CN103140319A - 激光加工装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种激光打标装置，该装置具备：激光出射单元（13），将激光束出射；以及激光照射单元（14），可装卸地连接在该激光出射单元（13）上。激光照射单元（14）将从激光出射单元（13）出射的激光束向加工对象物照射。在激光照射单元（14）的、与激光出射单元（13）的连接部上设置有向后方突出的凸部（44）。在激光出射单元（13）的、与激光照射单元（14）的连接部上设置有可与凸部（44）嵌合的凹部（28）。凹部（28）向前方、后方、两个侧方、以及下方开放。

Description

激光加工装置

技术领域

本发明涉及一种通过将激光束照射在加工对象物上来进行加工的激光加工装置。

背景技术

以往的激光加工装置具备被光纤电缆相互连接的出射单元和激光照射单元。例如，参照专利文献1。出射单元收容有对激光束进行振荡的激光振荡器。激光照射单元具有用于将来自于激光出射单元的激光束照射在加工对象物上的照射光学系统、例如检流计反射镜（galvanomirror）和会聚透镜。

在这样的激光加工装置中，激光出射单元和激光照射单元具有各自独立的筐体。由此，例如，相对于激光出射单元以及光纤电缆，可以根据加工对象物的大小等，容易地只对激光照射单元进行更换。

然而，在这种激光加工装置中，由于激光束的光轴的偏移会很大程度地影响加工品质，所以在将激光出射单元和激光照射单元相互连接时，须要进行高精度地定位。所以，可以考虑在激光出射单元上设置定位销，并且在激光照射单元上设置用于插入并嵌合定位销的定位孔，由此来对激光出射单元和激光照射单元进行定位。

专利文献1：日本特开2004-351516号公报

然而，在采用了这样的构成的情况下，通过触摸的方式将定位销插入并嵌合到定位孔中。所以，如果定位销在一次定位中没有插入到定位孔中的话，定位销就会多次与定位孔的周边产生摩擦。因此，如果多次将激光照射单元向激光出射单元装卸的话，就会导致定位销被削去。其结果，由于激光出射单元与激光照射单元的定位精度下降，所以会出现激光束的光轴的位置精度下降的问题。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种即使反复将激光照射单元向激光出射单元装卸也能够维持激光束的光轴的位置精度的激光加工装置。

为了达成上述目的而提供一种激光加工装置，该装置具备：激光振荡部；激光出射单元，具有将由激光振荡部振荡产生的激光束出射的出射光学系统；以及激光照射单元，可装卸地连接在所述激光出射单元上，并且具有用于将从激光出射单元出射的激光束照射在加工对象物上的照射光学系统。激光加工装置具备：第1连接部，设置在激光出射单元的、与激光照射单元的连接部位上；第2连接部，设置在激光照射单元的、与激光出射单元的连接部位上；凸部，设置在第1连接部以及第2连接部的一方，并沿着激光束的光轴突出；以及凹部，设置在第1连接部以及第2连接部的另一方，并可与凸部嵌合且沿着光轴可滑动地引导凸部。凹部向光轴方向的至少与凸部对置的方向、以及与光轴交叉的方向的外侧开放。

基于上述构成，首先，在将两个单元相互连接时，凸部在与光轴交叉的方向上与凹部嵌合。然后，沿着光轴使两个单元以相互接近的形式移动，由此两个单元根据凸部与凹部的凹凸嵌合边被引导边相互接近。所以，不仅可以抑制第1连接部以及第2连接部的磨损，而且能够容易使第1连接部与第2连接部在高精度定位的状态下接触并连接。因此，即使反复将激光照射单元向激光出射单元装卸，也可以维持激光束的光轴的位置精度。

优选地，进一步具备包含激光振荡部的主单元，激光出射单元经由光纤电缆与主单元连接，并将从激光振荡部经由光纤电缆传送出的激光束出射。

基于上述构成，能够有助于激光出射单元的小型化。

优选地，激光出射单元收容有：端部，将光纤电缆的激光束出射；扩散透镜，将从所述光纤电缆出射的激光束的光束直径扩大；以及准直透镜，使光束直径被所述扩散透镜扩大的激光束成为平行光。

