットへ向かって突出する突出部を有し、照射光学系は、第2接続部から光軸に沿って出射光学系の突出部の突出方向へ向かって窪む収容部を有することが好ましい。
 上記構成によれば、レーザ照射ユニットとレーザ出射ユニットとを互いに接続した際に、出射光学系の突出部分が照射光学系の窪み部分に入り込む。そのため、接続状態にあるレーザ照射ユニット及びレーザ出射ユニットの光軸方向における合計の長さを短くすることが可能となる。
 凸部の突出長さは、出射光学系の突出部の突出長さよりも大きいことが好ましい。
 上記構成によれば、出射光学系の突出部が照射光学系の収容部に達する前に、凸部と凹部とが互いに嵌合可能となる。従って、出射光学系の突出部がレーザ照射ユニットと衝突することを防止することができる。
 凸部は、レーザ照射ユニットの下端部に配置され、凹部は、レーザ出射ユニットの下端部に配置されるとともに、レーザ出射ユニットの下方に開放していることが好ましい。
 上記構成によれば、凹部を凸部に対して上方から嵌合させることができる。このため、レーザ照射ユニット及びレーザ出射ユニットが重い場合でもレーザ照射ユニットとレーザ出射ユニットとを容易に接続することが可能となる。
 凸部の下面は平面であることが好ましい。
 上記構成によれば、凸部の長さを適宜変更することにより、ユーザ出射ユニットを安定した状態で設置面に載置することができる。
 凸部は先端部を有し、少なくともその先端部は、レーザ光の光軸方向と直交する方向における幅が先端に向かうほど小さくなるテーパ部を有することが好ましい。
 上記構成によれば、凹部に凸部を容易に嵌合させることが可能となる。
 レーザ照射ユニットの第2接続部に設けられ、レーザ出射ユニットの第1接続部との接続状態を検出する接続状態検出手段を更に備えることが好ましい。
 上記構成によれば、第1接続部と第2接続部との接続状態に異常事態が発生した場合に、該異常事態を直ちに把握することが可能となる。
 第1接続部及び第2接続部における凸部及び凹部の設けられた位置を除く位置に設けられ、レーザ出射ユニットとレーザ照射ユニットとを接続する際に、光軸方向と直交する方向においてレーザ出射ユニットとレーザ照射ユニットとの位置決めを行う位置決め手段を更に備えることが好ましい。
 上記構成によれば、位置決め手段により、レーザ出射ユニットとレーザ照射ユニットとをより一層精度よく接続することが可能となる。
 本発明によれば、レーザ出射ユニットに対するレーザ照射ユニットの着脱を繰り返しても、レーザ光の光軸の位置精度を維持することが可能なレーザ加工装置を提供することができる。
本発明の一実施形態に係るレーザ加工装置の全体構成を示す模式図。 図1のレーザ加工装置のレーザ出射ユニットを示す斜視図。 図1のレーザ加工装置のレーザ照射ユニットを示す斜視図。 取り外されたレーザ出射ユニット及びレーザ照射ユニットを示す模式図。 レーザ出射ユニットとレーザ照射ユニットとの接続状態を示す要部拡大斜視図。
 以下、本発明のレーザ加工装置をレーザマーキング装置に具体化した一実施形態を図面に基づいて説明する。なお、以下の説明において、「前後方向」、「左右方向」、「上下方向」をいう場合、図1に矢印で示す前後方向、左右方向、上下方向をそれぞれ示すものと定義する。この場合、左右方向は紙面と直交する方向に対応し、紙面から手前に向かう方向を右方向と定義する。
 図1に示すように、レーザマーキング装置11は、それぞれ独立した筐体を有するメインユニット12、レーザ出射ユニット13、及びレーザ照射ユニット14を備えている。メインユニット12は、装置全体の稼働状態を制御する制御部15と、レーザ光Lを発振するレーザ発振部、即ちレーザ発振器16とを収容している。制御部15は、レーザ発振部16と電気的に接続されるとともに、該レーザ発振器16の駆動を制御する。
 メインユニット12は、レーザ出射ユニット13に対して後側から光ファイバケーブル17を介して接続されている。レーザ照射ユニット14は、レーザ出射ユニット13に対してメインユニット12とは反対側となる前側から着脱可能に直接接続されている。
