JPH0618741A - 複数の光導波路間の光結合形成装置 - Google Patents

複数の光導波路間の光結合形成装置

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JPH0618741A
JPH0618741A JP5109823A JP10982393A JPH0618741A JP H0618741 A JPH0618741 A JP H0618741A JP 5109823 A JP5109823 A JP 5109823A JP 10982393 A JP10982393 A JP 10982393A JP H0618741 A JPH0618741 A JP H0618741A
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recess
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optical
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JP5109823A
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Franz Auracher
アウラツヒアー フランツ
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Siemens AG
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 第１のスポット直径の光波を導く複数の第１
の光導波路と第２のスポット直径の光波を導く複数の第
２の光導波路との間の光結合を高い位置精度及び良好な
結合効率で形成する装置を提供する。 【構成】 支持体が、第１及び第２の導波路１、２の向
かい合う端面１１と１２の間に配置され第１の導波路１
に向かう板面４１及び第２の導波路２に向かう板面４２
を備える板４から成り、レンズ３の保持のための凹所４
０が板４の少なくとも一方の板面４１、４２上に形成さ
れて、板４の一方の板面４１、４２から他方の板面４２
又は４１の方向へ円錐形に直径が細くなる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、請求項１又は２の前
文に記載の複数の第１の光導波路と複数の第２の光導波
路との間の光結合形成装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】光集積回路又はプレーナ光導波路回路又
はハイブリッド形光回路においては、多くの場合軸線の
間に等しい間隔で複数の導波路をガラスファイバ又は別
の光導波路回路に結合するという課題がしばしば生じ
る。しかしこの課題の達成は、用いられた導波路中を導
かれる光波のスポット直径が非常に小さく、また結合す
べきガラスファイバ又は第２の光導波路回路中を導かれ
る光波のスポット直径に適合しないときには、特に困難
である。
【０００３】１．３〜１．５μｍの波長のための単一モ
ードガラスファイバ中を導かれる光波の典型的なスポッ
ト直径は約１０μｍである。これに対して特にIII/Ｖ材
料系（GaAlAs、InGaAsP ）での光集積回路の導波路は一
般に２μｍのスポット直径を有する。良好な結合効率を
達成するためには、スポット直径を例えば光学レンズ又
はファイバのテーパ部により相互に適合させ、かつスポ
ットの位置を相互に非常に正確に調節しなければならな
い。例えば前記スポット直径に対しては、光集積回路の
導波路の軸線の横方向調節はレンズ又はテーパ部により
縮小されたファイバスポットに関して約±０．５μｍの
精度が要求され、他方では軸線方向に対しては約２μｍ
の精度で十分である。
【０００４】光集積回路の複数の導波路と複数のガラス
ファイバとの間の光結合形成のために用いられる請求項
１の前文に記載の装置が知られている。この装置におい
てはファイバが支持体の表面上に形成されたＶ字形溝中
に配置されて保持されている。その際ファイバは表面の
稜縁の前で終わり、その結果ファイバの端面がこの稜縁
から間隔を置いて配置されるように保持されている。稜
縁とファイバの端面との間には表面上に端面から間隔を
置いて、球レンズを収容かつ保持する凹所が形成されて
いる。これらの各凹所は方形の断面を有し、表面に対し
直角な方向へ支持体の内部へ向かって角錐形に最大直径
からゼロより大きい最小直径へ細くなっている。ファイ