基于上述构成，在相对于激光出射单元对激光照射单元进行了更换的情况下，可无须对激光束的光轴进行调整。

优选地，出射光学系统具有从第1连接部沿着光轴朝激光照射单元突出的突出部，照射光学系统具有从第2连接部沿着光轴朝出射光学系统的突出部的突出方向凹下的收容部。

基于上述构成，在将激光照射单元和激光出射单元相互连接在一起时，出射光学系统的突出部分进入到照射光学系统的凹下部分。所以，能够缩短处于连接状态下的激光照射单元以及激光出射单元在光轴方向上的总长度。

优选地，凸部的突出长度比出射光学系统的突出部的突出长度大。

基于上述构成，在出射光学系统的突出部到达照射光学系统的收容部之前，凸部与凹部能够相互嵌合。因此，能够防止出射光学系统的突出部与激光照射单元碰撞。

优选地，凸部配置在激光照射单元的下端部上，凹部配置在激光出射单元的下端部上，并向激光出射单元的下方开放。

基于上述构成，能够使凹部从上方与凸部嵌合。所以，即使在激光照射单元以及激光出射单元较重的情况下，也可以容易地对激光照射单元和激光出射单元进行连接。

优选地，凸部的下表面为平面。

基于上述构成，通过适宜更改凸部的长度，能够在稳定的状态下将激光出射单元载置在设置面上。

优选地，凸部具有顶端部，至少该顶端部具有在与激光束的光轴方向正交的方向上的宽度越靠向顶端越小的锥形部。

基于上述构成，能够容易地将凸部嵌合在凹部内。

优选地，进一步具备连接状态检测单元，其设置在激光照射单元的第2连接部上，并对激光出射单元的第1连接部与激光照射单元的第2连接部的连接状态进行检测。

基于上述构成，在第1连接部与第2连接部的连接状态出现了异常情况时，可以立即了解该异常情况。

优选地，进一步具备定位单元，其设置在第1连接部以及第2连接部的、除了设置凸部以及凹部的位置之外的位置上，在将激光出射单元与激光照射单元连接时，所述定位单元在与光轴方向正交的方向上对激光出射单元和激光照射单元进行定位。

基于上述构成，通过定位单元，能够更高精度地对激光出射单元与激光照射单元进行连接。

基于本发明，能够提供一种即使反复将激光照射单元向激光出射单元装卸也可以维持激光束的光轴的位置精度的激光加工装置。

附图说明

图1是示意图，其表示本发明的一个实施方式的激光加工装置的整体结构。

图2是立体图，其表示图1的激光加工装置的激光出射单元。

图3是立体图，其表示图1的激光加工装置的激光照射单元。

图4是示意图，其表示被卸下的激光出射单元以及激光照射单元。

图5是主要部立体图，其表示激光出射单元和激光照射单元的连接状态。

具体实施方式

以下，参照附图，对将本发明的激光加工装置具体化为激光打标装置的一个实施方式进行说明。另外，在以下的说明中，在对“前后方向”、“左右方向”、“上下方向”进行说明时，将图1中的箭头所示的前后方向、左右方向、以及上下方向定义为各自所示的方向。在这种情况下，左右方向对应于与纸面正交的方向，并将从纸面向跟前侧的方向定义为右方向。

如图1所示，激光打标装置11具备主单元12、激光出射单元13、以及激光照射单元14，该主单元12具有各自独立的筐体。主单元12对控制部15和激光振荡部、即激光振荡器16进行收容，该控制部15对整个装置的运行状态进行控制，该激光振荡器16对激光束L进行振荡。控制部15与激光振荡部16电气连接，并且对该激光振荡器16的驱动进行控制。

主单元12经由光纤电缆17从后侧与激光出射单元13连接。激光照射单元14从主单元12的相反侧的前侧可装卸地与激光出射单元13直接连接。

光纤电缆17从激光振荡器16向激光出射单元13延伸。该光纤电缆17的顶端朝前方笔直地插入到激光出射单元13的后部内。从激光振荡器16振荡产生的激光束L在激光出射单元13内从光纤电缆17的顶端朝前方笔直地出射。激光出射单元13收容有：扩散透镜18，用于使从光纤电缆17的顶端出射的激光束L扩散；以及准直透镜23，用于使被扩散透镜18扩散的激光束L成为具有预定的出射直径（光束直径）的平行光。也就是说，扩散透镜18和准直透镜23构成光束扩散器。

如图1以及图2所示，在激光出射单元13的、与激光照射单元14的连接部（即第1连接部19）的中央部上设置有圆筒状的突出部20，该突出部20沿着激光束L的光轴方向（即前后方向）朝前侧（即激光照射单元14）突出。突出部20的顶端（即前端的开口21）被圆板状的防护玻璃22闭塞。突出部20的后端在激光出射单元13内开口。在突出部20内配置有准直透镜23。