 光ファイバケーブル17はレーザ発振器16からレーザ出射ユニット13に向かって延びている。該光ファイバケーブル17の先端は、レーザ出射ユニット13の後部内に真っ直ぐ前方に向かって挿入されている。レーザ発振器16から発振されるレーザ光Lは、レーザ出射ユニット13内において光ファイバケーブル17の先端から前方に向かって真っ直ぐに出射される。レーザ出射ユニット13は、光ファイバケーブル17の先端から出射されるレーザ光Lを拡散させるための拡散レンズ18と、該拡散レンズ18によって拡散されたレーザ光Lを所定の出射径(ビーム径)を持つ平行光にするためのコリメートレンズ23とを収容している。すなわち、拡散レンズ18とコリメートレンズ23とがビームエキスパンダを構成する。
 図1及び図2に示すように、レーザ出射ユニット13におけるレーザ照射ユニット14との接続部である第1接続部19の中央部には、レーザ光Lの光軸方向、即ち前後方向に沿って前側、即ちレーザ照射ユニット14に向かってに突出する円筒状の突出部20が設けられている。突出部20の先端、即ち前端の開口21は円板状の保護ガラス22によって閉塞されている。突出部20の後端はレーザ出射ユニット13内に開口している。突出部20内には、コリメートレンズ23が配置されている。
 本実施形態では、拡散レンズ18、コリメートレンズ23及び保護ガラス22が、レーザ発振器16から発振されるレーザ光Lをレーザ照射ユニット14へ出射する出射光学系を構成する。コリメートレンズ23及び保護ガラス22は突出部20に設けられているため、出射光学系の一部は第1接続部19からレーザ光Lの光軸に沿ってレーザ照射ユニット14に向かって突出している。
 第1接触面24は、レーザ出射ユニット13の第1接続部19におけるレーザ照射ユニット14との接触面であって鉛直面と平行な面を形成する。第1接触面24は、矩形枠状であり突出部20を囲んでいる。第1接触面24における四隅には、ねじ挿通孔26がそれぞれ形成されている。レーザ出射ユニット13をレーザ照射ユニット14に固定するための固定ねじ25が、ねじ挿通孔26にそれぞれ挿通される。また、第1接触面24の上部において左右2つのねじ挿通孔26間には、左右一対の位置決めピン27が前方に向かって真っ直ぐに突出するように設けられている。
 レーザ出射ユニット13の第1接続部19における下端部には凹部28が設けられている。凹部28は、前方、後方、及び下方において開放されている。なお、突出部20は、第1接触面24を基準とした突出長さLAを有する。凹部28は、前後方向に沿って延びるチャンネル状の溝を有する。
 図1及び図3に示すように、レーザ照射ユニット14におけるレーザ出射ユニット13との接続部には第2接続部29が形成されている。第2接続部29におけるレーザ出射ユニット13の突出部20と対応する位置には、該突出部20を収容するための円筒状の収容部30が設けられている。収容部30の前端の開口31は円板状の保護ガラス32によって閉塞されている。収容部30の後端は、レーザ出射ユニット13の突出部20を挿入するべく開放されている。保護ガラス22,32は、前後方向において互いに近接した状態で対向している。
 図1~図3に示すように、レーザ照射ユニット14の第2接続部29におけるレーザ出射ユニット13との接触面は鉛直面と平行な第2接触面33を有する。すなわち、第2接触面33は、第1接触面24と対応している。第2接触面33における各ねじ挿通孔26と対応する位置には、固定ねじ25が螺入可能なねじ孔34がそれぞれ形成されている。第2接触面33における各位置決めピン27と対応する位置には、該各位置決めピン27をそれぞれ嵌入可能な位置決め孔35が形成されている。
 この場合、位置決め孔35のうち左側の位置決め孔35は、左右方向に沿って延びる長孔からなるため、嵌入された位置決めピン27の左右方向における若干の移動を許容する。なお、本実施形態では、位置決めピン27及び位置決め孔35は、レーザ光Lの光軸と直交する方向におけるレーザ出射ユニット13とレーザ照射ユニット14との位置決めを行う位置決め手段を構成する。
 第2接触面33における位置決め孔35のうちの右側の位置決め孔35とねじ孔34のうち右上に位置するねじ孔34との間の位置には、接続状態検出手段としての近接センサ36が該第2接触面33と面一で露出するように設けられている。近接センサ36は、レーザ照射ユニット14に対するレーザ出射ユニット13の接続状態を検出する。レーザ照射ユニット14における第2接触面33の上側には、制御部15から延びる電気ケーブル37を着脱自在に接続するための接続端子部38が設けられている。