バの各端面とこの端面の前に形成された円錐形の凹所と
の間には結合溝が支持体の表面上に形成され、この結合
溝がこの凹所中に保持された球レンズとこの端面との間
の光波の妨げられない伝搬を保証している。
【０００５】光集積回路の導波路は導波路が集積されて
いる基板の表面の稜縁で終わるので、これらの導波路の
端面はこれらの稜縁上に存在する。光集積回路の稜縁
は、光集積回路の導波路の各端面がファイバの端面と向
かい合い、その際相互に向かい合う端面の各対の間に球
レンズが設けられるように、ファイバの支持体の稜縁と
向かい合わせに配置される。
【０００６】この公知の装置におけるファイバの支持体
はシリコンから成り、このシリコン中にＶ字形溝、結合
溝及び円錐形の凹所が異方性エッチングにより作られ
る。エッチングされたパターンの幅及び深さは一般に約
１μｍの精度に保持することができる。この精度はレン
ズに関するファイバの位置決めに対しては十分である。
しかし光集積回路の軸線に関するレンズの位置精度に関
しては約０．５μｍの精度が要求される。またエッチン
グパターンの加工のために用いられるマスクのアンダカ
ット、又はシリコンから成る支持体の表面にわたる不均
一なエッチング速度が、球レンズの中心点の目標位置か
らの著しく大きい偏差を招く。そのためにこの方法は、
課せられた極度の公差要求を満たすのに適していない。
更に導波路の詰め込み密度が２５０μｍ以下の直径を有
する比較的大きい球レンズにより制限されるという欠点
がある。
【０００７】光集積回路の複数の導波路と複数のガラス
ファイバとの間の光結合形成装置も既に提案されてお
り、この装置では光集積回路の導波路の各端面に端面へ
向かってテーパ形に細くなるファイバ端部の端面が、向
かい合っている。
【０００８】この装置においては、ファイバのテーパ形
の端部が支持体の表面の稜縁を越えて自由に突出するよ
うに、ファイバが支持体の表面上のＶ字形溝の中に配置
されかつ保持されている。テーパ形の端部の端面の位置
は孔付きマスクにより規定される。この孔付きマスク
は、光集積回路の導波路とファイバとの間に配置され導
波路に向かう板面及びファイバに向かう板面を備える板
から成り、その際この板上には一方の板面から他方の板
面へ貫通する孔が形成され、これらの孔はファイバに向
かう板面から光集積回路の導波路に向かう板面の方向
へ、ファイバの直径より大きい最大直径からテーパ形端
部の端面の直径以下である最小直径へ円錐形に細くな
る。
【０００９】板は貫通する円錐形の孔が異方性エッチン
グにより作られたシリコンダイスから成る。この装置の
長所は孔中心をプレーナ技術により非常に正確に規定で
きるということにある。目標位置からの孔中心の横方向
偏差は、角錐形の孔の側面が異なる速さでエッチングさ
れる（孔の位置は光集積回路の導波路と反対側のシリコ
ンダイス板面上で規定される）か、又は用いられたエッ
チングマスクが非対称にアンダカットされることにより
生じるおそれがある。またテーパ形の端部の端面又は先
端の位置の最大誤差は、少なくとも１μｍの小さいくぼ
みがテーパ形の端部と板との接触個所の孔の中に存在す
るか、又はテーパ形端部自体が非対称性を有するときに
生じるおそれがあり、これは特に問題となる。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】この発明の課題は、第
１のスポット直径を有する各一つの光波を導く第１の光
導波路と第１のスポット直径とは異なる第２のスポット
直径を有する各一つの光波を導く第２の光導波路との間
の光結合を、高い位置精度及び良好な結合効率で可能に
するような、複数の第１の導波路と複数の第２の導波路
との間の光結合形成装置を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】この課題はこの発明に基
づき、支持体が、第１及び第２の導波路の向かい合う端
面の間に配置され第１の導波路に向かう板面及び第２の
導波路に向かう板面を備える板から成り、レンズの保持
のための凹所が板の少なくとも一つの板面上に形成され
て、板の一方の板面から他方の板面の方向へ円錐形に直
径が細くなるか、又は支持体が、第１及び第２の導波路
の向かい合う端面の間に配置され第１の導波路に向かう
板面及び第２の導波路に向かう板面を備え第１及び第２
の導波路中を導かれる光波の波長に対して透明な材料の
板から成り、各光学レンズが板の少なくとも一つの板面
上に配置又は形成された平面レンズから成ることにより