在实施方式中，扩散透镜18、准直透镜23、以及防护玻璃22构成出射光学系统，该出射光学系统将从激光振荡器16振荡生成的激光束L向激光照射单元14出射。由于准直透镜23以及防护玻璃22设置在突出部20上，所以出射光学系统的一部分从第1连接部19沿着激光束L的光轴朝激光照射单元14突出。

第1接触面24为激光出射单元13的第1连接部19的、与激光照射单元14的接触面，并且形成为与垂直面平行的面。第1接触面24为矩形框状，并将突出部20围绕。在第1接触面24的四个角落分别形成有螺栓插通孔26。用于将激光出射单元13固定在激光照射单元14上的固定螺栓25分别插通在螺栓插通孔26中。另外，在第1接触面24上部的左右2个螺栓插通孔26之间设置有向前方笔直地突出的左右一对定位销27。

在激光出射单元13的第1连接部19的下端部上设置有凹部28。凹部28向前方、后方、以及下方开放。另外，突出部20具有以第1接触面24为基准的突出长度LA。凹部28具有沿着前后方向延伸的通道状的槽。

如图1以及图3所示，在激光照射单元14的、与激光出射单元13的连接部上形成有第2连接部29。在第2连接部29的、与激光出射单元13的突出部20相对应的位置上设置有用于对该突出部20进行收容的圆筒状的收容部30。收容部30前端的开口31被圆板状的防护玻璃32闭塞。收容部30的后端为了插入激光出射单元13的突出部20而开放。防护玻璃22、32在前后方向上以相互接近的状态对置。

如图1～图3所示，激光照射单元14的第2连接部29的、与激光出射单元13的接触面具有与垂直面平行的第2接触面33。也就是说，第2接触面33与第1接触面24相对应。在第2接触面33的、与各个螺栓插通孔26相对应的位置上分别形成有能够螺入固定螺栓25的螺栓孔34。在第2接触面33的、与各个定位销27相对应的位置上形成有可分别嵌入各个定位销27的定位孔35。

在这种情况下，由于定位孔35中位于左侧的定位孔35由沿着左右方向延伸的长孔形成，所以容许被嵌入的定位销27在左右方向上略作移动。另外，在实施方式中，定位销27以及定位孔35构成定位单元，该定位单元在与激光束L的光轴正交的方向上对激光出射单元13和激光照射单元14进行定位。

在第2接触面33的定位孔35中位于右侧的定位孔35、与螺栓孔34中位于右上方的螺栓孔34之间的位置上设置有作为连接状态检测单元的接近传感器36，该接近传感器36与该第2接触面33齐平地露出。接近传感器36对激光出射单元13与激光照射单元14的连接状态进行检测。在激光照射单元14的第2接触面33的上侧设置有连接端子部38，该连接端子部38用于装卸自如地与从控制部15延伸出的电力电缆37连接。

连接端子部38与接近传感器36以及配置在激光照射单元14内的检流计电动机（galvano motor）39电气连接。因此，控制部15经由电力电缆37以及连接端子部38而与接近传感器36以及检流计电动机39电气连接。控制部15在根据从接近传感器36发送出的检测信号而判断出激光出射单元13与激光照射单元14的连接状态有异常时停止激光振荡器16的驱动，并且对检流计电动机39的驱动进行控制。

在激光照射单元14内的防护玻璃32的前方配置有一对检流计反射镜40。一对检流计反射镜40使透过防护玻璃32并入射到激光照射单元14内的激光束L向下方反射。也就是说，激光束L在被检流计反射镜40中的一方反射之后，被检流计反射镜40的另一方朝下方反射。各个检流计反射镜40被检流计电动机39转动。通过驱动检流计电动机39可更改各个检流计反射镜40与激光束L的角度，由此可更改经由各个检流计反射镜40的激光束L的反射方向。

在检流计反射镜40的下方设置有fθ透镜（会聚透镜）41。fθ透镜41使被检流计反射镜40反射的激光束L在加工对象物W的表面上会聚成具有预定的光点直径的范围为止并使其提高至适于打标加工的能量密度为止。在激光照射单元14的下端部的、与fθ透镜41相对应的位置上形成有开口42。该开口42被圆板状的防护玻璃43闭塞。因此，通过由控制部15对检流计电动机39的驱动进行控制，可改变各个检流计反射镜40与激光束L的角度，从而照射在加工对象物W上的激光束L沿着该加工对象物W的表面进行二维扫描。由此，在加工对象物W的表面上打标、即印刷有文字或者图形等。