 接続端子部38は、近接センサ36及びレーザ照射ユニット14内に配置されたガルバノモータ39と電気的に接続されている。したがって、制御部15は、電気ケーブル37及び接続端子部38を介して近接センサ36及びガルバノモータ39と電気的に接続されている。制御部15は、近接センサ36から送信される検出信号に基づいてレーザ照射ユニット14に対するレーザ出射ユニット13の接続状態に異常があると判断した場合にレーザ発振器16の駆動を停止するとともに、ガルバノモータ39の駆動を制御する。
 レーザ照射ユニット14内における保護ガラス32の前方には、一対のガルバノミラー40が配置されている。一対のガルバノミラー40は、保護ガラス32を透過してレーザ照射ユニット14内に入射するレーザ光Lを下方へ反射させる。すなわち、レーザ光Lは、ガルバノミラー40のうちの一方で反射された後に他方で下方に向かって反射される。各ガルバノミラー40は、ガルバノモータ39によって回動される。ガルバノモータ39の駆動により各ガルバノミラー40のレーザ光Lに対する角度が変更されることで、該各ガルバノミラー40によるレーザ光Lの反射方向が変更される。
 ガルバノミラー40の下方には、fθレンズ(収束レンズ)41が設けられている。fθレンズ41は、ガルバノミラー40によって反射されたレーザ光Lを加工対象物Wの表面において所定のスポット径となるまで収束させてマーキング加工に適したエネルギー密度まで高める。レーザ照射ユニット14における下端部におけるfθレンズ41と対応する位置には開口42が形成されている。該開口42は円板状の保護ガラス43によって閉塞されている。したがって、制御部15によりガルバノモータ39の駆動が制御されることで、各ガルバノミラー40のレーザ光Lに対する角度が変更されて、加工対象物Wに照射されるレーザ光Lが該加工対象物Wの表面に沿って2次元走査される。これにより、加工対象物Wの表面に文字や図形などがマーキング、即ち印字される。
 本実施形態では、保護ガラス32、ガルバノミラー40、fθレンズ41及び保護ガラス43が、レーザ出射ユニット13から出射されるレーザ光Lを加工対象物Wに照射する照射光学系を構成する。保護ガラス32は収容部30の前端に位置しているため、照射光学系の一部第2接続部29からレーザ光Lの光軸に沿って突出部20の突出方向(前方向)へ窪むように配置されている。
 レーザ照射ユニット14の第2接続部29における下端部、即ち第2接触面33よりも下方には、凸部44が設けられている。凸部44は、レーザ出射ユニット13の凹部28と対応する位置に配置されている。凸部44は、後方に向かって真っ直ぐに延びる直方体状である。凸部44は、凹部28に対して前方及び下方から嵌合可能であるとともに、前後方向に沿って凹部28内で摺動可能である。凸部44の下面は、平面(平坦面)である。凸部44は第2接触面33を基準とした後方への突出長さLBを有する。凸部44の突出長さLBは、突出部20の突出長さLAよりも大きく設定されている。なお、凹部28の前後方向の長さは、凸部44の突出長さLBよりも若干大きく設定されている。
 次に、レーザ出射ユニット13とレーザ照射ユニット14とを接続する際の作用について説明する。
 レーザ出射ユニット13とレーザ照射ユニット14とを接続する場合には、図4に示すように、まず、前後方向において第1接続部19と第2接続部29とが対向するように、レーザ出射ユニット13とレーザ照射ユニット14とが配置される。続いて、凹部28の前端部が凸部44の後端部(先端部)に上から載せるようにして嵌合される。これにより、レーザ出射ユニット13の第1接続部19に対してレーザ照射ユニット14の第2接続部29が精度よく対向する。
 このとき、凸部44の突出長さLBは突出部20の突出長さLAよりも大きいため、突出部20は第2接続部29に衝突することなく収容部30と対向する。続いて、レーザ出射ユニット13とレーザ照射ユニット14とが前後方向において互いに近づくように移動される。このとき、レーザ出射ユニット13及びレーザ照射ユニット14は、凸部44と凹部28との凹凸嵌合を維持しながら移動する。