解決される。
【００１２】この発明に基づく装置は、導波路中を導か
れる光波のスポット直径が等しいような、複数の第１の
光導波路と複数の第２の光導波路との間の光結合形成の
ためにも用いることができるので有利である。
【００１３】
【実施例】次にこの発明に基づく光結合形成装置の複数
の実施例を示す図面により、この発明を詳細に説明す
る。
【００１４】各図は実際の寸法に比例していない。すべ
ての図において例として、第１の導波路は光集積回路の
導波路であり第２の導波路は光ファイバ又は（別の光集
積回路の）別の導波路回路の導波路であるということが
前提となっている。同様にファイバを第１の導波路とし
光集積回路の導波路を第２の導波路とすることもでき
る。またすべての図において例として、第１の導波路が
この発明に基づき支持体として作用する板の左側に配置
され第２の導波路が右側に配置されているということが
前提となっている。同様に第１の導波路をこの板の右側
に配置し第２の導波路を左側に配置することもできる。
なお図によっては導波路が適宜省略されている。
【００１５】図１に示す第１の実施例の場合には、板４
の第１の導波路に向かう板面４１が、この板面４１から
第２の導波路２に向かう他方の板面４２の方向へ円錐形
に最大直径Ｄ1 からゼロより大きい最小直径Ｄ2 へ直径
が細くなる複数の凹所４０を有する。他方の板面４２は
凹所を有しない。
【００１６】板４はシリコン又は異方性エッチング可能
な別の材料から成るのが有利である。異方性エッチング
により板面４１上に掘り込まれた凹所４０は角錐台形で
あり、第６図に示すように平面図では正方形である。
【００１７】各凹所４０中には、凹所４０の最大直径Ｄ
1 より小さい直径Ｄ3 を有する球レンズが配置されてい
る。
【００１８】ファイバにより形成された第２の導波路２
の端面１２は、板４の他方の板面４２に突き合わせ接続
される。
【００１９】第１及び第２の導波路１、２の向かい合う
端面１１と１２の間隔Ｄ、並びにこれらの端面１１と１
２の間に配置された球レンズ３の直径Ｄ3 及び位置は、
導波路１中を導かれる光波のスポット直径ｄ1 がレンズ
３により第２の導波路２中を導かれる光波のスポット直
径ｄ2 に適合させられるように寸法を選択されている。
その際板４の材料は板４がこの光波の波長に対して透明
であるように選択すべきである。球レンズ３は例えば２
５０〜５００μｍの直径Ｄ3 を有する。また球レンズは
ファイバテーパ部よりも著しく高い再現度をもって製造
可能であるという長所を有する。
【００２０】図２に示す第２の実施例は、凹所４０が一
方の板面から他方の板面へ貫通する孔により規定され、
この貫通孔は板４の板面４１から他方の板面４２の方向
へ最初は最大直径Ｄ1 から最小直径Ｄ2 へ円錐形に細く
なり、この個所から再び他方の板面４２上の最大直径Ｄ
1 へ広がることで、図１に示す実施例と異なっている。
板４の他方の板面４２上の最大直径Ｄ1 はファイバの形
の第２の導波路２の直径より大きく選ばれ、その結果こ
の導波路２が貫通する孔中へ突入しそれにより比較的良
好に心出しできるので合目的的である。この第２の実施
例の場合には、板４が第１及び第２の導波路１、２中を
導かれる光波の波長に対し透明であることは必要でな
い。最小直径Ｄ2 はその際、当該導波路から出射される
光波がこの直径中を妨げられずに伝搬できるように寸法
を選択すべきである。
【００２１】図３に示す第３の実施例は、一方の板面４
１上ばかりでなく他方の板面４２上にも凹所４０が形成
され、これらの凹所は対を成して向かい合い板４の材料
から成る壁４３により相互に隔離されていることによ
り、第１図に示す第１の実施例と異なっている。更に板
４の一方の板面４１上の凹所４０中ばかりでなく他方の
板面４２上の凹所中にもそれぞれ球レンズ３が配置され
ている。対を成して向かい合う凹所４０中に配置された
各対の球レンズ３は、第１及び第２の導波路１、２の向
かい合う端面１１、１２のための２レンズ結像系を形成
し、これらの端面の間にこの対の球レンズ３が配置され
ている。この種の系の寸法選択に際しては大きい自由度
が存在する。
【００２２】図３に示す実施例では、板４の他方の板面
４２上の球レンズが一方の板面４１上の球レンズ３より
大きく形成されている。なぜならばファイバの形の第２
の導波路２中を導かれる光波のスポット直径が第１の導
波路１中を導かれる光波のスポット直径より大きいから
である。それに応じて板４の他方の板面４２上の凹所４