在实施方式中，防护玻璃32、检流计反射镜40、fθ透镜41、以及防护玻璃43构成将从激光出射单元13出射的激光束L照射在加工对象物W上的照射光学系统。由于防护玻璃32位于收容部30的前端，所以照射光学系统的一部分配置为从第2连接部29沿着激光束L的光轴朝突出部20的突出方向（前方向）凹下。

在激光照射单元14的第2连接部29的下端部、即比第2接触面33更靠下方的位置上设置有凸部44。凸部44配置在与激光出射单元13的凹部28相对应的位置上。凸部44形成为向后方笔直延伸的长方体。凸部44能够从前方以及下方与凹部28嵌合，并且能够沿着前后方向在凹部28内滑动。凸部44的下表面为平面（平坦面）。凸部44具有以第2接触面33为基准向后方突出的突出长度LB。凸部44的突出长度LB设定得要比突出部20的突出长度LA大。另外，凹部28的前后方向的长度设定得要比凸部44的突出长度LB稍大。

接着，对将激光出射单元13和激光照射单元14连接时的作用加以说明。

在将激光出射单元13和激光照射单元14连接的情况下，如图4所示，首先，激光出射单元13与激光照射单元14配置为，在前后方向上第1连接部19与第2连接部29对置。接着，将凹部28的前端部由上往下地放置在凸部44的后端部（顶端部）上而使彼此嵌合。由此，激光照射单元14的第2连接部29高精度地与激光出射单元13的第1连接部19对置。

这时，由于凸部44的突出长度LB要比突出部20的突出长度LA大，所以突出部20在不与第2连接部29碰撞的状态下与收容部30对置。接着，激光出射单元13与激光照射单元14被移动为，在前后方向上相互靠近。这时，激光出射单元13以及激光照射单元14一边维持凸部44与凹部28的凹凸嵌合一边移动。

在使这些单元13、14移动直至单元13、14彼此接触为止时，接触面24、33彼此接触，并且在前后方向上整个凸部44被收容在凹部28内（参照图5）。这时，在各个单元13、14移动时，凸部44和凹部28起到引导的作用。所以，突出部20可高精度地插入到收容部30内，并且各个定位销27可高精度地嵌入到相对应的定位孔35中。通过使各个定位销27与相对应的定位孔35嵌合，单元13、14彼此在与激光束L的光轴方向（前后方向）正交的方向上被高精度地定位。因此，螺栓插通孔26与相对应的螺栓孔34分别在前后方向上高精度地相互重叠。

接着，在将各个固定螺栓25分别插通在相对应的螺栓插通孔26中的状态下，各个固定螺栓25被螺入至相对应的螺栓孔34中。于是，通过固定螺栓25，单元13、14以固定状态被相互连接。之后，从控制部15延伸出的电力电缆37与连接端子部38连接。

这样，在将单元13、14相互连接时，在使凸部44与凹部28嵌合之后，再使第1接触面24与第2接触面33接触。由此，由于能够抑制因以前后方向为中心的各个单元13、14的摇动而产生的偏移，所以能够容易地将各个定位销27嵌入至各个定位孔35中。也就是说，几乎不需要以一边使各个定位销27在第2接触面33上滑动一边通过触摸这样的方式来使其嵌入到相对应的定位孔35中。因此，由于能够防止各个定位销27与第2接触面33进行不必要的摩擦，所以能够抑制各个定位销27的磨损。因此，即使反复将激光照射单元14向激光出射单元13装卸，也可以维持各个单元13、14在连接时的位置精度。所以，能够维持激光束L的光轴的位置精度。

另外，如果各个定位销27磨损的话，在将各个定位销27嵌入到相对应的定位孔35时的游隙就会变大。所以，会出现单元13、14在连接时的位置精度下降、进而激光束L的光轴的位置精度下降的问题。

另外，在电力电缆37被连接在连接端子部38上的状态下，如果出现了激光照射单元14从激光出射单元13脱落的异常情况时，控制部15根据来自于接近传感器36的检测信号来了解该异常情况并且停止该激光振荡器16的驱动。所以，能够防止激光束L向激光打标装置11外侧的无法预料的方向照射。