 ユニット13,14同士が接触するまでこれらユニット13,14が移動されると、接触面24,33同士が接触するとともに、前後方向において凸部44全体が凹部28内に収められる(図5参照)。このとき、凸部44と凹部28とが各ユニット13,14の移動時のガイドとして機能する。このため、突出部20が収容部30内に精度よく挿入されるとともに、各位置決めピン27が対応する位置決め孔35に精度よく嵌め入れられる。各位置決めピン27と対応する位置決め孔35との嵌合により、ユニット13,14同士がレーザ光Lの光軸方向(前後方向)と直交する方向において精度よく位置決めされる。このため、ねじ挿通孔26と対応するねじ孔34とがそれぞれ前後方向において精度よく重なり合う。
 続いて、各固定ねじ25を対応するねじ挿通孔26にそれぞれ挿通した状態で、該各固定ねじ25が対応するねじ孔34に螺入される。すると、固定ねじ25により、ユニット13,14が固定状態で互いに接続される。その後、制御部15から延びる電気ケーブル37が接続端子部38に接続される。
 このように、ユニット13,14を互いに接続する際に、凸部44と凹部28とを嵌合させてから第1接触面24と第2接触面33とが接触される。これにより、前後方向を中心とした各ユニット13,14の揺動に起因するずれが抑えられるので、各位置決めピン27を各位置決め孔35に容易に嵌入することができる。すなわち、各位置決めピン27を、第2接触面33上を摺動させながら対応する位置決め孔35に手探りで嵌入する必要がほとんどなくなる。このため、各位置決めピン27と第2接触面33とを無駄に擦り合わせることが防止されるので、各位置決めピン27が磨り減ることが抑制される。したがって、レーザ出射ユニット13に対するレーザ照射ユニット14の着脱を繰り返しても、該各ユニット13,14の接続時の位置精度が維持される。そのため、レーザ光Lの光軸の位置精度を維持することができる。
 因みに、各位置決めピン27が磨り減ると、該各位置決めピン27を対応する位置決め孔35に嵌入した際の遊びが大きくなる。そのため、ユニット13,14の接続時の位置精度が低下し、ひいてはレーザ光Lの光軸の位置精度が低下してしまうおそれがある。
 また、電気ケーブル37が接続端子部38に接続された状態で、万一、レーザ出射ユニット13からレーザ照射ユニット14が脱落するという異常事態が発生してしまった場合には、近接センサ36からの検出信号に基づいて制御部15が該異常事態を把握して該レーザ発振器16の駆動を停止する。このため、レーザ光Lがレーザマーキング装置11の外側の予期せぬ方向へ照射されることが防止される。
 以上詳述した実施形態によれば次のような効果が発揮される。
 (1)ユニット13,14を互いに接続する際に、凹部28に対して下方から凸部44を嵌合させてから前後方向に沿ってユニット13,14が互いに近づくように移動される。これにより、ユニット13,14が凸部44と凹部28との凹凸嵌合によってガイドされながら互いに接近する。この場合、凸部44を凹部28に嵌合する際に、凹部28の前面(レーザ照射ユニット14と対向する面)に凸部44が衝突することを防止することができる。そのため、凹部28の前面が傷ついたり凹んだりすることを防止することができる。このため、第1接続部19と第2接続部29とが擦れ合うことを防止しつつ、該接続部19,29を容易に精度よく位置決め状態で接触させて接続することができる。したがって、レーザ出射ユニット13に対するレーザ照射ユニット14の着脱を繰り返しても、レーザ光Lの光軸の位置精度を維持することができる。
 (2)ユニット13,14を互いに接続した際に、突出部20が収容部30内に入り込む。そのため、接続状態にあるレーザ出射ユニット13及びレーザ照射ユニット14の前後方向(レーザ光Lの光軸方向)における合計の長さを短くすることができ、ひいてはレーザマーキング装置11の小型化に寄与できる。
 (3)凸部44の突出長さLBは突出部20の突出長さLAよりも大きいため、ユニット13,14を互いに接続する際には、突出部20が収容部30に挿入される前に凸部44を凹部28に嵌合させることができる。このため、突出部20が第2接続部29に衝突することを防止することができる。
 (4)凹部28はレーザ出射ユニット13の下端部に位置するとともに、下方に開放している。凸部44はレーザ照射ユニット14の下端部に位置している。このため、凹部28を凸部に対して上方から嵌合させることができる。したがって、各ユニット13,14が重い場合でも該ユニット13,14を容易に互いに接続することができる。