０の最大直径Ｄ1 も一方の板面４１上の凹所４０の最大
直径Ｄ1 より大きく選ぶべきである。
【００２３】図３に示す実施例では、他方の板面４２上
のすべての凹所４０の最小直径Ｄ2も一方の板面４１上
のすべての凹所４０の最小直径Ｄ2 より大きい。
【００２４】図４に示す第４の実施例は、図３に示す第
３の実施例の板４の代わりに図２に示す第２の実施例に
よる板４が選ばれていることだけにより、図３に示す第
３の実施例と異なっている。図３に示す第３の実施例の
場合には板４の材料が導波路１、２中を導かれる光波に
対して透明でなければならないが、このことは図４に示
す第４の実施例の板４の材料に対しては必要でない。図
２に示す第２の実施例の場合には板４の他方の板面４２
からファイバが凹所４０中へ突入するが、図４に示す第
４の実施例の場合には他方の板面４２上に球レンズ３が
二重円錐形の貫通孔の形の凹所４０中に配置されてい
る。
【００２５】図１ないし図４に示す実施例は、凹所４０
により与えられる格子寸法をまさに正確に維持できると
いう長所を有する。角錐台形にエッチングされた凹所４
０中の球レンズ３と板４との接触点はこの板４の内部に
存在するので、板４の板面４１又は４２のくぼみはレン
ズ３の心出しに影響を有しない。更に球レンズはファイ
バテーパ部より著しく良好に再現可能に製造できる。
【００２６】図５及び図６に示す第５の実施例の場合に
は、板５の第１の導波路１に向かう一方の板面５１では
なく第２の導波路２に向かう板面５２が複数の凹所４０
を有し、これらの凹所のうちただ一つの凹所が図示され
ている。一方の板面５１上にはこの凹所４０に向かっ
て、厳密に言えばこの凹所４０の最小直径Ｄ2 の底面４
４に向かって、平面レンズ３例えばフレネルレンズ又は
ホログラムが配置され、この平面レンズは直接一方の板
面５１上に取り付けることができる。最も簡単な場合に
はフレネルゾーンプレートを用いることができる。この
方法は、レンズ中心の位置を光集積回路の第１の導波路
１の精度と同じ０．１〜０．２μｍの精度に維持できる
ことを保証する。板５の第２の導波路２に向かう板面５
２上の凹所４０をこの第２の導波路２の精密位置決めの
ために用いることができる。このために各凹所４０の最
大直径Ｄ1 を第２の導波路２の外径Ｄ4 より大きくしな
ければならない。最小直径Ｄ2 はこの外径Ｄ4 以下とす
るのが合目的的である。精密位置決めのために第２の導
波路２の端面１２が凹所４０の斜めの側面と接触するま
で当該凹所中に導入される。平面レンズ３と第２の導波
路２の端面１２との間に残っている板５の壁が結像誤差
を引き起こさないために、凹所４０の底面４４は極めて
平滑でありかつ第１の導波路１に向かう板面５１に完全
に面平行でなければならない。このことは図１及び図３
に示す装置に対しても成り立つ。このことを保証しかつ
同時にエッチング深さを正確に守るために、板は凹所４
０の底面４４の深さまでホウ素をドープされるか又はｐ
ｎ接合を作り込まれる。そして適当なエッチング液によ
り、エッチングがドーパントの所定の濃度で終了するこ
とが達成される。平面レンズ３は円錐形の凹所４０の底
面４４上に取り付けることもできる。
【００２７】図７に示す第６の実施例の場合には、板５
の第２の導波路２に向かう板面５２上の凹所４０による
第２の導波路２の精密位置決めが省略されている。この
実施例の場合には板５の第１及び第２の導波路１、２に
向かう板面５１、５２が全く凹所を有しない。第２の導
波路２の端面１２が突き合わせにより板５の第２の導波
路２に向かう板面５２に当接するにすぎない。この装置
は図４に示す装置を除く他のすべての装置と同様に、異
なるスポット直径を備える第２の導波路回路（光集積回
路）を結合するのに適している。
【００２８】ファイバの形の第２の導波路２の格子間隔
を維持するために、第２の導波路２をすべての実施例に
おいて図８に示す固定兼支持体７の表面上に、例えばシ
リコンから成る固定兼支持体７のエッチングされたＶ字
形溝中に固定するのが合目的的である。特に図８に示さ
れていないレンズ３の格子状配置に対する第２の導波路
２の自動調節を可能にする補助的な措置を講じると有利
である。このことは例えば、板４又は５の第２の導波路
２に向かう板面４２又は５２上に、小さい球４７を収容
する錐形例えば角錐形の凹所４６がエッチングされ、球
４７が固定兼支持体７の適当にエッチングされた溝７１
に適合し、板４又は５と固定兼支持体７とを寄せ合わせ
た際に球４７と溝７１が噛み合うようにすることにより
達成できる。