基于以上所述的实施方式，能够获得以下的效果。

（1）在将单元13、14相互连接时，在使凸部44从下方与凹部28嵌合之后，再沿着前后方向使单元13、14以相互接近的形式移动。由此，单元13、14根据凸部44与凹部28的凹凸嵌合边被引导边相互接近。在这种情况下，在将凸部44嵌合在凹部28中时，可以防止凸部44与凹部28的前面（与激光照射单元14对置的面）碰撞。所以，可以防止凹部28的前面受损或者凹陷。从而，不仅能够防止第1连接部19与第2连接部29互相摩擦，而且能够容易使这些连接部19、29在高精度定位的状态下接触并连接。因此，即使反复将激光照射单元14向激光出射单元13装卸，也可以维持激光束L的光轴的位置精度。

（2）在将单元13、14连接在一起时，突出部20进入到收容部30内。所以，能够缩短处于连接状态下的激光出射单元13以及激光照射单元14在前后方向（激光束L的光轴方向）上的总长度，进而能够有助于激光打标装置11的小型化。

（3）由于凸部44的突出长度LB比突出部20的突出长度LA大，所以在将单元13、14相互连接时，能够在突出部20插入到收容部30之前使凸部44嵌合在凹部28中。所以，能够防止突出部20与第2连接部29碰撞。

（4）凹部28位于激光出射单元13的下端部，并且向下方开放。凸部44位于激光照射单元14的下端部。所以，能够使凹部28从上方与凸部嵌合。因此，即使在各个单元13、14较重的情况下，也可以容易地将单元13、14相互连接。

（5）由于位于激光照射单元14的下端部上的凸部44的下表面为平面，所以能够在稳定的状态下将激光照射单元14载置在设置面上。

（6）在第1接触面24的上端部上设置有定位销27，并且在第2接触面33的上端部上设置有能够嵌入相对应的定位销27的定位孔35。所以，可以在将单元13、14相互连接时，通过将各个定位销27嵌入到相对应的定位孔35中，而在与激光束L的光轴正交的方向上对各个单元13、14进行定位。因此，能够更高精度地对单元13、14进行连接。

（7）在电力电缆37被连接在连接端子部38上的状态下，如果出现了激光照射单元14从激光出射单元13脱落的异常情况时，控制部15根据来自于接近传感器36的检测信号来了解该异常情况并且停止激光振荡器16的驱动。所以，能够防止激光束向激光打标装置11外侧的无法预料的方向照射。

（8）激光出射单元13将从收容在主单元12内的激光振荡器16经由光纤电缆17传送出的激光束L出射。也就是说，由于激光振荡器16没有配置在激光出射单元13内，所以能够有助于激光出射单元13的小型化。

（9）激光出射单元13收容有：光纤电缆17的激光束L的出射侧的端部；扩散透镜18，将从所述光纤电缆17出射的激光束L的光束直径扩大；以及准直透镜23，使光束直径被所述扩散透镜18扩大的激光束L成为平行光。所以，在相对于激光出射单元13对激光照射单元14进行了更换的情况下，可无须对激光束L的光轴进行调整。

（变更例）

另外，上述实施方式也可以更改并具体化为以下的形式。

·也可以省略定位销27以及定位孔35。

·凸部44的下表面并不仅限于平面。

·凹部28也可以配置在激光出射单元13的第1连接部19的两个侧面、以及上面端部中的任意1处。在这种情况下，凹部28向前方、后方、和激光出射单元13的外侧开放。进一步，在这种情况下，激光照射单元14的第2连接部29的凸部44的位置也需要配合凹部28做出相应更改。

·凸部44的突出长度LB也可以小于等于突出部20的突出长度LA。

·也可以省略突出部20以及收容部30。也就是说，构成出射光学系统的一部分的准直透镜23以及防护玻璃22并不一定配置为比第1接触面24更向前方突出的形式。构成照射光学系统的一部分的防护玻璃32并不一定配置为比第2接触面33更向前方凹陷的形式。

·凹部28的后端并不一定需要开放。

·也可以在激光出射单元13上设置凸部44，并且在激光照射单元14上设置凹部28。

·也可以在激光出射单元13上设置收容部30，并且在激光照射单元14上设置突出部20。

·也可以在激光出射单元13上设置定位孔35，并且在激光照射单元14上设置定位销27。

·也可以凸部44的角部实施倒角加工（C倒角加工）。

·也可以设置为，至少在凸部44的顶端部上设置锥形部，该锥形部具有越靠向顶端（后端）左右方向（与激光束L的光轴正交的方向）就逐渐变小的宽度。以这种形式进行实施的话，能够容易地使凹部28的前端部从上方以及前方与凸部44上的、至少设置有锥形部的顶端部（后端部）嵌合。