 (5)レーザ照射ユニット14の下端部に位置する凸部44の下面は平面であるため、レーザ照射ユニット14を安定した状態で設置面に載置することができる。
 (6)第1接触面24における上端部に位置決めピン27が設けられるとともに、第2接触面33における上端部に、対応する位置決めピン27を嵌入可能な位置決め孔35が設けられている。このため、ユニット13,14を互いに接続する際に、各位置決めピン27を対応する位置決め孔35に嵌入することで、レーザ光Lの光軸と直交する方向における各ユニット13,14の位置決めを行うことができる。したがって、ユニット13,14をより一層精度よく接続することができる。
 (7)電気ケーブル37が接続端子部38に接続された状態で、万一、レーザ出射ユニット13からレーザ照射ユニット14が脱落するという異常事態が発生してしまった場合には、近接センサ36からの検出信号に基づいて制御部15が該異常事態を把握してレーザ発振器16の駆動を停止する。このため、レーザ光Lがレーザマーキング装置11の外側の予期せぬ方向へ照射されることを防止することができる。
 (8)レーザ出射ユニット13は、メインユニット12に収容されたレーザ発振器16から光ファイバケーブル17を介して伝送されるレーザ光Lを出射する。すなわち、レーザ出射ユニット13内にレーザ発振器16が配置されていないため、レーザ出射ユニット13の小型化に寄与することができる。
 (9)レーザ出射ユニット13は、光ファイバケーブル17におけるレーザ光Lの出射側の端部と、該光ファイバケーブル17から出射されるレーザ光Lのビーム径を拡大する拡散レンズ18と、該拡散レンズ18によってビーム径が拡大されたレーザ光Lを平行光にするコリメートレンズ23とを収容している。このため、レーザ出射ユニット13に対してレーザ照射ユニット14を付け替えた場合に、レーザ光Lの光軸の調整を不要とすることができる。
 (変更例)
 なお、上記実施形態は、次のように変更して具体化することも可能である。
 ・位置決めピン27及び位置決め孔35は省略されてもよい。
 ・凸部44の下面は必ずしも平面である必要はない。
 ・凹部28は、レーザ出射ユニット13の第1接続部19の両側面及び上面端部のうちのいずれか1箇所に配置されてもよい。この場合、凹部28は前方と、後方と、レーザ出射ユニット13の外方とにおいて開放される。さらにこの場合、レーザ照射ユニット14の第2接続部29における凸部44の位置も凹部28に合わせて変更する必要がある。
 ・凸部44の突出長さLBは、突出部20の突出長さLA以下であってもよい。
 ・突出部20及び収容部30は省略されてもよい。すなわち、出射光学系の一部を構成するコリメートレンズ23及び保護ガラス22は必ずしも第1接触面24よりも前方へ突出するように配置する必要はない。照射光学系の一部を構成する保護ガラス32は必ずしも第2接触面33よりも前方へ窪むように配置する必要はない。
 ・凹部28の後端は必ずしも開放する必要はない。
 ・レーザ出射ユニット13に凸部44が設けられるとともにレーザ照射ユニット14に凹部28が設けられてもよい。
 ・レーザ出射ユニット13に収容部30が設けられるとともにレーザ照射ユニット14に突出部20が設けられてもよい。
 ・レーザ出射ユニット13に位置決め孔35が設けられるとともにレーザ照射ユニット14に位置決めピン27が設けられてもよい。
 ・凸部44の角部に対して、面取り加工(C面取り加工)が施されてもよい。
 ・凸部44の少なくとも先端部に、先端(後端)に向かうほど左右方向(レーザ光Lの光軸と直交する方向)徐々に小さくなる幅を有するテーパ部が設けられてもよい。このようにすれば、凸部44における少なくともテーパ部の設けられた先端部(後端部)に凹部28の前端部を上方及び前方から容易に嵌合させることができる。
 ・突出部20の開口21を閉塞する保護ガラス22は省略されてもよい。この場合、突出部20の開口21をコリメートレンズ23で閉塞する必要がある。
 ・レーザ照射ユニット14の開口42を閉塞する保護ガラス43は省略されてもよい。この場合、開口42をfθレンズ41で閉塞する必要がある。
 ・レーザ発振器16は、レーザ出射ユニット13内に配置されてもよい。