【００２９】板４又は５あるいは第２の導波路のための
固定兼支持体７の製造のために、特にＬＩＧＡ技術並び
にプレーナ技術で作られた原版による復刻法又は転写法
を含めて、要求される精度を可能にするような前記の方
法以外の方法を用いることもできる。シリコンの代わり
に適当な異方性エッチング処理を利用できる別の単結晶
材料例えばＧａＡｓを用いることもできる。光路中に存
在する面は反射防止加工すべきである。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明に基づく光結合形成装置の第１の実施
例の要部断面図である。
【図２】第２の実施例の要部断面図である。
【図３】第３の実施例の要部断面図である。
【図４】第４の実施例の要部断面図である。
【図５】第５の実施例の要部断面図である。
【図６】図５に示す要部の平面図である。
【図７】第６の実施例の要部断面図である。
【図８】第７の実施例の要部断面図である。
【符号の説明】
１、２ 光導波路 ３ 光学レンズ ４、５ 支持板 ７ 固定兼支持体 １１、１２ 端面 ４０ 凹所 ４１、４２、５１、５２ 板面 ４３ 壁

Claims (19)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 複数の第１の光導波路（１）と複数の第
    ２の光導波路（２）との間の光結合形成装置であって、
    第１及び第２の導波路（１、２）が対を成して向かい合
    いかつ相互に間隔（Ｄ）を置いて配置された端面（１
    １、１２）を有し、第１及び第２の導波路（１、２）の
    相互に向かい合う各対の端面（１１、１２）の間に光学
    レンズ（３）が配置され、この光学レンズが、支持体
    （４）の表面（４１、４２）上に形成され表面（４１、
    ４２）から支持体（４）の内部の方向へ円錐形に最大直
    径（Ｄ1 ）からゼロより大きい最小直径（Ｄ2 ）へ直径
    が細くなる凹所（４０）の領域内で、支持体（４）上に
    保持されているものにおいて、支持体（４）が、第１及
    び第２の導波路（１、２）の相互に向かい合う端面（１
    １、１２）の間に配置され第１の導波路（１）に向かう
    板面（４１）及び第２の導波路（２）に向かう板面（４
    ２）を備える板から成り、レンズ（３）の保持のための
    凹所（４０）が板（４）の少なくとも一方の板面（４
    １、４２）上に形成されて、板（４）の一方の板面（４
    １、４２）から他方の板面（４２又は４１）の方向へ円
    錐形に直径が細くなることを特徴とする複数の光導波路
    間の光結合形成装置。
  2. 【請求項２】 複数の第１の光導波路（１）と複数の第
    ２の光導波路（２）との間の光結合形成装置であって、
    第１及び第２の導波路（１、２）が対を成して向かい合
    いかつ相互に間隔（Ｄ）を置いて配置された端面（１
    １、１２）を有し、第１及び第２の導波路（１、２）の
    相互に向かい合う各対の端面（１１、１２）の間に光学
    レンズ（３）が配置され、この光学レンズが支持体
    （５）上に保持されているものにおいて、支持体（５）
    が、第１及び第２の導波路（１、２）の相互に向かい合
    う端面（１１、１２）の間に配置され第１の導波路
    （１）に向かう板面（５１）及び第２の導波路（２）に
    向かう板面（５２）を備え第１及び第２の導波路（１、
    ２）中を導かれる光波の波長に対して透明な材料の板
    （５）から成り、各光学レンズ（３）が板（５）の少な
    くとも一方の板面（５１、５２）上に取り付けられた平
    面レンズから成ることを特徴とする複数の光導波路間の
    光結合形成装置。
  3. 【請求項３】 板（４）が第１及び第２の導波路（１、
    ２）中を導かれる光波の波長に対し透明な材料から成る
    ことを特徴とする請求項１記載の装置。
  4. 【請求項４】 凹所（４０）の最小直径（Ｄ2 ）が板
    （４）の各板面（４１、４２）からゼロでない距離に設
    けられることを特徴とする請求項１又は３記載の装置。
  5. 【請求項５】 板（４）の両板面（４１、４２）上に、
    相互に向かい合い板（４）の材料から成る壁（４３）に
    より相互に隔離され円錐形に最大直径（Ｄ1）からゼロ
    より大きい最小直径（Ｄ2 ）へ細くなる凹所（４０）が
    形成されていることを特徴とする請求項３又は４記載の