·也可以省略对突出部20的开口21进行闭塞的防护玻璃22。在这种情况下，须要由准直透镜23来对突出部20的开口21进行闭塞。

·也可以省略对激光照射单元14的开口42进行闭塞的防护玻璃43。在这种情况下，须要由fθ透镜41来对开口42进行闭塞。

·激光振荡器16也可以配置在激光出射单元13内。

·激光照射单元14也可以构成为，根据该激光照射单元14的设置形态，从上方或者侧方照射激光束L。

·虽然在上述实施方式中，本发明的激光加工装置具体化为在加工对象物W的表面上打标、即印刷文字或者图形等的激光打标装置11，然而并不仅限于此，只要是将激光束照射在加工对象物来进行加工，也可以具体化为其他的激光加工装置、例如实施切断加工的装置。

Claims (10)

1.一种激光加工装置，具备：

激光振荡部；

激光出射单元，具有将由所述激光振荡部振荡产生的激光束出射的出射光学系统；以及

激光照射单元，可装卸地连接在所述激光出射单元上，并且具有用于将从所述激光出射单元出射的所述激光束照射在加工对象物上的照射光学系统，

所述激光加工装置的特征在于，具备：

第1连接部，设置在所述激光出射单元的、与所述激光照射单元的连接部位上；

第2连接部，设置在所述激光照射单元的、与所述激光出射单元的连接部位上；

凸部，设置在所述第1连接部以及所述第2连接部的一方，并沿着所述激光束的光轴突出；以及

凹部，设置在所述第1连接部以及所述第2连接部的另一方，并可与所述凸部嵌合且沿着所述光轴可滑动地引导所述凸部，

所述凹部向光轴方向的至少与所述凸部对置的方向、以及与所述光轴交叉的方向的外侧开放。

2.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，

进一步具备包含所述激光振荡部的主单元，

所述激光出射单元经由光纤电缆与所述主单元连接，并将从所述激光振荡部经由所述光纤电缆传送出的所述激光束出射。

3.根据权利要求2所述的激光加工装置，其特征在于，

所述激光出射单元收容有：端部，将所述光纤电缆的所述激光束出射；扩散透镜，将从所述光纤电缆出射的所述激光束的光束直径扩大；以及准直透镜，使光束直径被所述扩散透镜扩大的所述激光束成为平行光。

4.根据权利要求1～3中任意一项所述的激光加工装置，其特征在于，

所述出射光学系统具有从所述第1连接部沿着所述光轴朝所述激光照射单元突出的突出部，所述照射光学系统的一部分配置为，从所述第2连接部沿着所述光轴朝所述出射光学系统的所述突出部的突出方向凹下。

5.根据权利要求4所述的激光加工装置，其特征在于，

所述凸部的突出长度比所述出射光学系统的所述突出部的突出长度大

6.根据权利要求1～5中任意一项所述的激光加工装置，其特征在于，

所述凸部配置在所述激光照射单元的下端部上，

所述凹部配置在所述激光出射单元的下端部上，并向所述激光出射单元的下方开放。

7.根据权利要求6所述的激光加工装置，其特征在于，

所述凸部的下表面为平面。

8.根据权利要求1～7中任意一项所述的激光加工装置，其特征在于，

所述凸部具有顶端部，至少该顶端部具有在与所述激光束的光轴方向正交的方向上的宽度越靠向顶端越小的锥形部。

9.根据权利要求1～8中任意一项所述的激光加工装置，其特征在于，

进一步具备连接状态检测单元，其设置在所述激光照射单元的所述第2连接部上，并对所述激光出射单元的所述第1连接部与所述激光照射单元的所述第2连接部的连接状态进行检测。

10.根据权利要求1～9中任意一项所述的激光加工装置，其特征在于，

进一步具备定位单元，其设置在所述第1连接部以及所述第2连接部的、除了设置所述凸部以及所述凹部的位置之外的位置上，在将所述激光出射单元与所述激光照射单元连接时，所述定位单元在与所述光轴方向正交的方向上对所述激光出射单元和所述激光照射单元进行定位。

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