 ・レーザ照射ユニット14は、該レーザ照射ユニット14の設置態様によって、上方や側方からレーザ光Lを照射するように構成されてもよい。
 ・上記実施形態では、本発明のレーザ加工装置は加工対象物Wの表面に文字や図形などをマーキング、即ち印字するレーザマーキング装置11に具体化されているが、これに限定されず、レーザ光を加工対象物に照射して加工、例えば切断加工を施すものであれば他のレーザ加工装置に具体化されてもよい。

Claims (10)

  1.  レーザ発振部と、
     前記レーザ発振部で発振されたレーザ光を出射する出射光学系を有するレーザ出射ユニットと、
     該レーザ出射ユニットに対して着脱可能に接続されるとともに、前記レーザ出射ユニットから出射される前記レーザ光を加工対象物に照射するための照射光学系を有するレーザ照射ユニットと
    を備えるレーザ加工装置であって、
     前記レーザ出射ユニットにおける前記レーザ照射ユニットとの接続箇所に設けられた第1接続部と、
     前記レーザ照射ユニットにおける前記レーザ出射ユニットとの接続箇所に設けられた第2接続部と、
     前記第1接続部及び第2接続部の一方に設けられ前記レーザ光の光軸に沿って突出する凸部と、
     前記第1接続部及び第2接続部の他方に設けられ前記凸部と嵌合可能であるとともに前記光軸に沿って前記凸部を摺動可能に案内する凹部とを備え、
     前記凹部は、光軸方向における少なくとも前記凸部と対向する方向と、前記光軸と交差する方向における外方とにおいて開放していることを特徴とするレーザ加工装置。
  2.  前記レーザ発振部を有するメインユニットを更に備え、
     前記レーザ出射ユニットは、前記メインユニットに対して光ファイバケーブルを介して接続されるとともに、前記レーザ発振部から前記光ファイバケーブルを介して伝送される前記レーザ光を出射することを特徴とする請求項1に記載のレーザ加工装置。
  3.  前記レーザ出射ユニットは、前記光ファイバケーブルにおける前記レーザ光を出射する端部と、該光ファイバケーブルから出射される前記レーザ光のビーム径を拡大する拡散レンズと、該拡散レンズによってビーム径の拡大された前記レーザ光を平行光にするコリメートレンズとを収容することを特徴とする請求項2に記載のレーザ加工装置。
  4.  前記出射光学系は、前記第1接続部から前記光軸に沿って前記レーザ照射ユニットへ向かって突出する突出部を有し、前記照射光学系の一部は、前記第2接続部から前記光軸に沿って前記出射光学系の前記突出部の突出方向へ向かって窪むように配置されていることを特徴とする請求項1~請求項3のうちいずれか一項に記載のレーザ加工装置。
  5.  前記凸部の突出長さは、前記出射光学系の前記突出部の突出長さよりも大きいことを特徴とする請求項4に記載のレーザ加工装置
  6.  前記凸部は、前記レーザ照射ユニットの下端部に配置され、
     前記凹部は、前記レーザ出射ユニットの下端部に配置されるとともに、前記レーザ出射ユニットの下方に開放していることを特徴とする請求項1~請求項5のうちいずれか一項に記載のレーザ加工装置。
  7.  前記凸部の下面は平面であることを特徴とする請求項6に記載のレーザ加工装置。
  8.  前記凸部は先端部を有し、少なくともその先端部は、前記レーザ光の光軸方向と直交する方向における幅が先端に向かうほど小さくなるテーパ部を有することを特徴とする請求項1~請求項7のうちいずれか一項に記載のレーザ加工装置。
  9.  前記レーザ照射ユニットの前記第2接続部に設けられ、前記レーザ出射ユニットの前記第1接続部との接続状態を検出する接続状態検出手段を更に備えることを特徴とする請求項1~請求項8のうちいずれか一項に記載のレーザ加工装置。
  10.  前記第1接続部及び前記第2接続部における前記凸部及び前記凹部の設けられた位置を除く位置に設けられ、前記レーザ出射ユニットと前記レーザ照射ユニットとを接続する際に、前記光軸方向と直交する方向において前記レーザ出射ユニットと前記レーザ照射ユニットとの位置決めを行う位置決め手段を更に備えることを特徴とする請求項1~請求項9のうちいずれか一項に記載のレーザ加工装置。
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