    装置。
  6. 【請求項６】 凹所（４０）が板（４）の一方の板面
    （４１、４２）から他方の板面（４２又は４１）の方向
    へ貫通する孔により形成され、この孔が一方の板面（４
    １、４２）から他方の板面（４２又は４１）の方向へ円
    錐形に最大直径（Ｄ1 ）から最小直径（Ｄ2 ）へ細くな
    り、そして最小直径（Ｄ2 ）から他方の板面（４２又は
    ４１）の方向へ円錐形に最大直径（Ｄ1 ）へ広がること
    を特徴とする請求項４記載の装置。
  7. 【請求項７】 板（４）の一方の板面（４１、４２）上
    に設けられた凹所（４０）の最大直径（Ｄ1 ）が、他方
    の板面（４２又は４１）上に設けられた凹所（４０）の
    最大直径（Ｄ1 ）と異なることを特徴とする請求項５又
    は６記載の装置。
  8. 【請求項８】 板（４）の一方の板面（４１、４２）上
    に設けられた凹所（４０）の最小直径（Ｄ2 ）が、他方
    の板面（４２又は４１）上に設けられた凹所（４０）の
    最小直径（Ｄ2 ）と異なることを特徴とする請求項５な
    いし７の一つに記載の装置。
  9. 【請求項９】 板（４）の一方の板面（４１、４２）上
    に設けられた凹所（４０）中に球レンズ（３）が配置さ
    れて保持されていることを特徴とする請求項１又は３な
    いし８の一つに記載の装置。
  10. 【請求項１０】 板（４）の一方の板面（４１、４２）
    上に設けられた凹所（４０）中ばかりでなく他方の板面
    （４２又は４１）上に設けられた凹所（４０）中にも、
    球レンズ（３）が配置されて保持されていることを特徴
    とする請求項５ないし９の一つに記載の装置。
  11. 【請求項１１】 異なる最大直径及び／又は最小直径
    （Ｄ1 、Ｄ2 ）の凹所（４０）中に配置されて保持され
    ている球レンズ（３）が異なる直径（Ｄ3 ）を有するこ
    とを特徴とする請求項１０記載の装置。
  12. 【請求項１２】 板（５）の両板面（５１、５２）が凹
    所を有しないことを特徴とする請求項２記載の装置。
  13. 【請求項１３】 板（５）の一方の板面（５１、５２）
    上に配置された平面レンズ（３）の向かい側に、凹所
    （４０）が板（５）の他方の板面（５２又は５１）上に
    形成され、その際凹所（４０）が他方の板面（５２又は
    ５１）から一方の板面（５１又は５２）の方向へ円錐形
    に最大直径（Ｄ1 ）から最小直径（Ｄ2）へ細くなるこ
    とを特徴とする請求項２記載の装置。
  14. 【請求項１４】 凹所（４０）の最大直径（Ｄ1 ）が第
    １又は第２の導波路（１、２）を形成する光ファイバの
    外径（Ｄ4 ）より大きく、この凹所（４０）の最小直径
    （Ｄ2 ）が光ファイバの外径（Ｄ4 ）以下であることを
    特徴とする請求項１２又は１３記載の装置。
  15. 【請求項１５】 凹所（４０）中に球レンズが配置又は
    保持されていることを特徴とする請求項１２又は１３記
    載の装置。
  16. 【請求項１６】 第１及び第２の導波路（１、２）の端
    面（１１、１２）を凹所（４０）及び／又は光学レンズ
    （３）に対して自動調節する調節装置を備えることを特
    徴とする請求項１ないし１５の一つに記載の装置。
  17. 【請求項１７】 調節装置が第１又は第２の導波路
    （１、２）を光学レンズ（３）と同一の配置に取り付け
    た固定兼支持体（７）を有し、板（４、５）及び固定兼
    支持体（７）上に板（４、５）及び固定兼支持体（７）
    の寄せ合わせの際に噛み合う調節突起（４７）及び調節
    凹所（７１）が形成されていることを特徴とする請求項
    １６記載の装置。
  18. 【請求項１８】 光ファイバ（２）を収容しかつ固定す
    る凹所（４０）及び／又は溝が、プレーナ技術及び異方
    性エッチングにより異方性にエッチング可能な材料中に
    作られた凹所又は溝であることを特徴とする請求項１又
    は３ないし１１又は１３ないし１７の一つに記載の装
    置。
  19. 【請求項１９】 異方性にエッチング可能な材料がシリ
    コンから成ることを特徴とする請求項１８記載の装置。
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